WO2018199066A1 - シート搬送装置及びシート搬送方法 - Google Patents

シート搬送装置及びシート搬送方法 Download PDF

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WO2018199066A1
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聡 日比野
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川崎重工業株式会社
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    • B65H2553/40—Sensing or detecting means using optical, e.g. photographic, elements
    • B65H2553/45—Scanning means

Definitions

  • the present invention relates to a sheet conveying apparatus and a sheet conveying method for conveying a held sheet to a predetermined position.
  • Patent Document 1 A jig that keeps the sheet stretched is disclosed in Patent Document 1.
  • the jig has a pin and the sheet is provided with a hole.
  • the pin is urged outward by a spring and attached to the jig.
  • the pin is urged outward in a state where the pin is inserted into the hole of the sheet, so that the sheet is kept in a stretched state.
  • the sheet can be conveyed to a predetermined position while being held in a stretched state.
  • the jig disclosed in Patent Document 1 may not be able to recognize whether the sheet is normally held by the jig. If the sheet is held by the jig while being displaced and conveyed, the conveyance accuracy of the sheet may be lowered. If the sheet is conveyed as it is, there is a possibility of affecting the subsequent processes. For example, when a circuit is formed on a sheet and a flexible substrate is manufactured, the circuit cannot be accurately printed on the sheet, and the quality of the manufactured substrate may be deteriorated.
  • an object of the present invention is to provide a sheet conveying apparatus and a sheet conveying method that can convey a sheet more accurately.
  • the sheet conveying apparatus of the present invention is capable of holding a sheet, is in a state where the sheet is stretched while holding the sheet, and is capable of conveying the held sheet, Sheet state recognition means for recognizing the state of the sheet when the sheet is held in a tensioned state by a holding unit.
  • the sheet state is recognized after the sheet is stretched, and the sheet is conveyed after the sheet state is recognized. Therefore, the sheet can be conveyed with high accuracy. .
  • the sheet state recognizing means may recognize the position of the sheet.
  • the sheet Since the position of the sheet is recognized, the sheet can be accurately conveyed to the conveyance position.
  • the holding unit may convey the sheet to a target conveyance position based on the position of the sheet recognized by the sheet state recognition unit.
  • the sheet Since the sheet is conveyed to the target conveyance position based on the recognized sheet position, the sheet can be conveyed to the conveyance position more accurately.
  • the sheet state recognition unit may recognize whether or not the sheet can be conveyed to a target conveyance position by the holding unit from the recognized position of the sheet.
  • the sheet Since the sheet is conveyed after recognizing whether or not the sheet can be conveyed to the target conveyance position, the sheet can be reliably conveyed for the amount of conveyance of the sheet. Therefore, a highly reliable sheet conveying apparatus can be obtained.
  • a pattern may be provided on the sheet, and the sheet state recognition unit may recognize the position of the sheet by recognizing the position of the pattern.
  • the position of the sheet is recognized from the position of the pattern provided on the sheet, the position of the sheet can be accurately recognized.
  • the sheet may be partitioned into a plurality of regions, and the pattern may be a line that partitions each of the plurality of regions.
  • the position of the sheet is recognized using a line that divides each of a plurality of regions formed on the sheet as a pattern, so there is no need to newly provide a pattern for recognizing the sheet position, and the range of the applied sheet is widened. can do.
  • one substrate may be manufactured from one of the plurality of divided areas in the sheet.
  • the sheet can be used efficiently.
  • the sheet state recognition means may recognize the type of the sheet.
  • the sheet Since the sheet type is recognized, the sheet can be conveyed to the conveyance position for each type.
  • the sheet may be conveyed to a sheet conveyance position allocated for each type.
  • the sheet Since the sheet is transported to the sheet transport position allocated for each type based on the recognized sheet type, the sheet can be accurately transported to the allocated transport position.
  • the sheet may be provided with identification means for indicating the type of the sheet, and the sheet state recognition means may recognize the type of the sheet from the identification means.
  • the type of the sheet is recognized by the identification unit, the type of the sheet is accurately recognized, and the sheet is conveyed to the sheet conveyance position allocated for each type based on the recognized sheet type. Can be accurately transferred to the assigned transfer position.
  • the identification means may be a mark.
  • the identification means may be a pattern.
  • the sheet state recognizing unit may include a photographing unit that photographs the sheet, and the sheet state recognizing unit may recognize the state of the sheet from an image photographed by the photographing unit.
  • the sheet state is recognized from the image photographed by the photographing means, the sheet state can be accurately recognized.
  • the holding unit may be constituted by a robot arm.
  • the sheet can be held, the sheet can be put in a stretched state, the holding unit capable of transporting the sheet, and the sheet state recognition for recognizing the state of the sheet
  • a sheet conveying method for conveying the sheet by a sheet conveying apparatus comprising: a sheet holding step for holding the sheet; a sheet pulling step for tensioning the sheet; and a state of the sheet A sheet state recognizing step to be performed, and a sheet conveying step for conveying the sheet.
  • the sheet tension recognition process for recognizing the state of the sheet is performed after the sheet pulling process to make the sheet stretched, and the sheet conveyance process is performed after the sheet state is recognized. Transport can be performed.
  • the sheet since the sheet is conveyed after the state of the held sheet is recognized, the sheet can be conveyed more accurately and the accuracy of conveyance of the sheet can be improved.
  • FIG. 1 is a perspective view of a sheet conveying apparatus according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a front view of the sheet conveying apparatus in FIG. 1.
  • 2A is a front view of a holding unit used in the sheet conveying apparatus of FIG. 1
  • FIG. 2B is a plan view of a fixed plate, a movable portion, and a suction tube along the direction of line AA in FIG.
  • FIG. 2 is a block diagram illustrating a configuration of a control system of the sheet conveying apparatus in FIG. 1.
  • FIG. 2 is a plan view of a sheet conveyed by the sheet conveying apparatus in FIG. 1.
  • 3 is a flowchart when a sheet is conveyed by the sheet conveying apparatus of FIG. 1.
  • FIG. 1 is a perspective view of a sheet conveying apparatus according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a front view of the sheet conveying apparatus in FIG. 1.
  • 2A is a front view of
  • FIG. 2 is a front view of a holding unit and a sheet that are shown for respective steps from when the sheet is held by the sheet conveying device of FIG. 1 to when the sheet is stretched.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of a sheet illustrating each process when a circuit is formed on a sheet conveyed by the sheet conveying apparatus of FIG. 1 and a substrate is manufactured.
  • 6 is a flowchart when a sheet is conveyed by a sheet conveying apparatus according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a perspective view of the sheet conveying apparatus 100 according to the first embodiment.
  • the sheet conveying apparatus 100 is configured to be able to hold a sheet by a holding unit 30 held by a robot arm. The sheet can be conveyed while the sheet is held by the holding unit 30.
  • the term “sheet” includes a wide range of thin sheets that are bent and are not maintained in shape.
  • the sheet includes a thin sheet made of cloth, plastic, film, wood, leather, or the like.
  • a sheet that is formed of the above-described material and has a function, such as clothes, is included.
  • the sheet includes a wide range of sheets that can be formed into a thin state by being formed thin.
