WO2016017471A1

WO2016017471A1 - 平面型ヒートパイプ

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Publication number: WO2016017471A1
Application number: PCT/JP2015/070677
Authority: WO
Inventors: 博史青木; 坂井　啓志; 達朗三浦; 義勝稲垣
Original assignee: 古河電気工業株式会社
Priority date: 2014-08-01
Filing date: 2015-07-21
Publication date: 2016-02-04
Also published as: JP5740036B1; TW201610385A; US20170138673A1; TWI583910B; JP2016035348A; CN206546117U

Abstract

ウィック構造を有する空隙部の歪みと平面型ヒートパイプ全体の反りが低減された平面型ヒートパイプを提供する。平面型ヒートパイプ１は、対向する２枚の板状体３、４により空洞部５を有する凸部１１が中央部に形成されたコンテナ２と、前記空洞部に封入された作動液とを有し、前記空洞部にウィック構造体６が備えられ、前記凸部の周縁部７が、熱をかけた溶接８にて封止され、前記凸部と前記熱をかけた溶接により溶接された溶接部との間の前記凸部の周りに、溝２１（２１'、２１"）が形成されている。

Description

平面型ヒートパイプ

　本発明は、ウィック構造を有する空隙部の歪みが抑えられ、コンテナ全体の反りが低減された平面型ヒートパイプに関するものである。

　電気・電子機器に搭載されている半導体素子等の電子部品は、高機能化に伴う高密度搭載等により、発熱量が増大し、近年、その冷却がより重要となっている。電子部品の冷却方法として、平面型ヒートパイプが使用されることがある。

　そこで、シーム溶接にてウィック構造を有する空隙部を密封した平面型ヒートパイプが提案されている（特許文献１）。しかし、シーム溶接では、平面型ヒートパイプの溶接部の幅が広くなる傾向にあり、また、高速溶接に不向きであるという問題があった。

　また、超音波溶接にてウィック構造を有する空隙部を密封した平面型ヒートパイプも提案されている（特許文献２）。しかし、超音波溶接では、溶接強度が限定されるので、ウィック構造を有する空隙部の気密性を従来よりもさらに向上させることが難しいという問題があった。

　さらに、圧接にてウィック構造を有する空隙部を密封した平面型ヒートパイプも提案されている（特許文献３）。しかし、圧接は、塑性変形による接合なので、接合強度が限定され、ウィック構造を有する空隙部の気密性を従来よりもさらに向上させることが難しいという問題、ヒートパイプに歪みが生じる場合があるという問題があった。

　そこで、近年、気密性に優れた空隙部を得ることができ、高速溶接にも適することから、ＹＡＧレーザーを用いた溶接にて、ウィック構造を有する空隙部を密封した平面型ヒートパイプも提案されている。しかし、ＹＡＧレーザーでの溶接では、コンテナのレーザー照射側表面におけるレーザー溶接部の幅が、コンテナのレーザー照射側とは反対側の表面のレーザー溶接部の幅と比較して、その差が大きくなってしまう。すなわち、ＹＡＧレーザーを用いた溶接では、コンテナのレーザー照射側表面の溶接部の幅が反対側表面のレーザー溶接部の幅よりも非常に広くなってしまうので、溶接部が固化する際に、上記両表面の溶接部の幅の差に起因して平面型ヒートパイプ全体に反りが生じてしまうという問題や、溶接時に生じるコンテナ材料の溶融熱が空隙部にまで伝わり、空隙部に歪みが生じてしまうという問題があった。

