TW201906777A

TW201906777A - 薄片搬送裝置及薄片搬送方法

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Publication number: TW201906777A
Application number: TW107114043A
Authority: TW
Inventors: 日比野聡
Original assignee: 日商川崎重工業股份有限公司
Priority date: 2017-04-25
Filing date: 2018-04-25
Publication date: 2019-02-16
Also published as: EP3616859A1; CN110831728A; US11478938B2; JP6878117B2; CN110831728B; JP2018183834A; TWI674237B; EP3616859A4; EP3616859B1; US20200086499A1; WO2018199066A1

Abstract

本發明提供一種能夠更準確地搬送薄片之薄片搬送裝置及薄片搬送方法。薄片搬送裝置具有保持部，該保持部能夠保持薄片，能夠一面保持薄片一面使薄片成為張緊狀態，並且搬送所保持之薄片。又，薄片搬送裝置具有薄片狀態辨識手段，該薄片狀態辨識手段於薄片以張緊狀態被保持部保持時，辨識薄片之狀態。

Description

薄片搬送裝置及薄片搬送方法

本發明係關於一種將所保持之薄片搬送至特定位置之薄片搬送裝置及薄片搬送方法。

先前使用利用使薄片保持張緊狀態之治具搬送薄片之方法。關於使薄片保持張緊狀態之治具，於專利文獻1中有所揭示。

根據專利文獻1，治具具有銷，於薄片設置有孔。銷被彈簧向外側施壓而安裝於治具。於在薄片之孔中插入有銷之狀態下，銷向外側被施壓，藉此，薄片保持張緊狀態。構成為能夠一面以張緊狀態保持薄片一面將薄片搬送至特定位置。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本特開平6-216496號公報

然而，關於專利文獻1中揭示之治具，存在無法辨識薄片是否正常保持於治具之情形。若薄片以偏移狀態保持於治具而被搬送，則有可能因此導致薄片之搬送精度降低。若於該狀態下進行薄片搬送，則有可能對之後之步驟造成影響。例如，於在薄片上形成電路而製造可撓性基板之情形時，有可能無法於薄片上準確地印刷電路而導致所製造之基板之品質降低。

因此，本發明鑒於上述情況，目的在於提供一種能夠更準確地搬送薄片之薄片搬送裝置及薄片搬送方法。

本發明之薄片搬送裝置之特徵在於具備：保持部，其能夠保持薄片，能夠一面保持上述薄片一面使上述薄片成為張緊狀態，並且搬送所保持之上述薄片；及薄片狀態辨識手段，其於上述薄片以張緊狀態被上述保持部保持時，辨識上述薄片之狀態。

