WO2015156262A1 - 化学強化ガラスの製造方法 - Google Patents

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WO2015156262A1
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glass substrate
glass
firing
inorganic salt
back surfaces
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Inventor
浩司 中川
尚史 青山
章朗 静井
麻耶 波田野
Original Assignee
旭硝子株式会社
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C21/00—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Definitions

  • the present invention relates to a method for producing chemically strengthened glass.
  • a thin plate-like cover glass is formed on the front surface of the display so as to be wider than the image display portion in order to enhance the protection and aesthetics of the display. It has been done to arrange.
  • Such a flat panel display device is required to be lightweight and thin, and accordingly, a cover glass used for display protection is also required to be thin.
  • the float glass manufactured by the float process is chemically strengthened to form a compressive stress layer on the surface to enhance the scratch resistance of the cover glass.
  • Patent Document 1 It has been reported that the float glass is warped after chemical strengthening and the flatness is impaired (Patent Document 1).
  • the warpage is caused by chemical strengthening between a glass surface that is not in contact with molten tin (hereinafter also referred to as a top surface) and a glass surface that is in contact with molten tin (hereinafter also referred to as a bottom surface) during float forming. It is supposed to be caused by different ways of entering.
  • Patent Document 1 the plate-like body manufactured and processed by the float process is chemically polished after being immersed in or contacted with Li ions, Na ions, or a mixed inorganic salt thereof without polishing the surface. Improvements are disclosed.
  • the strengthening stress due to chemical strengthening is reduced, or the top surface and the bottom surface of the float glass are subjected to grinding treatment or polishing treatment, and then chemically strengthened after removing the surface heterogeneous layer.
  • Patent Document 1 it is necessary to immerse the float glass in the mixed inorganic salt before chemical strengthening, which is complicated. Moreover, there is a possibility that the strength of the float glass after chemical strengthening becomes insufficient by the method of reducing the strengthening stress.
  • the method of grinding or polishing the top and bottom surfaces of the float glass before chemical strengthening has a problem from the viewpoint of improving productivity, and it is preferable to omit these grinding or polishing treatments. .
  • an object of the present invention is to provide a method for producing chemically strengthened glass that can effectively suppress warping after chemical strengthening.
  • the inventor applied inorganic salts to the front and back surfaces of the glass substrate, and then baked these surfaces at different temperatures or thermal processes, so that ions on the front and back surfaces of the glass substrate by the inorganic salt were baked.
  • the present inventors have found that the above problems can be solved by making the exchange amount different from each other and giving a strong surface compressive stress to the surface where warpage is likely to occur, that is, the surface where the surface compressive stress is relatively small. .
  • the present invention is as follows. 1. An application step of applying an inorganic salt to the front and back surfaces of the glass substrate; After the coating step, there is a firing step in which the front and back surfaces of the glass substrate are fired at different temperatures or heat processes in a firing furnace, and the amount of ion exchange between the front and back surfaces of the glass substrate by the inorganic salt is different from each other. A method for producing chemically tempered glass. 2. In the firing step, the front and back surfaces of the glass substrate are fired at different temperatures or thermal processes in the firing furnace by installing a first plate member on one of the front and back surfaces of the glass substrate. 2. The method for producing chemically strengthened glass as described in 1 above. 3.
  • the firing step by installing a first plate member on the surface of the glass substrate and installing a second plate member having a heat capacity different from that of the first plate member on the back surface of the glass substrate, 2.
  • the method for producing chemically tempered glass as described in 1 above, wherein the coating step and the baking step are continuously performed. 5.
  • the applying step is a step of applying an inorganic salt to the surface of the glass substrate while moving the plurality of glass substrates, inverting the glass substrate, and applying an inorganic salt to the back surface of the glass substrate; and 6.
  • the method for producing chemically tempered glass of the present invention after applying an inorganic salt to the front and back surfaces of the glass substrate, these surfaces are baked at different temperatures or thermal processes, so that The ion exchange amounts are made different from each other, and a strong surface compressive stress is given to a surface where warpage is likely to occur, that is, a surface where the surface compressive stress is relatively small. Thereby, the curvature of the glass after chemical strengthening can be reduced and the outstanding flatness can be obtained.
  • FIGS. 1A and 1B are diagrams for explaining a method of firing the front and back surfaces of a glass substrate at different temperatures in a firing furnace.
  • FIG. 2 is a diagram schematically showing an example of an apparatus for carrying out the manufacturing method of the present invention.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of a flat panel display using the chemically strengthened glass produced in the present invention as a cover glass for a flat panel display.
  • FIG. 4 is a plan view of the glass substrate for explaining temperature measurement points on the top surface and the bottom surface of the glass substrate.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining measurement points of the warpage amount.
  • FIG. 6 is a diagram showing the results of temperature profiles obtained by measuring the temperatures of the top surface and the bottom surface of the glass substrate in Examples 1 and 3.
  • FIG. 7 is a diagram showing the results of temperature profiles obtained by measuring the temperatures of the top surface and the bottom surface of the glass substrate in Examples 2 and 4.
  • the coating process in this embodiment is a process of coating an inorganic salt on the front and back surfaces of the glass substrate.
  • the glass substrate used in the present embodiment has two main surfaces, a front surface and a back surface, and an end surface that forms a plate thickness adjacent to the two main surfaces, and the two main surfaces form a flat surface parallel to each other. ing.
  • the glass substrate used in the present embodiment is not particularly limited as long as it can exchange ions. Examples thereof include soda lime silicate glass, alkali aluminosilicate glass, and alkali aluminoborosilicate glass.
  • the composition of the glass substrate used in this embodiment is a composition expressed in mol%, SiO 2 is 50 to 80%, Al 2 O 3 is 0.1 to 25%, Li 2 O + Na 2 O + K 2 O.
  • a glass containing 3 to 30%, MgO from 0 to 25%, CaO from 0 to 25%, and ZrO 2 from 0 to 5% may be mentioned, but is not particularly limited. More specifically, the following glass compositions may be mentioned. For example, “containing 0 to 25% of MgO” means that MgO is not essential but may contain up to 25%.
  • the glass substrate used in this embodiment preferably has a thickness of 0.2 mm to 2 mm, more preferably 0.3 mm to 1 mm, from the viewpoint of improving the effect of the present invention.
