JP2002221226A - タッチダウン軸受 - Google Patents
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- F16C2360/44—Centrifugal pumps
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Rolling Contact Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】通常時に回転輪が空回りすることが防止される
タッチダウン軸受を提供する。 【解決手段】軸２が回転する場合、タッチダウン軸受６
の少なくとも内輪（回転輪）６１と玉（転動体）６３
を、比透磁率が１．４以下の材料で形成する。
タッチダウン軸受を提供する。 【解決手段】軸２が回転する場合、タッチダウン軸受６
の少なくとも内輪（回転輪）６１と玉（転動体）６３
を、比透磁率が１．４以下の材料で形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】磁気軸受とともに設置され、
磁気軸受の制御不能時に軸受として機能するタッチダウ
ン軸受に関する。
磁気軸受の制御不能時に軸受として機能するタッチダウ
ン軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】タッチダウン軸受は、磁気軸受とともに
設置される転がり軸受であり、通常時には回転輪（内輪
または外輪）が回転部材（軸またはハウジング）と接触
せず、磁気軸受が何らかのトラブルで制御不能になった
時に、回転輪の回転部材との対向面が回転部材に接触し
て（タッチダウンして）軸受として機能することによ
り、磁気軸受および回転部材を保護するものである。
設置される転がり軸受であり、通常時には回転輪（内輪
または外輪）が回転部材（軸またはハウジング）と接触
せず、磁気軸受が何らかのトラブルで制御不能になった
時に、回転輪の回転部材との対向面が回転部材に接触し
て（タッチダウンして）軸受として機能することによ
り、磁気軸受および回転部材を保護するものである。
【０００３】従来より、タッチダウン軸受の耐久性を上
げることが求められており、そのために、真空中で使用
されるタッチダウン軸受の場合には、転動体および内外
輪の表面に固体潤滑剤からなる皮膜（二硫化モリブデン
等からなるコーティング皮膜や、金、銀、鉛等の軟質金
属からなるメッキ皮膜）を形成することが行われてい
る。また、現在使用されているタッチダウン軸受の内輪
および外輪は、ＳＵＪ２等の高炭素クロム軸受鋼やＳＵ
Ｓ４４０Ｃ等のマルテンサイト系ステンレス鋼によって
形成されている（実開平３−８８０２４号等参照）。
げることが求められており、そのために、真空中で使用
されるタッチダウン軸受の場合には、転動体および内外
輪の表面に固体潤滑剤からなる皮膜（二硫化モリブデン
等からなるコーティング皮膜や、金、銀、鉛等の軟質金
属からなるメッキ皮膜）を形成することが行われてい
る。また、現在使用されているタッチダウン軸受の内輪
および外輪は、ＳＵＪ２等の高炭素クロム軸受鋼やＳＵ
Ｓ４４０Ｃ等のマルテンサイト系ステンレス鋼によって
形成されている（実開平３−８８０２４号等参照）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
高炭素クロム軸受鋼やマルテンサイト系ステンレス鋼は
強磁性体であるため、通常時には回転部材と接触しない
ため回転しないはずの回転輪が、磁気軸受の磁場によっ
て回転部材と接触しない状態で回転する（空回りする）
現象が生じ易いという問題点がある。この空回りが多く
なると、回転輪の軌道面および転動体の転動面に形成さ
れた固体潤滑剤皮膜が、通常時に消耗されてしまい、タ
