WO2018116562A1 - インクジェットヘッド及び画像形成装置 - Google Patents

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WO2018116562A1
WO2018116562A1 PCT/JP2017/034502 JP2017034502W WO2018116562A1 WO 2018116562 A1 WO2018116562 A1 WO 2018116562A1 JP 2017034502 W JP2017034502 W JP 2017034502W WO 2018116562 A1 WO2018116562 A1 WO 2018116562A1
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ink
manifold
channel
discharge channel
damper
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PCT/JP2017/034502
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English (en)
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Inventor
一樹 比江島
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コニカミノルタ株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to an ink jet head provided with a damper in a common ink chamber, and an image forming apparatus including the ink jet head.
  • a conventional inkjet head has a plurality of channels for ejecting ink.
  • the ink-jet head has, for each channel, a pressure chamber, an actuator for applying discharge pressure to the ink supplied to the pressure chamber, and a nozzle plate having nozzle holes for discharging ink in the pressure chamber.
  • the ink jet head includes a common ink chamber that supplies ink to the pressure chamber.
  • the inkjet head may have non-uniform ejection performance due to pressure waves generated in the pressure chamber by driving the actuator.
  • the pressure wave generated in the pressure chamber by driving propagates to the pressure chamber of the other channel communicated by the common ink chamber, and the so-called crosstalk that causes fluctuations in the ejection characteristics of the pressure chamber to which the pressure wave has propagated. It is for generating.
  • Patent Document 1 describes a technique in which a damper member is provided in a common ink chamber.
  • a damper member having a flexible film is disposed so as to face an ink inlet of a pressure chamber in a common ink chamber.
  • FIG. 28 is a cross-sectional view showing a conventional inkjet head.
  • a conventional inkjet head 500 has an ink manifold 501 that forms a common ink chamber, a substrate 502, a head chip 503, and a damper member 504 provided in the chamber 501a of the ink manifold. ing.
  • the head chip 503 is provided with a plurality of channels 503a serving as pressure chambers and a nozzle plate.
  • the ink manifold 501 is formed in a hollow, substantially rectangular parallelepiped shape, and one surface is open.
  • the substrate 502 is disposed so as to cover the opening of the ink manifold 501.
  • the substrate 502 is interposed between the ink manifold 501 and the head chip 503.
  • the substrate 502 is formed with a plurality of through holes 502 a communicating with the channels 503 a of the head chip 503.
  • the ink manifold 501 and the plurality of channels 503 a of the head chip 503 communicate with each other through the through hole 502 a of the substrate 502.
  • the damper member 504 is disposed so as to face the substrate 502 at the opening of the ink manifold 501.
  • the damper member 504 is disposed close to the substrate 502 and the channel 503a of the head chip 503 in order to enhance the effect of pressure attenuation by the damper member 504. For this reason, the flow path in the region P1 between the damper member 504 and the head chip 503 below the damper member 504 is narrow.
  • this region P1 is a point where the ink flow path divided into two by the damper member 504 joins again.
  • the bubbles are likely to remain in a region P1 between the damper member 504, the substrate 502, and the head chip 503 below the damper member 504.
  • the flow velocity is lower than other regions, and bubbles tend to remain.
  • the conventional ink jet head since bubbles remain around the damper member, the conventional ink jet head has a problem that the remaining bubbles enter the pressure chamber and cause a decrease in ejection performance.
  • An advantage of some aspects of the invention is that it provides an inkjet head that can efficiently remove bubbles remaining in a common ink chamber and an image forming apparatus including the inkjet head. .
  • an inkjet head of the present invention includes a head chip having a plurality of pressure chambers, and an ink manifold having a common ink chamber for supplying ink to the head chip. ing.
  • the ink manifold includes a supply port, a discharge port, an ink supply flow path, a damper member, an ink discharge flow path, and a partition wall. Ink is supplied to the supply port. The discharge port discharges ink and bubbles remaining in the ink.
  • the ink supply channel is provided in the internal space of the ink manifold, communicates with the supply port, and allows ink to pass therethrough.
  • the damper member is provided in the internal space, and is disposed to face the ink manifold side opening in the plurality of pressure chambers, and the ink that has passed through the ink supply flow path passes through a gap formed between the head chip and the damper member.
  • the ink discharge flow path is provided in the internal space, communicates with the discharge port, and passes the ink and bubbles that have passed through the gap.
  • the partition wall is provided in the internal space and restricts the passage of ink and bubbles on the side opposite to the gap in the damper member. The ink manifold limits the direction in which the ink and bubbles flow in the gap to the direction from the ink supply channel toward the ink discharge channel.
  • the image forming apparatus of the present invention includes the above-described inkjet head.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram illustrating an image forming apparatus according to a first exemplary embodiment of the present invention.
  • 1 is a perspective view showing an ink jet head according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a sectional view taken along line AA in FIG. 2.
  • FIG. 3 is a sectional view taken along line BB in FIG.
  • FIG. 3 is a plan view showing a lid member of an ink manifold in the inkjet head according to the first embodiment of the present invention.
  • It is sectional drawing which shows the inkjet head which concerns on the 2nd Example of this invention.
  • It is sectional drawing which shows the inkjet head which concerns on the 3rd Embodiment of this invention.
  • FIG. 8 is a sectional view taken along line AA in FIG. 7.
  • FIG. 11 is a sectional view taken along line AA in FIG. 10. It is a top view which permeate
  • FIG. 13 is a sectional view taken along line AA in FIG. 12.
  • FIG. 13 is a sectional view taken along line BB in FIG. 12. It is CC sectional view taken on the line of FIG. FIG.
  • FIG. 13 is a sectional view taken along line DD of FIG. It is a top view which permeate
  • FIG. 18 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG.
  • FIG. 18 is a sectional view taken along line BB in FIG. It is CC sectional view taken on the line of FIG.
  • FIG. 18 is a sectional view taken along line DD of FIG. It is a perspective view which permeate
  • FIG. 24 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.
  • FIG. 24 is a sectional view taken along line BB in FIG. 23. It is CC sectional view taken on the line of FIG. It is sectional drawing which shows the other example of the head chip of the inkjet head of this invention. It is sectional drawing which shows the conventional inkjet head.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an image forming apparatus of this example.
  • the transport direction of the recording medium R is the first direction X
  • the direction orthogonal to the first direction X on the transport surface of the recording medium R is the second direction Y.
  • a direction orthogonal to the first direction X and the second direction Y, that is, the ink ejection direction (ejection direction) will be described as the third direction Z.
  • the apparatus shown in FIG. 1 is an image forming apparatus that forms an image by ejecting ink droplets toward a recording medium R.
  • the image forming apparatus 100 includes a platen 101, two transport rollers 102 and 102, and a plurality of line heads 103, 104, 105, and 106.
  • the platen 101 is formed in a flat plate shape.
  • the recording medium R is placed on the upper surface of the platen 101.
  • Conveying rollers 102 are rotatably disposed at both ends of the platen 101 in the first direction X. When the transport roller 102 is driven, the platen 101 transports the recording medium R in the first direction X.
  • the line heads 103, 104, 105, and 106 are arranged from one side in the first direction X, that is, upstream in the conveyance direction of the recording medium R, to the other side in the first direction X, that is, downstream in the conveyance direction of the recording medium R. It is provided in parallel in the second direction Y toward the side.
  • the line heads 103, 104, 105, 106 face the platen 101 in the third direction Z with the recording medium R sandwiched therebetween.
  • At least one inkjet head 1 (see FIG. 2), which will be described later, is provided inside the line heads 103, 104, 105, 106.
  • the line heads 103, 104, 105, and 106 eject, for example, cyan (C), magenta (M), yellow (Y), and black (K) ink toward the recording medium R.
  • FIGS. 2 is a perspective view showing the inkjet head 1
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 2
  • FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG.
  • FIG. 5 is a plan view showing the lid member 12 of the ink manifold 2 of the inkjet head 1 in a transparent manner.
  • the inkjet head 1 includes an ink manifold 2, a substrate 3, and a head chip 4.
  • the ink manifold 2 is formed in a hollow, substantially rectangular parallelepiped shape, and one surface is open. Then, as shown in FIGS. 3 and 4, the substrate 3 is arranged so as to close the opening of the ink manifold 2. The detailed configuration of the ink manifold 2 will be described later.
  • the substrate 3 is formed in a substantially flat plate shape using, for example, glass, ceramics, silicon, synthetic resin, or the like.
  • a plurality of through holes 3 a are formed in the substrate 3.
  • the through hole 3a penetrates along the third direction Z from one surface of the substrate 3 to the other surface.
  • the through hole 3 a communicates with a common ink chamber 10 that is an internal space of the ink manifold 2. Further, the through hole 3a is formed at a position facing a channel 8 provided in the head chip 4 to be described later.
  • the through hole 3 a communicates with the channel 8.
  • the substrate 3 is provided with a wiring (not shown) that is electrically connected to an electrode (not shown) provided on the head chip 4 to be described later. Further, a flexible wiring substrate (not shown) that is electrically connected to the wiring of the substrate 3 is connected to the outer edge portion of the substrate 3.
  • the head chip 4 is bonded to the surface of the substrate 3 opposite to the surface bonded to the ink manifold 2.
  • the head chip 4 has a pressure chamber forming plate 6 and a nozzle plate 7.
  • the pressure chamber forming plate 6 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape.
  • the pressure chamber forming plate 6 is provided with a plurality of channels 8 serving as pressure chambers.
  • the plurality of channels 8 penetrate along the third direction Z from one surface to the other surface of the pressure chamber forming plate 6.
  • the plurality of channels 8 communicate with the common ink chamber 10 of the ink manifold 2 through the through holes 3 a of the substrate 3.
  • the plurality of channels 8 are arranged side by side along the first direction X and the second direction Y.
  • One channel row is formed by the plurality of channels 8 arranged side by side along the second direction Y among the plurality of channels 8.
  • a plurality of channel rows are arranged along the first direction X, thereby forming a plurality of channel rows.
  • the channel row is a channel in which the recording width of an image recorded with a predetermined width on the recording medium R when the inkjet head 1 and the recording medium R are relatively moved in one direction. It is a set of 8 (pressure chambers).
  • the second direction Y that is the arrangement direction of the channel rows in the inkjet head 1 is not limited to the direction parallel to the recording width of the image formed on the recording medium R, and may be a direction that crosses the recording width obliquely. .
  • the relative movement between the inkjet head 1 and the recording medium R is not limited to an example in which the inkjet head 1 is fixedly arranged and the recording medium R is conveyed as shown in FIG.
  • the inkjet head 1 may be scanned and moved along the width direction of the recording medium R to form an image, and the recording medium R may be moved in a direction crossing the scanning movement direction of the inkjet head 1 for each scanning movement.
  • the recording medium R is fixedly arranged, and the inkjet head 1 is scanned and moved along the width direction of the recording medium R to form an image, and the inkjet head 1 is moved in a direction crossing the scanning movement direction every scanning movement. It may be moved.
  • the plurality of channels 8 are disposed at positions facing damper members 26 and 27 provided on the ink manifold 2 described later, and disposed at positions not facing the damper members 26 and 27. Not.
  • the partition wall 9 that partitions between adjacent channels 8 in each channel row is formed by a polarized piezoelectric element.
  • Drive electrodes (not shown) are formed on both surfaces of the partition wall 9. This drive electrode is connected to the wiring of the substrate 3 and applied with a voltage.
  • the partition wall 9 undergoes shear deformation when a drive signal having a predetermined voltage is applied to the drive electrode. Thereby, the volume of the channel 8 sandwiched between the pair of partition walls 9 changes so as to expand and contract. As a result, a pressure for ejection is applied to the ink supplied into the channel 8.
  • the nozzle plate 7 is bonded to the other surface of the pressure chamber forming plate 6 opposite to the surface on which the substrate 3 contacts.
  • the nozzle plate 7 is provided on the pressure chamber forming plate 6 on the side where ink is ejected from the channel 8.
  • the nozzle plate 7 is formed in a substantially flat plate shape.
  • the nozzle plate 7 has a plurality of nozzles 7a.
  • the nozzle 7 a is provided at a position facing the channel 8 provided in the pressure chamber forming plate 6 and communicates with the channel 8.
  • the ink in the channel 8 to which the pressure for ejection is applied by the deformation of the partition wall 9 is ejected to the outside through the channel 8 from the nozzle 7a.
  • the ink manifold 2 is formed in a hollow, substantially rectangular parallelepiped shape, and one surface thereof is open.
  • the ink manifold 2 includes a container member 11 and a lid member 12.
  • the ink manifold 2 is configured by two members, the container member 11 and the lid member 12, has been described.
  • the present invention is not limited to this, and the container member 11 and the lid member 12 are configured integrally. May be.
  • the container member 11 is formed in a hollow, substantially rectangular parallelepiped shape, and the lower surface of the third direction Z is open.
  • the internal space of the container member 11 becomes a common ink chamber 10.
  • the opening of the container member 11 is covered with the substrate 3.
  • the cover member 12 is arrange
  • the container member 11 has a front part 21, a back part 22, a first side wall part 23, a second side wall part 24, and an upper surface part 25.
  • the front portion 21 is disposed at one end of the container member 11 in the second direction Y.
  • the back surface portion 22 faces the front surface portion 21 and is disposed at the other end portion of the container member 11 in the second direction Y.
  • the first side wall portion 23 continues substantially perpendicularly from one end portion of the front portion 21 in the first direction X, extends along the second direction Y, and is one end portion of the back surface portion 22 in the first direction X. Connect to.
  • the second side wall portion 24 is disposed to face the first side wall portion 23.
  • the second side wall portion 24 continues substantially perpendicularly from the other end portion of the front portion 21 in the first direction X, extends along the second direction Y, and other than the first direction X of the back surface portion 22. Connect to the end.
  • the upper surface portion 25 is disposed at a position facing the opening of the container member 11.
  • the upper surface portion 25 is connected to the front surface portion 21, the back surface portion 22, the first side wall portion 23, and the second side wall portion 24.
  • an ink storage portion 31 In the internal space of the container member 11, an ink storage portion 31, an ink supply channel 32, a first ink discharge channel 33, a second ink discharge channel 34, a first partition wall 35, and a second partition A wall 36, a first damper chamber 37, a second damper chamber 38, and an ink discharge portion 39 are provided.
  • the first damper chamber 37 is provided with a first damper member 26, and the second damper chamber 38 is provided with a second damper member 27.
  • the ink storage unit 31 is configured so that the substantially central portion of the upper surface portion 25 in the first direction X extends from one end portion in the second direction Y along the second direction Y. It is formed by opening with a predetermined length to the vicinity of the other end in the direction Y.
  • the ink reservoir 31 protrudes from the upper surface portion 25 along the third direction Z toward the lower side with a predetermined length. Ink is supplied to the ink reservoir 31 from a supply port 14 described later.
