WO2021166565A1 - 制御装置、システム、リソグラフィ装置、物品の製造方法、制御方法、およびプログラム - Google Patents

制御装置、システム、リソグラフィ装置、物品の製造方法、制御方法、およびプログラム Download PDF

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slave
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康寛 渡辺
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キヤノン株式会社
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    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
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    • G06F13/00—Interconnection of, or transfer of information or other signals between, memories, input/output devices or central processing units
    • G06F13/38—Information transfer, e.g. on bus
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    • G06F13/42—Bus transfer protocol, e.g. handshake; Synchronisation
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04L—TRANSMISSION OF DIGITAL INFORMATION, e.g. TELEGRAPHIC COMMUNICATION
    • H04L12/00—Data switching networks
    • H04L12/28—Data switching networks characterised by path configuration, e.g. LAN [Local Area Networks] or WAN [Wide Area Networks]

Definitions

  • the present invention relates to a control device that controls a slave device as a master device, a system provided with the control device, a lithography device, an article manufacturing method, a control method, and a program.
  • Patent Document 1 provides a transfer canceling unit that completes the operation of the slave device instead of the master device when the data transfer operation from the master device to the slave device cannot be executed due to the reset of the master device. The system has been proposed.
  • an object of the present invention is to provide an advantageous technique for normally operating a system for transmitting and receiving data between a master device and a slave device via a field network.
  • control device as one aspect of the present invention is a control device that controls a slave device connected to a network, and generates instruction data for controlling processing in the slave device.
  • the generation unit includes a communication unit that transmits / receives data frames to and from the slave device at regular intervals via the network, and the communication unit resets the generation unit.
  • the response data is invalidated when the response data to the instruction data transmitted before the reset is executed remains in the data frame.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a system 100 of the present embodiment including a slave device and a master device (control device) that controls the slave device.
  • the system 100 of the present embodiment includes a master device 110, a plurality of slave devices 120 communicably connected to the master device 110, and a unit 130 communicably connected to each slave device 120. And can be included.
  • the master device 110 and each slave device 120 may be configured by, for example, a computer having a CPU, a memory, or the like, but may be configured by a board computer or may be configured to be also used as a board computer.
  • the unit 130 is a mechanism such as a servomotor, and can be controlled by the slave device 120.
  • the plurality of slave devices 120 are daisy-chained and communicably connected to the master device 110.
  • the master device 110 transmits / receives data to / from a plurality of slave devices 120 at regular intervals via the field network 140. Further, the plurality of slave devices 120 each control the plurality of units 130 based on the data received from the master device 110.
  • two slave devices 121 and 122 are exemplified as slave devices 120 communicably connected to the master device 110, but the number of slave devices 120 is not limited to two, but one or one. It may be 3 or more.
  • two units 131 and 132 are exemplified as a plurality of units 130 controlled by a plurality of slave devices 120. The unit 131 may be controlled by the slave device 121 and the unit 132 may be controlled by the slave device 122.
  • the master device 110 may include a sequence control unit 111, a plurality of generation units (slave control units) 112, and a communication control unit (communication unit) 113.
  • the sequence control unit 111 controls the sequence of processing in each slave device 120.
  • the sequence control unit 111 controls a plurality of generation units 112 according to a predetermined (set) procedure, procedure, or recipe.
  • Each of the plurality of generation units 112 generates instruction data for controlling (instructing) the processing in the slave device 120 to be controlled.
  • the same number of generation units 112 as the slave devices 120 are provided, and in the present embodiment, two generation units 112a and 112b for controlling the two slave devices 121 and 121, respectively, are provided.
  • the generation unit 112a targets the slave device 121, and generates instruction data for controlling the processing in the slave device 121.
  • the generation unit 112b targets the slave device 122 and generates instruction data for controlling the processing in the slave device 122.
  • the communication control unit 113 transmits / receives data to / from a plurality of slave devices 120 at regular intervals via the field network 140. For example, the communication control unit 113 transmits the instruction data generated by the generation units 112a and 112b to the slave devices 121 and 122 via the field network 140 at regular intervals, and the response data from the slave devices 121 and 122. To receive.
  • the response data is, for example, data (flag) indicating whether or not the process instructed by the instruction data is completed.
  • EtherCAT which is one of the industrial Ethernet (registered trademarks)
  • EtherCAT registered trademark
  • data frames are transmitted and received at regular intervals (for example, 1 msec), so that the arrival time of data is guaranteed.
  • EtherCAT registered trademark
  • at least one of the nodes connected to the field network 140 may function as the master device 110, and the other nodes may function as the slave device 120.
  • the node that functions as the master device 110 manages the transmission / reception timing of data frames in the field network 140.
  • the master device 110 (communication control unit 113) writes the instruction data generated by the generation units 112a and 112b into the data frame, and transmits the data frame to the slave device 121.
  • the slave device 121 that has received the data frame reads and writes the data in the area allocated to itself among the data of the data frame, and transmits the data frame to the next slave device 122. Further, the slave device 122 that has received the data frame reads / writes the data assigned to itself among the data of the data frame, and transmits the data frame to the master device 110 via the slave device 121.
  • the slave device 121 reads the instruction data generated by the generation unit 112a from the received data frames, writes the response data, and then transmits the data frame to the next slave device 122. .. Further, the slave device 122 reads the instruction data generated by the generation unit 112b from the received data frames, writes the response data, and then transmits the data frame to the master device 110 via the slave device 121. do.
  • the generation unit 112 in which an abnormality or failure has occurred May only reset.
  • the response data from the slave device 120 controlled by the generation unit 112 remains in the data frame of the field network 140, the response data will be erroneously transmitted.
  • the communication control unit 113 of the present embodiment detects that the generation unit 112 has been reset, the response data from the slave device 120 is discarded when the response data remains in the data frame of the field network 140. do.
  • the communication control unit 113 has the slave device 120 controlled by the reset generation unit 112 from among the plurality of slave devices 120. To identify. Then, when the response data from the specified slave device 120 remains in the data frame of the field network 140, the communication control unit 113 discards the response data.
  • FIG. 2 is a flowchart showing a process performed by the communication control unit 113 of the present embodiment.
  • the master device 110 and the plurality of slave devices 121 and 122 are activated.
  • the transmission / reception of data at regular intervals via the field network 140 is started between the master device 110 and the plurality of slave devices 121 and 122, and the flowchart shown in FIG. 2 is started.
  • the communication control unit 113 repeatedly transmits and receives data to and from the plurality of slave devices 121 and 122 at regular intervals via the field network 140 even during the execution of the flowchart shown in FIG.
