WO2013015163A1 - 排水の処理方法 - Google Patents

排水の処理方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2013015163A1
WO2013015163A1 PCT/JP2012/068151 JP2012068151W WO2013015163A1 WO 2013015163 A1 WO2013015163 A1 WO 2013015163A1 JP 2012068151 W JP2012068151 W JP 2012068151W WO 2013015163 A1 WO2013015163 A1 WO 2013015163A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
wastewater
aluminum
etching
copper
color filter
Prior art date
Application number
PCT/JP2012/068151
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
有 田中
太郎 吉田
Original Assignee
栗田工業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 栗田工業株式会社 filed Critical 栗田工業株式会社
Priority to KR1020137029322A priority Critical patent/KR101955048B1/ko
Priority to CN201280034853.6A priority patent/CN103687817B/zh
Publication of WO2013015163A1 publication Critical patent/WO2013015163A1/ja

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/52—Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities
    • C02F1/5236—Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities using inorganic agents
    • C02F1/5245—Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities using inorganic agents using basic salts, e.g. of aluminium and iron
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/58—Treatment of water, waste water, or sewage by removing specified dissolved compounds
    • C02F1/62—Heavy metal compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/52—Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/58—Treatment of water, waste water, or sewage by removing specified dissolved compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2101/00—Nature of the contaminant
    • C02F2101/10—Inorganic compounds
    • C02F2101/20—Heavy metals or heavy metal compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2103/00—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated
    • C02F2103/16—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated from metallurgical processes, i.e. from the production, refining or treatment of metals, e.g. galvanic wastes

