JP2024040913A - システム、その制御方法およびプログラム - Google Patents

システム、その制御方法およびプログラム Download PDF

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Abstract

Figure 2024040913000001
【課題】ネットワークを追加することなく被制御装置間のデータ通信を可能にするために有利な技術を提供する。
【解決手段】第１被制御装置および第２被制御装置を含む複数の被制御装置と、前記複数の被制御装置を制御する主制御装置とがネットワークを介して接続されたシステムにおいて、前記主制御装置は、前記ネットワークを介して、複数のデータ領域を含むデータフレームを一定の周期で送受信する通信部と、前記データフレームの構成を設定する設定部と、を含み、前記設定部は、前記第１被制御装置がデータを書き込むべきデータ領域と、前記第２被制御装置が読み出すべきデータ領域と、を前記データフレームにおける同一のデータ領域に設定する機能を有する。
【選択図】図１４

Description

本発明は、システム、その制御方法およびプログラムに関する。
主制御装置が被制御装置を制御するシステムには、主制御装置と被制御装置との間のデータ通信を一定の周期で行うものがある。このようなシステムにおいて、主制御装置と被制御装置との間でデータ通信を行うことは可能であるが、被制御装置間で直接に通信を行う機能は提供されていない。１つの被制御装置が出力したデータを他の被制御装置が取得する動作は、主制御装置を介して行う必要があるので、このような動作を完了するためには複数の周期を要する。特許文献１には、主制御装置を介すことなく被制御装置間のデータ通信を行う多重化通信システムが開示されている。
特許第６６１５０１８号公報
特許文献１のシステムでは、主制御装置と被制御装置との間でデータ通信を行うネットワークとは別の通信規格に従って被制御装置間でデータ通信を行う。したがって、被制御装置間のデータ通信のための追加のネットワークをシステムに追加する必要がある。
本発明は、ネットワークを追加することなく被制御装置間のデータ通信を可能にするために有利な技術を提供することを目的とする。
本発明の１つの側面は、第１被制御装置および第２被制御装置を含む複数の被制御装置と、前記複数の被制御装置を制御する主制御装置とがネットワークを介して接続されたシステムに係り、前記システムにおいて、前記主制御装置は、前記ネットワークを介して、複数のデータ領域を含むデータフレームを一定の周期で送受信する通信部と、前記データフレームの構成を設定する設定部と、を含み、前記設定部は、前記第１被制御装置がデータを書き込むべきデータ領域と、前記第２被制御装置が読み出すべきデータ領域と、を前記データフレームにおける同一のデータ領域に設定する機能を有する。
本発明によれば、ネットワークを追加することなく被制御装置間のデータ通信を可能にするために有利な技術が提供される。
システムの構成を例示する図。 主制御装置の構成を例示する図。 主制御装置の処理部の構成を例示する図。 被制御装置の処理部の構成を例示する図。 比較例におけるデータの流れを例示する図。 第１実施形態のシステムにおけるデータの流れを例示する図。 第２実施形態のシステムにおけるデータの流れを例示する図。 第２実施形態のシステムにおける第２被制御装置の動作を例示するフローチャート。 ネットワーク構成情報テーブルの一例を示す図。 データフレームの構成を例示する図。 比較例におけるデータフレームからのデータの読み出しおよび該データフレームへのデータの書込みを示す図。 ネットワーク構成情報テーブルの一例を示す図。 データフレームの構成を例示する図。 第１実施形態におけるデータフレームからのデータの読み出しおよび該データフレームへのデータの書込みを例示する図。 基板処理装置あるいはリソグラフィー装置としての露光装置の構成を示す図である。
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。更に、添付図面においては、同一もしくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
図１には、第１実施形態のシステム１００の構成が例示されている。システム１００は、図１に例示されるように、主制御装置１１０と、主制御装置１１０によって制御される複数の被制御装置１２１、１２２および１２３とを備えうる。主制御装置１１０は、複数の被制御装置１２１、１２２および１２３を制御する制御装置である。主制御装置１１０と複数の被制御装置１２１、１２２および１２３とは、ネットワーク１４０を介して接続される。システム１００は、複数のユニット１３１、１３２および１３３を備えてもよく、複数のユニット１３１、１３２および１３３のそれぞれは、複数の被制御装置１２１、１２２、１２３のうち対応する被制御装置によって制御されうる。複数のユニット１３１、１３２および１３３は、１又は複数の処理装置の一部を構成しうる。複数の被制御装置１２１、１２２、１２３は、ネットワーク１４０を介して主制御装置１１０から与えられるデータに従って、それぞれユニット１３１、１３２、１３３を制御するように構成されうる。被制御装置１２１、１２２および１２３は、主制御装置１１０から見れば、主制御装置１１０によって制御される被制御装置であるが、ユニット１３１、１３２、１３３から見れば、ユニット１３１、１３２、１３３をそれぞれ制御する制御装置である。
主制御装置１１０および複数の被制御装置１２１、１２２および１２３の各々は、例えば、プログラムが組み込まれた汎用又は専用のコンピュータで構成されうる。あるいは、主制御装置１１０および複数の被制御装置１２１、１２２および１２３の各々は、ＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙの略。）などのＰＬＤ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｌｏｇｉｃ Ｄｅｖｉｃｅの略。）、又は、ＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔの略。）によって構成されうる。あるいは、主制御装置１１０および複数の被制御装置１２１、１２２および１２３の各々は、コンピュータ、ＰＬＤおよびＡＳＩＣの全部または一部の組み合わせによって構成されうる。複数のユニット１３１、１３２、３３の各々は、例えば、素子または部品（例えば、リレー、センサ、サーボモータ、アクチュエータ）、又は、複数の素子または部品からなるモジュール（例えば、位置決め機構）、又は、複数のモジュールからなる装置でありうる。被制御装置とそれによって制御されるユニットとは、一体化されてもよい。
