WO2021065972A1 - 封止用シートの製造方法 - Google Patents

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WO2021065972A1
WO2021065972A1 PCT/JP2020/037059 JP2020037059W WO2021065972A1 WO 2021065972 A1 WO2021065972 A1 WO 2021065972A1 JP 2020037059 W JP2020037059 W JP 2020037059W WO 2021065972 A1 WO2021065972 A1 WO 2021065972A1
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moisture
layer
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film
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中嶋　聡
真奈美 奥野
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味の素株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a method for producing a sealing sheet useful for sealing an electronic device.
  • the electronic devices are sealed using a sealing sheet having a resin composition layer. There is.
  • Patent Document 1 proposes a sealing sheet having a first moisture-proof film, a resin composition layer, and a second moisture-proof film in order to suppress moisture absorption of the resin composition layer during storage.
  • a sealing sheet having a laminated structure containing a first moisture-proof layer, a resin composition layer, and a second moisture-proof layer in this order, as described in Patent Document 1, can be sealed. It is possible to prevent the resin composition layer from absorbing moisture during storage and transportation of the sheet. However, even if moisture absorption of the resin composition layer during storage is prevented, if moisture is contained in the resin composition layer during the production of the sealing sheet, the internal moisture accelerates the deterioration of the electronic device. It may end up. Further, in the case of the sealing sheet having the laminated structure, even if the moisture of the resin composition layer is removed by the dryer, the first moisture-proof layer and the second moisture-proof layer move the moisture from the resin composition layer. Therefore, it is difficult to efficiently dry the resin composition layer.
  • the present invention has been made by paying attention to the above circumstances, and an object of the present invention is to seal the resin composition layer so that it can be sufficiently dried and prevent moisture absorption of the resin composition layer during storage or the like. To manufacture sheets for use.
  • a method comprising drying the resin composition layer in a state and providing the second moisture-proof layer while maintaining the resin composition layer in a low humidity atmosphere from the end of drying until the second moisture-proof layer is provided.
  • a water vapor permeability of the first moisture-proof layer and the second moisture-proof layer are each independently method according to [1] is 0 ⁇ 5 (g / m 2 / 24hr).
  • the present invention it is possible to produce a sealing sheet in which the resin composition layer is sufficiently dried and can prevent moisture absorption of the resin composition layer during storage or the like.
  • the sealing sheet produced by the present invention has a laminated structure containing a first moisture-proof layer, a resin composition layer, and a second moisture-proof layer in this order. With such a laminated structure, it is possible to prevent the resin composition layer from absorbing moisture during storage or the like.
  • the first moisture-proof layer and the second moisture-proof layer may be the same or different.
  • the sealing sheet may include a layer different from the first moisture-proof layer, the resin composition layer and the second moisture-proof layer (for example, a mold release layer and an adhesive layer) between the layers. Different layers may be included as the outer layer.
  • the first moisture-proof layer and the second moisture-proof layer water vapor transmission rate of are each independently preferably 5 (g / m 2 / 24hr ) or less , more preferably 2 (g / m 2 / 24hr ) or less, even more preferably 1.5 (g / m 2 / 24hr ) or less, more preferably 1 (g / m 2 / 24hr ), still more preferably 0 .1 (g / m 2 / 24hr ), particularly preferably not more than 0.05 (g / m 2 / 24hr ).
  • the lower limit of the water vapor permeability of the first moisture-proof layer and the second moisture-proof layer is not particularly limited, and the water vapor permeability of the first moisture-proof layer and the second moisture-proof layer is independently set to, for example, 0 (g / g / g / g /. m is 2 / 24hr) or more.
  • the WVTR of the first moisture-proof layer and the second moisture-proof layer is preferably a low value.
  • a moisture-proof film having a relatively high WVTR and low cost is used for the moisture-proof layer removed before sealing, and a moisture-proof film having a relatively low WVTR is used for the moisture-proof layer not removed.
  • a sex film may be used.
  • the WVTR the moisture barrier is removed before sealing using the 0.1 (g / m 2 / 24hr ) or more moisture-proof film, is not removed WVTR the moisture barrier 0.1 (g / m 2/24 hr or) less than the moisture-proof film may be used. That is, either one of the moisture-proof layer of the first moisture-proof layer and the second moisture-proof layer of the sealing sheet of the present invention is relatively WVTR high (e.g., 0.1 (g / m 2 / 24hr) or ), one of the moisture barrier is relatively WVTR is low (e.g., 0.1 (g / m 2 / 24hr) may be less than) configuration.
  • the water vapor permeability of the first moisture-proof layer and the second moisture-proof layer can be measured as follows. First, a test piece punched from the moisture-proof layer to 60 mm ⁇ is prepared. According to JIS Z 0208: 1976, 7.5 g of calcium chloride is weighed into an aluminum moisture permeable cup having a permeation area of 2.826 ⁇ 10 -3 m 2 (60 mm ⁇ ), and the test piece is attached to the moisture permeable cup. Add calcium chloride and measure the initial mass of the moisture-permeable cup with the test piece attached with a precision balance. Next, the moisture permeable cup was allowed to stand in a constant temperature test room at a temperature of 40 ° C.
  • the moisture permeable mass of the moisture permeable cup to which the test piece was attached was weighed on a precision balance.
  • the water vapor permeability of the first moisture-proof layer and the second moisture-proof layer may be measured by separating the moisture-proof layer from the sealing film, or the water vapor permeability of the moisture-proof film used for the moisture-proof layer may be measured. ..
  • the structure of the first moisture-proof layer and the second moisture-proof layer may be a single-layer structure or a laminated structure.
  • the structure of the first moisture-proof layer and the second moisture-proof layer is preferably a laminated structure having a barrier layer and a base material.
  • the base material means a portion other than the barrier layer in the laminated structure.
  • the moisture-proof layer may be formed of a moisture-proof film having a barrier layer and a base material.
  • the structure of the base material constituting the moisture-proof layer or the moisture-proof film may be a single-layer structure or a laminated structure.
  • the base material constituting the moisture-proof layer include polyolefins such as polyethylene and polypropylene (PP), polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), polycarbonate (PC), polyimide (PI) and cycloolefins.
  • polyolefins such as polyethylene and polypropylene (PP)
  • PET polyethylene terephthalate
  • PEN polyethylene naphthalate
  • PC polycarbonate
  • PI polyimide
  • cycloolefins examples thereof include plastic films such as polymers (COP) and polyvinyl chloride. Only one type of plastic film may be used, or two or more types may be used in combination.
  • the base material is preferably a polyethylene terephthalate film, a cycloolefin polymer film, a polyethylene naphthalate film or a polycarbonate film, and more preferably a polyethylene terephthalate film or a cycloolefin polymer film.
  • the thickness of the base material (when the base material is a laminated film, the total thickness thereof) is preferably 5 to 150 ⁇ m, more preferably 6 to 100 ⁇ m, and further preferably 12 to 75 ⁇ m.
  • the moisture-proof layer or the barrier layer constituting the moisture-proof film examples include inorganic films such as metal foil (eg, aluminum foil), silica vapor-deposited film, silicon nitride film, and silicon oxide film.
  • the barrier layer may be composed of a plurality of layers of a plurality of inorganic films (for example, a metal foil and a silica-deposited film). Further, the barrier layer may be composed of an organic substance and an inorganic substance, or may be a composite multilayer of an organic layer and an inorganic film.
  • the thickness of the barrier layer is preferably 0.01 to 100 ⁇ m, more preferably 0.05 to 50 ⁇ m, and even more preferably 0.05 to 30 ⁇ m.
  • a commercially available moisture-proof film may be used as the moisture-proof layer.
  • Examples of commercially available products include “Clarista CI” manufactured by Kuraray Co., Ltd., “Tech Barrier HX”, “Tech Barrier LX” and “Tech Barrier L” manufactured by Mitsubishi Plastics, and “IB-PET-PXB” manufactured by Dai Nippon Printing Co., Ltd. Examples thereof include “GL, GX series” manufactured by Toppan Printing Co., Ltd., “PET Tsuki AL1N30” manufactured by Toyo Aluminum Co., Ltd., and “X-BARRIER” manufactured by Mitsubishi Plastics Co., Ltd.
  • the sealing sheet contains a first moisture-proof layer, a first release layer, a resin composition layer, and a second moisture-proof layer in this order, and the first Has a laminated structure in which the release layer of the above and the resin composition layer are in contact with each other.
  • the sealing sheet contains a first moisture-proof layer, a resin composition layer, a second release layer, and a second moisture-proof layer in this order. It has a laminated structure in which the fat composition layer and the second release layer are in contact with each other.
  • the sealing sheet includes a first moisture-proof layer, a first release layer, a resin composition layer, a second release layer, and a second moisture-proof layer. , In this order, and has a laminated structure in which the first release layer and the resin composition layer are in contact with each other, and the resin composition layer and the second release layer are in contact with each other.
  • Examples of the release agent forming the release layer include a silicone-based release agent, an alkyd-based release agent, a fluorine-based release agent, an olefin-based release agent, and the like.
  • the release layer is preferably formed from a silicone-based release agent or an alkyd-based release agent.
  • the thickness of the release layer is preferably 0.05 to 1 ⁇ m, more preferably 0.05 to 0.5 ⁇ m, and even more preferably 0.05 to 0.1 ⁇ m.
  • the resin composition layer is not particularly limited, and a known resin composition can be used to form the resin composition layer.
  • the resin composition layer preferably contains an olefin resin and / or an epoxy resin.
  • the olefin resin and the epoxy resin are not particularly limited, and known ones (for example, those described in WO2018 / 181426A1) can be used.
  • the amount of olefin resin is preferably 80% by mass or less per whole resin composition layer (that is, per whole non-volatile content of the resin composition), and is 75%. It is more preferably 0% by mass or less, further preferably 70% by mass or less, further preferably 60% by mass or less, further preferably 55% by mass or less, and particularly preferably 50% by mass or less.
  • the amount of the olefin resin is preferably 1% by mass or more per whole resin composition layer (that is, the whole non-volatile content of the resin composition).
  • the amount of epoxy resin is not particularly limited. When an epoxy resin is used, the amount thereof is preferably 10 to 80% by mass, more preferably 15 to 75% by mass, and 20 to 20 to the total amount of the resin composition layer (that is, the total amount of the non-volatile content of the resin composition). 70% by mass is more preferable.
  • the resin composition layer preferably contains semi-firing hydrotalcite and / or calcined hydrotalcite, and more preferably contains semi-firing hydrotalcite.
  • semi-calcined hydrotalcite and the calcined hydrotalcite only one type may be used, or two or more types may be used in combination.
  • a sealing sheet having a resin composition layer containing semi-firing hydrotalcite and / or calcined hydrotalcite can exhibit high moisture blocking properties, but semi-firing hydrotalcite and calcined hydrotalcite absorb moisture. Since it has a property, the moisture absorption of the resin composition layer is increased.
  • the resin composition layer can be sufficiently dried at the time of production, and the obtained sealing sheet is a resin composition layer at the time of storage or the like by the first and second moisture-proof layers. Moisture absorption can be prevented. Therefore, the present invention is suitable for producing a sealing sheet having a resin composition layer containing calcined hydrotalcite and / or calcined hydrotalcite.
  • Hydrotalcite can be classified into uncalcined hydrotalcite, semi-calcined hydrotalcite, and calcined hydrotalcite.
  • Unfired hydrotalcite is, for example, a metal hydroxide having a layered crystal structure typified by natural hydrotalcite (Mg 6 Al 2 (OH) 16 CO 3 ⁇ 4H 2 O), for example, It consists of a basic skeleton layer [Mg 1-X Al X (OH) 2 ] X + and an intermediate layer [(CO 3 ) X / 2 ⁇ mH 2 O] X ⁇ .
  • the uncalcined hydrotalcite in the present invention is a concept including hydrotalcite-like compounds such as synthetic hydrotalcite. Examples of the hydrotalcite-like compound include those represented by the following formulas (I) and (II).