  • the communication control unit 113 monitors (confirms) each reset of the plurality of generation units 112. Then, in S12, the communication control unit 113 determines whether or not the reset generation unit 112 is detected among the plurality of generation units 112 (112a and 112b. For example, when the generation unit 112 is reset, the generation unit 112 is reset. The instruction data transmitted at regular intervals is not transmitted from the generation unit 112. Therefore, the communication control unit 113 can detect the reset generation unit 112 depending on whether or not the instruction data is received. Further, the communication control unit 113 can detect the reset generation unit 112 based on the data (flag) transmitted from the generation unit 112 when the reset of the generation unit 112 is executed. If the generated unit 112 is detected, the process proceeds to S13, and if the reset generation unit 112 is not detected, the process returns to S11.
  • the communication control unit 113 specifies the slave device 120 to be controlled by the reset generation unit 112.
  • a plurality of generation units 112 for controlling the plurality of slave devices 120 are provided, and the correspondence relationship between the plurality of slave devices 120 and the plurality of generation units 112 is grasped in advance. There is. Therefore, the communication control unit 113 can specify the slave device 120 to be controlled by the reset generation unit 112 among the plurality of slave devices 120 based on the information indicating the correspondence relationship.
  • the slave device 120 specified in S13 may be referred to as a "specific slave device 120".
  • the communication control unit 113 confirms the processing status of the specific slave device 120. Then, in S15, the communication control unit 113 determines whether or not the process in the specific slave device 120 is being executed. For example, the communication control unit 113 can determine whether or not the processing in the specific slave device 120 is being executed by checking the data frame of the field network 140 received at regular intervals. Specifically, the data frame of the field network 140 is provided with a flag indicating that the processing by the specific slave device 120 is completed. When the flag is set in the data frame of the field network 140, the communication control unit 113 can determine that the processing in the specific slave device 120 is completed.
  • the communication control unit 113 can determine that the process in the specific slave device 120 is being executed. If the process in the specific slave device 120 is being executed, the process proceeds to S16, and if the process in the specific slave device 120 is completed, the process proceeds to S19.
  • S16 to S18 are steps to proceed when the process in the specific slave device 120 is being executed. If the processing in the specific slave device 120 is completed even though the generation unit 112 that controls the specific slave device 120 is reset, it may be difficult to operate the system 100 normally. Therefore, in this step, the specific slave device 120 is reset when the process in the specific slave device 120 is being executed.
  • the communication control unit 113 instructs the specific slave device 120 to reset the specific slave device 120.
  • the communication control unit 113 can instruct the execution of the reset of the specific slave device 120 by writing a command (data) instructing the execution of the reset of the specific slave device 120 in the data frame of the field network 140.
  • the specific slave device 120 may reset itself while maintaining communication with the master device 110 and other slave devices 120 via the field network 140.
  • the communication control unit 113 can maintain communication with the slave devices 120 other than the specific slave device 120 via the field network 140 even while the reset of the specific slave device 120 is being executed.
  • the communication control unit 113 confirms the reset execution state of the specific slave device 120. Then, in S18, the communication control unit 113 determines whether or not the reset of the specific slave device 120 is completed. For example, the communication control unit 113 can determine whether or not the processing in the specific slave device 120 is being executed by checking the data frame of the field network 140 received at regular intervals. Specifically, the data frame of the field network 140 is provided with a flag indicating that the reset of the specific slave device 120 is completed. When the flag is set in the data frame of the field network 140, the communication control unit 113 can determine that the reset of the specific slave device 120 is completed.
  • the communication control unit 113 can determine that the reset of the specific slave device 120 is being executed. If the reset of the specific slave device 120 is completed, the process proceeds to S19, and if the reset of the specific slave device 120 is not completed, the process returns to S17.
  • the communication control unit 113 confirms the data frame of the field network 140. For example, when the reset of the specific slave device 120 is executed in S16 to S18, the communication control unit 113 may check the data frame after the reset of the specific slave device 120 is completed. Then, in S20, the communication control unit 113 determines whether or not the response data from the specific slave device 120 remains (exists) in the data frame of the field network 140. If the response data from the specific slave device 120 does not remain in the data frame, the process returns to S11. On the other hand, if the response data from the specific slave device 120 remains in the data frame, the process proceeds to S21, the response data is discarded from the data frame, and then the process returns to S11.
  • discarding the response data means to put the response data in an invalid state (invalid state).
  • the communication control unit 113 can execute the discarding of the response data by clearing (erasing) the response data from the specific slave device 120 from the data frame of the field network 140. Further, when the response data is indicated by whether or not the flag indicating that the processing is completed is set, the communication control unit 113 executes the discarding of the response data by lowering the flag set in the data frame. can do.
  • FIG. 3 to 4 are diagrams showing an example of data flow between the sequence control unit 111, the generation unit 112, the communication control unit 113, and the slave device 120 in the system 100 of the present embodiment.
  • FIG. 3 shows an example of data flow (Example 1) when there is no residual response data in the data frame of the field network 140
  • FIG. 4 shows a case where there is residual response data in the data frame.
  • An example of data flow (Example 2) is shown.
  • the sequence control unit 111 transmits a control command for causing the generation unit 112 to generate instruction data according to a predetermined (set) procedure, procedure, or recipe (S101).
  • the generation unit 112 which has received the control command from the sequence control unit 111, generates instruction data for causing the slave device 120 to execute the process based on the control command, and transmits the instruction data to the communication control unit 113 (S102).
  • the communication control unit 113 that has received the instruction data from the generation unit 112 transmits the instruction data to the slave device 120 by writing the instruction data in the data frame of the field network 140 (S103).
  • the slave device 120 that has received the instruction data from the communication control unit 113 starts executing the process instructed by the instruction data, and starts controlling the unit 130. As a result, the slave device 120 is in the process of processing.
  • the sequence control unit 111 sends a reset instruction command for executing the reset of the generation unit 112 to the generation unit 112, and executes the reset of the generation unit 112. (S104).
  • the generation unit 112 that executes the reset transmits data (reset execution command) indicating that the reset is executed to the communication control unit 113 (S105).
  • the communication control unit 113 can detect the reset generation unit 112.
  • the communication control unit 113 identifies the slave device 120 to be controlled by the reset generation unit 112 (S106), and confirms the processing status of the specified slave device 120 so that the slave device 120 processes the process. It is determined whether or not it is being executed (S107).
  • the slave device 120 is executing the process (that is, the response data is not transmitted from the slave device 120). Therefore, the communication control unit 113 transmits a reset instruction command instructing the execution of the reset of the slave device 120 to the slave device 120 (S108). Upon receiving the reset instruction command, the slave device 120 executes its own reset, and when the reset is completed, data indicating the completion of the reset (reset completion command) is transmitted to the communication control unit 113 via the field network 140. (S109).