特開２００３－３１４９７９号公報特開２００３－８０３７８号公報特開２００２－３１０５８１号公報

　上記事情に鑑み、本発明は、ウィック構造を有する空隙部の歪みと平面型ヒートパイプ全体の反りが低減された平面型ヒートパイプを提供することを目的とする。

　本発明の態様は、対向する２枚の板状体により空洞部を有する凸部が中央部に形成されたコンテナと、前記空洞部に封入された作動液とを有し、前記空洞部にウィック構造が備えられ、前記凸部の外周部が、熱をかけた溶接にて封止された平面型ヒートパイプであって、前記凸部と前記熱をかけた溶接により溶接された溶接部との間の前記凸部の周りに、溝が、形成されている平面型ヒートパイプである。本発明の態様は、前記溝が、前記２枚の板状体の合計の厚みの１／１０以上１／３以下の深さを有する平面型ヒートパイプである。本発明の態様は、前記溝が、前記コンテナの熱をかけた側表面における前記溶接部の溶接幅以上、前記熱をかけた側表面における前記溶接部の前記凸部側端部から前記凸部の端部までの最短距離未満である幅を有する平面型ヒートパイプである。本発明の態様は、前記コンテナの熱をかけた側表面における溶接部の溶接幅が、前記２枚の板状体の合計の厚みの１／１０以上、前記コンテナの熱をかけた側表面における溶接部の前記凸部側端部から前記凸部の端部までの最短距離以下である平面型ヒートパイプである。なお、上記熱をかけた溶接の溶接法は、特に限定されないが、例えば、レーザー溶接、抵抗溶接、Ｔｉｇ溶接、電子ビーム溶接等が挙げられ、狭い溶接しろ、加工形状の自由度及び加工タクトの向上の点から、レーザー溶接が好ましい。

　本発明の態様は、前記コンテナの熱をかけた側表面における溶接部の溶接幅が、１０μｍ以上３００μｍ以下である平面型ヒートパイプである。

　本発明の態様は、前記コンテナの熱をかけた側表面における溶接部の溶接幅：前記コンテナの熱をかけた側表面の反対側表面における溶接部の溶接幅が、１：１～１：０．８である平面型ヒートパイプである。

　本発明の態様は、前記凸部の厚さが、前記２枚の板状体の合計の厚みの１／２以上である平面型ヒートパイプである。

　本発明の態様は、前記コンテナの材料が、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金、ニッケル、ニッケル合金またはステンレスである平面型ヒートパイプである。

　本発明の態様は、前記２枚の板状体の合計の厚みが、０．０５ｍｍ以上１．０ｍｍ以下である平面型ヒートパイプである。

　本発明の態様は、前記熱をかけた溶接が、レーザー溶接である平面型ヒートパイプである。

　本発明の態様は、対向する２枚の板状体により空洞部を有する凸部が中央部に形成されたコンテナと、前記空洞部に封入された作動液とを有し、前記空洞部にウィック構造が備えられ、前記凸部の外周部がレーザー溶接にて封止された平面型ヒートパイプであって、前記コンテナのレーザー照射側表面におけるレーザー溶接部の前記凸部側端部から前記凸部の端部までの最短距離が、前記２枚の板状体の合計の厚み以上であり、前記レーザー照射側表面におけるレーザー溶接部の溶接幅が、前記２枚の板状体の合計の厚みの１／１０以上、前記レーザー照射側表面におけるレーザー溶接部の前記凸部側端部から前記凸部の端部までの最短距離以下である平面型ヒートパイプである。

　本発明の態様によれば、溝が、凸部の周りに形成されることにより、溶接時に生じるコンテナ材料の溶融熱が空洞部にまで伝わるのを前記溝が抑制するので、空洞部の歪みが低減される。また、溝が、凸部の周りに形成され、熱をかけた側表面における溶接部の溶接幅が、２枚の板状体の合計の厚みの１／１０以上、熱をかけた側表面における溶接部の凸部側端部から凸部の端部までの最短距離以下であることにより、溶接時に生じるコンテナ材料の溶融熱が空洞部にまで伝わるのを前記溝が抑制するので、空洞部の歪みが低減され、さらに、コンテナの熱をかけた側表面の溶接部の溶接幅と反対側表面の溶接部の溶接幅との差が小さいので、溶接部の固化にあたり、平面型ヒートパイプ全体の反りが低減される。すなわち、本発明の溝を有する平面型ヒートパイプは、優れた溶接部の接合強度を有しつつ、空洞部の歪みと全体の反りが低減した平面型ヒートパイプである。

　本発明の態様によれば、コンテナの熱をかけた側表面における溶接部の溶接幅が、１０μｍ以上３００μｍ以下であることにより、コンテナの熱をかけた側表面の溶接部の溶接幅と反対側表面の溶接部の溶接幅との差がより確実に小さくなる。

