WO2016084746A1

WO2016084746A1 - フルオロオキシメチレン基含有パーフルオロポリエーテル変性体

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Publication number: WO2016084746A1
Application number: PCT/JP2015/082748
Authority: WO
Inventors: 尚志三橋; 孝史野村; 内藤　真人; 健一勝川
Original assignee: ダイキン工業株式会社
Priority date: 2014-11-28
Filing date: 2015-11-20
Publication date: 2016-06-02
Also published as: TW201809067A; EP3225646A4; TWI638841B; EP3225646A1; JP2017048375A; CN107001619A; US10851204B2; JP2016138240A; KR20170073624A; JP6332358B2; TW201627310A; KR101907811B1; JP6024816B2; EP3225646B1; US20170342210A1; TWI601737B; CN107001619B

Abstract

　本発明は。撥水性、撥油性、防汚性を有し、かつ、高い摩擦耐久性を有する層を形成することができる、下記式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）および（Ｃ２）：式（Ａ１）、式（Ａ２）、（Ｒｆ-ＰＦＰＥ）_β‐Ｘ^５‐（ＳｉＲ^１ _ｎＲ^２ _３-ｎ）_β　…（Ｂ１）、（Ｒ^２ _３-ｎＲ^１ _ｎＳｉ）_β　‐Ｘ^５‐ＰＦＰＥ‐Ｘ^５-（ＳｉＲ^１ _ｎＲ^２ _３-ｎ）_β…（Ｂ２）、（Ｒｆ-ＰＦＰＥ）_γ‐Ｘ^７-（ＳｉＲ^ａ _ｋＲ^ｂ _ｌＲ^ｃ _ｍ）_γ…（Ｃ１）および（Ｒ^ｃ _ｍＲ^ｂ _ｌＲ^ａ _ｋＳｉ）_γ‐Ｘ^７ＰＦＰＥ‐Ｘ^７‐（ＳｉＲ^ａ _ｋＲ^ｂ _ｌＲ^ｃ _ｍ）_γ…（Ｃ２）：［式中、各記号は、明細書中の記載と同意義である。］で表される化合物を提供する。

Description

フルオロオキシメチレン基含有パーフルオロポリエーテル変性体

　本発明は、パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物（フルオロオキシメチレン基含有パーフルオロポリエーテル変性体）に関する。また、本発明は、かかるパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物を含む表面処理剤等にも関する。

　ある種の含フッ素シラン化合物は、基材の表面処理に用いると、優れた撥水性、撥油性、防汚性などを提供し得ることが知られている。含フッ素シラン化合物を含む表面処理剤から得られる層（以下、「表面処理層」とも言う）は、いわゆる機能性薄膜として、例えばガラス、プラスチック、繊維、建築資材など種々多様な基材に施されている。

　そのような含フッ素シラン化合物として、パーフルオロポリエーテル基を分子主鎖に有し、Ｓｉ原子に結合した加水分解可能な基を分子末端または末端部に有するパーフルオロポリエーテル基含有シラン化合物が知られている。例えば、特許文献１および２には、Ｓｉ原子に結合した加水分解可能な基を分子末端または末端部に有するパーフルオロポリエーテル基含有シラン化合物が記載されている。

国際公開第９７／０７１５５号特表２００８－５３４６９６号公報

　表面処理層には、所望の機能を基材に対して長期にわたって提供するべく、高い耐久性が求められる。パーフルオロポリエーテル基含有シラン化合物を含む表面処理剤から得られる層は、上記のような機能を薄膜でも発揮し得ることから、光透過性ないし透明性が求められるメガネやタッチパネルなどの光学部材に好適に利用されており、とりわけこれらの用途において、摩擦耐久性の一層の向上が要求されている。

　しかしながら、上記したような従来のパーフルオロポリエーテル基含有シラン化合物を含む表面処理剤から得られる層では、次第に高まる摩擦耐久性向上の要求に応えるには、もはや必ずしも十分とは言えない。

　本発明は、撥水性、撥油性、防汚性、防水性を有し、かつ、高い摩擦耐久性を有する層を形成することのできる新規なパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物を提供することを目的とする。また、本発明は、上記パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物の製造における中間体を提供することを目的とする。さらに、本発明は、かかるパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物を含む表面処理剤等を提供することを目的とする。

　本発明者らは、鋭意検討した結果、パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物において、パーフルオロ（ポリ）エーテル基におけるメチレン鎖に対するエチレン鎖の割合を、０．２以上０．９未満とすることにより、より優れた摩擦耐久性を有する表面処理層を形成することができることを見出し、本発明を完成するに至った。

　即ち、本発明の第１の要旨によれば、下記式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）および（Ｃ２）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、各出現においてそれぞれ独立して、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－を表し、ここに、ａおよびｂは、それぞれ独立して、０以上３０以下の整数であり、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、１以上２００以下の整数であり、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は、３以上の整数であり、ｃ／ｄ比が、０．２以上０．９未満であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｒ^１は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または炭素数１～２２のアルキル基を表し；
　Ｒ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^１１は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子またはハロゲン原子を表し；
　Ｒ^１２は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｎは、（－ＳｉＲ^１ _ｎＲ^２ _３－ｎ）単位毎に独立して、０～３の整数であり；
　ただし、式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）および（Ｂ２）において、少なくとも１つのＲ^２が存在し；
　Ｘ^１は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　Ｘ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、単結合または２価の有機基を表し；
　ｔは、各出現においてそれぞれ独立して、１～１０の整数であり；
　αは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　α’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｘ^５は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　βは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　β’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｘ^７は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　γは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　γ’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｒ^ａは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｚ－ＳｉＲ^７１ _ｐＲ^７２ _ｑＲ^７３ _ｒを表し；
　Ｚは、各出現においてそれぞれ独立して、酸素原子または２価の有機基を表し；
　Ｒ^７１は、各出現においてそれぞれ独立して、Ｒ^ａ’を表し；
　Ｒ^ａ’は、Ｒ^ａと同意義であり；
　Ｒ^ａ中、Ｚ基を介して直鎖状に連結されるＳｉは最大で５個であり；
　Ｒ^７２は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^７３は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｐは、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｑは、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｒは、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ただし、一のＲ^ａにおいて、ｐ、ｑおよびｒの和は３であり、式（Ｃ１）および（Ｃ２）において、少なくとも１つのＲ^７２が存在し；
　Ｒ^ｂは、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^ｃは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｋは、各出現においてそれぞれ独立して、１～３の整数であり；
　ｌは、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ｍは、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ただし、γを付して括弧でくくられた単位において、ｋ、ｌおよびｍの和は３である。］
のいずれかで表されるパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物が提供される。

　本発明の第２の要旨によれば、式（Ｂ１－４）、（Ｂ２－４）、（Ｃ１－４）および（Ｃ２－４）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、各出現においてそれぞれ独立して、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－を表し、ここに、ａおよびｂは、それぞれ独立して、０以上３０以下の整数であり、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、１以上２００以下の整数であり、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は、３以上の整数であり、ｃ／ｄ比が、０．２以上０．９未満であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｘ^５’は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　βは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　β’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｘ^７’は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　γは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　γ’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｒ^８２は、単結合または２価の有機基である。］
のいずれかで表される化合物が提供される。

　本発明の第３の要旨によれば、式（Ｃ１－５）および（Ｃ２－５）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、各出現においてそれぞれ独立して、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－を表し、ここに、ａおよびｂは、それぞれ独立して、０以上３０以下の整数であり、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、１以上２００以下の整数であり、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は、３以上の整数であり、ｃ／ｄ比が、０．２以上０．９未満であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｘ^７’は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　γは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　γ’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｒ^８２は、単結合または２価の有機基であり；
　Ｒ^８３は、ハロゲン原子であり；
　Ｒ^ｂは、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^ｃは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｋは、各出現においてそれぞれ独立して、１～３の整数であり；
　ｌは、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ｍは、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ただし、γを付して括弧でくくられた単位において、ｋ、ｌおよびｍの和は３である。］
のいずれかで表される化合物が提供される。

　本発明の第４の要旨によれば、式（Ｃ１－６）および（Ｃ２－６）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、各出現においてそれぞれ独立して、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－を表し、ここに、ａおよびｂは、それぞれ独立して、０以上３０以下の整数であり、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、１以上２００以下の整数であり、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は、３以上の整数であり、ｃ／ｄ比が、０．２以上０．９未満であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｘ^７’は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　γは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　γ’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｒ^８２は、単結合または２価の有機基であり；
　Ｒ^８４は、単結合または２価の有機基であり；
　Ｒ^ｂは、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^ｃは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｋは、各出現においてそれぞれ独立して、１～３の整数であり；
　ｌは、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ｍは、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ただし、γを付して括弧でくくられた単位において、ｋ、ｌおよびｍの和は３である。］
のいずれかで表される化合物が提供される。

　本発明の第５の要旨によれば、上記式（Ｂ１－４）、（Ｂ２－４）、（Ｃ１－４）、（Ｃ２－４）、（Ｃ１－５）、（Ｃ２－５）、（Ｃ１－６）および（Ｃ２－６）のいずれかで表される化合物と、含フッ素オイルおよび／または溶媒とを含んで成る混合物が提供される。

　本発明の第６の要旨によれば、上記式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）および（Ｃ２）のいずれかで表されるパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物および／または上記式（Ｂ１－４）、（Ｂ２－４）、（Ｃ１－４）、（Ｃ２－４）、（Ｃ１－５）、（Ｃ２－５）、（Ｃ１－６）および（Ｃ２－６）のいずれかで表される化合物を含有する、表面処理剤が提供される。

　本発明の第７の要旨によれば、上記表面処理剤を含有するペレットが提供される。

　本発明の第８の要旨によれば、基材と、該基材の表面に、上記式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）および（Ｃ２）のいずれかで表されるパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物または上記の表面処理剤より形成された層とを含む物品が提供される。

　本発明によれば、新規なパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物が提供される。さらに、本発明のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物を使用して得られる表面処理剤が提供される。これらを用いることにより、撥水性、撥油性、防汚性を有し、かつ、優れた摩擦耐久性を有する表面処理層を形成することができる。

　以下、本発明の化合物について説明する。

　本明細書において用いられる場合、「炭化水素基」とは、炭素および水素を含む基であって、炭化水素から１個の水素原子を脱離させた基を意味する。かかる炭化水素基としては、特に限定されるものではないが、１つまたはそれ以上の置換基により置換されていてもよい、炭素数１～２０の炭化水素基、例えば、脂肪族炭化水素基、芳香族炭化水素基等が挙げられる。上記「脂肪族炭化水素基」は、直鎖状、分枝鎖状または環状のいずれであってもよく、飽和または不飽和のいずれであってもよい。また、炭化水素基は、１つまたはそれ以上の環構造を含んでいてもよい。尚、かかる炭化水素基は、その末端または分子鎖中に、１つまたはそれ以上のＮ、Ｏ、Ｓ、Ｓｉ、アミド、スルホニル、シロキサン、カルボニル、カルボニルオキシ等を有していてもよい。

　本明細書において用いられる場合、「炭化水素基」の置換基としては、特に限定されないが、例えば、ハロゲン原子；１個またはそれ以上のハロゲン原子により置換されていてもよい、Ｃ_１－６アルキル基、Ｃ_２－６アルケニル基、Ｃ_２－６アルキニル基、Ｃ_３－１０シクロアルキル基、Ｃ_３－１０不飽和シクロアルキル基、５～１０員のヘテロシクリル基、５～１０員の不飽和ヘテロシクリル基、Ｃ_６－１０アリール基および５～１０員のヘテロアリール基から選択される１個またはそれ以上の基が挙げられる。

　本明細書において用いられる場合、「２～１０価の有機基」とは、炭素を含有する２～１０価の基を意味する。かかる２～１０価の有機基としては、特に限定されないが、炭化水素基からさらに１～９個の水素原子を脱離させた２～１０価の基が挙げられる。例えば、２価の有機基としては、特に限定されるものではないが、炭化水素基からさらに１個の水素原子を脱離させた２価の基が挙げられる。

　本発明は、下記式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）および（Ｃ２）：

のいずれかで表される少なくとも１種のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物（以下、「本発明の化合物」ともいう）を提供する。以下、上記式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）および（Ｃ２）で表される化合物について説明する。

　式（Ａ１）および（Ａ２）：

　上記式中、ＰＦＰＥは、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－を表し、パーフルオロエーテル基またはパーフルオロポリエーテル基（以下、まとめて「パーフルオロ（ポリ）エーテル基」という）に該当する。ここに、ａおよびｂは、それぞれ独立して０以上３０以下、例えば１以上３０以下、好ましくは０以上１０以下の整数であり、ｃおよびｄは、それぞれ独立して１以上２００以下、好ましくは１０以上１００以下、より好ましくは２０以上１００以下の整数である。ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は、３以上、好ましくは１０以上、より好ましくは２０以上であり、好ましくは２００以下、より好ましくは１００以下である。添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。

　ＰＦＰＥ中、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位のうち、－（ＯＣ_４Ｆ_８）－は、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）－、－（ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＣＦ_２）－、－（ＯＣＦ_２ＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２）－、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ（ＣＦ_３））－、－（ＯＣ（ＣＦ_３）_２ＣＦ_２）－、－（ＯＣＦ_２Ｃ（ＣＦ_３）_２）－、－（ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ（ＣＦ_３））－、－（ＯＣＦ（Ｃ_２Ｆ_５）ＣＦ_２）－および－（ＯＣＦ_２ＣＦ（Ｃ_２Ｆ_５））－のいずれであってもよいが、好ましくは－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）－である。－（ＯＣ_３Ｆ_６）－は、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）－、－（ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２）－および－（ＯＣＦ_２ＣＦ（ＣＦ_３））－のいずれであってもよいが、好ましくは－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）－である。また、－（ＯＣ_２Ｆ_４）－は、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）－および－（ＯＣＦ（ＣＦ_３））－のいずれであってもよいが、好ましくは－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）－である。

　好ましい態様において、ＰＦＰＥは、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ａ－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ｂ－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－（式中、ａ、ｂ、ｃおよびｄは上記と同意義である）である。例えば、ＰＦＰＥは、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－（式中、ｃおよびｄは上記と同意義である）であってもよい。

　ＰＦＰＥにおいて、ｄに対するｃの比（以下、「ｃ／ｄ比」または「ＥＭ比」という）は、０．２以上０．９未満であり、好ましくは０．２以上０．８５以下であり、より好ましくは０．２以上０．７５未満であり、さらに好ましくは０．２以上０．７０以下であり、さらにより好ましくは０．３以上０．６以下である。ｃ／ｄ比を０．９未満にすることにより、この化合物から得られる表面処理層の滑り性および摩擦耐久性がより向上する。ｃ／ｄ比がより小さいほど、表面処理層の滑り性および摩擦耐久性はより向上する。一方、ｃ／ｄ比を０．２以上にすることにより、化合物の安定性をより高めることができる。ｃ／ｄ比がより大きいほど、化合物の安定性はより向上する。

　上記式中、Ｒｆは、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表す。

　上記１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基における「炭素数１～１６のアルキル基」は、直鎖であっても、分枝鎖であってもよく、好ましくは、直鎖または分枝鎖の炭素数１～６、特に炭素数１～３のアルキル基であり、より好ましくは直鎖の炭素数１～３のアルキル基である。

　上記Ｒｆは、好ましくは、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されている炭素数１～１６のアルキル基であり、より好ましくはＣＦ_２Ｈ－Ｃ_１－１５フルオロアルキレン基であり、さらに好ましくは炭素数１～１６のパーフルオロアルキル基である。

　該炭素数１～１６のパーフルオロアルキル基は、直鎖であっても、分枝鎖であってもよく、好ましくは、直鎖または分枝鎖の炭素数１～６、特に炭素数１～３のパーフルオロアルキル基であり、より好ましくは直鎖の炭素数１～３のパーフルオロアルキル基、具体的には－ＣＦ_３、－ＣＦ_２ＣＦ_３、または－ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_３である。

　上記式中、Ｒ^１は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または炭素数１～２２のアルキル基、好ましくは炭素数１～４のアルキル基を表す。

