WO2018225766A1 - 転がり軸受及び転がり軸受の製造方法 - Google Patents

転がり軸受及び転がり軸受の製造方法 Download PDF

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Definitions

  • An aspect of the present invention relates to a rolling bearing and a manufacturing method thereof.
  • Rolling bearings are used in a variety of equipment, but as rolling bearings in which a coating layer made of a solid lubricant film is formed on race rings (inner and outer rings), for example, there is a touchdown bearing used in a turbo molecular pump (for example, see Patent Document 1).
  • the touchdown bearing is provided together with the magnetic bearing, and while the rotating shaft normally rotates, the rotating shaft is supported by the magnetic bearing, and the touchdown bearing is not in contact with the rotating shaft.
  • the magnetic bearing becomes uncontrollable, for example, the rotating shaft comes into contact with the raceway of the touchdown bearing (touched down) and is supported until the rotation stops to protect the magnetic bearing and the rotating shaft.
  • the lubricity of the rolling bearing is ensured by forming a coating layer with a solid lubricating film on the surface of the raceway, particularly on the raceway surface on which the rolling elements make rolling contact. .
  • an aspect of the present invention aims to provide a rolling bearing capable of enhancing the adhesion of the coating layer by new technical means and further having the basic performance of a rolling bearing, and a method for manufacturing the rolling bearing. To do.
  • the inventor of the present invention makes the surface of the raceway (inner ring, outer ring) a super-finished surface by roughening the surface roughness to some extent (making it a micro-mirror surface), so that the coating layer made of a solid lubricant film is formed. It was found that the adhesion can be increased, and the embodiment of the present invention was completed based on this finding. That is, the rolling bearing according to one aspect of the present invention includes an inner ring, an outer ring, and a plurality of rolling elements interposed between the inner ring and the outer ring, and the inner ring and the outer ring are made of stainless steel. Each of the inner ring and the outer ring has a raceway surface on which the rolling elements are in rolling contact with each other, and is a superfinished surface, and a coating layer made of a solid lubricating film is formed on the superfinished surface.
  • the adhesion of the coating layer on the raceway surface is high, and the life of the rolling bearing can be extended.
  • the raceway surface is a superfinished surface even if its surface roughness is somewhat rough, it is possible to suppress problems such as the occurrence of vibration during rotation, and to achieve basic performance as a rolling bearing. Can have.
  • the raceway surface is a blast surface (finished surface) and a coating layer of a solid lubricating film is formed on the blast surface.
  • the rolling bearing an aspect of the present invention
  • the reason why the adhesion of the coating layer is high is that the surface state of the superfinished surface (microscopic surface) is compatible with the solid lubricating film in the same manner as the blast surface or better than the blast surface. Presumed.
  • a contact surface that is a surface other than the raceway surface and contacts with another member is a blast surface, and a coating layer made of a solid lubricant film is formed on the blast surface.
  • a coating layer made of a solid lubricant film is formed on the blast surface.
  • the coating layer may be formed of a molybdenum disulfide film or a tungsten disulfide film, and thereby, the lubricity of the rolling bearing can be ensured even under a vacuum where grease or oil cannot be used.
  • the surface roughness Ra of the superfinished surface is preferably 0.1 or more and 0.8 or less.
  • the raceway surface is a superfinished surface, but the surface roughness is relatively rough, so that the adhesion of the coating layer is increased.
  • the finishing process for the raceway surface may be a rough superfinishing process.
  • the superfinishing process for mirror finishing required for the raceway surface of a rolling bearing used in a machine tool or the like is not required, and the processing cost is reduced. Can do.
  • the rolling bearing is a touch-down bearing used for a turbo molecular pump.
  • Another aspect of the present invention is a method of manufacturing a rolling bearing including an inner ring, an outer ring, and a plurality of rolling elements interposed between the inner ring and the outer ring, and is an annular stainless steel
  • An intermediate product that becomes the inner ring or the outer ring is obtained by turning from a raw material, a processing step for processing the intermediate product, and the inner ring and the outer ring manufactured after the processing step are combined with the rolling elements.
  • the adhesion of the coating layer by the solid lubricating film is high, and the life can be extended.
  • the rolling bearing as described above can be manufactured.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating an example of a turbo molecular pump including a rolling bearing according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a sectional view of the rolling bearing.
  • FIG. 3 is a flowchart showing a method for manufacturing a rolling bearing.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a turbo-molecular pump provided with a rolling bearing according to an embodiment of the present invention.
  • the turbo molecular pump 10 includes a pump housing 11, a rotor blade 12 provided in the pump housing 11, a rotating shaft (rotor shaft) 13 that rotates integrally with the rotor blade 12, an axial magnetic bearing 14, First and second radial magnetic bearings 15, 16, a first rolling bearing 17, and a second rolling bearing 18 are provided.
  • Each of the first and second radial magnetic bearings 15 and 16 can support the rotary shaft 13 from the radial direction in a non-contact state.
  • a flange 19 is provided at the end (lower end in FIG. 1) of the rotary shaft 13, and the axial magnetic bearing 14 has a pair of electromagnets 14 a and 14 b, and these electromagnets 14 a and 14 b pivot on the flange 19. It is configured to be sandwiched from the direction. Thereby, the axial magnetic bearing 14 can support the rotating shaft 13 in the axial direction in a non-contact state with the flange 19 (the rotating shaft 13).
  • the first rolling bearing 17 is provided on one side of the rotating shaft 13 in the axial direction (upper side in FIG. 1).
