WO2013145764A1 - 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は本発明の一実施形態に係る電子機器の一具体例すなわち超音波診断装置11の構成を概略的に示す。超音波診断装置11は装置端末12と超音波プローブ(プローブ)13とを備える。装置端末12と超音波プローブ13とはケーブル14で相互に接続される。装置端末12と超音波プローブ13とはケーブル14を通じて電気信号をやりとりする。装置端末12にはディスプレイパネル(表示装置)15が組み込まれる。ディスプレイパネル15の画面は装置端末12の表面で露出する。装置端末12では、後述されるように、超音波プローブ13で検出された超音波に基づき画像が生成される。画像化された検出結果がディスプレイパネル15の画面に表示される。
図3は第1実施形態に係る素子チップ17の平面図を概略的に示す。素子チップ17は基板21を備える。基板21の表面(第1面)には素子アレイ22が形成される。素子アレイ22は超音波トランスデューサー素子(以下「素子」という)23の配列で構成される。配列は複数行複数列のマトリクスで形成される。個々の素子23は圧電素子部を備える。圧電素子部は下部電極24、上部電極25および圧電体膜26で構成される。個々の素子23ごとに下部電極24および上部電極25の間に圧電体膜26が挟み込まれる。
図7に示されるように、集積回路はマルチプレクサー61および送受信回路62を備える。マルチプレクサー61は素子チップ17側のポート群61aと送受信回路62側のポート群61bとを備える。素子チップ17側のポート群61aには第1配線54経由で第1信号線38および第2信号線42が接続される。こうしてポート群61aは素子アレイ22に繋がる。ここでは、送受信回路62側のポート群61bには集積回路チップ55内の規定数の信号線63が接続される。規定数はスキャンにあたって同時に出力される素子23の列数に相当する。マルチプレクサー61はケーブル14側のポートと素子チップ17側のポートとの間で相互接続を管理する。
次に超音波診断装置11の動作を簡単に説明する。処理回路74は駆動/受信回路72に超音波の送信および受信を指示する。駆動/受信回路72はマルチプレクサー61に制御信号を供給するとともに個々のパルサー67に駆動信号を供給する。パルサー67は駆動信号の供給に応じてパルス信号を出力する。マルチプレクサー61は制御信号の指示に従ってポート群61bのポートにポート群61aのポートを接続する。パルス信号はポートの選択に応じて下部電極端子33、35および上部電極端子34、36を通じて列ごとに素子23に供給される。パルス信号の供給に応じて振動膜43は振動する。その結果、対象物(例えば人体の内部)に向けて所望の超音波は発せられる。
図8に示されるように、シリコンウエハー78の表面で個々の素子チップ17ごとに下部電極24、引き出し配線27および下部電極端子33、35(図8以降では図示されず)が形成される。下部電極24、引き出し配線27および下部電極端子33、35の形成に先立ってシリコンウエハー78の表面には酸化シリコン膜79および酸化ジルコニウム膜81が相次いで形成される。酸化ジルコニウム膜81の表面には導電膜が形成される。導電膜はチタン、イリジウム、白金およびチタンの積層膜で構成される。フォトリソグラフィ技術に基づき導電膜から下部電極24、引き出し配線27および下部電極端子33、35は成形される。
図12は第2実施形態に係る超音波トランスデューサー素子チップ17aを概略的に示す。この素子チップ17aでは基板21の裏面に複数の溝(溝部)86が配置される。溝86は仕切り壁51の下端で基板21の裏面を複数の平面87に分割する。複数の平面87は1つの仮想平面HP内で広がる。その仮想平面HP内で補強板52の表面は広がる。溝86は仮想平面HPから窪む。溝86の断面形状は四角形であってもよく三角形であってもよく半円形その他の形状であってもよい。図13に示されるように、平面87同士の間で溝86は基体44と補強板52との間に通気経路88a、88bを形成する。こうして溝86内の空間は開口45内の空間に接続される。通気経路88a、88bは開口45内の空間の内外を相互に接続する。こうして開口45内の空間と開口45の外側との間で通気が確保される。1列(ここでは1行)の開口45では次々に開口45同士は通気経路88aで接続される。列端の開口45と基板21の外縁の外側とは通気経路88bで接続される。こうして列端の開口45は基板21の外縁の外側に開放される。その他の構成は素子チップ17と同様に構成されることができる。図中、素子チップ17と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。
図15は第3実施形態に係る超音波トランスデューサー素子チップ17bを概略的に示す。この素子チップ17bでは基板21および補強板52の少なくとも一部は多孔質材で構成される。こうした多孔質材は少なくとも開口45同士の間や列端の開口45と基板21の外縁との間に配置される。ここでは、補強板52は多孔質材から形成される。多孔質材の孔は相互に連なって通気経路を形成する。その他の構成は素子チップ17と同様に構成されることができる。図中、素子チップ17と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。
Claims (9)
- 開口がアレイ状に配置された基板と、
前記基板の第1面において個々の前記開口に設けられる超音波トランスデューサー素子と、
前記基板の前記第1面とは反対側の前記基板の第2面に固定されて前記基板を補強する補強部材と、
前記開口の内部空間および前記基板の外部空間を相互に連通する通気経路と
を備えることを特徴とする超音波トランスデューサー素子チップ。 - 請求項1に記載の超音波トランスデューサー素子チップにおいて、前記補強部材は、アレイ状に配置された前記開口の間の前記基板の仕切り壁部に少なくとも1カ所の接合域で接合されることを特徴とする超音波トランスデューサー素子チップ。
- 請求項1または2に記載の超音波トランスデューサー素子チップにおいて、前記補強部材は、前記基板の前記第2面に重ねられる第1面を有し、前記通気経路は、前記補強部材の前記第1面に配置される溝部を含むことを特徴とする超音波トランスデューサー素子チップ。
- 請求項1または2に記載の超音波トランスデューサー素子チップにおいて、前記通気経路は、前記基板の前記第2面に配置されて前記開口同士を連通する溝部を含むことを特徴とする超音波トランスデューサー素子チップ。
- 請求項1または2に記載の超音波トランスデューサー素子チップにおいて、前記基板および前記補強部材の少なくとも一部は多孔質材で構成され、前記通気経路は当該多孔質材の孔を含むことを特徴とする超音波トランスデューサー素子チップ。
- 請求項1~5のいずれか1項に記載の超音波トランスデューサー素子チップと、前記超音波トランスデューサー素子チップを支持する筐体とを備えることを特徴とするプローブ。
- 請求項6に記載のプローブと、前記プローブに接続されて、前記超音波トランスデューサー素子の出力を処理する処理回路とを備えることを特徴とする電子機器。
- 請求項6に記載のプローブと、前記プローブに接続されて、前記超音波トランスデューサー素子の出力を処理し、画像を生成する処理回路と、前記画像を表示する表示装置とを備えることを特徴とする超音波診断装置。
