WO2023189184A1

WO2023189184A1 - シート状ヒータ

Info

Publication number: WO2023189184A1
Application number: PCT/JP2023/007892
Authority: WO
Inventors: 誠後藤; 卓蔵原; 陽輔菅原
Original assignee: 株式会社巴川製紙所
Priority date: 2022-03-31
Filing date: 2023-03-02
Publication date: 2023-10-05

Abstract

発熱体と電極との確実な接合が可能であり、かつ可撓性に優れたシート状ヒータを提供することを課題とする。シート状ヒータにおいて、電極と、接合助材と、多孔質発熱体とが、この順で積層されている電極領域が存在し、前記電極と、前記接合助材と、前記多孔質発熱体とが接合されている接合部が、前記電極領域に少なくとも１つ存在していることを特徴とするシート状ヒータによって解決する。

Description

シート状ヒータ

　本発明は、シート状ヒータに関する。

　従来いくつかのシート状ヒータが提案されている。
　例えば、特許文献１には、並列して配設された複数の薄板状ステンレス発熱体と、これらの発熱体のいずれか少なくとも一方の面に重畳された絶縁性基材とからなる面状ヒータにおいて、前記発熱体の、一方の端部には電力導入端子が固着され、他方の端部には隣接する他の発熱体との間をつなぐための、ろう材と端子片とを重ね合わさせてなる接続部を形成しており、前記電力導入端子は、発熱体端部に導電性のろう材を介して固着されていることを特徴とする面状ヒータが開示されている。

実用新案登録第３１２７８５０号

　配管等の湾曲した表面を有する被加熱体を加熱するヒータは、被加熱体に追従できるよう可撓性が求められる。また、接合部に振動や揺動等の外力が加わってもヒータの発熱体と電極とが接合されていることが求められる。しかしながら、発熱体と電極との接合を強固にし過ぎると、ヒータの可撓性が低下する場合があった。

　本発明では、発熱体と電極とが強固に接合されており、かつ可撓性に優れたシート状ヒータの提供を目的とする。

　本発明は、以下の（１）～（１１）である。
（１）シート状の多孔質発熱体を含むシート状ヒータであって、
　前記多孔質発熱体の少なくとも一方の主面上に電極が存在し、
　加熱されたことで前記多孔質発熱体と前記電極との各々の少なくとも一部が溶融し、その後、固化したことで形成された接合部を有し、前記接合部によって、前記多孔質発熱体と、前記電極とが電気的につながっている、シート状ヒータ。
（２）第一絶縁層と、
　シート状の前記多孔質発熱体と、
　第二絶縁層と、がこの順に積層しており、
　前記電極の少なくとも一部は前記第一絶縁層および前記第二絶縁層によっては覆われていない、上記（１）に記載のシート状ヒータ。
（３）前記多孔質発熱体と前記電極との間に、さらに接合助材を有し、
　前記接合部が、加熱されたことで前記多孔質発熱体と前記接合助材と前記電極との各々の少なくとも一部が溶融し、その後、固化したことで形成されたものであり、前記接合部によって、前記多孔質発熱体と、前記接合助材と、前記電極とが電気的につながっている、上記（１）または（２）に記載のシート状ヒータ。
（４）さらに、前記多孔質発熱体における前記電極が存在しない側の主面上に補強材を有し、
　前記接合部が、加熱されたことで前記補強材と前記多孔質発熱体と前記接合助材と前記電極との各々の少なくとも一部が溶融し、その後、固化したことで形成されたものであり、前記接合部によって、前記補強材と、前記多孔質発熱体と、前記接合助材と、前記電極とが電気的につながっている、上記（３）に記載のシート状ヒータ。
（５）さらに、前記多孔質発熱体における前記電極が存在しない側の主面に補強材を有し、
　前記接合部が、加熱されたことで前記補強材と前記多孔質発熱体と前記電極との各々の少なくとも一部が溶融し、その後、固化したことで形成されたものである、上記（１）または（２）に記載のシート状ヒータ。
（６）１個の前記電極につき、複数の前記接合部を有する、上記（１）～（５）のいずれかに記載のシート状ヒータ。
（７）前記電極が存在する側から主面を見た場合に、前記接合部が点状および／または線状となっている、上記（１）～（６）のいずれかに記載のシート状ヒータ。
（８）前記電極と、前記多孔質発熱体と、が同種の金属からなる、上記（１）～（７）のいずれかに記載のシート状ヒータ。
（９）前記電極と、前記多孔質発熱体と、が異種の金属からなる、上記（１）～（７）のいずれかに記載のシート状ヒータ。
（１０）前記電極が金属繊維を含む、上記（１）～（９）のいずれかに記載のシート状ヒータ。
（１１）前記多孔質発熱体が金属繊維を含む、上記（１）～（１０）のいずれかに記載のシート状ヒータ。

　本発明によれば、発熱体と電極とが強固に接合されており、かつ可撓性に優れたシート状ヒータを提供することができる。

図１は実施形態１における本発明のシート状ヒータ１ａの主面を、その垂線方向から見た場合の図（概略図）である。図２は図１のＡ－Ａ線断面図（概略図）である。図３は図１のＢ－Ｂ線断面図（概略図）である。図４は図１のＣ－Ｃ線断面図（概略図）である。図５は実施形態２における本発明のシート状ヒータ１ｂを、その主面における垂線に平行な方向に切って得られる断面の図（概略図）である。図６は実施形態２の接合部付近の断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察したＳＥＭ画像である。図７は、実施形態３における本発明のシート状ヒータ１ｃの主面を、その垂線方向から見た場合の図（概略図）である。図８は図７のＤ－Ｄ線断面図（概略図）である。図９は図７のＥ－Ｅ線断面図（概略図）である。図１０は図７のＦ－Ｆ線断面図（概略図）である。図１１は、実施形態４における本発明のシート状ヒータ１ｄの主面を、その垂線方向から見た場合の図（概略図）である。図１２は、実施形態５における本発明のシート状ヒータ１ｅの主面を、その垂線方向から見た場合の図（概略図）である。図１３は、実施形態６における本発明のシート状ヒータ１ｆの主面を、その垂線方向から見た場合の図（概略図）である。図１４は実施形態２のシート状ヒータの製造方法を説明するための図である。図１５は実施形態２のシート状ヒータの製造方法を説明するための別の図である。

　本発明について説明する。
　本発明のシート状ヒータは、シート状の多孔質発熱体を含むシート状ヒータであって、前記多孔質発熱体の少なくとも一方の主面上に電極が存在し、加熱されたことで前記多孔質発熱体と前記電極との各々の少なくとも一部が溶融し、その後、固化したことで形成された接合部を有し、前記接合部によって、前記多孔質発熱体と、前記電極とが電気的につながっている、シート状ヒータである。

　本発明のシート状ヒータの実施形態について、図を用いて説明する。
　なお、以下に説明する実施形態は、本発明のシート状ヒータの好適例を示しており、本発明は以下に説明する実施形態に限定されない。また、図に示す各部の大きさや形状なども例を示しており、本発明はこれに限定されない。

＜＜実施形態＞＞
＜実施形態１＞
　本発明のシート状ヒータの実施形態１について、図を用いて説明する。
　実施形態１は、
　シート状の多孔質発熱体を含むシート状ヒータであって、
　第一絶縁層と、
　シート状の前記多孔質発熱体と、
　第二絶縁層と、がこの順に積層しており、
　前記多孔質発熱体の少なくとも一方の主面上に電極が存在し、
　前記多孔質発熱体と前記電極との間に、さらに接合助材を有し、
　前記電極の少なくとも一部は前記第一絶縁層および前記第二絶縁層によっては覆われておらず、
　加熱されたことで前記多孔質発熱体と前記接合助材と前記電極との各々の少なくとも一部が溶融し、その後、固化したことで形成された接合部を有し、前記接合部によって、前記多孔質発熱体と、前記接合助材と、前記電極とが電気的につながっている、シート状ヒータである。

　つまり、実施形態１は、本発明のシート状ヒータであって、さらに第一絶縁層、第二絶縁層および接合助材を有する好適態様である。
　この場合、接合部は、加熱されたことで、多孔質発熱体の少なくとも一部と、接合助材の少なくとも一部と、電極の少なくとも一部との各々が溶融し、その後、固化したことで形成されたものである。
　また、接合部によって多孔質発熱体と、接合助材と、電極とは電気的につながっている。

　図１は、実施形態１における本発明のシート状ヒータ１ａの主面を、その垂線方向から見た場合の図（概略図）である。また、図２は図１のＡ－Ａ線断面図（概略図）、図３は図１のＢ－Ｂ線断面図（概略図）、図４は図１のＣ－Ｃ線断面図（概略図）である。図２～図４は、いずれも本発明のシート状ヒータ１ａの主面における垂線に平行な方向における断面を表している。

　なお、実施形態１および後述する別の実施形態を含む本発明のシート状ヒータにおいて、その積層状態は図２～図４に相当する断面を光学顕微鏡または走査型電子顕微鏡で観察することで確認することができる。

　図１～４に示すように、実施形態１の本発明のシート状ヒータ１ａは第一絶縁層６ａと、シート状の多孔質発熱体４と、第二絶縁層６ｂと、がこの順に積層している。
　そして、多孔質発熱体４の一方の主面上に、接合助材３を介して電極２が存在している。
　このように本発明において電極２は多孔質発熱体４の少なくとも一方の主面上に存在するが、電極２は多孔質発熱体４の主面に接していなくてもよい。実施態様１のように、接合助材３を介して多孔質発熱体４の主面上に存在していてもよい。

　ここで電極２の少なくとも一部は、第一絶縁層６ａおよび第二絶縁層６ｂによっては覆われていない。つまり、電極２の外面は、少なくともその一部が露出している。実施形態１の本発明のシート状ヒータ１ａの場合、図１および図４に示すように、電極２の外面は表面に露出している。

　実施形態１の本発明のシート状ヒータ１ａは、図１～４に示すように、３個の接合部７と１個の電極２を有する。
　接合部７は、加熱されたことで多孔質発熱体４の少なくとも一部と、接合助材３の少なくとも一部と、電極２の少なくとも一部との各々が溶融し、その後、固化したことで形成されたものである。
　例えば、多孔質発熱体４の主面上に接合助材３を介して電極２を付け、電極２の表面上に溶接棒を押し付けて溶接すると、その熱により電極２、接合助材３および多孔質発熱体４の各々における少なくとも一部が溶融する。その後、放冷して溶融した部分を固化させると、これが接合部７を構成することになる。
　接合部７によって、多孔質発熱体４と、接合助材３と、電極２とは電気的につながる。

　ここで多孔質発熱体４と、接合助材３と、電極２とは異種の金属からなるものであってよいが、同種の金属からなることが好ましい。多孔質発熱体４と、接合助材３と、電極２とが同種の金属からなると、形成された接合部７の強度が高くなる傾向があるからである。
　なお、同種の金属とは主元素が同じであることを意味するものとする。
　また、主元素とは、その金属を構成する元素を含有率（モル％）が高い順にならべ、含有率（モル％）が高い元素から順にその含有率を加算していき、９０モル％を超えた時点で、それまでにその含有率を加算した１以上の元素の集合を意味するものとする。ここで１つの元素の含有率が９０モル％以上である金属の場合、その金属の主元素はその１つの元素のみとする。

　上記のように、実施形態１の本発明のシート状ヒータ１ａは３つの接合部７を有する。

　実施形態１および後述する別の実施形態を含む本発明のシート状ヒータにおいて、１個の電極２に対して接合部７が複数存在することが好ましい。具体的には、本発明のシート状ヒータは１個の電極に対して２～２０個の接合部を有することが好ましく、３～１５個の接合部を有することがより好ましい。
　本発明のシート状ヒータが１個の電極に対して複数の接合部を有すると、電極と多孔質発熱体とをより強固に接合し、かつ本発明のシート状ヒータの可撓性も良好になるからである。

　実施形態１および後述する別の実施形態を含む本発明のシート状ヒータにおいて、本発明のシート状ヒータが複数の接合部を有する場合、それらの接合部の大きさ、形状などは全て同一であってもよいし、異なっていてもよい。
　また、本発明のシート状ヒータが１個の電極に対して複数の接合部を有する場合、接合部は電極において局在してもよいが、散在していることが好ましく、一定の距離を保つように規則的に散財していることが好ましい。

