WO2017199459A1 - 検査装置および検査方法 - Google Patents

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WO2017199459A1
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tactile
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Inventor
朋義 新田
透 長谷川
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日本メクトロン株式会社
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H13/00—Switches having rectilinearly-movable operating part or parts adapted for pushing or pulling in one direction only, e.g. push-button switch
    • H01H13/02—Details
    • H01H13/26—Snap-action arrangements depending upon deformation of elastic members
    • H01H13/48—Snap-action arrangements depending upon deformation of elastic members using buckling of disc springs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H9/00—Details of switching devices, not covered by groups H01H1/00 - H01H7/00

Definitions

  • the present invention relates to an inspection apparatus and an inspection method, and more particularly to an inspection apparatus and an inspection method for inspecting the quality of a metal dome switch.
  • a metal dome switch (Metal Dome Switch: MDS) having a metal dome has been used in various electronic devices such as mobile phones and digital cameras.
  • the metal dome switch is configured such that when the operator depresses and deforms the metal dome, the top of the metal dome and the switch terminal come into contact with each other to turn on.
  • Patent Document 1 describes a metal dome switch having an operation member capable of pressing a metal dome.
  • Patent Document 2 describes an inspection device for the purpose of clearly determining the quality of a metal dome switch. Specifically, the quality is determined based on the feature points detected from the load-displacement curve.
  • JP 2005-116475 A Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-27383
  • FIG. 11 shows a load-displacement curve of the metal dome switch.
  • a curve C1 shows a load-displacement curve when the switch is turned on from the switch-off
  • a curve C2 shows a load-displacement curve when the switch is turned on from the switch-on.
  • the metal dome starts to deform, and at the local minimum point F2, the operator perceives that it is turned on.
  • on-position displacement may occur depending on the processing accuracy and assembly accuracy of the metal dome switch.
  • the minimum point F2 perceived by the operator as being switched on may not coincide with the point F3 where the metal dome contacts the switch terminal.
  • FIG. 12A shows a cross-sectional view of the metal dome switch 150 that is tactilely turned on
  • FIG. 12B shows a cross-sectional view of the metal dome switch 150 that is electrically turned on.
  • the metal dome switch 150 includes a metal dome 151, an insulating substrate 152, and terminals 153 and 154.
  • the terminal 153 is an annular terminal and is electrically connected to the end of the metal dome 151.
  • the terminal 154 is an island-shaped terminal arranged in a region surrounded by the terminal 153.
  • the metal dome 151 and the terminal 154 are not in contact with each other, and therefore the terminal 153 and the terminal 154 are not electrically connected. That is, even if the operator feels that the switch is turned on, the metal dome switch is not electrically turned on.
  • the metal dome 151 contacts the terminal 154 in the tactile on state, and the terminal 153 and the terminal 154 are electrically connected.
  • an object of the present invention is to provide an inspection apparatus and an inspection method capable of performing pass / fail judgment of a metal dome switch in consideration of on-position deviation.
  • the inspection apparatus includes: An inspection device for inspecting a metal dome switch having a metal dome, A first detection unit for detecting a tactile on-position indicating a displacement amount of the metal dome when the metal dome switch is tactilely turned on; A second detector for detecting an electrical on-position indicating a displacement amount of the metal dome when the metal dome switch is electrically turned on; A determination unit that performs pass / fail determination of the metal dome switch based on the tactile on position and the electrical on position; It is characterized by providing.
  • the inspection method includes: An inspection method for a metal dome switch having a metal dome, A first detecting unit detecting a tactile on position indicating a displacement amount of the metal dome when the metal dome switch is tactilely turned on; A second detecting unit detecting an electrical on-position indicating a displacement amount of the metal dome when the metal dome switch is electrically turned on; A step of determining whether the metal dome switch is acceptable based on the tactile on position and the electrical on position; It is characterized by providing.
  • the tactile on-position indicating the displacement amount of the metal dome when the metal dome switch is tactilely turned on is detected, and the electrical amount indicating the displacement amount of the metal dome when the metal dome switch is electrically turned on is detected.
  • the on-position is detected, and the quality of the metal dome switch is determined based on the tactile on-position and the electrical on-position.
  • FIG. (A) is a top view of the metal dome switch 50 as a 1 step
  • (b) is sectional drawing which follows the AA line of (a).
  • 5 is a flowchart for explaining a method of inspecting a metal dome switch 50. It is a graph which shows an example of the inspection result of metal dome switch 50 (good quality). It is a graph which shows an example of the test result of the metal dome switch 50 (defective product).
  • FIG. 8A It is a top view of the metal dome switch 60 as a two-stage switch.
  • (A), (b), and (c) are all cross-sectional views taken along the line AA in FIG. 8A.
  • 5 is a flowchart for explaining a method of inspecting a metal dome switch 60. It is a graph which shows an example of the inspection result of metal dome switch 60 (good quality). It is a graph which shows the load-displacement curve of a metal dome switch.
  • (A) is sectional drawing of the metal dome switch 150 tactilely turned on
  • (b) is sectional drawing of the metal dome switch 150 electrically turned on.
  • the inspection device 1 is a device for inspecting the quality of a metal dome switch having a metal dome.
  • a metal dome switch to be inspected Before describing the inspection apparatus 1, an example of a metal dome switch to be inspected will be described with reference to FIGS.
  • the structure of a metal dome switch is not restricted to what is shown to Fig.4 (a), (b).
  • the metal dome switch 50 is a one-stage switch, and includes a metal dome 51, an insulating substrate 52, terminals 53 and 54, and a cover film 55.
  • the insulating substrate 52 may be a flexible insulating film such as a polyimide film or a PET film, or may be a hard substrate such as a glass epoxy substrate.
  • the terminals 53 and 54 are provided on the insulating substrate 52.
  • the terminal 53 is a horseshoe-shaped terminal having a shape in which a part of the annular terminal is opened.
  • the terminal 54 includes an island-shaped terminal disposed in a region surrounded by the horseshoe-shaped terminal 53, and wiring extending from the island-shaped terminal and passing through the opening of the terminal 53.
  • the end of the metal dome 51 is electrically connected to the horseshoe-shaped terminal 53. As the metal dome 51 receives a load and deforms, the terminal 54 contacts the top of the metal dome 51. Thereby, the terminal 53 and the terminal 54 are electrically connected.
  • a part of the terminals 53 and 54 is covered with a cover film 55. This is to prevent the terminals 53 and 54 from being short-circuited by the metal dome 51.
  • the inspection apparatus 1 includes a first detection unit 10, a second detection unit 20, and an information processing device 30 such as a personal computer. First, the first detection unit 10 and the second detection unit 20 will be described.
  • the first detection unit 10 is configured to detect a tactile on position indicating the amount of displacement of the metal dome 51 when the metal dome switch 50 is tactilely turned on.
  • the 1st detection part 10 has the load meter 11 and the linear gauge 12, as shown in FIG.
  • the load meter 11 applies a load to the metal dome 51 by a push rod (push member) 11a and measures the applied load.
  • the linear gauge 12 has a built-in element whose resistance value changes due to deformation caused by a load, and detects the displacement of the metal dome 51 based on this resistance value. Note that the detection accuracy of the displacement by the linear gauge 12 is, for example, 0.001 mm.