Definitions

  • the present invention relates to a wastewater treatment method, and more particularly to a method for treating color filter wastewater or copper etching wastewater with aluminum etching wastewater.
  • Color filters used in television receivers and OA display devices generally have a light-shielding layer made of a resist agent containing metallic chromium (Cr) or a black pigment on a transparent substrate made of glass or the like by photolithography.
  • a transparent colored layer is formed on the light shielding layer, and a transparent conductive film and an alignment film are sequentially laminated on the colored layer.
  • a transparent protective film may be formed between the colored layer and the transparent conductive film.
  • a glass substrate is subjected to a cleaning treatment as necessary, followed by application of a photoresist by a coating apparatus, A pre-drying process using a vacuum drying apparatus, a pre-baking process using a pre-baking apparatus, a pattern exposure using an exposure apparatus, a developing process using a developing apparatus, and a post-baking process using a post-baking apparatus are sequentially performed to form a predetermined pattern on the glass substrate.
  • Patent Document 1 as a waste water treatment method for treating waste water from a color filter manufacturing apparatus, after separating a pigment component, ozone is injected to remove an organic component, and then a reverse osmosis membrane separation treatment is performed, followed by biological treatment. It is described to do.
  • a printed wiring board is manufactured by etching a metal-clad laminate laminated with metal foil or a plated substrate using an etching solution.
  • the metal is aluminum, hydrochloric acid or the like is used as the etching solution.
  • the etchant When etching a metal-clad laminate laminated with a metal foil such as copper or a printed wiring board that has been plated in advance such as electroless copper plating using an etchant, the etchant contains cupric chloride. An etchant or an etchant containing sulfuric acid and hydrogen peroxide is used.
  • Patent Document 2 describes that after wastewater is distilled and concentrated to distill acid other than phosphoric acid, phosphoric acid is crystallized and aluminum is separated and recovered as an aqueous solution. Has been.
  • Patent Document 3 paragraph 0004 discloses a method in which sodium hydroxide is added to copper etching wastewater to precipitate and remove it as a hydroxide, but it is described that a large amount of sludge is generated.
  • Patent Document 4 describes that after rare earth elements are added to copper etching wastewater, alkali is added to precipitate and separate copper.
  • Patent Document 5 describes that a photoresist-containing wastewater containing copper is first adjusted to acidity to insolubilize the photoresist, and then adjusted to pH 8 to 9 to precipitate and separate copper as copper hydroxide. ing.
  • color filter wastewater or copper etching wastewater and aluminum etching wastewater are mixed, and after adding a calcium compound, solid-liquid separation is performed.
  • This calcium compound is preferably calcium chloride or calcium hydroxide. After adding the calcium compound, the pH may be adjusted to 7 to 12, and the polymer flocculant may be added.
  • Aluminum phosphate drainage contains phosphoric acid component. Therefore, when calcium etching is added after mixing aluminum etching wastewater and color filter wastewater, calcium phosphate is generated, and aluminum hydroxide and turbidity in the color filter coprecipitate with calcium phosphate. Can be removed from the water.
  • the normal color filter wastewater to be treated in the first form contains turbidity of 100 to 5000 degrees, chromaticity of 1000 to 50000 degrees, TOC component of 100 to 5000 mg / L, and pH of 8 to 14.
  • the aluminum etching wastewater to be treated in the first embodiment is wastewater from the manufacturing process of electronic components such as integrated circuits, printed boards, color filters, and liquid crystal displays.
  • Normal aluminum etching wastewater contains aluminum 1-50 mg / L, TOC component 50-1000 mg / L derived from acetic acid, PO 4 -P component 50-3000 mg / L derived from phosphoric acid, pH 1-5 It is.
  • the color filter waste water and the aluminum etching waste water are preferably mixed in a volume ratio of 20: 1 to 1:20, particularly preferably 5: 1 to 1: 5. This mixing may be performed in a tank using a stirrer, or may be performed by a line mixer.
  • a calcium compound is added to the mixed waste water, and the PO 4 -P component contained in the aluminum etching waste water is reacted with the calcium compound to generate calcium phosphate.
  • the calcium compound calcium chloride or calcium hydroxide is suitable.
  • the addition amount of the calcium compound is preferably 0.5 to 20 times, particularly 0.5 to 10 times, particularly 1 to 5 times the chemical equivalent of the PO 4 -P component in the waste water.
  • calcium chloride is added, it is preferably added as an aqueous solution thereof.
  • the pH is preferable to adjust the pH to 7 to 12, particularly 9 to 11, by adding an alkali such as sodium hydroxide or calcium hydroxide.
  • an alkali such as sodium hydroxide or calcium hydroxide.
  • a polymer flocculant is further added to grow the aggregate to promote sedimentation.
  • a cationic polymer flocculant an anionic polymer flocculant, an amphoteric polymer flocculant and the like are suitable.
  • the amount of the polymer flocculant added is preferably 1 to 50 mg / L, more preferably 1 to 20 mg / L, and particularly preferably about 1 to 10 mg / L.
  • Solid-liquid separation means various solid-liquid separation devices such as a sedimentation tank, a membrane separation device, and a centrifugal separator can be used.
  • Aluminum etching wastewater and copper etching wastewater to be treated in the second embodiment are wastewater from the manufacturing process of electronic components such as integrated circuits, printed boards, color filters, and liquid crystal displays.