  • an ink supply channel 32 communicates with a substantially central portion in the first direction X on the lower surface portion in the third direction Z of the ink storage portion 31.
  • the ink supply channel 32 extends from the ink reservoir 31 toward the lower side of the third direction Z to the vicinity of the opening of the container member 11. Similarly to the ink reservoir 31, the ink supply channel 32 extends from one end portion in the second direction Y of the container member 11 to the vicinity of the other end portion in the second direction Y.
  • the ink supplied to the ink reservoir 31 passes through the ink supply channel 32.
  • a first damper chamber 37 is formed on one side of the ink supply channel 32 in the first direction X, and a second damper is formed on the other side of the ink supply channel 32 in the first direction X.
  • a chamber 38 is formed.
  • the first damper chamber 37 and the second damper chamber 38 are open on the lower side in the third direction Z.
  • the openings of the first damper chamber 37 and the second damper chamber 38 face the through hole 3 a of the substrate 3 joined to the ink manifold 2 and the channel 8 of the head chip 4. Further, the openings of the first damper chamber 37 and the second damper chamber 38 are located in the vicinity of the opening of the ink manifold 2.
  • the first damper member 26 is provided so as to close the opening of the first damper chamber 37
  • the second damper member 27 is provided so as to close the opening of the second damper chamber 38. Therefore, the first damper member 26 and the second damper member 27 are disposed in the vicinity of the opening of the ink manifold 2 and face the through hole 3 a of the substrate 3 and the channel 8 of the head chip 4. Further, the internal spaces of the first damper chamber 37 and the second damper chamber 38 are sealed by the first damper member 26 and the second damper member 27, and a gas such as air is enclosed therein.
  • the first damper member 26 and the second damper member 27 are, for example, PI (polyimide), LCP (liquid crystal polymer), PET (polyethylene terephthalate), PE (polyethylene), PP (polypropylene), and other synthetic resins having flexibility. It is comprised by the film of. Moreover, it is preferable that the thickness of the 1st damper member 26 and the 2nd damper member 27 shall be 10 micrometers or more and 150 micrometers or less from a viewpoint of exhibiting the damper effect which attenuates and buffers a pressure wave effectively.
  • the internal pressures of the first damper chamber 37 and the second damper chamber 38 sealed by the first damper member 26 and the second damper member 27 are adjusted to be a predetermined pressure.
  • the internal pressure of the first damper chamber 37 and the second damper chamber 38 is, for example, reduced so as to be 50 kPa or more and less than atmospheric pressure under normal temperature and 1 atm. Accordingly, the first damper member 26 and the second damper member 27 can be prevented from narrowing the flow path formed between the substrate 3 and a good damper effect can be obtained.
  • the atmospheric pressure is an atmospheric pressure that becomes 1 atm when measured under normal temperature and 1 atm.
  • first damper member 26 and the second damper chamber 38 in which the first damper member 26 and the second damper member 27 are disposed are formed integrally with the container member 11, thereby the first damper member 26 and the second damper member 26.
  • the damper member 27 can be easily aligned. Further, the attaching operation of the first damper member 26 and the second damper member 27 can be easily performed.
  • a first ink discharge channel 33 is provided on one side of the first damper chamber 37 opposite to the ink supply channel 32 in the first direction X.
  • the first ink discharge channel 33 is formed between the first side wall portion 23 and the first damper chamber 37.
  • the first ink discharge channel 33 extends from one end of the container member 11 in the second direction Y to the vicinity of the other end.
  • the first ink discharge flow path 33 extends from the opening of the container member 11 to the vicinity of the upper surface portion 25. The ink that has passed between the first damper member 26 and the substrate 3 flows through the first ink discharge channel 33 through the ink supply channel 32.
  • the first ink discharge flow path 33 opens from the lower side of the third direction Z in the container member 11 to the vicinity of the upper surface portion 25 on the upper side of the third direction Z.
  • a first ink discharge communication path 33 a is formed in the upper part of the third direction Z at the other end of the first ink discharge flow path 33 in the second direction Y.
  • the first ink discharge communication passage 33a penetrates the upper surface portion 25 in the third direction Z up and down.
  • the first ink discharge communication path 33a communicates with an ink discharge portion 39 described later.
  • a second ink discharge channel 34 is provided on the other side of the second damper chamber 38 opposite to the ink supply channel 32 in the first direction X. Yes.
  • the second ink discharge channel 34 is formed between the second side wall portion 24 and the second damper chamber 38.
  • the second ink discharge channel 34 extends from one end of the container member 11 in the second direction Y to the vicinity of the other end. Further, the second ink discharge channel 34 extends from the opening of the container member 11 to the vicinity of the upper surface portion 25. The ink that has passed through the ink supply channel 32 and between the second damper member 27 and the substrate 3 flows through the second ink discharge channel 34.
  • the second ink discharge channel 34 opens from the lower side of the third direction Z in the container member 11 to the vicinity of the upper surface portion 25 on the upper side of the third direction Z.
  • a second ink discharge communication path 34 a is formed in the upper part of the second direction Y in the second direction Y of the second ink discharge channel 34 in the third direction Z.
  • the second ink discharge communication path 34a penetrates the upper surface portion 25 in the third direction Z up and down.
  • the second ink discharge communication path 34a communicates with an ink discharge portion 39 described later.
  • an ink discharge portion 39 is provided at the other end portion of the upper surface portion 25 in the second direction Y.
  • the ink discharge part 39 is arranged on the other side in the second direction Y with respect to the ink storage part 31 in the upper surface part 25.
  • the ink discharge portion 39 is a recess that is recessed at a predetermined depth with the upper surface portion 25 facing downward in the third direction Z.
  • a first ink discharge flow path 33 communicates with the ink discharge portion 39 via a first ink discharge communication path 33a.
  • the second ink discharge flow path 34 communicates with the ink discharge portion 39 via the second ink discharge communication path 34a. The ink that has passed through the first ink discharge channel 33 and the second ink discharge channel 34 flows through the ink discharge unit 39.
  • a first partition wall 35 that partitions the first ink discharge flow path 33 and the ink supply flow path 32 is provided above the first damper chamber 37 in the third direction Z.
  • a second partition wall 36 that partitions the second ink discharge channel 34 and the ink supply channel 32 is provided above the second damper chamber 38 in the third direction Z. Therefore, the ink flows only below the third direction Z of the first damper chamber 37 and the second damper chamber 38.
  • the lid member 12 is formed in a substantially flat plate shape having a substantially rectangular shape.
  • the lid member 12 is formed in a shape that covers the entire other surface of the container member 11.
  • the lid member 12 is provided with a supply port 14 and a discharge port 15.
  • the supply port 14 is disposed at one end of the lid member 12 in the second direction Y.
  • the supply port 14 is formed in a cylindrical shape.
  • the cylindrical hole 14 a of the supply port 14 penetrates the lid member 12 from one surface to the other surface along the third direction Z, and communicates with the ink storage portion 31 of the container member 11. Ink is supplied from the supply port 14 toward the ink reservoir 31 of the container member 11.
  • the discharge port 15 is disposed at the other end portion of the lid member 12 in the second direction Y.
  • the discharge port 15 is formed in a cylindrical shape.
  • the cylindrical hole 15 a of the discharge port 15 penetrates the lid member 12 from one surface to the other surface along the third direction Z, and communicates with the ink discharge portion 39 of the container member 11. The ink and bubbles stored in the ink discharge portion 39 of the container member 11 are discharged from the discharge port 15.
  • ink is supplied from the supply port 14 to the common ink chamber 10 of the ink manifold 2.
  • the ink supplied from the supply port 14 is stored in the ink storage unit 31.
  • the ink supplied to the ink reservoir 31 flows through the ink supply channel 32 from the center in the first direction X of the container member 11 toward the opening.
  • the ink that has passed through the ink supply channel 32 and has flowed to the opening of the container member 11 is divided into one side in the second direction Y and the other side. Then, the ink separated in one side of the first direction X passes through the gap between the first damper member 26 and the substrate 3 and flows from the center of the first direction X toward the one side. The ink separated in the other direction of the first direction X passes through the gap between the second damper member 27 and the substrate 3 and flows from the center of the first direction X toward the other side.
  • the upper side in the third direction Z of the first damper member 26 and the second damper member 27 is partitioned by the first partition wall 35 and the second partition wall 36. Therefore, the flow of the ink that passes above the first damper member 26 and the second damper member 27 in the third direction Z is restricted by the first partition wall 35 and the second partition wall 36. Therefore, the ink passes only below the third direction Z in the first damper member 26 and the second damper member 27.
  • the flow in the first direction X of the ink passing through the first damper member 26 is a flow only from the center of the first direction X toward one side. Further, the flow in the first direction X in the ink passing through the second damper member 27 is only the flow from the first direction X toward the other side.
  • bubbles remaining between the first damper member 26 and the second damper member 27 and the substrate 3 are caused to flow from the center of the first direction X to one side of the first direction X by the ink flow, or Can be pushed out to the other side.
  • the ink that has passed through the gap between the first damper member 26 and the substrate 3 flows into the first ink discharge channel 33. Further, the ink that has passed through the gap between the second damper member 27 and the substrate 3 flows into the second ink discharge channel 34.
  • bubbles remaining in the lower part of the first damper member 26 in the third direction Z and on the side surface part on one side of the first direction X are pushed out to the first ink discharge channel 33 along the ink flow. It is. Further, the bubbles remaining in the lower part of the second damper member 27 in the third direction Z and on the other side surface of the first direction X are pushed out to the second ink discharge channel 34 along the ink flow. .
  • the ink that has flowed into the first ink discharge flow path 33 flows to the ink discharge portion 39 via the first ink discharge communication path 33a.
  • the ink that has flowed into the second ink discharge flow path 34 flows to the ink discharge portion 39 through the second ink discharge communication path 34a. Therefore, bubbles remaining in the ink are also pushed out to the ink discharge portion 39 through the first ink discharge channel 33 and the second ink discharge channel 34 along the ink flow. The bubbles are discharged from the ink discharge portion 39 to the outside of the ink manifold 2 through the discharge port 15.
  • the first ink discharge flow path 33 and the second ink discharge flow path 34 are open to the upper side in the third direction Z, and the ink discharge portion 39 is the first discharge path of the container member 11. 3 in the upper direction Z.
  • the first ink discharge channel 33, the second ink discharge channel 34, and the ink discharge unit 39 are provided in the direction in which the bubble is lifted by the buoyancy of the bubble itself. As a result, bubbles remaining in the ink can be efficiently discharged.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view showing an ink jet head according to the second embodiment.
  • the difference between the inkjet head 1A according to the second embodiment and the inkjet head 1 according to the first embodiment is the configuration of the ink reservoir and the ink supply flow path. Therefore, here, the ink storage section and the ink supply flow path will be described, and the same reference numerals are given to the portions common to the inkjet head 1 according to the first embodiment, and redundant description will be omitted.
  • the inkjet head 1 ⁇ / b> A includes an ink manifold 2 ⁇ / b> A, a substrate 3, and a head chip 4.
  • An ink reservoir 31A and an ink supply channel 32A are provided in the internal space of the container member 11A of the ink manifold 2A.
  • the container member 11A includes a first ink discharge channel 33, a second ink discharge channel 34, a first partition wall 35, a second partition wall 36, a first damper chamber 37, and a second damper chamber. 38 and an ink discharge portion 39.
  • the lower part of the ink storage part 31A in the third direction Z is formed such that the interval in the first direction X continuously increases as the distance from the ink supply channel 32A increases. That is, a tapered portion 31a formed in a tapered shape is provided in the lower portion of the ink storage portion 31A in the third direction Z.
  • a filter 41 is provided on the tapered portion 31a.
  • the filter 41 removes foreign matters remaining in the ink. Further, the filter 41 finely breaks bubbles remaining in the ink as the ink passes therethrough. As a result, it is possible to prevent the injection performance from deteriorating when bubbles enter the channel 8. Furthermore, the effective area of the filter 41 can be expanded by providing the filter 41 in the taper part 31a.
  • FIGS. 7 is a cross-sectional view showing an ink jet head according to a third embodiment
  • FIG. 8 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 7
  • FIG. 9 is a plan view showing the cover member through the cover member.
  • the inkjet head 1B according to the third embodiment is obtained by changing the shapes of the first ink discharge channel and the second ink discharge channel in the inkjet head 1A according to the second embodiment. Therefore, here, the ink discharge flow path will be described, and the same reference numerals are given to portions common to the inkjet head 1 according to the first embodiment and the inkjet head 1A according to the second embodiment. Thus, duplicate explanations are omitted.
  • the ink jet head 1B includes an ink manifold 2B, a substrate 3, and a head chip 4.
  • An ink reservoir 31A and an ink supply channel 32A are provided in the internal space of the container member 11B of the ink manifold 2B.
  • a filter 41 is provided in the ink reservoir 31A.
  • the container member 11B includes a first ink discharge channel 33B, a second ink discharge channel 34B, a first partition wall 35, a second partition wall 36, a first damper chamber 37, and a second damper chamber. 38 and an ink discharge portion 39B.
  • the first ink discharge flow path 33B is inclined in a direction away from the opening of the container member 11B as it goes from one end portion in the second direction Y to the other end portion. Therefore, the upper surface portion of the first ink discharge flow path 33B facing the head chip 44 in the third direction Z extends from the head chip 4 to the third direction Z as it goes from one end portion to the other end portion in the second direction Y. It is separated from above. That is, the upper surface portion of the first ink discharge channel 33B is inclined from the one end portion in the second direction Y toward the ink discharge portion 39B.
  • the configuration of the second ink discharge channel 34B is the same as that of the first ink discharge channel 33B, and thus the description thereof is omitted.
  • bubbles remaining in the ink flow along the inclined surfaces of the first ink discharge channel 33B and the second ink discharge channel 34B. It flows toward the discharge port 15.
  • air bubbles that accumulate at one end in the second direction Y away from the ink discharge portion 39B and the discharge port 15 can be efficiently discharged from the ink discharge portion 39B and the discharge port 15.
  • FIG. 10 is a perspective view showing an ink jet head according to a fourth embodiment
  • FIG. 11 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG.
  • the difference between the inkjet head 1C according to the fourth embodiment and the inkjet head 1 according to the first embodiment is the configuration of the internal space of the container member and the configuration of the lid member. Therefore, here, the container member and the lid member will be described, and the same reference numerals are given to the portions common to the inkjet head 1 according to the first embodiment, and the redundant description will be omitted.
  • the ink jet head 1C includes an ink manifold 2C, a substrate 3C, and a head chip 4C.
  • the ink manifold 2C includes a container member 11C and a lid member 12C.
  • the container member 11 ⁇ / b> C is formed in a hollow, substantially rectangular parallelepiped shape, and both surfaces in the third direction Z are open.
