DE4131737A1 - Autofokus-anordnung fuer ein stereomikroskop - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Autofokus-Anordnung für ein Stereo-Mikroskop nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.

Aus der DE-PS 32 28 609 ist eine Einrichtung zum Feststellen der Scharfeinstellung eines Stereo-Mikroskopes bekannt. Dort wird über einen der beiden Beobachtungsstrahlengänge das Bild einer beleuchteten Marke auf ein Objekt projiziert. Im zwei­ ten Beobachtungsstrahlengang wird der vom Objekt reflektierte Strahl über einen entsprechenden Teilerspiegel ausgekoppelt und auf ein photoelektrisches Wandlerelement umgelenkt. Die­ ses photoelektrische Wandlerelement erzeugt in Abhängigkeit vom Ort des registrierten Reflexionsstrahles ein Steuersignal für die motorische Fokussierung. Nachteilig bei einer derar­ tigen Anordnung ist die Abbildung einer Markierung über die Beobachtungsoptik. Beim Abbilden einer Blende beliebiger Form auf das Objekt, wobei die Lateralabmessungen der abgebildeten Markierung größer sind als das Auflösungsvermögen des Objek­ tives, ergeben sich Probleme, wenn die Oberfläche des be­ trachteten Objektes Bereiche stark unterschiedlicher Reflek­ tivität aufweist. Dies ist beispielsweise bei Operationsmi­ kroskopen oft der Fall. Dort weist dann auch die auf das pho­ toelektrische Wandlerelement projizierte bzw. reflektierte Markierung unter Umständen eine derartige Reflexstruktur auf. Es resultieren infolgedessen Schwierigkeiten bei der zuver­ lässigen Auswertung der Position der reflektierten Markierung auf dem photoelektrischen Wandlerelement. Bildet man dagegen eine Markierung mit Abmessungen ab, die zumindest in einer Dimension kleiner ist als das Auflösungsvermögen des Objekti­ ves, so registriert man zwar im Bild des reflektierten Strah­ les auf dem photoelektrischen Wandlerelement keine Reflex­ struktur mehr, jedoch wird bei der Abbildung nur eine sehr intensitätsschwache Markierung auf das Objekt projiziert. Will man also ein Operationsmikroskop mit hell-erleuchtetem Sehfeld mit einer derartigen Einrichtung ausrüsten, so erge­ ben sich große Probleme bei der Detektion der projizierten Markierung, da die Kontrastunterschiede auf dem hellerleuch­ teten Objekt gering sind. Die Verwendung eines Lasers als Abbildungslichtquelle hat zudem zur Folge, daß bei einer aus­ gedehnten Leuchtmarkierung auf dem Objekt sogenannte Speck­ les, d. h. unkorrelierte Interferenzerscheinungen, auf dem photoelektrischen Wandlerelement ebenso die Auswertung er­ schweren wie die vorher beschriebenen Reflexerscheinungen. Bildet man aus diesem Grund eine entsprechend schmale Blende ab, so resultieren auch hier Intensitätsprobleme auf dem hell-erleuchteten Objekt, wie ebenfalls bereits vorab be­ schrieben wurde.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Autofo­ kus-Anordnung für Stereo-Mikroskope zu schaffen, die es ge­ stattet auf hell-erleuchtete, reflexbehaftete Objekte automa­ tisch zu fokussieren.

Die Aufgabe wird gelöst durch eine Autofokus-Anordnung mit den Kennzeichen des Anspruches 1. Geeignete Auswerteverfahren sind Gegenstand der Unteransprüche 15 und 16.

Wesentliches Merkmal der Erfindung ist die Abbildung einer dünnen, strichförmigen Markierung auf die beobachtete Objekt­ oberfläche, wobei der Projektionsstrahlengang nicht mit einem der beiden Beobachtungsstrahlengänge zusammenfällt. Hierzu wird ein Strahlenbündel, vorzugsweise von einer Laserdiode, über eine Kollimatorlinse und eine Zylinderoptik als dünne, strichförmige Markierung abgebildet und diese über eine weitere Linse und eine Umlenkeinrichtung durch das Objektiv auf das Objekt projiziert. Dabei wird nicht der Beobachtungs­ strahlengang zur Projektion verwendet, sondern je nach speziellem Einsatzzweck eines derartigen Stereomikroskopes eine andere Durchtrittspupille für den Projektionsstrahlen­ gang durch das Objektiv gewählt.