上述構成之薄片搬送裝置係於薄片成為張緊狀態後才辨識薄片之狀態，辨識出薄片之狀態後才進行薄片搬送，因此，能夠進行精度較高之薄片搬送。

又，亦可構成為上述薄片狀態辨識手段辨識上述薄片之位置。

由於辨識出薄片位置，故能夠將薄片準確地搬送至搬送位置。

又，亦可構成為，基於由上述薄片狀態辨識手段辨識出之上述薄片之位置，上述保持部將上述薄片搬送至目標搬送位置。

由於基於辨識出之薄片位置，將薄片搬送至目標搬送位置，故能夠將薄片更準確地搬送至搬送位置。

又，亦可構成為，上述薄片狀態辨識手段根據辨識出之上述薄片之位置辨識上述薄片是否能夠由上述保持部搬送至目標搬送位置。

由於辨識薄片是否能夠被搬送至目標搬送位置後才進行薄片搬送，故於進行薄片搬送方面，能夠確實地進行薄片搬送。因此，能夠製成確實性較高之薄片搬送裝置。

又，亦可構成為，於上述薄片設置有圖案，且上述薄片狀態辨識手段藉由辨識上述圖案之位置而辨識上述薄片之位置。

由於根據設置於薄片之圖案之位置辨識薄片位置，故能夠準確地進行薄片位置之辨識。

又，亦可構成為，上述薄片被劃分為複數個區域，且上述圖案為劃分上述複數個區域之各者之線。

由於以原本形成於薄片之劃分複數個區域之各者之線為圖案來辨識薄片位置，故無須為了辨識薄片位置而新設置圖案，從而能夠擴大所應用之薄片之範圍。

又，亦可構成為由上述薄片中之複數個劃分區域中之1個區域製造1個基板。

由於由薄片中之複數個劃分區域中之1個區域製造1個基板，故能夠有效率地使用薄片。

又，亦可構成為上述薄片狀態辨識手段辨識上述薄片之種類。

由於辨識出薄片之種類，故能夠將薄片搬送至按種類區分之搬送位置。

又，亦可構成為，基於由上述薄片狀態辨識手段辨識出之上述薄片之種類，將上述薄片搬送至按照種類分配之薄片搬送位置。

由於基於辨識出之薄片之種類將薄片搬送至按照其種類分配之薄片搬送位置，故能夠將薄片準確地搬送至所分配之搬送位置。

又，亦可構成為，於上述薄片設置有表示上述薄片之種類之識別手段，且上述薄片狀態辨識手段根據上述識別手段辨識上述薄片之種類。

由於根據識別手段辨識薄片之種類，故準確地辨識薄片之種類，並基於辨識出之薄片之種類，將薄片搬送至按照其種類分配之薄片搬送位置，因此，能夠將薄片準確地搬送至所分配之搬送位置。

又，上述識別手段亦可為標記。

又，上述識別手段亦可為花紋。

又，亦可構成為，上述薄片狀態辨識手段具有拍攝上述薄片之攝影手段，且上述薄片狀態辨識手段根據由上述攝影手段拍攝到之圖像辨識上述薄片之狀態。

由於根據由攝影手段拍攝到之圖像辨識薄片之狀態，故能夠準確地辨識薄片之狀態。

又，上述保持部亦可由機器人之臂構成。

又，亦可實現一種薄片搬送方法，其係利用具備能夠保持薄片且能夠使上述薄片成為張緊狀態並且能夠搬送上述薄片之保持部、及辨識上述薄片之狀態之薄片狀態辨識手段的薄片搬送裝置搬送上述薄片者，且具備：薄片保持步驟，其保持上述薄片；薄片拉伸步驟，其使上述薄片成為張緊狀態；薄片狀態辨識步驟，其辨識上述薄片之狀態；及薄片搬送步驟，其搬送上述薄片。

由於進行使薄片成為張緊狀態之薄片拉伸步驟後才進行辨識薄片之狀態之薄片狀態辨識步驟，辨識出薄片之狀態後才進行薄片搬送步驟，故能夠進行精度較高之薄片搬送。

根據本發明，辨識出所保持之薄片之狀態後才搬送薄片，因此，能夠更準確地搬送薄片，而能夠提昇薄片搬送之精度。

14‧‧‧控制部

30‧‧‧保持單元

36‧‧‧相機

圖1係本發明之第1實施形態之薄片搬送裝置之立體圖。

圖2係圖1之薄片搬送裝置之前視圖。

圖3(a)係圖1之薄片搬送裝置中使用之保持單元之前視圖，(b)係沿(a)之A-A線之方向觀察固定板、可動部及吸引管所得之俯視圖。

圖4係表示圖1之薄片搬送裝置之控制系統之構成之方塊圖。

圖5係由圖1之薄片搬送裝置進行搬送之薄片之俯視圖。

圖6係利用圖1之薄片搬送裝置進行薄片搬送時之流程圖。

圖7係表示利用圖1之薄片搬送裝置保持薄片後直至薄片成為張緊狀態為止之各步驟的保持單元及薄片之前視圖。

圖8係表示對由圖1之薄片搬送裝置進行搬送之薄片形成電路而製造基板時之各步驟的薄片之剖面圖。

圖9係利用本發明之第2實施形態之薄片搬送裝置進行薄片搬送時之流程圖。

以下，參照隨附圖式對本發明之實施形態之薄片搬送裝置及薄片搬送方法進行說明。

於圖1中表示第1實施形態之薄片搬送裝置100之立體圖。薄片搬送裝置100構成為能夠利用保持於機械臂之保持單元30保持薄片。構成為能夠於利用保持單元30保持薄片之狀態下搬送薄片。

此處，「薄片」廣泛包含因較薄地形成而彎曲從而無法維持形狀者。例如，由布、塑膠、膜、木材、皮革等較薄地形成者包含於薄片中。又，衣服等由上述材料形成者且具有功能者包含於薄片中。薄片廣泛包含如因較薄地形成而能夠由彎曲狀態成為張緊狀態者。

