KR20140040711A - 배수의 처리 방법 - Google Patents

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Abstract

알루미늄 에칭 배수와 컬러 필터 배수 또는 구리 에칭 배수를 동시에 처리할 수 있어 처리 설비가 1 계통으로 충분함과 함께, 발생하는 슬러지량도 적은 배수의 처리 방법을 제공한다. 알루미늄 에칭 배수와 컬러 필터 배수 또는 구리 에칭 배수를 혼합하여, 칼슘 화합물을 첨가한 후, 고액 분리한다. 알루미늄 에칭 배수에는 인산 성분이 함유되어 있기 때문에, 알루미늄 에칭 배수와 컬러 필터 배수 또는 구리 에칭 배수를 혼합한 후, 칼슘 화합물을 첨가하면, 인산 칼슘이 생성되고, 수산화알루미늄과 탁질 또는 수산화구리가 인산 칼슘과 공침되어, 알루미늄 및 각종 금속이 동시에 수중으로부터 제거된다.

Description

배수의 처리 방법{WASTEWATER TREATMENT METHOD}
본 발명은 배수의 처리 방법에 관련된 것으로, 특히 컬러 필터 배수 또는 구리 에칭 배수와 알루미늄 에칭 배수를 혼합하여 처리하는 방법에 관한 것이다.
텔레비젼 수상기나 OA 용 표시 장치에 사용되는 컬러 필터는, 일반적으로 유리 등으로 이루어지는 투명 기판 상에 금속 크롬 (Cr) 혹은 흑색 안료를 함유하는 레지스트제 등으로 이루어지는 차광층이 포토리소그래피법에 의해 소정 패턴으로 형성되고, 이 차광층 상에 투명한 착색층이 형성되고, 이 착색층 상에 투명 도전막, 배향막이 순차적으로 적층 형성되어 있다. 착색층과 투명 도전막 사이에 투명 보호막이 형성되는 경우도 있다.
블랙 매트릭스, 착색 화소, 및 부수되는 각 층을 포토리소그래피법에 의해 패턴으로서 형성할 때에는, 예를 들어 우선 유리 기판에 대하여 필요에 따라 세정 처리를 실시하고, 계속해서 도포 장치에 의한 포토레지스트의 도포, 감압 건조 장치에 의한 예비 건조 처리, 프리베이크 장치에 의한 프리베이크 처리, 노광 장치에 의한 패턴 노광, 현상 장치에 의한 현상 처리, 포스트베이크 장치에 의한 포스트베이크 처리가 순차적으로 실시되어, 유리 기판에 소정의 패턴을 형성한다.
특허문헌 1 에는 컬러 필터 제조 장치로부터의 폐수를 처리하는 폐수 처리 방법으로서, 안료 성분을 분리한 후, 오존을 주입하여 유기 성분을 제거하고, 이어서 역침투막 분리 처리한 후, 생물 처리하는 것이 기재되어 있다.
프린트 배선 기판은, 금속박이 라미네이트된 금속 피복 적층판이나 도금이 실시된 기판을 에칭액을 이용하여 에칭함으로써 제조된다. 금속이 알루미늄인 경우, 에칭액으로는 염산 등이 사용된다.
구리 등의 금속박이 라미네이트된 금속 피복 적층판이나 미리 무전해 구리 도금 등의 도금이 실시된 프린트 배선 기판을 에칭액을 이용하여 에칭하는 경우, 에칭액으로는 염화 제 2 구리를 함유하는 에칭액이나 황산 및 과산화수소를 함유하는 에칭액 등이 사용된다.
금속 성분을 함유하는 에칭 배수의 처리 방법으로는, pH 조정에 의해 금속 성분을 불용화하여 고액 분리하는 것이 널리 행해지고 있다.
알루미늄 에칭 공정 배수의 처리 방법으로서, 특허문헌 2 에는 배수를 증류 농축시켜 인산 이외의 산을 증류 제거시킨 후, 인산을 정석 (晶析) 시켜 알루미늄을 수용액으로서 분리 회수하는 것이 기재되어 있다.
특허문헌 3 의 0004 단락에는 구리 에칭 배수에 수산화나트륨을 첨가하여 수산화물로서 침전 제거하는 방법이 알려져 있으나, 생성되는 슬러지량이 많은 것이 기재되어 있다.
