JPH1043770A - 懸濁粒子を含む排水の処理方法 - Google Patents
懸濁粒子を含む排水の処理方法Info
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- JPH1043770A JPH1043770A JP20822396A JP20822396A JPH1043770A JP H1043770 A JPH1043770 A JP H1043770A JP 20822396 A JP20822396 A JP 20822396A JP 20822396 A JP20822396 A JP 20822396A JP H1043770 A JPH1043770 A JP H1043770A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 排水処理に要する薬剤の使用量、発生する廃
棄物発生量が少なく、また濾別したケーキ中の懸濁粒子
成分や濾過水を回収・再利用できる、懸濁粒子を含む排
水の処理方法を提供する。 【解決手段】 懸濁粒子を凝集分離させる排水の処理方
法において、懸濁粒子を含む排水に塩化希土を添加し、
さらに高分子凝集剤を添加することにより懸濁粒子を凝
集分離させることを特徴とする懸濁粒子を含む排水の処
理方法。
棄物発生量が少なく、また濾別したケーキ中の懸濁粒子
成分や濾過水を回収・再利用できる、懸濁粒子を含む排
水の処理方法を提供する。 【解決手段】 懸濁粒子を凝集分離させる排水の処理方
法において、懸濁粒子を含む排水に塩化希土を添加し、
さらに高分子凝集剤を添加することにより懸濁粒子を凝
集分離させることを特徴とする懸濁粒子を含む排水の処
理方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は排水の処理方法に関
し、特に各種工業において発生する懸濁粒子を含む排水
の処理方法に係るものである。
し、特に各種工業において発生する懸濁粒子を含む排水
の処理方法に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】今日、各種工業において発生する懸濁粒
子を含む排水の処理は、例えばポリ塩化アルミニウムや
硫酸アルミニウム等のアルミニウム塩や、塩化第二鉄等
の鉄塩からなる無機凝集剤を排水に添加し、さらに必要
に応じて中和剤で中和した後、高分子凝集剤を添加して
懸濁粒子を凝集分離し、処理水は放流する一方、凝集分
離した汚泥は廃棄している。
子を含む排水の処理は、例えばポリ塩化アルミニウムや
硫酸アルミニウム等のアルミニウム塩や、塩化第二鉄等
の鉄塩からなる無機凝集剤を排水に添加し、さらに必要
に応じて中和剤で中和した後、高分子凝集剤を添加して
懸濁粒子を凝集分離し、処理水は放流する一方、凝集分
離した汚泥は廃棄している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来法では充
分に凝集を行うためには多量の無機凝集剤及び中和剤を
排水に加える必要があり、例えば排水に対してポリ塩化
アルミニウム1000ppm 、消石灰200 ppm 、及び高分子凝
集剤５ppm 程度の添加を必要とする。
分に凝集を行うためには多量の無機凝集剤及び中和剤を
排水に加える必要があり、例えば排水に対してポリ塩化
アルミニウム1000ppm 、消石灰200 ppm 、及び高分子凝
集剤５ppm 程度の添加を必要とする。
【０００４】アルミニウム塩や鉄塩は排水中で加水分解
して、Al(OH)3 やFe(OH)3 を生成し、さらにこれらが重
合体を形成して懸濁粒子の荷電中和と吸着によって凝集
分離するため、これによって生じる汚泥量が著しく多
く、この大量の汚泥を廃棄するには相応の場所や経費を
要する。汚泥中には凝集剤として用いたアルミニウム分
または鉄分が多量に含まれており、該汚泥から少量含有
されている懸濁粒子の成分を分離して再利用することは
極めて困難である。また排水から汚泥を分離した処理水
には、塩化カルシウム、塩化ナトリウム、硫酸ナトリウ
ム等の生成塩類が多量に溶存するため、そのままでの再
利用は困難で、一般には放流している。このように多量
の廃棄物や塩類を含む放流水は、地球環境保全上も大き
な問題である。
して、Al(OH)3 やFe(OH)3 を生成し、さらにこれらが重
合体を形成して懸濁粒子の荷電中和と吸着によって凝集
分離するため、これによって生じる汚泥量が著しく多
く、この大量の汚泥を廃棄するには相応の場所や経費を