Die Abbildung des Lichtbündels durch eine Zylinderlinse in eine dünne strichförmige Markierung gewährleistet, daß die dünne strichförmige Markierung mit maximaler Intensität auf das beleuchtete Objekt projiziert wird, d. h. es resultiert keine Intensitätsreduzierung wie bei der Maskenabbildung, wo nur ein geringer Prozentsatz der von der Lichtquelle gelie­ ferten Intensität auf die Objektoberfläche gelangt. Dement­ sprechend leichter bzw. günstiger ist die Registrierung der reflektierten strichförmigen Markierung bei einem hell­ erleuchteten Mikroskop-Sehfeld auf dem ortsauflösenden Posi­ tionsdetektor möglich.

Durch entsprechende Dimensionierung der Zylinderoptik ist es zudem möglich, die Breite der projizierten strichförmigen Markierung kleiner oder gleich dem Auflösungsvermögen des Beobachtungsstrahlenganges zu machen. Zwei Punkte auf dem Objekt, die innerhalb der Strichbreite liegen, können bei der Beobachtung durch das Objektiv nicht mehr getrennt aufgelöst werden. Es resultieren keine Interferenzerscheinungen wie etwa Speckles, die durch Wellenzüge verursacht werden, die von Punkten ausgesandt werden, deren Verbindungslinie senk­ recht zur projizierten strichförmigen Markierung liegt. Das resultierende Interferenzmuster, verursacht durch Wellenzüge, die von Punkten entlang der reflektierten strichförmigen Markierung ausgesandt werden, ergibt auf dem ortsauflösenden Positionsdetektor ein Streifenmuster senkrecht zur abgebilde­ ten strichförmigen Markierung. Durch Mittelung über die Längsausdehnung des Bildes der strichförmigen Markierung auf dem Positionsdetektor können derartige Interferenzstreifen bei der Auswertung egalisiert werden.

Die Detektion der auf das Objekt projizierten strichförmigen Markierung erfolgt über einen der beiden Stereo-Beobachtungs­ strahlengänge, wo der reflektierte Strahl hinter dem Objektiv ausgekoppelt und auf einen ortsauflösenden Positionsdetek­ tor abgebildet wird. Hier erzeugt eine Defokussierung eine laterale Verschiebung auf dem ortsauflösenden Positionsde­ tektor, die registriert und zur Nachfokussierung mit Hilfe des Fokusmotors verwendet wird.

In einer ersten zweckmäßigen Ausführungsform erfolgt die Projektion des Lichtbündels durch die Mitte des verwendeten Objektives, was insbesondere dann vorteilhaft ist, wenn beim Defokussieren kein Auswandern der projizierten strichförmigen Markierung erfolgen soll.

Bei einer zweiten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Auto­ fokus-Anordnung wird das Lichtbündel durch einen Bereich am Rand des Objektives projiziert, wobei dieser Randbereich im Verhältnis zum Beobachtungsstrahlengang, der zur Detektion des reflektierten Strahles dient, so liegt, daß die Verbin­ dung zwischen den Zentren der beiden Durchtrittspupillen eine maximal mögliche Basislänge aufweist. Je größer diese Basis­ länge gewählt wird, desto exakter arbeitet die Autofokus- Anordnung. Für manche Anwendungen ist diese Anordnung von Projektions- und Detektionsstrahlengang günstig, da der Raum unterhalb der Objektivmitte dann für diverse zusätzliche Hilfmittel zur Verfügung steht. Dies kann beispielsweise der Fall sein, wenn die erfindungsgemäße Vorrichtung in einem Operationsmikroskop verwendet wird und an diesem derartige Hilfsmittel montiert sind.

Weitere Vorteile und Kennzeichen der erfindungsgemäßen Auto­ fokus-Anordnung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung zweier Ausführungsbeispiele anhand der beigefügten Zeichnun­ gen.

Dabei zeigt

Fig. 1a die schematische Darstellung eines ersten Ausfüh­ rungsbeispieles der erfindungsgemäßen Autofokus- Anordnung in einem Stereo-Mikroskop;

Fig. 1b das verwendete Objektiv und die entsprechenden Strahlengänge des ersten Ausführungsbeispieles in Draufsicht;

Fig. 2a die schematische Darstellung eines zweiten Ausfüh­ rungsbeispieles der erfindungsgemäßen Autofokus- Anordnung in einem Stereo-Mikroskop;

Fig. 2b das verwendete Objektiv und die entsprechenden Strahlengänge des zweiten Ausführungsbeispieles in Draufsicht.

Fig. 3 den ortsauflösenden Positionsdetektor, ausgeführt als zweidimensionales CCD-Array;

Fig. 4 den ortsauflösenden Positionsdetektor, ausgeführt als CCD-Zeile.

Fig. 1a zeigt ein Ausführungsbeispiel für den Aufbau der erfindungsgemäßen Autofokus-Anordnung. Dargestellt ist die Vorderansicht eines Stereomikroskops (1), das mit der erfin­ dungsgemäßen Autofokus-Anordnung ausgestattet ist.

Die wesentlichen Komponenten des Stereomikroskopes (1), wie Okularlinsen (2a, 2b), Tubuslinsen (3a, 3b), pankratisches Vergrößerungssystem (5), sowie das verwendete Objektiv (4a, 4b) für beide Beobachtungsstrahlengänge sind lediglich sche­ matisch dargestellt, da diese Komponenten nicht erfindungs­ wesentlich sind. So ist auch die Verwendung eines komplexer aufgebauten Objektives jederzeit möglich. Ebenfalls darge­ stellt sind die optischen Achsen (29a, 29b) der beiden ste­ reoskopischen Beobachtungsstrahlengänge. Die erfindungsgemäße Autofokus-Anordnung umfaßt in diesem Ausführungsbeispiel sendeseitig eine Laserdiode (6) sowie eine Kollimatorlinse (12). Die optische Achse des Projektionsstrahlenganges wird im dargestellten Ausführungsbeispiel mit den Bezugszeichen (30) bezeichnet. Diese Anordnung liefert ein paralleles Strahlenbündel und ist als komplettes Bauteil in integrierter Form erhältlich. Verwendet werden kann hierzu beispielsweise die Laserdiode HL 7806 von HITACHI inclusive der entsprechen­ den Strahlaufbereitungsoptik. Das parallele Strahlbündel passiert einen nachfolgend angeordneten Abschwächer (13), der unter Umständen erforderlich sein kann, falls lichtempfind­ che Objekte untersucht werden, die durch die hohe Intensi­ tät der auftreffenden Laserstrahlung Schaden nehmen könnten. Alternativ kann die Intensitätsregelung auch ohne diesen Abschwächer (13) erfolgen, wenn die Intensität der Laser- Strahlung direkt über den Strom an der Laserdiode (6) gere­ gelt wird. Durch eine nachfolgende Zylinderlinse (8) wird das parallele Strahlbündel in die Fokalebene (14) der Zylinder­ linse (8) als dünne strichförmige Markierung abgebildet. Die Abbildung dieser dünnen strichförmigen Markierung auf die interessierende Objektoberfläche (11) wird über eine weitere Linse (9) sowie ein Umlenkelement (10) durch das Objektiv (4a, 4b) erreicht. Als Umlenkelement (10) kann beispielsweise ein geeigneter Spiegel oder aber ein entsprechendes Prisma verwendet werden.

In einem der beiden Stereo-Beobachtungsstrahlengänge wird der von der Objektoberfläche (11) reflektierte Laserstrahl nach Passieren des Objektives (4a, 4b) empfangsseitig durch ein Auskoppelelement (15) aus dem Beobachtungsstrahlengang ausge­ koppelt und über eine weitere Projektionslinse (16) und einen wellenlängenabhängigen Filter (17) auf einen ortsauflösenden Positionsdetektor (18) abgebildet. Als ortsauflösende Posi­ tionsdetektoren (18) kommen beispielsweise handelsübliche zweidimensionale CCD-Arrays oder CCD-Zeilen aus mehreren Einzelelementen in Frage. Bei einer Defokussierung resultiert eine laterale Verschiebung des Bildes der strichförmigen Markierung auf dem Positionsdetektor (18), die über eine nicht dargestellte Auswerteeinheit registriert und als Regel­ signal zur Nachfokussierung für einen ebenfalls nicht darge­ stellten Fokusmotor verwendet wird. Dabei kann die Fokussie­ rung durch eine motorische Schnittweitenvariation des verwen­ deten Objektives erfolgen. Oder aber das komplette Stereomi­ kroskop (1) wird motorisch entlang der optischen Achse ver­ fahren.