　本発明の態様によれば、コンテナの熱をかけた側表面における溶接部の溶接幅：コンテナの熱をかけた側表面の反対側表面における溶接部の溶接幅が、１：１～１：０．８であることにより、平面型ヒートパイプ全体の反りがより確実に低減される。

　本発明の態様によれば、コンテナのレーザー照射側表面におけるレーザー溶接部の凸部側端部から凸部の端部までの最短距離が、２枚の板状体の合計の厚み以上であり、レーザー照射側表面におけるレーザー溶接部の溶接幅が、２枚の板状体の合計の厚みの１／１０以上、レーザー照射側表面におけるレーザー溶接部の凸部側端部から凸部の端部までの最短距離以下であることにより、溶接時に生じるコンテナ材料の溶融熱が空洞部にまで伝わって空洞部に歪みが生じてしまうのが防止され、さらに、コンテナのレーザー照射側表面のレーザー溶接部の溶接幅と反対側表面のレーザー溶接部の溶接幅との差が小さいので、溶接部の固化にあたり、平面型ヒートパイプ全体の反りが低減される。すなわち、本発明の平面型ヒートパイプは、優れたレーザー溶接部の接合強度を有しつつ、空洞部の歪みと全体の反りが低減した平面型ヒートパイプである。

本発明の第１実施形態例に係る平面型ヒートパイプの一部分を示す側面断面図である。本発明の第２実施形態例に係る平面型ヒートパイプの一部分を示す側面断面図である。

　以下に、本発明の第１実施形態例に係る平面型ヒートパイプについて、図面を用いながら説明する。図１に示すように、第１実施形態例に係る平面型ヒートパイプ１は、対向する２枚の板状体、すなわち、一方の板状体４と他方の板状体３とを重ねることにより空洞部５を有する凸部１１が中央部に形成された平面視矩形状のコンテナ２と、空洞部５に封入された作動液（図示せず）とを有している。空洞部５内には、毛細管構造を有するウィック構造体６が収納されている。

　一方の板状体４は平板状である。他方の板状体３も平板状であるが、中央部が凸状に塑性変形されている。この他方の板状体３の、外側に向かって突出し、凸状に塑性変形された部位が、コンテナ２の凸部１１となる。図１では、凸部１１は、凸部１１の外周部の表面に対して垂直に突出している。凸部１１の内部が、空洞部５となっている。平面型ヒートパイプ１は、凸部１１の外周部がレーザー溶接されることで空洞部５が封止され、空洞部５に気密性が付与される。

　平面型ヒートパイプ１では、中央部が凸状に加工された他方の板状体３の周縁部７、すなわち、凸部１１が形成されていないコンテナ２の周縁部が、レーザー光線９により溶接されてレーザー溶接部８が形成されている。レーザー溶接部８により、一方の板状体４と他方の板状体３とが接合されている。レーザー照射側表面のレーザー溶接部８の凸部１１側端部から凸部１１の端部、すなわち、凸部１１の外周部の表面と凸部１１との境界部までの最短距離（図１の距離ｃ、以下、「距離ｃ」ということがある。）が、一方の板状体４と他方の板状体３とを重ね合わせた厚み（図１の厚さａ、以下、「厚さａ」ということがある。）以上の寸法となる位置に、レーザー溶接部８が設けられている。これにより、溶接時に生じるコンテナ材料の溶融熱が空隙部５にまで伝わるのを防止できるので、平面型ヒートパイプ１の空隙部５の歪みが低減される。

　距離ｃの下限値は、厚さａに相当する寸法であり、前記溶融熱が空隙部５にまで伝わるのを確実に防止する点から、厚さａに相当する寸法の１．５倍が好ましく、レーザー光線９の溶接によって生じる残留応力による歪みの影響を確実に避ける点から厚さａに相当する寸法の２．０倍が特に好ましい。一方で、距離ｃの上限値は、特に限定されないが、平面型ヒートパイプ１を小型化して狭い空間にも平面型ヒートパイプ１を設置可能とする点から、厚さａに相当する寸法の５．０倍が好ましく、レーザー光線９による溶接距離を短縮することで、残留応力を確実に低減し、加工を高速化する点から厚さａに相当する寸法の４．０倍がより好ましく、３．０倍が特に好ましい。

