WO2022153655A1 - 制御装置、システム、リソグラフィ装置、物品の製造方法、制御方法及びプログラム - Google Patents

制御装置、システム、リソグラフィ装置、物品の製造方法、制御方法及びプログラム Download PDF

Info

Publication number
WO2022153655A1
WO2022153655A1 PCT/JP2021/041705 JP2021041705W WO2022153655A1 WO 2022153655 A1 WO2022153655 A1 WO 2022153655A1 JP 2021041705 W JP2021041705 W JP 2021041705W WO 2022153655 A1 WO2022153655 A1 WO 2022153655A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
data
unit
abnormality
communication
controlled device
Prior art date
Application number
PCT/JP2021/041705
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
康寛 渡辺
Original Assignee
キヤノン株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by キヤノン株式会社 filed Critical キヤノン株式会社
Priority to CN202180090248.XA priority Critical patent/CN116724542A/zh
Priority to EP21919546.8A priority patent/EP4243350A1/en
Priority to KR1020237018711A priority patent/KR20230096112A/ko
Publication of WO2022153655A1 publication Critical patent/WO2022153655A1/ja
Priority to US18/324,244 priority patent/US20230296988A1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
    • G03F7/70491—Information management, e.g. software; Active and passive control, e.g. details of controlling exposure processes or exposure tool monitoring processes
    • G03F7/70508—Data handling in all parts of the microlithographic apparatus, e.g. handling pattern data for addressable masks or data transfer to or from different components within the exposure apparatus
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04L—TRANSMISSION OF DIGITAL INFORMATION, e.g. TELEGRAPHIC COMMUNICATION
    • H04L43/00—Arrangements for monitoring or testing data switching networks
    • H04L43/08—Monitoring or testing based on specific metrics, e.g. QoS, energy consumption or environmental parameters
    • H04L43/0805—Monitoring or testing based on specific metrics, e.g. QoS, energy consumption or environmental parameters by checking availability
    • H04L43/0817—Monitoring or testing based on specific metrics, e.g. QoS, energy consumption or environmental parameters by checking availability by checking functioning
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
    • G03F7/70491—Information management, e.g. software; Active and passive control, e.g. details of controlling exposure processes or exposure tool monitoring processes
    • G03F7/70533—Controlling abnormal operating mode, e.g. taking account of waiting time, decision to rework or rework flow
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/04—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
    • G05B19/042—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers using digital processors
    • G05B19/0428—Safety, monitoring
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04L—TRANSMISSION OF DIGITAL INFORMATION, e.g. TELEGRAPHIC COMMUNICATION
    • H04L12/00—Data switching networks
    • H04L12/28—Data switching networks characterised by path configuration, e.g. LAN [Local Area Networks] or WAN [Wide Area Networks]
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04L—TRANSMISSION OF DIGITAL INFORMATION, e.g. TELEGRAPHIC COMMUNICATION
    • H04L12/00—Data switching networks
    • H04L12/28—Data switching networks characterised by path configuration, e.g. LAN [Local Area Networks] or WAN [Wide Area Networks]
    • H04L12/40—Bus networks
    • H04L12/40006—Architecture of a communication node
    • H04L12/40019—Details regarding a bus master
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04L—TRANSMISSION OF DIGITAL INFORMATION, e.g. TELEGRAPHIC COMMUNICATION
    • H04L12/00—Data switching networks
    • H04L12/28—Data switching networks characterised by path configuration, e.g. LAN [Local Area Networks] or WAN [Wide Area Networks]
    • H04L12/40—Bus networks
    • H04L12/403—Bus networks with centralised control, e.g. polling
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04L—TRANSMISSION OF DIGITAL INFORMATION, e.g. TELEGRAPHIC COMMUNICATION
    • H04L12/00—Data switching networks
    • H04L12/28—Data switching networks characterised by path configuration, e.g. LAN [Local Area Networks] or WAN [Wide Area Networks]
    • H04L12/40—Bus networks
    • H04L2012/4026—Bus for use in automation systems
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04L—TRANSMISSION OF DIGITAL INFORMATION, e.g. TELEGRAPHIC COMMUNICATION
    • H04L41/00—Arrangements for maintenance, administration or management of data switching networks, e.g. of packet switching networks
    • H04L41/06—Management of faults, events, alarms or notifications
    • H04L41/0686—Additional information in the notification, e.g. enhancement of specific meta-data
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Definitions