要する。汚泥中には凝集剤として用いたアルミニウム分
または鉄分が多量に含まれており、該汚泥から少量含有
されている懸濁粒子の成分を分離して再利用することは
極めて困難である。また排水から汚泥を分離した処理水
には、塩化カルシウム、塩化ナトリウム、硫酸ナトリウ
ム等の生成塩類が多量に溶存するため、そのままでの再
利用は困難で、一般には放流している。このように多量
の廃棄物や塩類を含む放流水は、地球環境保全上も大き
な問題である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そこで本発明者は、以上
の問題に鑑み鋭意検討を重ねた結果、懸濁粒子を含む排
水に、塩化希土または塩化希土と有機カチオンを添加し
て、懸濁粒子の荷電を中和させることに着目し、本発明
に至った。すなわち本発明は、懸濁粒子を凝集分離させ
る排水の処理方法において、懸濁粒子を含む排水に塩化
希土を添加し、さらに高分子凝集剤を添加することによ
り懸濁粒子を凝集分離させる懸濁粒子を含む排水の処理
方法を要旨とするものである。以下にこれをさらに詳述
する。
の問題に鑑み鋭意検討を重ねた結果、懸濁粒子を含む排
水に、塩化希土または塩化希土と有機カチオンを添加し
て、懸濁粒子の荷電を中和させることに着目し、本発明
に至った。すなわち本発明は、懸濁粒子を凝集分離させ
る排水の処理方法において、懸濁粒子を含む排水に塩化
希土を添加し、さらに高分子凝集剤を添加することによ
り懸濁粒子を凝集分離させる懸濁粒子を含む排水の処理
方法を要旨とするものである。以下にこれをさらに詳述
する。
【０００６】
【発明の実施の形態】各種工業から排出する懸濁粒子を
含む排水中で、懸濁粒子は通常 0.1μｍ〜 100μｍの粒
子径を持っており、かつこれら懸濁粒子の表面は正負い
ずれかに帯電して分散している。通常、懸濁粒子は水中
では負に帯電する場合が多い。以下、水中で負に帯電し
ている懸濁粒子の具体例として、シリコン粒子につい
て、本発明の原理を詳述する。半導体シリコンの各種製
造工程からは、シリコンの懸濁粒子を含む排水が多量に
発生する。シリコンの懸濁粒子は通常 0.1μｍ〜 100μ
ｍの粒子径であり、排水中で負に帯電し、そのゼータ電
位は−15〜−25ｍＶの範囲にある。
含む排水中で、懸濁粒子は通常 0.1μｍ〜 100μｍの粒
子径を持っており、かつこれら懸濁粒子の表面は正負い
ずれかに帯電して分散している。通常、懸濁粒子は水中
では負に帯電する場合が多い。以下、水中で負に帯電し
ている懸濁粒子の具体例として、シリコン粒子につい
て、本発明の原理を詳述する。半導体シリコンの各種製
造工程からは、シリコンの懸濁粒子を含む排水が多量に
発生する。シリコンの懸濁粒子は通常 0.1μｍ〜 100μ
ｍの粒子径であり、排水中で負に帯電し、そのゼータ電
位は−15〜−25ｍＶの範囲にある。
【０００７】本発明に用いる塩化希土は、水によく溶け
て希土類の二価、三価、四価等の多価陽イオンと塩化物
イオンとに電離する性質があり、排水中で負に帯電して
互いに反発し合っているシリコン懸濁粒子の荷電を中和
させ、シリコン粒子を凝集しやすい状態とする。塩化希
土は希土類１７元素（La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、G
d、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Ｙ、Sc）の塩化物の
中の、どの一種または二種以上の混合物であってもよ
い。塩化希土の添加量は、排水に対し 0.1〜 50ppmで十
分である。
て希土類の二価、三価、四価等の多価陽イオンと塩化物
イオンとに電離する性質があり、排水中で負に帯電して
互いに反発し合っているシリコン懸濁粒子の荷電を中和
させ、シリコン粒子を凝集しやすい状態とする。塩化希
土は希土類１７元素（La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、G
d、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Ｙ、Sc）の塩化物の
中の、どの一種または二種以上の混合物であってもよ
い。塩化希土の添加量は、排水に対し 0.1〜 50ppmで十
分である。
【０００８】高分子凝集剤は、荷電の中和されたシリコ
ン粒子を更に大きなフロックに凝集させるもので、例え
ば非イオン凝集剤、または弱アニオン凝集剤が用いられ
る。添加量は排水に対し 0.1〜10ppm が必要である。0.