  • the first rolling bearing 17 is a deep groove ball bearing including an inner ring 21, an outer ring 22, and a plurality of balls (rolling elements) 23, and can support the radial load of the rotating shaft 13.
  • a gap in the radial direction is provided between the inner ring 21 and the rotary shaft 13, and this gap is smaller than the gap in the radial direction with respect to the rotary shaft 13 of the radial magnetic bearing 15 (16).
  • the outer ring 22 is attached to a part of the pump housing 11.
  • the second rolling bearing 18 is provided on the other axial side of the rotating shaft 13 (lower side in FIG. 1).
  • the second rolling bearing 18 is a combination angular contact ball bearing including an inner ring 31, an outer ring 32, and a plurality of balls (rolling elements) 33, and can support the radial load and the axial load of the rotating shaft 13.
  • a gap in the radial direction is provided between the inner ring 31 and the rotary shaft 13, and this gap is smaller than the gap in the radial direction with respect to the rotary shaft 13 of the radial magnetic bearing 15 (16).
  • the outer ring 32 is attached to a part of the pump housing 11.
  • the rotary shaft 13 is rotatably supported by the axial magnetic bearing 14 and the radial magnetic bearings 15 and 16.
  • the rotating shaft 13 contacts (touches down) the inner rings 21, 31 of the first and second rolling bearings 17, 18, and the rotating rotating shaft 13 rotates. And supported by second rolling bearings 17 and 18.
  • the first and second rolling bearings 17 and 18 function as touchdown bearings for the turbo molecular pump 10.
  • FIG. 2 is a sectional view of the second rolling bearing 18.
  • the second rolling bearing 18 is a combined angular ball bearing, and is configured by combining two angular ball bearings 29 and 30.
  • One angular ball bearing 30 and the other angular ball bearing 29 are the same.
  • one angular ball bearing 30 hereinafter simply referred to as the bearing 30
  • the first rolling bearing 17 has a contact angle of the ball 23 with respect to the inner ring 21 and the outer ring 22, and accordingly the raceway surfaces of the bearing rings (the inner ring 21 and the outer ring 22) have a deep groove shape.
  • it is different from the bearing 30 in a certain point it has the same configuration other than that, and is manufactured by the same manufacturing method as the bearing 30. For this reason, description of the details of the first rolling bearing 17 is omitted.
  • the bearing 30 includes an inner ring 31, an outer ring 32, and a plurality of balls 33 (rolling elements) interposed between the inner ring 31 and the outer ring 32 as described above.
  • An inner ring raceway surface 34 is formed on the outer peripheral surface of the inner ring 31, and an outer ring raceway surface 35 is formed on the inner peripheral surface of the outer ring 32.
  • the inner ring 31 and the outer ring 32 are made of stainless steel (for example, SUS440C).
  • the balls 33 may be made of stainless steel or silicon nitride.
  • the inner ring raceway surface 34 is a superfinished surface, and a coating layer 36 made of a solid lubricating film is formed on the superfinished surface.
  • the outer ring raceway surface 35 is a superfinished surface, and a coating layer 37 made of a solid lubricant film is formed on the superfinished surface.
  • the coating layers 36 and 37 of this embodiment are the same, and are constituted by a molybdenum disulfide film. A tungsten disulfide film may be used instead of the molybdenum disulfide film.
  • the inner ring raceway surface 34 is a superfinished surface, but the surface roughness is roughened to some extent, and the inner ring raceway surface 34 is a micromirror surface (micromirror surface finish surface).
  • the outer ring raceway surface 35 is a superfinished surface, the surface roughness is roughened to some extent, and the outer ring raceway surface 35 is a fine mirror surface (micromirror surface finish surface).
  • the surface roughness (centerline average roughness) Ra of the superfinished surface of each of the inner ring raceway surface 34 and the outer ring raceway surface 35 is preferably 0.1 or more and 0.8 or less. More preferably, the upper limit of the surface roughness Ra is 0.6 and the lower limit is 0.2. If the surface roughness Ra is less than the lower limit, the degree of adhesion of the coating layers 36 and 37 by the solid lubricant film may be slightly reduced. Further, if the surface roughness Ra exceeds the above upper limit value, the vibration when the ball 33 is in rolling contact may be slightly increased.
  • a contact surface other than the inner ring raceway surface 34 and in contact with other members is a blast surface, and a coating layer 36 made of a solid lubricating film on the blast surface (same as the case of the inner ring raceway surface 34). Is formed.
  • the bearing 30 functions as a touch-down bearing, the inner peripheral surface 38 and the axial side surface 39 of the inner ring 31 may come into contact (sliding contact) with the rotating shaft 13 (see FIG. 1).
  • 38 and the side surface 39 are the aforementioned “contact surfaces that come into contact with other members”, and the inner peripheral surface 38 and the side surface 39 are subjected to blasting (shot blasting) and coated with a solid lubricant.
  • the surface other than the inner ring raceway surface 34 and other than the contact surfaces is also a blast surface, and is on the blast surface.
  • a coating layer 36 is formed by a solid lubricating film. That is, the coating layer 36 is formed on the entire surface of the inner ring 31.
  • the pretreatment for coating the solid lubricant film differs between the inner ring raceway surface 34 and other surfaces.
  • the inner ring raceway surface 34 is superfinished, whereas the other surfaces are blasted. is there.
  • surfaces other than the outer ring raceway surface 35 are blast surfaces, and a coating layer 37 made of a solid lubricant film is formed on this blast surface (same as the case of the outer ring raceway surface 35). That is, the coating layer 37 is formed on the entire surface of the outer ring 32.
  • the pretreatment for coating the solid lubricant film differs between the outer ring raceway surface 35 and other surfaces.
  • the outer ring raceway surface 35 is superfinished, while the other surfaces are blasted. is there.
  • FIG. 3 is a flowchart showing the manufacturing method.
  • This manufacturing method includes a processing step S1 and an assembly step S2.
  • the processing step S1 intermediate products that become the inner ring 31 or the outer ring 32 are obtained by turning from an annular stainless steel material, and each intermediate product is processed.