  • the present invention relates to a control device, a system, a lithography device, an article manufacturing method, a control method, and a program.
  • Patent Document 1 describes the acquisition amount of abnormality detection data while reliably communicating control data between the master device and the slave device regardless of the amount of data communicated (transmitted / received) via the network. A system that suppresses the decline has been proposed.
  • data transmission / reception may not be completed in one cycle (one communication cycle), and data may be transmitted / received over a plurality of cycles.
  • the processing of the slave device which should be executed in the same cycle, is executed over a plurality of cycles, and the operation of the system is delayed.
  • the present invention provides an advantageous technique for operating a system for transmitting and receiving data between a master device and a slave device without delay.
  • the control device as one aspect of the present invention is a control device that controls a controlled device connected via a network, and includes a generation unit that generates instruction data for controlling the controlled device and the network.
  • the communication unit that transmits / receives the instruction data generated by the generation unit or the data frame including the response data from the controlled device, and the response data are controlled by the controlled device at regular intervals.
  • a processing unit that acquires and outputs abnormality data indicating information on the abnormality of the unit, which is divided and included in a plurality of the data frames received by the communication unit when the abnormality of the unit is indicated. It is characterized by having.
  • FIG. 1 is a schematic view showing a configuration of a system 100 as one aspect of the present invention.
  • the system 100 includes a master device 110 (control device), a plurality of slave devices 120 (controlled devices) communicably connected to the master device 110, and each slave device. It has a unit 130 connected to 120.
  • the master device 110 controls the slave device 120
  • the slave device 120 controls the unit 130.
  • the master device 110 and each slave device 120 are configured by, for example, a computer (information processing device) including a CPU, a memory, and the like, but may be configured by a board computer or also configured to be used as a board computer. May be good.
  • the unit 130 also includes a mechanism such as a servomotor.
  • the plurality of slave devices 120 are daisy-chained and communicably connected to the master device 110.
  • the master device 110 transmits / receives data to / from a plurality of slave devices 120 at regular intervals via the network 140. Further, the plurality of slave devices 120 control each of the plurality of units 130 based on the data received from the master device 110.
  • two slave devices 121 and 122 are illustrated as slave devices 120 communicably connected to the master device 110, but the number of slave devices 120 is not limited to two, and one. It may be one or three or more.
  • two units 131 and 132 are illustrated as the unit 130 controlled by each slave device 120. The unit 131 is controlled by the slave device 121, and the unit 132 is controlled by the slave device 122.
  • the master device 110 includes a sequence control unit 111, a plurality of generation units 112, a communication unit 113, a determination unit 114, and a processing unit 115.
  • the communication unit 113 is configured to include the determination unit 114, but the determination unit 114 may be configured separately from the communication unit 113.
  • the sequence control unit 111 controls the sequence of processing (for example, processing for controlling the unit 130) in each slave device 120.
  • the sequence control unit 111 controls a plurality of generation units 112 according to a predetermined (set) procedure, procedure, or recipe.
  • Each of the plurality of generation units 112 generates instruction data (control data) for controlling the slave device 120, specifically, instruction data for instructing processing in the slave device 120 to be controlled.
  • instruction data control data
  • the generation unit 112a targets the slave device 121 as a control target, and generates instruction data for controlling the processing in the slave device 121 (for example, the processing for controlling the unit 131).
  • the generation unit 112b targets the slave device 122 as a control target, and generates instruction data for controlling the processing in the slave device 122 (for example, the processing for controlling the unit 132).
  • the communication unit 113 communicates with a plurality of slave devices 120 at regular intervals via the network 140 to transmit and receive data.
  • the communication unit 113 transmits the instruction data generated by the generation units 112a and 112b to the slave devices 121 and 122 at regular intervals, and receives the response data for the instruction data from the slave devices 121 and 122. do.
  • the response data is, for example, data indicating whether or not the process instructed by the instruction data is normally completed. Therefore, when the process instructed by the instruction data from the master device 110 is not completed normally, for example, when an abnormality occurs in the unit controlled by the slave device 120, the response data includes the unit. Data indicating 130 anomalies are included.
  • the determination unit 114 determines whether or not the response data received from the slave device 120 by the communication unit 113 at a fixed cycle satisfies a predetermined trigger condition, specifically, whether or not the response data indicates an abnormality of the unit 130. do.
  • the determination unit 114 determines that the response data received by the communication unit 113 indicates an abnormality in the unit 130
  • the determination unit 114 acquires the abnormality data indicating the abnormality of the unit 130 from the slave device 120 to the processing unit 115. And request to output.
  • the processing unit 115 communicates with the slave device 120 via the communication unit 113 in response to a request from the determination unit 114. Through such communication, the processing unit 115 acquires the abnormality data indicating the abnormality of the unit 130 from the slave device 120 and outputs it as a log (that is, outputs the abnormality data to the log file). In this way, when the response data received by the communication unit 113 indicates an abnormality in the unit 130, the processing unit 115 communicates with the slave device 120 via the communication unit 113 to acquire and output the abnormality data. do.
  • the abnormality data is, for example, data indicating information on the state of the unit 130 as information on the abnormality of the unit 130.
  • EtherCAT registered trademark
  • a master device connected to a network transmits a data frame to a plurality of slave devices, and the plurality of slave devices write data to the data frame received from the master device on the fly.
  • PDO communication and SDO communication are used for communication between the master device and the plurality of slave devices.
  • PDO communication is a communication method in which communication is performed at regular intervals using data called a process data object (PDO: Process Data Object).
  • SDO communication is a communication method that uses data called a service data object (SDO: Service Data Object) to perform communication in response to a request from a master device.
  • SDO Service Data object
  • PDO communication data frames are transmitted and received at regular intervals (for example, 1 ms), so that the arrival time of data is guaranteed.
  • the arrival time of data is not guaranteed because the communication is not always completed within one cycle.
  • EtherCAT registered trademark
  • the master device 110 When EtherCAT (registered trademark) is adopted as the network 140, at least one node among the nodes connected to the network 140 functions as the master device 110, and the other nodes function as the slave device 120.
  • the node that functions as the master device 110 manages (controls) the timing of transmitting and receiving data frames in the network 140.
  • the master device 110 (communication unit 113) writes the instruction data generated by the generation units 112a and 112b into the PDO communication data frame, and transmits the data frame to the slave device 121.
  • the slave device 121 that has received the data frame from the master device 110 reads the instruction data assigned to itself from the instruction data written in the data frame, and writes the response data to the instruction data in the data frame. Then, the slave device 121 transmits a data frame in which the response data for the instruction data assigned to the slave device 121 is written to the slave device 122.
  • the slave device 122 Upon receiving the data frame from the slave device 121, the slave device 122 reads the instruction data assigned to itself from the instruction data written in the data frame, and writes the response data to the instruction data in the data frame. Then, the slave device 122 transmits the data frame in which the data is written in response to the instruction data assigned to the slave device 122 to the master device 110 via the slave device 121.
  • the slave device 121 reads the instruction data generated by the generation unit 112a from the data frame received from the master device 110, writes the response data, and then transmits the data frame to the slave device 122.
  • the slave device 122 reads the instruction data generated by the generation unit 112b from the data frame received from the slave device 121, writes the response data, and then transmits the data frame to the master device 110 via the slave device 121. ..