1 ppm 未満の添加量では、シリコンのフロックの形成が
不十分となり、また10ppm を超える添加量は無駄とな
る。高分子凝集剤添加後のシリコン懸濁粒子は、速やか
に凝集して沈降もしくは浮上する。通常は沈降する場合
が多い。
ン粒子を更に大きなフロックに凝集させるもので、例え
ば非イオン凝集剤、または弱アニオン凝集剤が用いられ
る。添加量は排水に対し 0.1〜10ppm が必要である。0.
1 ppm 未満の添加量では、シリコンのフロックの形成が
不十分となり、また10ppm を超える添加量は無駄とな
る。高分子凝集剤添加後のシリコン懸濁粒子は、速やか
に凝集して沈降もしくは浮上する。通常は沈降する場合
が多い。
【０００９】なお、塩化希土の添加に加えて、有機カチ
オン凝集剤を併用すると、処理水の透明度が向上し、か
つ塩化希土の添加量を低減できる。具体的な成分として
はポリアミン系、ジシアンジアミド系、ポリアクリルア
ミド系、ポリメタクリル酸エステル系、ポリアミンサル
ホン系、ジアミン系等が例示される。添加量は排水に対
し0.1 〜５ppm が好ましい。0.1 ppm 未満の添加量で
は、ゼータ電位の低下が不十分となる。また５ppm を超
える添加量は無駄となる。
オン凝集剤を併用すると、処理水の透明度が向上し、か
つ塩化希土の添加量を低減できる。具体的な成分として
はポリアミン系、ジシアンジアミド系、ポリアクリルア
ミド系、ポリメタクリル酸エステル系、ポリアミンサル
ホン系、ジアミン系等が例示される。添加量は排水に対
し0.1 〜５ppm が好ましい。0.1 ppm 未満の添加量で
は、ゼータ電位の低下が不十分となる。また５ppm を超
える添加量は無駄となる。
【００１０】図１に、本発明による連続処理方法の工程
の一例の概略を示す。懸濁粒子を含む排水（原排水）を
原排水タンク１に入れ、pHを調整した後、塩化セリウム
（水溶液）２、有機カチオン凝集剤３を添加して、攪拌
機４で連続攪拌する。このゼータ電位の低下した排水を
ポンプ５により、原排水タンク１から混合槽６へ供給す
る。混合槽６の上部に、高分子凝集剤７を薬注ポンプに
より連続的に滴下する。混合槽６内の排水は、凝集沈殿
槽８の内筒に自然流下する。凝集沈殿槽８内を攪拌機９
で緩やかに連続攪拌すると、懸濁粒子はフロック１０を
形成して沈降する。一方、上澄み水１１は凝集沈殿槽８
の外筒の上部よりオーバーフローする。運転終了後、凝
集沈殿槽の下部から沈殿物を取り出し、濾過・乾燥し、
懸濁粒子成分を回収する。
の一例の概略を示す。懸濁粒子を含む排水（原排水）を
原排水タンク１に入れ、pHを調整した後、塩化セリウム
（水溶液）２、有機カチオン凝集剤３を添加して、攪拌
機４で連続攪拌する。このゼータ電位の低下した排水を
ポンプ５により、原排水タンク１から混合槽６へ供給す
る。混合槽６の上部に、高分子凝集剤７を薬注ポンプに
より連続的に滴下する。混合槽６内の排水は、凝集沈殿
槽８の内筒に自然流下する。凝集沈殿槽８内を攪拌機９
で緩やかに連続攪拌すると、懸濁粒子はフロック１０を
形成して沈降する。一方、上澄み水１１は凝集沈殿槽８
の外筒の上部よりオーバーフローする。運転終了後、凝
集沈殿槽の下部から沈殿物を取り出し、濾過・乾燥し、
懸濁粒子成分を回収する。
【００１１】上記のように、半導体シリコンの製造工程
で発生するシリコンの懸濁粒子を含む排水に、塩化希土
あるいは塩化希土と有機カチオン凝集剤を添加すること
により、排水中のシリコン懸濁粒子のゼータ電位が低下
し、荷電が中和される。この排水に更に高分子凝集剤を
添加することにより、容易に凝集・沈降が進行する。こ
れを分離・濾過すると、再利用可能な処理水、及び回収