  • the sheet conveying apparatus 100 is configured by a horizontal articulated double-arm robot including a pair of robot arms 13.
  • FIG. 2 shows a front view of the sheet conveying apparatus 100.
  • the sheet conveying apparatus 100 includes a first robot arm 13A and a second robot arm 13B.
  • a first holding unit 18 is provided at the tip of the first robot arm 13A.
  • a second holding part 19 is provided at the tip of the second robot arm 13B.
  • the robot arm 13A and the second robot arm 13B may be simply referred to as the robot arm 13.
  • the sheet conveying apparatus 100 includes a control unit 14 and a vacuum generator (not shown).
  • the control unit 14 is provided inside the support base 12 of the sheet conveying apparatus 100, for example.
  • the present invention is not limited to this.
  • the robot arm 13 may be provided. Further, it may be provided in another vacant space.
  • the vacuum generator is, for example, a vacuum pump or CONVUM (registered trademark), and is provided inside the support base 12, for example.
  • CONVUM registered trademark
  • the vacuum generator is connected to the suction port of the holding unit 30 via a pipe (not shown).
  • an on-off valve (not shown) is provided in the pipe, and the pipe is opened and closed by the on-off valve. The operation of the vacuum generator and the opening / closing of the on-off valve are controlled by a control device.
  • the first robot arm 13A moves the first holding unit 18 within a predetermined operation range.
  • the second robot arm 13B moves the second holding unit 19 within a predetermined operation range.
  • the robot arm 13 is, for example, a horizontal articulated robot arm, and includes an arm unit 21 and a wrist unit 22. Further, the first robot arm 13A and the second robot arm 13B can operate independently of each other or operate in association with each other.
  • the sheet conveying apparatus 100 includes a support base 12 and a base shaft 16 extending vertically upward from the support base 12.
  • the base shaft 16 is attached to the support base 12 so as to be capable of rotating.
  • the arm portion 21 is attached to the base shaft 16 so as to extend in the horizontal direction.
  • the arm portion 21 is attached to be rotatable about the base shaft 16.
  • the arm unit 21 includes a first link 21a and a second link 21b.
  • the first link 21a and the second link 21b are supported so as to be rotatable along the horizontal direction.
  • the first robot arm 13 ⁇ / b> A and the second robot arm 13 ⁇ / b> B are connected to the base shaft 16 via the arm unit 21.
  • the arm unit 21 positions the wrist unit 22 attached to the tip of the first robot arm 13A and the second robot arm 13B at an arbitrary position within the operation range.
  • the base end of the first link 21a is connected to the base shaft 16 of the support base 12 by the rotary joint J1, and can rotate around the rotation axis L1 passing through the axis of the base shaft 16.
  • the second link 21b is connected to the distal end portion of the first link 21a by the rotary joint J2, and is rotatable around the rotation axis L2 defined at the distal end portion of the first link 21a.
  • the list unit 22 changes the mechanism connected to the destination to an arbitrary posture.
  • the wrist part 22 includes an elevating part 22a and a rotating part 22b.
  • the raising / lowering part 22a is connected with the front-end
  • the rotating part 22b is connected to the lower end part of the elevating part 22a by the rotary joint J4, and can be rotated around the rotation axis L3 defined at the lower end of the elevating part 22a.
  • the rotation axes L1 to L3 are parallel to each other and extend, for example, in the vertical direction. Further, the extending direction of the rotation axes L1 to L3 and the moving direction of the lifting unit 22a are parallel to each other.
  • the arm 13 is provided with a drive servo motor (not shown) and an encoder (not shown) for detecting the rotation angle of the servo motor so as to be associated with each of the joints J1 to J4. Yes.
  • the rotation axis L1 of the first robot arm 13A and the rotation axis L1 of the second robot arm 13B are on the same straight line, and the first link 21a of the first robot arm 13A and the first link 21a of the second robot arm 13B. Are arranged with a difference in height above and below.
  • the second holding unit 19 holds a holding unit (holding unit) 30 as a hand unit.
  • FIG. 3A shows a front view of the holding unit 30, and FIG. 3B shows the fixing plate 34, the movable portion 35, and the suction of the holding unit 30 along the line AA in FIG. 3A.
  • a plan view of the tube 32 is shown.
  • the holding unit 30 is provided with a plurality of suction pipes 32.
  • ten suction pipes 32 are provided at positions corresponding to the outer edge portion of the sheet to be conveyed.
  • a suction port 31 is provided at the tip of each suction tube 32.
  • ten suction ports 31 are provided corresponding to the respective suction tubes 32.
  • the suction tube 32 is connected to a vacuum generator. By performing suction from the suction port 31 via the suction tube 32, air can be sucked from the suction port 31. By performing suction from the suction port 31 while the suction port 31 is in contact with the sheet, the sheet can be adsorbed to the suction port 31.
  • the holding unit 30 includes a support plate 33.
  • the holding unit 30 includes a fixed plate 34 fixedly attached to the support plate 33.
  • the holding unit 30 includes a movable portion 35 attached to the holding unit 30 so as to be movable with respect to the fixed plate 34.
  • the fixed plate 34 and the movable portion 35 are connected to the support plate 33, and the support plate 33 supports the fixed plate 34 and the movable portion 35.
  • the movable portion 35 is connected to the support plate 33 so as to be movable with respect to the support plate 33.
  • the suction pipe 32 is attached to the fixed plate 34 or the movable part 35, respectively.
  • five suction tubes 32 are attached to the fixed plate 34, and five suction tubes 32 are attached to the movable portion 35.
  • some of the suction tubes 32 are attached to the fixed plate 34, and the remaining suction tubes 32 are attached to the movable portion 35.
  • the remaining suction pipes 32 are configured to be movable with respect to some suction pipes 32.
  • some suction pipes 32 are fixedly attached to the holding unit 30, and the remaining suction pipes 32 are configured to be movable with respect to the holding unit 30.
  • the five suction pipes 32 are attached to the fixed plate 34, and the five suction pipes 32 are attached to the movable portion 35.
  • the present invention is not limited to this.
  • the number of suction tubes 32 fixedly attached to the holding unit 30 and the number of suction tubes 32 attached to the holding unit 30 so as to be movable may be other numbers.
  • the holding unit 30 is attached with a camera (photographing means) 36 capable of photographing the sheet held by the holding unit 30.
  • FIG. 4 is a block diagram schematically illustrating a configuration example of a control system of the sheet conveying apparatus 100.
  • control unit 14 includes a calculation unit 14a, a storage unit 14b, a servo control unit 14c, and a holding unit control unit 14d.
  • the control unit 14 is a robot controller including a computer such as a microcontroller.
  • the control unit 14 may be configured by a single control unit 14 that performs centralized control, or may be configured by a plurality of control units 14 that perform distributed control in cooperation with each other.
  • the storage unit 14b stores information such as a basic program as a robot controller and various fixed data.
  • the calculation unit 14a controls various operations of the robot 1 by reading and executing software such as a basic program stored in the storage unit 14b. That is, the arithmetic unit 14a generates a control command for the robot 1 and outputs it to the servo control unit 14c and the holding unit control unit 14d.