  • the inorganic salt used in the present embodiment is, for example, an alkali metal ion having a small ionic radius on the glass surface (typically, Li ion or Na ion) or an alkali ion having a larger ionic radius (typically K Ion) to form a compressive stress layer on the glass surface.
  • an alkali metal ion having a small ionic radius on the glass surface typically, Li ion or Na ion
  • an alkali ion having a larger ionic radius typically K Ion
  • composition of the inorganic salt used in the present embodiment is not particularly limited, for example, it contains a potassium compound.
  • the potassium compound include KNO 3 , KCl, KBr, KI, KF, K 2 SO 4 and the like.
  • the potassium compound for example, it is also generally those containing sodium compounds such as NaNO 3 below about 5%.
  • Additives such as a solvent and a thickener may be added to the inorganic salt.
  • the solvent include a liquid capable of dissolving, dispersing, or suspending a potassium compound, or a substance based on the liquid, and may be based on water or alcohol.
  • the thickener include organic resins and organic solvents.
  • the organic resin a resin that decomposes at a heat treatment temperature may be used, and those that can be easily removed by washing with water are preferable.
  • examples thereof include cellulose resin, methyl cellulose resin, cellulose acetate resin, cellulose nitrate resin, cellulose acetate petrate resin, acrylic resin, and petroleum resin having such characteristics.
  • the organic solvent is preferably one that can disperse the metal compound and the organic resin easily and volatilizes easily when dried.
  • the organic solvent is liquid at room temperature (20 ° C.) and volatilizes at about 50 to 200 ° C. It is preferable that it is an organic solvent.
  • examples of such an organic solvent include alcohols such as methanol and ethanol, and ketones such as dimethyl ether and acetone.
  • the amount of additive added to the inorganic salt used in the present embodiment is not particularly limited.
  • the viscosity of the inorganic salt used in this embodiment can be adjusted according to each process from the viewpoint of easy application.
  • the method for adjusting the viscosity include a method of adding a fluidity adjusting agent such as clay such as kaolin, water, or aluminosilicate fiber.
  • the viscosity of the inorganic salt used in the present embodiment can be adjusted as appropriate, but the viscosity at 20 ° C. is preferably 200 to 100,000 mPa.
  • the viscosity of the inorganic salt can be measured, for example, with a viscometer (PM-2B manufactured by Malcolm Co., Ltd.), a viscosity cup (NK-2 manufactured by Anest Iwata Co., Ltd.), or the like.
  • the method for applying the inorganic salt to the front and back surfaces of the glass substrate may be any known coater and is not particularly limited. Examples thereof include curtain coaters, bar coaters, roll coaters, die coaters, and spray coaters. .
  • an inorganic salt can be individually applied to the front and back surfaces of the glass substrate using a coater.
  • the quantity and type can be changed.
  • the amount and type of inorganic salt applied to the front and back surfaces of the glass substrate may be the same or different.
  • the firing step in the present embodiment after the coating step, the front and back surfaces of the glass substrate are fired at different temperatures or heat processes in a firing furnace, and the ion exchange amounts of the front and back surfaces of the glass substrate with the inorganic salt are mutually changed. This is a different process.
  • firing the front and back surfaces of the glass substrate by different thermal processes means that, for example, glass and a plate-like member having different heat capacities are brought into contact with each surface of the glass substrate, and the temperature profile of the glass surface is changed on each surface. Controlling the temperature time for the salt to melt and controlling the amount of ion exchange on each side.
  • the temperature profile of the glass surface is preferably varied 5 ° C. or more for 1 minute or more on each surface in the region where the glass surface is 300 ° C. or more, more preferably 5 ° C. or more for 10 minutes or more.
  • Examples of methods for firing the front and back surfaces of a glass substrate in a firing furnace at different temperatures or thermal processes include two methods as shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b).
  • the glass substrate 1 subjected to the coating process is placed on the firing table 120 in the firing furnace 12. is doing.
  • the temperature of the front surface becomes lower than the temperature of the back surface.
  • the front and back surfaces of the glass substrate are fired at different temperatures or thermal processes.
  • the glass substrate 1 subjected to the coating process is placed on the baking table 120, the first plate member 102 is installed on the back surface thereof, and the first plate member 102 is mounted on the front surface.
  • a two-plate member 104 is installed.
  • the second plate-like member 104 is different from the first plate-like member 102 in heat capacity.
  • the first plate-like member 102 and the second plate-like member 104 By appropriately selecting the heat capacity, the thermal energy reaching the front and back surfaces is different, and as a result, the front and back surfaces of the glass substrate are baked at different temperatures or thermal processes.
  • the plate thickness, material, shape or size of these members are adjusted. The method of doing is mentioned.
  • a material of the 1st plate-shaped member 102 and the 2nd plate-shaped member 104 glass, a ceramic, a metal, etc. are mentioned, for example.
  • the firing temperature in the firing step may be appropriately set depending on the type of inorganic salt, but is usually preferably 350 to 600 ° C., more preferably 400 to 550 ° C.
  • the firing time can be appropriately set, but it is usually preferably 5 minutes to 10 hours, more preferably 30 minutes to 4 hours after reaching the predetermined firing temperature.
  • the in-plane temperature distribution on the front and back surfaces of the glass substrate in the firing step is usually preferably 1 to 5 ° C., more preferably 1 to 2 ° C.
  • ion exchange means that an alkali metal ion (typically, Li ion or Na ion) having a small ion radius on the surface of the glass substrate is an alkali ion (typically K ion) having a larger ion radius. ) To be exchanged. By this ion exchange, a compressive stress layer can be formed on the glass surface layer.
  • the firing temperature of the bottom surface is set higher than the top surface to increase the amount of ion exchange. It is preferable to give a strong surface compressive stress to the bottom surface.
  • the first plate-like member 102 is installed on the bottom surface and is not installed on the top surface.
  • the first plate member 102 is installed on the bottom surface and the second plate member 104 is installed on the top surface, but the heat capacity of the first plate member 102 is equal to or greater than that of the second plate member 104. Use what is.
  • FIG. 2 is a diagram schematically illustrating an example of an apparatus for carrying out the manufacturing method of the present embodiment.
  • the plurality of glass substrates 1 are placed on the endless belt 201 of the conveyor so that the front and back surfaces of the glass substrate are in the horizontal direction. While moving a plurality of glass substrates 1 on the endless belt 201, the inorganic salt 200 is applied to the surface of the glass substrate 1 by a curtain coater 202 at an arbitrary position of the endless belt 201, and dried using a dryer 203.