可能なシリコン粉を含む少量のケーキとなる。分離方法
として、工業的にはフィルタープレス、ベルトプレス、
真空濾過器等が例示される。凝集沈殿物は、従来法より
も体積が小さく、濾過分離も容易であり、シリコンの含
有率も高いので、濾別されたケーキからシリコン粉を分
離・回収して他の用途に再利用が可能となる。また無機
凝集剤（塩化希土）の添加量が、従来法の無機凝集剤に
比べて１／７〜１／100 と少なく、中和用のアルカリの
添加を必要としないので塩類の生成もなく、処理水中の
不純物も少ないので、処理水は簡単な後処理を経て、ま
たはそのままで工業用水として再利用することができ
る。
で発生するシリコンの懸濁粒子を含む排水に、塩化希土
あるいは塩化希土と有機カチオン凝集剤を添加すること
により、排水中のシリコン懸濁粒子のゼータ電位が低下
し、荷電が中和される。この排水に更に高分子凝集剤を
添加することにより、容易に凝集・沈降が進行する。こ
れを分離・濾過すると、再利用可能な処理水、及び回収
可能なシリコン粉を含む少量のケーキとなる。分離方法
として、工業的にはフィルタープレス、ベルトプレス、
真空濾過器等が例示される。凝集沈殿物は、従来法より
も体積が小さく、濾過分離も容易であり、シリコンの含
有率も高いので、濾別されたケーキからシリコン粉を分
離・回収して他の用途に再利用が可能となる。また無機
凝集剤（塩化希土）の添加量が、従来法の無機凝集剤に
比べて１／７〜１／100 と少なく、中和用のアルカリの
添加を必要としないので塩類の生成もなく、処理水中の
不純物も少ないので、処理水は簡単な後処理を経て、ま
たはそのままで工業用水として再利用することができ
る。
【００１２】以上、本発明の処理方法をシリコン懸濁粒
子を含む排水について述べたが、本発明はシリコン以外
の無機系の懸濁粒子を含む排水や、活性汚泥などの有機
系の懸濁粒子を含む廃水の処理にも適用できる。また本
発明の排水処理方法は、連続的に発生する排水を溜め置
きせずにそのまま行う連続式処理だけではなく、排水を
溜めたタンク中で行うバッチ式処理も可能である。
子を含む排水について述べたが、本発明はシリコン以外
の無機系の懸濁粒子を含む排水や、活性汚泥などの有機
系の懸濁粒子を含む廃水の処理にも適用できる。また本
発明の排水処理方法は、連続的に発生する排水を溜め置
きせずにそのまま行う連続式処理だけではなく、排水を
溜めたタンク中で行うバッチ式処理も可能である。
【００１３】
【実施例】次に、本発明を実施例、比較例を挙げて説明
する。 実施例１〜１０ シリコン単結晶のインゴットの切断・研磨工程から排出
した、シリコン懸濁粒子（浮遊物質（以下SSと称す）約
200 ppm ）を含む原排水を試験管に20ミリリットル取っ
た。これに、試薬塩化希土（CeCl3 、LaCl3 、NdCl3 ）
の 1.0重量％水溶液、インド産及び中国産の工業用塩化
希土（表１に代表的な組成を示す）の 1.0重量％水溶液
の合わせて５種のうちから、表２に示すように所定量
（0.007 〜0.01ミリリットル、3.3 〜5.0 ppm 相当）加
えて攪拌した。次に、表２に示すように、ポリアクリル
アミド系有機カチオン凝集剤の 0.1重量％水溶液を所定
量（０または0.01ミリリットル、０または0.5ppm相当）
加えて攪拌し、さらに非イオン高分子凝集剤サンフロッ
ク N-505P （三洋化成社製製品名）0.1 重量％水溶液を
所定量（0.01ミリリットル、0.5ppm相当）加えて攪拌し
て懸濁粒子を凝集沈降させた。その後１時間静置して上
澄み水の透明度を目視で観察した。次いで、直径125mm