　実施形態１および後述する別の実施形態を含む本発明のシート状ヒータにおいて、本発明のシート状ヒータの主面を電極が存在する側から見た場合に、接合部が点状および／または線状となっていることが好ましい。なお、接合部は点状や線状ともいえない形状、例えば面状をなしていてもよい。
　本発明のシート状ヒータの主面を電極が存在する側から見た場合に、接合部が直線状となっていることがより好ましい。この場合、電極２と多孔質発熱体４との接合を強固にすることができ、さらに本発明のシート状ヒータを折り曲げた場合の可撓性も良好なるからである。
　実施形態１の本発明のシート状ヒータ１ａが有する接合部７は、その主面を電極が存在する側から見た場合、図１に示すように、直線状をなしている。

　多孔質発熱体４について説明する。
　本発明のシート状ヒータは、シート状の多孔質発熱体を必須要素として含む。
　なお、多孔質発熱体４についての以下の説明は、実施形態１における本発明のシート状ヒータ１ａが含む多孔質発熱体４に限らず、後述する別の実施形態を含む本発明のシート状ヒータが備える多孔質発熱体についての説明でもある。

　多孔質発熱体４は通電することで発熱する多孔質体であればよい。

　多孔質発熱体４の材質は、通電することで発熱するものであれば特に限定されず、ステンレス（例えば、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３１６Ｌ）であることが好ましいが、Ｃｕ（銅）、Ａｌ（アルミニウム）、Ｎｉ（ニッケル）、ニクロム、カーボンであってもよい。

　多孔質発熱体４は繊維状物によって構成されていることが好ましい。
　繊維状物によって構成された多孔質発熱体４として、例えば直線状の繊維が略直交して配置されてなるシート状の金属メッシュ、金属繊維がランダムに配置されてなる金属繊維不織布、金属繊維織布、線状の金属繊維、テープ状の金属繊維であってよい。

　具体的には、金属メッシュとして、例えば２００～５００メッシュの金属メッシュが挙げられる。
　また、金属繊維不織布として、例えば１５００ｇ／ｍ²のステンレス繊維不織布（SUS316Lニードルパンチウェブ、株式会社日工テクノ製）が挙げられる。
　また、金属繊維織布として、例えばＳＵＳクロス（ナスロンクロスＡ、日本精線株式会社製）が挙げられる。
　また、線状の金属繊維として、例えばフィラメントヤーン（ナスロン１２－２０００／３、日本精線株式会社製）が挙げられる。
　また、テープ状の金属繊維として、例えばＳＵＳテープ（ナスロンテープＢ　Ｗ１６（日本精線株式会社製）が挙げられる。

　多孔質発熱体４は主として金属繊維からなることが好ましく、金属繊維のみからなることがより好ましい。
　ここで「主として」とは、含有率が７０質量％以上であることを意味する。すなわち、多孔質発熱体４はその７０質量％以上が金属繊維であることが好ましい。多孔質発熱体４に含まれる金属繊維の割合は８０質量％以上であることがより好ましく、９０質量％以上であることがより好ましく、９５質量％以上であることがより好ましく、９８質量％以上であることがさらに好ましい。
　多孔質発熱体４における金属繊維の含有率を上記の範囲とすると、多孔質発熱体４の通電性、発熱性を十分に発揮することができる。

　なお、多孔質発熱体４に含まれる金属繊維の割合は次の方法によって特定するものとする。
　初めに、多孔質発熱体４の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて１，０００倍に拡大して得たＳＥＭ像を得る。
　次に、そのＳＥＭ像における９０μｍ×１２０μｍの視野内についてＥＤＳ分析を行って金属繊維の存在およびその種類を特定し、さらに画像処理を行うことで、その視野内に占める金属繊維（空隙を除く）の面積比率を求める。
　そして、その面積比率を２分の３乗とすることで体積比率に換算し、さらに金属繊維の真比重を乗じることで質量比率を求め、金属繊維の含有率を算出する。
　ここで金属繊維が２種類以上含まれている場合、それぞれの金属繊維について含有率を求め合算した値を、多孔質発熱体４に含まれる金属繊維の割合とする。

　金属繊維は、断面の等面積円相当径が２～１００μｍ（好ましくは５～２０μｍ）、長さが２～２０ｍｍの金属製の繊維であることが好ましい。

　また、多孔質発熱体４は、このような金属製の繊維がランダムに配置された金属繊維不織布（以下、金属繊維シートとも言う。）であることが好ましい。
　ここで金属繊維シートは金属繊維のみからなり、空隙を有していてもよいが、金属繊維に加え、発熱性を妨げない範囲で金属繊維以外（例えばバインダーとしての機能がある樹脂繊維等）を含むものであってもよい。
　バインダーとしては、カーボンやガラス、シリコーン樹脂などが挙げられる。
　ここで、金属繊維シートを構成する金属繊維同士は少なくとも通電する程度に接点においてつながっていることが好ましい。例えば高温にて焼結することで金属繊維の一部が溶けた後、凝固することで、金属繊維同士がその接点において融着していることがより好ましい。

　金属繊維シートは耐熱性や耐薬品性が高いことからステンレス繊維シートであることが好ましい。ステンレス繊維シートとして、ステンレス繊維シート（例えば、トミーファイレックＳＳ、巴川製紙所社製）が挙げられる。

　金属繊維シートは坪量が２５ｇ／ｍ²以上であることが好ましく、５０ｇ／ｍ²以上であることが好ましい。また、１０００ｇ／ｍ²以下であることが好ましく、２００ｇ／ｍ²以下であることがより好ましい。
　金属繊維シートの坪量が、２５ｇ／ｍ²～１０００ｇ／ｍ²であると、金属繊維シートとしての強度を確保することができ、金属繊維同士の接点を比較的、均一にすることができるため、このような金属繊維シートを多孔質発熱体として用いたシート状ヒータは、多孔質発熱体と電極とをより強固に接合することができ、かつ可撓性に優れる。
　なお、坪量は光学顕微鏡による画像観察から、金属繊維シートの単位面積あたりの繊維の体積を算出し、比重から重量を割り出し、坪量を算出する。

