JP2007165435A - プローブの接触状態チェック方法、および同装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 磁気ディスク用スライダ2のパッドに接触させるプローブ4と絶縁抵抗測定回路3とを結ぶ測定線路5a〜6bの途中に切換スイッチ7,8を介挿接続し、本来は絶縁抵抗測定回路3に接続されているプローブを接触判定回路8,9に切り換える。独立の専用機器である接触判定回路によって、プローブの接触不良が検出される。
【選択図】図1
Description
磁気ディスク用スライダは一般に、1個のウエハ1の面上に万単位の多数が形成される。従って、個々の磁気ディスク用スライダ2の寸法は極微小(サブミリメートルオーダー)である。その単品図を図3(B)に示す。
この例の磁気ディスク用スライダ2には、プローブを接触導通させるため5個のパッド2a〜2eが設けられている。
この場合、プローブとパッドとの接触が良くないと測定誤差を生じるので、単に抵抗値やインダクタンスを測定するだけでなく、接触抵抗もチェックされる。この種のチェック方法として4端子法が公知である。
ところが、先に図3を参照して説明したように、磁気ディスク用スライダは超微小な部材であり何万個も配列されているので、その一つ一つのパッドにプローブを接触させることは非常に難しい。
問題は、プローブがパッドから外れている場合である。プローブがパッドから外れていれば、抵抗値が無限大になって良品と判定されてしまう。
このようにして不良品が検査をすり抜けるという不具合が、磁気ディスク用スライダの検査において少なからず発生している。
測定された電気抵抗値に下限と上限とを設け、とりわけ上限値を定めておいて、上限値以上の場合も検査不良品としてチェックアウトし得る接触状態チェック方法、および同装置を提供するにある。
図面を簡素にするため、本図1は一個の磁気ディスク用スライダ2に設けられている5個のパッドのうち、2個のパッド2a,2bに対して接触せしめた4本のプローブ4のみを抽出して描いてある。
プローブから絶縁抵抗測定回路3に至る測定線路5a〜6bの途中に切換スイッチ7,8を設け、該プローブ4を接触判定回路8,9に導通せしめて、接触抵抗値が無限大である場合にチェックアウトできるようにする。
予め、電気的測定回路とプローブとを接続している測定線路の途中に切換スイッチ(7,9)を設けておき、
プローブ(4)に対する導通を接触判定回路(8,10)に切り換え導通せしめ、該接触判定回路によってプローブの接触状態の良否をチェックすることを特徴とする。
(図2参照)前記接触判定回路によるチェックは、プローブ(4)の接触状態によって変動する電位をコンパレータ(15)に入力せしめ、該コンパレータの出力を、フォトカプラ(16)を介して検知することを特徴とする。
(図1参照)電気的測定回路(3)の測定線路に接続されたプローブ(4)が、測定対象機器の端子に接触している状態をチェックする装置において、
電気的測定回路とプローブとを接続している測定線路の途中に切換スイッチ(7,9)が介装接続されており、
上記切換スイッチの切換え作動によって、前記のプローブが、絶縁抵抗測定回路(3)と接触判定回路(8,10)との間で切り換え導通されるようになっていることを特徴とする。
(図2参照)前記の接触判定回路が、複数の分圧抵抗(14a〜14d)で構成されたブリッジに接続されており、
かつ、該ブリッジの中で「プローブの接触状態により電位が変動する点d」の電位を入力されるコンパレータ(15)を具備していることを特徴とする。
(図2参照)前記コンパレータ(15)の出力端子が、フォトカプラ(16)を介して作動回路(17)に接続されていることを特徴とする。
この接触抵抗測定状態は一時的に形成されるので、前記の切換スイッチを復元させると本来の電気的測定を異状無く遂行することができる。
これにより、該接触判定回路によって接触抵抗を測定し、接触状態の良否を自動的に判定することができる。
磁気ディスク用スライダ2に設けられている5個のパッド(図3(B)参照)に対し、多数(本実施形態では合計12本)のプローブを接触させて絶縁抵抗測定回路3で電気抵抗を測定するのであるが、本図1においては、特徴的な構成の基本を理解し易いように、2個のパッド2a,2bに対して4本のプローブ4を接触させた状態を抽出して描いてある。
更に簡素化すると、後に図2に示すように1個のパッドに対して2本のプローブが接触している状態を考えれば良い。
パッド2aは、2本のプローブ4を介して、測定線路5a,5bによって絶縁抵抗測定回路3に接続導通されている。パッド2bは、2本のプローブ4を介して、測定線路6a,6bによって絶縁抵抗測定回路3に接続導通されている。
上記測定線路5a,5bの途中に切換スイッチ7が介挿接続されていて、パッド2aに接触しているプローブ4を、絶縁抵抗測定回路3または接触判定回路8の何れかに切り換え接続させるようになっている。
同様に、測定線路6a,6bの途中に切換スイッチ9が介挿接続されていて、パッド2bに接触しているプローブ4を絶縁抵抗測定回路3または接触判定回路10の何れかに切り換え接続させるようになっている。
切換スイッチ7を絶縁抵抗測定回路3側へ切り換えると、本来の状態に復元して絶縁抵抗を測定することができる。
同様に、切換スイッチ9を接触判定回路10側へ切り換えると、パッド2bに接触しているプローブ4を接触判定回路10に接続させ、該接触判定回路8によってパッド2aに対するプローブ4の接触状態(接触抵抗)を測定し、接触状態を判定することができる。切換スイッチ9を絶縁抵抗測定回路3側へ切り換えると、本来の状態に復元して絶縁抵抗を測定することができる。
このように、独立した専用の接触判定回路を用いて接触抵抗を測定するので、従来例のように『抵抗値が所定値以上であれば合格』というような手荒な判定を行なうことなく、図2を参照して以下に説明するようにして、きめ細かく正確な測定を行ない、適正な判定を行なうことができる。
切換スイッチ7が判定回路側へ切り換えられると、プローブ4aは検知抵抗11を介して接地される。
図示の点aはプローブ4aに接続されて、その電位を表す点である。このように切換スイッチ7を判定回路側へ切り換えた状態で、もう一つのプローブ4bは図示の点bに接続される。
点cと前記の点bとの間に分圧抵抗14aが接続され、該点bは分圧抵抗14bによって接地されている。
上記と並列に、点cと点dとの間に分圧抵抗14cが接続され、該点dは分圧抵抗14dによって接地されている。
点bの電圧は、プローブの接触状態によって変化する。これを、コンパレータ15の比較対象電圧入力端子に接触する。
本例においては、プローブがパッド2に接触していないとき点bの電位が2.0Vになるように、前述のブリッジを構成している分圧抵抗14a,14b,14c,14dの抵抗値を設定してある。
以上に述べたように、プローブの接触が良ければ点bの電位が下がり(1.0V)、基準電圧(1.5V)よりも低いので、コンパレータ15がオンになる。このため、該コンパレータの出力端子に接続されているフォトカプラ16がオフする。
プローブの接触が悪ければ点bの電位が上がり(2.0V)、基準電圧(1.5V)よりも高いので、コンパレータ15がオフになる。このため、該コンパレータの出力端子に接続されているフォトカプラ16がオンする。
従来技術においては、プローブが接触していないときは「絶縁良好」と判定されていたが、本発明の適用によって「プローブ接触不良」を検出できるので、不良品を良品として誤判定する虞れが無くなった。
上記と異なる実施形態として、作動回路17によって絶縁抵抗測定回路3の作動を緊急停止させたり、図外の搬送機構を作動させて不良品を選別排除するなど、各種の変形例が可能である。
Claims (5)
- 電気的測定回路の測定線路に接続されたプローブが、測定対象機器の端子に接触している状態をチェックする方法において、
予め、電気的測定回路とプローブとを接続している測定線路の途中に切換スイッチを設けておき、
プローブに対する導通を接触判定回路に切り換え導通せしめ、該接触判定回路によってプローブの接触状態の良否をチェックすることを特徴とする、プローブの接触状態チェック方法。 - 前記接触判定回路によるチェックは、プローブの接触状態によって変動する電位をコンパレータに入力せしめ、該コンパレータの出力を、フォトカプラを介して検知することを特徴とする、請求項1に記載したプローブの接触状態チェック方法。
- 電気的測定回路の測定線路に接続されたプローブが、測定対象機器の端子に接触している状態をチェックする装置において、
電気的測定回路とプローブとを接続している測定線路の途中に切換スイッチが介装接続されており、
上記切換スイッチの切換え作動により、前記のプローブが、絶縁抵抗測定回路と接触判定回路とに切り換え導通されるようになっていることを特徴とする、プローブの接触状態チェック装置。 - 前記の接触判定回路が、複数の分圧抵抗で構成されたブリッジに接続されており、
かつ、該ブリッジの中で「プローブの接触状態により電位が変動する点」の電位を入力されるコンパレータを具備していることを特徴とする、請求項3に記載したプローブの接触状態チェック装置。 - 前記コンパレータの出力端子が、フォトカプラを介して作動回路に接続されていることを特徴とする、請求項4に記載したプローブの接触状態チェック装置。
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