WO2014115870A1 - 制御装置および制御装置の動作方法 - Google Patents

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WO2014115870A1
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slave
data
network
restore
processing
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PCT/JP2014/051676
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彰男 小野
成憲 澤田
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オムロン株式会社
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    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/04—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
    • G05B19/05—Programmable logic controllers, e.g. simulating logic interconnections of signals according to ladder diagrams or function charts
    • G05B19/058—Safety, monitoring
    • G—PHYSICS
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    • G05B2219/20—Pc systems
    • G05B2219/24—Pc safety
    • G05B2219/24007—Backup data if microprocessor not responding

Definitions

  • the present invention relates to a control device that functions as a master device in a network and controls one or a plurality of slave devices via the network, and an operation method thereof.
  • PLC programmable controller
  • the PLC is connected to one or a plurality of slave devices (typically, remote IO (Input / Output) devices, servo motor drivers, etc.) via a network called a field bus. Is done.
  • slave devices typically, remote IO (Input / Output) devices, servo motor drivers, etc.
  • Cited Document 1 discloses a programmable controller that can back up or restore a setting value of a target parameter of a communication device.
  • This programmable controller has backup procedure information and restore procedure information, and performs backup / restore based on the procedure information when performing backup / restore.
  • the device configuration can be changed arbitrarily. For this reason, the device configuration may differ between backup and restore.
  • the procedure information is prepared in advance, so that the device configuration is different between the backup time and the restore time.
  • restoration cannot be performed properly.
  • the present invention has been made in consideration of the above points, and the object thereof is even when the slave device connected to the control device via the network has been changed since the data was created. Another object of the present invention is to provide a control device capable of performing a restore process on a slave device as much as possible and an operation method thereof.
  • a control device that functions as a master device in a network and controls one or a plurality of slave devices via the network.
  • the control device includes device configuration information including information on validity / invalidity of network connection for each slave device registered as a member of the network, and parameters necessary for controlling the registered slave device.
  • a storage unit that holds the setting information; and a processing unit that can execute a restore process using data including the setting information.
  • the processing unit reads the device configuration information at the time of executing the restore process, and among the target slave devices included in the data, on the slave device for which network connection is valid in the read device configuration information or on the network
  • the existing slave device is specified, and the setting information corresponding to the specified slave device is restored.
  • the restore process includes a process of transmitting necessary data from the control device to the slave device to be restored.
  • the processing unit corresponds to setting information included in the data when the network connection of any of the slave devices becomes valid, or when any of the slave devices comes on the network. Restore.
  • the data is provided from a support device.
  • the processing unit is configured to further execute a backup process for generating data using data from the storage unit and the slave device.
  • a method of operating a control device that functions as a master device in a network and controls one or more slave devices via the network.
  • the operation method includes device configuration information including information on validity / invalidity of network connection for each slave device registered as a network member, and parameters necessary for controlling the registered slave device. Holding the setting information, and executing a restore process using data including the setting information.
  • the step of executing the restore process reads the device configuration information and exists on the slave device whose network connection is valid in the read device configuration information among the target slave devices included in the data or on the network A step of identifying the slave device that is currently operating and restoring setting information corresponding to the identified slave device.
  • the restore processing for the slave device can be performed as much as possible.
  • FIG. 6 is a schematic diagram for explaining a backup process / restoration process according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is a flowchart illustrating a procedure of backup processing according to the first embodiment.
  • 4 is a flowchart showing a procedure of restore processing according to the first embodiment.
  • FIG. 10 is a schematic diagram for explaining a restore process according to the second embodiment.
  • 10 is a flowchart illustrating a procedure of restore processing (part 1) according to the second embodiment.
  • FIG. 10 is a schematic diagram illustrating an example of information relating to a record of completion of a restore process in the restore process (part 1) according to the second embodiment.
  • 10 is a flowchart illustrating a procedure of additional restore processing (part 1) according to the second embodiment.
  • 10 is a flowchart showing a procedure of additional restore processing (part 2) according to the second embodiment.
  • FIG. 10 is a schematic diagram for explaining an overview of a backup process / restoration process according to a third embodiment.
  • FIG. 1 is a diagram for explaining an example of a device configuration controlled using the control system according to the present embodiment.
  • FIG. 1 shows a configuration example of a multi-chamber semiconductor manufacturing apparatus.
  • the semiconductor manufacturing apparatus 1 shown in FIG. 1A shows a configuration in which a plurality of process chambers 20, 22, 24, and 26 are provided around the transfer chamber 10. In each process chamber, a vacuum process is performed on the substrate. Gate valves 21, 23, 25, and 27 are provided between the process chambers 20, 22, 24, and 26 and the transfer chamber 10, respectively, and switch between a communication state / blocking state with the transfer chamber 10. .
  • a transfer robot 12 is provided in the transfer chamber 10. The transfer robot 12 inserts a substrate before processing into one of the process chambers 20, 22, 24, 26, or takes out a substrate after processing from the process chambers 20, 22, 24, 26.
  • the transfer chamber 10 is provided with load lock chambers 30 and 34.
  • the load lock chambers 30 and 34 carry in and out the substrate to be processed, and maintain the inside of the transfer chamber 10 and the process chambers 20, 22, 24, and 26 in a vacuum. More specifically, the load lock chamber 30 is connected to the transfer chamber 10 via the communication portion 33, and gate valves 31 and 32 are provided on the inlet side and the outlet side of the transfer chamber 10. Similarly, the load lock chamber 34 is connected to the transfer chamber 10 via a communication portion 37, and gate valves 35 and 36 are provided on the entrance side and the exit side of the transfer chamber 10.
  • the load lock chambers 30 and 34 are alternately used for loading and unloading the substrate to be processed.
  • the semiconductor manufacturing apparatus 1 shown in FIG. 1A is a basic configuration, and there are a semiconductor manufacturing apparatus 2 shown in FIG. 1B and a semiconductor manufacturing apparatus 3 shown in FIG. 1C as variations. More specifically, the semiconductor manufacturing apparatus 2 shown in FIG. 1B corresponds to the semiconductor manufacturing apparatus 1 shown in FIG. 1A in which the first process chamber 20 and the gate valve 21 are removed. The semiconductor manufacturing apparatus 3 shown in FIG. 1C corresponds to the semiconductor manufacturing apparatus 1 shown in FIG. 1A in which the fourth process chamber 26 and the gate valve 27 are removed.
  • This embodiment is typically for a control system constructed using such a partially common project and a control system applied to a device whose configuration is changed according to the situation. Provide a configuration that can flexibly perform backup processing and restoration processing.
  • FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a configuration example of a control system according to the present embodiment.
  • the control system shown in FIG. 2 is directed to the semiconductor manufacturing apparatus 1 shown in FIG.
  • the control system SYS includes a PLC 100, a servo motor driver 210 and a remote IO terminal 200 connected to the PLC 100 via a network.
  • a field network 108 is employed as a network.
  • the PLC 100 functions as a “master device” that manages communication processing in the field network 108. This master device may be referred to as a “master station” or a “management station”.
  • the servo motor driver 210 and the remote IO terminal 200 connected to the PLC 100 via the field network 108 are referred to as “slave devices” or “devices” in the sense of comparison with the PLC 100 which is the master device. Assume that each slave device on the field network 108 is identified by a node number.
  • the PLC 100 as the master device functions as a master device in the network and controls one or a plurality of slave devices via the network.
  • a field network 108 various types of industrial Ethernet (registered trademark) can be used.
  • industrial Ethernet registered trademark
  • examples of the industrial Ethernet (registered trademark) include EtherCAT (registered trademark), PROFINET (registered trademark), MECHATROLINK (registered trademark) -III, Powerlink, SERCOS (registered trademark) -III, and CIP Motion.
  • a field network other than industrial Ethernet (registered trademark) may be used.
  • DeviceNet, CompoNet (registered trademark), or the like may be used.
  • the PLC 100 includes a CPU unit 110, an IO unit 120, and a power supply unit 130.
  • the CPU unit 110 is a processing unit that executes main arithmetic processing, and executes arithmetic processing based on a program and setting information as described later.
  • the IO unit 120 is an example of a functional unit configured to exchange data with each other via the CPU unit 110 and a PLC internal bus (not shown). More specifically, the IO unit 120 is a unit related to general input / output processing, and controls input / output of binarized data such as on / off. That is, the IO unit 120 collects information indicating whether a sensor such as a detection switch is detecting a certain object (ON) or not detecting any object (OFF). To do. Further, the IO unit 120 outputs either a command for activation (ON) or a command for inactivation (OFF) to an output destination such as a relay or an actuator.
  • a special unit having functions not supported by the IO unit 120 such as analog data input / output, temperature control, and communication using a specific communication method, may be mounted.
  • the power supply unit 130 supplies power of an appropriate voltage to the CPU unit 110 and the IO unit 120.
  • the support device 300 is connected to the PLC 100 via a connection cable or the like. More specifically, the CPU unit 110 of the PLC 100 is provided with a USB (Universal Serial Bus) connector 102 for connection to the support device 300. As will be described later, a program for realizing various processes in the support apparatus 300 is stored and distributed in an optical recording medium such as a CD-ROM (Compact Disk-Read Only Memory) 390.
  • CD-ROM Compact Disk-Read Only Memory
  • the CPU unit 110 of the PLC 100 is provided with a memory card interface 106 for mounting the memory card 380.
  • the memory card 380 stores backup data as will be described later.
  • FIG. 2 shows an example of a device for controlling each of the transfer chamber 10 and the process chambers 20, 22, 24, and 26 constituting the semiconductor manufacturing apparatus 1 shown in FIG.
  • the transfer chamber 10 includes two servo motor drivers 210 and a remote IO terminal 200. These pieces of identification information are assumed to be nodes 1, 2, and 3, respectively.
  • Servo motor driver 210 is connected to CPU unit 110 via field network 108 and drives servo motor 212 in accordance with a command value from CPU unit 110.
  • the remote IO terminal 200 performs processing related to general input / output processing, like the IO unit 120. More specifically, the remote IO terminal 200 includes a communication coupler 202 for performing processing related to data transmission in the field network 108 and one or more IO units 204.
  • the first process chamber 20 includes two servo motor drivers 210 and a remote IO terminal 200, similar to the transfer chamber 10. These pieces of identification information are assumed to be nodes 11, 12, and 13, respectively.
  • the fourth process chamber 26 includes one servo motor driver 210 and a remote IO terminal 200. These pieces of identification information are assumed to be nodes 41 and 42, respectively.
  • FIG. 3 is a schematic diagram showing a hardware configuration of CPU unit 110 of PLC 100 according to the present embodiment.
  • the CPU unit 110 of the PLC 100 includes a chip set 111, a microprocessor 112, a main memory 113, a nonvolatile memory 114, a field, in addition to the USB connector 102 and the memory card interface 106 described above.
  • a network controller 116 and a PLC system bus controller 117 are included.
  • the chipset 111 and each component are coupled via various buses.
  • the chipset 111 and the microprocessor 112 are typically configured according to a general-purpose computer architecture. That is, the microprocessor 112 interprets and executes instruction codes sequentially supplied from the chipset 111 according to the internal clock.
  • the chip set 111 exchanges internal data with each connected component, and gives necessary instruction codes to the microprocessor 112.
  • the chip set 111 has a function of caching data obtained as a result of execution of arithmetic processing by the microprocessor 112.
  • the CPU unit 110 includes a main memory 113 and a nonvolatile memory 114 as a storage unit.
  • the main memory 113 is a volatile storage area, holds a program executed by the microprocessor 112, and is also used as a working memory when the program is executed.
  • the nonvolatile memory 114 holds a program and setting information as will be described later in a nonvolatile manner.
  • the USB connector 102 is an interface for connecting the support device 300 and the CPU unit 110. Typically, an executable program or the like transferred from the support device 300 is taken into the CPU unit 110 via the USB connector 102.
  • the CPU unit 110 includes a field network controller 116 and a PLC system bus controller 117 as a communication unit. These controllers send and receive data.
  • the field network controller 116 is connected to the field network 108 via the field network connector 104.
  • the PLC system bus controller 117 is connected to the IO unit 120 (FIG. 2) or the like via an internal bus.
  • FIG. 4 is a schematic diagram showing a software configuration of the CPU unit 110 of the PLC 100 according to the present embodiment.
  • the nonvolatile memory 114 of the CPU unit 110 includes system configuration information 150, a user program 160, a library program 170, a real-time OS (Operating System) 180, and firmware 190.
  • the system configuration information 150 includes information that defines the configuration and settings of the control system including the PLC 100. Specifically, the system configuration information 150 includes device configuration information 152 and slave setting information 154.
  • the device configuration information 152 includes information on validity / invalidity of the network connection for each slave device registered as a member of the field network 108. That is, the device configuration information 152 includes information on presence / absence of slave devices managed by the PLC 100 serving as a controller, and information on connection forms. Specifically, the configuration of the control system as shown in FIG. 2, that is, which slave device is connected and which address (node number) is assigned to each slave device is defined. Is done. In other words, the device configuration information 152 includes information on the connection state of the slave device and / or information on the valid state or the invalid state. An example of the data structure of the device configuration information 152 will be described later.
  • the slave setting information 154 includes setting information (parameters, allocation information, etc.) for each slave device necessary for executing a program in the PLC 100 (CPU unit 110). Specifically, the slave setting information 154 includes a user program and setting values associated with each slave device. That is, the slave setting information 154 includes parameters necessary for controlling the registered slave device. Further, some slave devices hold user programs and setting values, and in this case, the slave setting information 154 may include user programs and setting values stored in each slave device.
  • the user program 160 is a program created by the user using the support device 300, and is arbitrarily created according to the machine or equipment to be controlled.
  • the user program 160 is typically transferred from the support device 300 to the PLC 100 (CPU unit 110).
  • the library program 170 includes execution modules and subroutines that are necessary when the CPU unit 110 executes the user program 160.
  • the library program 170 is a program for providing an environment for executing a user program in the PLC 100 (CPU unit 110). More specifically, the library program 170 includes a motion calculation module 172, a sequence command processing module 174, an input / output processing module 176, and a scheduler 178.
  • the motion calculation module 172 provides a function related to motion calculation for giving various commands to the servo motor driver 210.
  • the sequence command processing module 174 provides a function for processing commands related to sequence control.
  • the input / output processing module 176 provides functions related to acquisition of external data and output of internal data.
  • the scheduler 178 provides a function for optimizing the execution order of a plurality of tasks included in the user program 160 in accordance with each priority and interrupt level.
  • the real-time OS 180 provides an environment for executing the user program 160. More specifically, the real-time OS 180 cooperates with the scheduler 178 to optimize the execution order of the user program 160 so that each task is completed within a predetermined processing time.
  • the firmware 190 is a primitive program that is executed in the initial stage when the real-time OS 180 is activated. Typically, the backup process and the restore process according to the present embodiment are realized by the firmware 190.
  • FIG. 5 is a schematic diagram showing a hardware configuration of the servo motor driver 210 according to the present embodiment.
  • the servo motor driver 210 drives the servo motor 212 according to a command transmitted from the PLC 100 via the field network 108. More specifically, the servo motor driver 210 includes a communication unit 250, an input / output unit 252, a drive circuit 254, and an arithmetic processing unit 260.
  • the communication unit 250 transmits and receives data flowing through the field network 108. That is, the communication unit 250 outputs data received via the field network 108 to the arithmetic processing unit 260 and transmits data from the arithmetic processing unit 260 via the field network 108.
  • the input / output unit 252 executes general input / output processing in the same manner as the IO unit 120 (FIG. 2). That is, the input / output unit 252 collects information from various sensors such as detection switches and gives commands to output destinations such as relays and actuators.
  • the drive circuit 254 generates a drive pulse train and the like for driving the servo motor 212 from an external power source (not shown) in accordance with an internal command from the arithmetic processing unit 260. More specifically, the drive circuit 254 includes an inverter circuit, a PWM (Pulse Width Modulation) conversion circuit, and the like.
  • PWM Pulse Width Modulation
  • the arithmetic processing unit 260 is a control entity that executes the main arithmetic processing of the servo motor driver 210, and includes a processor 262 and a memory 264.
  • the processor 262 executes arithmetic processing according to programs and setting values held in the memory 264, and outputs necessary commands and arithmetic results to the communication unit 250, the input / output unit 252, and the drive circuit 254.
  • the memory 264 holds various data necessary for arithmetic processing by the processor 262. Some data stored in the memory 264 is transmitted from the PLC 100 (CPU unit 110) via the field network 108.
  • remote IO terminal 200 is similar to the PLC 100 in the main part and will not be described in detail.
  • FIG. 6 is a schematic diagram showing a hardware configuration of support device 300 connected to PLC 100 according to the present embodiment.
  • the support device 300 is typically composed of a general-purpose computer.
  • the support device 300 includes a CPU 302 that executes various programs including an OS (Operating System), a ROM (Read Only Memory) 304 that stores BIOS (Basic Input Output System) and various data, and a CPU 302.
  • OS Operating System
  • ROM Read Only Memory
  • BIOS Basic Input Output System
  • CPU 302. A memory RAM 306 that provides a work area for holding data necessary for executing the program in the computer, and a hard disk (HDD) 308 that holds the program executed by the CPU 302 in a nonvolatile manner.
  • HDD hard disk
  • the support device 300 further includes a keyboard 310 and a mouse 312 that receive operations from the user, and a display 314 for presenting information to the user. Furthermore, the support device 300 includes a communication interface (IF) 318 for communicating with the PLC 100 (CPU unit 110) and the like.
  • IF communication interface
  • the support program (see FIG. 7) executed by the support device 300 is stored in the CD-ROM 390 and distributed.
  • the program stored in the CD-ROM 390 is read by the CD-ROM driving device 316 and stored in the hard disk 308 or the like.
  • the program may be downloaded from a host computer or the like via a network.
  • the components constituting the support device 300 are coupled to each other via a bus 320.
  • FIG. 7 is a schematic diagram showing a software configuration of the support device 300 connected to the PLC 100 according to the present embodiment.
  • OS 350, support program 360, and project 370 are typically stored in hard disk 308 of support device 300.
  • the OS 350 provides an environment in which the CPU 302 executes a program.
  • the support program 360 is a program for controlling processing in the PLC 100.
  • the support program 360 includes a debugger program 362, a compiler program 364, and an editor program 366.
  • the debugger program 362 evaluates the legitimacy of the created user program and supports the correction of defects.
  • the compiler program 364 generates an executable user program from the created user program (source program).
  • the editor program 366 provides an interface for generating a user program.
  • Project 370 includes programs and setting values necessary for constructing a certain control system. Specifically, the project 370 includes a user program 376, device configuration information 372, and slave setting information 374 for each slave device. These data are transferred from the support apparatus 300 to the PLC 100 and stored as the user program 160, device configuration information 152, and slave setting information 154, respectively.
  • FIG. 8 is a schematic diagram for explaining the construction procedure of the control system according to the present embodiment.
  • a user creates a project relating to a basic device configuration (for example, semiconductor manufacturing apparatus 1 shown in FIG. 1A) ((1) project creation). .
  • the user creates a user program 376 (source program) for realizing processing according to the purpose, and sets device configuration information 372 and slave setting information 374 related to the slave device included in the control system. To do.
  • the user program 376 of the project 370 is compiled and transferred to the control system related to the device configuration 1 together with the device configuration information 372 and the slave setting information 374 ((2) Compile + transfer).
  • the user updates the previously created project 370 according to the device configuration 2 similar to the device configuration 1 ((3) project update). More specifically, the device configuration information 372 and the slave setting information 374 are updated according to the difference in the system configuration, or the logic of the user program 376 is changed according to the difference in requested processing contents.
  • the user program 376 of the project 370 is compiled and transferred to the control system related to the device configuration 2 together with the device configuration information 372 and the slave setting information 374 ((4) compilation + transfer).
  • the user updates the previously created project 370 according to the device configuration 3 similar to the device configuration 1 ((5) project update). More specifically, the device configuration information 372 and the slave setting information 374 are updated according to the difference in the system configuration, or the logic of the user program 376 is changed according to the difference in requested processing contents. When these updates are completed, the user program 376 of the project 370 is compiled and transferred together with the device configuration information 372 and the slave setting information 374 to the control system related to the device configuration 2 ((6) compilation + transfer).
  • FIG. 9 is a schematic diagram showing an example of the data structure of the device configuration information 372 according to the present embodiment.
  • device configuration information 372 includes information on slave devices registered as members of field network 108 and information on validity / invalidity of network connection for each of the slave devices. That is, the device configuration information 372 shown in FIG. 9 includes a plurality of entries divided into node numbers of the field network 2, and each entry includes identification information for specifying a slave device, network connection validity / And invalid information.
  • the identification information includes the device number of the slave device.
  • invalid of the network connection means that data communication with the master device PLC 100 is ignored. In the “invalid” state, it is not determined whether or not a slave device having identification information that matches the registered identification information is connected to the field network 2. On the other hand, “valid” of the network connection means that data communication with the PLC 100 as the master device is scheduled. Therefore, in the “valid” state, if a slave device having identification information that matches the registered identification information is not connected to the field network 2, it is determined as an error.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating an example of the device configuration 1 illustrated in FIG.
  • FIG. 11 is a diagram illustrating an example of the device configurations 2 and 3 illustrated in FIG. Note that the device configuration examples shown in FIGS. 10 and 11 are similar to the control system shown in FIG.
  • FIG. 12 is a diagram illustrating an example of changes to the device configuration information 372 illustrated in FIG.
  • slave devices of the PLC 100 functioning as a master device, slave devices A to C (nodes 1 to 3), slave devices J to L (nodes 11 to 13), slave devices S and T It is assumed that (nodes 41 and 42) are connected.
  • slave devices J to L are removed as compared with device configuration 1 shown in FIG. 10, and in device configuration 3 shown in FIG. Assume that the slave devices S and T are removed as compared with the device configuration 1 shown in FIG.
  • device configuration information 372 as shown in FIG. 9 is set.
  • device configuration information 372 as shown in FIG. 12A is set for the device configuration 2 shown in FIG. That is, the status values of the slave devices J to L that do not exist are changed from “valid” to “invalid”.
  • device configuration information 372 as shown in FIG. 12B is set for the device configuration 3 shown in FIG. That is, the status value of the slave devices S and T that do not exist is changed from “valid” to “invalid”.
  • the slave device even if the slave device does not actually exist, it is not necessary to delete the identification information itself of the slave device in the device configuration information 372. Instead, the status value of the slave device that does not exist only needs to be set to “invalid”.
  • a control system can be easily configured for a plurality of similar device configurations. Or when a device configuration is changed at any time according to a situation, a change of a program executed by PLC100 can be facilitated.
  • the user selects whether or not to use each device by creating a basic project including all device configurations and setting the device configuration information 372. In this way, it can be realized by appropriately changing the device configuration information 372 according to the device configuration of the target apparatus and transferring it to the PLC 100 (CPU unit 110).
  • a module (function) that dynamically changes the device configuration information 372 may be used to change the device configuration information 372 appropriately according to the device configuration using a user program.
  • the user operates the display unit or the like to instruct the PLC 100.
  • FIG. 13 is a schematic diagram for explaining an overview of the backup process / restoration process implemented in the PLC 100 according to the present embodiment.
  • FIG. 13A shows the outline of the backup process
  • FIG. 13B shows the outline of the restore process.
  • the user restores necessary data or the like (restoration processing) using previously acquired backup data. That is, the backup data according to the present embodiment is typically used to solve a problem of the control system.
  • the restoration process is started when a memory card 380 such as an SD (Secure Digital) card is inserted into the PLC 100, or the restoration process starts when a button or the like provided on the PLC 100 is operated. It is assumed that a simple process is performed.
  • SD Secure Digital
  • backup data 400 is generated from the data held by the PLC 100 (CPU unit 110) and the data held by each slave device.
  • the generated backup data 400 is held in the nonvolatile memory 114 or the memory card 380 of the CPU unit 110. Alternatively, it may be transferred from the CPU unit 110 to the support device 300 and held in various recording media in the support device 300 or connected to the support device 300.
  • CPU data 402 that is a copy of the data held in the nonvolatile memory 114 (FIG. 3) of the CPU unit 110 and slave setting information 404 that is a copy of the data held in each slave device.
  • the backup data 400 is generated.
  • the data included in the backup data 400 is not limited to this, and may include data held in the main memory 113 (FIG. 3) of the CPU unit 110.
  • the CPU data 402 of the backup data 400 includes the following data as an example.
  • the slave setting information 404 of the backup data 400 includes the following data as an example.
  • the backup data 400 includes data held by the PLC 100 (CPU unit 110), which is the master device, and / or data held by the slave device. Further, the PLC 100 (CPU unit 110) is configured to be able to execute backup processing for generating backup data 400 using data from the memory card 380 and the slave device.
  • the restore process shown in FIG. 13B will be described.
  • the PLC 100 (CPU unit 110) generates the CPU data 402 and the slave setting information 404 from the backup data 400 prepared in advance, and overwrites the contents of the nonvolatile memory 114 with the CPU data 402.
  • the slave setting information 154 held in the PLC 100 (CPU unit 110) is overwritten with the slave setting information 404.
  • the PLC 100 (CPU unit 110) transfers the contents of the slave setting information 404 (the slave setting information 154 after overwriting) to the target slave device as necessary.
  • this restore processing includes (1) that the memory card 380 for storing the backup data 400 is attached to the CPU unit 110, and (2) a predetermined operation (for example, provided in the CPU unit 110). (3) the support device 300 has received an explicit instruction, and the like.
  • the CPU unit 110 corresponding to the processing unit according to the present embodiment can execute the restore process using the backup data 400 including the setting information for each slave device.
  • the restore processing according to the present embodiment includes processing for transmitting necessary data from the PLC 100 (CPU unit 110) to the slave device to be restored.
  • FIG. 14 is a schematic diagram for explaining the backup processing / restoration processing related to the present embodiment.
  • FIG. 14 shows an example in which two facilities having different device configurations exist. That is, a device configuration including the transfer chamber 10 and the first process chamber 20 and a device configuration including the transfer chamber 10 and the fourth process chamber 26 are assumed.
  • the number of slave devices is simplified, but any device configuration may include additional slave devices.
  • the backup data 400-1 acquired in the control system composed of the transfer chamber 10 and the first process chamber 20 includes setting information and programs related to the transfer chamber 10 and the first process chamber 20.
  • the backup data 400-2 acquired in the control system including the transfer chamber 10 and the fourth process chamber 26 includes setting information and programs related to the transfer chamber 10 and the fourth process chamber 26.
  • the restore process when performing the restore process using the backup data 400, it is a condition that the device configuration of the control system to be restored is the same as the device configuration when the backup data 400 is generated. For this reason, the setting information and program related to the transfer chamber 10 are common to the control system, but the restore process is performed on the control system including the transfer chamber 10 and the fourth process chamber 26 using the backup data 400-1. Can't do it. Similarly, restoration processing cannot be performed on the control system including the transfer chamber 10 and the first process chamber 20 using the backup data 400-2.
  • the device configuration in the control system is changed, and the device configuration needs to be the same during backup processing and during restoration. That is, if the device configuration is different, an error occurs at the start or midway of the restore process.
  • the support apparatus 300 is used to forcibly match the device configuration and a part of the data included in the backup data 400 cannot be selected and used for the restore process, the procedure is very complicated. Therefore, there is a high possibility that the restoration process will fail.
  • the present embodiment aims to solve such a problem. More specifically, the CPU unit 110 corresponding to the processing unit reads the device configuration information at the time of executing the restore process, and among the target slave devices included in the backup data 400, the CPU unit 110 is connected to the network. The slave device in which is enabled or the slave device existing on the field network 108 is specified, and the setting information corresponding to the specified slave device is restored. That is, the CPU unit 110 according to the present embodiment selectively extracts setting information and programs related to slave devices that are effectively included in the target control system from the backup data 400, and executes a restore process.
  • the CPU unit 110 has a slave device in which network connection is valid and a slave that exists on the network even if the device configuration is different from that at the time of creating the backup data 400 Restore processing is selectively executed for the device.
  • the “slave device in which the network connection is valid” typically means a slave device to be connected to the field network 108, and device configuration information 372 ( Alternatively, the device configuration information 152) includes a slave device whose state value is set to “valid”. Alternatively, a slave device that can operate normally as a result of the CPU unit 110 actually making an inquiry via the field network 108 may be included.
  • slave device existing on the network typically means a slave device actually connected to the field network 108.
  • the state value in the device configuration information 372 (or the device configuration information 152) is not affected. In other words, as long as it is connected to the field network 108, it is not affected by its operating state and is subject to restoration processing.
  • Embodiments 1 to 3 application examples according to the target control system will be described as Embodiments 1 to 3.
  • any of Embodiments 1 to 3 includes the basic processing described above.
  • Embodiment 1 As Embodiment 1, as described with reference to FIG. 14 described above, an application example in the case where two facilities having different device configurations exist will be described.
  • FIG. 15 is a schematic diagram for explaining the backup process / restore process according to the first embodiment.
  • backup data 400-1 is generated in the control system including the transfer chamber 10 and the first process chamber 20, and the control including the transfer chamber 10 and the fourth process chamber 26 is performed.
  • backup data 400-2 is generated in the system.
  • the backup data Only data relating to the corresponding slave device from 400 is restored.
  • the backup data 400-1 generated by the control system including the transfer chamber 10 and the first process chamber 20 is used to restore the control system including the transfer chamber 10 and the fourth process chamber 26.
  • An example of processing is shown.
  • the PLC 100 CPU unit 110
  • FIG. 15 shows a control system consisting of the transfer chamber 10 and the first process chamber 20 using the backup data 400-2 generated by the control system consisting of the transfer chamber 10 and the fourth process chamber 26.
  • An example of performing restore processing is shown below.
  • the PLC 100 CPU unit 110
  • the PLC 100 (CPU unit 110) according to the first embodiment is present on the slave device in which the network connection is valid and / or on the network when executing the restore process from the backup data 400.
  • Target slave devices That is, the PLC 100 (CPU unit 110) according to the first embodiment does not execute a restore process for a slave device whose network connection is not valid and / or a slave device that does not exist on the network. .
  • the PLC 100 (CPU unit 110) according to the first embodiment performs the process at the start or during the restore process. None stop.
  • an error may not be output for a slave device that has not been subject to restoration processing.
  • the slave device that has not been the target of the restore process may be notified to the user.
  • the content is output to the log file related to the restore process, the content is notified on the screen of the connected support device 300, and the display device mounted on the target slave device (for example, It is possible to use a method of lighting / blinking an LED (Light Emitting Diode) indicator or the like, or emitting voice guidance from the support device 300 or the CPU unit 110.
  • LED Light Emitting Diode
  • FIG. 16 is a flowchart showing the procedure of the backup processing according to the first embodiment.
  • FIG. 17 is a flowchart showing a restore processing procedure according to the first embodiment.
  • Each step shown in FIGS. 16 and 17 is typically realized by the microprocessor 112 (FIG. 3) of the CPU unit 110 executing the firmware 190 (FIG. 4). However, part or all of these processes may be realized using an integrated circuit such as an ASIC (Application Specific Integrated Circuit).
  • ASIC Application Specific Integrated Circuit
  • the microprocessor 112 determines whether or not a backup process start condition is satisfied (step S100).
  • the backup processing start condition includes a case where an explicit instruction is received from the support device 300 or the like, or a case where the memory card 380 is attached. If the backup process start condition is not satisfied (NO in step S100), the process of step S100 is repeated.
  • the microprocessor 112 creates a temporary folder in the nonvolatile memory 114 and stores the data held in the nonvolatile memory 114. Copy (step S102).
  • the data held in the nonvolatile memory 114 includes CPU data 402 and slave setting information 404.
  • the microprocessor 112 refers to the device configuration information 152 and selects one slave device registered as a member of the field network 108 as a backup target (step S104). Then, the microprocessor 112 determines whether or not the slave device to be backed up exists on the field network 108 (step S106). If the slave device to be backed up exists on the field network 108 (YES in step S106), the microprocessor 112 reads the data stored from the slave device to be backed up via the field network 108, and The read data is copied to a temporary folder (step S108).