특허문헌 4 에는 구리 에칭 배수에 희토류 원소를 첨가한 후, 알칼리를 첨가하여 구리를 침전 분리하는 것이 기재되어 있다.
특허문헌 5 에는 구리를 함유하는 포토레지스트 함유 배수를, 우선 산성으로 조정하여 포토레지스트를 불용화하고, 이어서 pH 8 ∼ 9 로 조정하여 구리를 수산화구리로서 석출시켜 분리하는 것이 기재되어 있다.
알루미늄 에칭 배수와 구리 에칭 배수를 pH 조정에 의해 처리하는 경우, 알루미늄과 구리의 석출 pH 가 상이하기 때문에, 종래에는 각각 처리되었다.
일본 공개특허공보 2008-642 일본 공개특허공보 2006-69845 일본 공개특허공보 2010-77521 일본 공개특허공보 2004-183036 일본 공개특허공보 2006-255668
알루미늄 에칭 배수와 컬러 필터 배수 또는 구리 에칭 배수를 처리하는 경우, 종래에는 각각 처리되었다. 그 때문에, 처리 설비가 2 계통 필요해짐과 함께, 각 설비로부터 각각 다량의 슬러지가 발생한다.
본 발명은, 알루미늄 에칭 배수와 컬러 필터 배수 또는 구리 에칭 배수를 처리할 수 있어 처리 설비가 1 계통으로 충분함과 함께, 발생하는 슬러지량도 적은 에칭 배수의 처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 배수의 처리 방법에서는, 컬러 필터 배수 또는 구리 에칭 배수와 알루미늄 에칭 배수를 혼합하고, 칼슘 화합물을 첨가한 후, 고액 분리한다.
이 칼슘 화합물로는 염화칼슘 또는 수산화칼슘이 바람직하다. 칼슘 화합물을 첨가한 후, pH 를 7 ∼ 12 로 하고, 고분자 응집제를 첨가해도 된다.
알루미늄 에칭 배수에는 인산 성분이 함유되어 있다. 그 때문에, 알루미늄 에칭 배수와 컬러 필터 배수를 혼합한 후, 칼슘 화합물을 첨가하면, 인산칼슘이 생성되고, 수산화알루미늄과 컬러 필터 중의 탁질 (濁質) 이 인산칼슘과 공침되므로, 알루미늄 및 각종 금속을 동시에 수중으로부터 제거할 수 있다.
알루미늄 에칭 배수와 구리 에칭 배수를 혼합한 후, 칼슘 화합물을 첨가하면, 인산칼슘이 생성되고, 수산화구리 및 수산화알루미늄이 인산칼슘과 공침되므로, 알루미늄 및 구리를 동시에 수중으로부터 제거할 수 있다.
[컬러 필터 배수와 알루미늄 에칭 배수를 혼합하여 처리하는 제 1 형태]
제 1 형태에서 처리 대상이 되는 통상적인 컬러 필터 배수에는 탁도 100 ∼ 5000 도, 색도 1000 ∼ 50000 도, TOC 성분 100 ∼ 5000 ㎎/ℓ 가 함유되어 있고, pH 8 ∼ 14 이다.
제 1 형태에서 처리 대상이 되는 알루미늄 에칭 배수는, 집적 회로, 프린트 기판, 컬러 필터, 액정 디스플레이 등의 전자 부품의 제조 공정으로부터의 배수이다. 통상적인 알루미늄 에칭 배수에는 알루미늄 1 ∼ 50 ㎎/ℓ, 아세트산에서 유래하는 TOC 성분 50 ∼ 1000 ㎎/ℓ, 인산에서 유래하는 PO4-P 성분 50 ∼ 3000 ㎎/ℓ 가 함유되어 있고, pH 1 ∼ 5 이다.
제 1 형태에서는, 이 컬러 필터 배수와 알루미늄 에칭 배수를 바람직하게는 용량비로 20 : 1 ∼ 1 : 20, 특히 바람직하게는 5 : 1 ∼ 1 : 5 의 범위로 혼합한다. 이 혼합은 조 (槽) 내에서 교반기를 이용하여 실시되어도 되고, 라인 믹서로 실시되어도 된다.