のNo.2濾紙で液の全量を濾過し、濾過の所要時間を測定
した。また濾液の透明度を目視で観察した。結果を表２
に併記する。
する。 実施例１〜１０ シリコン単結晶のインゴットの切断・研磨工程から排出
した、シリコン懸濁粒子（浮遊物質（以下SSと称す）約
200 ppm ）を含む原排水を試験管に20ミリリットル取っ
た。これに、試薬塩化希土（CeCl3 、LaCl3 、NdCl3 ）
の 1.0重量％水溶液、インド産及び中国産の工業用塩化
希土（表１に代表的な組成を示す）の 1.0重量％水溶液
の合わせて５種のうちから、表２に示すように所定量
（0.007 〜0.01ミリリットル、3.3 〜5.0 ppm 相当）加
えて攪拌した。次に、表２に示すように、ポリアクリル
アミド系有機カチオン凝集剤の 0.1重量％水溶液を所定
量（０または0.01ミリリットル、０または0.5ppm相当）
加えて攪拌し、さらに非イオン高分子凝集剤サンフロッ
ク N-505P （三洋化成社製製品名）0.1 重量％水溶液を
所定量（0.01ミリリットル、0.5ppm相当）加えて攪拌し
て懸濁粒子を凝集沈降させた。その後１時間静置して上
澄み水の透明度を目視で観察した。次いで、直径125mm
のNo.2濾紙で液の全量を濾過し、濾過の所要時間を測定
した。また濾液の透明度を目視で観察した。結果を表２
に併記する。
【００１４】
【表１】
【００１５】
【表２】
【００１６】表２から、シリコンの懸濁粒子を含む排水
に、塩化希土の一成分もしくは二成分以上の混合品を加
え、更に高分子凝集剤を添加することによって、シリコ
ン粒子は速やかに凝集沈降することがわかり、さらに有
機カチオン凝集剤を併用すると、シリコン粒子のフロッ
ク化が更に良くなり、上澄み液の透明度が更に向上する
と共に濾過所要時間が短縮される効果があることがわか
る。
に、塩化希土の一成分もしくは二成分以上の混合品を加
え、更に高分子凝集剤を添加することによって、シリコ
ン粒子は速やかに凝集沈降することがわかり、さらに有
機カチオン凝集剤を併用すると、シリコン粒子のフロッ
ク化が更に良くなり、上澄み液の透明度が更に向上する
と共に濾過所要時間が短縮される効果があることがわか
る。
【００１７】実施例１１〜１６ 実施例１〜１０に用いた原排水と同じ工程から排出し
た、SS約150 ppm のシリコン懸濁粒子を含む原排水を用
い、塩化希土を塩化セリウム（1.0 重量％水溶液）と
し、表３に示す添加量（5.0 〜15.0ppm 相当）とした以
外は、実施例１〜１０と同様に凝集分離を行った。評価
結果を表３に併記する。
た、SS約150 ppm のシリコン懸濁粒子を含む原排水を用
い、塩化希土を塩化セリウム（1.0 重量％水溶液）と
し、表３に示す添加量（5.0 〜15.0ppm 相当）とした以
外は、実施例１〜１０と同様に凝集分離を行った。評価
結果を表３に併記する。
【００１８】
【表３】
【００１９】比較例１〜３ 表３に示すように塩化セリウムの代わりにポリ塩化アル
ミニウム（11重量％水溶液）を用い，表３に示す添加量
とした以外は、実施例１１〜１６と同様に凝集分離を行
った。評価結果を表３に併記する。
ミニウム（11重量％水溶液）を用い，表３に示す添加量
とした以外は、実施例１１〜１６と同様に凝集分離を行
った。評価結果を表３に併記する。
【００２０】表３から、シリコンの懸濁粒子を含む排水
に、無機系凝集剤として塩化セリウムを使用するだけで
も凝集分離は可能であるが、有機カチオン凝集剤を併用
すると著しい相乗効果が現れることがわかる。また、従
来の無機凝集剤であるポリ塩化アルミニウム法に比べ
て、無機凝集剤（塩化セリウム）の使用量が１／７〜１