　上記式中、Ｒ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表す。

　上記「加水分解可能な基」とは、本明細書において用いられる場合、加水分解反応により、化合物の主骨格から脱離し得る基を意味する。加水分解可能な基の例としては、－ＯＲ、－ＯＣＯＲ、－Ｏ－Ｎ＝ＣＲ_２、－ＮＲ_２、－ＮＨＲ、ハロゲン（これら式中、Ｒは、置換または非置換の炭素数１～４のアルキル基を示す）などが挙げられ、好ましくは－ＯＲ（即ち、アルコキシ基）である。Ｒの例には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基などの非置換アルキル基；クロロメチル基などの置換アルキル基が含まれる。それらの中でも、アルキル基、特に非置換アルキル基が好ましく、メチル基またはエチル基がより好ましい。水酸基は、特に限定されないが、加水分解可能な基が加水分解して生じたものであってよい。

　上記式中、Ｒ^１１は、各出現において、それぞれ独立して、水素原子またはハロゲン原子を表す。ハロゲン原子は、好ましくはヨウ素原子、塩素原子、フッ素原子であり、より好ましくはフッ素原子である。

　上記式中、Ｒ^１２は、各出現において、それぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表す。低級アルキル基は、好ましくは炭素数１～２０のアルキル基であり、より好ましくは炭素数１～６のアルキル基であり、例えばメチル基、エチル基、プロピル基等が挙げられる。

　上記式中、ｎは、（－ＳｉＲ^１ _ｎＲ^２ _３－ｎ）単位毎に独立して、０～３の整数であり、好ましくは０～２であり、より好ましくは０である。ただし、式中、すべてのｎが同時に０になることはない。換言すれば、式中、少なくとも１つはＲ^２が存在する。

　上記式中、Ｘ^１は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表す。当該Ｘ^１は、式（Ａ１）および（Ａ２）で表される化合物において、主に撥水性および表面滑り性等を提供するパーフルオロポリエーテル部（即ち、Ｒｆ－ＰＦＰＥ部または－ＰＦＰＥ－部）と、基材との結合能を提供するシラン部（即ち、αを付して括弧でくくられた基）とを連結するリンカーと解される。従って、当該Ｘ^１は、式（Ａ１）および（Ａ２）で表される化合物が安定に存在し得るものであれば、いずれの有機基であってもよい。

　上記式中、αは１～９の整数であり、α’は１～９の整数である。これらαおよびα’は、Ｘ^１の価数に応じて変化し得る。式（Ａ１）においては、αおよびα’の和は、Ｘ^１の価数と同じである。例えば、Ｘ^１が１０価の有機基である場合、αおよびα’の和は１０であり、例えばαが９かつα’が１、αが５かつα’が５、またはαが１かつα’が９となり得る。また、Ｘ^１が２価の有機基である場合、αおよびα’は１である。式（Ａ２）においては、αはＸ^１の価数から１を引いた値である。

　上記Ｘ^１は、好ましくは２～７価であり、より好ましくは２～４価であり、さらに好ましくは２価の有機基である。

　一の態様において、Ｘ^１は２～４価の有機基であり、αは１～３であり、α’は１である。

　別の態様において、Ｘ^１は２価の有機基であり、αは１であり、α’は１である。この場合、式（Ａ１）および（Ａ２）は、下記式（Ａ１’）および（Ａ２’）で表される。

　上記Ｘ^１の例としては、特に限定するものではないが、例えば、下記式：
　　　－（Ｒ^３１）_ｐ’－（Ｘ^ａ）_ｑ’－
［式中：
　Ｒ^３１は、単結合、－（ＣＨ_２）_ｓ’－またはｏ－、ｍ－もしくはｐ－フェニレン基を表し、好ましくは－（ＣＨ_２）_ｓ’－であり、
　ｓ’は、１～２０の整数、好ましくは１～６の整数、より好ましくは１～３の整数、さらにより好ましくは１または２であり、
　Ｘ^ａは、－（Ｘ^ｂ）_ｌ’－を表し、
　Ｘ^ｂは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｏ－、－Ｓ－、ｏ－、ｍ－もしくはｐ－フェニレン基、－Ｃ（Ｏ）Ｏ－、－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－、－（Ｓｉ（Ｒ^３３）_２Ｏ）_ｍ’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－、－ＣＯＮＲ^３４－、－Ｏ－ＣＯＮＲ^３４－、－ＮＲ^３４－および－（ＣＨ_２）_ｎ’－からなる群から選択される基を表し、
　Ｒ^３３は、各出現においてそれぞれ独立して、フェニル基、Ｃ_１－６アルキル基またはＣ_１－６アルコキシ基を表し、好ましくはフェニル基またはＣ_１－６アルキル基であり、より好ましくはメチル基であり、
　Ｒ^３４は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子、フェニル基またはＣ_１－６アルキル基（好ましくはメチル基）を表し、
　ｍ’は、各出現において、それぞれ独立して、１～１００の整数、好ましくは１～２０の整数であり、
　ｎ’は、各出現において、それぞれ独立して、１～２０の整数、好ましくは１～６の整数、より好ましくは１～３の整数であり、
　ｌ’は、１～１０の整数、好ましくは１～５の整数、より好ましくは１～３の整数であり、
　ｐ’は、０または１であり、
　ｑ’は、０または１であり、
　ここに、ｐ’およびｑ’を付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は任意である］
で表される２価の基が挙げられる。ここに、Ｒ^３１およびＸ^ａ（典型的にはＲ^３１およびＸ^ａの水素原子）は、フッ素原子、Ｃ_１－３アルキル基およびＣ_１－３フルオロアルキル基から選択される１個またはそれ以上の置換基により置換されていてもよい。

　好ましくは、上記Ｘ^１は、－（Ｒ^３１）_ｐ’－（Ｘ^ａ）_ｑ’－Ｒ^３２－である。Ｒ^３２は、単結合、－（ＣＨ_２）_ｔ’－またはｏ－、ｍ－もしくはｐ－フェニレン基を表し、好ましくは－（ＣＨ_２）_ｔ’－である。ｔ’は、１～２０の整数、好ましくは２～６の整数、より好ましくは２～３の整数である。ここに、Ｒ^３２（典型的にはＲ^３２の水素原子）は、フッ素原子、Ｃ_１－３アルキル基およびＣ_１－３フルオロアルキル基から選択される１個またはそれ以上の置換基により置換されていてもよい。

　好ましくは、上記Ｘ^１は、
Ｃ_１－２０アルキレン基、
－Ｒ^３１－Ｘ^ｃ－Ｒ^３２－、または
－Ｘ^ｄ－Ｒ^３２－
［式中、Ｒ^３１およびＲ^３２は、上記と同意義である。］
であり得る。

　より好ましくは、上記Ｘ^１は、
Ｃ_１－２０アルキレン基、
－（ＣＨ_２）_ｓ’－Ｘ^ｃ－、
－（ＣＨ_２）_ｓ’－Ｘ^ｃ－（ＣＨ_２）_ｔ’－
－Ｘ^ｄ－、または
－Ｘ^ｄ－（ＣＨ_２）_ｔ’－
［式中、ｓ’およびｔ’は、上記と同意義である。］
である。

　上記式中、Ｘ^ｃは、
－Ｏ－、
－Ｓ－、
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－、
－ＣＯＮＲ^３４－、
－Ｏ－ＣＯＮＲ^３４－、
－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－、
－（Ｓｉ（Ｒ^３３）_２Ｏ）_ｍ’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－、
－Ｏ－（ＣＨ_２）_u’－（Ｓｉ（Ｒ^３３）_２Ｏ）_ｍ’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－、
－Ｏ－（ＣＨ_２）_u’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－Ｏ－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－ＣＨ_２ＣＨ_２－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－Ｏ－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－、
－Ｏ－（ＣＨ_２）_u’－Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２－、
－ＣＯＮＲ^３４－（ＣＨ_２）_u’－（Ｓｉ（Ｒ^３３）_２Ｏ）_ｍ’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－、
－ＣＯＮＲ^３４－（ＣＨ_２）_u’－Ｎ（Ｒ^３４）－、または
－ＣＯＮＲ^３４－（ｏ－、ｍ－またはｐ－フェニレン）－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－
［式中、Ｒ^３３、Ｒ^３４およびｍ’は、上記と同意義であり、
　ｕ’は１～２０の整数、好ましくは２～６の整数、より好ましくは２～３の整数である。］を表す。Ｘ^ｃは、好ましくは－Ｏ－である。

　上記式中、Ｘ^ｄは、
－Ｓ－、
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－、
－ＣＯＮＲ^３４－、
－ＣＯＮＲ^３４－（ＣＨ_２）_u’－（Ｓｉ（Ｒ^３３）_２Ｏ）_ｍ’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－、
－ＣＯＮＲ^３４－（ＣＨ_２）_u’－Ｎ（Ｒ^３４）－、または
－ＣＯＮＲ^３４－（ｏ－、ｍ－またはｐ－フェニレン）－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－
［式中、各記号は、上記と同意義である。］
を表す。

　より好ましくは、上記Ｘ^１は、
Ｃ_１－２０アルキレン基、
－（ＣＨ_２）_ｓ’－Ｘ^ｃ－（ＣＨ_２）_ｔ’－、または
－Ｘ^ｄ－（ＣＨ_２）_ｔ’－
［式中、各記号は、上記と同意義である。］
であり得る。

　さらにより好ましくは、上記Ｘ^１は、
Ｃ_１－２０アルキレン基、
－（ＣＨ_２）_ｓ’－Ｏ－（ＣＨ_２）_ｔ’－、
－（ＣＨ_２）_ｓ’－（Ｓｉ（Ｒ^３３）_２Ｏ）_ｍ’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－（ＣＨ_２）_ｔ’－、
－（ＣＨ_２）_ｓ’－Ｏ－（ＣＨ_２）_u’－（Ｓｉ（Ｒ^３３）_２Ｏ）_ｍ’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－（ＣＨ_２）_ｔ’－、または
－（ＣＨ_２）_ｓ’－Ｏ－（ＣＨ_２）_ｔ’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－（ＣＨ_２）_u’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－（Ｃ_vＨ_２v）－
［式中、Ｒ^３３、ｍ’、ｓ’、ｔ’およびｕ’は、上記と同意義であり、ｖは１～２０の整数、好ましくは２～６の整数、より好ましくは２～３の整数である。］
である。

　上記式中、－（Ｃ_vＨ_２v）－は、直鎖であっても、分枝鎖であってもよく、例えば、－ＣＨ_２ＣＨ_２－、－ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２－、－ＣＨ（ＣＨ_３）－、－ＣＨ（ＣＨ_３）ＣＨ_２－であり得る。

　上記Ｘ^１基は、フッ素原子、Ｃ_１－３アルキル基およびＣ_１－３フルオロアルキル基（好ましくは、Ｃ_１－３パーフルオロアルキル基）から選択される１個またはそれ以上の置換基により置換されていてもよい。

　別の態様において、Ｘ^１基としては、例えば下記の基が挙げられる：

［式中、Ｒ^４１は、水素原子、フェニル基、炭素数１～６のアルキル基、またはＣ_１－６アルコキシ基、好ましくはメチル基であり；
　Ｄは、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＦ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）₄－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_３－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、および

（式中、Ｒ^４２は水素原子またはＣ_１－６のアルキル基、好ましくはメチル基を表す。）
から選択される基であり、
　Ｅは、－（ＣＨ_２）_ｎ－（ｎは２～６の整数）であり、
　Ｄは、分子主鎖のＰＦＰＥに結合し、Ｅは、ＰＦＰＥと反対の基に結合する。］

　上記Ｘ^１の具体的な例としては、例えば：
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_１０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２（ＣＨ_２）_７ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_４－、
－（ＣＨ_２）_６－、
－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_３－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_６－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_２ＮＨ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６ＮＨ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６－、
－Ｓ－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_２Ｓ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_１０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－（ＣＨ_２）_３－、
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－ＣＨ（ＣＨ_３）－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－ＣＨ（ＣＨ_３）－ＣＨ_２－、

などが挙げられる。

　さらに別のＸ^１基の例として、下記の基が挙げられる：

［式中、
　Ｒ^４１は、水素原子、フェニル基、炭素数１～６のアルキル基、またはＣ_１－６アルコキシ基、好ましくはメチル基であり；
　各Ｘ^１基において、Ｔのうち任意のいくつかは、分子主鎖のＰＦＰＥに結合する以下の基：
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＦ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）₄－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_３－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、または

［式中、Ｒ^４２は水素原子、Ｃ_１－６のアルキル基、好ましくはメチル基、またはメトキシ基を表す。］
であり、別のＴのいくつかは、分子主鎖のＰＦＰＥと反対側の基に結合する－（ＣＨ_２）_ｎ”－（ｎ”は２～６の整数）であり、存在する場合、残りは、それぞれ独立して、メチル基、フェニル基、Ｃ_１－６アルコキシ基またはラジカル捕捉基もしくは紫外線吸収基である。

　ラジカル捕捉基は、光照射で生じるラジカルを捕捉できるものであれば特に限定されないが、例えばベンゾフェノン類、ベンゾトリアゾール類、安息香酸エステル類、サリチル酸フェニル類、クロトン酸類、マロン酸エステル類、オルガノアクリレート類、ヒンダードアミン類、ヒンダードフェノール類、またはトリアジン類の残基が挙げられる。

　紫外線吸収基は、紫外線を吸収できるものであれば特に限定されないが、例えばベンゾトリアゾール類、ヒドロキシベンゾフェノン類、置換および未置換安息香酸もしくはサリチル酸化合物のエステル類、アクリレートまたはアルコキシシンナメート類、オキサミド類、オキサニリド類、ベンゾキサジノン類、ベンゾキサゾール類の残基が挙げられる。

　好ましい態様において、好ましいラジカル捕捉基または紫外線吸収基としては、

が挙げられる。

　別の好ましい態様において、Ｘ^１は、式：－（Ｒ^１６）_ｘ－（ＣＦＲ^１７）_ｙ－（ＣＨ_２）_ｚ－で表される基である。式中、ｘ、ｙおよびｚは、それぞれ独立して、０～１０の整数であり、ｘ、ｙおよびｚの和は１以上であり、括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である。

　上記式中、Ｒ^１６は、各出現においてそれぞれ独立して、酸素原子、フェニレン、カルバゾリレン、－ＮＲ^２６－（式中、Ｒ^２６は、水素原子または有機基を表す）または２価の有機基である。好ましくは、Ｒ^１６は、酸素原子または２価の極性基である。

　上記「２価の極性基」としては、特に限定されないが、－Ｃ（Ｏ）－、－Ｃ（＝ＮＲ^２７）－、および－Ｃ（Ｏ）ＮＲ^２７－（これらの式中、Ｒ^２７は、水素原子または低級アルキル基を表す）が挙げられる。当該「低級アルキル基」は、例えば、炭素数１～６のアルキル基、例えばメチル、エチル、ｎ－プロピルであり、これらは、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい。

　上記式中、Ｒ^１７は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子、フッ素原子または低級フルオロアルキル基であり、好ましくはフッ素原子である。当該「低級フルオロアルキル基」は、例えば、炭素数１～６、好ましくは炭素数１～３のフルオロアルキル基、好ましくは炭素数１～３のパーフルオロアルキル基、より好ましくはトリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、さらに好ましくはトリフルオロメチル基である。

　この態様において、Ｘ^１は、好ましくは、式：－（Ｏ）_ｘ－（ＣＦ_２）_ｙ－（ＣＨ_２）_ｚ－（式中、ｘ、ｙおよびｚは、上記と同意義であり、括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意である）で表される基である。

　上記式：－（Ｏ）_ｘ－（ＣＦ_２）_ｙ－（ＣＨ_２）_ｚ－で表される基としては、例えば、－（Ｏ）_ｘ’－（ＣＨ_２）_ｚ”－Ｏ－［（ＣＨ_２）_ｚ’’’－Ｏ－］_ｚ””、および－（Ｏ）_ｘ’－（ＣＦ_２）_ｙ”－（ＣＨ_２）_ｚ”－Ｏ－［（ＣＨ_２）_ｚ’’’－Ｏ－］_ｚ””（式中、ｘ’は０または１であり、ｙ”、ｚ”およびｚ’’’は、それぞれ独立して、１～１０の整数であり、ｚ””は、０または１である）で表される基が挙げられる。なお、これらの基は左端がＰＦＰＥ側に結合する。

　別の好ましい態様において、Ｘ^１は、－Ｏ－ＣＦＲ^１３－（ＣＦ_２）_ｅ－である。

　上記Ｒ^１３は、それぞれ独立して、フッ素原子または低級フルオロアルキル基を表す。低級フルオロアルキル基は、例えば炭素数１～３のフルオロアルキル基、好ましくは炭素数１～３のパーフルオロアルキル基、より好ましくはトリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、更に好ましくはトリフルオロメチル基である。