  • the first detection unit 10 detects the applied load and the displacement of the metal dome 51 while applying a load to the metal dome 51 by the load meter 11. As a result, the first detection unit 10 acquires a load-displacement curve indicating the relationship between the load applied to the metal dome 51 and the displacement of the metal dome 51.
  • the first detection unit 10 detects the minimum point of the load-displacement curve and transmits a detection signal to the information processing apparatus 30.
  • This detection signal is a signal indicating the time T1 from the reference time until the load on the metal dome 51 becomes minimal.
  • the reference time is, for example, the time when the inspection is started or the time when a load is started to be applied to the metal dome 51.
  • This time T1 is a tactile on-position. A value obtained by multiplying the time T1 by the pushing speed V of the pushing rod 11a may be set as the tactile on-position.
  • first detection unit 10 and the second detection unit 20 may reset the clocks of the respective detection units to adjust the reference time.
  • the first detection unit 10 and the second detection unit 20 may communicate with each other to adjust the reference time.
  • the second detection unit 20 is configured to detect an electrical on position indicating the amount of displacement of the metal dome 51 when the metal dome switch 50 is electrically turned on.
  • the second detection unit 20 includes a battery B, a resistor R, and a direct current ammeter 21 connected in series to the resistor R.
  • a current flows through the DC ammeter 21.
  • the second detection unit 20 detects the current flowing between the terminal 53 and the terminal 54 of the metal dome switch 50 by the DC ammeter 21 and transmits a detection signal to the information processing device 30.
  • This detection signal is a signal indicating the time T2 from when the above-mentioned reference time is passed until the ON current flows through the metal dome switch 50.
  • This time T2 is an electrical on position.
  • a value obtained by multiplying the time T2 by the pushing speed V of the pushing rod 11a may be set as the electrical on-position.
  • the second detection unit 20 may be configured using a DC voltmeter.
  • the second detection unit 20 includes a battery B, a resistor R, and a DC voltmeter 22 connected in parallel to the resistor R.
  • the metal dome switch 50 When the metal dome switch 50 is electrically turned on, the DC voltmeter 22 measures the voltage.
  • the information processing apparatus 30 includes a control unit 31 and a display unit 32 as shown in FIG.
  • the information processing apparatus 30 transmits an inspection start signal to the first detection unit 10 and the second detection unit 20.
  • the first detection unit 10 and the second detection unit 20 start inspection.
  • the control unit 31 includes a deviation amount calculation unit 311 that calculates an on-position deviation, and a determination unit 312 that determines whether the metal dome switch is good or bad.
  • Each unit of the control unit 31 may be realized by a processor in the information processing device 30 executing a predetermined program.
  • the deviation amount calculation unit 311 calculates a difference d between the tactile on position and the electrical on position. Specifically, the deviation amount calculation unit 311 calculates the difference d using the equation (1).
  • d difference between the tactile on position and the electrical on position
  • V pushing speed of the pushing rod 11a
  • T1 time from the reference time until the load on the metal dome 51 becomes minimum
  • T2 from the reference time This is the time until an on-current flows through the metal dome switch 50.
  • the deviation amount calculation unit 311 may calculate a value corresponding to the on-position deviation without using the pushing speed V. For example, the deviation amount calculation unit 311 calculates the difference using Expression (2).
  • the determination unit 312 determines the quality of the metal dome switch 50 based on the tactile on position and the electrical on position. Specifically, the determination unit 312 determines that the metal dome switch is a non-defective product when the difference between the tactile on position and the electrical on position is equal to or less than a specified value.
  • the determination unit 312 determines that the metal dome switch 50 is a non-defective product when the difference calculated by the deviation amount calculation unit 311 is equal to or less than a specified value. On the other hand, when the difference is larger than the specified value, it is determined that the metal dome switch 50 is defective.
  • the specified value is, for example, a predetermined tolerance.
  • the determination unit 312 may determine that the metal dome switch 50 is defective when the electrical on-position is smaller than the tactile on-position. In this case, the determination unit 312 determines that the metal dome switch 50 is a defective product when the difference obtained by Expression (1) or Expression (2) becomes a negative value. As a result, a defective product in which foreign matter such as metal powder is mixed in the metal dome 51 can be identified.
  • the display unit 32 displays data obtained by the inspection (such as numerical values of on-position deviation) and inspection results.
  • the display unit 32 is at least one of a tactile on position, an electrical on position, a difference between the tactile on position and the electrical on position, and a result of pass / fail judgment of the metal dome switch 50 described later. Display one.
  • the first detection unit 10 detects the tactile on position
  • the second detection unit 20 detects the electrical on position.
  • the determination unit determines pass / fail of the metal dome switch 50 based on the tactile on position and the electrical on position.
  • the metal dome switch 50 is set on the inspection apparatus 1 (step S11). That is, the metal dome switch 50 is fixed on the inspection table (not shown) of the inspection apparatus 1.
  • the first detection unit 10 detects a tactile on position indicating the amount of displacement of the metal dome 51 when the metal dome switch 50 is tactilely turned on (step S12).
  • the tactile on-position is a value obtained by multiplying the time T1 from the reference time until the load on the metal dome 51 becomes the minimum by the pushing speed V of the pushing rod 11a. Note that the tactile on-position may be time T1.
  • the second detection unit detects an electrical on position indicating the amount of displacement of the metal dome 51 when the metal dome switch 50 is electrically turned on (step S13).
  • the electrical on-position is a value obtained by multiplying the time T2 from the reference time until the on-current flows through the metal dome switch 50 by the pushing speed V of the pushing rod 11a.
  • the electrical on position may be time T2.
  • step S12 and step S13 may be reversed.
  • the electrical on position is detected before the tactile on position.
  • step S14 the determination unit 312 determines pass / fail of the metal dome switch 50 based on the tactile on position and the electrical on position. More specifically, this step S14 is executed by the following flow.
  • the deviation amount calculation unit 311 calculates the difference between the tactile on position and the electrical on position (step S141). This difference is calculated using Equation (1) or Equation (2) described above.
  • the determination unit 312 determines whether or not the difference calculated by the deviation amount calculation unit 311 is equal to or less than a specified value (step S142). As a result, when the difference is larger than the specified value (S142; No), it is determined that the metal dome switch 50 is a defective product (step S145). On the other hand, if the difference is less than or equal to the specified value (S142; Yes), it is determined whether or not the tactile on position is smaller than the electrical on position (step S143). As a result, when the tactile on position is smaller than the electrical on position (S143: Yes), it is determined that the metal dome switch 50 is a non-defective product (step S144). On the other hand, when the tactile on position is larger than the electrical on position (S143; No), the metal dome 51 may be contaminated with foreign matter such as metal powder, so the metal dome switch 50 is defective. It is determined that there is (step S145).
  • step S143 may be omitted. In this case, if the difference calculated by the deviation amount calculation unit 311 is equal to or less than the specified value, it is immediately determined that the metal dome switch 50 is a good product.
  • FIG. 6 and 7 show the inspection results displayed on the display unit 32 of the information processing apparatus 30.
  • FIG. FIG. 6 shows an example of a load-displacement curve when the metal dome switch 50 is a good product.
  • FIG. 7 shows an example of a load-displacement curve when the metal dome switch 50 is defective.