  • M 2+ is Mg 2+, a divalent metal ion such as Zn 2+, M 3+ represents a trivalent metal ion such as Al 3+, Fe 3+, A n- is CO 3 2-, Cl -, NO 3 - represents a n-valent anion, such as a 0 ⁇ x ⁇ 1, a 0 ⁇ m ⁇ 1, n is a positive number).
  • M 2+ is preferably Mg 2+
  • M 3+ is preferably Al 3+
  • a n- is preferably CO 3 2-.
  • M 2+ is Mg 2+, a divalent metal ion such as Zn 2+, A n- is CO 3 2-, Cl -, NO 3 - represents a n-valent anion, such as, x is 2 or more Is a positive number, z is a positive number less than or equal to 2, m is a positive number, and n is a positive number.
  • M 2+ is preferably Mg 2+
  • Semi-calcined hydrotalcite refers to a metal hydroxide having a layered crystal structure in which the amount of interlayer water is reduced or eliminated, which is obtained by calcining uncalcined hydrotalcite.
  • interlayer water refers to "H 2 O" described in the above-mentioned composition formulas of uncalcined natural hydrotalcite and hydrotalcite-like compounds, if it is described using a composition formula.
  • calcined hydrotalcite refers to a metal oxide having an amorphous structure obtained by calcining uncalcined hydrotalcite or semi-calcined hydrotalcite, in which not only interlayer water but also hydroxyl groups are eliminated by condensation dehydration.
  • Unfired hydrotalcite, semi-fired hydrotalcite and fired hydrotalcite can be distinguished by the saturated water absorption rate.
  • the saturated water absorption rate of the semi-baked hydrotalcite is 1% by mass or more and less than 20% by mass.
  • the saturated water absorption rate of uncalcined hydrotalcite is less than 1% by mass, and the saturated water absorption rate of calcined hydrotalcite is 20% by mass or more.
  • the saturated water absorption rate of the semi-baked hydrotalcite is preferably 3% by mass or more and less than 20% by mass, and more preferably 5% by mass or more and less than 20% by mass.
  • uncalcined hydrotalcite, semi-calcined hydrotalcite and calcined hydrotalcite can be distinguished by the thermogravimetric reduction rate measured by thermogravimetric analysis.
  • the thermogravimetric reduction rate of the semi-baked hydrotalcite at 280 ° C. is less than 15% by mass, and the thermogravimetric reduction rate at 380 ° C. is 12% by mass or more.
  • the thermogravimetric reduction rate of uncalcined hydrotalcite at 280 ° C. is 15% by mass or more
  • the thermogravimetric reduction rate of calcined hydrotalcite at 380 ° C. is less than 12% by mass.
  • thermogravimetric reduction rate 100 ⁇ (mass before heating-mass when a predetermined temperature is reached) / mass before heating (ii) Can be obtained at.
  • uncalcined hydrotalcite, semi-calcined hydrotalcite and calcined hydrotalcite can be distinguished by the peak and relative intensity ratio measured by powder X-ray diffraction.
  • Semi-baked hydrotalcite shows a peak in which 2 ⁇ is split into two in the vicinity of 8 to 18 ° by powder X-ray diffraction, or a peak with a shoulder due to the combination of the two peaks, and the peak or shoulder that appears on the low angle side.
  • uncalcined hydrotalcite has only one peak near 8 to 18 °, or the relative intensity ratio of the diffraction intensity of the peak or shoulder appearing on the low angle side and the peak or shoulder appearing on the high angle side is in the above range. Be outside.
  • the calcined hydrotalcite does not have a characteristic peak in the region of 8 ° to 18 °, but has a characteristic peak in the region of 43 °.
  • the powder X-ray diffraction measurement is performed by a powder X-ray diffractometer (Empyrean manufactured by PANalytical), anti-cathode CuK ⁇ (1.5405 ⁇ ), voltage: 45 V, current: 40 mA, sampling width: 0.
  • the measurement was performed under the conditions of 0260 °, scanning speed: 0.0657 ° / s, and measurement diffraction angle range (2 ⁇ ): 5.0131 to 79.9711 °.
  • the peak search uses the peak search function of the software attached to the diffractometer, and "minimum significance: 0.50, minimum peak tip: 0.01 °, maximum peak tip: 1.00 °, peak base width: 2". It can be performed under the condition of "0.00 °, method: minimum value of second derivative".
  • BET specific surface area of the semi-calcined hydrotalcites and calcined hydrotalcites are both preferably 1 ⁇ 250m 2 / g, more preferably 5 ⁇ 200m 2 / g. These BET specific surface areas can be calculated by adsorbing nitrogen gas on the sample surface using a specific surface area measuring device (Macsorb HM Model 1210, manufactured by Mountech) according to the BET method, and using the BET multipoint method.
  • Macsorb HM Model 1210 manufactured by Mountech
  • the particle size of the semi-calcined hydrotalcite and the calcined hydrotalcite is preferably 1 to 1,000 nm, more preferably 10 to 800 nm. These particle sizes are median diameters of the particle size distribution when the particle size distribution is prepared on a volume basis by laser diffraction / scattering type particle size distribution measurement (JIS Z8825).
  • the semi-firing hydrotalcite and the semi-firing hydrotalcite those surface-treated with a surface treatment agent can be used.
  • the surface treatment agent used for the surface treatment is not particularly limited, and known ones (for example, those described in WO2018 / 181426A1) can be used.
  • the amount of semi-baked hydrotalcite there is no particular limitation on the amount of semi-baked hydrotalcite.
  • the amount thereof is 3 to 80 mass per whole resin composition layer (that is, per total non-volatile content of the resin composition). % Is preferable, 5 to 75% by mass is more preferable, and 10 to 70% by mass is further preferable.
  • Examples of the semi-baked hydrotalcite include “DHT-4C” (manufactured by Kyowa Chemical Industry Co., Ltd., particle size: 400 nm), “DHT-4A-2” (manufactured by Kyowa Chemical Industry Co., Ltd., particle size: 400 nm) and the like. ..
  • examples of the calcined hydrotalcite include "KW-2200” (manufactured by Kyowa Chemical Industry Co., Ltd., particle size: 400 nm)
  • examples of the uncalcined hydrotalcite include “DHT-4A” (Kyowa Chemical Industry Co., Ltd.). Manufactured by the company, particle size: 400 nm) and the like.
  • the resin composition layer may contain other components different from the above-mentioned olefin resin, epoxy resin and semi-calcined hydrotalcite.
  • the other components are not limited, and known components of the resin composition for sealing (for example, those described in WO2018 / 181426A1) can be used.
  • the thickness of the resin composition layer is preferably 3 to 75 ⁇ m, more preferably 3 to 50 ⁇ m, and even more preferably 5 to 50 ⁇ m.
  • a sealing sheet having a laminated structure containing a first moisture-proof layer, a resin composition layer, and a second moisture-proof layer in this order is, for example, coated with a resin composition varnish on the first moisture-proof layer. It can be produced by drying to form a resin composition layer and attaching a second moisture-proof layer to the obtained resin composition layer. An adhesive may be used for bonding the second moisture-proof layer.
  • the first moisture-proof layer, the first release layer, the resin composition layer, the second release layer, and the second moisture-proof layer are contained in this order, and the first release layer and the resin are included.
  • the sealing sheet having a laminated structure in which the composition layer is in contact and the resin composition layer and the second release layer are in contact is, for example, a first release layer / first moisture-proof layer.
  • a resin composition varnish is applied to and dried on the first release layer of the laminate having a structure to form a resin composition layer, and a second release layer / second is applied to the obtained resin composition layer.
  • the laminate having the structure of the moisture-proof layer can be produced by laminating the resin composition layer and the second release layer so as to be in contact with each other.
  • the first moisture-proof layer, the first release layer, the resin composition layer, and the second moisture-proof layer are contained in this order, and the first release layer and the resin composition layer come into contact with each other.
  • a sealing sheet having a laminated structure in which the mold is in contact with the second release layer can also be manufactured in the same manner.
  • the laminate having the structure of the release layer / moisture-proof layer a commercially available product (for example, a moisture-proof film with a release layer) may be used. Further, the release agent may be applied to the moisture-proof layer and dried to produce a laminate having a structure of the release layer / moisture-proof layer.
  • the resin composition varnish can be produced by mixing the components of the resin composition and the organic solvent using a kneading roller, a rotary mixer, or the like.
  • the non-volatile content of the resin composition varnish is preferably 20 to 80% by mass, more preferably 30 to 70% by mass.
  • organic solvent examples include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone (MEK) and cyclohexanone; acetic acid esters such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate; cellosolve, butyl carbitol and the like.
  • ketones such as acetone, methyl ethyl ketone (MEK) and cyclohexanone
  • acetic acid esters such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate
  • cellosolve butyl carbitol and the like.
  • Carbitols aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene
  • aromatic mixed solvent products examples include “Swazole” (manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.) and “Ipsol” (manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.).
  • the organic solvent only one kind may be used, or two or more kinds may be used in combination.
  • the resin composition layer is dried without the second moisture-proof layer, and the resin composition layer is maintained in a low humidity atmosphere from the end of drying until the second moisture-proof layer is provided. It is characterized in that the moisture-proof layer of 2 is provided. Due to this feature, it is possible to prevent moisture absorption of the resin composition layer during production and to produce a sealing sheet containing a sufficiently dried resin composition layer.
  • the resin composition layer may be dried at the same time as the resin composition layer is formed by drying the resin composition varnish. That is, the resin composition layer is formed and dried by drying the resin composition varnish in one step, and the resin composition layer is maintained in a low humidity atmosphere from the end of drying until the second moisture-proof layer is provided. However, a second moisture-proof layer may be provided.
  • the drying of the resin composition layer may be performed separately from the formation of the resin composition layer by drying the resin composition varnish. That is, in addition to the step of forming the resin composition layer by drying the resin composition varnish, the step of drying the formed resin composition layer is separately performed, and from the end of drying to the provision of the second moisture-proof layer. In the meantime, the second moisture-proof layer may be provided while keeping the resin composition layer in a low humidity atmosphere. If the step of forming the resin composition layer and the step of drying the resin composition layer are not continuously performed, a cover film is placed on the resin composition layer in order to prevent dust and the like from adhering to the resin composition layer. The cover film may be peeled off before the drying step, or if the cover film has sufficient moisture permeability (corresponding to the moisture permeable layer described later), it may be dried as it is.
  • An aspect of drying the composition layer is included.
  • the above aspect (1) is preferable from the viewpoint of drying efficiency, but the above aspect (2) is preferable from the viewpoint of preventing dust and the like from adhering to the resin composition layer.
  • the exposed surface of the resin composition layer or the surface opposite to the surface covered with the moisture permeable layer may be exposed and may be covered with another layer (for example, a first moisture-proof layer). May be good.
  • the film and sheet used as the moisture permeable layer examples include a porous polyolefin film and a low crystalline polyolefin film.
  • the above-mentioned plastic film may be used as long as it has a certain degree of moisture permeability, and commercially available films and sheets such as a breathable film and a moisture permeable sheet may be used.
  • Water vapor permeability of the moisture permeable layer is preferably 10 (g / m 2 / 24hr ), more preferably 30 (g / m 2 / 24hr ), more preferably 50 (g / m 2 / 24hr ) or more, particularly preferably is 100 (g / m 2 / 24hr ) or more, most preferably 150 (g / m 2 / 24hr ) or more.
  • the upper limit is not particularly limited, for example, 20,000 (g / m 2 / 24hr ).
  • the thickness of the moisture permeable layer is preferably 1 to 200 ⁇ m, more preferably 1 to 75 ⁇ m, and even more preferably 1 to 25 ⁇ m.
  • the resin composition layer may be dried by, for example, heat drying or vacuum drying, or a combination of these may be used. Further, the resin composition layer may be dried in an air atmosphere or in an inert gas atmosphere.
  • the resin composition layer it is preferable to dry the resin composition layer by heating, and the resin composition layer includes the first moisture-proof layer and the resin composition layer, and is opposite to the side where the first moisture-proof layer is present. It is more preferable to dry the resin composition layer by heating a sheet having a laminated structure in which the surface of the resin composition is exposed. Drying conditions such as drying temperature, drying time, and degree of vacuum differ depending on the water content contained in the resin composition layer, the desired water content, the type of dryer, and the like.