　金属繊維シートの密度は１．０～５．０ｇ／ｃｍ³であることが好ましく、１．４～２．０ｇ／ｃｍ³であることがより好ましく、１．７ｇ／ｃｍ³程度であることが好ましい。
　なお、金属繊維シートの密度は、ＪＩＳＰ８１１８に従い、密度（ｇ／ｃｍ³）＝坪量（ｇ／ｍ²）／（厚さ（ｍｍ）×１０００）により求めた値とする。
　金属繊維シートの密度が、１．０～５．０ｇ／ｃｍ³であると金属繊維シートとしての強度を確保することができ、金属繊維同士の接点を比較的、均一にすることができるため、このような金属繊維シートを多孔質発熱体として用いたシート状ヒータは、多孔質発熱体と電極とをより強固に接合することができ、かつ可撓性に優れる。

　金属繊維シートは、乾式不織布の製造方法によっても、湿式抄造法によっても製造することができる。湿式抄造法によって製造する場合には、例えば、断面の等面積円相当径が２～１００μｍ、長さが２～２０ｍｍの無数の金属製の繊維を分散媒（水や有機溶媒等）内で撹拌した後、有機系の凝集剤等を加え、角形手漉き装置（東洋精機社製など）を用いてシート化し、フェロタイプの乾燥装置を用いて坪量が５０～１１００ｇ／ｍ²の乾燥シートを得る。その後、４００～１３００℃で焼成すると金属繊維シートを得ることができる。

　多孔質発熱体４は、その比電気抵抗が５～３０００μΩｃｍのものであることが好ましく、１０～２５００μΩｃｍのものであることがより好ましい。
　ここで多孔質発熱体４の比電気抵抗は、ＪＩＳ　Ｋ　７１９４に準拠して求めた値とする。

　多孔質発熱体４の厚さは１０～６００μｍであることが好ましく、２０～１５０μｍであることがより好ましい。厚さが１０～６００μｍである多孔質発熱体４を用いたシート状ヒータは、多孔質発熱体と電極とをより強固に接合することができ、かつ可撓性に優れる。

　ここで多孔質発熱体４の厚さは、次のように求めるものとする。
　初めに、本発明のシート状ヒータについて、その主面の垂線に平行な方向における断面を得る。この断面は図２～図４に相当する。
　次に、光学顕微鏡を用いてその断面の拡大写真（２００倍）を得た後、拡大写真において多孔質発熱体４の厚さを無作為に選択した１００か所にて測定し、それらの単純平均値を求める。
　そして、得られた単純平均値をその多孔質発熱体４の厚さとする。
　なお、本発明のシート状ヒータが備える多孔質発熱体４以外の要素の厚さについても、同様の方法によって求めるものとする。

　多孔質発熱体４の形状や大きさは、加熱対象物の形状や大きさ等に合わせて、適宜、調整することができる。

　電極２について説明する。
　本発明のシート状ヒータは、シート状の多孔質発熱体４の少なくとも一方の主面上に電極を有する。前述のように、電極２は多孔質発熱体４の主面に接していなくてもよく、例えば接合助材を介して多孔質発熱体４の主面上に存在していてもよい。

　なお、電極２についての以下の説明は、実施形態１における本発明のシート状ヒータ１ａが含む電極２に限らず、後述する別の実施形態を含む本発明のシート状ヒータが備える電極についての説明でもある。

　電極２は外部電源とつながることができ、外部電源から供給された電気を多孔質発熱体４へ供給できる態様のものであればよい。

　電極２の材質は特に限定されない。Ｃｕ（銅）、Ａｇ（銀）、Ａｕ（金）などであってもよいが、ステンレス（例えば、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３１６Ｌ）であることがより好ましい。

　電極２は、例えば金属箔、直線状の繊維が略直交して配置されたシート状の金属メッシュ、金属繊維がランダムに配置されてなる金属繊維不織布、金属繊維織布、線状の金属繊維、テープ状の金属繊維であってよい。

　具体的には、金属メッシュとして、例えば２００～５００メッシュの金属メッシュが挙げられる。
　金属繊維不織布として、例えば１５００ｇ／ｍ²のステンレス繊維不織布（SUS316Lニードルパンチウェブ、株式会社日工テクノ製）が挙げられる。
　金属繊維織布として、例えばＳＵＳクロス（ナスロンクロスA、日本精線株式会社製）が挙げられる。
　線状の金属繊維として、例えばフィラメントヤーン（ナスロン１２－２０００／３、日本精線株式会社製）が挙げられる。
　テープ状の金属繊維として、例えばＳＵＳテープ（ナスロンテープＢ　Ｗ１６（日本精線株式会社製）が挙げられる。

　電極２は、外部電源との接続部（不図示）を備えている。そして、外部電源から電極２を介して多孔質発熱体４へ通電できるように構成されている。例えば、外部電源と電極２とを、圧着端子等を用いてケーブルで接続してもよい。

　電極２の形状や大きさは、外部電源との接続部を設けることができ、かつ多孔質発熱体４に対して十分に通電できるものであれば良く、適宜、調整することができる。

　電極２は、その比電気抵抗が５～１００μΩｃｍのものであることが好ましく、１０～９０μΩｃｍのものであることがより好ましい。
　ここで、電極２の比電気抵抗は、電極２をＸＲＤ分析することで、構成組成を求め、元素組成から求めた電気伝導率を参考に、「比電気抵抗＝１／電気伝導率」の計算式により算出した値とする。

　電極２は、繊維状物によって構成されるものが好ましく、金属繊維の撚糸からなる織布または金属繊維織布であることがより好ましい。
　電極２が金属繊維の撚糸からなる織布または金属繊維織布からなれば、適度な可撓性と強度があるため、本発明のシート状ヒータに外力が加わった場合であっても、多孔質発熱体および電極が接合部から離れ難い。

　また、金属繊維の撚糸からなる織布または金属繊維織布は、金属繊維以外の繊維をその構成要素として用いてもよいが、主として金属繊維からなることが好ましく、金属繊維のみからなることがより好ましい。
　ここで「主として」とは、７０質量％以上であることを意味するものとする。すなわち、電極２はその７０質量％以上が金属繊維であることが好ましい。電極２における金属繊維の含有率は８０質量％以上であることがより好ましく、９０質量％以上であることがより好ましく、９５質量％以上であることがより好ましく、９８質量％以上であることがさらに好ましい。

　金属繊維の撚糸からなる織布または金属繊維織布は、空隙を残した状態となっていてもよい。
　金属繊維の撚糸からなる織布または金属繊維織布は、金属繊維以外（例えばバインダーとしての機能がある樹脂繊維等）も含むものであってもよい。

