JP6395530B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
図1は本実施の形態1に係る半導体装置の平面図である。また、図2は図1の領域Dを拡大した平面図である。
本実施の形態1における半導体装置は、絶縁基板2と、絶縁基板2の第1主面に接合され、第1主面との接合面とは反対側の面に半導体素子が接合される回路パターン3と、絶縁基板2の第2主面に接合された裏面パターン4と、回路パターン3に接合された半導体素子と、裏面パターン4の第2主面との接合面とは反対側の面に接合された放熱板1と、を備え、回路パターン3のコーナー部3aの曲率半径が、裏面パターン4のコーナー部4aの曲率半径よりも大きく、回路パターン3のコーナー部3aは、裏面パターン4のコーナー部4aよりも平面視で内側にある。
図9は、図1を本実施の形態2の半導体装置とした場合に図1の領域Dを拡大した平面図である。本実施の形態2では、実施の形態1(図2)とは回路パターン3のコーナー部3aの形状が異なる。その他の構成は実施の形態1と同じため、説明を省略する。
本実施の形態2における半導体装置は、絶縁基板2と、絶縁基板2の第1主面に接合され、第1主面との接合面とは反対側の面に半導体素子が接合される回路パターン3と、絶縁基板2の第2主面に接合された裏面パターン4と、回路パターン3に接合された半導体素子と、裏面パターン4の第2主面との接合面とは反対側の面に接合された放熱板1と、を備え、回路パターン3のコーナー部3aは折れ線状に形成され、回路パターン3のコーナー部3aは、裏面パターン4のコーナー部4aよりも平面視で内側にある。
図11は、図1を本実施の形態3の半導体装置とした場合に図1の領域Dを拡大した平面図である。本実施の形態3では、実施の形態1(図2)とは絶縁基板2のコーナー部2aの形状が異なる。その他の構成は実施の形態1と同じため、説明を省略する。
図12は、図1を本実施の形態4の半導体装置とした場合に図1の領域Dを拡大した平面図である。本実施の形態4では、実施の形態1(図2)とは絶縁基板2のコーナー部2aの形状が異なる。その他の構成は実施の形態1と同じため、説明を省略する。
Claims (10)
- 厚さ0.32mm以下の絶縁基板と、
前記絶縁基板の第1主面に接合され、当該第1主面との接合面とは反対側の面に半導体素子が接合される回路パターンと、
前記絶縁基板の第2主面に接合された裏面パターンと、
前記裏面パターンの前記第2主面との接合面とは反対側の面に接合された放熱板と、
を備え、
前記回路パターンのコーナー部の曲率半径が、前記裏面パターンのコーナー部の曲率半径よりも大きく、
前記回路パターンのコーナー部は、前記裏面パターンのコーナー部よりも平面視で1mm以上内側にある、
半導体装置。 - 前記絶縁基板のコーナー部は隅切りされている、
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記絶縁基板のコーナー部の輪郭は曲線状である、
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記回路パターンおよび前記裏面パターンは銅を含む、
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記回路パターンおよび前記裏面パターンはアルミニウムを含む、
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記回路パターンおよび前記裏面パターンは、前記絶縁基板とロウ材により接合されている、
請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記回路パターンおよび前記裏面パターンは、前記絶縁基板と直接接合されている、
請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記絶縁基板は窒化アルミニウムからなる、
請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記絶縁基板は窒化シリコンからなる、
請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記半導体素子はシリコンカーバイド半導体素子である、
請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の半導体装置。
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