  • the container member 11C has a front part 21C, a back part 22C, a first side wall part 23C, and a second side wall part 24C.
  • an ink supply channel 52, an ink discharge channel 53, a partition wall 55, and a damper chamber 57 are formed in the internal space of the container member 11C.
  • the partition wall 55 is connected to the central portion in the first direction X on the upper side of the third direction Z in the front portion 21C.
  • the partition wall 55 extends from one end portion in the second direction Y to the other end portion, and is connected to the back surface portion 22C.
  • a damper chamber 57 is formed at the lower end of the partition wall 55 in the third direction Z.
  • the damper chamber 57 is continuously provided along the second direction Y from the front surface portion 21 ⁇ / b> C to the back surface portion 22 ⁇ / b> C, similarly to the partition wall 55.
  • a damper member 58 is provided in the damper chamber 57.
  • the internal space of the container member 11C is divided into two parts on one side and the other side in the first direction X by the partition wall 55 and the damper chamber 57. Then, as shown in FIG. 11, one side in the first direction X in the internal space of the container member 11 ⁇ / b> C serves as the ink supply channel 52. Further, the other side in the first direction X in the internal space of the container member 11 ⁇ / b> C serves as the ink discharge channel 53.
  • a supply port 14C is arranged on one side of the first direction X at one end portion in the second direction Y of the lid member 12C.
  • the supply port 14C communicates with the ink supply channel 52.
  • a discharge port 15C is disposed on the other side of the first direction X at the other end portion in the second direction Y of the lid member 12C.
  • the discharge port 15C communicates with the ink discharge channel 53.
  • the ink passes through the gap between the damper member 58 and the substrate 3 ⁇ / b> C from the one end portion in the first direction X to the first direction. It flows toward the other end of X.
  • the damper member 58 can be disposed at the center in the first direction X, and the damper member 26 according to the first embodiment, The area can be expanded more than 27. Therefore, the through-hole 3aC provided in the substrate 3C and the channel 8C of the head chip 4C can be arranged at the center in the first direction X. As a result, the number of channel rows can be increased as compared with the inkjet head 1 according to the first embodiment.
  • FIG. 12 is a plan view showing the ink manifold lid member in the ink jet head according to the fifth embodiment.
  • 13 is a sectional view taken along line AA in FIG. 12
  • FIG. 14 is a sectional view taken along line BB in FIG. 12
  • FIG. 15 is a sectional view taken along line CC in FIG. 12, and FIG. FIG.
  • the difference between the inkjet head 1D according to the fifth embodiment and the inkjet head 1 according to the first embodiment is the configuration of the internal space of the ink manifold. Therefore, here, the container member of the ink manifold will be described, and portions common to the inkjet head 1 according to the first embodiment will be given the same reference numerals and redundant description will be omitted.
  • the ink jet head 1D includes an ink manifold 2D, a substrate 3C, and a head chip 4C.
  • the ink manifold 2C includes a container member 11D and a lid member 12.
  • the configurations of the substrate 3C and the head chip 4C are the same as those of the substrate 3C and the head chip 4C according to the fourth embodiment, and a description thereof will be omitted.
  • the container member 11D is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape, and the lower surface of the third direction Z is open.
  • the container member 11D has a front part 21D, a back part 22D, a first side wall part 23D, a second side wall part 24D, and an upper surface part 25D.
  • an ink supply port 61, an ink supply channel 62, an ink discharge channel 63, a partition wall 65, a damper chamber 67, and an ink discharge port 69 are provided in the internal space of the container member 11D.
  • the damper chamber 67 is formed continuously from one end portion to the other end portion in the second direction Y of the container member 11D, similarly to the damper chamber 57 according to the fourth embodiment. ing.
  • a damper member 68 is provided in the damper chamber 67.
  • the ink supply port 61 is formed at the center in the first direction X at one end in the second direction Y of the upper surface 25D.
  • the ink supply port 61 is provided in the upper part of the damper chamber 67 in the third direction Z.
  • the ink supply port 61 communicates with the supply port 14 provided in the lid member 12. Further, the ink supply port 61 communicates with the ink supply channel 62.
  • the ink supply channel 62 is formed at one end portion in the first direction X at one end portion in the second direction Y in the internal space of the container member 11D.
  • the ink supply channel 62 continues through the internal space of the container member 11D from the upper side to the lower side in the third direction Z.
  • the ink supply channel 62 is formed on one side in the first direction X of the damper chamber 67 at one end portion in the second direction Y.
  • the ink discharge port 69 is formed at the center in the first direction X at the other end of the upper surface 25D in the second direction Y.
  • the ink discharge port 69 is provided in the upper part of the damper chamber 67 in the third direction Z.
  • the ink discharge port 69 communicates with the discharge port 15 provided in the lid member 12. Further, the ink discharge port 69 communicates with the ink discharge channel 63.
  • the ink discharge channel 63 is formed at the other end portion in the first direction X at the other end portion in the second direction Y in the internal space of the container member 11D.
  • the ink discharge channel 63 continues through the internal space of the container member 11D from the other side of the third direction Z to the lower opening.
  • the ink discharge channel 63 is formed on the other side in the first direction X of the damper chamber 67 at the other end portion in the second direction Y.
  • damper chamber 67 and the damper member 68 are provided at the intermediate portion in the second direction Y in the internal space of the container member 11D.
  • the both sides of the damper chamber 67 in the first direction X and the upper side in the third direction Z are covered with a partition wall 65.
  • the ink supplied from the supply port 14 passes through the ink supply port 61 formed immediately below the supply port 14, that is, below the third direction Z. And enters the internal space of the container member 11D. Then, the ink passes through the ink supply flow path 62 and flows into the gap between the damper member 68 and the substrate 3C.
  • the ink flows from the one end portion in the second direction Y toward the other end portion in the gap between the damper member 68 and the substrate 3C.
  • the ink that has flowed to the other end in the second direction Y flows through the ink discharge channel 63 to the ink discharge port 69. Then, the ink is discharged from the ink discharge port 69 to the discharge port 15.
  • the places where ink is supplied and the places where ink is discharged are limited to just below the supply port 14 and the discharge port 15.
  • the inkjet head 1D according to the fifth exemplary embodiment restricts the direction in which the ink flows, as compared with the inkjet head according to the first exemplary embodiment, so that bubbles can be more efficiently discharged from the discharge port 15. It can be discharged.
  • the supply port and the ink supply flow path are the same as the inkjet heads 1A and 1B according to the second and third embodiments.
  • a filter may be provided between the two.
  • FIG. 17 is a plan view with a lid member of the ink manifold in the ink jet head according to the sixth embodiment being transmitted.
  • 18 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 17,
  • FIG. 19 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 17,
  • FIG. 20 is a cross-sectional view taken along line CC in FIG.
  • FIG. 18 is a sectional view taken along line DD of FIG.
  • the flow path in which the ink in the inkjet head 1B according to the third embodiment is supplied to the common ink chamber is limited to one end portion in the second direction Y. Is. Therefore, here, the container member of the ink manifold will be described, and the same reference numerals are assigned to the portions common to the inkjet head 1 according to the first embodiment and the inkjet head 1B according to the third embodiment. Therefore, the duplicate description is omitted.
  • the ink jet head 1E includes an ink manifold 2E, a substrate 3, and a head chip 4.
  • an ink storage portion 71, an ink supply channel 72, and a partition wall 75 are provided in the internal space of the container member 11E of the ink manifold 2E.
  • the ink storage unit 71 is provided with a filter 41.
  • the ink reservoir 71 is formed at one end of the upper surface 25E in the second direction Y. Further, the ink reservoir 71 is formed at the center of the upper surface portion 25E in the first direction X.
  • the ink reservoir 71 communicates with the supply port 14 provided on the lid member 12. In addition, the ink reservoir 71 communicates with the ink supply channel 72.
  • the ink supply flow path 72 communicates with the ink storage portion 71 at one end portion in the second direction Y, and is formed up to an opening that is below the third direction Z in the internal space of the container member 11E. .
  • the ink reservoir 71 and the ink supply channel 72 are formed only at one end of the container member 11E in the second direction Y.
  • the container member 11E has a first ink discharge channel 33E, a second ink discharge channel 34E, a first damper chamber 37, a second damper chamber 38, and an ink discharge portion 39E.
  • the first ink discharge channel 33E, the second ink discharge channel 34E, the first damper chamber 37, the second damper chamber 38, and the ink discharge portion 39E Since the first ink discharge channel 33B, the second ink discharge channel 34E, the first damper chamber 37, the second damper chamber 38, and the ink discharge unit 39B according to the embodiment have the same configuration, Description is omitted.
  • the partition wall 75 partitions the upper part of the first damper chamber 37 and the second damper chamber 78 in the third direction Z.
  • the partition wall 75 also partitions the first damper chamber 37 and the second damper chamber 38 from an intermediate portion in the second direction Y of the container member 11E to the other end portion.
  • the ink supplied from the supply port 14 is supplied to the internal space from the one end portion in the second direction Y of the container member 11E via the ink storage portion 71 and the ink supply flow path 72.
  • the ink that has passed through the ink supply flow path 72 passes through the gap between the first damper member 26 or the second damper member 27 and the substrate 3 and flows toward both sides in the first direction X. It flows from one side of the direction Y of 2 toward the other side.
  • the ink passes through the first ink discharge flow path 33E and the second ink discharge flow path 34E, and is discharged from the ink discharge portion 39E to the discharge port 15.
  • FIG. 22 is a perspective view showing the ink manifold lid member in the ink jet head according to the seventh embodiment.
  • FIG. 23 is a plan view showing the ink manifold lid member in the ink jet head through. 24 is a sectional view taken along line AA in FIG. 23,
  • FIG. 25 is a sectional view taken along line BB in FIG. 23, and
  • FIG. 26 is a sectional view taken along line CC in FIG.
  • the difference between the inkjet head 1F according to the seventh embodiment and the inkjet head 1 according to the first embodiment is a position for supplying ink and a position for discharging ink. Therefore, here, the container member will be described, and the same reference numerals are given to the portions common to the inkjet head 1 according to the first embodiment, and redundant description will be omitted.
  • the inkjet head 1F includes an ink manifold 2F, a substrate 3, and a head chip 4.
  • the container member 11F of the ink manifold 2F is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape, and the lower surface of the third direction Z is opened.
  • the container member 11F has a front part 21F, a back part 22F, a first side wall part 23F, a second side wall part 24F, and an upper surface part 25F.
  • an ink reservoir 81 in the internal space of the container member 11F, an ink reservoir 81, an ink supply channel 82, a first ink discharge channel 83, a second ink discharge channel 84, and a third ink discharge channel 85 are provided.
  • a fourth ink discharge channel 86 is provided.
  • a first damper chamber 87, a second damper chamber 88, a first common discharge flow path 89, a second common discharge flow path 90, an ink discharge portion 91, a partition A wall 92 is provided in the internal space of the container member 11F.
  • the ink reservoir 81 is formed at the center of the upper surface portion 25F in the first direction X.
  • the ink storage portion 81 extends from one end portion in the second direction Y to the middle portion of the upper surface portion 25F.
  • the ink storage portion 81 is a recess that is recessed by a predetermined length with the upper surface portion 25F facing the lower side in the third direction Z.
  • the supply port 14 communicates with the ink storage unit 81.
  • an ink supply port 81a is opened at an intermediate portion in the second direction Y of the container member 11F.
  • the ink supply port 81 a is formed by opening the lower surface of the ink storage portion 81 on the lower side in the third direction Z.
  • An ink supply channel 82 communicates with the ink supply port 81a.
  • the ink supply port 81a is provided with a filter 93. Since the filter 93 has the same configuration as the filter 41 according to the second embodiment, the description thereof is omitted.
  • the ink supply channel 82 is continuously formed up to the lower opening in the third direction Z at the center in the first direction X of the intermediate portion in the second direction Y in the container member 11F.
  • a first damper chamber 87 is provided on one side of the ink supply channel 82 in the first direction X, and a second damper chamber 88 is provided on the other side of the ink supply channel 82 in the first direction X. Is provided.
  • the first damper chamber 87 is provided with a first damper member 94
  • the second damper chamber 88 is provided with a second damper member 95.
  • the configurations of the first damper chamber 87, the second damper chamber 88, the first damper member 94, and the second damper member 95 are the same as the first damper chamber 37, the second damper chamber 38, and the first damper chamber according to the first embodiment. Since the damper member 26 and the second damper member 27 are the same, the description thereof is omitted.
  • a first ink discharge channel 83 and a second ink discharge channel 84 are provided at one end portion in the second direction Y of the container member 11 ⁇ / b> F.
  • the first ink discharge channel 83 is formed on one side in the first direction X with respect to the first damper chamber 87.
  • the second ink discharge channel 84 is formed on the other side in the first direction X with respect to the second damper chamber 88.
  • the first ink discharge channel 83 and the second ink discharge channel 84 penetrate from the lower opening in the third direction Z of the container member 11F to the upper surface portion 25F.
  • a third ink discharge channel 85 and a fourth ink discharge channel 86 are provided at the other end of the container member 11 ⁇ / b> F in the second direction Y. ing.
  • the third ink discharge channel 85 is formed on one side in the first direction X with respect to the first damper chamber 87.
  • the fourth ink discharge channel 86 is formed on the other side in the first direction X with respect to the second damper chamber 88.
  • the third ink discharge channel 85 and the fourth ink discharge channel 86 penetrate from the lower opening in the third direction Z of the container member 11F to the upper surface portion 25F.
  • a first common discharge channel 89 and a second common discharge channel 90 are provided on both sides of the upper surface portion 25F in the first direction X.
  • the first common discharge channel 89 is formed at one end of the upper surface portion 25F in the first direction X.
  • the 1st common discharge flow path 89 is a groove part which continues from the one end part of the 2nd direction Y of the upper surface part 25F to the other end part.
  • the first ink discharge channel 83 communicates with one end of the first common discharge channel 89 in the second direction Y, and the other end of the first common discharge channel 89 in the second direction Y
  • the third ink discharge channel 85 communicates.
  • the second common discharge channel 90 is formed at the other end portion in the first direction X of the upper surface portion 25F.
  • the 2nd common discharge flow path 90 is a groove part which continues from the one end part of the 2nd direction Y of the upper surface part 25F to the other end part.
  • the second ink discharge channel 84 communicates with one end portion of the second common discharge channel 90 in the second direction Y, and the other end portion of the second common discharge channel 90 in the second direction Y includes The fourth ink discharge channel 86 communicates.
  • an ink discharge portion 91 is provided at the other end portion in the second direction Y of the upper surface portion 25F.
  • the ink discharge portion 91 is a recess formed at an intermediate portion in the first direction X of the upper surface portion 25F and recessed by a predetermined length toward the lower side of the third direction Z.
