JP2022108621A5 - - Google Patents

Description

マスタ装置（制御装置）とスレーブ装置（被制御装置）との間でデータの送受信を一定の周期ごとに行うシステムでは、かかるシステムの動作中に、マスタ装置がスレーブ装置から情報を取得する必要が生じることがある。特許文献１には、ネットワークを介して通信（送受信）されるデータ量にかかわらず、マスタ装置とスレーブ装置との間で制御用データの通信を確実に行いながら、異常検知用データの取得量の低下を抑制するシステムが提案されている。

上記目的を達成するために、本発明の一側面としての制御装置は、ネットワークを介して接続された被制御装置を制御する制御装置であって、前記被制御装置を制御するための指示データを生成する生成部と、前記ネットワークを介して、一定周期ごとに、前記生成部で生成された前記指示データ又は前記被制御装置からの応答データを含むデータフレームを送受信する通信部と、前記応答データが前記被制御装置によって制御されるユニットの異常を示している場合に、前記通信部により受信された複数の前記データフレームに分割されて含まれる、前記ユニットの異常に関する情報を示す異常データを取得して出力する処理部と、を有することを特徴とする。

＜システム＞
図１は、本発明の一側面としてのシステム１００の構成を示す概略図である。本実施形態では、システム１００は、図１に示すように、マスタ装置１１０（制御装置）と、マスタ装置１１０に通信可能に接続される複数のスレーブ装置１２０（被制御装置）と、各スレーブ装置１２０に接続されるユニット１３０とを有する。システム１００において、マスタ装置１１０は、スレーブ装置１２０を制御し、スレーブ装置１２０は、ユニット１３０を制御する。

Claims (15)

1. ネットワークを介して接続された被制御装置を制御する制御装置であって、
   前記被制御装置を制御するための指示データを生成する生成部と、
   前記ネットワークを介して、一定周期ごとに、前記生成部で生成された前記指示データ又は前記被制御装置からの応答データを含むデータフレームを送受信する通信部と、
   前記応答データが前記被制御装置によって制御されるユニットの異常を示している場合に、前記通信部により受信された複数の前記データフレームに分割されて含まれる、前記ユニットの異常に関する情報を示す異常データを取得して出力する処理部と、
   を有することを特徴とする制御装置。
2. 前記処理部は、前記データフレームに前記応答データとともに含まれた前記異常データを取得することを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
3. 前記処理部は、前記データフレームの空き領域に割り当てられた前記異常データを取得することを特徴とする請求項１又は２に記載の制御装置。
4. 前記処理部は、前記通信部を介して要求コマンドを前記被制御装置に送信し、前記通信部を介して前記異常データを取得することを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載の制御装置。
5. 前記通信部で受信した前記応答データが前記ユニットの異常を示しているかどうかを判定する判定部を更に有し、
   前記処理部は、前記通信部で受信した前記応答データが前記ユニットの異常を示していると前記判定部が判定した場合に、前記通信部を介して前記被制御装置と通信を行って前記異常データを取得して出力することを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載の制御装置。
6. 前記異常データを取得するために行われる前記被制御装置との通信の優先度は、前記指示データ又は前記応答データを送受信するために行われる前記被制御装置との通信の優先度よりも低いことを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載の制御装置。
7. 前記指示データ又は前記応答データを送受信するために行われる前記被制御装置との通信に、プロセスデータオブジェクトを使用するＰＤＯ通信が用いられ、
   前記異常データを取得するために行われる前記被制御装置との通信に、サービスデータオブジェクトを使用するＳＤＯ通信が用いられることを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載の制御装置。
8. 前記異常データは、前記ユニットの状態に関する情報を示すデータを含むことを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載の制御装置。
9. 前記データフレームは、前記被制御装置によりオンザフライで前記応答データが書き込まれることを特徴とする請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載の制御装置。
10. 前記ネットワークは、ＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）であることを特徴とする請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載の制御装置。
11. ネットワークに接続された被制御装置と、前記被制御装置を制御する制御装置とを有するシステムであって、
    前記制御装置は、
    前記被制御装置を制御するための指示データを生成する生成部と、
    前記ネットワークを介して、一定周期ごとに、前記生成部で生成された前記指示データ又は前記被制御装置からの応答データを含むデータフレームを送受信する通信部と、
    前記応答データが前記被制御装置によって制御されるユニットの異常を示している場合に、前記通信部により受信された複数の前記データフレームに分割されて含まれる、前記ユニットの異常に関する情報を示す異常データを取得して出力する処理部と、
    を含むことを特徴とするシステム。
12. 基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
    請求項１１に記載のシステムを有し、
    前記システムが有する被制御装置は、前記基板にパターンを形成する処理の少なくとも一部を行うユニットを制御することを特徴とするリソグラフィ装置。
13. 請求項１２に記載のリソグラフィ装置を用いて基板上にパターンを形成する工程と、
    前記工程でパターンが形成された前記基板を加工する工程と、
    加工された前記基板から物品を製造する工程と、
    を有することを特徴とする物品の製造方法。
14. 制御装置によりネットワークに接続された被制御装置を制御する制御方法であって、
    前記被制御装置を制御するための指示データを生成する第１工程と、
    前記ネットワークを介して、一定周期ごとに、前記第１工程で生成された前記指示データ又は前記被制御装置からの応答データを含むデータフレームを送受信する第２工程と、
    前記応答データが前記被制御装置によって制御されるユニットの異常を示している場合に、前記第２工程で受信された複数の前記データフレームに分割されて含まれる、前記ユニットの異常に関する情報を示す異常データを取得して出力する第３工程と、
    を有することを特徴とする制御方法。
15. 請求項１４に記載の制御方法の各工程を、制御装置としてのコンピュータに実行させるためのプログラム。

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