- 請求項1~5のいずれか1項に記載の超音波トランスデューサー素子チップと、
前記超音波トランスデューサー素子チップを支持し、かつプローブのプローブ本体部に取付けられるようになっている筐体と、
を備えることを特徴とするプローブヘッド。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20130258803A1 (en) * | 2012-03-30 | 2013-10-03 | Seiko Epson Corporation | Ultrasonic transducer element chip, probe, electronic instrument, and ultrasonic diagnostic device |
US20130258802A1 (en) * | 2012-03-30 | 2013-10-03 | Seiko Epson Corporation | Ultrasonic transducer element chip, probe, electronic instrument, and ultrasonic diagnostic device |
US10265047B2 (en) | 2014-03-12 | 2019-04-23 | Fujifilm Sonosite, Inc. | High frequency ultrasound transducer having an ultrasonic lens with integral central matching layer |
US10478859B2 (en) | 2006-03-02 | 2019-11-19 | Fujifilm Sonosite, Inc. | High frequency ultrasonic transducer and matching layer comprising cyanoacrylate |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9184369B2 (en) | 2008-09-18 | 2015-11-10 | Fujifilm Sonosite, Inc. | Methods for manufacturing ultrasound transducers and other components |
US9173047B2 (en) | 2008-09-18 | 2015-10-27 | Fujifilm Sonosite, Inc. | Methods for manufacturing ultrasound transducers and other components |
JP5990930B2 (ja) * | 2012-02-24 | 2016-09-14 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置 |
JP6135088B2 (ja) * | 2012-10-12 | 2017-05-31 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサーデバイス、プローブヘッド、超音波プローブ、電子機器及び超音波診断装置 |
JP6175780B2 (ja) * | 2013-01-28 | 2017-08-09 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス、超音波プローブ、電子機器および超音波画像装置 |
JP6291814B2 (ja) * | 2013-11-29 | 2018-03-14 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサーデバイス、超音波測定装置及び超音波画像装置 |
JP6233581B2 (ja) * | 2013-12-26 | 2017-11-22 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波センサー及びその製造方法 |
JP6519212B2 (ja) * | 2014-03-27 | 2019-05-29 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子、圧電デバイスおよびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置 |
USD756818S1 (en) | 2014-07-10 | 2016-05-24 | Fujifilm Corporation | Probe for photoacoustic measurement device |
EP4091725A1 (en) | 2014-07-11 | 2022-11-23 | Microtech Medical Technologies Ltd. | Multi-cell transducer |
JP2016033970A (ja) * | 2014-07-31 | 2016-03-10 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイスおよびその製造方法並びにプローブおよび電子機器 |
JP6402983B2 (ja) * | 2014-08-29 | 2018-10-10 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス、超音波デバイスの製造方法、超音波プローブ、超音波測定装置、電子機器 |
JP6587051B2 (ja) * | 2015-03-24 | 2019-10-09 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波センサー及びその製造方法 |
JP6536792B2 (ja) * | 2015-03-25 | 2019-07-03 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波センサー及びその製造方法 |
JP6623596B2 (ja) * | 2015-07-24 | 2019-12-25 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス、超音波モジュール、電子機器、及び超音波測定装置 |
JP6597026B2 (ja) * | 2015-07-30 | 2019-10-30 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス及び超音波モジュール |
JP6672877B2 (ja) * | 2016-02-22 | 2020-03-25 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス、超音波プローブ、超音波装置、及び超音波デバイスの製造方法 |
US10821474B2 (en) * | 2016-05-11 | 2020-11-03 | EchoNous, Inc. | Systems and methods for ultrasound pulse generation using gallium nitride field effect transistors |