  • the number of slave devices 120 and units 130 has increased due to the advent of multi-axis industrial robots having many joints. Tends to increase. In this case, a large amount of data (instruction data and response data) must be transmitted and received between the master device 110 and the slave device 120, and the amount of data to be transmitted and received per cycle increases. Further, when an abnormality occurs in the unit 130 controlled by the slave device 120, abnormality data indicating information on the abnormality is added between the master device 110 and the slave device 120 in addition to the instruction data and the response data. You need to send and receive.
  • the communication unit 113 uses PDO communication for communication with the slave device 120
  • the processing unit 115 uses SDO communication via the communication unit 113 for communication with the slave device 120.
  • FIG. 2 is a flowchart for explaining the process performed by the determination unit 114.
  • the master device 110 and the plurality of slave devices 121 and 122 are activated.
  • data transmission / reception at regular intervals is started between the master device 110 and the plurality of slave devices 121 and 122 via the network 140.
  • the determination unit 114 starts the process shown in FIG.
  • the determination unit 114 monitors (confirms) the response data from the slave device 120 received by the communication unit 113.
  • the determination unit 114 determines whether or not the response data from the slave device 120 indicates an abnormality in the unit 130 in the communication cycle (constant cycle) of the communication unit 113. If the response data indicates an abnormality in the unit 130, the process proceeds to S13. On the other hand, if the response data does not indicate an abnormality in the unit 130, the process proceeds to S11.
  • the determination unit 114 notifies the processing unit 115 of the abnormality of the unit 130 by using the FIFO queue, and acquires and outputs the abnormality data indicating the information regarding the abnormality of the unit 130 from the slave device 120. To request.
  • FIG. 3 is a flowchart for explaining the processing performed by the processing unit 115.
  • the master device 110 and the plurality of slave devices 121 and 122 are activated.
  • data transmission / reception at regular intervals is started between the master device 110 and the plurality of slave devices 121 and 122 via the network 140.
  • the processing unit 115 starts the processing shown in FIG.
  • the processing unit 115 monitors (confirms) the notification of the abnormality of the unit 130 from the determination unit 114.
  • the processing unit 115 determines whether or not the determination unit 114 has notified the abnormality of the unit 130. When the abnormality of the unit 130 is notified, the process proceeds to S23. On the other hand, if there is no notification of abnormality in the unit 130, the process proceeds to S21.
  • the processing unit 115 acquires abnormality data indicating information regarding the abnormality of the unit 130 from the slave device 120 that controls the unit 130 in which the abnormality has occurred, via the communication unit 113.
  • the processing unit 115 outputs the abnormal data acquired in S23 as a log and shifts to S21.
  • the communication unit 113 repeatedly transmits and receives data to and from the plurality of slave devices 121 and 122 via the network 140 at regular intervals even while the processing unit 115 is performing the processing shown in FIG. There is.
  • the priority (execution priority) of the processing unit 115 is set to be lower than the priority of the communication unit 113.
  • the processing (communication) of the communication unit 113 including the determination unit 114 is performed with priority over the processing of the processing unit 115. Therefore, the priority of communication for acquiring abnormal data by the processing unit 115 is lower than the priority of communication for transmitting and receiving instruction data or response data by the communication unit 113.
  • the FIFO queue is used to notify the processing unit 115 of the abnormality of the unit 130 from the determination unit 114.
  • the process in which the determination unit 114 notifies the processing unit 115 of the abnormality of the unit 130 (S13) and the processing in which the processing unit 115 acquires and outputs the abnormality data from the slave device 120 (S24) are independent of each other. Can be done.
  • the process of acquiring and outputting abnormal data from the slave device 120, which is performed by the processing unit 115 is performed by the communication unit 113 via the network 140, and the instruction data or the response data is input at regular intervals. It does not affect the processing of sending and receiving.
  • FIG. 4 and 5 show data between the sequence control unit 111, the generation unit 112, the communication unit 113, the determination unit 114, the processing unit 115, and the slave device 120 in the system 100 of the present embodiment. It is a figure which shows an example of the flow of.
  • FIG. 4 shows an example (Example 1) of the data flow when the response data from the slave device 120 does not indicate an abnormality of the unit 130.
  • FIG. 5 shows an example (Example 2) of the data flow when the response data from the slave device 120 indicates an abnormality of the unit 130.
  • the sequence control unit 111 transmits a control command for causing the generation unit 112 to generate instruction data according to a predetermined (set) procedure, procedure, or recipe (to the generation unit 112). S101).
  • the generation unit 112 which has received the control command from the sequence control unit 111, generates instruction data for causing the slave device 120 to execute the process based on the control command, and transmits the instruction data to the communication unit 113 (S102).
  • the communication unit 113 which has received the instruction data from the generation unit 112, transmits the instruction data to the slave device 120 by writing the instruction data in the data frame of the network 140 (S103).
  • the slave device 120 that has received the instruction data from the communication unit 113 executes the process instructed by the instruction data to control the unit 130. Then, when the process instructed by the instruction data is completed, the slave device 120 writes the response data in the data frame of the network 140, and transmits the response data to the determination unit 114 (communication unit 113) (S104).
  • the determination unit 114 monitors (confirms) the response data from the slave device 120 received in the communication cycle (constant cycle) of the communication unit 113. Then, the determination unit 114 determines whether or not the response data indicates an abnormality in the unit 130 (S105). In Example 1, the response data does not indicate anomalies in unit 130, as described above. In this case, the determination unit 114 transmits such response data to the communication unit 113 (S106). The communication unit 113 that has received the response data from the determination unit 114 transmits the response data to the generation unit 112 (S107). The generation unit 112, which has received the response data from the communication unit 113, transmits the response data to the sequence control unit 111 (S108).
  • the determination unit 114 monitors (confirms) the response data from the slave device 120 received in the communication cycle (constant cycle) of the communication unit 113. Then, the determination unit 114 determines whether or not the response data indicates an abnormality in the unit 130 (S205). In Example 2, the response data indicates anomalies in unit 130, as described above. In this case, the response data received by the determination unit 114 is transmitted to the sequence control unit 111 via the communication unit 113 and the generation unit 112 (S206, S207, S208). Since S206 to S208 shown in FIG. 5 are the same as S106 to S108 shown in FIG. 4, detailed description here will be omitted.
  • the determination unit 114 notifies the processing unit 115 that the response data received by the determination unit 114 indicates an abnormality in the unit 130, that is, the abnormality in the unit 130.
  • the processing unit 115 transmits instruction data including a request command for requesting abnormality data indicating information on the abnormality of the unit 130 to the slave device 120 that controls the unit 130 in which the abnormality has occurred via the communication unit 113. (S210). Then, the processing unit 115 acquires the abnormality data indicating the information regarding the abnormality of the unit 130 from the slave device 120 that has received the instruction data including the request command via the communication unit 113 (S211). Further, the processing unit 115 outputs the abnormal data acquired from the slave device 120 as a log (S212).
  • the processing unit 115 acquires the abnormality data from the slave device 120 via the communication unit 113 and outputs it as a log.
  • FIG. 6 is a diagram showing an example of a data frame transmitted from the slave device 122 to the communication unit 113 when an abnormality occurs in the unit 132 controlled by the slave device 122.
  • response data is written by each of the slave devices 121 and 122, but there is a free area R1.
  • the response data is written by each of the slave devices 121 and 122, but there is a free area R2.
  • the processing unit 115 passes through the communication unit 113 so that the abnormality data indicating the information regarding the abnormality of the unit 132 is divided and written for each of the free areas R1, R2, and R3.
  • a request command is sent to the slave device 120.
  • the processing unit 115 acquires a part of the abnormal data written in the free area R1 of the n-cycle data frame in the n-cycle. Further, in the (n + 1) cycle, a part of the abnormal data written in the free area R2 of the data frame in the (n + 1) cycle is acquired. Similarly, in the (n + 2) period, a part of the abnormal data written in the free area R3 of the data frame in the (n + 2) period is acquired. Therefore, the processing unit 115 can acquire abnormality data indicating information regarding the abnormality of the unit 132 in a cycle (3 cycles) different from the communication cycle (constant cycle) of the communication unit 113.
  • the processing unit 115 allocates the abnormal data to the free area of each frame based on the free area of each frame for transmitting and receiving the instruction data and the response data at a fixed cycle and the data amount of the abnormal data.