  • the microprocessor 112 determines whether or not the selection as a backup target has been completed for all slave devices registered as members of the field network 108 (step S110). If all slave devices registered as members of the field network 108 have not been selected as backup targets (NO in step S110), or a slave device to be backed up exists on the field network 108. If this is the case (NO in step S106), the microprocessor 112 selects an unselected slave device registered as a member of the field network 108 as a backup target (step S112). And the process after step S106 is repeated.
  • step S110 data necessary for generating the backup data 400 is collected.
  • the data in the temporary folder can be output as the backup data 400 as it is.
  • the backup data 400 is packaged, and the resulting package file is output as the backup data 400. That is, the microprocessor 112 performs a packaging process on the data in the temporary folder and generates the backup data 400 (step S114).
  • the microprocessor 112 determines the output destination of the backup data 400 (step S116). Note that the output destination of the backup data 400 may be notified in advance from the support device 300, or may be determined based on the setting of a dip switch or the like provided in the CPU unit 110.
  • the microprocessor 112 stores the backup data 400 in the memory card 380 (step S118). Then, the backup process ends.
  • the microprocessor 112 transfers the backup data 400 to the support device 300 (step S120). Then, the backup process ends.
  • the microprocessor 112 determines whether or not a restoration process start condition is satisfied (step S200).
  • the restoration process start condition includes a case where an explicit instruction is received from the support device 300 or the like, or a case where the memory card 380 is attached. If the restoration process start condition is not satisfied (NO in step S200), the process of step S200 is repeated.
  • the microprocessor 112 determines the input destination of the backup data 400 (step S202).
  • the input destination of the backup data 400 may be determined in association with the established restoration process start condition.
  • the microprocessor 112 When the input destination of the backup data 400 is the memory card 380 (“memory card” in step S202), the microprocessor 112 creates a temporary folder in the nonvolatile memory 114 and stores the backup data 400 stored in the memory card 380. Is copied to the temporary folder (step S204).
  • the microprocessor 112 creates a temporary folder in the nonvolatile memory 114 and is transferred from the support device 300.
  • the backup data 400 to be copied is copied to a temporary folder (step S206).
  • the microprocessor 112 performs a decomposition process on the backup data 400 in the temporary folder (step S208). By this disassembly process, the CPU data 402 and the slave setting information 404 are restored in the temporary folder. Then, the microprocessor 112 overwrites the contents of the nonvolatile memory 114 with the CPU data 402 in the temporary folder (step S210).
  • the microprocessor 112 compares the device configuration information 152 included in the CPU data 402 with the current device configuration (actual device configuration), and determines whether or not they match (step S212). If the device configuration information 152 does not match the actual device configuration (NO in step S212), the microprocessor 112 outputs that the device configuration and the actual device configuration at the time of generating the backup data 400 do not match (step S212). S214). As this output form, the contents are output to a log file related to the restoration process, the contents are notified on the screen of the connected support apparatus 300, or the voice guidance is issued from the support apparatus 300 or the CPU unit 110. Can be used.
  • step S212 If the device configuration information 152 matches the actual device configuration (YES in step S212), the processing in step S214 is skipped.
  • the microprocessor 112 refers to the device configuration information 152 included in the CPU data 402 obtained from the backup data 400 and selects one slave device registered as a member of the field network 108 as a restore target. (Step S216). Then, the microprocessor 112 determines whether or not the restore process can be appropriately executed for the slave device to be restored (step S218). More specifically, the microprocessor 112 determines whether the network connection is valid for the slave device to be restored and / or exists on the field network 108.
  • the microprocessor 112 stores the nonvolatile information in the slave setting information 404 for the slave device to be restored in the temporary folder.
  • the contents of the memory 114 are overwritten (step S220).
  • the microprocessor 112 determines whether or not data (for example, a program) to be transferred to the slave device to be restored exists in the temporary folder (step S222). That is, among slave devices, there are also slave devices that hold user programs and setting values, and such slave devices are transmitted from the CPU unit 110 to necessary data (user programs and setting values). Is done.
  • step S222 If data to be transferred to the slave device to be restored exists in the temporary folder (YES in step S222), the microprocessor 112 responds to the slave device to be restored via the field network 108. Data to be transmitted is transmitted (step S224). If data to be transferred to the slave device to be restored does not exist in the temporary folder (NO in step S222), the process in step S224 is skipped.
  • the microprocessor 112 determines whether or not selection of all slave devices registered as members of the field network 108 as restoration targets has been completed (step S226). If all the slave devices registered as members of the field network 108 have not been selected as restoration targets (NO in step S226), or the restoration processing is appropriately executed for the slave devices to be restored. If it is not determined that it can be performed (NO in step S218), the microprocessor 112 selects an unselected slave device registered as a member of the field network 108 as a restore target (step S228). And the process after step S218 is repeated.
  • Second Embodiment> As a second embodiment, an application example in which a restore process can be additionally executed when a slave device (device) that did not exist at the time of restoration is added later will be described. That is, in the second embodiment, when a slave device that does not exist at the time of restoration is added, the restored slave device is automatically restored.
  • FIG. 18 is a schematic diagram for explaining the restore processing according to the second embodiment.
  • slave devices A to C transfer chamber 10
  • slave devices J to L first process chamber 20
  • the backup data 400 includes data related to all slave devices (the transfer chamber 10, the first process chamber 20, and the fourth process chamber 26).
  • slave devices A to C transfer chamber 10
  • slave devices J to L first process chamber 20
  • the restore process is executed using data related to the transfer chamber 10 and the first process chamber 20 in the backup data 400.
  • slave devices S and T fourth process chamber 26
  • Such a situation can occur when the equipment related to the fourth process chamber 26 is turned off for maintenance or repair, or when the apparatus itself is removed.
  • a restore process is additionally executed by using a change from the device configuration shown in FIG. 18A to the device configuration shown in FIG. 18B as a trigger. That is, the restore process is executed using data related to the fourth process chamber 26 included in the backup data 400.
  • an additional restore process is automatically executed by adding a slave device, so that an appropriate restore process can be realized even for end users with little knowledge. That is, if the automatic restore processing according to the second embodiment is not implemented, the user individually selects the target data on the support apparatus 300 in consideration of the changed device configuration, and restores it. Although it is necessary to execute the process, such an operation is very troublesome, and there is a problem that the restore process cannot be appropriately performed depending on the knowledge of the user.
  • the backup data 400 is typically stored in advance in the nonvolatile memory 114 (FIG. 3) of the CPU unit 110.
  • the backup data 400 may be held in a memory card 380 attached to the CPU unit 110.
  • the additional restoration processing shown in FIG. 18 is typically executed when the CPU unit 110 detects that a slave device has been added and / or when the network connection is changed from invalid to valid. Is done. That is, the PLC 100 (CPU unit 110) is in at least one of the case where the network connection of any slave device is enabled and the case where any slave device is present on the field network 108. The corresponding slave setting information 154 included in the backup data 400 is restored.
  • FIG. 19 is a flowchart showing a procedure of restore processing (part 1) according to the second embodiment.
  • Each step shown in FIG. 19 and FIG. 21 described later is typically realized by the microprocessor 112 (FIG. 3) of the CPU unit 110 executing the firmware 190 (FIG. 4).
  • the firmware 190 FIG. 4
  • part or all of these processes may be realized using an integrated circuit such as an ASIC.
  • the flowchart shown in FIG. 19 differs from the flowchart showing the procedure of the restore process according to the first embodiment shown in FIG. 17 only in that the process of step S225 is executed after step S224 and step S226. .
  • the microprocessor 112 transmits corresponding data to the slave device to be restored (step S224)
  • the data to be transferred to the slave device to be restored must exist in the temporary folder. If NO in step S222, the completion of the restore process for the slave device to be restored is recorded (step S225).
  • FIG. 20 is a schematic diagram illustrating an example of information relating to a record of completion of the restore process in the restore process (part 1) according to the second embodiment.
  • whether or not the restore process is completed is recorded in association with the node number and the information of the slave device registered as a member. That is, information indicating whether or not the restore process has been performed is recorded for each slave device.
  • “Y” indicates that the restore process has been performed
  • “N” indicates that the restore process has not been performed.
  • any slave device is added, information related to the record of the completion of the restore process is referred to, and an additional restore process is executed.
  • FIG. 21 is a flowchart showing a procedure of additional restore processing (part 1) according to the second embodiment.
  • the microprocessor 112 determines whether or not an additional restoration process should be executed (step S250). Specifically, the microprocessor 112 determines whether a slave device has been added and / or whether the network connection has been changed from invalid to valid. Since the PLC 100 (CPU unit 110) functioning as the master device constantly monitors the state of the field network 108, it can be determined whether or not a slave device has been added based on the information of the constant monitoring. Further, whether or not the network connection is changed from invalid to valid can be determined based on whether or not the device configuration information 152 is changed.
  • step S250 If it is not determined that additional restore processing should be executed (NO in step S250), the processing in step S250 is repeated.
  • step S250 the microprocessor 112 selects one of the added slave devices as an additional restoration target. (Step S252). Then, the microprocessor 112 determines whether or not the restore process has been performed for the additional slave device to be restored (step S254). This determination is performed based on information relating to the record of completion of the restore process as shown in FIG.
  • step S254 the microprocessor 112 determines whether data (for example, a program) to be transferred to the additional slave device to be restored exists in the temporary folder. Is determined (step S256). If the data to be transferred to the additional slave device to be restored exists in the temporary folder (YES in step S256), the microprocessor 112 transmits the additional restore target data via the field network 108. The corresponding data is transmitted to the slave device (step S258). If data to be transferred to the additional slave device to be restored does not exist in the temporary folder (NO in step S256), the processing in step S258 is skipped.
  • data for example, a program
  • the microprocessor 112 records the completion of the restore process for the additional slave device to be restored (step S260). At this point, the network connection of the slave device can be validated.
  • step S260 After the execution of step S260 or when the restore process has been performed (YES in step S254), the microprocessor 112 has completed selection of all the added slave devices as additional restore targets. Is determined (step S262). If the selection as an additional restoration target has not been completed for all the added slave devices (NO in step S262), the microprocessor 112 adds an unselected slave device among the added slave devices. It selects as a restore object (step S264). And the process after step S254 is repeated.
  • step S262 If all the added slave devices have been selected as additional restoration targets (YES in step S262), the process ends.
  • FIG. 22 is a flowchart showing a procedure of additional restore processing (part 2) according to the second embodiment.
  • the flowchart shown in FIG. 22 is a simplified version of the flowchart showing the procedure of the restore process (part 2) according to the second embodiment shown in FIG.
  • the same step numbers are assigned to the processes that are substantially the same as the processes shown in FIG. 21.
  • step S250 determines whether or not additional restoration processing should be executed. If it is not determined that additional restore processing should be executed (NO in step S250), the processing in step S250 is repeated.
  • the microprocessor 112 selects one slave device among the added slave devices as an additional restore target (step S252). .
  • the microprocessor 112 determines whether data (for example, a program) to be transferred to the additional slave device to be restored exists in the temporary folder (step S256). If the data to be transferred to the additional slave device to be restored exists in the temporary folder (YES in step S256), the microprocessor 112 transmits the additional restore target data via the field network 108. The corresponding data is transmitted to the slave device (step S258).
  • step S258 After execution of step S258, or when data to be transferred to the additional slave device to be restored does not exist in the temporary folder (NO in step S256), the microprocessor 112 adds all the added data. It is determined whether or not the selection of the additional restoration target for the slave device is completed (step S262). If the selection as an additional restoration target has not been completed for all the added slave devices (NO in step S262), the microprocessor 112 adds an unselected slave device among the added slave devices. It selects as a restore object (step S264). And the process after step S256 is repeated.
  • step S262 If all the added slave devices have been selected as additional restore targets (YES in step S262), the process ends.
  • the restore process for the device added afterwards is automatically executed. Therefore, within the range of devices included in backup data prepared in advance, necessary setting information can be transferred even for devices added after execution of restore processing. Therefore, even end users with little knowledge can immediately activate the control system after device replacement or equipment maintenance.
  • Embodiment 3 As described in the third embodiment, as described with reference to FIGS. 8 to 12, when a plurality of control systems having similar device configurations are constructed, a control system including all slave devices ( Backup data 400 corresponding to (basic device configuration) is prepared in advance in the support apparatus 300 and stored in each control system (PLC 100). That is, the backup data 400 is provided from the support device 300. In each control system, the restore process is executed using only the necessary data according to each device configuration in the backup data 400 from the support device 300.
  • Backup data 400 corresponding to (basic device configuration
  • FIG. 23 is a schematic diagram for explaining the outline of the backup process / restore process according to the third embodiment.
  • FIG. 23 shows a first control system (including the first PLC 100) including the transfer chamber 10 and the first process chamber 20, and a fourth control system (fourth PLC 100) including the transfer chamber 10 and the fourth process chamber 26.
  • first control system including the first PLC 100
  • fourth control system including the transfer chamber 10 and the fourth process chamber 26.
  • fourth PLC 100 including the transfer chamber 10 and the fourth process chamber 26.
  • backup data 400 including all devices is generated by the support apparatus 300.
  • the generation of the backup data 400 does not require an actual PLC 100 or slave device, and can be generated offline. That is, the backup data 400 can be generated by the support device 300 alone.
  • the backup data 400 includes setting information regarding the transfer chamber 10, the first process chamber 20, and the fourth process chamber 26.
  • the first control system executes the restore process using only the setting information regarding the transfer chamber 10 and the first process chamber 20 included in the backup data 400. That is, the first PLC 100 ignores the setting information regarding the fourth process chamber 26.
  • the fourth control system executes the restore process using only the setting information regarding the transfer chamber 10 and the fourth process chamber 26 included in the backup data 400. That is, the fourth PLC 100 ignores the setting information regarding the first process chamber 20.
  • backup data 400 may be generated from an actual control system that includes all of the transfer chamber 10, the first process chamber 20, and the fourth process chamber 26, instead of the support device 300 alone.
  • the user creates a project related to a basic device configuration (a control system including the transfer chamber 10, the first process chamber 20, and the fourth process chamber 26) in the support apparatus 300 ( Sequence SQ100).
  • a basic device configuration a control system including the transfer chamber 10, the first process chamber 20, and the fourth process chamber 26
  • Sequence SQ100 a basic device configuration
  • the user When this project is completed, the user generates backup data 400 on support device 300 (sequence SQ102).
  • the user updates the project related to the basic device configuration created in sequence SQ100 so as to be compatible with the first control system (sequence SQ104). Then, the user transmits the user program, device configuration information, and slave setting information generated by compiling the updated project to first PLC 100 (sequence SQ106).
  • the user updates the project related to the basic device configuration created in sequence SQ100 to be compatible with the fourth control system (sequence SQ108). Then, the user transmits a user program, device configuration information, and slave setting information generated by compiling the updated project to fourth PLC 100 (sequence SQ110).
  • the user transmits the backup data 400 created in sequence SQ102 to first PLC 100 and fourth PLC 100 (sequence SQ112).
  • the first PLC 100 stores the backup data 400 and executes a restore process using the backup data 400 in response to a request (sequence SQ114). In this restoration processing, the first PLC 100 uses only setting information relating to the transfer chamber 10 and the first process chamber 20 included in the backup data 400.
  • the fourth PLC 100 stores the backup data 400 and executes a restore process using the backup data 400 in response to a request (sequence SQ116).
  • the first PLC 100 uses only setting information relating to the transfer chamber 10 and the fourth process chamber 26 included in the backup data 400.
  • the common backup data is included in any control system (device configuration) including all or part of those devices. Restore processing can be performed using backup data. As a result, the backup data management procedure can be simplified. Further, since the common backup data can be generated by the support device, the common backup data can be generated even when there is no control system (device configuration) including all devices.