  • the drying temperature is generally set appropriately in the range of 80 to 220 ° C.
  • the temperature is preferably 80 to 150 ° C.
  • the temperature is preferably 100 to 180 ° C.
  • the drying time is preferably 1 to 180 minutes, more preferably 3 to 150 minutes, and even more preferably 5 to 120 minutes.
  • the drying temperature means the temperature inside the dryer when the drying is performed by the dryer, and the temperature of the heated portion of the heater when the drying is performed by the heater (for example, a hot plate).
  • the drying of the resin composition layer may be performed separately from the formation of the resin composition layer by drying the resin composition varnish, or may be performed at the same time as the formation of the resin composition layer by drying the resin composition varnish.
  • the drying temperature and drying time are the same as in the above range.
  • the degree of vacuum in the case of vacuum drying is not particularly limited as long as the pressure is lower than the atmospheric pressure, but is preferably 10 to 100,000 Pa, more preferably 10 to 10,000 Pa, and further preferably 10 to 1,000 Pa. ..
  • the more preferable preferably 1500 ppm or less, more preferably 1000 ppm or less, still more preferably 500 ppm or less, still more preferably 200 ppm or less. , More preferably 100 ppm or less.
  • the resin composition layer can be dried by a known dryer.
  • the dryer may be a batch type dryer or a continuous type dryer.
  • the dryer may be one in which a high-temperature object is brought into contact with the object to be dried, or one in which the object to be dried is irradiated with light rays.
  • Examples of the former include a hot air circulation furnace, a heating transfer roll, and the like.
  • Examples of the latter include a near-infrared irradiation furnace.
  • a heater for example, a hot plate
  • a container for example, a glove box
  • the end of drying in the present invention is the end of the drying operation or It means when the second moisture-proof layer is provided.
  • the end of the drying operation means the time when the object to be dried is taken out of the continuous dryer.
  • the end of the drying operation means the end of heating.
  • the resin composition In the mode of holding the resin composition layer in a low humidity atmosphere from the end of drying to the provision of the second moisture-proof layer, the resin composition is "between the end of drying and the provision of the second moisture-proof layer". As long as the material layer is held in a low humidity atmosphere, the resin composition layer is held in a low humidity atmosphere other than this period (for example, during drying), and other than this period, the resin composition layer is kept in a low humidity atmosphere. Both non-retaining aspects are included.
  • the embodiment in which the second moisture-proof layer is provided while keeping the resin composition layer in a low humidity atmosphere from the end of drying to the provision of the second moisture-proof layer includes the following aspects: (I) An embodiment in which the drying operation is completed after holding the resin composition layer in a low humidity atmosphere and a second moisture-proof layer is provided while holding the resin composition layer in a low humidity atmosphere, and (ii) a resin composition. An embodiment in which a second moisture-proof layer is provided while continuing drying in a low-humidity atmosphere without completing the drying operation even after the material layer is held in a low-humidity atmosphere.
  • the second moisture-proof layer is provided while maintaining the resin composition layer in a low humidity atmosphere
  • a mode in which a film containing a second moisture-proof layer or a second moisture-proof layer is attached to an exposed surface of the resin composition layer while maintaining the resin composition layer in a low humidity atmosphere for example, (A) A mode in which a film containing a second moisture-proof layer or a second moisture-proof layer is attached to an exposed surface of the resin composition layer while maintaining the resin composition layer in a low humidity atmosphere. (B) A mode in which a film containing a second moisture-proof layer or a second moisture-proof layer is attached to a moisture-permeable layer on the resin composition layer while maintaining the resin composition layer in a low humidity atmosphere.
  • a precursor layer capable of forming a second moisture-proof layer is formed on the exposed surface of the resin composition layer by coating or the like, and a treatment such as heating is performed.
  • a precursor layer capable of forming a second moisture-proof layer is formed on the moisture-permeable layer on the resin composition layer by coating or the like, and a treatment such as heating is performed.
  • the atmosphere in the dryer for drying the resin composition layer or the above-mentioned container for example, a glove box
  • the atmosphere in the dryer for drying the resin composition layer or the above-mentioned container is maintained in a low humidity atmosphere. It can be carried out by laminating the moisture-proof layer of the above, or by applying and drying the moisture-proof resin composition.
  • a dryer, a connection space having a transport mechanism, and a vapor deposition apparatus are connected in this order, and all the spaces are under reduced pressure (preferably, for example, 10-7 (Torr)).
  • the resin composition can be dried by a dryer, then the resin composition is transferred to a vapor deposition apparatus by a transport mechanism, and a barrier layer is formed by the vapor deposition apparatus. ..
  • the water concentration (volume fraction) in a low humidity atmosphere is preferably as low as possible (ideally 0 ppm), preferably 3300 ppm or less, more preferably 2,000 ppm or less, still more preferably 1000 ppm or less, still more preferably.
  • a sheet having a laminated structure including a first moisture-proof layer and a resin composition layer and having an exposed surface of the resin composition layer on the side opposite to the side where the first moisture-proof layer is present is heated.
  • the resin composition layer is dried by the above method, and the resin composition is maintained in a low humidity atmosphere from the end of drying until the film containing the second moisture-proof layer or the second moisture-proof layer is attached. It is particularly preferable to attach a film containing a second moisture-proof layer or a second moisture-proof layer to the exposed surface of the material layer.
  • the sealing sheet obtained by the present invention is useful for sealing electronic devices (for example, organic EL devices, solar cells, etc.).
  • PET film with release layer "E7004" manufactured by Toyobo Co., Ltd.
  • PET film with release layer silicone release layer
  • release layer silicone release layer
  • substrate (PET film) thickness 38 ⁇ m
  • water vapor permeability 34g / m 2 / 24hr
  • Moisture-proof film 1 "Tech Barrier HX” manufactured by Mitsubishi Resin Co., Ltd.
  • PET film with barrier layer, barrier layer silica vapor deposition film
  • base material (PET film) thickness 12.5 ⁇ m
  • water vapor permeability 0.5 g / m 2 / 24hr
  • Moisture-proof film 2 "Bereal UD” manufactured by Reiko Co., Ltd.
  • PET film with barrier layer, barrier layer silica-deposited film
  • substrate (PET film) thickness 50 ⁇ m
  • water vapor permeability 0.01 g / m 2 / 24hr
  • Production Example 1 Manufacture of a moisture-proof film with a release layer A PET film surface on the opposite side of the release layer of a PET film with a release layer and a base material (PET film) surface on the opposite side of the barrier layer of the moisture-proof film 1 are formed.
  • a moisture-proof film with a release layer having a laminated structure with a PET film with a release layer (release layer / PET film) / adhesive layer / moisture-proof film 1 (PET film / barrier layer) was produced. (Thickness of the entire moisture-proof film with a release layer: 55 ⁇ m).
  • the moisture-proof film 1 corresponds to the moisture-proof layer.
  • Production Example 2 Production of resin composition varnish In 130 parts by mass of a 60 mass% swazole solution of a cyclohexane ring-containing saturated hydrocarbon resin (“Arcon P125” manufactured by Arakawa Chemical Co., Ltd.), maleic anhydride-modified liquid polyisobutylene (Toho Chemical Industry Co., Ltd.) 35 parts by mass of "HV-300M” manufactured by JXTG Energy Co., Ltd., 60 parts by mass of polybutene ("HV-1900" manufactured by JXTG Energy Co., Ltd.), and 100 parts by mass of semi-baked hydrotalcite (“DHT-4C” manufactured by Kyowa Chemical Industry Co., Ltd.). The mixture was dispersed with this roll to obtain a mixture.
  • a 60 mass% swazole solution of a cyclohexane ring-containing saturated hydrocarbon resin (“Arcon P125” manufactured by Arakawa Chemical Co., Ltd.)
  • maleic anhydride-modified liquid polyisobutylene
  • Production Example 3 Production of undried sealing sheet
  • the resin composition varnish obtained in Production Example 2 is uniformly applied to the release layer surface of the moisture-proof film with release layer obtained in Production Example 1 with a die coater. And heated at 130 ° C. for 60 minutes to obtain a sealing sheet having a resin composition layer having a thickness of 20 ⁇ m (residual solvent amount in the resin composition layer: about 1% by mass).
  • the sealing sheet is bonded so that the resin composition layer of the obtained sealing sheet and the release layer surface of the moisture-proof film with the release layer obtained in Production Example 1 are in contact with each other.
  • a roll-shaped sealing sheet was cut into 40 mm ⁇ 80 mm to produce an undried sealing sheet.
  • the undried sealing sheet is a temporary moisture-proof layer (moisture-proof film 1) / adhesive layer / PET film / release layer / resin composition layer / release layer / PET film / adhesive layer / first moisture-proof layer. It had a laminated structure with a layer (moisture-proof film 1).
  • Production Example 4 Production of Moisture-Proof Film with Adhesive Layer
  • Adhesive having a laminated structure of moisture-proof film 2 (base material / barrier layer) / adhesive layer by adhering a polyolefin-based adhesive film (thickness 10 ⁇ m) to the barrier layer surface of the moisture-proof film 2.
  • a layered moisture-proof film was manufactured.
  • Example 1 A hot plate (150 ° C.) was prepared in a nitrogen glove box having a water concentration (volume fraction) of less than 0.1 ppm (detection limit of 0.1 ppm of the device). It has a laminated structure of a moisture-proof film with a release layer (that is, a temporary moisture-proof layer (moisture-proof film 1) / adhesive layer / PET film / release layer from the undried sealing sheet obtained in Production Example 3). A sheet from which the film) has been removed (that is, a sheet having a laminated structure with a resin composition layer / release layer / PET film / adhesive layer / first moisture-proof layer (moisture-proof film 1)) is placed on a hot plate with a resin.
  • a temporary moisture-proof layer moisture-proof film 1
  • a sheet from which the film) has been removed that is, a sheet having a laminated structure with a resin composition layer / release layer / PET film / adhesive layer / first moisture-proof layer (moisture-proof film
  • the resin composition layer was dried by heating with the composition layer facing up for 30 minutes (the obtained sheet is hereinafter abbreviated as "dried unfinished sheet”). After 10 minutes have passed from the stop of heating, the moisture-proof film with a release layer obtained in Production Example 1 (that is, the second moisture-proof layer (moisture-proof layer)) is applied to the resin composition layer of the dried unfinished sheet in the glove box as it is.
  • Film 1) / adhesive layer / PET film / film having a laminated structure with a release layer is pressed by a rubber roller heated to 60 ° C. at a pressure of 0.3 MPa or more to bond them together for sealing. The sheet was manufactured.
  • the obtained sealing sheet is a second moisture-proof layer (moisture-proof film 1) / adhesive layer / PET film / release layer / resin composition layer / release layer / PET film / adhesive layer / first. It had a laminated structure with a moisture-proof layer (moisture-proof film 1).
  • Example 2 It has a laminated structure of a moisture-proof film with a release layer (that is, a temporary moisture-proof layer (moisture-proof film 1) / adhesive layer / PET film / release layer from the undried sealing sheet obtained in Production Example 3).
  • a sheet from which the film) has been removed that is, a sheet having a laminated structure with a resin composition layer / release layer / PET film / adhesive layer / first moisture-proof layer (moisture-proof film 1)
  • the moisture-proof film with a release layer obtained in Production Example 1 (that is, a film having a laminated structure of a second moisture-proof layer (moisture-proof film 1) / adhesive layer / PET film / release layer) and drying
  • the sheet having the resin composition layer is in a box having a relative humidity of 6% RH (moisture concentration (body integration rate): 1,800 ppm) at 1013 hPa and 25 ° C., and the temperature is adjusted to 30 ° C. It is conveyed to a roll laminator, and the moisture-proof film with a release layer obtained in Production Example 1 above is bonded to the resin composition layer by pressing it with a rubber roller heated to 60 ° C. at a pressure of 0.3 MPa or more.