ッチダウン時に所定の軸受寿命が得られない場合があ
る。また、軸受の空回りに伴って騒音が生じる。
高炭素クロム軸受鋼やマルテンサイト系ステンレス鋼は
強磁性体であるため、通常時には回転部材と接触しない
ため回転しないはずの回転輪が、磁気軸受の磁場によっ
て回転部材と接触しない状態で回転する（空回りする）
現象が生じ易いという問題点がある。この空回りが多く
なると、回転輪の軌道面および転動体の転動面に形成さ
れた固体潤滑剤皮膜が、通常時に消耗されてしまい、タ
ッチダウン時に所定の軸受寿命が得られない場合があ
る。また、軸受の空回りに伴って騒音が生じる。
【０００５】本発明はこのような従来技術の問題点に着
目してなされたものであり、タッチダウン軸受におい
て、通常時に回転輪が空回りすることを防止して、軸受
寿命を低下させないとともに、騒音低減を図ることを課
題とする。
目してなされたものであり、タッチダウン軸受におい
て、通常時に回転輪が空回りすることを防止して、軸受
寿命を低下させないとともに、騒音低減を図ることを課
題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、磁気軸受とともに設置され、内外輪の軌
道面と転動体の転動面とのうちの少なくとも一方に固体
潤滑剤の皮膜が形成され、通常時には内輪または外輪か
らなる回転輪が軸またはハウジングからなる回転部材と
接触せず、磁気軸受の制御不能時に回転輪が回転部材と
接触して軸受として機能するタッチダウン軸受におい
て、少なくとも回転輪および転動体は比透磁率が１．４
以下の材料で形成されていることを特徴とするタッチダ
ウン軸受を提供する。
に、本発明は、磁気軸受とともに設置され、内外輪の軌
道面と転動体の転動面とのうちの少なくとも一方に固体
潤滑剤の皮膜が形成され、通常時には内輪または外輪か
らなる回転輪が軸またはハウジングからなる回転部材と
接触せず、磁気軸受の制御不能時に回転輪が回転部材と
接触して軸受として機能するタッチダウン軸受におい
て、少なくとも回転輪および転動体は比透磁率が１．４
以下の材料で形成されていることを特徴とするタッチダ
ウン軸受を提供する。
【０００７】比透磁率が１．４以下の材料としては、Ｓ
ＵＳ３０４やＳＵＳ３１６等のオーステナイト系ステン
レス鋼、タングステンカーバイド（ニッケル系）等の超
硬合金、Ｔｉ6 Ａｌ4 Ｖ等のチタン合金、ベリリウム銅
等の銅合金、窒化珪素、炭化珪素、ジルコニア、アルミ
ナ等のセラミックスが挙げられる。オーステナイト系ス
テンレス鋼やチタン合金を用いる場合には、必要に応じ
て窒化や浸炭等を伴う熱処理を行うことにより内外輪の
軌道面および転動体の転動面の硬さをＨｖ６００〜７０
０とする。また、オーステナイト系ステンレス鋼は加工
方法によって比透磁率が増加する場合がある。
ＵＳ３０４やＳＵＳ３１６等のオーステナイト系ステン
レス鋼、タングステンカーバイド（ニッケル系）等の超
硬合金、Ｔｉ6 Ａｌ4 Ｖ等のチタン合金、ベリリウム銅
等の銅合金、窒化珪素、炭化珪素、ジルコニア、アルミ
ナ等のセラミックスが挙げられる。オーステナイト系ス
テンレス鋼やチタン合金を用いる場合には、必要に応じ
て窒化や浸炭等を伴う熱処理を行うことにより内外輪の
軌道面および転動体の転動面の硬さをＨｖ６００〜７０
０とする。また、オーステナイト系ステンレス鋼は加工
方法によって比透磁率が増加する場合がある。
【０００８】なお、タッチダウン時には、回転部材と接
触する回転輪の部分に大きな衝撃荷重と滑りが生じるた
め、回転輪は破壊靱性値の高い材料で形成する必要があ
る。したがって、回転輪はセラミックス製ではなく、ス
テンレス鋼や超硬合金製とすることが好ましい。転動体
はセラミックス製であってもよい。
触する回転輪の部分に大きな衝撃荷重と滑りが生じるた
め、回転輪は破壊靱性値の高い材料で形成する必要があ