　金属繊維の撚糸からなる織布または金属繊維織布を構成する金属繊維は、断面の等面積円相当径が１～５０μｍ（好ましくは２～３０μｍ）の繊維であることが好ましい。
　ここで金属繊維の断面の等面積円相当径は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて、電極２の断面の１０００倍のＳＥＭ像を得た後、そのＳＥＭ像から金属繊維における任意の３０か所において径を計測し、それらの単純平均して得た値を意味するものとする。
　金属繊維の断面の等面積円相当径がこの範囲にあると、電極と、接合助材または多孔質発熱体との接合がより強固になり、かつ本発明のシート状ヒータの可撓性も良好になるからである。

　電極２の厚さは、０．５～３ｍｍであることが好ましい。このような厚さであると、電極と、接合助材または多孔質発熱体との接合がより強固になり、かつ本発明のシート状ヒータの可撓性も良好になるからである。

　また、電極２が第一絶縁層６ａの外面から突出するように、電極２の厚さを調整することが好ましい。この場合、電極２と外部電源との接続作業が容易となり、様々な接続方法を利用しやすいからである。

　接合助材３について説明する。
　本発明のシート状ヒータの実施形態１は、多孔質発熱体４と電極２との間に、接合助材３を有する。
　本発明のシート状ヒータは実施形態１のように、電極２と多孔質発熱体４との間に接合助材３を有することが好ましい。

　なお、接合助材３についての以下の説明は、実施形態１における本発明のシート状ヒータ１ａが含む接合助材３に限らず、後述する別の実施形態を含む本発明のシート状ヒータが備え得る接合助材３についての説明でもある。

　接合助材３は導電性を有していれば、その材質は特に限定されない。Ｃｕ（銅）、Ａｌ（アルミニウム）、Ｎｉ（ニッケル）、ニクロム、カーボン、Ｆｅ（鉄）、Ｃｒ（クロム）などであってよいが、ステンレスであることが好ましい。
　接合助材３の材質は、電極２と多孔質発熱体４との接合強度および接合容易性、ならびに本発明のシート状ヒータの可撓性等を考慮して適宜選択することができる。

　接合助材３は、例えば金属箔、シート状の金属メッシュ、金属繊維不織布、金属繊維織布、線状の金属繊維、テープ状の金属繊維であってよい。

　具体的には、金属メッシュとして、例えば２００～５００メッシュの金属メッシュが挙げられる。
　金属繊維不織布として、例えば１５００ｇ／ｍ²のステンレス繊維不織布（SUS316Lニードルパンチウェブ、株式会社日工テクノ製）が挙げられる。
　金属繊維織布として、例えばＳＵＳクロス（ナスロンクロスＡ、日本精線株式会社製）が挙げられる。
　線状の金属繊維として、例えばフィラメントヤーン（ナスロン１２－２０００／３、日本精線株式会社製）が挙げられる。
　テープ状の金属繊維として、例えばＳＵＳテープ（ナスロンテープＢ　Ｗ１６（日本精線株式会社製）が挙げられる。

　接合助材３は金属箔であることが好ましく、ステンレス箔であることがより好ましい。接合助材３が金属箔であると、接合助材３と電極２および多孔質発熱体４とを溶接接合をしやすい。

　電極２および多孔質発熱体４の材質がステンレスである場合に、同様にステンレスからなる接合助材３を用いると、接合部７を形成しやすい。
　電極２、多孔質発熱体４および接合助材３が同一組成のステンレスからなると、接合部７をより形成しやすい。

　電極２および多孔質発熱体４の材質がステンレスである場合に、ステンレス箔を接合助材３として用いると、接合部７をより形成しやすい。
　電極２、多孔質発熱体４およびステンレス箔である接合助材３が同一組成のステンレスからなると、接合部７をより形成しやすい。この場合、接合部７が小さくても電極２と接合助材３と多孔質発熱体４との接合強度を確保しやすく、かつ、本発明のシート状ヒータ１の可撓性が高まる。

　例えば、電極２が銅、多孔質発熱体４がステンレスである場合には、接合助材３はニッケル合金であることが好ましい。

　接合助材３の形状や大きさは、適宜、調整することができるが、接合助材３の電極２に対向する主面の面積が、電極２における接合助材３に対向する主面の面積以上であることが好ましい。このようにすることで、接合助材３の配置を気にせず、１以上の接合部７を形成することができるからである。

　接合助材３は比電気抵抗が５～１００μΩｃｍのものであることが好ましく、１０～９０μΩｃｍのものであることがより好ましい。
　ここで接合助材３の比電気抵抗は、ＪＩＳ　Ｋ　７１９４に準拠して求めた値とする。

　接合助材３の厚さは１０～１００μｍであることが好ましい。
　接合助材３の厚さが１０～１００μｍであると、本発明のシート状ヒータ１の可撓性を確保したうえで、多孔質発熱体４と電極２との接合強度を確保しやすい。本発明のシート状ヒータ１の可撓性を確保したうえで、多孔質発熱体４と接合助材３と電極２との接合強度も確保することができる。

　第一絶縁層６ａおよび第二絶縁層６ｂについて説明する。
　本発明のシート状ヒータは、第一絶縁層６ａおよび／または第二絶縁層６ｂを有することが好ましい。
　また、本発明のシート状ヒータは実施形態１のように、第一絶縁層６ａと、多孔質発熱体４と、第二絶縁層６ｂとがこの順に積層していることが好ましい。

　なお、第一絶縁層６ａおよび第二絶縁層６ｂについての以下の説明は、実施形態１における本発明のシート状ヒータ１ａが含む第一絶縁層６ａおよび第二絶縁層６ｂに限らず、後述する別の実施形態を含む本発明のシート状ヒータが備え得る第一絶縁層および第二絶縁層についての説明でもある。

　第一絶縁層６ａおよび第二絶縁層６ｂは多孔質発熱体４と他とを電気的に絶縁する役割を果たす。したがって絶縁性が高い材質からなるシート状のものであることが好ましい。

　また、本発明のシート状ヒータ１ａを加熱対象物の表面に設置したときに、加熱対象物の表面に近い方の絶縁層は、絶縁性に加え、熱伝導性を備えることが好ましい。

　第一絶縁層６ａおよび第二絶縁層６ｂは、例えばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＩ（ポリイミド）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）、ＴＡＣ（トリアセチルセルロース）、シリコーン樹脂、セラミック等からなるものであってよい。これらは絶縁性が高いからである。これらの中でもＰＩ（ポリイミド）からなる第一絶縁層６ａおよび／または第二絶縁層６ｂは耐熱性および絶縁性が優れるため好ましく用いることができる。