　上記ｅは、それぞれ独立して、０または１である。

　一の具体例において、Ｒ^１３はフッ素原子であり、ｅは１である。

　上記式中、ｔは、それぞれ独立して、１～１０の整数である。好ましい態様において、ｔは１～６の整数である。別の好ましい態様において、ｔは２～１０の整数であり、好ましくは２～６の整数である。

　上記式中、Ｘ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、単結合または２価の有機基を表す。Ｘ^２は、好ましくは、炭素数１～２０のアルキレン基であり、より好ましくは、－（ＣＨ_２）_ｕ－（式中、ｕは、０～２の整数である）である。

　好ましい式（Ａ１）および（Ａ２）で示される化合物は、下記式（Ａ１’）および（Ａ２’）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、各出現においてそれぞれ独立して、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－を表し、ここに、ａおよびｂは、それぞれ独立して、０以上３０以下の整数であり、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、１以上２００以下の整数であり、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は、３以上の整数であり、ｃ／ｄ比が、０．２以上０．９未満であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｒ^１は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または炭素数１～２２のアルキル基を表し；
　Ｒ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^１１は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子またはハロゲン原子を表し；
　Ｒ^１２は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｎは、０～２の整数であり、好ましくは０であり；
　Ｘ^１は、－Ｏ－ＣＦＲ^１３－（ＣＦ_２）_ｅ－であり；
　Ｒ^１３は、フッ素原子または低級フルオロアルキル基であり；
　ｅは、０または１であり；
　Ｘ^２は、－（ＣＨ_２）_ｕ－であり；
　ｕは、０～２の整数であり；
　ｔは、１～１０の整数である。］
で表される化合物である。

　上記式（Ａ１）および（Ａ２）で表される化合物は、例えば、Ｒｆ－ＰＦＰＥ－部分に対応するパーフルオロポリエーテル誘導体を原料として、末端にヨウ素を導入した後、－ＣＨ_２ＣＲ^１２（Ｘ^２－ＳｉＲ^１ _ｎＲ^２ _３－ｎ）－に対応するビニルモノマーを反応させることにより得ることができる。

　式（Ｂ１）および（Ｂ２）：

　上記式（Ｂ１）および（Ｂ２）中、Ｒｆ、ＰＦＰＥ、Ｒ^１、Ｒ^２およびｎは、上記式（Ａ１）および（Ａ２）に関する記載と同意義である。

　上記式中、Ｘ^５は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表す。当該Ｘ^５は、式（Ｂ１）および（Ｂ２）で表される化合物において、主に撥水性および表面滑り性等を提供するパーフルオロポリエーテル部（Ｒｆ－ＰＦＰＥ部または－ＰＦＰＥ－部）と、基材との結合能を提供するシラン部（具体的には、－ＳｉＲ^１ _ｎＲ^２ _３－ｎ）とを連結するリンカーと解される。従って、当該Ｘ^５は、式（Ｂ１）および（Ｂ２）で表される化合物が安定に存在し得るものであれば、いずれの有機基であってもよい。

　上記式中のβは、１～９の整数であり、β’は、１～９の整数である。これらβおよびβ’は、Ｘ^３の価数に応じて決定され、式（Ｂ１）において、βおよびβ’の和は、Ｘ^５の価数と同じである。例えば、Ｘ^５が１０価の有機基である場合、βおよびβ’の和は１０であり、例えばβが９かつβ’が１、βが５かつβ’が５、またはβが１かつβ’が９となり得る。また、Ｘ^５が２価の有機基である場合、βおよびβ’は１である。式（Ｂ２）において、βはＸ^５の価数の値から１を引いた値である。

　上記Ｘ^５は、好ましくは２～７価、より好ましくは２～４価、さらに好ましくは２価の有機基である。

　一の態様において、Ｘ^５は２～４価の有機基であり、βは１～３であり、β’は１である。

　別の態様において、Ｘ^５は２価の有機基であり、βは１であり、β’は１である。この場合、式（Ｂ１）および（Ｂ２）は、下記式（Ｂ１’）および（Ｂ２’）で表される。

　上記Ｘ^５の例としては、特に限定するものではないが、例えば、Ｘ^１に関して記載したものと同様のものが挙げられる。

　中でも、好ましい具体的なＸ^５は、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_１０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２（ＣＨ_２）_７ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_４－、
－（ＣＨ_２）_６－、
－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_３－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_６－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_２ＮＨ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６ＮＨ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６－、
－Ｓ－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_２Ｓ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_１０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－（ＣＨ_２）_３－、
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－ＣＨ（ＣＨ_３）－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－ＣＨ（ＣＨ_３）－ＣＨ_２－、

などが挙げられる。

　好ましい式（Ｂ１）および（Ｂ２）で示される化合物は、下記式（Ｂ１’）および（Ｂ２’）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、各出現においてそれぞれ独立して、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－を表し、ここに、ａおよびｂは、それぞれ独立して、０以上３０以下の整数であり、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、１以上２００以下の整数であり、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は、３以上の整数であり、ｃ／ｄ比が、０．２以上０．９未満であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｒ^１は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または炭素数１～２２のアルキル基を表し；
　Ｒ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　ｎは、０～２の整数であり、好ましくは０であり；
　Ｘ^５は、－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_２－、－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－または－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_６－である］
で表される化合物である。

　上記式（Ｂ１）および（Ｂ２）で表される化合物は、例えば、下記式（Ｂ１－４）または（Ｂ２－４）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、各出現においてそれぞれ独立して、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－を表し、ここに、ａおよびｂは、それぞれ独立して、０以上３０以下の整数であり、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、１以上２００以下の整数であり、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は、３以上の整数であり、ｃ／ｄ比が、０．２以上０．９未満であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｘ^５’は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　βは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　β’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｒ^８２は、単結合または２価の有機基である。］
で表される化合物を、ＨＳｉＭ_３（式中、Ｍは、それぞれ独立して、ハロゲン原子、Ｒ^１またはＲ^２であり、Ｒ^１は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または炭素数１～２２のアルキル基であり、Ｒ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基である）と反応させて、必要に応じて、上記ハロゲン原子を、Ｒ^１またはＲ^２に変換して、式（Ｂ１”）または（Ｂ２”）：

［式中、ＰＦＰＥ、Ｒｆ、Ｘ^５’、β、β’およびＲ^８２は、上記と同意義であり；
　ｎは、０～３の整数である。］
で表される化合物として得ることができる。

　一の態様において、Ｒ^８２は、単結合または炭素数１～１０の炭化水素基である。好ましい態様において、Ｒ^８２は、－Ｒ^８６－Ｒ^８７－Ｒ^８８－である。式中、Ｒ^８６は、単結合またはＣ_１－６アルキレン基、好ましくはＣ_１－６アルキレン基であり、Ｒ^８７は、単結合、－Ｏ－、－ＮＲＣＯ－（式中、ＲはＣ_１－６アルキル基である）、－ＣＯＮＲ－（式中、ＲはＣ_１－６アルキル基である）、－ＣＯ－、－Ｃ（Ｏ）Ｏ－または－ＯＣ（Ｏ）－、好ましくは－Ｏ－であり、Ｒ^８８は、単結合またはＣ_１－６アルキレン基、好ましくはＣ_１－６アルキレン基である。

　式（Ｂ１”）または（Ｂ２”）において、Ｘ^５’からＲ^８２－ＣＨ_２ＣＨ_２－までの部分が、式（Ｂ１）または（Ｂ２）におけるＸ^５に対応する。従って、好ましいＸ^５’は、上記した好ましいＸ^５から－Ｒ^８２－ＣＨ_２ＣＨ_２－に相当する部分を除いた基である。

　式（Ｃ１）および（Ｃ２）：

　上記式（Ｃ１）および（Ｃ２）中、ＲｆおよびＰＦＰＥは、上記式（Ａ１）および（Ａ２）に関する記載と同意義である。

　上記式中、Ｘ^７は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表す。当該Ｘ^７は、式（Ｃ１）および（Ｃ２）で表される化合物において、主に撥水性および表面滑り性等を提供するパーフルオロポリエーテル部（Ｒｆ－ＰＦＰＥ部または－ＰＦＰＥ－部）と、基材との結合能を提供するシラン部（具体的には、－ＳｉＲ^ａ _ｋＲ^ｂ _ｌＲ^ｃ _ｍ基）とを連結するリンカーと解される。従って、当該Ｘ^７は、式（Ｃ１）および（Ｃ２）で表される化合物が安定に存在し得るものであれば、いずれの有機基であってもよい。

　上記式中のγは、１～９の整数であり、γ’は、１～９の整数である。これらγおよびγ’は、Ｘ^７の価数に応じて決定され、式（Ｃ１）において、γおよびγ’の和は、Ｘ^７の価数と同じである。例えば、Ｘ^７が１０価の有機基である場合、γおよびγ’の和は１０であり、例えばγが９かつγ’が１、γが５かつγ’が５、またはγが１かつγ’が９となり得る。また、Ｘ^７が２価の有機基である場合、γおよびγ’は１である。式（Ｃ１）において、γはＸ^７の価数の値から１を引いた値である。

　上記Ｘ^７は、好ましくは２～７価、より好ましくは２～４価、さらに好ましくは２価の有機基である。

　一の態様において、Ｘ^７は２～４価の有機基であり、γは１～３であり、γ’は１である。

　別の態様において、Ｘ^７は２価の有機基であり、γは１であり、γ’は１である。この場合、式（Ｃ１）および（Ｃ２）は、下記式（Ｃ１’）および（Ｃ２’）で表される。

　上記Ｘ^７の例としては、特に限定するものではないが、例えば、Ｘ^１に関して記載したものと同様のものが挙げられる。

　中でも、好ましい具体的なＸ^７は、－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_１０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨＦＣＦ_２ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２－
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２（ＣＨ_２）_７ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_４－、
－（ＣＨ_２）_６－、
－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_３－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_６－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_２ＮＨ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６ＮＨ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６－、
－Ｓ－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_２Ｓ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_１０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－（ＣＨ_２）_３－、
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－ＣＨ（ＣＨ_３）－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－ＣＨ（ＣＨ_３）－ＣＨ_２－、

などが挙げられる。

　上記式中、Ｒ^ａは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｚ－ＳｉＲ^７１ _ｐＲ^７２ _ｑＲ^７３ _ｒを表す。

　式中、Ｚは、各出現においてそれぞれ独立して、酸素原子または２価の有機基を表す。

　上記Ｚは、好ましくは、２価の有機基であり、式（Ｃ１）または式（Ｃ２）における分子主鎖の末端のＳｉ原子（Ｒ^ａが結合しているＳｉ原子）とシロキサン結合を形成するものを含まない。

　上記Ｚは、好ましくは、Ｃ_１－６アルキレン基、－（ＣＨ_２）_ｇ－Ｏ－（ＣＨ_２）_ｈ－（式中、ｇは、１～６の整数であり、ｈは、１～６の整数である）または、－フェニレン－（ＣＨ_２）_ｉ－（式中、ｉは、０～６の整数である）であり、より好ましくはＣ_１－３アルキレン基である。これらの基は、例えば、フッ素原子、Ｃ_１－６アルキル基、Ｃ_２－６アルケニル基、およびＣ_２－６アルキニル基から選択される１個またはそれ以上の置換基により置換されていてもよい。

　式中、Ｒ^７１は、各出現においてそれぞれ独立して、Ｒ^ａ’を表す。Ｒ^ａ’は、Ｒ^ａと同意義である。

　Ｒ^ａ中、Ｚ基を介して直鎖状に連結されるＳｉは最大で５個である。即ち、上記Ｒ^ａにおいて、Ｒ^７１が少なくとも１つ存在する場合、Ｒ^ａ中にＺ基を介して直鎖状に連結されるＳｉ原子が２個以上存在するが、かかるＺ基を介して直鎖状に連結されるＳｉ原子の数は最大で５個である。なお、「Ｒ^ａ中のＺ基を介して直鎖状に連結されるＳｉ原子の数」とは、Ｒ^ａ中において直鎖状に連結される－Ｚ－Ｓｉ－の繰り返し数と等しくなる。

　例えば、下記にＲ^ａ中においてＺ基を介してＳｉ原子が連結された一例を示す。

　上記式において、＊は、主鎖のＳｉに結合する部位を意味し、…は、ＺＳｉ以外の所定の基が結合していること、即ち、Ｓｉ原子の３本の結合手がすべて…である場合、ＺＳｉの繰り返しの終了箇所を意味する。また、Ｓｉの右肩の数字は、＊から数えたＺ基を介して直鎖状に連結されたＳｉの出現数を意味する。即ち、Ｓｉ^２でＺＳｉ繰り返しが終了している鎖は「Ｒ^ａ中のＺ基を介して直鎖状に連結されるＳｉ原子の数」が２個であり、同様に、Ｓｉ^３、Ｓｉ^４およびＳｉ^５でＺＳｉ繰り返しが終了している鎖は、それぞれ、「Ｒ^ａ中のＺ基を介して直鎖状に連結されるＳｉ原子の数」が３、４および５個である。なお、上記の式から明らかなように、Ｒ^ａ中には、ＺＳｉ鎖が複数存在するが、これらはすべて同じ長さである必要はなく、それぞれ任意の長さであってもよい。

　好ましい態様において、下記に示すように、「Ｒ^ａ中のＺ基を介して直鎖状に連結されるＳｉ原子の数」は、すべての鎖において、１個（左式）または２個（右式）である。

　一の態様において、Ｒ^ａ中のＺ基を介して直鎖状に連結されるＳｉ原子の数は１個または２個、好ましくは１個である。

　式中、Ｒ^７２は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表す。

　上記「加水分解可能な基」とは、本明細書において用いられる場合、加水分解反応を受け得る基を意味する。加水分解可能な基の例としては、－ＯＲ、－ＯＣＯＲ、－Ｏ－Ｎ＝Ｃ（Ｒ）_２、－Ｎ（Ｒ）_２、－ＮＨＲ、ハロゲン（これら式中、Ｒは、置換または非置換の炭素数１～４のアルキル基を示す）などが挙げられ、好ましくは－ＯＲ（アルコキシ基）である。Ｒの例には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基などの非置換アルキル基；クロロメチル基などの置換アルキル基が含まれる。それらの中でも、アルキル基、特に非置換アルキル基が好ましく、メチル基またはエチル基がより好ましい。水酸基は、特に限定されないが、加水分解可能な基が加水分解して生じたものであってよい。

　好ましくは、Ｒ^７２は、－ＯＲ（式中、Ｒは、置換または非置換のＣ_１－３アルキル基、より好ましくはメチル基を表す）である。

　式中、Ｒ^７３は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表す。該低級アルキル基は、好ましくは炭素数１～２０のアルキル基、より好ましくは炭素数１～６のアルキル基、さらに好ましくはメチル基である。

　式中、ｐは、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；ｑは、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；ｒは、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数である。ただし、ｐ、ｑおよびｒの和は３である。

　好ましい態様において、Ｒ^ａ中の末端のＲ^ａ’（Ｒ^ａ’が存在しない場合、Ｒ^ａ）において、上記ｑは、好ましくは２以上、例えば２または３であり、より好ましくは３である。

　好ましい態様において、Ｒ^ａの末端部の少なくとも１つは、－Ｓｉ（－Ｚ－ＳｉＲ^７２ _ｑＲ^７３ _ｒ）_２または－Ｓｉ（－Ｚ－ＳｉＲ^７２ _ｑＲ^７３ _ｒ）_３、好ましくは－Ｓｉ（－Ｚ－ＳｉＲ^７２ _ｑＲ^７３ _ｒ）_３であり得る。式中、（－Ｚ－ＳｉＲ^７２ _ｑＲ^７３ _ｒ）の単位は、好ましくは（－Ｚ－ＳｉＲ^７２ _３）である。さらに好ましい態様において、Ｒ^ａの末端部は、すべて－Ｓｉ（－Ｚ－ＳｉＲ^７２ _ｑＲ^７３ _ｒ）_３、好ましくは－Ｓｉ（－Ｚ－ＳｉＲ^７２ _３）_３であり得る。

　上記式（Ｃ１）および（Ｃ２）においては、少なくとも１つのＲ^７２が存在する。

　上記式中、Ｒ^ｂは、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表す。

　上記Ｒ^ｂは、好ましくは、水酸基、－ＯＲ、－ＯＣＯＲ、－Ｏ－Ｎ＝Ｃ（Ｒ）_２、－Ｎ（Ｒ）_２、－ＮＨＲ、ハロゲン（これら式中、Ｒは、置換または非置換の炭素数１～４のアルキル基を示す）であり、好ましくは－ＯＲである。Ｒは、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基などの非置換アルキル基；クロロメチル基などの置換アルキル基が含まれる。それらの中でも、アルキル基、特に非置換アルキル基が好ましく、メチル基またはエチル基がより好ましい。水酸基は、特に限定されないが、加水分解可能な基が加水分解して生じたものであってよい。より好ましくは、Ｒ^ｃは、－ＯＲ（式中、Ｒは、置換または非置換のＣ_１－３アルキル基、より好ましくはメチル基を表す）である。