る。したがって、回転輪はセラミックス製ではなく、ス
テンレス鋼や超硬合金製とすることが好ましい。転動体
はセラミックス製であってもよい。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。図１は、本発明の一実施形態に相当するタッ
チダウン軸受を備えた磁気浮上式ターボ分子ポンプを示
す断面図である。このポンプにおいて、ロータ翼１と一
体に回転するロータ軸２は、一組のアキシアル磁気軸受
３と二組のラジアル磁気軸受４，５とにより、非接触状
態で回転自在に支持されている。また、ラジアル荷重を
受ける総玉タイプの深溝玉軸受６と、アキシアル荷重を
受ける組み合わせアンギュラ玉軸受７が、タッチダウン
軸受として設置されている。ロータ軸２は鉛直方向に延
びる回転軸であって、ロータ軸２の下部にはフランジ２
１が一体に形成されている。アキシアル磁気軸受３は、
このフランジ２１を、対をなす電磁石３ａ，３ｂで挟む
ように配置されている。
説明する。図１は、本発明の一実施形態に相当するタッ
チダウン軸受を備えた磁気浮上式ターボ分子ポンプを示
す断面図である。このポンプにおいて、ロータ翼１と一
体に回転するロータ軸２は、一組のアキシアル磁気軸受
３と二組のラジアル磁気軸受４，５とにより、非接触状
態で回転自在に支持されている。また、ラジアル荷重を
受ける総玉タイプの深溝玉軸受６と、アキシアル荷重を
受ける組み合わせアンギュラ玉軸受７が、タッチダウン
軸受として設置されている。ロータ軸２は鉛直方向に延
びる回転軸であって、ロータ軸２の下部にはフランジ２
１が一体に形成されている。アキシアル磁気軸受３は、
このフランジ２１を、対をなす電磁石３ａ，３ｂで挟む
ように配置されている。
【００１０】図１の符号８Ａは上部ケーシングであり、
８Ｂは下部ケーシングである。符号８１は、上部ケーシ
ング８Ａの一部をなす部材であって、ラジアル磁気軸受
４，５および深溝玉軸受６のハウジングとなっている。
符号８２は吸気口であり、８３は排気口であり、８４は
電源導入端子であり、８５は保護ネットである。また、
符号９はロータ軸２を高速回転させる電動モータであ
る。
８Ｂは下部ケーシングである。符号８１は、上部ケーシ
ング８Ａの一部をなす部材であって、ラジアル磁気軸受
４，５および深溝玉軸受６のハウジングとなっている。
符号８２は吸気口であり、８３は排気口であり、８４は
電源導入端子であり、８５は保護ネットである。また、
符号９はロータ軸２を高速回転させる電動モータであ
る。
【００１１】深溝玉軸受６はロータ軸２の上部に、アン
ギュラ玉軸受７はロータ軸２の下部のフランジ２１の直
ぐ上に設置されている。図２に深溝玉軸受６の設置位置
の拡大図を、図３にアンギュラ玉軸受７の設置位置の拡
大図を示す。深溝玉軸受６の内輪（回転輪）６１とロー
タ軸２との間には、半径方向に所定の隙間６Ａが設けら
れている。この隙間６Ａは、ラジアル磁気軸受４，５の
ロータ軸２に対する半径方向の隙間より小さい。アンギ
ュラ玉軸受７の内輪（回転輪）７１とロータ軸２との間
には、半径方向に所定の隙間７Ａが設けられている。こ
の隙間７Ａも、ラジアル磁気軸受４，５のロータ軸２に
対する半径方向の隙間より小さい。アンギュラ玉軸受７
の外輪７２は、アキシャル磁気軸受３のハウジング３１
に取り付けられている。
ギュラ玉軸受７はロータ軸２の下部のフランジ２１の直
ぐ上に設置されている。図２に深溝玉軸受６の設置位置
の拡大図を、図３にアンギュラ玉軸受７の設置位置の拡
大図を示す。深溝玉軸受６の内輪（回転輪）６１とロー
タ軸２との間には、半径方向に所定の隙間６Ａが設けら
れている。この隙間６Ａは、ラジアル磁気軸受４，５の
ロータ軸２に対する半径方向の隙間より小さい。アンギ
ュラ玉軸受７の内輪（回転輪）７１とロータ軸２との間
には、半径方向に所定の隙間７Ａが設けられている。こ