  • a first common discharge channel 89 and a second common discharge channel 90 communicate with the ink discharge unit 91. Further, the discharge port 15 communicates with the ink discharge portion 91.
  • the upper side of the first damper chamber 87 and the second damper chamber 88 in the third direction Z is partitioned by a partition wall 92.
  • the partition wall 92 partitions the first damper chamber 87 and the second damper chamber 88.
  • the ink supplied from the supply port 14 is first stored in the ink storage portion 81.
  • the ink flows in the ink storage part 81 from the one end part in the second direction Y toward the intermediate part, and flows from the ink supply port 81a to the ink supply channel 82 as shown in FIG.
  • Ink passes through the ink supply channel 82 and flows into the opening on the lower side in the third direction Z of the container member 11.
  • the ink that has passed through the ink supply flow path 82 flows toward the four corners of the container member 11 through the gaps between the first damper member 94 and the second damper member 95 and the substrate 3.
  • the ink that has flowed to the four corners of the container member 11 passes through the first ink discharge channel 83, the second ink discharge channel 84, the third ink discharge channel 85, or the fourth ink discharge channel 86,
  • the first common discharge flow path 89 or the second common discharge flow path 90 flows.
  • the ink flows into the ink discharge portion 91 via the first common discharge flow path 89 or the second common discharge flow path 90, and is discharged from the ink discharge portion 91 to the discharge port 15.
  • ink is introduced from the center of the container member 11F, and the ink is allowed to flow toward the four corners of the container member 11F.
  • the deviation of the ink at the one end portion and the other end portion in the second direction Y in the container member 11F can be eliminated.
  • ink discharge channels 83, 84, 85, 86 at the four corners of the container member 11F bubbles that easily accumulate in the corners can be efficiently discharged to the ink discharge channels 83, 84, 85, 86. Can do.
  • FIG. 27 is a cross-sectional view showing another example of a head chip.
  • the inkjet head 1G includes an ink manifold 2, a holding portion 203 that closes an opening of the ink manifold 2, and a head chip 204.
  • the holding portion 203 is formed in a substantially flat plate shape, and has a through hole 203 a that communicates with the common ink chamber 10 that is an internal space of the ink manifold 2.
  • the head chip 204 is joined to the holding unit 203.
  • the head chip 204 includes a nozzle plate 210, an intermediate plate 220, a pressure chamber forming plate 230, a drive plate 240, and a wiring board 250.
  • the head chip 204 is laminated in the order of the nozzle plate 210, the intermediate plate 220, the pressure chamber forming plate 230, the drive plate 240, and the wiring substrate 250 from the ink ejection surface side.
  • a plurality of nozzles 211 are formed on the nozzle plate 210.
  • the nozzle 211 penetrates from one surface of the nozzle plate 210 to the other surface.
  • the nozzle 211 discharges the ink supplied from the common ink chamber 10 to the outside.
  • the nozzle 211 communicates with a pressure chamber 231 formed in the pressure chamber forming plate 230 via an intermediate plate 220 stacked on the nozzle plate 210.
  • the intermediate plate 220 is disposed between the nozzle plate 210 and the pressure chamber forming plate 230.
  • the intermediate plate 220 is provided with a first communication hole 221 that allows the nozzle 211 and the pressure chamber 231 provided in the pressure chamber forming plate 230 to communicate with each other.
  • the first communication hole 221 is provided at a position corresponding to the nozzle 211 of the nozzle plate 210 and penetrates from one surface of the intermediate plate 220 to the other surface.
  • the pressure chamber forming plate 230 has a plurality of pressure chambers (channels) 231 and a diaphragm 232.
  • the pressure chamber 231 penetrates from one surface of the pressure chamber forming plate 230 to the other surface.
  • the pressure chamber 231 applies an ejection pressure to the ink ejected from the nozzle 211.
  • the pressure chamber 231 is provided at a position corresponding to the nozzle 211 of the nozzle plate 210 and the first communication hole 221 of the intermediate plate 220.
  • the diaphragm 232 is disposed so as to cover the opening of the pressure chamber 231 opposite to the intermediate plate 220.
  • the diaphragm 232 is provided with a second communication hole 232 a that communicates with the pressure chamber 231.
  • a drive plate 240 is disposed on one surface of the diaphragm 232 opposite to the one surface on the pressure chamber 231 side.
  • the drive plate 240 has a space portion 241 and a third communication hole 242 communicating with the second communication hole 232a.
  • the space 241 is disposed at a position facing the pressure chamber 231 with the diaphragm 232 interposed therebetween.
  • An actuator 260 is accommodated in the space 241.
  • Actuator 260 has a piezoelectric element 261 and two electrodes (not shown).
  • the piezoelectric element 261 is interposed between two electrodes, and is laminated on one surface of the diaphragm 232.
  • the piezoelectric element 261 is provided for each pressure chamber 231 (each channel).
  • the piezoelectric element 261 is made of a material that deforms when a voltage is applied.
  • the piezoelectric element 261 is made of a ferroelectric material such as lead zirconate titanate (PZT).
  • PZT lead zirconate titanate
  • the electrode on the side opposite to the diaphragm 232 in the piezoelectric element 261 is connected to the wiring layer 251 provided on the wiring board 250.
  • the wiring board 250 includes a wiring layer 251 and a silicon layer 252 on which the wiring layer 251 is formed.
  • the wiring layer 251 is connected to the electrode of the actuator 260.
  • the outer edge portion of the wiring layer 251 is connected to a flexible wiring board (not shown).
  • a silicon layer 252 is disposed on one surface of the wiring layer 251 opposite to the drive plate 240.
  • the silicon layer 252 is bonded to the holding unit 203.
  • the wiring substrate 250 is provided with a fourth communication hole 253 that penetrates the wiring layer 251 and the silicon layer 252.
  • the fourth communication hole 253 communicates with the common ink chamber 10 through the third communication hole 242 of the drive plate 240 and the through hole 203 a of the holding unit 203.
  • the ink stored in the common ink chamber 10 flows into the pressure chamber 231 through the fourth communication hole 253, the third communication hole 242, and the second communication hole 232a.
  • the piezoelectric element 261 is deformed and the diaphragm 232 is deformed along with the deformation of the piezoelectric element 261.
  • the diaphragm 232 is deformed, a pressure for ejecting ink into the pressure chamber 231 is generated. Thereby, ink is ejected from the nozzle 211 through the first communication hole 221.
  • first damper member, 27 second damper member, 31: ink reservoir, 31a: taper, 32: ink supply channel, 33: first ink discharge channel, 33a: first Ink discharge communication path, 34 ... second ink discharge flow path, 34a ... second ink discharge communication path, 35 ... first partition wall, 36 ... second partition wall, 37 ... first damper chamber, 38 ... second damper chamber 39 ... Ink discharging part, 41, 93 ... Filter 85 ... Third ink discharging channel, 86 ... Fourth ink discharging channel, 89 ... First common discharging channel, 90 ... Second common discharging channel, 100 ... Image forming apparatus 101 ... Platen 102 ...

Landscapes

  • Ink Jet (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

インクジェットヘッド（１）は、ヘッドチップ（４）と、インクマニホールド（２）と、を備えている。インクマニホールド（２）は、供給ポート（１４）と、排出ポート（１５）と、インク供給流路（３２）と、ダンパ部材（２６，２７）、と、インク排出流路（３３，３４）と、仕切り壁（３５，３６）とを備えている。インク供給流路（３２）は、供給ポート（１４）に連通している。インク排出流路（３３，３４）は、排出ポート（１５）に連通し、隙間を通過したインク及び気泡が通過する。仕切り壁（３５，３６）は、ダンパ部材（２６，２７）における隙間とは反対側においてインク及び気泡が通過することを規制する。そして、インクマニホールド（２）は、インク及び気泡が流れる方向をインク供給流路（３２）からインク排出流路（３３，３４）に向かう方向に制限する。

Description

インクジェットヘッド及び画像形成装置
　本発明は、共通インク室にダンパを設けたインクジェットヘッド、及びこのインクジェットヘッドを備えた画像形成装置に関する。
　従来、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術を用いた高解像度のインクジェットヘッドの開発が行われている。従来のインクジェットヘッドは、インクを吐出する複数のチャネルを有している。そして、インクジェットヘッドは、チャネル毎に、圧力室と、圧力室に供給されるインクに吐出圧力を付与するためのアクチュエータと、圧力室のインクを吐出するノズル孔を有するノズルプレートとを有している。また、インクジェットヘッドは、圧力室にインクを供給する共通インク室を備えている。
　なお、インクジェットヘッドは、アクチュエータの駆動によって圧力室内に発生する圧力波が原因で射出性能が不均一になることがある。駆動によって圧力室内に発生した圧力波が、共通インク室によって連通している他のチャネルの圧力室に伝播し、その圧力波が伝播した圧力室の射出特性に変動を生じさせる、いわゆるクロストークを発生させるためである。
　従来、クロストークに起因する圧力室間の影響を低減する技術として、例えば、特許文献１に記載されているようなものがある。特許文献１には、共通インク室の室内にダンパ部材を設けた技術が記載されている。この特許文献１に記載された技術では、可撓膜を有するダンパ部材を共通インク室の室内において圧力室のインク入口と対向するように配置している。
　図２８は、従来のインクジェットヘッドを示す断面図である。
　図２８に示すように、従来のインクジェットヘッド５００は、共通インク室を形成するインクマニホールド５０１と、基板５０２と、ヘッドチップ５０３と、インクマニホールドの室内５０１ａに設けられたダンパ部材５０４とを有している。ヘッドチップ５０３には、圧力室となる複数のチャネル５０３ａと、ノズルプレートが設けられている。インクマニホールド５０１は、中空の略直方体状に形成されており、一面が開口している。
　基板５０２は、インクマニホールド５０１の開口を覆うように配置されている。そして、基板５０２は、インクマニホールド５０１とヘッドチップ５０３の間に介在される。また、基板５０２には、ヘッドチップ５０３のチャネル５０３ａと連通する複数の貫通孔５０２ａが形成されている。そして、インクマニホールド５０１とヘッドチップ５０３の複数のチャネル５０３ａは、基板５０２の貫通孔５０２ａを介して連通する。ダンパ部材５０４は、インクマニホールド５０１の開口において基板５０２と対向するように配置されている。
特開２０１５－２２３７３７号公報
　しかしながら、図２８に示すように、ダンパ部材５０４による圧力減衰の効果を高めるためにダンパ部材５０４は、基板５０２及びヘッドチップ５０３のチャネル５０３ａに接近させて配置されている。そのため、ダンパ部材５０４の下方であるダンパ部材５０４とヘッドチップ５０３の間の領域Ｐ１の流路は狭くなっている。
　さらに、この領域Ｐ１は、ダンパ部材５０４によって２つに分かれたインクの流路が再び合流する地点である。その結果、共通インク室内に残留気泡が混入した場合、ダンパ部材５０４の下方であるダンパ部材５０４と基板５０２及びヘッドチップ５０３の間の領域Ｐ１に気泡が残留し易くなる。
　また、ダンパ部材５０４の側面部の領域Ｐ２や、ダンパ部材５０４やインクマニホールド５０１の室内の角部の領域Ｐ３は、他の領域よりも流速が低くなり、気泡が残留し易くなっている。このように、ダンパ部材の周囲に気泡が残留するため、従来のインクジェットヘッドでは、残留した気泡が圧力室内に侵入して射出性能の低下を招く、という問題を有していた。
　本発明は、上述のような従来の問題点に鑑み、共通インク室内に残留する気泡を効率良く除去することができるインクジェットヘッド及びこのインクジェットヘッドを備えた画像形成装置を提供することを目的とする。
　上記課題を解決し、本発明の目的を達成するため、本発明のインクジェットヘッドは、複数の圧力室を有するヘッドチップと、ヘッドチップにインクを供給する共通インク室を有するインクマニホールドと、を備えている。インクマニホールドは、供給ポートと、排出ポートと、インク供給流路と、ダンパ部材と、インク排出流路と、仕切り壁とを備えている。供給ポートには、インクが供給される。排出ポートは、インク及びインクに残留する気泡を排出する。インク供給流路は、インクマニホールドの内部空間に設けられ、供給ポートに連通し、インクが通過する。ダンパ部材は、内部空間に設けられ、複数の圧力室におけるインクマニホールド側の開口と対向して配置され、インク供給流路を通過したインクがヘッドチップとの間に形成された隙間を通過する。インク排出流路は、内部空間に設けられ、排出ポートに連通し、隙間を通過したインク及び気泡が通過する。仕切り壁は、内部空間に設けられ、ダンパ部材における隙間とは反対側においてインク及び気泡が通過することを規制する。そして、インクマニホールドは、隙間におけるインク及び気泡が流れる方向をインク供給流路からインク排出流路に向かう方向に制限する。
　また、本発明の画像形成装置は、上述したインクジェットヘッドを備えている。
　上記構成のインクジェットヘッド及び画像形成装置によれば、共通インク室内に残留する気泡を効率良く除去することができる。
本発明の第１の実施の形態例に係る画像形成装置を示す概略構成図である。 本発明の第１の実施の形態例に係るインクジェットヘッドを示す斜視図である。 図２のＡ－Ａ線断面図である。 図２のＢ－Ｂ線断面図である。 本発明の第１の実施の形態例に係るインクジェットヘッドにおけるインクマニホールドの蓋部材を透過させて示す平面図である。 本発明の第２の実施の形態例に係るインクジェットヘッドを示す断面図である。 本発明の第３の実施の形態例に係るインクジェットヘッドを示す断面図である。 図７のＡ－Ａ線断面図である。 本発明の第３の実施の形態例に係るインクジェットヘッドにおけるインクマニホールドの蓋部材を透過させて示す平面図である。 本発明の第４の実施の形態例に係るインクジェットヘッドを示す斜視図である。 図１０のＡ－Ａ線断面図である。 本発明の第５の実施の形態例に係るインクジェットヘッドにおけるインクマニホールドの蓋部材を透過させて示す平面図である。 図１２のＡ－Ａ線断面図である。 図１２のＢ－Ｂ線断面図である。 図１２のＣ－Ｃ線断面図である。 図１２のＤ－Ｄ線断面図である。 本発明の第６の実施の形態例に係るインクジェットヘッドにおけるインクマニホールドの蓋部材を透過させて平面図である。 図１７のＡ－Ａ線断面図である。 図１７のＢ－Ｂ線断面図である。 図１７のＣ－Ｃ線断面図である。 図１７のＤ－Ｄ線断面図である。 本発明の第７の実施の形態例に係るインクジェットヘッドにおけるインクマニホールドの蓋部材を透過させて示す斜視図である。 本発明の第７の実施の形態例に係るインクジェットヘッドにおけるインクマニホールドの蓋部材を透過させて示す平面図である。 図２３のＡ－Ａ線断面図である。 図２３のＢ－Ｂ線断面図である。 図２３のＣ－Ｃ線断面図である。 本発明のインクジェットヘッドのヘッドチップの他の例を示す断面図である。 従来のインクジェットヘッドを示す断面図である。
　以下に、本発明のインクジェットヘッド及びこのインクジェットヘッドを備えた画像形成装置を実施するための形態について、図１～図２７を参照しながら説明する。なお、各図において共通の部材には、同一の符号を付している。また、本発明は、以下の形態に限定されるものではない。
１．第１の実施の形態例
１－１．画像形成装置の構成
　まず、本発明の第１の実施の形態例（以下、「本例」という）にかかる画像形成装置の構成について図１を参照して説明する。
　図１は、本例の画像形成装置を示す概略構成図である。
　なお、以下の説明では、記録媒体Ｒの搬送方向を第１の方向Ｘ、記録媒体Ｒの搬送面において第１の方向Ｘと直交する方向を第２の方向Ｙとする。そして、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙと直交する方向、すなわちインクの吐出方向（射出方向）を第３の方向Ｚとして説明する。
　図１に示す装置は、記録媒体Ｒに向けてインク滴と吐出することで画像を形成する画像形成装置である。図１に示すように、画像形成装置１００は、プラテン１０１と、２つの搬送ローラ１０２、１０２と、複数のラインヘッド１０３、１０４、１０５、１０６とを備えている。
　プラテン１０１は、平板状に形成されている。そして、プラテン１０１の上面には、記録媒体Ｒが載置される。プラテン１０１の第１の方向Ｘの両端部には、搬送ローラ１０２が回転可能に配置されている。そして、搬送ローラ１０２が駆動されると、プラテン１０１は、記録媒体Ｒを第１の方向Ｘに搬送する。
　ラインヘッド１０３、１０４、１０５、１０６は、第１の方向Ｘの一側、すなわち記録媒体Ｒの搬送方向の上流側から、第１の方向Ｘの他側、すなわち記録媒体Ｒの搬送方向の下流側にかけて第２の方向Ｙに並列して設けられている。そして、ラインヘッド１０３、１０４、１０５、１０６は、記録媒体Ｒを間に挟んだ状態で、プラテン１０１と第３の方向Ｚで対向する。
　また、ラインヘッド１０３、１０４、１０５、１０６の内部には、後述するインクジェットヘッド１（図２参照）が少なくとも一つ設けられている。そして、ラインヘッド１０３、１０４、１０５、１０６は、例えば、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、黒（Ｋ）のインクを記録媒体Ｒに向けて吐出する。
１－２．インクジェットヘッドの構成
　次に、インクジェットヘッド１の構成について図２～図５を参照して説明する。
　図２は、インクジェットヘッド１を示す斜視図、図３は、図２のＡ－Ａ線断面図、図４は、図２のＢ－Ｂ線断面図である。図５は、インクジェットヘッド１のインクマニホールド２の蓋部材１２を透過させて示す平面図である。
　図２及び図３に示すように、インクジェットヘッド１は、インクマニホールド２と、基板３と、ヘッドチップ４とを備えている。インクマニホールド２は、中空の略直方体状に形成されており、一面が開口している。そして、図３及び図４に示すように、インクマニホールド２の開口を閉じるようにして基板３が配置される。なお、インクマニホールド２の詳細な構成については、後述する。
　基板３は、例えば、ガラス、セラミックス、シリコン、合成樹脂等によって略平板状に形成されている。基板３には、複数の貫通孔３ａが形成されている。貫通孔３ａは、基板３の一面から他面にかけて第３の方向Ｚに沿って貫通している。この貫通孔３ａは、インクマニホールド２の内部空間である共通インク室１０に連通している。また、貫通孔３ａは、後述するヘッドチップ４に設けたチャネル８と対向する位置に形成されている。そして、貫通孔３ａは、チャネル８と連通する。
　また、基板３には、後述するヘッドチップ４に設けた不図示の電極と電気的に接続される不図示の配線が形成されている。さらに、基板３の外縁部には、基板３の配線と電気的に接続する不図示のフレキシブル配線基板が接続される。
　そして、基板３におけるインクマニホールド２と接合する面と反対側の面には、ヘッドチップ４が接合される。ヘッドチップ４は、圧力室形成プレート６と、ノズルプレート７とを有している。
　圧力室形成プレート６は、略直方体状に形成されている。この圧力室形成プレート６には、圧力室となる複数のチャネル８が設けられている。複数のチャネル８は、圧力室形成プレート６の一面から他面にかけて第３の方向Ｚに沿って貫通している。そして、複数のチャネル８は、基板３の貫通孔３ａを介してインクマニホールド２の共通インク室１０と連通する。
　複数のチャネル８は、第１の方向Ｘと第２の方向Ｙに沿って並べて設置されている。そして、複数のチャネル８のうち第２の方向Ｙに沿って並べて設置された複数のチャネル８によって１列のチャネル列を形成している。このチャネル列が第１の方向Ｘに沿って複数並べて設置されることによって、複数のチャネル列を形成している。
　なお、チャネル列（圧力室の列）とは、インクジェットヘッド１と記録媒体Ｒとの一方向の相対的な移動時に記録媒体Ｒに所定の幅で記録される画像の記録幅を形成されるチャネル８（圧力室）の集合のことである。
　記録幅は、例えば、インクジェットヘッド１が記録媒体Ｒに対して固定配置され、記録媒体Ｒを図１に示すように第１の方向Ｘに搬送させながら画像形成を行う場合、この記録媒体Ｒの搬送時に形成される幅である。インクジェットヘッド１におけるチャネル列の配列方向である第２の方向Ｙは、この記録媒体Ｒに形成される画像の記録幅と平行な方向に限らず、記録幅に対して斜めに交差する方向でもよい。
　また、インクジェットヘッド１と記録媒体Ｒとの相対的な移動は、図１に示すように、インクジェットヘッド１を固定配置させて、記録媒体Ｒを搬送させる例に限定されるものではない。例えば、インクジェットヘッド１を記録媒体Ｒの幅方向に沿って走査移動させて画像形成を行い、一走査移動毎に記録媒体Ｒをインクジェットヘッド１の走査移動方向と交差する方向に移動させてもよい。または、記録媒体Ｒを固定配置させ、インクジェットヘッド１を記録媒体Ｒの幅方向に沿って走査移動させて画像形成を行い、一走査移動毎に、インクジェットヘッド１を走査移動方向と交差する方向に移動させてもよい。
　さらに、図２に示すように、複数のチャネル８は、後述するインクマニホールド２に設けたダンパ部材２６、２７と対向する位置に配置され、ダンパ部材２６、２７と対向しない位置には、配置されていない。
　また、圧力室形成プレート６は、各チャネル列において隣り合うチャネル８の間を仕切る隔壁９の少なくとも一部が、分極処理された圧電素子によって形成されている。隔壁９の両面には、不図示の駆動電極が形成されている。この駆動電極は、基板３の配線に接続されて、電圧が印加される。そして、隔壁９は、駆動電極に所定電圧の駆動信号が印加されることによってせん断変形する。これにより、一対の隔壁９によって挟まれるチャネル８の容積が膨張、収縮するように変化する。その結果、チャネル８内に供給されているインクに吐出のための圧力が付与される。
　また、圧力室形成プレート６における基板３の接触する一面と反対側の他面には、ノズルプレート７が接合されている。すなわち、ノズルプレート７は、圧力室形成プレート６におけるチャネル８からインクが吐出する側に設けられている。
　ノズルプレート７は、略平板状に形成されている。このノズルプレート７には、複数のノズル７ａが形成されている。ノズル７ａは、圧力室形成プレート６に設けたチャネル８と対向する位置に設けられており、チャネル８と連通する。隔壁９の変形によって吐出のための圧力が付与されたチャネル８内のインクは、チャネル８を通ってノズル７ａから外部に吐出される。
［インクマニホールド２の構成］
　次に、インクマニホールド２の構成について説明する。
　図２～図５に示すように、インクマニホールド２は、中空の略直方体状に形成されており、その一面が開口している。また、インクマニホールド２は、容器部材１１と、蓋部材１２とを有している。
　なお、本例では、インクマニホールド２を容器部材１１と蓋部材１２の２つの部材で構成した例を説明したが、これに限定されるものではなく、容器部材１１と蓋部材１２を一体に構成してもよい。
　容器部材１１は、中空の略直方体状に形成されており、第３の方向Ｚの下側の一面が開口している。この容器部材１１の内部空間が共通インク室１０となる。上述したように、容器部材１１の開口は、基板３によって覆われている。また、容器部材１１における開口が形成された一面と反対側の他面には、蓋部材１２が配置されている。
　また、容器部材１１は、正面部２１と、背面部２２と、第１側壁部２３と、第２側壁部２４と、上面部２５とを有している。正面部２１は、容器部材１１における第２の方向Ｙの一端部に配置される。背面部２２は、正面部２１と対向し、容器部材１１における第２の方向Ｙの他端部に配置される。
　第１側壁部２３は、正面部２１の第１の方向Ｘの一端部から略垂直に連続し、第２の方向Ｙに沿って延在すると共に背面部２２の第１の方向Ｘの一端部に接続する。第２側壁部２４は、第１側壁部２３と対向して配置される。第２側壁部２４は、正面部２１の第１の方向Ｘの他端部から略垂直に連続し、第２の方向Ｙに沿って延在すると共に背面部２２の第１の方向Ｘの他端部に接続する。
　上面部２５は、容器部材１１の開口と対向する位置に配置されている。上面部２５は、正面部２１、背面部２２、第１側壁部２３及び第２側壁部２４と接続している。
　容器部材１１の内部空間には、インク貯留部３１と、インク供給流路３２と、第１インク排出流路３３と、第２インク排出流路３４と、第１仕切り壁３５と、第２仕切り壁３６と、第１ダンパ室３７と、第２ダンパ室３８と、インク排出部３９が設けられている。また、第１ダンパ室３７には、第１ダンパ部材２６が設けられており、第２ダンパ室３８には、第２ダンパ部材２７が設けられている。