이 혼합 배수에 대하여 칼슘 화합물을 첨가하여, 알루미늄 에칭 배수에 함유되어 있던 PO4-P 성분과 그 칼슘 화합물을 반응시켜 인산칼슘을 생성시킨다. 칼슘 화합물로는 염화칼슘 또는 수산화칼슘이 바람직하다. 칼슘 화합물의 첨가량은, 배수 중의 PO4-P 성분의 화학 당량의 0.5 ∼ 20 배, 특히 0.5 ∼ 10 배, 그 중에서도 1 ∼ 5 배 정도가 바람직하다. 염화칼슘을 첨가하는 경우, 그 수용액으로서 첨가하는 것이 바람직하다.
칼슘 화합물을 첨가한 후, 수산화나트륨 또는 수산화칼슘 등의 알칼리를 첨가하여 pH 를 7 ∼ 12, 특히 9 ∼ 11 로 조정하는 것이 바람직하다. 이로써, 알루미늄 및 그 밖의 금속 (예를 들어, 크롬, 구리) 이 수산화물로서 석출되고, 먼저 석출되어 있는 인산칼슘에 부착 내지 흡착되어 공침된다.
제 1 형태에서는, pH 조정 후, 추가로 고분자 응집제를 첨가하여 응집물을 성장시키고, 침강을 촉진시키는 것이 바람직하다. 고분자 응집제로는 카티온계 고분자 응집제, 아니온계 고분자 응집제, 양성 고분자 응집제 등이 바람직하다. 고분자 응집제의 첨가량은 1 ∼ 50 ㎎/ℓ, 특히 1 ∼ 20 ㎎/ℓ, 그 중에서도 1 ∼ 10 ㎎/ℓ 정도가 바람직하다.
응집 처리 후의 액을 고액 분리하여 슬러지를 분리한다. 고액 분리 수단으로는, 침강조, 막분리 장치, 원심 분리기 등 각종 고액 분리 장치를 사용할 수 있다.
[구리 에칭 배수와 알루미늄 에칭 배수를 혼합 처리하는 제 2 형태]
제 2 형태에서 처리 대상이 되는 알루미늄 에칭 배수, 구리 에칭 배수는, 집적 회로, 프린트 기판, 컬러 필터, 액정 디스플레이 등의 전자 부품의 제조 공정으로부터의 배수이다. 통상적인 알루미늄 에칭 배수에는 알루미늄 1 ∼ 50 ㎎/ℓ, 아세트산에서 유래하는 TOC 성분 50 ∼ 1000 ㎎/ℓ, 인산에서 유래하는 PO4-P 성분 50 ∼ 3000 ㎎/ℓ 가 함유되어 있고, pH 1 ∼ 5 이다. 또, 통상적인 구리 에칭 배수에는 구리 1 ∼ 50 ㎎/ℓ, 감광성 유기물에서 유래하는 TOC 성분 10 ∼ 1000 ㎎/ℓ 가 함유되어 있고, pH 2 ∼ 8 이다.
제 2 형태에서는, 이 알루미늄 에칭 배수와 구리 에칭 배수를 바람직하게는 용량비로 20 : 1 ∼ 1 : 20, 특히 바람직하게는 5 : 1 ∼ 1 : 5 의 범위로 혼합한다. 이 혼합은 조 내에서 교반기를 이용하여 실시되어도 되고, 라인 믹서로 실시되어도 된다.
이 혼합 배수에 대하여 칼슘 화합물을 첨가하여, 알루미늄 에칭 배수에 함유되어 있던 PO4-P 성분과 그 칼슘 화합물을 반응시켜 인산칼슘을 생성시킨다. 칼슘 화합물로는 염화칼슘, 또는 수산화칼슘이 바람직하다. 칼슘 화합물의 첨가량은, 배수 중의 PO4-P 성분의 화학 당량의 0.5 ∼ 20 배, 특히 0.5 ∼ 10 배, 그 중에서도 1 ∼ 5 배 정도가 바람직하다. 염화칼슘을 첨가하는 경우, 그 수용액으로서 첨가하는 것이 바람직하다.
칼슘 화합물을 첨가한 후, 수산화나트륨 또는 수산화칼슘 등의 알칼리를 첨가하여 pH 를 7 ∼ 12, 특히 9 ∼ 11 로 조정하는 것이 바람직하다. 이로써, 알루미늄 및 구리 모두가 수산화물로서 석출되고, 먼저 석출되어 있는 인산칼슘에 부착 내지 흡착되어 공침된다. 인산칼슘은 알루미늄이나 구리의 수산화물에 비해 침강성이 양호하여, 그 수산화물이 인산칼슘과 공침된다.