　なお、レーザー溶接部８とレーザー溶接されていない部位との境界の判断は、肉眼にて、レーザー溶接部８表面を観察するか、またはレーザー溶接部８の断面を観察することにより行うことができる。また、本明細書中、「溶接幅」とは、熱をかけた溶接により生じる線状の軟化変形領域の幅であって、マイクロスコープにより溶接領域を均等に１０箇所測定したときの平均値を意味する。

　レーザー照射側表面（図１では、中央部が凸状に加工された他方の板状体３側の表面）におけるレーザー溶接部８の溶接幅の下限値は、レーザー溶接部８の接合強度の点から厚さａに相当する寸法の１／１０であり、ガスバリア性の点から厚さａに相当する寸法の１／５が好ましく、厚さａに相当する寸法の１／４が特に好ましい。一方で、レーザー照射側表面におけるレーザー溶接部８の溶接幅の上限値は、コンテナ２のレーザー照射側表面（図１では、他方の板状体３側の表面）のレーザー溶接部８の溶接幅と反対側表面（図１では、一方の板状体４側の表面）のレーザー溶接部８の溶接幅との差を小さくすることで、全体としての反りが低減された平面型ヒートパイプ１とする点から、レーザー溶接部８の凸部１１側端部から凸部１１の端部までの最短距離（すなわち、距離ｃ）に相当する寸法であり、レーザー溶接部８近傍の僅かな反りも抑制する点から、距離ｃに相当する寸法の３／５が好ましく、残留応力を確実に低減する点から、距離ｃに相当する寸法の１／２がより好ましく、平面型ヒートパイプ１の小型化の点から、距離ｃに相当する寸法の１／４が特に好ましい。従って、レーザー溶接部８の位置と溶接幅が上記範囲となるように、厚さａに相当する寸法と距離ｃに相当する寸法を設定する。

　コンテナ２のレーザー照射側表面におけるレーザー溶接部８の溶接幅は、上記範囲であれば特に限定されず、具体例として、厚さａが１００μｍのコンテナ２の場合には、その下限値は、１０μｍであり、２０μｍが好ましく、２５μｍが特に好ましい。一方で、その上限値は、例えば、５００μｍであり、３００μｍが好ましく、２５０μｍがより好ましく、１２５μｍが特に好ましい。

　コンテナ２のレーザー照射側表面におけるレーザー溶接部８の溶接幅：コンテナ２のレーザー照射側表面の反対側表面におけるレーザー溶接部８の溶接幅は、全体としての反りが低減された平面型ヒートパイプ１とする点から、１：１～１：０．８０が好ましく、レーザー溶接部８近傍の僅かな反りも抑制する点から、１：１～１：０．８５がより好ましく、コンテナ２のレーザー照射側表面とその反対側表面とで生じる残留応力の差を確実に抑制する点から、１：１～１：０．９０が特に好ましい。

　上記レーザー溶接部８の溶接幅にて溶接できるレーザーとして、コンテナ２のレーザー照射側表面における集光径が小さい、例えば、前記集光径が２０～２００μｍであるレーザーを挙げることができる。該レーザーとしては、例えば、ファイバーレーザーを挙げることができる。

　凸部１１の厚さ（図１の厚さｂ）は、適宜選択可能であり、例えば、平面型ヒートパイプ１の曲げ性と冷却効率とのバランスの点から、厚さａに相当する寸法の１／２以上、厚さａに相当する寸法以下が好ましい。また、厚さａは、適宜選択可能であり、例えば、薄型化の点から０．０５ｍｍ以上１．０ｍｍ以下が好ましく、耐圧性と加工性の点から０．１ｍｍ以上０．８ｍｍ以下が特に好ましい。

　コンテナ２の材料としては、例えば、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金、ニッケル、ニッケル合金、ステンレス等を挙げることができる。また、空洞部５に封入する作動液としては、コンテナ２の材料との適合性に応じて、適宜選択可能であり、例えば、水、代替フロン、フロリーナ、シクロペンタン等を挙げることができる。

　毛細管構造を有するウィック構造体６としては、例えば、メッシュ、ワイヤ等を有する薄板を挙げることができる。

　次に、本発明の第２実施形態例に係る平面型ヒートパイプについて、図面を用いながら説明する。本発明の第１実施形態例に係る平面型ヒートパイプ１と同じ構成要素については同じ符号を用いて説明する。

