TW202201138A - 控制裝置、系統、微影裝置、物品的製造方法、控制方法、及程式 - Google Patents
控制裝置、系統、微影裝置、物品的製造方法、控制方法、及程式 Download PDFInfo
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Abstract
控制連接於網路的子裝置的控制裝置係包含：生成用以控制在前述子裝置的處理的指示資料的生成部；及透過前述網路，每隔一定周期，在與前述子裝置之間收發資料訊框的通訊部，前述通訊部係若感測到前述生成部的重置已被執行，在前述重置被執行之前被發送出之對前述指示資料的響應資料殘留在前述資料訊框時，係將該響應資料形成為無效的狀態。
Description
本發明係關於作為主裝置來控制子裝置的控制裝置、具備其之系統、微影裝置、物品的製造方法、控制方法、及程式者。
在主裝置與子裝置之間進行資料的收發的系統中，在該系統動作中有產生重置主裝置的必要的情形。在專利文獻1中係提案出一種設有轉送取消部的系統，該轉送取消部係若形成為因主裝置重置而無法執行由主裝置對子裝置的資料轉送動作的狀態時，取代該主裝置而使子裝置的動作執行完成。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2011-81551號公報
(發明所欲解決之問題)
在透過現場網路而在主裝置與子裝置之間每隔一定周期進行資料的收發的系統中，有為了生成對子裝置的指示資料而重置設在主裝置的生成部的情形。在該情形下，若來自子裝置的響應資料殘存在現場網路的資料訊框，該響應資料會誤被發送，可能難以使系統正常動作。
因此，本發明之目的在提供有利於用以使透過現場網路而在主裝置與子裝置之間進行資料的收發的系統正常動作的技術。
(解決問題之技術手段)
為達成上述目的，作為本發明之一態樣的控制裝置係控制連接於網路的子裝置的控制裝置，其特徵為：包含：生成用以控制在前述子裝置的處理的指示資料的生成部；及透過前述網路，每隔一定周期，在與前述子裝置之間收發資料訊框的通訊部，前述通訊部係若感測到前述生成部的重置已被執行，在前述重置被執行之前被發送出之對前述指示資料的響應資料殘留在前述資料訊框時，係將該響應資料形成為無效的狀態。
本發明之另外目的或其他態樣應可由以下參照所附圖示所說明的較佳實施形態而清楚可知。
(發明之效果)
藉由本發明，可提供例如有利於用以使透過現場網路而在主裝置與子裝置之間進行資料的收發的系統正常動作的技術。
本發明之其他特徵及優點應可由以所附圖示作為參照之以下說明清楚可知。其中，在所附圖示中，在相同或同樣的構成中係標註相同的元件符號。
以下參照所附圖示，詳加說明實施形態。其中，以下之實施形態並非為限定申請專利範圍之發明者。在實施形態中係記載複數特徵，惟該等複數特徵的全部並不一定為發明必須者，此外，複數特徵亦可任意組合。此外，在所附圖示中，係對相同或同樣的構成標註相同元件符號，且省略重複說明。
＜第1實施形態＞
說明本發明之一實施形態。圖1係包含子裝置、及控制該子裝置的主裝置(控制裝置)的本實施形態之系統100的概略構成圖。本實施形態之系統100係如圖1所示，可包含：主裝置110、可通訊地連接於主裝置110的複數子裝置120、及可通訊地連接於各子裝置120的單元130。主裝置110及各子裝置120係可藉由例如具有CPU或記憶體等的電腦所構成，亦可由板電腦所構成，亦可構成為與板電腦兼用。此外，單元130係例如伺服馬達等機構，可藉由子裝置120予以控制。