／２０に低減化できることがわかる。
に、無機系凝集剤として塩化セリウムを使用するだけで
も凝集分離は可能であるが、有機カチオン凝集剤を併用
すると著しい相乗効果が現れることがわかる。また、従
来の無機凝集剤であるポリ塩化アルミニウム法に比べ
て、無機凝集剤（塩化セリウム）の使用量が１／７〜１
／２０に低減化できることがわかる。
【００２１】実施例１７〜２０ 実施例１〜１０に用いた原排水と同じ工程から排出し
た、SS約180 ppm のシリコン懸濁粒子を含む原排水を用
い、表４に示すように塩化希土を塩化セリウム5.0 ppm
とし、さらに有機カチオン凝集剤を、前出のポリアクリ
ルアミド系の他、ポリアミン系の Q-101（ハイモ社製製
品名）、ポリメタクリル酸エステル系のサンフロック C
H-109P（三洋化成社製製品名）、ジアミン系のサンフロ
ック 700（三洋化成社製製品名）とした以外は、実施例
１〜１０と同様に凝集分離を行った。評価結果を表４に
併記する。
た、SS約180 ppm のシリコン懸濁粒子を含む原排水を用
い、表４に示すように塩化希土を塩化セリウム5.0 ppm
とし、さらに有機カチオン凝集剤を、前出のポリアクリ
ルアミド系の他、ポリアミン系の Q-101（ハイモ社製製
品名）、ポリメタクリル酸エステル系のサンフロック C
H-109P（三洋化成社製製品名）、ジアミン系のサンフロ
ック 700（三洋化成社製製品名）とした以外は、実施例
１〜１０と同様に凝集分離を行った。評価結果を表４に
併記する。
【００２２】
【表４】
【００２３】表４から、有機カチオン凝集剤を併用する
場合、有機カチオン凝集剤の種類によって、濾過時間に
多少の差は現れるが、凝集分離の成績には大きな変化は
ないことがわかる。
場合、有機カチオン凝集剤の種類によって、濾過時間に
多少の差は現れるが、凝集分離の成績には大きな変化は
ないことがわかる。
【００２４】実施例２１ 図１に沿って連続処理方法の実施例を述べる。シリコン
単結晶インゴットの切断・研磨工程から排出した懸濁粒
子を含む原排水を原排水タンク１（容量110 リットル）
に 100リットル入れ、pHを塩酸で6.8 〜7.0 に調整した
後、塩化セリウム 1.0重量％水溶液２を５ppm 相当、前
出のポリアクリルアミド系有機カチオン凝集剤の 0.1重
量％水溶液３を0.5 ppm 相当添加して、攪拌機４で連続
攪拌した。この排水を原排水タンク１から混合槽６（容
量３リットル）へ、流量 0.6リットル／分の速度でポン
プ５により供給した。混合槽６の上部に、薬液タンクよ
り0.01重量％の非イオン高分子凝集剤サンフロック N-5
05P （前出）７を流量３ミリリットル／分（ 0.5ppm 相
当）で薬注ポンプにより連続的に滴下した。混合槽６か
ら凝集沈殿槽８（容量30リットル）に自然流下した排水
を、攪拌機９で緩やかに連続攪拌すると、シリコン懸濁
粒子はフロック１０を形成して沈降した。連続運転開始
２時間後の、凝集沈殿槽８の外筒からオーバーフローし
た上澄み水１１の透視度は30cm以上であった。運転終了
後、凝集沈殿槽の下部から抜き取った沈殿物の体積は 1
50ミリリットルであった。この沈殿物をNo.2濾紙で濾過
・乾燥した後のケーキの重量は14.6ｇであった。
単結晶インゴットの切断・研磨工程から排出した懸濁粒
子を含む原排水を原排水タンク１（容量110 リットル）
に 100リットル入れ、pHを塩酸で6.8 〜7.0 に調整した
後、塩化セリウム 1.0重量％水溶液２を５ppm 相当、前
出のポリアクリルアミド系有機カチオン凝集剤の 0.1重
量％水溶液３を0.5 ppm 相当添加して、攪拌機４で連続