  • the servo control unit 14c controls driving of the servo motors corresponding to the joints J1 to J4 of the first robot arm 13A and the second robot arm 13B of the robot 1 based on the control command generated by the calculation unit 14a. It is configured as follows.
  • the holding unit control unit 14d controls suction, movement, and operation by the holding unit 30 by controlling the vacuum generator and the drive unit based on the control command generated by the calculation unit 14a.
  • FIG. 5 shows a plan view of the sheet to be conveyed.
  • the sheet conveyed by the conveyance device 100 is divided into a plurality of regions.
  • the sheet is divided into a plurality of regions, and one substrate is manufactured from one of the divided regions. Therefore, each divided area in the sheet is taken out for each area as an area used as a substrate in a later process.
  • the sheet is intermittently provided with a plurality of holes along the line 51 that partitions each of the plurality of regions. Since a plurality of holes are formed in the sheet, the sheet is easily broken along a line in which the plurality of holes are formed intermittently, and the sheet is easily cut.
  • lines 51 that divide a plurality of regions in the sheet are used as a pattern.
  • a plurality of holes provided intermittently along the line 51 dividing each of the plurality of regions are used as a pattern.
  • the position of the sheet is recognized by recognizing the position of the line 51 that divides each of the plurality of regions functioning as a pattern. Since the line 51 that divides each of the plurality of regions on the sheet is used as a pattern, it is not necessary to newly provide a pattern for recognizing the position of the sheet on the sheet. Therefore, the configuration of the sheet can be simplified, and the manufacturing cost of the sheet can be reduced.
  • FIG. 6 shows a flowchart when the sheet is conveyed by the sheet conveying apparatus 100.
  • seat is demonstrated with reference to the flowchart of FIG.
  • the sheet shown in FIG. 5 When the sheet shown in FIG. 5 is conveyed, the sheet is first held by the holding unit 30 (S1).
  • FIG. 7A to 7D are front views of the holding unit 30 and the sheet when the holding unit 30 holds the sheet and puts the sheet in a stretched state.
  • the holding unit 30 moves and comes close to the sheet placed on the table.
  • the holding unit 30 is moved until the suction port 31 in the holding unit 30 contacts the sheet.
  • the holding unit 30 When the holding unit 30 comes into contact with the sheet, air is sucked from the suction port 31, and the sheet is sucked to the suction port 31. Thereby, the holding unit 30 sucks and holds the sheet (sheet holding step). When the holding unit 30 sucks and holds the sheet, as shown in FIG. 7C, the holding unit 30 moves upward to bring the sheet into a floating state. At this time, the sheet may be bent slightly.
  • the sheet When the sheet is stretched, the sheet is photographed by the camera 36 attached to the holding unit 30.
  • the position of the pattern formed on the sheet is recognized by the image. Accordingly, the position of the pattern is recognized by the sheet conveying apparatus 100 (S3). Further, the position of the sheet is recognized based on the recognized pattern position (S4). Thereby, the position where the sheet held by the holding unit 30 is held is recognized by the sheet conveying apparatus 100 (sheet state recognition step).
  • the position where the sheet is held in the sheet held by the holding unit 30 is recognized. Therefore, here, the position of the sheet is recognized as the state of the sheet.
  • the camera 36 that captures the sheet and the control unit 14 that controls the operation of the sheet conveying apparatus 100 function as a sheet state recognition unit that recognizes the state of the sheet.
  • the holding unit 30 conveys the sheet to the target conveyance position based on the recognized sheet position (S5) (sheet conveyance process).
  • the conveyance of the sheet is performed by moving the holding unit 30 while holding the sheet. At this time, since the position of the sheet held by the holding unit 30 is accurately recognized, the sheet can be accurately conveyed to the target conveyance position.
  • the holding unit 30 When the holding unit 30 holds the sheet by suction, the position where the sheet is held with respect to the holding unit 30 may vary. In this embodiment, even if a variation occurs in the position where the sheet is held and the position of the sheet is shifted every time the sheet is held, the position of the sheet is accurately recognized. Therefore, when the sheet is conveyed, the sheet can be conveyed while correcting the sheet deviation. Accordingly, the sheet can be accurately conveyed to the target conveyance position regardless of the position where the sheet is held. Accordingly, stable and highly accurate sheet conveyance can be performed without causing variations each time the sheet is conveyed.
  • a pin is provided at a target position of the sheet conveyance destination, and a hole is formed at a position corresponding to the pin of the sheet.
  • the sheet is set at the target position of the conveyance destination. Since the sheet can be accurately arranged at the target conveying position, even if the tolerance between the pin at the target position and the hole in the sheet is severe, the pin can be inserted into the hole.
  • a hole having a diameter of 2 mm is formed in the sheet, and a pin having a diameter of 1.95 mm is formed at the target conveyance position.
  • the sheet state recognized by the sheet state recognition unit may be another state. Instead of the position of the sheet held by the holding unit 30, another state may be recognized.
  • the holding of the sheet by the holding unit 30 is released and the sheet is dried. Thereafter, the sheet is pulled while the sheet is sucked and held again, and the sheet is stretched. When the sheet is stretched, the sheet is inspected in that state.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view of a sheet for each process when a circuit is formed on the sheet and a substrate is manufactured.
  • a copper foil 53 is disposed on a sheet 50 with an adhesive 52 interposed therebetween.
  • a photoresist 54 is disposed on the copper foil 53.
  • the circuit pattern is transferred onto the photoresist by exposure through a mask. At this time, only the portion of the copper foil 53 that functions as a copper wire that conducts electricity is exposed to the photoresist 54 to cure the photoresist 54.
  • portions other than the exposed portion in the photoresist 54 are removed. As a result, only the cured and exposed part remains on the copper foil 53.
  • the remaining portion of the photoresist 54 is used as an etching stop layer, and the copper foil 53 is etched. Accordingly, the copper foil 53 immediately below the portion remaining as an etching stop layer in the photoresist 54 remains on the sheet 50 together with the photoresist 54, and the other portions of the copper foil 53 are removed from the sheet 50 by etching. .
  • the photoresist 54 is removed. Thereby, the copper foil 53 corresponding to the circuit is formed on the sheet 50, and the substrate is manufactured by the sheet 50.
  • the sheet 50 on which the copper foil 53 and the photoresist 54 are arranged is exposed, the sheet 50 is accurately arranged at the conveyance target position. Therefore, when a circuit pattern is printed on the photoresist 54 on the sheet 50 by exposure in order to form a circuit on the sheet 50, the sheet 50 is accurately arranged. Therefore, the circuit pattern is printed accurately at an appropriate position on the sheet 50. Therefore, as a result, a high-quality substrate in which a circuit is formed at an accurate position can be manufactured.
  • the circuit when a substrate is manufactured by printing a circuit on the sheet after the sheet is conveyed, the circuit can be accurately printed on the sheet, and the quality of the substrate can be kept high.
  • the sheet may be held by the holding unit by means other than suction.
  • the sheet may be held by the holding unit by engagement between the pin and the hole, or the sheet may be held by the holding unit by being clamped. Further, the sheet may be held by other means.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiment.
  • Other steps may be performed after the sheet is conveyed.
  • Other processes may be performed as long as a process is performed in which an effect is obtained by conveying the sheet to the target position and accurately conveying the sheet to the target position.