  • the obtained sealing sheet is a second moisture-proof layer (moisture-proof film 1) / adhesive layer / PET film / release layer / resin composition layer / release layer / PET film / adhesive layer / first. It had a laminated structure with a moisture-proof layer (moisture-proof film 1).
  • Example 3 A 150 ° C. hot plate was prepared in a nitrogen glove box having a water concentration (volume fraction) of less than 0.1 ppm (detection limit of 0.1 ppm of the device). It has a laminated structure of a moisture-proof film with a release layer (that is, a temporary moisture-proof layer (moisture-proof film 1) / adhesive layer / PET film / release layer from the undried sealing sheet obtained in Production Example 3).
  • a moisture-proof film with a release layer that is, a temporary moisture-proof layer (moisture-proof film 1) / adhesive layer / PET film / release layer from the undried sealing sheet obtained in Production Example 3).
  • the release layer on the resin composition surface PET film water vapor transmission rate: 34g / m 2 / 24hr, pressure above 0.3MPa by a rubber roller for use
  • a laminated structure containing a PET film with a release layer, a resin composition layer, and a moisture-proof film with a release layer in this order was produced. More specifically, the obtained sheet has a laminated structure with a PET film / release layer / resin composition layer / release layer / PET film / adhesive layer / first moisture-proof layer (moisture-proof film 1). Was there.
  • the resin composition layer was dried by heating this sheet with a PET film with a release layer (that is, a film having a laminated structure with a PET film / release layer) facing up for 30 minutes. After 10 minutes have passed from the stop of heating, the sheet having a laminated structure containing the PET film with a release layer, the dried resin composition layer, and the moisture-proof film with a release layer in this order in the glove box as it is.
  • the adhesive layer side of the moisture-proof film with an adhesive layer produced in Production Example 4 (that is, the second moisture-proof layer (moisture-proof film 2) / the film having a laminated structure of the adhesive layer) is set at 60 ° C.
  • the moisture-proof film with an adhesive layer, the PET film with a release layer, the resin composition layer, and the moisture-proof film with a release layer are bonded by pressing with a rubber roller heated to the above at a pressure of 0.3 MPa or more.
  • a sealing sheet having a laminated structure containing these in this order was produced. More specifically, the obtained sealing sheet is a second moisture-proof layer (moisture-proof film 2) / adhesive layer / PET film / release layer / resin composition layer / release layer / PET film / adhesive layer / It had a laminated structure with the first moisture-proof layer (moisture-proof film 1).
  • Comparative Example 1 The dried unfinished sheet obtained in the same manner as in Example 1 was subjected to the air at 25 ° C. and 40% RH (moisture concentration (volume fraction): 12,500 ppm) with the resin composition exposed. The film was left in an atmosphere for 10 minutes, and then the moisture-proof film with a release layer obtained in Production Example 1 was applied to the resin composition layer of the sheet at a pressure of 0.3 MPa or more by a rubber roller heated to 60 ° C. A sealing sheet was manufactured by pressing them together. The obtained sealing sheet is a second moisture-proof layer (moisture-proof film 1) / adhesive layer / PET film / release layer / resin composition layer / release layer / PET film / adhesive layer / first. It had a laminated structure with a moisture-proof layer (moisture-proof film 1).
  • RH moisture concentration (volume fraction): 12,500 ppm
  • Comparative Example 2 A sealing sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that a PET film with a release layer was used instead of the moisture-proof film with a release layer obtained in Production Example 1.
  • the obtained sealing sheet is laminated with a non-moisture-proof layer (PET film) / release layer / resin composition layer / release layer / PET film / adhesive layer / first moisture-proof layer (moisture-proof film 1). It had a structure.
  • Comparative Example 3 This temporary moisture-proof layer is formed without removing the "temporary moisture-proof layer (moisture-proof film 1) / adhesive layer / PET film / release layer" portion from the undried sealing sheet obtained in Production Example 3.
  • the first moisture-proof layer is used as a second moisture-proof layer and is used on a hot plate (150 ° C.) under the same drying conditions as in Example 1 (in the nitrogen glove box (moisture concentration (volume fraction): less than 0.1 ppm)). It was dried by heating and drying for 30 minutes on the hot plate side) to produce a sealing sheet.
  • the obtained sealing sheet is a second moisture-proof layer (moisture-proof film 1) / adhesive layer / PET film / release layer / resin composition layer / release layer / PET film / adhesive layer / first. It had a laminated structure with a moisture-proof layer (moisture-proof film 1).
  • the resin composition layer was taken out from the sealing sheet in a nitrogen glove box having a water concentration (volume fraction) of less than 0.1 ppm (detection limit of 0.1 ppm of the device). This resin composition layer was folded to an appropriate size to prepare a sample, and the weight thereof was measured. Next, the sample was put into the vaporization cylinder of the Karl Fischer Moisture Measuring Device (“Major Moisture Measuring Device CA-200” manufactured by Mitsubishi Chemical Analytech Co., Ltd.) and heated to 130 ° C. while preventing contact with the space containing water.
  • Karl Fischer Moisture Measuring Device (“Major Moisture Measuring Device CA-200” manufactured by Mitsubishi Chemical Analytech Co., Ltd.)
  • the water concentration (mass fraction) of the sample is based on the total vaporized water content calculated from immediately after the start of heating until the water content detected per second becomes less than 0.15 ⁇ g / sec and the weight of the sample. ppm) was calculated. A water concentration (mass fraction) of 500 ppm or less was evaluated as ⁇ , and a water concentration (mass fraction) of more than 500 ppm was evaluated as ⁇ .
