JP3787299B2 - 被検出体とマスクとの位置合わせ方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被検出体とマスクとの位置合わせ方法に関する。さらに詳しくは、本発明は、例えばはんだ印刷機における基板（被検出体）とマスクのように２枚の平板状の部材を重ね合わせるのに適した被検出体とマスクとの位置合わせ方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
はんだ印刷機として、基板とマスクの間に、同一のカメラ軸上に配置した基板用カメラとマスク用カメラを設け、基板に設けられたフィディシャルマークの位置とマスクに設けられたフィディシャルマークの位置を認識して基板とマスクの位置合わせを行うタイプのものある。かかるタイプのはんだ印刷機には基板とマスクの位置合わせを調整するティーチング機能が用意されており、ティーチングを行って基板とマスクの位置合わせ精度を保証していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のはんだ印刷機は基本的にティーチングにて基板とマスクの位置合わせを行うことを前提にしており、ティーチングを行わないで基板とマスクの位置合わせ精度を明確に保証するものではなかった。これは予め決められた１種類のマスクと基板の位置合わせ繰り返し精度を保証しているだけであり、基板の大きさ、基板の温度変化を含めてマスクと基板の位置合わせ絶対精度を保証するものではなかった。
【０００４】
本発明は、マスクと基板の位置合わせ絶対精度を保証する被検出体とマスクとの位置合わせ方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するために請求項１記載の被検出体とマスクとの位置合わせ方法は、被検出体とマスクとの位置合わせと同じ位置合わせ動作で絶対精度補正値測定用のマスタ被検出体と絶対精度補正値測定用のマスタマスクとの位置合わせを行うようにすると共に、マスタマスクに形成された２つの認識マークと、これらの認識マークのそれぞれと一致するマスタ被検出体上の位置に形成された２つの基準マークとをカメラで撮像し、当該カメラの撮像画像を参照し、２つの認識マークの中心と該認識マークと一致する基準マークの中心を結ぶ２つのベクトルが長さが等しく且つ方向が逆となるようにマスタ被検出体側を移動させ、位置合わせ後のマスタ被検出体の位置である初期値とマスタ被検出体を最終位置に移動した際の差を計算し、計算で求めた絶対精度補正値を記憶し、この絶対精度補正値に基づき、被検出体とマスクとの位置合わせの補正を行うものである。
【０００６】
したがって、マスタマスクとマスタ被検出体を使用して求めた絶対精度補正値に基づいて被検出体とマスクとの位置合わせの補正を行うことができる。このため、ティーチングを行わずに位置合わせ精度を保証することができる。
【０００７】
また、請求項２記載の被検出体とマスクとの位置合わせ方法は、位置合わせを行う被検出体の取付位置とマスクの取付位置とに、所定の間隔の格子が形成された透明の治具をそれぞれ配置し、被検出体の取付位置およびマスクの取付位置の格子毎の位置を位置合わせを行うカメラを用いて計測し、このカメラの倒れ補正値を求め記憶するカメラ倒れ補正工程を有するものである。したがって、被検出体とマスクとの位置合わせを行うカメラの傾斜を考慮して被検出体とマスクとの位置合わせを行うことができる。
【０００８】
さらに、請求項３記載の被検出体とマスクとの位置合わせ方法は、温度変化によるカメラ倒れ補正工程を備えている。したがって、温度変化によるカメラの傾斜を考慮して位置合わせを行うことができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の構成を図面に示す最良の形態に基づいて詳細に説明する。
【００１０】
本発明の被検出体とマスクとの位置合わせ方法は、例えば、はんだ印刷機１の被検出体（基板）２とマスク３との位置合わせに適用される。ただし、はんだ印刷機１の基板２とマスク３との位置合わせに限るものではなく、２枚の板状部材の位置合わせであれば適用可能である。例えば、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等の基板の位置合わせに適用しても良い。
【００１１】
はんだ印刷機１の概略構成を図１に示す。はんだ印刷用のマスク３はマスク固定ユニット４に取り付けられている。被検出体である基板２はコンベア５によってマスク３の下方に搬送され、ストッパ６によって正確に位置決めされ停止される。マスク３の裏面（基板２対向面）には例えば２つのフィディシャルマーク３ａが、基板２の表面（マスク３対向面）には例えば２つのフィディシャルマーク２ａが設けられている。
【００１２】
基板２とマスク３の間には、基板用カメラ（被検出体用カメラ）７とマスク用カメラ８が配置される。各カメラ７，８の本体は基板２及びマスク３に対して平行（水平）に配置されているが、各カメラ７，８の光軸は図示しないビームスプリッタによって基板２及びマスク３に対して直交するように反射される。このとき、各カメラ７，８の光軸が同軸上になるように（垂直に）反射される。また、各カメラ７，８には照明（ＬＥＤ）９，１０が設けられている。基板用カメラ７とマスク用カメラ８は、図示しないＸ−Ｙ移動装置に取り付けられており、水平で互いに直行するＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能になっている。
【００１３】
はんだ印刷を行う場合、基板用カメラ７とマスク用カメラ８を基板２とマスク３の間から退避させた後、図示しない印刷テーブルを上昇させて基板２を持ち上げる。その際、例えば後述するアルゴリズムで基板２とマスク３の位置合わせを行い、さらに絶対精度補正を行っておく。このようにして基板２とマスク３を正確に重ね合わせた後、マスク３の上からはんだ印刷を行い、基板２の所定位置にはんだを載せる。
【００１４】