제 2 형태에서는, pH 조정 후, 추가로 고분자 응집제를 첨가하여 응집물을 성장시키고, 침강을 촉진시키는 것이 바람직하다. 고분자 응집제로는 카티온계 고분자 응집제, 아니온계 고분자 응집제, 양성 고분자 응집제 등이 바람직하다. 고분자 응집제의 첨가량은 1 ∼ 50 ㎎/ℓ, 특히 1 ∼ 20 ㎎/ℓ, 그 중에서도 1 ∼ 10 ㎎/ℓ 정도가 바람직하다.
응집 처리 후의 액을 고액 분리하여 슬러지를 분리한다. 고액 분리 수단으로는, 침강조, 막분리 장치, 원심 분리기 등 각종 고액 분리 장치를 사용할 수 있다.
실시예
＜제 1 형태의 실시예 및 비교예＞
실시예 Ⅰ-1 ∼ Ⅰ-8 및 비교예 Ⅰ-1 ∼ Ⅰ-9 에서 사용한 알루미늄 에칭 배수 및 컬러 필터 배수의 성상은 표 1 과 같다.
Figure pct00001
[실시예 Ⅰ-1, Ⅰ-2, Ⅰ-3]
상기 컬러 필터 배수와 알루미늄 에칭 배수를 용량비로 4 : 1 (실시예 Ⅰ-1), 1 : 1 (실시예 Ⅰ-2) 또는 1 : 4 (실시예 Ⅰ-3) 의 비율로 혼합하여, 염화칼슘을 표 2 에 나타내는 첨가량으로 첨가한 후, 수산화나트륨으로 pH 를 10.0 으로 조정하고, 아니온계 고분자 응집제 (쿠리타 공업 (주) 클리프록 PA331) 를 5 ㎎/ℓ 첨가하여, 침강 분리하였다. 상청수의 수질과 침강한 슬러지의 농도를 표 2 에 나타낸다.
[실시예 Ⅰ-4, Ⅰ-5]
실시예 Ⅰ-3 에 있어서, pH 를 8 (실시예 Ⅰ-4) 또는 6 (실시예 Ⅰ-5) 으로 조정한 것 이외에는 동일하게 하여 처리를 실시하였다. 상청수의 수질과 침강한 슬러지의 농도를 표 2 에 나타낸다.
Figure pct00002
[실시예 Ⅰ-6, Ⅰ-7, Ⅰ-8]
염화칼슘의 첨가량을 실시예 Ⅰ-1, Ⅰ-2, Ⅰ-3 보다 적게 한 것 이외에는 동일하게 하여 처리를 실시하였다. 염화칼슘의 첨가량, 상청수의 수질, 침강한 슬러지 농도를 표 3 에 나타낸다.
Figure pct00003
[비교예 Ⅰ-1]
상기 컬러 필터 배수에 폴리황산철을 7000 ㎎/ℓ 첨가하고, pH 를 8.5 로 조정하여, 슬러지를 침강시켰다. 상청수의 수질과 침강한 슬러지 농도를 표 4 에 나타낸다.
[비교예 Ⅰ-2]
폴리황산철의 첨가량을 10000 ㎎/ℓ 로 한 것 이외에는 비교예 Ⅰ-1 과 동일하게 하여 컬러 필터 배수를 처리하였다. 상청수의 수질과 침강한 슬러지 농도를 표 4 에 나타낸다.
[비교예 Ⅰ-3]
상기 알루미늄 에칭 배수에 폴리황산철을 660000 ㎎/ℓ 첨가하고, pH 를 7.0 으로 조정하고, 아니온계 고분자 응집제 (쿠리타 공업 (주) 클리프록 PA331) 를 5 ㎎/ℓ 첨가하여 슬러지를 침강시켰다. 상청수의 수질과 침강한 슬러지 농도를 표 4 에 나타낸다.
Figure pct00004
[비교예 Ⅰ-4]
상기 컬러 필터 배수에 염화칼슘을 1000 ㎎/ℓ 첨가하고, pH 를 6 으로 조정하여, 슬러지를 침강시켰다. 상청수의 수질과 침강한 슬러지의 농도를 표 5 에 나타낸다.