の隙間７Ａも、ラジアル磁気軸受４，５のロータ軸２に
対する半径方向の隙間より小さい。アンギュラ玉軸受７
の外輪７２は、アキシャル磁気軸受３のハウジング３１
に取り付けられている。
【００１２】したがって、ロータ軸２は、通常時には、
ラジアル磁気軸受４，５とアキシアル磁気軸受３とによ
り、回転自在に支持される。また、これらの磁気軸受が
制御不能となっ時に、深溝玉軸受６およびアンギュラ玉
軸受７の内輪６１，７１がタッチダウンして、軸受とし
て機能するようになる。このポンプを用いて、深溝玉軸
受６のタッチダウン耐久性を調べる試験を行った。深溝
玉軸受６の内輪６１および外輪６２を、各サンプル毎に
下記の表１に示す各材料で形成した。なお、実施例４で
は、内輪および外輪をＳＵＳ３１６で形成した後に、浸
炭を伴う熱処理を行った。実施例５では、内輪および外
輪をＳＵＳ３１６で形成した後に、窒化を伴う熱処理を
行った。
ラジアル磁気軸受４，５とアキシアル磁気軸受３とによ
り、回転自在に支持される。また、これらの磁気軸受が
制御不能となっ時に、深溝玉軸受６およびアンギュラ玉
軸受７の内輪６１，７１がタッチダウンして、軸受とし
て機能するようになる。このポンプを用いて、深溝玉軸
受６のタッチダウン耐久性を調べる試験を行った。深溝
玉軸受６の内輪６１および外輪６２を、各サンプル毎に
下記の表１に示す各材料で形成した。なお、実施例４で
は、内輪および外輪をＳＵＳ３１６で形成した後に、浸
炭を伴う熱処理を行った。実施例５では、内輪および外
輪をＳＵＳ３１６で形成した後に、窒化を伴う熱処理を
行った。
【００１３】また、全てのサンプルについて、深溝玉軸
受６の全ての玉（転動体）６３を、比透磁率が１．０１
以下である窒化珪素の焼結体で形成した。また、全ての
サンプルについて同じ厚さで、内輪６１および外輪６２
の軌道面だけでなく表面全体に、二硫化モリブデンから
なる固体潤滑剤皮膜を形成した。この皮膜の形成は、ポ
リイミドをバインダーとして二硫化モリブデンを厚さ３
μｍに焼成することにより行った。
受６の全ての玉（転動体）６３を、比透磁率が１．０１
以下である窒化珪素の焼結体で形成した。また、全ての
サンプルについて同じ厚さで、内輪６１および外輪６２
の軌道面だけでなく表面全体に、二硫化モリブデンから
なる固体潤滑剤皮膜を形成した。この皮膜の形成は、ポ
リイミドをバインダーとして二硫化モリブデンを厚さ３
μｍに焼成することにより行った。
【００１４】二つのアンギュラ玉軸受７については、内
輪７１および外輪７２の構成を表１の実施例１と同じに
し、全ての玉（転動体）７３を比透磁率が１．０１以下
である窒化珪素の焼結体で形成し、深溝玉軸受６と同様
に、内輪７２および外輪７２の表面全体に二硫化モリブ
デンからなる固体潤滑剤皮膜を形成した。この試験は、
回転速度３００００ｒｐｍで３０分間、ラジアル磁気軸
受４，５とスラスト磁気軸受３を作動させた状態でロー
タ軸２を回転させた後、ラジアル磁気軸受４，５とスラ
スト磁気軸受３への電源の供給を５分間停止することを
繰り返すことにより、定期的にタッチダウン状態となる
ようにして行い、深溝玉軸受６が寿命に達するまでのタ
ッチダウンの回数（タッチダウン可能回数）を調べた。
輪７１および外輪７２の構成を表１の実施例１と同じに
し、全ての玉（転動体）７３を比透磁率が１．０１以下
である窒化珪素の焼結体で形成し、深溝玉軸受６と同様
に、内輪７２および外輪７２の表面全体に二硫化モリブ
デンからなる固体潤滑剤皮膜を形成した。この試験は、
回転速度３００００ｒｐｍで３０分間、ラジアル磁気軸
受４，５とスラスト磁気軸受３を作動させた状態でロー
タ軸２を回転させた後、ラジアル磁気軸受４，５とスラ
スト磁気軸受３への電源の供給を５分間停止することを
繰り返すことにより、定期的にタッチダウン状態となる