位置合わせを行うアルゴリズムでは、マスク用カメラ（上カメラ）８と基板用カメラ（下カメラ）７の座標（カメラの軸座標）を、ガラス治具１１の軸座標（ガラス治具座標）から印刷テーブルの軸座標（テーブル軸座標）に変換し、マスク３と基板２の位置合わせを可能にしている。このアルゴリズムは、以下の通りである。また、その概念を図２に示す。
【００１５】
▲１▼ マスク用カメラ８でマスク３のフィディシャルマーク３ａを測定し、メッシュ状に測定してあるガラス治具１１の軸座標のデータから座標変換パラメータａを導出し、印刷テーブルの軸座標でのフィディシャルマーク３ａの位置を示すＭ１ベクトルとＭ２ベクトルを得る。なお、メッシュ状に測定してあるガラス治具１１の座標のデータから導出される座標変換パラメータａ及びｂは、例えばはんだ印刷機１の工場出荷時にカメラ倒れ補正工程を行って予め導出されている。カメラ倒れ補正工程については後述する。
【００１６】
▲２▼ 基板用カメラ７で基板２のフィディシャルマーク２ａを測定し、メッシュ状に測定してあるガラス治具１１の座標のデータから座標変換パラメータを導出し、印刷テーブルの軸座標でのフィディシャルマーク２ａの位置を示すＢ１ベクトルとＢ２ベクトルを得る。
【００１７】
▲３▼ Ｍ１ベクトルとＭ２ベクトル、Ｂ１ベクトルとＢ２ベクトルの中間点Ｍ０、Ｂ０を求める。即ち、（Ｍ１＋Ｍ２）／２＝Ｍ０、（Ｂ１＋Ｂ２）／２＝Ｂ０とする。
【００１８】
▲４▼ 中間点Ｍ０，Ｂ０の移動量（Ｍ０−Ｂ０）を求める。
【００１９】
▲５▼ （Ｍ２−Ｍ１）ベクトルと（Ｂ２−Ｂ１）ベクトルの交差する角度θ０を求める。（図３参照）
【００２０】
▲６▼ （Ｂ２−Ｂ１）ベクトルが印刷テーブル中心に角度θ０だけ回転したときに、ずれるベクトルΔＡを求める。
【００２１】
▲７▼ Ｍ０−Ｂ０＋ΔＡが求める移動ベクトル（印刷テーブル動作量）になる。
【００２２】
次に、本発明を適用した被検出体とマスクの位置合わせ方法について説明する。この被検出体とマスクとの位置合わせ方法は、図４に示すように、はんだ印刷機１に絶対精度補正値測定用のマスタマスク１４とマスタ基板（マスタ被検出体）１５をセットして各々の認識マーク１２と基準マーク１３の中心ずれが最小になるように調整し、絶対精度補正値を求めて補正を行うものである。認識マーク１２と基準マーク１３は、マスタマスク１４の上方に設けられた補正用カメラ１６によって検出される。
【００２３】
即ち、この被検出体とマスクとの位置合わせ方法は、被検出体である基板２とマスク３との位置合わせと同じ位置合わせ動作で絶対精度補正値測定用のマスタ被検出体であるマスタ基板１５と絶対精度補正値測定用のマスタマスク１４との位置合わせを行うようにすると共に、マスタマスク１４に形成された２つの認識マーク１２と、これらの認識マーク１２のそれぞれと一致するマスタ基板１５の位置に形成された２つの基準マーク１３とをカメラ１６で撮像し、当該カメラ１６の撮像画像を参照し、２つの認識マーク１２の中心と該認識マーク１２と一致する基準マーク１３の中心を結ぶ２つのベクトルＬが長さが等しく且つ方向が逆となるようにマスタ基板１５側を移動させ、位置合わせ後のマスタ基板１５の位置である初期値とマスタ基板１５を最終位置に移動した際の差を計算し、計算で求めた絶対精度補正値を記憶し、この絶対精度補正値に基づき、基板２とマスク３との位置合わせの補正を行うものである。
【００２４】
図５にマスタマスク１４を、図６にマスタ基板１５を示す。マスタマスク１４の対角線上の２箇所には、認識マーク１２として孔が形成されている。また、マスタ基板１５の認識マーク１２に対応する位置には、基準マーク１３が設けられている。マスタ基板１５の認識マーク１２は例えば直径が２ｍｍの孔であり、マスタ基板１５の基準マーク１３は例えば直径が０．６ｍｍの黒丸である。このため、マスタ基板１５とマスタマスク１４を重ね合わせると、図７のように認識マーク１２の中に基準マーク１３を確認することができる。なお、実際には、２つの認識マーク１２の間隔は２つの基準マーク１３の間隔に比べて例えば２００μｍ短くなっており、角度検証を見やすくしている。
【００２５】
なお、上述のマスタ基板１５（５０８×４６０ｍｍ）の他に、絶対位置合わせ検証用に２種類（２５０×２５０ｍｍ、５０×５０ｍｍ）のマスタ基板１５を用意しておく。
【００２６】
補正用カメラ１６は、例えば図４に示すように、認識マーク１２及び基準マーク１３に対応して例えば２台設けられている。各補正用カメラ１６は図示しない保持フレームに固定されており、認識マーク１２及び基準マーク１３の真上に配置されている。各補正用カメラ１６の必要最低分解能は、例えば10μｍ／ピクセルである。
【００２７】
具体的な動作は次の通りである。
【００２８】
▲１▼ はんだ印刷機１にマスタマスク１４とマスタ基板１５を取り付けた後、実際のはんだ印刷と同じ位置合わせ動作を行う。即ち、上述の位置合わせアルゴリズムと同じアルゴリズムに従ってマスタマスク１４とマスタ基板１５の位置合わせを行う。そして、位置合わせ後の印刷テーブルの位置を初期値として記憶する。なお、上述のアルゴリズムではフィディシャルマーク２ａ，３ａを用いていたが、今回の位置合わせでは認識マーク１２と基準マーク１３を用いる。
【００２９】
▲２▼ この状態の２台の補正用カメラ１６の視野を図８と図９に示す。もし、このように見えないときには印刷テーブルをジョグ操作して見えるようにする。
【００３０】
▲３▼ 次に、印刷テーブルと２つの補正用カメラ１６の座標間の変換パラメータを求める。印刷テーブルをＸ方向に微少量Δｘだけ移動させて元の位置に戻し、Ｙ方向に微少量Δｙだけ移動させて元の位置に戻す。この動作の３つの位置を補正用カメラ１６で測定することで、印刷テーブルの軸座標と補正用カメラ１６の軸座標の変換パラメータを求めることができる。
【００３１】
