JP2022136603A - 制御装置、システム、基板処理装置、物品の製造方法、制御方法及びプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】 周期処理を行いながら、非周期処理の遅延を抑制することができる制御装置を提供する。
【解決手段】 タスクを実行する複数のプロセッサを有し、ネットワークを介して接続されたスレーブ装置を制御する制御装置であって、前記スレーブ装置を制御するための指令データ又は前記スレーブ装置からの応答データを含むデータフレームの周期通信に係る周期処理を実行する周期タスクの実行に要する実行時間を取得する取得部と、前記周期通信の周期と前記実行時間とに基づき前記周期タスクを実行するプロセッサを前記複数のプロセッサのうちから決定する決定部と、を有し、決定された前記プロセッサにおいて前記周期タスクが実行される。
【選択図】 図４

Description

本発明は、制御装置、システム、基板処理装置、物品の製造方法、制御方法及びプログラムに関する。

マスタ装置とスレーブ装置との間でデータの送受信（通信）を行うシステムでは、一定の周期ごとに通信（周期通信）を行うものがある。特許文献１では、第１のタスクを第１の制御周期で実行するための第１の演算部と、第２の制御周期で実行するための第２の演算部と、状況に応じて実行される第３のタスクを実行するための第３の演算部と、を含む制御装置が開示されている。つまり、特許文献１では、周期的に処理される第１、２のタスクと非周期的に処理される第３のタスクとが、それぞれ異なる演算部で実行されることが開示されている。

特開２０２０－８６４８１号公報

マスタ装置とスレーブ装置との間で通信を行うシステムでは、マスタ装置と接続するスレーブ装置の数が増加することにより、マスタ装置の処理部において実行される周期処理に係るタスク（周期タスク）の実行に要する時間（実行時間）が増加する。また、スレーブ装置を制御するための処理の複雑度が増加することによっても、マスタ装置の処理部において実行される周期タスクの実行時間が増加する。また、周期処理は周期内で完了させる必要があることから非周期的に実行される非周期処理よりも高い優先度で実行される。その結果、非周期処理に係るタスク（非周期タスク）が実行される処理部に周期タスクが割り当てられることがある。そのことにより、周期タスクが完了するまで非周期タスクが処理待ちの状態になり、非周期タスクの完了が遅延する可能性がある。

そこで、本発明は、一定の周期でスレーブ装置と通信を行うための周期処理を行いながら、非周期処理の遅延を抑制することができる制御装置、システム、基板処理装置等を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の一側面としての制御装置は、タスクを実行する複数のプロセッサを有し、ネットワークを介して接続されたスレーブ装置を制御する制御装置であって、前記スレーブ装置を制御するための指令データ又は前記スレーブ装置からの応答データを含むデータフレームの周期通信に係る周期処理を実行する周期タスクの実行に要する実行時間を取得する取得部と、前記周期通信の周期と前記実行時間とに基づき前記周期タスクを実行するプロセッサを前記複数のプロセッサのうちから決定する決定部と、前記周期タスクが決定された前記プロセッサにおいて実行されることにより、前記ネットワークを介して前記周期ごとに前記データフレームを通信する通信部と、を有する。

本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される実施形態によって明らかにされるであろう。

本発明によれば、一定の周期でスレーブ装置と通信を行うための周期処理を行いながら、非周期処理の遅延を抑制することができる制御装置、システム、基板処理装置等が提供される。

システムの構成を示す図である。 マスタ装置の構成を示す図である。 処理部の構成を示す図である。 タスクの実行処理を示すフローチャートである。 タスクを実行するプロセッサの決定処理を示すフローチャートである。 第１実施形態に係るタスクの割り当て処理の例を示した図である。 第１実施形態に係るタスクの実行スケジュールの例を示した図である。 第１実施形態に係るタスクの割り当て処理の他の例を示した図である。 第２実施形態に係るタスクの割り当て処理の例を示した図である。 第２実施形態に係るタスクの実行スケジュールの例を示した図である。 露光装置の構成を示す図である。

以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。更に、添付図面においては、同一もしくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。

＜第１実施形態＞
図１は、システム１００の構成を示す図である。システム１００は、マスタ装置１１０（制御装置）と、マスタ装置１１０に通信可能に接続される複数のスレーブ装置１２０と、スレーブ装置１２１、１２２、及び１２３のそれぞれに通信可能に接続されるユニット１３１、１３２、及び１３３とを有する。ここで、以降の記載では、スレーブ装置１２１、１２２、及び１２３を総称して、単にスレーブ装置１２０と称することがある。また、同様に以降の記載では、ユニット１３１、１３２、及び１３３を総称して、単にユニット１３０と称することがある。

システム１００において、マスタ装置１１０は、スレーブ装置１２０を制御し、スレーブ装置１２０は、ユニット１３０を制御する。ここで、図１では、マスタ装置１１０およびスレーブ装置１２０は、通信可能に接続されたコンピュータ（情報処理装置）によって実現されうるが、ボードコンピュータで構成されてもよいし、ボードコンピュータと兼用するように構成されてもよい。また、ユニット１３０は、例えば入力リレーや各種センサ、サーボモータ、その他任意のアクチュエータ等の機構であり、スレーブ装置１２０によって制御されうる。

スレーブ装置１２０は、ディジーチェーン方式でマスタ装置１１０に通信可能に接続されている。マスタ装置１１０は、ネットワーク１４０を介して、一定周期ごとに、スレーブ装置１２０とデータの通信（周期通信）を行う。また、スレーブ装置１２０は、マスタ装置１１０から受信したデータに基づいて、ユニット１３０をそれぞれ制御する。

次に、ネットワーク１４０の一例として、産業用イーサネット（登録商標）の１つであるＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）について説明する。ＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）において、ネットワークを介して接続されたマスタ装置は、複数のスレーブ装置に対してデータフレームを送信し、複数のスレーブ装置が受信したデータフレームにオンザフライでデータを書き込む。この際、マスタ装置と複数のスレーブ装置との間の通信には、ＰＤＯ通信と、ＳＤＯ通信とが用いられる。ＰＤＯ通信とは、プロセスデータオブジェクト（ＰＤＯ：Ｐｒｏｃｅｓｓ Ｄａｔａ Ｏｂｊｅｃｔ）と呼ばれるデータを使用して一定周期で通信を行う通信方式である。また、ＳＤＯ通信とは、サービスデータオブジェクト（ＳＤＯ：Ｓｅｒｖｉｃｅ Ｄａｔａ Ｏｂｊｅｃｔ）と呼ばれるデータを使用してマスタ装置からの要求に応じて通信を行う通信方式である。ＰＤＯ通信では、一定周期（例えば、１ｍ秒）でデータフレームの通信が完了するため、データの到達時間が保証される。一方、ＳＤＯ通信では、一周期内で通信が完了するとは限らないため、データの到達時間が保証されない。