主制御装置１１０および複数の被制御装置１２１、１２２および１２３は、デイジーチェーンを構成するようにネットワーク１４０によって接続されうる。第１被制御装置１２１は、デイジーチェーンにおいて、主制御装置１１０と第２被制御装置１２２との間に配置されうる。第２被制御装置１２２は、デイジーチェーンにおいて、第１被制御装置１２１と第３被制御装置１２３との間に配置されうる。
図１の例では、複数の被制御装置は、第１被制御装置１２１、第２被制御装置１２２および第３被制御装置１２３として例示されているが、複数の被制御装置の個数は３に限定されない。同様に、図１の例では、複数のユニットは、第１ユニット１３１、第２ユニット１３２および第３ユニット１３３として例示されているが、複数のユニットの個数は３に限定されない。
図２には、主制御装置１１０の構成が例示されている。主制御装置１１０は、処理部（プロセッサ）２００、ＲＯＭ２１０、ＲＡＭ２２０、記憶装置２３０、入力装置２４０、表示装置２５０および通信装置２６０を含みうる。処理部２００は、オペレーティングシステムおよびアプリケーションプログラムに基づいて動作する中央演算処理部（ＣＰＵ）を含みうる。処理部２００は、中央演算処理部（ＣＰＵ）の他、マイクロプロセッシングユニット（ＭＰＵ）、グラフィックスプロセッシングユニット（ＧＰＵ）、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）等の付加的なデバイスを含んでもよい。
ＲＯＭ２１０、ＲＡＭ２２０、記憶装置２３０は、それぞれメモリの一形態である。ＲＯＭ２１０は、例えば、処理部２００が実行するプログラム、および、演算用のデータのうちの固定的なデータを格納しうる。ＲＡＭ２２０は、処理部２００の作業領域、および、データの一時記憶領域を提供する。ＲＯＭ２１０およびＲＡＭ２２０は、バス２７０を介して処理部２００に接続される。入力装置２４０は、マウス等のポインティングデバイス、および、キーボード等を含みうる。表示装置２５０は、情報を表示する機能を提供する。入力装置２４０の全部または一部と表示装置２５０は、タッチパネル等のような一体型の装置として構成されてもよい。記憶装置２３０は、例えば、ハードディスク装置、ＣＤ、ＤＶＤ、メモリカード等を含みうる。記憶装置２３０は、プログラムおよびデータ等を記憶しうる。入力装置２４０、表示装置２５０および記憶装置２３０は、それぞれ不図示のインターフェースを介してバス２７０に接続されうる。通信装置２６０は、ネットワーク１４０を介して複数の被制御装置１２１、１２２、１２３と通信する機能を提供する通信インターフェースである。通信装置２６０は、データを送信する送信部およびデータを受信する受信部として機能し、例えば、被制御装置内の送信部（不図示）から応答データを受信して、処理部２００、ＲＡＭ２２０又は記憶装置２３０に定義された受信バッファに記憶しうる。
図３には、主制御装置１１０の処理部２００の構成が例示されている。処理部２００は、被制御装置制御部２０１、通信制御部２０２、データフレーム設定部２０３（設定部）を含みうる。被制御装置制御部２０１は、被制御装置からの応答データを受信バッファから読み出す読み出し処理を実行しうる。また、被制御装置制御部２０１は、受信バッファから読み出された応答データに基づいて被制御装置を制御するための指令データを生成する制御処理を実行しうる。また、被制御装置制御部２０１は、被制御装置を制御するための指令データを送信バッファに書き込む書き込み処理を実行しうる。
通信制御部２０２は、被制御装置に指令データを送信する送信処理、および、被制御装置から応答データおよび状態データ等のデータを受信する受信処理を制御しうる。通信制御部２０２は、被制御装置から主制御装置１１０に送信され通信装置２６０によって受信されたデータフレームから抽出されるデータを受信バッファに転送させうる。また、通信制御部２０２は、主制御装置１１０から被制御装置に送信すべきデータを送信バッファから通信装置２６０に転送させデータフレームに書き込ませうる。受信バッファおよび送信バッファは、データを一時的に記憶する領域であり、処理部２００が有するメモリ空間に定義されてもよいし、ＲＡＭ２２０又は記憶装置２３０のメモリ空間に定義されてもよい。
データフレーム設定部２０３は、ネットワーク構成情報に基づいて、データフレームを構成する複数のデータ領域の定義を設定するように構成されうる。ネットワーク構成情報は、例えば、ユーザによって主制御装置１１０または他の情報処理装置において事前に作成され、主制御装置１１０のＲＯＭ２１０または記憶装置２３０に記憶されうる。
図９には、複数のネットワーク構成情報を含むネットワーク構成情報テーブルの一例が示されている。ネットワーク構成情報は、例えば、識別番号、データ名、データタイプ、データサイズ、データオフセットを含みうる。識別番号は、システム１００において、複数の被制御装置１２１、１２２、１２３のいずれかに割り当てられる番号である。図９の例では、識別番号１、２、３は、それぞれ被制御装置１２１、１２２、１２３に割り当てられている。識別番号１で識別されるネットワーク構成情報は、被制御装置１２１のためのネットワーク構成情報である。識別番号２で識別されるネットワーク構成情報は、被制御装置１２２のためのネットワーク構成情報である。識別番号３で識別されるネットワーク構成情報は、被制御装置１２３のためのネットワーク構成情報である。
データ名は、それに対応するデータ（データタイプ、データサイズ、データオフセット）を一意に識別する識別子の一例である。データタイプは、デイジーチェーンにおけるデータの方向を示す。主制御装置（又は、他の被制御装置）からデータが割り当てられた被制御装置へ送信されるデータのデータタイプは「出力」として定義されている。また、データが割り当てられた被制御装置から主制御装置（又は、他の被制御装置）へ送信されるデータのデータタイプは「入力」として定義されている。データサイズは、１つの被制御装置（１つのデータ領域）に割り当てられるデータのサイズである。データサイズの単位は、例えば、ｂｙｔｅである。データオフセットは、１つの被制御装置（１つのデータ領域）に割り当てられたデータの、データフレームにおける開始位置（データフレームの先頭に対する相対的な開始位置）である。データオフセットの単位は、例えば、ｂｙｔｅである。