複數子裝置120係以菊鏈(daisy chain)方式可通訊地連接於主裝置110。主裝置110係透過現場網路140，每隔一定周期，與複數子裝置120進行資料的收發。此外，複數子裝置120係根據由主裝置110所接收到的資料，分別控制複數單元130。在本實施形態中，係例示2個子裝置121、122，作為可通訊地連接於主裝置110的子裝置120，惟子裝置120的數量並非為侷限於2個者，亦可為1個或3個以上。此外，在本實施形態中，係例示2個單元131、132，作為藉由複數子裝置120所控制的複數單元130。單元131係可藉由子裝置121予以控制，單元132係可藉由子裝置122予以控制。
主裝置110係可包含：序列控制部111、複數生成部(子控制部)112、及通訊控制部(通訊部)113。
序列控制部111係控制在各子裝置120的處理的序列。例如，序列控制部111係按照預先決定(設定)的順序、手續、或配方(recipe)來控制複數生成部112。複數生成部112係分別生成用以控制(指示)在作為控制對象的子裝置120的處理的指示資料。
生成部112係設置例如與子裝置120相同數量，在本實施形態中，係設有將2個子裝置121、121分別作為控制對象的2個生成部112a、112b。生成部112a係以子裝置121為控制對象，生成用以控制在子裝置121的處理的指示資料。另一方面，生成部112b係以子裝置122為控制對象，生成用以控制在子裝置122的處理的指示資料。
通訊控制部113係透過現場網路140，每隔一定周期與複數子裝置120進行資料的收發。例如，通訊控制部113係透過現場網路140，每隔一定周期，將在生成部112a、112b所生成的指示資料發送至子裝置121、122，並且由子裝置121、122接收響應資料。響應資料係指表示例如藉由指示資料被指示的處理是否已完成的資料(旗標)。
接著，說明屬於產業用乙太網路(註冊商標)之一的EtherCAT(註冊商標)，作為圖1所示之現場網路140之一例。在EtherCAT(註冊商標)中，係以一定周期(例如1m秒)進行資料訊框的收發，因此保證資料的到達時間。若採用EtherCAT(註冊商標)作為現場網路140，連接於現場網路140的節點之中至少1個可作為主裝置110發揮功能，其他節點可作為子裝置120發揮功能。作為主裝置110發揮功能的節點係管理現場網路140中的資料訊框的收發時序等。
在圖1所示之例中，主裝置110(通訊控制部113)係將在生成部112a、112b所生成的指示資料寫入至資料訊框，並且將該資料訊框發送至子裝置121。接收到資料訊框的子裝置121係進行該資料訊框的資料之中分配給自身的區域的資料的讀寫，將該資料訊框發送至接下來的子裝置122。此外，接收到資料訊框的子裝置122係進行該資料訊框的資料之中分配給自身的資料的讀寫，將該資料訊框透過子裝置121而發送至主裝置110。
具體而言，子裝置121係由所接收到的資料訊框之中，讀出在生成部112a所生成的指示資料，且進行響應資料的寫入之後，將該資料訊框發送至接下來的子裝置122。此外，子裝置122係由所接收到的資料訊框之中，讀出在生成部112b所生成的指示資料，且進行響應資料的寫入之後，將該資料訊框透過子裝置121而發送至主裝置110。
在如上所述透過現場網路，在主裝置110與子裝置120之間，每隔一定周期進行資料的收發的系統100中，係有在複數生成部112之中僅將發生異常或障礙的生成部112重置的情形。在該情形下，若來自該生成部112作為控制對象的子裝置120的響應資料殘留在現場網路140的資料訊框，該響應資料會誤被發送。此外，在已被重置的生成部112中，重置前已處理的內容係被消去，因此若接收對重置前所生成的指示資料的響應資料，可能發生錯誤。結果，難以使系統100正常動作。
因此，本實施形態之通訊控制部113係若感測到生成部112已被重置，來自子裝置120的響應資料殘留在現場網路140的資料訊框時係將該響應資料廢除。例如，通訊控制部113係若感測到複數生成部112之中已被重置的生成部112，由複數子裝置120之中，特定已被重置的生成部112作為控制對象的子裝置120。接著，通訊控制部113係當來自所特定出的子裝置120的響應資料殘留在現場網路140的資料訊框時，係將該響應資料廢除。