  • the glass substrate 1 is reversed by a reversing machine (not shown) (symbol r), and an inorganic salt 200 ′ is applied to the back surface of the glass substrate 1 by a curtain coater 204 at an arbitrary position of the endless belt 201.
  • the glass substrate 1 coated with the inorganic salt is introduced into the firing furnace 205.
  • the front and back surfaces of the plurality of glass substrates 1 are fired in the firing furnace 205, and ion exchange of the front and back surfaces of the glass substrate with inorganic salt is performed.
  • the inorganic salt 200 or 200 ′ applied to the front and back surfaces of the glass substrate 1 may be the same or different as described above.
  • the surface compressive stress CS and the compressive stress layer thickness DOL can be adjusted by adjusting, for example, the heat treatment temperature, the heat treatment time, the potassium salt composition, and the like. CS and DOL can be measured by a surface stress meter.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of a display device in which a cover glass is disposed.
  • front, rear, left and right are based on the direction of the arrow in the figure.
  • the display device 10 generally includes a display panel 20 provided in the housing 15, and a cover glass 30 that covers the entire surface of the display panel 20 and surrounds the front of the housing 15. .
  • the cover glass 30 is mainly installed for the purpose of improving the aesthetics or strength of the display device 10 or preventing damage to the impact, and the entire shape is formed from a single sheet of glass plate having a substantially planar shape.
  • the cover glass 30 may be installed so as to be separated from the display side (front side) of the display panel 20 (having an air layer), and has a translucent adhesive film (FIG. (Not shown) may be attached to the display side of the display panel 20.
  • a functional film 41 is provided on the front surface of the cover glass 30 that emits light from the display panel 20, and a functional film 42 is provided on the back surface on which light from the display panel 20 is incident, at a position corresponding to the display panel 20. ing.
  • the functional films 41 and 42 are provided on both surfaces in FIG. 3, the functional films 41 and 42 are not limited to this and may be provided on the front surface or the back surface, or may be omitted.
  • the functional films 41 and 42 have functions such as anti-reflection of ambient light, prevention of impact breakage, electromagnetic wave shielding, near-infrared shielding, color tone correction, and / or scratch resistance improvement, and thickness and shape are used for applications. It is selected as appropriate.
  • the functional films 41 and 42 are formed, for example, by attaching a resin film to the cover glass 30. Or you may form by thin film formation methods, such as a vapor deposition method, a sputtering method, or CVD method.
  • Reference numeral 44 denotes a black layer, which is, for example, a coating formed by applying ink containing pigment particles to the cover glass 30, irradiating it with ultraviolet rays, or heating and baking it, and then cooling it.
  • the display panel and the like cannot be seen from the outside, and the appearance is improved.
  • symbol 44 may be not only a black layer but a white layer, for example.
  • Example 1 Manufacture of glass substrates
  • a glass having the composition shown below was produced by a float process so that the plate thickness was 1.3 mm, and cut into 10 cm ⁇ 10 cm to produce a glass substrate.
  • the first plate member 102 is installed on the glass substrate that has completed the coating process so as to cover the entire bottom surface of the glass substrate 1. Baked for 30 minutes.
  • the first plate member 102 As the first plate member 102, a quartz plate having a thickness of 6 mm was used. After completion of the firing step, the glass substrate 1 was cooled to room temperature to obtain chemically strengthened glass.
  • FIG. 4 is a plan view of the glass substrate 1 for explaining the measurement points of the temperature of the top surface and the bottom surface of the glass substrate 1.
  • the central portion (C) The temperature of was measured.
  • a thermocouple sheath type K thermocouple
  • the amount of warpage of the obtained chemically strengthened glass was measured. As shown in FIG. 5, the amount of warpage is to measure the maximum warpage A with respect to the horizontal direction of the glass substrate 1 forming the warp.
  • Table 1 shows the results of measuring the amount of warpage
  • FIG. 6 shows the results of temperature profiles obtained by measuring the temperatures of the top and bottom surfaces of the glass substrate.
  • Example 2 As in Example 1, a glass substrate having the same composition as in Example 1 was produced. In the firing step of Example 1, the first plate member 102 is installed so as to cover the entire bottom surface of the glass substrate 1, as shown in FIG. And Example 1 was repeated except having installed the 2nd plate-shaped member 104 so that the whole upper surface of the glass substrate 1 might be covered, and baking at 450 degreeC in the baking furnace 12 for 30 minutes.
  • the first plate member 102 a quartz substrate having a thickness of 6 mm was used.
  • the second plate member 104 a quartz substrate having a thickness of 6 mm was used.
  • Table 1 shows the results of measuring the amount of warpage
  • FIG. 7 shows the results of temperature profiles obtained by measuring the temperatures of the top and bottom surfaces of the glass substrate.
  • Example 3 Similar to Example 1, a glass substrate having the following composition was produced. As shown in FIG. 1A, the first plate member 102 is installed on the glass substrate that has completed the coating process so as to cover the entire bottom surface of the glass substrate 1. Baked for 30 minutes. Table 1 shows the results of measuring the amount of warpage, and FIG. 6 shows the results of temperature profiles obtained by measuring the temperatures of the top and bottom surfaces of the glass substrate.
  • Composition Composition in terms of mol% is SiO 2 72.5%, Al 2 O 3 6.2%, Na 2 O 12.8%, MgO 8.5%
  • Example 4 As in Example 3, a glass substrate having the same composition as in Example 3 was produced.
  • the first plate member 102 is installed so as to cover the entire bottom surface of the glass substrate 1, as shown in FIG.
  • Example 1 was repeated except having installed the 2nd plate-shaped member 104 so that the whole upper surface of the glass substrate 1 might be covered, and baking at 450 degreeC in the baking furnace 12 for 30 minutes.
  • Table 1 shows the results of measuring the amount of warpage
  • FIG. 7 shows the results of temperature profiles obtained by measuring the temperatures of the top and bottom surfaces of the glass substrate.
  • the thickness DOL of the compressive stress layer of the chemically strengthened glass obtained in each of the above examples was measured using a surface stress meter (FSM-6000LE) manufactured by Orihara Seisakusho. The results are shown in Table 3.