図１０には、図９に例示されたネットワーク構成情報テーブルに基づいてデータフレーム設定部２０３によって設定されたデータフレームの構成が視覚化して示されている。以下、図９および図１０に示された例を説明する。第１被制御装置１２１に割り当てられた入力データ１（Ｄａｔａ＿Ｉｎ＿１）は、第１被制御装置１２１から主制御装置１１０（又は他の被制御装置）に送信されるデータ、換言すると、第１被制御装置１２１がデータフレームに書き込むべきデータである。第１被制御装置１２１に割り当てられた出力データ１（Ｄａｔａ＿Ｏｕｔ＿１）は、主制御装置１１０（又は他の被制御装置）から第１被制御装置１２１に送信されるデータ、換言すると、第１被制御装置１２１がデータフレームから読み出すべきデータである。入力データ１（Ｄａｔａ＿Ｉｎ＿１）および出力データ１（Ｄａｔａ＿Ｏｕｔ＿１）は、共にデータオフセット＝０のデータ領域、即ち、同一のデータ領域に書き込まれる。なお、データオフセット＝０のデータ領域に対して、主制御装置１１０（又は他の被制御装置）によって出力データ１（Ｄａｔａ＿Ｏｕｔ＿１）が書き込まれ、その後、それを受信した第１被制御装置１２１によって入力データ１（Ｄａｔａ＿Ｉｎ＿１）が上書きされる。
第２被制御装置１２２に割り当てられた入力データ２（Ｄａｔａ＿Ｉｎ＿２）は、第２被制御装置１２２から主制御装置１１０（又は他の被制御装置）に送信されるデータ、換言すると、第２被制御装置１２２がデータフレームに書き込むべきデータである。第２被制御装置１２２に割り当てられた出力データ２（Ｄａｔａ＿Ｏｕｔ＿２）は、主制御装置１１０（又は他の被制御装置）から第２被制御装置１２２に送信されるデータ、換言すると、第２被制御装置１２２がデータフレームから読み出すべきデータである。入力データ２（Ｄａｔａ＿Ｉｎ＿２）および出力データ２（Ｄａｔａ＿Ｏｕｔ＿２）は、共にデータオフセット＝８のデータ領域、即ち、同一のデータ領域に書き込まれる。なお、データオフセット＝８のデータ領域に対して、主制御装置１１０（又は他の被制御装置）によって出力データ２（Ｄａｔａ＿Ｏｕｔ＿２）が書き込まれ、その後、それを受信した第２被制御装置１２２によって入力データ２（Ｄａｔａ＿Ｉｎ＿２）が上書きされる。
第３被制御装置１２３についての入力データ３（Ｄａｔａ＿Ｉｎ＿３）は、第３被制御装置１２３から主制御装置１１０（又は他の被制御装置）に送信されるデータである。第３被制御装置１２３についての出力データ３（Ｄａｔａ＿Ｏｕｔ＿３）は、主制御装置１１０（又は他の被制御装置）から第３被制御装置１２３に送信されるデータである。入力データ３（Ｄａｔａ＿Ｉｎ＿３）および出力データ３（Ｄａｔａ＿Ｏｕｔ＿３）は、共にデータオフセット＝１６のデータ領域、即ち、同一のデータ領域に書き込まれる。なお、データオフセット＝１６のデータ領域に対して、主制御装置１１０（又は他の被制御装置）によって出力データ３（Ｄａｔａ＿Ｏｕｔ＿３）が書き込まれ、その後、それを受信した第３被制御装置１２３によって入力データ３（Ｄａｔａ＿Ｉｎ＿３）が上書きされる。
図１１には、図９および図１０を参照して説明された比較例におけるデータフレームからのデータの読み出しおよび該データフレームへのデータの書込みが模式的に示されている。第１被制御装置１２１は、データフレームの第１データ領域ＤＲ１から指令データとしての出力データ１を読み出し、その後、出力データ１に対する応答データ等としての入力データ１を第１データ領域ＤＲ１に書き込む。第２被制御装置１２２は、データフレームの第２データ領域ＤＲ２から指令データとしての出力データ２を読み出し、その後、出力データ２に対する応答データ等としての入力データ２を第２データ領域ＤＲ２に書き込む。第３被制御装置１２３は、データフレームの第３データ領域ＤＲ３から指令データとしての出力データ３を読み出し、その後、出力データ３に対する応答データ等としての入力データ３を第３データ領域ＤＲ３に書き込む。
図４には、被制御装置１２１、１２２、１２３の構成が例示されている。被制御装置１２１、１２２、１２３の各々は、例えば、通信部３０１、ユニット制御部３０２および判定部３０３を含みうる。通信部３０１は、複数のデータ領域を含むデータフレームを一定の周期で送受信するように構成される。通信部３０１は、このデータフレームを介して、主制御装置１１０との間で指令データ、応答データおよび状態データ等のデータの通信を行う。また、通信部３０１は、主制御装置１１０から受信した指令データをユニット制御部３０２および判定部３０３に送信する。また、通信部３０１は、ユニット制御部３０２から受信したデータをデータフレームに書き込むことによって、そのデータを主制御装置１１０に送信する。ユニット制御部３０２は、通信部３０１から受信したデータに従って、対応するユニット（例えば、被制御装置１２１のユニット制御部３０２であれば、ユニット１３１）を制御する。判定部３０３は、通信部３０１から受信したデータに基づいて判定を行い、判定の結果に応じて、対応するユニットにおける処理を変更するための変更処理を行いうる。変更処理の例については後述する。
ここで、図１に示されたネットワーク１４０の一例として、産業用イーサネット（登録商標）の１つであるＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）について説明する。ＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）において、ネットワークに接続された主制御装置は、複数の被制御装置に対してデータフレームを送信し、複数の被制御装置は、主制御装置から受信したデータフレームを対象としてオンザフライ方式でデータの読み書きを行う。この際、主制御装置と複数の被制御装置との間の通信には、ＰＤＯ通信（プロセスデータオブジェクト通信）と、ＳＤＯ通信（サービスデータオブジェクト通信）とが用いられる。ＰＤＯ通信とは、プロセスデータオブジェクト（ＰＤＯ：Ｐｒｏｃｅｓｓ Ｄａｔａ Ｏｂｊｅｃｔ）と呼ばれるデータを使用して予め定められた一定の周期で行われる通信である。ＳＤＯ通信とは、サービスデータオブジェクト（ＳＤＯ：Ｓｅｒｖｉｃｅ Ｄａｔａ Ｏｂｊｅｃｔ）と呼ばれるデータを使用して主制御装置から被制御装置への要求に応じて行われるである。ＰＤＯ通信では、予め定められた一定の周期（例えば、１ミリ秒）でデータフレームの通信が行われるため、データの到達時間が保証される。一方、ＳＤＯ通信では、１周期内に通信が完了するとは限らないため、データの到達時間が保証されない。