  • the sealing sheets obtained in Examples 1 to 3 had sufficiently low water concentration (mass fraction) immediately after production and water concentration (mass fraction) after standing.
  • Comparative Example 1 in which the film containing the second moisture-proof layer was bonded in an atmosphere having a high water concentration, the water concentration (mass fraction) immediately after production was high.
  • Comparative Example 2 in which a non-moisture-proof layer was used instead of the second moisture-proof layer, the water concentration (mass fraction) after standing was high.
  • Comparative Example 3 in which the product was dried with the temporary moisture-proof layer attached, the water concentration (mass fraction) immediately after production was high.
  • Comparative Example 3 the moisture concentration immediately after production was high when the resin composition layer was released from the moisture-proof film with a release layer (that is, the second moisture-proof layer (moisture-proof film 1) / adhesive layer /. It is considered that the moisture was transferred to the PET film / the film having a laminated structure with the release layer), and the moisture was transferred to the resin composition layer again during standing.
  • the sealing sheet obtained by the present invention is useful for sealing electronic devices (for example, organic EL devices, sensor devices, solar cells, etc.).

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Abstract

本発明は、第１の防湿層と、樹脂組成物層と、第２の防湿層とを、これらの順に含む積層構造を有する封止用シートの製造方法であって、第２の防湿層が無い状態で樹脂組成物層を乾燥し、次いで乾燥終了時から第２の防湿層を設けるまでの間、樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持しながら第２の防湿層を設けることを含む方法を提供する。

Description

封止用シートの製造方法
　本発明は、電子デバイスの封止に有用な封止用シートの製造方法に関する。
　水分に弱い電子デバイス（例えば、有機ＥＬ（Electroluminescence）デバイス、太陽電池等）を水分から保護するため、樹脂組成物層を有する封止用シートを用いて電子デバイスを封止することが行われている。
　一方、封止用シートの樹脂組成物層に水分が含まれる場合、電子デバイスの保護を十分に行うことが困難になる場合がある。例えば特許文献１では、保管時の樹脂組成物層の吸湿を抑えるために、第１の防湿性フィルム、樹脂組成物層および第２の防湿性フィルムを有する封止用シートが提案されている。
ＷＯ２０１８／１８１４２６Ａ１
　特許文献１に記載されているような、第１の防湿層と、樹脂組成物層と、第２の防湿層とを、これらの順に含む積層構造を有する封止用シートであれば、封止用シートの保管時、輸送時等の樹脂組成物層の吸湿を防止することができる。しかし、保管時の樹脂組成物層の吸湿を防止したとしても、封止用シートを製造する際に、樹脂組成物層中に水分が含まれる場合、その内部水分により、電子デバイスの劣化を早めてしまう場合がある。また、前記積層構造を有する封止用シートの場合、乾燥機により樹脂組成物層の水分を除こうとしても、第１の防湿層および第２の防湿層が樹脂組成物層からの水分の移動を妨げるため、樹脂組成物層を効率よく乾燥させることが難しい。
　本発明は上記のような事情に着目してなされたものであって、その目的は、樹脂組成物層が充分に乾燥され、且つ保管時等の樹脂組成物層の吸湿を防止し得る封止用シートを製造することにある。
　上記目的を達成し得る本発明は以下の通りである。
　［１］　第１の防湿層と、樹脂組成物層と、第２の防湿層とを、これらの順に含む積層構造を有する封止用シートの製造方法であって、第２の防湿層が無い状態で樹脂組成物層を乾燥し、乾燥終了時から第２の防湿層を設けるまでの間、樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持しながら第２の防湿層を設けることを含む方法。
　［２］　第１の防湿層および第２の防湿層の水蒸気透過度が、それぞれ独立に、０～５（ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）である前記［１］に記載の方法。
　［３］　低湿度雰囲気の水分濃度（体積分率）が、３，３００ｐｐｍ以下である前記［１］または［２］に記載の方法。
　［４］　加熱によって樹脂組成物層を乾燥する前記［１］～［３］のいずれか一つに記載の方法。
　［５］　第１の防湿層と樹脂組成物層とを含み、第１の防湿層が存在する側とは反対側の樹脂組成物層の面が露出した積層構造を有するシートを加熱することによって、樹脂組成物層を乾燥する前記［４］に記載の方法。
　［６］　乾燥温度が、８０～２２０℃である前記［４］または［５］に記載の方法。
　［７］　樹脂組成物層が、半焼成ハイドロタルサイトおよび／または焼成ハイドロタルサイトを含む前記［１］～［６］のいずれか一つに記載の方法。
　［８］　封止用シートが、電子デバイスの封止に用いられるシートである前記［１］～［７］のいずれか一つに記載の方法。
　［９］　電子デバイスが、有機ＥＬデバイスまたは太陽電池である前記［８］に記載の方法。
　本発明によれば、樹脂組成物層が充分に乾燥され、且つ保管時等の樹脂組成物層の吸湿を防止し得る封止用シートを製造することができる。
　本発明で製造する封止用シートは、第１の防湿層と、樹脂組成物層と、第２の防湿層とを、これらの順に含む積層構造を有する。このような積層構造によって、保管時等での樹脂組成物層の吸湿を防止することができる。第１の防湿層と、第２の防湿層とは、同じものでもよく、異なるものでもよい。また、封止用シートは、第１の防湿層、樹脂組成物層および第２の防湿層とは異なる層（例えば、離型層、接着剤層）を各層の間に含んでいてもよく、異なる層を外層として含んでいてもよい。
　第１の防湿層および第２の防湿層の水蒸気透過度（water vapour transmission rate、以下「ＷＶＴＲ」と略称することがある）は、それぞれ独立に、好ましくは５（ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）以下、より好ましくは２（ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）以下、より一層好ましくは１．５（ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）以下、さらに好ましくは１（ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）、さらに一層好ましくは０．１（ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）、特に好ましくは０．０５（ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）以下である。第１の防湿層および第２の防湿層の水蒸気透過度の下限に特に限定は無く、第１の防湿層および第２の防湿層の水蒸気透過度は、それぞれ独立に、例えば、０（ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）以上である。
　封止用シートの高い防湿性を維持する観点から、第１の防湿層および第２の防湿層のＷＶＴＲは低い値であるのが好ましい。一方、電子デバイス等を封止用シートで封止する場合に、一方の防湿層は封止前に除去、廃棄される。従って、コスト上の観点から、封止前に除去される防湿層には、相対的にＷＶＴＲが高く、安価な防湿性フィルムを使用し、除去されない防湿層には、相対的にＷＶＴＲが低い防湿性フィルムを使用してもよい。例えば、封止前に除去される防湿層にはＷＶＴＲが０．１（ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）以上の防湿性フィルムを使用し、除去されない防湿層にはＷＶＴＲが０．１（ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）未満の防湿性フィルム使用してもよい。すなわち、本発明における封止用シートの第１の防湿層および第２の防湿層のいずれか一方の防湿層は相対的にＷＶＴＲが高く（例えば、０．１（ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）以上）、いずれか一方の防湿層は相対的にＷＶＴＲが低い（例えば、０．１（ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）未満）構成とすることができる。
　第１の防湿層および第２の防湿層の水蒸気透過度は、以下のようにして測定することができる。まず、防湿層から６０ｍｍφに打ち抜いた試験片を作製する。ＪＩＳ　Ｚ　０２０８：１９７６に従い、透過面積２．８２６×１０－３ｍ２（６０ｍｍφ）であるアルミニウム製の透湿カップに塩化カルシウム７．５ｇを量り取り、この透湿カップに試験片に取り付ける。塩化カルシウムを入れ、試験片を取り付けた透湿カップの初期質量を精密天秤にて測定する。次いで、温度４０℃および湿度９０％ＲＨの恒温試験室に前記透湿カップを２４時間静置した後、塩化カルシウムを入れ、試験片を取り付けた透湿カップの透湿後の質量を精密天秤にて測定する。質量増加量（＝透湿後の質量－初期質量）を水蒸気の透過量とし、水蒸気の透過量、透過面積および静置時間から、水蒸気透過度（ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）を算出する。第１の防湿層および第２の防湿層の水蒸気透過度は、封止フィルムから防湿層を分離して測定してもよく、防湿層に使用する防湿フィルムの水蒸気透過度を測定してもよい。
　第１の防湿層および第２の防湿層の構造は、いずれも、単層構造でもよく、積層構造でもよい。第１の防湿層および第２の防湿層の構造は、好ましくは、バリア層と基材とを有する積層構造である。ここで基材とは、前記積層構造においてバリア層以外の部分を意味する。防湿層は、バリア層と基材を有する防湿フィルムにより形成されてもよい。
　防湿層または防湿フィルムを構成する基材の構造は、単層構造でもよく、積層構造でもよい。防湿層を構成する基材としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリイミド（ＰＩ）、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）、ポリ塩化ビニル等のプラスチックフィルムが挙げられる。プラスチックフィルムは、１種のみを使用してもよく、２種以上を併用してもよい。基材は、好ましくはポリエチレンテレフタレートフィルム、シクロオレフィンポリマーフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルムまたはポリカーボネートフィルムであり、より好ましくはポリエチレンテレフタレートフィルムまたはシクロオレフィンポリマーフィルムである。基材の厚さ（基材が積層フィルムである場合は、その全体の厚さ）は、好ましくは５～１５０μｍ、より好ましくは６～１００μｍ、さらに好ましくは１２～７５μｍである。
　防湿層または防湿フィルムを構成するバリア層としては、例えば、金属箔（例、アルミニウム箔）、シリカ蒸着膜、窒化ケイ素膜、酸化ケイ素膜等の無機膜が挙げられる。バリア層は、複数の無機膜の複数層（例えば、金属箔およびシリカ蒸着膜）で構成されていてもよい。また、バリア層は、有機物と無機物から構成されていてもよく、有機層と無機膜の複合多層であってもよい。バリア層の厚さは、好ましくは０．０１～１００μｍ、より好ましくは０．０５～５０μｍ、さらに好ましくは０．０５～３０μｍである。
　防湿層として、市販の防湿フィルムを使用してもよい。市販品としては、例えば、クラレ社製「クラリスタＣＩ」、三菱樹脂社製「テックバリアＨＸ」、「テックバリアＬＸ」および「テックバリアＬ」、大日本印刷社製「ＩＢ－ＰＥＴ－ＰＸＢ」、凸版印刷社製「ＧＬ，ＧＸシリーズ」、東洋アルミニウム社製「ＰＥＴツキＡＬ１Ｎ３０」、三菱樹脂社製「Ｘ－ＢＡＲＲＩＥＲ」等が挙げられる。
