JP2010011547A - 発電デバイス - Google Patents
発電デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010011547A JP2010011547A JP2008164678A JP2008164678A JP2010011547A JP 2010011547 A JP2010011547 A JP 2010011547A JP 2008164678 A JP2008164678 A JP 2008164678A JP 2008164678 A JP2008164678 A JP 2008164678A JP 2010011547 A JP2010011547 A JP 2010011547A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- base substrate
- power generation
- frame portion
- generation device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Power Sources (AREA)
Abstract
【解決手段】ベース基板10と、ベース基板10の一表面側に固着されたフレーム部21と、フレーム部21の内側においてベース基板10から離間して配置された振動子23と、フレーム部21の内側で振動子23を挟む形で配置されフレーム部21と振動子23とを連結した一対の支持ばね部22,22と、フレーム部21に設けられた固定電極24と振動子23に設けられた可動電極25とで構成される可変容量コンデンサ26と、可変容量コンデンサ26に電圧を印加するエレクトレット30(電圧印加手段)とを備える。各支持ばね部22,22は、フレーム部21に対して振動子23が揺動自在となるようにねじれ変形が可能なトーションばねにより構成してある。
【選択図】図1
Description
T.Sterken,etal,「AN ELECTRET-BASEDELECTROSTATIC μ-GENERATOR」,TRANSDUCERS ‘03,The 12th International Conference on Solid StateSensors,Actuators and Microsystems,Boston,June 8-12,2003,p.1291-1294
以下、本実施形態の発電デバイスについて図1を参照しながら説明する。
本実施形態の発電デバイスの基本構成は実施形態1と略同じであり、図6に示すように、ベース基板10が1枚のガラス基板10bを用いて形成されて上記一表面に当該ベース基板10側への振動子23の変位空間を確保する第1の凹部11が形成され、フレーム部21におけるベース基板10側とは反対側に1枚のガラス基板50bを用いて形成された矩形板状のカバー基板50が固着されている点などが相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略する。
以下、本実施形態の発電デバイスについて、図7〜図9を参照しながら説明する。
図10(f)に示す本実施形態の発電デバイスの基本構成は実施形態3と略同じであり、ベース基板10の上記一表面側に、フレーム部21の各枠片部21a,21aおよび各アンカー部21b,21bそれぞれにおいてシリコン層200cの一部により構成された各部分が接合用の樹脂(例えば、エポキシ樹脂など)からなる接合層41を介して接合されている点などが相違する。なお、実施形態3と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
10a シリコン基板
20a シリコン基板
21 フレーム部
22 支持ばね部
23 振動子
24 固定電極
24b 固定櫛歯片
25 可動電極
25 可動櫛歯片
26 可変容量コンデンサ
30 エレクトレット(電圧印加手段)
51 空隙
T1,T2 電極端子
Claims (5)
- ベース基板と、ベース基板の一表面側に固着されたフレーム部と、フレーム部の内側においてベース基板から離間して配置された振動子と、フレーム部の内側で振動子を挟む形で配置されフレーム部と振動子とを連結した一対の支持ばね部と、フレーム部に設けられた固定電極と振動子に設けられた可動電極とで構成される可変容量コンデンサと、可変容量コンデンサに電圧を印加する電圧印加手段とを備え、支持ばね部は、フレーム部に対して振動子が揺動自在となるようにねじれ変形が可能なトーションばねからなることを特徴とする発電デバイス。
- 前記固定電極は、平面視櫛形状に形成され、前記可動電極は、前記固定電極の複数の固定櫛歯片に対向する複数の可動櫛歯片を有することを特徴とする請求項1記載の発電デバイス。
- 前記可変容量コンデンサは、前記ベース基板の前記一表面側からの平面視において前記両支持ばね部を結ぶ方向に直交する方向の両側の少なくとも一方に形成されてなることを特徴とする請求項1または請求項2記載の発電デバイス。
- 前記可変容量コンデンサは、前記ベース基板の前記一表面側からの平面視において前記両支持ばね部を結ぶ方向に直交する方向の両側に形成されてなることを特徴とする請求項3記載の発電デバイス。
- 前記電圧印加手段は、エレクトレットからなることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の発電デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008164678A JP5237705B2 (ja) | 2008-06-24 | 2008-06-24 | 発電デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008164678A JP5237705B2 (ja) | 2008-06-24 | 2008-06-24 | 発電デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010011547A true JP2010011547A (ja) | 2010-01-14 |
JP5237705B2 JP5237705B2 (ja) | 2013-07-17 |
Family
ID=41591362
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008164678A Expired - Fee Related JP5237705B2 (ja) | 2008-06-24 | 2008-06-24 | 発電デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5237705B2 (ja) |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012095422A (ja) * | 2010-10-26 | 2012-05-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 静電変換装置および静電変換装置の製造方法 |
JP2013013256A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-01-17 | Aoi Electronics Co Ltd | エレクトレット膜およびこれを用いた振動発電素子 |
JP2013188046A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-09-19 | Citizen Holdings Co Ltd | エレクトレット基板およびエレクトレット基板の製造方法 |