ネットワーク１４０としてＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）を採用する場合には、ネットワーク１４０に接続されるノードのうち、少なくとも１つのノードが主制御装置１１０として機能し、その他のノードが被制御装置として機能する。主制御装置１１０として機能するノードは、ネットワーク１４０におけるデータフレームの通信のタイミングなどを管理（制御）する。
図１に示されたシステム１００において、主制御装置１１０は、被制御装置１２１、１２２、１２３に対する指令データをＰＤＯ通信のデータフレームに書き込み、そのデータフレームを第１被制御装置１２１に送信する。主制御装置１１０からデータフレームを受信した第１被制御装置１２１は、データフレームに書き込まれた指令データから第１被制御装置１２１に割り当てられた指令データを読み出し、その指令データに対する応答データをデータフレームに書き込む。そして、第１被制御装置１２１は、第１被制御装置１２１に割り当てられた指令データに対する応答データを書き込んだデータフレームを第２被制御装置１２２に送信する。第１被制御装置１２１からデータフレームを受信した第２被制御装置１２２は、データフレームに書き込まれた指令データから第２被制御装置１２２に割り当てられた指令データを読み出し、その指令データに対する応答データをデータフレームに書き込む。そして、第２被制御装置１２２は、第２被制御装置１２２に割り当てられた指令データに対する応答データを書き込んだデータフレームを第３被制御装置１２３に送信する。第２被制御装置１２２からデータフレームを受信した第３被制御装置１２３は、データフレームに書き込まれた指令データから自身に割り当てられた指令データを読み出し、その指令データに対する応答データをデータフレームに書き込む。そして、第３被制御装置１２３は、第３被制御装置１２３に割り当てられた指令データに対する応答データを書き込んだデータフレームを、第１被制御装置１２１および第２被制御装置１２２を介して、主制御装置１１０に送信する。
ここで、比較例における被制御装置間の通信について説明する。図５には、比較例におけるデータの流れが例示されている。図５の比較例では、主制御装置１１０に通信可能に接続される被制御装置として２つの被制御装置１２１、１２２が例示されているが、被制御装置の数は２つに限定されるものではなく、３つ以上であってもよい。
まず、主制御装置と被制御装置の間の通信について説明する。第１周期処理では、主制御装置１１０の被制御装置制御部２０１は、第１被制御装置１２１および第２被制御装置１２２に対する指令データを主制御装置１１０の通信制御部２０２に送信する（Ｓ１０１）。主制御装置１１０の通信制御部２０２は、ネットワーク１４０を介して第１被制御装置１２１にその指令データを含むデータフレームを送信する（Ｓ１０２）。第１被制御装置１２１の通信部３０１は、データフレームに書き込まれた指令データから第１被制御装置１２１に割り当てられた指令データを読み出す。そして、第１被制御装置１２１の通信部３０１は、その指令データに対する応答データを第１被制御装置１２１のユニット制御部３０２から取得し（Ｓ１０７）、その応答データをデータフレームに書き込む。そして、第１被制御装置１２１の通信部３０１は、第１被制御装置１２１に割り当てられた指令データに対する応答データを書き込んだデータフレームを第２被制御装置１２２に送信する（Ｓ１０３）。さらに、第１被制御装置１２１の通信部３０１は、その指令データをユニット制御部３０２に送信する（Ｓ１０８）。
第１被制御装置１２１からデータフレームを受信した第２被制御装置１２２の通信部３０１は、データフレームに書き込まれた指令データから第２被制御装置１２２に割り当てられた指令データを読み出す。そして、第２被制御装置１２２の通信部３０１は、その指令データに対する応答データをユニット制御部３０２から取得し（Ｓ１０９）、その応答データをデータフレームに書き込む。そして、第２被制御装置１２２の通信部３０１は、第２被制御装置１２２に割り当てられた指令データに対する応答データを書き込んだデータフレームを、第１被制御装置１２１を介して主制御装置１１０に送信する（Ｓ１０４、Ｓ１０５）。さらに、第２被制御装置１２２の通信部３０１は、その指令データをユニット制御部３０２に送信する（Ｓ１１０）。
主制御装置１１０は、主制御装置１１０の通信制御部２０２がデータフレームに書き込まれた第１被制御装置１２１および第２被制御装置１２２の応答データを読み出し、主制御装置１１０の被制御装置制御部２０１に送信する（Ｓ１０６）。
第２周期処理におけるＳ１２１からＳ１２６は、第１周期処理におけるＳ１０１～Ｓ１０６と同様であるため、詳細な説明は省略する。
次に、第１被制御装置１２１の状態データを第２被制御装置１２２に取得させるための通信について説明する。第１被制御装置１２１の状態データを第２被制御装置１２２に取得させる場合、第１周期処理において、第１被制御装置１２１の通信部３０１は、第１被制御装置１２１の状態データを書き込んだデータフレームを第２被制御装置１２２に送信する（Ｓ１０３）。しかし、第１被制御装置１２１からデータフレームを受信した第２被制御装置１２２の通信部３０１は、データフレームにおける第２被制御装置１２２に割り当てられたデータ領域のデータしか読み出すことができない。したがって、第２被制御装置１２２の通信部３０１は、データフレームにおける第１被制御装置１２１に割り当てられたデータ領域に書き込まれた状態データを読み出すことができない。
そこで、第１被制御装置１２１からデータフレームを受信した第２被制御装置１２２の通信部３０１は、そのデータフレームを、第１被制御装置１２１を介して主制御装置１１０に送信する（Ｓ１０４、Ｓ１０５）。そして、第２周期処理において、第１被制御装置１２１からデータフレームを受信した主制御装置１１０の通信制御部２０２は、そのデータフレームに書き込まれた状態データから第１被制御装置１２１の状態データを読み出す。そして、主制御装置１１０の通信制御部２０２は、その状態データをフレームデータにおける第２被制御装置１２２に割り当てられたデータ領域に書き込む。そして、主制御装置１１０の通信部３０１は、そのデータフレームを、第１被制御装置１２１を介して第２被制御装置１２２に送信する（Ｓ１２２、Ｓ１２３）。主制御装置１１０から第１被制御装置１２１を介してデータフレームを受信した第２被制御装置１２２の通信部３０１は、そのデータフレームにおける第２被制御装置１２２に割り当てられたデータ領域から第１被制御装置１２１の状態データを読み出す。