  • the sheet can be conveyed to the target conveyance position by the holding unit 30 from the position of the sheet recognized in S5.
  • the sheet When the sheet is held by the holding unit 30 with the sheet stretched, it may be recognized that the sheet cannot be conveyed to a target conveyance position depending on the state of the sheet. For example, there is a case where the sheet cannot be transported to the target transport position by the sheet transport device of the above-described embodiment due to the damage of the sheet. In that case, it is possible to recognize whether or not the sheet can be conveyed to the target conveyance position by the holding unit 30 from the recognized sheet position. If it is recognized whether the sheet can be transported to the target transport position by the holding unit 30 and the sheet cannot be transported to the target transport position, the sheet may not be transported.
  • the pattern formed on the sheet is the line 51 that divides a plurality of regions, but the present invention is not limited to this.
  • Other patterns may be formed on the sheet.
  • the position of the sheet may be recognized by forming a pattern on the surface of the sheet and recognizing the position of the pattern.
  • other forms of patterns may be formed on the sheet.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiment.
  • the position where the camera 36 is attached may be another position.
  • it may be provided on the support base 12 of the sheet conveying apparatus 100.
  • the camera 36 may be attached to a position other than the holding unit.
  • the position of the sheet may be recognized by an imaging unit other than a camera that captures a still image.
  • the position of the sheet may be recognized by a photographing unit that photographs a moving image.
  • the present invention is not limited to the above embodiment.
  • the means for recognizing the position of the sheet may be other than the camera.
  • an optical sensor may be used.
  • the position of the pattern formed on the sheet is recognized, the position of the sheet is recognized from the position of the pattern, and the holding unit conveys the sheet to the target position based on the recognized position of the sheet.
  • the form to do was demonstrated.
  • the type of the sheet is recognized from the identification unit formed on the sheet, and the sheet is conveyed to the sheet conveyance position allocated for each type based on the type of the sheet. To do.
  • FIG. 9 shows a flowchart of sheet conveyance according to the second embodiment. The process from the holding of the sheet to the tensioning of the sheet is the same as the flow of the first embodiment shown in FIG.
  • the sheet When the sheet is stretched, the sheet is photographed by the camera 36 (S6). A mark is formed on the sheet as identification means for indicating the type of the sheet.
  • the sheet conveyance position allocated for each sheet type is set in advance.
  • the sheet is conveyed from the sheet type to the sheet conveyance position for the sheet (S8).
  • the sheet is accurately conveyed to the sheet conveyance position set for the sheet.
  • clothes may be applied as a sheet conveyed by the sheet conveying apparatus of the present embodiment.
  • the holding unit 30 holds the clothes. While the holding unit 30 holds the clothes, the holding unit 30 puts the clothes on.
  • the clothing in a state of being stretched is photographed by the camera 36, and the type of clothing is recognized from the mark formed on the clothing. When the type of clothes is recognized, the clothes are transferred to the transfer position for the clothes.
  • the mark is used as the identification means for indicating the type of the sheet, but the present invention is not limited to this.