  • the communication control unit 113 that has received the reset completion command confirms whether or not the response data from the slave device 120 remains in the data frame of the field network 140 (S110).
  • the response data indicating the completion of the process in the slave device 120 is written in the data frame of the field network 140. Not. That is, in the first embodiment, the response data from the slave device 120 does not remain in the data frame, and the communication control unit 113 proceeds to the next control without discarding the response data.
  • the sequence control unit 111 transmits a control command for causing the generation unit 112 to generate the next instruction data to the generation unit 112 according to a predetermined (set) procedure, procedure, or recipe (S111). Based on the received control command, the generation unit 112 generates instruction data for causing the slave device 120 to execute the process and transmits it to the communication control unit 113 (S112).
  • the communication control unit 113 transmits the instruction data to the slave device 120 by writing the received instruction data in the data frame of the field network 140 (S113). The slave device 120 that has received the instruction data from the communication control unit 113 starts executing the process instructed by the instruction data.
  • the slave device 120 writes the response data in the data frame of the field network 140 to transmit the response data to the communication control unit 113 (S114).
  • the response data received by the communication control unit 113 is transmitted to the sequence control unit 111 (S116) via the generation unit 112 (S115).
  • the sequence control unit 111 transmits a control command for causing the generation unit 112 to generate the next instruction data to the generation unit 112 according to a predetermined (set) procedure, procedure, or recipe (S201). Based on the received control command, the generation unit 112 generates instruction data for causing the slave device 120 to execute the process and transmits it to the communication control unit 113 (S202).
  • the communication control unit 113 transmits the instruction data to the slave device 120 by writing the received instruction data in the data frame of the field network 140 (S203).
  • the slave device 120 that has received the instruction data from the communication control unit 113 starts executing the process instructed by the instruction data. Then, when the processing is completed, the slave device 120 transmits the response data to the communication control unit 113 by writing the response data in the data frame of the field network 140 (S204).
  • the sequence control unit 111 transmits a reset instruction command for executing the reset of the generation unit 112 to the generation unit 112, and executes the reset of the generation unit 112. (S205). Further, the generation unit 112 in which the reset is executed transmits data (reset execution command) indicating that the reset is executed to the communication control unit 113 (S206). As a result, the communication control unit 113 can detect the reset generation unit 112. The communication control unit 113 identifies the slave device 120 to be controlled by the reset generation unit 112 (S207), and confirms the processing status of the identified slave device 120 so that the slave device 120 processes the process. It is determined whether or not it is being executed (S208). In the second embodiment, since the processing is completed in the slave device 120 (that is, the response data is transmitted from the slave device 120 in S204), the reset of the slave device 120 is not executed.
  • the communication control unit 113 confirms whether or not the response data from the slave device 120 remains in the data frame of the field network 140 (S209).
  • the processing is completed in the slave device 120, and the response data is transmitted from the slave device 120, but the response data is not transmitted to the generation unit 112 and the sequence control unit 111. That is, the response data remains in the data frame of the field network 140. Therefore, the communication control unit 113 discards the response data remaining in the data frame (S210), and then proceeds to the next step (S211 to S216).
  • S211 to S216 are the same steps as S111 to S116 of FIG. 3 described in the first embodiment.
  • the master device 110 communication control unit 113 of the present embodiment detects the reset of the generation unit 112
  • the response data from the slave device 120 remains in the data frame of the field network 140. Discard the response data.
  • a lithography apparatus to which the above system 100 according to the present invention is applied will be described.
  • an exposure apparatus that exposes a substrate to form a pattern on the substrate will be described as an example, but the present invention is not limited thereto.
  • the above system is also used in a lithography device such as an imprint device that forms a pattern of an imprint material on a substrate using a mold and a drawing device that irradiates a substrate with charged particle beams to form a pattern on the substrate. 100 can be applied.
  • FIG. 5 is a schematic view showing the configuration of the exposure apparatus 10.
  • the exposure apparatus 10 is an exposure apparatus that exposes the substrate W by projecting the pattern of the mask M onto the substrate W via the projection optical system 14.
  • the exposure apparatus 10 includes a light source 11, an illumination optical system 12, a mask stage 13, a projection optical system 14, a substrate stage 15, and a main control unit 16. Further, the exposure apparatus 10 includes a first drive unit 21 that drives the mask stage 13, a second drive unit 22 that drives the lens 14a of the projection optical system 14, and a third drive unit 23 that drives the substrate stage 15. Have.
  • the first drive unit 21, the second drive unit 22, and the third drive unit 23 are mechanisms that perform at least a part of the process of forming a pattern on the substrate W, and are a mask stage control unit 31, a projection control unit 32, and a substrate stage. Each is controlled by the control unit 33. Further, the main control unit 16 has, for example, a CPU and a memory (storage unit), and controls the mask stage control unit 31, the projection control unit 32, and the substrate stage control unit 33 to control the entire exposure apparatus 10 (exposure). Each part of the device 10) is controlled.
  • the light source 11 emits exposure light.
  • the illumination optical system 12 illuminates the mask M using the light emitted from the light source 11.
  • the mask stage 13 holds the mask M and can be configured to be movable in, for example, the XY directions by the first drive unit 21.
  • the projection optical system 14 projects the pattern of the mask M illuminated by the illumination optical system 12 onto the substrate.
  • the projection optical system 14 includes a lens 14a that can be moved in, for example, the X direction by the second drive unit 22.
  • the substrate stage 15 holds the substrate W and can be configured to be movable in, for example, the XY directions by the third drive unit 23.
  • the main control unit 16 can be configured as the master apparatus 110. Further, the mask stage control unit 31, the projection control unit 32, and the substrate stage control unit 33 can be configured as slave devices 120, respectively.
  • the first drive unit 21, the second drive unit 22, and the second drive unit can be configured as the unit 130, respectively.
  • Data transmission / reception between the main control unit 16, the mask stage control unit 31, the projection control unit 32, and the substrate stage control unit 33 is performed at regular intervals via the field network.
  • the method for manufacturing an article according to the embodiment of the present invention is suitable for producing an article such as a microdevice such as a semiconductor device or an element having a fine structure, for example.
  • the method for manufacturing an article of the present embodiment includes a step of forming a pattern on a substrate using the above-mentioned lithography apparatus (exposure apparatus), and a step of processing the substrate on which the pattern is formed in such a step. Further, such a manufacturing method includes other well-known steps (oxidation, film formation, vapor deposition, doping, flattening, etching, resist peeling, dicing, bonding, packaging, etc.).