攪拌した。この排水を原排水タンク１から混合槽６（容
量３リットル）へ、流量 0.6リットル／分の速度でポン
プ５により供給した。混合槽６の上部に、薬液タンクよ
り0.01重量％の非イオン高分子凝集剤サンフロック N-5
05P （前出）７を流量３ミリリットル／分（ 0.5ppm 相
当）で薬注ポンプにより連続的に滴下した。混合槽６か
ら凝集沈殿槽８（容量30リットル）に自然流下した排水
を、攪拌機９で緩やかに連続攪拌すると、シリコン懸濁
粒子はフロック１０を形成して沈降した。連続運転開始
２時間後の、凝集沈殿槽８の外筒からオーバーフローし
た上澄み水１１の透視度は30cm以上であった。運転終了
後、凝集沈殿槽の下部から抜き取った沈殿物の体積は 1
50ミリリットルであった。この沈殿物をNo.2濾紙で濾過
・乾燥した後のケーキの重量は14.6ｇであった。
【００２５】実施例２２ 原排水として半導体シリコンウェーハ製造工程からの総
合排水60リットルを用い、塩化セリウムを10ppm 相当、
ポリアクリルアミド系有機カチオン凝集剤（前出）を１
ppm 相当、原排水タンク１から混合槽６への流量を１リ
ットル／分とした以外は実施例２１と同様に行った。連
続運転を開始してから40分後のオーバーフローした上澄
み水の透視度は30cm以上であった。運転終了後、抜き取
った沈殿物の体積は 170ミリリットルであった。濾過・
乾燥後のケーキの重量は45.8ｇであり、原排水１リット
ル当たり 763mgに相当する。なお、この原排水のSS濃度
をJIS K0101 法に準じて測定したところ、１リットル当
たり 945mgであった。
合排水60リットルを用い、塩化セリウムを10ppm 相当、
ポリアクリルアミド系有機カチオン凝集剤（前出）を１
ppm 相当、原排水タンク１から混合槽６への流量を１リ
ットル／分とした以外は実施例２１と同様に行った。連
続運転を開始してから40分後のオーバーフローした上澄
み水の透視度は30cm以上であった。運転終了後、抜き取
った沈殿物の体積は 170ミリリットルであった。濾過・
乾燥後のケーキの重量は45.8ｇであり、原排水１リット
ル当たり 763mgに相当する。なお、この原排水のSS濃度
をJIS K0101 法に準じて測定したところ、１リットル当
たり 945mgであった。
【００２６】比較例４ 実施例２２で用いた原排水１リットルをメスシリンダー
に取り、ポリ塩化アルミニウムを1000ppm 添加後、石灰
乳で中和（約200 ppm ）した後、非イオン高分子凝集剤
サンフロックN-505P（前出）３ppm を添加し、攪拌し
た。なおこれら凝集剤・薬剤の添加量は現行の排水処理
と同一条件である。静置１時間後の沈殿物の体積は50ミ
リリットル（原排水の５％）、上澄み水の透視度は30cm
であった。沈殿物の濾過・乾燥後のケーキの重量は 1.4
ｇであり、原排水１リットル当たり1400mgに相当する。
実施例２２と比較例４から、本発明の無機凝集剤添加量
は１／100 、高分子凝集剤の添加量は１／６に低減で
き、またケーキの重量は約半分に低減できることがわか
る。
に取り、ポリ塩化アルミニウムを1000ppm 添加後、石灰
乳で中和（約200 ppm ）した後、非イオン高分子凝集剤
サンフロックN-505P（前出）３ppm を添加し、攪拌し
た。なおこれら凝集剤・薬剤の添加量は現行の排水処理
と同一条件である。静置１時間後の沈殿物の体積は50ミ
リリットル（原排水の５％）、上澄み水の透視度は30cm
であった。沈殿物の濾過・乾燥後のケーキの重量は 1.4
ｇであり、原排水１リットル当たり1400mgに相当する。