  • the assembly step S ⁇ b> 2 the inner ring 31 and the outer ring 32 manufactured after finishing the processing step S ⁇ b> 1 are assembled together with the balls 33.
  • the machining step S1 includes a polishing step S11, a superfinishing step S12, and a coating step S14 in addition to the step S10 for producing the intermediate product by turning. Further, the processing step S1 of the present embodiment includes a blasting step S13.
  • the outer peripheral surface, the inner peripheral surface, and both axial end surfaces of the annular stainless steel material are turned into predetermined shapes, and the inner ring raceway surface 34 is formed. (Refer to FIG. 2) Or a groove shape is formed by turning in a region to be the outer ring raceway surface 35.
  • the polishing step S11 the surface of the intermediate product is polished. In the present embodiment, polishing is performed on the entire surface of the intermediate product.
  • the intermediate product (inner ring intermediate product) that becomes the inner ring 31 after the polishing process is subjected to superfinishing on the surface that becomes the inner ring raceway surface 34, and the intermediate product that becomes the outer ring 32 In the product (outer ring intermediate product), super finishing is performed on the surface to be the outer ring raceway surface 35.
  • the superfinishing process performed on each of the inner ring raceway surface 34 and the outer ring raceway surface 35 is not a mirror finish, but a fine mirror finish process, and the surface roughness of the finish surface is processed to a certain degree.
  • the surface roughness Ra of the superfinished surfaces is 0.1 or more and 0.8 or less.
  • Surfaces other than the surface that becomes the inner ring raceway surface 34 in the inner ring intermediate product and surfaces other than the surface that becomes the outer ring raceway surface 35 in the outer ring intermediate product are not superfinished, and the surface polished by the polishing process (polishing step S11). It remains.
  • the blasting process is performed on all surfaces except the inner ring raceway surface 34 in the surface of the inner ring intermediate product after the polishing process, and the polishing process is performed.
  • Blasting is performed on all surfaces of the finished outer ring intermediate product except for the outer ring raceway surface 35.
  • the surface roughness Ra of the blasted surface is, for example, 0.1 or more and 1.0 or less.
  • a coating layer made of a solid lubricating film is formed on the superfinished surface (which becomes the inner ring raceway surface 34 or the outer ring raceway surface 35). Further, in the coating step S14 of the present embodiment, a coating layer made of a solid lubricating film is also formed on the surface subjected to the blasting process in the blasting step 13. That is, in the inner ring intermediate product, the coating on the other surface (blast surface) is performed in accordance with the coating on the inner ring raceway surface 34. Then, in the outer ring intermediate product, coating is performed on the other surface (blast surface) in accordance with the coating on the outer ring raceway surface 35. In this embodiment, coating with molybdenum disulfide is performed, and the specific direction is according to a conventionally performed method.
  • an assembly step S2 is performed.
  • balls 33 are interposed between the inner ring 31 and the outer ring 32 by a conventional method.
  • the bearing 30 is completed.
  • the inner ring 31 and the outer ring 32 are made of stainless steel, and the inner ring raceway surface 34 and the outer ring raceway surface 35 with which the balls 33 are in rolling contact are superfinished surfaces. And it becomes a rolling bearing by which the coating layers 36 and 37 by the solid lubricating film were formed on this superfinished surface.
  • the surface roughness is increased to a certain extent (a micro mirror surface), whereby a coating layer 36 made of a solid lubricant film,
  • the adhesion force of 37 is increased. That is, the superfinished surface of the present embodiment does not need to be a mirror-finished surface, and may be a fine mirror surface, which increases the adhesion between the coating layers 36 and 37.
  • the repetition performance (life) of the turbo molecular pump 10 as a touch-down bearing can be extended, and the overhaul cycle of the turbo molecular pump 10 can be lengthened.
  • the inner ring raceway surface 34 and the outer ring raceway surface 35 are superfinished surfaces (micromirror surfaces) even if the surface roughness is somewhat rough. It is possible to suppress such problems as, for example, and to have basic performance as a rolling bearing.
  • the reason why the adhesion of the coating layers 36 and 37 is increased is that the surface states of the inner ring raceway surface 34 and the outer ring raceway surface 35 that are superfinished surfaces (micromirror surfaces) are the same as the blast surface. This is presumably because the compatibility with the solid lubricating film is better than that of the blast surface.
  • blasting is performed on the surfaces of the inner ring intermediate product and the outer ring intermediate product, which have been polished, except for the raceway surfaces (34, 35).
  • a coating layer (36, 37) made of a solid lubricating film is formed on the surface. For this reason, it is possible to enhance the adhesion of the coating layers (36, 37) on surfaces other than the raceway surfaces (34, 35).
  • the finishing process for each of the inner ring raceway surface 34 and the outer ring raceway surface 35 may be a rough superfinishing process.
  • the superfinishing process for the mirror surface finishing required for the raceway surface of a rolling bearing used in a machine tool or the like is unnecessary.
  • the processing cost can be reduced.
  • a polishing material such as a grindstone having a coarser grain than that in the case of mirror finish may be used.
  • the bearing 30 of the present embodiment is suitable as a touch-down bearing for the turbo molecular pump 10.
  • the rolling bearing of the present invention is not limited to the illustrated form, but may be of another form within the scope of the present invention.
  • the bearing 30 of the embodiment is a touch-down bearing used for the turbo molecular pump 10 (see FIG. 1), but can be used for other purposes.
  • a rolling element was a ball
  • a rolling element may be a roller
  • a rolling bearing may be a roller bearing.
  • turbo molecular pump 31 inner ring 32: outer ring 33: ball (rolling element) 34: inner ring raceway surface 35: outer ring raceway surface 36: coating layer 37: coating layer 38: inner circumferential surface 39: side surface