  • 1 semiconductor manufacturing equipment 2 field network, 10 transfer chamber, 12 transfer robot, 20, 22, 24, 26 process chamber, 21, 23, 25, 27, 31, 35 gate valve, 30, 34 load lock chamber, 33, 37 communication unit, 100 PLC, 102 USB connector, 104 field network connector, 106 memory card interface, 110 CPU unit, 111 chipset, 112 microprocessor, 113 main memory, 114 nonvolatile memory, 116 field network controller, 117 PLC system Bus controller, 120, 204 IO unit, 130 power supply unit, 200 remote IO terminal, 202 communication coupler, 210 Servo motor driver, 212 servo motor, 250 communication unit, 252 input / output unit, 254 drive circuit, 260 arithmetic processing unit, 262 processor, 264 memory, 300 support device, 302 CPU, 304 ROM, 306 RAM, 308 hard disk, 310 keyboard 312 mouse, 314 display, 316 CD-ROM drive, 320 bus, 380 memory card, 390 CD-ROM.

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Abstract

　データの作成時から、制御装置とネットワークを介して接続されるスレーブ装置が変更された場合であっても、可能な範囲でスレーブ装置に対するリストア処理を行うことができる制御装置およびその動作方法が提供される。制御装置は、デバイス構成情報と設定情報とを保持する記憶部と、前記設定情報を含むデータを用いてリストア処理を実行可能な処理部とを含む。前記処理部は、前記リストア処理実行時に、前記デバイス構成情報を読み出し、前記データに含まれる対象のスレーブ装置のうち、読み出したデバイス構成情報の中でネットワーク接続が有効になっているスレーブ装置、または、前記ネットワーク上に存在しているスレーブ装置を特定し、特定された前記スレーブ装置に対応する設定情報をリストアする。

Description

制御装置および制御装置の動作方法
　本発明は、ネットワークにおいてマスタ装置として機能するとともに、当該ネットワークを介して１または複数のスレーブ装置を制御する制御装置およびその動作方法に関する。
　多くの生産現場で使用される機械や設備は、典型的には、プログラマブルコントローラ（Programmable　Logic　Controller；以下「ＰＬＣ」とも称す。）などの制御装置を含む制御システムによって制御される。このような制御システムでは、ＰＬＣは、フィールドバスなどと称されるネットワークを介して、１または複数のスレーブ装置（典型的には、リモートＩＯ(Input/Output)装置やサーボモータドライバなど）と接続される。
　このような制御システムにおいては、パラメータなどの各種データをバックアップ／リストアするための機能が搭載されていることも多い。例えば、特開２０１１－２１５８１４号公報（引用文献１）は、通信機器の対象パラメータの設定値をバックアップまたはリストアすることができるプログラマブルコントローラを開示する。このプログラマブルコントローラは、バックアップ手順情報およびリストア手順情報を有し、バックアップ／リストアを行う際に当該手順情報に基づいて、バックアップ／リストアを行う。
特開２０１１－２１５８１４号公報
　一般的な制御システムでは、デバイス構成を任意に変更することができる。そのため、バックアップ時とリストア時との間でデバイス構成が異なっている場合がある。上述の特開２０１１－２１５８１４号公報（引用文献１）に開示された構成においては、手順情報が予め用意されているので、バックアップ時とリストア時との間でデバイス構成が異なっているような場合には、リストアを適切に行うことができないという課題があった。
　本発明は、上記のような点を考慮してなされたものであり、その目的は、データの作成時から、制御装置とネットワークを介して接続されるスレーブ装置が変更された場合であっても、可能な範囲でスレーブ装置に対するリストア処理を行うことができる制御装置およびその動作方法を提供することである。
　本発明のある局面に従えば、ネットワークにおいてマスタ装置として機能するとともに、当該ネットワークを介して１または複数のスレーブ装置を制御する制御装置が提供される。制御装置は、ネットワークのメンバとして登録されているスレーブ装置の各々についてのネットワーク接続の有効／無効の情報を含むデバイス構成情報と、当該登録されているスレーブ装置を制御するために必要なパラメータを含む設定情報と、を保持する記憶部と、設定情報を含むデータを用いてリストア処理を実行可能な処理部とを含む。処理部は、リストア処理実行時に、デバイス構成情報を読み出し、データに含まれる対象のスレーブ装置のうち、読み出したデバイス構成情報の中でネットワーク接続が有効になっているスレーブ装置、または、ネットワーク上に存在しているスレーブ装置を特定し、特定されたスレーブ装置に対応する設定情報をリストアする。
　好ましくは、リストア処理は、制御装置からリストア対象のスレーブ装置に対して、必要なデータを送信する処理を含む。
　好ましくは、処理部は、いずれかのスレーブ装置のネットワーク接続が有効になった場合、または、いずれかのスレーブ装置がネットワーク上に存在するようになった場合に、データに含まれる対応する設定情報をリストアする。
　好ましくは、データは、サポート装置から提供される。
　好ましくは、処理部は、記憶部およびスレーブ装置からのデータを用いてデータを生成するバックアップ処理をさらに実行可能に構成されている。
　本発明の別の局面に従えば、ネットワークにおいてマスタ装置として機能するとともに、当該ネットワークを介して１または複数のスレーブ装置を制御する制御装置の動作方法が提供される。動作方法は、ネットワークのメンバとして登録されているスレーブ装置の各々についてのネットワーク接続の有効／無効の情報を含むデバイス構成情報と、当該登録されているスレーブ装置を制御するために必要なパラメータを含む設定情報と、を保持するステップと、設定情報を含むデータを用いてリストア処理を実行するステップとを含む。リストア処理を実行するステップは、デバイス構成情報を読み出し、データに含まれる対象のスレーブ装置のうち、読み出したデバイス構成情報の中でネットワーク接続が有効になっているスレーブ装置、または、ネットワーク上に存在しているスレーブ装置を特定し、特定されたスレーブ装置に対応する設定情報をリストアするステップを含む。
　本発明によれば、データの作成時から、制御装置とネットワークを介して接続されるスレーブ装置が変更された場合であっても、可能な範囲でスレーブ装置に対するリストア処理を行うことができる。
本実施の形態に係る制御システムを用いて制御するデバイス構成の一例を説明するための図である。 本実施の形態に係る制御システムの構成例を示す模式図である。 本実施の形態に係るＰＬＣのＣＰＵユニットのハードウェア構成を示す模式図である。 本実施の形態に係るＰＬＣのＣＰＵユニットのソフトウェア構成を示す模式図である。 本実施の形態に係るサーボモータドライバのハードウェア構成を示す模式図である。 本実施の形態に係るＰＬＣに接続されるサポート装置のハードウェア構成を示す模式図である。 本実施の形態に係るＰＬＣに接続されるサポート装置のソフトウェア構成を示す模式図である。 本実施の形態に係る制御システムの構築手順について説明するための模式図である。 本実施の形態に係るデバイス構成情報のデータ構造の一例を示す模式図である。 図８に示すデバイス構成１の一例を示す図である。 図８に示すデバイス構成２および３の一例を示す図である。 図９に示すデバイス構成情報の変更内容の一例を示す図である。 本実施の形態に係るＰＬＣに実装されているバックアップ処理／リストア処理の概要を説明するための模式図である。 本実施の形態に関連するバックアップ処理／リストア処理について説明するための模式図である。 実施の形態１に係るバックアップ処理／リストア処理について説明するための模式図である。 実施の形態１に係るバックアップ処理の手順を示すフローチャートである。 実施の形態１に係るリストア処理の手順を示すフローチャートである。 実施の形態２に係るリストア処理について説明するための模式図である。 実施の形態２に係るリストア処理（その１）の手順を示すフローチャートである。 実施の形態２に係るリストア処理（その１）におけるリストア処理の完了の記録に係る情報の一例を示す模式図である。 実施の形態２に係る追加的なリストア処理（その１）の手順を示すフローチャートである。 実施の形態２に係る追加的なリストア処理（その２）の手順を示すフローチャートである。 実施の形態３に係るバックアップ処理／リストア処理の概要を説明するための模式図である。
　本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中の同一または相当部分については、同一符号を付してその説明は繰返さない。
　＜Ａ．制御システムの適用例＞
　まず、本実施の形態に係る制御システムを用いて制御するデバイス構成の一例について説明する。図１は、本実施の形態に係る制御システムを用いて制御するデバイス構成の一例を説明するための図である。図１には、マルチチャンバー式の半導体製造装置の構成例を示す。具体的には、図１（ａ）に示す半導体製造装置１は、搬送チャンバー１０を中心として、複数のプロセスチャンバー２０，２２，２４，２６が設けられた構成を示す。各プロセスチャンバーにおいては、基板に対する真空処理が実行される。プロセスチャンバー２０，２２，２４，２６と搬送チャンバー１０との間には、それぞれゲートバルブ２１，２３，２５，２７が設けられており、搬送チャンバー１０との間で連通状態／遮断状態とを切替える。搬送チャンバー１０には、搬送ロボット１２が設けられている。搬送ロボット１２は、処理前の基板をプロセスチャンバー２０，２２，２４，２６のいずれかに挿入し、あるいは、プロセスチャンバー２０，２２，２４，２６から処理後の基板を取り出す。
　搬送チャンバー１０には、ロードロック室３０および３４が設けられている。ロードロック室３０および３４は、処理対象の基板の出し入れを行うとともに、搬送チャンバー１０およびプロセスチャンバー２０，２２，２４，２６の内部を真空に維持する。より具体的には、ロードロック室３０は、連通部３３を介して搬送チャンバー１０に接続されており、搬送チャンバー１０の入側および出側には、ゲートバルブ３１および３２が設けられている。同様に、ロードロック室３４は、連通部３７を介して搬送チャンバー１０に接続されており、搬送チャンバー１０の入側および出側には、ゲートバルブ３５および３６が設けられている。処理対象の基板の出し入れには、ロードロック室３０および３４が交互に用いられる。
　図１（ａ）に示す半導体製造装置１を基本構成として、バリエーションとして、図１（ｂ）に示す半導体製造装置２および図１（ｃ）に示す半導体製造装置３が存在するとする。より具体的には、図１（ｂ）に示す半導体製造装置２は、図１（ａ）に示す半導体製造装置１に比較して、第１プロセスチャンバー２０およびゲートバルブ２１を取り除いたものに相当し、図１（ｃ）に示す半導体製造装置３は、図１（ａ）に示す半導体製造装置１に比較して、第４プロセスチャンバー２６およびゲートバルブ２７を取り除いたものに相当する。
　このようなバリエーションの半導体製造装置２および３に係る制御システムを構築するにあたって、半導体製造装置１に係る制御システムの資産を最大限利用したいというニーズが存在する。より具体的には、ある装置に向けられた制御システムを構築するために必要なプログラムおよび設定情報（以下、これらの構築に必要なデータ群を「プロジェクト」と総称する。）を用いて、異なる構成を有する装置に向けられた制御システムを構築したいというニーズがある。
　例えば、図１（ａ）～（ｃ）に示す半導体製造装置１～３を、１つのプロジェクトを用いて管理したいというニーズがある。あるいは、あるプロセスチャンバーを物理的に取り外して、別のプロセスチャンバーを取り付けることができる半導体製造装置を、１つのプロジェクトで管理したいというニーズがある。
　このようなニーズに対して、１つのプロジェクトを作成し、この作成したプロジェクトを適宜手直しすることで、類似した制御システムを構築するという方法がとられる。
　本実施の形態は、典型的には、このような部分的に共通するプロジェクトを用いて構築された制御システムや、状況に応じて構成が変更される装置に適用される制御システムに対して、バックアップ処理やリストア処理を柔軟に行うことができる構成を提供する。
　＜Ｂ．制御システムの全体構成例＞
　本実施の形態に係るバックアップ処理およびリストア処理の詳細について説明する前に、本実施の形態に係る制御システムの全体構成例について説明する。図２は、本実施の形態に係る制御システムの構成例を示す模式図である。図２に示す制御システムは、図１（ａ）に示す半導体製造装置１に向けられたものである。
　図２を参照して、制御システムＳＹＳは、ＰＬＣ１００と、ネットワークを介してＰＬＣ１００に接続される、サーボモータドライバ２１０およびリモートＩＯターミナル２００とを含む。本実施の形態においては、ネットワークとしてフィールドネットワーク１０８が採用されている。ＰＬＣ１００は、フィールドネットワーク１０８において、通信処理を管理する「マスタ装置」として機能する。このマスタ装置は、「親局」や「管理局」と称されることもある。マスタ装置であるＰＬＣ１００との対比の意味で、フィールドネットワーク１０８を介してＰＬＣ１００に接続されるサーボモータドライバ２１０やリモートＩＯターミナル２００を「スレーブ装置」または「デバイス」と称する。フィールドネットワーク１０８上の各スレーブ装置は、ノード番号によって識別されるとする。このように、マスタ装置であるＰＬＣ１００は、ネットワークにおいてマスタ装置として機能するとともに、当該ネットワークを介して１または複数のスレーブ装置を制御する。
　このようなフィールドネットワーク１０８としては、各種の産業用のイーサネット（登録商標）を用いることができる。産業用のイーサネット（登録商標）としては、例えば、ＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）、ＰＲＯＦＩＮＥＴ（登録商標）、ＭＥＣＨＡＴＲＯＬＩＮＫ（登録商標）－ＩＩＩ、Ｐｏｗｅｒｌｉｎｋ、ＳＥＲＣＯＳ（登録商標）－ＩＩＩ、ＣＩＰ　Ｍｏｔｉｏｎなどがある。さらに、産業用のイーサネット（登録商標）以外のフィールドネットワークを用いてもよい。例えば、ＤｅｖｉｃｅＮｅｔ、ＣｏｍｐｏＮｅｔ（登録商標）などを用いてもよい。
　ＰＬＣ１００は、ＣＰＵユニット１１０と、ＩＯユニット１２０と、電源ユニット１３０とを含む。ＣＰＵユニット１１０は、主たる演算処理を実行する処理部であり、後述するようなプログラムおよび設定情報などに基づいて演算処理を実行する。ＩＯユニット１２０は、ＣＰＵユニット１１０と図示しないＰＬＣ内部バスを介してデータを互いに遣り取りできるように構成された機能ユニットの一例である。より具体的には、ＩＯユニット１２０は、一般的な入出力処理に関するユニットであり、オン／オフといった２値化されたデータの入出力を司る。すなわち、ＩＯユニット１２０は、検出スイッチなどのセンサが何らかの対象物を検出している状態（オン）、および、何らの対象物も検出していない状態（オフ）のいずれであるかという情報を収集する。また、ＩＯユニット１２０は、リレーやアクチュエータといった出力先に対して、活性化するための指令（オン）および不活性化するための指令（オフ）のいずれかを出力する。
　ＩＯユニット１２０に代えて、あるいは、加えて、アナログデータの入出力、温度制御、特定の通信方式による通信といった、ＩＯユニット１２０ではサポートしない機能を有する特殊ユニットを装着することもできる。
　電源ユニット１３０は、ＣＰＵユニット１１０やＩＯユニット１２０に対して、適切な電圧の電源を供給する。
　ＰＬＣ１００には、接続ケーブルなどを介してサポート装置３００が接続される。より具体的には、ＰＬＣ１００のＣＰＵユニット１１０には、サポート装置３００と接続するためのＵＳＢ(Universal　Serial　Bus)コネクタ１０２が設けられている。後述するように、サポート装置３００において各種処理を実現するためのプログラムは、ＣＤ－ＲＯＭ（Compact　Disk-Read　Only　Memory）３９０などの光学記録媒体に格納されて流通する。
　また、ＰＬＣ１００のＣＰＵユニット１１０には、メモリカード３８０を装着するためのメモリカードインターフェイス１０６が設けられている。メモリカード３８０には、後述するようなバックアップデータが格納される。
　図２には、図１（ａ）に示す半導体製造装置１を構成する搬送チャンバー１０およびプロセスチャンバー２０，２２，２４，２６の各々を制御するためのデバイスの一例を示す。このようなデバイスの一例として、搬送チャンバー１０は、２つのサーボモータドライバ２１０およびリモートＩＯターミナル２００を含む。これらの識別情報は、それぞれノード１，２，３であるとする。
　サーボモータドライバ２１０は、フィールドネットワーク１０８を介してＣＰＵユニット１１０と接続されるとともに、ＣＰＵユニット１１０からの指令値に従ってサーボモータ２１２を駆動する。
　リモートＩＯターミナル２００は、ＩＯユニット１２０と同様に、一般的な入出力処理に関する処理を行う。より具体的には、リモートＩＯターミナル２００は、フィールドネットワーク１０８でのデータ伝送に係る処理を行うための通信カプラ２０２と、１つ以上のＩＯユニット２０４とを含む。
　第１プロセスチャンバー２０は、搬送チャンバー１０と同様に、２つのサーボモータドライバ２１０およびリモートＩＯターミナル２００を含む。これらの識別情報は、それぞれノード１１，１２，１３であるとする。一方、第４プロセスチャンバー２６は、１つのサーボモータドライバ２１０およびリモートＩＯターミナル２００を含む。これらの識別情報は、それぞれノード４１，４２であるとする。
　＜Ｃ．ＣＰＵユニット１１０の構成例＞
　次に、ＰＬＣ１００において主たる演算処理を実行するＣＰＵユニット１１０の構成例について説明する。図３は、本実施の形態に係るＰＬＣ１００のＣＰＵユニット１１０のハードウェア構成を示す模式図である。
　図３を参照して、ＰＬＣ１００のＣＰＵユニット１１０は、上述のＵＳＢコネクタ１０２およびメモリカードインターフェイス１０６に加えて、チップセット１１１と、マイクロプロセッサ１１２と、メインメモリ１１３と、不揮発性メモリ１１４と、フィールドネットワークコントローラ１１６と、ＰＬＣシステムバスコントローラ１１７とを含む。チップセット１１１と各コンポーネントとの間は、各種のバスを介してそれぞれ結合されている。
　チップセット１１１およびマイクロプロセッサ１１２は、典型的には、汎用的なコンピュータアーキテクチャに準じて構成される。すなわち、マイクロプロセッサ１１２は、チップセット１１１から内部クロックに従って順次供給される命令コードを解釈して実行する。チップセット１１１は、接続されている各コンポーネントとの間で内部的なデータを遣り取りするとともに、マイクロプロセッサ１１２に必要な命令コードを与える。チップセット１１１は、マイクロプロセッサ１１２での演算処理の実行の結果得られたデータなどをキャッシュする機能を有する。
　ＣＰＵユニット１１０は、記憶部として、メインメモリ１１３および不揮発性メモリ１１４を有する。メインメモリ１１３は、揮発性の記憶領域であり、マイクロプロセッサ１１２で実行されるプログラムを保持するとともに、プログラムの実行時の作業用メモリとしても使用される。不揮発性メモリ１１４は、後述するようなプログラムおよび設定情報などを不揮発的に保持する。
　ＵＳＢコネクタ１０２は、サポート装置３００とＣＰＵユニット１１０とを接続するためのインターフェイスである。典型的には、サポート装置３００から転送される実行可能なプログラムなどは、ＵＳＢコネクタ１０２を介してＣＰＵユニット１１０に取込まれる。
　ＣＰＵユニット１１０は、通信部として、フィールドネットワークコントローラ１１６およびＰＬＣシステムバスコントローラ１１７を有する。これらのコントローラは、データの送信および受信を行う。
　フィールドネットワークコントローラ１１６は、フィールドネットワークコネクタ１０４を介してフィールドネットワーク１０８と接続される。ＰＬＣシステムバスコントローラ１１７は、内部バスを介して、ＩＯユニット１２０（図２）などと接続される。
　図４は、本実施の形態に係るＰＬＣ１００のＣＰＵユニット１１０のソフトウェア構成を示す模式図である。図４を参照して、ＣＰＵユニット１１０の不揮発性メモリ１１４には、システム構成情報１５０と、ユーザプログラム１６０と、ライブラリプログラム１７０と、リアルタイムＯＳ(Operating　System)１８０と、ファームウェア１９０とを含む。
　システム構成情報１５０は、ＰＬＣ１００を含む制御システムの構成や設定を定義する情報を含む。具体的には、システム構成情報１５０は、デバイス構成情報１５２およびスレーブ設定情報１５４を含む。
　デバイス構成情報１５２は、フィールドネットワーク１０８のメンバとして登録されているスレーブ装置の各々についてのネットワーク接続の有効／無効の情報を含む。すなわち、デバイス構成情報１５２は、コントローラであるＰＬＣ１００が管理するスレーブ装置についての有無の情報および接続形態の情報を含む。具体的には、図２に示すような制御システムの構成、つまり、どのようなスレーブ装置が接続されており、かつ各スレーブ装置に対していずれのアドレス（ノード番号）が割り当てられているかが定義される。言い換えれば、デバイス構成情報１５２は、スレーブ装置の接続状態の情報、および／または、有効状態または無効状態の情報を含む。デバイス構成情報１５２のデータ構造の一例については、後述する。
　スレーブ設定情報１５４は、ＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）でのプログラムの実行に必要なスレーブ装置毎の設定情報（パラメータや割当情報など）を含む。具体的には、スレーブ設定情報１５４は、各スレーブ装置について関連付けられた、ユーザプログラムや設定値を含む。すなわち、スレーブ設定情報１５４は、当該登録されているスレーブ装置を制御するために必要なパラメータを含む。さらに、スレーブ装置の内部にユーザプログラムや設定値を保持するものもあり、この場合には、スレーブ設定情報１５４は、各スレーブ装置に格納されるユーザプログラムや設定値を含み得る。
　ユーザプログラム１６０は、サポート装置３００を用いてユーザが作成プログラムであり、制御対象の機械や設備に応じて任意に作成される。このユーザプログラム１６０は、典型的には、サポート装置３００からＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）へ転送される。
　ライブラリプログラム１７０は、ＣＰＵユニット１１０がユーザプログラム１６０を実行する際に必要になる実行モジュールやサブルーチンを含む。ライブラリプログラム１７０は、ＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）においてユーザプログラムを実行するための環境を提供するためのプログラムである。より具体的には、ライブラリプログラム１７０は、モーション演算モジュール１７２と、シーケンス命令処理モジュール１７４と、入出力処理モジュール１７６と、スケジューラ１７８とを含む。
　モーション演算モジュール１７２は、サーボモータドライバ２１０に対して各種指令を与えるためのモーション演算に係る関数を提供する。シーケンス命令処理モジュール１７４は、シーケンス制御に係る命令を処理するための関数を提供する。入出力処理モジュール１７６は、外部データの取得および内部データの出力に係る関数を提供する。
　スケジューラ１７８は、ユーザプログラム１６０に含まれる複数のタスクについて、それぞれの優先度や割込レベルに応じて、実行順序を最適化するための関数を提供する。
　なお、サポート装置３００において必要なライブラリを組み込んだユーザプログラム（ダイナミックリンクにて作成された実行プログラム）を生成した場合には、これらのライブラリプログラム１７０をＰＬＣ１００で保持しておく必要はない。
　リアルタイムＯＳ１８０は、ユーザプログラム１６０を実行するための環境を提供する。より具体的には、リアルタイムＯＳ１８０は、スケジューラ１７８と協働して、各タスクが予め定められた処理時間内に完了するように、ユーザプログラム１６０の実行順序などを最適化する。
　ファームウェア１９０は、リアルタイムＯＳ１８０が起動する初期段階において実行されるプリミティブなプログラムである。典型的には、本実施の形態に係るバックアップ処理およびリストア処理については、ファームウェア１９０によって実現される。
　＜Ｄ．サーボモータドライバ２１０の構成例＞
　次に、スレーブ装置の一例としてサーボモータドライバ２１０の構成例について説明する。図５は、本実施の形態に係るサーボモータドライバ２１０のハードウェア構成を示す模式図である。サーボモータドライバ２１０は、フィールドネットワーク１０８を介してＰＬＣ１００から送信される指令に従って、サーボモータ２１２を駆動する。より具体的には、サーボモータドライバ２１０は、通信部２５０と、入出力部２５２と、ドライブ回路２５４と、演算処理部２６０とを含む。
　通信部２５０は、フィールドネットワーク１０８を流れるデータを送受信する。すなわち、通信部２５０は、フィールドネットワーク１０８を介して受信したデータを演算処理部２６０へ出力するとともに、演算処理部２６０からのデータをフィールドネットワーク１０８を介して送信する。
　入出力部２５２は、ＩＯユニット１２０（図２）と同様に、一般的な入出力処理を実行する。すなわち、入出力部２５２は、検出スイッチなどの各種センサからの情報を収集するとともに、リレーやアクチュエータといった出力先に対して指令を与える。
　ドライブ回路２５４は、演算処理部２６０からの内部指令に従って、サーボモータ２１２を駆動するための駆動パルス列などを図示しない外部電源から生成する。より具体的には、ドライブ回路２５４は、インバータ回路やＰＷＭ(Pulse　Width　Modulation)変換回路などを含む。
　演算処理部２６０は、サーボモータドライバ２１０の主たる演算処理を実行する制御主体であり、プロセッサ２６２と、メモリ２６４とを含む。プロセッサ２６２は、メモリ２６４が保持しているプログラムや設定値に従って演算処理を実行し、通信部２５０、入出力部２５２、およびドライブ回路２５４に対して、必要な指令や演算結果を出力する。メモリ２６４は、プロセッサ２６２での演算処理に必要な各種データを保持する。このメモリ２６４が保持するデータは、フィールドネットワーク１０８を介して、ＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）から送信されるものもある。
　なお、リモートＩＯターミナル２００については、主たる部分において、ＰＬＣ１００に類似しているので、詳細な説明は行わない。
　＜Ｅ．サポート装置３００＞
　次に、本実施の形態に係るＰＬＣ１００に接続されるサポート装置３００について説明する。図６は、本実施の形態に係るＰＬＣ１００に接続されるサポート装置３００のハードウェア構成を示す模式図である。サポート装置３００は、典型的には、汎用のコンピュータで構成される。
　図６を参照して、サポート装置３００は、ＯＳ(Operating　System)を含む各種プログラムを実行するＣＰＵ３０２と、ＢＩＯＳ(Basic　Input　Output　System)や各種データを格納するＲＯＭ(Read　Only　Memory)３０４と、ＣＰＵ３０２でのプログラムの実行に必要なデータを保持するための作業領域を提供するメモリＲＡＭ３０６と、ＣＰＵ３０２で実行されるプログラムなどを不揮発的に保持するハードディスク（ＨＤＤ）３０８とを含む。
　サポート装置３００は、さらに、ユーザからの操作を受け付けるキーボード３１０およびマウス３１２と、情報をユーザに提示するためのディスプレイ３１４とを含む。さらに、サポート装置３００は、ＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）などと通信するための通信インターフェイス（ＩＦ）３１８を含む。
　後述するように、サポート装置３００で実行されるサポートプログラム（図７参照）は、ＣＤ－ＲＯＭ３９０に格納されて流通する。このＣＤ－ＲＯＭ３９０に格納されたプログラムは、ＣＤ－ＲＯＭ駆動装置３１６によって読取られ、ハードディスク３０８などへ格納される。あるいは、上位のホストコンピュータなどからネットワークを通じてプログラムをダウンロードするように構成してもよい。
　サポート装置３００を構成する各コンポーネントは、バス３２０を介して互いに結合されている。
　図７は、本実施の形態に係るＰＬＣ１００に接続されるサポート装置３００のソフトウェア構成を示す模式図である。図７を参照して、サポート装置３００のハードディスク３０８には、典型的には、ＯＳ３５０と、サポートプログラム３６０と、プロジェクト３７０とが格納されている。
　ＯＳ３５０は、ＣＰＵ３０２でプログラムを実行する環境を提供する。
　サポートプログラム３６０は、ＰＬＣ１００での処理を制御するためのプログラムである。典型的には、サポートプログラム３６０は、デバッガプログラム３６２と、コンパイラプログラム３６４と、エディタプログラム３６６とを含む。
　デバッガプログラム３６２は、作成されたユーザプログラムの正当性を評価するとともに、不具合の修正を支援する。コンパイラプログラム３６４は、作成されたユーザプログラム（ソースプログラム）から実行可能なユーザプログラムを生成する。エディタプログラム３６６は、ユーザプログラムを生成するためのインターフェイスを提供する。
　プロジェクト３７０は、ある制御システムを構築するために必要なプログラムや設定値を含む。具体的には、プロジェクト３７０は、ユーザプログラム３７６と、デバイス構成情報３７２と、スレーブ装置毎のスレーブ設定情報３７４とを含む。これらのデータは、サポート装置３００からＰＬＣ１００へ転送されて、それぞれユーザプログラム１６０、デバイス構成情報１５２、およびスレーブ設定情報１５４として格納される。
　＜Ｆ．制御システムの構築手順＞
　次に、図１（ａ）～（ｃ）に示すような類似したデバイス構成に係る制御システムを構築する手順の一例について説明する。図８は、本実施の形態に係る制御システムの構築手順について説明するための模式図である。
　図８を参照して、まず、ユーザ（システム開発者）は、基本的なデバイス構成（例えば、図１（ａ）に示す半導体製造装置１）に係るプロジェクトを作成する（（１）プロジェクト作成）。具体的には、ユーザは、目的に応じた処理を実現するためのユーザプログラム３７６（ソースプログラム）を作成するとともに、制御システムに含まれるスレーブ装置に係るデバイス構成情報３７２およびスレーブ設定情報３７４を設定する。
　これらの一連の設計・作成が完了すると、プロジェクト３７０のユーザプログラム３７６はコンパイルされて、デバイス構成情報３７２およびスレーブ設定情報３７４とともに、デバイス構成１に係る制御システムへ転送される（（２）コンパイル＋転送）。
　続いて、ユーザは、デバイス構成１に類似したデバイス構成２に応じて、先に作成したプロジェクト３７０を更新する（（３）プロジェクト更新）。より具体的には、システム構成の違いに応じて、デバイス構成情報３７２およびスレーブ設定情報３７４が更新されたり、要求される処理内容の違いに応じてユーザプログラム３７６のロジックが変更されたりする。
　これらの更新が完了すると、プロジェクト３７０のユーザプログラム３７６はコンパイルされて、デバイス構成情報３７２およびスレーブ設定情報３７４とともに、デバイス構成２に係る制御システムへ転送される（（４）コンパイル＋転送）。
　同様に、ユーザは、デバイス構成１に類似したデバイス構成３に応じて、先に作成したプロジェクト３７０を更新する（（５）プロジェクト更新）。より具体的には、システム構成の違いに応じて、デバイス構成情報３７２およびスレーブ設定情報３７４が更新されたり、要求される処理内容の違いに応じてユーザプログラム３７６のロジックが変更されたりする。これらの更新が完了すると、プロジェクト３７０のユーザプログラム３７６はコンパイルされて、デバイス構成情報３７２およびスレーブ設定情報３７４とともに、デバイス構成２に係る制御システムへ転送される（（６）コンパイル＋転送）。
　このように、本実施の形態に係るサポート装置３００（サポートプログラム３６０）を用いることで、類似したデバイス構成に対する制御システムを容易に構築できる。
　図１に示すように、デバイス構成１には存在するが、デバイス構成２には存在しないスレーブ装置に関しては、デバイス構成情報３７２（最終的には、デバイス構成情報１５２としてＰＬＣ１００に格納される）において「無効」に設定することで、関連する処理を無効化できる。すなわち、デバイス構成の相違を吸収できる。
　図９は、本実施の形態に係るデバイス構成情報３７２のデータ構造の一例を示す模式図である。図９を参照して、デバイス構成情報３７２は、フィールドネットワーク１０８のメンバとして登録されているスレーブ装置の情報、および、スレーブ装置の各々についてのネットワーク接続の有効／無効の情報を含む。すなわち、図９に示すデバイス構成情報３７２においては、フィールドネットワーク２のノード番号に区分された複数のエントリを含み、各エントリには、スレーブ装置を特定するための識別情報と、ネットワーク接続の有効／無効の情報とを含む。なお、識別情報としては、スレーブ装置の機器番号などを含む。