  • Normal aluminum etching wastewater contains aluminum 1-50 mg / L, TOC component 50-1000 mg / L derived from acetic acid, PO 4 -P component 50-3000 mg / L derived from phosphoric acid, pH 1-5 It is.
  • normal copper etching wastewater contains 1 to 50 mg / L of copper, 10 to 1000 mg / L of TOC component derived from photosensitive organic matter, and has a pH of 2 to 8.
  • the aluminum etching wastewater and the copper etching wastewater are preferably mixed in a volume ratio of 20: 1 to 1:20, particularly preferably 5: 1 to 1: 5.
  • This mixing may be performed in a tank using a stirrer, or may be performed by a line mixer.
  • a calcium compound is added to the mixed waste water, and the PO 4 -P component contained in the aluminum etching waste water is reacted with the calcium compound to generate calcium phosphate.
  • the calcium compound calcium chloride or calcium hydroxide is suitable.
  • the addition amount of the calcium compound is preferably 0.5 to 20 times, particularly 0.5 to 10 times, particularly 1 to 5 times the chemical equivalent of the PO 4 -P component in the waste water.
  • calcium chloride is added, it is preferably added as an aqueous solution thereof.
  • the pH is preferable to adjust the pH to 7 to 12, particularly 9 to 11, by adding an alkali such as sodium hydroxide or calcium hydroxide.
  • an alkali such as sodium hydroxide or calcium hydroxide.
  • a polymer flocculant is further added to grow the aggregate to promote sedimentation.
  • a cationic polymer flocculant an anionic polymer flocculant, an amphoteric polymer flocculant and the like are suitable.
  • the amount of the polymer flocculant added is preferably 1 to 50 mg / L, more preferably 1 to 20 mg / L, and particularly preferably about 1 to 10 mg / L.
  • Solid-liquid separation means various solid-liquid separation devices such as a sedimentation tank, a membrane separation device, and a centrifugal separator can be used.
  • Table 1 shows the properties of the aluminum etching waste water and the color filter waste water used in Examples I-1 to I-8 and Comparative Examples I-1 to I-9.
  • Example I-1 The color filter waste water and aluminum etching waste water are mixed at a volume ratio of 4: 1 (Example I-1), 1: 1 (Example I-2) or 1: 4 (Example I-3).
  • Example I-1 The color filter waste water and aluminum etching waste water are mixed at a volume ratio of 4: 1 (Example I-1), 1: 1 (Example I-2) or 1: 4 (Example I-3).
  • Example I-1 The color filter waste water and aluminum etching waste water are mixed at a volume ratio of 4: 1 (Example I-1), 1: 1 (Example I-2) or 1: 4 (Example I-3).
  • an anionic polymer flocculant Kurita Industrial Co., Ltd. Cliff Rock PA331
  • Table 2 shows the quality of the supernatant water and the concentration of the settled sludge.
  • Examples I-4, I-5 The treatment was performed in the same manner as in Example I-3, except that the pH was adjusted to 8 (Example I-4) or 6 (Example I-5).
  • Table 2 shows the quality of the supernatant water and the concentration of the settled sludge.
  • Examples I-6, I-7, I-8 The treatment was performed in the same manner except that the amount of calcium chloride added was less than in Examples I-1, I-2, and I-3. Table 3 shows the amount of calcium chloride added, the quality of the supernatant water, and the concentration of settled sludge.
  • Comparative Example I-2 Color filter wastewater was treated in the same manner as Comparative Example I-1, except that the amount of polyiron sulfate added was 10000 mg / L. Table 4 shows the quality of supernatant water and the concentration of settled sludge.
  • aluminum etching waste water and color filter waste water can be treated at the same time to obtain treated water having low chromaticity, turbidity and phosphorus concentration. Moreover, according to the method of the present invention, the amount of sludge can be reduced.
  • Table 6 shows the properties of aluminum etching waste water and copper etching waste water used in Examples II-1 to II-8 and Comparative Examples II-1 to II-9.
  • Example II-1, II-2, II-3 The copper etching waste water and the aluminum etching waste water are mixed at a volume ratio of 4: 1 (Example II-1), 1: 1 (Example II-2) or 1: 4 (Example II-3).
  • Example II-1 The copper etching waste water and the aluminum etching waste water are mixed at a volume ratio of 4: 1 (Example II-1), 1: 1 (Example II-2) or 1: 4 (Example II-3).
  • Example II-1 pH adjusted to 8.0 (Examples II-1 and II-2) or 10 (Example II-3) with sodium hydroxide
  • Anionic polymer flocculant (Kurita Kogyo Co., Ltd. Cliff Rock PA331) was added at 2 mg / L, and the precipitate was separated.
  • Table 7 shows the quality of the supernatant water and the concentration of the settled sludge.
  • Example II-4 and II-5 The treatment was performed in the same manner as in Example II-3, except that the pH was adjusted to 8 (Example II-4) or 6 (Example II-5) with sodium hydroxide.
  • Table 7 shows the quality of the supernatant water and the concentration of the settled sludge.
  • Examples II-6, II-7, II-8 The treatment was performed in the same manner except that the amount of calcium chloride added was reduced by 500 mg / L from Examples II-1, II-2, and II-3.
  • Table 8 shows the amount of calcium chloride added, the quality of the supernatant water, and the sludge concentration.
  • Comparative Example II-2 The copper etching waste water was treated in the same manner as in Comparative Example II-1, except that the addition amount of the ferric chloride aqueous solution was 100 mg / L. Table 9 shows the quality of supernatant water and the concentration of settled sludge.
  • aluminum etching waste water and copper etching waste water can be treated at the same time to obtain treated water with low aluminum concentration and copper concentration. Moreover, according to the method of the present invention, the amount of sludge can be reduced.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Hydrology & Water Resources (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Water Supply & Treatment (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Separation Of Suspended Particles By Flocculating Agents (AREA)
  • Removal Of Specific Substances (AREA)

