WO2020246115A1 - 静電型デバイスおよび静電型デバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
振動発電素子は、固定部と、可動部と、前記可動部と一体に形成され、前記可動部を弾性支持する弾性支持部と、前記固定部および前記弾性支持部が互いに分離状態で陽極接合されているガラス製のベース部と、を備える。
Description
本発明は、静電型デバイスおよび静電型デバイス製造方法に関する。
静電型デバイスとして、例えば、特許文献1に記載のような静電型デバイスが知られている。特許文献1に記載の静電型デバイスは、SOI(Silicon On Insulator)基板から製作されている。SOI(Silicon On Insulator)基板は、シリコンの支持層と、支持層上に形成されたシリコン酸化物(SiO2)のBOX(Buried Oxide)層と、BOX層上に接合されたシリコンの活性層とから成る。静電型デバイスのアクチュエータ部あるいはセンサ部は活性層から形成され、アクチュエータ部あるいはセンサ部を支持する基材は支持層から形成される。
しかしながら、上述の静電型デバイスでは、デバイス製作用の基板として高価なSOI基板を用いているので、基板コストが静電型デバイスのコスト低減を阻害する要因の一つとなっている。
本発明の第1の態様によると、静電型デバイスは、固定部と、可動部と、前記可動部と一体に形成され、前記可動部を弾性支持する弾性支持部と、前記固定部および前記弾性支持部が互いに分離状態で陽極接合されているガラス製のベース部と、を備える。
本発明の第2の態様によると、第1の態様の静電型デバイスにおいて、前記固定部および前記可動部はシリコンで形成され、前記固定部および前記可動部の少なくとも一方にエレクトレットが形成されているのが好ましい。
本発明の第3の態様によると、第2の態様の静電型デバイスにおいて、前記固定部には固定電極が形成され、前記可動部には前記固定電極と対向する可動電極が形成され、前記固定部に対する前記可動部の変位により前記固定電極と前記可動電極との静電容量が変化して発電を行うのが好ましい。
本発明の第4の態様による静電型デバイス製造方法は、第1の態様から第3の態様までのいずれか一の態様の静電型デバイスを製造するための静電型デバイス製造方法であって、前記固定部、前記可動部および前記弾性支持部を基板に一体状態で形成し、前記ベース部と前記基板とを陽極接合して前記固定部および前記弾性支持部を前記ベース部に固定し、前記基板をエッチングして前記固定部と前記弾性支持部とを互いに分離する。
本発明の第2の態様によると、第1の態様の静電型デバイスにおいて、前記固定部および前記可動部はシリコンで形成され、前記固定部および前記可動部の少なくとも一方にエレクトレットが形成されているのが好ましい。
本発明の第3の態様によると、第2の態様の静電型デバイスにおいて、前記固定部には固定電極が形成され、前記可動部には前記固定電極と対向する可動電極が形成され、前記固定部に対する前記可動部の変位により前記固定電極と前記可動電極との静電容量が変化して発電を行うのが好ましい。
本発明の第4の態様による静電型デバイス製造方法は、第1の態様から第3の態様までのいずれか一の態様の静電型デバイスを製造するための静電型デバイス製造方法であって、前記固定部、前記可動部および前記弾性支持部を基板に一体状態で形成し、前記ベース部と前記基板とを陽極接合して前記固定部および前記弾性支持部を前記ベース部に固定し、前記基板をエッチングして前記固定部と前記弾性支持部とを互いに分離する。
本発明によれば、静電型デバイスのコスト低減を図ることができる。
以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。図1は静電型デバイスの一例を示す図であり、静電型の振動発電素子1の平面図である。振動発電素子1は、ベース部10と、ベース部10上に設けられた固定部11と、可動部12とを備えている。左右一対の固定部11には複数の櫛歯電極110がそれぞれ形成されている。一対の固定部11間に配置された可動部12にも、複数の櫛歯電極120が形成されている。櫛歯電極120は、櫛歯電極110と噛合するように対向配置されている。
可動部12は4組の弾性支持部13により支持されており、振動発電素子1に外力が加わると、可動部12が図示左右方向(x方向)に振動する。各弾性支持部13は、ベース部10上に固定された固定領域13a、および、固定領域13aと可動部12とを連結する弾性部13bを備えている。櫛歯電極110,120の少なくとも一方にはエレクトレットが形成されており、可動部12が図示左右に振動して櫛歯電極110と櫛歯電極120との噛合量が変化することで発電が行われる。固定部11には電極パッド111が形成され、弾性支持部13の固定領域13aにも電極パッド131が形成されている。発電された電力は電極パッド111、131から出力される。
図2は図1の断面を示す図であり、図2(a)はA-A断面を、図2(b)はB-B断面を示している。固定部11,可動部12および弾性支持部13はSi基板から形成され、固定部11,可動部12および弾性支持部13の表面にはカリウム等のアルカリ金属のイオンを含むSiO2膜202が形成されている。このSiO2膜202にエレクトレットが形成される。固定部11と弾性支持部13の固定領域13aとは、ガラス基板で形成されたベース部10上に陽極接合される。ベース部10には凹部101が形成されている。
固定部11と固定領域13aとは分離溝g1により互いに分離されており、固定部11と弾性支持部13および可動部12とは電気的に絶縁されている。なお、図2(b)に示す分離溝g2は、左右一対の固定部11を電気的に分離するためのものである。可動部12は、弾性支持部13によって凹部101の上方に弾性支持されている。ベース部10の裏面にはメタル層102が形成されている。また、固定部11の櫛歯電極110も、凹部101の上方に可動部12の櫛歯電極120と噛合するように配置されている。
(振動発電素子1の製造方法)
図3~16は、振動発電素子1の製造手順の一例を示す図である。図3に示す第1の工程では、Si基板200の表裏両面にLP-CVDによりSiN膜201を成膜する。図4は第2の工程を説明する図であり、図4(a)は平面図、図4(b)はA-A断面図である。第2の工程では、表面側のSiN膜201をドライエッチングによりエッチングして、電極パッド111,113を形成するためのパターンP1,P2と、分離溝g1、g2を形成するためのパターンP3,P4とを形成する。
図3~16は、振動発電素子1の製造手順の一例を示す図である。図3に示す第1の工程では、Si基板200の表裏両面にLP-CVDによりSiN膜201を成膜する。図4は第2の工程を説明する図であり、図4(a)は平面図、図4(b)はA-A断面図である。第2の工程では、表面側のSiN膜201をドライエッチングによりエッチングして、電極パッド111,113を形成するためのパターンP1,P2と、分離溝g1、g2を形成するためのパターンP3,P4とを形成する。
図5,6は第3の工程を説明する図であり、図5は平面図を示し、図6(a)はA-A断面図、図6(b)はC-C断面図、図6(c)はB-B断面図を示す。第3の工程では、Si基板200の表面側に固定部11,可動部12および弾性支持部13を形成するためのAl(アルミ)マスクパターン(不図示)を形成し、そのAlマスクパターンを用いたDeep-RIEによりSi基板200およびSiN膜201を貫通するようにエッチングする。このエッチングにより、固定部11,可動部12および弾性支持部13における図5の図示領域Dに含まれる構造を形成する。具体的には、櫛歯電極110、210が形成されている部分の固定部11および可動部12、弾性支持部13を形成する。図5の領域Dは、図2の凹部101の上方領域を示している。
図7は第4の工程を説明する図であり、図7(a)はA-A断面図を、図7(b)はC-C断面図を、図7(c)はB-B断面図を示す。第4の工程では、分離溝g1,g2を形成するためのエッチングをDeep-RIEにより行う。分離溝g1,g2は、パターンP3,P4(図4参照)の位置に形成される。ただし、第4の工程では分離溝g1,g2で完全に分離させず、基板裏面側からSi基板200全体が一体に保たれる程度の深さまでエッチング(いわゆる、ハーフエッチング)する。
図8は第5の工程を説明する図であり、図8(a)は平面図を、図8(b)はA-A断面図を示す。第5の工程では、Si基板200の露出面にカリウム等のアルカリ金属のイオンを含むSiO2膜202を形成する。
図9は第6の工程を説明する図であり、図9(a)は平面図を、図9(b)はA-A断面図を示す。第6の工程では、まず、CF4ガスを用いたRIEにより、基板裏面側のSiN膜201を除去する。同様に、基板表面側のSiN膜201を除去する。
図10は第7の工程を説明する図であり、図10(a)は平面図を、図10(b)は断面図を示す。第7の工程では、ベース部10を形成するためのガラス基板300に凹部101を形成する。凹部101の底面と枠部103の端面との段差寸法Hは、振動する可動部12が干渉しない寸法(例えば、数十μm)に設定される。ガラス基板300には、陽極接合に用いられるガラス基板(例えば、ナトリウム含有のガラス基板)が用いられる。
図11は第8の工程を説明する図であり、図11(a)は平面図を、図11(b)は断面図を示す。第8の工程では、ベース部10の裏面側にアルミ蒸着膜等のメタル層102を形成する。なお、裏面側のメタル層102は、陽極接合プロセス時の電界をガラス基板300全面に分散させるために形成したものである。しかし、メタル層102が無くても陽極接合は可能なため、メタル層102は必須ではない。
図12に示す第9の工程では、固定部11、可動部12および弾性支持部13が形成されたSi基板200(図9参照)の裏面側に、図11に示したガラス基板から成るベース部10を陽極接合する。ヒータ40上にベース部10を載置し、そのベース部10の上に固定部11、可動部12および弾性支持部13が形成されたSi基板200を積層する。ヒータ40の温度は、ガラス基板中におけるナトリウムイオンの熱拡散が十分活発になる温度(例えば、500℃以上)に設定される。ヒータ40を基準とするSi基板200の電圧V1は、例えば、400V以上に設定される。
シリコン基板(Si基板200)とガラス基板(ベース部10)とを陽極接合する場合には、シリコン基板とガラス基板との積層体を加熱しつつ、シリコン基板側を陽極として積層体に数百V程度の直流電圧を印加する。ガラス基板内のナトリウムイオンがマイナス電位側へ移動し、ガラス基板とシリコン基板との接合面のガラス基板側にSiO-の空間電荷層(ナトリウムイオンが欠乏した層)が形成される。その結果、静電引力によりガラス基板とシリコン基板とが接合される。
図13は第10の工程を説明する図であり、図13(a)はA-A断面図を、図13(b)はC-C断面図を、図13(c)はB-B断面図を示す。第10の工程では、ベース部10に陽極接合されたSi基板200をDeep-RIEにより途中までエッチングすることにより、図7に示す非貫通の分離溝g1、g2をSi基板200の表裏に貫通した状態とする。これにより、固定部11と可動部12を弾性支持する弾性支持部13とが完全に分離される。なお、このエッチングにより、分離溝g1、g2が貫通状態となるだけではなく、穴形状の電極パッド111、131も形成される。
その後、周知のエレクトレット形成方法、例えば、日本国特開2013-13256号公報に記載のBias-Temperature法により、櫛歯電極110,120の少なくとも一方にエレクトレットを形成することで、図1の振動発電素子1が完成する。
本実施の形態の振動発電素子1では、固定部11、可動部12および弾性支持部13をシリコン基板により形成し、固定部11および弾性支持部13をガラス基板により形成されたベース部10に固定する構成とした。そのため、特許文献1に記載の静電型デバイスのように高価なSOI基板を用いていないので、コスト低減を図ることができる。
(比較例)
図14は比較例を示すである。比較例の振動発電素子50は、SOI基板を用いて形成される。振動発電素子50の固定部51、可動部52および不図示の弾性支持部13はSOI基板の上部シリコン層である活性層61に形成され、ベース部53は下部シリコン層である支持層63に形成される。可動部52の櫛歯電極にはエレクトレット520が形成されている。活性層61と支持層63とはSiO2から成るBOX層62を介して設けられているので、活性層61と支持層63との間に生じる寄生容量Cs1,Cs2が、振動発電素子50の発電電力に悪影響を与えることになる。
図14は比較例を示すである。比較例の振動発電素子50は、SOI基板を用いて形成される。振動発電素子50の固定部51、可動部52および不図示の弾性支持部13はSOI基板の上部シリコン層である活性層61に形成され、ベース部53は下部シリコン層である支持層63に形成される。可動部52の櫛歯電極にはエレクトレット520が形成されている。活性層61と支持層63とはSiO2から成るBOX層62を介して設けられているので、活性層61と支持層63との間に生じる寄生容量Cs1,Cs2が、振動発電素子50の発電電力に悪影響を与えることになる。
固定部51に対して可動部52が図示左右方向に振動すると、固定部51および可動部52の櫛歯電極間の静電容量C1,C2が変化し、静電容量C1,C2の変化による交流電流が端子電流I1として出力される。出力された端子電流I1は、一部の電流I3が寄生容量Cs1,Cs2を流れ、残りの電流I2が振動発電素子50に接続された負荷抵抗Rを流れる。
図15は振動発電素子50による発電のシミュレーション結果を示したものであり、図15(a)は電流I2,I3を示し、図15(b)は負荷抵抗Rで消費される電力W2および寄生容量Cs1に出入りする電力W3を示す。寄生容量Cs1の電流は端子電圧に対して位相が90度進んでいる。寄生容量Cs1に出入りする電力W3は外部に取り出されない無効電力である。寄生容量Cs2に出入りする電力についても同様である。寄生容量Cs1,Cs2の増加により無効電力W3は増加し、負荷抵抗Rで消費される電力である有効電力W2は減少する。
一方、本実施の形態の振動発電素子1では、シリコンで形成された固定部11および可動部12はガラス基板で形成したベース部10に接合されているので、寄生容量の発生を防止することができる。その結果、寄生容量に起因する無効電力の発生を防止することができ、発電された電力を無駄なく負荷抵抗Rにより消費することができる。
なお、SOI基板から振動発電素子50を形成した場合であっても、BOX層の厚さを従来よりも厚くして寄生容量を小さくすることにより、ガラス基板のベース部10を採用する場合と同様に無効電力の低減を図ることができる。
上述した実施の形態の作用効果をまとめると以下のようになる。
(1)静電型デバイスである振動発電素子1は、図1に示すように、固定部11と、可動部12と、可動部12と一体に形成され、可動部12を弾性支持する弾性支持部13と、固定部11および弾性支持部13が互いに分離状態で陽極接合されているガラス製のベース部10と、を備える。そのため、SOI基板を用いて製作される振動発電素子50に比べてコスト低減を図ることができる。
(1)静電型デバイスである振動発電素子1は、図1に示すように、固定部11と、可動部12と、可動部12と一体に形成され、可動部12を弾性支持する弾性支持部13と、固定部11および弾性支持部13が互いに分離状態で陽極接合されているガラス製のベース部10と、を備える。そのため、SOI基板を用いて製作される振動発電素子50に比べてコスト低減を図ることができる。
なお、上述した実施の形態では、静電型デバイスである振動発電素子1を例に説明したが、振動発電素子1に限らず、特許文献1に記載のようなアクチュエータやセンサ等にも適用することができる。すなわち、アクチュエータやセンサをシリコン基板から製作し、それらをガラス製のベース部で支持するような構成とする。そうすることで、コスト低減に加えて寄生容量の抑制も図ることができる。なお、電気伝導性を有しガラス基板との線膨張係数が十分に一致すれば、シリコン基板に限らずその他のガラス基板やシリコン薄膜を成膜したガラス基板などを用いてアクチュエータやセンサ等を形成しても良い。
(2)さらに、固定部11および可動部12をシリコンで形成し、固定部11および可動部12の少なくとも一方にエレクトレットを形成するようにしても良い。
(3)図1に示す静電型デバイスである振動発電素子1は、固定部11には固定電極である櫛歯電極110が形成され、可動部12は櫛歯電極110と対向する可動電極である櫛歯電極120が形成され、さらに固定部11および可動部12の少なくとも一方にエレクトレットが形成され、固定部11に対する可動部12の変位により櫛歯電極110と櫛歯電極120との静電容量が変化して発電を行う。ベース部10がガラス製であるため、上述したコスト低減に加えて、図14に示すSOI基板を用いた振動発電素子50における寄生容量Cs1,Cs2の発生を防止でき、寄生容量に起因する無効電力W3の発生を防止することができる。
(4)上述した静電型デバイスの製造方法では、固定部11、可動部12および弾性支持部13を基板、例えばSi基板200、に一体状態で形成し、ガラス製のベース部10とSi基板200とを陽極接合して固定部11および弾性支持部13をガラス製のベース部10に固定し、Si基板200をエッチングして固定部11と弾性支持部13とを互いに分離して、固定部11と可動部12とを電気的に分離する。
このように固定部11と弾性支持部13とを分離する前に、固定部11,可動部12および弾性支持部13が一体状態となったSi基板200をベース部10に陽極接合し、陽極接合後に分離するようにしているので、ウエハレベルの固定部11、可動部12および弾性支持部13の位置関係を維持した状態で、それらをベース部10に接合することができる。
本発明は上述した実施の形態の内容に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。
次の優先権基礎出願および公開公報の開示内容は引用文としてここに組み込まれる。
日本国特願2019-106230号(2019年6月6日出願)
日本国特開2013-13256号公報
日本国特願2019-106230号(2019年6月6日出願)
日本国特開2013-13256号公報
1,50…振動発電素子、10,53…ベース部、11,51…固定部、12,52…可動部、13…弾性支持部、13a…固定領域、13b…弾性部、40…ヒータ、110,120…櫛歯電極、200…Si基板、300…ガラス基板、Cs1,Cs2…寄生容量
Claims (4)
- 固定部と、
可動部と、
前記可動部と一体に形成され、前記可動部を弾性支持する弾性支持部と、
前記固定部および前記弾性支持部が互いに分離状態で陽極接合されているガラス製のベース部と、を備える静電型デバイス。 - 請求項1に記載の静電型デバイスにおいて、
前記固定部および前記可動部はシリコンで形成され、
前記固定部および前記可動部の少なくとも一方にエレクトレットが形成されている、静電型デバイス。 - 請求項2に記載の静電型デバイスにおいて、
前記固定部には固定電極が形成され、
前記可動部には前記固定電極と対向する可動電極が形成され、
前記固定部に対する前記可動部の変位により前記固定電極と前記可動電極との静電容量が変化して発電を行う、静電型デバイス。 - 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の静電型デバイスを製造するための静電型デバイス製造方法であって、
前記固定部、前記可動部および前記弾性支持部を基板に一体状態で形成し、
前記ベース部と前記基板とを陽極接合して前記固定部および前記弾性支持部を前記ベース部に固定し、
前記基板をエッチングして前記固定部と前記弾性支持部とを互いに分離する、静電型デバイス製造方法。
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