圖2係示出在本實施形態之通訊控制部113所進行的處理的流程圖。若使用者起動系統100，主裝置110及複數子裝置121、122即起動。接著，在主裝置110與複數子裝置121、122之間，開始透過現場網路140之每隔一定周期的資料的收發，並且開始圖2所示之流程圖。通訊控制部113亦設為在圖2所示之流程圖的執行中，反覆執行透過現場網路140之每隔一定周期之與複數子裝置121、122的資料的收發者。
在S11中，通訊控制部113係監視(確認)複數生成部112的各個的重置。接著，在S12中，通訊控制部113係判斷是否已感測到複數生成部112(112a、112b)之中已被重置的生成部112。例如，當生成部112已被重置時，並未發送由該生成部112以一定周期被發送的指示資料。因此，通訊控制部113係可按照是否已接收到指示資料，來感測已被重置的生成部112。此外，通訊控制部113係可根據在生成部112的重置被執行時由該生成部112被發送的資料(旗標)，來感測已被重置的生成部112。若感測到已被重置的生成部112，係進至S13，若未感測到已被重置的生成部112，則返回至S11。
在S13中，通訊控制部113係特定已被重置的生成部112作為控制對象的子裝置120。在本實施形態之系統100中，係設有將複數子裝置120分別作為控制對象的複數生成部112，且預先掌握複數子裝置120與複數生成部112的對應關係。因此，通訊控制部113係可根據表示該對應關係的資訊，來特定複數子裝置120之中已被重置的生成部112作為控制對象的子裝置120。其中，以下有將在S13中被特定出的子裝置120稱為「特定子裝置120」的情形。
在S14中，通訊控制部113係確認在特定子裝置120的處理的狀態。接著，在S15中，通訊控制部113係判斷在特定子裝置120的處理是否為執行中。例如，通訊控制部113係可藉由確認每隔一定周期所接收的現場網路140的資料訊框，來判斷在特定子裝置120的處理是否為執行中。具體而言，在現場網路140的資料訊框係設置表示在特定子裝置120的處理為已完成的旗標。通訊控制部113係若在現場網路140的資料訊框中設立該旗標，可判斷在特定子裝置120的處理為已完成。另一方面，通訊控制部113係若在現場網路140的資料訊框中未設立該旗標，可判斷在特定子裝置120的處理為執行中。若在特定子裝置120的處理為執行中，係進至S16，若在特定子裝置120的處理為已完成，則進至S19。
在S16～S18係若在特定子裝置120的處理為執行中時所行進的工程。無關於以特定子裝置120為控制對象的生成部112已被重置，若在特定子裝置120的處理完成，可能難以使系統100正常動作。因此，在本工程中，若在特定子裝置120的處理為執行中，使特定子裝置120重置。
在S16中，通訊控制部113係對特定子裝置120指示執行特定子裝置120的重置。例如，通訊控制部113係可藉由將指示執行特定子裝置120的重置的指令(資料)寫入在現場網路140的資料訊框，來指示執行特定子裝置120的重置。在此，特定子裝置120係若在保持維持透過現場網路140之與主裝置110及其他子裝置120的通訊的狀況下，進行自身的重置即可。藉此，通訊控制部113係即使在執行特定子裝置120的重置中，亦可對特定子裝置120以外的子裝置120，維持透過現場網路140的通訊。
在S17中，通訊控制部113係確認特定子裝置120的重置的執行狀態。接著，在S18中，通訊控制部113係判斷特定子裝置120的重置是否已完成。例如，通訊控制部113係藉由確認每隔一定周期所接收的現場網路140的資料訊框，可判斷在特定子裝置120的處理是否為執行中。具體而言，在現場網路140的資料訊框係設置表示特定子裝置120的重置已完成的旗標。通訊控制部113係若在現場網路140的資料訊框中已設立該旗標，可判斷特定子裝置120的重置已完成。另一方面，通訊控制部113係若在現場網路140的資料訊框中未設立該旗標，係可判斷特定子裝置120的重置為執行中。若特定子裝置120的重置已完成，係進至S19，若特定子裝置120的重置未完成，係返回至S17。
在S19中，通訊控制部113係確認現場網路140的資料訊框。例如，若在S16～S18中已執行特定子裝置120的重置，通訊控制部113係確認特定子裝置120的重置完成之後的資料訊框即可。接著，在S20中，通訊控制部113係判斷在現場網路140的資料訊框是否殘留(存在)來自特定子裝置120的響應資料。若來自特定子裝置120的響應資料未殘留在資料訊框，係返回至S11。另一方面，若來自特定子裝置120的響應資料殘留在資料訊框，係進至S21，且在將該響應資料由該資料訊框廢除之後，返回至S11。
在此，「響應資料的廢除」意指形成為該響應資料非為有效的狀態(無效的狀態)。例如，通訊控制部113係可藉由將來自特定子裝置120的響應資料由現場網路140的資料訊框清除(clear)(消去)，來執行響應資料的廢除。此外，若響應資料藉由是否已設立表示處理已完成的旗標來表示時，通訊控制部113係可藉由撤下在資料訊框中已設立的該旗標，來執行響應資料的廢除。
接著，說明本實施形態之系統100中的資料流。圖3～圖4係示出在本實施形態之系統100中的序列控制部111、生成部112、通訊控制部113、及子裝置120之間的資料流之一例的圖。圖3係示出在現場網路140的資料訊框無響應資料的殘留時之資料流之一例(實施例1)，圖4係示出在該資料訊框有響應資料的殘留時之資料流之一例(實施例2)。
[實施例1]
一邊參照圖3一邊說明實施例1。
序列控制部111係按照預先決定(設定)的順序、手續或配方，將用以使生成部112生成指示資料的控制指令發送至該生成部112(S101)。由序列控制部111接收到控制指令的生成部112係根據該控制指令，生成用以使子裝置120執行處理的指示資料而發送至通訊控制部113(S102)。由生成部112接收到指示資料的通訊控制部113係藉由在現場網路140的資料訊框寫入該指示資料，而將該指示資料發送至子裝置120(S103)。由通訊控制部113接收到指示資料的子裝置120係開始執行藉由該指示資料所被指示的處理，而開始單元130的控制。藉此，子裝置120成為處理中。
在此，若產生重置生成部112的必要，序列控制部111係將用以使生成部112的重置執行的重置指示指令發送至生成部112，且執行生成部112的重置(S104)。此外，被執行重置的生成部112係將表示執行重置的資料(重置執行指令)發送至通訊控制部113(S105)。藉此，通訊控制部113係可感測已被重置的生成部112。通訊控制部113係特定已被重置的生成部112作為控制對象的子裝置120(S106)，且藉由確認在所被特定出的子裝置120的處理的狀態，判斷該子裝置120是否為處理執行中(S107)。在本實施例1中，子裝置120為處理執行中(亦即，由子裝置120未被發送響應資料)。因此，通訊控制部113係將指示執行子裝置120的重置的重置指示指令發送至子裝置120(S108)。已接收到重置指示指令的子裝置120係執行自身的重置，且若該重置已完成，係透過現場網路140，將表示重置完成的資料(重置完成指令)發送至通訊控制部113(S109)。
接收到重置完成指令的通訊控制部113係確認來自子裝置120的響應資料是否殘留在現場網路140的資料訊框(S110)。在本實施例1中，由於子裝置120在處理執行中執行該子裝置120的重置，因此表示在子裝置120的處理完成的響應資料未被寫入至現場網路140的資料訊框。亦即，在本實施例1中，來自子裝置120的響應資料未殘留在該資料訊框，未進行藉由通訊控制部113所為之響應資料的廢除而進至接下來的控制。
序列控制部111係按照預先決定(設定)的順序、手續或配方，將用以使生成部112生成接下來的指示資料的控制指令發送至該生成部112(S111)。生成部112係根據所接收到的控制指令，生成用以使子裝置120執行處理的指示資料而發送至通訊控制部113(S112)。通訊控制部113係將所接收到的指示資料寫入至現場網路140的資料訊框，藉此將該指示資料發送至子裝置120(S113)。由通訊控制部113接收到指示資料的子裝置120係開始執行藉由該指示資料被指示的處理。接著，子裝置120係該處理一完成，即在現場網路140的資料訊框寫入響應資料，藉此將該響應資料發送至通訊控制部113(S114)。在通訊控制部113所接收到的響應資料係透過生成部112(S115)而被發送至序列控制部111(S116)。
[實施例2]
一邊參照圖4一邊說明實施例2。
序列控制部111係按照預先決定(設定)的順序、手續或配方，將用以使生成部112生成接下來的指示資料的控制指令發送至該生成部112(S201)。生成部112係根據所接收到的控制指令，生成用以使子裝置120執行處理的指示資料而發送至通訊控制部113(S202)。通訊控制部113係藉由將所接收到的指示資料寫入至現場網路140的資料訊框，將該指示資料發送至子裝置120(S203)。由通訊控制部113接收到指示資料的子裝置120係開始執行藉由該指示資料被指示的處理。接著，子裝置120係若該處理一完成，在現場網路140的資料訊框寫入響應資料，藉此將該響應資料發送至通訊控制部113(S204)。
在此，若產生重置生成部112的必要，序列控制部111係將用以使生成部112的重置執行的重置指示指令發送至生成部112，且執行生成部112的重置(S205)。此外，被執行重置的生成部112係將表示執行重置的資料(重置執行指令)發送至通訊控制部113(S206)。藉此，通訊控制部113係可感測已被重置的生成部112。通訊控制部113係特定已被重置的生成部112作為控制對象的子裝置120(S207)，藉由確認在被特定出的子裝置120的處理的狀態，來判斷該子裝置120是否為處理執行中(S208)。在本實施例2中，由於在子裝置120處理已完成(亦即，在S204中由子裝置120被發送響應資料)，因此並未執行子裝置120的重置。
通訊控制部113係確認來自子裝置120的響應資料是否殘留在現場網路140的資料訊框(S209)。在本實施例2中係在子裝置120處理完成而由子裝置120被發送出響應資料，但是該響應資料未被發送至生成部112及序列控制部111的狀態。亦即，為響應資料殘留在現場網路140的資料訊框的狀態。因此，通訊控制部113係將殘留在該資料訊框的響應資料廢除(S210)，且自此進至接下來的工程(S211～S216)。S211～S216係與實施例1中所說明的圖3的S111～S116相同的工程。藉此，可回避在S204由子裝置120被發送而殘留在資料訊框的響應資料被發送至生成部112及序列控制部111的情形。亦即，可回避在S204由子裝置120被發送出的過去的響應資料作為在S213被發送至子裝置120之對指示資料的響應資料而被發送至生成部112及序列控制部111的情形。
如上所述，本實施形態之主裝置110(通訊控制部113)係若感測到生成部112的重置，來自子裝置120的響應資料殘留在現場網路140的資料訊框時，係將該響應資料廢除。藉此，可回避殘留在現場網路140的資料訊框的響應資料誤被發送，且使系統100正常動作。
＜微影裝置的實施形態＞
說明適用本發明之上述系統100的微影裝置的實施形態。在本實施形態中，係例示將基板曝光而在基板上形成圖案的曝光裝置作為適用上述系統100的微影裝置來作說明，惟並非為侷限於此者。例如，在使用模具而在基板上形成壓印材的圖案的壓印(imprint)裝置、或對基板照射荷電粒子線而在該基板形成圖案的描繪裝置等微影裝置中，亦可適用上述系統100。
圖5係示出曝光裝置10的構成的概略圖。曝光裝置10係將遮罩M的圖案透過投影光學系14而投影在基板W來將該基板W進行曝光的曝光裝置。曝光裝置10係具有：光源11、照明光學系12、遮罩載台13、投影光學系14、基板載台15、及主控制部16。此外，曝光裝置10係具有：驅動遮罩載台13的第1驅動部21；驅動投影光學系14的透鏡14a的第2驅動部22；及驅動基板載台15的第3驅動部23。第1驅動部21、第2驅動部22、及第3驅動部23係進行在基板W形成圖案的處理的至少一部分的機構，藉由遮罩載台控制部31、投影控制部32、及基板載台控制部33分別予以控制。此外，主控制部16係具有例如CPU或記憶體(記憶部)等，藉由控制遮罩載台控制部31、投影控制部32、及基板載台控制部33，來控制曝光裝置10的全體(曝光裝置10的各部)。
光源11係射出曝光光線。照明光學系12係使用由光源11被射出的光來照明遮罩M。遮罩載台13係可構成為保持遮罩M，並且可藉由第1驅動部21而以例如XY方向移動。投影光學系14係將藉由照明光學系12被照明的遮罩M的圖案投影在基板上。投影光學系14係包含可藉由第2驅動部22而以例如X方向移動的透鏡14a。基板載台15係構成為保持基板W，並且可藉由第3驅動部23而以例如XY方向移動。
在圖5所示之曝光裝置10中，若適用本發明之上述系統100，主控制部16可構成作為主裝置110。此外，遮罩載台控制部31、投影控制部32、及基板載台控制部33可分別構成作為子裝置120。第1驅動部21、第2驅動部22、及第2驅動部可分別構成作為單元130。與主控制部16、遮罩載台控制部31、投影控制部32、及基板載台控制部33之間的資料的收發係透過現場網路每隔一定周期進行。
＜物品的製造方法的實施形態＞
本發明之實施形態之物品的製造方法係適於製造例如半導體元件等具有微元件或微細構造的元件等物品。本實施形態之物品的製造方法係包含：使用上述微影裝置(曝光裝置)而在基板上形成圖案的工程、及將在該工程中形成有圖案的基板進行加工的工程。此外，該製造方法係包含其他周知工程(氧化、成膜、蒸鍍、摻雜、平坦化、蝕刻、阻劑剝離、切割、接合、封裝等)。本實施形態之物品的製造方法與習知方法相比，在物品的性能／品質／生產性／生產成本的至少1個中為有利。
＜其他實施例＞
本發明係將上述實施形態之實現1以上的功能的程式，透過網路或記憶媒體而供給至系統或裝置，即使為該系統或裝置的電腦中的1個以上的處理器讀出程式且執行的處理亦可實現。此外，亦可藉由實現1以上功能的電路(例如ASIC)來實現。
發明並非為限制於上述實施形態者，可在未脫離發明之精神及範圍的情形下，作各種變更及變形。因此，附上請求項，以公開發明之範圍。
10:曝光裝置
11:光源
12:照明光學系
13:遮罩載台
14:投影光學系
14a:透鏡
15:基板載台
16:主控制部
21:第1驅動部
22:第2驅動部
23:第3驅動部
31:遮罩載台控制部
32:投影控制部
33:基板載台控制部
100:系統
110:主裝置
111:序列控制部
112,112a,112b:生成部
113:通訊控制部
120:子裝置
121,122:子裝置
130:單元
131,132:單元
140:現場網路
M:遮罩
W:基板
所附圖示係包含在說明書，構成其一部分，示出本發明之實施形態，連同其記述一起被使用在用以說明本發明之原理。
[圖1]係包含主裝置與子裝置的系統的概略構成圖。
[圖2]係示出在主裝置的通訊控制部所進行的處理的流程圖。
[圖3]係示出在序列控制部、生成部、通訊控制部及子裝置之間的資料流之一例的圖。
[圖4]係示出在序列控制部、生成部、通訊控制部及子裝置之間的資料流之一例的圖。
[圖5]係示出曝光裝置的構成的概略圖。
100:系統
110:主裝置
111:序列控制部
112a,112b:生成部
113:通訊控制部
120:子裝置
121,122:子裝置
130:單元
131,132:單元
140:現場網路
Claims (16)
- 一種控制裝置，其係控制連接於網路的子裝置的控制裝置，其特徵為： 包含： 生成用以控制在前述子裝置的處理的指示資料的生成部；及 透過前述網路，每隔一定周期，在與前述子裝置之間收發資料訊框的通訊部， 前述通訊部係若感測到前述生成部的重置已被執行，在前述重置被執行之前被發送出之對前述指示資料的響應資料殘留在前述資料訊框時，係將該響應資料形成為無效的狀態。
- 如請求項1之控制裝置，其中，前述通訊部係若感測到前述重置已被執行，判斷前述子裝置是否為前述處理執行中，若前述子裝置為前述處理執行中，對前述子裝置指示執行前述子裝置的重置。
- 如請求項2之控制裝置，其中，前述通訊部係若已指示執行前述子裝置的重置，在前述子裝置的重置完成之後，進行將殘留在前述資料訊框之來自前述子裝置的響應資料形成為無效的狀態。
- 如請求項2或3之控制裝置，其中，前述通訊部係若已指示執行前述子裝置的重置，在該重置執行中，亦在與透過前述網路的前述子裝置之間，每隔一定周期進行前述資料訊框的收發。
- 如請求項1至3中任一項之控制裝置，其中，前述控制裝置係另外包含：控制在前述子裝置的處理的序列的序列控制部， 前述生成部的重置係藉由前述序列控制部來執行。
- 如請求項1至3中任一項之控制裝置，其中，前述控制裝置係包含：複數前述生成部，其係為了透過前述網路而分別控制複數子裝置，將前述複數子裝置分別作為控制對象。
- 如請求項6之控制裝置，其中，前述通訊部係若感測到前述複數生成部之中已被重置的生成部，特定前述複數子裝置之中將前述已被重置的生成部作為控制對象的子裝置，來自前述所特定出的子裝置的響應資料殘留在前述資料訊框時，係將該響應資料形成為無效的狀態。
- 如請求項6之控制裝置，其中，前述複數子裝置係以菊鏈方式予以連接。
- 如請求項6之控制裝置，其中，前述資料訊框係包含被分配至前述複數子裝置的各個的區域，前述複數子裝置係讀寫被分配至各個的前述區域的資料。
- 如請求項1之控制裝置，其中，前述通訊部係發送被寫入前述指示資料的前述資料訊框，來接收已被寫入前述響應資料的前述資料訊框。
- 如請求項1之控制裝置，其中，前述響應資料係表示藉由前述指示資料所被指示的處理是否已完成的資料。
- 一種系統，其係包含：子裝置、及控制前述子裝置的主裝置，且前述子裝置與前述主裝置連接於網路的系統，其特徵為： 前述主裝置係包含： 生成用以控制在前述子裝置的處理的指示資料的生成部；及 透過前述網路，每隔一定周期，在與前述子裝置之間收發資料訊框的通訊部， 前述通訊部係若感測到前述生成部的重置已被執行，對在前述重置被執行之前所發送出之資料訊框原所包含的前述指示資料的響應資料殘留在前述資料訊框時，係將該響應資料形成為無效的狀態。
- 一種微影裝置，其係在基板形成圖案的微影裝置，其特徵為： 包含如請求項12之系統， 前述子裝置係控制進行在前述基板形成圖案的處理的至少一部分的機構。
- 一種物品的製造方法，其特徵為： 包含： 使用如請求項13之微影裝置，在基板上形成圖案的工程；及 將在前述工程形成有圖案的前述基板進行加工的工程， 由經加工的前述基板來製造物品。
- 一種控制方法，其係藉由主裝置來控制連接於網路的子裝置的控制方法，其特徵為： 包含： 藉由生成部，生成用以控制在前述子裝置的處理的指示資料的工程； 透過前述網路，每隔一定周期，在與前述子裝置之間收發資料訊框的工程；及 若前述生成部的重置已被執行，對在前述重置被執行之前所發送出之資料訊框原所包含的前述指示資料的響應資料殘留在前述資料訊框時，係將該響應資料形成為無效的狀態的工程。
- 一種程式，其係用以使作為主裝置的電腦執行如請求項15之控制方法的各工程。
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