Abstract

　アルミエッチング排水とカラーフィルタ排水又は銅エッチング排水とを同時に処理することができ、処理設備が１系統で足りると共に、発生するスラッジ量も少ない排水の処理方法を提供する。アルミエッチング排水とカラーフィルタ排水又は銅エッチング排水とを混合し、カルシウム化合物を添加した後、固液分離する。アルミエッチング排水にはリン酸成分が含まれているため、アルミエッチング排水とカラーフィルタ排水又は銅エッチング排水を混合した後、カルシウム化合物を添加すると、リン酸カルシウムが生成し、水酸化アルミニウムと、濁質又は水酸化銅がリン酸カルシウムと共沈し、アルミニウム及び各種金属が同時に水中から除去される。

Description

排水の処理方法
　本発明は、排水の処理方法に係り、特にカラーフィルタ排水又は銅エッチング排水とアルミエッチング排水とを混合して処理する方法に関する。
　テレビジョン受像機やＯＡ用の表示装置に用いられるカラーフィルタは、一般にガラス等からなる透明基板上に、金属クロム（Ｃｒ）あるいは黒色顔料を含有するレジスト剤等からなる遮光層がフォトリソグラフィ法によって所定パターンに形成され、この遮光層上に透明な着色層が形成され、この着色層上に透明導電膜、配向膜が順次積層して形成されている。着色層と透明導電膜との間に透明保護膜が形成されることもある。
　ブラックマトリックス、着色画素、及び付随する各層をフォトリソグラフィ法によりパターンとして形成する際には、例えば、先ずガラス基板に対して必要に応じた洗浄処理を施し、続いて塗布装置によるフォトレジストの塗布、減圧乾燥装置による予備乾燥処理、プリベーク装置によるプリベーク処理、露光装置によるパターン露光、現像装置による現像処理、ポストベーク装置によるポストベーク処理が順次に施され、ガラス基板に所定のパターンを形成する。
　特許文献１には、カラーフィルタ製造装置からの廃水を処理する廃水処理方法として、顔料成分を分離した後、オゾンを注入して有機成分を除去し、次いで逆浸透膜分離処理した後、生物処理することが記載されている。
　プリント配線基板は、金属箔がラミネートされた金属張積層板やめっきが施された基板をエッチング液を用いてエッチングすることにより製造される。金属がアルミニウムである場合、エッチング液としては、塩酸などが用いられる。
　銅などの金属箔がラミネートされた金属張積層板や予め無電解銅めっき等のめっきが施されたプリント配線基板をエッチング液を用いてエッチングする場合、エッチング液としては、塩化第二銅を含むエッチング液や硫酸及び過酸化水素を含むエッチング液などが用いられる。
　金属成分を含有するエッチング排水の処理方法としては、ｐＨ調整により金属成分を不溶化し、固液分離することが広く行われている。
　アルミエッチング工程排水の処理方法として、特許文献２には、排水を蒸留濃縮してリン酸以外の酸を留出させた後、リン酸を晶析させ、アルミを水溶液として分離回収することが記載されている。
　特許文献３の０００４段落には、銅エッチング排水に水酸化ナトリウムを添加し、水酸化物として沈殿除去する方法が知られているが、生成するスラッジ量が多いことが記載されている。
　特許文献４には、銅エッチング排水に希土類元素を添加した後、アルカリを添加して銅を沈殿分離することが記載されている。
　特許文献５には、銅を含むフォトレジスト含有排水を、まず酸性に調整してフォトレジストを不溶化し、次いでｐＨ８～９に調整して銅を水酸化銅として析出させて分離することが記載されている。
　アルミエッチング排水と銅エッチング排水をｐＨ調整により処理する場合、アルミニウムと銅の析出ｐＨが異なるので、従来は別々に処理されている。
特開２００８－６４２ 特開２００６－６９８４５ 特開２０１０－７７５２１ 特開２００４－１８３０３６ 特開２００６－２５５６６８
　アルミエッチング排水とカラーフィルタ排水又は銅エッチング排水を処理する場合、従来は別々に処理されていた。そのため、処理設備が２系統必要になると共に、各設備からそれぞれ多量のスラッジが発生する。
　本発明は、アルミエッチング排水とカラーフィルタ排水又は銅エッチング排水とを処理することができ、処理設備が１系統で足りると共に、発生するスラッジ量も少ないエッチング排水の処理方法を提供することを目的とする。
　本発明の排水の処理方法では、カラーフィルタ排水又は銅エッチング排水とアルミエッチング排水とを混合し、カルシウム化合物を添加した後、固液分離する。
　このカルシウム化合物としては塩化カルシウム又は水酸化カルシウムが好適である。カルシウム化合物を添加した後、ｐＨを７～１２とし、高分子凝集剤を添加してもよい。
　アルミエッチング排水にはリン酸成分が含まれている。そのため、アルミエッチング排水とカラーフィルタ排水を混合した後、カルシウム化合物を添加すると、リン酸カルシウムが生成し、水酸化アルミと、カラーフィルタ中の濁質がリン酸カルシウムと共沈するので、アルミ及び各種金属を同時に水中から除去することができる。
　アルミエッチング排水と銅エッチング排水を混合した後、カルシウム化合物を添加すると、リン酸カルシウムが生成し、水酸化銅及び水酸化アルミニウムがリン酸カルシウムと共沈するので、アルミニウム及び銅を同時に水中から除去することができる。
［カラーフィルタ排水とアルミエッチング排水とを混合して処理する第１形態］
　第１形態で処理対象となる通常のカラーフィルタ排水には、濁度１００～５０００度、色度１０００～５００００度、ＴＯＣ成分１００～５０００ｍｇ／Ｌが含まれており、ｐＨ８～１４である。
　第１形態で処理対象となるアルミエッチング排水は、集積回路、プリント基板、カラーフィルター、液晶ディスプレイ等の電子部品の製造工程からの排水である。通常のアルミエッチング排水にはアルミニウム１～５０ｍｇ／Ｌ、酢酸に由来するＴＯＣ成分５０～１０００ｍｇ／Ｌ、リン酸に由来するＰＯ４－Ｐ成分５０～３０００ｍｇ／Ｌが含まれており、ｐＨ１～５である。