　図３及び図５に示すように、インク貯留部３１は、上面部２５の第１の方向Ｘの略中央部を第２の方向Ｙの一端部から第２の方向Ｙに沿って、第２の方向Ｙの他端部の近傍まで所定の長さで開口することで形成されている。そして、インク貯留部３１は、上面部２５から第３の方向Ｚに沿って下側に向けて所定の長さで突出している。このインク貯留部３１には、後述する供給ポート１４からインクが供給される。また、インク貯留部３１における第３の方向Ｚの下面部において第１の方向Ｘの略中央部には、インク供給流路３２が連通している。
　インク供給流路３２は、インク貯留部３１から第３の方向Ｚの下側に向けて、容器部材１１の開口の近傍まで延在している。また、インク供給流路３２は、インク貯留部３１と同様に、容器部材１１の第２の方向Ｙの一端部から第２の方向Ｙの他端部の近傍まで延在している。このインク供給流路３２には、インク貯留部３１に供給されたインクが通過する。また、インク供給流路３２の第１の方向Ｘの一側には、第１ダンパ室３７が形成されており、インク供給流路３２の第１の方向Ｘの他側には、第２ダンパ室３８が形成されている。
　第１ダンパ室３７及び第２ダンパ室３８は、第３の方向Ｚの下側が開口している。第１ダンパ室３７及び第２ダンパ室３８の開口は、インクマニホールド２に接合される基板３の貫通孔３ａ及びヘッドチップ４のチャネル８と対向する。さらに、第１ダンパ室３７及び第２ダンパ室３８は、その開口がインクマニホールド２の開口の近傍に位置している。
　そして、第１ダンパ室３７の開口を塞ぐようにして第１ダンパ部材２６が設けられ、第２ダンパ室３８の開口を塞ぐようにして第２ダンパ部材２７が設けられている。そのため、第１ダンパ部材２６及び第２ダンパ部材２７は、インクマニホールド２の開口の近傍に配置され、基板３の貫通孔３ａ及びヘッドチップ４のチャネル８と対向する。また、第１ダンパ室３７及び第２ダンパ室３８の内部空間は、第１ダンパ部材２６及び第２ダンパ部材２７によって密封され、空気等の気体が封入されている。
　第１ダンパ部材２６及び第２ダンパ部材２７は、例えば、ＰＩ（ポリイミド）、ＬＣＰ（液晶ポリマー）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＰ（ポリプロピレン）等の可撓性を有する合成樹脂のフィルムにより構成されている。また、第１ダンパ部材２６及び第２ダンパ部材２７の厚みは、圧力波を減衰させて緩衝するダンパ効果を効果的に発揮させる観点から、１０μｍ以上１５０μｍ以下とすることが好ましい。
　また、第１ダンパ部材２６及び第２ダンパ部材２７で密封された第１ダンパ室３７及び第２ダンパ室３８の内部圧力は、所定の圧力となるように調整されている。第１ダンパ室３７及び第２ダンパ室３８の内部圧力としては、例えば、常温かつ１気圧の条件下で５０ｋＰａ以上大気圧未満となるように減圧されている。これにより、第１ダンパ部材２６及び第２ダンパ部材２７が、基板３との間に形成された流路を狭めることを抑制できると共に、良好なダンパ効果を得ることができる。なお、大気圧とは、常温かつ１気圧の条件下で測定した際に１気圧となる気圧である。
　このように、第１ダンパ部材２６及び第２ダンパ部材２７が配置される第１ダンパ室３７及び第２ダンパ室３８を容器部材１１と一体に形成することで、第１ダンパ部材２６及び第２ダンパ部材２７の位置合わせを容易に行うことができる。また、第１ダンパ部材２６及び第２ダンパ部材２７の取り付け作業を容易に行うこともできる。
　さらに、第１ダンパ室３７の第１の方向Ｘにおけるインク供給流路３２と反対側である一側には、第１インク排出流路３３が設けられている。第１インク排出流路３３は、第１側壁部２３と第１ダンパ室３７の間に形成されている。図４及び図５に示すように、第１インク排出流路３３は、容器部材１１の第２の方向Ｙの一端部から他端部の近傍まで延在している。さらに、第１インク排出流路３３は、容器部材１１の開口から上面部２５の近傍まで延在している。この第１インク排出流路３３には、インク供給流路３２を通り、第１ダンパ部材２６と基板３との間を通過したインクが流れる。
　図３に示すように、第１インク排出流路３３は、容器部材１１における第３の方向Ｚの下側から第３の方向Ｚの上側における上面部２５の近傍まで開口している。また、図４に示すように、第１インク排出流路３３における第２の方向Ｙの他端部における第３の方向Ｚの上部には、第１インク排出連通路３３ａが形成されている。第１インク排出連通路３３ａは、上面部２５を第３の方向Ｚに上下に貫通している。この第１インク排出連通路３３ａは、後述するインク排出部３９に連通している。
　また、図３及び図５に示すように、第２ダンパ室３８の第１の方向Ｘにおけるインク供給流路３２と反対側である他側には、第２インク排出流路３４が設けられている。第２インク排出流路３４は、第２側壁部２４と第２ダンパ室３８の間に形成されている。第２インク排出流路３４は、容器部材１１の第２の方向Ｙの一端部から他端部の近傍まで延在している。さらに、第２インク排出流路３４は、容器部材１１の開口から上面部２５の近傍まで延在している。この第２インク排出流路３４には、インク供給流路３２を通り、第２ダンパ部材２７と基板３との間を通過したインクが流れる。
　図３に示すように、第２インク排出流路３４は、容器部材１１における第３の方向Ｚの下側から第３の方向Ｚの上側における上面部２５の近傍まで開口している。また、第２インク排出流路３４における第２の方向Ｙの他端部における第３の方向Ｚの上部には、第２インク排出連通路３４ａが形成されている。第２インク排出連通路３４ａは、上面部２５を第３の方向Ｚに上下に貫通している。この第２インク排出連通路３４ａは、後述するインク排出部３９に連通している。
　さらに、上面部２５における第２の方向Ｙの他端部には、インク排出部３９が設けられている。インク排出部３９は、上面部２５においてインク貯留部３１よりも第２の方向Ｙの他側に配置されている。インク排出部３９は、上面部２５を第３の方向Ｚの下側に向けて所定の深さで凹んだ凹部である。このインク排出部３９には、第１インク排出流路３３が第１インク排出連通路３３ａを介して連通している。また、インク排出部３９には、第２インク排出流路３４が第２インク排出連通路３４ａを介して連通している。インク排出部３９には、第１インク排出流路３３及び第２インク排出流路３４を通過したインクが流れる。
　また、図３に示すように、第１ダンパ室３７の第３の方向Ｚの上側には、第１インク排出流路３３とインク供給流路３２を仕切る第１仕切り壁３５が設けられている。さらに、第２ダンパ室３８の第３の方向Ｚの上側には、第２インク排出流路３４とインク供給流路３２を仕切る第２仕切り壁３６が設けられている。そのため、インクは、第１ダンパ室３７及び第２ダンパ室３８の第３の方向Ｚの下側のみを流れる。
　蓋部材１２は、略矩形をなす略平板状に形成されている。また、蓋部材１２は、容器部材１１の他面全体を覆う形状に形成されている。この蓋部材１２には、供給ポート１４と、排出ポート１５が設けられている。
　供給ポート１４は、蓋部材１２における第２の方向Ｙの一端部に配置されている。供給ポート１４は、筒状に形成されている。供給ポート１４の筒孔１４ａは、蓋部材１２を第３の方向Ｚに沿って一面から他面にかけて貫通し、容器部材１１のインク貯留部３１に連通している。この供給ポート１４から容器部材１１のインク貯留部３１に向けてインクが供給される。
　また、排出ポート１５は、蓋部材１２における第２の方向Ｙの他端部に配置されている。排出ポート１５は、筒状に形成されている。排出ポート１５の筒孔１５ａは、蓋部材１２を第３の方向Ｚに沿って一面から他面にかけて貫通し、容器部材１１のインク排出部３９に連通している。この排出ポート１５から容器部材１１のインク排出部３９に貯留するインク及び気泡が排出される。
１－３．インク及び気泡の流れ
　次に、上述した構成を有するインクジェットヘッド１におけるインク及びインクに残留する気泡の流れについて説明する。
　図２、図４及び図５に示すように、インクマニホールド２の共通インク室１０には、供給ポート１４からインクが供給される。まず、供給ポート１４から供給されたインクは、インク貯留部３１に貯留される。そして、図３に示すように、インク貯留部３１に供給されたインクは、インク供給流路３２を通り、容器部材１１の第１の方向Ｘの中央から開口に向けて流れる。
　インク供給流路３２を通過して容器部材１１の開口まで流れたインクは、第２の方向Ｙの一側と、他側に分かれる。そして、第１の方向Ｘの一側に分かれたインクは、第１ダンパ部材２６と基板３との隙間を通過し、第１の方向Ｘの中央から一側に向けて流れる。また、第１の方向Ｘの他側に分かれたインクは、第２ダンパ部材２７と基板３との隙間を通過し、第１の方向Ｘの中央から他側に向けて流れる。
　ここで、第１ダンパ部材２６及び第２ダンパ部材２７の第３の方向Ｚの上側は、第１仕切り壁３５及び第２仕切り壁３６によって仕切られている。そのため、インクは、第１仕切り壁３５及び第２仕切り壁３６によって第１ダンパ部材２６及び第２ダンパ部材２７の第３の方向Ｚの上側を通過する流れが規制される。したがって、インクは、第１ダンパ部材２６及び第２ダンパ部材２７における第３の方向Ｚの下側のみを通過する。
　そして、第１ダンパ部材２６を通過するインクにおける第１の方向Ｘの流れは、第１の方向Ｘの中央から一側に向けてのみの流れとなる。また、第２ダンパ部材２７を通過するインクにおける第１の方向Ｘの流れは、第１の方向Ｘから他側に向けてのみの流れとなる。
　これにより、第１ダンパ部材２６及び第２ダンパ部材２７と基板３のとの間に残留する気泡を、インクの流れによって、第１の方向Ｘの中央から第１の方向Ｘの一側、又は他側に押し出すことができる。その結果、第１ダンパ部材２６及び第２ダンパ部材２７と基板３のとの間に残留する気泡が、チャネル８に侵入して射出性能が低下することを防ぐことができる。
　また、第１ダンパ部材２６と基板３との隙間を通過したインクは、第１インク排出流路３３に流れる。さらに、第２ダンパ部材２７と基板３との隙間を通過したインクは、第２インク排出流路３４に流れる。ここで、第１ダンパ部材２６の第３の方向Ｚの下部や、第１の方向Ｘの一側の側面部に残留する気泡は、インクの流れに沿って第１インク排出流路３３まで押し出される。さらに、第２ダンパ部材２７の第３の方向Ｚの下部や、第１の方向Ｘの他側の側面部に残留する気泡は、インクの流れに沿って第２インク排出流路３４まで押し出される。
　また、図５に示すように、第１インク排出流路３３に流れたインクは、第１インク排出連通路３３ａを介してインク排出部３９まで流れる。そして、第２インク排出流路３４に流れたインクは、第２インク排出連通路３４ａを介してインク排出部３９まで流れる。そのため、インクに残留した気泡も、インクの流れに沿って第１インク排出流路３３や第２インク排出流路３４を通りインク排出部３９に押し出される。そして、気泡は、インク排出部３９から排出ポート１５を介してインクマニホールド２の外部に排出される。
　このように、インクマニホールド２の内部空間である共通インク室１０内に供給されたインクの流れを所定の方向に向くように制限することで、インクに残留する気泡を効率良く除去することができる。
　さらに、図３に示すように、第１インク排出流路３３及び第２インク排出流路３４は、第３の方向Ｚの上側まで開口しており、インク排出部３９は、容器部材１１の第３の方向Ｚの上部に設けられている。このように、気泡自体の浮力により気泡が浮き上がる方向に第１インク排出流路３３、第２インク排出流路３４及びインク排出部３９が設けられている。その結果、インクに残留する気泡を効率良く排出することができる。
２．第２の実施の形態例
　次に、図６を参照して本発明の第２の実施の形態例にかかるインクジェットヘッドについて説明する。
　図６は、第２の実施の形態例にかかるインクジェットヘッドを示す断面図である。
　この第２の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ａが、第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１と異なる点は、インク貯留部及びインク供給流路の構成である。そのため、ここでは、インク貯留部及びインク供給流路について説明し、第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１と共通する部分には同一の符号を付して重複した説明を省略する。
　図６に示すように、インクジェットヘッド１Ａは、インクマニホールド２Ａと、基板３と、ヘッドチップ４とを備えている。インクマニホールド２Ａの容器部材１１Ａの内部空間には、インク貯留部３１Ａと、インク供給流路３２Ａが設けられている。また、容器部材１１Ａは、第１インク排出流路３３と、第２インク排出流路３４と、第１仕切り壁３５と、第２仕切り壁３６と、第１ダンパ室３７と、第２ダンパ室３８と、インク排出部３９を有している。
　インク貯留部３１Ａにおける第３の方向Ｚの下部は、インク供給流路３２Ａから離れるにしたがって、連続的に第１の方向Ｘの間隔が広がるように形成されている。すなわち、インク貯留部３１Ａにおける第３の方向Ｚの下部には、テーパー状に形成されたテーパー部３１ａが設けられている。
　このテーパー部３１ａには、フィルタ４１が設けられている。フィルタ４１は、インクに残留する異物を除去する。さらに、フィルタ４１は、インクが通過することで、インクに残留する気泡を細かく砕く。これにより、気泡がチャネル８に侵入した際に、射出性能が低下することを抑制することができる。さらに、フィルタ４１をテーパー部３１ａに設けることで、フィルタ４１の有効面積を広げることができる。
　その他の構成は、上述した第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１と同様であるため、それらの説明は省略する。このような構成を有するインクジェットヘッド１Ａによっても、上述した第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１と同様の作用及び効果を得ることができる。
３．第３の実施の形態例
　次に、図７～図９を参照して本発明の第３の実施の形態例にかかるインクジェットヘッドについて説明する。
　図７は、第３の実施の形態例にかかるインクジェットヘッドを示す断面図、図８は、図７のＡ－Ａ線断面図、図９は、蓋部材を透過させて示す平面図である。
　この第３の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ｂは、第２の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ａにおける第１インク排出流路及び第２インク排出流路の形状を変更したものである。そのため、ここでは、インク排出流路について説明し、第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１及び第２の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ａと共通する部分には同一の符号を付して重複した説明を省略する。
　図７～図９に示すように、インクジェットヘッド１Ｂは、インクマニホールド２Ｂと、基板３と、ヘッドチップ４とを備えている。インクマニホールド２Ｂの容器部材１１Ｂの内部空間には、インク貯留部３１Ａと、インク供給流路３２Ａが設けられている。そして、インク貯留部３１Ａには、フィルタ４１が設けられている。
　また、容器部材１１Ｂは、第１インク排出流路３３Ｂと、第２インク排出流路３４Ｂと、第１仕切り壁３５と、第２仕切り壁３６と、第１ダンパ室３７と、第２ダンパ室３８と、インク排出部３９Ｂを有している。
　図８に示すように、第１インク排出流路３３Ｂは、第２の方向Ｙの一端部から他端部に向かうにつれて容器部材１１Ｂの開口から離反する方向に傾斜している。したがって、第１インク排出流路３３Ｂの第３の方向Ｚにおけるヘッドチップ４４と対向する上面部は、第２の方向Ｙの一端部から他端部に向かうにつれてヘッドチップ４から第３の方向Ｚの上方に離反している。すなわち、第１インク排出流路３３Ｂの上面部は、第２の方向Ｙの一端部からインク排出部３９Ｂに向けて傾斜している。なお、第２インク排出流路３４Ｂの構成も第１インク排出流路３３Ｂと同じであるため、その説明は省略する。
　この第３の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ｂによれば、インクに残留する気泡が、第１インク排出流路３３Ｂ及び第２インク排出流路３４Ｂの傾斜面に沿ってインク排出部３９Ｂ及び排出ポート１５に向けて流れる。その結果、インク排出部３９Ｂ及び排出ポート１５から離れた第２の方向Ｙの一端部に溜まる気泡も効率良く、インク排出部３９Ｂ及び排出ポート１５から排出させることができる。
　その他の構成は、上述した第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１及び第２の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ａと同様であるため、それらの説明は省略する。このような構成を有するインクジェットヘッド１Ｂによっても、上述した第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１及び第２の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ａと同様の作用及び効果を得ることができる。
４．第４の実施の形態例
　次に、図１０及び図１１を参照して本発明の第４の実施の形態例にかかるインクジェットヘッドについて説明する。
