CN104956273B - 控制装置及控制装置的动作方法 - Google Patents

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Abstract

提供即使在从数据的创建时起变更了经由网络与控制装置连接的从属装置的情况下也能在可能的范围进行针对从属装置的恢复处理的控制装置及其动作方法。控制装置包含：存储部，其保存设备构成信息和设定信息；以及处理部，其能使用包含所述设定信息的数据来执行恢复处理。所述处理部在执行所述恢复处理时，读出所述设备构成信息，并在包含于所述数据中的对象的从属装置当中，确定在已读出的设备构成信息之中的网络连接变为有效的从属装置或者存在于所述网络上的从属装置，并恢复与所确定的所述从属装置对应的设定信息。

Description

控制装置及控制装置的动作方法
技术领域
本发明涉及在网络中作为主控装置发挥功能并经由该网络对1个或多个从属装置进行控制的控制装置及其动作方法。
背景技术
许多生产现场所使用的机械或设备典型地由包含可编程控制器(ProgrammableLogic Controller；以下也称为“PLC”。)等控制装置的控制系统进行控制。在这样的控制系统中，PLC经由称为现场总线等的网络与1个或多个从属装置(典型地，远程IO(Input/Output；输入/输出)装置、伺服电动机驱动器等)进行连接。
在这样的控制系统中，多搭载有用于备份/恢复参数等各种数据的功能。例如，JP特开2011－215814号公报(引用文献1)公开能对通信设备的对象参数的设定值进行备份或恢复的可编程控制器。该可编程控制器具有备份过程信息以及恢复过程信息，并在进行备份/恢复时基于该过程信息来进行备份/恢复。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:JP特开2011－215814号公报
发明内容
发明要解决的课题
在一般的控制系统中，能任意地变更设备构成。故而，在备份时与恢复时两者之间，存在设备构成不同的情况。在上述的JP特开2011－215814号公报(引用文献1)所公开的构成中，预先准备有过程信息，因此在备份时与恢复时两者之间设备构成不同那样的情况下，存在不能适当地进行恢复这样的课题。
本发明鉴于上述那样的点而提出，其目的在于，即使在从数据的创建时起变更了经由网络与控制装置进行连接的从属装置的情况下，也能在可能的范围内进行针对从属装置的恢复处理的控制装置及其动作方法。
用于解决课题的手段
遵照本发明的一局面，提供一种控制装置，在网络中作为主控装置发挥功能，并经由该网络对1个或多个从属装置进行控制。控制装置具备：存储部，其保存设备构成信息和设定信息，该设备构成信息包含针对被注册为网络的成员的从属装置的每一个的网络连接有效或者无效的信息，该设定信息包含为了控制被注册的该从属装置所需的参数；以及处理部，其能使用包含设定信息的数据来执行恢复处理。处理部在执行恢复处理时，读出设备构成信息，并在包含于数据中的对象的从属装置当中，确定已读出的设备构成信息之中的网络连接变为有效的从属装置或者存在于网络上的从属装置，并恢复与所确定的从属装置对应的设定信息。
优选地，恢复处理包括从控制装置向恢复对象的从属装置发送需要的数据的处理。
优选地，在任一从属装置的网络连接变为有效的情况下或任一从属装置变为存在于网络上的情况下，处理部恢复包含在数据中的对应的设定信息。
优选地，数据是从支持装置提供的。
优选地，处理部构成为还能执行备份处理，该备份处理用于使用来自存储部以及从属装置的数据来生成数据。
遵照本发明的另一局面，提供一种控制装置的动作方法，该控制装置在网络中作为主控装置发挥功能，并经由该网络对1个或多个从属装置进行控制。动作方法包含如下步骤：保存设备构成信息和设定信息的步骤，设备构成信息包含针对被注册为网络的成员的从属装置的每一个的网络连接有效或者无效的信息，设定信息包含为了控制被注册的该从属装置所需的参数；以及使用包含设定信息的数据来执行恢复处理的步骤。执行恢复处理的步骤包含如下步骤，即，读出设备构成信息，并在包含于数据中的对象的从属装置当中，确定已读出的设备构成信息之中的网络连接变为有效的从属装置或者存在于网络上的从属装置，并恢复与所确定的从属装置对应的设定信息的步骤。
发明效果
根据本发明，即使在从数据的创建时起变更了经由网络与控制装置进行连接的从属装置的情况下，也能在可能的范围进行针对从属装置的恢复处理。
附图说明
图1是用于说明使用本实施方式所涉及的控制系统进行控制的设备构成的一例的图。
图2是表示本实施方式所涉及的控制系统的构成例的示意图。
图3是表示本实施方式所涉及的PLC的CPU单元的硬件构成的示意图。
图4是表示本实施方式所涉及的PLC的CPU单元的软件构成的示意图。
图5是表示本实施方式所涉及的伺服电动机驱动器的硬件构成的示意图。
图6是表示与本实施方式所涉及的PLC连接的支持装置的硬件构成的示意图。
图7是表示与本实施方式所涉及的PLC连接的支持装置的软件构成的示意图。
图8是用于说明本实施方式所涉及的控制系统的构筑过程的示意图。
图9是表示本实施方式所涉及的设备构成信息的数据结构的一例的示意图。
图10是表示图8所示的设备构成1的一例的图。
图11是表示图8所示的设备构成2以及3的一例的图。
图12是表示图9所示的设备构成信息的变更内容的一例的图。
图13是用于说明本实施方式所涉及的PLC中安装的备份处理/恢复处理的概要的示意图。
图14是用于说明与本实施方式关联的备份处理/恢复处理的示意图。
图15是用于说明实施方式1所涉及的备份处理/恢复处理的示意图。
图16是表示实施方式1所涉及的备份处理的过程的流程图。
图17是表示实施方式1所涉及的恢复处理的过程的流程图。
图18是用于说明实施方式2所涉及的恢复处理的示意图。
图19是表示实施方式2所涉及的恢复处理(其1)的过程的流程图。
图20是表示实施方式2所涉及的恢复处理(其1)中的恢复处理的完成的记录所涉及的信息的一例的示意图。
图21是表示实施方式2所涉及的追加性的恢复处理(其1)的过程的流程图。
图22是表示实施方式2所涉及的追加性的恢复处理(其2)的过程的流程图。
图23是用于说明实施方式3所涉及的备份处理/恢复处理的概要的示意图。
具体实施方式
参照附图来详细说明本发明的实施方式。此外，针对图中的相同或相当部分，赋予同一附图标记并省略其说明。
＜A.控制系统的应用例＞
首先，针对使用本实施方式所涉及的控制系统进行控制的设备构成的一例来进行说明。图1是用于说明使用本实施方式所涉及的控制系统进行控制的设备构成的一例的图。图1示出多舱(multichamber)式的半导体制造装置的构成例。具体而言，图1(a)所示的半导体制造装置1呈以输送舱10为中心而设置有多个制程舱20、22、24、26的构成。在各制程舱中，执行针对基板的真空处理。制程舱20、22、24、26与输送舱10之间，分别设置有闸阀21、23、25、27，切换与输送舱10之间的连通状态/遮断状态。在输送舱10中，设置有输送机器人12。输送机器人12将处理前的基板插入制程舱20、22、24、26的任一者中，或者从制程舱20、22、24、26取出处理后的基板。
在输送舱10中设置有加载互锁真空(load lock)室30以及34。加载互锁真空室30以及34不仅进行处理对象的基板的存取，还将输送舱10以及制程舱20、22、24、26的内部维持为真空。更具体而言，加载互锁真空室30经由连通部33与输送舱10连接，在输送舱10的入侧以及出侧，设置有闸阀31以及32。同样，加载互锁真空室34经由连通部37与输送舱10连接，在输送舱10的入侧以及出侧，设置有闸阀35以及36。在处理对象的基板的存取中，交替使用加载互锁真空室30以及34。