　ここで、ネットワーク接続の「無効」とは、マスタ装置であるＰＬＣ１００とデータ通信を行うことを無視(don't　care)することを意味する。「無効」状態においては、登録されている識別情報に一致する識別情報を有するスレーブ装置がフィールドネットワーク２に接続されているか否かについても判断されない。これに対して、ネットワーク接続の「有効」とは、マスタ装置であるＰＬＣ１００とデータ通信を行うことが予定されていることを意味する。そのため、「有効」状態においては、登録されている識別情報に一致する識別情報を有するスレーブ装置がフィールドネットワーク２に接続されていなければ、エラーと判断される。
　つまり、あるスレーブ装置を「無効」に設定することで、当該スレーブ装置がフィールドネットワーク２に接続されていなくとも、エラーと判断されることはなく、この有効／無効の設定を利用することで、デバイス構成の相違をプロジェクト上で吸収することができる。
　次に、具体例を挙げて、制御システムの構築手順の一例について説明する。
　図１０は、図８に示すデバイス構成１の一例を示す図である。図１１は、図８に示すデバイス構成２および３の一例を示す図である。なお、図１０および図１１に示すデバイス構成の例は、図２に示す制御システムに類似させている。図１２は、図９に示すデバイス構成情報３７２の変更内容の一例を示す図である。
　図１０に示すデバイス構成１においては、マスタ装置として機能するＰＬＣ１００のスレーブ装置として、スレーブ装置Ａ～Ｃ（ノード１～３）、スレーブ装置Ｊ～Ｌ（ノード１１～１３）、スレーブ装置Ｓ，Ｔ（ノード４１，４２）が接続されているとする。図１１（ａ）に示すデバイス構成２においては、図１０に示すデバイス構成１に比較してスレーブ装置Ｊ～Ｌが取り除かれており、図１１（ｂ）に示すデバイス構成３においては、図１０に示すデバイス構成１に比較してスレーブ装置Ｓ，Ｔが取り除かれているとする。
　図１０に示すデバイス構成１については、図９に示すようなデバイス構成情報３７２が設定される。これに対して、図１１（ａ）に示すデバイス構成２については、図１２（ａ）に示すようなデバイス構成情報３７２が設定される。つまり、存在しないスレーブ装置Ｊ～Ｌの状態値が「有効」から「無効」に変更される。同様に、図１１（ｂ）に示すデバイス構成３については、図１２（ｂ）に示すようなデバイス構成情報３７２が設定される。つまり、存在しないスレーブ装置Ｓ，Ｔの状態値が「有効」から「無効」に変更される。
　図１０および図１１に示すように、実際にスレーブ装置が存在しなくとも、デバイス構成情報３７２において、そのスレーブ装置の識別情報自体を削除する必要はない。それに代えて、存在しないスレーブ装置の状態値が「無効」に設定されるだけで済む。このようなデバイス構成情報３７２を採用することで、類似した複数のデバイス構成に対して制御システムを容易に構成できる。あるいは、状況に応じてデバイス構成が随時変更されるような場合に、ＰＬＣ１００で実行されるプログラムの変更を容易化できる。
　つまり、ユーザ（システム開発者）は、すべてのデバイス構成を含む基本的なプロジェクトを作成するとともに、デバイス構成情報３７２に対する設定を行うことで、各デバイスについて使用するか否かを選択する。このように、対象となる装置のデバイス構成に応じてデバイス構成情報３７２を適宜変更し、ＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）へ転送することで実現できる。
　但し、上述の方法は、サポート装置３００を用いてデバイス構成情報３７２を変更する必要があるため、プログラミングスキルの乏しいエンドユーザにとってみれば、この方法を行うことは難しい場合もある。このような場合には、デバイス構成情報３７２を動的に変更するようなモジュール（関数）を用いて、ユーザプログラムで、デバイス構成に応じてデバイス構成情報３７２を適宜変更するようにしてもよい。このとき、デバイス構成を変更したことは、ユーザ（オペレータ）が表示器などを操作してＰＬＣ１００へ指示することになる。このようなデバイス構成情報３７２を動的に変更する方法を採用することで、制御システムを停止することなく、デバイス構成の変更に対応させることもできる。
　＜Ｇ．バックアップ処理／リストア処理の概要＞
　次に、本実施の形態に係るＰＬＣ１００に実装されているバックアップ処理／リストア処理の概要について説明する。
　図１３は、本実施の形態に係るＰＬＣ１００に実装されているバックアップ処理／リストア処理の概要を説明するための模式図である。図１３（ａ）はバックアップ処理の概要を示し、図１３（ｂ）はリストア処理の概要を示す。
　［ｇ１：バックアップ処理／リストア処理の利用例］
　一般的に、機械や設備には、しばしばトラブルが発生し得る。例えば、連続休暇中に電源が遮断されており、その休暇明けに電源が投入されると、何らかの理由で正しく動作しない場合が発生し得る。その原因としては、機械的な故障も挙げられるが、バッテリで保持されるべきデータが消去しているとか、意図しないタイミングで上位計算機からデータが書き換えられているといった理由が挙げられる。
　このような場合、ユーザ（サポート装置３００を用いた複雑な操作はできないエンドユーザを想定）は、以前に取得したバックアップデータを用いて、必要なデータなどの復元（リストア処理）を行う。つまり、本実施の形態に係るバックアップデータは、典型的には、制御システムの不具合などを解消するために用いられる。
　この実行方法として、例えば、ＳＤ(Secure　Digital)カードなどのメモリカード３８０をＰＬＣ１００に挿入することをトリガとしてリストア処理が開始される、あるいは、ＰＬＣ１００に設けられたボタンなどを操作するとリストア処理が開始される、といった簡単な処理が想定されている。
　［ｇ２：バックアップ処理］
　まず、図１３（ａ）に示すバックアップ処理について説明する。バックアップ処理においては、ＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）が保持しているデータおよび各スレーブ装置が保持しているデータからバックアップデータ４００が生成される。この生成されたバックアップデータ４００は、ＣＰＵユニット１１０の不揮発性メモリ１１４やメモリカード３８０に保持される。あるいは、ＣＰＵユニット１１０からサポート装置３００へ転送され、サポート装置３００内またはサポート装置３００に接続された各種記録媒体に保持されてもよい。
　より具体的には、ＣＰＵユニット１１０の不揮発性メモリ１１４（図３）に保持されているデータの複製であるＣＰＵデータ４０２と、各スレーブ装置に保持されているデータの複製であるスレーブ設定情報４０４とに基づいて、バックアップデータ４００が生成される。なお、バックアップデータ４００に含まれるデータは、これに限られることなく、ＣＰＵユニット１１０のメインメモリ１１３（図３）に保持されているデータを含めてもよい。
　バックアップデータ４００のＣＰＵデータ４０２は、一例として、以下のようなデータを含む。
　・ＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）内に格納されているユーザプログラム１６０や設定値（パラメータ）
　・ＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）内に格納されているデバイス構成情報１５２
　・ＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）内に格納されているデバイス毎のネットワーク接続の有効／無効の情報
　バックアップデータ４００のスレーブ設定情報４０４は、一例として、以下のようなデータを含む。
　・スレーブ装置内に格納されているユーザプログラムや設定値（パラメータ）
　このように、バックアップデータ４００は、マスタ装置であるＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）が保持するデータ、および／または、スレーブ装置が保持するデータを含む。また、ＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）は、メモリカード３８０およびスレーブ装置からのデータを用いてバックアップデータ４００を生成するバックアップ処理を実行可能に構成されている。
　［ｇ３：リストア処理］
　まず、図１３（ｂ）に示すリストア処理について説明する。リストア処理において、ＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）は、予め用意されたバックアップデータ４００からＣＰＵデータ４０２およびスレーブ設定情報４０４を生成するとともに、ＣＰＵデータ４０２で不揮発性メモリ１１４の内容を上書きする。ＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）に保持されているスレーブ設定情報１５４は、スレーブ設定情報４０４で上書きされる。また、ＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）は、必要に応じて、スレーブ設定情報４０４（上書き後のスレーブ設定情報１５４）の内容を対象のスレーブ装置へ転送する。
　上述したように、このリストア処理は、（１）バックアップデータ４００を格納するメモリカード３８０がＣＰＵユニット１１０に装着されたこと、（２）予め定められた操作（例えば、ＣＰＵユニット１１０に設けられたボタンの押下）がなされたこと、（３）サポート装置３００が明示的な指示があったこと、などをトリガとして開始される。
　このように、本実施の形態に係る処理部に相当するＣＰＵユニット１１０は、スレーブ装置毎の設定情報を含むバックアップデータ４００を用いてリストア処理を実行可能になっている。そして、本実施の形態に係るリストア処理は、ＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）からリストア対象のスレーブ装置に対して、必要なデータを送信する処理を含む。
　＜Ｈ．背景技術・課題＞
　次に、本実施の形態に関連する背景技術およびその課題について説明する。
　図１４は、本実施の形態に関連するバックアップ処理／リストア処理について説明するための模式図である。図１４には、デバイス構成が互いに異なる２つの設備が存在する例を示す。すなわち、搬送チャンバー１０と第１プロセスチャンバー２０とからなるデバイス構成と、搬送チャンバー１０と第４プロセスチャンバー２６とからなるデバイス構成とを想定する。説明の便宜上、スレーブ装置の数を簡素化しているが、いずれのデバイス構成とも、さらなるスレーブ装置を含んでいてもよい。
　搬送チャンバー１０と第１プロセスチャンバー２０とからなる制御システムにおいて取得されるバックアップデータ４００－１は、搬送チャンバー１０および第１プロセスチャンバー２０に関する設定情報やプログラムを含むことになる。また、搬送チャンバー１０と第４プロセスチャンバー２６とからなる制御システムにおいて取得されるバックアップデータ４００－２は、搬送チャンバー１０および第４プロセスチャンバー２６に関する設定情報やプログラムを含むことになる。
　関連技術においては、バックアップデータ４００を用いたリストア処理を行う場合には、リストア対象の制御システムのデバイス構成が当該バックアップデータ４００を生成したときのデバイス構成と同一であることが条件とされる。そのため、搬送チャンバー１０に関する設定情報やプログラムについては、制御システムに共通であるが、搬送チャンバー１０と第４プロセスチャンバー２６とからなる制御システムに対して、バックアップデータ４００－１を用いてリストア処理を行うことはできない。同様に、搬送チャンバー１０と第１プロセスチャンバー２０とからなる制御システムに対して、バックアップデータ４００－２を用いてリストア処理を行うことはできない。
　このように関連技術においては、制御システムにおけるデバイス構成の変更は想定されておらず、バックアップ処理時とリストア時において、デバイス構成が同一である必要がある。つまり、デバイス構成が異なれば、リストア処理の開始または途中でエラーとなる。
　なお、サポート装置３００を用いて、デバイス構成を強制的に一致させるとともに、バックアップデータ４００に含まれる一部のデータを選択してリストア処理に用いることもできなくはないが、非常に手続が煩雑となり、リストア処理を失敗する可能性も高い。
　したがって、一般的には、それぞれの制御システムについて、バックアップデータを生成および管理する必要がある。
　＜Ｉ．解決手段の概要＞
　本実施の形態は、このような課題を解決することを目的とする。より具体的には、処理部に相当するＣＰＵユニット１１０は、リストア処理実行時に、デバイス構成情報を読み出し、バックアップデータ４００に含まれる対象のスレーブ装置のうち、読み出したデバイス構成情報の中でネットワーク接続が有効になっているスレーブ装置、または、フィールドネットワーク１０８上に存在しているスレーブ装置を特定し、特定されたスレーブ装置に対応する設定情報をリストアする。つまり、本実施の形態に係るＣＰＵユニット１１０は、バックアップデータ４００のうち、対象の制御システムに有効に含まれるスレーブ装置に関する設定情報やプログラムを選択的に抽出し、リストア処理を実行する。
　すなわち、本実施の形態に係るＣＰＵユニット１１０は、バックアップデータ４００の作成時とはデバイス構成が異なっていても、ネットワーク接続が有効になっているスレーブ装置、および、ネットワーク上に存在しているスレーブ装置に対して、選択的にリストア処理を実行する。
　ここで、「ネットワーク接続が有効になっているスレーブ装置」とは、典型的には、フィールドネットワーク１０８に接続されることになっているスレーブ装置を意味し、図９に示すデバイス構成情報３７２（または、デバイス構成情報１５２）において、状態値が「有効」に設定されているスレーブ装置を含む。あるいは、ＣＰＵユニット１１０がフィールドネットワーク１０８を介して実際に問合せを行った結果、正常な動作が可能であるスレーブ装置を含むようにしてもよい。
　また、「ネットワーク上に存在しているスレーブ装置」とは、典型的には、フィールドネットワーク１０８に実際に接続されているスレーブ装置を意味する。このとき、デバイス構成情報３７２（または、デバイス構成情報１５２）での状態値には影響を受けない。つまり、フィールドネットワーク１０８に接続されてさえいれば、その動作状態などには影響を受けず、リストア処理の対象とされる。
　以下、対象の制御システムに応じた適用例について、実施の形態１～３として説明する。但し、実施の形態１～３のいずれについても、上述の基本的な処理を含む。
　＜Ｊ．実施の形態１＞
　実施の形態１として、上述の図１４を参照して説明したように、デバイス構成が互いに異なる２つの設備が存在する場合の適用例について説明する。
　［ｊ１：処理概要］
　図１５は、実施の形態１に係るバックアップ処理／リストア処理について説明するための模式図である。図１５には、上述の図１４と同様に、搬送チャンバー１０と第１プロセスチャンバー２０とからなる制御システムにおいてバックアップデータ４００－１が生成され、搬送チャンバー１０と第４プロセスチャンバー２６とからなる制御システムにおいてバックアップデータ４００－２が生成されるとする。
　実施の形態１においては、バックアップデータ４００の生成時におけるデバイス構成とは異なっている場合（すなわち、バックアップ処理時とリストア時との間でデバイス構成が同一ではない場合）であっても、バックアップデータ４００から対応するスレーブ装置に関するデータのみがリストアされる。
　図１５には、搬送チャンバー１０と第１プロセスチャンバー２０とからなる制御システムで生成されたバックアップデータ４００－１を用いて、搬送チャンバー１０と第４プロセスチャンバー２６とからなる制御システムに対してリストア処理を行う例を示す。このとき、ＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）は、バックアップデータ４００－１のうち、搬送チャンバー１０に関する設定情報および／またはプログラムを抽出し、リストア処理を実行する。
　また、図１５には、搬送チャンバー１０と第４プロセスチャンバー２６とからなる制御システムで生成されたバックアップデータ４００－２を用いて、搬送チャンバー１０と第１プロセスチャンバー２０とからなる制御システムに対してリストア処理を行う例を示す。このとき、ＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）は、バックアップデータ４００－２のうち、搬送チャンバー１０に関する設定情報および／またはプログラムを抽出し、リストア処理を実行する。
