JP7466329B2 - 制御装置、システム、リソグラフィ装置、物品の製造方法、制御方法、およびプログラム - Google Patents

Description

本発明は、マスタ装置としてスレーブ装置を制御する制御装置、それを備えたシステム、リソグラフィ装置、物品の製造方法、制御方法、およびプログラムに関するものである。

マスタ装置とスレーブ装置との間でデータの送受信を行うシステムでは、当該システムの動作中にマスタ装置をリセットする必要が生じることがある。特許文献１では、マスタ装置のリセットによりマスタ装置からスレーブ装置へのデータ転送動作を実行できない状態になった場合に、当該マスタ装置の代わりにスレーブ装置の動作を実行完了させる転送キャンセル部を設けたシステムが提案されている。

特開２０１１－８１５５１号公報

フィールドネットワークを介してマスタ装置とスレーブ装置との間でデータの送受信を一定周期ごとに行うシステムでは、スレーブ装置への指示データを生成するためにマスタ装置に設けられた生成部をリセットすることがある。この場合において、スレーブ装置からの応答データがフィールドネットワークのデータフレームに残存していると、当該応答データが誤って送信されて、システムを正常に動作させることが困難になりうる。

そこで、本発明は、フィールドネットワークを介してマスタ装置とスレーブ装置との間でデータの送受信を行うシステムを正常に動作させるために有利な技術を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の一側面としての制御装置は、マスタ装置としてスレーブ装置を制御する制御装置であって、前記スレーブ装置での処理を制御するための指示データを生成する生成部と、フィールドネットワークを介して、一定周期ごとに、前記生成部で生成された前記指示データを前記スレーブ装置に送信するとともに、前記スレーブ装置から応答データを受信する通信部と、を含み、前記通信部は、前記生成部がリセットされたことを検知した場合、前記スレーブ装置からの応答データが前記フィールドネットワークのデータフレームに残留しているときには当該応答データを破棄する、ことを特徴とする。

本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。

本発明によれば、例えば、フィールドネットワークを介してマスタ装置とスレーブ装置との間でデータの送受信を行うシステムを正常に動作させるために有利な技術を提供することができる。

マスタ装置とスレーブ装置とを含むシステムの概略構成図 マスタ装置の通信制御部で行われる処理を示すフローチャート シーケンス制御部、生成部、通信制御部およびスレーブ装置の間でのデータの流れの一例を示す図 シーケンス制御部、生成部、通信制御部およびスレーブ装置の間でのデータの流れの一例を示す図 露光装置の構成を示す概略図

以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。

＜第１実施形態＞
本発明に係る一実施形態について説明する。図１は、スレーブ装置と当該スレーブ装置を制御するマスタ装置（制御装置）とを含む本実施形態のシステム１００の概略構成図である。本実施形態のシステム１００は、図１に示すように、マスタ装置１１０と、マスタ装置１１０に通信可能に接続される複数のスレーブ装置１２０と、各スレーブ装置１２０に通信可能に接続されるユニット１３０とを含みうる。マスタ装置１１０および各スレーブ装置１２０は、例えばＣＰＵやメモリ等を有するコンピュータによって構成されうるが、ボードコンピュータで構成されてもよいし、ボードコンピュータと兼用するように構成されてもよい。また、ユニット１３０は、例えばサーボモータ等の機構であり、スレーブ装置１２０によって制御されうる。

複数のスレーブ装置１２０は、ディジーチェーン方式でマスタ装置１１０に通信可能に接続されている。マスタ装置１１０は、フィールドネットワーク１４０を介して、一定周期ごとに、複数のスレーブ装置１２０とデータの送受信を行う。また、複数のスレーブ装置１２０は、マスタ装置１１０から受信したデータに基づいて、複数のユニット１３０をそれぞれ制御する。本実施形態では、マスタ装置１１０に通信可能に接続されるスレーブ装置１２０として２個のスレーブ装置１２１、１２２を例示するが、スレーブ装置１２０の数は２個に限られるものではなく、１個または３個以上であってもよい。また、本実施形態では、複数のスレーブ装置１２０により制御される複数のユニット１３０として２個のユニット１３１、１３２を例示する。ユニット１３１はスレーブ装置１２１によって制御され、ユニット１３２はスレーブ装置１２２によって制御されうる。

マスタ装置１１０は、シーケンス制御部１１１と、複数の生成部（スレーブ制御部）１１２と、通信制御部（通信部）１１３とを含みうる。
シーケンス制御部１１１は、各スレーブ装置１２０での処理のシーケンスを制御する。例えば、シーケンス制御部１１１は、予め定められた（設定された）手順、手続きまたはレシピに従って複数の生成部１１２を制御する。複数の生成部１１２はそれぞれ、制御対象とするスレーブ装置１２０での処理を制御（指示）するための指示データを生成する。

生成部１１２は、例えばスレーブ装置１２０と同じ数だけ設けられ、本実施形態では、２個のスレーブ装置１２１、１２２をそれぞれ制御対象とする２個の生成部１１２ａ、１１２ｂが設けられている。生成部１１２ａは、スレーブ装置１２１を制御対象としており、スレーブ装置１２１での処理を制御するための指示データを生成する。一方、生成部１１２ｂは、スレーブ装置１２２を制御対象としており、スレーブ装置１２２での処理を制御するための指示データを生成する。

通信制御部１１３は、フィールドネットワーク１４０を介して、一定周期ごとに、複数のスレーブ装置１２０とデータの送受信を行う。例えば、通信制御部１１３は、フィールドネットワーク１４０を介して、一定周期ごとに、生成部１１２ａ、１１２ｂで生成された指示データをスレーブ装置１２１、１２２に送信するとともに、スレーブ装置１２１、１２２から応答データを受信する。応答データとは、例えば、指示データによって指示された処理が完了したか否かを示すデータ（フラグ）である。

次に、図１に示すフィールドネットワーク１４０の一例として、産業用イーサネット（登録商標）の１つであるＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）について説明する。ＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）では、一定周期（例えば１ｍ秒）でデータフレームの送受信が行われるため、データの到達時間が保証される。フィールドネットワーク１４０としてＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）を採用する場合には、フィールドネットワーク１４０に接続されるノードのうち少なくとも１つがマスタ装置１１０として機能し、その他のノードがスレーブ装置１２０として機能しうる。マスタ装置１１０として機能するノードは、フィールドネットワーク１４０におけるデータフレームの送受信タイミングなどを管理する。

図１に示す例では、マスタ装置１１０（通信制御部１１３）は、生成部１１２ａ、１１２ｂで生成された指示データをデータフレームに書き込むとともに、当該データフレームをスレーブ装置１２１へ送信する。データフレームを受信したスレーブ装置１２１は、当該データフレームのデータのうち自身に割り当てられた領域のデータの読み書きを行い、当該データフレームを次のスレーブ装置１２２へ送信する。また、データフレームを受信したスレーブ装置１２２は、当該データフレームのデータのうち自身に割り当てられたデータの読み書きを行い、当該データフレームをスレーブ装置１２１を介してマスタ装置１１０に送信する。

具体的には、スレーブ装置１２１は、受信したデータフレームの中から、生成部１１２ａで生成された指示データを読み出し、応答データの書き込みを行ってから当該データフレームを次のスレーブ装置１２２へ送信する。また、スレーブ装置１２２は、受信したデータフレームの中から、生成部１１２ｂで生成された指示データを読み出し、応答データの書き込みを行ってから当該データフレームをスレーブ装置１２１を介してマスタ装置１１０に送信する。

上記のようにフィールドネットワークを介してマスタ装置１１０とスレーブ装置１２０との間でデータの送受信を一定周期ごとに行うシステム１００では、複数の生成部１１２のうち、異常や障害が生じた生成部１１２のみをリセットすることがある。この場合において、当該生成部１１２が制御対象とするスレーブ装置１２０からの応答データがフィールドネットワーク１４０のデータフレームに残存していると、当該応答データが誤って送信されることとなる。また、リセットされた生成部１１２においては、リセット前に処理した内容は消去されるため、リセット前に生成された指示データに対する応答データを受信するとエラーが発生しうる。その結果、システム１００を正常に動作させることが困難になりうる。

そこで、本実施形態の通信制御部１１３は、生成部１１２がリセットされたことを検知した場合、スレーブ装置１２０からの応答データがフィールドネットワーク１４０のデータフレームに残留しているときには当該応答データを破棄する。例えば、通信制御部１１３は、複数の生成部１１２のうちリセットされた生成部１１２が検知された場合、複数のスレーブ装置１２０の中から、リセットされた生成部１１２が制御対象とするスレーブ装置１２０を特定する。そして、通信制御部１１３は、特定したスレーブ装置１２０からの応答データがフィールドネットワーク１４０のデータフレームに残留しているときには当該応答データを破棄する。

図２は、本実施形態の通信制御部１１３で行われる処理を示すフローチャートである。ユーザがシステム１００を起動すると、マスタ装置１１０および複数のスレーブ装置１２１、１２２が起動する。そして、マスタ装置１１０と複数のスレーブ装置１２１、１２２との間で、フィールドネットワーク１４０を介した一定周期ごとのデータの送受信が開始されるとともに、図２に示すフローチャートが開始される。通信制御部１１３は、図２に示すフローチャートの実行中においても、フィールドネットワーク１４０を介した一定周期ごとの複数のスレーブ装置１２１、１２２とのデータの送受信を繰り返し実行しているものとする。

Ｓ１１において、通信制御部１１３は、複数の生成部１１２の各々のリセットを監視（確認）する。そして、Ｓ１２において、通信制御部１１３は、複数の生成部１１２（１１２ａ、１１２ｂのうち、リセットされた生成部１１２を検知したか否かを判断する。例えば、生成部１１２がリセットされたときには、当該生成部１１２から一定周期で送信されている指示データが送信されない。そのため、通信制御部１１３は、指示データを受信したか否かに応じて、リセットされた生成部１１２を検知することができる。また、通信制御部１１３は、生成部１１２のリセットが実行されるときに当該生成部１１２から送信されるデータ（フラグ）に基づいて、リセットされた生成部１１２を検知することができる。リセットされた生成部１１２を検知した場合にはＳ１３に進み、リセットされた生成部１１２を検知していない場合にはＳ１１に戻る。

Ｓ１３において、通信制御部１１３は、リセットされた生成部１１２が制御対象とするスレーブ装置１２０を特定する。本実施形態のシステム１００では、複数のスレーブ装置１２０をそれぞれ制御対象とする複数の生成部１１２が設けられており、複数のスレーブ装置１２０と複数の生成部１１２との対応関係が予め把握されている。そのため、通信制御部１１３は、当該対応関係を示す情報に基づいて、複数のスレーブ装置１２０のうち、リセットされた生成部１１２が制御対象とするスレーブ装置１２０を特定することができる。なお、以下では、Ｓ１３で特定されたスレーブ装置１２０を「特定スレーブ装置１２０」と呼ぶことがある。

Ｓ１４において、通信制御部１１３は、特定スレーブ装置１２０での処理の状態を確認する。そして、Ｓ１５において、通信制御部１１３は、特定スレーブ装置１２０での処理が実行中か否かを判断する。例えば、通信制御部１１３は、一定周期ごとに受信するフィールドネットワーク１４０のデータフレームを確認することにより、特定スレーブ装置１２０での処理が実行中か否かを判断することができる。具体的には、フィールドネットワーク１４０のデータフレームには、特定スレーブ装置１２０での処理が完了したことを示すフラグが設けられる。通信制御部１１３は、フィールドネットワーク１４０のデータフレームにおいて当該フラグが立っている場合には、特定スレーブ装置１２０での処理が完了したと判断することができる。一方、通信制御部１１３は、フィールドネットワーク１４０のデータフレームにおいて当該フラグが立っていない場合には、特定スレーブ装置１２０での処理が実行中であると判断することができる。特定スレーブ装置１２０での処理が実行中である場合にはＳ１６に進み、特定スレーブ装置１２０での処理が完了した場合にはＳ１９に進む。

Ｓ１６～Ｓ１８は、特定スレーブ装置１２０での処理が実行中である場合に進む工程である。特定スレーブ装置１２０を制御対象とする生成部１１２がリセットされたにも関わらず、特定スレーブ装置１２０での処理が完了してしまうと、システム１００を正常に動作させることが困難になりうる。したがって、本工程では、特定スレーブ装置１２０での処理が実行中である場合に、特定スレーブ装置１２０をリセットさせる。

Ｓ１６において、通信制御部１１３は、特定スレーブ装置１２０のリセットを実行するように特定スレーブ装置１２０に指示する。例えば、通信制御部１１３は、特定スレーブ装置１２０のリセットの実行を指示するコマンド（データ）をフィールドネットワーク１４０のデータフレームに書き込むことにより、特定スレーブ装置１２０のリセットの実行を指示することができる。ここで、特定スレーブ装置１２０は、フィールドネットワーク１４０を介するマスタ装置１１０および他のスレーブ装置１２０との通信を維持したまま、自身のリセットを行うとよい。これにより、通信制御部１１３は、特定スレーブ装置１２０のリセットの実行中においても、特定スレーブ装置１２０以外のスレーブ装置１２０に対し、フィールドネットワーク１４０を介した通信を維持することができる。

Ｓ１７において、通信制御部１１３は、特定スレーブ装置１２０のリセットの実行状態を確認する。そして、Ｓ１８において、通信制御部１１３は、特定スレーブ装置１２０のリセットが完了したか否かを判断する。例えば、通信制御部１１３は、一定周期ごとに受信するフィールドネットワーク１４０のデータフレームを確認することにより、特定スレーブ装置１２０での処理が実行中か否かを判断することができる。具体的には、フィールドネットワーク１４０のデータフレームには、特定スレーブ装置１２０のリセットが完了したことを示すフラグが設けられる。通信制御部１１３は、フィールドネットワーク１４０のデータフレームにおいて当該フラグが立っている場合には、特定スレーブ装置１２０のリセットが完了したと判断することができる。一方、通信制御部１１３は、フィールドネットワーク１４０のデータフレームにおいて当該フラグが立っていない場合には、特定スレーブ装置１２０のリセットが実行中であると判断することができる。特定スレーブ装置１２０のリセットが完了した場合にはＳ１９に進み、特定スレーブ装置１２０のリセットが完了していない場合にはＳ１７に戻る。

Ｓ１９において、通信制御部１１３は、フィールドネットワーク１４０のデータフレームを確認する。例えば、Ｓ１６～Ｓ１８において特定スレーブ装置１２０のリセットを実行した場合、通信制御部１１３は、特定スレーブ装置１２０のリセットが完了した後のデータフレームを確認するとよい。そして、Ｓ２０において、通信制御部１１３は、フィールドネットワーク１４０のデータフレームに、特定スレーブ装置１２０からの応答データが残留（存在）しているか否かを判断する。特定スレーブ装置１２０からの応答データがデータフレームに残留していない場合にはＳ１１に戻る。一方、特定スレーブ装置１２０からの応答データがデータフレームに残留している場合にはＳ２１に進み、当該応答データを当該データフレームから破棄した後でＳ１１に戻る。

ここで、「応答データの破棄」とは、当該応答データが有効でない状態（無効な状態）にすることを意味する。例えば、通信制御部１１３は、特定スレーブ装置１２０からの応答データをフィールドネットワーク１４０のデータフレームからクリアする（消去する）ことにより、応答データの破棄を実行することができる。また、応答データが、処理が完了したことを示すフラグが立っているか否かによって示される場合、通信制御部１１３は、データフレームにおいて立っている当該フラグを下げることにより、応答データの破棄を実行することができる。

次に、本実施形態のシステム１００におけるデータの流れについて説明する。図３～図４は、本実施形態のシステム１００におけるシーケンス制御部１１１、生成部１１２、通信制御部１１３およびスレーブ装置１２０の間でのデータの流れの一例を示す図である。図３は、フィールドネットワーク１４０のデータフレームに応答データの残留がない場合におけるデータの流れの一例（実施例１）を示しており、図４は、当該データフレームに応答データの残留がある場合におけるデータの流れの一例（実施例２）を示している。

［実施例１］
図３を参照しながら実施例１について説明する。
シーケンス制御部１１１は、予め定められた（設定された）手順、手続きまたはレシピに従って、生成部１１２に指示データを生成させるための制御コマンドを当該生成部１１２に送信する（Ｓ１０１）。シーケンス制御部１１１から制御コマンドを受信した生成部１１２は、当該制御コマンドに基づいて、スレーブ装置１２０に処理を実行させるための指示データを生成して通信制御部１１３に送信する（Ｓ１０２）。生成部１１２から指示データを受信した通信制御部１１３は、フィールドネットワーク１４０のデータフレームに当該指示データを書き込むことにより、当該指示データをスレーブ装置１２０に送信する（Ｓ１０３）。通信制御部１１３から指示データを受信したスレーブ装置１２０は、当該指示データにより指示された処理の実行を開始して、ユニット１３０の制御を開始する。これにより、スレーブ装置１２０が処理中となる。

ここで、生成部１１２をリセットする必要が生じた場合、シーケンス制御部１１１は、生成部１１２のリセットを実行させるためのリセット指示コマンドを生成部１１２に送信し、生成部１１２のリセットを実行する（Ｓ１０４）。また、リセットが実行される生成部１１２は、リセットを実行することを示すデータ（リセット実行コマンド）を通信制御部１１３に送信する（Ｓ１０５）。これにより、通信制御部１１３は、リセットされた生成部１１２を検知することができる。通信制御部１１３は、リセットされた生成部１１２が制御対象とするスレーブ装置１２０を特定し（Ｓ１０６）、特定されたスレーブ装置１２０での処理の状態を確認することにより当該スレーブ装置１２０が処理の実行中であるか否かを判断する（Ｓ１０７）。本実施例１では、スレーブ装置１２０が処理の実行中である（即ち、スレーブ装置１２０から応答データが送信されていない）。そのため、通信制御部１１３は、スレーブ装置１２０のリセットの実行を指示するリセット指示コマンドをスレーブ装置１２０に送信する（Ｓ１０８）。リセット指示コマンドを受信したスレーブ装置１２０は、自らのリセットを実行し、当該リセットが完了した場合には、フィールドネットワーク１４０を介して、リセットの完了を示すデータ（リセット完了コマンド）を通信制御部１１３に送信する（Ｓ１０９）。

リセット完了コマンドを受信した通信制御部１１３は、スレーブ装置１２０からの応答データがフィールドネットワーク１４０のデータフレームに残留しているか否かを確認する（Ｓ１１０）。本実施例１では、スレーブ装置１２０が処理の実行中に当該スレーブ装置１２０のリセットを実行しているため、スレーブ装置１２０での処理の完了を示す応答データがフィールドネットワーク１４０のデータフレームに書き込まれていない。つまり、本実施例１では、スレーブ装置１２０からの応答データが当該データフレームに残留しておらず、通信制御部１１３による応答データの破棄を行わずに次の制御に進む。

シーケンス制御部１１１は、予め定められた（設定された）手順、手続きまたはレシピに従って、生成部１１２に次の指示データを生成させるための制御コマンドを当該生成部１１２に送信する（Ｓ１１１）。生成部１１２は、受信した制御コマンドに基づいて、スレーブ装置１２０に処理を実行させるための指示データを生成して通信制御部１１３に送信する（Ｓ１１２）。通信制御部１１３は、受信した指示データをフィールドネットワーク１４０のデータフレームに書き込むことにより、当該指示データをスレーブ装置１２０に送信する（Ｓ１１３）。通信制御部１１３から指示データを受信したスレーブ装置１２０は、当該指示データにより指示された処理の実行を開始する。そして、スレーブ装置１２０は、当該処理が完了したら、フィールドネットワーク１４０のデータフレームに応答データを書き込むことにより、当該応答データを通信制御部１１３に送信する（Ｓ１１４）。通信制御部１１３で受信された応答データは、生成部１１２を介して（Ｓ１１５）、シーケンス制御部１１１に送信される（Ｓ１１６）。

［実施例２］
図４を参照しながら実施例２について説明する。
シーケンス制御部１１１は、予め定められた（設定された）手順、手続きまたはレシピに従って、生成部１１２に次の指示データを生成させるための制御コマンドを当該生成部１１２に送信する（Ｓ２０１）。生成部１１２は、受信した制御コマンドに基づいて、スレーブ装置１２０に処理を実行させるための指示データを生成して通信制御部１１３に送信する（Ｓ２０２）。通信制御部１１３は、受信した指示データをフィールドネットワーク１４０のデータフレームに書き込むことにより、当該指示データをスレーブ装置１２０に送信する（Ｓ２０３）。通信制御部１１３から指示データを受信したスレーブ装置１２０は、当該指示データにより指示された処理の実行を開始する。そして、スレーブ装置１２０は、当該処理が完了したら、フィールドネットワーク１４０のデータフレームに応答データを書き込むことにより、当該応答データを通信制御部１１３に送信する（Ｓ２０４）。

ここで、生成部１１２をリセットする必要が生じた場合、シーケンス制御部１１１は、生成部１１２のリセットを実行させるためのリセット指示コマンドを生成部１１２に送信し、生成部１１２のリセットを実行する（Ｓ２０５）。また、リセットが実行される生成部１１２は、リセットを実行することを示すデータ（リセット実行コマンド）を通信制御部１１３に送信する（Ｓ２０６）。これにより、通信制御部１１３は、リセットされた生成部１１２を検知することができる。通信制御部１１３は、リセットされた生成部１１２が制御対象とするスレーブ装置１２０を特定し（Ｓ２０７）、特定されたスレーブ装置１２０での処理の状態を確認することにより当該スレーブ装置１２０が処理の実行中であるか否かを判断する（Ｓ２０８）。本実施例２では、スレーブ装置１２０において処理が完了している（即ち、Ｓ２０４においてスレーブ装置１２０から応答データが送信されている）ため、スレーブ装置１２０のリセットは実行されない。

通信制御部１１３は、スレーブ装置１２０からの応答データがフィールドネットワーク１４０のデータフレームに残留しているか否かを確認する（Ｓ２０９）。本実施例２では、スレーブ装置１２０で処理が完了して、スレーブ装置１２０から応答データが送信されたものの、生成部１１２およびシーケンス制御部１１１に当該応答データが送信されていない状態である。つまり、フィールドネットワーク１４０のデータフレームに応答データが残留している状態である。そのため、通信制御部１１３は、当該データフレームに残留している応答データを破棄し（Ｓ２１０）、それから次の工程（Ｓ２１１～Ｓ２１６）に進む。Ｓ２１１～Ｓ２１６は、実施例１で説明した図３のＳ１１１～Ｓ１１６と同様の工程である。これにより、Ｓ２０４でスレーブ装置１２０から送信されてデータフレームに残留している応答データが生成部１１２およびシーケンス制御部１１１に送信されることを回避することができる。つまり、Ｓ２１３でスレーブ装置１２０に送信された指示データに対する応答データとして、Ｓ２０４でスレーブ装置１２０から送信された過去の応答データが生成部１１２およびシーケンス制御部１１１に送信されることを回避することができる。

上述したように、本実施形態のマスタ装置１１０（通信制御部１１３）は、生成部１１２のリセットを検知した場合、スレーブ装置１２０からの応答データがフィールドネットワーク１４０のデータフレームに残留しているときには当該応答データを破棄する。これにより、フィールドネットワーク１４０のデータフレームに残存している応答データが誤って送信されることを回避し、システム１００を正常に動作させることができる。

＜リソグラフィ装置の実施形態＞
本発明に係る上記のシステム１００を適用したリソグラフィ装置の実施形態について説明する。本実施形態では、上記のシステム１００を適用したリソグラフィ装置として、基板を露光して基板上にパターンを形成する露光装置を例示して説明するが、それに限られるものではない。例えば、モールドを用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置や、荷電粒子線を基板に照射して当該基板にパターンを形成する描画装置などのリソグラフィ装置においても、上記のシステム１００を適用することができる。

図５は、露光装置１０の構成を示す概略図である。露光装置１０は、マスクＭのパターンを投影光学系１４を介して基板Ｗに投影して当該基板Ｗを露光する露光装置である。露光装置１０は、光源１１と、照明光学系１２と、マスクステージ１３と、投影光学系１４と、基板ステージ１５と、主制御部１６とを有する。また、露光装置１０は、マスクステージ１３を駆動する第１駆動部２１と、投影光学系１４のレンズ１４ａを駆動する第２駆動部２２と、基板ステージ１５を駆動する第３駆動部２３とを有する。第１駆動部２１、第２駆動部２２および第３駆動部２３は、基板Ｗにパターンを形成する処理の少なくとも一部を行う機構であり、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２および基板ステージ制御部３３によってそれぞれ制御される。また、主制御部１６は、例えばＣＰＵやメモリ（記憶部）などを有し、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２および基板ステージ制御部３３を制御することにより、露光装置１０の全体（露光装置１０の各部）を制御する。

光源１１は、露光光を射出する。照明光学系１２は、光源１１から射出された光を用いてマスクＭを照明する。マスクステージ１３は、マスクＭを保持するとともに、第１駆動部２１によって例えばＸＹ方向に移動可能に構成されうる。投影光学系１４は、照明光学系１２により照明されたマスクＭのパターンを基板上に投影する。投影光学系１４は、第２駆動部２２によって例えばＸ方向に移動可能なレンズ１４ａを含む。基板ステージ１５は、基板Ｗを保持するとともに、第３駆動部２３によって例えばＸＹ方向に移動可能に構成されうる。

図５に示す露光装置１０において、本発明に係る上記のシステム１００を適用する場合、主制御部１６がマスタ装置１１０として構成されうる。また、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２および基板ステージ制御部３３がそれぞれスレーブ装置１２０として構成されうる。第１駆動部２１、第２駆動部２２および第３駆動部２３がそれぞれユニット１３０として構成されうる。主制御部１６、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２および基板ステージ制御部３３との間におけるデータの送受信が、フィールドネットワークを介して一定周期ごとに行われることとなる。

＜物品の製造方法の実施形態＞
本発明の実施形態にかかる物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、上記のリソグラフィ装置（露光装置）を用いて基板上にパターンを形成する工程と、かかる工程でパターンを形成された基板を加工する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程（酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等）を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも１つにおいて有利である。

＜その他の実施例＞
本発明は、上述の実施形態の１以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、１以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。

発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。

１００：システム、１１０：マスタ装置、１１１：シーケンス制御部、１１２：生成部、１１３：通信制御部、１２０：スレーブ装置、１３０：ユニット

Claims (12)

1. マスタ装置としてスレーブ装置を制御する制御装置であって、
   前記スレーブ装置での処理を制御するための指示データを生成する生成部と、
   フィールドネットワークを介して、一定周期ごとに、前記生成部で生成された前記指示データを前記スレーブ装置に送信するとともに、前記スレーブ装置から応答データを受信する通信部と、
   を含み、
   前記通信部は、前記生成部がリセットされたことを検知した場合、前記スレーブ装置からの応答データが前記フィールドネットワークのデータフレームに残留しているときには当該応答データを破棄する、ことを特徴とする制御装置。
2. 前記通信部は、前記生成部がリセットされたことを検知した場合、前記スレーブ装置が前記処理の実行中であるか否かを判断し、前記スレーブ装置が前記処理の実行中である場合には、前記スレーブ装置のリセットを実行するように前記スレーブ装置に指示する、ことを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
3. 前記通信部は、前記スレーブ装置のリセットの実行を指示した場合、前記フィールドネットワークのデータフレームに残留している前記スレーブ装置からの応答データの破棄を、前記スレーブ装置のリセットが完了した後に行う、ことを特徴とする請求項２に記載の制御装置。
4. 前記通信部は、前記スレーブ装置のリセットの実行を指示した場合、当該リセットの実行中においても前記フィールドネットワークを介した前記スレーブ装置との通信を維持する、ことを特徴とする請求項２又は３に記載の制御装置。
5. 前記制御装置は、前記スレーブ装置での処理のシーケンスを制御するシーケンス制御部を更に含み、
   前記生成部のリセットは、前記シーケンス制御部によって実行される、ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の制御装置。
6. 前記制御装置は、前記フィールドネットワークを介して複数のスレーブ装置をそれぞれ制御するため、前記複数のスレーブ装置をそれぞれ制御対象とする複数の前記生成部を含む、ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の制御装置。
7. 前記通信部は、前記複数の生成部のうちリセットされた生成部を検知した場合、前記複数のスレーブ装置のうち前記リセットされた生成部が制御対象とするスレーブ装置を特定し、前記特定したスレーブ装置からの応答データが前記フィールドネットワークのデータフレームに残留しているときには当該応答データを破棄する、ことを特徴とする請求項６に記載の制御装置。
8. スレーブ装置と、前記スレーブ装置を制御するマスタ装置とを含むシステムであって、
   前記マスタ装置は、
   前記スレーブ装置での処理を制御するための指示データを生成する生成部と、
   フィールドネットワークを介して、一定周期ごとに、前記生成部で生成された前記指示データを前記スレーブ装置に送信するとともに、前記スレーブ装置から応答データを受信する通信部と、を含み、
   前記通信部は、前記生成部がリセットされたことを検知した場合、前記スレーブ装置からの応答データが前記フィールドネットワークのデータフレームに残留しているときには当該応答データを破棄する、ことを特徴とするシステム。
9. 基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
   請求項８に記載のシステムを含み、
   前記スレーブ装置は、前記基板にパターンを形成する処理の少なくとも一部を行う機構を制御する、ことを特徴とするリソグラフィ装置。
10. 請求項９に記載のリソグラフィ装置を用いて基板上にパターンを形成する工程と、
    前記工程でパターンが形成された前記基板を加工する工程と、を含み、
    加工された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
11. マスタ装置によりスレーブ装置を制御する制御方法であって、
    前記スレーブ装置での処理を制御するための指示データを生成部により生成する生成工程と、
    フィールドネットワークを介して、一定周期ごとに、前記生成工程で生成された前記指示データを前記スレーブ装置に送信するとともに、前記スレーブ装置から応答データを受信する通信制御工程と、
    前記生成部がリセットされた場合、前記スレーブ装置からの応答データが前記フィールドネットワークのデータフレームに残留しているときには当該応答データを破棄する破棄工程と、
    を含むことを特徴とする制御方法。
12. 請求項１１に記載の制御方法の各工程を、マスタ装置としてのコンピュータに実行させるためのプログラム。

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