　第一絶縁層６ａおよび第二絶縁層６ｂの厚さは特に限定されないが、各々、５０～７００μｍであることが好ましく、１００～６００μｍであることがより好ましく、２００～５００μｍであることがさらに好ましい。

　第一絶縁層６ａおよび第二絶縁層６ｂの形状や大きさは特に限定されない。ただし、第一絶縁層６ａおよび第二絶縁層６ｂは多孔質発熱体４と他とを電気的に絶縁する役割を果たすため、第一絶縁層６ａおよび第二絶縁層６ｂの主面の大きさは、通常、多孔質発熱体４の主面と同じか、多孔質発熱体４の主面よりも大きい。

　実施形態１のように、第一絶縁層６ａと、多孔質発熱体４と、第二絶縁層６ｂとがこの順に積層している本発明のシート状ヒータの場合、第一絶縁層６ａと多孔質発熱体４との主面同士、および、多孔質発熱体４と第二絶縁層６ｂとの主面同士は、例えば接着剤を用いて接着させることができる。

　第一絶縁層６ａと多孔質発熱体４との間や、多孔質発熱体４と第二絶縁層６ｂとの間に、他層等が存在していてもよい。

　第一絶縁層６ａと第二絶縁層６ｂとは同一の材料からなるものであってよいし、異なる材料からなるものであってもよい。
　第一絶縁層６ａと第二絶縁層６ｂとは同一の厚さであってもよいし、異なる厚さのものであってもよい。

　本発明のシート状ヒータ１ａにおいて電極２の少なくとも一部は、第一絶縁層６ａおよび第二絶縁層６ｂによっては覆われていない。実施形態１の本発明のシート状ヒータ１ａにおいては電極２が第一絶縁層６ａによって覆われておらず、第一絶縁層６ａの外面側から見て電極２の外面が露出している。つまり、電極２の外面が露出するように、第一絶縁層６ａには開口が形成されている。

　実施形態１の本発明のシート状ヒータ１ａは、シート状の多孔質発熱体４の一方の主面上に接合助材３を介して電極２を有する。
　本発明のシート状ヒータは、実施形態１における電極２と接合助材３との間や、接合助材３と多孔質発熱体４との間に、接合部７の形成を妨げない範囲において他が存在してもよい。

　本発明のシート状ヒータの厚さは１５０～５００μｍであることが好ましく、３００～４００μｍであることがより好ましい。

＜実施形態２＞
　本発明のシート状ヒータの実施形態２について、図を用いて説明する。
　実施形態２は、
　シート状の多孔質発熱体を含むシート状ヒータであって、
　第一絶縁層と、
　シート状の前記多孔質発熱体と、
　第二絶縁層と、がこの順に積層しており、
　前記多孔質発熱体の少なくとも一方の主面上に電極が存在し、
　前記多孔質発熱体と前記電極との間に、さらに接合助材を有し、
　前記電極の少なくとも一部は前記第一絶縁層および前記第二絶縁層によっては覆われておらず、
　前記多孔質発熱体における前記電極が存在しない側の主面上に補強材を有し、
　加熱されたことで前記補強材と前記多孔質発熱体と前記接合助材と前記電極との各々の少なくとも一部が溶融し、その後、固化したことで形成された接合部を有し、前記接合部によって、前記補強材と、前記多孔質発熱体と、前記接合助材と、前記電極とが電気的につながっている、シート状ヒータである。

　つまり、実施形態２は、本発明のシート状ヒータであって、さらに第一絶縁層、第二絶縁層、接合助材および補強材を有する好適態様である。
　この場合、接合部は補強材の少なくとも一部と、多孔質発熱体の少なくとも一部と、接合助材の少なくとも一部と、電極の少なくとも一部との各々が溶融し、その後、固化したことで形成されたものである。
　また、接合部によって補強材と、多孔質発熱体と、接合助材と、電極とは電気的につながっている。

　実施形態２における本発明のシート状ヒータ１ｂの主面を、その垂線方向から見た場合の図（概略図）は、図１と同様になる。また、実施形態２における本発明のシート状ヒータ１ｂを、図１のＡ－Ａ線に相当する箇所においてその主面における垂線に平行な方向に切って得られる断面の図（概略図）が図５である。

　また、図６は、本発明のシート状ヒータ１ｂにおける接合部７の付近を、本発明のシート状ヒータ１ｂの主面における垂線に平行な方向に切って得た断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察して得たＳＥＭ画像である。

　ここで電極２としてテープ状の金属繊維（テープＢ　Ｗ１６、日本精線株式会社製）を用い、接合助材３および補強材８として３０μｍのステンレス箔を用い、多孔質発熱体４としてはステンレス繊維シート（トミーファイレックＳＳ、巴川製紙所社製）を用いた。

　そして、補強材８、多孔質発熱体４、接合助材３および電極２をこの順に積層した後、電極２の上面にてスポット溶接を行い、接合部７を形成した。
　図６から、電極２の一部と、接合助材３の一部と、多孔質発熱体４の一部と、補強材８の一部が溶融した後、固化して、接合部７が形成されていることが理解できる。
　また、補強材８が存在することによって１５０μｍ以上の厚さの接合部７を形成することができた。この接合部７の厚さは十分に大きいため、本発明のシート状ヒータ１ｂへ外力が加わっても、接合部７は破損し難いと考えられる。

　補強材８について説明する。
　本発明のシート状ヒータの実施形態２は、多孔質発熱体４における電極２が存在しない側の主面上に補強材８を有する。
　本発明のシート状ヒータは実施形態２のように、多孔質発熱体４における電極２が存在しない側の主面上に補強材８を有することが好ましい。

　なお、補強材８についての以下の説明は、実施形態２における本発明のシート状ヒータ１ｂが含む補強材８に限らず、後述する別の実施形態を含む本発明のシート状ヒータが備え得る補強材８についての説明でもある。

　補強材８は、可撓性を有し、本発明のシート状ヒータ１ｂが含む多孔質発熱体４が発熱した場合に到達する温度（発熱温度）に対する耐熱性があれば無機物、有機物を問わず、特に限定されない。