　このように、実施の形態１に係るＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）は、バックアップデータ４００からリストア処理を実行するに際して、ネットワーク接続が有効になっているスレーブ装置、および／または、ネットワーク上に存在しているスレーブ装置を対象とする。すなわち、実施の形態１に係るＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）は、ネットワーク接続が有効になっていないスレーブ装置、および／または、ネットワーク上に存在していないスレーブ装置に対しては、リストア処理を実行しない。
　言い換えれば、リストア処理が実行されない（あるいは、リストア処理を実行できない）スレーブ装置が存在していたとしても、実施の形態１に係るＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）は、リストア処理の開始または途中で処理を停止することはない。
　なお、リストア処理の対象にならなかったスレーブ装置に関しては、エラーを出力しないようにしてもよい。但し、リストア処理の対象にならなかったことを通知することが好ましい場合には、リストア処理の対象にならなかったスレーブ装置をユーザに通知するようにしてもよい。この通知方法としては、リストア処理に係るログファイルにその内容を出力する、接続されているサポート装置３００の画面上にその内容を通知する、対象のスレーブ装置に搭載されている表示デバイス（例えば、ＬＥＤ(Light　Emitting　Diode)インジケータなど）を点灯／点滅させる、サポート装置３００またはＣＰＵユニット１１０から音声ガイダンスを発するといった方法を用いることができる。
　［ｊ２：処理手順］
　次に、実施の形態１に係るバックアップ処理およびリストア処理の手順について説明する。図１６は、実施の形態１に係るバックアップ処理の手順を示すフローチャートである。図１７は、実施の形態１に係るリストア処理の手順を示すフローチャートである。図１６および図１７に示す各ステップは、典型的には、ＣＰＵユニット１１０のマイクロプロセッサ１１２（図３）がファームウェア１９０（図４）を実行することで実現される。但し、これらの処理の一部または全部をＡＳＩＣ(Application　Specific　Integrated　Circuit)などの集積回路を用いて実現してもよい。
　図１６を参照して、マイクロプロセッサ１１２は、バックアップ処理の開始条件が成立したか否かを判断する（ステップＳ１００）。このバックアップ処理の開始条件は、サポート装置３００などから明示的な指示を受けた場合や、メモリカード３８０が装着された場合などを含む。バックアップ処理の開始条件が成立していなければ（ステップＳ１００においてＮＯ）、ステップＳ１００の処理が繰返される。
　これに対して、バックアップ処理の開始条件が成立していれば（ステップＳ１００においてＹＥＳ）、マイクロプロセッサ１１２は、不揮発性メモリ１１４にテンポラリフォルダを作成し、不揮発性メモリ１１４に保持されているデータをコピーする（ステップＳ１０２）。不揮発性メモリ１１４に保持されているデータは、ＣＰＵデータ４０２およびスレーブ設定情報４０４を含む。
　続いて、マイクロプロセッサ１１２は、デバイス構成情報１５２を参照して、フィールドネットワーク１０８のメンバとして登録されている１つのスレーブ装置をバックアップ対象として選択する（ステップＳ１０４）。そして、マイクロプロセッサ１１２は、バックアップ対象のスレーブ装置がフィールドネットワーク１０８上に存在しているか否かを判断する（ステップＳ１０６）。バックアップ対象のスレーブ装置がフィールドネットワーク１０８上に存在していれば（ステップＳ１０６においてＹＥＳ）、マイクロプロセッサ１１２は、フィールドネットワーク１０８を介して、バックアップ対象のスレーブ装置から格納されているデータを読み出し、その読み出したデータをテンポラリフォルダにコピーする（ステップＳ１０８）。
　マイクロプロセッサ１１２は、フィールドネットワーク１０８のメンバとして登録されているすべてのスレーブ装置についてバックアップ対象としての選択が完了したか否かを判断する（ステップＳ１１０）。フィールドネットワーク１０８のメンバとして登録されているすべてのスレーブ装置についてバックアップ対象としての選択が完了していなければ（ステップＳ１１０においてＮＯ）、または、バックアップ対象のスレーブ装置がフィールドネットワーク１０８上に存在していなければ（ステップＳ１０６においてＮＯ）、マイクロプロセッサ１１２は、フィールドネットワーク１０８のメンバとして登録されている未選択のスレーブ装置をバックアップ対象として選択する（ステップＳ１１２）。そして、ステップＳ１０６以下の処理が繰返される。
　これに対して、フィールドネットワーク１０８のメンバとして登録されているすべてのスレーブ装置についてバックアップ対象としての選択が完了していれば（ステップＳ１１０においてＹＥＳ）、バックアップデータ４００の生成に必要なデータの収集が完了する。基本的には、テンポラリフォルダ内のデータをそのままバックアップデータ４００として出力することができる。但し、実施の形態１においては、バックアップデータ４００に対してパッケージ化処理を行い、その結果として得られるパッケージファイルをバックアップデータ４００として出力する。つまり、マイクロプロセッサ１１２は、テンポラリフォルダ内のデータに対してパッケージ化処理を行い、バックアップデータ４００を生成する（ステップＳ１１４）。
　続いて、マイクロプロセッサ１１２は、バックアップデータ４００の出力先を判断する（ステップＳ１１６）。なお、このバックアップデータ４００の出力先は、サポート装置３００から予め通知されていてもよいし、ＣＰＵユニット１１０に設けられたディップスイッチなどの設定に基づいて判断されてもよい。
　バックアップデータ４００の出力先がメモリカード３８０である場合（ステップＳ１１６において「メモリカード」）、マイクロプロセッサ１１２は、バックアップデータ４００をメモリカード３８０に格納する（ステップＳ１１８）。そして、バックアップ処理は終了する。
　これに対して、バックアップデータ４００の出力先がサポート装置３００である場合（ステップＳ１１６において「サポート装置」）、マイクロプロセッサ１１２は、バックアップデータ４００をサポート装置３００へ転送する（ステップＳ１２０）。そして、バックアップ処理は終了する。
　図１７を参照して、マイクロプロセッサ１１２は、リストア処理の開始条件が成立したか否かを判断する（ステップＳ２００）。このリストア処理の開始条件は、サポート装置３００などから明示的な指示を受けた場合や、メモリカード３８０が装着された場合などを含む。リストア処理の開始条件が成立していなければ（ステップＳ２００においてＮＯ）、ステップＳ２００の処理が繰返される。
　これに対して、リストア処理の開始条件が成立していれば（ステップＳ２００においてＹＥＳ）、マイクロプロセッサ１１２は、バックアップデータ４００の入力先を判断する（ステップＳ２０２）。なお、このバックアップデータ４００の入力先は、成立したリストア処理の開始条件に関連付けて判断されてもよい。
　バックアップデータ４００の入力先がメモリカード３８０である場合（ステップＳ２０２において「メモリカード」）、マイクロプロセッサ１１２は、不揮発性メモリ１１４にテンポラリフォルダを作成し、メモリカード３８０に格納されているバックアップデータ４００を読み出して、テンポラリフォルダにコピーする（ステップＳ２０４）。
　これに対して、バックアップデータ４００の入力先がサポート装置３００である場合（ステップＳ２０２において「サポート装置」）、マイクロプロセッサ１１２は、不揮発性メモリ１１４にテンポラリフォルダを作成し、サポート装置３００から転送されるバックアップデータ４００をテンポラリフォルダにコピーする（ステップＳ２０６）。
　続いて、マイクロプロセッサ１１２は、テンポラリフォルダ内のバックアップデータ４００に対して分解処理を行う（ステップＳ２０８）。この分解処理によって、テンポラリフォルダ内には、ＣＰＵデータ４０２およびスレーブ設定情報４０４がリストアされる。そして、マイクロプロセッサ１１２は、テンポラリフォルダ内のＣＰＵデータ４０２で不揮発性メモリ１１４の内容を上書きする（ステップＳ２１０）。
　続いて、マイクロプロセッサ１１２は、ＣＰＵデータ４０２に含まれるデバイス構成情報１５２と現在のデバイス構成（実機構成）とを比較し、両者が一致しているか否かを判断する（ステップＳ２１２）。デバイス構成情報１５２と実機構成とが一致していなければ（ステップＳ２１２においてＮＯ）、マイクロプロセッサ１１２は、バックアップデータ４００の生成時におけるデバイス構成と実機構成とが一致していないことを出力する（ステップＳ２１４）。この出力形態としては、リストア処理に係るログファイルにその内容を出力する、接続されているサポート装置３００の画面上にその内容を通知する、サポート装置３００またはＣＰＵユニット１１０から音声ガイダンスを発するといった方法を用いることができる。
　デバイス構成情報１５２と実機構成とが一致していれば（ステップＳ２１２においてＹＥＳ）、ステップＳ２１４の処理はスキップされる。
　続いて、マイクロプロセッサ１１２は、バックアップデータ４００から得られたＣＰＵデータ４０２に含まれるデバイス構成情報１５２を参照して、フィールドネットワーク１０８のメンバとして登録されている１つのスレーブ装置をリストア対象として選択する（ステップＳ２１６）。そして、マイクロプロセッサ１１２は、リストア対象のスレーブ装置に対して、リストア処理を適切に実行できるか否かを判断する（ステップＳ２１８）。より具体的には、マイクロプロセッサ１１２は、リストア対象のスレーブ装置について、ネットワーク接続が有効になっているか、および／または、フィールドネットワーク１０８上に存在しているかを判断する。
　リストア対象のスレーブ装置に対して、リストア処理を適切に実行できると判断されると（ステップＳ２１８においてＹＥＳ）、マイクロプロセッサ１１２は、テンポラリフォルダ内のリストア対象のスレーブ装置についてのスレーブ設定情報４０４で不揮発性メモリ１１４の内容を上書きする（ステップＳ２２０）。続いて、マイクロプロセッサ１１２は、リストア対象のスレーブ装置に対して転送すべきデータ（例えば、プログラムなど）がテンポラリフォルダ内に存在するか否かを判断する（ステップＳ２２２）。すなわち、スレーブ装置の中には、その内部にユーザプログラムや設定値を保持するスレーブ装置も存在し、そのようなスレーブ装置については、ＣＰＵユニット１１０から必要なデータ（ユーザプログラムや設定値）へ送信される。リストア対象のスレーブ装置に対して転送すべきデータがテンポラリフォルダ内に存在していれば（ステップＳ２２２においてＹＥＳ）、マイクロプロセッサ１１２は、フィールドネットワーク１０８を介して、リストア対象のスレーブ装置に対して対応するデータを送信する（ステップＳ２２４）。リストア対象のスレーブ装置に対して転送すべきデータがテンポラリフォルダ内に存在していなければ（ステップＳ２２２においてＮＯ）、ステップＳ２２４の処理はスキップされる。
　そして、マイクロプロセッサ１１２は、フィールドネットワーク１０８のメンバとして登録されているすべてのスレーブ装置についてリストア対象としての選択が完了したか否かを判断する（ステップＳ２２６）。フィールドネットワーク１０８のメンバとして登録されているすべてのスレーブ装置についてリストア対象としての選択が完了していなければ（ステップＳ２２６においてＮＯ）、または、リストア対象のスレーブ装置に対して、リストア処理を適切に実行できると判断されなければ（ステップＳ２１８においてＮＯ）、マイクロプロセッサ１１２は、フィールドネットワーク１０８のメンバとして登録されている未選択のスレーブ装置をリストア対象として選択する（ステップＳ２２８）。そして、ステップＳ２１８以下の処理が繰返される。
　これに対して、フィールドネットワーク１０８のメンバとして登録されているすべてのスレーブ装置についてリストア対象としての選択が完了していれば（ステップＳ２２６においてＹＥＳ）、リストア処理は終了する。
　［ｊ３：利点］
　実施の形態１によれば、共通のデバイスを有する複数の設備（制御システム）に生じた何らかの異常を復旧させる必要がある場合に、少なくとも共通のデバイスについては、他の設備（制御システム）から生成したバックアップデータを用いてリストアすることができる。そのため、制御システムを復旧させるためのリストア処理をより簡素化できる。
　＜Ｋ．実施の形態２＞
　実施の形態２として、リストア時には存在しなかったスレーブ装置（デバイス）が事後的に追加された場合に、追加的にリストア処理を実行できる適用例について説明する。すなわち、実施の形態２においては、リストア時に存在しなかったスレーブ装置が追加された場合、当該追加されたスレーブ装置対して自動的にリストアを行う。
　［ｋ１：処理概要］
　図１８は、実施の形態２に係るリストア処理について説明するための模式図である。図１８（ａ）に示すデバイス構成においては、マスタ装置として機能するＰＬＣ１００のスレーブ装置として、スレーブ装置Ａ～Ｃ（搬送チャンバー１０）およびスレーブ装置Ｊ～Ｌ（第１プロセスチャンバー２０）が接続されているとする。このとき、本来存在すべきスレーブ装置Ｓ，Ｔ（第４プロセスチャンバー２６）については、存在していないとする。但し、バックアップデータ４００は、すべてのスレーブ装置に関するデータ（搬送チャンバー１０、第１プロセスチャンバー２０、第４プロセスチャンバー２６）を含む。
　図１８（ａ）に示すデバイス構成において、リストア処理が実行されると、スレーブ装置Ａ～Ｃ（搬送チャンバー１０）およびスレーブ装置Ｊ～Ｌ（第１プロセスチャンバー２０）がリスト対象になる。つまり、バックアップデータ４００のうち、搬送チャンバー１０および第１プロセスチャンバー２０に関するデータを用いてリストア処理が実行される。
　その後、図１８（ｂ）に示すように、スレーブ装置Ｓ，Ｔ（第４プロセスチャンバー２６）が追加されたとする。このような状況は、第４プロセスチャンバー２６に係る設備が保守や修理などで電源が遮断されているような場合や、装置そのものが取り外されているような場合に生じ得る。
　実施の形態２においては、図１８（ａ）に示すデバイス構成から図１８（ｂ）に示すデバイス構成に変更されたことをトリガとして、リストア処理が追加的に実行される。つまり、バックアップデータ４００に含まれる第４プロセスチャンバー２６に関するデータを用いてリストア処理が実行される。
　実施の形態２に係るリストア処理は、スレーブ装置の追加によって、追加のリストア処理が自動的に実行されるので、知識の乏しいエンドユーザであっても、適切なリストア処理を実現できる。すなわち、実施の形態２に係る自動的なリストア処理が実装されていなければ、ユーザは、変更後のデバイス構成を考慮して、サポート装置３００上で対象となるデータを個別に選択して、リストア処理を実行する必要があるが、このような操作は非常に手間であり、そのユーザの知識によってはリストア処理を適切に行えないという問題があった。
　バックアップデータ４００は、典型的には、ＣＰＵユニット１１０の不揮発性メモリ１１４（図３）に予め保持されているとする。あるいは、ＣＰＵユニット１１０に装着されるメモリカード３８０に、バックアップデータ４００を保持しておいてもよい。
　図１８に示す追加的なリストア処理は、典型的には、スレーブ装置が追加されたことをＣＰＵユニット１１０が検知した場合、および／または、ネットワーク接続が無効から有効へ変更された場合に、実行される。すなわち、ＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）は、いずれかのスレーブ装置のネットワーク接続が有効になった場合、および、いずれかのスレーブ装置がフィールドネットワーク１０８上に存在するようになった場合のうち少なくとも一方において、バックアップデータ４００に含まれる対応するスレーブ設定情報１５４をリストアする。
　［ｋ２：処理手順］
　次に、実施の形態２に係るバックアップ処理およびリストア処理の手順について説明する。バックアップ処理については、上述の実施の形態１（図１６）と同様であるので、詳細な説明は繰返さない。
　リストア処理については、追加されたスレーブ装置に対するリストア処理が未実施である場合に限って、追加的なリストア処理を実行する場合（以下に説明する「未実施の場合に限って追加的なリストア処理を実施」）と、何らかのスレーブ装置が追加されると、当該追加されたスレーブ装置に対してリストア処理を常に実行する場合（以下に説明する「常に追加的なリストア処理を実施」）とが考えられる。以下、各場合の処理について、その詳細を説明する。
　［ｋ３：リストア処理（その１：未実施の場合に限って追加的なリストア処理を実施）］
　図１９は、実施の形態２に係るリストア処理（その１）の手順を示すフローチャートである。図１９および後述の図２１に示す各ステップは、典型的には、ＣＰＵユニット１１０のマイクロプロセッサ１１２（図３）がファームウェア１９０（図４）を実行することで実現される。但し、これらの処理の一部または全部をＡＳＩＣなどの集積回路を用いて実現してもよい。