薄片搬送裝置100由具備一對機械臂13之水平多關節型之雙臂機器人構成。於圖2中表示薄片搬送裝置100之前視圖。

薄片搬送裝置100具備第1機械臂13A及第2機械臂13B。於第1機械臂13A之前端部，設置有第1保持部18。於第2機械臂13B之前端部，設置有第2保持部19。以下，於不區分第1機械臂13A及第2機械臂13B之情形時，有時簡稱為機械臂13。

薄片搬送裝置100具備控制部14及真空產生裝置(未圖示)。

控制部14例如設置於薄片搬送裝置100之支持台12之內部。但是，並不限定於此，例如，亦可設置於機械臂13之內部等。又，亦可設置於其他空閒空間。

真空產生裝置例如為真空泵或CONVUM(註冊商標)等，例如設置於支持台12之內部。但是，並不限定於此，例如亦可設置於機械臂13之內部等其他部位。真空產生裝置經由未圖示之配管而與保持單元30之吸引口連接。於配管，例如設置有未圖示之開關閥，利用開關閥將配管打開及關閉。該真空產生裝置之動作及開關閥之開關係由控制裝置控制。

第1機械臂13A使第1保持部18於特定動作範圍內移動。又，第2機械臂13B使第2保持部19於特定動作範圍內移動。機械臂13例如為水平多關節型機械臂，包含臂部21及腕部22。又，第1機械臂13A及第2機械臂13B能夠相互獨立地動作或相互關聯地動作。

薄片搬送裝置100具備支持台12及自支持台12向鉛直方向上方延伸之基軸16。基軸16可旋轉運動地安裝於支持台12。

於基軸16，以於水平方向延伸之方式安裝有臂部21。臂部21係能夠以基軸16為中心旋轉地安裝。

臂部21包含第1連桿21a及第2連桿21b。第1連桿21a及第2連桿21b彼此可沿水平方向旋轉地被支持。經由臂部21而於基軸16連接有第1機械臂13A及第2機械臂13B。

臂部21將安裝於第1機械臂13A及第2機械臂13B之前端部之腕部22定位至動作範圍內之任意位置。

關於第1連桿21a，基端部藉由旋轉關節J1與支持台12之基軸16連結，能夠繞經過基軸16之軸心之旋轉軸線L1旋動。第2連桿21b藉由旋轉關節J2與第1連桿21a之前端部連結，能夠繞於第1連桿21a之前端部規定之旋轉軸線L2旋動。

腕部22將與其前部相連之機構變更為任意姿勢。腕部22包含升降部22a及旋動部22b。升降部22a利用直動關節J3與第2連桿21b之前端部連結，可相對於第2連桿21b升降移動。旋動部22b利用旋轉關節J4與升降部22a之下端部連結，能夠繞於升降部22a之下端規定之旋轉軸線L3旋動。

於本實施形態中，旋轉軸線L1~L3相互平行，例如於鉛直方向延伸。又，旋轉軸線L1~L3之延伸方向與升降部22a之升降移動方向相互平行。

於臂13，以與各關節J1~J4建立對應之方式設置有驅動用之伺服馬達(未圖示)及檢測該伺服馬達之旋轉角之編碼器(未圖示)等。又，第1機械臂13A之旋轉軸線L1與第2機械臂13B之旋轉軸線L1位於同一直線上，第1機械臂13A之第1連桿21a與第2機械臂13B之第1連桿21a於上下設置高低差而配置。

其次，對第1保持部18、第2保持部19能夠固持之手形部進行說明。於本實施形態中，第2保持部19固持保持單元(保持部)30作為手形部。

對保持單元30進行說明。於圖3(a)中表示保持單元30之前視圖，於圖3(b)中表示沿圖3(a)中之A-A線之方向觀察保持單元30之固定板34、可動部35及吸引管32所得之俯視圖。

如圖3(a)、(b)所示，於保持單元30設置有複數個吸引管 32。於本實施形態中，於與進行搬送之對象之薄片之外緣部對應之位置，設置有10個吸引管32。於各吸引管32之前端部設置有吸引口31。於本實施形態中，與各吸引管32對應地設置有10個吸引口31。

吸引管32與真空產生裝置連接。藉由經由吸引管32自吸引口31進行吸引，而能夠自吸引口31吸引空氣。藉由在吸引口31與薄片接觸之狀態下自吸引口31進行吸引，而能夠使薄片吸附於吸引口31。