  • the electrical on-position EOP is smaller than the tactile on-position TOP.
  • the metal dome switch is a one-stage switch.
  • the present invention can also be applied to a case where the metal dome switch is a two-stage switch. Hereinafter, this case will be described.
  • FIGS. 8A and 8B Such a metal dome switch is used for a shutter button of a digital camera.
  • the configuration of the two-stage switch metal dome switch is not limited to that shown in FIGS. 8A and 8B.
  • Terminals 64, 65 and 66 are provided on the insulating substrate 63. As shown in FIG. 8A, the terminal 64 and the terminal 65 are horseshoe-shaped terminals having a shape in which a part of the annular terminal is opened. The terminal 64 is electrically connected to the end of the metal dome 61. The terminal 65 is surrounded by the terminal 64 and is electrically connected to the end of the metal dome 62. The terminal 66 includes an island-shaped terminal disposed in a region surrounded by the horseshoe-shaped terminal 65, and a wiring extending from the island-shaped terminal and passing through the opening of the terminal 64 and the terminal 65. Yes.
  • a part of the terminals 64, 65, 66 is covered with a cover film 67. This is to prevent the terminal 64, the terminal 65, and the terminal 66 from being short-circuited by the metal dome 61 and preventing the terminal 65 and the terminal 66 from being short-circuited by the metal dome 62.
  • FIG. 8B (a) shows a cross-sectional view of the metal dome switch 60 in the off state.
  • FIG. 8B (b) shows a cross-sectional view of the metal dome switch 60 in the ON state of the first stage.
  • FIG. 8B (c) shows a cross-sectional view of the metal dome switch 60 in the second-stage ON state.
  • the metal dome switch 60 has a metal dome 61, a metal dome 62, an insulating substrate 63, and terminals 64, 65, 66.
  • the insulating substrate 63 may be a flexible insulating film or a hard substrate.
  • the metal dome 61 When a load is applied to the metal dome 61, the metal dome 61 is deformed, so that the metal dome 61 comes into contact with the top of the metal dome 62 as shown in FIG. 8B (b). Thereby, the terminal 64 and the terminal 65 are electrically connected.
  • the metal dome 62 When a load is further applied to the metal dome 61, the metal dome 62 is deformed together with the metal dome 61 and contacts the terminal 66 as shown in FIG. 8B (c). Thereby, the terminal 64, the terminal 65, and the terminal 66 are electrically connected to each other.
  • the inspection apparatus 1 for inspecting the metal dome switch 60 will be described.
  • the basic configuration of the inspection apparatus 1 is the same as that for inspecting the metal dome switch 50. That is, it is possible to inspect any type of switch of the metal dome switch 50 and the metal dome switch 60 by the same inspection apparatus 1.
  • the first detection unit 10 detects the first tactile on-position indicating the amount of displacement of the metal dome 61 when the metal dome switch 60 is tactilely turned on in the first stage. Furthermore, the first detection unit 10 detects a second tactile on-position indicating the amount of displacement of the metal dome 61 when the metal dome switch 60 is tactilely turned on in the second stage.
  • the first tactile on-position is a time from the reference time until the load of the metal dome 61 becomes the minimum first
  • the second tactile on-position is a load of the metal dome 61 of 2 from the reference time. The time until the second minimum.
  • the second detection unit 20 detects a first electrical on position indicating the amount of displacement of the metal dome 61 when the metal dome switch 60 is electrically turned on in the first stage. Further, the second detection unit 20 detects a second electrical on position indicating the amount of displacement of the metal dome 61 when the metal dome switch 60 is electrically turned on in the second stage.
  • the first electrical on-position is the time from the reference time until the current flows between the terminal 64 and the terminal 65
  • the second electrical on-position is between the terminal 64 and the terminal 66 from the reference time (or , The time until a current flows between the terminal 65 and the terminal 66).
  • the deviation amount calculation unit 311 calculates a difference d1 between the first tactile on-position and the first electrical on-position, and a difference d2 between the second tactile on-position and the second electrical on-position. .
  • the deviation amount calculation unit 311 calculates the difference between these using Equation (3) and Equation (4).
  • d1 difference between the first tactile on position and the first electrical on position
  • V the pushing speed of the pushing rod 11a
  • T21 from the reference time until the current flows between the terminal 64 and the terminal 65 Time
  • T11 This is the time from the reference time until the load on the metal dome 61 is first minimized.
  • the determination unit 312 determines pass / fail of the metal dome switch 50 based on the first and second tactile on-positions and the first and second electrical on-positions. Specifically, the determination unit 312 determines that the metal dome switch 60 is a non-defective product when the difference d1 is equal to or less than the first specified value and the difference d2 is equal to or less than the second specified value. Note that the first specified value and the second specified value may be different values.
  • a metal dome switch is a two-stage switch can be determined to be good or bad in consideration of an on-position shift.
  • a two-stage switch type metal dome switch with a large on-position shift can be accurately determined as a defective product.
  • the metal dome switch 60 is set in the inspection apparatus 1 (step S21). That is, the metal dome switch 60 is fixed on the inspection table (not shown) of the inspection apparatus 1.
  • the first detection unit 10 detects the first tactile on-position indicating the amount of displacement of the metal dome 61 when the metal dome switch 60 is tactilely turned on in the first stage (step S22).
  • the first tactile on-position is a value obtained by multiplying the aforementioned time T11 by the pushing speed V of the pushing rod 11a. Note that the first tactile on-position may be time T11.
  • the second detection unit detects a first electrical on position indicating the amount of displacement of the metal dome 61 when the metal dome switch 60 is electrically turned on in the first stage (step S23).
  • the first electrical on-position is a value obtained by multiplying the above-described time T21 by the pushing speed V of the pushing rod 11a.
  • the first electrical on position may be time T21.
  • the first detection unit 10 detects the second tactile on-position indicating the amount of displacement of the metal dome 61 when the metal dome switch 60 is tactilely turned on in the second stage (step S24).
  • the second tactile on-position is a value obtained by multiplying the aforementioned time T12 by the pushing speed V of the pushing rod 11a. Note that the second tactile on-position may be time T12.
  • the second detection unit detects a second electrical on position indicating the amount of displacement of the metal dome 61 when the metal dome switch 60 is electrically turned on in the second stage (step S25).
  • the second electrical ON position is a value obtained by multiplying the aforementioned time T22 by the pushing speed V of the pushing rod 11a.
  • the second electrical ON position may be time T22.
  • step S22 and step S23 may be changed.
  • step S24 and step S25 may be reversed.
  • step S26 determines pass / fail of the metal dome switch 60 based on the first and second tactile on positions and the first and second electrical on positions. More specifically, this step S26 is executed by the following flow.
  • the deviation amount calculation unit 311 determines the first difference between the first tactile on position and the first electrical on position, and the second tactile on position and the second electrical on position.
  • a second difference is calculated (step S261). This difference is calculated using, for example, the above formulas (3) and (4).
  • the determination unit 312 determines whether or not the first difference is less than or equal to the first specified value and the second difference is less than or equal to the second specified value (step S262). As a result, when the first difference is not more than the first specified value and the second difference is not more than the second specified value (S262; Yes), it is determined that the metal dome switch 60 is a non-defective product (step) S263). On the other hand, when the first difference is larger than the first specified value, or the second difference is larger than the second specified value (S262; No), it is determined that the metal dome switch 60 is a defective product (step). S264).
  • step S143 it may be determined whether or not the tactile on position is smaller than the electrical on position, and the quality determination may be performed. More particularly, the metal dome switch when the first tactile on position is greater than the first electrical on position or when the second tactile on position is greater than the second electrical on position. 60 may be determined to be a defective product.
  • FIG. 10 shows an example of a load-displacement curve of the metal dome switch 60.

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Abstract

【課題】オンポジションずれを考慮してメタルドームスイッチの良否判定を行う。 【解決手段】実施形態の検査装置１は、メタルドーム５１を有するメタルドームスイッチ５０を検査する検査装置であって、メタルドームスイッチ５０が触覚的にオンしたときのメタルドーム５１の変位量を示す触覚的オンポジションを検知する第１の検知部１０と、　メタルドームスイッチ５０が電気的にオンしたときのメタルドーム５１の変位量を示す電気的オンポジションを検知する第２の検知部２０と、触覚的オンポジションおよび電気的オンポジションに基づいてメタルドームスイッチ５０の良否判定を行う判定部３１２と、を備える。

Description

検査装置および検査方法
　本発明は、検査装置および検査方法に関し、より詳しくは、メタルドームスイッチの良否を検査するための検査装置および検査方法に関する。
　従来、携帯電話やデジタルカメラ等、各種の電子機器において、メタルドームを有するメタルドームスイッチ（Ｍｅｔａｌ　Ｄｏｍｅ　Ｓｗｉｔｃｈ：ＭＤＳ）が使用されている。このメタルドームスイッチは、操作者がメタルドームを押下し、変形させることで、メタルドームの頂部とスイッチ端子が接触してオンするように構成されている。例えば特許文献１には、メタルドームを押圧可能な操作部材を有するメタルドームスイッチが記載されている。
　また、特許文献２には、メタルドームスイッチの良否判定を明確に行うことを目的とした検査装置が記載されている。具体的には、荷重－変位曲線から検出された特徴点に基づいて良否判定を行っている。
特開２００５－１１６４７５号公報 特開平５－２７３０８３号公報
　ここで、メタルドームスイッチの荷重－変位特性について図１１を参照して説明する。図１１は、メタルドームスイッチの荷重－変位曲線を示している。曲線Ｃ１はスイッチオフからスイッチオンになるときの荷重－変位曲線を示し、曲線Ｃ２はスイッチオンからスイッチオフになるときの荷重－変位曲線を示している。極大点Ｆ１においてメタルドームが変形し始め、極小点Ｆ２において操作者はオンしたと知覚する。
　メタルドームスイッチでは、操作者が触覚的にオンしたと感じるポジション（メタルドームの変位量）と、スイッチが実際に電気的にオンするポジション（メタルドームの変位量）との間にずれ（以下、「オンポジションずれ」ともいう。）が無いことが理想的である。
　しかしながら、メタルドームスイッチの加工精度や組み付け精度により、オンポジションずれが生じることがある。換言すれば、図１１に示す曲線Ｃ１のように、操作者がスイッチオンしたと知覚する極小点Ｆ２と、メタルドームがスイッチ端子に接触する点Ｆ３とが一致しないことがある。
　オンポジションずれが大きい場合、操作者がスイッチをオンしたと感じても、実際にはスイッチがオンしていないという不具合が発生する。このことについて、図１２を参照してより詳しく説明する。
　図１２（ａ）は触覚的にオンしたメタルドームスイッチ１５０の断面図を示し、図１２（ｂ）は電気的にオンしたメタルドームスイッチ１５０の断面図を示している。メタルドームスイッチ１５０は、メタルドーム１５１と、絶縁基板１５２と、端子１５３，１５４とを有する。端子１５３は、環状の端子であり、メタルドーム１５１の端部に電気的に接続されている。端子１５４は、端子１５３に囲まれた領域に配置された島状の端子である。
　図１２（ａ）の場合は、触覚的なオン状態になっているものの、メタルドーム１５１と端子１５４が接触していないため、端子１５３と端子１５４は電気的に接続されていない。すなわち、操作者がスイッチをオンしたと感じても、メタルドームスイッチは電気的にオンしていない。一方、図１２（ｂ）の場合は、触覚的なオン状態においてメタルドーム１５１は端子１５４に接触し、端子１５３と端子１５４は電気的に接続される。
　特許文献２の検査方法では、荷重－変位曲線の特徴点に基づいてメタルドームスイッチの良否判定を行うものの、オンポジションずれは考慮されていない。このため、オンポジションずれが大きいメタルドームスイッチを良品と判定するおそれがある。
　そこで、本発明は、オンポジションずれを考慮してメタルドームスイッチの良否判定を行うことが可能な検査装置および検査方法を提供することを目的とする。
　本発明に係る検査装置は、
　メタルドームを有するメタルドームスイッチを検査する検査装置であって、
　前記メタルドームスイッチが触覚的にオンしたときの前記メタルドームの変位量を示す触覚的オンポジションを検知する第１の検知部と、
　前記メタルドームスイッチが電気的にオンしたときの前記メタルドームの変位量を示す電気的オンポジションを検知する第２の検知部と、
　前記触覚的オンポジションおよび前記電気的オンポジションに基づいて前記メタルドームスイッチの良否判定を行う判定部と、
　を備えることを特徴とする。
　本発明に係る検査方法は、
　メタルドームを有するメタルドームスイッチの検査方法であって、
　第１の検知部が、前記メタルドームスイッチが触覚的にオンしたときの前記メタルドームの変位量を示す触覚的オンポジションを検知する工程と、
　第２の検知部が、前記メタルドームスイッチが電気的にオンしたときの前記メタルドームの変位量を示す電気的オンポジションを検知する工程と、
　判定部が、前記触覚的オンポジションおよび前記電気的オンポジションに基づいて前記メタルドームスイッチの良否判定を行う工程と、
　を備えることを特徴とする。
　本発明では、メタルドームスイッチが触覚的にオンしたときのメタルドームの変位量を示す触覚的オンポジションを検知し、メタルドームスイッチが電気的にオンしたときのメタルドームの変位量を示す電気的オンポジションを検知し、触覚的オンポジションおよび電気的オンポジションに基づいてメタルドームスイッチの良否判定を行う。これにより、本発明によれば、オンポジションずれを考慮してメタルドームスイッチの良否判定を行うことができる。
実施形態に係る検査装置１の概略的な構成を示す図である。 第１の検知部１０の概略的な構成を示す図である。 （ａ）および（ｂ）ともに、第２の検知部２０の概略的な構成を示す図である。 （ａ）は１段スイッチとしてのメタルドームスイッチ５０の平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ－Ａ線に沿う断面図である。 メタルドームスイッチ５０を検査する方法を説明するためのフローチャートである。 メタルドームスイッチ５０（良品）の検査結果の一例を示すグラフである。 メタルドームスイッチ５０（不良品）の検査結果の一例を示すグラフである。 ２段スイッチとしてのメタルドームスイッチ６０の平面図である。 （ａ）、（ｂ）および（ｃ）のいずれも、図８ＡのＡ－Ａ線に沿う断面図である。 メタルドームスイッチ６０を検査する方法を説明するためのフローチャートである。 メタルドームスイッチ６０（良品）の検査結果の一例を示すグラフである。 メタルドームスイッチの荷重－変位曲線を示すグラフである。 （ａ）は触覚的にオンしたメタルドームスイッチ１５０の断面図であり、（ｂ）は電気的にオンしたメタルドームスイッチ１５０の断面図である。
　以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しながら説明する。
＜検査装置＞
　本発明の実施形態に係る検査装置１は、メタルドームを有するメタルドームスイッチの良否を検査するための装置である。検査装置１について説明する前に、検査対象であるメタルドームスイッチの一例について図４（ａ），（ｂ）を参照して説明する。なお、メタルドームスイッチの構成は、図４（ａ），（ｂ）に示すものに限られない。
　メタルドームスイッチ５０は、１段スイッチであり、メタルドーム５１と、絶縁基板５２と、端子５３，５４と、カバーフィルム５５とを有する。絶縁基板５２は、ポリイミドフィルムやＰＥＴフィルム等の可撓性を有する絶縁フィルムでもよいし、ガラスエポキシ基板等の硬質基板でもよい。端子５３，５４は絶縁基板５２上に設けられている。
　図４（ａ）に示すように、端子５３は、環状の端子の一部が開いた形状を有する馬蹄型の端子である。端子５４は、馬蹄型の端子５３に囲まれた領域に配置された島状の端子と、この島状の端子から延在し、端子５３の開口部を通る配線とを有している。馬蹄型の端子５３には、メタルドーム５１の端部が電気的に接続されている。メタルドーム５１が荷重を受けて変形することにより、端子５４がメタルドーム５１の頂部に接触する。これにより、端子５３と端子５４が電気的に接続される。
　なお、図４（ａ）に示すように、端子５３，５４の一部は、カバーフィルム５５により被覆されている。これは、端子５３と端子５４が、メタルドーム５１により短絡されるのを防ぐためである。
　次に、検査装置１について図１～図３を参照して詳しく説明する。
　検査装置１は、図１に示すように、第１の検知部１０と、第２の検知部２０と、パソコン等の情報処理装置３０とを備えている。まず、第１の検知部１０および第２の検知部２０について説明する。
　第１の検知部１０は、メタルドームスイッチ５０が触覚的にオンしたときのメタルドーム５１の変位量を示す触覚的オンポジションを検知するように構成されている。具体的には、第１の検知部１０は、図２に示すように、荷重計１１およびリニアゲージ１２を有している。荷重計１１は、押し込み棒（押し込み部材）１１ａでメタルドーム５１に荷重を加えるとともに、加えた荷重を計測する。リニアゲージ１２は、荷重に伴う変形により抵抗値が変化する素子を内蔵しており、この抵抗値によりメタルドーム５１の変位を検出する。なお、リニアゲージ１２による変位の検出精度は、例えば０．００１ｍｍである。
　上記のように、第１の検知部１０は、荷重計１１によりメタルドーム５１に荷重を加えつつ、加えた荷重と、メタルドーム５１の変位とを検出する。これにより、第１の検知部１０は、メタルドーム５１に加えられる荷重とメタルドーム５１の変位との関係を示す荷重－変位曲線を取得する。
　そして、第１の検知部１０は、荷重－変位曲線の極小点を検知し、検出信号を情報処理装置３０に送信する。この検出信号は、基準時刻からメタルドーム５１の荷重が極小になるまでの時間Ｔ１を示す信号である。基準時刻は、例えば、検査を開始した時刻、あるいはメタルドーム５１に荷重を加え始めた時刻である。この時間Ｔ１が触覚的オンポジションとなる。なお、時間Ｔ１に押し込み棒１１ａの押し込み速度Ｖを乗じた値を触覚的オンポジションとしてもよい。
　なお、第１の検知部１０および第２の検知部２０は、情報処理装置３０から検査開始信号を受信した際に、各々が有する時計をリセットして基準時刻を合わせてもよい。あるいは、第１の検知部１０および第２の検知部２０が互いに通信を行って基準時刻を合わせてもよい。あるいは、情報処理装置３０が、検査開始信号を送信してから経過した時間を計測しておき、第１の検知部１０、第２の検知部２０から検出信号を受信するまでの時間Ｔ１，Ｔ２を算出してもよい。
　第２の検知部２０は、メタルドームスイッチ５０が電気的にオンしたときのメタルドーム５１の変位量を示す電気的オンポジションを検知するように構成されている。具体的には、第２の検知部２０は、図３（ａ）に示すように、バッテリーＢと、抵抗Ｒと、この抵抗Ｒに直列接続された直流電流計２１と、を有する。メタルドームスイッチ５０が電気的にオンすると、直流電流計２１に電流が流れる。第２の検知部２０は、直流電流計２１により、メタルドームスイッチ５０の端子５３と端子５４との間に電流が流れたことを検知し、検出信号を情報処理装置３０に送信する。この検出信号は、前述の基準時刻からメタルドームスイッチ５０にオン電流が流れるまでの時間Ｔ２を示す信号である。この時間Ｔ２が電気的オンポジションとなる。なお、時間Ｔ２に押し込み棒１１ａの押し込み速度Ｖを乗じた値を電気的オンポジションとしてもよい。
　なお、第２の検知部２０は、直流電圧計を用いて構成してもよい。この場合、図３（ｂ）に示すように、第２の検知部２０は、バッテリーＢと、抵抗Ｒと、この抵抗Ｒに並列接続された直流電圧計２２と、を有する。メタルドームスイッチ５０が電気的にオンすると、直流電圧計２２で電圧が計測される。
　情報処理装置３０は、図１に示すように、制御部３１と、表示部３２とを有する。情報処理装置３０は、検査開始の指示を受けると（例えば検査開始ボタンが押下されると）、第１の検知部１０および第２の検知部２０に検査開始信号を送信する。この信号を受信すると、第１の検知部１０および第２の検知部２０は検査を開始する。
　制御部３１は、オンポジションずれを算出するずれ量算出部３１１と、メタルドームスイッチの良否判定を行う判定部３１２とを有する。なお、制御部３１の各部は、情報処理装置３０内のプロセッサが所定のプログラムを実行することにより実現されてもよい。
　ずれ量算出部３１１は、触覚的オンポジションと電気的オンポジションとの差ｄを算出する。具体的には、ずれ量算出部３１１は、式（１）により差ｄを算出する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
　ここで、ｄ：触覚的オンポジションと電気的オンポジションとの差、Ｖ：押し込み棒１１ａの押し込み速度、Ｔ１：基準時刻からメタルドーム５１の荷重が極小になるまでの時間、Ｔ２：基準時刻からメタルドームスイッチ５０にオン電流が流れるまでの時間である。
　なお、ずれ量算出部３１１は、押し込み速度Ｖを用いずにオンポジションずれに相当する値を算出してもよい。例えば、ずれ量算出部３１１は、式（２）により差を算出する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000004
　判定部３１２は、触覚的オンポジションおよび電気的オンポジションに基づいてメタルドームスイッチ５０の良否判定を行う。具体的には、判定部３１２は、触覚的オンポジションと電気的オンポジションとの差が規定値以下の場合にメタルドームスイッチが良品であると判定する。
　すなわち、判定部３１２は、ずれ量算出部３１１により算出された差が規定値以下の場合にメタルドームスイッチ５０が良品であると判定する。一方、当該差が規定値より大きい場合は、メタルドームスイッチ５０が不良品であると判定する。ここで、規定値は、例えば、予め決められた公差である。
　なお、判定部３１２は、電気的オンポジションが触覚的オンポジションよりも小さい場合にメタルドームスイッチ５０が不良品であると判定してもよい。この場合、判定部３１２は、式（１）または式（２）により求められた差が負の値になった場合にメタルドームスイッチ５０が不良品であると判定する。これにより、メタルドーム５１内に金属粉等の異物が混入した不良品を判別することができる。
　表示部３２は、検査により得られたデータ（オンポジションずれの数値など）や検査結果を表示する。具体的には、表示部３２は、後述の触覚的オンポジション、電気的オンポジション、触覚的オンポジションと電気的オンポジションとの差、およびメタルドームスイッチ５０の良否判定の結果のうち少なくともいずれか一つを表示する。
　上記のように、本実施形態に係る検査装置１では、第１の検知部１０が触覚的オンポジションを検知し、第２の検知部２０が電気的オンポジションを検知する。そして、判定部が、触覚的オンポジションおよび電気的オンポジションに基づいてメタルドームスイッチ５０の良否判定を行う。これにより、本実施形態によれば、オンポジションずれを考慮してメタルドームスイッチの良否判定を行うことができる。その結果、オンポジションずれの大きいメタルドームスイッチを不良品として正確に検出することができる。
＜メタルドームスイッチ５０の検査方法＞
　次に、メタルドームスイッチ５０の検査方法について図５のフローチャートを参照しつつ説明する。
　まず、メタルドームスイッチ５０を検査装置１にセットする（ステップＳ１１）。すなわち、検査装置１の検査台（図示せず）上にメタルドームスイッチ５０を固定する。
　次に、第１の検知部１０が、メタルドームスイッチ５０が触覚的にオンしたときのメタルドーム５１の変位量を示す触覚的オンポジションを検知する（ステップＳ１２）。触覚的オンポジションは、基準時刻からメタルドーム５１の荷重が極小になるまでの時間Ｔ１に押し込み棒１１ａの押し込み速度Ｖを乗じた値である。なお、触覚的オンポジションは、時間Ｔ１であってもよい。
　次に、第２の検知部が、メタルドームスイッチ５０が電気的にオンしたときのメタルドーム５１の変位量を示す電気的オンポジションを検知する（ステップＳ１３）。電気的オンポジションは、基準時刻からメタルドームスイッチ５０にオン電流が流れるまでの時間Ｔ２に押し込み棒１１ａの押し込み速度Ｖを乗じた値である。なお、電気的オンポジションは、時間Ｔ２であってもよい。
　なお、ステップＳ１２とステップＳ１３の順序は、前後してもよい。例えば、メタルドーム内に金属粉等の異物が混入したメタルドームスイッチの場合、電気的オンポジションが触覚的オンポジションよりも先に検出される。
　次に、判定部３１２が、触覚的オンポジションおよび電気的オンポジションに基づいてメタルドームスイッチ５０の良否判定を行う（ステップＳ１４）。このステップＳ１４は、より詳しくは、以下のフローにより実行される。
　まず、ずれ量算出部３１１が、触覚的オンポジションと電気的オンポジションとの差を算出する（ステップＳ１４１）。この差は、前述の式（１）または式（２）を用いて算出される。
　次に、判定部３１２が、ずれ量算出部３１１により算出された差が規定値以下であるか否かを判定する（ステップＳ１４２）。その結果、差が規定値よりも大きい場合（Ｓ１４２；Ｎｏ）、メタルドームスイッチ５０は不良品であると判定する（ステップＳ１４５）。一方、差が規定値以下の場合（Ｓ１４２；Ｙｅｓ）、触覚的オンポジションが電気的オンポジションよりも小さいか否かを判定する（ステップＳ１４３）。その結果、触覚的オンポジションが電気的オンポジションよりも小さい場合（Ｓ１４３：Ｙｅｓ）、メタルドームスイッチ５０は良品であると判定する（ステップＳ１４４）。一方、触覚的オンポジションが電気的オンポジションよりも大きい場合（Ｓ１４３；Ｎｏ）、メタルドーム５１内に金属粉等の異物が混入している可能性があるため、メタルドームスイッチ５０は不良品であると判定する（ステップＳ１４５）。
　なお、ステップＳ１４３は省略してもよい。この場合、ずれ量算出部３１１により算出された差が規定値以下であるならば、直ちにメタルドームスイッチ５０は良品であると判定する。
　図６および図７は、情報処理装置３０の表示部３２に表示された検査結果を示している。図６は、メタルドームスイッチ５０が良品である場合の荷重－変位曲線の一例を示している。図６の例では、触覚的オンポジションＴＯＰ（Ｔａｃｔｉｌｅ　Ｏｎ　Ｐｏｓｉｔｉｏｎ）と電気的オンポジションＥＯＰ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ　Ｏｎ　Ｐｏｓｉｔｉｏｎ）との差は規定値以下である。すなわち、ＴＯＰ＝０．２０８ｍｍ、ＥＯＰ＝０．２０９ｍｍであり、その差（０．００１ｍｍ）は規定値（０．０４ｍｍ）以下である。
　これに対し、図７はメタルドームスイッチ５０が不良品である場合の荷重－変位曲線の一例を示している。図７の例では、電気的オンポジションＥＯＰが触覚的オンポジションＴＯＰよりも小さい。
　上記の説明では、メタルドームスイッチが１段スイッチの場合について説明したが、本発明は、メタルドームスイッチが２段スイッチの場合にも適用することが可能である。以下、この場合について説明する。
　まず、２段スイッチのメタルドームスイッチの一例について図８Ａおよび図８Ｂを参照して説明する。このようなメタルドームスイッチは、デジタルカメラのシャッターボタン等に使用される。なお、２段スイッチのメタルドームスイッチの構成は、図８Ａおよび図８Ｂに示すものに限られない。
　端子６４，６５，６６は絶縁基板６３上に設けられている。図８Ａに示すように、端子６４および端子６５は、環状の端子の一部が開いた形状を有する馬蹄型の端子である。端子６４は、メタルドーム６１の端部に電気的に接続されている。端子６５は、端子６４に囲まれており、メタルドーム６２の端部に電気的に接続されている。端子６６は、馬蹄型の端子６５に囲まれた領域に配置された島状の端子と、この島状の端子から延在し、端子６４および端子６５の開口部を通る配線とを有している。
　なお、図８Ａに示すように、端子６４，６５，６６の一部は、カバーフィルム６７により被覆されている。これは、端子６４、端子６５および端子６６がメタルドーム６１により短絡されること、並びに、端子６５および端子６６がメタルドーム６２により短絡されることを防ぐためである。
　図８Ｂ（ａ）は、オフ状態のメタルドームスイッチ６０の断面図を示している。図８Ｂ（ｂ）は、第１段階のオン状態におけるメタルドームスイッチ６０の断面図を示している。図８Ｂ（ｃ）は、第２段階のオン状態におけるメタルドームスイッチ６０の断面図を示している。