  • the chemically strengthened glass obtained in each example was coated with an inorganic salt on the front and back surfaces of the glass substrate, and then these surfaces were baked at different temperatures or thermal processes.
  • the amount of ion exchange on the front and back surfaces of the glass substrate due to the inorganic salt is made different from each other, for example, warpage is likely to occur. It has been found that warping behavior after chemical strengthening can be controlled by imparting a strong surface compressive stress to a surface (that is, a surface on which the surface compressive stress tends to be relatively small).
  • the inorganic salt having the same composition as in Example 1 was used. Since the firing temperatures of the front surface and the back surface are the same, and the ion exchange amounts on both surfaces are almost the same, the warpage could not be suppressed.

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Abstract

　本発明は、ガラス基板（１）の表面および裏面に、無機塩を塗布する塗布工程と、前記塗布工程後、焼成炉（１２）内で前記ガラス基板（１）の表面および裏面を異なる温度または熱プロセスで焼成し、前記無機塩によるガラス基板（１）の表面および裏面のイオン交換量を互いに異ならせる焼成工程とを有することを特徴とする化学強化ガラスの製造方法に関する。本発明の製造方法によれば、化学強化後の反りを効果的に抑制することができる化学強化ガラスを提供できる。

Description

化学強化ガラスの製造方法
　本発明は、化学強化ガラスの製造方法に関する。
　近年、携帯電話または携帯情報端末（ＰＤＡ）等のフラットパネルディスプレイ装置において、ディスプレイの保護および美観を高めるために、画像表示部分よりも広い領域となるように薄い板状のカバーガラスをディスプレイの前面に配置することが行われている。
　このようなフラットパネルディスプレイ装置に対しては、軽量および薄型化が要求されており、そのため、ディスプレイ保護用に使用されるカバーガラスも薄くすることが要求されている。
　しかし、カバーガラスの厚さを薄くしていくと、強度が低下し、使用中または携帯中の落下などによりカバーガラス自身が割れてしまうことがあり、ディスプレイ装置を保護するという本来の役割を果たすことができなくなるという問題がある。
　このため従来のカバーガラスは、耐傷性を向上させるため、フロート法により製造されたフロートガラスを、化学強化することで表面に圧縮応力層を形成しカバーガラスの耐傷性を高めている。
　フロートガラスは化学強化後に反りが生じて平坦性が損なわれることが報告されている（特許文献１）。該反りは、フロート成形時に溶融錫と接触していないガラス面（以下、トップ面ともいう。）と、溶融錫と接触しているガラス面（以下、ボトム面ともいう。）との化学強化の入り方が異なることにより生じるとされている。
　従来、フロートガラスのトップ面が、ボトム面と化学強化の入り方が異なる理由としては、フロート成形時において溶融金属との接触するガラス面に溶融金属が侵入するためと考えられてきた（特許文献１）。
　特許文献１では、フロート方式で製造され、加工された板状体を表面研磨せずに、Ｌｉイオン若しくはＮａイオンまたはこれらの混合無機塩に浸漬または接触した後に化学強化することにより、前記反りを改善することが開示されている。
　また、従来、前記反りを低減するために、化学強化による強化応力を小さくしたり、フロートガラスのトップ面およびボトム面を研削処理または研磨処理等することにより表面異質層を除去した後に化学強化する対処方法がなされている。
日本国特許第２０３３０３４号公報
　しかしながら、特許文献１に記載の方法では、化学強化前に混合無機塩にフロートガラスを浸漬処理することが必要であり、煩雑である。また、強化応力を小さくする方法では化学強化後のフロートガラスの強度が不十分となる虞がある。
　さらに、化学強化前にフロートガラスのトップ面およびボトム面を研削処理または研磨処理等する方法は、生産性を向上させる観点から問題があり、これらの研削処理または研磨処理等を省略することが好ましい。
　したがって、本発明は、化学強化後の反りを効果的に抑制することができる化学強化ガラスの製造方法を提供することを目的とする。
　本発明者は鋭意研究を重ねた結果、ガラス基板の表面および裏面に無機塩を塗布した後、これらの面を異なる温度または熱プロセスで焼成して、無機塩によるガラス基板の表面および裏面のイオン交換量を互いに異ならせ、反りが発生し易い面、すなわち相対的に表面圧縮応力の小さくなり易い面に強い表面圧縮応力を持たせることにより、前記課題を解決できることを見出し、本発明を完成した。
　すなわち本発明は、以下の通りである。
１．ガラス基板の表面および裏面に、無機塩を塗布する塗布工程と、
　前記塗布工程後、焼成炉内で前記ガラス基板の表面および裏面を異なる温度または熱プロセスで焼成し、前記無機塩による前記ガラス基板の表面および裏面のイオン交換量を互いに異ならせる焼成工程とを有することを特徴とする化学強化ガラスの製造方法。