KR102019509B1 (ko) * | 2016-09-05 | 2019-09-09 | 엘지전자 주식회사 | 디스플레이 디바이스 |
JP6753293B2 (ja) * | 2016-12-09 | 2020-09-09 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス及び超音波装置 |
CN108652669A (zh) * | 2018-03-14 | 2018-10-16 | 业成科技(成都)有限公司 | 超音波感测器及其运作方法 |
JP7205191B2 (ja) * | 2018-11-22 | 2023-01-17 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波センサー、及び電子機器 |
CN112978671A (zh) * | 2019-12-13 | 2021-06-18 | 奥矽半导体技术有限公司 | 力测量和触摸感测集成电路器件 |
CN114367431B (zh) * | 2022-01-10 | 2023-05-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种换能器及其制备方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004503312A (ja) * | 2000-06-15 | 2004-02-05 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 容量性マイクロマシン超音波振動子 |
JP2009182838A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Kyoto Univ | 弾性波トランスデューサ、弾性波トランスデューサアレイ、超音波探触子、超音波撮像装置 |
JP2009254572A (ja) * | 2008-04-16 | 2009-11-05 | Olympus Medical Systems Corp | 超音波トランスデューサ及び電子機器 |
JP2010035134A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-02-12 | Canon Inc | 機械電気変換素子と機械電気変換装置および機械電気変換装置の作製方法 |
JP2010508888A (ja) * | 2006-11-03 | 2010-03-25 | リサーチ・トライアングル・インスティチュート | 撓みモードの圧電性変換器を用いる増強された超音波画像診断用プローブ |
JP2011025055A (ja) * | 2010-08-23 | 2011-02-10 | Olympus Corp | 静電容量型超音波振動子 |
JP2011077918A (ja) | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Murata Mfg Co Ltd | 超音波トランスデューサ |
JP2011082624A (ja) | 2009-10-02 | 2011-04-21 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 近接超音波センサ |
Family Cites Families (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63135609U (ja) * | 1987-02-26 | 1988-09-06 | ||
JP2832297B2 (ja) * | 1989-02-06 | 1998-12-09 | 岡村製油株式会社 | 水易分散性超微粒子マグネタイトの製造方法 |
US5297553A (en) * | 1992-09-23 | 1994-03-29 | Acuson Corporation | Ultrasound transducer with improved rigid backing |
JP3999473B2 (ja) * | 2000-04-19 | 2007-10-31 | 日本碍子株式会社 | 耐久性に優れた一体型圧電/電歪膜型素子およびその製造方法 |
US6518690B2 (en) | 2000-04-19 | 2003-02-11 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive film type elements and process for producing the same |
US6758094B2 (en) * | 2001-07-31 | 2004-07-06 | Koninklijke Philips Electronics, N.V. | Ultrasonic transducer wafer having variable acoustic impedance |
JP4537698B2 (ja) | 2003-12-25 | 2010-09-01 | 株式会社東芝 | 超音波診断装置 |
JP2005354582A (ja) | 2004-06-14 | 2005-12-22 | Seiko Epson Corp | 超音波トランスデューサ及びこれを用いた超音波スピーカ |
JP4513596B2 (ja) | 2004-08-25 | 2010-07-28 | 株式会社デンソー | 超音波センサ |
WO2006046471A1 (ja) | 2004-10-27 | 2006-05-04 | Olympus Corporation | 静電容量型超音波振動子及びその体腔内超音波診断システム |
JP4660752B2 (ja) | 2005-03-03 | 2011-03-30 | 本多電子株式会社 | 超音波プローブ、超音波プローブユニット、超音波画像検査装置 |
JP2006332799A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Matsushita Electric Works Ltd | 音響センサ |
JP4991145B2 (ja) * | 2005-11-30 | 2012-08-01 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータの検査方法 |
JP4742924B2 (ja) * | 2006-03-15 | 2011-08-10 | 株式会社デンソー | 超音波センサ |
US7730785B2 (en) * | 2006-04-26 | 2010-06-08 | Denso Corporation | Ultrasonic sensor and manufacture method of the same |
CA2825736A1 (en) * | 2006-11-03 | 2008-05-08 | Research Triangle Institute | Enhanced ultrasound imaging probes using flexure mode piezoelectric transducers |
JP5026770B2 (ja) | 2006-11-14 | 2012-09-19 | 株式会社日立メディコ | 超音波探触子及び超音波診断装置 |
JP5067034B2 (ja) | 2007-06-20 | 2012-11-07 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型振動子、発振器 |
JP2009231484A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Yamaha Corp | 圧電型memsおよび圧電型memsの製造方法 |
WO2010018532A2 (en) * | 2008-08-14 | 2010-02-18 | Koninklijke Philips Electronics, N.V. | Acoustic imaging apparatus with hands-free control |
JP5434109B2 (ja) | 2009-02-06 | 2014-03-05 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波センサーユニット |
JP5310119B2 (ja) | 2009-03-06 | 2013-10-09 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波センサーユニット |
US9327316B2 (en) * | 2009-06-30 | 2016-05-03 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Multi-frequency acoustic array |
US8345508B2 (en) * | 2009-09-20 | 2013-01-01 | General Electric Company | Large area modular sensor array assembly and method for making the same |
JP5671876B2 (ja) | 2009-11-16 | 2015-02-18 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー、超音波センサー、超音波トランスデューサーの製造方法、および超音波センサーの製造方法 |
JP5600431B2 (ja) * | 2009-12-28 | 2014-10-01 | 日本碍子株式会社 | 障害物の超音波検知デバイス |
JP5591549B2 (ja) * | 2010-01-28 | 2014-09-17 | 株式会社東芝 | 超音波トランスデューサ、超音波プローブ、超音波トランスデューサの製造方法 |
US9440258B2 (en) * | 2010-07-30 | 2016-09-13 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Thin film ultrasound transducer |
JP2012059770A (ja) | 2010-09-06 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 圧電素子、液滴噴射ヘッドおよび液滴噴射装置ならびにそれらの製造方法 |
JP5990930B2 (ja) * | 2012-02-24 | 2016-09-14 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置 |
JP6019671B2 (ja) * | 2012-03-30 | 2016-11-02 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波プローブ並びに電子機器および超音波診断装置 |
JP5900107B2 (ja) * | 2012-03-30 | 2016-04-06 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置 |
JP6102075B2 (ja) * | 2012-03-30 | 2017-03-29 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置 |
JP6135088B2 (ja) * | 2012-10-12 | 2017-05-31 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサーデバイス、プローブヘッド、超音波プローブ、電子機器及び超音波診断装置 |
JP6150159B2 (ja) * | 2013-02-04 | 2017-06-21 | 日立金属株式会社 | 発光ダイオードパッケージ用ガラスセラミック、それを用いたセラミック基板、および発光ダイオードパッケージ |
-
2012
- 2012-03-30 JP JP2012078672A patent/JP6102075B2/ja active Active
-
2013
- 2013-03-14 US US13/804,872 patent/US9079220B2/en active Active
- 2013-03-26 TW TW102110756A patent/TWI620601B/zh active
- 2013-03-28 EP EP13768858.6A patent/EP2832297A4/en not_active Withdrawn
- 2013-03-28 KR KR1020147030048A patent/KR101649436B1/ko active IP Right Grant
- 2013-03-28 CN CN201380016098.3A patent/CN104203109B/zh active Active
- 2013-03-28 WO PCT/JP2013/002147 patent/WO2013145764A1/ja active Application Filing
-
2015
- 2015-06-08 US US14/733,014 patent/US9554775B2/en active Active
-
2016
- 2016-12-19 US US15/383,684 patent/US10040098B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004503312A (ja) * | 2000-06-15 | 2004-02-05 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 容量性マイクロマシン超音波振動子 |
JP2010508888A (ja) * | 2006-11-03 | 2010-03-25 | リサーチ・トライアングル・インスティチュート | 撓みモードの圧電性変換器を用いる増強された超音波画像診断用プローブ |
JP2009182838A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Kyoto Univ | 弾性波トランスデューサ、弾性波トランスデューサアレイ、超音波探触子、超音波撮像装置 |
JP2009254572A (ja) * | 2008-04-16 | 2009-11-05 | Olympus Medical Systems Corp | 超音波トランスデューサ及び電子機器 |
JP2010035134A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-02-12 | Canon Inc | 機械電気変換素子と機械電気変換装置および機械電気変換装置の作製方法 |
JP2011077918A (ja) | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Murata Mfg Co Ltd | 超音波トランスデューサ |
JP2011082624A (ja) | 2009-10-02 | 2011-04-21 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 近接超音波センサ |
JP2011025055A (ja) * | 2010-08-23 | 2011-02-10 | Olympus Corp | 静電容量型超音波振動子 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
See also references of EP2832297A4 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10478859B2 (en) | 2006-03-02 | 2019-11-19 | Fujifilm Sonosite, Inc. | High frequency ultrasonic transducer and matching layer comprising cyanoacrylate |
US20130258803A1 (en) * | 2012-03-30 | 2013-10-03 | Seiko Epson Corporation | Ultrasonic transducer element chip, probe, electronic instrument, and ultrasonic diagnostic device |
US20130258802A1 (en) * | 2012-03-30 | 2013-10-03 | Seiko Epson Corporation | Ultrasonic transducer element chip, probe, electronic instrument, and ultrasonic diagnostic device |
US9079220B2 (en) * | 2012-03-30 | 2015-07-14 | Seiko Epson Corporation | Ultrasonic transducer element chip, probe, electronic instrument, and ultrasonic diagnostic device |
US9089872B2 (en) * | 2012-03-30 | 2015-07-28 | Seiko Epson Corporation | Ultrasonic transducer element chip, probe, electronic instrument, and ultrasonic diagnostic device |
US20150265246A1 (en) * | 2012-03-30 | 2015-09-24 | Seiko Epson Corporation | Ultrasonic transducer element chip, probe, electronic instrument, and ultrasonic diagnostic device |
US9554775B2 (en) | 2012-03-30 | 2017-01-31 | Seiko Epson Corporation | Ultrasonic transducer element chip, probe, electronic instrument, and ultrasonic diagnostic device |
US10040098B2 (en) | 2012-03-30 | 2018-08-07 | Seiko Epson Corporation | Ultrasonic transducer element chip, probe, electronic instrument, and ultrasonic diagnostic device |
US10265047B2 (en) | 2014-03-12 | 2019-04-23 | Fujifilm Sonosite, Inc. | High frequency ultrasound transducer having an ultrasonic lens with integral central matching layer |
US11083433B2 (en) | 2014-03-12 | 2021-08-10 | Fujifilm Sonosite, Inc. | Method of manufacturing high frequency ultrasound transducer having an ultrasonic lens with integral central matching layer |
US11931203B2 (en) | 2014-03-12 | 2024-03-19 | Fujifilm Sonosite, Inc. | Manufacturing method of a high frequency ultrasound transducer having an ultrasonic lens with integral central matching layer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104203109B (zh) | 2016-06-15 |
US9079220B2 (en) | 2015-07-14 |
KR101649436B1 (ko) | 2016-08-19 |
JP2013208148A (ja) | 2013-10-10 |
US20130258803A1 (en) | 2013-10-03 |
US9554775B2 (en) | 2017-01-31 |
US20150265246A1 (en) | 2015-09-24 |
TWI620601B (zh) | 2018-04-11 |
EP2832297A1 (en) | 2015-02-04 |
TW201338877A (zh) | 2013-10-01 |
JP6102075B2 (ja) | 2017-03-29 |
US10040098B2 (en) | 2018-08-07 |
KR20140148452A (ko) | 2014-12-31 |
US20170095838A1 (en) | 2017-04-06 |
EP2832297A4 (en) | 2015-11-18 |
CN104203109A (zh) | 2014-12-10 |
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