　メタルドームスイッチ６０は、メタルドーム６１と、メタルドーム６２と、絶縁基板６３と、端子６４，６５，６６とを有する。絶縁基板６３は、可撓性を有する絶縁フィルムでもよいし、硬質基板でもよい。
　メタルドーム６１に荷重を加えていくと、メタルドーム６１が変形することにより、図８Ｂ（ｂ）に示すように、メタルドーム６１はメタルドーム６２の頂部に接触する。これにより、端子６４と端子６５が電気的に接続される。さらにメタルドーム６１に荷重を加えると、図８Ｂ（ｃ）に示すように、メタルドーム６２がメタルドーム６１とともに変形して端子６６に接触する。これにより、端子６４、端子６５および端子６６が互いに電気的に接続される。
　次に、メタルドームスイッチ６０を検査する検査装置１について説明する。なお、検査装置１の基本構成はメタルドームスイッチ５０を検査する場合と同じである。すなわち、同じ検査装置１により、メタルドームスイッチ５０およびメタルドームスイッチ６０のいずれのタイプのスイッチも検査することが可能である。
　第１の検知部１０は、メタルドームスイッチ６０が第１段階で触覚的にオンしたときのメタルドーム６１の変位量を示す第１の触覚的オンポジションを検知する。さらに、第１の検知部１０は、メタルドームスイッチ６０が第２段階で触覚的にオンしたときのメタルドーム６１の変位量を示す第２の触覚的オンポジションを検知する。例えば、第１の触覚的オンポジションは、基準時刻からメタルドーム６１の荷重が最初に極小になるまでの時間であり、第２の触覚的オンポジションは、基準時刻からメタルドーム６１の荷重が２番目に極小になるまでの時間である。
　第２の検知部２０は、メタルドームスイッチ６０が第１段階で電気的にオンしたときのメタルドーム６１の変位量を示す第１の電気的オンポジションを検知する。さらに、第２の検知部２０は、メタルドームスイッチ６０が第２段階で電気的にオンしたときのメタルドーム６１の変位量を示す第２の電気的オンポジションを検知する。例えば、第１の電気的オンポジションは、基準時刻から端子６４および端子６５間に電流が流れるまでの時間であり、第２の電気的オンポジションは、基準時刻から端子６４および端子６６間（または、端子６５および端子６６間）に電流が流れるまでの時間である。
　ずれ量算出部３１１は、第１の触覚的オンポジションと第１の電気的オンポジションとの差ｄ１、および第２の触覚的オンポジションと第２の電気的オンポジションとの差ｄ２を算出する。例えば、ずれ量算出部３１１は、式（３）および式（４）によりこれらの差を算出する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000005
　ここで、ｄ１：第１の触覚的オンポジションと第１の電気的オンポジションとの差、Ｖ：押し込み棒１１ａの押し込み速度、Ｔ２１：基準時刻から端子６４および端子６５間に電流が流れるまでの時間、Ｔ１１：基準時刻からメタルドーム６１の荷重が最初に極小になるまでの時間である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000006
　ここで、ｄ２：第２の触覚的オンポジションと第２の電気的オンポジションとの差、Ｖ：押し込み棒１１ａの押し込み速度、Ｔ２２：基準時刻から端子６４および端子６６間（または、端子６５および端子６６間）に電流が流れるまでの時間、Ｔ１２：基準時刻からメタルドーム６１の荷重が２番目に極小になるまでの時間である。
　判定部３１２は、第１および第２の触覚的オンポジションと、第１および第２の電気的オンポジションとに基づいてメタルドームスイッチ５０の良否判定を行う。具体的には、判定部３１２は、差ｄ１が第１の規定値以下であり且つ差ｄ２が第２の規定値以下である場合にメタルドームスイッチ６０が良品であると判定する。なお、第１の規定値と第２の規定値は異なる値であってもよい。
　上記のように、本実施形態に係る検査装置１によれば、２段スイッチのメタルドームスイッチについても、オンポジションずれを考慮してメタルドームスイッチの良否判定を行うことができる。その結果、オンポジションずれの大きい２段スイッチタイプのメタルドームスイッチを不良品として正確に判定することができる。
＜メタルドームスイッチ６０の検査方法＞
　次に、メタルドームスイッチ６０の検査方法について図９のフローチャートを参照しつつ説明する。
　まず、メタルドームスイッチ６０を検査装置１にセットする（ステップＳ２１）。すなわち、検査装置１の検査台（図示せず）上にメタルドームスイッチ６０を固定する。
　次に、第１の検知部１０が、メタルドームスイッチ６０が第１段階で触覚的にオンしたときのメタルドーム６１の変位量を示す第１の触覚的オンポジションを検知する（ステップＳ２２）。第１の触覚的オンポジションは、前述の時間Ｔ１１に押し込み棒１１ａの押し込み速度Ｖを乗じた値である。なお、第１の触覚的オンポジションは、時間Ｔ１１であってもよい。
　次に、第２の検知部が、メタルドームスイッチ６０が第１段階で電気的にオンしたときのメタルドーム６１の変位量を示す第１の電気的オンポジションを検知する（ステップＳ２３）。第１の電気的オンポジションは、前述の時間Ｔ２１に押し込み棒１１ａの押し込み速度Ｖを乗じた値である。なお、第１の電気的オンポジションは、時間Ｔ２１であってもよい。
　次に、第１の検知部１０が、メタルドームスイッチ６０が第２段階で触覚的にオンしたときのメタルドーム６１の変位量を示す第２の触覚的オンポジションを検知する（ステップＳ２４）。第２の触覚的オンポジションは、前述の時間Ｔ１２に押し込み棒１１ａの押し込み速度Ｖを乗じた値である。なお、第２の触覚的オンポジションは、時間Ｔ１２であってもよい。
　次に、第２の検知部が、メタルドームスイッチ６０が第２段階で電気的にオンしたときのメタルドーム６１の変位量を示す第２の電気的オンポジションを検知する（ステップＳ２５）。第２の電気的オンポジションは、前述の時間Ｔ２２に押し込み棒１１ａの押し込み速度Ｖを乗じた値である。なお、第２の電気的オンポジションは、時間Ｔ２２であってもよい。
　なお、ステップＳ２２とステップＳ２３の順序は前後してもよい。同様に、ステップＳ２４とステップＳ２５の順序は前後してもよい。
　次に、判定部３１２が、第１および第２の触覚的オンポジションと、第１および第２の電気的オンポジションとに基づいてメタルドームスイッチ６０の良否判定を行う（ステップＳ２６）。このステップＳ２６は、より詳しくは、以下のフローにより実行される。
　まず、ずれ量算出部３１１が、第１の触覚的オンポジションと第１の電気的オンポジションとの第１の差、および、第２の触覚的オンポジションと第２の電気的オンポジションとの第２の差を算出する（ステップＳ２６１）。この差は、例えば、前述の式（３）および式（４）を用いて算出される。
　次に、判定部３１２が、第１の差が第１の規定値以下であり且つ第２の差が第２の規定値以下であるか否かを判定する（ステップＳ２６２）。その結果、第１の差が第１の規定値以下であり且つ第２の差が第２の規定値以下である場合（Ｓ２６２；Ｙｅｓ）、メタルドームスイッチ６０は良品であると判定する（ステップＳ２６３）。一方、第１の差が第１の規定値より大きい、または第２の差が第２の規定値よりも大きい場合（Ｓ２６２；Ｎｏ）、メタルドームスイッチ６０は不良品であると判定する（ステップＳ２６４）。