　上記式中、Ｒ^ｃは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表す。該低級アルキル基は、好ましくは炭素数１～２０のアルキル基、より好ましくは炭素数１～６のアルキル基、さらに好ましくはメチル基である。

　式中、ｋは、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；ｌは、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；ｍは、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数である。ただし、ｋ、ｌおよびｍの和は、３である。

　上記式（Ｃ１）および（Ｃ２）で表される化合物は、例えば、Ｒｆ－ＰＦＰＥ－部分に対応するパーフルオロポリエーテル誘導体を原料として、末端に水酸基を導入した後、末端に不飽和結合を有する基を導入し、この不飽和結合を有する基とハロゲン原子を有するシリル誘導体とを反応させ、さらにこのシリル基に末端に水酸基を導入し、導入した不飽和結合を有する基とシリル誘導体とを反応させることにより得ることができる。例えば、以下のようにして得ることができる。

　好ましい式（Ｃ１）および（Ｃ２）で示される化合物は、下記式（Ｃ１”）および（Ｃ２”）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、各出現においてそれぞれ独立して、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－を表し、ここに、ａおよびｂは、それぞれ独立して、０以上３０以下の整数であり、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、１以上２００以下の整数であり、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は、３以上の整数であり、ｃ／ｄ比が、０．２以上０．９未満であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｘ^７は、－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_２－、－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－または－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_６－を表し；
　Ｒ^ａは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｚ－ＳｉＲ^７１ _ｐＲ^７２ _ｑＲ^７３ _ｒを表し；
　Ｚは、Ｃ_１－６アルキレン基を表し；
　Ｒ^７１は、各出現においてそれぞれ独立して、Ｒ^ａ’を表し；
　Ｒ^ａ’は、Ｒ^ａと同意義であり；
　Ｒ^ａ中、Ｚ基を介して直鎖状に連結されるＳｉは最大で５個であり；
　Ｒ^７２は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^７３は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｐは、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ｑは、各出現においてそれぞれ独立して、１～３の整数、好ましくは３であり；
　ｒは、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ただし、一のＲ^ａにおいて、ｐ、ｑおよびｒの和は３である。］
で表される化合物である。

　上記式（Ｃ１）および（Ｃ２）で表される化合物は、例えば、下記式（Ｃ１－４）または（Ｃ２－４）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、各出現においてそれぞれ独立して、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－を表し、ここに、ａおよびｂは、それぞれ独立して、０以上３０以下の整数であり、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、１以上２００以下の整数であり、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は、３以上の整数であり、ｃ／ｄ比が、０．２以上０．９未満であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｘ^７’は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　γは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　γ’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｒ^８２は、単結合または２価の有機基である。］
で表される化合物を、ＨＳｉＲ^８３ _ｋＲ^ｂ _ｌＲ^ｃ _ｍ（式中、Ｒ^８３はハロゲン原子、例えばフッ素原子、塩素原子、臭素原子またはヨウ素原子、好ましくは塩素原子であり、Ｒ^ｂは、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し、Ｒ^ｃは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し、ｋは１～３の整数であり、ｌおよびｍは、それぞれ独立して、０～２の整数であり、ｋ、ｌおよびｍの和は３である。）で表される化合物と反応させて、式（Ｃ１－５）または（Ｃ２－５）で表される化合物を得る。

［式中、Ｒｆ、ＰＦＰＥ、Ｒ^８２、Ｒ^８３、Ｒ^ｂ、Ｒ^ｃ、γ、γ’、Ｘ^７’、ｋ、ｌおよびｍは、上記と同意義である。］

　得られた式（Ｃ１－５）または（Ｃ２－５）で表される化合物を、Ｈａｌ－Ｊ－Ｒ^８４－ＣＨ＝ＣＨ_２（式中、Ｈａｌはハロゲン原子（例えば、Ｉ、Ｂｒ、Ｃｌ、Ｆ等）を表し、Ｊは、Ｍｇ、Ｃｕ、ＰｄまたはＺｎを表し、Ｒ^８４は単結合または２価の有機基を表す。）で表される化合物と反応させて、式（Ｃ１－６）または（Ｃ２－６）で表される化合物を得る。

［式中、Ｒｆ、ＰＦＰＥ、Ｒ^８２、Ｒ^８４、Ｒ^ｂ、Ｒ^ｃ、γ、γ’、Ｘ^７’、ｋ、ｌおよびｍは、上記と同意義である。］

　一の態様において、Ｒ^８４は、単結合または炭素数１～１０の炭化水素基である。好ましい態様において、上記炭化水素基は、－Ｒ^８６’－Ｒ^８７’－Ｒ^８８’－である。式中、Ｒ^８６’は、単結合またはＣ_１－６アルキレン基、好ましくはＣ_１－６アルキレン基であり、Ｒ^８７’は、単結合、－Ｏ－、－ＮＲＣＯ－（式中、ＲはＣ_１－６アルキル基である）、－ＣＯＮＲ－（式中、ＲはＣ_１－６アルキル基である）、－ＣＯ－、－Ｃ（Ｏ）Ｏ－または－ＯＣ（Ｏ）－、好ましくは－Ｏ－であり、Ｒ^８８’は、単結合またはＣ_１－６アルキレン基、好ましくはＣ_１－６アルキレン基である。より好ましい態様において、Ｒ^８４は、Ｃ_１－６アルキレン基である。

　得られた式（Ｃ１－６）または（Ｃ２－６）で表される化合物を、ＨＳｉＭ_３（式中、Ｍは、それぞれ独立して、ハロゲン原子、Ｒ^７２またはＲ^７３であり、Ｒ^７２は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し、Ｒ^７３は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表す。）と反応させて、必要に応じて、上記ハロゲン原子を、Ｒ^７２またはＲ^７３に変換して、式（Ｃ１’’’）または（Ｃ２’’’）：

［式中、各記号は、上記と同意義である。］
で表される化合物を得ることができる。

　式（Ｃ１’’’）または（Ｃ２’’’）において、Ｘ^７’からＲ^８２－ＣＨ_２ＣＨ_２－までの部分が、式（Ｃ１）または（Ｃ２）におけるＸ^７に対応し、－Ｒ^８４－ＣＨ_２ＣＨ_２－が式（Ｃ１）または（Ｃ２）におけるＺに対応する。従って、好ましいＸ^７’は、上記した好ましいＸ^７から－Ｒ^８２－ＣＨ_２ＣＨ_２－に相当する部分を除いた基であり、好ましいＲ^８４は、上記した好ましいＺから－ＣＨ_２ＣＨ_２－を除いた基である。

　上記から明らかなように、式（Ｂ１－４）、（Ｂ２－４）、（Ｃ１－４）および（Ｃ２－４）：

で表される化合物、
　式（Ｃ１－５）および（Ｃ２－５）：

で表される化合物、
および
　式（Ｃ１－６）および（Ｃ２－６）：

で表される化合物は、式（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）および（Ｃ２）のいずれかで表される化合物の製造中間体である。

　本発明は、これらの中間体も提供する。

　これらの中間体は、ｃ／ｄ比が０．２以上０．９未満であるが、ｃ／ｄ比が０．９以上である化合物を含む混合物であってもよい。好ましくは、この混合物において、ｃ／ｄ比が、０．２以上０．９未満である化合物は、ｃ／ｄ比が０．２以上０．９未満である化合物とｃ／ｄ比が０．９以上である化合物の合計に対して、７０質量％以上、好ましくは８０質量％以上、より好ましくは９０質量％以上含まれる。

　上記式（Ｂ１－４）、（Ｂ２－４）、（Ｃ１－４）、（Ｃ２－４）、（Ｃ１－５）、（Ｃ２－５）、（Ｃ１－６）および（Ｃ２－６）で表される化合物は、含フッ素オイルおよび／または溶媒との混合物であってもよい。

　従って、本発明は、上記式（Ｂ１－４）、（Ｂ２－４）、（Ｃ１－４）、（Ｃ２－４）、（Ｃ１－５）、（Ｃ２－５）、（Ｃ１－６）および（Ｃ２－６）のいずれかで表される化合物と、含フッ素オイルおよび／または溶媒とを含んで成る混合物も提供する

　含フッ素オイルおよび溶媒の例としては、下記する表面処理剤に用いられるものと同様のものが挙げられる。

　次に、本発明の表面処理剤について説明する。

　本発明の表面処理剤は、式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）および（Ｃ２）で表される少なくとも１種のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物および／または式（Ｂ１－４）、（Ｂ２－４）、（Ｃ１－４）、（Ｃ２－４）、（Ｃ１－５）、（Ｃ２－５）、（Ｃ１－６）および（Ｃ２－６）のいずれかで表される化合物を含有する。

　好ましい態様において、本発明の表面処理剤は、式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）および（Ｃ２）で表される少なくとも１種のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物を含有する。

　本発明の表面処理剤は、撥水性、撥油性、防汚性、防水性、摩擦耐久性を基材に対して付与することができ、特に限定されるものではないが、防汚性コーティング剤または防水性コーティング剤として好適に使用され得る。

　一の態様において、パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物は、式（Ａ１）および（Ａ２）のいずれかで表される少なくとも１種の化合物である。

　一の態様において、パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物は、式（Ｂ１）および（Ｂ２）のいずれかで表される少なくとも１種の化合物である。

　一の態様において、パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物は、式（Ｃ１）および（Ｃ２）のいずれかで表される少なくとも１種の化合物である。

　本発明の表面処理剤は、溶媒で希釈されていてもよい。このような溶媒としては、特に限定するものではないが、例えば、パーフルオロヘキサン、ＣＦ_３ＣＦ_２ＣＨＣｌ_２、ＣＦ_３ＣＨ_２ＣＦ_２ＣＨ_３、ＣＦ_３ＣＨＦＣＨＦＣ_２Ｆ_５、１，１，１，２，２，３，３，４，４，５，５，６，６－トリデカフルオロオクタン、１，１，２，２，３，３，４－ヘプタフルオロシクロペンタン（（ゼオローラＨ（商品名）等）、Ｃ_４Ｆ_９ＯＣＨ_３、Ｃ_４Ｆ_９ＯＣ_２Ｈ_５、ＣＦ_３ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦ_２、Ｃ_６Ｆ_１３ＣＨ＝ＣＨ_２、キシレンヘキサフルオリド、パーフルオロベンゼン、メチルペンタデカフルオロヘプチルケトン、トリフルオロエタノール、ペンタフルオロプロパノール、ヘキサフルオロイソプロパノール、ＨＣＦ_２ＣＦ_２ＣＨ_２ＯＨ、メチルトリフルオロメタンスルホネート、トリフルオロ酢酸およびＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_ｍ（ＣＦ_２Ｏ）_ｎＣＦ_２ＣＦ_３［式中、ｍおよびｎは、それぞれ独立して０以上１０００以下の整数であり、ｍまたはｎを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意であり、但しｍおよびｎの和は１以上である。］、１，1－ジクロロ－２，３，３，３－テトラフルオロ－１－プロペン、１，２－ジクロロ－１，３，３，３－テトラフルオロ－１－プロペン、１，２－ジクロロ－３，３，３－トリフルオロ－１－プロペン、１，１－ジクロロ－３，３，３－トリフルオロ－１－プロペン、１，１，２－トリクロロ―３，３，３－トリフルオロ－１－プロペン、１，１，１，４，４，４－ヘキサフルオロ－２－ブテンからなる群から選択される溶媒が挙げられる。これらの溶媒は、単独で、または、２種以上の混合物として用いることができる。

　本発明の表面処理剤は、パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物に加え、他の成分を含んでいてもよい。かかる他の成分としては、特に限定されるものではないが、例えば、含フッ素オイルとして理解され得る（非反応性の）フルオロポリエーテル化合物、好ましくはパーフルオロ（ポリ）エーテル化合物（以下、「含フッ素オイル」と言う）、シリコーンオイルとして理解され得る（非反応性の）シリコーン化合物（以下、「シリコーンオイル」と言う）、触媒などが挙げられる。

　上記含フッ素オイルとしては、特に限定されるものではないが、例えば、以下の一般式（３）で表される化合物（パーフルオロ（ポリ）エーテル化合物）が挙げられる。
　Ｒｆ^１－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ’－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ’－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ’－（ＯＣＦ_２）_ｄ’－Ｒｆ^２　　　　・・・（３）
　式中、Ｒｆ^１は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよいＣ_１－１６のアルキル基（好ましくは、Ｃ_１―１６のパーフルオロアルキル基）を表し、Ｒｆ^２は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよいＣ_１－１６のアルキル基（好ましくは、Ｃ_１－１６のパーフルオロアルキル基）、フッ素原子または水素原子を表し、Ｒｆ^１およびＲｆ^２は、より好ましくは、それぞれ独立して、Ｃ_１－３のパーフルオロアルキル基である。
　ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’は、ポリマーの主骨格を構成するパーフルオロ（ポリ）エーテルの４種の繰り返し単位数をそれぞれ表し、互いに独立して０以上３００以下の整数であって、ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’の和は少なくとも１、好ましくは１～３００、より好ましくは２０～３００である。添字ａ’、ｂ’、ｃ’またはｄ’を付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。これら繰り返し単位のうち、－（ＯＣ_４Ｆ_８）－は、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）－、－（ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２ＣＦ_２）－、－（ＯＣＦ_２ＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２）－、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ（ＣＦ_３））－、－（ＯＣ（ＣＦ_３）_２ＣＦ_２）－、－（ＯＣＦ_２Ｃ（ＣＦ_３）_２）－、－（ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ（ＣＦ_３））－、－（ＯＣＦ（Ｃ_２Ｆ_５）ＣＦ_２）－および－（ＯＣＦ_２ＣＦ（Ｃ_２Ｆ_５））－のいずれであってもよいが、好ましくは－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）－である。－（ＯＣ_３Ｆ_６）－は、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）－、－（ＯＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２）－および－（ＯＣＦ_２ＣＦ（ＣＦ_３））－のいずれであってもよく、好ましくは－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）－である。－（ＯＣ_２Ｆ_４）－は、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）－および－（ＯＣＦ（ＣＦ_３））－のいずれであってもよいが、好ましくは－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）－である。

　上記一般式（３）で表されるパーフルオロ（ポリ）エーテル化合物の例として、以下の一般式（３ａ）および（３ｂ）のいずれかで示される化合物（１種または２種以上の混合物であってよい）が挙げられる。
　Ｒｆ^１－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ｂ’’－Ｒｆ^２　　　　　・・・（３ａ）
　Ｒｆ^１－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ａ’’－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ｂ’’－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）_ｃ’’－（ＯＣＦ_２）_ｄ’’－Ｒｆ^２　　　　・・・（３ｂ）
　これら式中、Ｒｆ^１およびＲｆ^２は上記の通りであり；式（３ａ）において、ｂ’’は１以上１００以下の整数であり；式（３ｂ）において、ａ’’およびｂ’’は、それぞれ独立して０以上３０以下、例えば１以上３０以下の整数であり、ｃ’’およびｄ’’はそれぞれ独立して１以上３００以下の整数である。添字ａ’’、ｂ’’、ｃ’’、ｄ’’を付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。

　一の態様において、式（３ｂ）で表される化合物において、ｃ’’／ｄ’’比は、０．２以上０．９未満である式（３ｂ）で表される１種またはそれ以上の化合物である。

　上記含フッ素オイルは、１，０００～３０，０００の平均分子量を有していてよい。これにより、高い表面滑り性を得ることができる。

　本発明の表面処理剤中、含フッ素オイルは、上記パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物の合計１００質量部（それぞれ、２種以上の場合にはこれらの合計、以下も同様）に対して、例えば０～５００質量部、好ましくは０～４００質量部、より好ましくは５～３００質量部で含まれ得る。

　一般式（３ａ）で示される化合物および一般式（３ｂ）で示される化合物は、それぞれ単独で用いても、組み合わせて用いてもよい。一般式（３ａ）で示される化合物よりも、一般式（３ｂ）で示される化合物を用いるほうが、より高い表面滑り性が得られるので好ましい。これらを組み合わせて用いる場合、一般式（３ａ）で表される化合物と、一般式（３ｂ）で表される化合物との質量比は、１：１～１：３０が好ましく、１：１～１：１０がより好ましい。かかる質量比によれば、表面滑り性と摩擦耐久性のバランスに優れた表面処理層を得ることができる。