将图1(a)所示的半导体制造装置1设为基本构成，作为变形例，存在图1(b)所示的半导体制造装置2以及图1(c)所示的半导体制造装置3。更具体而言，图1(b)所示的半导体制造装置2与图1(a)所示的半导体制造装置1比较，相当于将第一制程舱20以及闸阀21排除后的部分，图1(c)所示的半导体制造装置3与图1(a)所示的半导体制造装置1比较，相当于将第四制程舱26以及闸阀27排除后的部分。
在构筑这样的变形例的半导体制造装置2以及3所涉及的控制系统时，存在想要最大限度利用半导体制造装置1所涉及的控制系统的资产这样的需求。更具体而言，存在想要使用为了构筑面向某装置的控制系统所需的程序以及设定信息(以下，将这些构筑所需的数据群总称为“项目”(project)。)，来构筑面向具有不同构成的装置的控制系统这样的需求。
例如，存在想要使用1个项目来管理图1(a)～(c)所示的半导体制造装置1～3这样的需求。或者，存在想要以1个项目来管理能将某制程舱物理性地去除而安装别的制程舱的半导体制造装置这样的需求。
对于这样的需求，采取如下方法：创建1个项目，并适当地修改该创建的项目，从而构筑类似的控制系统。
本实施方式典型地，提供对于使用这样部分公共的项目而构筑的控制系统、或适用于根据状况而变更构成的装置的控制系统，能灵活地进行备份处理或恢复处理的构成。
＜B.控制系统的整体构成例＞
在说明本实施方式所涉及的备份处理以及恢复处理的细节之前，说明本实施方式所涉及的控制系统的整体构成例。图2是表示本实施方式所涉及的控制系统的构成例的示意图。图2所示的控制系统面向图1(a)所示的半导体制造装置1。
参照图2，控制系统SYS包含：PLC100和经由网络与PLC100连接的伺服电动机驱动器210及远程IO终端200。在本实施方式中，采用了现场网络108作为网络。PLC100在现场网络108中作为管理通信处理的“主控装置”发挥功能。该主控装置有时也称为“母站”或“管理站”。基于与作为主控装置的PLC100进行对比的含义，将经由现场网络108与PLC100连接的伺服电动机驱动器210或远程IO终端200称为“从属装置”或“设备”。现场网络108上的各从属装置基于节点编号而被识别。如此，作为主控装置的PLC100在网络中作为主控装置发挥功能，而且经由该网络对1个或多个从属装置进行控制。
作为这样的现场网络108，能使用各种产业用的以太网(Ethernet；注册商标)。作为产业用的以太网(注册商标)，例如有EtherCAT(注册商标)、PROFINET(注册商标)、MECHATROLINK(注册商标)－III、Powerlink、SERCOS(注册商标)－III、CIPMotion等。进而，还可以使用产业用的以太网(注册商标)以外的现场网络。例如还可以使用DeviceNet、CompoNet(注册商标)等。
PLC100包含：CPU单元110、IO单元120以及电源单元130。CPU单元110是执行主要的运算处理的处理部，基于后述那样的程序以及设定信息等来执行运算处理。IO单元120是构成为能经由未图示的PLC内部总线来与CPU单元110彼此交换数据的功能单元的一例。更具体而言，IO单元120是与一般的输入输出处理有关的单元，负责启用/禁用这样的经2值化的数据的输入输出。即，IO单元120收集关于检测开关等传感器是处于检测到某些对象物的状态(启用)还是处于未检测到任何对象物的状态(禁用)这样的信息。另外，IO单元120对继电器或致动器这样的输出目的地，输出用于激活的指令(启用)以及用于去激活的指令(禁用)的任一者。
还能取代IO单元120，或者在具有IO单元120的基础上，装载特殊单元，该特殊单元具有模拟数据的输入输出、温度控制、基于特定的通信方式的通信这样的在IO单元120中不支持的功能。
电源单元130对CPU单元110、IO单元120提供适当的电压的电源。
支持装置300经由连接线缆等与PLC100连接。更具体而言，在PLC100的CPU单元110，设置有用于与支持装置300连接的USB(Universal Serial Bus；通用串行总线)连接器102。如后所述，用于在支持装置300中实现各种处理的程序被存放至CD－ROM(CompactDisk-Read Only Memory)390等光学记录介质进行流通。
另外，在PLC100的CPU单元110，设置有用于装载存储卡380的存储卡接口106。在存储卡380中存放后述那样的备份数据。
图2示出用于对构成图1(a)所示的半导体制造装置1的输送舱10以及制程舱20、22、24、26的每一个进行控制的设备的一例。作为这样的设备的一例，输送舱10包含2个伺服电动机驱动器210以及远程IO终端200。设这些识别信息分别是节点1、2、3。
伺服电动机驱动器210经由现场网络108与CPU单元110连接，并遵照来自CPU单元110的指令值来驱动伺服电动机212。
远程IO终端200与IO单元120同样，进行与一般的输入输出处理有关的处理。更具体而言，远程IO终端200包含：用于进行现场网络108中的数据传输所涉及的处理的通信耦合器202、以及1个以上的IO单元204。
第一制程舱20与输送舱10同样，包含2个伺服电动机驱动器210以及远程IO终端200。设这些识别信息分别是节点11、12、13。另一方面，第四制程舱26包含1个伺服电动机驱动器210以及远程IO终端200。设这些识别信息分别是节点41、42。
＜C.CPU单元110的构成例＞
接下来，针对在PLC100中执行主要的运算处理的CPU单元110的构成例进行说明。图3是表示本实施方式所涉及的PLC100的CPU单元110的硬件构成的示意图。
参照图3，PLC100的CPU单元110在包含上述的USB连接器102以及存储卡接口106的基础上，还包含：芯片组111、微处理器112、主存储器113、非易失性存储器114、现场网络控制器116以及PLC系统总线控制器117。芯片组111与各要素之间经由各种总线而各自结合。
芯片组111以及微处理器112，典型地，比照通用的计算机架构而构成。即，微处理器112对遵照内部时钟从芯片组111依次提供的命令代码进行解释并执行。芯片组111与所连接的各要素之间交换内部的数据，并对微处理器112给出需要的命令代码。芯片组111具有对执行微处理器112的运算处理所得到的数据等进行缓存的功能。
CPU单元110具有作为存储部的主存储器113以及非易失性存储器114。主存储器113是易失性的存储区域，不仅保存由微处理器112执行的程序，而且还被用作程序的执行时的作业用存储器。非易失性存储器114以非易失性的方式来保存后述那样的程序以及设定信息等。
USB连接器102是用于连接支持装置300与CPU单元110的接口。典型地，从支持装置300转发的可执行程序等经由USB连接器102而被取入至CPU单元110。
CPU单元110具有现场网络控制器116以及PLC系统总线控制器117作为通信部。这些控制器进行数据的发送以及接收。
现场网络控制器116经由现场网络连接器104与现场网络108连接。PLC系统总线控制器117经由内部总线与IO单元120(图2)等连接。
图4是表示本实施方式所涉及的PLC100的CPU单元110的软件构成的示意图。参照图4，在CPU单元110的非易失性存储器114中包含：系统构成信息150、用户程序160、库程序170、实时OS(Operating System；操作系统)180以及固件190。