[비교예 Ⅰ-5, Ⅰ-6]
비교예 Ⅰ-4 에 있어서, pH 를 8 (비교예 Ⅰ-5) 또는 10 (비교예 Ⅰ-6) 으로 조정한 것 이외에는 동일하게 하여 처리를 실시하였다. 상청수의 수질과 침강한 슬러지의 농도를 표 5 에 나타낸다.
[비교예 Ⅰ-7]
상기 알루미늄 에칭 배수에 염화칼슘을 5000 ㎎/ℓ 첨가하고, pH 를 6 으로 조정하여, 슬러지를 침강시켰다. 상청수의 수질과 침강한 슬러지의 농도를 표 5 에 나타낸다.
[비교예 Ⅰ-8, Ⅰ-9]
비교예 Ⅰ-7 에 있어서, pH 를 8 (비교예 Ⅰ-8) 또는 10 (비교예 Ⅰ-9) 으로 조정한 것 이외에는 동일하게 하여 처리를 실시하였다. 상청수의 수질과 침강한 슬러지의 농도를 표 5 에 나타낸다.
Figure pct00005
표 1 ∼ 5 와 같이, 본 발명 방법에 의하면 알루미늄 에칭 배수와 컬러 필터 배수를 동시에 처리하여, 색도, 탁도 및 인 농도가 낮은 처리수를 얻을 수 있다. 또, 본 발명 방법에 의하면 슬러지량을 줄일 수 있다.
＜제 2 형태의 실시예 및 비교예＞
이하의 실시예 Ⅱ-1 ∼ Ⅱ-8 및 비교예 Ⅱ-1 ∼ Ⅱ-9 에서 사용한 알루미늄 에칭 배수 및 구리 에칭 배수의 성상은 표 6 과 같다.
Figure pct00006
[실시예 Ⅱ-1, Ⅱ-2, Ⅱ-3]
상기 구리 에칭 배수와 알루미늄 에칭 배수를 용량비로 4 : 1 (실시예 Ⅱ-1), 1 : 1 (실시예 Ⅱ-2) 또는 1 : 4 (실시예 Ⅱ-3) 의 비율로 혼합하여, 염화칼슘을 표 7 에 나타내는 첨가량으로 첨가한 후, 수산화나트륨으로 pH 를 8.0 (실시예 Ⅱ-1및 Ⅱ-2) 또는 10 (실시예 Ⅱ-3) 으로 조정하고, 아니온계 고분자 응집제 (쿠리타 공업 (주) 클리프록 PA331) 를 2 ㎎/ℓ 첨가하여, 침강 분리하였다. 상청수의 수질과 침강한 슬러지의 농도를 표 7 에 나타낸다.
[실시예 Ⅱ-4, Ⅱ-5]
실시예 Ⅱ-3 에 있어서, 수산화나트륨에 의해 pH 를 8 (실시예 Ⅱ-4) 또는 6 (실시예 Ⅱ-5) 으로 조정한 것 이외에는 동일하게 하여 처리를 실시하였다. 상청수의 수질과 침강한 슬러지의 농도를 표 7 에 나타낸다.
Figure pct00007
[실시예 Ⅱ-6, Ⅱ-7, Ⅱ-8]
염화칼슘의 첨가량을 실시예 Ⅱ-1, Ⅱ-2, Ⅱ-3 보다 500 ㎎/ℓ 씩 적게 한 것 이외에는 동일하게 하여 처리를 실시하였다. 염화칼슘의 첨가량, 상청수의 수질, 슬러지 농도를 표 8 에 나타낸다.
Figure pct00008
[비교예 Ⅱ-1]
상기 구리 에칭 배수에 38 중량％ 농도의 염화 제 2 철 수용액을 200 ㎎/ℓ 첨가하고, pH 를 9.0 으로 조정하여, 슬러지를 침강시켰다. 상청수의 수질과 침강한 슬러지 농도를 표 9 에 나타낸다.
[비교예 Ⅱ-2]
염화 제 2 철 수용액의 첨가량을 100 ㎎/ℓ 로 한 것 이외에는 비교예 Ⅱ-1 과 동일하게 하여 구리 에칭 배수를 처리하였다. 상청수의 수질과 침강한 슬러지 농도를 표 9 에 나타낸다.
[비교예 Ⅱ-3]
상기 알루미늄 에칭 배수에 38 중량％ 농도의 염화 제 2 철 수용액을 550,000 ㎎/ℓ 첨가하고, pH 를 7.0 으로 조정하고, 아니온계 고분자 응집제 (쿠리타 공업 (주) 클리프록 PA331) 를 5 ㎎/ℓ 첨가하여, 슬러지를 침강시켰다. 상청수의 수질과 슬러지 농도를 표 9 에 나타낸다.