▲４▼ この後、自動的に絶対精度補正値を求める。マスタマスク１４の認識マーク１２の中心とマスタ基板１５の基準マーク１３の中心を結ぶベクトルをベクトルＬとすると、図１０に示すように、２つのベクトルＬが対称（長さが等しく且つ方向が逆）になるようにビジョンフィードバック動作により印刷テーブルをＸ方向及びＹ方向に移動させる。そして、Ｘ方向にΔＸだけ、Ｙ方向にΔＹだけ移動したとすると、この最終位置と上記▲１▼で記憶した初期値の差（ΔＸ，ΔＹ）が得られる。これは、基板２とマスク３の位置合わせを行う場合の上下のガラス治具１１間のＸ方向とＹ方向のオフセット量となる。また、図１０のように、認識マーク１２間距離からΔθを計算する。これが、基板２とマスク３の位置合わせを行う場合の上下ガラス治具１１間のΔθ誤差になる。即ち、上下のガラス治具１１と印刷テーブルの間の座標変換パラメータのθ誤差である。
【００３２】
▲５▼ 求めたΔＸ、ΔＹ、Δθを絶対精度補正値として記憶する。
【００３３】
このようにして絶対精度補正値ΔＸ、ΔＹ、Δθを求めた後、はんだ印刷機１からマスタマスク１４とマスタ基板１５を取り外し、マスク固定ユニット４にはんだ印刷を行うマスク３を取り付け、実際にはんだ印刷を行う。基板用カメラ７とマスク用カメラ８によって実際にはんだ印刷を行う基板２のフィディシャルマーク２ａと当該基板２用のマスク３のフィディシャルマーク３ａを測定しながら、上述の位置合わせアルゴリズムに従って基板２とマスク３の位置合わせを行った後、さらに上述の絶対精度補正値ΔＸ，ΔＹ，Δθだけ印刷テーブルを移動させて補正を行う。これにより、基板２とマスク３が正確に位置合わせされる。
【００３４】
この後、基板用カメラ７とマスク用カメラ８を基板２とマスク３の間から退避させ、そして印刷テーブルを上昇させて基板２をマスク３に重ね合わせた後、はんだ印刷を行う。
【００３５】
はんだ印刷機１では、基板用カメラ７とマスク用カメラ８を図示しないＸ−Ｙ移動装置によって光軸を垂直に保ったまま水平移動させているが、組付誤差や部品間ギャップ等に起因して基板用カメラ７とマスク用カメラ８の移動に応じてその光軸が傾くことがある。このカメラ倒れによる測定誤差を補正するために、このはんだ印刷機１では、例えば工場出荷時に被検出体とマスクとの位置合わせ方法としてカメラ倒れ補正工程を行っている。
【００３６】
このカメラ倒れ補正工程は、例えばガラス治具方式のもので、マスク面（マスク３の取付位置）と基板面（基板２の取付位置）に、例えば図１１及び図１２に示すガラス治具１１をセットして、ガラス治具１１の各ドット毎の位置を基板用カメラ（下のカメラ）７とマスク用カメラ（上のカメラ）８で測定する。これによりカメラの軸座標は、歪みのない理想的な上下のガラス治具の座標に変換できる。その結果、上述したマスク３と基板２の位置合わせは、上下のガラス治具１１の位置合わせに計算上置き換えることが可能になり、カメラ倒れによるカメラ軸座標の歪みを排除した、即ちカメラ倒れを補正した位置合わせを実現することができる。
【００３７】
つまり、本発明の被検出体とマスクの位置合わせ方法では、位置合わせを行う基板（被検出体）２の位置とマスク３の位置とに、所定の間隔の格子が形成された透明の治具（ガラス治具１１）をそれぞれ配置し、基板２の位置およびマスク３の位置における格子毎の位置を位置合わせを行うカメラ（基板用カメラ７とマスク用カメラ８）を用いて計測し、このカメラの倒れ補正値を求め記憶するカメラ倒れ補正工程を行っている。
【００３８】
具体的に説明すると、まず、マスク固定ユニット４と印刷テーブルにガラス治具１１をそれぞれセットする。ガラス治具１１を図１１に示す。はんだ印刷を行う基板２の最大のものの寸法が例えば５１０×４６０ｍｍであるとすると、ガラス治具１１はこの寸法よりも例えば縦横１０ｍｍずつ大きくなっており、周囲に取り付け枠１１ａが設けられている。これにより、マスク固定ユニット４や印刷テーブルにセットすることができる。ガラス治具１１には、図１２に示すように、例えば直径０．８ｍｍのドットが、例えば１０ｍｍ間隔の格子状に全面に設けられている。ドットはガラスの蒸着面にエッチングによって形成されている。蒸着面はガラスの下面になっている。
【００３９】
次に、セットしたガラス治具１１の全てのドットを測定し、メッシュ状のデータ（ガラス治具１１の座標とカメラ７，８の軸座標の対応表）を測定する。このとき、マスク用カメラ８でマスク固定ユニット４に取り付けたガラス治具（上のガラス治具）１１のドットを測定し、基板用カメラ７で印刷テーブルに取り付けたガラス治具（下のガラス治具）１１のドットを測定する。これにより、図１３の座標変換パラメータａ，ｃが求められる。
【００４０】
次に、印刷テーブルの軸座標と基板用カメラ７の軸座標の間の変換パラメータｂを求める。印刷テーブルの中心に基板用カメラ７で検出できる治具１７をセットし、印刷テーブルを図１４に示すようにＸＹ方向に３点動作させ、基板用カメラ７で各々の位置を測定することにより、印刷テーブルの軸座標と基板用カメラ７の軸座標の変換パラメータｂを求めることができる。なお、マスク用カメラ８と基板用カメラ７の光軸は同軸となっているため、座標変換パラメータｂはマスク用カメラ８と印刷テーブルの軸座標の変換パラメータにもなる。
【００４１】
このようにして、図１３の座標変換パラメータａ，ｂ，ｃが求められる。この結果、位置合わせに必要な変換パラメータ▲１▼，▲２▼を間接的に求めることができる。即ち、これによりマスク３と基板２の位置合わせは、上下のガラス治具１１の位置合わせに計算上置き換えることが可能になり、カメラ倒れによるカメラ軸座標の歪みを排除した位置合わせを行うことができる。
【００４２】
また、本発明の被検出体とマスク３との位置合わせ方法は、温度変化によるカメラ倒れ補正工程を備えている。この温度変化によるカメラ倒れ補正工程は、例えば図１５に示す温度補正治具１８を使って行われる。温度補正治具１８は、一体構造であり、温度の影響を受け難い材料で造られている。また、その形状から、温度変化によって伸縮しても上板１８ａと下板１８ｂの孔１９の位置関係は変化し難い。温度補正治具１８をはんだ印刷機１の所定位置に取り付けておき、例えば一定時間毎に基板用カメラ７とマスク用カメラ８を上板１８ａと下板１８ｂの間に移動させ、基板用カメラ７とマスク用カメラ８で上板１８ａと下板１８ｂの孔１９の位置を測定することにより、温度によるカメラ軸（カメラの光軸）の傾きを測定することができ、その測定値に基づいて補正をかけることができる。なお、温度補正治具１８を使用した補正を、例えば一定時間毎に行っても良いし、あるいは所定枚数の基板２にはんだ印刷を行う毎に行っても良い。