　図２に示すように、第２実施形態例に係る平面型ヒートパイプ２０には、凸部１１とレーザー光線９により溶接されたレーザー溶接部８との間の領域に、凹溝２１が形成されている。図２では、レーザー照射側表面である中央部が凸状に加工された他方の板状体３の周縁部７、すなわち、凸部１１の外周部に１本の凹溝２１’が形成されている。さらに、凹溝２１’に対して、コンテナ２の厚さ方向に対して平行方向の位置に対応する一方の板状体４の周縁部１０に、１本の凹溝２１’’が形成されている。凹溝２１’は、コンテナ２中央部に形成された凸部１１の外周を囲むように形成され、凹溝２１’’は、凸部１１の位置に相当する中央部の外周を囲むように形成されている。また、凹溝２１’と凹溝２１’’は、同一の断面形状及び同一の幅と深さであり、凹溝２１’の底面部と凹溝２１’’の底面部が対向するように形成されている。

　凹溝２１’、２１’’が、レーザー溶接時に生じるコンテナ材料の溶融熱が空隙部５にまで伝わるのを抑制するので、空隙部５の歪みがより低減される。

　凹溝２１’、２１’’の幅は、コンテナ２のレーザー照射側表面におけるレーザー溶接部８の溶接幅以上、レーザー照射側表面におけるレーザー溶接部８の凸部１１側端部から凸部１１の端部までの最短距離（以下、「距離ｃ’」ということがある。）未満に相当する寸法を有し、凹溝２１’、２１’’の深さは、一方の板状体４と他方の板状体３とを重ね合わせた厚み（図２の厚さａ、以下、「厚さａ」ということがある。）の１／１０以上１／３以下、好ましくは１／６以上１／３以下に相当する寸法を有する。従って、平面型ヒートパイプ２０の距離ｃ’は、レーザー照射側表面におけるレーザー溶接部８の溶接幅よりも大きい寸法を有していることとなる。

　凹溝２１’、２１’’の幅は、上記した範囲であれば特に限定されないが、その下限値は、空隙部５にまで前記溶融熱が伝わるのを確実に抑制する点から、レーザー照射側表面におけるレーザー溶接部８の溶接幅の１．５倍が好ましく、レーザー照射側表面におけるレーザー溶接部８の溶接幅の２．０倍が特に好ましい。一方、凹溝２１’、２１’’の幅の上限値は、レーザー溶接部８の凸部１１側端部から凸部１１の端部までの領域の温度上昇を防止して、ひいては、空洞部５の歪みを防止する点から、距離ｃ’に相当する寸法の４／５が好ましく、距離ｃ’に相当する寸法の２／３が特に好ましい。

　凹溝２１’、２１’’の深さは、上記した範囲であれば特に限定されないが、空隙部５にまで前記溶融熱が伝わるのを確実に抑制しつつ、凸部１１外周部の機械的強度を確保する点から、厚さａに相当する寸法の１／５以上１／４以下が特に好ましい。

　平面型ヒートパイプ２０のレーザー溶接部８の溶接幅は、上記した第１実施形態例に係る平面型ヒートパイプ１と同様にする。具体的には、レーザー照射側表面（図２では、中央部が凸状に加工された他方の板状体３側の表面）におけるレーザー溶接部８の溶接幅の下限値は、レーザー溶接部８の接合強度の点から厚さａに相当する寸法の１／１０であり、ガスバリア性の点から厚さａに相当する寸法の１／５が好ましく、厚さａに相当する寸法の１／４が特に好ましい。一方で、レーザー照射側表面におけるレーザー溶接部８の溶接幅の上限値は、コンテナ２のレーザー照射側表面（図２では、他方の板状体３側の表面）のレーザー溶接部８の溶接幅と反対側表面（図２では、一方の板状体４側の表面）のレーザー溶接部８の溶接幅との差を小さくすることで、全体としての反りが低減された平面型ヒートパイプ２０とする点から、距離ｃ’に相当する寸法であり、レーザー溶接部８近傍の僅かな反りも抑制する点から、距離ｃ’に相当する寸法の３／５が好ましく、残留応力を確実に低減する点から、距離ｃ’に相当する寸法の１／２がより好ましく、平面型ヒートパイプ２０の小型化の点から、距離ｃ’に相当する寸法の１／４が特に好ましい。

　平面型ヒートパイプ２０では、上記の通り、凹溝２１’、２１’’が、レーザー溶接時に生じる溶融熱が空隙部５にまで伝わるのを抑制するので、距離ｃ’は、平面型ヒートパイプ１の距離ｃよりも短くすることができる。

　距離ｃ’は特に限定されないが、その下限値は、平面型ヒートパイプ２０を小型化しつつ空隙部５の歪みを防止する点から、厚さａに相当する寸法の１／２が好ましく、空隙部５の歪みの確実な防止の点から、厚さａに相当する寸法がより好ましく、レーザー光線９の溶接によって生じる残留応力による歪みの影響を確実に避ける点から厚さａに相当する寸法の１．５倍が特に好ましい。一方で、距離ｃ’の上限値は、特に限定されないが、平面型ヒートパイプ２０を小型化して狭い空間にも平面型ヒートパイプ２０を設置可能とする点から、厚さａする寸法の５．０倍が好ましく、レーザー光線９による溶接距離を短縮することで、残留応力を確実に低減し、加工を高速化する点から厚さａに相当する寸法の４．０倍がより好ましく、３．０倍が特に好ましい。

　第２実施形態例に係る平面型ヒートパイプ２０では、凹溝２１’、２１’’が、上記寸法の範囲となるように、レーザー溶接部８の位置と溶接幅を設定する。

　次に、本発明の実施形態例に係る平面型ヒートパイプの使用方法例について説明する。ここでは、パソコン等の電子機器内部のＣＰＵ等が実装されているフレキシブルプリント配線板を、本発明の平面型ヒートパイプを用いて冷却する場合を例にとって説明する。電子機器内部の空隙の状況とフレキシブルプリント配線板の収納状況に応じて、適宜、平面型ヒートパイプを曲げて、フレキシブルプリント配線板を平面型ヒートパイプの入熱側と熱的に接続させる。平面型ヒートパイプの放熱側には、必要に応じて、ヒートシンクや放熱用のフィンを設ける。これにより、電子機器内部の狭い空間に収容されたフレキシブルプリント配線板を面状に冷却することができる。

　次に、本発明のその他の実施形態例について説明する。上記各実施形態例に係る平面型ヒートパイプ１、２０では、空洞部５内には、毛細管構造を有するウィック構造体６が収納されていたが、これに代えて、空洞部５の内壁に、ウィック構造を形成してもよい。

　また、上記各実施形態例に係る平面型ヒートパイプ１、２０では、中央部が凸状に加工された他方の板状体３側の表面に、レーザー光線９が照射されていたが、これに代えて、中央部が凸状に加工されていない一方の板状体４側の表面に、レーザー光線９が照射されてもよい。一方の板状体４側の表面に、レーザー光線９が照射される場合には、レーザー溶接部８の位置を設定するにあたり、凸部１１の端部は、他方の板状体３の凸部１１の外周部表面と凸部１１との境界部をコンテナ２の厚さ方向に対して平行方向に移動させた、一方の板状体４表面上の部位となる。すなわち、一方の板状体４における凸部１１の端部は、他方の板状体３の凸部１１の外周部表面と凸部１１との境界部の位置に対応した、一方の板状体４表面上の部位となる。

　第２実施形態例に係る平面型ヒートパイプ２０では、凹溝２１’と凹溝２１’’は、同一の断面形状及び同一の幅と深さであったが、これに代えて、異なる断面形状及び／または異なる幅と深さとしてもよい。

　次に、本発明の実施例を説明するが、本発明はその趣旨を超えない限り、これらの例に限定されるものではない。

　実施例１
　空洞部を有する凸部（高さ０．２mm）の外周を囲む部位に相当する位置に、幅０．３mm、深さ０．０５mmの凹溝を１本有する板状体（板厚０．１mm）２枚を、各板状体の裏面側にて重ね合わせた。次に、凹溝の外周部をレーザー溶接（レーザー光線の幅０．０２mm）することにより、実施例１の平面型ヒートパイプを製造した。なお、レーザー照射側である凸部が加工された板状体の凹溝と、レーザー照射側ではなく凸部が加工されていない板状体の凹溝とは、対向する板状体の接触面を境にして、同じ位置に形成されている。また、板状体の板厚は０．１mmなので、平面型ヒートパイプの、凸部（空洞部）及び凹溝以外の厚さは、０．２mmである。

　比較例１
　凹溝を有さない板厚０．１mmの板状体を重ね合わせた以外は、実施例１と同様にして、比較例１の平面型ヒートパイプを製造した。

　平面度評価
　実施例１の平面型ヒートパイプ及び比較例１の平面型ヒートパイプについて、それぞれ、レーザー変位計（高速・高精度CCDレーザー変位計 keyence LK-G30、3次元アーム：IAI TABLE TOP TT）を用いて、凸部（空洞部）の高さを測定した。測定点は、長手方向に一方の端部から他方の端部まで等間隔に７点、短手方向に一方の端部から他方の端部まで等間隔に３点の計２１点とした。この２１の測定点の座標から最小二乗法により、基準となる仮想平面を算出し、「測定点２１点のうちの該仮想平面からの最大高さ－測定点２１点のうちの該仮想平面からの最小高さ」にて、凸部（空洞部）の平面度を算出した。

　平面度の算出結果を以下に示す。
　実施例１：平面度０．３mm
　比較例１：平面度０．５mm

　上記から、凸部（空洞部）の外周部に凹溝を有する実施例１は、凹溝を有さない比較例１と比較して、良好な凸部（空洞部）の平面度が得られ、凸部（空洞部）の歪みを防止できた。

　本発明の平面型ヒートパイプは、ウィック構造を有する空隙部の歪みと平面型ヒートパイプ全体の反りが低減されているので、特に、冷却対象の発熱体を面状に均一に冷却する分野で利用価値が高い。

１、２０　　　　　　　平面型ヒートパイプ
２　　　　　　　　　　コンテナ
３　　　　　　　　　　他方の板状体
４　　　　　　　　　　一方の板状体
５　　　　　　　　　　空洞部
８　　　　　　　　　　レーザー溶接部
２１　　　　　　　　　凹溝

Claims

　対向する２枚の板状体により空洞部を有する凸部が中央部に形成されたコンテナと、前記空洞部に封入された作動液とを有し、前記空洞部にウィック構造が備えられ、前記凸部の外周部が、熱をかけた溶接にて封止された平面型ヒートパイプであって、
前記凸部と前記熱をかけた溶接により溶接された溶接部との間の前記凸部の周りに、溝が、形成されている平面型ヒートパイプ。
　前記溝が、前記２枚の板状体の合計の厚みの１／１０以上１／３以下の深さを有する請求項１に記載の平面型ヒートパイプ。
　前記溝が、前記コンテナの熱をかけた側表面における前記溶接部の溶接幅以上、前記熱をかけた側表面における前記溶接部の前記凸部側端部から前記凸部の端部までの最短距離未満である幅を有する請求項１に記載の平面型ヒートパイプ。
　前記コンテナの熱をかけた側表面における溶接部の溶接幅が、前記２枚の板状体の合計の厚みの１／１０以上、前記コンテナの熱をかけた側表面における溶接部の前記凸部側端部から前記凸部の端部までの最短距離以下である請求項１に記載の平面型ヒートパイプ。
　前記コンテナの熱をかけた側表面における溶接部の溶接幅が、１０μｍ以上３００μｍ以下である請求項１に記載の平面型ヒートパイプ。
　前記コンテナの熱をかけた側表面における溶接部の溶接幅：前記コンテナの熱をかけた側表面の反対側表面における溶接部の溶接幅が、１：１～１：０．８である請求項１に記載の平面型ヒートパイプ。
　前記凸部の厚さが、前記２枚の板状体の合計の厚みの１／２以上である請求項１に記載の平面型ヒートパイプ。
　前記コンテナの材料が、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金、ニッケル、ニッケル合金またはステンレスである請求項１に記載の平面型ヒートパイプ。
　前記２枚の板状体の合計の厚みが、０．０５ｍｍ以上１．０ｍｍ以下である請求項１に記載の平面型ヒートパイプ。
　前記熱をかけた溶接が、レーザー溶接である請求項１に記載の平面型ヒートパイプ。