以上のように、比較例においては、被制御装置のデータを他の被制御装置に取得させる動作は、主制御装置を介して行われる必要がある。更に、そのため通信は、１周期内に完了せず、少なくとも２周期を要する。
そこで、本実施形態では、主制御装置を介すことなく、被制御装置間で直接通信を行う。これにより、１周期内に被制御装置間でデータを転送することができる。以下、本実施形態における被制御装置間の通信について説明する。図１２には、本実施形態におけるネットワーク構成情報テーブルが例示されている。図１２の例では、第１被制御装置１２１が入力データ（Ｄａｔａ＿Ｉｎ＿１）を書き込むべきデータ領域と第２被制御装置１２２が出力データ（Ｄａｔａ＿Ｏｕｔ＿２）を読み出すべきデータ領域とが同一のデータ領域である。なお、図１２の例では、第１被制御装置１２１には入力データ（第１被制御装置１２１がデータを書き込むべきデータ領域）のみ、第２被制御装置１２２には出力データ（第２被制御装置１２２がデータを読み出すべきデータ領域）のみが割り当てられている。しかし、これは一例に過ぎない。第１被制御装置１２１に対して更に出力データが割り当てられてもよいし、第２被制御装置１２２に対して更に入力データが割り当てられてもよい。
主制御装置１１０の通信制御部２０２は、例えば、ＳＤＯ通信によって、第１被制御装置１２１が書き込むべきデータ領域を示す情報を第１被制御装置１２１に提供あるいは命令することができる。主制御装置１１０の通信制御部２０２は、例えば、ＳＤＯ通信によって、第２被制御装置１２２が読み出すべきデータ領域を示す情報を第２被制御装置１２２に提供あるいは命令することができる。
図１３には、図１２に例示されたネットワーク構成情報テーブルに基づいてデータフレーム設定部２０３によって設定されたデータフレームの構成が視覚化して示されている。以下、図１２および図１３に示された例を説明する。第１被制御装置１２１のデータサイズ８の入力データ１（Ｄａｔａ＿Ｉｎ＿１）と、第２被制御装置１２２のデータサイズ８の出力データ２（Ｄａｔａ＿Ｏｕｔ＿２）とがデータオフセット＝０で同一のデータ領域に割り当てられている。これにより、第１被制御装置１２１が当該データ領域に書き込んだデータを、第２被制御装置１２２が当該データ領域から読み出すことができる。また、このような動作は、１つの周期において行われる。なお、図１２および図１３の例では、第３被制御装置１２３については、データサイズ＝８の入力データ３（Ｄａｔａ＿Ｉｎ＿３）と、データサイズ＝８の出力データ３（Ｄａｔａ＿Ｏｕｔ＿３）が、データオフセット＝８で同一のデータ領域に割り当てられている。
図１４は、図１２および図１３を参照して説明された本実施形態におけるデータフレームからのデータの読み出しおよび該データフレームへのデータの書込みが模式的に示されている。第１被制御装置１２１は、データフレームの第１データ領域ＤＲ１に入力データ１に書き込む。第２被制御装置１２２は、第１被制御装置１２１がデータフレームの第１データ領域ＤＲ１に書き込んだ入力データ１を、出力データ２としてデータフレームの第１データ領域ＤＲ１から読み出す。第３被制御装置１２３は、データフレームの第２データ領域ＤＲ２から出力データ３を読み出し、入力データ３をデータフレームの第２データ領域ＤＲ２に書き込む。
図６には、第１実施形態のシステム１００におけるデータの流れが例示されている。図６の例では、主制御装置１１０に通信可能に接続される被制御装置として２つの被制御装置１２１、１２２が例示されているが、被制御装置の数は２つに限定されるものではなく、３つ以上であってもよい。図６におけるＳ２０１～Ｓ２１０は図５におけるＳ１０１～Ｓ１１０と同様であり、図６におけるＳ２２１～Ｓ２３０は図５におけるＳ１２１～Ｓ１３０と同様であるため、詳細な説明は省略する。
第１周期処理において、第１被制御装置１２１の状態データが第２被制御装置１２２に送信される。具体的には、第１被制御装置１２１の通信部３０１は、第１被制御装置１２１の入力データと第２被制御装置１２２の出力データとが割り当てられたデータ領域に第１被制御装置１２１の状態データを書き込む。そして、第１被制御装置１２１の通信部３０１は、そのデータフレームを第２被制御装置１２２に送信する（Ｓ２０３）。第１被制御装置１２１からデータフレームを受信した第２被制御装置１２２の通信部３０１は、そのデータフレームにおける第２被制御装置１２２の出力データが割り当てられたデータ領域から第１被制御装置１２１の状態データを読み出す。
以上のように、第１実施形態に係るシステムによれば、主制御装置を介すことなく被制御装置間で直接通信を行うことができるので、１周期内に被制御装置間の通信を行うことができる。
以下、図７、図８を参照しながら第２実施形態のシステム１００について説明する。第２実施形態として言及しない事項は、第１実施形態に従いうる。図８には、第１被制御装置１２１の状態データを受信する第２被制御装置１２２の動作が例示されている。Ｓ１１において、第２被制御装置１２２の通信部３０１は、第１被制御装置１２１から受信したデータフレームにおける第２被制御装置１２２の出力データが割り当てられたデータ領域から第１被制御装置１２１の状態データを読み出す。Ｓ１２において、第２被制御装置１２２の判定部３０３は、Ｓ１１で読み出した第１被制御装置１２１の状態データが予め設定された条件を満たすかを判定する。Ｓ１２において、状態データが前記条件を満たすと判定された場合、第２被制御装置１２２の判定部３０３は、処理をＳ１３において、予め設定された制御データを第２被制御装置１２２のユニット制御部３０２に送信する。Ｓ１３において、第２被制御装置１２２のユニット制御部３０２は、ユニット１３２の処理を変更し、処理をＳ１１に戻す。また、Ｓ１２において、状態データが前記条件を満たすと判定されなかった場合、判定部３０３は処理をＳ１１に戻す。以上により、第１被制御装置１２１の状態データが予め設定した条件を満たす場合に、第２被制御装置１２２によるユニット１３２の処理を変更する処理が実行される。
図７には、第２実施形態のシステム１００におけるデータの流れが例示されている。図７の例では、主制御装置１１０に通信可能に接続される被制御装置として２つの被制御装置１２１、１２２を例示しているが、被制御装置の数は２つに限定されるものではなく、３つ以上であってもよい。図７におけるＳ３０１～Ｓ３０６は図５におけるＳ１０１～Ｓ１０６と同様であり、図７におけるＳ３２１～Ｓ３２６は図５におけるＳ１２１～Ｓ１２６と同様であるため、詳細な説明は省略する。