Figure pct00009
[비교예 Ⅱ-4]
상기 컬러 필터 배수에 염화칼슘을 1000 ㎎/ℓ 첨가하고, pH 를 6 으로 조정하여, 슬러지를 침강시켰다. 상청수의 수질과 침강한 슬러지의 농도를 표 10 에 나타낸다.
[비교예 Ⅱ-5, Ⅱ-6]
비교예 Ⅱ-4 에 있어서, pH 를 8 (비교예 Ⅱ-5) 또는 10 (비교예 Ⅱ-6) 으로 조정한 것 이외에는 동일하게 하여 처리를 실시하였다. 상청수의 수질과 침강한 슬러지의 농도를 표 10 에 나타낸다.
[비교예 Ⅱ-7]
상기 알루미늄 에칭 배수에 염화칼슘을 5000 ㎎/ℓ 첨가하고, pH 를 6 으로 조정하여, 슬러지를 침강시켰다. 상청수의 수질과 침강한 슬러지의 농도를 표 10 에 나타낸다.
[비교예 Ⅱ-8, Ⅱ-9]
비교예 Ⅱ-7 에 있어서, pH 를 8 (비교예 Ⅱ-8) 또는 10 (비교예 Ⅱ-9) 으로 조정한 것 이외에는 동일하게 하여 처리를 실시하였다. 상청수의 수질과 침강한 슬러지의 농도를 표 10 에 나타낸다.
Figure pct00010
표 6 ∼ 10 과 같이, 본 발명 방법에 의하면 알루미늄 에칭 배수와 구리 에칭 배수를 동시에 처리하여, 알루미늄 농도 및 구리 농도가 낮은 처리수를 얻을 수 있다. 또, 본 발명 방법에 의하면 슬러지량을 줄일 수 있다.
본 발명을 특정한 양태를 이용하여 상세하게 설명했지만, 본 발명의 의도와 범위를 벗어나지 않고 다양한 변경이 가능한 것은 당업자에게 분명하다.
또한, 본 출원은 2011년 7월 22일자로 출원된 일본 특허출원 (특원 2011-161105) 및 일본 특허출원 (특원 2011-161106) 에 기초하고 있으며, 그 전체가 인용에 의해 원용된다.

Claims (10)

  1. 알루미늄 에칭 배수와 컬러 필터 배수 또는 구리 에칭 배수를 혼합하여, 칼슘 화합물을 첨가한 후, 고액 분리하는 것을 특징으로 하는 배수의 처리 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    칼슘 화합물은 염화칼슘 또는 수산화칼슘인 것을 특징으로 하는 배수의 처리 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    칼슘 화합물을 첨가한 후, pH 를 7 ∼ 12 로 하는 것을 특징으로 하는 배수의 처리 방법.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    고액 분리에 앞서 고분자 응집제를 첨가하는 것을 특징으로 하는 배수의 처리 방법.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    알루미늄 에칭 배수는 알루미늄을 1 ∼ 50 ㎎/ℓ, PO4-P 를 50 ∼ 3000 ㎎/ℓ 함유하고, pH 1 ∼ 5 인 것을 특징으로 하는 배수의 처리 방법.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    칼슘 화합물을 배수 중의 PO4-P 의 화학 당량의 0.5 ∼ 20 배 첨가하는 것을 특징으로 하는 배수의 처리 방법.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    컬러 필터 배수와 알루미늄 에칭 배수를 용량비로 20 : 1 ∼ 1 : 20 의 범위로 혼합하는 것을 특징으로 하는 배수의 처리 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    컬러 필터 배수가 TOC 를 100 ∼ 5000 ㎎/ℓ 함유하고, pH 8 ∼ 14 인 것을 특징으로 하는 배수의 처리 방법.
  9. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    구리 에칭 배수와 알루미늄 에칭 배수를 용량비로 20 : 1 ∼ 1 : 20 의 범위로 혼합하는 것을 특징으로 하는 배수의 처리 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    구리 에칭 배수는 구리를 1 ∼ 50 ㎎/ℓ 함유하고, pH 2 ∼ 8 인 것을 특징으로 하는 배수의 처리 방법.
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