ネットワーク１４０としてＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）を採用する場合には、ネットワーク１４０に接続されるノードのうち、少なくとも１つのノードがマスタ装置１１０として機能し、その他のノードがスレーブ装置１２０として機能しうる。マスタ装置１１０として機能するノードは、ネットワーク１４０におけるデータフレームの通信タイミングなどを管理（制御）する。

ここで、システム１００は、マスタ装置１１０に通信可能に接続されるスレーブ装置１２０として３つのスレーブ装置１２１、１２２、及び１２３を有するが、スレーブ装置１２０の数は３つに限られるものではない。また、システム１００は、スレーブ装置１２０により制御されるユニット１３０として３つのユニット１３１、１３２、及び１３３を有する。ユニット１３１はスレーブ装置１２１によって制御され、ユニット１３２はスレーブ装置１２２によって制御され、ユニット１３３はスレーブ装置１２３によって制御される。本実施形態では、それぞれのスレーブ装置１２０にそれぞれのユニット１３０が１つずつ対応しているが、１つのスレーブ装置が制御するユニットは複数になりうる。

また、ユニット１３０は、例えば、物体を駆動するためのサーボモータとすることができる。サーボモータは、高い制御精度が要求されるため、周期的な制御が必要とされる。周期的な制御を実現するための通信が遅延した場合、サーボモータの動作が遅延するという問題が発生する可能性がある。また、駆動対象の物体を目標位置に精度よく位置決めできないという問題や駆動対象の物体が物理的な干渉を起こすという問題が発生する可能性もある。

図２は、マスタ装置の構成を示す図である。図２において、処理部１１０１は、ＯＳ（Ｏｐｅｒａｔｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ）及び各種アプリケーションプログラムを実行する中央演算処理部（ＣＰＵ）ある。また、処理部１１０１は、例えば、複数のＣＰＵを有するマルチＣＰＵ、又は複数のコアを有するマルチコアＣＰＵであり、並列にタスクを処理することができるプロセッサ１１１１、１１１２、及び１１１３を有する。図２では、３つのプロセッサ１１１１、１１１２、及び１１１３を例示しているが、プロセッサの数は３つに限られるものではなく、２つ以上であればよい。また、処理部１１０１は中央演算処理部（ＣＰＵ）にだけでなく、マイクロプロセッシングユニット（ＭＰＵ）、グラフィクスプロセッシングユニット（ＧＰＵ）、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）等のプロセッサ又は回路の組合せから構成されてもよい。ここで、以降の記載では、プロセッサ１１１１、１１１２、及び１１１３を総称して単にプロセッサ１１１０と称することがある。

ＲＯＭ１１０２は、処理部１１０１が実行するプログラムや演算用のパラメータのうちの固定的なデータを格納するメモリである。ＲＡＭ１１０３は、処理部１１０１の作業領域やデータの一時記憶領域を提供するメモリである。ＲＯＭ１１０２及びＲＡＭ１１０３は、バス１１０８を介して処理部１１０１に接続される。１１０５はマウス、キーボードなどを含む入力装置（入力装置）、１１０６はＣＲＴや液晶ディスプレイなどの表示装置（表示装置）である。また、入力装置１１０５及び表示装置１１０６は、タッチパネル等の一体型の装置であってもよい。また、入力装置１１０５及び表示装置１１０６は、コンピュータとは別体の装置として構成されてもよい。１１０４は、ハードディスク装置、ＣＤ、ＤＶＤ、メモリカード等の記憶装置であり、各種プログラムや各種データ等を記憶する。入力装置１１０５、表示装置１１０６、及び記憶装置１１０４はそれぞれ、不図示のインタフェースを介してバス１１０８に接続されている。また、ネットワークを介して通信を行うための通信装置１１０７も、バス１１０８に接続されている。通信装置１１０７は、例えばＬＡＮに接続してＴＣＰ／ＩＰ等の通信プロトコルによるデータ通信を行い、他の通信装置と相互に通信を行う場合に使用される。通信装置１１０７は、データの送信部および受信部として機能し、例えば、スレーブ装置１２０内の送信部（不図示）から応答データを受信して、ＲＡＭ１１０３又は記憶装置１１０４に記憶する。

図３は処理部１１０１の構成を示す図である。処理部１１０１は、生成部１１２、通信部１１３、取得部１１４、及び決定部１１５を有する。生成部１１２は各スレーブ装置１２０を制御するための指令データを生成する。通信部１１３は各スレーブ装置１２０との間で指令データ等のデータを通信する。取得部１１４は、生成部１１２、通信部１１３等が実行するタスクの実行に要する時間（実行時間）などの情報を取得する。ここで、タスクとは、生成部１１２、通信部１１３等が実行する処理の単位であり、それぞれのタスクは処理部１１０１のいずれかのプロセッサで実行される。決定部１１５は、タスクを実行するプロセッサを決定する。

マスタ装置１１０は、生成部１１２に生成タスク１１２０を実行させて、各スレーブ装置１２０を制御するための指令データを生成させる。また、マスタ装置１１０は、通信部１１３に通信タスク１１３０を実行させて、ネットワーク１４０を介して、指令データをスレーブ装置１２０に送信して、スレーブ装置１２０からの応答データを受信させる。また、マスタ装置１１０がスレーブ装置１２０との間で周期通信を行うために周期的に実行される生成タスク１１２０及び通信タスク１１３０を周期タスクとする。また、マスタ装置１１０は、周期通信以外の処理を実行するための非周期タスク１１６０を実行させることもある。例えば、非周期タスク１１６０が行う処理には、任意のタイミングで通信を行い他の装置を制御するための処理や、マスタ装置１１０と接続する上位の装置（例えば、ホストコンピュータなど）からの任意のタイミングで指令を受けて行う処理などがある。

生成タスク１１２０は、制御対象とするスレーブ装置１２０に対応して設けられ、本実施形態では、例えば、３個のスレーブ装置１２１、１２２、及び１２３をそれぞれ制御対象とする３個の生成タスク１１２１、１１２２、及び１１２３が設けられている。生成タスク１１２１はスレーブ装置１２１を制御対象としており、スレーブ装置１２１での処理を制御するための指令データを生成する。また、生成タスク１１２２は、スレーブ装置１２２を制御対象としており、スレーブ装置１２２での処理を制御するための指令データを生成する。また、生成タスク１１２３は、スレーブ装置１２３を制御対象としており、スレーブ装置１２３での処理を制御するための指令データを生成する。本実施形態の例では、生成タスク１１２０とスレーブ装置１２０とは同数であるが、１つのスレーブ装置１２０に対して生成タスク１１２０の数が１つ以上であればよく、生成タスク１１２０とスレーブ装置１２０とは必ずしも同数である必要はない。