JP2013541312A (ja) * | 2010-09-07 | 2013-11-07 | ムラタ エレクトロニクス オーワイ | 集電装置構造及び方法 |
EP2704170A2 (en) | 2012-08-30 | 2014-03-05 | Aoi Electronics Co. Ltd. | Method for forming electret containing positive ions |
EP2704169A2 (en) | 2012-08-30 | 2014-03-05 | Aoi Electronics Co. Ltd. | Method for manufacturing three-dimensionally shaped comb-tooth electret electrode |
US9425709B2 (en) | 2012-02-22 | 2016-08-23 | Aoi Electronics Co., Ltd. | Vibration driven power generation element and method of manufacture thereof |
CN107112136A (zh) * | 2014-10-22 | 2017-08-29 | 国立大学法人静冈大学 | 驻极体元件、搭载该驻极体元件的话筒以及该驻极体元件的制造方法 |
CN109643961A (zh) * | 2016-08-24 | 2019-04-16 | 株式会社电装 | 半导体装置 |
WO2019230658A1 (ja) * | 2018-05-31 | 2019-12-05 | 国立大学法人 東京大学 | 振動発電装置および振動発電素子 |
WO2020246115A1 (ja) * | 2019-06-06 | 2020-12-10 | 国立大学法人 東京大学 | 静電型デバイスおよび静電型デバイス製造方法 |
WO2020246116A1 (ja) * | 2019-06-06 | 2020-12-10 | 国立大学法人 東京大学 | 静電型デバイス、静電型デバイス中間体および製造方法 |
CN113302834A (zh) * | 2019-01-22 | 2021-08-24 | 国立大学法人东京大学 | 振动发电元件 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005173411A (ja) * | 2003-12-12 | 2005-06-30 | Canon Inc | 光偏向器 |
JP2008086190A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-04-10 | Sanyo Electric Co Ltd | 発電装置、発電装置を搭載した電気機器、及び発電装置を搭載した通信装置 |
-
2008
- 2008-06-24 JP JP2008164678A patent/JP5237705B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005173411A (ja) * | 2003-12-12 | 2005-06-30 | Canon Inc | 光偏向器 |
JP2008086190A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-04-10 | Sanyo Electric Co Ltd | 発電装置、発電装置を搭載した電気機器、及び発電装置を搭載した通信装置 |
Cited By (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013541312A (ja) * | 2010-09-07 | 2013-11-07 | ムラタ エレクトロニクス オーワイ | 集電装置構造及び方法 |
US9647577B2 (en) | 2010-09-07 | 2017-05-09 | Murata Electronics Oy | Power collector structure and method |
JP2012095422A (ja) * | 2010-10-26 | 2012-05-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 静電変換装置および静電変換装置の製造方法 |
JP2013013256A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-01-17 | Aoi Electronics Co Ltd | エレクトレット膜およびこれを用いた振動発電素子 |
US9425709B2 (en) | 2012-02-22 | 2016-08-23 | Aoi Electronics Co., Ltd. | Vibration driven power generation element and method of manufacture thereof |
JP2013188046A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-09-19 | Citizen Holdings Co Ltd | エレクトレット基板およびエレクトレット基板の製造方法 |
EP2704170A2 (en) | 2012-08-30 | 2014-03-05 | Aoi Electronics Co. Ltd. | Method for forming electret containing positive ions |
EP2704169A2 (en) | 2012-08-30 | 2014-03-05 | Aoi Electronics Co. Ltd. | Method for manufacturing three-dimensionally shaped comb-tooth electret electrode |
JP2014049557A (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-17 | Aoi Electronics Co Ltd | 立体型櫛歯エレクトレット電極の製造方法 |
US8865498B2 (en) | 2012-08-30 | 2014-10-21 | Aoi Electronics Co., Ltd. | Method for manufacturing three-dimensionally shaped comb-tooth electret electrode |
US9263192B2 (en) | 2012-08-30 | 2016-02-16 | Aoi Electronics Co., Ltd. | Method for forming electret containing positive ions |
US10405103B2 (en) | 2014-10-22 | 2019-09-03 | National University Corporation Shizuoka University | Electret element, microphone having electret element mounted therein and electret element manufacturing method |
CN107112136A (zh) * | 2014-10-22 | 2017-08-29 | 国立大学法人静冈大学 | 驻极体元件、搭载该驻极体元件的话筒以及该驻极体元件的制造方法 |
US10511914B2 (en) | 2014-10-22 | 2019-12-17 | National University Corporation Shizuoka University | Electret element, microphone having electret element mounted therein and electret element manufacturing method |
