WO2013162341A1 - 스크린 프린터 장비의 보정방법 및 이를 이용한 기판 검사시스템 - Google Patents
스크린 프린터 장비의 보정방법 및 이를 이용한 기판 검사시스템 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (16)
- 스크린 프린터 장비로부터 피듀셜 정보를 입력받는 단계;솔더 검사장비의 측정을 통해 기판에 형성된 패드의 위치정보 및 솔더의 위치정보를 추출하는 단계;상기 패드의 위치정보 및 상기 솔더의 위치정보를 이용하여 상기 피듀셜 정보를 기준으로 한 상기 스텐실 마스크의 x,y 옵셋값 및 회전량을 추정하는 단계; 및상기 스텐실 마스크의 x,y 옵셋값 및 회전량을 상기 스크린 프린터 장비로 전달하는 단계를 포함하는 스크린 프린터 장비의 보정방법.
- 제1항에 있어서, 상기 x,y 옵셋값 및 회전량을 추정함에 있어,상기 스텐실 마스크의 오차는 하기 수학식에 의해 정의되며,정의된 오차를 최소화하도록 상기 스텐실 마스크의 x,y 옵셋값 및 회전량을 추정하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린터 장비의 보정방법.(여기서, E는 스텐실 마스크의 오차이며, i는 각 패드를 나타낸다)
- 제2항에 있어서,상기 스텐실 마스크의 오차를 정의함에 있어, 솔더의 측정치의 신뢰도에 대응하는 가중치를 반영하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린터 장비의 보정방법.
- 스크린 프린터 장비로부터 피듀셜 정보를 입력 받는 단계;상기 솔더 검사장비에서 기판을 복수의 블록들로 구획하고, 각 블록별로 상기 피듀셜 정보를 기준으로 하여 블록별 x,y 옵셋값 및 회전량을 추정하는 단계;블록별로 추정된 상기 블록별 x,y 옵셋값 및 회전량을 기초로 상기 스텐실 마스크의 x,y 옵셋값 및 회전량을 추정하는 단계; 및상기 스텐실 마스크의 x,y 옵셋값 및 회전량을 상기 스크린 프린터 장비로 전달하는 단계를 포함하는 스크린 프린터 장비의 보정방법.
- 제4항에 있어서, 상기 블록별 x,y 옵셋값 및 회전량을 추정하는 단계는,각 블록별 중심값, 각 블록별 패드 및 솔더의 위치값, 및 각 블록별 임의로 선택된 위치값 중 적어도 하나를 이용하여 추정하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린터 장비의 보정방법.
- 제4항에 있어서, 상기 스텐실 마스크의 x,y 옵셋값 및 회전량을 추정하는 단계는,상기 블록별 x,y 옵셋값 및 회전량들의 평균을 통해 상기 스텐실 마스크의 x,y 옵셋값 및 회전량을 추정하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린터 장비의 보정방법.
- 제4항에 있어서, 상기 블록별 x,y 옵셋값 및 회전량을 추정함에 있어,상기 스텐실 마스크의 오차는 하기 수학식에 의해 정의되며,정의된 오차를 최소화하도록 상기 스텐실 마스크의 x,y 옵셋값 및 회전량을 추정하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린터 장비의 보정방법.(여기서, E는 스텐실 마스크의 오차이며, i는 각 패드를 나타낸다)
- 제7항에 있어서,상기 스텐실 마스크의 오차를 정의함에 있어, 솔더의 측정치의 신뢰도에 대응하는 가중치를 반영하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린터 장비의 보정방법.
- 스크린 프린터 장비로부터 솔더가 프린트된 기판을 솔더 검사장비로 전달하는 단계;상기 솔더 검사장비에서 상기 전달된 기판을 검사하고, 검사 결과를 분석하는 단계;상기 분석된 검사 결과를 상기 스크린 프린터 장비로 전달하는 단계; 및상기 분석된 검사 결과를 이용하여 상기 스크린 프린터 장비로부터 보정된 인쇄조건을 입력받는 단계를 포함하는 스크린 프린터 장비의 보정방법.
- 제9항에 있어서,상기 보정된 인쇄조건을 입력받는 단계 이후에,상기 보정된 인쇄조건을 사용자가 인식할 수 있도록 디스플레이하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린터 장비의 보정방법.
- 제9항에 있어서,상기 보정된 인쇄조건을 입력 받는 단계 이후에,상기 분석된 검사 결과 및 상기 보정된 인쇄조건 사이의 관계를 분석하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린터 장비의 보정방법.
- 제9항에 있어서,상기 보정된 인쇄조건은, 상기 스크린 프린터 장비의 인쇄압력, 인쇄속도 및 스텐실 마스크의 위치 보정 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린터 장비의 보정방법.
- 기판에 솔더를 인쇄하는 스크린 프린터 장비로부터 상기 기판을 전달받아서, 프린트된 솔더를 검사하여 검사 결과를 분석한 후, 분석된 검사 결과를 상기 스크린 프린터 장비로 전달하는 검사 결과 전달부와,상기 분석된 검사 결과를 이용하여 상기 스크린 프린터 장비에서 보정된 인쇄조건을 입력 받아 저장하는 인쇄조건 저장부를 포함하는 기판 검사시스템.
- 제13항에 있어서,상기 보정된 인쇄조건을 사용자가 인식할 수 있도록 디스플레이하는 디스플레이부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사시스템.
- 제13항에 있어서,상기 분석된 검사 결과 및 상기 보정된 인쇄조건 사이의 관계를 분석하는 분석부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사시스템.
- 제13항에 있어서,상기 인쇄조건은, 상기 스크린 프린터 장비의 인쇄압력, 인쇄속도 및 스텐실 마스크의 위치 보정 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사시스템.
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