  • a pattern may be formed on the sheet as identification means for indicating the type of the sheet.
  • other identifying means may be used as the identifying means indicating the sheet type.

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Abstract

シートをより正確に搬送することのできるシート搬送装置及びシート搬送方法を提供する。シート搬送装置は、シートを保持することが可能であり、シートを保持しつつシートを張った状態にすると共に、保持したシートを搬送することが可能な保持部を有している。また、シート搬送装置は、保持部によってシートが張った状態で保持されたときに、シートの状態を認識するシート状態認識手段を有している。

Description

シート搬送装置及びシート搬送方法
　本発明は、保持したシートを所定位置に搬送するシート搬送装置及びシート搬送方法に関する。
　従来、シートを張った状態に保つ治具を用いてシートを搬送する方法が用いられている。シートを張った状態に保つ治具について、特許文献１に開示されている。
　特許文献１では、治具はピンを有し、シートには穴が設けられている。ピンは、バネによって外側に付勢されて治具に取り付けられている。シートの穴にピンが挿入された状態でピンが外側に付勢されることにより、シートが張った状態に保たれる。シートを張った状態で保持しつつ、シートを所定位置に搬送することが可能に構成されている。
特開平６－２１６４９６号公報
　しかしながら、特許文献１に開示された治具では、シートが治具に正常に保持されているかどうかを認識することができない場合がある。シートがずれたまま治具に保持されて搬送されると、それによってシートの搬送の精度が低下する可能性がある。そのままシートの搬送が行われると、その後の工程に影響を及ぼす可能性がある。例えば、シート上に回路を形成しフレキシブルな基板を製造する場合には、シート上に回路を正確にプリントすることができず、製造された基板の品質が低下してしまう可能性がある。
　そこで、本発明は上記の事情に鑑み、シートをより正確に搬送することのできるシート搬送装置及びシート搬送方法を提供することを目的としている。
　本発明のシート搬送装置は、シートを保持することが可能であり、前記シートを保持しつつ前記シートを張った状態にすると共に、保持した前記シートを搬送することが可能な保持部と、前記保持部によって前記シートが張った状態で保持されたときに、前記シートの状態を認識するシート状態認識手段とを備えることを特徴とする。
　上記構成のシート搬送装置では、シートが張った状態となってからシートの状態が認識され、シートの状態が認識されてからシートの搬送を行うので、精度の高いシートの搬送を行うことができる。
　また、前記シート状態認識手段は、前記シートの位置を認識することとされてもよい。
　シートの位置が認識されるので、シートを搬送位置に正確に搬送することができる。
　また、前記シート状態認識手段によって認識された前記シートの位置に基づいて、前記保持部が、前記シートを目標の搬送位置に搬送させることとされてもよい。
　認識されたシートの位置に基づいて、シートが目標の搬送位置に搬送されるので、シートをより正確に搬送位置に搬送することができる。
　また、前記シート状態認識手段は、認識された前記シートの位置から、前記シートが前記保持部によって目標の搬送位置へ搬送されることが可能かどうかを認識することとされてもよい。
　シートが目標の搬送位置へ搬送されることが可能かどうかを認識してからシートの搬送が行われるので、シートの搬送が行われる分については、確実にシートの搬送を行うことができる。従って、確実性の高いシート搬送装置とすることができる。
　また、前記シートにはパターンが設けられており、前記シート状態認識手段は、前記パターンの位置を認識することにより、前記シートの位置を認識することとされてもよい。
　シートに設けられたパターンの位置からシートの位置を認識するので、シートの位置の認識を正確に行うことができる。
　また、前記シートは、複数の領域に区画され、前記パターンは、前記複数の領域のそれぞれを区画する線であることとされてもよい。
　もともとシートに形成された複数の領域のそれぞれを区画する線をパターンとしてシートの位置を認識するので、シート位置の認識のために新たにパターンを設ける必要がなく、適用されるシートの範囲を広くすることができる。
　また、前記シートにおける複数に区画された領域のうちの１つの領域から１つの基板が製造されることとされてもよい。
　シートにおける複数に区画された領域のうちの１つの領域から１つの基板が製造されるので、シートを効率的に使用することができる。
　また、前記シート状態認識手段は、前記シートの種類を認識することとされてもよい。
　シートの種類が認識されるので、シートを種類ごとの搬送位置に搬送することが可能となる。
　また、前記シート状態認識手段によって認識された前記シートの種類に基づいて、前記シートが、種類ごとに割り振られたシート搬送位置に搬送されることとされてもよい。
　認識されたシートの種類に基づいて、シートがその種類ごとに割り振られたシート搬送位置に搬送されるので、シートを割り振られた搬送位置に正確に搬送することができる。
　また、前記シートには、前記シートについての種類を示す識別手段が設けられ、前記シート状態認識手段は、前記識別手段から前記シートの種類を認識することとされてもよい。
　識別手段からシートの種類が認識されるので、シートの種類が正確に認識され、認識されたシートの種類に基づいて、シートがその種類ごとに割り振られたシート搬送位置に搬送されるので、シートを割り振られた搬送位置に正確に搬送することができる。
　また、前記識別手段は、マークであってもよい。
　また、前記識別手段は、模様であってもよい。
　また、前記シート状態認識手段は、前記シートを撮影する撮影手段を有し、前記シート状態認識手段は、前記撮影手段によって撮影された画像から前記シートの状態を認識することとされてもよい。
　撮影手段によって撮影された画像からシートの状態が認識されるので、シートの状態を正確に認識することができる。
　また、前記保持部は、ロボットのアームによって構成されていてもよい。
　また、シートを保持することが可能であり、前記シートを張った状態にすることが可能であると共に、前記シートを搬送することが可能な保持部と、前記シートの状態を認識するシート状態認識手段とを備えたシート搬送装置によって前記シートを搬送するシート搬送方法であって、前記シートを保持するシート保持工程と、前記シートを張った状態にするシート引張工程と、前記シートの状態を認識するシート状態認識工程と、前記シートを搬送するシート搬送工程とを備えることとされてもよい。
　シートが張った状態とするシート引張工程が行われてからシートの状態を認識するシート状態認識工程が行われ、シートの状態が認識されてからシート搬送工程が行われるので、精度の高いシートの搬送を行うことができる。
　本発明によれば、保持されたシートの状態を認識してからシートが搬送されるので、シートをより正確に搬送することができ、シートの搬送の精度を向上させることができる。
本発明の第１実施形態に係るシート搬送装置の斜視図である。 図１のシート搬送装置の正面図である。 （ａ）は図１のシート搬送装置で用いられる保持ユニットの正面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ－Ａ線の方向に沿って固定板、可動部及び吸引管を見た平面図である。 図１のシート搬送装置の制御系統の構成について示したブロック図である。 図１のシート搬送装置によって搬送の行われるシートの平面図である。 図１のシート搬送装置によってシートの搬送が行われる際のフローチャートである。 図１のシート搬送装置によってシートが保持されてから、シートが張った状態となるまでのそれぞれの工程について示した保持ユニット及びシートの正面図である。 図１のシート搬送装置によって搬送の行われたシートに対し回路が形成されて基板が製造される際のそれぞれの工程について示したシートの断面図である。 本発明の第２実施形態に係るシート搬送装置によってシートの搬送が行われる際のフローチャートである。
　以下、本発明の実施形態に係るシート搬送装置及びシート搬送方法について、添付図面を参照して説明する。
　図１に、第１実施形態に係るシート搬送装置１００についての斜視図を示す。シート搬送装置１００は、ロボットアームに保持された保持ユニット３０によってシートを保持することが可能に構成されている。保持ユニット３０によってシートを保持した状態でシートを搬送することが可能に構成されている。