保持單元30具備支持板33。又，保持單元30具備固定地安裝於支持板33之固定板34。又，保持單元30具備可相對於固定板34移動地安裝於保持單元30之可動部35。固定板34及可動部35與支持板33連接，支持板33支持固定板34及可動部35。可動部35可相對於支持板33移動地與支持板33連接。

吸引管32分別安裝於固定板34或可動部35。於本實施形態中，10個吸引管32中之5個吸引管32安裝於固定板34，5個吸引管32安裝於可動部35。如此，複數個吸引管32中之一部分吸引管32安裝於固定板34，剩餘之吸引管32安裝於可動部35。因此，構成為，相對於一部分吸引管32，剩餘之吸引管32能夠移動。藉此構成為，一部分吸引管32相對於保持單元30固定地安裝，而剩餘之吸引管32能夠相對於保持單元30移動。

再者，於本實施形態中，構成為5個吸引管32安裝於固定板34而5個吸引管32安裝於可動部35，但本發明並不限定於此。相對於保持單元30固定地安裝之吸引管32之數量及能夠相對於保持單元30移動地安裝之吸引管32之數量亦可為其他數量。

又，於保持單元30安裝有能夠拍攝由保持單元30保持之薄片之相機(攝影手段)36。

其次，對控制薄片搬送裝置100之動作之控制部14進行說明。圖4係概略性地表示薄片搬送裝置100之控制系統之構成例之方塊圖。

如圖4所示，控制部14包含運算部14a、記憶部14b、伺服控制部14c、及保持單元控制部14d。

控制部14例如為微控制器等具備電腦之機器人控制器。再者，控制部14可由進行集中控制之單個控制部14構成，亦可由相互協動地進行分散控制之複數個控制部14構成。

於記憶部14b記憶有作為機器人控制器之基本程式、各種固定資料等資訊。運算部14a藉由讀出記憶部14b中記憶之基本程式等軟體並予以執行，而控制機器人1之各種動作。即，運算部14a生成機器人1之控制指令，並將其輸出至伺服控制部14c及保持單元控制部14d。伺服控制部14c構成為基於由運算部14a生成之控制指令，控制與機器人1之第1機械臂13A及第2機械臂13B之各個關節J1~J4對應之伺服馬達之驅動。

保持單元控制部14d基於由運算部14a生成之控制指令，控制真空產生裝置及驅動部，藉此控制利用保持單元30進行之吸引、移動及動作。

於圖5中表示進行搬送之薄片之俯視圖。如圖5所示，由搬送裝置100進行搬送之薄片被劃分為複數個區域。薄片被劃分為複數個區域，由複數個劃分區域中之1個區域製造1個基板。因此，薄片中劃分之各區域於之後之步驟中作為用作基板之區域而以各區域為單位取出。此時，以容易將薄片切斷之方式，於薄片沿劃分複數個區域之各者之線51間斷地設置有複數個孔。由於在薄片形成有複數個孔，故薄片容易沿間斷地形成有複數個孔之線斷裂，而薄片之切斷變得容易。

又，於本實施形態中，薄片中之劃分複數個區域之線51用作圖案。又，沿劃分複數個區域之各者之線51間斷地設置之複數個孔用作圖案。於確認薄片位置時，藉由辨識作為圖案發揮功能之劃分複數個區域之各者之線51之位置，而辨識薄片位置。由於薄片中之劃分複數個區域之各者之線51用作圖案，故無須於薄片新設置用以辨識薄片位置之圖案。因此，能夠使薄片之構成簡單，而能夠將薄片之製造成本控制為較少。

對由以上述方式構成之薄片搬送裝置100進行薄片搬送時之動作進行說明。於圖6中表示利用薄片搬送裝置100搬送薄片時之流程圖。以下，參照圖6之流程圖對進行薄片搬送時之各步驟進行說明。

於搬送圖5所示之薄片時，首先，利用保持單元30保持薄片(S1)。

於圖7(a)~(d)中表示保持單元30保持薄片並使薄片成為張緊狀態時之保持單元30及薄片之前視圖。如圖7(a)所示，保持單元30移動而接近載置於平台上之薄片。如圖7(b)所示，使保持單元30移動直至保持單元30中之吸引口31與薄片接觸為止。

保持單元30與薄片接觸後，自吸引口31吸引空氣，而使薄片吸附於吸引口31。藉此，保持單元30吸附且保持薄片(薄片保持步驟)。保持單元30吸附且保持薄片後，如圖7(c)所示，保持單元30向上方移動而使薄片為浮起狀態。此時，薄片亦可略微彎曲。

薄片成為浮起狀態後，如圖7(d)所示，使保持單元30中之可動部35相對於固定板34移動。此時，僅使安裝於可動部35之吸引管32朝圖7(d)所示之箭頭B之方向移動。由於可動部35相對於固定板34移動，故安裝於可動部35之吸引管32相對於安裝於固定板34之吸引管32移動。藉此，僅吸附有薄片之吸引管32中之一部分吸引管32移動。因此，使薄片保持張緊狀態(薄片拉伸步驟)。

薄片成為張緊狀態後，利用安裝於保持單元30之相機36拍攝薄片。拍攝薄片後，藉由圖像辨識形成於薄片之圖案之位置。藉此，藉由薄片搬送裝置100辨識圖案之位置(S3)。又，基於辨識出之圖案之位置，辨識薄片位置(S4)。藉此，藉由薄片搬送裝置100辨識由保持單元30保持之狀態之薄片之保持位置(薄片狀態辨識步驟)。

如此，於本實施形態中，作為薄片狀態辨識步驟，辨識由保持單元30保持之狀態之薄片中之薄片之保持位置。因此，此處，作為薄片狀態，辨識薄片位置。此時，拍攝薄片之相機36及控制薄片搬送裝置100之動作之控制部14作為辨識薄片之狀態之薄片狀態辨識手段發揮功能。

辨識薄片位置後，基於辨識出之薄片位置，保持單元30將薄片搬送至目標搬送位置(S5)(薄片搬送步驟)。薄片搬送係藉由保持單元30於保持薄片之狀態下移動而進行。此時，由於準確地辨識出由保持單元30保持之薄片之位置，故能夠將薄片準確地搬送至目標搬送位置。

於保持單元30藉由吸附而保持薄片時，薄片相對於保持單元30之保持位置有可能產生偏差。於本實施形態中，即便薄片之保持位置產生偏差，每次保持薄片時薄片位置均產生偏移，亦準確地辨識出該薄片之位置。因此，於薄片搬送時，能夠一面對薄片之偏移進行修正一面進行薄片搬送。藉此，可無關於薄片之保持位置而將薄片準確地搬送至目標搬送位置。因此，每次搬送薄片時均不會產生偏差，而可穩定地進行高精度之薄片搬送。

於本實施形態中，於薄片之搬送目的地之目標位置設置有銷，且於薄片之與銷對應之位置形成有孔。藉由將目標位置之銷插入至薄片之孔，而將薄片設置於搬送目的地之目標位置。由於能夠將薄片精度良好地配置於目標搬送位置，故即便於目標位置之銷與薄片之孔之間公差較大，亦可將銷插入至孔中。於本實施形態中，於薄片形成有直徑2mm之孔，於目標搬送位置形成有直徑1.95mm之銷。

再者，由薄片狀態辨識手段辨識之薄片狀態亦可為其他狀態。亦可辨識其他狀態而並非由保持單元30保持之薄片之位置。

將薄片搬送至目標位置後，在該處解除保持單元30對薄片之保持，並進行薄片之乾燥。其後，於再次吸附、保持薄片之狀態下拉伸薄片，使薄片成為張緊狀態。薄片成為張緊狀態後，於該狀態下進行薄片之檢查。

又，將薄片搬送至目標位置後，在該處於薄片上形成電路而製造基板。於圖8中表示於薄片上形成電路而製造基板時之各步驟中之薄片相關之剖面圖。

如圖8(a)所示，於薄片50上經由接著劑52而配置有銅箔53。又，於銅箔53上配置光阻54。

如圖8(b)所示，經由遮罩而進行曝光，藉此，將電路圖案轉印至光阻上。此時，僅針對銅箔53中之作為導電銅線發揮功能之部分，使光阻54感光，而使光阻54硬化。

如圖8(c)所示，將光阻54中之感光部分以外之部分去除。藉此，成為僅硬化之感光部分殘留於銅箔53上之狀態。

如圖8(d)所示，將光阻54中之殘留部分作為蝕刻終止層，進行銅箔53之蝕刻。因此，光阻54中之作為蝕刻終止層殘留之部分之正下方之銅箔53與光阻54一起殘留於薄片50上，其餘部分之銅箔53藉由蝕刻而自薄片50上去除。