第１周期処理において、第２被制御装置１２２の通信部３０１は、第１被制御装置１２１から受信したデータフレームにおける第２被制御装置１２２の出力データに割り当てられたデータ領域から第１被制御装置１２１の状態データを読み出す。そして、第２被制御装置１２２の通信部３０１は、状態データを第２被制御装置１２２の判定部３０３に送信する（Ｓ３１０）。第２被制御装置１２２の判定部３０３は、状態データが予め設定された条件を満たすかを判定する。図７の例では、第２被制御装置１２２の判定部３０３により第１被制御装置１２１の状態データが予め設定された条件を満たすと判定される。したがって、第２被制御装置１２２の判定部３０３は、予め設定された制御データを第２被制御装置１２２のユニット制御部３０２に送信する（Ｓ３１１）。そして、第２被制御装置１２２のユニット制御部３０２は、ユニット１３２の処理を変更する。
第１被制御装置１２１の状態データが予め設定された条件を満たす場合、一例において、第２被制御装置１２２のユニット制御部３０２は、ユニット１３２の動作を停止させてもよい。更に、第１被制御装置１２１の状態データが予め設定された条件を満たす場合、第２被制御装置１２２のユニット制御部３０２は、異常処理として、主制御装置１１０の表示装置の画面に、発生している異常に関する情報を表示させてもよい。ここで、異常に関する情報には、異常の発生を知らせるメッセージ、発生した異常の内容、原因、又は対処方法に関する情報が含まれうる。
第２実施形態のシステム１００によれば、主制御装置を介すことなく被制御装置間で直接通信を行うことができるので、１周期内に被制御装置間の通信を迅速に行うことができる。また、第１被制御装置の状態データに応じて、第２被制御装置の制御の変更を迅速に行うことができる。
以下、第１及び第２実施形態に係るシステム１００を基板処理装置に適用した例を説明する。基板処理装置は、基板を処理する装置として構成される。複数のユニット１３１、１３２、１３３は、基板処理装置の一部を構成する。以下では、基板処理装置の具体例として、基板にパターンを形成するための露光装置あるいはリソグラフィー装置について説明するが、それに限られるものではない。例えば、モールドを用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置や、荷電粒子線を用いて基板にパターンを描画する描画装置などの基板処理装置あるいはリソグラフィー装置に対してもシステム１００を適用することができる。また、感光媒体を基板の表面上に塗布する塗布装置、パターンが転写された基板を現像する現像装置などの基板処理装置に対してもシステム１００を適用することができる。また、成膜装置（ＣＶＤ装置等）、加工装置（レーザー加工装置等）、検査装置（オーバーレイ検査装置等）などの基板処理装置に対してもシステム１００を適用することができる。
図１５には、基板処理装置あるいはリソグラフィー装置としての一例としての露光装置１０の構成が例示されている。露光装置１０は、マスク（原版）Ｍのパターンを投影光学系１４によって基板Ｗに投影して基板Ｗを露光する。露光装置１０は、光源１１と、照明光学系１２と、マスクステージ（原版ステージ）１３と、投影光学系１４と、基板ステージ１５と、主制御部１６とを備えうる。また、露光装置１０は、マスクステージ１３を駆動する第１駆動部２１と、投影光学系１４のレンズ１４ａを駆動する第２駆動部２２と、基板ステージ１５を駆動する第３駆動部２３とを備えうる。第１駆動部２１、第２駆動部２２および第３駆動部２３は、基板Ｗにパターンを形成する処理の少なくとも一部を担う機構であり、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２および基板ステージ制御部３３によってそれぞれ制御される。また、主制御部１６は、例えばＣＰＵ（処理部）および記憶装置などを有し、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２および基板ステージ制御部３３を制御することにより、露光装置１０の全体（露光装置１０の各部）を制御する。
光源１１は、露光光を射出する。照明光学系１２は、光源１１から射出された光を用いてマスクＭを照明する。マスクステージ１３は、マスクＭを保持するとともに、第１駆動部２１によって例えばＸＹ方向に移動可能に構成されうる。投影光学系１４は、照明光学系１２により照明されたマスクＭのパターンを基板上に投影する。投影光学系１４は、第２駆動部２２によって例えばＸ方向に移動可能なレンズ１４ａを含む。基板ステージ１５は、基板Ｗを保持するとともに、第３駆動部２３によって例えばＸＹ方向に移動可能に構成されうる。
図１５に例示される露光装置１０に対してシステム１００を適用する場合、主制御部１６が主制御装置１１０として構成されうる。また、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２および基板ステージ制御部３３がそれぞれ被制御装置として構成されうる。第１駆動部２１、第２駆動部２２および第３駆動部２３がそれぞれユニットとして構成されうる。主制御部１６、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２および基板ステージ制御部３３の間における通信が、ネットワーク１４０を介して予め定められた周期で行われることとなる。
ここで、システム１００を露光装置１０に適用する場合の例として、主制御装置１１０がマスクステージ制御部３１、投影制御部３２、及び基板ステージ制御部３３と通信を行う場合について説明する。被制御装置制御部２０１は、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２及び基板ステージ制御部３３を制御するための指令データを生成する制御処理等を実行する。
通信制御部２０２は、所定の周期で、被制御装置制御部２０１において送信バッファに書き込まれた指令データを、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２及び基板ステージ制御部３３に送信する。また、通信制御部２０２は、それらの指令データに対する応答データを、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２及び基板ステージ制御部３３から受信する。
また、基板ステージ制御部３３の判定部３０３は、投影制御部３２の状態データを１周期内に受信する。状態データには、例えば投影制御部３２又は第２駆動部２２に異常が発生している状態を示すデータが含まれうる。基板ステージ制御部３３の判定部３０３は、投影制御部３２の状態データに応じて、基板ステージの制御の変更を迅速に行う。