　ここで、「シート」とは、薄く形成されることにより撓み、形状が維持されないものを広く含むものとする。例えば、布、プラスチック、フィルム、木材、皮革等により薄く形成されたものがシートに含まれる。また、衣服等、上記の材料によって形成されたものであって、機能を有するものがシートに含まれる。シートは、薄く形成されることにより、撓んだ状態から張った状態とすることができるようなものを広く含むものとする。
　シート搬送装置１００は、一対のロボットアーム１３を備える水平多関節型の双腕ロボットによって構成されている。図２に、シート搬送装置１００の正面図を示す。
　シート搬送装置１００は、第１ロボットアーム１３Ａ及び第２ロボットアーム１３Ｂを備えている。第１ロボットアーム１３Ａの先端部には、第１保持部１８が設けられている。第２ロボットアーム１３Ｂの先端部には、第２保持部１９が設けられている。以下では、第１ロボットアーム１３Ａ及び第２ロボットアーム１３Ｂを区別しない場合は、単にロボットアーム１３ということがある。
　シート搬送装置１００は、制御部１４及び真空発生装置（不図示）を備えている。
　制御部１４は、例えばシート搬送装置１００の支持台１２の内部に設けられている。しかし、これに限られるものではなく、例えばロボットアーム１３の内部等に設けられてもよい。また、他の空いたスペースに設けられてもよい。
　真空発生装置は、たとえば、真空ポンプやＣＯＮＶＵＭ（登録商標）などであり、例えば支持台１２の内部に設けられている。しかし、これに限られるものではなく、例えばロボットアーム１３の内部等、他の場所に設けられていてもよい。真空発生装置は、不図示の配管を介して保持ユニット３０の吸引口に接続されている。配管には、例えば、図示しない開閉弁が設けられており、開閉弁により配管が開放及び閉塞される。この真空発生装置の動作および開閉弁の開閉は制御装置により制御される。
　第１ロボットアーム１３Ａは、第１保持部１８を所定の動作範囲内で移動させる。また、第２ロボットアーム１３Ｂは、第２保持部１９を所定の動作範囲内で移動させる。ロボットアーム１３は、例えば水平多関節型ロボットアームであって、アーム部２１と、リスト部２２とを含む。また、第１ロボットアーム１３Ａ及び第２ロボットアーム１３Ｂは、互いに独立して動作したり、互いに関連して動作したりすることができる。
　シート搬送装置１００は、支持台１２と、支持台１２から鉛直方向上方に延びた基軸１６とを備えている。基軸１６は、支持台１２に回転運動可能に取り付けられている。
　基軸１６には、アーム部２１が水平方向に延在するように取り付けられている。アーム部２１は、基軸１６を中心に回転可能に取り付けられている。
　アーム部２１は、第１リンク２１ａ及び第２リンク２１ｂを含む。第１リンク２１ａ及び第２リンク２１ｂは、相互に水平方向に沿って回転可能に支持されている。アーム部２１を介して、基軸１６に第１ロボットアーム１３Ａ及び第２ロボットアーム１３Ｂが接続されている。
　アーム部２１は、第１ロボットアーム１３Ａ及び第２ロボットアーム１３Ｂの先端部に取り付けられたリスト部２２を、動作範囲内の任意の位置に位置決めする。
　第１リンク２１ａは、基端部が支持台１２の基軸１６と回転関節Ｊ１により連結され、基軸１６の軸心を通る回転軸線Ｌ１まわりに回動可能である。第２リンク２１ｂは、第１リンク２１ａの先端部と回転関節Ｊ２により連結され、第１リンク２１ａの先端部に規定された回転軸線Ｌ２まわりに回動可能である。
　リスト部２２は、その先に連なる機構を任意の姿勢に変更する。リスト部２２は、昇降部２２ａと、回動部２２ｂとを含む。昇降部２２ａは、第２リンク２１ｂの先端部と直動関節Ｊ３により連結され、第２リンク２１ｂに対し昇降移動可能である。回動部２２ｂは、昇降部２２ａの下端部と回転関節Ｊ４により連結され、昇降部２２ａの下端に規定された回転軸線Ｌ３まわりに回動可能である。
　本実施形態において、回転軸線Ｌ１～Ｌ３は、互いに平行であり、例えば鉛直方向に延在する。また、回転軸線Ｌ１～Ｌ３の延在方向と、昇降部２２ａの昇降移動方向とは、互いに平行である。
　アーム１３には、各関節Ｊ１～Ｊ４に対応付けられるように、駆動用のサーボモータ（図示せず）、および、そのサーボモータの回転角を検出するエンコーダ（図示せず）等が設けられている。また、第１ロボットアーム１３Ａの回転軸線Ｌ１と第２ロボットアーム１３Ｂの回転軸線Ｌ１は同一直線上にあり、第１ロボットアーム１３Ａの第１リンク２１ａと、第２ロボットアーム１３Ｂの第１リンク２１ａとは上下に高低差を設けて配置されている。
　次に、第１保持部１８、第２保持部１９が把持することが可能なハンド部について説明する。本実施形態においては、第２保持部１９は、ハンド部として、保持ユニット（保持部）３０を把持する。
　保持ユニット３０について説明する。図３（ａ）に保持ユニット３０の正面図を示し、図３（ｂ）に、図３（ａ）におけるＡ－Ａ線の方向に沿って保持ユニット３０の固定板３４、可動部３５及び吸引管３２を見た平面図を示す。
　図３（ａ）、（ｂ）に示されるように、保持ユニット３０には、複数の吸引管３２が設けられている。本実施形態では、搬送を行う対象のシートの外縁部に対応する位置に、１０個の吸引管３２が設けられている。それぞれの吸引管３２の先端部に吸引口３１が設けられている。本実施形態では、それぞれの吸引管３２に対応して１０個の吸引口３１が設けられている。
　吸引管３２は、真空発生装置に接続されている。吸引管３２を介して吸引口３１から吸引を行うことにより、吸引口３１から空気を吸引することができる。吸引口３１がシートに接触した状態で吸引口３１から吸引を行うことにより、吸引口３１にシートを吸着させることができる。
　保持ユニット３０は、支持板３３を備えている。また、保持ユニット３０は、支持板３３に固定的に取り付けられた固定板３４を備えている。また、保持ユニット３０は、固定板３４に対し移動可能に保持ユニット３０に取り付けられた可動部３５を備えている。固定板３４及び可動部３５は、支持板３３に接続され、支持板３３が、固定板３４及び可動部３５を支持している。可動部３５は、支持板３３に対し移動可能に、支持板３３に接続されている。
　吸引管３２は、それぞれ固定板３４あるいは可動部３５に取り付けられている。本実施形態では、１０個の吸引管３２のうち、５個の吸引管３２が固定板３４に取り付けられ、５個の吸引管３２が可動部３５に取り付けられている。このように、複数の吸引管３２のうち、一部の吸引管３２については固定板３４に取り付けられ、残りの吸引管３２については可動部３５に取り付けられている。従って、一部の吸引管３２に対し、残りの吸引管３２が移動可能に構成されている。これにより、一部の吸引管３２については保持ユニット３０に対し固定的に取り付けられ、残りの吸引管３２については保持ユニット３０に対し移動可能に構成されている。
　なお、本実施形態では、５個の吸引管３２について固定板３４に取り付けられ、５個の吸引管３２については可動部３５に取り付けられる構成としたが、本発明はこれに限定されない。保持ユニット３０に対し固定的に取り付けられた吸引管３２の数と、保持ユニット３０に対し移動可能に取り付けられた吸引管３２の数とについては、他の数であってもよい。
　また、保持ユニット３０には、保持ユニット３０によって保持されたシートを撮影可能なカメラ（撮影手段）３６が取り付けられている。
　次に、シート搬送装置１００の動作を制御する制御部１４について説明する。図４は、シート搬送装置１００の制御系統の構成例を概略的に示すブロック図である。
　図４に示されるように、制御部１４は、演算部１４ａと、記憶部１４ｂと、サーボ制御部１４ｃと、保持ユニット制御部１４ｄとを含む。
　制御部１４は、例えばマイクロコントローラ等のコンピュータを備えたロボットコントローラである。なお、制御部１４は、集中制御する単独の制御部１４によって構成されていてもよいし、互いに協働して分散制御する複数の制御部１４によって構成されていてもよい。
　記憶部１４ｂには、ロボットコントローラとしての基本プログラム、各種固定データ等の情報が記憶されている。演算部１４ａは、記憶部１４ｂに記憶された基本プログラム等のソフトウェアを読み出して実行することにより、ロボット１の各種動作を制御する。すなわち、演算部１４ａは、ロボット１の制御指令を生成し、これをサーボ制御部１４ｃ及び保持ユニット制御部１４ｄに出力する。サーボ制御部１４ｃは、演算部１４ａにより生成された制御指令に基づいて、ロボット１の第１ロボットアーム１３Ａ及び第２ロボットアーム１３Ｂのそれぞれの関節Ｊ１～Ｊ４に対応するサーボモータの駆動を制御するように構成されている。
　保持ユニット制御部１４ｄは、演算部１４ａにより生成された制御指令に基づいて、真空発生装置及び駆動部を制御することによって、保持ユニット３０による吸引、移動及び動作を制御する。
