KR100953331B1 - 테스트 헤더부의 회전 이동을 제어하는 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 테스트 장비에 관한 것으로, 보다 구체적으로 테스트 헤더부(Test Header Part)와 프로버부(Prober Part)에 각각 장착되어 있는 퍼포먼스 보드와 프로브 카드가 테스트 헤더부의 회전 이동시 서로 분리되었는지를 정확하게 감지하여 테스트 헤더부의 회전 이동을 제어하는 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 테스트 헤더부의 이동 제어 장치는 퍼포먼스 보드와 프로브 카드 사이의 거리를 측정하여 퍼포먼스 보드와 프로브 카드의 분리 여부를 감지함으로써 퍼포먼스 보드와 프로브 카드의 분리 여부를 정확하게 판단할 수 있으며, 퍼포먼스 보드의 중심에서 원주 방향으로 등 간격으로 다수 장착되는 감지부를 통해 퍼포먼스 보드와 프로브 카드가 전체적으로 완전히 분리되었는지를 정확하게 판단할 수 있다.
테스터, 퍼포먼스 보드, 프로브 카드, 분리, 접속

Description

테스트 헤더부의 회전 이동을 제어하는 장치{Apparatus for controlling swing movement of test header part}
본 발명은 반도체 테스트 장비에 관한 것으로, 보다 구체적으로 테스트 헤더부(Test Header Part)와 프로버부(Prober Part)에 각각 장착되어 있는 퍼포먼스 보드와 프로브 카드가 테스트 헤더부의 회전 이동시 서로 분리되었는지를 정확하게 판단하고 퍼포먼스 보드와 프로브 카드가 완전하게 분리된 경우에만 테스트 헤더부를 회전 이동시키는 테스트 헤더부의 이동 제어 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는 웨이퍼 상에 패턴을 형성시키는 패브리케이션(Fabrication) 공정과 패턴이 형성된 웨이퍼를 각 단위 칩(Chip)으로 조립하는 어셈블리(Assembly) 공정을 통해 제조된다.
패브리케이션 공정과 어셈블리 공정 사이 또는 어셈블리 공정 후, 각 단위 칩 단위로 웨이퍼의 전기적 특성을 테스트하는 EDS(Electrical Die Sorting) 공정이 추가된다. 전통적으로 EDS 공정은 패키징이 완료된 후 실시되는 것이 일반적이었으나 테스트 시간과 비용이 많이 소요된다는 문제점으로 인해, 최근에는 웨이퍼 상태에서 각 단위 칩 단위로 EDS 공정이 수행된다.
도 1은 웨이퍼 상태에서 각 단위 칩으로 EDS 공정을 수행하는 웨이퍼 테스트 장비를 도시하고 있다.
도 1을 참고로 살펴보면, 웨이퍼 테스터 장비는 일명 테스트( Test ) 시스템이라고 언급되기도 하며, 이하에서는 웨이퍼 테스트 장비를 테스터 시스템으로 기재한다. 테스트 시스템은(10) 크게 웨이퍼의 단위 칩을 테스트하기 위한 신호를 생성하는 테스트 헤더부(12)와 테스트하고자 하는 웨이퍼를 로딩하여 정렬하며 생성된 테스트 신호를 웨이퍼로 전달하는 프로버부(14)를 구비하고 있다.
테스트 헤더부(12)는 테스트 신호를 생성하는 다수의 테스트 보드를 구비하고 있는 테스트 헤더(16)와 생성된 테스트 신호를 프로버부(14)로 전달하는 퍼포먼스 보드(17)를 구비하고 있다. 테스트 헤더(16)에 구비되어 있는 다수의 테스트 보드와 퍼포먼스 보드는 암/수 소켓을 통해 서로 전기적으로 접속되어 있다.
프로버부(14)는 프로버부(14) 본체와 분리 가능하도록 프로버부(14)의 상단에 장착되어 있으며 퍼포먼스 보드(17)와 전기적으로 접속되어 테스트 신호를 퍼포먼스 보드(17)로부터 전달받아 다시 테스트 신호를 웨이퍼로 제공하는 프로브 카드(미도시)와 웨이퍼를 로딩/언로딩하며 로딩한 웨이퍼를 정렬하는 로딩부(미도시)를 구비하고 있다. 또한, 프로버부(14)는 테스트 시스템(10)의 동작을 제어하기 위한 사용자 명령을 입력하며 테스트 시스템(10)의 동작 상태를 사용자에 알려주기 위한 사용자 인터페이스부(15)와 테스트 헤더부(12)를 회전 이동시키는 회전부(19)를 더 구비하고 있다.
웨이퍼의 각 단위 칩에 대한 전기적 특성을 테스트하는 경우 테스트 헤더 부(12)는 프로버부(14)로 회전 이동한다. 한편, 테스트 헤더부(12)나 프로버부(14)의 이상 여부를 확인하여야 하는 경우 테스트 헤더부(12)는 프로버부(14)로부터 회전하여 다시 원래 위치로 이동한다.
도 2와 도 3은 각각 프로버부(14)의 상단에 장착되어 있는 프로브 카드와 테스트 헤더(16)에 장착되어 있는 퍼포먼스 보드(17)를 보다 구체적으로 도시하고 있다.
도 2를 참고로 살펴보면, 프로브 카드(20)는 프로버(14)의 본체 상단에 장착되어 있다. 웨이퍼의 각 단위 칩을 테스트하기 위하여 테스트 헤더부(12)가 회전 이동시 테스트 헤더부(12)의 퍼포먼스 보드(17)와 대향하는 프로브 카드(20)의 일면에는 퍼포먼스 보드(17)의 다수 암(male) 소켓과 전기적으로 접속되는 다수의 수(female) 소켓(21)이 장착되어 있으며, 수 소켓(21)이 장착되어 있는 일면의 반대면에는 프로버부(14)에 로딩되는 웨이퍼에 전기적 테스트 신호를 전달하는 다수의 프로브 니들(미도시)이 장착되어 있다.
한편, 도 3을 참고로 살펴보면, 퍼포먼스 보드(17)는 테스트 헤더(16)에 장착되어 있다. 웨이퍼의 각 단위 칩을 테스트하기 위하여 테스트 헤더부(12)가 회전 이동시 프로버부(14)의 프로브 카드(20)와 대향하는 퍼포먼스 보드(17)의 일면에는 프로브 카드(20)의 다수 수 소켓(21)과 전기적으로 접속되는 다수의 암 소켓(31)이 장착되어 있으며, 암 소켓(31)이 장착되어 있는 일면의 반대면에는 다수의 암 또는 수 소켓이 장착되어 테스트 헤더(16)의 다수 테스트 보드와 전기적으로 접속되어 있다.
테스트 헤더부(12)가 프로버부(14)로 회전 이동시, 테스트 헤더부(12)의 퍼포먼스 보드(17)에 장착되어 있는 암 소켓(31)은 프로버부(14)의 프로브 카드(20)에 장착되어 있는 수 소켓(21)과 전기적으로 접속된다. 테스트 헤더(16)에서 생성된 테스트 신호는 퍼포먼스 보드(17)와 프로브 카드(20)를 통해 프로버부(14)에 로딩되어 정렬된 웨이퍼로 전달된다. 한편, 테스트 헤더부(12)나 프로버부(14)의 이상 여부를 확인하여야 하는 경우, 퍼포먼스 보드(17)의 암 소켓(31)과 프로브 카드(20)의 수 소켓(21)은 서로 분리되며 테스트 헤더부(12)는 프로버부(14)로부터 회전하여 원래 위치로 이동한다.
테스트 헤더부(12)가 프로버부(14)로부터 회전하여 원래 위치로 이동하기 전, 프로브 카드(20) 수 소켓(21)의 다수의 접속 핀들(23) 중 하나의 접속 핀(25)과 퍼포먼스 보드(17) 암 소켓(31)의 다수의 접속 패드들(33) 중 하나의 접속 패드(35)는 수 소켓(21)과 암 소켓(31)이 전기적으로 분리되었는지를 감지한다. 감지 결과에 따라 수 소켓(21)과 암 소켓(31)이 전기적으로 완전히 분리되지 않은 경우, 테스트 헤더부(12)를 회전하지 못하도록 제어한다.
최근에는 다수의 웨이퍼 칩을 동시에 테스트하기 위해, 퍼포먼스 보드(17)에는 많은 수, 예를 들어 100개 이상의 암 소켓들이 장착되어 있으며 프로브 카드(20)에도 암 소켓에 대응하는 다수의 수 소켓들이 장착되어 있다. 또한, 암 소켓과 수 소켓 이외에 다수의 전자 부품들이 장착되어 있다. 따라서, 비록 퍼포먼스 보드(17)의 암 소켓과 프로브 카드(20)의 수 소켓에 구비되어 있는 감지 접속 핀과 감지 접속 패드를 통해 퍼포먼스 보드(17)와 프로브 카드(20)가 서로 전기적으로 분리되어 있는 것으로 감지되더라도, 퍼포먼스 보드(17)와 프로브 카드(20)가 암 소켓과 수 소켓 사이에서, 암/수 소켓과 전자 부품 사이에서 또는 전자 부품 사이에서 기구적으로 완벽하게 분리되지 않는 경우가 발생한다.
그러나 종래 웨이퍼 테스트 장비는 접속 핀과 접속 패드가 서로 전기적 분리된 것으로 판단되는 경우, 퍼포먼스 보드와 프로브 카드가 기구적으로 완벽히 분리되었는지 여부에 상관없이 테스트 헤더부(12)를 원래 위치로 회전 이동시킨다. 퍼포먼스 보드(17)와 프로브 카드(20)가 완전히 분리되지 않은 상태에서 테스트 헤더부(12)가 회전하여 원래 위치로 이동하는 경우, 프로브 카드(20)가 퍼포먼스 보드(17)에 함께 딸려 이동하다 중간에 퍼포먼스 보드(17) 또는 프로브 카드(20) 떨어져 파손되는 경우가 종종 발생한다.
따라서 본 발명이 이루고자 하는 목적은 퍼포먼스 보드(17)와 프로브 카드(20) 사이의 거리를 측정하여 퍼포먼스 보드(17)와 프로브 카드(20)가 서로 접속 또는 분리되어 있는지 여부를 감지하고, 퍼포먼스 보드(17)와 프로브 카드(20)가 분리되지 않은 경우 테스트 헤더부가 원래 위치로 회전 이동하지 않도록 제어하는 장치를 제공하는 것이다.
퍼포먼스 보드를 구비하고 있으며 테스트 신호를 생성하여 상기 퍼포먼스 보드로 전달하는 테스트 헤더부와, 상기 테스트 헤더부의 회전 이동시 상기 퍼포먼스 보드와 접속하여 상기 테스트 신호를 웨이퍼로 전달하는 프로브 카드를 구비하는 프로버부를 포함하는 웨이퍼 테스트 시스템에서, 본 발명에 따른 테스트 헤더부의 제어 장치는 테스트 헤더부를 원위치로 회전 이동시키기 위한 제어 명령이 입력되고 제1 임계 시간이 경과 후 퍼포먼스 보드와 프로브 카드 사이의 거리를 측정하여 퍼포먼스 보드와 프로브 카드의 분리 여부를 감지하는 감지부 및 퍼포먼스 보드와 프로브 카드가 분리되지 않은 것으로 감지되는 경우 테스트 헤더부가 원위치로 회전 이동하지 않도록 제어하는 제어부를 포함한다.
감지부는 테스트 헤더부의 회전 이동시 프로브 카드와 대향하는 퍼포먼스 보드의 일면에 원주 방향으로 다수 장착되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 테스트 헤더부의 이동 제어 장치는 아래와 같은 다양한 효과를 가진다.
첫째, 본 발명에 따른 테스트 헤더부의 이동 제어 장치는 퍼포먼스 보드와 프로브 카드 사이의 거리를 측정하여 퍼포먼스 보드와 프로브 카드의 분리 여부를 감지함으로써, 퍼포먼스 보드와 프로브 카드의 분리 여부를 정확하게 판단할 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 테스트 헤더부의 이동 제어 장치는 퍼포먼스 보드의 중심에서 원주 방향에 등 간격으로 다수 장착되어 있는 감지부를 구비함으로써, 퍼포먼스 보드와 프로브 카드가 전체적으로 완전히 분리되었는지를 정확하게 판단할 수 있다.
셋째, 본 발명에 따른 테스트 헤더부의 이동 제어 장치는 퍼포먼스 보드와 프로프 카드가 분리되지 않은 것으로 감지되는 경우 경고음을 출력하여 사용자에게 이를 통보해줌으로써, 퍼포먼스 보드 또는 프로브 카드의 파손을 미연에 방지해 준다.
이하 본 발명에 따른 테스트 헤더부의 이동 제어 장치를 첨부한 도면을 참고로 보다 구체적으로 설명한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른, 테스트 헤더부의 이동 제어 장치에 대한 기능 블록도를 도시하고 있다.
도 4를 참고로 살펴보면, 감지부(100)는 퍼포먼스 보드와 프로브 카드 사이의 거리를 측정하여 퍼포먼스 보드와 프로브 카드에 각각 장착되어 있는 암 소켓과 수 소켓의 분리/접속 여부를 감지하고 감지 신호를 생성하여 출력 제어부(112)와 분리 제어부(114)로 전송한다. 감지부(100)는 퍼포먼스 보드와 프로브 카드의 거리를 측정하기 위한 근접 센서, 광센서가 사용될 수 있다. 근접 센서는 근접 센서 에 접근하는 물체 또는 근방에 존재하는 물체의 유무를 전자계의 힘을 이용하여 기계적 접촉 없이 감지하는 센서로서, 자기형, 자기포화형, 고주파 발진형, 차동 코일형, 정전 용량형 등이 사용된다. 한편, 광센서는 수광부와 발광부를 구비하며, 발광부에서 발광된 빛을 수광부에서 감지하여 수광부와 발광부가 장착된 퍼포먼스 보드와 프로브 카드 사이의 거리를 측정한다. 본 발명이 적용되는 분야에 따라 퍼포먼스 보드와 프로브 카드 사이의 거리를 측정하기 위한 다양한 감지부가 사용될 수 있으며 이는 본 발명의 범위에 속한다.
감지부(100)는 사용자 인터페이스부를 통해 테스트 헤더부를 프로버부로부터 회전 이동시키기 위한 사용자 제1 명령이 입력된 후 일정 시간 이내에 퍼포먼스 보드와 프로브 카드 사이의 거리를 측정하여 퍼포먼스 보드와 프로브 카드의 분리/접속 여부를 감지한다. 감지부(100)는 사용자 제1 명령이 입력되고 제1 임계 시간 경과 후, 퍼포먼스 보드와 프로브 카드 사이의 거리가 제1 임계 거리 이내에 있는 것으로 감지되는 경우 퍼포먼스 보드와 프로브 카드가 접속되어 있음을 나타내는 소정 논리 값의 감지 신호를 생성하며, 퍼포먼스 보드와 프로브 카드 사이의 거리가 제1 임계 거리 이상인 경우 퍼포먼스 보드와 프로브 카드가 분리되어 있음을 나타내는 소정 논리 값의 감지 신호를 생성한다.
도 5는 퍼포먼스 보드에 장착되는 감지부의 장착 예들을 도시하고 있다. 도 5(a)를 참고로 살펴보면, 3개의 감지부(50-1, 50-2, 50-3)가 퍼포먼스 보드(17)의 중심에서 원주 방향으로 장착되어 있다. 바람직하게, 3개의 감지부(50-1, 50-2, 50-3)는 퍼포먼스 보드(17)의 원주 방향에서 등 간격으로 장착되어 있다.
도 5(b)를 참고로 살펴보면, 5개의 감지부(51-1, 51-2, 51-3, 51-4, 51-5)가 퍼포먼스 보드(17)의 중심에서 원주 방향으로 장착되어 있다. 바람직하게, 5개의 감지부(51-1, 51-2, 51-3, 51-4, 51-5)는 퍼포먼스 보드(17)의 원주 방향에서 등 간격으로 장착되어 있다.
본 발명이 적용되는 분야에 따라 다수의 감지부가 퍼포먼스 보드의 중심에서 원주 방향으로 임의적 간격으로 또는 등 간격으로 배치될 수 있으며, 이는 본 발명의 범위에 속한다.
다시 도 4를 참고로 출력 제어부(112)와 분리 제어부(114)를 구비하는 제어부(110)를 구체적으로 살펴본다.
감지부(100)로부터 감지 신호를 수신한 출력 제어부(112)는 감지 신호에 따라 출력부(120)를 제어하기 신호를 생성한다. 출력 제어부(112)는 감지 신호에 기초하여 퍼포먼스 보드와 프로브 카드가 서로 분리된 것으로 감지된 경우, 이를 사용자에 알려주기 위한 신호를 생성하거나 별도의 신호를 생성하지 않는다. 한편, 출력 제어부(112)는 감지 신호에 기초하여 퍼포먼스 보드와 프로브 카드가 서로 분리되지 않은 것으로 감지된 경우, 이를 사용자에 알려주기 위한 경고 신호를 생성하여 출력부(120)로 제공한다. 출력부(120)는 디스플레이, 스피커가 사용될 수 있으며, 경고 신호를 수신하여 경고 메시지를 디스플레이하거나 경고 음을 출력하여 사용자에게 퍼포먼스 보드와 프로브 카드가 분리되지 않았음을 알려준다.
감지부(100)로부터 감지 신호를 수신한 분리 제어부(114)는 감지 신호에 따라 테스트 헤더부의 회전 이동을 제어하기 위한 신호를 생성한다. 분리 제어 부(114)는 감지 신호에 기초하여 퍼포먼스 보드와 프로브 카드가 서로 분리된 것으로 감지된 경우, 테스트 헤더부를 회전 이동시키기 위한 제어 신호를 생성한다. 한편, 분리 제어부(114)는 감지 신호에 기초하여 퍼포먼스 보드와 프로브 카드가 서로 분리되지 않는 것으로 감지된 경우, 비록 사용자 인터페이스부를 통해 테스트 헤더부를 회전 이동시키기 위한 사용자 제1 명령이 입력되더라도 테스트 헤더부가 회전 이동하지 않도록 제어한다.
도 6과 도 7은 본 발명에 따른 출력 제어부와 분리 제어부의 일 예를 도시하고 있다. 도 6과 도 7에 도시되어 있는 출력 제어부와 분리 제어부는 3개의 감지부를 구비하는 본 발명에 따른 분리 제어 장치로 설명한다.
도 6을 참고로 본 발명에 따른 출력 제어부(112)의 일 예를 보다 구체적으로 살펴보면, 퍼포먼스 보드에 장착되어 있는 3개의 감지부로부터 각각 감지 신호(S1, S2, S3)가 NOT 게이트(200)로 입력된다. 입력된 감지 신호(S1, S2, S3)는 NOT 게이트(200)에 의해 반전되어 NAND 게이트(210)로 입력된다. NAND 게이트(210)는 NOT 게이트(200)로부터 입력되는 신호에 따라 0 또는 1의 논리 값을 출력한다. 릴레이 스위치(220)는 기준 신호에 의해 온( on )/ 오프 ( off ) 제어된다. 사용자 인터페이스를 통해 테스트 헤더부를 회전 이동시키기 위한 사용자 명령이 입력되는 경우 일정 크기, 예를 들어 5V의 크기를 가지는 기준 신호가 릴레이 스위치(220)로 인가되어 릴레이 스위치(220)를 온시킨다 . NAND 게이트(210)로부터 스위치 릴레이(220)로 입력되는 신호는 0 또는 1의 논리 값을 가지는 신호이며, 0 또는 1의 논리 값은 각각 일정 크기, 예를 들어 0V와 5V의 크기를 가진다.
출력 제어부(112)의 동작 예를 보다 구체적으로 살펴보면, NOT 게이트(200)로 각각 입력되는 3개의 감지 신호들(S1, S2, S3) 중 하나의 감지 신호라도 퍼포먼스 보드와 프로브 카드가 서로 접속되었음을 나타내는 1의 논리 값을 가지는 경우, NAND 게이트(210)에서는 1의 논리 값을 가지는 신호가 출력되며, 출력된 1의 논리 값을 가지는 신호는 온 제어된 릴레이 스위치(220)를 통해 출력부로 인가된다. 출 력부는 입력된 1의 논리값에 따라 경고음 또는 경고 메시지를 출력한다.
도 7을 참고로 본 발명에 따른 분리 제어부(114)의 일 예를 보다 구체적으로 살펴보면, 퍼포먼스 보드에 장착되어 있는 3개의 감지부로부터 각각 감지 신호(S1, S2, S3)가 NOR 게이트(300)로 입력된다. 릴레이 스위치(310)는 기준 신호에 의해 온( on )/ 오프 ( off ) 제어된다. 사용자 인터페이스를 통해 테스트 헤더부를 회전 이동시키기 위한 사용자 명령이 입력되는 경우 일정 크기, 예를 들어 5V의 크기를 가지는 기준 신호가 릴레이 스위치(220)로 인가되어 릴레이 스위치(220)를 온시킨다 . NOR 게이트(300)로부터 스위치 릴레이(220)로 입력되는 신호는 0 또는 1의 논리 값을 가지는 신호이며, 0 또는 1의 논리 값은 각각 일정 크기, 예를 들어 0V와 5V의 크기를 가진다.
분리 제어부(114)의 동작 예를 보다 구체적으로 살펴보면, NOR 게이트(300)로 각각 입력되는 3개의 감지 신호들(S1, S2, S3) 중 하나의 감지 신호라도 퍼포먼스 보드와 프로브 카드가 서로 접속되었음을 나타내는 1의 논리 값을 가지는 경우, NOR 게이트(300)에서는 0의 논리 값을 가지는 신호가 출력된다. 따라서 NOR 게이트(300)로 각각 입력되는 3개의 감지 신호들(S1, S2, S3) 모두가 퍼포먼스 보드와 프로브 카드가 서로 분리되었음을 나타내는 0의 논리 값을 가지는 경우에만, NOR 게이트(300)에서는 1의 논리 값을 가지는 신호가 출력되며, 출력된 1의 논리 값을 가지는 신호는 온 제어된 릴레이 스위치(310)를 통해 회전부로 인가된다. 회전부 는 입력된 1의 논리값에 따라 테스트 헤더부를 회전시켜 원래 위치로 이동시킨다.
한편, 상술한 본 발명의 실시예들은 컴퓨터에서 실행될 수 있는 프로그램으로 작성 가능하고, 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체를 이용하여 상기 프로그램을 동작시키는 범용 디지털 컴퓨터에서 구현될 수 있다.
상기 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체는 마그네틱 저장 매체(예를 들어, 롬, 플로피 디스크, 하드디스크 등), 광학적 판독 매체(예를 들면, 시디롬, 디브이디 등) 및 캐리어 웨이브(예를 들면, 인터넷을 통한 전송)와 같은 저장 매체를 포함한다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
도 1은 웨이퍼 상태에서 각 단위 칩으로 EDS 공정을 수행하는 반도체 테스트 장비를 도시하고 있다.
도 2는 프로버의 상단에 장착되어 있는 프로브 카드를 보다 구체적으로 도시하고 있다.
도 3은 테스트 헤더부에 장착되어 있는 퍼포먼스 보드를 보다 구체적으로 도시하고 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른, 퍼포먼스 보드와 프로브 카드의 분리 제어 장치에 대한 기능 블록도를 도시하고 있다.
도 5는 퍼포먼스 보드에 장착되는 감지부의 장착 예들을 도시하고 있다.
도 6은 본 발명에 따른 출력 제어부의 일 예를 도시하고 있다.
도 7은 본 발명에 따른 분리 제어부의 일 예를 도시하고 있다.
<도면의 주요 부분에 대한 설명>
10: 테스트 시스템 12: 테스트 헤더부
14: 프로버 15: 사용자 인터페이스부
16: 테스트 헤더 17: 퍼포먼스 보드
19: 회전부 20: 프로브 카드
21: 수 소켓 23: 접속 핀
31: 암 소켓 33: 접속 패드
100: 감지부 110: 제어부
112: 출력 제어부 114: 분리 제어부
120: 출력부

Claims (6)

  1. 퍼포먼스 보드를 구비하고 있으며 테스트 신호를 생성하여 상기 퍼포먼스 보드로 전달하는 테스트 헤더부와, 상기 테스트 헤더부의 회전 이동시 상기 퍼포먼스 보드와 접속하여 상기 테스트 신호를 웨이퍼로 전달하는 프로브 카드를 구비하는 프로버부를 포함하는 웨이퍼 테스트 시스템에서, 웨이퍼의 테스트 완료 후 원위치로 이동하는 상기 테스트 헤더부를 제어하는 장치에 있어서,
    상기 테스트 헤더부를 원위치로 회전 이동시키기 위한 제어 명령이 입력되고 제1 임계 시간이 경과 후, 상기 퍼포먼스 보드와 상기 프로브 카드 사이의 거리를 측정하여 상기 퍼포먼스 보드와 상기 프로브 카드의 분리 여부를 감지하는 감지부; 및
    상기 퍼포먼스 보드와 상기 프로브 카드가 분리되지 않은 것으로 감지되는 경우 상기 테스트 헤더부가 원위치로 회전 이동하지 않도록 제어하는 제어부를 포함하는 테스트 헤더부의 이동 제어 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 감지부는
    상기 테스트 헤더부의 회전 이동시 상기 프로브 카드와 대향하는 상기 퍼포먼스 보드의 일면에 장착되어 있는 테스트 헤더부의 이동 제어 장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 감지부는
    상기 퍼포먼스 보드의 중심에서 원주 방향으로 등 간격으로 다수 장착되어 있는 테스트 헤더부의 이동 제어 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 테스트 헤더부의 이동 제어 장치는
    상기 퍼포먼스 보드와 상기 프로브 카드가 분리되지 않은 경우 경고 메시지 또는 경고 음을 출력하는 출력부를 더 포함하는 테스트 헤더부의 이동 제어 장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 제어부는
    상기 다수의 감지부들 중 적어도 어느 하나 이상의 감지부가 상기 퍼포먼스 보드와 상기 프로브 카드가 분리되지 않은 것으로 감지하는 경우 상기 출력부로 경고 메시지 또는 경고 음을 출력하도록 제어하는 출력 제어부; 및
    상기 다수의 감지부들 중 적어도 어느 하나가 상기 퍼포먼스 보드와 상기 프로브 카드가 분리되지 않은 것으로 감지하는 경우 상기 테스트 헤더부가 원위치로 회전 이동하지 않도록 제어하는 분리 제어부를 포함하는 테스트 헤더부의 이동 제어 장치.
  6. 퍼포먼스 보드를 구비하고 있으며 테스트 신호를 생성하여 상기 퍼포먼스 보드로 전달하는 테스트 헤더부와, 상기 테스트 헤더부의 회전 이동시 상기 퍼포먼스 보드와 접속하여 상기 테스트 신호를 웨이퍼로 전달하는 프로브 카드를 구비하는 프로버부를 포함하는 웨이퍼 테스트 시스템에서, 웨이퍼의 테스트 완료 후 원위치로 이동하는 상기 테스트 헤더부를 제어하는 방법에 있어서,
    상기 퍼포먼스 보드와 상기 프로브 카드 사이의 거리를 측정하여 상기 퍼포먼스 보드와 상기 프로브 카드의 분리 여부를 감지하는 단계;
    상기 감지 결과에 기초하여 상기 퍼포먼스 보드와 상기 프로브 카드가 분리되지 않은 것으로 감지되는 경우 상기 테스트 헤더부가 원위치로 회전 이동하지 않도록 제어하기 위한 제1 제어 신호를 생성하는 단계;
    상기 감지 결과에 기초하여 상기 퍼포먼스 보드와 상기 프로브 카드가 분리되지 않은 것으로 감지하는 경우 경고 메시지 또는 경고 음을 출력하도록 제어하기 위한 제2 제어 신호를 생성하는 단계; 및
    상기 제2 제어 신호에 따라 경고 메시지 또는 경고 음을 출력하는 단계를 포함하는 테스트 헤더부의 이동 제어 방법.
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