【００４３】
１種類の基板２を使用して絶対精度補正値を求めて位置合わせを行い、上記ベクトルＬを計測して検証を行った結果を図１６に示す。一方のベクトルＬのＸＹ座標と、他方のベクトルＬのＸＹ座標をプロットしてある。これらの２点の中点位置と原点（０，０）の差が絶対精度位置ずれ量である。図１６より、絶対精度位置ずれ量が許容範囲である±２５μｍの範囲内であることが確認できた。また、図１６のθが、基板２に設けられた２つのフィディシャルマーク２ａが基板２の辺となす角度と一致することが確認できた。
【００４４】
本発明は、上述の通り絶対精度補正、カメラ倒れ補正、温度補正の３つの機能を有しており、ある一定以上の精度で製造されている基板２とマスク３については全くティーチングを行わなくても、マスク３と基板２の位置合わせ精度を保証することができる。また、温度にも依存しないので、品質が安定したはんだ印刷を保証することができる。
【００４５】
なお、上述の形態は本発明の好適な形態の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。例えば、上述の説明では、カメラ倒れ補正工程をガラス治具方式としていたが、必ずしもこの方式に限るものではない。例えば、図１７に示すように、カメラ軸の倒れを直接測定することにより、ずれ量Ｄを求め、実際のカメラの軸座標に測定したずれ量Ｄを加えることにより、カメラ倒れ補正を行うようにしても良い。なお、図１７の例では、カメラが中心を基準に傾いていると仮定している。
【００４６】
また、上述の説明では、温度変化によるカメラ倒れ補正工程を温度補正治具１８を使用して行っていたが、必ずしもこの方法に限るものではない。例えば、予め温度とその温度のカメラ倒れ角度との対応関係を測定して記憶しておくと共に、はんだ印刷機１に温度センサを設置し、定期的に測定した温度に基づいてカメラの倒れ角度を推定し、この推定値に基づいて補正を行うようにしても良い。
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１記載の被検出体とマスクとの位置合わせ方法では、被検出体とマスクとの位置合わせと同じ位置合わせ動作で絶対精度補正値測定用のマスタ被検出体と絶対精度補正値測定用のマスタマスクとの位置合わせを行うようにすると共に、マスタマスクに形成された２つの認識マークと、これらの認識マークのそれぞれと一致するマスタ被検出体上の位置に形成された２つの基準マークとをカメラで撮像し、当該カメラの撮像画像を参照し、２つの認識マークの中心と該認識マークと一致する基準マークの中心を結ぶ２つのベクトルが長さが等しく且つ方向が逆となるようにマスタ被検出体側を移動させ、位置合わせ後のマスタ被検出体の位置である初期値とマスタ被検出体を最終位置に移動した際の差を計算し、計算で求めた絶対精度補正値を記憶し、この絶対精度補正値に基づき、被検出体とマスクとの位置合わせの補正を行うので、ティーチングを行わずに被検出体とマスクとの位置合わせ精度を保証することができる。
【００４８】
また、請求項２記載の被検出体とマスクとの位置合わせ方法では、位置合わせを行う被検出体の取付位置とマスクの取付位置とに、所定の間隔の格子が形成された透明の治具をそれぞれ配置し、被検出体の取付位置およびマスクの取付位置の格子毎の位置を位置合わせを行うカメラを用いて計測し、このカメラの倒れ補正値を求め記憶するカメラ倒れ補正工程を有しているので、被検出体とマスクとの位置合わせを行うカメラの傾斜を考慮して被検出体とマスクとの位置合わせを行うことができる。
【００４９】
さらに、請求項３記載の被検出体とマスクとの位置合わせ方法は、温度変化によるカメラ倒れ補正工程を備えているので、温度変化によるカメラの傾斜を考慮して位置合わせを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る被検出体とマスクとの位置合わせ方法を実施するはんだ印刷機の概略構成図である。
【図２】基板とマスクの位置合わせを行うアルゴリズムを示す概念図である。
【図３】ベクトルΔＡを求める概念を示す説明図である。
【図４】マスタマスクとマスタ基板を用いて絶対精度補正を行う様子を示す概念図である。
【図５】マスタマスクを示す平面図である。
【図６】マスタ基板を示す平面図である。
【図７】認識マークから基準マークが覗く様子を示す概念図である。
【図８】一方の補正用カメラの視野を示す概念図である。
【図９】他方の補正用カメラの視野を示す概念図である。
【図１０】絶対精度補正値を求める概念を示す説明図である。
【図１１】ガラス治具の平面図である。
【図１２】ガラス治具のドットを示す概念図である。
【図１３】各座標系間の関係を示す概念図である。
【図１４】印刷テーブルを３点動作させる様子を示す概念図である。
【図１５】温度補正治具を示す斜視図である。
【図１６】絶対精度位置ずれ量を検証した結果を示す図である。
【図１７】カメラ軸の傾斜を示す概念図である
【符号の説明】
２ 基板（被検出体）
３ マスク
７ 基板用カメラ
８ マスク用カメラ
１２ 認識マーク
１３ 基準マーク
１４ マスタマスク
Ｌ 認識マークと基準マークとの中心間とからなるベクトル
【発明の属する技術分野】
本発明は、被検出体とマスクとの位置合わせ方法に関する。さらに詳しくは、本発明は、例えばはんだ印刷機における基板（被検出体）とマスクのように２枚の平板状の部材を重ね合わせるのに適した被検出体とマスクとの位置合わせ方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