２．前記焼成工程において、前記ガラス基板の表面または裏面の一方の面に第１板状部材を設置することにより、前記焼成炉内で前記ガラス基板の表面および裏面を異なる温度または熱プロセスで焼成することを特徴とする前記１に記載の化学強化ガラスの製造方法。
３．前記焼成工程において、前記ガラス基板の表面に第１板状部材を設置し、かつ前記ガラス基板の裏面に前記第１板状部材とは異なる熱容量を有する第２板状部材を設置することにより、前記焼成炉内で前記ガラス基板の表面および裏面を異なる温度または熱プロセスで焼成することを特徴とする前記１に記載の化学強化ガラスの製造方法。
４．前記塗布工程および前記焼成工程を、連続的に行うことを特徴とする前記１に記載の化学強化ガラスの製造方法。
５．前記塗布工程および前記焼成工程を、前記ガラス基板の表面および裏面が水平方向となるようにして実施することを特徴とする前記１に記載の化学強化ガラスの製造方法。
６．前記塗布工程が、複数の前記ガラス基板を移動させながら、前記ガラス基板の表面に無機塩を塗布し、前記ガラス基板を反転させ、前記ガラス基板の裏面に無機塩を塗布する工程であり、かつ
　前記焼成工程が、前記複数のガラス基板を焼成炉内で同時に焼成する工程であることを特徴とする前記５に記載の化学強化ガラスの製造方法。
７．前記焼成工程において、前記ガラス基板の表面に対して前記ガラス基板の裏面を１分以上の間５℃以上異なる温度で焼成することを特徴とする前記１に記載の化学強化ガラスの製造方法。
　本発明の化学強化ガラスの製造方法においては、ガラス基板の表面および裏面に無機塩を塗布した後、これらの面を異なる温度または熱プロセスで焼成して、無機塩によるガラス基板の表面および裏面のイオン交換量を互いに異ならせ、反りが発生し易い面、すなわち相対的に表面圧縮応力の小さくなり易い面に強い表面圧縮応力を持たせる。これにより、化学強化後におけるガラスの反りを低減し、優れた平坦度を得ることができる。
図１（ａ）および（ｂ）は、焼成炉内でガラス基板の表面および裏面を異なる温度で焼成する方法を説明するための図である。 図２は、本発明の製造方法を実施するための装置の一例を模式的に示す図である。 図３は、本発明で製造された化学強化ガラスを、フラットパネルディスプレイ用のカバーガラスとして用いたフラットパネルディスプレイの断面図である。 図４は、ガラス基板のトップ面およびボトム面の温度の測定箇所を説明するためのガラス基板の平面図である。 図５は、反り量の測定箇所を説明するための図である。 図６は、実施例１および３について、ガラス基板のトップ面およびボトム面の温度を測定して得られた温度プロファイルの結果を示す図である。 図７は、実施例２および４について、ガラス基板のトップ面およびボトム面の温度を測定して得られた温度プロファイルの結果を示す図である。
　以下、本発明の実施形態（以下、本実施形態という）について説明する。
（塗布工程）
　本実施形態における塗布工程は、ガラス基板の表面および裏面に、無機塩を塗布する工程である。
　本実施形態で使用されるガラス基板は、表面および裏面の２つの主面と、これらに隣接して板厚を形成する端面とを有し、２つの主面は互いに平行な平坦面を形成している。本実施形態で使用されるガラス基板は、イオン交換可能なものであればとくに制限されない。例えば、ソーダライムシリケートガラス、アルカリアルミノシリケートガラスおよびアルカリアルミノボロシリケートガラス等が挙げられる。
　本実施形態で使用されるガラス基板の組成としては、モル％で表示した組成で、ＳｉＯ２を５０～８０％、Ａｌ２Ｏ３を０．１～２５％、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏを３～３０％、ＭｇＯを０～２５％、ＣａＯを０～２５％およびＺｒＯ２を０～５％含むガラスが挙げられるが、特に限定されない。より具体的には、以下のガラスの組成が挙げられる。なお、例えば、「ＭｇＯを０～２５％含む」とは、ＭｇＯは必須ではないが２５％まで含んでもよい、の意である。
（ｉ）モル％で表示した組成で、ＳｉＯ２を６３～７３％、Ａｌ２Ｏ３を０．１～５．２％、Ｎａ２Ｏを１０～１６％、Ｋ２Ｏを０～１．５％、ＭｇＯを５～１３％及びＣａＯを４～１０％を含むガラス
（ｉｉ）モル％で表示した組成で、ＳｉＯ２を５０～７４％、Ａｌ２Ｏ３を１～１０％、Ｎａ２Ｏを６～１４％、Ｋ２Ｏを３～１１％、ＭｇＯを２～１５％、ＣａＯを０～６％およびＺｒＯ２を０～５％含有し、ＳｉＯ２およびＡｌ２Ｏ３の含有量の合計が７５％以下、Ｎａ２ＯおよびＫ２Ｏの含有量の合計が１２～２５％、ＭｇＯおよびＣａＯの含有量の合計が７～１５％であるガラス
（ｉｉｉ）モル％で表示した組成で、ＳｉＯ２を６８～８０％、Ａｌ２Ｏ３を４～１０％、Ｎａ２Ｏを５～１５％、Ｋ２Ｏを０～１％、ＭｇＯを４～１５％およびＺｒＯ２を０～１％含有するガラス
（ｉｖ）モル％で表示した組成で、ＳｉＯ２を６７～７５％、Ａｌ２Ｏ３を０～４％、Ｎａ２Ｏを７～１５％、Ｋ２Ｏを１～９％、ＭｇＯを６～１４％およびＺｒＯ２を０～１．５％含有し、ＳｉＯ２およびＡｌ２Ｏ３の含有量の合計が７１～７５％、Ｎａ２ＯおよびＫ２Ｏの含有量の合計が１２～２０％であり、ＣａＯを含有する場合その含有量が１％未満であるガラス
　また本実施形態で使用されるガラス基板は、本発明の効果向上の観点から、板厚が０．２ｍｍ～２ｍｍであることが好ましく、０．３ｍｍ～１ｍｍであることがより好ましい。
　本実施形態で使用される無機塩は、例えば、ガラス表面のイオン半径が小さなアルカリ金属イオン（典型的には、ＬｉイオンまたはＮａイオン）をイオン半径のより大きなアルカリイオン（典型的には、Ｋイオン）に交換し、ガラス表面に圧縮応力層を形成する役割を有する。
　本実施形態で使用される無機塩の組成は、とくに制限されないが、例えば、カリウム化合物を含有する。カリウム化合物としては、例えば、ＫＮＯ３、ＫＣｌ、ＫＢｒ、ＫＩ、ＫＦおよびＫ２ＳＯ４等が挙げられる。また、カリウム化合物以外に、例えば、ＮａＮＯ３等のナトリウム化合物を５％程度以下含有するものも一般的である。