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Abstract

転がり軸受（３０）は、内輪（３１）と、外輪（３２）と、内輪（３１）と外輪（３２）との間に介在する複数の玉（３３）と、を備えている。内輪（３１）及び外輪（３２）はステンレス鋼製である。内輪（３１）及び外輪（３２）それぞれが有し玉（３３）が転がり接触する軌道面（３４、３５）は、超仕上げ加工面であって、この超仕上げ加工面上に固体潤滑皮膜によるコーティング層（３６、３７）が形成されている。

Description

転がり軸受及び転がり軸受の製造方法
　本発明の態様は、転がり軸受及びその製造方法に関する。
　転がり軸受は様々な機器に用いられているが、軌道輪（内輪、外輪）に固体潤滑皮膜によるコーティング層が形成されている転がり軸受として、例えば、ターボ分子ポンプに用いられるタッチダウン軸受がある（例えば、特許文献１参照）。
　タッチダウン軸受は磁気軸受と共に設けられており、回転軸が通常回転する間は、その回転軸は磁気軸受によって支持されており、タッチダウン軸受は回転軸に接触しない状態にある。これに対して、例えば磁気軸受が制御不能になると、回転軸はタッチダウン軸受の軌道輪に接触して（タッチダウンして）回転が止まるまで支持され、磁気軸受及び回転軸を保護する。
　ターボ分子ポンプのタッチダウン軸受のように、真空下で使用される場合、潤滑剤としてグリースやオイルを用いることができないため、固体潤滑剤が用いられる。また、軌道輪においても防錆油を使用することができないことから、軌道輪にはステンレス鋼が用いられることが多い。
日本国特開２００９－２４８４６号公報
　軌道輪の表面に固体潤滑皮膜によるコーティングを施す場合、その密着性を高めることが望ましいが、軌道輪がステンレス鋼であると、コーティングの前処理としてリン酸塩処理を施すことができない。そこで、従来では、軌道輪に対して、前処理としてショットブラストを行っている。このようにして、軌道輪の表面、特に転動体が転がり接触する軌道面に対して、固体潤滑皮膜によるコーティング層を形成することで、転がり軸受（タッチダウン軸受）の潤滑性を確保している。
　ターボ分子ポンプに用いられるタッチダウン軸受を代表として、様々な転がり軸受においても、繰り返し寿命を向上させるのが好ましく、そのために固体潤滑皮膜によるコーティング層の密着力を向上させるための研究が進められている。
　そこで、本発明の態様は、新たな技術的手段によってコーティング層の密着力を高め、更に、転がり軸受の基本的な性能を有することができる転がり軸受、及びその製造方法を提供することを目的とする。
　本発明の発明者は、軌道輪（内輪、外輪）が有する軌道面を超仕上げ加工面としても、その表面粗さをある程度粗くする（微鏡面とする）ことにより、固体潤滑皮膜によるコーティング層の密着力を高くすることができることを見出し、かかる知見に基づいて本発明の態様を完成させた。
　すなわち、本発明の一つの態様の転がり軸受は、内輪と、外輪と、前記内輪と前記外輪との間に介在する複数の転動体と、を備え、前記内輪及び前記外輪はステンレス鋼製であり、前記内輪及び前記外輪それぞれが有し前記転動体が転がり接触する軌道面は、超仕上げ加工面であって、当該超仕上げ加工面上に固体潤滑皮膜によるコーティング層が形成されている。
　この転がり軸受によれば、軌道面においてコーティング層の密着力が高く、転がり軸受の寿命を延ばすことができる。また、軌道面は、その表面粗さがある程度粗くても超仕上げ加工面であることから、回転時における振動の発生等の不具合を抑制することが可能となり、転がり軸受としての基本的な性能を有することができる。
　なお、前記転がり軸受とは異なり、軌道面がブラスト面（梨地面）であって、このブラスト面上に固体潤滑皮膜によるコーティング層が形成される例もあるが、前記転がり軸受（本発明の態様）の場合においてコーティング層の密着力が高くなる理由は、超仕上げ加工面（微鏡面）の表面状態が、ブラスト面と同様に又はブラスト面よりも、固体潤滑皮膜と相性がよいためであると推定される。
　また、前記内輪及び前記外輪において、前記軌道面以外の面であって他部材と接触する接触面はブラスト面であって、当該ブラスト面上に固体潤滑皮膜によるコーティング層が形成されているのが好ましい。この構成によれば、軌道面以外の面においても、コーティング層の密着力が高くなる。なお、軌道面以外でありかつ前記接触面以外の面についても、ブラスト面であって、当該ブラスト面上に固体潤滑皮膜によるコーティング層が形成されていてもよい。
　また、前記コーティング層を、二硫化モリブデン皮膜又は二硫化タングステン皮膜により構成すればよく、これにより、グリースやオイルを使用できない真空下においても、転がり軸受の潤滑性を確保することができる。
　また、前記超仕上げ加工面の表面粗さＲａは０．１以上であって０．８以下であるのが好ましい。これにより、軌道面は超仕上げ加工面であるが、表面粗さが比較的粗いためコーティング層の密着力が高くなる。また、軌道面に対する仕上げ加工を、粗い超仕上げ加工とすればよく、例えば工作機械等に用いられる転がり軸受の軌道面で要する鏡面仕上げのための超仕上げ加工が不要となり、加工コストを低減することができる。
　また、好ましい用途として、前記転がり軸受は、ターボ分子ポンプに用いられるタッチダウン軸受である。
　また、本発明のほかの態様は、内輪と、外輪と、前記内輪と前記外輪との間に介在する複数の転動体と、を備えている転がり軸受の製造方法であって、環状であるステンレス製素材から旋削により前記内輪又は前記外輪となる中間品を得ると共に、当該中間品に対して加工を行う加工工程と、前記加工工程を終えて製造された前記内輪及び前記外輪を前記転動体と共に組み立てる組み立て工程と、を備え、前記加工工程には、前記中間品の表面に対して研磨加工を行う工程と、研磨加工を終えた前記中間品が有し前記転動体が転がり接触する軌道面となる面に対して超仕上げ加工を行う工程と、超仕上げ加工された前記面に固体潤滑皮膜によるコーティング層を形成する工程と、が含まれる。
　この製造方法によれば、軌道面となる面に対して超仕上げ加工する際、その表面粗さをある程度粗くすることにより、固体潤滑皮膜によるコーティング層の密着力を高くすることが可能となり、転がり軸受の寿命を延ばすことができる。また、軌道面は、その表面粗さがある程度粗くても超仕上げ加工面であることから、回転時における振動の発生等の不具合を抑制することが可能となり、製造された転がり軸受は基本的な性能を有することができる。
　本発明の一つの態様の転がり軸受によれば、固体潤滑皮膜によるコーティング層の密着力が高く、寿命を延ばすことができる。
　本発明のほかの態様の製造方法によれば、前記のような転がり軸受を製造することができる。
図１は、本発明の実施形態に係る転がり軸受を備えているターボ分子ポンプの一例を示す断面図である。 図２は、転がり軸受の断面図である。 図３は、転がり軸受の製造方法を示すフロー図である。