ようにして行い、深溝玉軸受６が寿命に達するまでのタ
ッチダウンの回数（タッチダウン可能回数）を調べた。
【００１５】また、この試験中に深溝玉軸受６の内輪６
１が空回りするか否かについても調べた。なお、深溝玉
軸受６の寿命は、深溝玉軸受６の振動値を常時測定して
おき、タッチダウン面である内輪６１の内周面にある固
体潤滑剤皮膜に損傷が生じて振動値が急激に上昇した時
点とした。これらの結果も下記の表１に併せて示す。ま
た、得られたデータから、内外輪の比透磁率とタッチダ
ウン可能回数との関係を図４にグラフで示す。
１が空回りするか否かについても調べた。なお、深溝玉
軸受６の寿命は、深溝玉軸受６の振動値を常時測定して
おき、タッチダウン面である内輪６１の内周面にある固
体潤滑剤皮膜に損傷が生じて振動値が急激に上昇した時
点とした。これらの結果も下記の表１に併せて示す。ま
た、得られたデータから、内外輪の比透磁率とタッチダ
ウン可能回数との関係を図４にグラフで示す。
【００１６】
【表１】
【００１７】これらの結果から分かるように、実施例１
〜５では、内輪６１、外輪６２、および玉６３の全てを
比透磁率１．４以下の材料で形成したことにより、内輪
６１が空回りすることなく、１５回のタッチダウンが可
能であった。また、内輪６１が空回りしなかったため騒
音も少なかった。これに対して、比較例１，２では、玉
６３は比透磁率１．４以下の材料で形成されているが、
内輪６１および外輪６２は比透磁率１．４を超える材料
で形成されているため、内輪６１の空回りが生じ、タッ
チダウン可能回数も５，６と少なかった。また、内輪６
１が空回りしたため騒音も大きかった。
〜５では、内輪６１、外輪６２、および玉６３の全てを
比透磁率１．４以下の材料で形成したことにより、内輪
６１が空回りすることなく、１５回のタッチダウンが可
能であった。また、内輪６１が空回りしなかったため騒
音も少なかった。これに対して、比較例１，２では、玉
６３は比透磁率１．４以下の材料で形成されているが、
内輪６１および外輪６２は比透磁率１．４を超える材料
で形成されているため、内輪６１の空回りが生じ、タッ
チダウン可能回数も５，６と少なかった。また、内輪６
１が空回りしたため騒音も大きかった。
【００１８】また、図４のグラフから、玉を比透磁率
１．４以下の材料で形成した場合に、内輪および外輪を
形成する材料の比透磁率を１．４以下とすることによっ
て、タッチダウン軸受のタッチダウン可能回数が著しく
高くなることが分かる。なお、この実施形態では、回転
輪である内輪と転動体である玉だけでなく、固定輪であ
る外輪も比透磁率１．４以下の材料で形成されている
が、固定輪は比透磁率１．４以下の材料で形成されてい
る必要はなく、回転輪と転動体が比透磁率１．４以下の
材料で形成されていればよい。また、この実施形態では
タッチダウン軸受の回転輪が内輪であるが、回転輪が外
輪である場合にも本発明は適用できる。その例を図５に
示す。また、図５のＡ部分の拡大図を図６に、Ｂ部分の
拡大図を図７に示す。
１．４以下の材料で形成した場合に、内輪および外輪を
形成する材料の比透磁率を１．４以下とすることによっ
て、タッチダウン軸受のタッチダウン可能回数が著しく
高くなることが分かる。なお、この実施形態では、回転
輪である内輪と転動体である玉だけでなく、固定輪であ
る外輪も比透磁率１．４以下の材料で形成されている
が、固定輪は比透磁率１．４以下の材料で形成されてい
る必要はなく、回転輪と転動体が比透磁率１．４以下の
材料で形成されていればよい。また、この実施形態では
タッチダウン軸受の回転輪が内輪であるが、回転輪が外
輪である場合にも本発明は適用できる。その例を図５に
示す。また、図５のＡ部分の拡大図を図６に、Ｂ部分の
拡大図を図７に示す。
【００１９】図５の磁気浮上式ターボ分子ポンプは、軸
２０に固定されていないロータ翼１０が回転する構造に
なっていて、軸２０とロータ翼（回転部材）１０との間
が、ラジアル磁気軸受４１〜４４とタッチダウン軸受１
６，１７とで支持されている。なお、符号８２は吸気口
であって、符号８３は排気口である。図６に示すよう
に、タッチダウン軸受１６の外輪（回転輪）１６Ｇと、
ロータ翼１０の内側フランジ（ハウジング）１０Ａとの
間には、半径方向に所定の隙間１６Ａが設けられてい
る。この隙間１６Ａは、ラジアル磁気軸受４１のロータ
翼１０に対する半径方向の隙間４１Ａより小さい。
２０に固定されていないロータ翼１０が回転する構造に
なっていて、軸２０とロータ翼（回転部材）１０との間
が、ラジアル磁気軸受４１〜４４とタッチダウン軸受１
６，１７とで支持されている。なお、符号８２は吸気口
であって、符号８３は排気口である。図６に示すよう
に、タッチダウン軸受１６の外輪（回転輪）１６Ｇと、
ロータ翼１０の内側フランジ（ハウジング）１０Ａとの
間には、半径方向に所定の隙間１６Ａが設けられてい
る。この隙間１６Ａは、ラジアル磁気軸受４１のロータ
翼１０に対する半径方向の隙間４１Ａより小さい。
【００２０】図７に示すように、タッチダウン軸受１７
の外輪（回転輪）１７Ｇと、ロータ翼１０の下端に固定
された環状部材（ハウジング）１１との間には、半径方
向に所定の隙間１７Ａが設けられている。この隙間１７
Ａは、ラジアル磁気軸受４４を構成する両磁石４４ａ，
４４ｂの半径方向の隙間４４Ａより小さい。したがっ
て、ロータ翼１０は、通常時には、ラジアル磁気軸受４
１〜４４により回転自在に支持される。また、これらの
磁気軸受が制御不能となっ時に、タッチダウン軸受１
６，１７の外輪１６Ｇ，１７Ｇがタッチダウンして、軸
受として機能するようになる。
の外輪（回転輪）１７Ｇと、ロータ翼１０の下端に固定
された環状部材（ハウジング）１１との間には、半径方
向に所定の隙間１７Ａが設けられている。この隙間１７
Ａは、ラジアル磁気軸受４４を構成する両磁石４４ａ，
４４ｂの半径方向の隙間４４Ａより小さい。したがっ
て、ロータ翼１０は、通常時には、ラジアル磁気軸受４
１〜４４により回転自在に支持される。また、これらの
磁気軸受が制御不能となっ時に、タッチダウン軸受１
６，１７の外輪１６Ｇ，１７Ｇがタッチダウンして、軸
受として機能するようになる。
【００２１】ここで、タッチダウン軸受１６，１７の少
なくとも外輪１６Ｇ，１７Ｇおよび転動体１６Ｔ，１７
Ｔが比透磁率１．４以下の材料で形成されていると、通
常時に外輪が空回りしないため、外輪の軌道面および転
動体の転動面に形成された固体潤滑剤皮膜が消耗されず
に済み、タッチダウン軸受の寿命を長くすることができ
るとともに騒音も低減できる。
なくとも外輪１６Ｇ，１７Ｇおよび転動体１６Ｔ，１７
Ｔが比透磁率１．４以下の材料で形成されていると、通
常時に外輪が空回りしないため、外輪の軌道面および転
動体の転動面に形成された固体潤滑剤皮膜が消耗されず
に済み、タッチダウン軸受の寿命を長くすることができ
るとともに騒音も低減できる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のタッチダ
ウン軸受によれば、通常時に回転輪が空回りすることが
防止されるため、従来のタッチダウン軸受と比較して軸
受寿命が長く、騒音も低減される。
ウン軸受によれば、通常時に回転輪が空回りすることが
防止されるため、従来のタッチダウン軸受と比較して軸
受寿命が長く、騒音も低減される。
【図１】本発明の一実施形態に相当するタッチダウン軸
受を備えた磁気浮上式ターボ分子ポンプを示す断面図で
ある。
受を備えた磁気浮上式ターボ分子ポンプを示す断面図で
ある。
【図２】図１の装置の上部に配置されたタッチダウン軸
受（深溝玉軸受）を示す拡大図である。
受（深溝玉軸受）を示す拡大図である。