　図１０は、第４の実施の形態例に係るインクジェットヘッドを示す斜視図、図１１は、図１０のＡ－Ａ線断面図である。
　この第４の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ｃが、第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１と異なる点は、容器部材の内部空間の構成と、蓋部材の構成である。そのため、ここでは、容器部材及び蓋部材について説明し、第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１と共通する部分には同一の符号を付して重複した説明を省略する。
　図１０及び図１１に示すように、インクジェットヘッド１Ｃは、インクマニホールド２Ｃと、基板３Ｃと、ヘッドチップ４Ｃとを備えている。インクマニホールド２Ｃは、容器部材１１Ｃと、蓋部材１２Ｃとを備えている。
　容器部材１１Ｃは、中空の略直方体状に形成されており、第３の方向Ｚの両側の面が開口している。容器部材１１Ｃは、正面部２１Ｃと、背面部２２Ｃと、第１側壁部２３Ｃと、第２側壁部２４Ｃとを有している。
　また、容器部材１１Ｃの内部空間には、インク供給流路５２と、インク排出流路５３と、仕切り壁５５と、ダンパ室５７が形成されている。仕切り壁５５は、正面部２１Ｃにおける第３の方向Ｚの上側において第１の方向Ｘの中央部に接続されている。そして、仕切り壁５５は、第２の方向Ｙの一端部から他端部にかけて延在し、背面部２２Ｃに接続されている。
　仕切り壁５５における第３の方向Ｚの下端部には、ダンパ室５７が形成されている。ダンパ室５７は、仕切り壁５５と同様に、正面部２１Ｃから背面部２２Ｃまで第２の方向Ｙに沿って連続して設けられている。このダンパ室５７には、ダンパ部材５８が設けられている。
　そのため容器部材１１Ｃの内部空間は、仕切り壁５５とダンパ室５７によって第１の方向Ｘの一側と他側に２つに分けられる。そして、図１１に示すように、容器部材１１Ｃの内部空間における第１の方向Ｘの一側が、インク供給流路５２となる。また、容器部材１１Ｃに内部空間における第１の方向Ｘの他側が、インク排出流路５３となる。
　また、図１０に示すように、蓋部材１２Ｃの第２の方向Ｙの一端部における第１の方向Ｘの一側には、供給ポート１４Ｃが配置されている。この供給ポート１４Ｃは、インク供給流路５２と連通する。また、蓋部材１２Ｃの第２の方向Ｙの他端部における第１の方向Ｘの他側には、排出ポート１５Ｃが配置されている。この排出ポート１５Ｃは、インク排出流路５３と連通する。
　図１１に示すように、この第４の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ｃでは、インクは、第１の方向Ｘの一端部からダンパ部材５８と基板３Ｃとの隙間を通り、第１の方向Ｘの他端部に向けて流れる。
　また、第４の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ｃによれば、ダンパ部材５８を第１の方向Ｘの中央部に配置することができ、第１の実施の形態例にかかるダンパ部材２６、２７よりも面積を広げることができる。そのため、基板３Ｃに設けられる貫通孔３ａＣや、ヘッドチップ４Ｃのチャネル８Ｃを、第１の方向Ｘの中央部に配置することができる。その結果、チャネル列の数を、第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１よりも増やすことができる。
　その他の構成は、上述した第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１と同様であるため、それらの説明は省略する。このような構成を有するインクジェットヘッド１Ｃによっても、上述した第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１と同様の作用及び効果を得ることができる。
５．第５の実施の形態例
　次に、図１２～図１６を参照して本発明の第５の実施の形態例にかかるインクジェットヘッドについて説明する。
　図１２は、第５の実施の形態例に係るインクジェットヘッドにおけるインクマニホールドの蓋部材を透過させて示す平面図である。図１３は、図１２のＡ－Ａ線断面図、図１４は、図１２のＢ－Ｂ線断面図、図１５は、図１２のＣ－Ｃ線断面図、図１６は、図１２のＤ－Ｄ線断面図である。
　この第５の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ｄが、第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１と異なる点は、インクマニホールドの内部空間の構成である。そのため、ここでは、インクマニホールドの容器部材について説明し、第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１と共通する部分には同一の符号を付して重複した説明を省略する。
　図１２～図１６に示すように、インクジェットヘッド１Ｄは、インクマニホールド２Ｄと、基板３Ｃと、ヘッドチップ４Ｃとを備えている。インクマニホールド２Ｃは、容器部材１１Ｄと、蓋部材１２とを備えている。なお、基板３Ｃ及びヘッドチップ４Ｃの構成は、第４の実施の形態例にかかる基板３Ｃ及びヘッドチップ４Ｃと同様であるため、その説明は省略する。
　容器部材１１Ｄは、略直方体状に形成されており、第３の方向Ｚの下側の面が開口している。容器部材１１Ｄは、正面部２１Ｄと、背面部２２Ｄと、第１側壁部２３Ｄと、第２側壁部２４Ｄと、上面部２５Ｄとを有している。
　また、容器部材１１Ｄの内部空間には、インク供給口６１と、インク供給流路６２と、インク排出流路６３と、仕切り壁６５と、ダンパ室６７と、インク排出口６９が設けられている。図１６に示すように、ダンパ室６７は、第４の実施の形態例にかかるダンパ室５７と同様に、容器部材１１Ｄの第２の方向Ｙの一端部から他端部にかけて連続して形成されている。このダンパ室６７には、ダンパ部材６８が設けられている。
　図１２及び図１３に示すように、インク供給口６１は、上面部２５Ｄの第２の方向Ｙの一端部における第１の方向Ｘの中央部に形成されている。インク供給口６１は、ダンパ室６７の第３の方向Ｚの上部に設けられる。インク供給口６１は、蓋部材１２に設けた供給ポート１４と連通する。さらに、インク供給口６１は、インク供給流路６２とも連通する。
　インク供給流路６２は、容器部材１１Ｄの内部空間における第２の方向Ｙの一端部において第１の方向Ｘの一端部に形成されている。インク供給流路６２は、容器部材１１Ｄの内部空間を第３の方向Ｚの上側から下側の開口まで連続している。このインク供給流路６２は、第２の方向Ｙの一端部においてダンパ室６７の第１の方向Ｘの一側に形成される。
　図１２及び図１４に示すように、インク排出口６９は、上面部２５Ｄの第２の方向Ｙの他端部における第１の方向Ｘの中央部に形成されている。インク排出口６９は、ダンパ室６７の第３の方向Ｚの上部に設けられる。インク排出口６９は、蓋部材１２に設けた排出ポート１５と連通する。さらに、インク排出口６９は、インク排出流路６３とも連通する。
　インク排出流路６３は、容器部材１１Ｄの内部空間における第２の方向Ｙの他端部において第１の方向Ｘの他端部に形成されている。インク排出流路６３は、容器部材１１Ｄの内部空間を第３の方向Ｚの他側から下側の開口まで連続している。このインク排出流路６３は、第２の方向Ｙの他端部においてダンパ室６７の第１の方向Ｘの他側に形成される。
　図１５に示すように、容器部材１１Ｄの内部空間における第２の方向Ｙの中間部は、ダンパ室６７及びダンパ部材６８のみが設けられている。そして、ダンパ室６７の第１の方向Ｘの両側及び第３の方向Ｚの上側は、仕切り壁６５によって覆われている。
　この第５の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ｄでは、供給ポート１４から供給されたインクは、供給ポート１４の直下、すなわち第３の方向Ｚの下側に形成されたインク供給口６１を通り、容器部材１１Ｄの内部空間に入る。そして、インクは、インク供給流路６２を通過して、ダンパ部材６８と基板３Ｃとの間の隙間に流れる。
　また、図１６に示すように、インクは、ダンパ部材６８と基板３Ｃとの間の隙間を第２の方向Ｙの一端部から他端部に向けて流れる。第２の方向Ｙの他端部まで流れたインクは、インク排出流路６３を通りインク排出口６９まで流れる。そして、インクは、インク排出口６９から排出ポート１５に排出される。
　この第５の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ｄでは、インクが供給される箇所及びインクが排出される箇所を、供給ポート１４や排出ポート１５の直下のみに制限している。これにより、第５の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ｄは、第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッドよりもインクが流れる向きを制限することで、より効率良く気泡を、排出ポート１５から排出させることができる。
　その他の構成は、上述した第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１と同様であるため、それらの説明は省略する。このような構成を有するインクジェットヘッド１Ｄによっても、上述した第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１と同様の作用及び効果を得ることができる。
　また、上述した第４及び第５の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ｃ、１Ｄにおいても第２及び第３の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ａ、１Ｂと同様に供給ポートとインク供給流路との間にフィルタを設けてもよい。
６．第６の実施の形態例
　次に、図１７～図２１を参照して本発明の第６の実施の形態例にかかるインクジェットヘッドについて説明する。
　図１７は、第６の実施の形態例に係るインクジェットヘッドにおけるインクマニホールドの蓋部材を透過させて平面図である。図１８は、図１７のＡ－Ａ線断面図、図１９は、図１９は、図１７のＢ－Ｂ線断面図、図２０は、図１７のＣ－Ｃ線断面図、図２１は、図１７のＤ－Ｄ線断面図である。
　第６の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ｅは、第３の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ｂにおけるインクが共通インク室に供給される流路を第２の方向Ｙの一端部に制限したものである。そのため、ここでは、インクマニホールドの容器部材について説明し、第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１及び第３の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ｂと共通する部分には同一の符号を付して重複した説明を省略する。
　図１７～図２１に示すように、インクジェットヘッド１Ｅは、インクマニホールド２Ｅと、基板３と、ヘッドチップ４とを備えている。インクマニホールド２Ｅの容器部材１１Ｅの内部空間には、インク貯留部７１と、インク供給流路７２と、仕切り壁７５が設けられている。そして、インク貯留部７１には、フィルタ４１が設けられている。
　図１７及び図１８に示すように、インク貯留部７１は、上面部２５Ｅにおける第２の方向Ｙの一端部に形成されている。また、インク貯留部７１は、上面部２５Ｅの第１の方向Ｘの中央部に形成されている。このインク貯留部７１は、蓋部材１２に設けた供給ポート１４と連通する。さらに、インク貯留部７１は、インク供給流路７２とも連通する。
　また、インク供給流路７２は、第２の方向Ｙの一端部において、インク貯留部７１に連通し、容器部材１１Ｅの内部空間を第３の方向Ｚの下側である開口まで形成されている。また、図１９及び図２１に示すように、インク貯留部７１及びインク供給流路７２は、容器部材１１Ｅにおける第２の方向Ｙの一端部のみに形成されている。
　さらに、容器部材１１Ｅは、第１インク排出流路３３Ｅと、第２インク排出流路３４Ｅと、第１ダンパ室３７と、第２ダンパ室３８と、インク排出部３９Ｅを有している。なお、第１インク排出流路３３Ｅと、第２インク排出流路３４Ｅと、第１ダンパ室３７と、第２ダンパ室３８と、インク排出部３９Ｅは、図２０に示すように、第３の実施の形態例にかかる第１インク排出流路３３Ｂ、第２インク排出流路３４Ｅ、第１ダンパ室３７、第２ダンパ室３８及びインク排出部３９Ｂと同様の構成を有しているため、その説明は、省略する。
　図１９及び図２１に示すように、仕切り壁７５は、第１ダンパ室３７及び第２ダンパ室７８の第３の方向Ｚの上部を仕切っている。また、仕切り壁７５は、容器部材１１Ｅの第２の方向Ｙの中間部から他端部にかけて第１ダンパ室３７と第２ダンパ室３８の間も仕切っている。
　これにより、供給ポート１４から供給されたインクは、インク貯留部７１及びインク供給流路７２を介して、容器部材１１Ｅの第２の方向Ｙの一端部から内部空間に供給される。そして、インク供給流路７２を通過したインクは、第１ダンパ部材２６又は第２ダンパ部材２７と基板３との間の隙間を通過し、第１の方向Ｘの両側に向けて流れると共に、第２の方向Ｙの一側から他側に向けて流れる。インクは、第１インク排出流路３３Ｅ及び第２インク排出流路３４Ｅを通り、インク排出部３９Ｅから排出ポート１５に排出される。
　その他の構成は、上述した第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１と同様であるため、それらの説明は省略する。このような構成を有するインクジェットヘッド１Ｅによっても、上述した第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１及び第３の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ｅと同様の作用及び効果を得ることができる。
７．第７の実施の形態例
　次に、図２２～図２６を参照して本発明の第７の実施の形態例にかかるインクジェットヘッドについて説明する。
　図２２は、第７の実施の形態例に係るインクジェットヘッドにおけるインクマニホールドの蓋部材を透過させて示す斜視図である。図２３は、インクジェットヘッドにおけるインクマニホールドの蓋部材を透過させて示す平面図である。図２４は、図２３のＡ－Ａ線断面図、図２５は、図２３のＢ－Ｂ線断面図、図２６は、図２３のＣ－Ｃ線断面図である。
　この第７の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ｆが第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１と異なる点は、インクを供給する位置及びインクを排出する位置である。そのため、ここでは、容器部材について説明し、第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１と共通する部分には同一の符号を付して重複した説明を省略する。
　図２２～図２６に示すように、インクジェットヘッド１Ｆは、インクマニホールド２Ｆと、基板３と、ヘッドチップ４とを備えている。インクマニホールド２Ｆの容器部材１１Ｆは、略直方体状に形成されており、第３の方向Ｚの下側の面が開口している。容器部材１１Ｆは、正面部２１Ｆと、背面部２２Ｆと、第１側壁部２３Ｆと、第２側壁部２４Ｆと、上面部２５Ｆとを有している。
　また、容器部材１１Ｆの内部空間には、インク貯留部８１と、インク供給流路８２と、第１インク排出流路８３と、第２インク排出流路８４と、第３インク排出流路８５と、第４インク排出流路８６が設けられている。また、容器部材１１Ｆの内部空間には、第１ダンパ室８７と、第２ダンパ室８８と、第１共通排出流路８９と、第２共通排出流路９０と、インク排出部９１と、仕切り壁９２が設けられている。
　図２２、図２３及び図２４に示すように、インク貯留部８１は、上面部２５Ｆの第１の方向Ｘの中央部に形成されている。そして、インク貯留部８１は、上面部２５Ｆにおける第２の方向Ｙの一端部から中間部にかけて延在している。このインク貯留部８１は、上面部２５Ｆを第３の方向Ｚの下側に向けて所定の長さで凹んだ凹部である。インク貯留部８１には、供給ポート１４が連通する。
　図２２及び図２５に示すように、インク貯留部８１には、容器部材１１Ｆの第２の方向Ｙの中間部に、インク供給口８１ａが開口している。インク供給口８１ａは、インク貯留部８１の第３の方向Ｚの下側の下面を開口することで形成されている。このインク供給口８１ａには、インク供給流路８２が連通している。また、インク供給口８１ａには、フィルタ９３が設けられている。フィルタ９３は、第２の実施の形態例にかかるフィルタ４１と同様の構成を有しているため、その説明は省略する。
　インク供給流路８２は、容器部材１１Ｆにおける第２の方向Ｙの中間部の第１の方向Ｘの中央部において、第３の方向Ｚの下側の開口まで連続して形成されている。そして、インク供給流路８２の第１の方向Ｘの一側には、第１ダンパ室８７が設けられ、インク供給流路８２の第１の方向Ｘの他側には、第２ダンパ室８８が設けられている。この第１ダンパ室８７には、第１ダンパ部材９４が設けられ、第２ダンパ室８８には、第２ダンパ部材９５が設けられている。
　第１ダンパ室８７、第２ダンパ室８８、第１ダンパ部材９４及び第２ダンパ部材９５の構成は、第１の実施の形態例にかかる第１ダンパ室３７、第２ダンパ室３８、第１ダンパ部材２６及び第２ダンパ部材２７と同一であるため、その説明は省略する。