  • the requested request command is transmitted to the slave device 120.
  • the processing unit 115 acquires the abnormal data allocated to the free area of each frame in response to the request command from the slave device 120 via the communication unit 113. In this way, the processing unit 115 acquires the abnormal data that is divided and included in the plurality of data frames received by the communication unit 113.
  • the priority of communication for transmitting abnormal data can be made lower than the priority of communication for transmitting / receiving instruction data and response data. That is, even if abnormal data needs to be transmitted / received between the master device 110 and the slave device 120, data corresponding to the processing of the slave device 120 that should be executed in the same cycle is transmitted / received over a plurality of cycles. Is prevented. Therefore, it is possible to prevent the data to be transmitted and received in one cycle (one communication cycle) from being delayed between the master device 110 and the slave device 120, and to operate the system 100 without delay.
  • lithography apparatus to which the system 100 as one aspect of the present invention is applied will be described.
  • a lithography device to which the system 100 is applied an exposure device that exposes a substrate to form a pattern on the substrate will be described, but the present invention is not limited thereto.
  • the system 100 can also be applied to a lithography device such as an imprint device for forming a pattern of an imprint material on a substrate using a mold and a drawing device for irradiating a substrate with a charged particle beam to form a pattern.
  • FIG. 7 is a schematic view showing the configuration of the exposure apparatus 10 as one aspect of the present invention.
  • the exposure apparatus 10 projects the pattern of the mask M, which is the original plate, onto the substrate W via the projection optical system 14 to expose the substrate W.
  • the exposure apparatus 10 includes a light source 11, an illumination optical system 12, a mask stage 13, a projection optical system 14, a substrate stage 15, and a main control unit 16. Further, the exposure apparatus 10 includes a first drive unit 21 that drives the mask stage 13, a second drive unit 22 that drives the optical element 14a of the projection optical system 14, and a third drive unit 23 that drives the substrate stage 15. Has. Further, the exposure apparatus 10 includes a mask stage control unit 31, a projection control unit 32, and a substrate stage control unit 33.
  • the first drive unit 21, the second drive unit 22, and the third drive unit 23 function as a mechanism for performing at least a part of the process of forming a pattern on the substrate W.
  • the first drive unit 21, the second drive unit 22, and the third drive unit 23 are controlled by the mask stage control unit 31, the projection control unit 32, and the substrate stage control unit 33, respectively.
  • the main control unit 16 includes, for example, a CPU and a memory (storage unit), and controls the mask stage control unit 31, the projection control unit 32, and the substrate stage control unit 33 to control the entire exposure apparatus 10 (exposure). Each part of the device 10) is controlled.
  • the light source 11 emits light (exposure light).
  • the illumination optical system 12 illuminates the mask M using the light emitted from the light source 11.
  • the mask stage 13 is a stage that holds the mask M, and is configured to be movable in, for example, the x direction and the y direction by the first driving unit 21.
  • the projection optical system 14 projects the pattern of the mask M illuminated by the illumination optical system 12 onto the substrate W.
  • the projection optical system 14 includes, for example, an optical element 14a that can be moved in the x direction by the second driving unit 22.
  • the substrate stage 15 is a stage that holds the substrate W, and is configured to be movable in, for example, the x direction and the y direction by the third drive unit 23.
  • the main control unit 16 when the system 100 is applied, the main control unit 16 is configured as the master device 110, and each of the mask stage control unit 31, the projection control unit 32, and the substrate stage control unit 33 is the slave device 120. It is configured as. Further, each of the first drive unit 21, the second drive unit 22, and the third drive unit 23 is configured as a unit 130. Data transmission / reception between the main control unit 16 and the mask stage control unit 31, the projection control unit 32, and the substrate stage control unit 33 is performed at regular intervals via the network.
  • the main control unit 16 functions as a master device 110, and includes a sequence control unit 111, a plurality of generation units 112, a communication unit 113, a determination unit 114, and a processing unit 115.
  • the trigger condition determined by the determination unit 114 is an abnormality of the substrate stage 15.
  • the sequence control unit 111 transmits a control command for causing the generation unit 112 to generate instruction data according to a predetermined (set) procedure, procedure, or recipe. do.
  • the generation unit 112 which has received the control command from the sequence control unit 111, generates instruction data for causing the board stage control unit 33 to execute the process based on the control command, and transmits the instruction data to the communication unit 113.
  • the communication unit 113 that has received the instruction data from the generation unit 112 writes the instruction data in the data frame of the network 140, and transmits the instruction data to the board stage control unit 33.
  • the board stage control unit 33 that has received the instruction data from the communication unit 113 controls the board stage 15 based on the instruction data.
  • the board stage control unit 33 When the control of the board stage 15 becomes abnormal, the board stage control unit 33 writes the response data indicating the abnormality of the board stage 15 in the data frame of the network 140, and determines the response data in the determination unit 114 (communication unit 113). ).
  • the abnormality in the control of the substrate stage 15 includes, for example, the inability to drive the substrate stage 15 to the instructed position and the inability to attract the substrate W.
  • the determination unit 114 determines that the response data from the board stage control unit 33 indicates an abnormality in the board stage 15, and the response data is transmitted via the communication unit 113 and the generation unit 112. Is transmitted to the sequence control unit 111.
  • the sequence control unit 111 that has received the response data determines that the board stage 15 has become abnormal.
  • the determination unit 114 notifies the processing unit 115 that the response data received by the determination unit 114 indicates an abnormality of the substrate stage 15, that is, an abnormality of the substrate stage 15.
  • the processing unit 115 transmits a request command for requesting abnormality data indicating information regarding the abnormality of the substrate stage 15 to the substrate stage control unit 33 that controls the substrate stage 15 via the communication unit 113.
  • the abnormality data includes the state of the substrate stage 15, specifically, the position of the substrate stage 15, the suction pressure, and the like. Then, the processing unit 115 acquires abnormality data indicating information regarding the abnormality of the board stage 15 from the board stage control unit 33 that has received the request command via the communication unit 113. Further, the processing unit 115 outputs the abnormality data acquired from the board stage control unit 33 as a log.
  • the exposure apparatus 10 is composed of a plurality of mechanisms, and even if an abnormality occurs in one mechanism, it may be necessary to continue control of another mechanism. For example, even if an abnormality occurs in the substrate stage 15, it may be necessary to continue controlling the optical element 14a of the projection optical system 14.
  • a process of acquiring abnormality data from the substrate stage control unit 33 is performed via the communication unit 113.
  • the priority of communication with the board stage control unit 33 (execution priority) performed by the processing unit 115 is lower than the priority of communication with the board stage control unit 33 performed by the communication unit 113.
  • the process of acquiring and outputting abnormal data from the substrate stage control unit 33 does not affect the control of the optical element 14a of the projection optical system 14 at regular intervals.
  • the method for manufacturing an article according to the embodiment of the present invention is suitable for producing an article such as a microdevice such as a semiconductor device or an element having a fine structure, for example.
  • the method for manufacturing an article of the present embodiment includes a step of forming a pattern on a substrate by using the above-mentioned lithography apparatus (exposure apparatus 10), and a step of processing the substrate on which the pattern is formed in such a step. Further, such a manufacturing method includes other well-known steps (oxidation, film formation, vapor deposition, doping, flattening, etching, resist peeling, dicing, bonding, packaging, etc.).
  • the method for producing an article of the present embodiment is advantageous in at least one of the performance, quality, productivity, and production cost of the article as compared with the conventional method.
  • the present invention supplies a program that realizes one or more functions of the above-described embodiment to a system or device via a network or storage medium, and one or more processors in the computer of the system or device reads the program. It can also be realized by the processing to be executed. It can also be realized by a circuit (for example, an ASIC) that realizes one or more functions.
  • a circuit for example, an ASIC

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Small-Scale Networks (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Selective Calling Equipment (AREA)

Abstract

ネットワークを介して接続された被制御装置を制御する制御装置であって、前記被制御装置を制御するための指示データを生成する生成部と、前記ネットワークを介して、一定周期ごとに、前記生成部で生成された前記指示データ又は前記被制御装置からの応答データを含むデータフレームを送受信する通信部と、前記応答データが前記被制御装置によって制御されるユニットの異常を示している場合に、前記通信部により受信された複数の前記データフレームに分割されて含まれる、前記ユニットの異常に関する情報を示す異常データを取得して出力する処理部と、を有することを特徴とする制御装置を提供する。

Description

制御装置、システム、リソグラフィ装置、物品の製造方法、制御方法及びプログラム
　本発明は、制御装置、システム、リソグラフィ装置、物品の製造方法、制御方法及びプログラムに関する。
　マスタ装置（制御装置）とスレーブ装置（被制御装置）との間でデータの送受信を一定の周期ごとに行うシステムでは、かかるシステムの動作中に、マスタ装置がスレーブ装置から情報を取得する必要が生じることがある。特許文献１には、ネットワークを介して通信（送受信）されるデータ量にかかわらず、マスタ装置とスレーブ装置との間で制御用データの通信を確実に行いながら、異常検知用データの取得量の低下を抑制するシステムが提案されている。
特開２０１９－１６９３２号公報
　マスタ装置とスレーブ装置との間でデータの送受信を一定の周期ごとに行うシステムでは、スレーブ装置によって制御されるユニットに異常が発生した場合に、かかる異常に関する情報をスレーブ装置から取得する必要がある。しかしながら、このような場合、マスタ装置とスレーブ装置との間で、制御用データに加えて、ユニットで発生した異常に関する情報（のデータ）を送受信しなければならないため、一周期あたりに送受信するデータの容量が増加してしまう。
　一周期あたりに送受信するデータの容量が増加すると、１つの周期（１回の通信周期）ではデータの送受信が完了せず、複数の周期に跨ってデータの送受信が行われることがある。この場合、本来同一周期で実行すべきスレーブ装置の処理が複数の周期に跨って実行されることになり、システムの動作が遅延してしまう。
　本発明は、マスタ装置とスレーブ装置との間でデータの送受信を行うシステムを遅延なく動作させるのに有利な技術を提供する。
　本発明の一側面としての制御装置は、ネットワークを介して接続された被制御装置を制御する制御装置であって、前記被制御装置を制御するための指示データを生成する生成部と、前記ネットワークを介して、一定周期ごとに、前記生成部で生成された前記指示データ又は前記被制御装置からの応答データを含むデータフレームを送受信する通信部と、前記応答データが前記被制御装置によって制御されるユニットの異常を示している場合に、前記通信部により受信された複数の前記データフレームに分割されて含まれる、前記ユニットの異常に関する情報を示す異常データを取得して出力する処理部と、を有することを特徴とする。
　本発明によれば、例えば、マスタ装置とスレーブ装置との間でデータの送受信を行うシステムを遅延なく動作させるのに有利な技術を提供することができる。
　本発明のその他の特徴及び利点は、添付図面を参照とした以下の説明により明らかになるであろう。なお、添付図面においては、同じ若しくは同様の構成には、同じ参照番号を付す。
　添付図面は明細書に含まれ、その一部を構成し、本発明の実施の形態を示し、その記述と共に本発明の原理を説明するために用いられる。
本発明の一側面としてのシステムの構成を示す概略図である。 図１に示すシステムのマスタ装置の判定部で行われる処理を説明するためのフローチャートである。 図１に示すシステムのマスタ装置の処理部で行われる処理を説明するためのフローチャートである。 図１に示すシステムにおけるデータの流れを説明するための図である。 図１に示すシステムにおけるデータの流れを説明するための図である。 データフレームの一例を示す図である。 本発明の一側面としての露光装置の構成を示す概略図である。
　以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
　＜システム＞
　図１は、本発明の一側面としてのシステム１００の構成を示す概略図である。本実施形態では、システム１００は、図１に示すように、マスタ装置１１０（制御装置）と、マスタ装置１１０に通信可能に接続される複数のスレーブ装置１２０（被制御装置）と、各スレーブ装置１２０に接続されるユニット１３０とを有する。システム１００において、マスタ装置１１０は、スレーブ装置１２０を制御し、スレーブ装置１２０は、ユニット１３０を制御する。
　マスタ装置１１０及び各スレーブ装置１２０は、例えば、ＣＰＵやメモリなどを含むコンピュータ（情報処理装置）によって構成されるが、ボードコンピュータで構成されてもよいし、ボードコンピュータと兼用するように構成されてもよい。また、ユニット１３０は、例えば、サーボモータなどの機構を含む。
　複数のスレーブ装置１２０は、ディジーチェーン方式でマスタ装置１１０に通信可能に接続されている。マスタ装置１１０は、ネットワーク１４０を介して、一定周期ごとに、複数のスレーブ装置１２０とデータの送受信を行う。また、複数のスレーブ装置１２０は、マスタ装置１１０から受信したデータに基づいて、複数のユニット１３０のそれぞれを制御する。
　本実施形態では、マスタ装置１１０に通信可能に接続されるスレーブ装置１２０として２つのスレーブ装置１２１及び１２２を例示しているが、スレーブ装置１２０の数は２つに限定されるものではなく、１つ又は３つ以上であってもよい。また、本実施形態では、各スレーブ装置１２０によって制御されるユニット１３０として２つのユニット１３１及び１３２を例示している。ユニット１３１は、スレーブ装置１２１によって制御され、ユニット１３２は、スレーブ装置１２２によって制御される。
　マスタ装置１１０は、図１に示すように、シーケンス制御部１１１と、複数の生成部１１２と、通信部１１３と、判定部１１４と、処理部１１５とを含む。なお、本実施形態では、通信部１１３が判定部１１４を含むように構成されているが、判定部１１４は、通信部１１３とは別に構成されていてもよい。
　シーケンス制御部１１１は、各スレーブ装置１２０における処理（例えば、ユニット１３０を制御する処理）のシーケンスを制御する。本実施形態では、シーケンス制御部１１１は、予め定められた（設定された）手順、手続き又はレシピに従って、複数の生成部１１２を制御する。
　複数の生成部１１２は、それぞれ、スレーブ装置１２０を制御するための指示データ（制御データ）、具体的には、制御対象とするスレーブ装置１２０における処理を指示するための指示データを生成する。生成部１１２は、例えば、スレーブ装置１２０に対応して、スレーブ装置１２０の数と同じ数だけ設けられる。本実施形態では、２つのスレーブ装置１２１及び１２２のそれぞれを制御対象とする２つの生成部１１２ａ及び１１２ｂが設けられている。生成部１１２ａは、スレーブ装置１２１を制御対象とし、スレーブ装置１２１における処理（例えば、ユニット１３１を制御する処理）を制御するための指示データを生成する。また、生成部１１２ｂは、スレーブ装置１２２を制御対象とし、スレーブ装置１２２における処理（例えば、ユニット１３２を制御する処理）を制御するための指示データを生成する。
　通信部１１３は、ネットワーク１４０を介して、一定周期ごとに、複数のスレーブ装置１２０と通信してデータの送受信を行う。本実施形態では、通信部１１３は、一定周期ごとに、生成部１１２ａ及び１１２ｂで生成された指示データをスレーブ装置１２１及び１２２に送信し、かかる指示データに対する応答データをスレーブ装置１２１及び１２２から受信する。ここで、応答データとは、例えば、指示データによって指示された処理が正常に完了したかどうかを示すデータである。従って、マスタ装置１１０からの指示データによって指示された処理が正常に完了していない場合、例えば、スレーブ装置１２０によって制御されるユニットに異常が発生している場合には、応答データには、ユニット１３０の異常を示すデータが含まれる。
　判定部１１４は、通信部１１３においてスレーブ装置１２０から一定周期で受信した応答データが所定のトリガ条件を満たしているかどうか、具体的には、応答データがユニット１３０の異常を示しているかどうかを判定する。判定部１１４は、通信部１１３で受信した応答データがユニット１３０の異常を示していると判定した場合、処理部１１５に対して、スレーブ装置１２０からユニット１３０の異常に関する情報を示す異常データを取得して出力するように要求する。
　処理部１１５は、判定部１１４からの要求に応じて、通信部１１３を介して、スレーブ装置１２０と通信を行う。かかる通信を介して、処理部１１５は、スレーブ装置１２０からユニット１３０の異常に関する情報を示す異常データを取得し、ログとして出力する（即ち、異常データをログファイルに出力する）。このように、処理部１１５は、通信部１１３で受信した応答データがユニット１３０の異常を示している場合に、スレーブ装置１２０と通信部１１３を介して通信を行って異常データを取得して出力する。ここで、異常データとは、例えば、ユニット１３０の異常に関する情報として、ユニット１３０の状態に関する情報を示すデータである。
　図１に示すネットワーク１４０の一例として、産業用イーサネット（登録商標）の１つであるＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）について説明する。ＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）において、ネットワークに接続されたマスタ装置は、複数のスレーブ装置に対してデータフレームを送信し、複数のスレーブ装置は、マスタ装置から受信したデータフレームにオンザフライでデータを書き込む。この際、マスタ装置と複数のスレーブ装置との間の通信には、ＰＤＯ通信と、ＳＤＯ通信とが用いられる。ＰＤＯ通信とは、プロセスデータオブジェクト（ＰＤＯ：Ｐｒｏｃｅｓｓ　Ｄａｔａ　Ｏｂｊｅｃｔ）と呼ばれるデータを使用して一定周期で通信を行う通信方式である。また、ＳＤＯ通信とは、サービスデータオブジェクト（ＳＤＯ：Ｓｅｒｖｉｃｅ　Ｄａｔａ　Ｏｂｊｅｃｔ）と呼ばれるデータを使用してマスタ装置からの要求に応じて通信を行う通信方式である。ＰＤＯ通信では、一定周期（例えば、１ｍ秒）でデータフレームの送受信が行われるため、データの到達時間が保証される。一方、ＳＤＯ通信では、一周期内で通信が完了するとは限らないため、データの到達時間が保証されない。
　ネットワーク１４０としてＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）を採用する場合には、ネットワーク１４０に接続されるノードのうち、少なくとも１つのノードがマスタ装置１１０として機能し、その他のノードがスレーブ装置１２０として機能する。マスタ装置１１０として機能するノードは、ネットワーク１４０におけるデータフレームの送受信のタイミングなどを管理（制御）する。
　図１に示すシステム１００において、マスタ装置１１０（通信部１１３）は、生成部１１２ａ及び１１２ｂで生成された指示データをＰＤＯ通信のデータフレームに書き込んで、かかるデータフレームをスレーブ装置１２１に送信する。マスタ装置１１０からデータフレームを受信したスレーブ装置１２１は、データフレームに書き込まれた指示データから自身に割り当てられた指示データを読み出し、かかる指示データに対する応答データをデータフレームに書き込む。そして、スレーブ装置１２１は、自身に割り当てられた指示データに対する応答データを書き込んだデータフレームをスレーブ装置１２２に送信する。スレーブ装置１２１からデータフレームを受信したスレーブ装置１２２は、データフレームに書き込まれた指示データから自身に割り当てられた指示データを読み出し、かかる指示データに対する応答データをデータフレームに書き込む。そして、スレーブ装置１２２は、自身に割り当てられた指示データに対する応答でデータを書き込んだデータフレームを、スレーブ装置１２１を介して、マスタ装置１１０に送信する。
　具体的には、スレーブ装置１２１は、マスタ装置１１０から受信したデータフレームから、生成部１１２ａで生成された指示データを読み出し、応答データを書き込んでからデータフレームをスレーブ装置１２２に送信する。スレーブ装置１２２は、スレーブ装置１２１から受信したデータフレームから、生成部１１２ｂで生成された指示データを読み出し、応答データを書き込んでからデータフレームを、スレーブ装置１２１を介して、マスタ装置１１０に送信する。
　このように、マスタ装置１１０とスレーブ装置１２０との間でデータの送受信を一定周期ごとに行うシステム１００では、関節が多い多軸の産業用ロボットなどの登場によって、スレーブ装置１２０及びユニット１３０の数が増加する傾向にある。この場合、マスタ装置１１０とスレーブ装置１２０との間で大容量のデータ（指示データや応答データ）を送受信しなければならず、一周期あたりに送受信するデータの容量が増加してしまう。また、スレーブ装置１２０によって制御されるユニット１３０に異常が発生した場合には、かかる異常に関する情報を示す異常データを、指示データや応答データに加えて、マスタ装置１１０とスレーブ装置１２０との間で送受信する必要がある。但し、一般的には、一周期あたりに送受信可能なデータの容量には制限がある。従って、一周期あたりに送受信するデータの容量が増加すると、１つの周期（１回の通信周期）ではデータの送受信が完了せず、複数の周期に跨ってデータの送受信が行われることになる。この場合、本来同一周期で実行すべきスレーブ装置１２０の処理が複数の周期に跨って実行される（即ち、１つの指示データが複数の周期に分割されて送信される）ことになり、システム１００の動作が遅延してしまう。このようなシステム１００の動作の遅延は、特に、ユニット１３０に異常が発生して、かかる異常に関する情報を示す異常データを、スレーブ装置１２０からマスタ装置１１０に送信しなければならない場合に顕著となる。
　そこで、本実施形態では、スレーブ装置１２０によって制御されるユニット１３０に異常が発生した場合であっても、マスタ装置１１０とスレーブ装置１２０との間でデータの送受信を行うシステム１００を遅延なく動作させるのに有利な技術を提供する。具体的には、本実施形態では、通信部１１３において、スレーブ装置１２０との通信にＰＤＯ通信を用い、処理部１１５において、スレーブ装置１２０との通信に通信部１１３を介したＳＤＯ通信を用いる。
　まず、本実施形態におけるシステム１００において、マスタ装置１１０の判定部１１４で行われる処理について説明する。図２は、判定部１１４で行われる処理を説明するためのフローチャートである。ユーザがシステム１００を起動すると、マスタ装置１１０及び複数のスレーブ装置１２１及び１２２が起動する。そして、マスタ装置１１０と複数のスレーブ装置１２１及び１２２との間で、ネットワーク１４０を介した一定周期ごとのデータの送受信が開始される。これにより、判定部１１４において、図２に示す処理が開始される。
　Ｓ１１において、判定部１１４は、通信部１１３で受信したスレーブ装置１２０からの応答データを監視（確認）する。Ｓ１２において、判定部１１４は、通信部１１３の通信周期（一定周期）でスレーブ装置１２０からの応答データがユニット１３０の異常を示しているかどうかを判定する。応答データがユニット１３０の異常を示している場合には、Ｓ１３に移行する。一方、応答データがユニット１３０の異常を示していない場合には、Ｓ１１に移行する。Ｓ１３において、判定部１１４は、処理部１１５に対して、ＦＩＦＯキューを使用してユニット１３０の異常を通知し、スレーブ装置１２０からユニット１３０の異常に関する情報を示す異常データを取得して出力するように要求する。
　次に、本実施形態におけるシステム１００において、マスタ装置１１０の処理部１１５で行われる処理について説明する。図３は、処理部１１５で行われる処理を説明するためのフローチャートである。ユーザがシステム１００を起動すると、マスタ装置１１０及び複数のスレーブ装置１２１及び１２２が起動する。そして、マスタ装置１１０と複数のスレーブ装置１２１及び１２２との間で、ネットワーク１４０を介した一定周期ごとのデータの送受信が開始される。これにより、処理部１１５において、図３に示す処理が開始される。
　Ｓ２１において、処理部１１５は、判定部１１４からのユニット１３０の異常の通知を監視（確認）する。Ｓ２２において、処理部１１５は、判定部１１４からユニット１３０の異常の通知があったかどうかを判定する。ユニット１３０の異常の通知があった場合には、Ｓ２３に移行する。一方、ユニット１３０の異常の通知がない場合には、Ｓ２１に移行する。Ｓ２３において、処理部１１５は、異常が発生したユニット１３０を制御するスレーブ装置１２０から、通信部１１３を介して、ユニット１３０の異常に関する情報を示す異常データを取得する。Ｓ２４において、処理部１１５は、Ｓ２３で取得した異常データをログとして出力して、Ｓ２１に移行する。
　なお、通信部１１３は、処理部１１５が図３に示す処理を行っている間においても、ネットワーク１４０を介して、一定周期ごとに、複数のスレーブ装置１２１及び１２２とデータの送受信を繰り返し行っている。ここで、処理部１１５の優先度（実行優先度）は、通信部１１３の優先度よりも低くなるように設定されている。これにより、判定部１１４を含む通信部１１３の処理（通信）が処理部１１５の処理よりも優先して行われる。従って、処理部１１５による異常データを取得するための通信の優先度は、通信部１１３による指示データ又は応答データを送受信するための通信の優先度よりも低くなる。更に、判定部１１４から処理部１１５へのユニット１３０の異常の通知は、ＦＩＦＯキューを使用している。これにより、判定部１１４が処理部１１５にユニット１３０の異常を通知する処理（Ｓ１３）と、処理部１１５がスレーブ装置１２０から異常データを取得して出力する処理（Ｓ２４）とを、互いに独立して行うことができる。これらの結果、処理部１１５で行われる、スレーブ装置１２０から異常データを取得して出力する処理が、通信部１１３で行われる、ネットワーク１４０を介して、一定周期ごとに、指示データ又は応答データを送受信する処理に影響を与えることはない。
　以下、実施例１及び２において、本実施形態のシステム１００におけるデータの流れについて説明する。図４及び図５は、本実施形態のシステム１００において、シーケンス制御部１１１と、生成部１１２と、通信部１１３と、判定部１１４と、処理部１１５と、スレーブ装置１２０との間でのデータの流れの一例を示す図である。図４は、スレーブ装置１２０からの応答データがユニット１３０の異常を示していない場合におけるデータの流れの一例（実施例１）を示している。図５は、スレーブ装置１２０からの応答データがユニット１３０の異常を示している場合におけるデータの流れの一例（実施例２）を示している。
　［実施例１］
　図４を参照するに、シーケンス制御部１１１は、予め定められた（設定された）手順、手続き又はレシピに従って、生成部１１２に指示データを生成させるための制御コマンドを生成部１１２に送信する（Ｓ１０１）。シーケンス制御部１１１から制御コマンドを受信した生成部１１２は、かかる制御コマンドに基づいて、スレーブ装置１２０に処理を実行させるための指示データを生成して通信部１１３に送信する（Ｓ１０２）。生成部１１２から指示データを受信した通信部１１３は、ネットワーク１４０のデータフレームに指示データを書き込むことで、かかる指示データをスレーブ装置１２０に送信する（Ｓ１０３）。通信部１１３から指示データを受信したスレーブ装置１２０は、かかる指示データによって指示された処理を実行して、ユニット１３０を制御する。そして、スレーブ装置１２０は、指示データによって指示された処理が完了したら、ネットワーク１４０のデータフレームに応答データを書き込むことで、かかる応答データを判定部１１４（通信部１１３）に送信する（Ｓ１０４）。
　ここで、判定部１１４は、通信部１１３の通信周期（一定周期）で受信したスレーブ装置１２０からの応答データを監視（確認）する。そして、判定部１１４は、かかる応答データがユニット１３０の異常を示しているかどうかを判定する（Ｓ１０５）。実施例１では、応答データは、上述したように、ユニット１３０の異常を示していない。この場合、判定部１１４は、かかる応答データを通信部１１３に送信する（Ｓ１０６）。判定部１１４から応答データを受信した通信部１１３は、かかる応答データを生成部１１２に送信する（Ｓ１０７）。通信部１１３から応答データを受信した生成部１１２は、かかる応答データをシーケンス制御部１１１に送信する（Ｓ１０８）。
　［実施例２］
　図５に示すＳ２０１乃至Ｓ２０４は、図４に示すＳ１０１乃至Ｓ１０４と同様であるため、ここでの詳細な説明は省略する。
　判定部１１４は、通信部１１３の通信周期（一定周期）で受信したスレーブ装置１２０からの応答データを監視（確認）する。そして、判定部１１４は、かかる応答データがユニット１３０の異常を示しているかどうかを判定する（Ｓ２０５）。実施例２では、応答データは、上述したように、ユニット１３０の異常を示している。この場合、判定部１１４で受信した応答データは、通信部１１３及び生成部１１２を介して、シーケンス制御部１１１に送信される（Ｓ２０６、Ｓ２０７、Ｓ２０８）。なお、図５に示すＳ２０６乃至Ｓ２０８は、図４に示すＳ１０６乃至Ｓ１０８と同様であるため、ここでの詳細な説明は省略する。更に、判定部１１４は、判定部１１４で受信した応答データがユニット１３０の異常を示していること、即ち、ユニット１３０の異常を処理部１１５に通知する。処理部１１５は、通信部１１３を介して、異常が発生したユニット１３０を制御するスレーブ装置１２０に対して、ユニット１３０の異常に関する情報を示す異常データを要求する要求コマンドを含む指示データを送信する（Ｓ２１０）。そして、処理部１１５は、要求コマンドを含む指示データを受信したスレーブ装置１２０から、通信部１１３を介して、ユニット１３０の異常に関する情報を示す異常データを取得する（Ｓ２１１）。更に、処理部１１５は、スレーブ装置１２０から取得した異常データをログとして出力する（Ｓ２１２）。