　ただし、実施形態２は、補強材８が、無機物の一つである金属からなる態様である。
　実施形態２は補強材８が金属からなるため、実施形態２の本発明のシート状ヒータ１ｂが有する接合部７は補強材の少なくとも一部と、多孔質発熱体の少なくとも一部と、接合助材の少なくとも一部と、電極の少なくとも一部との各々が溶融し、その後、固化したことで形成されたものであり、接合部によって補強材と、多孔質発熱体と、接合助材と、電極とは電気的につながっている。
　しかし、補強材８が金属ではない場合、そのような態様の本発明のシート状ヒータが有する接合部は多孔質発熱体の少なくとも一部と、接合助材の少なくとも一部と、電極の少なくとも一部との各々が溶融し、その後、固化したことで形成されたものである。

　補強材８の材質は、接合助材３と同じであってもよいし、接合助材３と異なっていてもよい。
　補強材８の材質は、多孔質発熱体４と同種の金属であることが好ましく、多孔質発熱体４と接合助材３と同種の金属であることがより好ましく、多孔質発熱体４と接合助材３と電極２と同種の金属であることがさらに好ましい。
　補強材８の材質は、ステンレス（例えば、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３１６Ｌ）であることがより好ましい。

　補強材８は、例えば金属箔、シート状の金属メッシュ、金属繊維不織布、金属繊維織布、線状の金属繊維、テープ状の金属繊維等の態様であってよい。

　補強材８は金属箔であることが好ましく、ステンレス箔であることがより好ましい。また、補強材８が箔状であることによって、電極２、接合助材３、多孔質発熱体４、補強材８を積層して溶接接合した場合に、多孔質発熱体４の空隙を埋めてより強固な接合部７を形成することができる。

　補強材８が存在することにより、シート状ヒータに外力が加わった場合であっても、多孔質発熱体および電極が接合部から離れ難い。

　補強材８は、その一部が接合部７を形成していなくてもよいが、形成していることが好ましい。
　実施形態２は、補強材８の一部が接合部７を形成している態様である。
　電極２の少なくとも一部と、接合助材３の少なくとも一部と、多孔質発熱体４の少なくとも一部と、補強材８の少なくとも一部とが、一体化して接合部を形成していることがより好ましい。

　補強材８の大きさ、形状は特に限定されない。
　補強材８の電極２に対向する主面の面積が、電極２における補強材８に対向する主面の面積以上であることが好ましい。また、本発明のシート状ヒータ１ｂのように接合助材３を有する場合、補強材８の接合助材３に対向する主面の面積が、接合助材３における補強材８に対向する主面の面積以上であることが好ましい。このようにすることで、補強材８の配置を気にせず、１以上の接合部７を形成することができるからである。また、より強固な接合部７を形成することができるからである。

　補強材８の厚さは、１０～１００μｍであることが好ましい。補強材８の厚さが１０～１００μｍであると、より強固な接合部７を形成しやすい。

＜実施形態３＞
　本発明のシート状ヒータの実施形態３について、図を用いて説明する。
　実施形態３は、
　シート状の多孔質発熱体を含むシート状ヒータであって、
　第一絶縁層と、
　シート状の前記多孔質発熱体と、
　第二絶縁層と、がこの順に積層しており、
　前記多孔質発熱体の少なくとも一方の主面上に電極が存在し、
　前記多孔質発熱体と前記電極との間に、さらに接合助材を有し、
　前記電極の少なくとも一部は前記第一絶縁層および前記第二絶縁層によっては覆われておらず、
　前記電極における外面側の主面上に保護部材を有し、
　加熱されたことで前記多孔質発熱体と前記接合助材と前記電極と前記保護部材との各々の少なくとも一部が溶融し、その後、固化したことで形成された接合部を有し、前記接合部によって前記多孔質発熱体と、前記接合助材と、前記電極と、前記保護部材と、が電気的につながっている、シート状ヒータである。

　つまり、実施形態３は、本発明のシート状ヒータであって、さらに第一絶縁層、第二絶縁層、接合助材および保護部材を有する好適態様である。
　この場合、接合部は多孔質発熱体の少なくとも一部と、接合助材の少なくとも一部と、電極の少なくとも一部と、保護部材の少なくとも一部との各々が溶融し、その後、固化したことで形成されたものである。
　また、接合部によって多孔質発熱体と、接合助材と、電極と、保護部材と、は電気的につながっている。

　図７は、実施形態３における本発明のシート状ヒータ１ｃの主面を、その垂線方向から見た場合の図（概略図）である。また、図８は図７のＤ－Ｄ線断面図（概略図）、図９は図７のＥ－Ｅ線断面図（概略図）、図１０は図７のＦ－Ｆ線断面図（概略図）である。図８～図１０は、いずれも本発明のシート状ヒータ１ｃの主面における垂線に平行な方向における断面を表している。

　図７～図１０に示すように、実施形態３の本発明のシート状ヒータ１ｃは、電極２における外面側、すなわち、電極２における接合助材３から遠い側の主面上に保護部材９を有している。

　保護部材９は、電極２を保護するために設けられている。保護部材９を設けた場合、本発明のシート状ヒータ１ｃを長期間使用しても、電極２が劣化し難く、電極２と接合部７とが強固に接合する傾向がある。

　また、保護部材９が存在することにより、本発明のシート状ヒータ１ｃに外力が加わった場合に電極２の外面を保護することができ、電極２と、接合助材３と、多孔質発熱体４との接合部７への接合を保持しやすい。

　保護部材９は、電極２を保護できるものであれば特に限定されない。
　保護部材９の材質は特に限定されず、絶縁性材料であってもよいし、導電性材料であってもよいし、半導体であってもよい。

　ただし、実施形態３における本発明のシート状ヒータ１ｃにおける保護部材９は金属からなる。

　保護部材９の材質は、金属であることが好ましく、ステンレス（例えば、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３１６Ｌ）であることがより好ましい。

　保護部材９は、例えば金属箔、シート状の金属メッシュ、金属繊維不織布、金属繊維織布、線状の金属繊維、テープ状の金属繊維であってよい。

　保護部材９は金属箔であることが好ましく、ステンレス箔であることがより好ましい。

　導電材料からなる保護部材９が電極２と接合された場合、電極２と多孔質発熱体４との電気的接続点や電気的接続面積が増えることで、電極２と多孔質発熱体４との電気的な接続を安定させる効果もある。保護部材９を有することにより、電極２と、接合助材３とを、直接的に電気的に接続できるだけでなく、保護部材９を介して、電極２と、接合助材３とを、電気的に接続することも可能となる。