　図２２、図２３及び図２４に示すように、容器部材１１Ｆにおける第２の方向Ｙの一端部には、第１インク排出流路８３と、第２インク排出流路８４が設けられている。第１インク排出流路８３は、第１ダンパ室８７よりも第１の方向Ｘの一側に形成されている。第２インク排出流路８４は、第２ダンパ室８８よりも第１の方向Ｘの他側に形成されている。そして、第１インク排出流路８３及び第２インク排出流路８４は、容器部材１１Ｆの第３の方向Ｚの下側の開口から、上側の上面部２５Ｆまで貫通している。
　また、図２２、図２３及び図２６に示すように、容器部材１１Ｆにおける第２の方向Ｙの他端部には、第３インク排出流路８５と、第４インク排出流路８６が設けられている。第３インク排出流路８５は、第１ダンパ室８７よりも第１の方向Ｘの一側に形成されている。第４インク排出流路８６は、第２ダンパ室８８よりも第１の方向Ｘの他側に形成されている。そして、第３インク排出流路８５及び第４インク排出流路８６は、容器部材１１Ｆの第３の方向Ｚの下側の開口から、上側の上面部２５Ｆまで貫通している。
　図２２～図２６に示すように、上面部２５Ｆの第１の方向Ｘの両側には、第１共通排出流路８９と、第２共通排出流路９０が設けられている。第１共通排出流路８９は、上面部２５Ｆの第１の方向Ｘの一端部に形成されている。そして、第１共通排出流路８９は、上面部２５Ｆの第２の方向Ｙの一端部から他端部にかけて連続する溝部である。第１共通排出流路８９における第２の方向Ｙの一端部には、第１インク排出流路８３が連通し、第１共通排出流路８９における第２の方向Ｙの他端部には、第３インク排出流路８５が連通する。
　第２共通排出流路９０は、上面部２５Ｆの第１の方向Ｘの他端部に形成されている。そして、第２共通排出流路９０は、上面部２５Ｆの第２の方向Ｙの一端部から他端部にかけて連続する溝部である。第２共通排出流路９０における第２の方向Ｙの一端部には、第２インク排出流路８４が連通し、第２共通排出流路９０における第２の方向Ｙの他端部には、第４インク排出流路８６が連通する。
　図２２及び図２３に示すように、上面部２５Ｆにおける第２の方向Ｙの他端部には、インク排出部９１が設けられている。インク排出部９１は、上面部２５Ｆの第１の方向Ｘの中間部に形成され、第３の方向Ｚの下側に向けて所定の長さで凹んだ凹部である。インク排出部９１には、第１共通排出流路８９と第２共通排出流路９０が連通している。また、インク排出部９１には、排出ポート１５が連通する。
　図２４及び図２５に示すように、第１ダンパ室８７及び第２ダンパ室８８の第３の方向Ｚの上側は、仕切り壁９２によって仕切られている。また、図２６に示すように、第２の方向Ｙの他端部において、仕切り壁９２は、第１ダンパ室８７及び第２ダンパ室８８の間を仕切っている。
　図２２及び図２３に示すように、この第７の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ｆでは、供給ポート１４から供給されたインクは、まずインク貯留部８１に貯留される。インクは、インク貯留部８１を第２の方向Ｙの一端部から中間部に向けて流れ、図２５に示すように、インク供給口８１ａからインク供給流路８２に流れる。インクは、インク供給流路８２を通過して容器部材１１の第３の方向Ｚの下側である開口に流れる。
　インク供給流路８２を通過したインクは、第１ダンパ部材９４及び第２ダンパ部材９５と基板３との間の隙間を通り、容器部材１１の四隅に向けて流れる。そして、容器部材１１の四隅に流れたインクは、第１インク排出流路８３、第２インク排出流路８４、第３インク排出流路８５又は第４インク排出流路８６を通過して、第１共通排出流路８９又は第２共通排出流路９０に流れる。次に、インクは、第１共通排出流路８９又は第２共通排出流路９０を介してインク排出部９１に流れ、インク排出部９１から排出ポート１５に排出される。
　このように、第７の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１Ｆでは、容器部材１１Ｆの中央部からインクを導入し、容器部材１１Ｆの四隅に向けてインクを流している。これにより、容器部材１１Ｆにおける第２の方向Ｙの一端部と他端部でのインクの片寄りを無くすことができる。また、容器部材１１Ｆの四隅に、インク排出流路８３、８４、８５、８６を設けたことで、角部に溜まり易い気泡をインク排出流路８３、８４、８５、８６に効率よく排出させることができる。
　その他の構成は、上述した第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１と同様であるため、それらの説明は省略する。このような構成を有するインクジェットヘッド１Ｆによっても、上述した第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１と同様の作用及び効果を得ることができる。
８．ヘッドチップの他の例
　次に、図２７を参照して本発明のインクジェットヘッドにおけるヘッドチップの他の例について説明する。
　図２７は、ヘッドチップの他の例を示す断面図である。
　図２７に示すように、インクジェットヘッド１Ｇは、インクマニホールド２と、インクマニホールド２の開口を塞ぐ保持部２０３と、ヘッドチップ２０４とを備えている。保持部２０３は、略平板状に形成されており、インクマニホールド２の内部空間である共通インク室１０と連通する貫通孔２０３ａを有している。
　ヘッドチップ２０４は、保持部２０３に接合されている。ヘッドチップ２０４は、ノズルプレート２１０と、中間プレート２２０と、圧力室形成プレート２３０と、駆動プレート２４０と、配線基板２５０とを有している。また、ヘッドチップ２０４は、インクの吐出面側から、ノズルプレート２１０、中間プレート２２０、圧力室形成プレート２３０、駆動プレート２４０、配線基板２５０の順に積層されている。
　ノズルプレート２１０には、複数のノズル２１１が形成されている。ノズル２１１は、ノズルプレート２１０の一面から他面にかけて貫通している。このノズル２１１は、共通インク室１０から供給されたインクを外部に吐出する。このノズル２１１は、ノズルプレート２１０に積層される中間プレート２２０を介して圧力室形成プレート２３０に形成された圧力室２３１と連通する。
　中間プレート２２０は、ノズルプレート２１０と、圧力室形成プレート２３０との間に配置される。中間プレート２２０には、ノズル２１１と圧力室形成プレート２３０に設けた圧力室２３１とを連通する第１連通孔２２１が設けられている。この第１連通孔２２１は、ノズルプレート２１０のノズル２１１と対応する位置に設けられ、中間プレート２２０の一面から他面にかけて貫通している。
　圧力室形成プレート２３０は、複数の圧力室（チャネル）２３１と、振動板２３２とを有している。圧力室２３１は、圧力室形成プレート２３０の一面から他面にかけて貫通している。この圧力室２３１によって、ノズル２１１から吐出されるインクに吐出圧力が付与される。また、圧力室２３１は、ノズルプレート２１０のノズル２１１及び中間プレート２２０の第１連通孔２２１と対応する位置に設けられている。
　振動板２３２は、圧力室２３１における中間プレート２２０とは反対側の開口を覆うように配置されている。この振動板２３２には、圧力室２３１と連通する第２連通孔２３２ａが設けられている。振動板２３２における圧力室２３１側の一面と反対側の一面には、駆動プレート２４０が配置されている。
　駆動プレート２４０は、空間部２４１と、第２連通孔２３２ａと連通する第３連通孔２４２とを有している。空間部２４１は、振動板２３２を間に挟んで圧力室２３１と対向する位置に配置されている。空間部２４１には、アクチュエータ２６０が収容されている。
　アクチュエータ２６０は、圧電素子２６１と、不図示の２つの電極を有している。圧電素子２６１は、２つの電極の間に介在されて、振動板２３２の一面に積層されている。そして、圧電素子２６１は、圧力室２３１毎（チャネル毎）に設けられる。
　圧電素子２６１は、電圧が印加されることによって変形する材料で構成されており、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などの強誘電体材料で構成されている。また、圧電素子２６１における振動板２３２と反対側の電極は、配線基板２５０に設けられた配線層２５１と接続される。
　配線基板２５０は、配線層２５１と、配線層２５１が一面に形成されたシリコン層２５２とを有している。配線層２５１は、アクチュエータ２６０の電極に接続される。また、配線層２５１の外縁部は、不図示のフレキシブル配線基板に接続される。さらに、配線層２５１における駆動プレート２４０と反対側の一面には、シリコン層２５２が配置される。シリコン層２５２は、保持部２０３に接合される。
　また、配線基板２５０には、配線層２５１及びシリコン層２５２を貫通する第４連通孔２５３が設けられている。この第４連通孔２５３は、駆動プレート２４０の第３連通孔２４２と、保持部２０３の貫通孔２０３ａを介して共通インク室１０と連通する。
　これにより、第４連通孔２５３、第３連通孔２４２及び第２連通孔２３２ａを通過して、共通インク室１０に収容されたインクが圧力室２３１に流れ込む。そして、アクチュエータ２６０に電圧が印加されることで、圧電素子２６１が変形すると共に圧電素子２６１の変形に伴い、振動板２３２が変形する。この振動板２３２が変形することで、圧力室２３１内にインクを吐出するための圧力が発生する。これにより、第１連通孔２２１を介してノズル２１１からインクが吐出される。
　その他の構成は、上述した第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１と同様であるため、それらの説明は省略する。このような構成を有するヘッドチップ２０４を設けたインクジェットヘッド１Ｇによっても、上述した第１の実施の形態例にかかるインクジェットヘッド１と同様の作用及び効果を得ることができる。
　なお、本発明は上述しかつ図面に示した実施の形態に限定されるものではなく、請求の範囲に記載した発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変形実施が可能である。
　１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ、１Ｆ、１Ｇ…インクジェットヘッド、　２、２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ、２Ｅ、２Ｆ…インクマニホールド、　３…基板、　３ａ…貫通孔、　４…ヘッドチップ、　６…圧力室形成プレート、　７…ノズルプレート、　７ａ…ノズル、　８…チャネル（圧力室）、　１０…共通インク室、　１１、１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ、１１Ｅ、１１Ｆ…容器部材、　１２、１２Ｃ…蓋部材、　１４…供給ポート、　１５…排出ポート、　２１…正面部、　２２…背面部、　２３…第１側壁部、　２４…第２側壁部、　２５…上面部、　２６…第１ダンパ部材、　２７…第２ダンパ部材、　３１…インク貯留部、　３１ａ…テーパー部、　３２…インク供給流路、　３３…第１インク排出流路、　３３ａ…第１インク排出連通路、　３４…第２インク排出流路、　３４ａ…第２インク排出連通路、　３５…第１仕切り壁、　３６…第２仕切り壁、　３７…第１ダンパ室、　３８…第２ダンパ室、　３９…インク排出部、　４１、９３…フィルタ　８５…第３インク排出流路、　８６…第４インク排出流路、　８９…第１共通排出流路、　９０…第２共通排出流路、　１００…画像形成装置、　１０１…プラテン、　１０２…搬送ローラ、　１０３、１０４、１０５、１０６…ラインヘッド、　２０３…保持部、　２０３ａ…貫通孔、　２０４…ヘッドチップ、　２１０…ノズルプレート、　２１１…ノズル、　２２０…中間プレート、　２３０…圧力室形成プレート、　２３１…圧力室、　２３２…振動板、　２４０…駆動プレート、　２４１…空間部、　２５０…配線基板、　２５１…配線層、　２５２…シリコン層、　２６０…アクチュエータ、　２６１…圧電素子

Claims (10)

  1. 　複数の圧力室を有するヘッドチップと、
    　前記ヘッドチップにインクを供給する共通インク室を有するインクマニホールドと、を備え、
    　前記インクマニホールドは、
    　前記インクが供給される供給ポートと、
    　前記インク及び前記インクに残留する気泡を排出する排出ポートと、
    　前記インクマニホールドの内部空間に設けられ、前記供給ポートに連通し、前記インクが通過するインク供給流路と、
    　前記内部空間に設けられ、前記複数の圧力室における前記インクマニホールド側の開口と対向して配置され、前記インク供給流路を通過した前記インクが前記ヘッドチップとの間に形成された隙間を通過するダンパ部材と、
    　前記内部空間に設けられ、前記排出ポートに連通し、前記隙間を通過した前記インク及び前記気泡が通過するインク排出流路と、
    　前記内部空間に設けられ、前記ダンパ部材における前記隙間とは反対側において前記インク及び前記気泡が通過することを規制する仕切り壁を備え、
    　前記インクマニホールドは、前記隙間における前記インク及び前記気泡が流れる方向を前記インク供給流路から前記インク排出流路に向かう方向に制限する
    　インクジェットヘッド。
  2. 　前記ダンパ部材は、前記インクマニホールドに一体に形成されたダンパ室に設けられる
    　請求項１に記載のインクジェットヘッド。
  3. 　前記インク供給流路は、前記インクマニホールドにおける前記インクが前記ヘッドチップに吐出される吐出方向と直交する第１の方向の中央部に設けられ、
    　前記ダンパ部材は、前記インク供給流路の前記第１の方向の一側に設けられた第１ダンパ部材と、前記インク供給流路の前記第１の方向の他側に設けられた第２ダンパ部材と、を有し、
    　前記インク排出流路は、前記第１ダンパ部材の前記第１の方向の一側に設けられた第１インク排出流路と、前記第２ダンパ部材の前記第１の方向の他側に設けられた第２インク排出流路と、を有する
    　請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
  4. 　前記供給ポートは、前記インクマニホールドにおける前記吐出方向と直交し、かつ前記第１の方向とも直交する第２の方向の一端部に設けられ、
    　前記排出ポートは、前記インクマニホールドにおける前記第２の方向の他端部に設けられ、
    　前記第１インク排出流路及び前記第２インク排出流路における前記吐出方向で前記ヘッドチップと対向する上面部は、前記第２の方向の一端部から他端部に向かうにつれて前記ヘッドチップから前記吐出方向に離反する
    　請求項３に記載のインクジェットヘッド。
  5. 　前記インク供給流路は、前記インクマニホールドにおける前記第２の方向の一端部に設けられる
    　請求項４に記載のインクジェットヘッド。
  6. 　前記供給ポートは、前記インクマニホールドにおける前記吐出方向と直交し、かつ前記第１の方向とも直交する第２の方向の一端部に設けられ、
    　前記排出ポートは、前記インクマニホールドにおける前記第２の方向の他端部に設けられ、
    　前記インク供給流路は、前記インクマニホールドにおける前記第２の方向の中央部に設けられ、
    　前記第１インク排出流路は、前記インクマニホールドにおける前記第１の方向の一端部でかつ前記第２の方向の一端部に設けられ、
    　前記第２インク排出流路は、前記インクマニホールドにおける前記第１の方向の他端部でかつ前記第２の方向の一端部に設けられ、
    　前記インク排出流路は、さらに
    　前記インクマニホールドにおける前記第１の方向の一端部でかつ前記第２の方向の他端部に設けられた第３インク排出流路と、
    　前記インクマニホールドにおける前記第１の方向の他端部でかつ前記第２の方向の他端部に設けられた第４インク排出流路と、を有し、
    　前記インクマニホールドは、
    　前記第１インク排出流路と前記第３インク排出流路を接続する第１共通排出流路と、
    　前記第２インク排出流路と前記第４インク排出流路を接続する第２共通排出流路と、を有する
    　請求項３に記載のインクジェットヘッド。
  7. 　前記インク供給流路は、前記インクマニホールドにおける前記インクが前記ヘッドチップに吐出される吐出方向と直交する第１の方向の一端部に設けられ、
    　前記インク排出流路は、前記インクマニホールドにおける前記第１の方向の他端部に設けられ、
    　前記ダンパ部材は、前記第１の方向の中央部に設けられる
    　請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
  8. 　前記供給ポートは、前記インクマニホールドにおける前記吐出方向と直交し、かつ前記第１の方向とも直交する第２の方向の一端部に設けられ、
    　前記排出ポートは、前記インクマニホールドにおける前記第２の方向の他端部に設けられ、
    　前記インク供給流路は、前記インクマニホールドにおける前記第２の方向の一端部に設けられ、
    　前記インク排出流路は、前記インクマニホールドにおける前記第２の方向の他端部に設けられる
    　請求項７に記載のインクジェットヘッド。
  9. 　前記インク供給流路と前記供給ポートの間には、フィルタが設けられる
    　請求項１～８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
  10. 　請求項１～９のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドを備えた
    　画像形成装置。
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