【図３】図１の装置の下部に配置されたタッチダウン軸
受（アンギュラ玉軸受）を示す拡大図である。
受（アンギュラ玉軸受）を示す拡大図である。
【図４】実施形態で得られたデータから、内外輪の比透
磁率とタッチダウン可能回数との関係を示すグラフであ
る。
磁率とタッチダウン可能回数との関係を示すグラフであ
る。
【図５】本発明の一実施形態に相当するタッチダウン軸
受を備えた磁気浮上式ターボ分子ポンプを示す断面図で
ある。
受を備えた磁気浮上式ターボ分子ポンプを示す断面図で
ある。
【図６】図５のＡ部分を示す拡大図である。
【図７】図５のＢ部分を示す拡大図である。
１ ロータ翼 ２ ロータ軸（回転部材） ３ アキシアル磁気軸受 ３ａ 電磁石 ３ｂ 電磁石 ４ ラジアル磁気軸受 ５ ラジアル磁気軸受 ６ 深溝玉軸受（タッチダウン軸受） ６Ａ 隙間 ７ アンギュラ玉軸受（タッチダウン軸受） ７Ａ 隙間 ８Ａ 上部ケーシング ８Ｂ 下部ケーシング ９ 電動モータ １０ ロータ翼（回転部材） １０Ａ 内側フランジ（ハウジング） １１ 環状部材（ハウジング） １６ タッチダウン軸受 １６Ａ 隙間 １６Ｇ 外輪（回転輪） １７ タッチダウン軸受 １７Ａ 隙間 １７Ｇ 外輪（回転輪） ２０ 軸 ２１ フランジ ３１ ハウジング ４１〜４４ ラジアル磁気軸受 ４１Ａ 隙間 ４４ａ ラジアル磁気軸受を構成する磁石 ４４ｂ ラジアル磁気軸受を構成する磁石 ６１ 内輪（回転輪） ６２ 外輪 ６３ 玉（転動体） ７１ 内輪（回転輪） ７２ 外輪 ７３ 玉（転動体） ８１ 上部ケーシングの一部をなす部材（ハウジング） ８２ 吸気口 ８３ 排気口 ８４ 電源導入端子 ８５ 保護ネット
Claims (1)
- 【請求項１】 磁気軸受とともに設置され、内外輪の軌
道面と転動体の転動面とのうちの少なくとも一方に固体
潤滑剤の皮膜が形成され、通常時には内輪または外輪か
らなる回転輪が軸またはハウジングからなる回転部材と
接触せず、磁気軸受の制御不能時に回転輪が回転部材と
接触して軸受として機能するタッチダウン軸受におい
て、 少なくとも回転輪および転動体は比透磁率が１．４以下
の材料で形成されていることを特徴とするタッチダウン
軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001018969A JP2002221226A (ja) | 2001-01-26 | 2001-01-26 | タッチダウン軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001018969A JP2002221226A (ja) | 2001-01-26 | 2001-01-26 | タッチダウン軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002221226A true JP2002221226A (ja) | 2002-08-09 |
Family
ID=18884921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001018969A Pending JP2002221226A (ja) | 2001-01-26 | 2001-01-26 | タッチダウン軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002221226A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2001
- 2001-01-26 JP JP2001018969A patent/JP2002221226A/ja active Pending
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