　図５に、搬送の行われるシートの平面図を示す。図５に示されるように、搬送装置１００によって搬送の行われるシートは、複数の領域に区画されている。シートが複数の領域に区画され、複数に区画された領域のうちの１つの領域から１つの基板が製造される。そのため、シートにおける区画されたそれぞれの領域が、後の工程で基板として用いられる領域として、それぞれの領域ごとに取り出される。このときにシートを切断し易いように、シートには、複数の領域のそれぞれを区画する線５１に沿って、複数の穴が間欠的に設けられている。シートに複数の穴が形成されているので、間欠的に複数の穴の形成されている線に沿ってシートが破断され易く、シートの切断が容易になっている。
　また、本実施形態では、シートにおける複数の領域を区画する線５１がパターンとして用いられている。また、複数の領域のそれぞれを区画する線５１に沿って間欠的に設けられた複数の穴が、パターンとして用いられている。シートの位置を確認する際には、パターンとして機能している複数の領域のそれぞれを区画する線５１の位置を認識することにより、シートの位置が認識される。シートにおける複数の領域のそれぞれを区画する線５１がパターンとして用いられているので、シートの位置を認識するためのパターンをシートに新たに設ける必要がない。従って、シートの構成を簡易にすることができ、シートの製造コストを少なく抑えることができる。
　以上のように構成されたシート搬送装置１００によってシートの搬送が行われる際の動作について説明する。図６に、シート搬送装置１００によってシートを搬送させる際のフローチャートを示す。以下、図６のフローチャートを参照してシートの搬送を行う際の各工程について説明する。
　図５に示されるシートについて搬送する際には、まず、シートが保持ユニット３０によって保持される（Ｓ１）。
　図７（ａ）～（ｄ）に、保持ユニット３０がシートを保持してシートを張った状態にする際の保持ユニット３０及びシートについての正面図を示す。図７（ａ）に示されるように、保持ユニット３０が移動して、テーブル上に載置されたシートに近接する。図７（ｂ）に示されるように、保持ユニット３０における吸引口３１がシートに接触するまで保持ユニット３０を移動させる。
　保持ユニット３０がシートに接触すると、吸引口３１から空気を吸引させ、吸引口３１にシートを吸着させる。これによって、保持ユニット３０がシートを吸着して保持する（シート保持工程）。保持ユニット３０がシートを吸着して保持すると、図７（ｃ）に示されるように、保持ユニット３０が上方に移動してシートが浮いた状態にする。このとき、シートは多少撓んでいてもよい。
　シートが浮いた状態になると、そこから、図７（ｄ）に示されるように、保持ユニット３０における可動部３５を固定板３４に対し移動させる。このとき、可動部３５に取り付けられた吸引管３２のみ、図７（ｄ）に示される矢印Ｂの方向に移動させる。可動部３５が固定板３４に対し移動するので、可動部３５に取り付けられた吸引管３２が、固定板３４に取り付けられた吸引管３２に対し移動する。これにより、シートを吸着している吸引管３２のうち、一部の吸引管３２のみ移動する。従って、シートが張った状態で保持される（シート引張工程）。
　シートが張った状態になると、保持ユニット３０に取り付けられたカメラ３６によってシートが撮影される。シートが撮影されると、シートに形成されたパターンの位置が画像によって認識される。これにより、シート搬送装置１００によって、パターンの位置が認識される（Ｓ３）。また、認識されたパターンの位置に基づいて、シートの位置が認識される（Ｓ４）。これにより、シート搬送装置１００によって、保持ユニット３０により保持された状態のシートの保持された位置が認識される（シート状態認識工程）。
　このように、本実施形態では、シート状態認識工程として、保持ユニット３０によって保持された状態のシートにおけるシートの保持されている位置が認識される。そのため、ここでは、シートの状態として、シートの位置が認識される。このとき、シートを撮影するカメラ３６及びシート搬送装置１００の動作を制御する制御部１４が、シートの状態を認識するシート状態認識手段として機能する。
　シートの位置が認識されると、認識されたシートの位置に基づいて、保持ユニット３０が、シートを目標の搬送位置に搬送させる（Ｓ５）（シート搬送工程）。シートの搬送は、保持ユニット３０がシートを保持したまま移動することによって行われる。このとき、保持ユニット３０によって保持されたシートの位置が正確に認識されていることから、シートを目標の搬送位置に正確に搬送することができる。
　保持ユニット３０がシートを吸着によって保持する際に、保持ユニット３０に対するシートの保持される位置については、ばらつきが生じる可能性がある。本実施形態では、シートの保持される位置にばらつきが生じ、シートが保持されるごとにシートの位置にずれが生じたとしても、そのシートの位置が正確に認識されている。従って、シートの搬送の際に、シートのずれについて補正をしながら、シートの搬送を行うことができる。これにより、シートの保持される位置に関係なく、シートを目標の搬送位置に正確に搬送することができる。従って、シートが搬送されるごとにばらつきが生じることなく、安定して高精度のシート搬送を行うことができる。
　本実施形態では、シートの搬送先の目標位置にピンが設けられ、シートのピンに対応する位置に穴が形成されている。目標位置のピンをシートの穴に挿入することにより、シートを搬送先の目標位置に設置している。シートを目標の搬送位置に精度良く配置することができるので、目標位置のピンとシートの穴との間で公差がシビアであっても、ピンを穴に挿入することができる。本実施形態では、直径２ｍｍの穴がシートに形成され、直径１．９５ｍｍのピンが目標の搬送位置に形成されている。
　なお、シート状態認識手段によって認識されるシートの状態は、他の状態であってもよい。保持ユニット３０によって保持されたシートの位置ではなく、他の状態が認識されてもよい。
　シートが目標位置に搬送されると、そこで保持ユニット３０によるシートの保持が解除されてシートの乾燥が行われる。その後、シートを再び吸着、保持した状態でシートを引っ張り、シートを張った状態にする。シートが張った状態になると、その状態でシートの検査が行われる。
　また、シートが目標位置に搬送されると、そこでシート上に回路が形成されて基板が製造される。図８に、シート上に回路が形成されて基板が製造される際のそれぞれの工程についてのシートについての断面図を示す。
　図８（ａ）に示されるように、シート５０上に接着剤５２を介して銅箔５３が配置されている。また、銅箔５３上には、フォトレジスト５４が配置される。
　図８（ｂ）に示されるように、マスクを介して露光することにより、フォトレジスト上に回路パターンを転写させる。このとき、銅箔５３のうち、電気を通す銅線として機能する部分のみ、フォトレジスト５４に感光させて、フォトレジスト５４を硬化させる。
　図８（ｃ）に示されるように、フォトレジスト５４における感光した部分以外の部分を除去する。これにより、硬化した感光した部分だけが銅箔５３上に残った状態となる。
　図８（ｄ）に示されるように、フォトレジスト５４における残った部分をエッチングストップ層とし、銅箔５３のエッチングを行う。従って、フォトレジスト５４におけるエッチングストップ層として残った部分の直下の銅箔５３についてはフォトレジスト５４と共にシート５０上に残り、それ以外の部分の銅箔５３についてはエッチングによってシート５０上から除去される。
　その後、図８（ｅ）に示されるように、フォトレジスト５４が除去される。これにより、シート５０上に回路に対応した銅箔５３が形成され、シート５０によって基板が製造される。
　本実施形態では、図８（ｂ）に示されるように銅箔５３及びフォトレジスト５４を配置したシート５０に露光が行われる段階で、シート５０が搬送の目標位置に正確に配置されている。従って、シート５０上に回路を形成するために露光によってシート５０上のフォトレジスト５４に回路パターンをプリントする際に、シート５０が正確に配置されている。従って、シート５０上の適切な位置に正確に回路パターンがプリントされる。そのため、結果的に、正確な位置に回路が形成された品質の高い基板を製造することができる。
　このように、シートが搬送された後にシート上に回路をプリントして基板を製造する場合には、シート上に回路を正確にプリントすることができ、基板の品質を高く保つことができる。
　なお、上記実施形態では、保持ユニット３０が吸着によってシートを保持している形態について説明したが、本発明はこれに限定されない。吸着以外の手段によってシートが保持ユニットに保持されてもよい。シートがピンと穴との係合によって保持ユニットに保持されてもよいし、シートがクランプされることによってシートが保持ユニットに保持されてもよい。また、他の手段によってシートが保持されてもよい。