以上、本実施形態に係る露光装置によれば、主制御装置を介すことなく被制御装置間で直接通信を行うことができるので、１周期内に被制御装置間の通信を迅速に行うことができる。また、第１被制御装置の状態データに応じて、第２被制御装置の制御の変更を迅速に行うことができる。
一実施形態にかかる物品製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、上述した基板処理装置を用いて基板を処理する工程と、かかる工程で処理された基板から物品を製造する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、周知の工程（露光、酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等）を含みうる。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも１つにおいて有利である。
本発明は、上述の実施形態の１以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、１以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。
また、それぞれの実施形態は、単独で実施するだけでなく、全ての実施形態のうちのいずれの組合せで実施することができる。
本明細書および図面の開示は、以下を含む。
（項目１）
第１被制御装置および第２被制御装置を含む複数の被制御装置と、前記複数の被制御装置を制御する主制御装置とがネットワークを介して接続されたシステムであって、
前記主制御装置は、前記ネットワークを介して、複数のデータ領域を含むデータフレームを一定の周期で送受信する通信部と、前記データフレームの構成を設定する設定部と、を含み、
前記設定部は、前記第１被制御装置がデータを書き込むべきデータ領域と、前記第２被制御装置が読み出すべきデータ領域と、を前記データフレームにおける同一のデータ領域に設定する機能を有する、
ことを特徴とするシステム。
（項目２）
前記第２被制御装置は、前記同一のデータ領域から前記第１被制御装置が書き込んだデータを読み出して、当該データに応じた処理を実行する、
ことを特徴とする項目１に記載のシステム。
（項目３）
前記同一のデータ領域は、前記データフレームにおいて１つのデータオフセットによって特定される領域である、
ことを特徴とする項目１又は２に記載のシステム。
（項目４）
前記第１被制御装置による前記同一のデータ領域へのデータの書き込みと、前記第２被制御装置による前記同一のデータ領域からのデータの読み出しとが、同一の周期において行われる、
ことを特徴とする項目１乃至３のいずれか１項に記載のシステム。
（項目５）
前記第１被制御装置は、前記第１被制御装置の状態を示すデータを前記同一のデータ領域に書き込む、
ことを特徴とする項目１乃至４のいずれか１項に記載のシステム。
（項目６）
前記設定部は、前記ネットワークの構成を示すネットワーク構成情報に基づいて前記同一のデータ領域の設定を行う、
ことを特徴とする項目１乃至５のいずれか１項に記載のシステム。
（項目７）
前記通信部は、サービスデータオブジェクト通信によって、前記第１被制御装置がデータを書き込むべきデータ領域を示す情報を前記第１被制御装置に提供し、
前記通信部は、サービスデータオブジェクト通信によって、前記第２被制御装置がデータを読み出すべきデータ領域を示す情報を前記第２被制御装置に提供する、
ことを特徴とする項目６に記載のシステム。
（項目８）
前記主制御装置および前記複数の被制御装置は、デイジーチェーンを構成するように接続される、
ことを特徴とする項目１乃至７のいずれか１項に記載のシステム。
（項目９）
前記第１被制御装置は、前記デイジーチェーンにおいて、前記主制御装置と前記第２被制御装置との間に配置されている、
ことを特徴とする項目８に記載のシステム。
（項目１０）
前記複数の被制御装置によってそれぞれ制御される複数のユニットを更に備える、
ことを特徴とする項目１乃至９のいずれか１項に記載のシステム。
（項目１１）
前記複数のユニットは、基板を処理する基板処理装置の一部を構成する、
ことを特徴とする項目１０に記載のシステム。
（項目１２）
前記基板処理装置は、前記基板にパターンを形成するためのリソグラフィー装置である、
ことを特徴とする項目１１に記載のシステム。
（項目１３）
項目１１又は１２に記載のシステムを使って基板を処理し前記基板から物品を得る工程を含むことを特徴とする物品製造方法。
（項目１４）
第１被制御装置および第２被制御装置を含む複数の被制御装置を制御する主制御装置を備えるシステムであって、
前記主制御装置は、ネットワークを介して、複数のデータ領域を含むデータフレームを一定の周期で通信する通信部と、前記データフレームの構成を設定する設定部と、を含み、
前記設定部は、前記第１被制御装置がデータを書き込むべきデータ領域と、前記第２被制御装置が読み出すべきデータ領域と、を前記データフレームにおける同一のデータ領域に設定する機能を有する、
ことを特徴とするシステム。
（項目１５）
ネットワークを介して接続された第１被制御装置および第２被制御装置を含む複数の被制御装置と、前記複数の被制御装置を制御する主制御装置と、を有するシステムの制御方法であって、
前記主制御装置が、複数のデータ領域を含むデータフレームの構成を設定する設定工程と、
前記主制御装置が、前記ネットワークを介して前記データフレームを一定の周期で通信する通信工程と、を含み、
前記設定工程は、前記第１被制御装置がデータを書き込むべきデータ領域と、前記第２被制御装置が読み出すべきデータ領域と、を前記データフレームにおける同一のデータ領域に設定する工程を含む、
ことを特徴とする制御方法。
（項目１６）
前記第２被制御装置が、前記データフレームから前記第２被制御装置に割り当てられたデータを読み出して、当該データに応じた処理を実行する実行工程を更に含む、
ことを特徴とする項目１５に記載の制御方法。
（項目１７）
前記同一のデータ領域は、前記データフレームにおいて１つのデータオフセットによって特定される領域である、
ことを特徴とする項目１５又は１６に記載の制御方法。
（項目１８）
前記第１被制御装置による前記同一のデータ領域へのデータの書き込みと、前記第２被制御装置による前記同一のデータ領域からのデータの読み出しとが、同一の周期において行われる、
ことを特徴とする項目１５乃至１７のいずれか１項に記載の制御方法。
（項目１９）
項目１５乃至１８のいずれか１項に記載された制御方法に従う制御をコンピュータに実行させるためのプログラム。
発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。
１００：システム、１１０：主制御装置、１２１：第１被制御装置、１２２：第２被制御装置、１２３：第３被制御装置、１４０：ネットワーク

Claims (19)

  1. 第１被制御装置および第２被制御装置を含む複数の被制御装置と、前記複数の被制御装置を制御する主制御装置とがネットワークを介して接続されたシステムであって、
    前記主制御装置は、前記ネットワークを介して、複数のデータ領域を含むデータフレームを一定の周期で送受信する通信部と、前記データフレームの構成を設定する設定部と、を含み、
    前記設定部は、前記第１被制御装置がデータを書き込むべきデータ領域と、前記第２被制御装置が読み出すべきデータ領域と、を前記データフレームにおける同一のデータ領域に設定する機能を有する、
    ことを特徴とするシステム。
  2. 前記第２被制御装置は、前記同一のデータ領域から前記第１被制御装置が書き込んだデータを読み出して、当該データに応じた処理を実行する、
    ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
  3. 前記同一のデータ領域は、前記データフレームにおいて１つのデータオフセットによって特定される領域である、
    ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
  4. 前記第１被制御装置による前記同一のデータ領域へのデータの書き込みと、前記第２被制御装置による前記同一のデータ領域からのデータの読み出しとが、同一の周期において行われる、
    ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
  5. 前記第１被制御装置は、前記第１被制御装置の状態を示すデータを前記同一のデータ領域に書き込む、
    ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
  6. 前記設定部は、前記ネットワークの構成を示すネットワーク構成情報に基づいて前記同一のデータ領域の設定を行う、
    ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
  7. 前記通信部は、サービスデータオブジェクト通信によって、前記第１被制御装置がデータを書き込むべきデータ領域を示す情報を前記第１被制御装置に提供し、
    前記通信部は、サービスデータオブジェクト通信によって、前記第２被制御装置がデータを読み出すべきデータ領域を示す情報を前記第２被制御装置に提供する、
    ことを特徴とする請求項６に記載のシステム。
  8. 前記主制御装置および前記複数の被制御装置は、デイジーチェーンを構成するように接続される、
    ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
  9. 前記第１被制御装置は、前記デイジーチェーンにおいて、前記主制御装置と前記第２被制御装置との間に配置されている、
    ことを特徴とする請求項８に記載のシステム。
  10. 前記複数の被制御装置によってそれぞれ制御される複数のユニットを更に備える、
    ことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載のシステム。
  11. 前記複数のユニットは、基板を処理する基板処理装置の一部を構成する、
    ことを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
  12. 前記基板処理装置は、前記基板にパターンを形成するためのリソグラフィー装置である、
    ことを特徴とする請求項１１に記載のシステム。
  13. 請求項１１に記載のシステムを使って基板を処理し前記基板から物品を得る工程を含むことを特徴とする物品製造方法。
  14. 第１被制御装置および第２被制御装置を含む複数の被制御装置を制御する主制御装置を備えるシステムであって、
    前記主制御装置は、ネットワークを介して、複数のデータ領域を含むデータフレームを一定の周期で通信する通信部と、前記データフレームの構成を設定する設定部と、を含み、
    前記設定部は、前記第１被制御装置がデータを書き込むべきデータ領域と、前記第２被制御装置が読み出すべきデータ領域と、を前記データフレームにおける同一のデータ領域に設定する機能を有する、
    ことを特徴とするシステム。
  15. ネットワークを介して接続された第１被制御装置および第２被制御装置を含む複数の被制御装置と、前記複数の被制御装置を制御する主制御装置と、を有するシステムの制御方法であって、
    前記主制御装置が、複数のデータ領域を含むデータフレームの構成を設定する設定工程と、
    前記主制御装置が、前記ネットワークを介して前記データフレームを一定の周期で通信する通信工程と、を含み、
    前記設定工程は、前記第１被制御装置がデータを書き込むべきデータ領域と、前記第２被制御装置が読み出すべきデータ領域と、を前記データフレームにおける同一のデータ領域に設定する工程を含む、
    ことを特徴とする制御方法。
  16. 前記第２被制御装置が、前記データフレームから前記第２被制御装置に割り当てられたデータを読み出して、当該データに応じた処理を実行する実行工程を更に含む、
    ことを特徴とする請求項１５に記載の制御方法。
  17. 前記同一のデータ領域は、前記データフレームにおいて１つのデータオフセットによって特定される領域である、
    ことを特徴とする請求項１５に記載の制御方法。
  18. 前記第１被制御装置による前記同一のデータ領域へのデータの書き込みと、前記第２被制御装置による前記同一のデータ領域からのデータの読み出しとが、同一の周期において行われる、
    ことを特徴とする請求項１５に記載の制御方法。
  19. 請求項１５乃至１８のいずれか１項に記載された制御方法に従う制御をコンピュータに実行させるためのプログラム。
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