　本発明の好ましい一態様において、封止用シートは、第１の防湿層と、第１の離型層と、樹脂組成物層と、第２の防湿層とを、これらの順に含み、第１の離型層と樹脂組成物層とが接触している積層構造を有する。本発明の好ましい別の態様において、封止用シートは、第１の防湿層と、樹脂組成物層と、第２の離型層と、第２の防湿層とを、これらの順に含み、且つ脂組成物層と第２の離型層とが接触している積層構造を有する。本発明のより好ましい一態様において、封止用シートは、第１の防湿層と、第１の離型層と、樹脂組成物層と、第２の離型層と、第２の防湿層とを、これらの順に含み、第１の離型層と樹脂組成物層とが接触し、且つ樹脂組成物層と第２の離型層とが接触する積層構造を有する。
　離型層を形成する離型剤としては、例えば、シリコーン系離型剤、アルキッド系離型剤、フッ素系離型剤、オレフィン系離型剤等が挙げられる。離型層は、シリコーン系離型剤またはアルキッド系離型剤から形成されていることが好ましい。離型層の厚さは、好ましくは０．０５～１μｍ、より好ましくは０．０５～０．５μｍ、さらに好ましくは０．０５～０．１μｍである。
　本発明において樹脂組成物層に特に限定は無く、公知の樹脂組成物を使用して樹脂組成物層を形成することができる。有機ＥＬデバイス等を良好に封止するために、樹脂組成物層は、オレフィン系樹脂および／またはエポキシ樹脂を含んでいることが好ましい。オレフィン系樹脂およびエポキシ樹脂に特に限定は無く、公知のもの（例えば、ＷＯ２０１８／１８１４２６Ａ１に記載のもの）を使用することができる。
　オレフィン系樹脂の量に特に限定はない。良好な塗工性等の観点から、オレフィン系樹脂を使用する場合、その量は、樹脂組成物層の全体あたり（即ち、樹脂組成物の不揮発分全体あたり）、８０質量％以下が好ましく、７５質量％以下がより好ましく、７０質量％以下がより一層好ましく、６０質量％以下がさらに好ましく、５５質量％以下がさらに一層好ましく、５０質量％以下が特に好ましい。一方、防湿性を向上させ、透明性も向上させるという観点から、オレフィン系樹脂の量は、樹脂組成物層の全体あたり（即ち、樹脂組成物の不揮発分全体）あたり、１質量％以上が好ましく、３質量％以上がより好ましく、５質量％以上がより一層好ましく、７質量％以上がさらに好ましく、１０質量％以上がさらに一層好ましく、２０質量％以上が特に好ましく、３０質量％以上が最も好ましい。
　エポキシ樹脂の量は特に制限はない。エポキシ樹脂を使用する場合、その量は、樹脂組成物層の全体あたり（即ち、樹脂組成物の不揮発分全体あたり）、１０～８０質量％が好ましく、１５～７５質量％がより好ましく、２０～７０質量％がさらに好ましい。
　本発明の封止用シートの水分遮断性の観点から、樹脂組成物層は、好ましくは半焼成ハイドロタルサイトおよび／または焼成ハイドロタルサイトを含み、より好ましくは半焼成ハイドロタルサイトを含む。半焼成ハイドロタルサイトおよび焼成ハイドロタルサイトは、いずれも、１種のみを使用してもよく、２種以上を併用してもよい。
　半焼成ハイドロタルサイトおよび／または焼成ハイドロタルサイトを含む樹脂組成物層を有する封止用シートは、高い水分遮断性を発揮することができるが、半焼成ハイドロタルサイトおよび焼成ハイドロタルサイトが吸湿性を有するため、樹脂組成物層の吸湿が増大する。しかし、本発明によれば、製造時に樹脂組成物層を充分に乾燥させることができ、且つ得られた封止用シートは、第１および第２の防湿層によって保管時等の樹脂組成物層の吸湿を防止することができる。そのため、本発明は、焼成ハイドロタルサイトおよび／または焼成ハイドロタルサイトを含む樹脂組成物層を有する封止用シートの製造に好適である。
　ハイドロタルサイトは、未焼成ハイドロタルサイト、半焼成ハイドロタルサイト、および焼成ハイドロタルサイトに分類することができる。
　未焼成ハイドロタルサイトは、例えば、天然ハイドロタルサイト（Ｍｇ６Ａｌ２（ＯＨ）１６ＣＯ３・４Ｈ２Ｏ）に代表されるような層状の結晶構造を有する金属水酸化物であり、例えば、基本骨格となる層［Ｍｇ１－ＸＡｌＸ（ＯＨ）２］Ｘ＋と中間層［（ＣＯ３）Ｘ／２・ｍＨ２Ｏ］Ｘ－からなる。本発明における未焼成ハイドロタルサイトは、合成ハイドロタルサイト等のハイドロタルサイト様化合物を含む概念である。ハイドロタルサイト様化合物としては、例えば、下記式（Ｉ）および下記式（ＩＩ）で表されるものが挙げられる。
　［Ｍ２＋ １－ｘＭ３＋ ｘ（ＯＨ）２］ｘ＋・［（Ａｎ－）ｘ／ｎ・ｍＨ２Ｏ］ｘ－　　
　（Ｉ）
（式中、Ｍ２＋はＭｇ２＋、Ｚｎ２＋などの２価の金属イオンを表し、Ｍ３＋はＡｌ３＋、Ｆｅ３＋などの３価の金属イオンを表し、Ａｎ－はＣＯ３ ２－、Ｃｌ－、ＮＯ３ －などのｎ価のアニオンを表し、０＜ｘ＜１であり、０≦ｍ＜１であり、ｎは正の数である。）
　式（Ｉ）中、Ｍ２＋は、好ましくはＭｇ２＋であり、Ｍ３＋は、好ましくはＡｌ３＋であり、Ａｎ－は、好ましくはＣＯ３ ２－である。
　Ｍ２＋ ｘＡｌ２（ＯＨ）２ｘ＋６－ｎｚ（Ａｎ－）ｚ・ｍＨ２Ｏ　　　（ＩＩ）
（式中、Ｍ２＋はＭｇ２＋、Ｚｎ２＋などの２価の金属イオンを表し、Ａｎ－はＣＯ３ ２－、Ｃｌ－、ＮＯ３ －などのｎ価のアニオンを表し、ｘは２以上の正の数であり、ｚは２以下の正の数であり、ｍは正の数であり、ｎは正の数である。）
　式（ＩＩ）中、Ｍ２＋は、好ましくはＭｇ２＋であり、Ａｎ－は、好ましくはＣＯ３ ２－である。
　半焼成ハイドロタルサイトは、未焼成ハイドロタルサイトを焼成して得られる、層間水の量が減少または消失した層状の結晶構造を有する金属水酸化物をいう。「層間水」とは、組成式を用いて説明すれば、上述した未焼成の天然ハイドロタルサイトおよびハイドロタルサイト様化合物の組成式に記載の「Ｈ２Ｏ」を指す。
　一方、焼成ハイドロタルサイトは、未焼成ハイドロタルサイトまたは半焼成ハイドロタルサイトを焼成して得られ、層間水だけでなく、水酸基も縮合脱水によって消失した、アモルファス構造を有する金属酸化物をいう。
　未焼成ハイドロタルサイト、半焼成ハイドロタルサイトおよび焼成ハイドロタルサイトは、飽和吸水率により区別することができる。半焼成ハイドロタルサイトの飽和吸水率は、１質量％以上２０質量％未満である。一方、未焼成ハイドロタルサイトの飽和吸水率は、１質量％未満であり、焼成ハイドロタルサイトの飽和吸水率は、２０質量％以上である。
　本発明における「飽和吸水率」とは、未焼成ハイドロタルサイト、半焼成ハイドロタルサイトまたは焼成ハイドロタルサイトを天秤にて１．５ｇ量り取り、初期質量を測定した後、大気圧下、６０℃、９０％ＲＨ（相対湿度）に設定した小型環境試験器（エスペック社製ＳＨ－２２２）に２００時間静置した場合の、初期質量に対する質量増加率を言い、下記式（ｉ）：
　飽和吸水率（質量％）
＝１００×（吸湿後の質量－初期質量）／初期質量　　　（ｉ）
で求めることができる。
　半焼成ハイドロタルサイトの飽和吸水率は、好ましくは３質量％以上２０質量％未満、より好ましくは５質量％以上２０質量％未満である。
　また、未焼成ハイドロタルサイト、半焼成ハイドロタルサイトおよび焼成ハイドロタルサイトは、熱重量分析で測定される熱重量減少率により区別することができる。半焼成ハイドロタルサイトの２８０℃における熱重量減少率は１５質量％未満であり、かつその３８０℃における熱重量減少率は１２質量％以上である。一方、未焼成ハイドロタルサイトの２８０℃における熱重量減少率は、１５質量％以上であり、焼成ハイドロタルサイトの３８０℃における熱重量減少率は、１２質量％未満である。
　熱重量分析は、日立ハイテクサイエンス社製ＴＧ／ＤＴＡ ＥＸＳＴＡＲ６３００を用いて、アルミニウム製のサンプルパンにハイドロタルサイトを５ｍｇ秤量し、蓋をせずオープンの状態で、窒素流量２００ｍＬ／分の雰囲気下、３０℃から５５０℃まで昇温速度１０℃／分の条件で行うことができる。熱重量減少率は、下記式（ｉｉ）：
　熱重量減少率（質量％）
＝１００×（加熱前の質量－所定温度に達した時の質量）／加熱前の質量　　　（ｉｉ）
で求めることができる。
　また、未焼成ハイドロタルサイト、半焼成ハイドロタルサイトおよび焼成ハイドロタルサイトは、粉末Ｘ線回折で測定されるピークおよび相対強度比により区別することができる。半焼成ハイドロタルサイトは、粉末Ｘ線回折により２θが８～１８°付近に二つにスプリットしたピーク、または二つのピークの合成によりショルダーを有するピークを示し、低角側に現れるピークまたはショルダーの回折強度（＝低角側回折強度）と、高角側に現れるピークまたはショルダーの回折強度（＝高角側回折強度）の相対強度比（低角側回折強度／高角側回折強度）は、０．００１～１，０００である。一方、未焼成ハイドロタルサイトは８～１８°付近で一つのピークしか有しないか、または低角側に現れるピークまたはショルダーと高角側に現れるピークまたはショルダーの回折強度の相対強度比が前述の範囲外となる。焼成ハイドロタルサイトは８°～１８°の領域に特徴的ピークを有さず、４３°に特徴的なピークを有する。粉末Ｘ線回折測定は、粉末Ｘ線回折装置（パナリティカル（PANalytical）社製、エンピリアン（Empyrean））により、対陰極ＣｕＫα（１．５４０５Å）、電圧：４５Ｖ、電流：４０ｍＡ、サンプリング幅：０．０２６０°、走査速度：０．０６５７°／ｓ、測定回折角範囲（２θ）：５．０１３１～７９．９７１１°の条件で行った。ピークサーチは、回折装置付属のソフトウエアのピークサーチ機能を利用し、「最小有意度：０．５０、最小ピークチップ：０．０１°、最大ピークチップ：１．００°、ピークベース幅：２．００°、方法：２次微分の最小値」の条件で行うことができる。
　半焼成ハイドロタルサイトおよび焼成ハイドロタルサイトのＢＥＴ比表面積は、いずれも、１～２５０ｍ２／ｇが好ましく、５～２００ｍ２／ｇがより好ましい。これらのＢＥＴ比表面積は、ＢＥＴ法に従って、比表面積測定装置（Ｍａｃｓｏｒｂ ＨＭ Ｍｏｄｅｌ １２１０　マウンテック社製）を用いて試料表面に窒素ガスを吸着させ、ＢＥＴ多点法を用いて算出することができる。
　半焼成ハイドロタルサイトおよび焼成ハイドロタルサイトの粒子径は、いずれも１～１，０００ｎｍが好ましく、１０～８００ｎｍがより好ましい。これらの粒子径は、レーザー回折散乱式粒度分布測定（ＪＩＳ Ｚ ８８２５）により粒度分布を体積基準で作成したときの該粒度分布のメディアン径である。
　半焼成ハイドロタルサイトおよび半焼成ハイドロタルサイトは、いずれも、表面処理剤で表面処理したものを用いることができる。表面処理に使用する表面処理剤に特に限定は無く、公知のもの（例えば、ＷＯ２０１８／１８１４２６Ａ１に記載のもの）を使用することができる。
　半焼成ハイドロタルサイトの量に特に限定はない。封止用シートの水分遮断性の観点から、半焼成ハイドロタルサイトを使用する場合、その量は、樹脂組成物層の全体あたり（即ち、樹脂組成物の不揮発分全体あたり）、３～８０質量％が好ましく、５～７５質量％がより好ましく、１０～７０質量％がさらに好ましい。
　半焼成ハイドロタルサイトとしては、例えば「ＤＨＴ－４Ｃ」（協和化学工業社製、粒子径：４００ｎｍ）、「ＤＨＴ－４Ａ－２」（協和化学工業社製、粒子径：４００ｎｍ）等が挙げられる。一方、焼成ハイドロタルサイトとしては、例えば「ＫＷ－２２００」（協和化学工業社製、粒子径：４００ｎｍ）等が挙げられ、未焼成ハイドロタルサイトとしては、例えば「ＤＨＴ－４Ａ」（協和化学工業社製、粒子径：４００ｎｍ）等が挙げられる。
　樹脂組成物層は、上述したオレフィン系樹脂、エポキシ樹脂および半焼成ハイドロタルサイトとは異なる他の成分を含んでいてもよい。他の成分に制限はなく、封止用の樹脂組成物の成分として公知のもの（例えば、ＷＯ２０１８／１８１４２６Ａ１に記載のもの）を使用することができる。
　樹脂組成物層の厚さは、好ましくは３～７５μｍ、より好ましくは３～５０μｍ、さらに好ましくは５～５０μｍである。
　第１の防湿層と、樹脂組成物層と、第２の防湿層とを、これらの順に含む積層構造を有する封止用シートは、例えば、第１の防湿層に樹脂組成物ワニスを塗布および乾燥して、樹脂組成物層を形成し、得られた樹脂組成物層に第２の防湿層を貼り合わせることによって製造することができる。第２の防湿層の貼り合わせのために、接着剤を使用してもよい。
　第１の防湿層と、第１の離型層と、樹脂組成物層と、第２の離型層と、第２の防湿層とを、これらの順に含み、第１の離型層と樹脂組成物層とが接触し、且つ樹脂組成物層と第２の離型層とが接触する積層構造を有する封止用シートは、例えば、第１の離型層／第１の防湿層との構造を有する積層物の第１の離型層に樹脂組成物ワニスを塗布および乾燥して、樹脂組成物層を形成し、得られた樹脂組成物層に、第２の離型層／第２の防湿層との構造を有する積層物を、樹脂組成物層と第２の離型層とが接触するように貼り合わせることによって製造することができる。第１の防湿層と、第１の離型層と、樹脂組成物層と、第２の防湿層とを、これらの順に含み、第１の離型層と樹脂組成物層とが接触している積層構造を有する封止用シート、および第１の防湿層と、樹脂組成物層と、第２の離型層と、第２の防湿層とを、これらの順に含み、且つ脂組成物層と第２の離型層とが接触している積層構造を有する封止用シートも同様に製造することができる。
　離型層／防湿層との構造を有する積層物としては、市販品（例えば、離型層付きの防湿フィルム）を使用してもよい。また、防湿層に離型剤を塗布および乾燥して、離型層／防湿層との構造を有する積層物を製造してもよい。
　樹脂組成物ワニスは、樹脂組成物の成分と有機溶剤とを、混練ローラーや回転ミキサーなどを用いて混合することで製造することができる。樹脂組成物ワニスの不揮発分は、好ましくは２０～８０質量％、より好ましくは３０～７０質量％である。
　有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、シクロヘキサノン等のケトン類；酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、カルビトールアセテート等の酢酸エステル類；セロソルブ、ブチルカルビトール等のカルビトール類；トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類；ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、Ｎ－メチルピロリドン等；ソルベントナフサ等の芳香族系混合溶剤を挙げることができる。また、芳香族系混合溶剤の商品として、例えば、「スワゾール」（丸善石油社製）、「イプゾール」（出光興産社製）が挙げられる。有機溶剤は、１種のみを使用してもよく、２種以上を併用してもよい。
　本発明は、第２の防湿層が無い状態で樹脂組成物層を乾燥し、乾燥終了時から第２の防湿層を設けるまでの間、樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持しながら第２の防湿層を設けることを特徴とする。この特徴によって、製造時の樹脂組成物層の吸湿を防止し、充分に乾燥された樹脂組成物層を含む封止用シートを製造することができる。
　樹脂組成物層の乾燥は、樹脂組成物ワニスの乾燥による樹脂組成物層の形成と同時に行ってもよい。即ち、樹脂組成物ワニスの乾燥による樹脂組成物層の形成と乾燥を一工程で行い、乾燥終了時から第２の防湿層を設けるまでの間、樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持しながら第２の防湿層を設けてもよい。
　樹脂組成物層の乾燥は、樹脂組成物ワニスの乾燥による樹脂組成物層の形成とは別に行ってもよい。即ち、樹脂組成物ワニスの乾燥によって、樹脂組成物層を形成する工程に加え、形成された樹脂組成物層を乾燥する工程を別々に行い、乾燥終了時から第２の防湿層を設けるまでの間、樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持しながら第２の防湿層を設けてもよい。なお、樹脂組成物層を形成する工程と、樹脂組成物層を乾燥する工程を連続して行わない場合、樹脂組成物層へのゴミ等付着を防止するため、樹脂組成物層上にカバーフィルムを設けておき、乾燥工程前にカバーフィルムを剥離して、またはカバーフィルムが十分な水分透過性を有する場合（後掲の水分透過層に該当する場合）は、そのまま乾燥させてもよい。
　第２の防湿層が無い状態で樹脂組成物層を乾燥する態様には、
（１）樹脂組成物層の少なくとも一方の面が露出された状態で樹脂組成物層を乾燥する態様、および
（２）樹脂組成物層の少なくとも一方の面を水分透過層で覆った状態で樹脂組成物層を乾燥する態様
が含まれる。乾燥効率の観点から、上記（１）の態様が好ましいが、樹脂組成物層にゴミ等が付着するのを抑止する観点からは上記（２）の態様が好ましい。樹脂組成物層の露出された面または水分透過層で覆われた面の反対側の面は、露出されていてもよく、また他の層（例えば、第１の防湿層）で覆われていてもよい。
　水分透過層として使用するフィルム、シートとしては、例えば、多孔質性ポリオレフィンフィルム、低結晶性ポリオレフィンフィルム等が挙げられる。一定の水分透過性があれば上述のプラスチックフィルムを使用してもよく、通気性フィルム、透湿シート等として市販されているフィルムおよびシートを使用してもよい。水分透過層の水蒸気透過度は、好ましくは１０（ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）、より好ましくは３０（ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）、さらに好ましくは５０（ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）以上、特に好ましくは１００（ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）以上、最も好ましくは１５０（ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）以上である。その上限は、特に限定されないが、例えば２０，０００（ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）である。水分透過層の厚さは、好ましくは１～２００μｍ、より好ましくは１～７５μｍ、さらに好ましくは１～２５μｍである。
　樹脂組成物層の乾燥は、例えば、加熱乾燥、真空乾燥のいずれで行ってもよく、これらを組み合わせて用いてもよい。また、樹脂組成物層の乾燥は、大気雰囲気下で行ってもよく、不活性ガス雰囲気下で行ってもよい。
　本発明においては、加熱によって樹脂組成物層を乾燥することが好ましく、第１の防湿層と樹脂組成物層とを含み、第１の防湿層が存在する側とは反対側の樹脂組成物層の面が露出した積層構造を有するシートを加熱することによって樹脂組成物層を乾燥することがさらに好ましい。乾燥温度、乾燥時間、真空度等の乾燥条件は、樹脂組成物層に含まれる水分含有量、所望する水分含有量、乾燥機の種類等によって異なる。
　乾燥温度は、一般には８０～２２０℃の範囲で適宜設定される。樹脂組成物が熱硬化性樹脂組成物の場合は、好ましくは８０～１５０℃である。樹脂組成物が熱可塑性樹脂組成物や感圧接着性樹脂組成物の場合は、好ましくは１００～１８０℃である。乾燥時間は、好ましくは１～１８０分、より好ましくは３～１５０分、さらに好ましくは５～１２０分である。ここで乾燥温度とは、乾燥機によって乾燥を行う場合は、乾燥機内の温度を意味し、加熱機（例えばホットプレート）によって加熱乾燥を行う場合は、加熱機の加熱部分の温度を意味する。
　樹脂組成物層の乾燥は、樹脂組成物ワニスの乾燥による樹脂組成物層の形成とは別に行ってもよく、樹脂組成物ワニスの乾燥による樹脂組成物層の形成と同時に行ってもよい。乾燥温度及び乾燥時間は上記範囲と同様である。
　真空乾燥を行う場合の真空度は、大気圧より低い圧力であれば特に限定されないが、好ましくは１０～１００，０００Ｐａ、より好ましくは１０～１０，０００Ｐａ、さらに好ましくは１０～１，０００Ｐａである。
　乾燥後の樹脂組成物層の水分濃度（質量分率）は、低いほど好ましく（理想的には０ｐｐｍ）、好ましくは１５００ｐｐｍ以下、より好ましくは１０００ｐｐｍ以下、さらに好ましくは５００ｐｐｍ以下、さらに好ましくは２００ｐｐｍ以下、さらに好ましくは１００ｐｐｍ以下である。
　樹脂組成物層の乾燥は、公知の乾燥機によって行うことができる。乾燥機は、バッチ式乾燥機でもよく、連続式乾燥機でもよい。乾燥機は、乾燥対象物に高温の物体を接触させるものでもよく、乾燥対象物に光線を照射するものでもよい。前者としては、例えば、熱風循環炉、加熱搬送ロールなどが挙げられる。後者としては、例えば、近赤外線照射炉などが挙げられる。また、内部の雰囲気を低湿度雰囲気に保持できる容器（例えばグローブボックス）内に加熱機（例えばホットプレート）を設置し、この加熱機で樹脂組成物ワニスまたは樹脂組成物層を加熱することによって、乾燥を行ってもよい。
　第２の防湿層を設けた後は、実質上、樹脂組成物層の乾燥が困難となるか、または著しく乾燥効率が低下するため、本発明における乾燥終了時とは、乾燥操作の終了時または第２の防湿層を設けた時を意味する。また、例えば連続式乾燥機によって乾燥する場合、乾燥操作の終了時とは、乾燥される対象が連続式乾燥機の外に出される時を意味する。また、例えばホットプレートなどの加熱機によって乾燥する場合、乾燥操作の終了時とは、加熱の終了時を意味する。
　乾燥終了時から第２の防湿層を設けるまでの間、樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持する態様には、「乾燥終了時から第２の防湿層を設けるまでの間」に樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持する限り、この間以外（例えば、乾燥中）にも樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持する態様、およびこの間以外は樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持しない態様の両方が含まれる。
　乾燥終了時から第２の防湿層を設けるまでの間、樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持しながら第２の防湿層を設ける態様には、以下の態様が含まれる：
（ｉ）樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持した後に乾燥操作を終了し、樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持しながら第２の防湿層を設ける態様、および
（ｉｉ）樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持した後でも乾燥操作を終了せずに、低湿度雰囲気下での乾燥を続けながら、第２の防湿層を設ける態様。
　なお、上記（ｉｉ）の態様では、「乾燥終了時」と「第２の防湿層を設けた時」とは同じである。そのため、上記（ｉｉ）の態様では、「乾燥終了時から第２の防湿層を設けるまでの間」＝「乾燥終了時」＝「第２の防湿層を設けた時」である。
　樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持しながら第２の防湿層を設ける態様としては、例えば、
（ａ）樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持しながら、樹脂組成物層の露出された面に、第２の防湿層を含むフィルムまたは第２の防湿層を貼り合わせる態様、
（ｂ）樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持しながら、樹脂組成物層上の水分透過層に、第２の防湿層を含むフィルムまたは第２の防湿層を貼り合わせる態様、
（ｃ）樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持しながら、樹脂組成物層の露出された面に第２の防湿層を形成し得る前駆物層を塗布等により形成し、加熱等の処理を加えて第２の防湿層を形成する態様、
（ｄ）樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持しながら、樹脂組成物層上の水分透過層に第２の防湿層を形成し得る前駆物層を塗布等により形成し、加熱等の処理を加えて第２の防湿層を形成する態様、
（ｅ）樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持しながら、樹脂組成物層の露出された面にバリア層を形成する無機物を蒸着して第２の防湿層を形成する態様、
（ｆ）樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持しながら、樹脂組成物層上の水分透過層にバリア層を形成する無機物を蒸着して第２の防湿層を形成する態様
が挙げられる。これらの中で、操作の簡便さから上記（ａ）の態様が好ましい。
　上記（ａ）～（ｄ）の態様は、例えば、樹脂組成物層の乾燥を行った乾燥機または上述の容器（例えばグローブボックス）内の雰囲気を低湿度雰囲気に保持しながら、上述の第２の防湿層の貼り合わせ、または防湿性の樹脂組成物を塗布および乾燥を行うことによって実施できる。
　上記（ｅ）および（ｆ）の態様は、例えば、乾燥機、搬送機構を持つ接続空間、および蒸着装置がこの順で接続され、全ての空間が減圧下（好ましくは、例えば１０－７（Ｔｏｒｒ）以下）に維持された設備において、乾燥機で樹脂組成物の乾燥を行った後、搬送機構により樹脂組成物を蒸着装置に移送し、蒸着装置でバリア層を形成する方法によって行うことができる。
　低湿度雰囲気の水分濃度（体積分率）は、乾燥の観点から、低いほど好ましく（理想的には０ｐｐｍ）、好ましくは３３００ｐｐｍ以下、より好ましくは２，０００ｐｐｍ以下、さらに好ましくは１０００ｐｐｍ以下、さらに好ましくは５００ｐｐｍ以下、さらに好ましくは２００ｐｐｍ以下、さらに好ましくは１００ｐｐｍ以下、さらに好ましくは５０ｐｐｍ以下、さらに好ましくは１０ｐｐｍ以下、さらに好ましくは５ｐｐｍ以下、さらに好ましくは１ｐｐｍ以下、さらに好ましくは０．５ｐｐｍ以下、さらに好ましくは０．１ｐｐｍ以下である。
　本発明において、第１の防湿層と樹脂組成物層とを含み、第１の防湿層が存在する側とは反対側の樹脂組成物層の面が露出した積層構造を有するシートを加熱することによって樹脂組成物層を乾燥し、乾燥終了時から第２の防湿層を含むフィルムまたは第２の防湿層を貼り合わせるまでの間、樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持しながら、樹脂組成物層の露出された面に、第２の防湿層を含むフィルムまたは第２の防湿層を貼り合わせることが特に好ましい。
　本発明によれば、樹脂組成物層が充分に乾燥され、且つ保管時等の樹脂組成物層の吸湿を防止し得る封止用シートを製造することができる。そのため、本発明によって得られる封止用シートは、電子デバイス（例えば、有機ＥＬデバイス、太陽電池等）の封止に有用である。
　以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例によって制限を受けるものではなく、上記・下記の趣旨に適合し得る範囲で適当に変更を加えて実施することも勿論可能であり、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包含される。
フィルム
　実施例および比較例で使用したフィルムを以下に記載する。
　離型層付きＰＥＴフィルム：東洋紡社製「Ｅ７００４」（離型層付のポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム、離型層：シリコーン離型層、基材（ＰＥＴフィルム）の厚さ：３８μｍ、水蒸気透過度：３４ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）
　防湿フィルム１：三菱樹脂社製「テックバリアＨＸ」（バリア層付のＰＥＴフィルム、バリア層：シリカ蒸着膜、基材（ＰＥＴフィルム）の厚さ：１２．５μｍ、水蒸気透過度：０．５ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）
　防湿フィルム２：麗光社製「ベレアル　ＵＤ」（バリア層付のＰＥＴフィルム、バリア層：シリカ蒸着膜、基材（ＰＥＴフィルム）の厚さ：５０μｍ、水蒸気透過度：０．０１ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）
製造例１：離型層付き防湿フィルムの製造
　離型層付きＰＥＴフィルムの離型層の反対側のＰＥＴフィルム面と、防湿フィルム１のバリア層の反対側の基材（ＰＥＴフィルム）面とを接着剤で貼り合せ、離型層付きＰＥＴフィルム（離型層／ＰＥＴフィルム）／接着剤層／防湿フィルム１（ＰＥＴフィルム／バリア層）との積層構造を有する離型層付き防湿フィルムを製造した（離型層付き防湿フィルム全体の厚さ：５５μｍ）。なお、離型層付き防湿フィルムにおいて、防湿フィルム１が防湿層に対応する。
製造例２：樹脂組成物ワニスの製造
　シクロヘキサン環含有飽和炭化水素樹脂（荒川化学社製「アルコンＰ１２５」）の６０質量％スワゾール溶液１３０質量部に、無水マレイン酸変性液状ポリイソブチレン（東邦化学工業社製「ＨＶ－３００Ｍ」）３５質量部、ポリブテン（ＪＸＴＧエネルギー社製「ＨＶ－１９００」）６０質量部、および半焼成ハイドロタルサイト（協和化学工業社製「ＤＨＴ－４Ｃ」）１００質量部を３本ロールで分散させて、混合物を得た。得られた混合物に、グリシジルメタクリレート変性ポリプロピレン－ポリブテン共重合体の２０質量％スワゾール溶液（星光ＰＭＣ社製「Ｔ－ＹＰ３４１」）２００質量部、硬化促進剤（２，４，６－トリス（ジメチルアミノメチル）フェノール）０．５質量部およびトルエン１６質量部を配合し、得られた混合物を高速回転ミキサーで均一に分散して、オレフィン系樹脂組成物ワニスを得た。
製造例３：未乾燥の封止用シートの製造
　製造例２で得られた樹脂組成物ワニスを、製造例１で得られた離型層付き防湿フィルムの離型層面に、ダイコーターにて均一に塗布し、１３０℃で６０分間加熱することにより、厚さ２０μｍの樹脂組成物層を有する封止用シートを得た（樹脂組成物層中の残留溶媒量：約１質量％）。次いで、得られた封止用シートの樹脂組成物層と、製造例１で得られた離型層付き防湿フィルムの離型層面とが接触するように、これらを貼り合わせながら、封止用シートをロール状に巻き取った。ロール状の封止用シートを４０ｍｍ×８０ｍｍに切断し、未乾燥の封止用シートを製造した。未乾燥の封止用シートは、一時的防湿層（防湿フィルム１）／接着剤層／ＰＥＴフィルム／離型層／樹脂組成物層／離型層／ＰＥＴフィルム／接着剤層／第１の防湿層（防湿フィルム１）との積層構造を有していた。
製造例４：粘着層付き防湿フィルムの製造
　防湿フィルム２のバリア層面にポリオレフィン系粘着フィルム（厚さ１０μｍ）を接着させ、防湿フィルム２（基材／バリア層）／粘着層の積層構造を有する粘着層付き防湿フィルムを製造した。
実施例１
　水分濃度（体積分率）を０．１ｐｐｍ未満（装置の検出限界０．１ｐｐｍ）とした窒素グローブボックス内にホットプレート（１５０℃）を用意した。製造例３で得られた未乾燥の封止用シートから離型層付き防湿フィルム（即ち、一時的防湿層（防湿フィルム１）／接着剤層／ＰＥＴフィルム／離型層との積層構造を有するフィルム）を除去したシート（即ち、樹脂組成物層／離型層／ＰＥＴフィルム／接着剤層／第１の防湿層（防湿フィルム１）との積層構造を有するシート）を、ホットプレート上で樹脂組成物層を上にして３０分間加熱することによって、樹脂組成物層を乾燥した（得られたシートを以下「乾燥した未完成シート」と略称する）。加熱停止から１０分間経過した後、そのままグローブボックス内で、乾燥した未完成シートの樹脂組成物層に、製造例１で得られた離型層付き防湿フィルム（即ち、第２の防湿層（防湿フィルム１）／接着剤層／ＰＥＴフィルム／離型層との積層構造を有するフィルム）を、６０℃に加温したゴムローラーにより０．３ＭＰａ以上の圧力で押し付けることで貼り合わせて、封止用シートを製造した。得られた封止用シートは、第２の防湿層（防湿フィルム１）／接着剤層／ＰＥＴフィルム／離型層／樹脂組成物層／離型層／ＰＥＴフィルム／接着剤層／第１の防湿層（防湿フィルム１）との積層構造を有していた。
実施例２
　製造例３で得られた未乾燥の封止用シートから離型層付き防湿フィルム（即ち、一時的防湿層（防湿フィルム１）／接着剤層／ＰＥＴフィルム／離型層との積層構造を有するフィルム）を除去したシート（即ち、樹脂組成物層／離型層／ＰＥＴフィルム／接着剤層／第１の防湿層（防湿フィルム１）との積層構造を有するシート）を、温度１５０℃の熱風乾燥炉内で樹脂組成物層を上にして乾燥した。次いで、製造例１で得られた離型層付き防湿フィルム（即ち、第２の防湿層（防湿フィルム１）／接着剤層／ＰＥＴフィルム／離型層との積層構造を有するフィルム）と、乾燥した樹脂組成物層を有するシートとを、１０１３ｈＰａ且つ２５℃における相対湿度６％ＲＨ（水分濃度（体積分率）：１，８００ｐｐｍ）であり、且つ温度が３０℃に調整されたボックス内にあるロールラミネータに搬送し、樹脂組成物層に、上記製造例１で得られた離型層付き防湿フィルムを、６０℃に加温したゴムローラーにより０．３ＭＰａ以上の圧力で押し付けることで貼り合わせて、封止用シートを製造した。得られた封止用シートは、第２の防湿層（防湿フィルム１）／接着剤層／ＰＥＴフィルム／離型層／樹脂組成物層／離型層／ＰＥＴフィルム／接着剤層／第１の防湿層（防湿フィルム１）との積層構造を有していた。
実施例３
　水分濃度（体積分率）を０．１ｐｐｍ未満（装置の検出限界０．１ｐｐｍ）とした窒素グローブボックス内に１５０℃ホットプレートを用意した。製造例３で得られた未乾燥の封止用シートから離型層付き防湿フィルム（即ち、一時的防湿層（防湿フィルム１）／接着剤層／ＰＥＴフィルム／離型層との積層構造を有するフィルム）を除去したあと、樹脂組成物面に離型層付きＰＥＴフィルム（水蒸気透過度：３４ｇ／ｍ２／２４ｈｒ、水分透過層として使用）をホットプレート上でゴムローラーにより０．３ＭＰａ以上の圧力で押し付け、気泡などの欠陥が発生しないように貼り合わせ、離型層付きＰＥＴフィルムと、樹脂組成物層と、離型層付き防湿フィルムを、これらの順に含む積層構造を製造した。より詳しくは、得られたシートは、ＰＥＴフィルム／離型層／樹脂組成物層／離型層／ＰＥＴフィルム／接着剤層／第１の防湿層（防湿フィルム１）との積層構造を有していた。このシートを、離型層付きＰＥＴフィルム（即ち、ＰＥＴフィルム／離型層との積層構造を有するフィルム）を上にして３０分間加熱することによって、樹脂組成物層を乾燥した。加熱停止から１０分間経過した後、そのままグローブボックス内で、離型層付きＰＥＴフィルムと、乾燥した樹脂組成物層と、離型層付き防湿フィルムとを、これらの順に含む積層構造を有するシートの離型層付きＰＥＴフィルムに、製造例４で製造した粘着層付き防湿フィルム（即ち、第２の防湿層（防湿フィルム２）／粘着層の積層構造を有するフィルム）の粘着層側を、６０℃に加温したゴムローラーにより０．３ＭＰａ以上の圧力で押し付けることで貼り合わせて、粘着層付き防湿フィルムと、離型層付きＰＥＴフィルムと、樹脂組成物層と、離型層付き防湿フィルムとを、これらの順に含む積層構造を有する、封止用シートを製造した。より詳しくは、得られた封止用シートは、第２の防湿層（防湿フィルム２）／粘着層／ＰＥＴフィルム／離型層／樹脂組成物層／離型層／ＰＥＴフィルム／接着剤層／第１の防湿層（防湿フィルム１）との積層構造を有していた。
比較例１
　実施例１と同様にして得られた、乾燥した未完成シートを、樹脂組成物が露出した状態で前記シートを２５℃且つ４０％ＲＨ（水分濃度（体積分率）：１２，５００ｐｐｍ）の大気雰囲気下に１０分間放置し、次いで、前記シートの樹脂組成物層に、製造例１で得られた離型層付き防湿フィルムを、６０℃に加温したゴムローラーにより０．３ＭＰａ以上の圧力で押し付けることで貼り合わせて、封止用シートを製造した。得られた封止用シートは、第２の防湿層（防湿フィルム１）／接着剤層／ＰＥＴフィルム／離型層／樹脂組成物層／離型層／ＰＥＴフィルム／接着剤層／第１の防湿層（防湿フィルム１）との積層構造を有していた。
比較例２
　製造例１で得られた離型層付き防湿フィルムの代わりに、離型層付きＰＥＴフィルムを使用したこと以外は実施例１と同様にして、封止用シートを製造した。得られた封止用シートは、非防湿層（ＰＥＴフィルム）／離型層／樹脂組成物層／離型層／ＰＥＴフィルム／接着剤層／第１の防湿層（防湿フィルム１）との積層構造を有していた。
比較例３
　製造例３で得られた未乾燥の封止用シートから「一時的防湿層（防湿フィルム１）／接着剤層／ＰＥＴフィルム／離型層」部分を除去せずに、この一時的防湿層を第２の防湿層として使用し、実施例１と同様の乾燥条件（窒素グローブボックス内（水分濃度（体積分率）：０．１ｐｐｍ未満）のホットプレート（１５０℃）で第１の防湿層をホットプレート側にして３０分間加熱乾燥）で乾燥し、封止用シートを製造した。得られた封止用シートは、第２の防湿層（防湿フィルム１）／接着剤層／ＰＥＴフィルム／離型層／樹脂組成物層／離型層／ＰＥＴフィルム／接着剤層／第１の防湿層（防湿フィルム１）との積層構造を有していた。
＜封止用シートの樹脂組成物層の評価＞
　実施例１および２並びに比較例１～３で得られた封止用シートの、製造直後の樹脂組成物層の水分濃度（質量分率）（以下「製造直後の水分濃度（質量分率）」と記載する）および２５℃および４０％ＲＨの雰囲気下に２４時間静置した後の樹脂組成物層の水分濃度（質量分率）（以下「静置後の水分濃度（質量分率）」と記載する）を、以下の方法により算出した。結果を表１に示す。
　水分濃度（体積分率）を０．１ｐｐｍ未満（装置の検出限界０．１ｐｐｍ）とした窒素グローブボックス内で、封止用シートから樹脂組成物層を取り出した。この樹脂組成物層を適当な大きさに折り畳んでサンプルを調製し、その重量を計測した。次いで水分のある空間との接触を防ぎながら、カールフィッシャー水分測定装置（三菱化学アナリテック社製「微量水分測定装置ＣＡ－２００」）の気化筒にサンプルを投入し、１３０℃に加熱した。加熱開始直後から毎秒水分検知量０．１５μｇ／秒未満となるまでに集計された総気化水分量と、サンプルの重量から、サンプル（即ち、樹脂組成物層）の水分濃度（質量分率）（ｐｐｍ）を算出した。５００ｐｐｍ以下の水分濃度（質量分率）を〇、５００ｐｐｍを超える水分濃度（質量分率）を×と評価した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　実施例１～３で得られた封止用シートは、製造直後の水分濃度（質量分率）および静置後の水分濃度（質量分率）がいずれも充分に低かった。一方、水分濃度が高い雰囲気で第２の防湿層を含むフィルムを貼り合せた比較例１では製造直後の水分濃度（質量分率）が高かった。また、第２の防湿層の代わりに非防湿層を使用した比較例２では、静置後の水分濃度（質量分率）が高かった。また、一時的防湿層を付けたまま乾燥した比較例３では、製造直後の水分濃度（質量分率）が高かった。
　なお、比較例１では第２の防湿層を形成する際、離型層付き防湿フィルムに付着していた水分が樹脂組成物層に移行したため、静置後の樹脂組成物層の水分濃度が上昇したと考えられる。
　また、比較例３で製造直後の水分濃度が高かったのは、乾燥の際、樹脂組成物層から離型層付き防湿フィルム（即ち、第２の防湿層（防湿フィルム１）／接着剤層／ＰＥＴフィルム／離型層との積層構造を有するフィルム）に水分が移行し、静置中にその水分が再度樹脂組成物層に移行したためと考えられる。
　本発明によって得られる封止用シートは、電子デバイス（例えば、有機ＥＬデバイス、センサーデバイス、太陽電池等）の封止に有用である。
　本願は、日本で出願された特願２０１９－１８０５９３号を基礎としており、その内容は本願明細書に全て包含される。

Claims (9)

  1. 　第１の防湿層と、樹脂組成物層と、第２の防湿層とを、これらの順に含む積層構造を有する封止用シートの製造方法であって、第２の防湿層が無い状態で樹脂組成物層を乾燥し、乾燥終了時から第２の防湿層を設けるまでの間、樹脂組成物層を低湿度雰囲気下に保持しながら第２の防湿層を設けることを含む方法。
  2. 　第１の防湿層および第２の防湿層の水蒸気透過度が、それぞれ独立に、０～５（ｇ／ｍ２／２４ｈｒ）である請求項１に記載の方法。
  3. 　低湿度雰囲気の水分濃度（体積分率）が、３，３００ｐｐｍ以下である請求項１または２に記載の方法。
  4. 　加熱によって樹脂組成物層を乾燥する請求項１～３のいずれか一項に記載の方法。
  5. 　第１の防湿層と樹脂組成物層とを含み、第１の防湿層が存在する側とは反対側の樹脂組成物層の面が露出した積層構造を有するシートを加熱することによって、樹脂組成物層を乾燥する請求項４に記載の方法。
  6. 　乾燥温度が、８０～２２０℃である請求項４または５に記載の方法。
  7. 　樹脂組成物層が、半焼成ハイドロタルサイトおよび／または焼成ハイドロタルサイトを含む請求項１～６のいずれか一項に記載の方法。
  8. 　封止用シートが、電子デバイスの封止に用いられるシートである請求項１～７のいずれか一項に記載の方法。
  9. 　電子デバイスが、有機ＥＬデバイスまたは太陽電池である請求項８に記載の方法。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013133256A1 (ja) * 2012-03-06 2013-09-12 リンテック株式会社 ガスバリアフィルム積層体、粘着フィルム、および電子部材
WO2015178469A1 (ja) * 2014-05-23 2015-11-26 味の素株式会社 封止体の製造方法
WO2018181426A1 (ja) * 2017-03-29 2018-10-04 味の素株式会社 封止用シート
JP2019102272A (ja) * 2017-12-01 2019-06-24 住友化学株式会社 電子デバイスの製造方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013108731A1 (ja) * 2012-01-16 2013-07-25 味の素株式会社 封止用樹脂組成物
TWI725113B (zh) * 2016-02-01 2021-04-21 日商味之素股份有限公司 封止用之熱硬化性樹脂組成物以及封止用薄板

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013133256A1 (ja) * 2012-03-06 2013-09-12 リンテック株式会社 ガスバリアフィルム積層体、粘着フィルム、および電子部材
WO2015178469A1 (ja) * 2014-05-23 2015-11-26 味の素株式会社 封止体の製造方法
WO2018181426A1 (ja) * 2017-03-29 2018-10-04 味の素株式会社 封止用シート
JP2019102272A (ja) * 2017-12-01 2019-06-24 住友化学株式会社 電子デバイスの製造方法

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