  • the method for producing an article of the present embodiment is advantageous in at least one of the performance, quality, productivity, and production cost of the article as compared with the conventional method.
  • the present invention supplies a program that realizes one or more functions of the above-described embodiment to a system or device via a network or storage medium, and one or more processors in the computer of the system or device reads and executes the program. It can also be realized by the processing to be performed. It can also be realized by a circuit (for example, ASIC) that realizes one or more functions.
  • a circuit for example, ASIC

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Abstract

ネットワークに接続されたスレーブ装置を制御する制御装置は、前記スレーブ装置での処理を制御するための指示データを生成する生成部と、前記ネットワークを介して、一定周期ごとに、前記スレーブ装置との間でデータフレームを送受信する通信部と、を含み、前記通信部は、前記生成部のリセットが実行されたことを検知した場合、前記リセットが実行される前に送信された前記指示データに対する応答データが前記データフレームに残留しているときには当該応答データを無効な状態にする。

Description

制御装置、システム、リソグラフィ装置、物品の製造方法、制御方法、およびプログラム
　本発明は、マスタ装置としてスレーブ装置を制御する制御装置、それを備えたシステム、リソグラフィ装置、物品の製造方法、制御方法、およびプログラムに関するものである。
　マスタ装置とスレーブ装置との間でデータの送受信を行うシステムでは、当該システムの動作中にマスタ装置をリセットする必要が生じることがある。特許文献１では、マスタ装置のリセットによりマスタ装置からスレーブ装置へのデータ転送動作を実行できない状態になった場合に、当該マスタ装置の代わりにスレーブ装置の動作を実行完了させる転送キャンセル部を設けたシステムが提案されている。
特開２０１１－８１５５１号公報
　フィールドネットワークを介してマスタ装置とスレーブ装置との間でデータの送受信を一定周期ごとに行うシステムでは、スレーブ装置への指示データを生成するためにマスタ装置に設けられた生成部をリセットすることがある。この場合において、スレーブ装置からの応答データがフィールドネットワークのデータフレームに残存していると、当該応答データが誤って送信されて、システムを正常に動作させることが困難になりうる。
　そこで、本発明は、フィールドネットワークを介してマスタ装置とスレーブ装置との間でデータの送受信を行うシステムを正常に動作させるために有利な技術を提供することを目的とする。
　上記目的を達成するために、本発明の一側面としての制御装置は、ネットワークに接続されたスレーブ装置を制御する制御装置であって、前記スレーブ装置での処理を制御するための指示データを生成する生成部と、前記ネットワークを介して、一定周期ごとに、前記スレーブ装置との間でデータフレームを送受信する通信部と、を含み、前記通信部は、前記生成部のリセット実行されたことを検知した場合、前記リセットが実行される前に送信された前記指示データに対する応答データが前記データフレームに残留しているときには当該応答データを無効な状態にする、ことを特徴とする。
　本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。
　本発明によれば、例えば、フィールドネットワークを介してマスタ装置とスレーブ装置との間でデータの送受信を行うシステムを正常に動作させるために有利な技術を提供することができる。
　本発明のその他の特徴及び利点は、添付図面を参照とした以下の説明により明らかになるであろう。なお、添付図面においては、同じ若しくは同様の構成には、同じ参照番号を付す。
　添付図面は明細書に含まれ、その一部を構成し、本発明の実施の形態を示し、その記述と共に本発明の原理を説明するために用いられる。
マスタ装置とスレーブ装置とを含むシステムの概略構成図 マスタ装置の通信制御部で行われる処理を示すフローチャート シーケンス制御部、生成部、通信制御部およびスレーブ装置の間でのデータの流れの一例を示す図 シーケンス制御部、生成部、通信制御部およびスレーブ装置の間でのデータの流れの一例を示す図 露光装置の構成を示す概略図
　以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
　＜第１実施形態＞
　本発明に係る一実施形態について説明する。図１は、スレーブ装置と当該スレーブ装置を制御するマスタ装置（制御装置）とを含む本実施形態のシステム１００の概略構成図である。本実施形態のシステム１００は、図１に示すように、マスタ装置１１０と、マスタ装置１１０に通信可能に接続される複数のスレーブ装置１２０と、各スレーブ装置１２０に通信可能に接続されるユニット１３０とを含みうる。マスタ装置１１０および各スレーブ装置１２０は、例えばＣＰＵやメモリ等を有するコンピュータによって構成されうるが、ボードコンピュータで構成されてもよいし、ボードコンピュータと兼用するように構成されてもよい。また、ユニット１３０は、例えばサーボモータ等の機構であり、スレーブ装置１２０によって制御されうる。
　複数のスレーブ装置１２０は、ディジーチェーン方式でマスタ装置１１０に通信可能に接続されている。マスタ装置１１０は、フィールドネットワーク１４０を介して、一定周期ごとに、複数のスレーブ装置１２０とデータの送受信を行う。また、複数のスレーブ装置１２０は、マスタ装置１１０から受信したデータに基づいて、複数のユニット１３０をそれぞれ制御する。本実施形態では、マスタ装置１１０に通信可能に接続されるスレーブ装置１２０として２個のスレーブ装置１２１、１２２を例示するが、スレーブ装置１２０の数は２個に限られるものではなく、１個または３個以上であってもよい。また、本実施形態では、複数のスレーブ装置１２０により制御される複数のユニット１３０として２個のユニット１３１、１３２を例示する。ユニット１３１はスレーブ装置１２１によって制御され、ユニット１３２はスレーブ装置１２２によって制御されうる。
　マスタ装置１１０は、シーケンス制御部１１１と、複数の生成部（スレーブ制御部）１１２と、通信制御部（通信部）１１３とを含みうる。　シーケンス制御部１１１は、各スレーブ装置１２０での処理のシーケンスを制御する。例えば、シーケンス制御部１１１は、予め定められた（設定された）手順、手続きまたはレシピに従って複数の生成部１１２を制御する。複数の生成部１１２はそれぞれ、制御対象とするスレーブ装置１２０での処理を制御（指示）するための指示データを生成する。
　生成部１１２は、例えばスレーブ装置１２０と同じ数だけ設けられ、本実施形態では、２個のスレーブ装置１２１、１２１をそれぞれ制御対象とする２個の生成部１１２ａ、１１２ｂが設けられている。生成部１１２ａは、スレーブ装置１２１を制御対象としており、スレーブ装置１２１での処理を制御するための指示データを生成する。一方、生成部１１２ｂは、スレーブ装置１２２を制御対象としており、スレーブ装置１２２での処理を制御するための指示データを生成する。
　通信制御部１１３は、フィールドネットワーク１４０を介して、一定周期ごとに、複数のスレーブ装置１２０とデータの送受信を行う。例えば、通信制御部１１３は、フィールドネットワーク１４０を介して、一定周期ごとに、生成部１１２ａ、１１２ｂで生成された指示データをスレーブ装置１２１、１２２に送信するとともに、スレーブ装置１２１、１２２から応答データを受信する。応答データとは、例えば、指示データによって指示された処理が完了したか否かを示すデータ（フラグ）である。
　次に、図１に示すフィールドネットワーク１４０の一例として、産業用イーサネット（登録商標）の１つであるＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）について説明する。ＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）では、一定周期（例えば１ｍ秒）でデータフレームの送受信が行われるため、データの到達時間が保証される。フィールドネットワーク１４０としてＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）を採用する場合には、フィールドネットワーク１４０に接続されるノードのうち少なくとも１つがマスタ装置１１０として機能し、その他のノードがスレーブ装置１２０として機能しうる。マスタ装置１１０として機能するノードは、フィールドネットワーク１４０におけるデータフレームの送受信タイミングなどを管理する。
　図１に示す例では、マスタ装置１１０（通信制御部１１３）は、生成部１１２ａ、１１２ｂで生成された指示データをデータフレームに書き込むとともに、当該データフレームをスレーブ装置１２１へ送信する。データフレームを受信したスレーブ装置１２１は、当該データフレームのデータのうち自身に割り当てられた領域のデータの読み書きを行い、当該データフレームを次のスレーブ装置１２２へ送信する。また、データフレームを受信したスレーブ装置１２２は、当該データフレームのデータのうち自身に割り当てられたデータの読み書きを行い、当該データフレームをスレーブ装置１２１を介してマスタ装置１１０に送信する。
　具体的には、スレーブ装置１２１は、受信したデータフレームの中から、生成部１１２ａで生成された指示データを読み出し、応答データの書き込みを行ってから当該データフレームを次のスレーブ装置１２２へ送信する。また、スレーブ装置１２２は、受信したデータフレームの中から、生成部１１２ｂで生成された指示データを読み出し、応答データの書き込みを行ってから当該データフレームをスレーブ装置１２１を介してマスタ装置１１０に送信する。
　上記のようにフィールドネットワークを介してマスタ装置１１０とスレーブ装置１２０との間でデータの送受信を一定周期ごとに行うシステム１００では、複数の生成部１１２のうち、異常や障害が生じた生成部１１２のみをリセットすることがある。この場合において、当該生成部１１２が制御対象とするスレーブ装置１２０からの応答データがフィールドネットワーク１４０のデータフレームに残存していると、当該応答データが誤って送信されることとなる。また、リセットされた生成部１１２においては、リセット前に処理した内容は消去されるため、リセット前に生成された指示データに対する応答データを受信するとエラーが発生しうる。その結果、システム１００を正常に動作させることが困難になりうる。
　そこで、本実施形態の通信制御部１１３は、生成部１１２がリセットされたことを検知した場合、スレーブ装置１２０からの応答データがフィールドネットワーク１４０のデータフレームに残留しているときには当該応答データを破棄する。例えば、通信制御部１１３は、複数の生成部１１２のうちリセットされた生成部１１２が検知された場合、複数のスレーブ装置１２０の中から、リセットされた生成部１１２が制御対象とするスレーブ装置１２０を特定する。そして、通信制御部１１３は、特定したスレーブ装置１２０からの応答データがフィールドネットワーク１４０のデータフレームに残留しているときには当該応答データを破棄する。
　図２は、本実施形態の通信制御部１１３で行われる処理を示すフローチャートである。ユーザがシステム１００を起動すると、マスタ装置１１０および複数のスレーブ装置１２１、１２２が起動する。そして、マスタ装置１１０と複数のスレーブ装置１２１、１２２との間で、フィールドネットワーク１４０を介した一定周期ごとのデータの送受信が開始されるとともに、図２に示すフローチャートが開始される。通信制御部１１３は、図２に示すフローチャートの実行中においても、フィールドネットワーク１４０を介した一定周期ごとの複数のスレーブ装置１２１、１２２とのデータの送受信を繰り返し実行しているものとする。
　Ｓ１１において、通信制御部１１３は、複数の生成部１１２の各々のリセットを監視（確認）する。そして、Ｓ１２において、通信制御部１１３は、複数の生成部１１２（１１２ａ、１１２ｂのうち、リセットされた生成部１１２を検知したか否かを判断する。例えば、生成部１１２がリセットされたときには、当該生成部１１２から一定周期で送信されている指示データが送信されない。そのため、通信制御部１１３は、指示データを受信したか否かに応じて、リセットされた生成部１１２を検知することができる。また、通信制御部１１３は、生成部１１２のリセットが実行されるときに当該生成部１１２から送信されるデータ（フラグ）に基づいて、リセットされた生成部１１２を検知することができる。リセットされた生成部１１２を検知した場合にはＳ１３に進み、リセットされた生成部１１２を検知していない場合にはＳ１１に戻る。
　Ｓ１３において、通信制御部１１３は、リセットされた生成部１１２が制御対象とするスレーブ装置１２０を特定する。本実施形態のシステム１００では、複数のスレーブ装置１２０をそれぞれ制御対象とする複数の生成部１１２が設けられており、複数のスレーブ装置１２０と複数の生成部１１２との対応関係が予め把握されている。そのため、通信制御部１１３は、当該対応関係を示す情報に基づいて、複数のスレーブ装置１２０のうち、リセットされた生成部１１２が制御対象とするスレーブ装置１２０を特定することができる。なお、以下では、Ｓ１３で特定されたスレーブ装置１２０を「特定スレーブ装置１２０」と呼ぶことがある。
　Ｓ１４において、通信制御部１１３は、特定スレーブ装置１２０での処理の状態を確認する。そして、Ｓ１５において、通信制御部１１３は、特定スレーブ装置１２０での処理が実行中か否かを判断する。例えば、通信制御部１１３は、一定周期ごとに受信するフィールドネットワーク１４０のデータフレームを確認することにより、特定スレーブ装置１２０での処理が実行中か否かを判断することができる。具体的には、フィールドネットワーク１４０のデータフレームには、特定スレーブ装置１２０での処理が完了したことを示すフラグが設けられる。通信制御部１１３は、フィールドネットワーク１４０のデータフレームにおいて当該フラグが立っている場合には、特定スレーブ装置１２０での処理が完了したと判断することができる。一方、通信制御部１１３は、フィールドネットワーク１４０のデータフレームにおいて当該フラグが立っていない場合には、特定スレーブ装置１２０での処理が実行中であると判断することができる。特定スレーブ装置１２０での処理が実行中である場合にはＳ１６に進み、特定スレーブ装置１２０での処理が完了した場合にはＳ１９に進む。
　Ｓ１６～Ｓ１８は、特定スレーブ装置１２０での処理が実行中である場合に進む工程である。特定スレーブ装置１２０を制御対象とする生成部１１２がリセットされたにも関わらず、特定スレーブ装置１２０での処理が完了してしまうと、システム１００を正常に動作させることが困難になりうる。したがって、本工程では、特定スレーブ装置１２０での処理が実行中である場合に、特定スレーブ装置１２０をリセットさせる。
　Ｓ１６において、通信制御部１１３は、特定スレーブ装置１２０のリセットを実行するように特定スレーブ装置１２０に指示する。例えば、通信制御部１１３は、特定スレーブ装置１２０のリセットの実行を指示するコマンド（データ）をフィールドネットワーク１４０のデータフレームに書き込むことにより、特定スレーブ装置１２０のリセットの実行を指示することができる。ここで、特定スレーブ装置１２０は、フィールドネットワーク１４０を介するマスタ装置１１０および他のスレーブ装置１２０との通信を維持したまま、自身のリセットを行うとよい。これにより、通信制御部１１３は、特定スレーブ装置１２０のリセットの実行中においても、特定スレーブ装置１２０以外のスレーブ装置１２０に対し、フィールドネットワーク１４０を介した通信を維持することができる。
　Ｓ１７において、通信制御部１１３は、特定スレーブ装置１２０のリセットの実行状態を確認する。そして、Ｓ１８において、通信制御部１１３は、特定スレーブ装置１２０のリセットが完了したか否かを判断する。例えば、通信制御部１１３は、一定周期ごとに受信するフィールドネットワーク１４０のデータフレームを確認することにより、特定スレーブ装置１２０での処理が実行中か否かを判断することができる。具体的には、フィールドネットワーク１４０のデータフレームには、特定スレーブ装置１２０のリセットが完了したことを示すフラグが設けられる。通信制御部１１３は、フィールドネットワーク１４０のデータフレームにおいて当該フラグが立っている場合には、特定スレーブ装置１２０のリセットが完了したと判断することができる。一方、通信制御部１１３は、フィールドネットワーク１４０のデータフレームにおいて当該フラグが立っていない場合には、特定スレーブ装置１２０のリセットが実行中であると判断することができる。特定スレーブ装置１２０のリセットが完了した場合にはＳ１９に進み、特定スレーブ装置１２０のリセットが完了していない場合にはＳ１７に戻る。
　Ｓ１９において、通信制御部１１３は、フィールドネットワーク１４０のデータフレームを確認する。例えば、Ｓ１６～Ｓ１８において特定スレーブ装置１２０のリセットを実行した場合、通信制御部１１３は、特定スレーブ装置１２０のリセットが完了した後のデータフレームを確認するとよい。そして、Ｓ２０において、通信制御部１１３は、フィールドネットワーク１４０のデータフレームに、特定スレーブ装置１２０からの応答データが残留（存在）しているか否かを判断する。特定スレーブ装置１２０からの応答データがデータフレームに残留していない場合にはＳ１１に戻る。一方、特定スレーブ装置１２０からの応答データがデータフレームに残留している場合にはＳ２１に進み、当該応答データを当該データフレームから破棄した後でＳ１１に戻る。
　ここで、「応答データの破棄」とは、当該応答データが有効でない状態（無効な状態）にすることを意味する。例えば、通信制御部１１３は、特定スレーブ装置１２０からの応答データをフィールドネットワーク１４０のデータフレームからクリアする（消去する）ことにより、応答データの破棄を実行することができる。また、応答データが、処理が完了したことを示すフラグが立っているか否かによって示される場合、通信制御部１１３は、データフレームにおいて立っている当該フラグを下げることにより、応答データの破棄を実行することができる。
　次に、本実施形態のシステム１００におけるデータの流れについて説明する。図３～図４は、本実施形態のシステム１００におけるシーケンス制御部１１１、生成部１１２、通信制御部１１３およびスレーブ装置１２０の間でのデータの流れの一例を示す図である。図３は、フィールドネットワーク１４０のデータフレームに応答データの残留がない場合におけるデータの流れの一例（実施例１）を示しており、図４は、当該データフレームに応答データの残留がある場合におけるデータの流れの一例（実施例２）を示している。
　［実施例１］
　図３を参照しながら実施例１について説明する。　シーケンス制御部１１１は、予め定められた（設定された）手順、手続きまたはレシピに従って、生成部１１２に指示データを生成させるための制御コマンドを当該生成部１１２に送信する（Ｓ１０１）。シーケンス制御部１１１から制御コマンドを受信した生成部１１２は、当該制御コマンドに基づいて、スレーブ装置１２０に処理を実行させるための指示データを生成して通信制御部１１３に送信する（Ｓ１０２）。生成部１１２から指示データを受信した通信制御部１１３は、フィールドネットワーク１４０のデータフレームに当該指示データを書き込むことにより、当該指示データをスレーブ装置１２０に送信する（Ｓ１０３）。通信制御部１１３から指示データを受信したスレーブ装置１２０は、当該指示データにより指示された処理の実行を開始して、ユニット１３０の制御を開始する。これにより、スレーブ装置１２０が処理中となる。
　ここで、生成部１１２をリセットする必要が生じた場合、シーケンス制御部１１１は、生成部１１２のリセットを実行させるためのリセット指示コマンドを生成部１１２に送信し、生成部１１２のリセットを実行する（Ｓ１０４）。また、リセットが実行される生成部１１２は、リセットを実行することを示すデータ（リセット実行コマンド）を通信制御部１１３に送信する（Ｓ１０５）。これにより、通信制御部１１３は、リセットされた生成部１１２を検知することができる。通信制御部１１３は、リセットされた生成部１１２が制御対象とするスレーブ装置１２０を特定し（Ｓ１０６）、特定されたスレーブ装置１２０での処理の状態を確認することにより当該スレーブ装置１２０が処理の実行中であるか否かを判断する（Ｓ１０７）。本実施例１では、スレーブ装置１２０が処理の実行中である（即ち、スレーブ装置１２０から応答データが送信されていない）。そのため、通信制御部１１３は、スレーブ装置１２０のリセットの実行を指示するリセット指示コマンドをスレーブ装置１２０に送信する（Ｓ１０８）。リセット指示コマンドを受信したスレーブ装置１２０は、自らのリセットを実行し、当該リセットが完了した場合には、フィールドネットワーク１４０を介して、リセットの完了を示すデータ（リセット完了コマンド）を通信制御部１１３に送信する（Ｓ１０９）。
　リセット完了コマンドを受信した通信制御部１１３は、スレーブ装置１２０からの応答データがフィールドネットワーク１４０のデータフレームに残留しているか否かを確認する（Ｓ１１０）。本実施例１では、スレーブ装置１２０が処理の実行中に当該スレーブ装置１２０のリセットを実行しているため、スレーブ装置１２０での処理の完了を示す応答データがフィールドネットワーク１４０のデータフレームに書き込まれていない。つまり、本実施例１では、スレーブ装置１２０からの応答データが当該データフレームに残留しておらず、通信制御部１１３による応答データの破棄を行わずに次の制御に進む。
　シーケンス制御部１１１は、予め定められた（設定された）手順、手続きまたはレシピに従って、生成部１１２に次の指示データを生成させるための制御コマンドを当該生成部１１２に送信する（Ｓ１１１）。生成部１１２は、受信した制御コマンドに基づいて、スレーブ装置１２０に処理を実行させるための指示データを生成して通信制御部１１３に送信する（Ｓ１１２）。通信制御部１１３は、受信した指示データをフィールドネットワーク１４０のデータフレームに書き込むことにより、当該指示データをスレーブ装置１２０に送信する（Ｓ１１３）。通信制御部１１３から指示データを受信したスレーブ装置１２０は、当該指示データにより指示された処理の実行を開始する。そして、スレーブ装置１２０は、当該処理が完了したら、フィールドネットワーク１４０のデータフレームに応答データを書き込むことにより、当該応答データを通信制御部１１３に送信する（Ｓ１１４）。通信制御部１１３で受信された応答データは、生成部１１２を介して（Ｓ１１５）、シーケンス制御部１１１に送信される（Ｓ１１６）。
　［実施例２］
　図４を参照しながら実施例２について説明する。　シーケンス制御部１１１は、予め定められた（設定された）手順、手続きまたはレシピに従って、生成部１１２に次の指示データを生成させるための制御コマンドを当該生成部１１２に送信する（Ｓ２０１）。生成部１１２は、受信した制御コマンドに基づいて、スレーブ装置１２０に処理を実行させるための指示データを生成して通信制御部１１３に送信する（Ｓ２０２）。通信制御部１１３は、受信した指示データをフィールドネットワーク１４０のデータフレームに書き込むことにより、当該指示データをスレーブ装置１２０に送信する（Ｓ２０３）。通信制御部１１３から指示データを受信したスレーブ装置１２０は、当該指示データにより指示された処理の実行を開始する。そして、スレーブ装置１２０は、当該処理が完了したら、フィールドネットワーク１４０のデータフレームに応答データを書き込むことにより、当該応答データを通信制御部１１３に送信する（Ｓ２０４）。
　ここで、生成部１１２をリセットする必要が生じた場合、シーケンス制御部１１１は、生成部１１２のリセットを実行させるためのリセット指示コマンドを生成部１１２に送信し、生成部１１２のリセットを実行する（Ｓ２０５）。また、リセットが実行される生成部１１２は、リセットを実行することを示すデータ（リセット実行コマンド）を通信制御部１１３に送信する（Ｓ２０６）。これにより、通信制御部１１３は、リセットされた生成部１１２を検知することができる。通信制御部１１３は、リセットされた生成部１１２が制御対象とするスレーブ装置１２０を特定し（Ｓ２０７）、特定されたスレーブ装置１２０での処理の状態を確認することにより当該スレーブ装置１２０が処理の実行中であるか否かを判断する（Ｓ２０８）。本実施例２では、スレーブ装置１２０において処理が完了している（即ち、Ｓ２０４においてスレーブ装置１２０から応答データが送信されている）ため、スレーブ装置１２０のリセットは実行されない。
　通信制御部１１３は、スレーブ装置１２０からの応答データがフィールドネットワーク１４０のデータフレームに残留しているか否かを確認する（Ｓ２０９）。本実施例２では、スレーブ装置１２０で処理が完了して、スレーブ装置１２０から応答データが送信されたものの、生成部１１２およびシーケンス制御部１１１に当該応答データが送信されていない状態である。つまり、フィールドネットワーク１４０のデータフレームに応答データが残留している状態である。そのため、通信制御部１１３は、当該データフレームに残留している応答データを破棄し（Ｓ２１０）、それから次の工程（Ｓ２１１～Ｓ２１６）に進む。Ｓ２１１～Ｓ２１６は、実施例１で説明した図３のＳ１１１～Ｓ１１６と同様の工程である。これにより、Ｓ２０４でスレーブ装置１２０から送信されてデータフレームに残留している応答データが生成部１１２およびシーケンス制御部１１１に送信されることを回避することができる。つまり、Ｓ２１３でスレーブ装置１２０に送信された指示データに対する応答データとして、Ｓ２０４でスレーブ装置１２０から送信された過去の応答データが生成部１１２およびシーケンス制御部１１１に送信されることを回避することができる。
　上述したように、本実施形態のマスタ装置１１０（通信制御部１１３）は、生成部１１２のリセットを検知した場合、スレーブ装置１２０からの応答データがフィールドネットワーク１４０のデータフレームに残留しているときには当該応答データを破棄する。これにより、フィールドネットワーク１４０のデータフレームに残存している応答データが誤って送信されることを回避し、システム１００を正常に動作させることができる。
　＜リソグラフィ装置の実施形態＞
　本発明に係る上記のシステム１００を適用したリソグラフィ装置の実施形態について説明する。本実施形態では、上記のシステム１００を適用したリソグラフィ装置として、基板を露光して基板上にパターンを形成する露光装置を例示して説明するが、それに限られるものではない。例えば、モールドを用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置や、荷電粒子線を基板に照射して当該基板にパターンを形成する描画装置などのリソグラフィ装置においても、上記のシステム１００を適用することができる。
　図５は、露光装置１０の構成を示す概略図である。露光装置１０は、マスクＭのパターンを投影光学系１４を介して基板Ｗに投影して当該基板Ｗを露光する露光装置である。露光装置１０は、光源１１と、照明光学系１２と、マスクステージ１３と、投影光学系１４と、基板ステージ１５と、主制御部１６とを有する。また、露光装置１０は、マスクステージ１３を駆動する第１駆動部２１と、投影光学系１４のレンズ１４ａを駆動する第２駆動部２２と、基板ステージ１５を駆動する第３駆動部２３とを有する。第１駆動部２１、第２駆動部２２および第３駆動部２３は、基板Ｗにパターンを形成する処理の少なくとも一部を行う機構であり、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２および基板ステージ制御部３３によってそれぞれ制御される。また、主制御部１６は、例えばＣＰＵやメモリ（記憶部）などを有し、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２および基板ステージ制御部３３を制御することにより、露光装置１０の全体（露光装置１０の各部）を制御する。
　光源１１は、露光光を射出する。照明光学系１２は、光源１１から射出された光を用いてマスクＭを照明する。マスクステージ１３は、マスクＭを保持するとともに、第１駆動部２１によって例えばＸＹ方向に移動可能に構成されうる。投影光学系１４は、照明光学系１２により照明されたマスクＭのパターンを基板上に投影する。投影光学系１４は、第２駆動部２２によって例えばＸ方向に移動可能なレンズ１４ａを含む。基板ステージ１５は、基板Ｗを保持するとともに、第３駆動部２３によって例えばＸＹ方向に移動可能に構成されうる。
　図５に示す露光装置１０において、本発明に係る上記のシステム１００を適用する場合、主制御部１６がマスタ装置１１０として構成されうる。また、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２および基板ステージ制御部３３がそれぞれスレーブ装置１２０として構成されうる。第１駆動部２１、第２駆動部２２および第２駆動部がそれぞれユニット１３０として構成されうる。主制御部１６、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２および基板ステージ制御部３３との間におけるデータの送受信が、フィールドネットワークを介して一定周期ごとに行われることとなる。
　＜物品の製造方法の実施形態＞
　本発明の実施形態にかかる物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、上記のリソグラフィ装置（露光装置）を用いて基板上にパターンを形成する工程と、かかる工程でパターンを形成された基板を加工する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程（酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等）を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも１つにおいて有利である。
　＜その他の実施例＞
　本発明は、上述の実施形態の１以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、１以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。
　発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。
　本願は、２０２０年２月１９日提出の日本国特許出願特願２０２０－０２６４７６を基礎として優先権を主張するものであり、その記載内容の全てを、ここに援用する。
１００：システム、１１０：マスタ装置、１１１：シーケンス制御部、１１２：生成部、１１３：通信制御部、１２０：スレーブ装置、１３０：ユニット

Claims (16)

  1. 　ネットワークに接続されたスレーブ装置を制御する制御装置であって、
    　前記スレーブ装置での処理を制御するための指示データを生成する生成部と、
    　前記ネットワークを介して、一定周期ごとに、前記スレーブ装置との間でデータフレームを送受信する通信部と、
    　を含み、
    　前記通信部は、前記生成部のリセットが実行されたことを検知した場合、前記リセットが実行される前に送信された前記指示データに対する応答データが前記データフレームに残留しているときには当該応答データを無効な状態にする、ことを特徴とする制御装置。
  2. 　前記通信部は、前記リセットが実行されたことを検知した場合、前記スレーブ装置が前記処理の実行中であるか否かを判断し、前記スレーブ装置が前記処理の実行中である場合には、前記スレーブ装置のリセットを実行するように前記スレーブ装置に指示する、ことを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
  3. 　前記通信部は、前記スレーブ装置のリセットの実行を指示した場合、前記データフレームに残留している前記スレーブ装置からの応答データを無効な状態にすることを、前記スレーブ装置のリセットが完了した後に行う、ことを特徴とする請求項２に記載の制御装置。
  4. 　前記通信部は、前記スレーブ装置のリセットの実行を指示した場合、当該リセットの実行中においても前記ネットワークを介した前記スレーブ装置との間で前記データフレームの送受信を一定周期ごとに行う、ことを特徴とする請求項２又は３に記載の制御装置。
  5. 　前記制御装置は、前記スレーブ装置での処理のシーケンスを制御するシーケンス制御部を更に含み、
    　前記生成部のリセットは、前記シーケンス制御部によって実行される、ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の制御装置。
  6. 　前記制御装置は、前記ネットワークを介して複数のスレーブ装置をそれぞれ制御するため、前記複数のスレーブ装置をそれぞれ制御対象とする複数の前記生成部を含む、ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の制御装置。
  7. 　前記通信部は、前記複数の生成部のうちリセットされた生成部を検知した場合、前記複数のスレーブ装置のうち前記リセットされた生成部を制御対象とするスレーブ装置を特定し、前記特定したスレーブ装置からの応答データが前記データフレームに残留しているときには当該応答データを無効な状態にする、ことを特徴とする請求項６に記載の制御装置。
  8. 　前記複数のスレーブ装置はディジーチェーン方式で接続されていることを特徴とする請求項６に記載の制御装置。
  9. 　前記データフレームは前記複数のスレーブ装置のそれぞれに割り当てられた領域を含み、前記複数のスレーブ装置はそれぞれに割り当てられた前記領域のデータを読み書きすることを特徴とする請求項６に記載の制御装置。
  10. 　前記通信部は、前記指示データが書き込まれた前記データフレームを送信して、前記応答データが書き込まれた前記データフレームを受信することを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
  11. 　前記応答データは、前記指示データによって指示された処理が完了したか否かを示すデータであることを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
  12. 　スレーブ装置と、前記スレーブ装置を制御するマスタ装置とを含み、前記スレーブ装置と前記マスタ装置とがネットワークに接続されたシステムであって、
    　前記マスタ装置は、
    　　前記スレーブ装置での処理を制御するための指示データを生成する生成部と、
    　　前記ネットワークを介して、一定周期ごとに、前記スレーブ装置との間でデータフレームを送受信する通信部と、を含み、
    　前記通信部は、前記生成部のリセットが実行されたことを検知した場合、前記リセットが実行される前に送信したデータフレームに含まれていた前記指示データに対する応答データが前記データフレームに残留しているときには当該応答データを無効な状態する、ことを特徴とするシステム。
  13. 　基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
    　請求項１２に記載のシステムを含み、
    　前記スレーブ装置は、前記基板にパターンを形成する処理の少なくとも一部を行う機構を制御する、ことを特徴とするリソグラフィ装置。
  14. 　請求項１３に記載のリソグラフィ装置を用いて基板上にパターンを形成する工程と、
    　前記工程でパターンが形成された前記基板を加工する工程と、を含み、
    　加工された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
  15. 　マスタ装置によりネットワークに接続されたスレーブ装置を制御する制御方法であって、
    　前記スレーブ装置での処理を制御するための指示データを生成部により生成する工程と、
    　前記ネットワークを介して、一定周期ごとに、前記スレーブ装置との間でデータフレームを送受信する工程と、
    　前記生成部のリセットが実行された場合、前記リセットが実行される前に送信したデータフレームに含まれていた前記指示データに対する応答データが前記データフレームに残留しているときには当該応答データを無効な状態にする工程と、　を含むことを特徴とする制御方法。
  16. 　請求項１５に記載の制御方法の各工程を、マスタ装置としてのコンピュータに実行させるためのプログラム。
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