　一の態様において、含フッ素オイルは、一般式（３ｂ）で表される１種またはそれ以上の化合物を含む。かかる態様において、表面処理剤中のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物の合計と、式（３ｂ）で表される化合物との質量比は、４：１～１：４であることが好ましい。

　好ましい態様において、真空蒸着法により表面処理層を形成する場合には、パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物の平均分子量よりも、含フッ素オイルの平均分子量を大きくしてもよい。このような平均分子量とすることにより、より優れた摩擦耐久性と表面滑り性を得ることができる。

　また、別の観点から、含フッ素オイルは、一般式Ｒｆ^３－Ｆ（式中、Ｒｆ^３はＣ_５－１６パーフルオロアルキル基である。）で表される化合物であってよい。また、クロロトリフルオロエチレンオリゴマーであってもよい。Ｒｆ^３－Ｆで表される化合物およびクロロトリフルオロエチレンオリゴマーは、末端がＣ_１－１６パーフルオロアルキル基である上記分子末端に炭素－炭素不飽和結合を有する含フッ素化合物で表される化合物と高い親和性が得られる点で好ましい。

　含フッ素オイルは、表面処理層の表面滑り性を向上させるのに寄与する。

　上記シリコーンオイルとしては、例えばシロキサン結合が２，０００以下の直鎖状または環状のシリコーンオイルを用い得る。直鎖状のシリコーンオイルは、いわゆるストレートシリコーンオイルおよび変性シリコーンオイルであってよい。ストレートシリコーンオイルとしては、ジメチルシリコーンオイル、メチルフェニルシリコーンオイル、メチルハイドロジェンシリコーンオイルが挙げられる。変性シリコーンオイルとしては、ストレートシリコーンオイルを、アルキル、アラルキル、ポリエーテル、高級脂肪酸エステル、フルオロアルキル、アミノ、エポキシ、カルボキシル、アルコールなどにより変性したものが挙げられる。環状のシリコーンオイルは、例えば環状ジメチルシロキサンオイルなどが挙げられる。

　本発明の表面処理剤中、かかるシリコーンオイルは、パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物の合計１００質量部（２種以上の場合にはこれらの合計、以下も同様）に対して、例えば０～３００質量部、好ましくは０～２００質量部で含まれ得る。

　シリコーンオイルは、表面処理層の表面滑り性を向上させるのに寄与する。

　上記触媒としては、酸（例えば酢酸、トリフルオロ酢酸等）、塩基（例えばアンモニア、トリエチルアミン、ジエチルアミン等）、遷移金属（例えばＴｉ、Ｎｉ、Ｓｎ等）等が挙げられる。

　触媒は、パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物の加水分解および脱水縮合を促進し、表面処理層の形成を促進する。

　本発明の表面処理剤は、多孔質物質、例えば多孔質のセラミック材料、金属繊維、例えばスチールウールを綿状に固めたものに含浸させて、ペレットとすることができる。当該ペレットは、例えば、真空蒸着に用いることができる。

　次に、本発明の物品について説明する。

　本発明の物品は、基材と、該基材の表面に本発明の表面処理剤より形成された層（表面処理層）とを含む。この物品は、例えば以下のようにして製造できる。

　まず、基材を準備する。本発明に使用可能な基材は、例えばガラス、サファイアガラス、樹脂（天然または合成樹脂、例えば一般的なプラスチック材料であってよく、板状、フィルム、その他の形態であってよい）、金属（アルミニウム、銅、鉄等の金属単体または合金等の複合体であってよい）、セラミックス、半導体（シリコン、ゲルマニウム等）、繊維（織物、不織布等）、毛皮、皮革、木材、陶磁器、石材等、建築部材等、任意の適切な材料で構成され得る。好ましくは、基材は、ガラスまたはサファイアガラスである。

　上記ガラスとしては、ソーダライムガラス、アルカリアルミノケイ酸塩ガラス、ホウ珪酸ガラス、無アルカリガラス、クリスタルガラス、石英ガラスが好ましく、化学強化したソーダライムガラス、化学強化したアルカリアルミノケイ酸塩ガラス、および化学結合したホウ珪酸ガラスが特に好ましい。
　樹脂としては、アクリル樹脂、ポリカーボネートが好ましい。

　例えば、製造すべき物品が光学部材である場合、基材の表面を構成する材料は、光学部材用材料、例えばガラスまたは透明プラスチックなどであってよい。また、製造すべき物品が光学部材である場合、基材の表面（最外層）に何らかの層（または膜）、例えばハードコート層や反射防止層などが形成されていてもよい。反射防止層には、単層反射防止層および多層反射防止層のいずれを使用してもよい。反射防止層に使用可能な無機物の例としては、ＳｉＯ_２、ＳｉＯ、ＺｒＯ_２、ＴｉＯ_２、ＴｉＯ、Ｔｉ_２Ｏ_３、Ｔｉ_２Ｏ_５、Ａｌ_２Ｏ_３、Ｔａ_２Ｏ_５、ＣｅＯ_２、ＭｇＯ、Ｙ_２Ｏ_３、ＳｎＯ_２、ＭｇＦ_２、ＷＯ_３などが挙げられる。これらの無機物は、単独で、またはこれらの２種以上を組み合わせて（例えば混合物として）使用してもよい。多層反射防止層とする場合、その最外層にはＳｉＯ_２および／またはＳｉＯを用いることが好ましい。製造すべき物品が、タッチパネル用の光学ガラス部品である場合、透明電極、例えば酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）や酸化インジウム亜鉛などを用いた薄膜を、基材（ガラス）の表面の一部に有していてもよい。また、基材は、その具体的仕様等に応じて、絶縁層、粘着層、保護層、装飾枠層（Ｉ－ＣＯＮ）、霧化膜層、ハードコーティング膜層、偏光フィルム、相位差フィルム、および液晶表示モジュールなどを有していてもよい。

　基材の形状は特に限定されない。また、表面処理層を形成すべき基材の表面領域は、基材表面の少なくとも一部であればよく、製造すべき物品の用途および具体的仕様等に応じて適宜決定され得る。

　かかる基材としては、少なくともその表面部分が、水酸基を元々有する材料から成るものであってよい。かかる材料としては、ガラスが挙げられ、また、表面に自然酸化膜または熱酸化膜が形成される金属（特に卑金属）、セラミックス、半導体等が挙げられる。あるいは、樹脂等のように、水酸基を有していても十分でない場合や、水酸基を元々有していない場合には、基材に何らかの前処理を施すことにより、基材の表面に水酸基を導入したり、増加させたりすることができる。かかる前処理の例としては、プラズマ処理（例えばコロナ放電）や、イオンビーム照射が挙げられる。プラズマ処理は、基材表面に水酸基を導入または増加させ得ると共に、基材表面を清浄化する（異物等を除去する）ためにも好適に利用され得る。また、かかる前処理の別の例としては、炭素－炭素不飽和結合基を有する界面吸着剤をＬＢ法（ラングミュア－ブロジェット法）や化学吸着法等によって、基材表面に予め単分子膜の形態で形成し、その後、酸素や窒素等を含む雰囲気下にて不飽和結合を開裂する方法が挙げられる。

　またあるいは、かかる基材としては、少なくともその表面部分が、別の反応性基、例えばＳｉ－Ｈ基を１つ以上有するシリコーン化合物や、アルコキシシランを含む材料から成るものであってもよい。

　次に、かかる基材の表面に、上記の本発明の表面処理剤の膜を形成し、この膜を必要に応じて後処理し、これにより、本発明の表面処理剤から表面処理層を形成する。

　本発明の表面処理剤の膜形成は、上記の表面処理剤を基材の表面に対して、該表面を被覆するように適用することによって実施できる。被覆方法は、特に限定されない。例えば、湿潤被覆法および乾燥被覆法を使用できる。

　湿潤被覆法の例としては、浸漬コーティング、スピンコーティング、フローコーティング、スプレーコーティング、ロールコーティング、グラビアコーティングおよび類似の方法が挙げられる。

　乾燥被覆法の例としては、蒸着（通常、真空蒸着）、スパッタリング、ＣＶＤおよび類似の方法が挙げられる。蒸着法（通常、真空蒸着法）の具体例としては、抵抗加熱、電子ビーム、マイクロ波等を用いた高周波加熱、イオンビームおよび類似の方法が挙げられる。ＣＶＤ方法の具体例としては、プラズマ－ＣＶＤ、光学ＣＶＤ、熱ＣＶＤおよび類似の方法が挙げられる。

　更に、常圧プラズマ法による被覆も可能である。

　湿潤被覆法を使用する場合、本発明の表面処理剤は、溶媒で希釈されてから基材表面に適用され得る。本発明の表面処理剤の安定性および溶媒の揮発性の観点から、次の溶媒が好ましく使用される：Ｃ_５－１２のパーフルオロ脂肪族炭化水素（例えば、パーフルオロヘキサン、パーフルオロメチルシクロヘキサンおよびパーフルオロ－１，３－ジメチルシクロヘキサン）；ポリフルオロ芳香族炭化水素（例えば、ビス（トリフルオロメチル）ベンゼン）；ポリフルオロ脂肪族炭化水素（例えば、Ｃ_６Ｆ_１３ＣＨ_２ＣＨ_３（例えば、旭硝子株式会社製のアサヒクリン（登録商標）ＡＣ－６０００）、１，１，２，２，３，３，４－ヘプタフルオロシクロペンタン（例えば、日本ゼオン株式会社製のゼオローラ（登録商標）Ｈ）；ハイドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）（例えば、１，１，１，３，３－ペンタフルオロブタン（ＨＦＣ－３６５ｍｆｃ））；ハイドロクロロフルオロカーボン（例えば、ＨＣＦＣ－２２５（アサヒクリン（登録商標）ＡＫ２２５））；ヒドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）（例えば、パーフルオロプロピルメチルエーテル（Ｃ_３Ｆ_７ＯＣＨ_３）（例えば、住友スリーエム株式会社製のＮｏｖｅｃ（商標名）７０００）、パーフルオロブチルメチルエーテル（Ｃ_４Ｆ_９ＯＣＨ_３）（例えば、住友スリーエム株式会社製のＮｏｖｅｃ（商標名）７１００）、パーフルオロブチルエチルエーテル（Ｃ_４Ｆ_９ＯＣ_２Ｈ_５）（例えば、住友スリーエム株式会社製のＮｏｖｅｃ（商標名）７２００）、パーフルオロヘキシルメチルエーテル（Ｃ_２Ｆ_５ＣＦ（ＯＣＨ_３）Ｃ_３Ｆ_７）（例えば、住友スリーエム株式会社製のＮｏｖｅｃ（商標名）７３００）などのアルキルパーフルオロアルキルエーテル（パーフルオロアルキル基およびアルキル基は直鎖または分枝状であってよい）、あるいはＣＦ_３ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦ_２（例えば、旭硝子株式会社製のアサヒクリン（登録商標）ＡＥ－３０００））、１，２－ジクロロ－１，３，３，３－テトラフルオロ－１－プロペン（例えば、三井・デュポンフロロケミカル社製のバートレル（登録商標）サイオン）など。これらの溶媒は、単独で、または、２種以上を組み合わせて混合物として用いることができる。さらに、例えば、パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物の溶解性を調整する等のために、別の溶媒と混合することもできる。

　乾燥被覆法を使用する場合、本発明の表面処理剤は、そのまま乾燥被覆法に付してもよく、または、上記した溶媒で希釈してから乾燥被覆法に付してもよい。

　膜形成は、膜中で本発明の表面処理剤が、加水分解および脱水縮合のための触媒と共に存在するように実施することが好ましい。簡便には、湿潤被覆法による場合、本発明の表面処理剤を溶媒で希釈した後、基材表面に適用する直前に、本発明の表面処理剤の希釈液に触媒を添加してよい。乾燥被覆法による場合には、触媒添加した本発明の表面処理剤をそのまま蒸着（通常、真空蒸着）処理するか、あるいは鉄や銅などの金属多孔体に、触媒添加した本発明の表面処理剤を含浸させたペレット状物質を用いて蒸着（通常、真空蒸着）処理をしてもよい。

　触媒には、任意の適切な酸または塩基を使用できる。酸触媒としては、例えば、酢酸、ギ酸、トリフルオロ酢酸などを使用できる。また、塩基触媒としては、例えばアンモニア、有機アミン類などを使用できる。

　次に、必要に応じて、膜を後処理する。この後処理は、特に限定されないが、例えば、水分供給および乾燥加熱を逐次的に実施するものであってよく、より詳細には、以下のようにして実施してよい。

　上記のようにして基材表面に本発明の表面処理剤を膜形成した後、この膜（以下、「前駆体膜」とも言う）に水分を供給する。水分の供給方法は、特に限定されず、例えば、前駆体膜（および基材）と周囲雰囲気との温度差による結露や、水蒸気（スチーム）の吹付けなどの方法を使用してよい。

　前駆体膜に水分が供給されると、本発明の表面処理剤中のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物のＳｉに結合した加水分解可能な基に水が作用し、当該化合物を速やかに加水分解させることができると考えられる。

　水分の供給は、例えば０～２５０℃、好ましくは６０℃以上、さらに好ましくは１００℃以上とし、好ましくは１８０℃以下、さらに好ましくは１５０℃以下の雰囲気下にて実施し得る。このような温度範囲において水分を供給することにより、加水分解を進行させることが可能である。このときの圧力は特に限定されないが、簡便には常圧とし得る。

　次に、該前駆体膜を該基材の表面で、６０℃を超える乾燥雰囲気下にて加熱する。乾燥加熱方法は、特に限定されず、前駆体膜を基材と共に、６０℃を超え、好ましくは１００℃を超える温度であって、例えば２５０℃以下、好ましくは１８０℃以下の温度で、かつ不飽和水蒸気圧の雰囲気下に配置すればよい。このときの圧力は特に限定されないが、簡便には常圧とし得る。

　このような雰囲気下では、本発明のＰＦＰＥ含有シラン化合物間では、加水分解後のＳｉに結合した基同士が速やかに脱水縮合する。また、かかる化合物と基材との間では、当該化合物の加水分解後のＳｉに結合した基と、基材表面に存在する反応性基との間で速やかに反応し、基材表面に存在する反応性基が水酸基である場合には脱水縮合する。その結果、パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物と基材との間で結合が形成される。

　上記の水分供給および乾燥加熱は、過熱水蒸気を用いることにより連続的に実施してもよい。

　過熱水蒸気は、飽和水蒸気を沸点より高い温度に加熱して得られるガスであって、常圧下では、１００℃を超え、一般的には５００℃以下、例えば３００℃以下の温度で、かつ、沸点を超える温度への加熱により不飽和水蒸気圧となったガスである。本発明では、パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物の分解を抑制する観点から、好ましくは、２５０℃以下、好ましくは１８０℃以下の過熱水蒸気が水分供給および乾燥加熱に用いられる。前駆体膜を形成した基材を過熱水蒸気に曝すと、まず、過熱水蒸気と、比較的低温の前駆体膜との間の温度差により、前駆体膜表面にて結露が生じ、これによって前駆体膜に水分が供給される。やがて、過熱水蒸気と前駆体膜との間の温度差が小さくなるにつれて、前駆体膜表面の水分は過熱水蒸気による乾燥雰囲気中で気化し、前駆体膜表面の水分量が次第に低下する。前駆体膜表面の水分量が低下している間、即ち、前駆体膜が乾燥雰囲気下にある間、基材の表面の前駆体膜は過熱水蒸気と接触することによって、この過熱水蒸気の温度（常圧下では１００℃を超える温度）に加熱されることとなる。従って、過熱水蒸気を用いれば、前駆体膜を形成した基材を過熱水蒸気に曝すだけで、水分供給と乾燥加熱とを連続的に実施することができる。

　以上のようにして後処理が実施され得る。かかる後処理は、摩擦耐久性を一層向上させるために実施され得るが、本発明の物品を製造するのに必須でないことに留意されたい。例えば、本発明の表面処理剤を基材表面に適用した後、そのまま静置しておくだけでもよい。

　上記のようにして、基材の表面に、本発明の表面処理剤の膜に由来する表面処理層が形成され、本発明の物品が製造される。これにより得られる表面処理層は、高い表面滑り性と高い摩擦耐久性の双方を有する。また、この表面処理層は、高い摩擦耐久性に加えて、使用する表面処理剤の組成にもよるが、撥水性、撥油性、防汚性（例えば指紋等の汚れの付着を防止する）、防水性（電子部品等への水の浸入を防止する）、表面滑り性（または潤滑性、例えば指紋等の汚れの拭き取り性や、指に対する優れた触感）などを有し得、機能性薄膜として好適に利用され得る。

　すなわち本発明はさらに、前記硬化物を最外層に有する光学材料にも関する。

　光学材料としては、後記に例示するようなディスプレイ等に関する光学材料のほか、多種多様な光学材料が好ましく挙げられる：例えば、陰極線管（ＣＲＴ；例、ＴＶ、パソコンモニター）、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、無機薄膜ＥＬドットマトリクスディスプレイ、背面投写型ディスプレイ、蛍光表示管（ＶＦＤ）、電界放出ディスプレイ（ＦＥＤ；ＦｉｅｌｄＥｍｉｓｓｉｏｎＤｉｓｐｌａｙ）などのディスプレイまたはそれらのディスプレイの保護板、またはそれらの表面に反射防止膜処理を施したもの。

　本発明によって得られる表面処理層を有する物品は、特に限定されるものではないが、光学部材であり得る。光学部材の例には、次のものが挙げられる：眼鏡などのレンズ；ＰＤＰ、ＬＣＤなどのディスプレイの前面保護板、反射防止板、偏光板、アンチグレア板；携帯電話、携帯情報端末などの機器のタッチパネルシート；ブルーレイ（Ｂｌｕ－ｒａｙ（登録商標））ディスク、ＤＶＤディスク、ＣＤ－Ｒ、ＭＯなどの光ディスクのディスク面；光ファイバーなど。

　また、本発明によって得られる表面処理層を有する物品は、医療機器または医療材料であってもよい。

　表面処理層の厚さは、特に限定されない。光学部材の場合、表面処理層の厚さは、１～５０ｎｍ、好ましくは１～３０ｎｍ、より好ましくは１～１５ｎｍの範囲であることが、光学性能、表面滑り性、摩擦耐久性および防汚性の点から好ましい。

　以上、本発明の表面処理剤を使用して得られる物品について詳述した。なお、本発明の表面処理剤の用途、使用方法ないし物品の製造方法などは、上記で例示したものに限定されない。

　本発明の表面処理剤について、以下の実施例を通じてより具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。なお、本実施例において、パーフルオロポリエーテルを構成する繰り返し単位（ＣＦ_２Ｏ）、（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）、（ＣＦ（ＣＦ_３）ＣＦ_２Ｏ）、（ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）、（ＣＦ_２ＣＦ（ＣＦ_３）Ｏ）および（ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）の存在順序は任意である。また、以下に示される化学式はすべて平均組成を示す。

・Ｅ／Ｍ比が０．８５であるパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物の合成

　合成例１（パーフルオロポリエーテル過酸化物の合成）
　１００Ｗ高圧水銀ランプを含有し、循環冷却ジャケットを備えた光合成用の円筒反応器に、パーフルオロヘキサン（２２００ｇ）を加え、－５５℃に冷却した後クロロジフルオロメタン（Ｒ２２）（１６００ｇ）を充填した。
　酸素を１２．２Ｌ／ｈで供給を開始、水銀ランプを点灯した。次いで、クロロトリフルオロエチレンを０．１Ｌ／ｈで、また同時にテトラフルオロエチレンを１０．２Ｌ／ｈで供給した。この供給は５時間の反応中常に一定で、温度も－５５℃で一定にした。
　５時間の反応後ランプを消灯し、原料供給を停止、クロロジフルオロメタンを蒸発させた。^１９Ｆ－ＮＭＲでの分析の結果Ｔ－（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_ｎ（ＣＦ_２Ｏ）_ｍ（ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＯ）_ｐ（ＣＦ_２ＯＯ）_ｑ－Ｔ（式中ＴはＯＣＦ_２Ｃｌ、ＯＣＦ_２ＣＦ_２Ｃｌ、ＯＣＦ_３、ＯＣＦ_２ＣＯＦ、またはＯＣＯＦである）であり、ｎ／ｍ比は０．７２に相当した。

　合成例２（パーフルオロポリエーテル過酸化物の熱処理）
　合成例１で得られた粗体を紫外線照射下、熱処理した後、溶媒等の低沸点物を除去し、オイル成分９１ｇを得た。

　合成例３（パーフルオロポリエーテル変性品の合成）
　撹拌機、滴下ロート、還流冷却器及び温度計を備えた１Ｌ４つ口フラスコ中にメタノール（２２ｍｌ）と酢酸（２０ｍｌ）、ヨウ化ナトリウム（２５ｇ）を加え、撹拌を開始した。Ｎｏｖｅｃ（商標）７２００（６２３ｇ）に溶解させた、合成例２の生成物（８０ｇ）の溶液を滴下ロートより滴下し、５０℃で３時間加熱撹拌を行うことで、ＣＨ_３ＯＣＯＣＦ_２Ｏ－（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_ｍ’－（ＣＦ_２Ｏ）_ｎ’－ＣＦ_２ＣＯ_２ＣＨ_３の構造を持つオイル成分６５ｇを得た。^１９Ｆ－ＮＭＲでの分析の結果、ｍ’／ｎ’比は０．８２に相当した。

　合成例４（分子量調整）
　上記合成例３で得られたＣＨ_３ＯＣＯＣＦ_２Ｏ－（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_ｍ’－（ＣＦ_２Ｏ）_ｎ’－ＣＦ_２ＣＯ_２ＣＨ_３の構造を有するオイル成分６５ｇをパーフルオロヘキサン（２００ｇ）に溶解させ、さらにシリカゲル（３０ｇ）を加えて撹拌した。セライト濾過を行った後、パーフルオロヘキサンで洗浄し、高分子量体を多く含む成分４５ｇを回収した。またＮｏｖｅｃ（商標）７２００／ＣＦ_３ＣＨ_２ＯＨ（１：１）で洗浄を行うことでシリカゲルに吸着した低分子量体を多く含む成分１８ｇを分離した。
　次いで上記操作で回収したオイル成分（４５ｇ）をパーフルオロヘキサン（１５０ｇ）に溶解させ、さらにシリカゲル（３０ｇ）を加えて撹拌した。セライト濾過を行った後、パーフルオロヘキサンで洗浄し、高分子量体を多く含む成分３０ｇを分離した。またＮｏｖｅｃ^（商標）７２００／ＣＦ_３ＣＨ_２ＯＨ（１：１）で洗浄を行うことでシリカゲルに吸着した低分子量体を多く含む成分１５ｇを得た。１９Ｆ－ＮＭＲでの分析の結果、ｍ’／ｎ’比は０．８５に相当した。

　合成例５（加水分解反応）
　撹拌機、温度センサーを備えたガラス製反応器（３００ｍｌ）に上記合成例４で得られたＣＨ_３ＯＣＯＣＦ_２Ｏ－（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_ｍ’－（ＣＦ_２Ｏ）_ｎ’－ＣＦ_２ＣＯ_２ＣＨ_３の構造を有するオイル成分（１５ｇ）とパーフルオロヘキサン（３０ｍｌ）、テトラヒドロフラン（３０ｍｌ）、１ｍｏｌ／ｌ水酸化カリウム水溶液（３３ｍｌ）を加え３時間撹拌を実施した。その後１Ｎ塩酸を３０ｍｌ加え３０分撹拌した。その後、下層分取し、溶媒を留去することでＨＯＯＣＣＦ_２Ｏ－（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_ｍ’－（ＣＦ_２Ｏ）_ｎ’－ＣＦ_２ＣＯＯＨ１３．５ｇを得た。

　合成例６（Ｆ化反応）
　撹拌機、還流冷却器、温度センサ―を備えたガラス製１００ｍｌ反応器に、上記合成例５で得られたＨＯＯＣＣＦ_２Ｏ－（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_ｍ’－（ＣＦ_２Ｏ）_ｎ’－ＣＦ_２ＣＯＯＨの構造を有するオイル成分１３．５ｇを加えた。
　反応器内温が６０℃になるよう加熱を行い、Ｆ_２ガス濃度が７．３ｖｏｌ％に調整したＦ_２／Ｎ_２混合ガスをを３０ｍｌ／ｍｉｎで２００分流通させ、（Ａ）ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_２２（ＣＦ_２Ｏ）_２６ＣＦ_２ＣＯＯＨ、（Ｂ）ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_２２（ＣＦ_２Ｏ）_２６ＣＦ_３、（Ｃ）ＨＣＯＯＣＣＦ_２Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_２２（ＣＦ_２Ｏ）_２６ＣＦ_２ＣＯＯＨの混合物を得た。

　合成例７（片末端カルボン酸）
　上記合成例６で得られた混合物（１３．４ｇ）をパーフルオロヘキサン（５０ｇ）に溶解させ、さらにシリカゲル（５０ｇ）を加えて３０分撹拌を実施した。シリカゲルを濾過し、パーフルオロヘキサン（２００ｍｌ）で洗浄し上記合成例６の生成物（Ｂ）ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_２２（ＣＦ_２Ｏ）_２６ＣＦ_３（１．９２ｇ）を得た。次いでＮｏｖｅｃ（商標）７２００／ＣＦ_３ＣＨ_２ＯＨ（５：１）の混合溶液（３００ｍｌ）で洗浄を行うことで片末端カルボン酸（Ａ）ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_２２（ＣＦ_２Ｏ）_２６ＣＦ_２ＣＯＯＨ（７．３５ｇ）を得た。

合成例８（アルコール体）
　還流冷却器、温度計および撹拌機を取り付けた５０ｍｌの４つ口フラスコに、平均組成ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_２２(ＣＦ_２Ｏ)_２６ＣＦ_２ＣＯＯＨ（ただし、混合物中には（ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）および／または（ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）の繰り返し単位を微量含む化合物も微量含まれ得る）で表されるパーフルオロポリエーテル変性カルボン酸体（７ｇ）、ビス（２－メトキシエチル）エーテル（７ｇ）、ＮａＢＨ_４（０．１８６ｇ）を仕込み、１１０℃で４８時間撹拌した。その後、５℃まで冷却し、パーフルオロヘキサン（９ｇ）加え、続いて３Ｎ塩酸（９ｇ）を滴下した。その後、不溶物をろ過し、分液ロートで下層のパーフルオロヘキサン相を分取した。続いて、揮発分を留去することにより、末端にアルコールを有する下記のパーフルオロポリエーテル基含有アルコール体（Ａ）（６．４４ｇ）を得た。
・パーフルオロポリエーテル基含有アルコール体（Ａ）：
　　ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_２２(ＣＦ_２Ｏ)_２６ＣＦ_２ＣＨ_２ＯＨ

　合成例９（アリルエーテル体）
　還流冷却器、温度計および撹拌機を取り付けた５０ｍｌの４つ口フラスコに、合成例８にて合成したパーフルオロポリエーテル変性アルコール体（Ａ）（６ｇ）、１，３－ビス（トリフルオロメチル）ベンゼン（４ｇ）およびＮａＯＨ（０．１６ｇ）を仕込み、６５℃で４時間撹拌した。続いて、アリルブロマイド（０．０４８ｇ）を加えた後、６５℃で６時間撹拌した。その後、室温まで冷却し、パーフルオロヘキサン（４ｇ）を加えて不溶物をろ過し、分液ロートで３Ｎ塩酸による洗浄操作を行った。続いて、揮発分を留去することにより、末端にアリル基を有する下記のパーフルオロポリエーテル基含有アリルオキシ体（Ｂ）（５．７ｇ）を得た。
・パーフルオロポリエーテル基含有アリルオキシ体（Ｂ）：
　ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_２２(ＣＦ_２Ｏ)_２６ＣＦ_２ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ＝ＣＨ_２

　合成例１０（トリクロロ体）
　還流冷却器、温度計および撹拌機を取り付けた３０ｍｌの４つ口フラスコに、合成例９にて合成したパーフルオロポリエーテル変性アリルオキシ体（Ｂ）（５ｇ）、１，３－ビス（トリフルオロメチル）ベンゼン（５ｇ）、トリアセトキシメチルシラン（０．０１５ｇ）およびトリクロロシラン（０．３４３ｇ）を仕込み、窒素気流下、５℃で３０分間撹拌した。続いて、１，３－ジビニル－１，１，３，３－テトラメチルジシロキサンのＰｔ錯体を２％含むキシレン溶液（０．０２５ｍｌ）を加えた後、６０℃まで昇温させ、この温度にて５時間撹拌した。その後、揮発分を留去することにより、末端にトリクロロシランを有する下記式のパーフルオロポリエーテル基含有トリクロロ体（Ｃ）（４．７５ｇ）を得た。
・パーフルオロポリエーテル基含有トリクロロ体（Ｃ）：
　　ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_２２(ＣＦ_２Ｏ)_２６ＣＦ_２ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＳｉＣｌ_３

　合成例１１（トリアリルシラン化合物）
　還流冷却器、温度計および撹拌機を取り付けた３０ｍｌの４つ口フラスコに、合成例１０にて合成した末端にトリクロロシランを有するパーフルオロポリエーテル基含有トリクロロ体（Ｃ）（４．５ｇ）および１，３－ビス（トリフルオロメチル）ベンゼン（５ｇ）を仕込み、窒素気流下、５℃で３０分間撹拌した。続いて、アリルマグネシウムブロマイドを０．９ｍｏｌ／Ｌ含むジエチルエーテル溶液（６．２２ｍｌ）を加えた後、室温まで昇温させ、この温度にて１０時間撹拌した。その後、５℃まで冷却し、メタノール（１．７８ｍｌ）を加えた後、室温まで昇温させて不溶物をろ過した。続いて、揮発分を留去した後、不揮発分をパーフルオロヘキサンで希釈し、分液ロートでメタノールによる洗浄操作を行った。続いて、揮発分を留去することにより、末端にアリル基を有する下記のパーフルオロポリエーテル基含有トリアリルシラン化合物（Ｄ）（４．７４ｇ）を得た。
・パーフルオロポリエーテル基含有トリアリルシラン化合物（Ｄ）：
　　ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_２２(ＣＦ_２Ｏ)_２６ＣＦ_２ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＣＨ_２ＣＨ＝ＣＨ_２）_３

　合成例１２（トリクロロシラン化合物）
　還流冷却器、温度計、撹拌機を取り付けた５００ｍＬの４つ口フラスコに、合成例１１にて合成した末端にアリル基を有するパーフルオロポリエーテル基含有トリアリルシラン化合物（Ｄ）（４．５ｇ）、１，３－ビス（トリフルオロメチル）ベンゼン（４．５ｇ）、トリアセトキシメチルシラン（０．０１５ｇ）およびトリクロロシラン（１．１３ｇ）を仕込み、窒素気流下、５℃で３０分間撹拌した。続いて、１，３－ジビニル－１，１，３，３－テトラメチルジシロキサンのＰｔ錯体を２％含むキシレン溶液（０．０４５ｍｌ）を加えた後、６０℃まで昇温させ、この温度にて５時間撹拌した。その後、揮発分を留去することにより、末端にトリクロロシランを有する下記のパーフルオロポリエーテル基含有トリクロロシラン化合物（Ｅ）（４．８７ｇ）を得た。
・パーフルオロポリエーテル基含有トリクロロシラン化合物（Ｅ）：
　　ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_２２(ＣＦ_２Ｏ)_２６ＣＦ_２ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＳｉＣｌ_３）_３

　合成例１３（トリメトキシシラン化合物）
　還流冷却器、温度計、撹拌機を取り付けた３０ｍｌの４つ口フラスコに、合成例１２にて合成した末端にトリクロロシランを有するパーフルオロポリエーテル基含有クロロシラン化合物（Ｅ）（４．５ｇ）トリ１，３－ビス（トリフルオロメチル）ベンゼン（５ｇ）を加え、窒素気流下、５０℃で３０分間撹拌した。続いて、メタノール（０．２１ｇ）とオルソギ酸トリメチル（９．９６ｇ）の混合溶液を加えた後、５５℃まで昇温させ、この温度にて３時間撹拌した。その後、揮発分を留去することにより、末端にトリメトキシシリル基を有する下記のパーフルオロポリエーテル基含有トリメトキシシラン化合物（Ｆ）（４．４９ｇ）を得た。
・パーフルオロポリエーテル基含有トリメトキシシラン化合物（Ｆ）：
　　ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_２２(ＣＦ_２Ｏ)_２６ＣＦ_２ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_３）_３

・Ｅ／Ｍ比が０．６であるパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物の合成

　合成例１４（パーフルオロポリエーテル過酸化物の合成）
　酸素を８．６Ｌ／ｈ、クロロトリフルオロエチレンを０．０８４Ｌ／ｈ、テトラフルオロエチレンを７．２Ｌ／ｈで供給した以外は合成例１と同様に操作し、４００Ｗ高圧水銀ランプを含有し、循環冷却ジャケットを備えた光合成用の円筒反応器にパーフルオロヘキサン（１１００ｇ）を加え、－４０℃に冷却した後クロロジフルオロメタン（Ｒ２２）（２５００ｇ）を充填した。
　酸素を２４．５Ｌ／ｈで供給を開始、水銀ランプを点灯した。次いで、クロロトリフルオロエチレンを０．２Ｌ／ｈで、また同時にテトラフルオロエチレンを２０．４Ｌ／ｈで供給した。この供給は５時間の反応中常に一定で、温度も－４０℃で一定にした。
　４時間の反応後ランプを消灯し、ガス供給を停止、クロロジフルオロメタンを蒸発させた。^１９Ｆ－ＮＭＲでの分析の結果Ｔ－（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_ｎ（ＣＦ_２Ｏ）_ｍ（ＣＦ_２ＣＦ_２ＯＯ）_ｐ（ＣＦ_２ＯＯ）_ｑ－Ｔ（式中ＴはＯＣＦ_２Ｃｌ，ＯＣＦ_２ＣＦ_２Ｃｌ，ＯＣＦ_３，ＯＣＦ_２ＣＯＦ，ＯＣＯＦである）であり、ｎ／ｍ比は０．５７に相当した。

　合成例１５（パーフルオロポリエーテル過酸化物の熱処理）
　合成例１４で得られた化合物を使用した以外は、合成例２と同様に操作し、オイル成分（９０ｇ）を得た。

　合成例１６（パーフルオロポリエーテル変性品の合成）
　合成例１５で得られた化合物８０ｇを使用した以外は合成例３と同様に操作し、ＣＨ_３ＯＣＯＣＦ_２－（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_ｍ’－（ＣＦ_２Ｏ）_ｎ’－ＣＦ_２ＯＣＯ_２ＣＨ_３の構造を持つオイル成分６０ｇを得た。１９Ｆ－ＮＭＲｄｅｎｏ分析の結果、ｍ’／ｎ’比は０．６０に相当した。

　合成例１７（分子量調整）
　上記合成例１６で得られたＣＨ_３ＯＣＯＣＦ_２Ｏ－（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_ｍ’－（ＣＦ_２Ｏ）_ｎ’－ＣＦ_２ＣＯ_２ＣＨ_３の構造を有するオイル成分（５５ｇ）をパーフルオロヘキサン（２００ｇ）に溶解させ、さらにシリカゲル（２７ｇ）を加えて撹拌した。セライト濾過を行った後、パーフルオロヘキサンで洗浄し、高分子量体を多く含む成分３８ｇを回収した。またＮｏｖｅｃ（商標）７２００／ＣＦ_３ＣＨ_２ＯＨ（１：１）で洗浄を行うことでシリカゲルに吸着した低分子量体を多く含む成分１５ｇを分離した。
　次いで、上記操作で回収したオイル成分（３８ｇ）をパーフルオロヘキサン（１５０ｇ）に溶解させ、さらにシリカゲル（２０ｇ）を加えて撹拌した。セライト濾過を行った後、パーフルオロヘキサンで洗浄し、高分子量体を多く含む成分２２ｇを分離した。またＮｏｖｅｃ（商標）７２００／ＣＦ_３ＣＨ_２ＯＨ（１：１）で洗浄を行うことでシリカゲルに吸着した低分子量体を多く含む成分１４ｇを得た。１９Ｆ－ＮＭＲでの測定の結果、ｍ’／ｎ’比は０．６０に相当した。

　合成例１８（加水分解反応）
　合成例１７で得られた化合物１４ｇを使用した以外は合成例５と同様に操作し、ＨＯＯＣＯＣＦ_２Ｏ－（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_ｍ’－（ＣＦ_２Ｏ）_ｎ’－ＣＦ_２ＣＯＯＨの構造を有するオイル成分１２．７ｇを得た。

　合成例１９（Ｆ化反応）
　合成例１８で得られた化合物１２ｇを使用した以外は、合成例６と同様に操作し、（Ａ）ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_１９（ＣＦ_２Ｏ）_３１ＣＦ_２ＣＯＯＨ、（Ｂ）ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_１９（ＣＦ_２Ｏ）_３１ＣＦ_３、（Ｃ）ＨＣＯＯＣＣＦ_２Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_１９（ＣＦ_２Ｏ）_３１ＣＦ_２ＣＯＯＨの混合物を得た。

　合成例２０（片末端カルボン酸分離）
　上記合成例１９で得られた混合物（１２ｇ）をパーフルオロヘキサン（５０ｇ）に溶解させ、さらにシリカゲル（５０ｇ）を加えて３０分撹拌を実施した。その後セライト濾過を実施し、２００ｍｌのパーフルオロヘキサンで洗浄を行うことで上記生成物（Ｂ）ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_１９（ＣＦ_２Ｏ）_３１ＣＦ_３（２．１ｇ）を得た。次いでＮｏｖｅｃ（商標）７２００／ＣＦ_３ＣＨ_２ＯＨ（５：１）の混合溶液（２５０ｍｌ）で洗浄を行うことで片末端カルボン酸（Ａ）ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_１９（ＣＦ_２Ｏ）_３１ＣＦ_２ＣＯＯＨ（７．１ｇ）を得た。

　合成例２１（アルコール体）
　還流冷却器、温度計および撹拌機を取り付けた５０ｍｌの４つ口フラスコに、平均組成ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_１８(ＣＦ_２Ｏ)_３０ＣＦ_２ＣＯＯＨ（ただし、混合物中には（ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）および／または（ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）の繰り返し単位を微量含む化合物も微量含まれ得る）で表されるパーフルオロポリエーテル変性カルボン酸体（７ｇ）、ビス（２－メトキシエチル）エーテル（７ｇ）およびＮａＢＨ_４（０．１８７ｇ）を仕込み、１１０℃で４８時間撹拌した。その後、５℃まで冷却し、パーフルオロヘキサン（９．５ｇ）を加え、続いて３Ｎ塩酸（９．５ｇ）を滴下した。その後、不溶物をろ過し、分液ロートで下層のパーフルオロヘキサン相を分取した。続いて、揮発分を留去することにより、末端にアルコールを有する下記のパーフルオロポリエーテル基含有アルコール体（Ａ）（６．５２ｇ）を得た。
・パーフルオロポリエーテル基含有アルコール体（Ｇ）：
　　ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_１８(ＣＦ_２Ｏ)_３０ＣＦ_２ＣＨ_２ＯＨ

　合成例２２（アリルエーテル体）
　還流冷却器、温度計および撹拌機を取り付けた５０ｍｌの４つ口フラスコに、合成例２１にて合成したパーフルオロポリエーテル変性アルコール体（Ｇ）（６．５ｇ）、１，３－ビス（トリフルオロメチル）ベンゼン（７ｇ）およびＮａＯＨ（０．１７３ｇ）を仕込み、６５℃で４時間撹拌した。続いて、アリルブロマイド（０．５２ｇ）を加えた後、６５℃で６時間撹拌した。その後、室温まで冷却し、パーフルオロヘキサン（７ｇ）加えて不溶物をろ過し、分液ロートで３Ｎ塩酸による洗浄操作を行った。続いて、揮発分を留去することにより、末端にアリル基を有する下記のパーフルオロポリエーテル基含有アリルオキシ体（Ｈ）（６．１７ｇ）を得た。
・パーフルオロポリエーテル基含有アリルオキシ体（Ｈ）：
　ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_１８(ＣＦ_２Ｏ)_３０ＣＦ_２ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ＝ＣＨ_２

　合成例２３（トリクロロ体）
　還流冷却器、温度計および撹拌機を取り付けた３０ｍＬの４つ口フラスコに、合成例２２にて合成したパーフルオロポリエーテル変性アリルオキシ体（Ｈ）（６ｇ）、１，３－ビス（トリフルオロメチル）ベンゼン（６ｇ）、トリアセトキシメチルシラン（０．０１８ｇ）およびトリクロロシラン（０．４１ｇ）を仕込み、窒素気流下、５℃で３０分間撹拌した。続いて、１，３－ジビニル－１，１，３，３－テトラメチルジシロキサンのＰｔ錯体を２％含むキシレン溶液（０．０２８ｍｌ）を加えた後、６０℃まで昇温させ、この温度にて５時間撹拌した。その後、揮発分を留去することにより、末端にトリクロロシランを有する下記式のパーフルオロポリエーテル基含有トリクロロ体（Ｉ）５．７ｇを得た。
・パーフルオロポリエーテル基含有トリクロロ体（Ｉ）：
　　ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_１８(ＣＦ_２Ｏ)_３０ＣＦ_２ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＳｉＣｌ_３

　合成例２４（トリアリルシラン化合物）
　還流冷却器、温度計および撹拌機を取り付けた３０ｍｌの４つ口フラスコに、合成例２３にて合成した末端にトリクロロシランを有するパーフルオロポリエーテル基含有トリクロロ体（Ｉ）（５ｇ）および１，３－ビス（トリフルオロメチル）ベンゼン（５ｇ）を仕込み、窒素気流下、５℃で３０分間撹拌した。続いて、アリルマグネシウムブロマイドを０．９ｍｏｌ／Ｌ含むジエチルエーテル溶液（６．９１ｍｌ）を加えた後、室温まで昇温させ、この温度にて１０時間撹拌した。その後、５℃まで冷却し、メタノール（２ｍｌ）を加えた後、室温まで昇温させて不溶物をろ過した。続いて、揮発分を留去した後、不揮発分をパーフルオロヘキサンで希釈し、分液ロートでメタノールによる洗浄操作を行った。続いて、揮発分を留去することにより、末端にアリル基を有する下記のパーフルオロポリエーテル基含有トリアリルシラン化合物（Ｊ）（５．２６ｇ）を得た。
・パーフルオロポリエーテル基含有トリアリルシラン化合物（Ｊ）：
　　ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_１８(ＣＦ_２Ｏ)_３０ＣＦ_２ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＣＨ_２ＣＨ＝ＣＨ_２）_３

　合成例２５（クロロシラン化合物）
　還流冷却器、温度計、撹拌機を取り付けた３０ｍｌの４つ口フラスコに、合成例２４にて合成した末端にアリル基を有するパーフルオロポリエーテル基含有アリル体（Ｊ）（５ｇ）、１，３－ビス（トリフルオロメチル）ベンゼン（５ｇ）、トリアセトキシメチルシラン（０．０１６ｇ）およびトリクロロシラン（１．２５ｇ）を仕込み、窒素気流下、５℃で３０分間撹拌した。続いて、１，３－ジビニル－１，１，３，３－テトラメチルジシロキサンのＰｔ錯体を２％含むキシレン溶液（０．０５ｍｌ）を加えた後、６０℃まで昇温させ、この温度にて５時間撹拌した。その後、揮発分を留去することにより、末端にトリクロロシランを有する下記のパーフルオロポリエーテル基含有トリクロロシラン化合物（Ｋ）（５．４ｇ）を得た。
・パーフルオロポリエーテル基含有クロロシラン化合物（Ｋ）：
　　ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_１８(ＣＦ_２Ｏ)_３０ＣＦ_２ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＳｉＣｌ_３）_３

　合成例２６（トリメトキシシラン化合物）
　還流冷却器、温度計、撹拌機を取り付けた３０ｍｌの４つ口フラスコに、合成例２５にて合成した末端にトリクロロシランを有するパーフルオロポリエーテル基含有トリクロロシラン化合物（Ｋ）（５ｇ）および１，３－ビス（トリフルオロメチル）ベンゼン（５ｇ）を加え、窒素気流下、５０℃で３０分間撹拌した。続いて、メタノール（０．２３ｇ）とオルソギ酸トリメチル（１１．１ｇ）の混合溶液を加えた後、５５℃まで昇温させ、この温度にて３時間撹拌した。その後、揮発分を留去することにより、末端にトリメトキシシリル基を有する下記のパーフルオロポリエーテル基含有トリメトキシシラン化合物（Ｌ）（５ｇ）を得た。
・パーフルオロポリエーテル基含有トリメトキシシラン化合物（Ｌ）：
　　ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_１８(ＣＦ_２Ｏ)_３０ＣＦ_２ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_３）_３

　実施例１
　上記合成例１３で得た化合物（Ｆ）を、濃度２０ｗｔ％になるように、ハイドロフルオロエーテル（スリーエム社製、ノベックＨＦＥ７２００）に溶解させて、表面処理剤１を調製した。
　上記で調製した表面処理剤１を化学強化ガラス（コーニング社製、「ゴリラ」ガラス、厚さ０．７ｍｍ）上に真空蒸着した。真空蒸着の処理条件は、圧力３．０×１０^－３Ｐａとし、まず、電子線蒸着方式により二酸化ケイ素を７ｎｍの厚さで、この化学強化ガラスの表面に蒸着させて続いて、化学強化ガラス１枚（５５ｍｍ×１００ｍｍ）あたり、表面処理剤２ｍｇ（即ち、化合物（Ｆ）を０．４ｍｇ含有）を蒸着させた。その後、蒸着膜付き化学強化ガラスを加熱し、表面処理層が形成された。

　実施例２
　化合物（Ｆ）に代えて、上記合成例２６で得た化合物（Ｌ）を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、表面処理剤を調製し、表面処理層を形成した。

　比較例１および２
　化合物（Ｆ）に代えて、それぞれ、下記対照化合物１および２を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、表面処理剤を調製し、表面処理層を形成した。

・対照化合物１
　ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_２０(ＣＦ_２Ｏ)_１５ＣＦ_２ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（（ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_３）_３
・対照化合物２
　ＣＦ_３Ｏ（ＣＦ_２ＣＦ_２Ｏ）_１５(ＣＦ_２Ｏ)_１６ＣＦ_２ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（（ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_３）_３

　試験例１
・表面滑り性評価（動摩擦係数の測定）
　上記の実施例１、２および比較例１、２にて基材表面に形成された表面処理層について、動摩擦係数を測定した。具体的には、表面性測定機（Ｌａｂｔｈｉｎｋ社製　ＦＰＴ－１）を用いて、摩擦子として紙を使用し、ＡＳＴＭ　Ｄ４９１７に準拠し、動摩擦係数（－）を測定した。具体的には、表面処理層を形成した機材を水平配置し、摩擦紙（２ｃｍ×２ｃｍ）を表面処理層の露出上面に接触させ、その上に２００ｇｆの荷重を付与し、その後、荷重を加えた状況で摩擦紙を５００ｍｍ／秒の速度で平衡移動させて動摩擦係数を測定した。それぞれ４つの試料を測定した。結果を表１に示す。

　試験例２
・摩擦耐久性評価
　上記の実施例１、２および比較例１、２にて基材表面に形成された表面処理層について、消しゴム摩擦耐久試験により、摩擦耐久性を評価した。具体的には、表面処理層を形成したサンプル物品を水平配置し、消しゴム（コクヨ株式会社製、ＫＥＳＨＩ－７０、平面寸法１ｃｍ×１．６ｃｍ）を表面処理層の表面に接触させ、その上に５００ｇｆの荷重を付与し、その後、荷重を加えた状態で消しゴムを２０ｍｍ／秒の速度で往復させた。往復回数１０００回毎に水の静的接触角（度）を測定した。接触角の測定値が１００度未満となった時点で評価を中止した。結果を、表２に示す。

　表１、２の結果から理解されるように、ＥＭ比が本発明の範囲内である本発明のパーフルオロポリエーテル基含有シラン化合物を用いた表面処理剤（実施例１および２）は、優れた表面滑り性（小さい動摩擦係数）に加え、優れた摩擦耐久性を示すことが確認された。一方、ＥＭ比が９．０よりも大きな従来のパーフルオロポリエーテル基含有シラン化合物を用いた表面処理剤（比較例１）は、上記本発明の表面処理剤と比較すると、表面滑り性、摩擦耐久性ともに劣っていた。これは、本発明は従来品に比べ、パーフルオロポリエーテル鎖のメチルオキシ鎖の含有比率が大きくなり、より表面の滑り性が向上するため、摩擦耐久性が向上したと考えられる。

　本発明は、種々多様な基材、特に透過性が求められる光学部材の表面に、表面処理層を形成するために好適に利用され得る。

Claims

　下記式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）および（Ｃ２）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、各出現においてそれぞれ独立して、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－を表し、ここに、ａおよびｂは、それぞれ独立して、０以上３０以下の整数であり、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、１以上２００以下の整数であり、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は、３以上の整数であり、ｃ／ｄ比が、０．２以上０．９未満であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｒ^１は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または炭素数１～２２のアルキル基を表し；
　Ｒ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^１１は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子またはハロゲン原子を表し；
　Ｒ^１２は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｎは、（－ＳｉＲ^１ _ｎＲ^２ _３－ｎ）単位毎に独立して、０～３の整数であり；
　ただし、式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）および（Ｂ２）において、少なくとも１つのＲ^２が存在し；
　Ｘ^１は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　Ｘ^２は、各出現においてそれぞれ独立して、単結合または２価の有機基を表し；
　ｔは、各出現においてそれぞれ独立して、１～１０の整数であり；
　αは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　α’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｘ^５は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　βは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　β’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｘ^７は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　γは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　γ’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｒ^ａは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｚ－ＳｉＲ^７１ _ｐＲ^７２ _ｑＲ^７３ _ｒを表し；
　Ｚは、各出現においてそれぞれ独立して、酸素原子または２価の有機基を表し；
　Ｒ^７１は、各出現においてそれぞれ独立して、Ｒ^ａ’を表し；
　Ｒ^ａ’は、Ｒ^ａと同意義であり；
　Ｒ^ａ中、Ｚ基を介して直鎖状に連結されるＳｉは最大で５個であり；
　Ｒ^７２は、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^７３は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｐは、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｑは、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ｒは、各出現においてそれぞれ独立して、０～３の整数であり；
　ただし、一のＲ^ａにおいて、ｐ、ｑおよびｒの和は３であり、式（Ｃ１）および（Ｃ２）において、少なくとも１つのＲ^７２が存在し；
　Ｒ^ｂは、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^ｃは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｋは、各出現においてそれぞれ独立して、１～３の整数であり；
　ｌは、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ｍは、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ただし、γを付して括弧でくくられた単位において、ｋ、ｌおよびｍの和は３である。］
のいずれかで表されるパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物。
　ｃ／ｄ比が、０．２以上０．８５以下である、請求項１に記載のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物。
　ｃ／ｄ比が、０．３以上０．６以下である、請求項１または２に記載のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物。
　ＰＦＰＥにおいて：
　－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－が、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ａ－であり、
　－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－が、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ｂ－であり、
　－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－が、－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）_ｃ－である、
請求項１～３のいずれかに記載のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物。
　Ｒｆが、炭素数１～１６のパーフルオロアルキル基である、請求項１～４のいずれかに記載のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物。
　Ｘ^１、Ｘ^５およびＸ^７が、それぞれ独立して、２～４価の有機基であり、α、βおよびγが、それぞれ独立して、１～３であり、α’、β’およびγ’が１である、請求項１～５のいずれかに記載のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物。
　Ｘ^１、Ｘ^５およびＸ^７が２価の有機基であり、α、βおよびγが１であり、α’、β’およびγ’が１である、請求項１～６のいずれかに記載のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物。
　Ｘ^１、Ｘ^５およびＸ^７が、それぞれ独立して、－（Ｒ^３１）_ｐ’－（Ｘ^ａ）_ｑ’－
［式中：
　Ｒ^３１は、単結合、－（ＣＨ_２）_ｓ’－（式中、ｓ’は、１～２０の整数である）またはｏ－、ｍ－もしくはｐ－フェニレン基を表し；
　Ｘ^ａは、－（Ｘ^ｂ）_ｌ’－（式中、ｌ’は、１～１０の整数である）を表し；
　Ｘ^ｂは、各出現においてそれぞれ独立して、－Ｏ－、－Ｓ－、ｏ－、ｍ－もしくはｐ－フェニレン基、－Ｃ（Ｏ）Ｏ－、－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－、－（Ｓｉ（Ｒ^３３）_２Ｏ）_ｍ’－Ｓｉ（Ｒ^３３）_２－（式中、ｍ’は１～１００の整数である）、－ＣＯＮＲ^３４－、－Ｏ－ＣＯＮＲ^３４－、－ＮＲ^３４－および－（ＣＨ_２）_ｎ’－（式中、ｎ’は１～２０の整数である）からなる群から選択される基を表し；
　Ｒ^３３は、各出現においてそれぞれ独立して、フェニル基、Ｃ_１－６アルキル基またはＣ_１－６アルコキシ基を表し；
　Ｒ^３４は、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子、フェニル基またはＣ_１－６アルキル基を表し；
　ｐ’は、０または１であり；
　ｑ’は、０または１であり；
　ここに、ｐ’およびｑ’を付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は式中において任意であり；
　Ｒ^３１およびＸ^ａは、フッ素原子、Ｃ_１－３アルキル基およびＣ_１－３フルオロアルキル基から選択される１個またはそれ以上の置換基により置換されていてもよい。］
で表される基である、請求項１～７のいずれかに記載のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物。
　Ｘ^１、Ｘ^５およびＸ^７が、それぞれ独立して：
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_１０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２（ＣＨ_２）_７ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＯＣＨ_２ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_４－、
－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_３－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_６－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_２ＮＨ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６ＮＨ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２Ｏ－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_６－、
－Ｓ－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_２Ｓ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２ＯＳｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）₂Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_１０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ（Ｓｉ（ＣＨ_３）_２Ｏ）_２０Ｓｉ（ＣＨ_３）_２（ＣＨ_２）_２－
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－（ＣＨ_２）_３－、
－Ｃ（Ｏ）Ｏ－（ＣＨ_２）_６－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－ＣＨ（ＣＨ_３）－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_３－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－（ＣＨ_２）_２－Ｓｉ（ＣＨ_３）_２－ＣＨ（ＣＨ_３）－ＣＨ_２－、

からなる群から選択される、請求項１～８のいずれかに記載のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物。
　Ｘ^１が、－Ｏ－ＣＦＲ^１３－（ＣＦ_２）_ｅ－であり、
　Ｒ^１３が、フッ素原子または低級フルオロアルキル基を表し、
　ｅが、０または１である、
請求項１～８のいずれかに記載のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物。
　Ｘ^２が、－（ＣＨ_２）_ｓ－であり、ｓが、０～２の整数である、請求項１～１０のいずれかに記載のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物。
　式（Ｃ１）および（Ｃ２）において、ｋが３であり、Ｒ^ａ中、ｑが３である、請求項１～１１のいずれかに記載のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物。
　Ｘ^１、Ｘ^５およびＸ^７が、それぞれ独立して、３～１０価の有機基である、請求項１～５のいずれかに記載のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物。
　Ｘ^１、Ｘ^５およびＸ^７が、それぞれ独立して：

［式中、各基において、Ｔのうち少なくとも１つは、式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）および（Ｃ２）においてＰＦＰＥに結合する以下の基：
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_２－、
－ＣＨ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＦ_２Ｏ（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）_２－、
－（ＣＨ_２）_３－、
－（ＣＨ_２）₄－、
－ＣＯＮＨ－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（ＣＨ_３）－（ＣＨ_２）_３－、
－ＣＯＮ（Ｐｈ）－（ＣＨ_２）_３－（式中、Ｐｈはフェニルを意味する）、および

であり、
　別のＴのうち少なくとも１つは、式（Ａ１）、（Ａ２）、（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｃ１）および（Ｃ２）において炭素原子またはＳｉ原子に結合する－（ＣＨ_２）_ｎ－（ｎは２～６の整数）であり、残りは、それぞれ独立して、メチル基、フェニル基または炭素数１～６のアルコキシ基であり、
　Ｒ^４１は水素原子、フェニル基、炭素数１～６のアルコキシ基または炭素数１～６のアルキル基であり、
　Ｒ^４２は水素原子、またはＣ_１－６のアルキル基を表す。］
からなる群から選択される、請求項１～５のいずれかに記載のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物。
　式（Ｂ１－４）、（Ｂ２－４）、（Ｃ１－４）および（Ｃ２－４）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、各出現においてそれぞれ独立して、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－を表し、ここに、ａおよびｂは、それぞれ独立して、０以上３０以下の整数であり、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、１以上２００以下の整数であり、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は、３以上の整数であり、ｃ／ｄ比が、０．２以上０．９未満であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｘ^５’は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　βは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　β’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｘ^７’は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　γは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　γ’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｒ^８２は、単結合または２価の有機基である。］
のいずれかで表される化合物。
　式（Ｃ１－５）および（Ｃ２－５）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、各出現においてそれぞれ独立して、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－を表し、ここに、ａおよびｂは、それぞれ独立して、０以上３０以下の整数であり、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、１以上２００以下の整数であり、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は、３以上の整数であり、ｃ／ｄ比が、０．２以上０．９未満であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｘ^７’は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　γは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　γ’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｒ^８２は、単結合または２価の有機基であり；
　Ｒ^８３は、ハロゲン原子であり；
　Ｒ^ｂは、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^ｃは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｋは、各出現においてそれぞれ独立して、１～３の整数であり；
　ｌは、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ｍは、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ただし、γを付して括弧でくくられた単位において、ｋ、ｌおよびｍの和は３である。］
のいずれかで表される化合物。
　式（Ｃ１－６）および（Ｃ２－６）：

［式中：
　ＰＦＰＥは、各出現においてそれぞれ独立して、－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ－（ＯＣＦ_２）_ｄ－を表し、ここに、ａおよびｂは、それぞれ独立して、０以上３０以下の整数であり、ｃおよびｄは、それぞれ独立して、１以上２００以下の整数であり、ａ、ｂ、ｃおよびｄの和は、３以上の整数であり、ｃ／ｄ比が、０．２以上０．９未満であり、添字ａ、ｂ、ｃまたはｄを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意であり；
　Ｒｆは、各出現においてそれぞれ独立して、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｘ^７’は、それぞれ独立して、単結合または２～１０価の有機基を表し；
　γは、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　γ’は、それぞれ独立して、１～９の整数であり；
　Ｒ^８２は、単結合または２価の有機基であり；
　Ｒ^８４は、単結合または２価の有機基であり；
　Ｒ^ｂは、各出現においてそれぞれ独立して、水酸基または加水分解可能な基を表し；
　Ｒ^ｃは、各出現においてそれぞれ独立して、水素原子または低級アルキル基を表し；
　ｋは、各出現においてそれぞれ独立して、１～３の整数であり；
　ｌは、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ｍは、各出現においてそれぞれ独立して、０～２の整数であり；
　ただし、γを付して括弧でくくられた単位において、ｋ、ｌおよびｍの和は３である。］
のいずれかで表される化合物。
　ｋが３である、請求項１６または１７に記載の化合物。
　Ｘ^５’およびＸ^７’が２価の有機基であり、βおよびγが１であり、β’およびγ’が１である、請求項１５～１８のいずれかに記載の化合物。
　請求項１５～１９のいずれかに記載の化合物と、含フッ素オイルおよび／または溶媒とを含んで成る混合物。
　含フッ素オイルが、式（３）：
Ｒ^２１－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ’－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ’－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ’－（ＯＣＦ_２）_ｄ’－Ｒ^２２
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　・・・（３）
［式中：
　Ｒ^２１は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｒ^２２は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基、フッ素原子または水素原子を表し；
　ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’は、ポリマーの主骨格を構成するパーフルオロ（ポリ）エーテルの４種の繰り返し単位数をそれぞれ表わし、互いに独立して０以上３００以下の整数であって、ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’の和は少なくとも１であり、添字ａ’、ｂ’、ｃ’またはｄ’を付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。］
で表される１種またはそれ以上の化合物である、請求項２０に記載の混合物。
　含フッ素オイルが、式（３ａ）または（３ｂ）：
　Ｒ^２１－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ｂ’’－Ｒ^２２
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　・・・（３ａ）
　Ｒ^２１－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ａ’’－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ｂ’’－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）_ｃ’’－（ＯＣＦ_２）_ｄ’’－Ｒ^２２
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　・・・（３ｂ）
［式中：
　Ｒ^２１は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｒ^２２は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基、フッ素原子または水素原子を表し；
　式（３ａ）において、ｂ’’は１以上１００以下の整数であり；
　式（３ｂ）において、ａ’’およびｂ’’は、それぞれ独立して０以上３０以下の整数であり、ｃ’’およびｄ’’は、それぞれ独立して１以上３００以下の整数であり；
　添字ａ’’、ｂ’’、ｃ’’またはｄ’’を付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。］
で表される１種またはそれ以上の化合物である、請求項２０または２１に記載の混合物。
　請求項１～１４のいずれかに記載のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物および／または請求項１５～１９のいずれかに記載の化合物を含有する、表面処理剤。
　パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物が、式（Ａ１）および（Ａ２）のいずれかで表される少なくとも１種の化合物である、請求項２３に記載の表面処理剤。
　パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物が、式（Ｂ１）および（Ｂ２）のいずれかで表される少なくとも１種の化合物である、請求項２３に記載の表面処理剤。
　パーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物が、式（Ｃ１）および（Ｃ２）のいずれかで表される少なくとも１種の化合物である、請求項２３に記載の表面処理剤。
　含フッ素オイル、シリコーンオイル、および触媒から選択される１種またはそれ以上の他の成分をさらに含有する、請求項２３～２６のいずれかに記載の表面処理剤。
　含フッ素オイルが、式（３）：
Ｒ^２１－（ＯＣ_４Ｆ_８）_ａ’－（ＯＣ_３Ｆ_６）_ｂ’－（ＯＣ_２Ｆ_４）_ｃ’－（ＯＣＦ_２）_ｄ’－Ｒ^２２
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　・・・（３）
［式中：
　Ｒ^２１は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｒ^２２は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基、フッ素原子または水素原子を表し；
　ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’は、ポリマーの主骨格を構成するパーフルオロ（ポリ）エーテルの４種の繰り返し単位数をそれぞれ表わし、互いに独立して０以上３００以下の整数であって、ａ’、ｂ’、ｃ’およびｄ’の和は少なくとも１であり、添字ａ’、ｂ’、ｃ’またはｄ’を付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。］
で表される１種またはそれ以上の化合物である、請求項２７に記載の表面処理剤。
　含フッ素オイルが、式（３ａ）または（３ｂ）：
　Ｒ^２１－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ｂ’’－Ｒ^２２
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　・・・（３ａ）
　Ｒ^２１－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ａ’’－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_ｂ’’－（ＯＣＦ_２ＣＦ_２）_ｃ’’－（ＯＣＦ_２）_ｄ’’－Ｒ^２２
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　・・・（３ｂ）
［式中：
　Ｒ^２１は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基を表し；
　Ｒ^２２は、１個またはそれ以上のフッ素原子により置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基、フッ素原子または水素原子を表し；
　式（３ａ）において、ｂ’’は１以上１００以下の整数であり；
　式（３ｂ）において、ａ’’およびｂ’’は、それぞれ独立して０以上３０以下の整数であり、ｃ’’およびｄ’’は、それぞれ独立して１以上３００以下の整数であり；
　添字ａ’’、ｂ’’、ｃ’’またはｄ’’を付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。］
で表される１種またはそれ以上の化合物である、請求項２７または２８に記載の表面処理剤。
　請求項１～１４のいずれかに記載のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物と、式（３ｂ）で表される化合物との質量比が、４：１～１：４である、請求項２９に記載の表面処理剤。
　式（３ａ）で表される化合物が、２，０００～８，０００の数平均分子量を有する、請求項２９または３０に記載の表面処理剤。
　式（３ｂ）で表される化合物が、８，０００～３０，０００の数平均分子量を有する、請求項２９または３０に記載の表面処理剤。
　含フッ素オイルが、ｃ’’／ｄ’’比が、０．２以上０．９未満である式（３ｂ）で表される１種またはそれ以上の化合物である、請求項２９～３２のいずれかに記載の表面処理剤。
　さらに溶媒を含む、請求項２３～３３のいずれかに記載の表面処理剤。
　防汚性コーティング剤または防水性コーティング剤として使用される、請求項２３～３４のいずれかに記載の表面処理剤。
　真空蒸着用である、請求項２３～３５のいずれかに記載の表面処理剤。
　請求項２３～３６のいずれかに記載の表面処理剤を含有するペレット。
　基材と、該基材の表面に、請求項１～１４のいずれかに記載の化合物または請求項２３～３６のいずれかに記載の表面処理剤より形成された層とを含む物品。
　基材がガラスまたはサファイアガラスである、請求項３８に記載の物品。
　ガラスが、ソーダライムガラス、アルカリアルミノケイ酸塩ガラス、ホウ珪酸ガラス、無アルカリガラス、クリスタルガラスおよび石英ガラスから成る群から選択されるガラスである、請求項３９に記載の物品。
　前記物品が光学部材である、請求項３８～４０のいずれかに記載の物品。
　前記物品がディスプレイである、請求項３８～４０のいずれかに記載の物品。