　なお、図５のフローチャート（ステップＳ１４３）で説明したように、触覚的オンポジションが電気的オンポジションよりも小さいか否かを判定し、良否判定を行ってもよい。より詳しくは、第１の触覚的オンポジションが第１の電気的オンポジションよりも大きい場合、または、第２の触覚的オンポジションが第２の電気的オンポジションよりも大きい場合に、メタルドームスイッチ６０は不良品であると判定してもよい。
　図１０は、メタルドームスイッチ６０の荷重－変位曲線の一例を示している。この例では、第１の差（＝ＴＯＰ１－ＥＯＰ１）および第２の差（＝ＴＯＰ２－ＥＯＰ２）のいずれも規定値（０．０４ｍｍ）以下であり、メタルドームスイッチ６０は良品と判定された。
　上記の記載に基づいて、当業者であれば、本発明の追加の効果や種々の変形を想到できるかもしれないが、本発明の態様は、上述した実施形態に限定されるものではない。特許請求の範囲に規定された内容及びその均等物から導き出される本発明の概念的な思想と趣旨を逸脱しない範囲で種々の追加、変更及び部分的削除が可能である。
１　検査装置
１０　第１の検知部
１１　荷重計
１１ａ　押し込み棒
１２　リニアゲージ
２０　第２の検知部
２１　直流電流計
２２　直流電圧計
３０　情報処理装置
３１　制御部
３１１　ずれ量算出部
３１２　判定部
３２　表示部
５０　メタルドームスイッチ（１段ＳＷ）
５１　メタルドーム
５２　絶縁基板
５３，５４　端子
５５　カバーフィルム
６０　メタルドームスイッチ（２段ＳＷ）
６１，６２　メタルドーム
６３　絶縁基板
６４，６５，６６　端子
６７　カバーフィルム
１５０　メタルドームスイッチ（１段ＳＷ）
１５１　メタルドーム
１５２　絶縁基板
１５３，１５４　端子
Ｂ　バッテリー
Ｃ１，Ｃ２　荷重－変位曲線
Ｆ１　極大点
Ｆ２　極小点
Ｆ３　点
Ｒ　抵抗
ＴＯＰ　触覚的オンポジション
ＥＯＰ　電気的オンポジション
Ｔ１，Ｔ２　時間

Claims (11)

  1. 　メタルドームを有するメタルドームスイッチを検査する検査装置であって、
    　前記メタルドームスイッチが触覚的にオンしたときの前記メタルドームの変位量を示す触覚的オンポジションを検知する第１の検知部と、
    　前記メタルドームスイッチが電気的にオンしたときの前記メタルドームの変位量を示す電気的オンポジションを検知する第２の検知部と、
    　前記触覚的オンポジションおよび前記電気的オンポジションに基づいて前記メタルドームスイッチの良否判定を行う判定部と、
    　を備えることを特徴とする検査装置。
  2. 　前記第１の検知部は、前記メタルドームに加えられる荷重と前記メタルドームの変位との関係を示す荷重－変位曲線の極小点を検知することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
  3. 　前記第２の検知部は、前記メタルドームの端部に電気的に接続された第１の端子と、前記メタルドームの変形により前記メタルドームの頂部に接触する第２の端子との間に電流が流れたことを検知することを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置。
  4. 　前記触覚的オンポジションと前記電気的オンポジションとの差を算出するずれ量算出部をさらに備え、
    　前記ずれ量算出部は、前記差を式（１）により算出することを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載の検査装置。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
     　ここで、ｄ：前記差、Ｖ：前記メタルドームに荷重を加える押し込み部材の押し込み速度、Ｔ１：基準時刻から前記メタルドームの荷重が極小になるまでの時間、Ｔ２：前記基準時刻から前記メタルドームスイッチにオン電流が流れるまでの時間である。
  5. 　前記触覚的オンポジションと前記電気的オンポジションとの差を算出するずれ量算出部をさらに備え、
    　前記ずれ量算出部は、前記差を式（２）により算出することを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載の検査装置。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
     　ここで、ｄ：前記差、Ｔ１：基準時刻から前記メタルドームの荷重が極小になるまでの時間、Ｔ２：前記基準時刻から前記メタルドームスイッチにオン電流が流れるまでの時間である。
  6. 　前記判定部は、前記触覚的オンポジションと前記電気的オンポジションとの差が規定値以下の場合に前記メタルドームスイッチが良品であると判定することを特徴とする請求項１～５のいずれかに記載の検査装置。
  7. 　前記判定部は、前記電気的オンポジションが前記触覚的オンポジションよりも小さい場合に前記メタルドームスイッチが不良品であると判定することを特徴とする請求項１～６のいずれかに記載の検査装置。
  8. 　前記メタルドームスイッチは、第１段階のオン状態および第２段階のオン状態を有する２段スイッチであり、
    　前記第１の検知部は、前記メタルドームスイッチが第１段階で触覚的にオンしたときの前記メタルドームの変位量を示す第１の触覚的オンポジションと、前記メタルドームスイッチが第２段階で触覚的にオンしたときの前記メタルドームの変位量を示す第２の触覚的オンポジションとを検知し、
    　前記第２の検知部は、前記メタルドームスイッチが第１段階で電気的にオンしたときの前記メタルドームの変位量を示す第１の電気的オンポジションと、前記メタルドームスイッチが第２段階で電気的にオンしたときの前記メタルドームの変位量を示す第２の電気的オンポジションとを検知し、
    　前記判定部は、前記第１および第２の触覚的オンポジションと、前記第１および第２の電気的オンポジションとに基づいて前記メタルドームスイッチの良否判定を行うことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
  9. 　前記判定部は、前記第１の触覚的オンポジションと前記第１の電気的オンポジションとの差が第１の規定値以下であり、かつ前記第２の触覚的オンポジションと前記第２の電気的オンポジションとの差が第２の規定値以下である場合に前記メタルドームスイッチが良品であると判定することを特徴とする請求項８に記載の検査装置。
  10. 　前記触覚的オンポジション、前記電気的オンポジション、前記触覚的オンポジションと前記電気的オンポジションとの差、および前記良否判定の結果のうち少なくともいずれか一つを表示する表示部をさらに備えることを特徴とする請求項１～９のいずれかに記載の検査装置。
  11. 　メタルドームを有するメタルドームスイッチの検査方法であって、
    　第１の検知部が、前記メタルドームスイッチが触覚的にオンしたときの前記メタルドームの変位量を示す触覚的オンポジションを検知する工程と、
    　第２の検知部が、前記メタルドームスイッチが電気的にオンしたときの前記メタルドームの変位量を示す電気的オンポジションを検知する工程と、
    　判定部が、前記触覚的オンポジションおよび前記電気的オンポジションに基づいて前記メタルドームスイッチの良否判定を行う工程と、
    　を備えることを特徴とする検査方法。
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