次に、本実施形態に係るタスクの実行処理について説明する。図４は、タスクの実行処理を示すフローチャートである。まず、図４における処理について説明する。Ｓ１０１において、取得部１１４は、処理部１１０１のプロセッサの数、周期通信における周期などの情報を記憶装置１１０４から取得し、取得した情報を決定部１１５に通知する。

Ｓ１０２において、取得部１１４は、生成タスク１１２０及び通信タスク１１３０が処理部１１０１において実行される実行時間を記憶装置１１０４から取得して、決定部１１５に通知する。ここで、タスクの実行時間は、例えば、タスクが実行されたときの実行時間を予め計測されることにより取得される。また、タスクの実行時間は、タスクを構成するプログラムのステップ数と処理部１１０１の演算能力（クロック周波数等の処理部１１０１の演算能力の指標となる数値等）から実行時間を予め算出することにより取得されてもよい。

Ｓ２００において、決定部１１５は、マスタ装置１１０と各スレーブ装置１２０との間で行われる周期通信の１周期の時間（周期）と各タスクの実行時間とに基づいて、タスクを実行するプロセッサを決定する。具体的には、各タスクをプロセッサ１１１１、１１１２、及び１１１３のうちいずれのプロセッサで、どのような順番で実行させるかを決定する。

ここで、Ｓ２００における処理を、図５を用いて詳細に説明する。図５は、タスクを実行するプロセッサの決定処理を示すフローチャートである。Ｓ２０１において、決定部１１５は、取得部１１４により取得された周期通信の周期と、通信タスク１１３０の実行時間から、処理部１１０１の各プロセッサにおいて周期内に生成タスク１１２０の実行のための空き時間を取得する。具体的には、Ｓ１０１で取得された周期をＴｃ、Ｓ１０２で取得された通信タスク１１３０の実行時間をＴｉｏとしたとき、処理部１１０１の各プロセッサにおける空き時間Ｔｂは、Ｔｂ＝Ｔｃ－Ｔｉｏと算出される。

ここで、通信タスク１１３０の動作について説明する。通信タスク１１３０は、ネットワーク１４０を介して、ある周期の最初にスレーブ装置１２０と周期通信を行う。例えば、通信タスク１１３０は、ネットワーク１４０を介して、前の周期において生成タスク１１２０により生成された指令データを、スレーブ装置１２０に送信するとともに、スレーブ装置１２０から応答データを受信する。応答データとは、例えば、指令データによって指令された処理が完了したか否かを示すデータである。そして、通信タスク１１３０により受信された応答データを入力データとして、生成タスク１１２０が次にスレーブ装置に送信する指令データを生成する。そのため、その周期における通信タスク１１３０の受信処理が完了しないと、生成タスク１１２０が処理を開始することができないという制約がある。よって、空き時間Ｔｂは周期Ｔｃから通信タスクの実行時間Ｔｉｏを減じた時間になる。つまり、空き時間Ｔｂは、処理部１１０１の各プロセッサにおいて生成タスク１１２０が周期内に処理を完了することができる最大時間である。

ここで、決定部１１５は、処理部１１０１のプロセッサに対応するグループを処理部１１０１のプロセッサの数だけ用意し、各グループに生成タスク１１２０を割り当てる。そして、グループに割り当てられた生成タスク１１２０は、割り当てられたグループに対応する、処理部１１０１のプロセッサにおいて実行される。よって、生成タスク１１２０の実行時間がグループに対応するプロセッサの空き時間Ｔｂに収まるように生成タスク１１２０がグループに割り当てられれば、生成タスク１１２０は周期内に処理を完了することができる。また、複数の生成タスク１１２０の実行時間の合計が空き時間Ｔｂに収まれば、１つのグループに複数の生成タスク１１２０を割り当てることも可能である。以下では、グループに対応するプロセッサの空き時間を、グループの空き時間とすることもある。また、処理部１１０１のプロセッサがｎ個（ｎは２以上の自然数）存在して、対応するグループもｎ個存在する場合、それぞれの空き時間をＴｂ１～Ｔｂｎとする。なお、グループにタスクを割り当てる前は、Ｔｂ１～Ｔｂｎのそれぞれの値はＴｂと等しい。

次に、Ｓ２０２からＳ２０８の処理において、決定部１１５は、最大でｎ回の繰り返し処理（第１繰り返し処理）を行い、グループへ生成タスク１１２０を割り当てる。ここでは、一例として、Ｓ２０２からＳ２０８の処理において、決定部１１５は、Ｘ番目（Ｘは、１≦Ｘ≦ｎの自然数）のグループ（グループＸ）にタスクを割り当てることとし、グループＸの空き時間をＴｂｘとした場合の処理について説明する。

次に、Ｓ２０３からＳ２０７の処理において、決定部１１５は、グループに割り当てられていない生成タスク１１２０の数だけ繰り返し処理（第２繰り返し処理）を行い、グループＸへの生成タスク１１２０の割り当てを決定する。ここで、グループに割り当てられていない生成タスク１１２０がｍ個（ｍは１以上の自然数）存在する場合、決定部１１５は、最大でｍ回の繰り返し処理を行い、グループＸへの生成タスク１１２０の割り当てを決定する。また、決定部１１５は、グループＸに生成タスク１１２０を割り当てるにあたり、グループに割り当てられていない生成タスク１１２０のそれぞれについて繰り返し処理を行う。また、決定部１１５は、生成タスク１１２０に対応する実行時間が長い順に生成タスク１１２０についての繰り返し処理を行う。

ここで、ｍ個の生成タスク１１２０が存在して、それぞれの生成タスク１１２０に対応する実行時間をＴｔ１～Ｔｔｍとする。また、以下では、処理対象の生成タスク１１２０を生成タスクＹとし、生成タスクＹの実行時間をＴｔｙとする。

次に、Ｓ２０４において、決定部１１５は、生成タスクＹがグループＸの空き時間Ｔｂｘで実行可能か否かを判定する。具体的には、決定部１１５は、Ｔｂｘ≧Ｔｔｙが真であるか否かを判定する。生成タスクＹがグループＸの空き時間Ｔｂｘで実行可能と判定された場合（Ｔｂｘ≧Ｔｔｙが真、Ｓ２０４がＹｅｓ）、決定部１１５はＳ２０５に処理を進める。また、生成タスクＹがグループＸの空き時間Ｔｂｘで実行可能でないと判定された場合（Ｔｂｘ≧Ｔｔｙが真でない、Ｓ２０４がＮｏ）、決定部１１５はＳ２０３に処理を戻す。そして、決定部１１５は、次に実行時間の長いタスクを処理対象の生成タスクＹとして次の第２繰り返し処理を実行する。

Ｓ２０５において、決定部１１５は、生成タスクＹをグループＸに割り当てる。そして、Ｓ２０６において、決定部１１５は、グループＸの空き時間Ｔｂｘから、割り当てた生成タスクＹの実行時間Ｔｔｙを減算し、グループＸの空き時間Ｔｂｘを更新する。具体的には、グループＸの空き時間Ｔｂｘは、Ｔｂｘ－Ｔｔｙにより更新される。