　前記無機塩には、溶媒および増粘剤等の添加物を添加してもよい。溶媒としては、例えば、カリウム化合物を溶解、分散若しくは懸濁させることが可能な液体または液体が基となる物質が挙げられ、水またはアルコールが基となるものでもよい。増粘剤としては、例えば、有機樹脂および有機溶剤等が挙げられる。
　有機樹脂としては、熱処理温度において分解する樹脂を用いればよく、水洗により容易に除去できるものが好ましい。例えば、このような特性を有する、セルロース樹脂、メチルセルロース樹脂、セルロースアセテート樹脂、セルロースニトレート樹脂、セルロースアセテートプチレート樹脂、アクリル樹脂および石油樹脂等が挙げられる。
　有機溶剤は、金属化合物及び有機樹脂を容易に分散可能で乾燥時に容易に揮発するものであることが好ましく、具体的には、室温（２０℃）では液体であり、５０～２００℃程度で揮発する有機溶剤であることが好ましい。このような有機溶剤としては、例えば、メタノールおよびエタノール等のアルコール類並びにジメチルエーテルおよびアセトン等のケトン類などが挙げられる。
　本実施形態で使用される無機塩に対する添加物の添加量については、特に限定されない。
　また、本実施形態で使用される無機塩は、塗布し易いという観点から、各プロセスに応じて粘度を調整可能であることが好ましい。粘度を調整する方法としては、例えば、カオリンのようなクレー、水またはアルミノシリケートファイバーのような流動性調整剤を添加する方法が挙げられる。
　本実施形態で使用される無機塩の粘度は適宜調整可能であるが、２０℃における粘度が、通常２００～１０００００ｍＰａであることが好ましい。無機塩の粘度は、例えば粘度計（株式会社マルコム社製ＰＭ－２Ｂ）、粘度カップ（アネスト岩田株式会社製ＮＫ－２）等により測定可能である。
　ガラス基板の表面および裏面に、無機塩を塗布する方法としては、公知のコーターを用いればよく、とくに制限されないが、例えば、カーテンコーター、バーコーター、ロールコーター、ダイコーターおよびスプレーコート等が挙げられる。
　従来技術において、ガラス基板の化学強化は、無機塩を収容する槽にガラス基板を浸漬する手法が採られていた。このような手法では、ガラス基板の表面および裏面に付着する無機塩の量および種類を変えることができなかった。
　これに対し、本実施形態の塗布工程では、ガラス基板の表面および裏面に、例えば、コーターを用いて無機塩を個別に塗布することができるので、ガラス基板の表面および裏面に塗布する無機塩の量および種類を変えることが可能となる。これにより、所望の圧力に対して、必要最小限の塗布量を設定でき、これに伴いコストの軽減も可能となる点で有利となる。
　このように、本実施形態において、ガラス基板の表面および裏面に塗布される無機塩の塗布量および種類は同じであっても異なっていてもよい。
（焼成工程）
　本実施形態における焼成工程は、前記塗布工程後、焼成炉内で前記ガラス基板の表面および裏面を異なる温度または熱プロセスで焼成し、前記無機塩によるガラス基板の表面および裏面のイオン交換量を互いに異ならせる工程である。
　ここで、ガラス基板の表面および裏面を異なる熱プロセスで焼成するとは、ガラス基板各面に、例えばガラスと熱容量の異なる板状部材を接触させ、ガラス表面の温度プロファイルを各面で変化させ、カリウム塩が溶融する温度時間を制御し、イオン交換量を各面で制御することをいう。ガラス表面の温度プロファイルは、ガラス表面が３００℃以上の領域において、各面で１分以上の間５℃以上異ならせることが好ましく、１０分以上の間５℃以上異ならせることがより好ましい。
　焼成炉内でガラス基板の表面および裏面を異なる温度または熱プロセスで焼成する方法としては、例えば、図１（ａ）および（ｂ）に示すような２つの方法が挙げられる。
　図１（ａ）を参照すると、焼成炉１２内において、焼成台１２０上に塗布工程を実施したガラス基板１を載置し、その際、ガラス基板１の裏面に第１板状部材１０２を設置している。
　図１（ａ）に示す方法によれば、焼成炉１２内でガラス基板１の裏面に第１板状部材１０２が設置されていることから、該表面の温度が裏面の温度よりも低くなり、結果としてガラス基板の表面および裏面が異なる温度または熱プロセスで焼成されることになる。
　また図１（ｂ）を参照すると、焼成炉１２内において、焼成台１２０上に塗布工程を実施したガラス基板１を載置し、その裏面に第１板状部材１０２が設置され、表面に第２板状部材１０４が設置されている。ここで第２板状部材１０４は、第１板状部材１０２と熱容量が異なるものを使用している。
　図１（ｂ）に示す方法によれば、ガラス基板１の表裏面に、異なる熱容量を有する板状部材がそれぞれ設置されていることから、第１板状部材１０２および第２板状部材１０４の熱容量を適宜選定することにより、該表面および裏面に到達する熱エネルギーがそれぞれ異なり、結果としてガラス基板の表面および裏面が異なる温度または熱プロセスで焼成されることになる。
　図１（ｂ）に示す形態において、第１板状部材１０２および第２板状部材１０４の熱容量を設定する方法としては、例えば、これらの部材の板厚、材質、形状または大きさ等を調整する方法が挙げられる。また、第１板状部材１０２および第２板状部材１０４の材質としては、例えば、ガラス、セラミックおよび金属等が挙げられる。
　焼成工程における焼成温度は、無機塩の種類により適宜設定すればよいが、通常３５０～６００℃であることが好ましく、より好ましくは４００～５５０℃である。
　焼成時間は、適宜設定可能であるが、所定の焼成温度に到達してから、通常５分～１０時間であることが好ましく、より好ましくは３０分～４時間である。焼成工程におけるガラス基板の表面および裏面の面内温度分布は、通常１～５℃であることが好ましく、より好ましくは１～２℃である。
　このような本実施形態の焼成工程により、ガラス基板の表面および裏面のイオン交換量を互いに異ならせることが可能となる。ここで、「イオン交換」とは、ガラス基板表層のイオン半径が小さなアルカリ金属イオン（典型的には、ＬｉイオンまたはＮａイオン）が、イオン半径のより大きなアルカリイオン（典型的には、Ｋイオン）に交換されることを意味する。このイオン交換により、ガラス表層に圧縮応力層を形成することができる。