はんだ印刷機として、基板とマスクの間に、同一のカメラ軸上に配置した基板用カメラとマスク用カメラを設け、基板に設けられたフィディシャルマークの位置とマスクに設けられたフィディシャルマークの位置を認識して基板とマスクの位置合わせを行うタイプのものある。かかるタイプのはんだ印刷機には基板とマスクの位置合わせを調整するティーチング機能が用意されており、ティーチングを行って基板とマスクの位置合わせ精度を保証していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のはんだ印刷機は基本的にティーチングにて基板とマスクの位置合わせを行うことを前提にしており、ティーチングを行わないで基板とマスクの位置合わせ精度を明確に保証するものではなかった。これは予め決められた１種類のマスクと基板の位置合わせ繰り返し精度を保証しているだけであり、基板の大きさ、基板の温度変化を含めてマスクと基板の位置合わせ絶対精度を保証するものではなかった。
【０００４】
本発明は、マスクと基板の位置合わせ絶対精度を保証する被検出体とマスクとの位置合わせ方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するために請求項１記載の被検出体とマスクとの位置合わせ方法は、被検出体とマスクとの位置合わせと同じ位置合わせ動作で絶対精度補正値測定用のマスタ被検出体と絶対精度補正値測定用のマスタマスクとの位置合わせを行うようにすると共に、マスタマスクに形成された２つの認識マークと、これらの認識マークのそれぞれと一致するマスタ被検出体上の位置に形成された２つの基準マークとをカメラで撮像し、当該カメラの撮像画像を参照し、２つの認識マークの中心と該認識マークと一致する基準マークの中心を結ぶ２つのベクトルが長さが等しく且つ方向が逆となるようにマスタ被検出体側を移動させ、位置合わせ後のマスタ被検出体の位置である初期値とマスタ被検出体を最終位置に移動した際の差を計算し、計算で求めた絶対精度補正値を記憶し、この絶対精度補正値に基づき、被検出体とマスクとの位置合わせの補正を行うものである。
【０００６】
したがって、マスタマスクとマスタ被検出体を使用して求めた絶対精度補正値に基づいて被検出体とマスクとの位置合わせの補正を行うことができる。このため、ティーチングを行わずに位置合わせ精度を保証することができる。
【０００７】
また、請求項２記載の被検出体とマスクとの位置合わせ方法は、位置合わせを行う被検出体の取付位置とマスクの取付位置とに、所定の間隔の格子が形成された透明の治具をそれぞれ配置し、被検出体の取付位置およびマスクの取付位置の格子毎の位置を位置合わせを行うカメラを用いて計測し、このカメラの倒れ補正値を求め記憶するカメラ倒れ補正工程を有するものである。したがって、被検出体とマスクとの位置合わせを行うカメラの傾斜を考慮して被検出体とマスクとの位置合わせを行うことができる。
【０００８】
さらに、請求項３記載の被検出体とマスクとの位置合わせ方法は、温度変化によるカメラ倒れ補正工程を備えている。したがって、温度変化によるカメラの傾斜を考慮して位置合わせを行うことができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の構成を図面に示す最良の形態に基づいて詳細に説明する。
【００１０】
本発明の被検出体とマスクとの位置合わせ方法は、例えば、はんだ印刷機１の被検出体（基板）２とマスク３との位置合わせに適用される。ただし、はんだ印刷機１の基板２とマスク３との位置合わせに限るものではなく、２枚の板状部材の位置合わせであれば適用可能である。例えば、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等の基板の位置合わせに適用しても良い。
【００１１】
はんだ印刷機１の概略構成を図１に示す。はんだ印刷用のマスク３はマスク固定ユニット４に取り付けられている。被検出体である基板２はコンベア５によってマスク３の下方に搬送され、ストッパ６によって正確に位置決めされ停止される。マスク３の裏面（基板２対向面）には例えば２つのフィディシャルマーク３ａが、基板２の表面（マスク３対向面）には例えば２つのフィディシャルマーク２ａが設けられている。
【００１２】
基板２とマスク３の間には、基板用カメラ（被検出体用カメラ）７とマスク用カメラ８が配置される。各カメラ７，８の本体は基板２及びマスク３に対して平行（水平）に配置されているが、各カメラ７，８の光軸は図示しないビームスプリッタによって基板２及びマスク３に対して直交するように反射される。このとき、各カメラ７，８の光軸が同軸上になるように（垂直に）反射される。また、各カメラ７，８には照明（ＬＥＤ）９，１０が設けられている。基板用カメラ７とマスク用カメラ８は、図示しないＸ−Ｙ移動装置に取り付けられており、水平で互いに直行するＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能になっている。
【００１３】
はんだ印刷を行う場合、基板用カメラ７とマスク用カメラ８を基板２とマスク３の間から退避させた後、図示しない印刷テーブルを上昇させて基板２を持ち上げる。その際、例えば後述するアルゴリズムで基板２とマスク３の位置合わせを行い、さらに絶対精度補正を行っておく。このようにして基板２とマスク３を正確に重ね合わせた後、マスク３の上からはんだ印刷を行い、基板２の所定位置にはんだを載せる。
【００１４】
位置合わせを行うアルゴリズムでは、マスク用カメラ（上カメラ）８と基板用カメラ（下カメラ）７の座標（カメラの軸座標）を、ガラス治具１１の軸座標（ガラス治具座標）から印刷テーブルの軸座標（テーブル軸座標）に変換し、マスク３と基板２の位置合わせを可能にしている。このアルゴリズムは、以下の通りである。また、その概念を図２に示す。
【００１５】
▲１▼ マスク用カメラ８でマスク３のフィディシャルマーク３ａを測定し、メッシュ状に測定してあるガラス治具１１の軸座標のデータから座標変換パラメータａを導出し、印刷テーブルの軸座標でのフィディシャルマーク３ａの位置を示すＭ１ベクトルとＭ２ベクトルを得る。なお、メッシュ状に測定してあるガラス治具１１の座標のデータから導出される座標変換パラメータａ及びｂは、例えばはんだ印刷機１の工場出荷時にカメラ倒れ補正工程を行って予め導出されている。カメラ倒れ補正工程については後述する。
【００１６】
▲２▼ 基板用カメラ７で基板２のフィディシャルマーク２ａを測定し、メッシュ状に測定してあるガラス治具１１の座標のデータから座標変換パラメータを導出し、印刷テーブルの軸座標でのフィディシャルマーク２ａの位置を示すＢ１ベクトルとＢ２ベクトルを得る。
【００１７】
▲３▼ Ｍ１ベクトルとＭ２ベクトル、Ｂ１ベクトルとＢ２ベクトルの中間点Ｍ０、Ｂ０を求める。即ち、（Ｍ１＋Ｍ２）／２＝Ｍ０、（Ｂ１＋Ｂ２）／２＝Ｂ０とする。
【００１８】
▲４▼ 中間点Ｍ０，Ｂ０の移動量（Ｍ０−Ｂ０）を求める。
【００１９】
▲５▼ （Ｍ２−Ｍ１）ベクトルと（Ｂ２−Ｂ１）ベクトルの交差する角度θ０を求める。（図３参照）
【００２０】
▲６▼ （Ｂ２−Ｂ１）ベクトルが印刷テーブル中心に角度θ０だけ回転したときに、ずれるベクトルΔＡを求める。
【００２１】
▲７▼ Ｍ０−Ｂ０＋ΔＡが求める移動ベクトル（印刷テーブル動作量）になる。
【００２２】
次に、本発明を適用した被検出体とマスクの位置合わせ方法について説明する。この被検出体とマスクとの位置合わせ方法は、図４に示すように、はんだ印刷機１に絶対精度補正値測定用のマスタマスク１４とマスタ基板（マスタ被検出体）１５をセットして各々の認識マーク１２と基準マーク１３の中心ずれが最小になるように調整し、絶対精度補正値を求めて補正を行うものである。認識マーク１２と基準マーク１３は、マスタマスク１４の上方に設けられた補正用カメラ１６によって検出される。
【００２３】
即ち、この被検出体とマスクとの位置合わせ方法は、被検出体である基板２とマスク３との位置合わせと同じ位置合わせ動作で絶対精度補正値測定用のマスタ被検出体であるマスタ基板１５と絶対精度補正値測定用のマスタマスク１４との位置合わせを行うようにすると共に、マスタマスク１４に形成された２つの認識マーク１２と、これらの認識マーク１２のそれぞれと一致するマスタ基板１５の位置に形成された２つの基準マーク１３とをカメラ１６で撮像し、当該カメラ１６の撮像画像を参照し、２つの認識マーク１２の中心と該認識マーク１２と一致する基準マーク１３の中心を結ぶ２つのベクトルＬが長さが等しく且つ方向が逆となるようにマスタ基板１５側を移動させ、位置合わせ後のマスタ基板１５の位置である初期値とマスタ基板１５を最終位置に移動した際の差を計算し、計算で求めた絶対精度補正値を記憶し、この絶対精度補正値に基づき、基板２とマスク３との位置合わせの補正を行うものである。
【００２４】
図５にマスタマスク１４を、図６にマスタ基板１５を示す。マスタマスク１４の対角線上の２箇所には、認識マーク１２として孔が形成されている。また、マスタ基板１５の認識マーク１２に対応する位置には、基準マーク１３が設けられている。マスタ基板１５の認識マーク１２は例えば直径が２ｍｍの孔であり、マスタ基板１５の基準マーク１３は例えば直径が０．６ｍｍの黒丸である。このため、マスタ基板１５とマスタマスク１４を重ね合わせると、図７のように認識マーク１２の中に基準マーク１３を確認することができる。なお、実際には、２つの認識マーク１２の間隔は２つの基準マーク１３の間隔に比べて例えば２００μｍ短くなっており、角度検証を見やすくしている。
【００２５】
なお、上述のマスタ基板１５（５０８×４６０ｍｍ）の他に、絶対位置合わせ検証用に２種類（２５０×２５０ｍｍ、５０×５０ｍｍ）のマスタ基板１５を用意しておく。
【００２６】
補正用カメラ１６は、例えば図４に示すように、認識マーク１２及び基準マーク１３に対応して例えば２台設けられている。各補正用カメラ１６は図示しない保持フレームに固定されており、認識マーク１２及び基準マーク１３の真上に配置されている。各補正用カメラ１６の必要最低分解能は、例えば10μｍ／ピクセルである。
【００２７】
具体的な動作は次の通りである。
【００２８】
▲１▼ はんだ印刷機１にマスタマスク１４とマスタ基板１５を取り付けた後、実際のはんだ印刷と同じ位置合わせ動作を行う。即ち、上述の位置合わせアルゴリズムと同じアルゴリズムに従ってマスタマスク１４とマスタ基板１５の位置合わせを行う。そして、位置合わせ後の印刷テーブルの位置を初期値として記憶する。なお、上述のアルゴリズムではフィディシャルマーク２ａ，３ａを用いていたが、今回の位置合わせでは認識マーク１２と基準マーク１３を用いる。
【００２９】
▲２▼ この状態の２台の補正用カメラ１６の視野を図８と図９に示す。もし、このように見えないときには印刷テーブルをジョグ操作して見えるようにする。
【００３０】
▲３▼ 次に、印刷テーブルと２つの補正用カメラ１６の座標間の変換パラメータを求める。印刷テーブルをＸ方向に微少量Δｘだけ移動させて元の位置に戻し、Ｙ方向に微少量Δｙだけ移動させて元の位置に戻す。この動作の３つの位置を補正用カメラ１６で測定することで、印刷テーブルの軸座標と補正用カメラ１６の軸座標の変換パラメータを求めることができる。
【００３１】
▲４▼ この後、自動的に絶対精度補正値を求める。マスタマスク１４の認識マーク１２の中心とマスタ基板１５の基準マーク１３の中心を結ぶベクトルをベクトルＬとすると、図１０に示すように、２つのベクトルＬが対称（長さが等しく且つ方向が逆）になるようにビジョンフィードバック動作により印刷テーブルをＸ方向及びＹ方向に移動させる。そして、Ｘ方向にΔＸだけ、Ｙ方向にΔＹだけ移動したとすると、この最終位置と上記▲１▼で記憶した初期値の差（ΔＸ，ΔＹ）が得られる。これは、基板２とマスク３の位置合わせを行う場合の上下のガラス治具１１間のＸ方向とＹ方向のオフセット量となる。また、図１０のように、認識マーク１２間距離からΔθを計算する。これが、基板２とマスク３の位置合わせを行う場合の上下ガラス治具１１間のΔθ誤差になる。即ち、上下のガラス治具１１と印刷テーブルの間の座標変換パラメータのθ誤差である。
【００３２】
▲５▼ 求めたΔＸ、ΔＹ、Δθを絶対精度補正値として記憶する。
【００３３】
このようにして絶対精度補正値ΔＸ、ΔＹ、Δθを求めた後、はんだ印刷機１からマスタマスク１４とマスタ基板１５を取り外し、マスク固定ユニット４にはんだ印刷を行うマスク３を取り付け、実際にはんだ印刷を行う。基板用カメラ７とマスク用カメラ８によって実際にはんだ印刷を行う基板２のフィディシャルマーク２ａと当該基板２用のマスク３のフィディシャルマーク３ａを測定しながら、上述の位置合わせアルゴリズムに従って基板２とマスク３の位置合わせを行った後、さらに上述の絶対精度補正値ΔＸ，ΔＹ，Δθだけ印刷テーブルを移動させて補正を行う。これにより、基板２とマスク３が正確に位置合わせされる。
【００３４】
この後、基板用カメラ７とマスク用カメラ８を基板２とマスク３の間から退避させ、そして印刷テーブルを上昇させて基板２をマスク３に重ね合わせた後、はんだ印刷を行う。
【００３５】
はんだ印刷機１では、基板用カメラ７とマスク用カメラ８を図示しないＸ−Ｙ移動装置によって光軸を垂直に保ったまま水平移動させているが、組付誤差や部品間ギャップ等に起因して基板用カメラ７とマスク用カメラ８の移動に応じてその光軸が傾くことがある。このカメラ倒れによる測定誤差を補正するために、このはんだ印刷機１では、例えば工場出荷時に被検出体とマスクとの位置合わせ方法としてカメラ倒れ補正工程を行っている。
【００３６】
このカメラ倒れ補正工程は、例えばガラス治具方式のもので、マスク面（マスク３の取付位置）と基板面（基板２の取付位置）に、例えば図１１及び図１２に示すガラス治具１１をセットして、ガラス治具１１の各ドット毎の位置を基板用カメラ（下のカメラ）７とマスク用カメラ（上のカメラ）８で測定する。これによりカメラの軸座標は、歪みのない理想的な上下のガラス治具の座標に変換できる。その結果、上述したマスク３と基板２の位置合わせは、上下のガラス治具１１の位置合わせに計算上置き換えることが可能になり、カメラ倒れによるカメラ軸座標の歪みを排除した、即ちカメラ倒れを補正した位置合わせを実現することができる。
【００３７】
つまり、本発明の被検出体とマスクの位置合わせ方法では、位置合わせを行う基板（被検出体）２の位置とマスク３の位置とに、所定の間隔の格子が形成された透明の治具（ガラス治具１１）をそれぞれ配置し、基板２の位置およびマスク３の位置における格子毎の位置を位置合わせを行うカメラ（基板用カメラ７とマスク用カメラ８）を用いて計測し、このカメラの倒れ補正値を求め記憶するカメラ倒れ補正工程を行っている。
【００３８】
具体的に説明すると、まず、マスク固定ユニット４と印刷テーブルにガラス治具１１をそれぞれセットする。ガラス治具１１を図１１に示す。はんだ印刷を行う基板２の最大のものの寸法が例えば５１０×４６０ｍｍであるとすると、ガラス治具１１はこの寸法よりも例えば縦横１０ｍｍずつ大きくなっており、周囲に取り付け枠１１ａが設けられている。これにより、マスク固定ユニット４や印刷テーブルにセットすることができる。ガラス治具１１には、図１２に示すように、例えば直径０．８ｍｍのドットが、例えば１０ｍｍ間隔の格子状に全面に設けられている。ドットはガラスの蒸着面にエッチングによって形成されている。蒸着面はガラスの下面になっている。
【００３９】
次に、セットしたガラス治具１１の全てのドットを測定し、メッシュ状のデータ（ガラス治具１１の座標とカメラ７，８の軸座標の対応表）を測定する。このとき、マスク用カメラ８でマスク固定ユニット４に取り付けたガラス治具（上のガラス治具）１１のドットを測定し、基板用カメラ７で印刷テーブルに取り付けたガラス治具（下のガラス治具）１１のドットを測定する。これにより、図１３の座標変換パラメータａ，ｃが求められる。
【００４０】
次に、印刷テーブルの軸座標と基板用カメラ７の軸座標の間の変換パラメータｂを求める。印刷テーブルの中心に基板用カメラ７で検出できる治具１７をセットし、印刷テーブルを図１４に示すようにＸＹ方向に３点動作させ、基板用カメラ７で各々の位置を測定することにより、印刷テーブルの軸座標と基板用カメラ７の軸座標の変換パラメータｂを求めることができる。なお、マスク用カメラ８と基板用カメラ７の光軸は同軸となっているため、座標変換パラメータｂはマスク用カメラ８と印刷テーブルの軸座標の変換パラメータにもなる。
【００４１】
このようにして、図１３の座標変換パラメータａ，ｂ，ｃが求められる。この結果、位置合わせに必要な変換パラメータ▲１▼，▲２▼を間接的に求めることができる。即ち、これによりマスク３と基板２の位置合わせは、上下のガラス治具１１の位置合わせに計算上置き換えることが可能になり、カメラ倒れによるカメラ軸座標の歪みを排除した位置合わせを行うことができる。
【００４２】
また、本発明の被検出体とマスク３との位置合わせ方法は、温度変化によるカメラ倒れ補正工程を備えている。この温度変化によるカメラ倒れ補正工程は、例えば図１５に示す温度補正治具１８を使って行われる。温度補正治具１８は、一体構造であり、温度の影響を受け難い材料で造られている。また、その形状から、温度変化によって伸縮しても上板１８ａと下板１８ｂの孔１９の位置関係は変化し難い。温度補正治具１８をはんだ印刷機１の所定位置に取り付けておき、例えば一定時間毎に基板用カメラ７とマスク用カメラ８を上板１８ａと下板１８ｂの間に移動させ、基板用カメラ７とマスク用カメラ８で上板１８ａと下板１８ｂの孔１９の位置を測定することにより、温度によるカメラ軸（カメラの光軸）の傾きを測定することができ、その測定値に基づいて補正をかけることができる。なお、温度補正治具１８を使用した補正を、例えば一定時間毎に行っても良いし、あるいは所定枚数の基板２にはんだ印刷を行う毎に行っても良い。
【００４３】
１種類の基板２を使用して絶対精度補正値を求めて位置合わせを行い、上記ベクトルＬを計測して検証を行った結果を図１６に示す。一方のベクトルＬのＸＹ座標と、他方のベクトルＬのＸＹ座標をプロットしてある。これらの２点の中点位置と原点（０，０）の差が絶対精度位置ずれ量である。図１６より、絶対精度位置ずれ量が許容範囲である±２５μｍの範囲内であることが確認できた。また、図１６のθが、基板２に設けられた２つのフィディシャルマーク２ａが基板２の辺となす角度と一致することが確認できた。
【００４４】