　このように、本実施形態では、ユニット１３０に異常が発生した場合に、処理部１１５は、通信部１１３を介して、スレーブ装置１２０から異常データを取得してログとして出力する。
　ここで、図６を参照して、異常データが書き込まれたデータフレームについて具体的に説明する。図６は、スレーブ装置１２２が制御するユニット１３２で異常が発生した場合に、スレーブ装置１２２から通信部１１３に送信されるデータフレームの一例を示す図である。
　図６に示すように、ｎ周期のデータフレームには、スレーブ装置１２１及び１２２のそれぞれによって応答データが書き込まれているが、空き領域Ｒ１が存在する。また、（ｎ＋１）周期のデータフレームには、スレーブ装置１２１及び１２２のそれぞれによって応答データが書き込まれているが、空き領域Ｒ２が存在する。同様に、（ｎ＋２）周期のデータフレームには、スレーブ装置１２１及び１２２のそれぞれによって応答データが書き込まれているが、空き領域Ｒ３が存在する。本実施形態では、このような空き領域Ｒ１、Ｒ２及びＲ３のそれぞれに対して、ユニット１３２の異常に関する情報を示す異常データが分割して書き込まれるように、処理部１１５から通信部１１３を介してスレーブ装置１２０に要求コマンドを送信する。これにより、処理部１１５は、図６に示すように、ｎ周期目に、ｎ周期のデータフレームの空き領域Ｒ１に書き込まれた異常データの一部を取得する。また、（ｎ＋１）周期目に、（ｎ＋１）周期のデータフレームの空き領域Ｒ２に書き込まれた異常データの一部を取得する。同様に、（ｎ＋２）周期目に、（ｎ＋２）周期のデータフレームの空き領域Ｒ３に書き込まれた異常データの一部を取得する。従って、処理部１１５は、通信部１１３の通信周期（一定周期）とは異なる周期（３周期）で、ユニット１３２の異常に関する情報を示す異常データを取得することができる。このように、処理部１１５は、指示データや応答データを一定周期で送受信するための各フレームの空き領域と、異常データのデータ量とに基づいて各フレームの空き領域に異常データを割り当てるように要求する要求コマンドをスレーブ装置１２０に送信する。そして、処理部１１５は、要求コマンドに対して各フレームの空き領域に割り当てられた異常データをスレーブ装置１２０から通信部１１３を介して取得する。このように、処理部１１５は、通信部１１３により受信された複数のデータフレームに分割されて含まれる異常データを取得する。
　これにより、異常データを送信するための通信の優先度を、指示データ及び応答データを送受信するための通信の優先度よりも低くすることができる。つまり、マスタ装置１１０とスレーブ装置１２０との間で異常データの送受信が必要となっても、同一周期で実行すべきスレーブ装置１２０の処理に対応するデータが複数の周期に跨って送受信されることが防止される。従って、マスタ装置１１０とスレーブ装置１２０との間において、１つの周期（１回の通信周期）で送受信すべきデータが遅延することを回避し、システム１００を遅延なく動作させることができる。
　以上、説明したように、本実施形態によれば、マスタ装置１１０とスレーブ装置１２０との間でデータの送受信を行うシステム１００を遅延なく動作させるのに有利な技術を提供することができる。
　＜リソグラフィ装置＞
　本発明の一側面としてのシステム１００を適用したリソグラフィ装置について説明する。本実施形態では、システム１００を適用したリソグラフィ装置として、基板を露光して基板上にパターンを形成する露光装置について説明するが、これに限定されるものではない。型を用いて基板上のインプリント材のパターンを形成するインプリント装置や荷電粒子線を基板に照射してパターンを形成する描画装置などのリソグラフィ装置にもシステム１００を適用することができる。
　図７は、本発明の一側面としての露光装置１０の構成を示す概略図である。露光装置１０は、原版であるマスクＭのパターンを、投影光学系１４を介して基板Ｗに投影して基板Ｗを露光する。露光装置１０は、光源１１と、照明光学系１２と、マスクステージ１３と、投影光学系１４と、基板ステージ１５と、主制御部１６とを有する。また、露光装置１０は、マスクステージ１３を駆動する第１駆動部２１と、投影光学系１４の光学素子１４ａを駆動する第２駆動部２２と、基板ステージ１５を駆動する第３駆動部２３とを有する。更に、露光装置１０は、マスクステージ制御部３１と、投影制御部３２と、基板ステージ制御部３３とを有する。
　第１駆動部２１、第２駆動部２２及び第３駆動部２３は、基板Ｗにパターンを形成する処理の少なくとも一部を行う機構として機能する。第１駆動部２１、第２駆動部２２及び第３駆動部２３は、それぞれ、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２及び基板ステージ制御部３３によって制御される。また、主制御部１６は、例えば、ＣＰＵやメモリ（記憶部）などを含み、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２及び基板ステージ制御部３３を制御することで、露光装置１０の全体（露光装置１０の各部）を制御する。
　光源１１は、光（露光光）を射出する。照明光学系１２は、光源１１から射出された光を用いてマスクＭを照明する。マスクステージ１３は、マスクＭを保持するステージであって、第１駆動部２１によって、例えば、ｘ方向及びｙ方向に移動可能に構成される。投影光学系１４は、照明光学系１２によって照明されたマスクＭのパターンを基板Ｗに投影する。投影光学系１４は、第２駆動部２２によって、例えば、ｘ方向に移動可能な光学素子１４ａを含む。基板ステージ１５は、基板Ｗを保持するステージであって、第３駆動部２３によって、例えば、ｘ方向及びｙ方向に移動可能に構成される。
　図７に示す露光装置１０において、システム１００を適用する場合、主制御部１６がマスタ装置１１０として構成され、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２及び基板ステージ制御部３３のそれぞれがスレーブ装置１２０として構成される。また、第１駆動部２１、第２駆動部２２及び第３駆動部２３のそれぞれがユニット１３０として構成される。主制御部１６と、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２及び基板ステージ制御部３３との間におけるデータの送受信は、ネットワークを介して、一定周期ごとに行われる。
　ここで、システム１００を適用した露光装置１０において、基板ステージ１５（の制御）に異常が発生した場合について説明する。主制御部１６は、上述したように、マスタ装置１１０として機能し、シーケンス制御部１１１と、複数の生成部１１２と、通信部１１３と、判定部１１４と、処理部１１５とを含む。判定部１１４で判定するトリガ条件は、基板ステージ１５の異常となる。
　基板ステージ１５を制御するために、シーケンス制御部１１１は、予め定められた（設定された）手順、手続き又はレシピに従って、生成部１１２に指示データを生成させるための制御コマンドを生成部１１２に送信する。シーケンス制御部１１１から制御コマンドを受信した生成部１１２は、かかる制御コマンドに基づいて、基板ステージ制御部３３に処理を実行させるための指示データを生成して通信部１１３に送信する。生成部１１２から指示データを受信した通信部１１３は、ネットワーク１４０のデータフレームに指示データを書き込むことで、かかる指示データを基板ステージ制御部３３に送信する。通信部１１３から指示データを受信した基板ステージ制御部３３は、かかる指示データに基づいて、基板ステージ１５を制御する。基板ステージ制御部３３は、基板ステージ１５の制御が異常となった場合、ネットワーク１４０のデータフレームに基板ステージ１５の異常を示す応答データを書き込むことで、かかる応答データを判定部１１４（通信部１１３）に送信する。なお、基板ステージ１５の制御の異常とは、例えば、基板ステージ１５を指示された位置に駆動できないことや基板Ｗを吸着できないことなどを含む。
　本実施形態では、判定部１１４は、基板ステージ制御部３３からの応答データが基板ステージ１５の異常を示していると判定することになり、かかる応答データは、通信部１１３及び生成部１１２を介して、シーケンス制御部１１１に送信される。応答データを受信したシーケンス制御部１１１は、基板ステージ１５が異常となったと判定する。更に、判定部１１４は、判定部１１４で受信した応答データが基板ステージ１５の異常を示していること、即ち、基板ステージ１５の異常を処理部１１５に通知する。処理部１１５は、通信部１１３を介して、基板ステージ１５を制御する基板ステージ制御部３３に対して、基板ステージ１５の異常に関する情報を示す異常データを要求する要求コマンドを送信する。なお、異常データには、基板ステージ１５の状態、具体的には、基板ステージ１５の位置や吸着圧力などが含まれる。そして、処理部１１５は、要求コマンドを受信した基板ステージ制御部３３から、通信部１１３を介して、基板ステージ１５の異常に関する情報を示す異常データを取得する。更に、処理部１１５は、基板ステージ制御部３３から取得した異常データをログとして出力する。
　上述したように、露光装置１０は、複数の機構で構成されており、ある機構に異常が発生しても、他の機構の制御を継続しなければならない場合がある。例えば、基板ステージ１５に異常が発生しても、投影光学系１４の光学素子１４ａの制御を継続しなければならない場合がある。システム１００を適用した露光装置１０では、基板ステージ制御部３３から異常データを取得する処理が、通信部１１３を介して行われる。更に、処理部１１５で行われる基板ステージ制御部３３との通信の優先度（実行優先度）は、通信部１１３で行われる基板ステージ制御部３３との通信の優先度よりも低い。これらの結果、基板ステージ制御部３３から異常データを取得して出力する処理が、一定周期ごとの投影光学系１４の光学素子１４ａの制御に影響を与えることはない。
　＜物品の製造方法＞
　本発明の実施形態にかかる物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、上述したリソグラフィ装置（露光装置１０）を用いて基板上にパターンを形成する工程と、かかる工程でパターンを形成された基板を加工する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程（酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等）を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも１つにおいて有利である。
　＜その他の実施形態＞
　本発明は、上述した実施形態の１つ以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、１つ以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。
　発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。
　本願は、２０２１年１月１３日提出の日本国特許出願特願２０２１－００３７２４を基礎として優先権を主張するものであり、その記載内容の全てを、ここに援用する。