　図１は、本発明の実施形態に係る転がり軸受を備えているターボ分子ポンプの一例を示す断面図である。このターボ分子ポンプ１０は、ポンプハウジング１１と、このポンプハウジング１１内に設けられているロータ翼１２と、このロータ翼１２と一体回転する回転軸（ロータ軸）１３と、アキシャル磁気軸受１４と、第一及び第二のラジアル磁気軸受１５，１６と、第一転がり軸受１７と、第二転がり軸受１８とを備えている。
　第一及び第二のラジアル磁気軸受１５，１６それぞれは、回転軸１３を非接触の状態で径方向から支持することができる。回転軸１３の端部（図１では下端）にはフランジ１９が設けられており、アキシャル磁気軸受１４は、一対の電磁石１４ａ，１４ｂを有しており、これら電磁石１４ａ，１４ｂがフランジ１９を軸方向から挟む構成となっている。これにより、アキシャル磁気軸受１４は、フランジ１９（回転軸１３）と非接触の状態で回転軸１３を軸方向について支持することができる。
　第一転がり軸受１７は、回転軸１３の軸方向一方側（図１では上側）に設けられている。第一転がり軸受１７は、内輪２１、外輪２２、複数の玉（転動体）２３を備えている深溝玉軸受であり、回転軸１３のラジアル荷重を支持することができる。内輪２１と回転軸１３との間には、半径方向の隙間が設けられており、この隙間は、ラジアル磁気軸受１５（１６）の回転軸１３に対する半径方向の隙間よりも小さい。外輪２２は、ポンプハウジング１１の一部に取り付けられている。
　第二転がり軸受１８は、回転軸１３の軸方向他方側（図１では下側）に設けられている。第二転がり軸受１８は、内輪３１、外輪３２、複数の玉（転動体）３３を備えている組み合わせアンギュラ玉軸受であり、回転軸１３のラジアル荷重とアキシャル荷重とを支持することができる。内輪３１と回転軸１３との間には、半径方向の隙間が設けられており、この隙間は、ラジアル磁気軸受１５（１６）の回転軸１３に対する半径方向の隙間よりも小さい。外輪３２は、ポンプハウジング１１の一部に取り付けられている。
　以上の構成によれば、通常回転時（ターボ分子ポンプ１０の正常運転時）、回転軸１３は、アキシャル磁気軸受１４とラジアル磁気軸受１５，１６とによって回転自在に支持される。これら磁気軸受１４，１５，１６が制御不能になると、回転軸１３が第一及び第二転がり軸受１７，１８の内輪２１，３１に接触し（タッチダウンし）、回転する回転軸１３は第一及び第二転がり軸受１７，１８によって支持される。このように、第一及び第二転がり軸受１７，１８が、ターボ分子ポンプ１０のタッチダウン軸受として機能する。
　図２は、第二転がり軸受１８の断面図である。第二転がり軸受１８は、前記のとおり、組み合わせアンギュラ玉軸受であり、二つのアンギュラ玉軸受２９，３０が組み合わされて構成されている。一方のアンギュラ玉軸受３０と他方のアンギュラ玉軸受２９とは同じものである。以下において、一方のアンギュラ玉軸受３０（以下、単に軸受３０という。）について説明するが、他方のアンギュラ玉軸受２９についても構成は同じである。なお、第一転がり軸受１７（図１参照）は、内輪２１及び外輪２２に対する玉２３の接触角がゼロであり、これに応じて軌道輪（内輪２１、外輪２２）の軌道面が深溝形状である点で、軸受３０と比較して異なるが、それ以外は同様の構成を有し、軸受３０と同じ製造方法によって製造される。このため、第一転がり軸受１７の詳細については説明を省略する。
　図２において、軸受３０は、前記のとおり、内輪３１と、外輪３２と、これら内輪３１と外輪３２との間に介在する複数の玉３３（転動体）とを備えている。内輪３１の外周面には内輪軌道面３４が形成されており、外輪３２の内周面には外輪軌道面３５が形成されている。軸受３０（本実施形態では内輪３１）が回転すると、玉３３が内輪軌道面３４及び外輪軌道面３５を転がり接触する。
　内輪３１及び外輪３２はステンレス鋼製（例えばＳＵＳ４４０Ｃ）である。玉３３はステンレス鋼製であってもよく、窒化ケイ素製であってもよい。内輪軌道面３４は、超仕上げ加工面であって、この超仕上げ加工面上に固体潤滑皮膜によるコーティング層３６が形成されている。同様に、外輪軌道面３５は、超仕上げ加工面であって、この超仕上げ加工面上に固体潤滑皮膜によるコーティング層３７が形成されている。本実施形態のコーティング層３６，３７はそれぞれ同じであり、二硫化モリブデン皮膜により構成されている。なお、二硫化モリブデン被膜に代えて二硫化タングステン皮膜であってもよい。
　前記のとおり、内輪軌道面３４を超仕上げ加工面としているが、その表面粗さをある程度粗くしており、内輪軌道面３４を微鏡面（微鏡面仕上げ面）としている。同様に、外輪軌道面３５を超仕上げ加工面としているが、その表面粗さをある程度粗くしており、外輪軌道面３５を微鏡面（微鏡面仕上げ面）としている。
　表面粗さの具体例を説明する。内輪軌道面３４及び外輪軌道面３５それぞれにおける前記超仕上げ加工面の表面粗さ（中心線平均粗さ）Ｒａを、０．１以上であって０．８以下とするのが好ましい。より好ましくは、表面粗さＲａの上限は０．６であり、下限は０．２である。表面粗さＲａが前記の下限値未満であると、固体潤滑皮膜によるコーティング層３６，３７の密着度が若干低下する可能性がある。また、表面粗さＲａが前記の上限値を超えると、玉３３が転がり接触する際の振動がやや大きくなる可能性がある。
　内輪３１において、内輪軌道面３４以外の面であって他部材と接触する接触面はブラスト面であって、このブラスト面上に（内輪軌道面３４の場合と同じ）固体潤滑皮膜によるコーティング層３６が形成されている。軸受３０がタッチダウン軸受として機能する際、内輪３１の内周面３８及び軸方向の側面３９が回転軸１３（図１参照）と接触（滑り接触）する場合があることから、これら内周面３８及び側面３９が前記の「他部材と接触する接触面」であり、これら内周面３８及び側面３９にブラスト処理（ショットブラスト処理）がされ固体潤滑剤によるコーティングが施される。なお、本実施形態の軸受３０では、内輪３１において、内輪軌道面３４以外でありかつ前記接触面（内周面３８及び側面３９）以外の面についても、ブラスト面であって、このブラスト面上に固体潤滑皮膜によるコーティング層３６が形成されていている。つまり、内輪３１の全面にコーティング層３６が形成されている。ただし、固体潤滑皮膜のコーティングのための前処理が、内輪軌道面３４とその他の面とで異なっており、内輪軌道面３４は超仕上げ加工であるのに対して、その他の面はブラスト処理である。
　外輪３２においても、外輪軌道面３５以外の面はブラスト面であって、このブラスト面上に（外輪軌道面３５の場合と同じ）固体潤滑皮膜によるコーティング層３７が形成されている。つまり、外輪３２の全面にコーティング層３７が形成されている。ただし、固体潤滑皮膜のコーティングのための前処理が、外輪軌道面３５とその他の面とで異なっており、外輪軌道面３５は超仕上げ加工であるのに対して、その他の面はブラスト処理である。
　軸受３０の製造方法について説明する。図３は、その製造方法を示すフロー図である。この製造方法は、加工工程Ｓ１と、組み立て工程Ｓ２とを備えている。加工工程Ｓ１では、環状であるステンレス製素材から旋削により内輪３１又は外輪３２となる中間品を得ると共に、この中間品それぞれに対して加工を行う。組み立て工程Ｓ２では、加工工程Ｓ１を終えて製造された内輪３１及び外輪３２を玉３３と共に組み立てる。
　加工工程Ｓ１には、旋削により前記中間品を製造する工程Ｓ１０の他に、研磨工程Ｓ１１、超仕上げ加工工程Ｓ１２、及びコーティング工程Ｓ１４が含まれる。更に本実施形態の加工工程Ｓ１には、ブラスト工程Ｓ１３が含まれる。
　内輪３１又は外輪３２となる前記中間品を旋削により製造する工程Ｓ１０では、環状であるステンレス製素材の外周面、内周面、軸方向の両端面を所定形状に旋削すると共に、内輪軌道面３４（図２参照）又は外輪軌道面３５となる領域に旋削により溝形状を形成する。
　研磨工程Ｓ１１では、この中間品の表面に対して研磨加工を行う。本実施形態では、中間品の全面に対して研磨加工が行われる。
　超仕上げ加工工程Ｓ１２では、研磨加工を終えた内輪３１となる前記中間品（内輪中間品）において、内輪軌道面３４となる面に対して超仕上げ加工を行い、また、外輪３２となる前記中間品（外輪中間品）において、外輪軌道面３５となる面に対して超仕上げ加工を行う。内輪軌道面３４及び外輪軌道面３５それぞれに対して行う超仕上げ加工は、鏡面仕上げではなく、微鏡面仕上げ加工であり、仕上げ面の表面粗さが、ある程度粗く加工される。例えば、超仕上げ加工面（内輪軌道面３４及び外輪軌道面３５）の表面粗さＲａは０．１以上であって０．８以下とする。内輪中間品において内輪軌道面３４となる面以外の面、及び、外輪中間品において外輪軌道面３５となる面以外の面は、超仕上げ加工されず、研磨加工（研磨工程Ｓ１１）による研磨面のままである。
　超仕上げ加工工程Ｓ１２は、内輪軌道面３４及び外輪軌道面３５のみが対象とされており、これらが超仕上げ加工面とされると、その超仕上げ加工面（微鏡面）における微細な山谷形状を確保するために、内輪軌道面３４及び外輪軌道面３５それぞれにマスクが施され、内輪中間品及び外輪中間品それぞれに対してブラスト処理（ブラスト工程Ｓ１３）がされる。これにより、内輪軌道面３４及び外輪軌道面３５を除く他の表面に微細な凹凸を形成する。このように、本実施形態のブラスト工程Ｓ１３では、研磨加工を終えた内輪中間品の表面の内の内輪軌道面３４を除く全ての面に対して、ブラスト処理が行われ、また、研磨加工を終えた外輪中間品の表面の内の外輪軌道面３５を除く全ての面に対して、ブラスト処理が行われる。ブラスト処理が行われた面の表面粗さＲａは、例えば０．１以上であって１．０以下となる。
　そして、コーティング工程Ｓ１４では、超仕上げ加工された（内輪軌道面３４又は外輪軌道面３５となる）前記面に固体潤滑皮膜によるコーティング層を形成する。更に、本実施形態のコーティング工程Ｓ１４では、ブラスト工程１３においてブラスト処理がされた面に対しても固体潤滑皮膜によるコーティング層を形成する。つまり、内輪中間品において、内輪軌道面３４に対するコーティングの際にあわせて、それ以外の面（ブラスト面）に対するコーティングが行われる。そして、外輪中間品において、外輪軌道面３５に対するコーティングの際にあわせて、それ以外の面（ブラスト面）に対してコーティングが行われる。本実施形態では、二硫化モリブデンのコーティングが行われ、その具体的方向は従来行われている方法による。
　コーティング工程Ｓ１４が終了すると、組み立て工程Ｓ２が行われる。組み立て工程Ｓ２は、従来行われている方法により、内輪３１と外輪３２との間に玉３３を介在させる。以上より、軸受３０が完成する。
　以上のようにして製造された軸受３０（図２参照）は、内輪３１及び外輪３２はステンレス鋼製であり、玉３３が転がり接触する内輪軌道面３４及び外輪軌道面３５は、超仕上げ加工面であって、この超仕上げ加工面上に固体潤滑皮膜によるコーティング層３６，３７が形成された転がり軸受となる。
　この軸受３０によれば、内輪軌道面３４及び外輪軌道面３５それぞれを超仕上げ加工面としても、その表面粗さをある程度粗くする（微鏡面とする）ことにより、固体潤滑皮膜によるコーティング層３６，３７の密着力が高くなる。つまり、本実施形態の超仕上げ加工面を、鏡面仕上げ面とする必要がなく、微鏡面とすればよく、これにより、コーティング層３６，３７の密着力が高くなる。この結果、ターボ分子ポンプ１０のタッチダウン軸受としての繰り返し性能（寿命）を延ばすことができ、ターボ分子ポンプ１０のオーバーホールの周期を長くすることが可能となる。
　そして、本実施形態の軸受３０では、内輪軌道面３４及び外輪軌道面３５それぞれは、その表面粗さがある程度粗くても超仕上げ加工面（微鏡面）であることから、回転時における振動の発生等の不具合を抑制することが可能となり、転がり軸受としての基本的な性能を有することができる。本実施形態の軸受３０において、コーティング層３６，３７の密着力が高くなる理由は、超仕上げ加工面（微鏡面）である内輪軌道面３４及び外輪軌道面３５の表面状態が、ブラスト面と同様に又はブラスト面よりも、固体潤滑皮膜と相性がよいためであると推定される。
　また、本実施形態では、研磨加工を終えた内輪中間品及び外輪中間品それぞれの表面の内の軌道面（３４，３５）を除く面に対して、ブラスト処理が行われ、このブラスト処理がされた面に対して固体潤滑皮膜によるコーティング層（３６，３７）が形成されている。このため、軌道面（３４，３５）以外の面においても、コーティング層（３６，３７）の密着力を高めることが可能となる。
　また、内輪軌道面３４及び外輪軌道面３５それぞれに対する仕上げ加工を、粗い超仕上げ加工とすればよく、例えば工作機械等に用いられる転がり軸受の軌道面で要する鏡面仕上げのための超仕上げ加工が不要となり、加工コストを低減することができる。粗い超仕上げとするためには、鏡面仕上げとする場合よりも目の粗い砥石等の磨き材を用いればよい。
　そして、内輪３１及び外輪３２がステンレス製であることから、防錆油が不要であり、また、前記コーティング層３６，３７が二硫化モリブデン皮膜により構成されていることから、グリースやオイルを使用できない真空下においても、軸受３０の潤滑性を確保することができる。つまり、本実施形態の軸受３０は、ターボ分子ポンプ１０のタッチダウン軸受として好適である。
　以上のとおり開示した実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。つまり、本発明の転がり軸受は、図示する形態に限らず本発明の範囲内において他の形態のものであってもよい。前記実施形態の軸受３０は、ターボ分子ポンプ１０（図１参照）に用いられるタッチダウン軸受であるが、その他の用途にも用いることができる。また、前記実施形態では、転動体が玉である場合について説明したが、転動体はころであり、転がり軸受はころ軸受であってもよい。
　　本出願は、２０１７年６月９日出願の日本特許出願（特願２０１７－１１４０５１）に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
　１０：ターボ分子ポンプ　　　３１：内輪　　　　　　３２：外輪
　３３：玉（転動体）　　　　　３４：内輪軌道面　　　３５：外輪軌道面
　３６：コーティング層　　　　３７：コーティング層　３８：内周面
　３９：側面