其後，如圖8(e)所示，將光阻54去除。藉此，於薄片50上形成與電路對應之銅箔53，利用薄片50製造基板。

於本實施形態中，如圖8(b)所示，於對配置有銅箔53及光阻54之薄片50進行曝光之階段，薄片50已準確地配置於搬送之目標位置。因此，於藉由曝光對薄片50上之光阻54印刷電路圖案以於薄片50上形成電路時，薄片50已準確地配置。因此，將電路圖案準確地印刷於薄片50上之適當位置。因此，結果能夠製造於準確位置形成有電路之品質較高之基板。

如此，於在搬送薄片後於薄片上印刷電路而製造基板之情形時，能夠於薄片上準確地印刷電路，而能夠保持較高的基板品質。

再者，於上述實施形態中，對保持單元30藉由吸附而保持薄片之形態進行了說明，但本發明並不限定於此。亦可藉由吸附以外之手段將薄片保持於保持單元。薄片可藉由銷與孔之卡合而保持於保持單元，亦可藉由夾持薄片而將薄片保持於保持單元。又，亦可藉由其他手段保持薄片。

又，於上述實施形態中，對在搬送薄片後於薄片上形成電路而製造基板之形態進行了說明，但本發明並不限定於上述實施形態。亦可於搬送薄片後進行其他步驟。將薄片搬送至目標位置後，只要有進行藉由將薄片準確地搬送至目標位置而能夠獲得效果之步驟，則亦可進行其他步驟。

又，亦可根據S5中辨識出之薄片之位置，預先辨識薄片是否能夠由保持單元30搬送至目標搬送位置。於使薄片成為張緊狀態地由保持單元30保持薄片時，根據薄片之狀態，有可能之後辨識出無法將薄片搬送至目標搬送位置。例如，存在因薄片破損等而無法利用上述實施形態之薄片搬送裝置將薄片搬送至目標搬送位置之情形。於該情形時，亦可根據辨識出之薄片之位置，辨識薄片是否能夠由保持單元30搬送至目標搬送位置。於辨識薄片是否能夠由保持單元30搬送至目標搬送位置後發現無法將薄片搬送至目標搬送位置之情形時，亦可不進行薄片搬送。

又，於上述實施形態中，對形成於薄片之圖案為劃分複數個區域之線51之形態進行了說明，但本發明並不限定於此。亦可於薄片形成其他圖案。例如，亦可於薄片之表面形成花紋，藉由辨識花紋之位置，來辨識薄片位置。又，亦可於薄片形成其他形態之圖案。

又，於上述實施形態中，對將拍攝薄片之圖像之相機36安裝於保持單元30之形態進行了說明，但本發明並不限定於上述實施形態。相機36之安裝位置亦可為其他位置。例如，亦可設置於薄片搬送裝置100之支持台12。只要為能夠確認薄片位置之位置，則相機36亦可安裝於保持單元以外之其他位置。

又，於上述實施形態中，對使用相機作為攝像手段之形態進行了說明，但本發明並不限定於上述實施形態。亦可藉由拍攝靜止圖像之相機以外之攝像手段辨識薄片位置。例如，亦可藉由拍攝動態圖像之攝影手段辨識薄片位置。

又，於上述實施形態中，對藉由利用相機36拍攝到之圖像來辨識薄片位置之形態進行了說明，但本發明並不限定於上述實施形態。辨識薄片位置之手段亦可為相機以外者。例如，亦可使用光學感測器。

(第2實施形態)

其次，對本發明之第2實施形態之薄片搬送裝置進行說明。再者，對與上述第1實施形態同樣地構成之部分省略說明，僅對不同部分進行說明。

於第1實施形態中，對如下形態進行了說明，即，辨識形成於薄片上之圖案之位置，根據圖案之位置辨識薄片位置，並基於辨識出之薄片位置，保持單元將薄片搬送至目標位置。相對於此，於第2實施形態中，根據形成於薄片上之識別手段辨識該薄片之種類，基於薄片之種類，將該薄片搬送至按照種類分配之薄片搬送位置。