　第１形態では、このカラーフィルタ排水とアルミエッチング排水とを好ましくは容量比で２０：１～１：２０、特に好ましくは５：１～１：５の範囲で混合する。この混合は槽内で攪拌機を用いて行われてもよく、ラインミキサで行われてもよい。
　この混合排水に対しカルシウム化合物を添加し、アルミエッチング排水に含まれていたＰＯ４－Ｐ成分と該カルシウム化合物とを反応させてリン酸カルシウムを生成させる。カルシウム化合物としては、塩化カルシウム、又は水酸化カルシウムが好適である。カルシウム化合物の添加量は、排水中のＰＯ４－Ｐ成分の化学当量の０．５～２０倍特に０．５～１０倍とりわけ１～５倍程度が好適である。塩化カルシウムを添加する場合、その水溶液として添加するのが好ましい。
　カルシウム化合物を添加した後、水酸化ナトリウム又は水酸化カルシウムなどのアルカリを添加してｐＨを７～１２特に９～１１に調整するのが好ましい。これにより、アルミニウム及びその他の金属（例えば、クロム、銅）が水酸化物として析出し、先に析出しているリン酸カルシウムに付着ないし吸着し、共沈する。
　第１形態では、ｐＨ調整の後、さらに高分子凝集剤を添加して凝集物を成長させ、沈降を促進させるのが好ましい。高分子凝集剤としては、カチオン系高分子凝集剤、アニオン系高分子凝集剤、両性高分子凝集剤などが好適である。高分子凝集剤の添加量は１～５０ｍｇ／Ｌ、特に１～２０ｍｇ／Ｌ、とりわけ１～１０ｍｇ／Ｌ程度が好適である。
　凝集処理後の液を固液分離してスラッジを分離する。固液分離手段としては、沈降槽、膜分離装置、遠心分離機など各種の固液分離装置を用いることができる。
［銅エッチング排水とアルミエッチング排水とを混合処理する第２形態］
　第２形態で処理対象となるアルミエッチング排水、銅エッチング排水は、集積回路、プリント基板、カラーフィルター、液晶ディスプレイ等の電子部品の製造工程からの排水である。通常のアルミエッチング排水にはアルミニウム１～５０ｍｇ／Ｌ、酢酸に由来するＴＯＣ成分５０～１０００ｍｇ／Ｌ、リン酸に由来するＰＯ４－Ｐ成分５０～３０００ｍｇ／Ｌが含まれており、ｐＨ１～５である。また、通常の銅エッチング排水には、銅１～５０ｍｇ／Ｌ、感光性有機物に由来するＴＯＣ成分１０～１０００ｍｇ／Ｌが含まれており、ｐＨ２～８である。
　第２形態では、このアルミエッチング排水と銅エッチング排水とを好ましくは容量比で２０：１～１：２０、特に好ましくは５：１～１：５の範囲で混合する。この混合は槽内で攪拌機を用いて行われてもよく、ラインミキサで行われてもよい。
　この混合排水に対しカルシウム化合物を添加し、アルミエッチング排水に含まれていたＰＯ４－Ｐ成分と該カルシウム化合物とを反応させてリン酸カルシウムを生成させる。カルシウム化合物としては、塩化カルシウム、又は水酸化カルシウムが好適である。カルシウム化合物の添加量は、排水中のＰＯ４－Ｐ成分の化学当量の０．５～２０倍特に０．５～１０倍とりわけ１～５倍程度が好適である。塩化カルシウムを添加する場合、その水溶液として添加するのが好ましい。
　カルシウム化合物を添加した後、水酸化ナトリウム又は水酸化カルシウムなどのアルカリを添加してｐＨを７～１２特に９～１１に調整するのが好ましい。これにより、アルミニウム及び銅のいずれもが水酸化物として析出し、先に析出しているリン酸カルシウムに付着ないし吸着し、共沈する。リン酸カルシウムは、アルミニウムや銅の水酸化物に比べて沈降性が良好であり、該水酸化物がリン酸カルシウムと共沈する。
　第２形態では、ｐＨ調整の後、さらに高分子凝集剤を添加して凝集物を成長させ、沈降を促進させるのが好ましい。高分子凝集剤としては、カチオン系高分子凝集剤、アニオン系高分子凝集剤、両性高分子凝集剤などが好適である。高分子凝集剤の添加量は１～５０ｍｇ／Ｌ、特に１～２０ｍｇ／Ｌ、とりわけ１～１０ｍｇ／Ｌ程度が好適である。
　凝集処理後の液を固液分離してスラッジを分離する。固液分離手段としては、沈降槽、膜分離装置、遠心分離機など各種の固液分離装置を用いることができる。
＜第１形態の実施例及び比較例＞
　実施例Ｉ－１～Ｉ－８及び比較例Ｉ－１～Ｉ－９で用いたアルミエッチング排水及びカラーフィルタ排水の性状は表１の通りである。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
［実施例Ｉ－１，Ｉ－２，Ｉ－３］
　上記カラーフィルタ排水とアルミエッチング排水とを容量比で４：１（実施例Ｉ－１）、１：１（実施例Ｉ－２）又は１：４（実施例Ｉ－３）の割合で混合し、塩化カルシウムを表２で示す添加量にて添加した後、水酸化ナトリウムにてｐＨを１０．０に調整し、アニオン系高分子凝集剤（栗田工業（株）クリフロックＰＡ３３１）を５ｍｇ／Ｌ添加し、沈降分離した。上澄水の水質と沈降したスラッジの濃度を表２に示す。
［実施例Ｉ－４，Ｉ－５］
　実施例Ｉ－３において、ｐＨを８（実施例Ｉ－４）又は６（実施例Ｉ－５）に調整したこと以外は同様にして処理を行った。上澄水の水質と沈降したスラッジの濃度を表２に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
［実施例Ｉ－６，Ｉ－７，Ｉ－８］
　塩化カルシウムの添加量を実施例Ｉ－１，Ｉ－２，Ｉ－３よりも少なくしたこと以外は同様にして処理を行った。塩化カルシウムの添加量、上澄水の水質、沈降したスラッジ濃度を表３に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
［比較例Ｉ－１］
　上記カラーフィルタ排水にポリ硫酸鉄を７０００ｍｇ／Ｌ添加し、ｐＨを８．５に調整し、スラッジを沈降させた。上澄水の水質と沈降したスラッジ濃度とを表４に示す。
［比較例Ｉ－２］
　ポリ硫酸鉄の添加量を１００００ｍｇ／Ｌとしたこと以外は比較例Ｉ－１と同様にしてカラーフィルタ排水を処理した。上澄水の水質と沈降したスラッジ濃度とを表４に示す。