　図１９に示すフローチャートは、図１７に示す実施の形態１に係るリストア処理の手順を示すフローチャートに比較して、ステップＳ２２４とステップＳ２２６の後にステップＳ２２５の処理が実行される点のみが異なっている。すなわち、マイクロプロセッサ１１２は、リストア対象のスレーブ装置に対して対応するデータを送信する（ステップＳ２２４）と、または、リストア対象のスレーブ装置に対して転送すべきデータがテンポラリフォルダ内に存在していなければ（ステップＳ２２２においてＮＯ）、リストア対象のスレーブ装置に対するリストア処理の完了を記録する（ステップＳ２２５）。
　図２０は、実施の形態２に係るリストア処理（その１）におけるリストア処理の完了の記録に係る情報の一例を示す模式図である。図２０を参照して、ノード番号およびメンバとして登録されているスレーブ装置の情報に関連付けて、リストア処理の完了の有無が記録される。すなわち、各スレーブ装置について、リストア処理が実施済であるか否かを示す情報が記録される。図２０に示す例では、「Ｙ」はリストア処理が実施済であることを示し、「Ｎ」はリストア処理が未実施であることを示す。何らかのスレーブ装置が追加されると、このリストア処理の完了の記録に係る情報が参照されて、追加的なリストア処理が実行される。
　図２１は、実施の形態２に係る追加的なリストア処理（その１）の手順を示すフローチャートである。図２１を参照して、マイクロプロセッサ１１２は、追加的なリストア処理を実行すべきか否かを判断する（ステップＳ２５０）。具体的には、マイクロプロセッサ１１２は、スレーブ装置が追加されたか否か、および／または、ネットワーク接続が無効から有効へ変更されたか否かを判断する。なお、マスタ装置として機能するＰＬＣ１００（ＣＰＵユニット１１０）がフィールドネットワーク１０８の状態を常時監視しているので、この常時監視の情報に基づいて、スレーブ装置が追加されたか否かを判断できる。また、ネットワーク接続が無効から有効へ変更されたか否かについては、デバイス構成情報１５２が変更されたか否かに基づいて判断できる。
　追加的なリストア処理を実行すべきと判断されなければ（ステップＳ２５０においてＮＯ）、ステップＳ２５０の処理が繰返される。
　これに対して、追加的なリストア処理を実行すべきと判断されれば（ステップＳ２５０においてＹＥＳ）、マイクロプロセッサ１１２は、追加されたスレーブ装置のうち１つのスレーブ装置を追加的なリストア対象として選択する（ステップＳ２５２）。そして、マイクロプロセッサ１１２は、追加的なリストア対象のスレーブ装置について、リストア処理を実施済であるか否かを判断する（ステップＳ２５４）。この判断は、図２０に示すようなリストア処理の完了の記録に係る情報に基づいて実施される。
　リストア処理を実施済でなければ（ステップＳ２５４においてＮＯ）、マイクロプロセッサ１１２は、追加的なリストア対象のスレーブ装置に対して転送すべきデータ（例えば、プログラムなど）がテンポラリフォルダ内に存在するか否かを判断する（ステップＳ２５６）。追加的なリストア対象のスレーブ装置に対して転送すべきデータがテンポラリフォルダ内に存在していれば（ステップＳ２５６においてＹＥＳ）、マイクロプロセッサ１１２は、フィールドネットワーク１０８を介して、追加的なリストア対象のスレーブ装置に対して対応するデータを送信する（ステップＳ２５８）。追加的なリストア対象のスレーブ装置に対して転送すべきデータがテンポラリフォルダ内に存在していなければ（ステップＳ２５６においてＮＯ）、ステップＳ２５８の処理はスキップされる。
　続いて、マイクロプロセッサ１１２は、追加的なリストア対象のスレーブ装置に対するリストア処理の完了を記録する（ステップＳ２６０）。この時点で、当該スレーブ装置のネットワーク接続を有効化できる。
　ステップＳ２６０の実行後、または、リストア処理を実施済である場合（ステップＳ２５４においてＹＥＳ）に、マイクロプロセッサ１１２は、追加されたすべてのスレーブ装置について追加的なリストア対象としての選択が完了したか否かを判断する（ステップＳ２６２）。追加されたすべてのスレーブ装置について追加的なリストア対象としての選択が完了していなければ（ステップＳ２６２においてＮＯ）、マイクロプロセッサ１１２は、追加されたスレーブ装置のうち未選択のスレーブ装置を追加的なリストア対象として選択する（ステップＳ２６４）。そして、ステップＳ２５４以下の処理が繰返される。
　追加されたすべてのスレーブ装置について追加的なリストア対象としての選択が完了していれば（ステップＳ２６２においてＹＥＳ）、処理は終了する。
　［ｋ４：リストア処理（その２：常に追加的なリストア処理を実施）］
　実施の形態２に係るリストア処理（その２）の手順は、図１７に示す実施の形態１に係るリストア処理の手順を示すフローチャートと同様であるので、詳細な説明は繰返さない。つまり、常に追加的なリストア処理を実施する場合には、リストア処理が未実施であるか否かを記録しておく必要がないので、リストア処理の完了が記録されない。
　図２２は、実施の形態２に係る追加的なリストア処理（その２）の手順を示すフローチャートである。図２２に示すフローチャートは、図２１に示す実施の形態２に係るリストア処理（その２）の手順を示すフローチャートをより簡素化したものである。なお、図２２に示す処理のうち、図２１に示す処理と実質的に同一であるものについては、同一のステップ番号を付与している。
　図２２を参照して、マイクロプロセッサ１１２は、追加的なリストア処理を実行すべきか否かを判断する（ステップＳ２５０）。追加的なリストア処理を実行すべきと判断されなければ（ステップＳ２５０においてＮＯ）、ステップＳ２５０の処理が繰返される。
　追加的なリストア処理を実行すべきと判断されれば（ステップＳ２５０においてＹＥＳ）、マイクロプロセッサ１１２は、追加されたスレーブ装置のうち１つのスレーブ装置を追加的なリストア対象として選択する（ステップＳ２５２）。マイクロプロセッサ１１２は、追加的なリストア対象のスレーブ装置に対して転送すべきデータ（例えば、プログラムなど）がテンポラリフォルダ内に存在するか否かを判断する（ステップＳ２５６）。追加的なリストア対象のスレーブ装置に対して転送すべきデータがテンポラリフォルダ内に存在していれば（ステップＳ２５６においてＹＥＳ）、マイクロプロセッサ１１２は、フィールドネットワーク１０８を介して、追加的なリストア対象のスレーブ装置に対して対応するデータを送信する（ステップＳ２５８）。
　ステップＳ２５８の実行後、または、追加的なリストア対象のスレーブ装置に対して転送すべきデータがテンポラリフォルダ内に存在していない場合（ステップＳ２５６においてＮＯ）に、マイクロプロセッサ１１２は、追加されたすべてのスレーブ装置について追加的なリストア対象としての選択が完了したか否かを判断する（ステップＳ２６２）。追加されたすべてのスレーブ装置について追加的なリストア対象としての選択が完了していなければ（ステップＳ２６２においてＮＯ）、マイクロプロセッサ１１２は、追加されたスレーブ装置のうち未選択のスレーブ装置を追加的なリストア対象として選択する（ステップＳ２６４）。そして、ステップＳ２５６以下の処理が繰返される。
　追加されたすべてのスレーブ装置について追加的なリストア対象としての選択が完了していれば（ステップＳ２６２においてＹＥＳ）、処理は終了する。
　［ｋ５：利点］
　実施の形態２によれば、リストア処理の後、事後的に追加されたデバイスに対するリストア処理が自動的に実行される。そのため、予め用意されたバックアップデータに含まれるデバイスの範囲であれば、リストア処理の実行後に追加されたデバイスであっても、必要な設定情報を転送することができる。よって、知識の乏しいエンドユーザであっても、デバイスの交換や設備の保全の後に、制御システムを即座にアクティブな状態にできる。
　＜Ｌ．実施の形態３＞
　実施の形態３として、上述の図８～図１２を参照して説明したように、互いに類似したデバイス構成を有する制御システムを複数構築するような場合には、すべてのスレーブ装置を含む制御システム（基本的なデバイス構成）に対応するバックアップデータ４００をサポート装置３００にて予め用意しておき、各制御システム（ＰＬＣ１００）に格納しておく。すなわち、バックアップデータ４００は、サポート装置３００から提供される。そして、各制御システムでは、サポート装置３００からのバックアップデータ４００のうち、各デバイス構成に応じて必要なデータのみを使用してリストア処理を実行する。
　このような方法を採用することで、共通のバックアップデータ４００（すべてのデバイスに関する設定情報を含む）のみを管理しておけばよく、管理手続を簡素化できる。
　図２３は、実施の形態３に係るバックアップ処理／リストア処理の概要を説明するための模式図である。図２３には、搬送チャンバー１０と第１プロセスチャンバー２０とからなる第１制御システム（第１ＰＬＣ１００を含む）と、搬送チャンバー１０と第４プロセスチャンバー２６とからなる第４制御システム（第４ＰＬＣ１００）とが存在している例を示す。
　この場合には、サポート装置３００にて、すべてのデバイスを含むバックアップデータ４００が生成される。バックアップデータ４００の生成には、実際のＰＬＣ１００やスレーブ装置は必要なく、いわゆるオフラインで生成できる。すなわち、サポート装置３００単独でバックアップデータ４００を生成できる。このバックアップデータ４００は、搬送チャンバー１０、第１プロセスチャンバー２０、および第４プロセスチャンバー２６に関する設定情報を含む。
　第１制御システム（第１ＰＬＣ１００）は、バックアップデータ４００に含まれる搬送チャンバー１０および第１プロセスチャンバー２０に関する設定情報のみを用いて、リストア処理を実行する。すなわち、第１ＰＬＣ１００は、第４プロセスチャンバー２６に関する設定情報を無視する。
　一方、第４制御システム（第４ＰＬＣ１００）は、バックアップデータ４００に含まれる搬送チャンバー１０および第４プロセスチャンバー２６に関する設定情報のみを用いて、リストア処理を実行する。すなわち、第４ＰＬＣ１００は、第１プロセスチャンバー２０に関する設定情報を無視する。
　なお、サポート装置３００単体ではなく、搬送チャンバー１０、第１プロセスチャンバー２０、および第４プロセスチャンバー２６のすべてを含む実際の制御システムからバックアップデータ４００を生成してもよい。
　図２３を参照して、より具体的な処理手順の一例を説明する。まず、ユーザ（システム開発者）は、サポート装置３００にて、基本的なデバイス構成（搬送チャンバー１０、第１プロセスチャンバー２０、および第４プロセスチャンバー２６を含む制御システム）に係るプロジェクトを作成する（シーケンスＳＱ１００）。このプロジェクトが完成した時点で、ユーザは、サポート装置３００上でバックアップデータ４００を生成する（シーケンスＳＱ１０２）。
　続いて、ユーザは、シーケンスＳＱ１００において作成した基本的なデバイス構成に係るプロジェクトを、第１制御システムに適合するように更新する（シーケンスＳＱ１０４）。そして、ユーザは、更新後のプロジェクトをコンパイルすることで生成されるユーザプログラム、デバイス構成情報、およびスレーブ設定情報を第１ＰＬＣ１００へ送信する（シーケンスＳＱ１０６）。
　同様に、ユーザは、シーケンスＳＱ１００において作成した基本的なデバイス構成に係るプロジェクトを、第４制御システムに適合するように更新する（シーケンスＳＱ１０８）。そして、ユーザは、更新後のプロジェクトをコンパイルすることで生成されるユーザプログラム、デバイス構成情報、およびスレーブ設定情報を第４ＰＬＣ１００へ送信する（シーケンスＳＱ１１０）。
　そして、ユーザは、シーケンスＳＱ１０２において作成したバックアップデータ４００を第１ＰＬＣ１００および第４ＰＬＣ１００へ送信する（シーケンスＳＱ１１２）。
　第１ＰＬＣ１００は、バックアップデータ４００を格納するとともに、要求に応じて、バックアップデータ４００を用いてリストア処理を実行する（シーケンスＳＱ１１４）。このリストア処理において、第１ＰＬＣ１００は、バックアップデータ４００に含まれる搬送チャンバー１０および第１プロセスチャンバー２０に係る設定情報のみを使用する。
　同様に、第４ＰＬＣ１００は、バックアップデータ４００を格納するとともに、要求に応じて、バックアップデータ４００を用いてリストア処理を実行する（シーケンスＳＱ１１６）。このリストア処理において、第１ＰＬＣ１００は、バックアップデータ４００に含まれる搬送チャンバー１０および第４プロセスチャンバー２６に係る設定情報のみを使用する。
　実施の形態３によれば、すべてのデバイスを含む共通のバックアップデータを生成しておけば、それらのデバイスの全部または一部を含むいずれの制御システム（デバイス構成）に対しても、当該共通のバックアップデータを用いてリストア処理を行える。そのため、バックアップデータの管理手続を簡素化できる。また、共通のバックアップデータはサポート装置によって生成できるので、たとえ、すべてのデバイスを含む制御システム（デバイス構成）が存在しない場合であっても、当該共通のバックアップデータを生成できる。
　今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
　１　半導体製造装置、２　フィールドネットワーク、１０　搬送チャンバー、１２　搬送ロボット、２０，２２，２４，２６　プロセスチャンバー、２１，２３，２５，２７，３１，３５　ゲートバルブ、３０，３４　ロードロック室、３３，３７　連通部、１００　ＰＬＣ、１０２　ＵＳＢコネクタ、１０４　フィールドネットワークコネクタ、１０６　メモリカードインターフェイス、１１０　ＣＰＵユニット、１１１　チップセット、１１２　マイクロプロセッサ、１１３　メインメモリ、１１４　不揮発性メモリ、１１６　フィールドネットワークコントローラ、１１７　ＰＬＣシステムバスコントローラ、１２０，２０４　ＩＯユニット、１３０　電源ユニット、２００　リモートＩＯターミナル、２０２　通信カプラ、２１０　サーボモータドライバ、２１２　サーボモータ、２５０　通信部、２５２　入出力部、２５４　ドライブ回路、２６０　演算処理部、２６２　プロセッサ、２６４　メモリ、３００　サポート装置、３０２　ＣＰＵ、３０４　ＲＯＭ、３０６　ＲＡＭ、３０８　ハードディスク、３１０　キーボード、３１２　マウス、３１４　ディスプレイ、３１６　ＣＤ－ＲＯＭ駆動装置、３２０　バス、３８０　メモリカード、３９０　ＣＤ－ＲＯＭ。

Claims (6)

  1. 　ネットワークにおいてマスタ装置として機能するとともに、当該ネットワークを介して１または複数のスレーブ装置を制御する制御装置であって、
    　前記ネットワークのメンバとして登録されているスレーブ装置の各々についてのネットワーク接続の有効／無効の情報を含むデバイス構成情報と、当該登録されているスレーブ装置を制御するために必要なパラメータを含む設定情報と、を保持する記憶部と、
    　前記設定情報を含むデータを用いてリストア処理を実行可能な処理部とを備え、
    　前記処理部は、前記リストア処理実行時に、前記デバイス構成情報を読み出し、前記データに含まれる対象のスレーブ装置のうち、読み出したデバイス構成情報の中でネットワーク接続が有効になっているスレーブ装置、または、前記ネットワーク上に存在しているスレーブ装置を特定し、特定された前記スレーブ装置に対応する設定情報をリストアする、制御装置。
  2. 　前記リストア処理は、前記制御装置からリストア対象のスレーブ装置に対して、必要なデータを送信する処理を含む、請求項１に記載の制御装置。
  3. 　前記処理部は、いずれかのスレーブ装置のネットワーク接続が有効になった場合、または、いずれかのスレーブ装置が前記ネットワーク上に存在するようになった場合に、前記データに含まれる対応する設定情報をリストアする、請求項１に記載の制御装置。
  4. 　前記データは、サポート装置から提供される、請求項１に記載の制御装置。
  5. 　前記処理部は、前記記憶部および前記スレーブ装置からのデータを用いて前記データを生成するバックアップ処理をさらに実行可能に構成されている、請求項１に記載の制御装置。
  6. 　ネットワークにおいてマスタ装置として機能するとともに、当該ネットワークを介して１または複数のスレーブ装置を制御する制御装置の動作方法であって、
    　前記ネットワークのメンバとして登録されているスレーブ装置の各々についてのネットワーク接続の有効／無効の情報を含むデバイス構成情報と、当該登録されているスレーブ装置を制御するために必要なパラメータを含む設定情報と、を保持するステップと、
    　前記設定情報を含むデータを用いてリストア処理を実行するステップとを備え、
    　前記リストア処理を実行するステップは、前記デバイス構成情報を読み出し、前記データに含まれる対象のスレーブ装置のうち、読み出したデバイス構成情報の中でネットワーク接続が有効になっているスレーブ装置、または、前記ネットワーク上に存在しているスレーブ装置を特定し、特定された前記スレーブ装置に対応する設定情報をリストアするステップを含む、動作方法。
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