系统构成信息150包括对包含PLC100的控制系统的构成或设定进行定义的信息。具体而言，系统构成信息150包含设备构成信息152以及从属设定信息154。
设备构成信息152包含针对被注册为现场网络108的成员的从属装置的每一个而网络连接有效或者无效的信息。即，设备构成信息152包含与由作为控制器的PLC100管理的从属装置相关的有无的信息以及连接形态的信息。具体而言，对于图2所示的控制系统的构成进行定义，也就是，对于连接着怎样的从属装置、且对各从属装置分配了哪些地址(节点编号)来进行定义。换言之，设备构成信息152包含从属装置的连接状态的信息以及/或者有效状态或无效状态的信息。关于设备构成信息152的数据结构的一例，将后述。
从属设定信息154包含执行PLC100(CPU单元110)中的程序所需的每个从属装置的设定信息(参数、分配信息等)。具体而言，从属设定信息154包含与各从属装置建立了关联的用户程序、设定值。即，从属设定信息154包含为了控制该注册的从属装置所需的参数。进而，有的还在从属装置的内部保存用户程序、设定值，在此情况下，从属设定信息154能包含各从属装置中所存放的用户程序、设定值。
用户程序160是用户使用支持装置300创建的程序，根据控制对象的机械或设备来任意地创建。该用户程序160典型地，从支持装置300向PLC100(CPU单元110)进行转发。
库程序170包含CPU单元110执行用户程序160时所需的执行模块或子程序。库程序170是用于在PLC100(CPU单元110)中提供用于执行用户程序的环境的程序。更具体而言，库程序170包含：运动运算模块172、时序命令处理模块174、输入输出处理模块176以及调度器178。
运动运算模块172提供用于对伺服电动机驱动器210给出各种指令的运动运算所涉及的函数。时序命令处理模块174提供用于对时序控制所涉及的命令进行处理的函数。输入输出处理模块176提供外部数据的获取以及内部数据的输出所涉及的函数。
调度器178针对用户程序160中所含的多个任务，根据各自的优先级或中断级，来提供用于优化执行顺序的函数。
此外，在支持装置300中生成了嵌入有需要的库的用户程序(以动态链接方式创建的执行程序)的情况下，无需在PLC100中预先保存这些库程序170。
实时OS180提供用于执行用户程序160的环境。更具体而言，实时OS180与调度器178协同动作，对用户程序160的执行顺序等进行优化，以使各任务在预定的处理时间内完成。
固件190是在实时OS180启动的初始阶段所执行的基础程序。典型地，本实施方式所涉及的备份处理以及恢复处理由固件190来实现。
＜D.伺服电动机驱动器210的构成例＞
接下来，作为从属装置的一例，说明伺服电动机驱动器210的构成例。图5是表示本实施方式所涉及的伺服电动机驱动器210的硬件构成的示意图。伺服电动机驱动器210遵照经由现场网络108而从PLC100发送的指令，来驱动伺服电动机212。更具体而言，伺服电动机驱动器210包含：通信部250、输入输出部252、驱动电路254以及运算处理部260。
通信部250收发在现场网络108中流动的数据。即，通信部250将经由现场网络108而接收到的数据向运算处理部260进行输出，并经由现场网络108来发送来自运算处理部260的数据。
输入输出部252与IO单元120(图2)同样，执行一般的输入输出处理。即，输入输出部252收集来自检测开关等各种传感器的信息，并对继电器或致动器这样的输出目的地给出指令。
驱动电路254遵照来自运算处理部260的内部指令，从未图示的外部电源生成用于驱动伺服电动机212的驱动脉冲序列等。更具体而言，驱动电路254包含逆变器电路、PWM(Pulse Width Modulation；脉宽调制)变换电路等。
运算处理部260是执行伺服电动机驱动器210的主要运算处理的控制主体，包含处理器262和存储器264。处理器262遵照存储器264所保存的程序和设定值来执行运算处理，并对通信部250、输入输出部252以及驱动电路254输出需要的指令或运算结果。存储器264保存处理器262的运算处理所需的各种数据。该存储器264所保存的数据从PLC100(CPU单元110)经由现场网络108进行发送。
此外，关于远程IO终端200，其主要的部分与PLC100类似，故不进行详细的说明。
＜E.支持装置300＞
接下来，说明与本实施方式所涉及的PLC100连接的支持装置300。图6是表示与本实施方式所涉及的PLC100连接的支持装置300的硬件构成的示意图。支持装置300典型地由通用的计算机构成。
参照图6，支持装置300包含：CPU302，其执行包括OS(Operating System)在内的各种程序；ROM(Read Only Memory；只读存储器)304，其存放BIOS(Basic Input OutputSystem；基本输入输出系统)和各种数据；存储器RAM306，其提供作业区域，该作业区域用于保存执行CPU302中的程序所需的数据；以及硬盘(HDD)308，其以非易失性的方式保存由CPU302执行的程序等。
支持装置300还包含：受理来自用户的操作的键盘310和鼠标312、以及用于向用户提示信息的显示器314。进而，支持装置300包含用于与PLC100(CPU单元110)等进行通信的通信接口(IF)318。
如后所述，由支持装置300执行的支持程序(参照图7)被存放至CD－ROM390进行流通。存放在该CD－ROM390中的程序由CD－ROM驱动装置316进行读取，并被存放至硬盘308等。或者，可以构成为从上级的主计算机等经由网络来下载程序。
构成支持装置300的各要素经由总线320而相互结合。
图7是表示与本实施方式所涉及的PLC100连接的支持装置300的软件构成的示意图。参照图7，在支持装置300的硬盘308中，典型地，存放有：OS350、支持程序360以及项目370。
OS350提供在CPU302中执行程序的环境。
支持程序360是用于控制PLC100中的处理的程序。典型地，支持程序360包含：调试程序362、编译程序364以及编辑程序366。
调试程序362不仅评价所创建的用户程序的正当性，而且支援程序错误的修正。编译程序364根据所创建的用户程序(源程序)来生成可执行的用户程序。编辑程序366提供用于生成用户程序的接口。
项目370包含为了构筑某控制系统所需的程序或设定值。具体而言，项目370包含：用户程序376、设备构成信息372以及每个从属装置的从属设定信息374。这些数据从支持装置300向PLC100进行转发，并分别作为用户程序160、设备构成信息152以及从属设定信息154而被存放。
＜F.控制系统的构筑过程＞
接下来，针对构筑图1(a)～(c)所示的类似的设备构成所涉及的控制系统的过程的一例进行说明。图8是用于说明本实施方式所涉及的控制系统的构筑过程的示意图。
参照图8，首先，用户(系统开发者)创建基本的设备构成(例如，图1(a)所示的半导体制造装置1)所涉及的项目((1)项目创建)。具体而言，用户创建用于实现与目的相应的处理的用户程序376(源程序)，并设定控制系统中所含的从属装置所涉及的设备构成信息372以及从属设定信息374。
若这些一系列的设计和创建完成，则项目370的用户程序376被编译，且与设备构成信息372以及从属设定信息374一起被转发至设备构成1所涉及的控制系统((2)编译+转发)。
接着，用户根据与设备构成1类似的设备构成2，来更新先创建的项目370((3)项目更新)。更具体而言，根据系统构成的不同来更新设备构成信息372以及从属设定信息374，或者根据所要求的处理内容的不同来变更用户程序376的逻辑。
若这些更新完成，则项目370的用户程序376被编译，并与设备构成信息372以及从属设定信息374一起被转发至设备构成2所涉及的控制系统((4)编译+转发)。
同样，用户根据与设备构成1类似的设备构成3，来更新先创建的项目370((5)项目更新)。更具体而言，根据系统构成的不同来更新设备构成信息372以及从属设定信息374，或者根据所要求的处理内容的不同来变更用户程序376的逻辑。若这些更新完成，则项目370的用户程序376被编译，并与设备构成信息372以及从属设定信息374一起被转发至设备构成2所涉及的控制系统((6)编译+转发)。
如此，通过使用本实施方式所涉及的支持装置300(支持程序360)，能容易地构筑针对类似的设备构成的控制系统。
如图1所示，针对虽在设备构成1中存在但在设备构成2中不存在的从属装置，通过在设备构成信息372(最终作为设备构成信息152而被存放至PLC100)中设定为“无效”，能使关联的处理无效化。即，能包容设备构成的差异。
图9是表示本实施方式所涉及的设备构成信息372的数据结构的一例的示意图。参照图9，设备构成信息372包含被注册为现场网络108的成员的从属装置的信息以及针对各从属装置的网络连接的有效或无效的信息。即，在图9所示的设备构成信息372中，包含以现场网络2的节点编号进行了区分的多个条目(entry)，在各条目中包含用于确定从属装置的识别信息以及网络连接的有效或无效的信息。此外，作为识别信息，包含从属装置的设备编号等。
在此，网络连接的“无效”是指，忽视(don't care)与作为主控装置的PLC100进行数据通信。在“无效”状态下，也不判断具有与已注册的识别信息一致的识别信息的从属装置是否已与现场网络2连接。与此相对，网络连接的“有效”是指，预定与作为主控装置的PLC100进行数据通信。故而，在“有效”状态下，若具有与已注册的识别信息一致的识别信息的从属装置未与现场网络2连接，则判断为错误。
也就是，通过将某从属装置设定为“无效”，即使该从属装置未与现场网络2连接，也不会判断为错误，通过利用该有效或者无效的设定，能在项目上包容设备构成的差异。
接下来，列举具体例来说明控制系统的构筑过程的一例。
图10是表示图8所示的设备构成1的一例的图。图11是表示图8所示的设备构成2以及3的一例的图。此外，图10以及图11所示的设备构成的例子与图2所示的控制系统类似。图12是表示图9所示的设备构成信息372的变更内容的一例的图。
在图10所示的设备构成1中，连接有从属装置A～C(节点1～3)、从属装置J～L(节点11～13)、从属装置S、T(节点41、42)来作为PLC100的从属装置，该PLC100作为主控装置发挥功能。在图11(a)所示的设备构成2中，较之于图10所示的设备构成1，去除了从属装置J～L，在图11(b)所示的设备构成3中，较之于图10所示的设备构成1，去除了从属装置S、T。
针对图10所示的设备构成1，设定图9所示那样的设备构成信息372。相对于此，针对图11(a)所示的设备构成2，设定图12(a)所示那样的设备构成信息372。也就是，不存在的从属装置J～L的状态值从“有效”变更为“无效”。同样，针对图11(b)所示的设备构成3，设定图12(b)所示那样的设备构成信息372。也就是，不存在的从属装置S、T的状态值从“有效”变更为“无效”。
如图10以及图11所示，即使实际不存在从属装置，也无需在设备构成信息372中删除该从属装置的识别信息自身。取而代之地，仅将不存在的从属装置的状态值设定为“无效”即可。通过采用这样的设备构成信息372，能针对类似的多个设备构成来容易地构成控制系统。或者，在设备构成根据状况而随时变更那样的情况下，能使由PLC100执行的程序的变更容易。
也就是，用户(系统开发者)通过不仅创建包含全部的设备构成的基本的项目，而且进行针对设备构成信息372的设定，从而针对各设备能选择是否对其进行使用。如此，根据作为对象的装置的设备构成来适当变更设备构成信息372，并向PLC100(CPU单元110)进行转发，从而能予以实现。
但是，上述的方法需要使用支持装置300来变更设备构成信息372，因此对缺乏编程技能的终端用户而言，有时难以执行该方法。在这样的情况下，可以使用动态地变更设备构成信息372那样的模块(函数)，通过用户程序，根据设备构成来适当变更设备构成信息372。此时，变更设备构成是用户(操作者)操作显示器等向PLC100指示的。通过采用这样的动态变更设备构成信息372的方法，能不停止控制系统而对应设备构成的变更。
＜G.备份处理/恢复处理的概要＞
接下来，针对本实施方式涉及的PLC100所安装的备份处理/恢复处理的概要进行说明。
图13是用于说明本实施方式所涉及的PLC100所安装的备份处理/恢复处理的概要的示意图。图13(a)示出备份处理的概要，图13(b)示出恢复处理的概要。
[g1：备份处理/恢复处理的利用例]
一般而言，在机械或设备中时常可能发生故障。例如，在连续休假期间内关断电源而在该休假结束后接通电源时，因某些理由，可能发生无法正确动作的情况。作为其原因，虽然也可列举机械性的故障，但在此列举蓄电池中应保存的数据已消去、在不打算的定时由上级计算机改写了数据这样的理由。
在这样的情况下，用户(设想为不能进行利用支持装置300的复杂操作的终端用户)使用以前获取的备份数据，进行需要的数据等的复原(恢复处理)。也就是，本实施方式所涉及的备份数据，典型地，用于消除控制系统的程序错误等。
作为该执行方法，设想了如下这样的简单的处理，即，例如，以将SD(SecureDigital；安全数字)卡等存储卡380插入PLC100中作为触发来开始恢复处理，或者，若操作设置于PLC100的按钮等则开始恢复处理。
[g2：备份处理]
首先，说明图13(a)所示的备份处理。在备份处理中，根据PLC100(CPU单元110)所保存的数据以及各从属装置所保存的数据来生成备份数据400。该生成的备份数据400被保存至CPU单元110的非易失性存储器114或存储卡380。或者，可以从CPU单元110向支持装置300进行转发，而被保存至支持装置300内或与支持装置300连接的各种记录介质。
更具体而言，基于CPU单元110的非易失性存储器114(图3)中所保存的数据的拷贝即CPU数据402、以及各从属装置中所保存的数据的拷贝即从属设定信息404，来生成备份数据400。此外，备份数据400中所含的数据不限于此，还可以包含CPU单元110的主存储器113(图3)中所保存的数据。
备份数据400的CPU数据402，作为一例，包含以下那样的数据。
·PLC100(CPU单元110)内所存放的用户程序160、设定值(参数)
·PLC100(CPU单元110)内所存放的设备构成信息152
·PLC100(CPU单元110)内所存放的每个设备的网络连接的有效或者无效的信息
备份数据400的从属设定信息404，作为一例，包含以下那样的数据。
·从属装置内所存放的用户程序、设定值(参数)
如此，备份数据400包含作为主控装置的PLC100(CPU单元110)所保存的数据、和/或从属装置所保存的数据。另外，PLC100(CPU单元110)构成为能执行备份处理，该备份处理用于使用来自存储卡380以及从属装置的数据来生成备份数据400。
[g3：恢复处理]
首先，说明图13(b)所示的恢复处理。在恢复处理中，PLC100(CPU单元110)根据预先准备的备份数据400来生成CPU数据402以及从属设定信息404，而且以CPU数据402来覆写非易失性存储器114的内容。并以从属设定信息404来覆写PLC100(CPU单元110)中所保存的从属设定信息154。另外，PLC100(CPU单元110)根据需要，将从属设定信息404(覆写后的从属设定信息154)的内容向对象的从属装置进行转发。
如上所述，以诸如下面的情况为触发来开始该恢复处理：(1)存放备份数据400的存储卡380被安装于CPU单元110、(2)预先规定的操作(例如，设置于CPU单元110的按钮的按下)被执行、(3)支持装置300有了显式的指示。
如此，相当于本实施方式所涉及的处理部的CPU单元110能使用包含每个从属装置的设定信息在内的备份数据400来执行恢复处理。然后，本实施方式所涉及的恢复处理包含从PLC100(CPU单元110)向恢复对象的从属装置发送需要的数据的处理。
＜H.背景技术·课题＞
接下来，说明与本实施方式关联的背景技术及其课题。
图14是用于说明与本实施方式关联的备份处理/恢复处理的示意图。在图14中，示出存在设备构成彼此不同的2个设备的例子。即，设想由输送舱10和第一制程舱20组成的设备构成以及由输送舱10和第四制程舱26组成的设备构成。虽然为了方便说明，简化了从属装置的数量，但无论哪种设备构成，都可以包含更多的从属装置。
由输送舱10和第一制程舱20组成的控制系统中所获取的备份数据400－1包含与输送舱10以及第一制程舱20有关的设定信息或程序。另外，由输送舱10和第四制程舱26组成的控制系统中所获取的备份数据400－2包含与输送舱10以及第四制程舱26有关的设定信息或程序。
在关联技术中，在进行利用备份数据400的恢复处理的情况下，将恢复对象的控制系统的设备构成与生成该备份数据400时的设备构成相同作为条件。故而，关于与输送舱10有关的设定信息或程序，在控制系统中是公共的，但对于由输送舱10和第四制程舱26组成的控制系统，不能使用备份数据400－1来进行恢复处理。同样，对于由输送舱10和第一制程舱20组成的控制系统，不能使用备份数据400－2来进行恢复处理。
如此，在关联技术中，未考虑控制系统中的设备构成的变更，因此在备份处理时与恢复时，需要设备构成相同。也就是，若设备构成不同，则在恢复处理的开始或中途成为错误。
此外，虽然使用支持装置300来使设备构成强制一致、且选择备份数据400中所含的一部分的数据来用于恢复处理也不是不可以，但手续变得非常繁琐，恢复处理失败的可能性也高。
因此，一般而言，需要针对各控制系统来生成以及管理备份数据。
＜I.解決手段的概要＞
本实施方式以解决这样的课题为目的。更具体而言，相当于处理部的CPU单元110在恢复处理执行时，读出设备构成信息，并从备份数据400中所含的对象的从属装置当中，确定在已读出的设备构成信息之中网络连接变为有效的从属装置或者现场网络108上存在的从属装置，且恢复与所确定的从属装置对应的设定信息。也就是，本实施方式所涉及的CPU单元110从备份数据400当中选择性地提取与对象的控制系统所有效包含的从属装置有关的设定信息或程序，并执行恢复处理。
即，本实施方式所涉及的CPU单元110，即使设备构成与备份数据400的创建时不同，也对于网络连接变为有效的从属装置以及网络上存在的从属装置，选择性地执行恢复处理。
在此，“网络连接变为有效的从属装置”，典型地，是指成为连接上现场网络108的从属装置，在图9所示的设备构成信息372(或设备构成信息152)中包含状态值被设定为“有效”的从属装置。或者，CPU单元110经由现场网络108实际进行询问的结果是，可以包含能正常动作的从属装置。
另外，“网络上存在的从属装置”，典型地，是指与现场网络108实际连接着的从属装置。此时，不受设备构成信息372(或设备构成信息152)中的状态值的影响。也就是，只要与现场网络108连接，就不受其动作状态等影响，而被设为恢复处理的对象。
以下，针对与对象的控制系统相应的应用例，以实施方式1～3进行说明。但实施方式1～3均包含上述的基本的处理。
＜J.实施方式1＞
作为实施方式1，如参照上述的图14所说明的那样，针对存在设备构成彼此不同的2个设备的情况下的应用例进行说明。
[j1：处理概要]
图15是用于说明实施方式1所涉及的备份处理/恢复处理的示意图。在图15中，与上述的图14同样，在由输送舱10和第一制程舱20构成的控制系统中生成备份数据400－1，并在由输送舱10和第四制程舱26构成的控制系统中生成备份数据400－2。
在实施方式1中，即使在与备份数据400的生成时的设备构成不同的情况下(即，在备份处理时与恢复时两者之间，设备构成并非相同的情况下)，从备份数据400也仅恢复与对应的从属装置有关的数据。
在图15中，示出使用在由输送舱10和第一制程舱20组成的控制系统中生成的备份数据400－1来对由输送舱10和第四制程舱26组成的控制系统进行恢复处理的例子。此时，PLC100(CPU单元110)从备份数据400－1当中提取与输送舱10有关的设定信息和/或程序来执行恢复处理。
另外，在图15中，示出使用在由输送舱10和第四制程舱26组成的控制系统中生成的备份数据400－2来对由输送舱10和第一制程舱20组成的控制系统进行恢复处理的例子。此时，PLC100(CPU单元110)从备份数据400－2当中提取与输送舱10有关的设定信息和/或程序来执行恢复处理。
如此，实施方式1所涉及的PLC100(CPU单元110)在根据备份数据400执行恢复处理之际，将网络连接变为有效的从属装置和/或网络上存在的从属装置作为对象。即，实施方式1所涉及的PLC100(CPU单元110)对于网络连接未成为有效的从属装置和/或网络上不存在的从属装置，不执行恢复处理。
换言之，即使存在恢复处理未被执行(或者，不能执行恢复处理)的从属装置，实施方式1所涉及的PLC100(CPU单元110)也不会在恢复处理的开始或中途停止处理。
此外，对于未成为恢复处理的对象的从属装置，可以不输出错误。但是，在优选通知未成为恢复处理的对象这一事实的情况下，可以将未成为恢复处理的对象的从属装置通知给用户。作为该通知方法，能使用如下方法：对恢复处理所涉及的日志文件输出其内容；在连接着的支持装置300的画面上通知其内容；使对象的从属装置中所装载的显示设备(例如，LED(Light Emitting Diode；发光二极管)指示灯等)点亮/闪烁；从支持装置300或CPU单元110发出语音向导。
[j2：处理过程]
接下来，说明实施方式1所涉及的备份处理以及恢复处理的过程。图16是表示实施方式1所涉及的备份处理的过程的流程图。图17是表示实施方式1所涉及的恢复处理的过程的流程图。图16以及图17所示的各步骤，典型地，是由CPU单元110的微处理器112(图3)执行固件190(图4)来实现的。但是，可以使用ASIC(Application Specific IntegratedCircuit；专用集成电路)等集成电路来实现这些处理的一部分或全部。
参照图16，微处理器112判断备份处理的开始条件是否已成立(步骤S100)。该备份处理的开始条件包含：从支持装置300等接收到显式的指示的情况、或安装了存储卡380的情况等。若备份处理的开始条件未成立(在步骤S100中“否”)，则重复步骤S100的处理。
与之相对，若备份处理的开始条件成立(在步骤S100中“是”)，则微处理器112在非易失性存储器114中创建临时文件夹，并复制非易失性存储器114中所保存的数据(步骤S102)。非易失性存储器114中所保存的数据包含CPU数据402以及从属设定信息404。
接着，微处理器112参照设备构成信息152，将被注册为现场网络108的成员的1个从属装置选择为备份对象(步骤S104)。然后，微处理器112判断备份对象的从属装置是否存在于现场网络108上(步骤S106)。若备份对象的从属装置存在于现场网络108上(在步骤S106中“是”)，则微处理器112经由现场网络108从备份对象的从属装置读出所存放的数据，并将该读出的数据复制至临时文件夹(步骤S108)。
微处理器112针对被注册为现场网络108的成员的全部的从属装置，判断将从属装置选择为备份对象的选择是否已完成(步骤S110)。若针对被注册为现场网络108的成员的全部的从属装置而备份对象的选择未完成(在步骤S110中“否”)，或者备份对象的从属装置并未存在于现场网络108上(在步骤S106中“否”)，则微处理器112将被注册为现场网络108的成员的未选择的从属装置选择为备份对象(步骤S112)。然后，重复步骤S106以下的处理。
与之相对，若针对被注册为现场网络108的成员的全部的从属装置而备份对象的选择已完成(在步骤S110中“是”)，则备份数据400的生成所需的数据的收集完成。基本上，能将临时文件夹内的数据直接作为备份数据400进行输出。但在实施方式1中，对备份数据400进行封装处理，并将作为其结果而得到的封装文件作为备份数据400进行输出。也就是，微处理器112对临时文件夹内的数据进行封装处理，来生成备份数据400(步骤S114)。
接着，微处理器112判断备份数据400的输出目的地(步骤S116)。此外，该备份数据400的输出目的地既可以从支持装置300预先进行通知，也可以基于设置于CPU单元110的拨码开关(dip switch)等的设定来判断。
在备份数据400的输出目的地是存储卡380的情况下(在步骤S116中“存储卡”)，微处理器112将备份数据400存放至存储卡380(步骤S118)。然后，备份处理结束。
与之相对，在备份数据400的输出目的地是支持装置300的情况下(在步骤S116中“支持装置”)，微处理器112将备份数据400向支持装置300进行转发(步骤S120)。然后，备份处理结束。
参照图17，微处理器112判断恢复处理的开始条件是否已成立(步骤S200)。该恢复处理的开始条件包括从支持装置300等接收到显式的指示的情况、存储卡380被安装的情况等。若恢复处理的开始条件未成立(在步骤S200中“否”)，则重复步骤S200的处理。
与之相对，若恢复处理的开始条件已成立(在步骤S200中“是”)，则微处理器112判断备份数据400的输入目的地(步骤S202)。此外，可以与已成立的恢复处理的开始条件相关联地判断该备份数据400的输入目的地。
在备份数据400的输入目的地是存储卡380的情况下(在步骤S202中“存储卡”)，微处理器112在非易失性存储器114中创建临时文件夹，读出存储卡380所存放的备份数据400，并复制至临时文件夹(步骤S204)。
与之相对，在备份数据400的输入目的地是支持装置300的情况下(在步骤S202中“支持装置”)，微处理器112在非易失性存储器114中创建临时文件夹，并将从支持装置300转发的备份数据400复制至临时文件夹(步骤S206)。
接着，微处理器112对临时文件夹内的备份数据400进行分解处理(步骤S208)。通过该分解处理，在临时文件夹内恢复CPU数据402以及从属设定信息404。然后，微处理器112以临时文件夹内的CPU数据402来覆写非易失性存储器114的内容(步骤S210)。
接着，微处理器112将CPU数据402中所含的设备构成信息152与当前的设备构成(实机构成)进行比较，并判断两者是否一致(步骤S212)。若设备构成信息152与实机构成不一致(在步骤S212中“否”)，则微处理器112将备份数据400的生成时的设备构成与实机构成不一致这一事实进行输出(步骤S214)。作为该输出形态，能使用如下方法：对恢复处理所涉及的日志文件输出其内容；在所连接的支持装置300的画面上通知其内容；从支持装置300或CPU单元110发出语音向导。
若设备构成信息152与实机构成一致(在步骤S212中“是”)，则跳过步骤S214的处理。
接着，微处理器112参照从备份数据400得到的CPU数据402中所含的设备构成信息152，将被注册为现场网络108的成员的1个从属装置选择为恢复对象(步骤S216)。然后，微处理器112对于恢复对象的从属装置，判断能否适当地执行恢复处理(步骤S218)。更具体而言，微处理器112针对恢复对象的从属装置，判断网络连接是否变为有效和/或是否存在于现场网络108上。
若判断为对于恢复对象的从属装置能适当地执行恢复处理(在步骤S218中“是”)，则微处理器112以针对临时文件夹内的恢复对象的从属装置的从属设定信息404来覆写非易失性存储器114的内容(步骤S220)。接着，微处理器112判断要对恢复对象的从属装置转发的数据(例如，程序等)是否存在于临时文件夹内(步骤S222)。即，从属装置之中，还存在在其内部保存用户程序或设定值的从属装置，针对这样的从属装置，从CPU单元110发送需要的数据(用户程序或设定值)。若要对恢复对象的从属装置转发的数据存在于临时文件夹内(在步骤S222中“是”)，则微处理器112经由现场网络108对恢复对象的从属装置发送对应的数据(步骤S224)。若要对恢复对象的从属装置转发的数据不存在于临时文件夹内(在步骤S222中“否”)，则跳过步骤S224的处理。
然后，微处理器112针对被注册为现场网络108的成员的全部的从属装置，判断将从属装置选择为恢复对象的选择是否已完成(步骤S226)。若针对被注册为现场网络108的成员的全部的从属装置而恢复对象的选择未完成(在步骤S226中“否”)，或者未判断为能对恢复对象的从属装置适当地执行恢复处理(在步骤S218中“否”)，则微处理器112将被注册为现场网络108的成员的未选择的从属装置选择为恢复对象(步骤S228)。然后，重复步骤S218以下的处理。
与之相对，若针对被注册为现场网络108的成员的全部的从属装置而恢复对象的选择已完成(在步骤S226中“是”)，则恢复处理结束。
[j3：优点]
根据实施方式1，在需要从具有公共的设备的多个设备(控制系统)中发生的某种异常还原的情况下，至少针对公共的设备，能使用从其他设备(控制系统)生成的备份数据来进行恢复。故而，能进一步简化用于还原控制系统的恢复处理。
＜K.实施方式2＞
作为实施方式2，针对在将恢复时未存在的从属装置(设备)事后进行了追加的情况下能追加地执行恢复处理的应用例进行说明。即，在实施方式2中，在将恢复时未存在的从属装置进行了追加的情况下，对该追加的从属装置自动地进行恢复。
[k1：处理概要]
图18是用于说明实施方式2所涉及的恢复处理的示意图。在图18(a)所示的设备构成中，连接有从属装置A～C(输送舱10)以及从属装置J～L(第一制程舱20)来作为PLC100的从属装置，该PLC100作为主控装置发挥功能。此时，将本来应存在的从属装置S、T(第四制程舱26)设为未存在。但是，备份数据400包含与全部的从属装置有关的数据(输送舱10、第一制程舱20、第四制程舱26)。
在图18(a)所示的设备构成中，若恢复处理被执行，则从属装置A～C(输送舱10)以及从属装置J～L(第一制程舱20)成为列表对象。也就是，使用备份数据400当中与输送舱10以及第一制程舱20有关的数据来执行恢复处理。
其后，如图18(b)所示，追加了从属装置S、T(第四制程舱26)。这样的状况会在第四制程舱26所涉及的设备因维护或修理等而被关断电源那样的情况下、装置本身被卸下那样的情况下发生。
在实施方式2中，将从图18(a)所示的设备构成变更为图18(b)所示的设备构成作为触发，来追加性地执行恢复处理。也就是，使用备份数据400中所含的与第四制程舱26有关的数据来执行恢复处理。
关于实施方式2所涉及的恢复处理，基于从属装置的追加来自动地执行追加的恢复处理，因此即使是缺乏相关知识的终端用户，也能实现适当的恢复处理。即，若实施方式2所涉及的自动的恢复处理未被安装，则用户需要考虑变更后的设备构成，在支持装置300上个别地选择作为对象的数据来执行恢复处理，但这样的操作非常费事，会产生凭借该用户的知识不能适当地进行恢复处理这样的问题。
备份数据400典型地，预先保存在CPU单元110的非易失性存储器114(图3)中。或者，可以在安装于CPU单元110的存储卡380中保存备份数据400。
典型地，在CPU单元110探测到从属装置已被追加的情况下，和/或，网络连接从无效变更为有效的情况下，执行图18所示的追加性的恢复处理。即，在任一从属装置的网络连接变为有效的情况以及任一从属装置变为存在于现场网络108上的情况当中的至少一种情况下，PLC100(CPU单元110)恢复备份数据400中所含的对应的从属设定信息154。
[k2：处理过程]
接下来，说明实施方式2所涉及的备份处理以及恢复处理的过程。关于备份处理，与上述的实施方式1(图16)同样，因此省略详细的说明。
关于恢复处理，考虑仅在针对所追加的从属装置的恢复处理处于未实施的情况下执行追加性的恢复处理的情况(以下说明的“仅在未实施的情况下实施追加性的恢复处理”)、以及若某从属装置被追加则对该追加的从属装置总是执行恢复处理的情况(以下说明的“总是实施追加性的恢复处理”)。以下，针对各情况的处理，说明其细节。
[k3：恢复处理(其1：仅在未实施的情况下实施追加性的恢复处理)]
图19是表示实施方式2所涉及的恢复处理(其1)的过程的流程图。图19以及后述的图21所示的各步骤，典型地，通过由CPU单元110的微处理器112(图3)执行固件190(图4)来予以实现。但是，可以使用ASIC等集成电路来实现这些处理的一部分或全部。
图19所示的流程图与表示图17所示的实施方式1所涉及的恢复处理的过程的流程图比较，仅在步骤S224和步骤S226之后执行步骤S225的处理这一点上不同。即，在微处理器112对恢复对象的从属装置发送对应的数据(步骤S224)时，或者要对恢复对象的从属装置转发的数据不存在于临时文件夹内(在步骤S222中“否”)，记录针对恢复对象的从属装置的恢复处理的完成(步骤S225)。
图20是表示实施方式2所涉及的恢复处理(其1)中的恢复处理的完成的记录所涉及的信息的一例的示意图。参照图20，与节点编号以及被注册为成员的从属装置的信息相关联地记录恢复处理的完成的有无。即，针对各从属装置，记录表示恢复处理是否已实施的信息。在图20所示的例子中，“是”表示恢复处理已实施，“否”表示恢复处理未实施。若某从属装置被追加，则参照该恢复处理的完成的记录所涉及的信息来执行追加性的恢复处理。
图21是表示实施方式2所涉及的追加性的恢复处理(其1)的过程的流程图。参照图21，微处理器112判断是否要执行追加性的恢复处理(步骤S250)。具体而言，微处理器112判断从属装置是否已被追加，和/或，网络连接是否从无效变更为有效。此外，作为主控装置发挥功能的PLC100(CPU单元110)能时常监视现场网络108的状态，并基于该时常监视的信息来判断是否已追加从属装置。另外，关于网络连接是否已从无效变更为有效，能基于设备构成信息152是否已变更来进行判断。
若未判断为要执行追加性的恢复处理(在步骤S250中“否”)，则重复步骤S250的处理。
与之相对，若判断为要执行追加性的恢复处理(在步骤S250中“是”)，则微处理器112将所追加的从属装置当中的1个从属装置选择为追加性的恢复对象(步骤S252)。然后，微处理器112针对追加性的恢复对象的从属装置，判断恢复处理是否已实施(步骤S254)。该判断基于图20所示那样的恢复处理的完成的记录所涉及的信息来实施。
若恢复处理并非已实施(在步骤S254中“否”)，则微处理器112判断要对追加性的恢复对象的从属装置转发的数据(例如，程序等)是否存在于临时文件夹内(步骤S256)。若要对追加性的恢复对象的从属装置转发的数据存在于临时文件夹内(在步骤S256中“是”)，则微处理器112经由现场网络108对追加性的恢复对象的从属装置发送对应的数据(步骤S258)。若要对追加性的恢复对象的从属装置转发的数据不存在于临时文件夹内(在步骤S256中“否”)，则跳过步骤S258的处理。
接着，微处理器112记录针对追加性的恢复对象的从属装置的恢复处理的完成(步骤S260)。在该时间点，能使该从属装置的网络连接有效。
在步骤S260的执行后或者在恢复处理已实施的情况下(在步骤S254中“是”)，微处理器112针对所追加的全部的从属装置，判断将从属装置选择为追加性的恢复对象的选择是否已完成(步骤S262)。若针对所追加的全部的从属装置而追加性的恢复对象的选择未完成(在步骤S262中“否”)，微处理器112将所追加的从属装置当中未选择的从属装置选择为追加性的恢复对象(步骤S264)。然后，重复步骤S254以下的处理。
若针对所追加的全部的从属装置而追加性的恢复对象的选择已完成(在步骤S262中“是”)，则处理结束。
[k4：恢复处理(其2：总是实施追加性的恢复处理)]
实施方式2所涉及的恢复处理(其2)的过程与表示图17所示的实施方式1所涉及的恢复处理的过程的流程图同样，故省略详细的说明。也就是，在总是实施追加性的恢复处理的情况下，无需预先记录恢复处理是否处于未实施，因此不记录恢复处理的完成。
图22是表示实施方式2所涉及的追加性的恢复处理(其2)的过程的流程图。图22所示的流程图是将图21所示的表示实施方式2所涉及的恢复处理(其2)的过程的流程图进一步简化而得到的。此外，针对图22所示的处理当中与图21所示的处理实质相同的，赋予了同一步骤编号。
参照图22，微处理器112判断是否要执行追加性的恢复处理(步骤S250)。若判断为不执行追加性的恢复处理(在步骤S250中“否”)，重复步骤S250的处理。
若判断为要执行追加性的恢复处理(在步骤S250中“是”)，则微处理器112将所追加的从属装置当中的1个从属装置选择为追加性的恢复对象(步骤S252)。微处理器112判断要对追加性的恢复对象的从属装置转发的数据(例如，程序等)是否存在于临时文件夹内(步骤S256)。若要对追加性的恢复对象的从属装置转发的数据存在于临时文件夹内(在步骤S256中“是”)，则微处理器112经由现场网络108对追加性的恢复对象的从属装置发送对应的数据(步骤S258)。
在步骤S258的执行后，或者，要对追加性的恢复对象的从属装置转发的数据不存在于临时文件夹内的情况下(在步骤S256中“否”)，微处理器112针对所追加的全部的从属装置，判断将从属装置选择为追加性的恢复对象的选择是否已完成(步骤S262)。若针对所追加的全部的从属装置而追加性的恢复对象的选择未完成(在步骤S262中“否”)，则微处理器112将所追加的从属装置当中未选择的从属装置选择为追加性的恢复对象(步骤S264)。然后，重复步骤S256以下的处理。
若针对所追加的全部的从属装置而追加性的恢复对象的选择完成(在步骤S262中“是”)，则处理结束。
[k5：优点]
根据实施方式2，在恢复处理之后，自动地执行针对事后追加的设备的恢复处理。故而，若落在预先准备的备份数据中所含的设备的范围内，则即使是恢复处理的执行后所追加的设备，也能转发需要的设定信息。因此，即使是缺乏相关知识的终端用户，也能在设备的交换或设备的维护之后，使控制系统即刻成为激活的状态。