［比較例Ｉ－３］
　上記アルミエッチング排水にポリ硫酸鉄を６６００００ｍｇ／Ｌ添加し、ｐＨを７．０に調整し、アニオン系高分子凝集剤（栗田工業（株）クリフロックＰＡ３３１）を５ｍｇ／Ｌ添加しスラッジを沈降させた。上澄水の水質と沈降したスラッジ濃度とを表４に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
［比較例Ｉ－４］
　上記カラーフィルタ排水に塩化カルシウムを１０００ｍｇ／Ｌ添加し、ｐＨを６に調整し、スラッジを沈降させた。上澄水の水質と沈降したスラッジの濃度を表５に示す。
［比較例Ｉ－５，Ｉ－６］
　比較例Ｉ－４において、ｐＨを８（比較例Ｉ－５）又は１０（比較例Ｉ－６）に調整したこと以外は同様にして処理を行った。上澄水の水質と沈降したスラッジの濃度を表５に示す。
［比較例Ｉ－７］
　上記アルミエッチング排水に塩化カルシウムを５０００ｍｇ／Ｌ添加し、ｐＨを６に調整し、スラッジを沈降させた。上澄水の水質と沈降したスラッジの濃度を表５に示す。
［比較例Ｉ－８，Ｉ－９］
　比較例Ｉ－７において、ｐＨを８（比較例Ｉ－８）又は１０（比較例Ｉ－９）に調整したこと以外は同様にして処理を行った。上澄水の水質と沈降したスラッジの濃度を表５に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000005
　表１～５の通り、本発明方法によると、アルミエッチング排水とカラーフィルタ排水とを同時に処理し、色度、濁度及びリン濃度の低い処理水を得ることができる。また、本発明方法によるとスラッジ量を減らすことができる。
＜第２形態の実施例及び比較例＞
　以下の実施例II－１～II－８及び比較例II－１～II－９で用いたアルミエッチング排水及び銅エッチング排水の性状は表６の通りである。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
［実施例II－１，II－２，II－３］
　上記銅エッチング排水とアルミエッチング排水とを容量比で４：１（実施例II－１）、１：１（実施例II－２）又は１：４（実施例II－３）の割合で混合し、塩化カルシウムを表７で示す添加量にて添加した後、水酸化ナトリウムにてｐＨを８．０（実施例II－１及びII－２）又は１０（実施例II－３）に調整し、アニオン系高分子凝集剤（栗田工業（株）クリフロックＰＡ３３１）を２ｍｇ／Ｌ添加し、沈降分離した。上澄水の水質と沈降したスラッジの濃度を表７に示す。
［実施例II－４，II－５］
　実施例II－３において、水酸化ナトリウムによりｐＨを８（実施例II－４）又は６（実施例II－５）に調整したこと以外は同様にして処理を行った。上澄水の水質と沈降したスラッジの濃度を表７に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
［実施例II－６，II－７，II－８］
　塩化カルシウムの添加量を実施例II－１，II－２，II－３よりも５００ｍｇ／Ｌずつ少なくしたこと以外は同様にして処理を行った。塩化カルシウムの添加量、上澄水の水質、スラッジ濃度を表８に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000008
［比較例II－１］
　上記銅エッチング排水に３８重量％濃度の塩化第二鉄水溶液を２００ｍｇ／Ｌ添加し、ｐＨを９．０に調整し、スラッジを沈降させた。上澄水の水質と沈降したスラッジ濃度とを表９に示す。
［比較例II－２］
　塩化第二鉄水溶液の添加量を１００ｍｇ／Ｌとしたこと以外は比較例II－１と同様にして銅エッチング排水を処理した。上澄水の水質と沈降したスラッジ濃度とを表９に示す。
［比較例II－３］
　上記アルミエッチング排水に３８重量％濃度の塩化第二鉄水溶液を５５０，０００ｍｇ／Ｌ添加し、ｐＨを７．０に調整し、アニオン系高分子凝集剤（栗田工業（株）クリロックＰＡ３３１）を５ｍｇ／Ｌ添加し、スラッジを沈降させた。上澄水の水質とスラッジ濃度とを表９に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000009
［比較例II－４］
　上記カラーフィルタ排水に塩化カルシウムを１０００ｍｇ／Ｌ添加し、ｐＨを６に調整し、スラッジを沈降させた。上澄水の水質と沈降したスラッジの濃度を表１０に示す。
［比較例II－５，II－６］
　比較例II－４において、ｐＨを８（比較例II－５）又は１０（比較例II－６）に調整したこと以外は同様にして処理を行った。上澄水の水質と沈降したスラッジの濃度を表１０に示す。
［比較例II－７］
　上記アルミエッチング排水に塩化カルシウムを５０００ｍｇ／Ｌ添加し、ｐＨを６に調整し、スラッジを沈降させた。上澄水の水質と沈降したスラッジの濃度を表１０に示す。
［比較例II－８，II－９］
　比較例II－７において、ｐＨを８（比較例II－８）又は１０（比較例II－９）に調整したこと以外は同様にして処理を行った。上澄水の水質と沈降したスラッジの濃度を表１０に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000010
　表６～１０の通り、本発明方法によると、アルミエッチング排水と銅エッチング排水とを同時に処理し、アルミ濃度及び銅濃度の低い処理水を得ることができる。また、本発明方法によるとスラッジ量を減らすことができる。
　本発明を特定の態様を用いて詳細に説明したが、本発明の意図と範囲を離れることなく様々な変更が可能であることは当業者に明らかである。
　なお、本出願は、２０１１年７月２２日付で出願された日本特許出願（特願２０１１－１６１１０５）及び日本特許出願（特願２０１１－１６１１０６）に基づいており、その全体が引用により援用される。