於圖9中表示第2實施形態之薄片搬送之流程圖。保持薄片後直至使薄片成為張緊狀態為止之步驟與圖6所示之第1實施形態之流程相同。

使薄片成為張緊狀態後，利用相機36拍攝薄片(S6)。於薄片形成有標記作為表示薄片之種類之識別手段。

薄片以張緊狀態被拍攝後，根據形成於薄片之標記，辨識該薄片之種類(S7)。

於本實施形態中，預先設定按照薄片之種類分配之薄片搬送位置。辨識薄片之種類後，根據薄片之種類，將薄片搬送至該薄片之薄片搬送位置(S8)。藉此，將薄片準確地搬送至針對該薄片設定之薄片搬送位置。

例如，作為利用本實施形態之薄片搬送裝置搬送之薄片，亦可是衣服。於進行衣服之搬送時，首先，保持單元30保持衣服。於保持單元30保持衣服之狀態下，保持單元30使衣服成為張緊狀態。利用相機36拍攝張緊狀態之衣服，根據形成於衣服上之標記辨識衣服之種類。辨識衣服之種類後，將該衣服搬送至該衣服之搬送位置。

再者，於上述實施形態中，使用標記作為表示薄片之種類之識別手段，但本發明並不限定於此。例如，亦可於薄片形成花紋作為表示薄片之種類之識別手段。又，亦可使用其他識別手段作為表示薄片之種類之識別手段。

Claims

一種薄片搬送裝置，其特徵在於具備：保持部，其能夠保持薄片，能夠一面保持上述薄片一面使上述薄片成為張緊狀態，並且搬送所保持之上述薄片；及薄片狀態辨識手段，其於上述薄片以張緊狀態被上述保持部保持時，辨識上述薄片之狀態。
如請求項1所述之薄片搬送裝置，其中上述薄片狀態辨識手段辨識上述薄片之位置。
如請求項2所述之薄片搬送裝置，其中基於由上述薄片狀態辨識手段辨識出之上述薄片之位置，上述保持部將上述薄片搬送至目標搬送位置。
如請求項3所述之薄片搬送裝置，其中上述薄片狀態辨識手段根據辨識出之上述薄片之位置，辨識上述薄片是否能夠由上述保持部搬送至目標搬送位置。
如請求項2至4中任一項所述之薄片搬送裝置，其中於上述薄片設置有圖案，且上述薄片狀態辨識手段藉由辨識上述圖案之位置而辨識上述薄片之位置。
如請求項5所述之薄片搬送裝置，其中上述薄片被劃分為複數個區域，且上述圖案係劃分上述複數個區域之各者之線。
如請求項6所述之薄片搬送裝置，其中由上述薄片中之複數個劃分區域中之1個區域製造1個基板。
如請求項1所述之薄片搬送裝置，其中上述薄片狀態辨識手段辨識上述薄片之種類。
如請求項8所述之薄片搬送裝置，其中基於由上述薄片狀態辨識手段辨識出之上述薄片之種類，將上述薄片搬送至按照種類分配之薄片搬送位置。
如請求項8或9所述之薄片搬送裝置，其中於上述薄片設置有表示上述薄片之種類之識別手段，且上述薄片狀態辨識手段根據上述識別手段辨識上述薄片之種類。
如請求項10所述之薄片搬送裝置，其中上述識別手段為標記。
如請求項10所述之薄片搬送裝置，其中上述識別手段為花紋。
如請求項1至4中任一項所述之薄片搬送裝置，其中上述薄片狀態辨識手段具有拍攝上述薄片之攝影手段，且上述薄片狀態辨識手段根據由上述攝影手段拍攝到之圖像辨識上述薄片之狀態。
如請求項1至4中任一項所述之薄片搬送裝置，其中上述保持部由機器人之臂構成。
一種薄片搬送方法，其係利用具備能夠保持薄片且能夠使上述薄片成為張緊狀態並且能夠搬送上述薄片之保持部、及辨識上述薄片之狀態之薄片狀態辨識手段的薄片搬送裝置搬送上述薄片者，且其特徵在於具備：薄片保持步驟，其保持上述薄片；薄片拉伸步驟，其使上述薄片成為張緊狀態；薄片狀態辨識步驟，其辨識上述薄片之狀態；及薄片搬送步驟，其搬送上述薄片。