　また、上記実施形態では、シートの搬送の後にシート上に回路が形成されて基板が製造される形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。シートが搬送された後には、他の工程が行われてもよい。シートが目標位置に搬送され、シートが目標位置に正確に搬送されることにより効果が得られる工程が行われるのであれば、他の工程が行われてもよい。
　また、Ｓ５で認識されたシートの位置から、シートが保持ユニット３０によって目標の搬送位置へ搬送されることが可能かどうかを予め認識することとしてもよい。シートを張った状態にしてシートが保持ユニット３０によって保持されたときに、シートの状態によっては、シートを目標の搬送位置へ搬送することができないことがそこで認識される可能性がある。例えば、シートが破損等していることにより、上記実施形態のシート搬送装置によって目標の搬送位置へシートを搬送することができない場合がある。その場合には、認識されたシートの位置から、シートが保持ユニット３０によって目標の搬送位置へ搬送されることが可能かどうかを認識することとしてもよい。シートが保持ユニット３０によって目標の搬送位置へ搬送されることが可能かどうかを認識し、シートを目標の搬送位置へ搬送することができない場合には、シートの搬送を行わないこととしてもよい。
　また、上記実施形態では、シートに形成されたパターンが、複数の領域を区画する線５１である形態について説明したが、本発明はこれに限定されない。シートには、他のパターンが形成されてもよい。例えば、シートの表面に模様が形成され、模様の位置を認識することにより、シートの位置が認識されてもよい。また、他の形態のパターンがシートに形成されてもよい。
　また、上記実施形態では、シートの画像を撮影するカメラ３６が保持ユニット３０に取り付けられている形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。カメラ３６の取り付けられる位置は、他の位置であってもよい。例えば、シート搬送装置１００の支持台１２に設けられてもよい。シートの位置を確認できる位置であれば、カメラ３６は、保持ユニット以外の他の位置に取り付けられてもよい。
　また、上記実施形態では、撮像手段としてカメラが用いられている形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。静止画像を撮影するカメラ以外の撮像手段によって、シートの位置が認識されてもよい。例えば、動画を撮影する撮影手段によってシートの位置が認識されてもよい。
　また、上記実施形態では、カメラ３６によって撮影された画像によってシートの位置を認識する形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。シートの位置を認識する手段は、カメラ以外のものであってもよい。例えば、光学的なセンサが用いられてもよい。
（第２実施形態）
　次に、本発明の第２実施形態に係るシート搬送装置について説明する。なお、上記第１実施形態と同様に構成される部分については説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
　第１実施形態では、シート上に形成されたパターンの位置が認識され、パターンの位置からシートの位置が認識されて、認識されたシートの位置に基づいて、保持ユニットがシートを目標位置に搬送する形態について説明した。これに対し、第２実施形態では、シート上に形成された識別手段からそのシートについての種類を認識し、シートの種類に基づいて、そのシートを、種類ごとに割り振られたシート搬送位置に搬送する。
　図９に、第２実施形態のシート搬送についてのフローチャートを示す。シートが保持されてから、シートを張った状態にするまでの工程は、図６に示される第１実施形態のフローと同様である。
　シートが張った状態にされると、カメラ３６によってシートが撮影される（Ｓ６）。シートには、シートの種類を示す識別手段として、マークが形成されている。
　シートが張った状態で撮影されると、シートに形成されたマークから、そのシートの種類が認識される（Ｓ７）。
　本実施形態では、予め、シートの種類ごとに割り振られたシート搬送位置が設定されている。シートの種類が認識されると、シートの種類から、そのシートについてのシート搬送位置にシートが搬送される（Ｓ８）。これにより、シートが、そのシートについて設定されたシート搬送位置に正確に搬送される。
　例えば、本実施形態のシート搬送装置によって搬送されるシートとして、衣服が適用されてもよい。衣服の搬送を行う際には、まず、保持ユニット３０が衣服を保持する。保持ユニット３０が衣服を保持したまま、保持ユニット３０が衣服を張った状態にする。カメラ３６によって張った状態の衣服が撮影され、衣服に形成されたマークから衣服の種類が認識される。衣服の種類が認識されると、その衣服についての搬送位置にその衣服が搬送される。
　なお、上記実施形態では、シートの種類を示す識別手段として、マークが用いられているが、本発明はこれに限定されない。例えば、シートの種類を示す識別手段として、模様がシートに形成されてもよい。また、シートの種類を示す識別手段として、他の識別手段が用いられてもよい。
　１４　制御部
　３０　保持ユニット
　３６　カメラ

Claims (15)

  1. 　シートを保持することが可能であり、前記シートを保持しつつ前記シートを張った状態にすると共に、保持した前記シートを搬送することが可能な保持部と、
    　前記保持部によって前記シートが張った状態で保持されたときに、前記シートの状態を認識するシート状態認識手段とを備えることを特徴とするシート搬送装置。
  2. 　前記シート状態認識手段は、前記シートの位置を認識することを特徴とする請求項１に記載のシート搬送装置。
  3. 　前記シート状態認識手段によって認識された前記シートの位置に基づいて、前記保持部が、前記シートを目標の搬送位置に搬送させることを特徴とする請求項２に記載のシート搬送装置。
  4. 　前記シート状態認識手段は、認識された前記シートの位置から、前記シートが前記保持部によって目標の搬送位置へ搬送されることが可能かどうかを認識することを特徴とする請求項３に記載のシート搬送装置。
  5. 　前記シートにはパターンが設けられており、
    　前記シート状態認識手段は、前記パターンの位置を認識することにより、前記シートの位置を認識することを特徴とする請求項２から４のいずれか１項に記載のシート搬送装置。
  6. 　前記シートは、複数の領域に区画され、
    　前記パターンは、前記複数の領域のそれぞれを区画する線であることを特徴とする請求項５に記載のシート搬送装置。
  7. 　前記シートにおける複数に区画された領域のうちの１つの領域から１つの基板が製造されることを特徴とする請求項６に記載のシート搬送装置。
  8. 　前記シート状態認識手段は、前記シートの種類を認識することを特徴とする請求項１に記載のシート搬送装置。
  9. 　前記シート状態認識手段によって認識された前記シートの種類に基づいて、前記シートが、種類ごとに割り振られたシート搬送位置に搬送されることを特徴とする請求項８に記載のシート搬送装置。
  10. 　前記シートには、前記シートについての種類を示す識別手段が設けられ、
    　前記シート状態認識手段は、前記識別手段から前記シートの種類を認識することを特徴とする請求項８または９に記載のシート搬送装置。
  11. 　前記識別手段は、マークであることを特徴とする請求項１０に記載のシート搬送装置。
  12. 　前記識別手段は、模様であることを特徴とする請求項１０に記載のシート搬送装置。
  13. 　前記シート状態認識手段は、前記シートを撮影する撮影手段を有し、
    　前記シート状態認識手段は、前記撮影手段によって撮影された画像から前記シートの状態を認識することを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載のシート搬送装置。
  14. 　前記保持部は、ロボットのアームによって構成されていることを特徴とする請求項１から１３のいずれか１項に記載のシート搬送装置。
  15. 　シートを保持することが可能であり、前記シートを張った状態にすることが可能であると共に、前記シートを搬送することが可能な保持部と、前記シートの状態を認識するシート状態認識手段とを備えたシート搬送装置によって前記シートを搬送するシート搬送方法であって、
    　前記シートを保持するシート保持工程と、
    　前記シートを張った状態にするシート引張工程と、
    　前記シートの状態を認識するシート状態認識工程と、
    　前記シートを搬送するシート搬送工程とを備えることを特徴とするシート搬送方法。
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