Ｓ２０７において、グループに割り当てられていない生成タスク１１２０のうちすべての生成タスク１１２０に対して処理を行っていない場合は、決定部１１５は、Ｓ２０３に処理を戻して、次の生成タスク１１２０についてＳ２０３からＳ２０７の処理を行う。また、グループに割り当てられていない生成タスク１１２０のうちすべての生成タスク１１２０に対して処理を行った場合は、決定部１１５は、Ｓ２０３からＳ２０７の処理を終了させる。

Ｓ２０８において、すべてのグループに対して処理が行われていない場合、決定部１１５は、Ｓ２０２に処理を戻して、次のグループについてＳ２０２からＳ２０８の処理を行う。す。また、すべてのグループに対して処理が行われた場合、決定部１１５は、Ｓ２０２からＳ２０８の処理を終了させる。

ここで、図６を用いて、グループにタスクを割り当てる処理について説明する。図６は、本実施形態に係るタスクの割り当て処理の例を示した図である。まず、図６（ａ）を参照して、周期通信の周期と各タスクの実行時間について説明する。図６（ａ）の例では、周期通信の周期Ｔｃ、通信タスク１１３０の実行時間Ｔｉｏ、生成タスク１１２１、１１２２、及び１１２３の実行時間Ｔｔ１、Ｔｔ２、及びＴｔ３を以下の式（１）～（５）の通りとする。
Ｔｃ＝１［ｍｓｅｃ］ ・・・（１）
Ｔｉｏ＝２００［μｓｅｃ］・・・（２）
Ｔｔ１＝４００［μｓｅｃ］・・・（３）
Ｔｔ２＝７００［μｓｅｃ］・・・（４）
Ｔｔ３＝３００［μｓｅｃ］・・・（５）

また、前述の通り、取得部１１４は、これらの実行時間を取得して、決定部１１５に通知するものとする（Ｓ１０２）。

次に、決定部１１５は、割り当てるグループの空き時間Ｔｂを取得する（Ｓ２０１）。空き時間Ｔｂ＝Ｔｃ－Ｔｉｏであるため、Ｔｂ＝８００［μｓｅｃ］となる。また、処理部１１０１のプロセッサの数が３個であることから、割り当てるグループも３個となる。そして、各グループにタスクを割り当てる前の時点では、それぞれのグループの空き時間Ｔｂ１、Ｔｂ２、Ｔｂ３は、Ｔｂ＝Ｔｂ１＝Ｔｂ２＝Ｔｂ３＝８００［μｓｅｃ］である。

次に、決定部１１５は、グループへ生成タスク１１２０を割り当てる（Ｓ２０２～Ｓ２０８）。まず、Ｓ３０１に示すように、決定部１１５は、グループ１に対して、実行時間の長い順番にタスクを割り当てていく。生成タスク１１２２の実行時間Ｔｔ２が７００［μｓｅｃ］であり、３つの生成タスクのうちで最も長い。ここで、Ｔｂ１≧Ｔｔ２であるため、決定部１１５は、生成タスク１１２２をグループ１に割り当てる。そして、決定部１１５は、グループ１の空き時間Ｔｂ１からＴｔ２を減算した値で、Ｔｂ１を更新する（Ｓ２０６）。更新後の空き時間Ｔｂ１は、Ｔｂ１－Ｔｔ２＝１００［μｓｅｃ］となる。

次に、決定部１１５は、グループ１の空き時間Ｔｂ１で他の生成タスクが実行可能か否かを判定する（Ｓ２０４）。ここで、グループに割り当てられていない生成タスクの中で、最も実行時間の長いタスクは生成タスク１１２１である。生成タスク１１２１の実行時間はＴｔ１＝４００［μｓｅｃ］であり、グループ１の空き時間Ｔｂ１は１００［μｓｅｃ］である。よって、決定部１１５は、グループ１の空き時間Ｔｂ１で生成タスク１１２１は実行可能ではないと判定する。

そして、決定部１１５は、次に実行時間の長い生成タスク１１２３についても、実行可能か否かを判定する（Ｓ２０４）。生成タスク１１２３の実行時間Ｔｔ３＝３００［μｓｅｃ］であるため、決定部１１５は、グループ１の空き時間Ｔｂ１で生成タスク１１２３も実行可能ではないと判定する。グループ１に対して割り当て可能な生成タスクはもう存在しないため、決定部１１５は、グループ１に対して生成タスクを割り当てる処理は終了し、グループ２に対して生成タスクを割り当てる処理へ進む。

次に、Ｓ３０２に示すように、決定部１１５は、グループ２に対して、グループに割り当てられていない生成タスクを割り当てる。決定部１１５は、グループ２の空き時間Ｔｂ２で、グループに割り当てられていない生成タスクが実行可能か否かを判定する（Ｓ２０４）。ここで、グループに割り当てられていない生成タスクの中で、最も実行時間の長いタスクは生成タスク１１２１である。生成タスク１１２１の実行時間はＴｔ１＝４００［μｓｅｃ］であり、グループ１の空き時間Ｔｂ１は８００［μｓｅｃ］である。よって、Ｔｂ２≧Ｔｔ１であるため、決定部１１５は、生成タスク１１２１をグループ２に割り当てる。そして、決定部１１５は、グループ２の空き時間Ｔｂ２からＴｔ１を減算した値で、Ｔｂ２を更新する（Ｓ２０６）。更新後の空き時間Ｔｂ２は、Ｔｂ２－Ｔｔ１＝４００［μｓｅｃ］となる。

次に、Ｓ３０３に示すように、決定部１１５は、更にグループ２に対して、グループに割り当てられていない生成タスクを割り当てる。決定部１１５は、グループ２の空き時間Ｔｂ２で、グループに割り当てられていない生成タスクが実行可能か否かを判定する（Ｓ２０４）。ここで、グループに割り当てられていない生成タスクの中で、最も実行時間の長いタスクは生成タスク１１２３である。生成タスク１１２３の実行時間はＴｔ３＝３００［μｓｅｃ］であり、グループ２の空き時間Ｔｂ２は４００［μｓｅｃ］である。よって、Ｔｂ２≧Ｔｔ３であるため、決定部１１５は、生成タスク１１２３をグループ２に割り当てる。そして、決定部１１５は、グループ２の空き時間Ｔｂ２からＴｔ３を減算した値で、Ｔｂ２を更新する（Ｓ２０６）。更新後の空き時間Ｔｂ２は、Ｔｂ２－Ｔｔ３＝１００［μｓｅｃ］となる。なお、図６（ｂ）の例では、グループ３には、生成タスクが割り当てられていないこととなる。ここまでの処理で、すべての生成タスクについて、グループへの割り当てが完了したため、決定部１１５は、Ｓ２０２からＳ２０８の処理を終了させる。