Claims (15)

  1. 　ネットワークを介して接続された被制御装置を制御する制御装置であって、
    　前記被制御装置を制御するための指示データを生成する生成部と、
    　前記ネットワークを介して、一定周期ごとに、前記生成部で生成された前記指示データ又は前記被制御装置からの応答データを含むデータフレームを送受信する通信部と、
    　前記応答データが前記被制御装置によって制御されるユニットの異常を示している場合に、前記通信部により受信された複数の前記データフレームに分割されて含まれる、前記ユニットの異常に関する情報を示す異常データを取得して出力する処理部と、
    　を有することを特徴とする制御装置。
  2. 　前記処理部は、前記データフレームに前記応答データとともに含まれた前記異常データを取得することを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
  3. 　前記処理部は、前記データフレームの空き領域に割り当てられた前記異常データを取得することを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
  4. 　前記処理部は、前記通信部を介して要求コマンドを前記被制御装置に送信し、前記通信部を介して前記異常データを取得することを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
  5. 　前記通信部で受信した前記応答データが前記ユニットの異常を示しているかどうかを判定する判定部を更に有し、
    　前記処理部は、前記通信部で受信した前記応答データが前記ユニットの異常を示していると前記判定部が判定した場合に、前記通信部を介して前記被制御装置と通信を行って前記異常データを取得して出力することを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
  6. 　前記異常データを取得するために行われる前記被制御装置との通信の優先度は、前記指示データ又は前記応答データを送受信するために行われる前記被制御装置との通信の優先度よりも低いことを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
  7. 　前記指示データ又は前記応答データを送受信するために行われる前記被制御装置との通信に、プロセスデータオブジェクトを使用するＰＤＯ通信が用いられ、
    　前記異常データを取得するために行われる前記被制御装置との通信に、サービスデータオブジェクトを使用するＳＤＯ通信が用いられることを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
  8. 　前記異常データは、前記ユニットの状態に関する情報を示すデータを含むことを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
  9. 　前記データフレームは、前記被制御装置によりオンザフライで前記応答データが書き込まれることを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
  10. 　前記ネットワークは、ＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）であることを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
  11. 　ネットワークに接続された被制御装置と、前記被制御装置を制御する制御装置とを有するシステムであって、
    　前記制御装置は、
    　　前記被制御装置を制御するための指示データを生成する生成部と、
    　　前記ネットワークを介して、一定周期ごとに、前記生成部で生成された前記指示データ又は前記被制御装置からの応答データを含むデータフレームを送受信する通信部と、
    　　前記応答データが前記被制御装置によって制御されるユニットの異常を示している場合に、前記通信部により受信された複数の前記データフレームに分割されて含まれる、前記ユニットの異常に関する情報を示す異常データを取得して出力する処理部と、
    　を含むことを特徴とするシステム。
  12. 　基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
    　請求項１１に記載のシステムを有し、
    　前記システムが有する被制御装置は、前記基板にパターンを形成する処理の少なくとも一部を行うユニットを制御することを特徴とするリソグラフィ装置。
  13. 　請求項１２に記載のリソグラフィ装置を用いて基板上にパターンを形成する工程と、
    　前記工程でパターンが形成された前記基板を加工する工程と、
    　加工された前記基板から物品を製造する工程と、
    　を有することを特徴とする物品の製造方法。
  14. 　制御装置によりネットワークに接続された被制御装置を制御する制御方法であって、
    　前記被制御装置を制御するための指示データを生成する第１工程と、
    　前記ネットワークを介して、一定周期ごとに、前記第１工程で生成された前記指示データ又は前記被制御装置からの応答データを含むデータフレームを送受信する第２工程と、
    　前記応答データが前記被制御装置によって制御されるユニットの異常を示している場合に、前記第２工程で受信された複数の前記データフレームに分割されて含まれる、前記ユニットの異常に関する情報を示す異常データを取得して出力する第３工程と、
    　を有することを特徴とする制御方法。
  15. 　請求項１４に記載の制御方法の各工程を、制御装置としてのコンピュータに実行させるためのプログラム。
PCT/JP2021/041705 2021-01-13 2021-11-12 制御装置、システム、リソグラフィ装置、物品の製造方法、制御方法及びプログラム WO2022153655A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202180090248.XA CN116724542A (zh) 2021-01-13 2021-11-12 控制装置、系统、光刻装置、物品制造方法、控制方法和程序
EP21919546.8A EP4243350A1 (en) 2021-01-13 2021-11-12 Control device, system, lithography device, article manufacturing method, control method, and program
KR1020237018711A KR20230096112A (ko) 2021-01-13 2021-11-12 제어장치, 시스템, 리소그래피 장치, 물품의 제조방법, 제어방법 및 프로그램
US18/324,244 US20230296988A1 (en) 2021-01-13 2023-05-26 Control apparatus, system, lithography apparatus, article manufacturing method, control method, and non-transitory storage medium

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021-003724 2021-01-13
JP2021003724A JP2022108621A (ja) 2021-01-13 2021-01-13 制御装置、システム、リソグラフィ装置、物品の製造方法、制御方法及びプログラム

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US18/324,244 Continuation US20230296988A1 (en) 2021-01-13 2023-05-26 Control apparatus, system, lithography apparatus, article manufacturing method, control method, and non-transitory storage medium

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2022153655A1 true WO2022153655A1 (ja) 2022-07-21

Family

ID=82447134

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2021/041705 WO2022153655A1 (ja) 2021-01-13 2021-11-12 制御装置、システム、リソグラフィ装置、物品の製造方法、制御方法及びプログラム

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20230296988A1 (ja)
EP (1) EP4243350A1 (ja)
JP (1) JP2022108621A (ja)
KR (1) KR20230096112A (ja)
CN (1) CN116724542A (ja)
TW (1) TW202232321A (ja)
WO (1) WO2022153655A1 (ja)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09331341A (ja) * 1996-06-10 1997-12-22 Yazaki Corp 自動車の多重伝送方式
JP2016016198A (ja) * 2014-07-10 2016-02-01 Juki株式会社 ミシンの操作パネル及びミシン
JP6192873B1 (ja) * 2016-03-31 2017-09-06 三菱電機株式会社 通信装置、通信システムおよび通信方法
WO2018070518A1 (ja) * 2016-10-14 2018-04-19 オムロン株式会社 通信装置、制御装置および通信方法
JP2019016932A (ja) 2017-07-07 2019-01-31 オムロン株式会社 制御システム、および、制御方法
US20190208108A1 (en) * 2016-09-28 2019-07-04 Kla-Tencor Corporation Direct Focusing with Image Binning in Metrology Tools
JP2021003724A (ja) 2019-06-26 2021-01-14 株式会社神戸製鋼所 積層造形方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09331341A (ja) * 1996-06-10 1997-12-22 Yazaki Corp 自動車の多重伝送方式
JP2016016198A (ja) * 2014-07-10 2016-02-01 Juki株式会社 ミシンの操作パネル及びミシン
JP6192873B1 (ja) * 2016-03-31 2017-09-06 三菱電機株式会社 通信装置、通信システムおよび通信方法
US20190208108A1 (en) * 2016-09-28 2019-07-04 Kla-Tencor Corporation Direct Focusing with Image Binning in Metrology Tools
WO2018070518A1 (ja) * 2016-10-14 2018-04-19 オムロン株式会社 通信装置、制御装置および通信方法
JP2019016932A (ja) 2017-07-07 2019-01-31 オムロン株式会社 制御システム、および、制御方法
JP2021003724A (ja) 2019-06-26 2021-01-14 株式会社神戸製鋼所 積層造形方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20230296988A1 (en) 2023-09-21
JP2022108621A (ja) 2022-07-26
KR20230096112A (ko) 2023-06-29
TW202232321A (zh) 2022-08-16
CN116724542A (zh) 2023-09-08
EP4243350A1 (en) 2023-09-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9244726B2 (en) Network architecture for lithography machine cluster
TW201907297A (zh) 用於半導體檢查及計量系統之可擴展及彈性工作分佈架構
WO2022153655A1 (ja) 制御装置、システム、リソグラフィ装置、物品の製造方法、制御方法及びプログラム
WO2021166565A1 (ja) 制御装置、システム、リソグラフィ装置、物品の製造方法、制御方法、およびプログラム
JP2024040913A (ja) システム、その制御方法およびプログラム
TWI584401B (zh) 光刻設備及物品的製造方法
TW202418785A (zh) 系統、其控制方法和程式
TW202307918A (zh) 控制裝置、系統、基板處理裝置、物品之製造方法、控制方法及程式
US10838307B2 (en) Apparatus and method for operating an apparatus
JP2022136603A (ja) 制御装置、システム、基板処理装置、物品の製造方法、制御方法及びプログラム
JP2023065129A (ja) 制御装置、システム、基板処理装置、物品の製造方法、制御方法及びプログラム
JP2022108621A5 (ja)
JP2019208009A (ja) 基板処理システム、基板処理システムの制御方法、プログラム、および、物品製造方法
JP2023017344A (ja) 制御装置、制御方法、プログラム、基板処理装置、および物品の製造方法
CN107301117B (zh) 数据传输方法、非暂时性存储介质、数据传输设备、光刻装置和制造产品的方法
KR100297486B1 (ko) 스피너시스템의베이크유니트제어장치및방법
JP2008242616A (ja) データ転送方法、データ転送処理部、描画装置並びにシステム
JP2016004881A (ja) リソグラフィ装置、及び物品の製造方法
JP2020144287A (ja) 情報処理装置、制御方法、リソグラフィ装置、物品の製造方法及びプログラム
JP2022158240A (ja) 管理装置、管理方法、およびプログラム
JPH1115679A (ja) プロセス間の通信方法及びその装置
JPWO2023286724A5 (ja)
JP2006511891A (ja) トランザクションを確立するための集積回路および方法
JP2005057566A (ja) 通信制御処理装置及びプログラム
JP2010267742A (ja) 製造装置及びデバイス製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 21919546

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20237018711

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2021919546

Country of ref document: EP

Effective date: 20230605

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 202180090248.X

Country of ref document: CN

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE