JP2001267218A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 オペレータが露光装置間を移動する時間、レ
チクル検索の手間を省き、該当のレチクルを搬出口まで
搬出する時間を短縮する露光装置を提供する。 【解決手段】 露光装置２０１が立ち上がった時、露光
装置２０１のレチクル格納庫２０３の状態が変化した
時、又は露光装置２０１にネットワークで相互に接続さ
れた他の露光装置２０１が接続した時のいずれかに基づ
いて、レチクル格納庫２０３の情報を送信させる原版情
報送信手段と、原版情報送信手段にて送信された原版ラ
イブラリの情報を保存させる原版情報保存手段と、原版
情報送信手段にて送信された情報に基づいて、レチクル
格納庫２０３の情報を表示させる原版情報表示手段と、
レチクル２０４の搬出命令を送信させる原版搬出命令送
信手段と、前記搬出命令を受信させる搬出命令受信手段
と、前記搬出命令を受信した時にレチクル２０４を露光
装置２０１の搬出口まで搬出させる原版搬出手段とを有
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ホストやＭ／Ｃ等
の制御コンピュータを用いることなしに、ネットワーク
に相互接続された半導体等を製造するための複数の露光
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の露光装置は、自装置内にある原版
ライブラリであるレチクルライブラリの状態のみを表示
する機能を有していた。したがって、複数の露光装置で
構成された工場において、あるレチクル（原版）をある
露光装置から別の露光装置に移動する場合、それぞれの
露光装置までオペレータが移動し、それぞれの露光装置
に載置されているレチクルライブラリを探すことによっ
て該当するレチクルを見つけ出していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】工場内に存在する複数
の露光装置のいずれかに載置された原版であるレチクル
を見つけ出すには、該当するレチクルが見つかるまで各
露光装置の間をオペレータが移動する必要があり、か
つ、それぞれの露光装置の端末でレチクルライブラリの
状態を表示させる必要がある。このため、レチクルを見
つけるまでに時間がかかっていた。

【０００４】また、レチクルが見つかった露光装置のオ
ペレーションパネル（端末）より、レチクル取り出し命
令を出してから、レチクルを搬出口まで搬出する時間、
オペレータは待っている必要があった。

【０００５】本発明は、上記の問題点に鑑みてなされた
ものであり、制御コンピュータを用意することなしに一
個所（１台の露光装置）で集中管理することができ、オ
ペレータが複数の露光装置間を移動する時間及びレチク
ル検索の手間を省き、かつ該当のレチクルを搬出口まで
搬出する時間も短縮できる露光装置を提供することを課
題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段及び作用】上記課題を解決
するために、本発明の露光装置は、原版に形成されたパ
ターンを基板に転写露光する露光装置において、該露光
装置が複数台配置され、該各露光装置がネットワークで
相互に接続された場合であって、前記露光装置が立ち上
がった時、若しくは前記露光装置の原版ライブラリの状
態が変化した時、若しくは前記露光装置が他の前記各露
光装置からの接続メッセージを受信した時のいずれかに
基づいて、複数の前記露光装置に対して原版ライブラリ
の情報を送信させる原版情報送信手段を有することを特
徴とする。

【０００７】本発明においては、前記露光装置は、ネッ
トワークで相互に接続された他の前記各露光装置から前
記原版情報送信手段により送信された原版ライブラリの
情報の一部又は全部を保存させる原版情報保存手段を有
することが好ましい。

【０００８】また、前記露光装置は、前記原版情報保存
手段により保存された情報に基づいて、ネットワークで
相互に接続された複数の前記露光装置の原版ライブラリ
の情報を該露光装置の端末に表示させる原版情報表示手
段を有することが好ましい。

【０００９】また、前記露光装置は、ネットワークで相
互に接続された他の前記各露光装置に対して原版の搬出
命令を送信させる原版搬出命令送信手段を有し、ネット
ワークで相互に接続された複数の前記露光装置は、前記
搬出命令を受信させる搬出命令受信手段と、前記搬出命
令を受信した時に原版を前記露光装置の搬出口まで搬出
させる原版搬出手段とを有することが好ましい。

【００１０】そして、ネットワーク内に管理用コンピュ
ータを用意することなしに、ネットワークで相互に接続
された複数の前記露光装置は、ネットワーク内の１台の
前記露光装置により集中管理されることが好ましい。さ
らに、前記露光装置を用いてデバイスを製造することが
できる。

【００１１】上記構成等により、オペレータが各露光装
置間を移動する時間が省くことができ、かつレチクルを
探す手間が省ける。また、レチクルがある露光装置まで
移動する間にレチクルが搬出口から搬出されているの
で、その間の時間も短縮することができる。

【００１２】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を用いて
詳細に説明する。 ［露光装置の実施例］図１は本発明の一実施例に係るネ
ットワークに相互接続された複数の露光装置を表わす図
である。同図に示すように、露光装置１０１、露光装置
１０２、露光装置１０３は回線１０４によって接続され
相互に通信が行われる。それぞれの露光装置１０１，１
０２，１０３は、互いにメッセージという単位で情報を
送受信する。

【００１３】図２は、図１の露光装置１０１，１０２，
１０３の概要を示す要部概要図である。同図に示すよう
に、露光装置２０１は端末２０２を有し、様々な露光装
置状態を表示したり、露光装置に対して指示を行えるよ
うになっている。原版であるレチクルの格納庫（原版ラ
イブラリ）２０３は各露光装置内に存在し、複数のレチ
クル２０４を格納することが可能である。

【００１４】それぞれの露光装置は起動時、登録されて
いる各露光装置に対して接続メッセージを送信し、各露
光装置はある露光装置から接続メッセージを受信すると
接続が確立する。

【００１５】図２において、上記した原版情報送信手
段、原版情報保存手段、原版情報表示手段、原版搬出命
令送信手段、原版搬出命令受信手段、及び原版搬出手段
はいずれも不図示である。

【００１６】図１の構成において、露光装置１０１とそ
の露光装置１０１に接続されている露光装置１０２，１
０３との間でやり取りされるメッセージのシーケンスの
一例を図３に示す。図中の矢印は各露光装置１０１，１
０２，１０３の間でやり取りされるメッセージとその方
向を示す。また、図中において図１と同一の符号は、図
１と同様の構成要素を示す。

【００１７】また、図４及び図５は、本実施例に係る露
光装置内での処理フローの詳細を示す図である。上記し
た図１〜５を参照して本実施例に係わる半導体露光装置
の動作を説明する。図４（ａ）は、図３における露光装
置１０１の処理フローを示す図である。露光装置１０１
を起動した際、まず露光装置１０１は起動（立ち上げ）
処理を行なう（ステップ４０１）。起動処理が終わった
ら、露光装置１０１に登録されている各露光装置１０
２，１０３のうち、最初に登録されている露光装置１０
２に対して接続メッセージ３０１を送信する（ステップ
４０２）。

【００１８】図４（ｂ）は、図４（ａ）におけるステッ
プ４０２とステップ４０３の間の露光装置１０２の処理
フローを示す図である。接続メッセージ３０１を受信し
た露光装置１０２は、接続メッセージ３０１を送信した
露光装置を判断し（ステップ４０８）、その露光装置
（露光装置１０１）に対して自装置１０２の原版ライブ
ラリ情報であるレチクル情報３０２を原版情報送信手段
にて送信する（ステップ４０９）。

【００１９】図４（ａ）において、露光装置１０１は、
露光装置１０２からのレチクル情報３０２を受信し（ス
テップ４０３）、原版情報保存手段にてレチクル情報の
一部又は全部を保存する（ステップ４０４) 。その後、
露光装置１０１は、自装置１０１のレチクル情報３０３
を露光装置１０２に対して原版情報送信手段にて送信す
る（ステップ４０５) 。

【００２０】図４（ｃ）は、図４（ａ）におけるステッ
プ４０５の処理の後、露光装置１０２の処理フローを示
す図である。露光装置１０２では、露光装置１０１から
送信されたレチクル情報３０３を受信し（ステップ４１
０) 、原版情報保存手段にてレチクル情報３０３の一部
又は全部を保存する（ステップ４１１）。また、保存し
たレチクル情報３０３は端末２０２に原版情報表示手段
にて表示される（ステップ４１２）。

【００２１】また、図４（ａ）において、露光装置１０
１は、自装置１０１のレチクル情報３０３を原版情報送
信手段にて送信した後、登録されている複数の露光装置
の全てに接続したかどうかを判断する（ステップ４０
６) 。仮に、接続していない露光装置が存在した場合
は、ステップ４０２〜４０５の処理をそれぞれの露光装
置１０２，１０３に対して行う。全ての露光装置１０
２，１０３に対して接続したら、原版情報保存手段にて
保存したレチクル情報を原版情報表示手段にて端末２０
２に表示する。つまり、露光装置１０１にてネットワー
ク内の各露光装置１０２，１０３について集中管理する
ことができる。

【００２２】図５（ａ）は、露光装置１０２の端末から
露光装置１０１に存在するレチクルを操作する処理フロ
ーを示す図である。露光装置１０２の端末から、露光装
置１０１に存在するレチクルを操作する場合、まず端末
２０２上に露光装置のリストである装置リストを表示す
る（ステップ５０１）。装置リスト上から露光装置１０
１を選択することにより（ステップ５０２）、端末２０
２上には選択した露光装置のレチクルリストを表示する
（ステップ５０３）。レチクルリスト上から操作したい
レチクルを選択し、行き先を指示する（ステップ５０
４）。ステップ５０４の後、露光装置１０２から露光装
置１０１に対してレチクル移動指示３０７が原版搬出命
令送信手段にて送信される（ステップ５０５）。

【００２３】図５（ｂ）は、図３においてレチクル移動
を受信した露光装置１０１が各露光装置１０２，１０３
へレチクル情報を送信する処理フローを示す図である。
レチクル移動指示３０７を原版搬出命令受信手段にて受
信した露光装置１０１は、指示通りレチクルを原版搬出
手段にて移動する（ステップ５０６）。そして、移動後
のレチクル情報３０８を露光装置１０２，１０３へ原版
情報送信手段にて送信する（ステップ５０７〜５０
８）。

【００２４】［デバイス製造方法の実施例］次に、上記
説明した露光装置を利用したデバイスの製造方法の実施
例を説明する。図６は、微小デバイス（ＩＣやＬＳＩ等
の半導体チップ、液晶パネル、ＣＣＤ、薄膜磁気ヘッ
ド、マイクロマシン等）の製造の流れを示す。ステップ
１（回路設計）ではデバイスのパターン設計を行う。ス
テップ２（マスク製作）では設計したパターンを形成し
たマスクを製作する。一方、ステップ３（ウエハ製造）
ではシリコンやガラス等の材料を用いてウエハを製造す
る。ステップ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、
上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技
術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステ
ップ５（組み立て）は後工程と呼ばれ、ステップ４によ
って作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程
であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディン
グ）、パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含
む。ステップ６（検査）ではステップ５で作製された半
導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査
を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、
これが出荷（ステップ７）される。

【００２５】図７は、上記ウエハプロセスの詳細な流れ
を示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸化
させる。ステップ１２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶縁
膜を形成する。ステップ１３（電極形成）ではウエハ上
に電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオン
打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１５
（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ステ
ップ１６（露光）では上記説明した露光装置によってマ
スクの回路パターンをウエハに焼付露光する。ステップ
１７（現像）では露光したウエハを現像する。ステップ
１８（エッチング）では現像したレジスト像以外の部分
を削り取る。ステップ１９（レジスト剥離）ではエッチ
ングが済んで不要となったレジストを取り除く。これら
のステップを繰り返し行うことによって、ウエハ上に多
重に回路パターンが形成される。