本発明は、上述の通り絶対精度補正、カメラ倒れ補正、温度補正の３つの機能を有しており、ある一定以上の精度で製造されている基板２とマスク３については全くティーチングを行わなくても、マスク３と基板２の位置合わせ精度を保証することができる。また、温度にも依存しないので、品質が安定したはんだ印刷を保証することができる。
【００４５】
なお、上述の形態は本発明の好適な形態の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。例えば、上述の説明では、カメラ倒れ補正工程をガラス治具方式としていたが、必ずしもこの方式に限るものではない。例えば、図１７に示すように、カメラ軸の倒れを直接測定することにより、ずれ量Ｄを求め、実際のカメラの軸座標に測定したずれ量Ｄを加えることにより、カメラ倒れ補正を行うようにしても良い。なお、図１７の例では、カメラが中心を基準に傾いていると仮定している。
【００４６】
また、上述の説明では、温度変化によるカメラ倒れ補正工程を温度補正治具１８を使用して行っていたが、必ずしもこの方法に限るものではない。例えば、予め温度とその温度のカメラ倒れ角度との対応関係を測定して記憶しておくと共に、はんだ印刷機１に温度センサを設置し、定期的に測定した温度に基づいてカメラの倒れ角度を推定し、この推定値に基づいて補正を行うようにしても良い。
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１記載の被検出体とマスクとの位置合わせ方法では、被検出体とマスクとの位置合わせと同じ位置合わせ動作で絶対精度補正値測定用のマスタ被検出体と絶対精度補正値測定用のマスタマスクとの位置合わせを行うようにすると共に、マスタマスクに形成された２つの認識マークと、これらの認識マークのそれぞれと一致するマスタ被検出体上の位置に形成された２つの基準マークとをカメラで撮像し、当該カメラの撮像画像を参照し、２つの認識マークの中心と該認識マークと一致する基準マークの中心を結ぶ２つのベクトルが長さが等しく且つ方向が逆となるようにマスタ被検出体側を移動させ、位置合わせ後のマスタ被検出体の位置である初期値とマスタ被検出体を最終位置に移動した際の差を計算し、計算で求めた絶対精度補正値を記憶し、この絶対精度補正値に基づき、被検出体とマスクとの位置合わせの補正を行うので、ティーチングを行わずに被検出体とマスクとの位置合わせ精度を保証することができる。
【００４８】
また、請求項２記載の被検出体とマスクとの位置合わせ方法では、位置合わせを行う被検出体の取付位置とマスクの取付位置とに、所定の間隔の格子が形成された透明の治具をそれぞれ配置し、被検出体の取付位置およびマスクの取付位置の格子毎の位置を位置合わせを行うカメラを用いて計測し、このカメラの倒れ補正値を求め記憶するカメラ倒れ補正工程を有しているので、被検出体とマスクとの位置合わせを行うカメラの傾斜を考慮して被検出体とマスクとの位置合わせを行うことができる。
【００４９】
さらに、請求項３記載の被検出体とマスクとの位置合わせ方法は、温度変化によるカメラ倒れ補正工程を備えているので、温度変化によるカメラの傾斜を考慮して位置合わせを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る被検出体とマスクとの位置合わせ方法を実施するはんだ印刷機の概略構成図である。
【図２】基板とマスクの位置合わせを行うアルゴリズムを示す概念図である。
【図３】ベクトルΔＡを求める概念を示す説明図である。
【図４】マスタマスクとマスタ基板を用いて絶対精度補正を行う様子を示す概念図である。
【図５】マスタマスクを示す平面図である。
【図６】マスタ基板を示す平面図である。
【図７】認識マークから基準マークが覗く様子を示す概念図である。
【図８】一方の補正用カメラの視野を示す概念図である。
【図９】他方の補正用カメラの視野を示す概念図である。
【図１０】絶対精度補正値を求める概念を示す説明図である。
【図１１】ガラス治具の平面図である。
【図１２】ガラス治具のドットを示す概念図である。
【図１３】各座標系間の関係を示す概念図である。
【図１４】印刷テーブルを３点動作させる様子を示す概念図である。
【図１５】温度補正治具を示す斜視図である。
【図１６】絶対精度位置ずれ量を検証した結果を示す図である。
【図１７】カメラ軸の傾斜を示す概念図である
【符号の説明】
２ 基板（被検出体）
３ マスク
７ 基板用カメラ
８ マスク用カメラ
１２ 認識マーク
１３ 基準マーク
１４ マスタマスク
Ｌ 認識マークと基準マークとの中心間とからなるベクトル
Claims (3)
- 被検出体とマスクとの位置合わせと同じ位置合わせ動作で絶対精度補正値測定用のマスタ被検出体と絶対精度補正値測定用のマスタマスクとの位置合わせを行うようにすると共に、上記マスタマスクに形成された２つの認識マークと、これらの認識マークのそれぞれと一致する上記マスタ被検出体上の位置に形成された２つの基準マークとをカメラで撮像し、当該カメラの撮像画像を参照し、上記２つの認識マークの中心と該認識マークと一致する基準マークの中心を結ぶ２つのベクトルが長さが等しく且つ方向が逆となるように上記マスタ被検出体側を移動させ、上記位置合わせ後の上記マスタ被検出体の位置である初期値と上記マスタ被検出体を最終位置に移動した際の差を計算し、計算で求めた絶対精度補正値を記憶し、この絶対精度補正値に基づき、上記被検出体と上記マスクとの位置合わせの補正を行うことを特徴とする被検出体とマスクとの位置合わせ方法。
- 位置合わせを行う被検出体の取付位置とマスクの取付位置とに、所定の間隔の格子が形成された透明の治具をそれぞれ配置し、上記被検出体の取付位置および上記マスクの取付位置の上記格子毎の位置を位置合わせを行うカメラを用いて計測し、このカメラの倒れ補正値を求め記憶するカメラ倒れ補正工程を有することを特徴とする請求項１記載の被検出体とマスクとの位置合わせ方法。
- 温度変化によるカメラ倒れ補正工程を備えていることを特徴とする請求項１又は２記載の被検出体とマスクとの位置合わせ方法。
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