　また一般的に反りが多く発生する（すなわち、相対的に表面圧縮応力が小さくなる）のはボトム面であるので、トップ面に対してボトム面の焼成温度を高く設定し、イオン交換量を高め、ボトム面に強い表面圧縮応力を持たせるのが好ましい。
　トップ面に対してボトム面に強い表面圧縮応力を持たせるには、例えば、次の方法がある。
　（１）ボトム面に第１板状部材１０２を設置し、トップ面には設置しない。
　（２）ボトム面に第１板状部材１０２を設置し、トップ面に第２板状部材１０４を設置するが、第１板状部材１０２の熱容量が、第２板状部材１０４よりも同等以上であるものを使用する。
　本実施形態では、前記塗布工程および前記焼成工程を、連続的に行うことができる。図２を参照しながら説明する。図２は、本実施形態の製造方法を実施するための装置の一例を模式的に示す図である。
　まず、複数のガラス基板１を、ガラス基板の表面および裏面が水平方向となるようにコンベヤの無端ベルト２０１上に載置する。無端ベルト２０１上で複数のガラス基板１を移動させながら、無端ベルト２０１の任意箇所で、カーテンコーター２０２によって無機塩２００をガラス基板１の表面に塗布し、乾燥機２０３を用いて乾燥する。
　続いて、図示しない反転機によってガラス基板１を反転させ（符号ｒ）、さらに無端ベルト２０１の任意箇所で、カーテンコーター２０４によって無機塩２００’をガラス基板１の裏面に塗布する。
　次に、無機塩が塗布されたガラス基板１を、焼成炉２０５に導入する。焼成炉２０５内で複数のガラス基板１の表裏面が焼成され、無機塩によるガラス基板の表面および裏面のイオン交換が行われる。
　このように、ガラス基板の表面および裏面を水平方向に設置し、塗布工程および焼成工程を実施することで、効率的な連続式の化学強化ガラスの製造が可能となる。
　なお本実施形態において、ガラス基板１の表面および裏面に塗布される無機塩２００または２００’は同じであっても異なっていてもよいことは上述の通りである。
　なお、表面圧縮応力ＣＳおよび圧縮応力層の厚みＤＯＬの調整は、例えば、熱処理温度・熱処理時間・カリウム塩組成等を調整することにより可能である。ＣＳおよびＤＯＬは、表面応力計により測定することができる。
　以下、本実施形態の製造方法により化学強化されたガラスを、フラットパネルディスプレイ用のカバーガラスとして用いた例について説明する。図３は、カバーガラスが配置されたディスプレイ装置の断面図である。なお、以下の説明において、前後左右は図中の矢印の向きを基準とする。
　ディスプレイ装置１０は、図３に示すように、概して筐体１５内に設けられた表示パネル２０と、表示パネル２０の全面を覆い筐体１５の前方を囲うように設けられるカバーガラス３０とを備える。
　カバーガラス３０は、主として、ディスプレイ装置１０の美観若しくは強度の向上、または衝撃破損防止などを目的として設置されるものであり、全体形状が略平面形状の一枚の板状ガラスから形成される。
　カバーガラス３０は、図３に示すように、表示パネル２０の表示側（前側）から離間するように（空気層を有するように）設置されていてもよく、透光性を有する接着膜（図示せず）を介して表示パネル２０の表示側に貼り付けられてもよい。
　カバーガラス３０の表示パネル２０からの光を出射する前面には機能膜４１が設けられ、表示パネル２０からの光が入射する背面には、表示パネル２０と対応する位置に機能膜４２が設けられている。なお、機能膜４１、４２は、図３では両面に設けたが、これに限らず前面または背面に設けてもよく、省略してもよい。
　機能膜４１、４２は、例えば、周囲光の反射防止、衝撃破損防止、電磁波遮蔽、近赤外線遮蔽、色調補正、および／または耐傷性向上などの機能を有し、厚さおよび形状などは用途に応じて適宜選択される。
　機能膜４１、４２は、例えば、樹脂製の膜をカバーガラス３０に貼り付けることにより形成される。あるいは、蒸着法、スパッタ法またはＣＶＤ法などの薄膜形成法により形成されてもよい。
　符号４４は、黒色層であり、例えば、顔料粒子を含むインクをカバーガラス３０に塗布し、これを紫外線照射、または加熱焼成した後、冷却することによって形成された被膜であり、筐体１５の外側からは表示パネル等が見えなくなり、外観の審美性を向上させる。なお、符号４４は黒色層に限らずたとえば白色層であってもよい。
　以下に本発明を実施例によりさらに説明するが、本発明はこれらに限定されない。
実施例１
（ガラス基板の製造）
　以下に示す組成のガラスを板厚が１．３ｍｍとなるようにフロート法で製造し、１０ｃｍ×１０ｃｍに切断し、ガラス基板を作製した。
　組成：モル％表示の組成が、ＳｉＯ２　６４．２％、Ａｌ２Ｏ３　８．０％、Ｎａ２Ｏ　１２．５％、Ｋ２Ｏ　４．０％、ＭｇＯ　１０．５％、ＣａＯ　０．１％、ＳｒＯ　０．１％、ＢａＯ　０．１％、ＺｒＯ２　０．５％
（塗布工程）
　前記ガラス基板のトップ面およびボトム面に、下記の組成のペースト状の無機塩を、厚みが０．５ｍｍとなるようにカーテンコーターを用いて塗布した。無機塩の粘度は、粘度計（株式会社マルコム社製ＰＭ－２Ｂ）を用いて測定した。
ペースト状の無機塩の組成：２５％　カリウム塩（ＫＮＯ３）、５０％　水、２５％　粘土（モル％表示の組成が、ＳｉＯ２　４７．６％、Ａｌ２Ｏ３　３６．８％、ＴｉＯ２　０．１４％、Ｆｅ２Ｏ２　０．２７％、ＭｇＯ　０．１１％、ＣａＯ　０．１１％、Ｋ２Ｏ　０．０２％）
ペースト状の無機塩の粘度（２０℃）：５０～１００ｃＰｓ
（焼成工程）
　前記塗布工程を完了したガラス基板に対し、図１（ａ）に示すように、ガラス基板１のボトム面の全面を覆うように第１板状部材１０２を設置し、焼成炉１２内で４５０℃にて３０分、焼成を行った。
　第１板状部材１０２としては、厚さ６ｍｍの石英板を用いた。焼成工程完了後、ガラス基板１を室温まで冷却し、化学強化ガラスを得た。
　ガラス基板１のトップ面およびボトム面の温度を測定した。図４は、ガラス基板１のトップ面およびボトム面の温度の測定箇所を説明するためのガラス基板１の平面図であり、ガラス基板１のトップ面およびボトム面のそれぞれにおいて、中央部（Ｃ）の温度を測定した。測定方法はガラス基板１のトップ面およびボトム面の中央部（Ｃ）に熱電対（シース型Ｋ熱電対）を設置して温度を測定した。