Claims (6)

  1. 　内輪と、外輪と、前記内輪と前記外輪との間に介在する複数の転動体と、
    を備え、
    　前記内輪及び前記外輪はステンレス鋼製であり、
    　前記内輪及び前記外輪それぞれが有し前記転動体が転がり接触する軌道面は、超仕上げ加工面であって、当該超仕上げ加工面上に固体潤滑皮膜によるコーティング層が形成されている、転がり軸受。
  2. 　前記内輪及び前記外輪において、前記軌道面以外の面であって他部材と接触する接触面はブラスト面であって、当該ブラスト面上に固体潤滑皮膜によるコーティング層が形成されている、請求項１に記載の転がり軸受。
  3. 　前記コーティング層は、二硫化モリブデン皮膜又は二硫化タングステン皮膜により構成されている、請求項１又は２に記載の転がり軸受。
  4. 　前記超仕上げ加工面の表面粗さＲａは０．１以上であって０．８以下である、請求項１～３のいずれか一項に記載の転がり軸受。
  5. 　前記転がり軸受は、ターボ分子ポンプに用いられるタッチダウン軸受である、請求項１～４のいずれか一項に記載の転がり軸受。
  6. 　内輪と、外輪と、前記内輪と前記外輪との間に介在する複数の転動体と、を備えている転がり軸受の製造方法であって、
    　環状であるステンレス製素材から旋削により前記内輪又は前記外輪となる中間品を得ると共に、当該中間品に対して加工を行う加工工程と、
    　前記加工工程を終えて製造された前記内輪及び前記外輪を前記転動体と共に組み立てる組み立て工程と、を備え、
    　前記加工工程には、
    　　前記中間品の表面に対して研磨加工を行う工程と、
    　　研磨加工を終えた前記中間品が有し前記転動体が転がり接触する軌道面となる面に対して超仕上げ加工を行う工程と、
    　　超仕上げ加工された前記面に固体潤滑皮膜によるコーティング層を形成する工程と、
    　が含まれる、転がり軸受の製造方法。
PCT/JP2018/021658 2017-06-09 2018-06-06 転がり軸受及び転がり軸受の製造方法 WO2018225766A1 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11668342B2 (en) 2019-02-01 2023-06-06 Roller Bearing Company Of America, Inc. Integrated stud ball bearing with precision matched raceway contact angles for consistent stiffness of gimbal assembly