Im dargestellten Ausführungsbeispiel erfolgt die Projektion der strichförmigen Markierung durch das Zentrum des verwende­ ten Objektives (4a, 4b). Dies wird in Fig. 1b verdeutlicht, wo in Draufsicht auf das Objektiv (4a, 4b) die beiden Durch­ trittspupillen (19a, 19b) der beiden Stereo-Beobachtungs­ strahlengänge sowie die Durchtrittspupille des Projektions­ strahlenganges (20) dargestellt werden. Ebenfalls dargestellt sind die optischen Achsen der beiden stereoskopischen Beob­ achtungsstrahlengänge (29a, 29b) sowie die optische Achse des Projektionsstrahlenganges (30).

Neben den bereits beschriebenen Vorteilen durch die Projek­ tion der strichförmigen Markierung über die Zylinderlinse (8) weist die zentrale Projektion durch die Objektiv-Mitte in diesem Ausführungsbeispiel gewisse Vorteile auf. So ist z. B. beim Defokussieren keine Auswanderung der projizierten strichförmigen Markierung auf der Objektoberfläche (11) zu erwarten. Dies wird durch die senkrechte Projektion gewähr­ leistet.

In einem zweiten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Autofokus-Anordnung, dargestellt in Fig. 2a, weist das ver­ wendete Stereomikroskop (101) den prinzipiell gleichen Aufbau auf wie im ersten beschriebenen Ausführungsbeispiel der Fig. 1a. Vorhanden sind ebenfalls Binokulartuben mit Okular­ (102a, 102b) und Tubuslinsen (103a, 103b), pankratisches Vergrößerungssystem (105) und zweiteiliges Objektiv (104a, 104b) für beide Beobachtungsstrahlengänge. Deren optische Achsen sind mit den Bezugszeichen (129a, 129b) gekennzeich­ net. Auch in diesem Ausführungsbeispiel ist der dargestellte explizite Aufbau des Stereomikroskopes (101) nicht erfin­ dungswesentlich, d. h. insbesondere könnte ein anderes aufge­ bautes Objektiv Verwendung finden. Die Lichtquelle der Auto­ fokus-Anordnung besteht auch hier aus einer Laserdiode (106), der eine Kollimatoroptik (112) sowie ein entsprechender Fil­ ter bzw. Abschwächer (113) nachgeordnet wird. Alternativ kann die Intensitätsregelung wieder direkt über den Strom an der Laserdiode (106) erfolgen. Die Abbildung des parallelen La­ serstrahlbündels erfolgt ebenfalls mit Hilfe einer Zylinder­ linse (108), die eine dünne strichförmige Markierung in die Fokalebene (114) der Zylinderlinse (108) abbildet. Dabei wird die optische Achse des Projektionsstrahlenganges mit dem Bezugszeichen (130) versehen dargestellt. Über eine weitere Linse (109) und ein Umlenkelement (110) wird diese dünne strichförmige Markierung durch das Objektiv (104a, 104b) auf die Objektoberfläche (111) abgebildet. Die Auskopplung des reflektierten Strahles nach Durchtritt durch das Objektiv (104a, 104b) und Projektion auf den ortsauflösenden Posi­ tionsdetektor (118) über ein Auskoppelelement (115), eine Projektionslinse (116) und einen wellenlängenabhängigen Fil­ ter (117) erfolgt ebenso wie im ersten Ausführungsbeispiel der Fig. 1a.

Der entscheidende Unterschied zum ersten Ausführungsbeispiel liegt hier in der Verwendung einer anderen Durchtrittspupille für den Projektionsstrahlengang durch das verwendete Objektiv (104a, 104b). Der Projektionsstrahlengang tritt in diesem Ausführungsbeispiel nicht zentral durch das Objektiv (104a, 104b), sondern am Rand. Dabei schneidet der Projektionsstrah­ lengang keinen der beiden Beobachtungsstrahlengänge.

Dies wird in Fig. 2b ersichtlich, wo eine Draufsicht auf das verwendete Objektiv (104a, 104b) sowie die entsprechenden Durchtrittspupillen für die beiden stereoskopischen Beobach­ tungsstrahlengänge (119a, 119b) sowie für den Projektions­ strahlengang (120) dargestellt sind. Ebenso dargestellt sind wieder die optischen Achsen der stereoskopischen Beobach­ tungsstrahlengänge (129a, 129b) sowie die optische Achse des Projektionsstrahlenganges (130). Der reflektierte Strahl wird wieder aus einem der beiden Beobachtungsstrahlengänge (119a, 119b) ausgekoppelt. Durch diese Wahl von Projektions- und Reflexionsstrahlengang-Durchgangspupille wird eine möglichst große Basislänge für die Triangulation gewährleistet, d. h. ein großer Winkel zwischen den optischen Achsen von Projek­ tions- und Reflexionsstrahlengang. Daraus resultiert bei der Triangulation und der entsprechenden Fokussierung eine höhere Genauigkeit. Zudem steht der Bereich unterhalb der Objektiv- Mitte für diverse Hilfsmittel, beispielsweise bei Operations­ mikroskopen, zur Verfügung.

In den beiden beschriebenen Ausführungsbeispielen wird als Lichtquelle jeweils eine Laserdiode verwendet, die im infra­ roten Spektralbereich arbeitet. Die zuverlässige Detektion des reflektierten Strahlenbündels wird gewährleistet, indem ein wellenlängen-selektives Auskoppelelement in einem der beiden Beobachtungsstrahlengänge angeordnet wird und ein Filter mit entsprechender Transmissions-Charakteristik vor dem Positionsdetektor. Dieser Filter sorgt dafür, daß nur Informationen des reflektierten Strahles auf den Positions­ detektor gelangen.

Alternativ ist jedoch auch die Verwendung einer Strahlquelle möglich, die im sichtbaren Spektralbereich emittiert.

In Fig. 3 wird ein ortsauflösender Positionsdetektor darge­ stellt, ausgeführt als zweidimensionales CCD-Array (24). Ein Auswerteverfahren für diese erfindungsgemäße Autofokus-Anord­ nung mit Hilfe des dargestellten CCD-Arrays (24) besteht darin, zur exakten Positionsbestimmung des auf das CCD-Arrays (24) abgebildeten Bildes (21) der strichförmigen Markierung zunächst die Einzelelemente (22a, 22b, . . .) zeilenweise aus­ zuwerten, d. h. die jeweils einfallende Strahlungsintensität zu ermitteln. Anschließend wird über die Strahlungsintensitä­ ten der Einzelelemente (22a, 22b, . . .) spaltenweise gemit­ telt. Dadurch werden störende Einflüsse, wie etwa noch vor­ handene Interferenzerscheinungen im Bild (21) der strichför­ migen Markierung auf dem CCD-Array (24) egalisiert. Umgekehrt ist natürlich auch zunächst die spaltenweise Auswertung der auf die Einzelelemente (22a, 22b,...) einfallenden Strah­ lungsintensität möglich, um anschließend zeilenweise über die gemessene Strahlungsintensitäten zu mitteln. Die Darstellung des Bildes (21) der strichförmigen Markierung auf dem CCD- Array (24) in Fig. 3 ist hierbei idealisiert, d. h. in Reali­ tät besitzt dieses Bild (21) ein gaußförmiges Intensitäts­ profil entlang seiner Querdimension.

Ein weiteres Auswerteverfahren zur Egalisierung von Störein­ flüssen bei der Positionsbestimmung des Bildes (21) der strichförmigen Markierung sieht vor, als ortsauflösenden Positionsdetektor eine CCD-Zeile (25) zu verwenden, darge­ stellt in Fig. 4, deren Einzelelemente (23a,...) eine recht­ eckigen Fläche aufweisen. Das Bild (21) der strichförmigen Markierung wandert bei einer Defokussierung in der Längsrich­ tung der CCD-Zeile (25) aus. Zur Auswertung wird jeweils über die gesamte auftreffende Intensität auf einem oder meh­ reren Einzelelementen (23a,...) gemittelt, um dadurch Inter­ ferenzeinflüsse bei der exakten Positionsbestimmung des Bil­ des (21) der strichförmigen Markierung auszuschalten bzw. zu minimieren.

Claims (17)

1. Autofokus-Anordnung für ein Stereomikroskop mit

• - einem zusätzlichen Projektionsstrahlengang, der eine Leuchtmarkierung auf dem beobachteten Objekt erzeugt,
• - einem Auskoppelelement in mindestens einem der Stereo- Beobachtungsstrahlengänge, das den vom Objekt reflektierten Projektionsstrahl vom Beobachtungsstrah­ lengang separiert,
• - und einem lichtempfindlichen, ortsauflösenden Posi­ tionsdetektor, bestehend aus mehreren Einzelelemen­ ten, die mit einer Auswerteeinheit verbunden sind, welche die registrierten Signale in ein zur Fokussie­ rung nötiges Signal für den Fokusmotor umsetzt,

dadurch gekennzeichnet, daß ein optisches System (8, 9, 10; 108, 109, 110) eine strichförmige Markierung in mindestens einer Dimension beugungsbegrenzt auf das beobachtete Objekt abbildet und der Projektionsstrahlen­ gang durch einen nicht anderweitig optisch genutzten Bereich des Stereomikroskop-Objektives (4a, 4b; 104a, 104b) verläuft.

2. Autofokus-Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß die Breite der strichförmigen Markierung kleiner oder gleich dem Auflösungsvermögen des Beobachtungsstrah­ lenganges ist.

3. Autofokus-Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß das optische System (8, 9, 10; 108, 109, 110) zur beugungsbegrenzten Abbildung der strichförmigen Mar­ kierung mindestens eine Zylinderlinse (8; 108) umfaßt.

4. Autofokus-Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß eine Laserdiode (6; 106), die im infraroten Spektralbereich emittiert, als Lichtquelle des Projek­ tionsstrahlenganges dient.

5. Autofokus-Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß eine räumlich kohärente Lichtquelle, die im sichtbaren Spektralbereich emittiert, als Lichtquelle des Projektionsstrahlenganges dient.

6. Autofokus-Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß der Projektionsstrahlengang senkrecht durch das Zentrum des Stereomikroskop-Objektives (4a, 4b; 104a, 104b) verläuft.

7. Autofokus-Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß der Projektionsstrahlengang durch einen Bereich am Rand des Stereomikroskop-Objektives (4a, 4b; 104a, 104b) verläuft.

8. Autofokus-Anordnung nach Anspruch 1 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungslinie zwischen den Zentren der Durchtrittspupillen von Projektionstrahlen­ gang und reflektiertem Strahl in der Objektivebene eine maximal mögliche Länge besitzt.

9. Autofokus-Anordnung nach Anspruch 1 und einem oder mehre­ ren der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß als orts­ auflösender Positionsdetektor (18; 118) ein zweidimensio­ nales CCD-Array (24) vorgesehen ist.

10. Autofokus-Anordnung nach Anspruch 1 und 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Länge des Bildes (21) der strich­ förmigen Markierung so dimensioniert ist, daß sie mehrere Einzelelemente (22a,...;23a,...) des ortsauflösenden Positionsdetektors (18; 118) beaufschlagt.

11. Autofokus-Anordnung nach Anspruch 1 und einem oder mehre­ ren der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß als orts­ auflösender Positionsdetektor (18; 118) eine CCD-Zeile (25) vorgesehen ist.

12. Autofokus-Anordnung nach Anspruch 1 und einem oder mehre­ ren der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die Fokus­ sierung über eine motorische Änderung der Schnittweite des Objektives (4a, 4b; 104a, 104b) erfolgt.

13. Autofokus-Anordnung nach Anspruch 1 und einem oder mehre­ ren der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die Fokus­ sierung über das motorische Verschieben des kompletten Stereomikroskopes (1; 101) entlang der optischen Achse erfolgt.

14. Autofokus-Anordnung nach Anspruch 1 und einem oder mehre­ ren der folgenden, gekennzeichnet durch die Verwendung in einem Operationsmikroskop.

15. Auswerteverfahren für eine Autofokus-Einrichtung nach Anspruch 1 und 9, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Auswertung zunächst die empfangenen Strahlungsintenistä­ ten der Einzelelemente (22a,...) ermittelt werden und anschließend eine zeilen- oder spaltenweise Mittelung über die registrierten Intensitäten der Einzelelemente erfolgt.

16. Auswerteverfahren für eine Autofokus-Einrichtung nach Anspruch 1 und 11, dadurch gekennzeichnet, daß über die gesamte Fläche jedes einzelnen Elementes (23a,...) des ortsauflösenden Positionsdetektors (18;118) gemittelt wird.