次に、図４に戻り、Ｓ１０３からの処理について説明する。Ｓ１０３において、決定部１１５は、所定の条件を満たすか否かを判定する。所定の条件を満たす場合、決定部１１５はＳ１０４に処理を進める。また、所定の条件を満たさない場合、決定部１１５はＳ１０５に処理を進める。

ここで、所定の条件は、プロセッサ１１１０に対応するグループの空き時間（処理部１１０１の空き時間）が予め定められた時間以上であることとすることができる。ここで、処理部１１０１の空き時間は、複数のプロセッサ（図２の例では、プロセッサ１１１１、１１１２、及び１１１３）のそれぞれの空き時間の合計とすることができる。また、所定の条件の判定基準である予め定められた時間は、例えば、周期的な処理の１周期の時間に設定することができる。また、例えば、予め定められた時間は、ユーザによって任意に設定された時間とすることができる。

また、所定の条件は、複数のプロセッサのうち、少なくとも１つのプロセッサの空き時間が予め定められた時間以上であることとすることができる。予め定められた時間は上記と同様に、周期的な処理の１周期の時間としてもよいし、ユーザによって任意に設定された時間としてしてもよい。

また、所定の条件は、Ｓ２００において全ての生成タスク１１２０がグループに割り当てられた状態で、生成タスク１１２０が割り当てられていないグループの数が所定の数以上であることとすることができる。例えば、生成タスク１１２０が割り当てられていないグループの数が１以上あれば条件を満たすこととすることができ、図６（ｂ）の例では、その条件を満たす。

また、所定の条件は、Ｓ２００において全ての生成タスク１１２０がグループに割り当てられたこととすることができる。つまり、グループに割り当てられなかった生成タスク１１２０が１つでもあれば条件を満たさないとすることができる。

また、上記のような複数の条件を組み合わせて、所定の条件とすることもできる。このとき、複数の条件のうち少なくとも１つの条件を満たす場合に所定の条件を満たすとしてもよいし、複数の条件のうちすべての条件を満たす場合に所定の条件を満たすとしてもよい。

Ｓ１０４において、決定部１１５は、各グループに割り当てられた生成タスク１１２０を、各グループに対応する処理部１１０１に実行させる。ここで、図７を用いて、グループに割り当てられた生成タスク１１２０を処理部１１０１に実行させる処理について説明する。図７は、本実施形態に係るタスクの実行スケジュールの例を示した図である。縦軸が時間を表し第１～３の周期通信の期間が図示されており、タスク毎に処理が実行されるスケジュールが示されている。図７においては、処理部１１０１において実行されるタスクとして、通信タスク１１３０と、生成タスク１１２１、１１２２、１１２３と、非周期タスク１１６０とが存在する場合を例示している。

非周期タスク１１６０は、図７において図示された第１の通信周期よりも以前から、プロセッサ１１１３において実行されている（１）。また、通信タスク１１３０は、第１の通信周期の最初に、プロセッサ１１１１おいて実行される（２）。

ここで、通信タスク１１３０と生成タスク１１２０の処理について説明する。生成タスク１１２０は、スレーブ装置１２０を制御するための指令データを生成する。そして、生成タスク１１２０は、生成された指令データをデータフレームに書き込む。具体的には、生成タスク１１２１、１１２２、及び１１２３により、それぞれスレーブ装置１２１、１２２、及び１２３に対する指令データが生成され、データフレームにおいて、スレーブ装置１２１、１２２、及び１２３に割り当てられた領域に書き込まれる。

通信タスク１１３０は、指令データが書き込まれたデータフレームをスレーブ装置１２１へ送信する。送信されたデータフレームを受信したスレーブ装置１２１は、データフレームに書き込まれた指令データのうち自身に割り当てられた指令データを読み出し、かかる指令データに対する応答データをデータフレームに書き込む。そして、スレーブ装置１２１は、応答データを書き込んだデータフレームを次のスレーブ装置１２２へ送信する。次に、スレーブ装置１２１からデータフレームを受信したスレーブ装置１２２は、データフレームに書き込まれた指令データのうち自身に割り当てられた指令データを読み出し、かかる指令データに対する応答データをデータフレームに書き込む。そして、スレーブ装置１２２は、応答データを書き込んだデータフレームを次のスレーブ装置１２３へ送信する。次に、スレーブ装置１２２からデータフレームを受信したスレーブ装置１２３は、データフレームに書き込まれた指令データのうち自身に割り当てられた指令データを読み出し、かかる指令データに対する応答データをデータフレームに書き込む。そして、スレーブ装置１２３は応答データを書き込んだデータフレームを、スレーブ装置１２２、及び１２１を介して、マスタ装置１１０に送信する。

マスタ装置１１０に送信されたデータフレームは、通信タスク１１３０によって読み出され、マスタ装置１１０が持つ記憶装置（不図示）に記憶される。ここで、記憶装置は、データフレームなどのデータを格納するバッファとして機能して、例えば、ＣＰＵの作業領域やデータの一時記憶領域を提供するメモリであるＲＡＭや、ハードディスク装置、ＣＤ、ＤＶＤ、メモリカード等の記憶装置などでありうる。そして、データフレームが記憶装置に記憶されることにより、生成タスク１１２０がスレーブ装置１２０から送信された応答データを参照することができる状態となる。また、通信タスク１１３０がデータフレームをスレーブ装置１２０に送信し、そのデータフレームがマスタ装置１１０に戻ってくるまでの一連の処理は、１回の通信タスクの実行中に行われる。

ここで、図７の説明に戻る。通信タスク１１３０は、第１の通信周期の前の通信周期において生成タスク１１２０により生成された指令データを含むデータフレームを、第１の通信周期において、スレーブ装置１２０に送信する。その後、通信タスク１１３０は、第１の通信周期において、スレーブ装置１２０からの送信された応答データのデータフレームを受信する。そして、通信タスク１１３０は、受信した応答データを生成タスク１１２０により参照可能な状態にして、生成タスク１１２０に通知する。このように、通信タスク１１３０は、各通信周期の最初に実行され、前の通信周期において生成された指令データをスレーブ装置１２０に送信して、スレーブ装置１２０から応答データを受信して、生成タスクに通知をする。

次に、通信タスク１１３０からの通知を受けた後に、それぞれの生成タスク１１２０が実行される。具体的には、生成タスク１１２１がプロセッサ１１１２において実行され（３）、生成タスク１１２３がプロセッサ１１１３において実行され（４）、生成タスク１１２３がプロセッサ１１１２において実行される（５）。ここで、生成タスク１１２１は同じグループ（グループ２）に割り当てられているため、同じプロセッサ１１１２において実行される。また、第１の通信周期では、生成タスク１１２３は生成タスク１１２１が終了してから実行されているが、順番は逆でもよい。つまり、生成タスク１１２１と生成タスク１１２３の実行順序は図７の例に限られるものではない。また、生成タスク１１２１と生成タスク１１２３が同じプロセッサで実行されればよく、プロセッサ１１１２で実行されることが限定されるものではない。つまり、通信タスク１１３０と生成タスク１１２０を実行するプロセッサは図７の例に限られるものではない。

このように、通信タスク１１３０はプロセッサ１１１１で、生成タスク１１２０はプロセッサ１１１１及び１１１２で実行される。そのため、通信タスク１１３０及び生成タスク１１２０の実行は、プロセッサ１１１３で実行されている非周期タスク１１６０の実行には影響を及ぼさない。

第２の通信周期以降も、通信タスク１１３０及び生成タスク１１２０は、同様にプロセッサ１１１１、及び１１１２で実行されるため、通信タスク１１３０及び生成タスク１１２０の実行は、非周期タスク１１６０の実行には影響を及ぼさない。つまり、通信タスク１１３０及び生成タスク１１２０の実行により、非周期タスク１１６０の実行が遅延することはない。このように、マスタ装置１１０が周期通信以外の非周期処理を行う場合であっても、非周期処理を遅延させることなく、周期通信の処理を行うことができる。

ここで、図４の説明に戻る。Ｓ１０５において、決定部１１５は、代替処理を実行する。代替処理として、例えば、決定部１１５は、エラーを表示装置１１０６に表示するように制御することができる。また、代替処理として、例えば、決定部１１５は、周期通信の処理を中断することができる。また、代替処理として、例えば、決定部１１５は、周期を延長して処理を継続することができる。また、Ｓ１０３において決定部１１５は複数の条件を判定して、複数の条件のそれぞれの判定結果に応じてＳ１０５において異なる代替処理が実行されてもよい。例えば、Ｓ２００において全ての生成タスク１１２０がグループに割り当てられない場合は周期通信の処理を中断することとしてもよい。また、全ての生成タスク１１２０がグループに割り当てらたが、処理部１１０１の空き時間が予め定められた時間以下である場合は周期通信の処理を中断せずエラーを表示装置１１０６に表示することとしてもよい。

ここで、図８を用いて、Ｓ１０３において所定の条件を満たさないと判定される場合における、グループにタスクを割り当てる処理の例について説明する。図８は、本実施形態に係るタスクの割り当て処理の他の例を示した図である。まず、図８（ａ）を参照して、周期通信の周期と各タスクの実行時間について説明する。図８（ａ）の例では、周期通信の周期Ｔｃ、通信タスク１１３０の実行時間Ｔｉｏ、生成タスク１１２１、１１２２、及び１１２３の実行時間Ｔｔ１、Ｔｔ２、及びＴｔ３を以下の式（６）～（１０）の通りとする。
Ｔｃ＝１［ｍｓｅｃ ］・・・（６）
Ｔｉｏ＝２００［μｓｅｃ］・・・（７）
Ｔｔ１＝５００［μｓｅｃ］・・・（８）
Ｔｔ２＝７００［μｓｅｃ］・・・（９）
Ｔｔ３＝４００［μｓｅｃ］・・・（１０）

ここで、図６に関する説明と重複する説明については省略する。

Ｓ４０１において、決定部１１５は、タスク１１２２をグループ１に割り当てる。そして、決定部１１５は、グループ１の空き時間Ｔｂ１を１００［μｓｅｃ］に更新する。また、決定部１１５は、グループ１の空き時間Ｔｂ１で生成タスク１１２１、及び１１２３は実行可能ではないと判定する。

Ｓ４０２において、決定部１１５は、生成タスク１１２１をグループ２に割り当てる。そして、決定部１１５は、グループ２の空き時間Ｔｂ２を３００［μｓｅｃ］に更新する。また、Ｔｂ２≦Ｔｔ３であるため、決定部１１５は、グループ２の空き時間Ｔｂ２で生成タスク１１２３は実行可能ではないと判定する。

Ｓ４０３において、決定部１１５は、生成タスク１１２３をグループ３に割り当てる。そして、決定部１１５は、グループ３の空き時間Ｔｂ３を４００［μｓｅｃ］に更新する。

ここまでの処理で、すべての生成タスクについて、グループへの割り当てが完了したため、決定部１１５は、Ｓ２０２からＳ２０８の処理を終了させる。

ここで、各グループの空き時間の合計時間は、Ｔｂ１＋Ｔｂ２＋Ｔｂ３＝８００［μｓｅｃ］であり、予め定められた時間を周期通信の周期Ｔｃとすると、Ｔｂ１＋Ｔｂ２＋Ｔｂ３＜Ｔｃとなる。Ｓ１０３における所定の条件を、処理部１１０１の空き時間が周期通信の周期以上であることとすると、図８の例は、Ｓ１０３において所定の条件を満たさないことになる。

また、すべてのグループに対して生成タスク１１２０が割り当てられたため、生成タスク１１２０が割り当てられていないグループの数は０である。Ｓ１０３における所定の条件を、生成タスク１１２０が割り当てられていないグループの数が１以上であることとすると、図８の例は、Ｓ１０３において所定の条件を満たさないことになる。

周期処理は周期内に処理を完了させる必要があるため、通信タスク１１３０及び生成タスク１１２０は非周期タスク１１６０よりも優先的に実行される。そのため、Ｓ１０３において所定の条件を満たさない場合、非周期タスク１１６０の処理は、処理部１１０１のプロセッサの空き時間が発生するまで中断され、遅延する可能性がある。

前述の通り、Ｓ１０３において所定の条件が満たされない場合、Ｓ１０５において、エラー表示、周期通信の処理の中止、周期の延長などの代替処理が実行される。

以上、本実施形態に係る制御装置によれば、通信タスク及び生成タスクの処理により非周期タスクの処理が中断されることが抑制されるので、他の装置との間で周期的に通信を行いながら、非周期的な処理の遅延を抑制することができる。

＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態に係る情報処理部について説明する。なお、ここで言及しない事項は、第１実施形態に従いうる。第２実施形態においては、マスタ装置１１０の処理部１１０１が４つのプロセッサを有し、システム１００は６つのスレーブ装置１２０を有している例について説明する。また、処理部１１０１においては、スレーブ装置１２０の数と同じ４つの生成タスク１１２０と１つの通信タスク１１３０が実行されるものとする。

図９を用いて、グループにタスクを割り当てる処理について説明する。図９は、本実施形態に係るタスクの割り当て処理の例を示した図である。まず、図９（ａ）を参照して、周期通信の周期と各タスクの実行時間について説明する。図９（ａ）の例では、周期通信の周期Ｔｃ、通信タスク１１３０の実行時間Ｔｉｏ、生成タスク１１２１～１１２６の実行時間Ｔｔ１～Ｔｔ６を以下の式（１１）～（１８）の通りとする。
Ｔｃ＝１［ｍｓｅｃ］ ・・・（１１）
Ｔｉｏ＝２００［μｓｅｃ］・・・（１２）
Ｔｔ１＝５００［μｓｅｃ］・・・（１３）
Ｔｔ２＝２００［μｓｅｃ］・・・（１４）
Ｔｔ３＝２３０［μｓｅｃ］・・・（１５）
Ｔｔ４＝１００［μｓｅｃ］・・・（１６）
Ｔｔ５＝６５０［μｓｅｃ］・・・（１７）
Ｔｔ６＝５５０［μｓｅｃ］・・・（１８）

生成タスク１１２０のグループへの割り当て処理については、第１実施形態と同様であるため詳細な説明は省略する。図９（ｂ）に示すように生成タスク１１２０はグループ１～３に割り当てられる。グループ１には生成タスク１１２４及び１１２５が、グループ２には生成タスク１１２３及び１１２６が、グループ３には生成タスク１１２１及び１１２２が、それぞれ割り当てられる。また、グループ４にはいずれの生成タスク１１２０も割り当てられない。また、グループに割り当てられない生成タスク１１２０も存在しない。

ここで、図９（ｂ）に示すように生成タスク１１２０がグループに割り当てられた場合、Ｓ１０３において所定の条件が満たすと判定されたものと説明を続ける。ここで、図１０を用いて、グループに割り当てられた生成タスク１１２０を処理部１１０１に実行させる処理について説明する。図１０は、本実施形態に係るタスクの実行スケジュールの例を示した図である。タスクの実行スケジュールについては、第１実施形態と同様であるため詳細な説明は省略する。図１０に示すように、通信タスク１１３０及び生成タスク１１２０の実行は、非周期タスク１１６０の実行には影響を及ぼさない。つまり、通信タスク１１３０及び生成タスク１１２０の実行を行いながら、非周期タスク１１６０の実行が遅延することを抑制することができる。

以上、本実施形態に係る制御装置によれば、通信タスク及び生成タスクの処理により、非周期タスクの処理が中断されることが抑制されるので、他の装置との間で周期通信を行いながら、非周期的な処理の遅延を抑制することができる。

＜基板処理装置の実施形態＞
システム１００を適用した基板処理装置の実施形態について説明する。本実施形態では、システム１００を適用した基板処理装置として、基板を露光して基板上にパターンを形成する露光装置を例示して説明するが、それに限られるものではない。例えば、モールドを用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置や、荷電粒子線を基板に照射して当該基板にパターンを形成する描画装置などの基板処理装置においても、システム１００を適用することができる。また、システム１００を適用した基板処理装置として、感光媒体を基板の表面上に塗布する塗布装置、パターンが転写された基板を現像する現像装置などの基板処理装置においても、システム１００を適用することができる。また、システム１００を適用した基板処理装置として、成膜装置（ＣＶＤ装置等）、加工装置（レーザー加工装置等）、検査装置（オーバーレイ検査装置等）などの基板処理装置においても、システム１００を適用することができる。

図１１は、露光装置１０の構成を示す図である。露光装置１０は、マスクＭのパターンを投影光学系１４を介して基板Ｗに投影して当該基板Ｗを露光する露光装置である。露光装置１０は、光源１１と、照明光学系１２と、マスクステージ１３と、投影光学系１４と、基板ステージ１５と、主制御部１６とを有する。また、露光装置１０は、マスクステージ１３を駆動する第１駆動部２１と、投影光学系１４のレンズ１４ａを駆動する第２駆動部２２と、基板ステージ１５を駆動する第３駆動部５１とを有する。第１駆動部２１、第２駆動部２２および第３駆動部５１は、基板Ｗにパターンを形成する処理の少なくとも一部を行う機構であり、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２および基板ステージ制御部４１によってそれぞれ制御される。また、主制御部１６は、例えばＣＰＵ（処理部）や記憶装置などを有し、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２および基板ステージ制御部４１を制御することにより、露光装置１０の全体（露光装置１０の各部）を制御する。

光源１１は、露光光を射出する。照明光学系１２は、光源１１から射出された光を用いてマスクＭを照明する。マスクステージ１３は、マスクＭを保持するとともに、第１駆動部２１によって例えばＸＹ方向に移動可能に構成されうる。投影光学系１４は、照明光学系１２により照明されたマスクＭのパターンを基板上に投影する。投影光学系１４は、第２駆動部２２によって例えばＸ方向に移動可能なレンズ１４ａを含む。基板ステージ１５は、基板Ｗを保持するとともに、第３駆動部５１によって例えばＸＹ方向に移動可能に構成されうる。

図１１に示す露光装置１０において、システム１００を適用する場合、主制御部１６がマスタ装置１１０として構成されうる。また、マスクステージ制御部３１および投影制御部３２がそれぞれスレーブ装置１２０として構成されうる。第１駆動部２１および第２駆動部２２がそれぞれユニット１３０として構成されうる。主制御部１６、マスクステージ制御部３１および投影制御部３２との間における通信が、ネットワーク１４０を介して一定周期ごとに行われることとなる。

そして、露光装置１０において、基板ステージ制御部４１および、第３駆動部５１は、システム１００におけるマスタ装置１１０の処理部を兼用する、システム１００とは別系統の制御系として構成されうる。主制御部１６と基板ステージ制御部４１は、ネットワーク１４０とは必ずしも同一ではない、例えばフィールドバスによって接続されうる。

ここで、システム１００を露光装置１０に適用する場合の例として、マスタ装置１１０がマスクステージ制御部３１、投影制御部３２、及び基板ステージ制御部４１と通信を行う場合について説明する。マスタ装置１１０の処理部１１０１において、例えば、通信タスク１１３０、生成タスク１１２１、１１２２、及び非周期タスク１１６０が実行されうる。ここで、生成タスク１１２１は、マスクステージ制御部３１に対して送信してマスクステージ１３を制御するための指令データを生成するタスクである。また、生成タスク１１２２は、投影制御部３２に対して送信して投影光学系１４のレンズ１４ａを制御するための指令データを生成するタスクである。また、非周期タスク１１６０は、基板ステージ制御部４１に対して送信して基板ステージ１５を制御するための指令データを生成して、基板ステージ制御部４１と通信を行うタスクである。

また、マスタ装置１１０（主制御部１６）は、露光装置を動作させ、基板に微細なパターンを形成するにあたり、第１駆動部２１、第２駆動部２２、及び第３駆動部５１を高い精度で同期させながら制御を行う必要がある。そのために、マスクステージ制御部３１及び投影制御部３２に対しては、一定周期で実行される生成タスク１１２１、１１２２により制御のための指令データを生成し、通信タスク１１３０により、ネットワーク１４０を介してデータを送信して制御を行う。

一方、基板ステージ制御部４１に対しては、非周期タスク１１６０を実行して第３駆動部５１の制御のための指令データを生成し、フィールドバスを通じて基板ステージ制御部４１にデータを送信して制御を行う。典型的には、特に高い制御精度を求められる基板ステージ１５の制御には、高負荷な演算が必要であり、かつ露光装置として高い生産性を達成するために、速やかにその演算を終える必要がある。このように、露光装置は複数の制御系で構成されており、主制御部１６の処理部を複数の制御系で兼用する場合がありうる。

このような状況において、それぞれのタスクが主制御部１６の処理部１１０１を共有して実行される場合、生成タスク１１２０および通信タスク１１３０が周期的に実行されると、非周期タスク１１６０の実行終了までの時間が遅延してしまう。すると、基板ステージ１５の制御が遅延し、装置としての生産性が低下するばかりでなく、タイミングのずれによって制御精度が低下してしまうおそれがある。

そこで、決定部１１５が、通信タスク及び生成タスクの処理により、非周期タスクの処理が中断されることが抑制されるようにグループに対して各タスクを割り当てる。その結果に従って処理部１１０１のプロセッサ１１１０でタスクを実行することにより、周期通信に用いる処理部１１０１のプロセッサ１１１０の個数を最小限にすることができるため、基板ステージ１５の制御のための処理の遅延を抑制することができる。

以上、本実施形態に係る制御装置によれば、マスクステージ制御部及び投影制御部との間で周期通信を行いながら、基板ステージを制御するための非周期処理の遅延を抑制することができる。

＜物品の製造方法の実施形態＞
本発明の実施形態にかかる物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、上述した基板処理装置を用いて基板を処理する工程と、かかる工程で処理された基板から物品を製造する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、周知の工程（露光、酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等）を含みうる。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも１つにおいて有利である。

＜その他の実施形態＞
本発明は、上述の実施形態の１以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、１以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。

また、それぞれの実施形態は、単独で実施するだけでなく、すべての実施形態のうちのいずれの組合せで実施することができる。

Claims (13)

1. タスクを実行する複数のプロセッサを有し、ネットワークを介して接続されたスレーブ装置を制御する制御装置であって、
   前記スレーブ装置を制御するための指令データ又は前記スレーブ装置からの応答データを含むデータフレームの周期通信に係る周期処理を実行する周期タスクの実行に要する実行時間を取得する取得部と、
   前記周期通信の周期と前記実行時間とに基づき前記周期タスクを実行するプロセッサを前記複数のプロセッサのうちから決定する決定部と、を有し、
   決定された前記プロセッサにおいて前記周期タスクが実行される
   ことを特徴とする制御装置。
2. 前記決定部は、所定の条件を満たしているか判定し、
   前記所定の条件を満たしている場合、前記周期タスクが決定された前記プロセッサにおいて実行され、
   前記所定の条件は、決定された前記プロセッサで前記周期タスクを実行した場合の前記複数のプロセッサの空き時間の合計が所定の時間以上であること、前記複数のプロセッサのうち前記周期タスクが実行されないプロセッサの数が所定の数以上であること、及び実行されるプロセッサが決定されていない前記周期タスクが存在していないことのうち少なくとも１つである
   ことを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
3. 前記所定の条件を満たしていない場合、前記決定部は所定の処理を実行して、
   前記所定の処理は、エラーを表示装置に表示するように制御する処理、前記周期を延長する処理、前記データフレームの通信を中断する処理のうち少なくとも１つである
   ことを特徴とする請求項２に記載の制御装置。
4. 前記周期タスクには、前記データフレームを通信する通信タスクと、前記スレーブ装置を制御するための指令データを生成する生成タスクと、が含まれ、
   前記決定部は、前記通信タスクを実行するプロセッサを決定した後に、前記生成タスクを実行するプロセッサを決定する
   ことを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載の制御装置。
5. 前記取得部は、前記通信タスクの実行に要する第１実行時間を取得し、
   前記決定部は、前記周期と前記第１実行時間とに基づき前記生成タスクを実行するプロセッサを決定する
   ことを特徴とする請求項４に記載の制御装置。
6. 前記スレーブ装置は複数のスレーブ装置を含み、
   前記生成タスクは、前記複数のスレーブ装置のそれぞれに対応した複数の生成タスクを含み、
   前記取得部は、前記複数の生成タスクのそれぞれの実行に要する第２実行時間を取得し、
   前記決定部は、前記取得部により取得された前記第２実行時間の長い順で前記複数の生成タスクを実行するプロセッサを決定する
   ことを特徴とする請求項５に記載の制御装置。
7. 前記決定部は、前記複数の生成タスクのうち、既に実行するプロセッサが決定された第１生成タスクと未だ実行するプロセッサが決定されていない第２生成タスクとが存在する場合、前記周期、前記第１実行時間、及び前記第２生成タスクが実行される前記第２実行時間に基づき前記第２生成タスクを実行するプロセッサを決定する
   ことを特徴とする請求項６に記載の制御装置。
8. 前記周期タスクが実行されることにより、前記ネットワークを介して前記周期ごとに前記データフレームを通信する通信部を有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の制御装置。
9. ネットワークを介して接続されたスレーブ装置と、タスクを実行する複数のプロセッサを有し、前記スレーブ装置を制御するマスタ装置と、を有するシステムであって、
   前記マスタ装置は、
   前記スレーブ装置を制御するための指令データ又は前記スレーブ装置からの応答データを含むデータフレームの周期通信に係る周期処理を実行する周期タスクの実行に要する実行時間を取得する取得部と、
   前記周期通信の周期と前記実行時間とに基づき前記周期タスクを実行するプロセッサを前記複数のプロセッサのうちから決定する決定部と、を有し、
   決定された前記プロセッサにおいて前記周期タスクが実行される
   ことを特徴とするシステム。
10. 基板に処理する基板処理装置であって、
    請求項９に記載のシステムを有し、
    前記システムが有するスレーブ装置は、前記基板の処理の少なくとも一部を行うユニットを制御する
    ことを特徴とする基板処理装置。
11. 請求項１０に記載の基板処理装置を用いて基板を処理する工程と、
    処理された前記基板から物品を製造する工程と、を有する
    ことを特徴とする物品の製造方法。
12. タスクを実行する複数のプロセッサを有するマスタ装置によりネットワークを介して接続されたスレーブ装置を制御する制御方法であって、
    前記スレーブ装置を制御するための指令データ又は前記スレーブ装置からの応答データを含むデータフレームの周期通信に係る周期処理を実行する周期タスクの実行に要する実行時間を取得する取得工程と、
    前記周期通信の周期と前記実行時間とに基づき前記周期タスクを実行するプロセッサを前記複数のプロセッサのうちから決定する決定工程と、を有し、
    決定された前記プロセッサにおいて前記周期タスクが実行されることを特徴とする制御方法。
13. 請求項１２に記載の制御方法の各工程を、マスタ装置としてのコンピュータに実行させるためのプログラム。

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