【００２６】本実施例の製造方法を用いれば、従来は製
造が難しかった高集積度のデバイスを低コストに製造す
ることができる。

【００２７】

【発明の効果】上記説明したように、本発明による露光
装置は、複数の露光装置間に点在しているレチクルを、
オペレータが探し回る時間、及びオペレータが探す手間
を省くことができる。また、レチクルが搬出口まで搬出
される間にオペレータが移動できるので、レチクルを探
し始めてからオペレータが実際に手にするまでの時間を
短縮することもできる。さらに、ホストやＭ／Ｃ等の複
数の露光装置に対する制御コンピュータを用意すること
なしに一個所（１台の露光装置）で集中管理することも
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例に係るネットワークに相互
接続された複数の露光装置を表わす図である。

【図２】 図１の露光装置１０１，１０２，１０３の概
要を示す要部概要図である。

【図３】 図１の構成において、露光装置１０１とその
露光装置１０１に接続されている露光装置１０２，１０
３との間でやり取りされるメッセージのシーケンスの一
例を示す図である。

【図４】 本実施例に係る露光装置内での処理フローの
詳細を示す図である。 （ａ）図３における露光装置１０１の処理フローを示す
図である。 （ｂ）図４（ａ）におけるステップ４０２とステップ４
０３の間の露光装置１０２の処理フローを示す図であ
る。 （ｃ）図４（ａ）におけるステップ４０５の処理の後、
露光装置１０２の処理フローを示す図である。

【図５】 本実施例に係る露光装置内での処理フローの
詳細を示す図である。 （ａ）露光装置１０２の端末から露光装置１０１に存在
するレチクルを操作する処理フローを示す図である。 （ｂ）図３においてレチクル移動を受信した露光装置１
０１が各露光装置１０２，１０３へレチクル情報を送信
する処理フローを示す図である。

【図６】 微小デバイスの製造の流れを示す図である。

【図７】 図６におけるウエハプロセスの詳細な流れを
示す図である。

【符号の説明】

１０１，１０２，１０３：露光装置、１０４：回線、２
０１：露光装置、２０２：レチクル格納庫、２０３：端
末、２０４：レチクル、３０１，３０４：接続メッセー
ジ、３０２，３０３，３０５，３０６，３０８，３０
９：レチクル情報、３０７：レチクル移動指示。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 原版に形成されたパターンを基板に転写
   露光する露光装置において、該露光装置が複数台配置さ
   れ、該各露光装置がネットワークで相互に接続された場
   合であって、 前記露光装置が立ち上がった時、若しくは前記露光装置
   の原版ライブラリの状態が変化した時、若しくは前記露
   光装置が他の前記各露光装置からの接続メッセージを受
   信した時のいずれかに基づいて、複数の前記露光装置に
   対して原版ライブラリの情報を送信させる原版情報送信
   手段を有することを特徴とする露光装置。
2. 【請求項２】 前記露光装置は、ネットワークで相互に
   接続された他の前記各露光装置から前記原版情報送信手
   段により送信された原版ライブラリの情報の一部又は全
   部を保存させる原版情報保存手段を有することを特徴と
   する請求項１に記載の露光装置。
3. 【請求項３】 前記露光装置は、前記原版情報保存手段
   により保存された情報に基づいて、ネットワークで相互
   に接続された複数の前記露光装置の原版ライブラリの情
   報を該露光装置の端末に表示させる原版情報表示手段を
   有することを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装
   置。
4. 【請求項４】 前記露光装置は、ネットワークで相互に
   接続された他の前記各露光装置に対して原版の搬出命令
   を送信させる原版搬出命令送信手段を有し、ネットワー
   クで相互に接続された複数の前記露光装置は、前記搬出
   命令を受信させる搬出命令受信手段と、前記搬出命令を
   受信した時に原版を前記露光装置の搬出口まで搬出させ
   る原版搬出手段とを有することを特徴とする請求項１〜
   ３のいずれかに記載の露光装置。
5. 【請求項５】 ネットワーク内に管理用コンピュータを
   用意することなしに、ネットワークで相互に接続された
   複数の前記露光装置は、ネットワーク内の１台の前記露
   光装置により集中管理されることを特徴とする請求項１
   〜４のいずれかに記載の露光装置。
6. 【請求項６】 請求項１〜５のいずれかに記載の露光装
   置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイ
   ス製造方法。