US20190165695A1 (en) * | 2016-08-24 | 2019-05-30 | Denso Corporation | Semiconductor device |
US10666166B2 (en) * | 2016-08-24 | 2020-05-26 | Denso Corporation | Semiconductor device |
CN109643961A (zh) * | 2016-08-24 | 2019-04-16 | 株式会社电装 | 半导体装置 |
WO2019230658A1 (ja) * | 2018-05-31 | 2019-12-05 | 国立大学法人 東京大学 | 振動発電装置および振動発電素子 |
JP2019213294A (ja) * | 2018-05-31 | 2019-12-12 | 国立大学法人 東京大学 | 振動発電装置および振動発電素子 |
US11451167B2 (en) | 2018-05-31 | 2022-09-20 | The University Of Tokyo | Vibration-driven energy harvesting device and vibration-driven energy harvester |
CN113302834A (zh) * | 2019-01-22 | 2021-08-24 | 国立大学法人东京大学 | 振动发电元件 |
WO2020246116A1 (ja) * | 2019-06-06 | 2020-12-10 | 国立大学法人 東京大学 | 静電型デバイス、静電型デバイス中間体および製造方法 |
JP2020202613A (ja) * | 2019-06-06 | 2020-12-17 | 国立大学法人 東京大学 | 静電型デバイスおよび静電型デバイス製造方法 |
JP2020202614A (ja) * | 2019-06-06 | 2020-12-17 | 国立大学法人 東京大学 | 静電型デバイス、静電型デバイス中間体および製造方法 |
CN113906666A (zh) * | 2019-06-06 | 2022-01-07 | 国立大学法人东京大学 | 静电型设备、静电型设备中间体以及制造方法 |
CN113924725A (zh) * | 2019-06-06 | 2022-01-11 | 国立大学法人东京大学 | 静电型设备及静电型设备制造方法 |
JP7090249B2 (ja) | 2019-06-06 | 2022-06-24 | 国立大学法人 東京大学 | 静電型デバイスを製造する製造方法 |
WO2020246115A1 (ja) * | 2019-06-06 | 2020-12-10 | 国立大学法人 東京大学 | 静電型デバイスおよび静電型デバイス製造方法 |
US20220324697A1 (en) * | 2019-06-06 | 2022-10-13 | The University Of Tokyo | Electrostatic Device, Electrostatic Device Intermediate Body and Production Method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5237705B2 (ja) | 2013-07-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5237705B2 (ja) | 発電デバイス | |
US10033305B2 (en) | Energy harvesting device and method for forming the same | |
JP4767369B1 (ja) | 圧電発電素子および圧電発電素子を用いた発電方法 | |
EP2312740B1 (en) | Piezoelectric power generation device | |
JPWO2012153593A1 (ja) | 圧電発電装置 | |
US20130038175A1 (en) | Vibration power generation device | |
JPWO2018008480A1 (ja) | 共振子及び共振装置 | |
JP5351570B2 (ja) | センサデバイス | |
JP2007194913A (ja) | コンデンサマイクロホン及びその製造方法 | |
US20130175897A1 (en) | Disk resonator and electronic component | |
JP2008252847A (ja) | 静電型トランスデューサ | |
WO2011136312A1 (ja) | 振動発電デバイスおよびその製造方法 | |
JP2018033239A (ja) | 半導体装置 | |
JP6673479B2 (ja) | 圧電トランス | |
JP2019033631A (ja) | Mems振動素子、mems振動素子の製造方法および振動発電素子 | |
JP7400955B2 (ja) | 共振子および共振装置 | |
JP2008252854A (ja) | 静電型トランスデューサおよびその製造方法 | |
KR101789170B1 (ko) | 전자 기기용 압전 액추에이터 | |
JP2015076688A (ja) | 振動子、発振器、電子機器及び移動体 | |
JP2011024278A (ja) | 振動発電素子の製造方法および振動発電素子 | |
JPWO2020170937A1 (ja) | 振動装置及びその製造方法 | |
Honma et al. | Power Generation Demonstration of Electrostatic Vibrational Energy Harvester with Comb Electrodes and Suspensions Located in Upper and Lower Decks. | |
JP2008259062A (ja) | 静電型トランスデューサ | |
JP2020065438A (ja) | 発電デバイスの実装構造及び発電方法 | |
JP2015080013A (ja) | 振動子、発振器、電子機器及び移動体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100809 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110323 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20120112 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120919 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120925 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121126 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130305 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130329 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160405 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |