JP2008105162A - 機能素子 - Google Patents
機能素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008105162A JP2008105162A JP2006292598A JP2006292598A JP2008105162A JP 2008105162 A JP2008105162 A JP 2008105162A JP 2006292598 A JP2006292598 A JP 2006292598A JP 2006292598 A JP2006292598 A JP 2006292598A JP 2008105162 A JP2008105162 A JP 2008105162A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal film
- functional element
- glass substrate
- sealing
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 121
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 83
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 98
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 58
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 58
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 28
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 20
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims description 15
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 2
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 abstract description 19
- 238000005304 joining Methods 0.000 abstract description 5
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000003672 processing method Methods 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 83
- 239000011104 metalized film Substances 0.000 description 79
- 238000000034 method Methods 0.000 description 30
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 27
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 6
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 6
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 5
- 229910004349 Ti-Al Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910004692 Ti—Al Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- 229910015365 Au—Si Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- UAOUIVVJBYDFKD-XKCDOFEDSA-N (1R,9R,10S,11R,12R,15S,18S,21R)-10,11,21-trihydroxy-8,8-dimethyl-14-methylidene-4-(prop-2-enylamino)-20-oxa-5-thia-3-azahexacyclo[9.7.2.112,15.01,9.02,6.012,18]henicosa-2(6),3-dien-13-one Chemical compound C([C@@H]1[C@@H](O)[C@@]23C(C1=C)=O)C[C@H]2[C@]12C(N=C(NCC=C)S4)=C4CC(C)(C)[C@H]1[C@H](O)[C@]3(O)OC2 UAOUIVVJBYDFKD-XKCDOFEDSA-N 0.000 description 1
- TVTJUIAKQFIXCE-HUKYDQBMSA-N 2-amino-9-[(2R,3S,4S,5R)-4-fluoro-3-hydroxy-5-(hydroxymethyl)oxolan-2-yl]-7-prop-2-ynyl-1H-purine-6,8-dione Chemical compound NC=1NC(C=2N(C(N(C=2N=1)[C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H]1O)F)CO)=O)CC#C)=O TVTJUIAKQFIXCE-HUKYDQBMSA-N 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940125851 compound 27 Drugs 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/0802—Details
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
- B81C1/00261—Processes for packaging MEMS devices
- B81C1/00269—Bonding of solid lids or wafers to the substrate
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P1/00—Details of instruments
- G01P1/02—Housings
- G01P1/023—Housings for acceleration measuring devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/0897—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by thermal pick-up
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/105—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a cover cap mounted on an element forming part of the BAW device
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1057—Mounting in enclosures for microelectro-mechanical devices
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/171—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator implemented with thin-film techniques, i.e. of the film bulk acoustic resonator [FBAR] type
- H03H9/172—Means for mounting on a substrate, i.e. means constituting the material interface confining the waves to a volume
- H03H9/173—Air-gaps
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/02—Sensors
- B81B2201/0271—Resonators; ultrasonic resonators
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24273—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including aperture
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24273—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including aperture
- Y10T428/24322—Composite web or sheet
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24479—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including variation in thickness
- Y10T428/24612—Composite web or sheet
- Y10T428/2462—Composite web or sheet with partial filling of valleys on outer surface
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24802—Discontinuous or differential coating, impregnation or bond [e.g., artwork, printing, retouched photograph, etc.]
- Y10T428/24826—Spot bonds connect components
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
- Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
- Y10T428/264—Up to 3 mils
- Y10T428/265—1 mil or less
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
【解決手段】 Siを主体とする基板を加工法を用いて形成した機能素子と、この機能素子の外周に形成された封止メタライズ膜と、この封止メタライズ膜に陽極接合により接合されるガラス基板を備える。この封止メタライズ膜の表面部には、Alを主成分とするメタライズ膜上に、Sn、Tiのうち、少なくとも一つを主成分とするメタライズ膜、またはこれらを組み合わせたメタライズ膜が形成されている。
【選択図】 図1
Description
(1)第1の製造方法は、次の工程を有するものである。Siを主体とする基板上に、Alを主成分とするメタライズ膜を形成する工程と、連続してTiメタライズ膜を形成する工程を有し、更に表面部のTiメタライズ膜にガラス基板を陽極接合により接合する工程を有する。こうして、Tiを主成分とするメタライズ膜が形成される。その詳細な形態は、実施例において詳述する。
(2)第2の製造方法は、次の工程を有するものである。Siを主体とする基板上に、Alを主成分とするメタライズ膜を形成する工程と、連続してSnメタライズ膜を形成する工程があり、表面部のSn膜を溶融させながらガラス基板を陽極接合により接合する工程を有する。こうして、Snを主成分とするメタライズ膜が形成される。
(3)第3の製造方法は、次の工程を有するものである。Siを主体とする基板上に、Alを主成分とするメタライズ膜を形成する工程と、連続してTi及びAuメタライズ膜を形成する工程があり、これに続いてSnメタライズ膜をAuメタライズ膜上に形成する工程を有し、SnとAuの合金を溶融させながらガラス基板を陽極接合により接合する工程を有する。こうして、Ti、Al、Snのうち、少なくとも一つを主成分とする化合物が形成されている。その具体的な形態は、実施例において詳述する。
本発明の第一の実施例について図1〜図7を用いて説明する。図1は、機能素子のウエハレベルでのパッケージングの概要を示す斜視図、図2は、同様のウエハレベルでのパッケージングの概要を示す斜視図であるが、ダイシングのラインを例示している。即ち、図1のSi基板1上には、機能素子2が形成され、その外周に封止用のメタライズ膜3が形成されている。この封用のメタライズ膜3にガラス基板4を陽極接合により接合する。陽極接合後に、図2に例示するように、封止用のメタライズ膜の間に示されたダイシングライン30に沿って切断され、各機能素子2に分割される。図2には、例として1列のダイシングラインを記載した。各機能素子間でダイシングされることはいうまでもない。製造されるデバイスにより異なるが、Si基板1は、単結晶のSiウェハの場合もあるし、SOIウェハの場合もあり、いずれの場合もSiを主体とした基材となる。本願明細書では、こうした諸形態を含めてSiを主体とした基材と称する。
本発明の第2の実施例について図8と図9を用いて説明する。本実施例は、第1の実施例における封止用メタライズ膜3の部分を置き換えたもので、他の構造、プロセスは第1の実施例と同様である。
本発明の第3の実施例について図10を用いて説明する。本例は、機能素子の外部電極をガラス基板の貫通孔から取り出す形態の例である。図10の素子の断面図に見られるように、ガラス基板4に予め貫通穴101を形成しておく。一方、Si基板1側には、AlN圧電膜9につながる配線および電極8上に、封止用メタライズ膜3−1及び3−2を前記ガラス基板4に予め貫通穴101に対応する位置及びその外側の二箇所に形成する。そして、貫通穴101の周囲のガラスと封止メタライズ膜3を陽極接合により接合する。Si基板1に貫通電極を形成せずとも、貫通穴101を経由して、外部電極と接続することができるので、更に、低コスト化に有利である。
本発明の第4の実施例について、図11を用いて説明する。図11はピエゾ素子を用いた装置の断面図である。特許文献1において、加速度センサの気密封止構造が述べられている。特許文献1の図7では、加速度センサの上下に蓋となる基板を接着剤において接合した図が、従来技術として述べられている。又、この中において、Siと熱膨張率がほぼ等しいガラス基板を用いて、陽極接合によりガラス基板を、機能素子を形成した基板に接合し、気密封止を行う方法についても述べられている。しかし、この文献の中において、気密封止を行いつつ、電極を取り出す構造については、詳細には述べられていない。
Claims (7)
- 機能素子部と、前記機能素子部を囲む第1の封止用金属膜と、少なくとも表面がSiである基板と、及びガラス基板とを、少なくとも有し、
前記機能素子部及び前記第1の封止用金属膜は、前記少なくとも表面がSiである基板上に形成され、且つ
前記機能素子部が前記ガラス基板と対向した状態で、前記少なくとも表面がSiである基板と前記ガラス基板とが、前記第1の封止用金属膜を介して陽極接合により接合された機能素子であって、
前記第1の封止用金属膜と前記ガラス基板との陽極接合時の反応生成物層が、当該陽極接合後の前記第1の封止用金属膜と前記ガラス基板の界面に形成されていることを特徴とする機能素子。 - 前記第1の封止用金属膜は、少なくとも、Alを主成分とする金属膜及び、Alを主成分とする金属膜とTi膜との積層体と前記ガラス基板との陽極接合時の反応生成物層とを有することを特徴とする請求項1に記載の機能素子。
- 前記第1の封止用金属膜は、少なくとも、Alを主成分とする金属膜及び、Alを主成分とする金属膜とSn膜との積層体と前記ガラス基板との陽極接合時の反応生成物層とを有することを特徴とする請求項1に記載の機能素子。
- 前記第1の封止用金属膜は、少なくとも、Alを主成分とする金属膜及び、Alを主成分とする金属膜とTi層、Au層及びSn膜との積層体と前記ガラス基板との陽極接合時の反応生成物層とを有することを特徴とする請求項1に記載の機能素子。
- 前記少なくとも表面がSiである基板に、前記第1の封止用金属膜に対する接着層が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の機能素子。
- 前記Alを主成分とする金属膜の結晶粒界の陥没部と前記ガラス基板との間隙部分が、Ti、Al、Sn、Auのうちの少なくとも一つを主成分とする化合物で充填されていることを特徴とする請求項1に記載の機能素子。
- 前記ガラス基板は、前記機能素子を囲む第1の封止用金属膜の内側に、貫通孔を有し、
前記少なくとも表面がSiである基板上に、配線用金属膜が更に形成され、当該配線用金属膜は前記機能素子に電気的に接続され、前記配線用金属膜に接して第2の封止用金属膜が更に形成され、
前記第2の封止用金属膜の、基板に対する平面的な位置が、前記ガラス基板の貫通孔の位置に対応しており、
前記機能素子部が前記ガラス基板と対向した状態で、前記少なくとも表面がSiである基板と前記ガラス基板とが、前記第2の封止用金属膜を介しても陽極接合により接合され、且つ
前記第1及び第2の封止用金属膜及び前記ガラス基板による陽極接合時の反応生成物層が、当該陽極接合後の前記第1及び第2の封止用金属膜と前記ガラス基板の界面に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の機能素子。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006292598A JP4495711B2 (ja) | 2006-10-27 | 2006-10-27 | 機能素子及びその製造方法 |
TW096139338A TW200836325A (en) | 2006-10-27 | 2007-10-19 | Functional element |
DE102007050865A DE102007050865A1 (de) | 2006-10-27 | 2007-10-24 | Funktionsbauteil |
KR1020070108180A KR20080038053A (ko) | 2006-10-27 | 2007-10-26 | 기능 소자 |
US11/924,924 US8003193B2 (en) | 2006-10-27 | 2007-10-26 | Functional device |
CNA2007101675748A CN101168437A (zh) | 2006-10-27 | 2007-10-26 | 功能元件 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006292598A JP4495711B2 (ja) | 2006-10-27 | 2006-10-27 | 機能素子及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008105162A true JP2008105162A (ja) | 2008-05-08 |
JP4495711B2 JP4495711B2 (ja) | 2010-07-07 |
Family
ID=39265143
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006292598A Expired - Fee Related JP4495711B2 (ja) | 2006-10-27 | 2006-10-27 | 機能素子及びその製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8003193B2 (ja) |
JP (1) | JP4495711B2 (ja) |
KR (1) | KR20080038053A (ja) |
CN (1) | CN101168437A (ja) |
DE (1) | DE102007050865A1 (ja) |
TW (1) | TW200836325A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010223599A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-10-07 | Murata Mfg Co Ltd | 機能素子 |
JP2011124399A (ja) * | 2009-12-11 | 2011-06-23 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 半導体センサおよびその製造方法 |
JP2013059855A (ja) * | 2011-08-22 | 2013-04-04 | Panasonic Corp | Mems素子およびそれを用いた電気機器 |
US20140106095A1 (en) * | 2011-06-08 | 2014-04-17 | Debiotech S.A. | Anodic bonding for a mems device |
JP5902305B2 (ja) * | 2012-09-12 | 2016-04-13 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JP2016064955A (ja) * | 2014-09-25 | 2016-04-28 | 日本電気硝子株式会社 | ガラスセル、及び液晶素子、並びに陽極接合方法 |
WO2019159410A1 (ja) * | 2018-02-14 | 2019-08-22 | 株式会社村田製作所 | 共振装置及び共振装置製造方法 |
WO2020246116A1 (ja) * | 2019-06-06 | 2020-12-10 | 国立大学法人 東京大学 | 静電型デバイス、静電型デバイス中間体および製造方法 |
WO2020246115A1 (ja) * | 2019-06-06 | 2020-12-10 | 国立大学法人 東京大学 | 静電型デバイスおよび静電型デバイス製造方法 |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8021961B2 (en) * | 2008-05-13 | 2011-09-20 | Integrated Sensing Systems, Inc. | Process of fabricating microfluidic device chips and chips formed thereby |
DE102008041254B4 (de) | 2008-08-14 | 2022-10-27 | Robert Bosch Gmbh | Beschleunigungssensor und Verfahren zur Herstellung eines Beschleunigungssensors |
EP2567401A4 (en) * | 2010-05-03 | 2013-12-25 | S3C Inc | METHOD FOR MINIMIZING SCALING DURING THE SEPARATION OF MEMS DEN ON A WAFER |
KR101471386B1 (ko) * | 2012-12-21 | 2014-12-11 | 포항공과대학교 산학협력단 | 기판 레벨 패키지 및 그 제조방법 |
CN103413795B (zh) * | 2013-08-28 | 2016-12-28 | 天津大学 | 半导体器件的封装结构和半导体器件的封装工艺流程 |
US9315375B2 (en) * | 2013-12-27 | 2016-04-19 | Innovative Micro Technology | Method using glass substrate anodic bonding |
KR20170069806A (ko) | 2015-12-11 | 2017-06-21 | 현대자동차주식회사 | 멤스센서의 제조방법 |
US9558790B1 (en) | 2016-03-24 | 2017-01-31 | HGST Netherlands B.V. | Hermetic sealing with high-speed transmission for hard disk drive |
CN108667437B (zh) * | 2018-04-19 | 2022-04-26 | 中芯集成电路(宁波)有限公司 | 一种薄膜体声波谐振器及其制造方法和电子装置 |
CN110627013A (zh) * | 2018-06-22 | 2019-12-31 | 日月光半导体制造股份有限公司 | 电气装置及其制造方法 |
DE102018216971A1 (de) | 2018-10-04 | 2020-04-09 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Herstellen einer Wafer-Verbindung |
CN109470367B (zh) * | 2018-11-12 | 2020-06-26 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种基于fbar的宽波段非制冷红外探测器的制备方法 |
DE102019111799A1 (de) * | 2019-05-07 | 2020-11-12 | RF360 Europe GmbH | Verfahren zur Herstellung eines elektroakustischen Resonators und elektroakustischer Resonator |
AT523652B1 (de) * | 2020-02-28 | 2021-10-15 | Lkr Leichtmetallkompetenzzentrum Ranshofen Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines mehrlagigen Funktionsbauteiles sowie Funktionsbauteil |
FR3125810A1 (fr) * | 2021-11-03 | 2023-02-03 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Procede de realisation de cavite au sein d’un empilement de materiaux |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06343017A (ja) * | 1993-04-09 | 1994-12-13 | Citizen Watch Co Ltd | 圧電振動子およびその製造方法 |
JP2004248243A (ja) * | 2002-12-19 | 2004-09-02 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品およびその製造方法 |
JP2004262698A (ja) * | 2003-02-28 | 2004-09-24 | Hitachi Ltd | 陽極接合方法および電子装置 |
JP2005055790A (ja) * | 2003-08-07 | 2005-03-03 | Seiko Epson Corp | 波長可変光フィルタ及びその製造方法 |
JP2005309174A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Seiko Epson Corp | 波長可変フィルタ及びその製造方法 |
WO2006104265A1 (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-05 | Seiko Epson Corporation | 圧電振動子及びその製造方法 |
-
2006
- 2006-10-27 JP JP2006292598A patent/JP4495711B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-10-19 TW TW096139338A patent/TW200836325A/zh unknown
- 2007-10-24 DE DE102007050865A patent/DE102007050865A1/de not_active Withdrawn
- 2007-10-26 KR KR1020070108180A patent/KR20080038053A/ko not_active Application Discontinuation
- 2007-10-26 US US11/924,924 patent/US8003193B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-10-26 CN CNA2007101675748A patent/CN101168437A/zh active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06343017A (ja) * | 1993-04-09 | 1994-12-13 | Citizen Watch Co Ltd | 圧電振動子およびその製造方法 |
JP2004248243A (ja) * | 2002-12-19 | 2004-09-02 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品およびその製造方法 |
JP2004262698A (ja) * | 2003-02-28 | 2004-09-24 | Hitachi Ltd | 陽極接合方法および電子装置 |
JP2005055790A (ja) * | 2003-08-07 | 2005-03-03 | Seiko Epson Corp | 波長可変光フィルタ及びその製造方法 |
JP2005309174A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Seiko Epson Corp | 波長可変フィルタ及びその製造方法 |
WO2006104265A1 (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-05 | Seiko Epson Corporation | 圧電振動子及びその製造方法 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010223599A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-10-07 | Murata Mfg Co Ltd | 機能素子 |
JP2011124399A (ja) * | 2009-12-11 | 2011-06-23 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 半導体センサおよびその製造方法 |
US20140106095A1 (en) * | 2011-06-08 | 2014-04-17 | Debiotech S.A. | Anodic bonding for a mems device |
JP2013059855A (ja) * | 2011-08-22 | 2013-04-04 | Panasonic Corp | Mems素子およびそれを用いた電気機器 |
JP5902305B2 (ja) * | 2012-09-12 | 2016-04-13 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JP2016064955A (ja) * | 2014-09-25 | 2016-04-28 | 日本電気硝子株式会社 | ガラスセル、及び液晶素子、並びに陽極接合方法 |
WO2019159410A1 (ja) * | 2018-02-14 | 2019-08-22 | 株式会社村田製作所 | 共振装置及び共振装置製造方法 |
JPWO2019159410A1 (ja) * | 2018-02-14 | 2021-01-14 | 株式会社村田製作所 | 共振装置及び共振装置製造方法 |
US11757425B2 (en) | 2018-02-14 | 2023-09-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Resonance device and method for producing resonance device |
WO2020246116A1 (ja) * | 2019-06-06 | 2020-12-10 | 国立大学法人 東京大学 | 静電型デバイス、静電型デバイス中間体および製造方法 |
WO2020246115A1 (ja) * | 2019-06-06 | 2020-12-10 | 国立大学法人 東京大学 | 静電型デバイスおよび静電型デバイス製造方法 |
JP2020202613A (ja) * | 2019-06-06 | 2020-12-17 | 国立大学法人 東京大学 | 静電型デバイスおよび静電型デバイス製造方法 |
JP2020202614A (ja) * | 2019-06-06 | 2020-12-17 | 国立大学法人 東京大学 | 静電型デバイス、静電型デバイス中間体および製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20080038053A (ko) | 2008-05-02 |
CN101168437A (zh) | 2008-04-30 |
JP4495711B2 (ja) | 2010-07-07 |
US20080233349A1 (en) | 2008-09-25 |
DE102007050865A1 (de) | 2008-05-08 |
US8003193B2 (en) | 2011-08-23 |
TW200836325A (en) | 2008-09-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4495711B2 (ja) | 機能素子及びその製造方法 | |
KR100943370B1 (ko) | 기능 소자 패키지 | |
KR100907514B1 (ko) | 센서 장치, 센서 시스템 및 그것의 제조 방법 | |
JP4588753B2 (ja) | 電子素子パッケージの製造方法および電子素子パッケージ | |
JP4809410B2 (ja) | 圧電デバイスとその製造方法 | |
JP6247006B2 (ja) | 電子デバイス、発振器及び電子デバイスの製造方法 | |
JP5538974B2 (ja) | 電子デバイスパッケージの製造方法及び電子デバイスパッケージ | |
JP4513513B2 (ja) | 電子部品の製造方法 | |
WO2010016487A1 (ja) | 圧電振動デバイスの封止部材、及びその製造方法 | |
WO2017047663A1 (ja) | Memsデバイス、及びその製造方法 | |
JP5275155B2 (ja) | 電子デバイスの製造方法 | |
JP3887137B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
EP2363374A2 (en) | Manufacturing Method of MEMS Package, and Oscillator | |
WO2010005061A1 (ja) | 機能デバイス及びその製造方法 | |
JP2013055632A (ja) | 気密封止パッケージ及びこの気密封止パッケージの製造方法 | |
TWI538268B (zh) | 用來連接一第一電子元件及一第二元件之方法 | |
JP2008288497A (ja) | 微小電気機械装置 | |
JP5227834B2 (ja) | 機能素子パッケージの製造方法 | |
JP2006186357A (ja) | センサ装置及びその製造方法 | |
JP2010165731A (ja) | 機能素子パッケージ | |
JP2012049298A (ja) | 多孔質金属を電気的接続に用いたデバイス、及び配線接続方法 | |
JP2007335468A (ja) | 中空封止素子およびその製造方法 | |
JP2007329156A (ja) | 半導体装置およびその製造方法、並びに電子部品 | |
JP2001110922A (ja) | 電子部品用パッケージ | |
JP2013026919A (ja) | 電子デバイスパッケージの製造方法、電子デバイスパッケージ及び発振器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080715 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080902 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081104 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090714 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090911 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100323 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100409 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130416 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130416 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140416 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |