WO2016182107A1

WO2016182107A1 - 기판 디핑 장치

Info

Publication number: WO2016182107A1
Application number: PCT/KR2015/004992
Authority: WO
Inventors: 유은아
Original assignee: 한국표준과학연구원
Priority date: 2015-05-13
Filing date: 2015-05-19
Publication date: 2016-11-17
Also published as: US20170106394A1; KR20160133651A; US9795982B2; KR101684258B1

Abstract

본 발명은 기판 디핑 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게 설명하면 기판에 형성된 홈에 나노입자들을 균일하게 충진 시키기 위하여, 기판을 용액의 표면과 일정한 각도 및 속도를 유지하여 디핑함으로써, 홈에 나노입자를 균일하게 충진하는 기판 디핑 장치에 관한 것이다. 본 발명의 구성은 내부에 내부판(110)이 형성되며, 상기 내부판(110) 상에 받침판(120)이 구비되는 몸체(100); 수용액(210)이 내부에 수용되고, 상기 받침판(120) 상에 구비되는 도가니(200); 상기 몸체(100)의 내부에 구비되며, 상기 도가니(200)와 연결되어, 상기 도가니(200)를 상기 몸체(100)의 좌우방향 또는 상하방으로 이동시키도록 형성되는 도가니 구동부(300); 하단에 기판(410)이 고정되도록 형성되는 지지대(400); 상기 몸체(100)의 상부 일측에 구비되며, 상기 지지대(400)와 연결되어, 상기 지지대(400)를 상기 지지대(400)의 길이방향으로 구동시키거나, 상기 몸체(100)의 상하방향으로 회전시키도록 형성되는 지지대 구동부(500); 및 상기 도가니 구동부(300) 및 지지대 구동부(500)와 연결되어, 상기 도가니 구동부(300) 및 지지대 구동부(500)의 구동을 제어하는 제어부;로 이루어진다.

Description

기판 디핑 장치

본 발명은 기판 디핑 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 홈이 형성된 기판을 수용액이 수용되는 도가니에 일정한 각도 또는 속도로 제어하여 디핑함으로써, 나노입자와 같은 물질을 홈에 충진시키는 기판 디핑 장치 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로 기판을 수용액에 디핑하는 것은 수직 방향으로 디핑하는 것이 일반적이었다. 디핑이라는 것은 기판을 수용액에 담그거나, 빼내는 것을 말한다.

이와 관련하여, 한국등록특허 제1401122호 ("기판의 표면 처리 장치 및 방법", 등록일 2014.05.22.)에 개시되어 있다.

이러한 디핑 방법은 기판의 표면에 수용액을 도포시키기 위해 사용한다. 그러나, 일면에 홈이 형성된 기판을 수직방향으로 수용액에 디핑하게 되면, 수용액의 입자들이 홈에 충분히 충진되지 않는 경우가 발생한다.

또한, 수용액의 입자들이 홈에 충진되더라도, 홈에 균일한 양의 입자들이 충진되지 못하는 단점이 있다.

이러한 점을 해결하기 위해서, 최근에는 기판을 일정 각도를 유지하여 디핑하거나, 일정 속도로 디핑할 수 있는 장치에 대해 요구하고 있는 실정이다.

[선행기술문헌]

[특허문헌]

한국등록특허 제1401122호 ("기판의 표면 처리 장치 및 방법", 등록일 2014.05.22.)

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 기판의 홈에 나노입자를 균일하게 충진시키기 위하여, 기판을 용액의 표면과 일정한 각도 또는 속도로 유지하여 디핑함으로써, 기판의 홈에 입자들을 균일하게 충진시키는 기판 디핑 장치를 제공함에 있다.

본 발명은 기판 디핑 장치에 관한 것으로, 내부에 내부판(110)이 형성되며, 상기 내부판(110) 상에 받침판(120)이 구비되는 몸체(100); 수용액(210)이 내부에 수용되고, 상기 받침판(120) 상에 구비되는 도가니(200); 상기 몸체(100)의 내부에 구비되며, 상기 도가니(200)와 연결되어, 상기 도가니(200)를 상기 몸체(100)의 좌우방향 또는 상하방향으로 이동시키도록 형성되는 도가니 구동부(300); 하단에 기판(410)이 고정되도록 형성되는 지지대(400); 상기 몸체(100)의 상부 일측에 구비되며, 상기 지지대(400)와 연결되어, 상기 지지대(400)를 상기 지지대(400)의 길이방향으로 구동시키거나, 상기 몸체(100)의 상하방향으로 회전시키도록 형성되는 지지대 구동부(500); 및 상기 도가니 구동부(300) 및 지지대 구동부(500)와 연결되어, 상기 도가니 구동부(300) 및 지지대 구동부(500)의 구동을 제어하는 제어부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 도가니 구동부(300)는 상기 받침판(120) 상에 구비되며, 상기 도가니(200)를 상기 몸체(100)의 좌우방향으로 구동시키도록 형성되는 좌우 구동부(310); 및 상기 몸체(100)의 내부에 구비되며, 상기 받침판(120)을 상기 몸체(100)의 상하방향으로 구동시키도록 형성되는 수직 구동부(320); 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 좌우 구동부(310)는 상기 받침판(120) 상에 구비되며, 상기 몸체(100)의 좌우방향으로 평행하게 형성되는 복수개의 제1 레일(311); 및 상부에 도가니(200)가 구비되며, 하부에 상기 제1 레일(311)과 연결되도록 형성되어, 상기 제1 레일(311)의 경로를 따라 상기 몸체(100)의 좌우방향으로 이동되는 도가니 연결수단(312); 을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 수직 구동부(320)는 일측이 상기 내부판(110)과 연결되고, 타측이 상기 몸체(100)의 상부와 연결되도록 형성되며, 둘레면이 상기 받침판(120)과 연결되는 제2 레일(321); 및 상기 내부판(110)과 받침판(120) 사이에 구비되며, 상기 받침판(120)을 상기 제2 레일(321)의 경로를 따라 상기 몸체(100)의 상하 방향으로 이동시키도록 구동되는 수직 구동수단(322); 을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 지지대 구동부(500)는 상기 지지대(400)의 상부와 연결되며, 상기 지지대(400)를 상기 지지대(400)의 길이방향으로 이동시키도록 형성되는 지지대 구동수단(510); 및 상기 몸체(100)의 상부 일측에 구비되며, 상기 지지대 구동수단(510)과 연결되어, 상기 지지대(400)를 상기 몸체(100)의 상하방향으로 회전시키도록 형성되는 회전수단(520); 을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 지지대 구동수단(510)은 일면이 상기 회전수단(520)과 연결되며, 상기 회전수단(520)에 의해 회전되는 회전판(511); 상기 회전판(511)의 타면 일측에 구비되는 지지대 구동모터(512); 일측이 상기 지지대 구동모터(512)와 연결되며, 타측이 상기 회전판(511)과 연결되어, 상기 몸체(100)의 상하방향으로 형성되도록 구비되며, 상기 지지대 구동모터(512)의 의해 회전되는 스크류(513); 상기 회전판(511) 타면에 구비되며, 상기 스크류(513)와 소정간격 이격되어 평행하게 형성되는 제3 레일(514); 및 일측이 상기 지지대(400)의 상부와 연결되고, 타측이 상기 스크류(513) 및 제3 레일(514)과 연결되도록 구비되며, 상기 제3 스크류(512)의 회전에 의해 상기 스크류(513)의 길이방향을 따라 이동되는 지지대 연결수단(515); 을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 회전수단(520)은 상기 몸체(100)의 하부방향으로 형성된 상기 지지대(400)를 상기 몸체(100)의 상부방향으로 회전시킬 때, 0°~ 50°범위로 회전시키는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제어부는 상기 기판(410)을 상기 수용액(210)에 담그거나 상기 수용액(210)으로부터 빼낼 때, 상기 기판(410)이 상기 수용액(210)의 표면을 기준으로 일정 각도를 유지되도록, 상기 도가니 구동부(300) 및 지지대 구동부(500)를 제어하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제어부는 상기 기판(410)을 상기 수용액(210)에 담그거나 상기 수용액(210)으로부터 빼낼 때, 일정한 속도를 유지하도록 상기 도가니 구동부(300) 및 지지대 구동부(500)를 제어하는 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이 본 발명은 기판 디핑 장치에 관한 것으로, 기판을 용액과 일정한 각도 및 속도로 디핑함으로써, 기판에 형성된 홈에 입자들을 균일하게 충진 시키는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 기판 디핑 장치를 나타내는 사시도

도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 기판 디핑 장치를 나타내는 내부 단면도

도4는 본 발명의 기판을 나타내는 사시도

도5는 본 발명의 기판의 단면도

도6은 본 발명에 따른 기판 디핑 장치의 도가니 구동부를 나타내는 평면도

도7은 본 발명에 따른 기판 디핑 장치의 도가니 구동부의 구동을 나타내는 실시예

도8은 본 발명에 따른 도가니 구동부를 고정하는 실시예

도9는 본 발명에 따른 기판 디핑 장치의 수직 구동부의 구동을 나타내는 실시예

도10은 본 발명에 따른 기판 디핑 장치의 지지대 구동수단의 구동을 나타내는 실시예

도11은 본 발명에 따른 기판 디핑 장치의 회전수단의 구동을 나타내는 실시예

도12는 본 발명에 따른 기판 디핑 장치의 회전수단의 구성을 나타내는 평면도

이하, 본 발명의 기술적 사상을 첨부된 도면을 사용하여 더욱 구체적으로 설명한다.

첨부된 도면은 본 발명의 기술적 사상을 더욱 구체적으로 설명하기 위하여 도시한 일예에 불과하므로 본 발명의 기술적 사상이 첨부된 도면의 형태에 한정되는 것은 아니다.

도 1은 본 발명에 따른 기판 디핑 장치를 나타내는 사시도이며, 도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 기판 디핑 장치를 나타내는 내부 단면도이다. 또한, 도4는 본 발명의 기판을 나타내는 사시도이며, 도5는 본 발명의 기판의 단면도이다.

도 1 내지 도3을 참조하여 설명하면, 본 발명은 기판 디핑 장치에 관한 것으로, 몸체(100), 도가니(200), 도가니 구동부(300), 지지대(400), 지지대 구동부(500) 및 제어부(미도시)로 이루어진다.

몸체(100)는 내부에 내부판(110)이 형성되며, 상기 내부판(110) 상에 받침판(120)이 구비된다. 또한, 상기 받침판(120) 상에는 도가니(200)가 구비된다. 또한, 상기 도가니(200)는 내부에 수용액(210)이 수용된다.

도가니 구동부(300)는 상기 몸체(100)의 내부에 구비되며, 상기 도가니(200)와 연결된다. 이러한 상기 도가니 구동부(300)는 상기 도가니(200)를 상기 몸체(100)의 수평방향 또는 수직방향으로 이동시키는 역할을 한다. 더욱 상세하게 설명하면, 상기 도가니 구동부(300)는 좌우 구동부(310) 및 수직 구동부(320)로 이루어진다.

좌우 구동부(310)는 상기 받침판(120) 상에 상기 도가니(200)와 연결되도록 구비되며, 상기 도가니(200)를 상기 몸체(100)의 좌우 방향으로 구동시키도록 형성된다. 또한, 상기 좌우 구동부(310)는 수동으로 구동되기도 하고, 여러 장치를 이용하여 자동으로 구동되기도 한다. 상기 좌우 구동부(310)가 자동으로 구동되는 예에 대해 설명하면, 모터 및 스크류의 구성으로 구동되기도 하고, 공압 및 유압 실린더와 같은 장치로 구동되기도 한다.

따라서, 상기 좌우 구동부(310)는 상기 도가니(200)와 연결되어, 상기 도가니(200)를 상기 몸체(100)의 좌우 방향으로 이동시키는 장치 및 구성으로 다양하게 적용할 수 있다.

수직 구동부(320)는 상기 몸체(100)의 내부에 상기 받침판(120)과 연결되도록 구비되며, 상기 받침판(120)을 상기 몸체(100)의 수직방향으로 구동시키는 역할을 한다. 또한, 상기 수직 구동부(320)도 상기 좌우 구동부(310)와 동일하게, 수동으로 구동되기도 하고, 여러 장치를 이용하여 자동으로 구동되기도 한다. 상기 수직 구동부(320)가 자동으로 구동되는 예에 대해 설명하면, 모터 및 스크류의 구성으로 구동되기도 하고, 공압 및 유압 실린더와 같은 장치로 구동되기도 한다.

따라서, 상기 수직 구동부(320)는 상기 받침판(120)과 연결되어, 상기 받침판(120)을 상기 몸체(100)의 상하 방향으로 수직 이동시키는 장치 및 구성으로 다양하게 적용할 수 있다.

상기 몸체(100)의 상부 일측에는 지지대(400) 및 지지대 구동부(500)가 구비된다. 더욱 상세하게 설명하면, 상기 지지대 구동부(500)는 상기 몸체(100)의 상부 일측에 구비되며, 상기 지지대(400)는 상기 지지대 구동부(500)에 연결되어 회전된다.

도2 내지 도4에서 보는 바와 같이, 지지대(400)는 상부가 상기 지지대 구동부(500)와 연결되고, 하단에 기판(410)을 고정하는 기판 연결부(420)가 구비된다. 상기 기판 연결부(420)는 집게 및 기판(410)을 걸어 고정할 수 있는 걸이 등 다양하게 적용할 수 있다.

도2 및 도3에서 보는 바와 같이, 지지대 구동부(500)는 상기 몸체(100)의 상부 일측에 구비되며, 상기 지지대(400)와 연결된다. 또한, 상기 지지대 구동부(500)는 상기 지지대(400)를 상기 지지대(400)의 길이방향으로 이동시키거나, 상기 몸체(100)의 상하방향으로 회전시키는 역할을 한다. 더욱 상세하게 설명하면, 상기 지지대 구동부(500)는 지지대 구동수단(510) 및 회전수단(520)으로 이루어진다.

지지대 구동수단(510)은 상기 지지대(400)의 상부와 연결되며, 상기 지지대(400)를 상기 지지대(400)의 길이방향으로 구동시키는 역할을 한다. 상기 지지대 구동수단(510)은 모터 및 스크류의 구성으로 구동되기도 하고, 공압 및 유압 실린더와 같은 장치로 구동되기도 한다.

따라서, 상기 지지대 구동수단(510)은 상기 지지대(400)와 연결되어, 상기 지지대(400)를 상기 지지대(400)의 길이 방향으로 이동시키는 장치 및 구성으로 다양하게 적용할 수 있다.

회전수단(520)은 상기 지지대 구동수단(510)에 구비된 상기 지지대(400)를 상기 몸체(100)의 상하방향으로 회전시키는 역할을 한다. 더욱 상세하게 설명하면, 상기 회전수단(520)은 상기 몸체(100)의 상부 일측에 구비되며, 상기 지지대 구동수단(510)과 연결된다. 상기 회전수단(520)은 상기 지지대 구동수단(510)에 구비된 상기 지지대(400)를 상기 몸체(100)의 상하방향으로 회전시킨다. 즉, 상기 회전수단(520)은 지지대(400)를 회전시켜, 상기 지지대(400) 끝단에 구비된 기판(410)이 수용액(210) 표면과 일정 각도로 형성되도록 한다. 이렇게 상기 기판(410)이 수용액(210) 표면과 일정 각도 형성되면, 수직구동부(320) 또는 지지대 구동수단(510)은 상기 기판(410)을 수용액(210)에 담그거나 빼도록 구동된다.

또한, 상기 회전수단(520)은 상기 몸체(100)의 하부방향으로 형성된 상기 지지대(400)를 상기 몸체(100)의 상부방향으로 회전시킬 때, 0°~ 50°범위로 회전시킨다.

제어부는 상기 도가니 구동부(300) 및 지지대 구동부(500)와 연결되어, 상기 도가니 구동부(300) 및 지지대 구동부(500)를 제어하는 역할을 한다. 더욱 상세하게 설명하면, 상기 제어부는 상기 기판(410)을 상기 수용액(210)에 담그거나, 상기 수용액(210)으로부터 빼낼 때, 상기 기판(410)이 상기 수용액(210)의 표면을 기준으로 일정 각도를 유지되도록, 상기 도가니 구동부(300) 및 지지대 구동부(500)를 제어한다. 또한, 상기 제어부는 상기 기판(410)을 상기 수용액(210)에 담그거나 상기 수용액(210)으로부터 빼낼 때, 일정한 속도를 유지하도록 상기 도가니 구동부(300) 및 지지대 구동부(500)를 제어한다.

따라서, 본 발명은 기판(410)을 수용액(210)의 표면과 일정한 각도를 유지하여, 상기 기판(410)을 상기 수용액(210)에 일정한 속도로 담그거나 빼내기(디핑) 위한 것이다. 상기와 같이, 상기 기판(410)을 수용액(210)에 디핑하게 되면, 상기 기판(410)에 형성된 홈에 수용액(210)의 입자들을 균일하게 충진시킬 수 있는 효과가 있다.

[실시예]

본 발명에 따른 기판 디핑 장치의 일실시예를 통해 상세히 설명한다.

도1 내지 도3을 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 일실시예의 기판 디핑 장치는 몸체(100), 도가니(200), 도가니 구동부(300), 지지대(400), 지지대 구동부(500) 및 제어부(미도시)로 이루어진다.

도가니 구동부(300)는 상기 도가니(200)를 상기 몸체(100)의 수평방향 또는 수직방향으로 이동시키는 역할을 한다. 더욱 상세하게 설명하면, 상기 도가니 구동부(300)는 좌우 구동부(310) 및 수직 구동부(320)로 이루어진다.

도6은 본 발명에 따른 기판 디핑 장치의 도가니 구동부를 나타내는 평면도이며, 도7은 본 발명에 따른 기판 디핑 장치의 도가니 구동부의 구동을 나타내는 실시예이고, 도8은 본 발명에 따른 도가니 구동부를 고정하는 실시예이다.

도6 내지 도8을 참조하여 설명하면, 좌우 구동부(310)는 상기 받침판(120) 상에 상기 도가니(200)와 연결되도록 구비되며, 상기 도가니(200)를 상기 몸체(100)의 좌우 방향으로 구동시키는 역할을 한다. 더욱 상세하게 설명하면, 상기 좌우 구동부(310)(310)는 제1 레일(311) 및 도가니 연결수단(312)으로 이루어진다.

상기 제1 레일(311)은 상기 받침판(120) 상에 복수개 구비되며, 상기 몸체(100)의 좌우방향으로 평행하게 형성된다.

상기 도가니 연결수단(312)은 상부에 도가니(200)가 구비되며, 하부에 상기 제1 레일(311)과 연결되도록 형성된다. 이러한 상기 도가니 연결수단(312)은 도7의 (a) 및 (b)에서 보는 바와 같이, 상기 제1 레일(311)의 경로를 따라 상기 몸체(100)의 좌우방향으로 이동된다.

도8에서 보는 바와 같이, 또한, 상기 도가니 연결수단(312)은 하단에 상기 제1 레일(311)과 고정되도록 형성되는 고정부가 더 구비된다. 상기 고정부는 고정손잡이(313) 및 고정나사(314)로 이루어진다. 더욱 상세하게 설명하면, 상기 고정부는 상기 고정손잡이(313)를 회전시키면, 상기 고정나사(314)가 제1 레일(311)과 밀착되어 상기 도가니 연결수단(312)을 고정시키거나, 상기 고정나사(314)가 상기 제1 레일(311)과 이격되어, 상기 도가니 연결수단(312)이 이동되도록 한다.

이러한 구성의 좌우 구동부(310)는 수동으로 구동되는 구성이다. 그러나, 상기 좌우 구동부(310)의 구성은 하나의 실시예일 뿐 다른 장치가 구비되어 자동으로 구동될 수도 있다.

도9는 본 발명에 따른 기판 디핑 장치의 수직 구동부의 구동을 나타내는 실시예이다.

도9의 (a) 및 (b)에서 보는 바와 같이, 수직 구동부(320)는 상기 몸체(100)의 내부에 상기 받침판(120)과 연결되도록 구비되며, 상기 받침판(120)을 상기 몸체(100)의 수직방향으로 구동시키는 역할을 한다. 더욱 상세하게 설명하면, 상기 수직 구동부(320)는 제2 레일(321) 및 수직 구동수단(322)로 이루어진다.

상기 제2 레일(321)은 일측이 상기 내부판(110)과 연결되고, 타측이 상기 몸체(100)의 상부와 연결되도록 형성된다. 또한, 상기 제2 레일(321)은 둘레면이 상기 받침판(120)과 연결된다.

수직 구동수단(322)은 상기 내부판(110)과 받침판(120) 사이에 구비되며, 상기 받침판(120)을 상기 제2 레일(321)의 경로를 따라 상기 몸체(100)의 상하 방향으로 이동시키도록 구동된다. 예를 들면, 상기 수직 구동수단(322)은 자동차 쟈키와 같은 장치이거나, 유압 및 공압 실린더와 같은 장치를 적용하여 사용할 수 있다.

이러한 구성의 수직 구동부(320)는 수동으로 구동되는 구성이다. 그러나, 상기 수직 구동부(320)의 구성은 하나의 실시예일 뿐 다른 장치가 구비되어 자동으로 구동될 수도 있다.

도10은 본 발명에 따른 기판 디핑 장치의 지지대 구동수단의 구동을 나타내는 실시예이며, 도11은 본 발명에 따른 기판 디핑 장치의 회전수단의 구동을 나타내는 실시예이다.

도4에서 보는 바와 같이, 지지대(400)는 상부가 상기 지지대 구동부(500)와 연결되고, 하단에 기판(410)을 고정하는 기판 연결부(420)가 구비된다. 상기 기판 연결부(420)는 집게 및 기판(410)을 걸어 고정할 수 있는 걸이 등 다양하게 적용할 수 있다.

지지대 구동부(500)는 상기 몸체(100)의 상부 일측에 구비되며, 상기 지지대(400)와 연결된다. 또한, 상기 지지대 구동부(500)는 상기 지지대(400)를 상기 지지대(400)의 길이방향으로 이동시키거나, 상기 몸체(100)의 상하방향으로 회전시키는 역할을 한다. 더욱 상세하게 설명하면, 상기 지지대 구동부(500)는 지지대 구동수단(510) 및 회전수단(520)으로 이루어진다.

도10의 (a) 및 (b)에서 보는 바와 같이, 지지대 구동수단(510)은 상기 지지대(400)의 상부와 연결되며, 상기 지지대(400)를 상기 지지대(400)의 길이방향으로 구동시키는 역할을 한다. 더욱 상세하게 설명하면, 상기 지지대 구동수단(510)은 회전판(511), 지지대 구동모터(512), 스크류(513), 제3 레일(514) 및 지지대 연결수단(515)을 포함하여 이루어진다.

회전판(511)은 일면이 상기 회전수단(520)과 연결되어, 상기 회전수단(520)에 의해 회전된다. 또한, 상기 회전판(511)의 타면에 지지대 구동모터(512), 스크류(513), 제3 레일(514) 및 지지대 연결수단(515)이 구비된다.

지지대 구동모터(512)는 상기 회전판(511)의 타면 일측에 구비된다.

스크류(513)는 일측이 상기 지지대 구동모터(512)와 연결되고, 타측이 상기 회전판(511)과 연결된다. 또한, 상기 스크류(513)는 상기 몸체(100)의 상하방향으로 형성되도록 구비된다. 또한, 상기 스크류(513)는 외측에 나사산이 형성되며, 상기 지지대 구동모터(512)에 의해 회전된다.

제3 레일(514)은 상기 회전판(511) 타면에 상기 스크류(513)와 소정간격 이격되어 평행하게 형성되어 구비된다. 즉, 상기 제3 레일(514)은 상기 몸체(100)의 상하방향으로 형성되도록 상기 스크류(513)와 소정간격 이격되어 평행하게 형성된다.

지지대 연결수단(515)은 일측이 상기 지지대(400)의 상부와 연결되고, 타측이 상기 스크류(513) 및 제3 레일(514)과 연결되어 구비된다. 이때, 상기 지지대(400)의 길이는 몸체(100)의 수직방향을 이루도록 연결된다. 이러한 지지대 연결수단(515)은 상기 스크류(513)의 회전에 의해, 상기 지지대(400)가 상기 지지대(400)의 길이방향으로 이동된다.

도11의 (a) 및 (b)에서 보는 바와 같이, 회전수단(520)은 상기 지지대 구동수단(510)에 구비된 상기 지지대(400)를 상기 몸체(100)의 상하방향으로 회전시키는 역할을 한다. 더욱 상세하게 설명하면, 상기 회전수단(520)은 일측이 상기 몸체(100)의 상부 일측에 구비되고, 타측이 상기 지지대 구동수단(510)과 연결된다. 또한, 상기 회전수단(520)과 지지대 구동수단(510) 사이에는 회전판(511)이 구비된다. 이러한 구성의 회전수단(520)은 상기 지지대 구동수단(510)에 구비된 상기 지지대(400)를 상기 몸체(100)의 상하방향으로 회전시킨다. 즉, 상기 회전수단(520)은 지지대(400)를 회전시켜, 상기 지지대(400) 끝단에 구비된 기판(410)이 수용액(210) 표면과 일정 각도 이루도록 한다. 이때, 상기 기판(410)이 수용액(210) 표면과 일정 각도 형성되면, 수직구동부(320) 또는 지지대 구동수단(510)은 상기 기판(410)을 수용액(210)에 담그거나 빼도록 구동된다.

도12는 본 발명에 따른 기판 디핑 장치의 회전수단의 구성을 나타내는 평면도이다.

도12의 (a) 및 (b)에서 보는 바와 같이, 상기 회전수단(520)은 감속기(521)가 더 구비된다. 상기 감속기(521)는 상기 회전수단(520)과 지지대 구동수단(510) 사이에 구비된다. 이러한 상기 감속기(521)는 상기 회전수단(520)의 회전속도를 제어하여, 상기 지지대 구동수단(510)을 회전시킨다.

[부호의 설명]

100 : 몸체

110 : 내부판

120 : 받침판

200 : 도가니

210 : 수용액

300 : 도가니 구동부

310 : 좌우 구동부

311 : 제1 레일

312 : 도가니 연결수단

313 : 고정손잡이

314 : 고정나사

320 : 수직 구동부

321 : 제2 레일

322 : 수직 구동수단

400 : 지지대

410 : 기판

411 : 홈

412 : 입자

420 : 기판 연결부

500 : 지지대 구동부

510 : 지지대 구동수단

511 : 회전판

512 : 지지대 구동모터

513 : 스크류

514 : 제3 레일

515 : 지지대 연결수단

520 : 회전수단

Claims

내부에 내부판(110)이 형성되며, 상기 내부판(110) 상에 받침판(120)이 구비되는 몸체(100);

수용액(210)이 내부에 수용되고, 상기 받침판(120) 상에 구비되는 도가니(200);

상기 몸체(100)의 내부에 구비되며, 상기 도가니(200)와 연결되어, 상기 도가니(200)를 상기 몸체(100)의 좌우방향 또는 상하방향으로 이동시키도록 형성되는 도가니 구동부(300);

하단에 기판(410)이 고정되도록 형성되는 지지대(400);

상기 몸체(100)의 상부 일측에 구비되며, 상기 지지대(400)와 연결되어, 상기 지지대(400)를 상기 지지대(400)의 길이방향으로 구동시키거나, 상기 몸체(100)의 상하방향으로 회전시키도록 형성되는 지지대 구동부(500); 및

상기 도가니 구동부(300) 및 지지대 구동부(500)와 연결되어, 상기 도가니 구동부(300) 및 지지대 구동부(500)의 구동을 제어하는 제어부;

를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 디핑 장치.
제1항에 있어서,

상기 도가니 구동부(300)는

상기 받침판(120) 상에 구비되며, 상기 도가니(200)를 상기 몸체(100)의 좌우방향으로 구동시키도록 형성되는 좌우 구동부(310); 및

상기 몸체(100)의 내부에 구비되며, 상기 받침판(120)을 상기 몸체(100)의 상하방향으로 구동시키도록 형성되는 수직 구동부(320);

를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 디핑 장치.
제2항에 있어서,

상기 좌우 구동부(310)는

상기 받침판(120) 상에 구비되며, 상기 몸체(100)의 좌우방향으로 평행하게 형성되는 복수개의 제1 레일(311); 및

상부에 도가니(200)가 구비되며, 하부에 상기 제1 레일(311)과 연결되도록 형성되어, 상기 제1 레일(311)의 경로를 따라 상기 몸체(100)의 좌우방향으로 이동되는 도가니 연결수단(312);

을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 디핑 장치.
제2항에 있어서,

상기 수직 구동부(320)는

일측이 상기 내부판(110)과 연결되고, 타측이 상기 몸체(100)의 상부와 연결되도록 형성되며, 둘레면이 상기 받침판(120)과 연결되는 제2 레일(321); 및

상기 내부판(110)과 받침판(120) 사이에 구비되며, 상기 받침판(120)을 상기 제2 레일(321)의 경로를 따라 상기 몸체(100)의 상하 방향으로 이동시키도록 구동되는 수직 구동수단(322);

을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 디핑 장치.
제1항에 있어서,

상기 지지대 구동부(500)는

상기 지지대(400)의 상부와 연결되며, 상기 지지대(400)를 상기 지지대(400)의 길이방향으로 이동시키도록 형성되는 지지대 구동수단(510); 및

상기 몸체(100)의 상부 일측에 구비되며, 상기 지지대 구동수단(510)과 연결되어, 상기 지지대(400)를 상기 몸체(100)의 상하방향으로 회전시키도록 형성되는 회전수단(520);

을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 디핑 장치.
제5항에 있어서,

상기 지지대 구동수단(510)은

일면이 상기 회전수단(520)과 연결되며, 상기 회전수단(520)에 의해 회전되는 회전판(511);

상기 회전판(511)의 타면 일측에 구비되는 지지대 구동모터(512);

일측이 상기 지지대 구동모터(512)와 연결되며, 타측이 상기 회전판(511)과 연결되어, 상기 몸체(100)의 상하방향으로 형성되도록 구비되며, 상기 지지대 구동모터(512)의 의해 회전되는 스크류(513);

상기 회전판(511) 타면에 구비되며, 상기 스크류(513)와 소정간격 이격되어 평행하게 형성되는 제3 레일(514); 및

일측이 상기 지지대(400)의 상부와 연결되고, 타측이 상기 스크류(513) 및 제3 레일(514)과 연결되도록 구비되며, 상기 제3 스크류(512)의 회전에 의해 상기 스크류(513)의 길이방향을 따라 이동되는 지지대 연결수단(515);

을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 디핑 장치.
제5항에 있어서,

상기 회전수단(520)은

상기 몸체(100)의 하부방향으로 형성된 상기 지지대(400)를 상기 몸체(100)의 상부방향으로 회전시킬 때, 0°~ 50°범위로 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 디핑 장치.
제1항에 있어서,

상기 제어부는

상기 기판(410)을 상기 수용액(210)에 담그거나 상기 수용액(210)으로부터 빼낼 때, 상기 기판(410)이 상기 수용액(210)의 표면을 기준으로 일정 각도를 유지하도록, 상기 도가니 구동부(300) 및 지지대 구동부(500)를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 디핑 장치.
제1항에 있어서,

상기 제어부는

상기 기판(410)을 상기 수용액(210)에 담그거나 상기 수용액(210)으로부터 빼낼 때, 일정한 속도를 유지하도록 상기 도가니 구동부(300) 및 지지대 구동부(500)를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 디핑 장치.