＜L.实施方式3＞
作为实施方式3，如参照上述的图8～图12所说明的那样，在将具有彼此类似的设备构成的控制系统构筑多个那样的情况下，通过支持装置300来预先准备与包含全部的从属装置的控制系统(基本的设备构成)对应的备份数据400，并存放至各控制系统(PLC100)。即，备份数据400是从支持装置300提供的。然后，在各控制系统中，仅使用来自支持装置300的备份数据400当中根据各设备构成而需要的数据来执行恢复处理。
通过采用这样的方法，仅管理公共的备份数据400(包含与全部设备有关的设定信息)即可，能简化管理手续。
图23是用于说明实施方式3所涉及的备份处理/恢复处理的概要的示意图。在图23中，示出存在由输送舱10和第一制程舱20组成的第一控制系统(包含第一PLC100)以及由输送舱10和第四制程舱26组成的第四控制系统(第四PLC100)的例子。
在此情况下，由支持装置300来生成包括全部设备的备份数据400。备份数据400的生成无需实际的PLC100或从属装置，能通过所谓的离线方式来生成。即，能由支持装置300单独地生成备份数据400。该备份数据400包含与输送舱10、第一制程舱20以及第四制程舱26有关的设定信息。
第一控制系统(第一PLC100)仅使用备份数据400中所含的与输送舱10以及第一制程舱20有关的设定信息来执行恢复处理。即，第一PLC100忽视与第四制程舱26有关的设定信息。
另一方面，第四控制系统(第四PLC100)仅使用备份数据400中所含的与输送舱10以及第四制程舱26有关的设定信息来执行恢复处理。即，第四PLC100忽视与第一制程舱20有关的设定信息。
此外，可以不是从支持装置300单体，而是从包含输送舱10、第一制程舱20以及第四制程舱26全部在内的实际的控制系统生成备份数据400。
参照图23来说明更具体的处理过程的一例。首先，用户(系统开发者)通过支持装置300来创建基本的设备构成(包含输送舱10、第一制程舱20、以及第四制程舱26在内的控制系统)所涉及的项目(时序SQ100)。在该项目完成的时间点，用户在支持装置300上生成备份数据400(时序SQ102)。
接着，用户对时序SQ100中创建的基本的设备构成所涉及的项目进行更新以使该项目适合第一控制系统(时序SQ104)。然后，用户将通过对更新后的项目进行编译而生成的用户程序、设备构成信息以及从属设定信息向第一PLC100进行发送(时序SQ106)。
同样，用户对时序SQ100中创建的基本的设备构成所涉及的项目进行更新以使该项目适合第四控制系统(时序SQ108)。然后，用户将通过对更新后的项目进行编译而生成的用户程序、设备构成信息以及从属设定信息向第四PLC100进行发送(时序SQ110)。
然后，用户将在时序SQ102中创建的备份数据400向第一PLC100以及第四PLC100进行发送(时序SQ112)。
第一PLC100不仅存放备份数据400，而且根据要求，使用备份数据400来执行恢复处理(时序SQ114)。在该恢复处理中，第一PLC100仅使用包含在备份数据400中的输送舱10以及第一制程舱20所涉及的设定信息。
同样，第四PLC100不仅存放备份数据400，而且根据要求，使用备份数据400来执行恢复处理(时序SQ116)。在该恢复处理中，第一PLC100仅使用包含在备份数据400中的输送舱10以及第四制程舱26所涉及的设定信息。
根据实施方式3，若预先生成包括全部设备的公共的备份数据，则对于包含这些设备的全部或一部分在内的任一种控制系统(设备构成)，均能使用该公共的备份数据来进行恢复处理。故而，能简化备份数据的管理手续。另外，公共的备份数据能由支持装置生成，因此即使在不存在包含全部设备的控制系统(设备构成)的情况下，也能生成该公共的备份数据。
本次公开的实施方式在全部的点上只是例示，而不应该考虑为限制。本发明的范围不是通过上述说明来示出，而是由权利要求的范围来示出，旨在包含与权利要求的范围均等的含义以及范围内的全部变更。
附图标记说明
1半导体制造装置，2现场网络，10输送舱，12输送机器人，20，22，24，26制程舱，21，23，25，27，31，35闸阀，30，34加载互锁真空室，33，37连通部，100PLC，102USB连接器，104现场网络连接器，106存储卡接口，110CPU单元，111芯片组，112微处理器，113主存储器，114非易失性存储器，116现场网络控制器，117PLC系统总线控制器，120，204IO单元，130电源单元，200远程IO终端，202通信耦合器，210伺服电动机驱动器，212伺服电动机，250通信部，252输入输出部，254驱动电路，260运算处理部，262处理器，264存储器，300支持装置，302CPU，304ROM，306RAM，308硬盘，310键盘，312鼠标，314显示器，316CD－ROM驱动装置，320总线，380存储卡，390CD－ROM。

Claims (6)

1.一种控制装置，在网络中作为主控装置发挥功能，并经由该网络对1个或多个从属装置进行控制，其特征在于，具备：
存储部，其保存设备构成信息和设定信息，所述设备构成信息包含针对被注册为所述网络的成员的从属装置的每一个的网络连接有效或者无效的信息，所述设定信息包含为了控制被注册的该从属装置所需的参数，以及
处理部，其能执行使用来自所述存储部以及所述从属装置的数据来生成备份数据的备份处理，并且能使用所述备份数据来执行恢复处理；
所述备份数据包含针对1个或多个所述从属装置的设定信息，
所述处理部在执行所述恢复处理时，读出所述设备构成信息，并在包含于所述备份数据中的对象的从属装置当中，确定已读出的设备构成信息之中的网络连接变为有效的从属装置或者存在于所述网络上的从属装置，恢复与所确定的所述从属装置对应的设定信息。
2.根据权利要求1所述的控制装置，其特征在于，
所述恢复处理包括从所述控制装置向恢复对象的从属装置发送需要的数据的处理。
3.根据权利要求1所述的控制装置，其特征在于，
在任一从属装置的网络连接变为有效的情况下或任一从属装置变为存在于所述网络上的情况下，所述处理部恢复包含在所述备份数据中的对应的设定信息。
4.根据权利要求1所述的控制装置，其特征在于，
所述备份数据是从支持装置提供的。
5.根据权利要求1所述的控制装置，其特征在于，
所述备份数据还包括所述主控制装置的CPU单元所保存的数据。
6.一种控制装置的动作方法，该控制装置在网络中作为主控装置发挥功能，并经由该网络对1个或多个从属装置进行控制，所述动作方法的特征在于，包含如下步骤：
保存设备构成信息和设定信息的保存步骤，所述设备构成信息包含针对被注册为所述网络的成员的从属装置的每一个的网络连接有效或者无效的信息，所述设定信息包含为了控制被注册的该从属装置所需的参数；
执行备份处理的步骤，该备份处理是使用在所述保存步骤中所保存的信息以及来自所述从属装置的数据来生成备份数据的处理；以及
使用包含备份数据来执行恢复处理的步骤，
所述备份数据包含针对1个或多个所述从属装置的设定信息，
执行所述恢复处理的步骤包含如下步骤：读出所述设备构成信息，并在包含于所述备份数据中的对象的从属装置当中，确定已读出的设备构成信息之中的网络连接变为有效的从属装置或者存在于所述网络上的从属装置，恢复与所确定的所述从属装置对应的设定信息的步骤。
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