　保護部材９は、電極２と接合されていても良いし、接合されていなくても良いが、電極２と接合されている方が好ましい。

　保護部材９の大きさは特に限定されないが、その主面は電極２の主面と同程度、またはそれ以上の大きさであること好ましい。
　また、保護部材９の形状は限定されない。

　保護部材９の厚さは、１０～１００μｍであることが好ましい。

＜実施形態４＞
　本発明のシート状ヒータの実施形態４について、図を用いて説明する。
　図１１は、実施形態４における本発明のシート状ヒータ１ｄの主面を、その垂線方向から見た場合の図（概略図）である。

　実施形態４は、実施形態１または実施形態２と類似する形態であるが、実施形態１または実施形態２とは接合部７が異なり、それ以外は共通する。

　実施形態４の本発明のシート状ヒータ１ｄは、１２個の点状の接合部７が散在している態様である。

＜実施形態５＞
　本発明のシート状ヒータの実施形態５について、図を用いて説明する。
　図１２は、実施形態５における本発明のシート状ヒータ１ｅの主面を、その垂線方向から見た場合の図（概略図）である。

　実施形態５は、実施形態１または実施形態２と類似する形態であるが、実施形態１または実施形態２とは接合部７が異なり、それ以外は共通する。

　実施形態５の本発明のシート状ヒータ１ｅは、１個の直線状の接合部７を有する態様である。

＜実施形態６＞
　本発明のシート状ヒータの実施形態６について、図を用いて説明する。
　図１３は、実施形態６における本発明のシート状ヒータ１ｆの主面を、その垂線方向から見た場合の図（概略図）である。

　実施形態６は、実施形態１または実施形態２と類似する形態であるが、実施形態１または実施形態２とは接合部７が異なり、それ以外は共通する。

　実施形態６の本発明のシート状ヒータ１ｆは、２個の直線状の接合部７を有する態様である。また、この実施形態６において接合部７は局在している。

＜＜製造方法＞＞
　本発明のシート状ヒータの製造方法（以下、本発明の製造方法という）について、図１４および図１５を用いて説明する。
　以下に説明する本発明の製造方法は好ましい製造方法の例示である。本発明のシート状ヒータは、以下に説明する本発明の製造方法によって製造されたシート状ヒータに限定されない。

　図１４、図１５は、実施形態２のシート状ヒータ１ｂの製造方法を説明するための図である。
　先ず、第一絶縁層６ａ、接合助材３、多孔質発熱体４、補強材８、第二絶縁層６ｂを積層し、各層を密着した基材を用意する（図１４）。各層は、例えば接着剤を用いることによって密着することができる。
　次に、第一絶縁層６ａの一部をカッター等を用いて切り取り、開口部１０を形成し、接合助材３を露出させる（図１５）。
　次に、接合助材３と電極２が重なるように配置し、電極２を接合助材３へ合することで本発明のシート状ヒータ１ｂが得られる。接合手段としては、当業者の知る任意の手段を用いることが可能であり、例えば溶接加工を用いることができる。

　本発明に係るシート状ヒータは、例えば、配管用途、成膜装置用途や温風発生用途等に適用可能である。

　この出願は、２０２２年３月３１日に出願された日本出願特願２０２２－０５８６９７を基礎とする優先権を主張し、その開示のすべてをここに取り込む。

　１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ　シート状ヒータ
　２　電極
　３　接合助材
　４　多孔質発熱体
　６ａ、６ｂ　絶縁層
　７　接合部
　８　補強材
　９　保護部材
　１０　開口部

Claims

　シート状の多孔質発熱体を含むシート状ヒータであって、
　前記多孔質発熱体の少なくとも一方の主面上に電極が存在し、
　加熱されたことで前記多孔質発熱体と前記電極との各々の少なくとも一部が溶融し、その後、固化したことで形成された接合部を有し、前記接合部によって、前記多孔質発熱体と、前記電極とが電気的につながっている、シート状ヒータ。
　第一絶縁層と、
　シート状の前記多孔質発熱体と、
　第二絶縁層と、がこの順に積層しており、
　前記電極の少なくとも一部は前記第一絶縁層および前記第二絶縁層によっては覆われていない、請求項１に記載のシート状ヒータ。
　前記多孔質発熱体と前記電極との間に、さらに接合助材を有し、
　前記接合部が、加熱されたことで前記多孔質発熱体と前記接合助材と前記電極との各々の少なくとも一部が溶融し、その後、固化したことで形成されたものであり、前記接合部によって、前記多孔質発熱体と、前記接合助材と、前記電極とが電気的につながっている、請求項１または２に記載のシート状ヒータ。
　さらに、前記多孔質発熱体における前記電極が存在しない側の主面上に補強材を有し、
　前記接合部が、加熱されたことで前記補強材と前記多孔質発熱体と前記接合助材と前記電極との各々の少なくとも一部が溶融し、その後、固化したことで形成されたものであり、前記接合部によって、前記補強材と、前記多孔質発熱体と、前記接合助材と、前記電極とが電気的につながっている、請求項３に記載のシート状ヒータ。
　さらに、前記多孔質発熱体における前記電極が存在しない側の主面に補強材を有し、
　前記接合部が、加熱されたことで前記補強材と前記多孔質発熱体と前記電極との各々の少なくとも一部が溶融し、その後、固化したことで形成されたものである、請求項１または２に記載のシート状ヒータ。
　１個の前記電極につき、複数の前記接合部を有する、請求項１～５のいずれかに記載のシート状ヒータ。
　前記電極が存在する側から主面を見た場合に、前記接合部が点状および／または線状となっている、請求項１～６のいずれかに記載のシート状ヒータ。
　前記電極と、前記多孔質発熱体と、が同種の金属からなる、請求項１～７のいずれかに記載のシート状ヒータ。
　前記電極と、前記多孔質発熱体と、が異種の金属からなる、請求項１～７のいずれかに記載のシート状ヒータ。
　前記電極が金属繊維を含む、請求項１～９のいずれかに記載のシート状ヒータ。
　前記多孔質発熱体が金属繊維を含む、請求項１～１０のいずれかに記載のシート状ヒータ。