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02154812A (ja) * 1988-12-02 1990-06-14 Nippon Seiko Kk 転がり軸受とその使用方法
JP2002221226A (ja) * 2001-01-26 2002-08-09 Nsk Ltd タッチダウン軸受
JP2006153240A (ja) * 2004-12-01 2006-06-15 Jtekt Corp タッチダウン軸受
JP2009024846A (ja) 2007-07-23 2009-02-05 Nsk Ltd タッチダウン軸受
JP2017114051A (ja) 2015-12-25 2017-06-29 ローム株式会社 サーマルプリントヘッド

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0623017B2 (ja) * 1985-07-30 1994-03-30 ヤンマーディーゼル株式会社 高速クリ−プ牽制装置
JP2508178B2 (ja) * 1988-02-29 1996-06-19 日本精工株式会社 転がり軸受及びその製造方法
JPH02154813A (ja) 1988-12-02 1990-06-14 Nippon Seiko Kk 転がり軸受及びその使用方法
JPH0351222U (ja) * 1989-09-26 1991-05-17
JPH06229423A (ja) * 1993-01-29 1994-08-16 Ntn Corp 固体潤滑転がり軸受
JPH0874862A (ja) * 1994-09-06 1996-03-19 Hitachi Ltd 固体潤滑軸受
JP4099259B2 (ja) * 1998-03-02 2008-06-11 ミネベア株式会社 複合軸受け
JP2003232370A (ja) * 2002-02-08 2003-08-22 Nsk Ltd 軸受軌道輪の製造方法及び軸受
US7786637B2 (en) 2004-12-01 2010-08-31 Jtekt Corporation Touchdown bearing
JP2008045573A (ja) * 2006-08-10 2008-02-28 Nsk Ltd 転がり摺動部材及びその製造方法並びに転動装置
JP2008169939A (ja) * 2007-01-12 2008-07-24 Nsk Ltd 真空ポンプ用転がり軸受およびこれを用いた真空ポンプ
JP2008169936A (ja) * 2007-01-12 2008-07-24 Nsk Ltd 深溝玉軸受
CN102019545B (zh) 2010-09-28 2012-04-25 洛阳世必爱特种轴承有限公司 一种轴承滚道面的超精整方法
JP5845746B2 (ja) * 2011-09-09 2016-01-20 日本精工株式会社 軸受用内外輪の製造方法
CN102425603A (zh) 2011-11-15 2012-04-25 沈阳创达技术交易市场有限公司 一种滚动轴承的加工工艺
JP2013133853A (ja) * 2011-12-26 2013-07-08 Minebea Co Ltd 転がり軸受
JP2013166205A (ja) * 2012-02-15 2013-08-29 Seiko Instruments Inc 超仕上げ用砥石、転がり軸受の製造方法、転がり軸受、軸受装置及び情報記録再生装置
JP2013174339A (ja) * 2012-02-27 2013-09-05 Seiko Instruments Inc 転がり軸受、軸受装置、情報記録再生装置及び転がり軸受の製造方法
JP6178117B2 (ja) * 2013-05-31 2017-08-09 Ntn株式会社 転がり軸受用保持器、転がり軸受、及び転がり軸受用保持器の製造方法
EP3048162B1 (en) * 2013-09-19 2020-12-30 NTN Corporation Solid-lubrication rolling bearing
BR112017000895A2 (pt) * 2014-07-16 2017-11-21 Nsk Americas Inc componente de mancal, mancal, uso de um componente de mancal, e uso de um mancal
JP2017110784A (ja) * 2015-12-18 2017-06-22 Ntn株式会社 深溝玉軸受
JP2017115966A (ja) * 2015-12-24 2017-06-29 Ntn株式会社 転がり軸受
JP2017150597A (ja) * 2016-02-25 2017-08-31 Ntn株式会社 転がり軸受、転動装置および転動装置の製造方法
JP6964400B2 (ja) * 2016-01-21 2021-11-10 Ntn株式会社 転がり軸受、転動装置および転動装置の製造方法
JP6733329B2 (ja) * 2016-06-10 2020-07-29 株式会社ジェイテクト 転がり軸受、機械要素、及び固体膜形成方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02154812A (ja) * 1988-12-02 1990-06-14 Nippon Seiko Kk 転がり軸受とその使用方法
JP2002221226A (ja) * 2001-01-26 2002-08-09 Nsk Ltd タッチダウン軸受
JP2006153240A (ja) * 2004-12-01 2006-06-15 Jtekt Corp タッチダウン軸受
JP2009024846A (ja) 2007-07-23 2009-02-05 Nsk Ltd タッチダウン軸受
JP2017114051A (ja) 2015-12-25 2017-06-29 ローム株式会社 サーマルプリントヘッド

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP3636943A4

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11668342B2 (en) 2019-02-01 2023-06-06 Roller Bearing Company Of America, Inc. Integrated stud ball bearing with precision matched raceway contact angles for consistent stiffness of gimbal assembly

Also Published As

Publication number Publication date
US11143233B2 (en) 2021-10-12
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