　また、得られた化学強化ガラスの反り量を測定した。反り量は、図５に示すように、反りを形成しているガラス基板１の水平方向に対する最大の反りＡを測定するものであり、株式会社東京精密製接触式表面形状測定器［サーフコム１４００Ｄ（商品名）］で測定することができる。
　反り量を測定した結果を表１に、ガラス基板のトップ面およびボトム面の温度を測定して得られた温度プロファイルの結果を図６に示す。
実施例２
　実施例１と同様に、実施例１と同様の組成のガラス基板を製造した。実施例１の焼成工程において、塗布工程を完了したガラス基板に対し、図１（ｂ）に示すように、ガラス基板１のボトム面の全面を覆うように第１板状部材１０２を設置し、かつ、ガラス基板１のトップ面の全面を覆うように第２板状部材１０４を設置し焼成炉１２内で４５０℃にて３０分、焼成を行ったこと以外は、実施例１を繰り返した。
　第１板状部材１０２としては、厚さ６ｍｍの石英基板を用いた。第２板状部材１０４としては、厚さ６ｍｍの石英基板を用いた。反り量を測定した結果を表１に、ガラス基板のトップ面およびボトム面の温度を測定して得られた温度プロファイルの結果を図７に示す。
実施例３
　実施例１と同様に、下記組成のガラス基板を製造した。前記塗布工程を完了したガラス基板に対し、図１（ａ）に示すように、ガラス基板１のボトム面の全面を覆うように第１板状部材１０２を設置し、焼成炉１２内において４５０℃で３０分、焼成を行った。反り量を測定した結果を表１に、ガラス基板のトップ面およびボトム面の温度を測定して得られた温度プロファイルの結果を図６に示す。組成：モル％表示の組成が、ＳｉＯ２　７２．５％、Ａｌ２Ｏ３　６．２％、Ｎａ２Ｏ　１２．８％、ＭｇＯ　８．５％
実施例４
　実施例３と同様に、実施例３と同様の組成のガラス基板を製造した。実施例１の焼成工程において、塗布工程を完了したガラス基板に対し、図１（ｂ）に示すように、ガラス基板１のボトム面の全面を覆うように第１板状部材１０２を設置し、かつ、ガラス基板１のトップ面の全面を覆うように第２板状部材１０４を設置し焼成炉１２内で４５０℃にて３０分、焼成を行ったこと以外は、実施例１を繰り返した。反り量を測定した結果を表１に、ガラス基板のトップ面およびボトム面の温度を測定して得られた温度プロファイルの結果を図７に示す。
　なお、前記の各実施例で得られた化学強化ガラスの表面圧縮応力ＣＳを、折原製作所社製表面応力計（ＦＳＭ－６０００ＬＥ）を用いて測定した。その結果を表２に示す。
　また、前記の各実施例で得られた化学強化ガラスの圧縮応力層の厚みＤＯＬを、折原製作所社製表面応力計（ＦＳＭ－６０００ＬＥ）を用いて測定した。その結果を表３に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
　表１、図６および図７の結果から、各実施例で得られた化学強化ガラスは、ガラス基板の表面および裏面に無機塩を塗布した後、これらの面を異なる温度または熱プロセスで焼成してガラス基板の各面における昇温カーブ、焼成キープ時間を接触部材の熱容量により制御することで、無機塩によるガラス基板の表面および裏面のイオン交換量を互いに異ならせ、例えば、反りが発生し易い面（すなわち、相対的に表面圧縮応力が小さくなり易い面）に強い表面圧縮応力を持たせることで、化学強化後における反り挙動を制御し得ることが分かった。
　これに対し、従来技術のようにガラス基板を、液体状の無機塩を収容する槽に浸漬し、塗布工程を完了したところ、実施例１と同じ組成の無機塩を使用したが、ガラス基板の表面および裏面の焼成温度が同一となり、これら両面のイオン交換量がほとんど同じであるため、反りを抑制することができなかった。
　本発明を特定の態様を参照して詳細に説明したが、本発明の精神と範囲を離れることなく様々な変更および修正が可能であることは、当業者にとって明らかである。
　なお、本出願は、２０１４年４月９日付けで出願された日本特許出願（特願２０１４－０８０３２０）に基づいており、その全体が引用により援用される。
１　ガラス基板
１２，２０５　焼成炉
２００，２００’　無機塩
１０２　第１板状部材
１０４　第２板状部材
２０１　無端ベルト
２０２，２０４　カーテンコーター
１０　ディスプレイ装置
１５　筐体
２０　表示パネル
３０　カバーガラス

Claims (7)

  1. 　ガラス基板の表面および裏面に、無機塩を塗布する塗布工程と、
    　前記塗布工程後、焼成炉内で前記ガラス基板の表面および裏面を異なる温度または熱プロセスで焼成し、前記無機塩による前記ガラス基板の表面および裏面のイオン交換量を互いに異ならせる焼成工程とを有することを特徴とする化学強化ガラスの製造方法。
  2. 　前記焼成工程において、前記ガラス基板の表面または裏面の一方の面に第１板状部材を設置することにより、前記焼成炉内で前記ガラス基板の表面および裏面を異なる温度または熱プロセスで焼成することを特徴とする請求項１に記載の化学強化ガラスの製造方法。
  3. 　前記焼成工程において、前記ガラス基板の表面に第１板状部材を設置し、かつ前記ガラス基板の裏面に前記第１板状部材とは異なる熱容量を有する第２板状部材を設置することにより、前記焼成炉内で前記ガラス基板の表面および裏面を異なる温度または熱プロセスで焼成することを特徴とする請求項１に記載の化学強化ガラスの製造方法。
  4. 　前記塗布工程および前記焼成工程を、連続的に行うことを特徴とする請求項１に記載の化学強化ガラスの製造方法。
  5. 　前記塗布工程および前記焼成工程を、前記ガラス基板の表面および裏面が水平方向となるようにして実施することを特徴とする請求項１に記載の化学強化ガラスの製造方法。
  6. 　前記塗布工程が、複数の前記ガラス基板を移動させながら、前記ガラス基板の表面に無機塩を塗布し、前記ガラス基板を反転させ、前記ガラス基板の裏面に無機塩を塗布する工程であり、かつ
    　前記焼成工程が、前記複数のガラス基板を焼成炉内で同時に焼成する工程であることを特徴とする請求項５に記載の化学強化ガラスの製造方法。
  7. 　前記焼成工程において、前記ガラス基板の表面に対して前記ガラス基板の裏面を１分以上の間５℃以上異なる温度で焼成することを特徴とする請求項１に記載の化学強化ガラスの製造方法。
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