Claims (10)

  1. 　アルミエッチング排水とカラーフィルタ排水又は銅エッチング排水とを混合し、カルシウム化合物を添加した後、固液分離することを特徴とする排水の処理方法。
  2. 　請求項１において、カルシウム化合物は塩化カルシウム又は水酸化カルシウムであることを特徴とする排水の処理方法。
  3. 　請求項１又は２において、カルシウム化合物を添加した後、ｐＨを７～１２とすることを特徴とする排水の処理方法。
  4. 　請求項１ないし３のいずれか１項において、固液分離に先立って高分子凝集剤を添加することを特徴とする排水の処理方法。
  5. 　請求項１ないし４のいずれか１項において、アルミエッチング排水はアルミニウムを１～５０ｍｇ／Ｌ、ＰＯ４－Ｐを５０～３０００ｍｇ／Ｌ含み、ｐＨ１～５であることを特徴とする排水の処理方法。
  6. 　請求項１ないし５のいずれか１項において、カルシウム化合物を排水中のＰＯ４－Ｐの化学当量の０．５～２０倍添加することを特徴とする排水の処理方法。
  7. 　請求項１ないし６のいずれか１項において、カラーフィルタ排水とアルミエッチング排水とを容量比で２０：１～１：２０の範囲で混合することを特徴とする排水の処理方法。
  8. 　請求項７において、カラーフィルタ排水がＴＯＣを１００～５０００ｍｇ／Ｌ含み、ｐＨ８～１４であることを特徴とする排水の処理方法。
  9. 　請求項１ないし６のいずれか１項において、銅エッチング排水とアルミエッチング排水とを容量比で２０：１～１：２０の範囲で混合することを特徴とする排水の処理方法。
  10. 　請求項９において、銅エッチング排水は、銅を１～５０ｍｇ／Ｌ含み、ｐＨ２～８であることを特徴とする排水の処理方法。
PCT/JP2012/068151 2011-07-22 2012-07-18 排水の処理方法 WO2013015163A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020137029322A KR101955048B1 (ko) 2011-07-22 2012-07-18 배수의 처리 방법
CN201280034853.6A CN103687817B (zh) 2011-07-22 2012-07-18 排水的处理方法

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011-161105 2011-07-22
JP2011161106 2011-07-22
JP2011-161106 2011-07-22
JP2011161105 2011-07-22

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2013015163A1 true WO2013015163A1 (ja) 2013-01-31

Family

ID=47601013

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2012/068151 WO2013015163A1 (ja) 2011-07-22 2012-07-18 排水の処理方法

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JPWO2013015163A1 (ja)
KR (1) KR101955048B1 (ja)
CN (1) CN103687817B (ja)
TW (1) TWI534093B (ja)
WO (1) WO2013015163A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014126081A1 (ja) * 2013-02-13 2014-08-21 栗田工業株式会社 カラーフィルター製造工程における現像排水の処理方法
JP2017501300A (ja) * 2013-11-20 2017-01-12 プライメタルズ・テクノロジーズ・オーストリア・ゲーエムベーハー 一定の条件で還元ガスを供給するための方法及び装置
CN110304780A (zh) * 2019-07-24 2019-10-08 东江环保股份有限公司 Tft-lcd阵列基板铜导线刻蚀废水的处理方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110482696B (zh) * 2019-07-31 2020-06-30 广西大学 阻断厌氧颗粒污泥钙化的复合磷基钙化抑制剂及应用方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004050096A (ja) * 2002-07-22 2004-02-19 National Institute Of Advanced Industrial & Technology スラッジを出さず有害物質を含む排水を処理する方法及びそれに使用する薬剤
JP2004175652A (ja) * 2002-06-07 2004-06-24 Showa Denko Kk 希土類元素を含有する廃液から希土類酸化物を回収する方法
JP2006231163A (ja) * 2005-02-23 2006-09-07 Kurita Water Ind Ltd 希土類含有排水の処理方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101353178B (zh) * 2002-06-07 2011-07-06 昭和电工株式会社 回收稀土氢氧化物或氧化物的方法、生产磨料的方法、重新使用磨料的方法和抛光方法
JP3909521B2 (ja) 2002-12-02 2007-04-25 独立行政法人産業技術総合研究所 銅エッチング廃液の処理方法及びそれに使用する薬剤
JP4766858B2 (ja) 2004-09-02 2011-09-07 日本リファイン株式会社 リン酸およびリン酸以外の少なくとも１種の酸とを含む金属含有混酸水溶液からリン酸を回収する方法および装置
JP4743388B2 (ja) 2005-03-18 2011-08-10 栗田工業株式会社 フォトレジスト含有排水の処理方法
CN100402442C (zh) * 2005-11-17 2008-07-16 常州市裕和金属材料有限公司 一种酸性蚀刻废液的高效环保处理方法
JP2008000642A (ja) 2006-06-20 2008-01-10 Toppan Printing Co Ltd カラーフィルタ製造装置の廃水の処理方法
JP5215111B2 (ja) 2008-08-25 2013-06-19 水ｉｎｇ株式会社 銅含有酸性廃液からの銅の回収方法及び装置
KR20120024637A (ko) * 2009-05-12 2012-03-14 솔베이(소시에떼아노님) 폐액으로부터의 인산염 효용가치를 회복시키는 방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004175652A (ja) * 2002-06-07 2004-06-24 Showa Denko Kk 希土類元素を含有する廃液から希土類酸化物を回収する方法
JP2004050096A (ja) * 2002-07-22 2004-02-19 National Institute Of Advanced Industrial & Technology スラッジを出さず有害物質を含む排水を処理する方法及びそれに使用する薬剤
JP2006231163A (ja) * 2005-02-23 2006-09-07 Kurita Water Ind Ltd 希土類含有排水の処理方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014126081A1 (ja) * 2013-02-13 2014-08-21 栗田工業株式会社 カラーフィルター製造工程における現像排水の処理方法
JP2017501300A (ja) * 2013-11-20 2017-01-12 プライメタルズ・テクノロジーズ・オーストリア・ゲーエムベーハー 一定の条件で還元ガスを供給するための方法及び装置
CN110304780A (zh) * 2019-07-24 2019-10-08 东江环保股份有限公司 Tft-lcd阵列基板铜导线刻蚀废水的处理方法
CN110304780B (zh) * 2019-07-24 2022-02-18 东江环保股份有限公司 Tft-lcd阵列基板铜导线刻蚀废水的处理方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN103687817A (zh) 2014-03-26
CN103687817B (zh) 2015-08-19
KR20140040711A (ko) 2014-04-03
TW201311573A (zh) 2013-03-16
TWI534093B (zh) 2016-05-21
JPWO2013015163A1 (ja) 2015-02-23
KR101955048B1 (ko) 2019-05-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9499420B2 (en) Formulations and methods for removing heavy metals from waste solutions containing chelating agents
WO2013015163A1 (ja) 排水の処理方法
CN104829003A (zh) 一种含铜工业废液的回收利用方法
JP5828327B2 (ja) カラーフィルター製造工程における現像排水の処理方法
KR20240055112A (ko) Pcb 제조, 일반 금속 마무리 및 화학 밀링을 위한 액체 무배출 재순환 시스템
EP0544469B1 (en) Treating photoresist waste
WO2004045740A1 (ja) 廃水および汚泥水の浄化処理剤
JP2002059194A (ja) 原水の処理方法
JP2012154994A (ja) カラーフィルタ製造工程における現像排水の処理方法
JP2004249182A (ja) 感光性樹脂版の廃液処理方法
JP2022544684A (ja) 塗料フラッシュ洗浄廃液を処理し、再生するための組成物及び方法
JP2008142683A (ja) 水処理方法
CN103443032B (zh) 光致抗蚀剂显影废水的处理方法
US20070199896A1 (en) Water Treatment Method And Apparatus Using Pretreatment And Membranes
JP4528643B2 (ja) 酸逆洗排水の再利用方法
JP4293526B2 (ja) レジスト廃液の処理方法及び前記方法に用いる薬剤
JPH1157747A (ja) フッ素含有廃液の処理方法
CN207404975U (zh) 一种车间生产污水处理系统
CN114573141A (zh) 一种高盐印染废水去除二氧化硅的方法
JP2024062310A (ja) 無機凝集剤の製造方法
JP2013146656A (ja) フォトリソグラフィー工程排水の処理方法
JP2021013900A (ja) 排水処理方法
KR20220029831A (ko) 폐액 처리방법 및 폐액 처리장치 및 이를 포함하는 폐액 재이용 시스템
JP2014124612A (ja) フォトリソグラフィー排水の処理方法
JPH0448994A (ja) 汚濁水処理の方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 12818176

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2013525678

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20137029322

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 12818176

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1