実施例２２と比較例４から、本発明の無機凝集剤添加量
は１／100 、高分子凝集剤の添加量は１／６に低減で
き、またケーキの重量は約半分に低減できることがわか
る。
【００２７】次に、シリコン以外の無機系の懸濁粒子を
含む排水と、有機系として活性汚泥の懸濁粒子を含む排
水の処理についての実施例を述べる。 実施例２３〜２５ 試薬ベントナイト2000ppm を上水に懸濁させた液を調製
した。ベントナイトの粒子径は0.7 〜200 μｍ、組成分
析値はSiO2:77.3 ％、Al2O3:13.5％、 Na2O:2.9 ％、Mg
O:2.0 ％、CaO:1.0 ％であった。該懸濁液20ミリリット
ルを試験管に取り、表５に示す添加量条件で、静置時間
を30分とした以外は、実施例１〜１０と同様に凝集分離
を行い、凝集傾向と濾過液透明度を観察し、沈殿物の体
積を測定した。評価結果を表５に併記する。
含む排水と、有機系として活性汚泥の懸濁粒子を含む排
水の処理についての実施例を述べる。 実施例２３〜２５ 試薬ベントナイト2000ppm を上水に懸濁させた液を調製
した。ベントナイトの粒子径は0.7 〜200 μｍ、組成分
析値はSiO2:77.3 ％、Al2O3:13.5％、 Na2O:2.9 ％、Mg
O:2.0 ％、CaO:1.0 ％であった。該懸濁液20ミリリット
ルを試験管に取り、表５に示す添加量条件で、静置時間
を30分とした以外は、実施例１〜１０と同様に凝集分離
を行い、凝集傾向と濾過液透明度を観察し、沈殿物の体
積を測定した。評価結果を表５に併記する。
【００２８】
【表５】
【００２９】実施例２６、比較例５ 表６に示す無機系凝集剤と高分子凝集剤サンフロックN-
505P（前出）を用い（有機カチオン凝集剤なし）、比較
例５では無機凝集剤添加後、石灰乳約200 ppm相当で中
和した以外は、実施例２３〜２５と同様に凝集分離を行
った。静置時間30分〜 120分における濾過液透明度と、
沈殿物の体積を測定した。評価結果を表６に併記する。
505P（前出）を用い（有機カチオン凝集剤なし）、比較
例５では無機凝集剤添加後、石灰乳約200 ppm相当で中
和した以外は、実施例２３〜２５と同様に凝集分離を行
った。静置時間30分〜 120分における濾過液透明度と、
沈殿物の体積を測定した。評価結果を表６に併記する。
【００３０】
【表６】
【００３１】表５、表６より以下のことがわかる。シリ
コン以外の無機系の懸濁粒子を含む排水についても本発
明による凝集分離ができる。またフロックの凝集沈降速
度が速く、30分で終了する。沈殿物の体積は従来の約30
％に減少し、濾過所要体積と汚泥の低減につながる。
コン以外の無機系の懸濁粒子を含む排水についても本発
明による凝集分離ができる。またフロックの凝集沈降速
度が速く、30分で終了する。沈殿物の体積は従来の約30
％に減少し、濾過所要体積と汚泥の低減につながる。
【００３２】実施例２７、比較例６ 原排水として、有機化学工場の排水処理場の活性汚泥曝
気槽のオーバーフロー水 100ミリリットルをトールビー
カーに取り、ポリアクリルアミド系有機カチオン凝集剤
（前出）を用い、表７に示す添加量条件とした以外は、
実施例２６、比較例５と同様に凝集分離を行った。150
mm径のNo.2濾紙での濾過所要時間と濾過液の透明度を観
察した。評価結果を表７に併記する。
気槽のオーバーフロー水 100ミリリットルをトールビー
カーに取り、ポリアクリルアミド系有機カチオン凝集剤
（前出）を用い、表７に示す添加量条件とした以外は、
実施例２６、比較例５と同様に凝集分離を行った。150
mm径のNo.2濾紙での濾過所要時間と濾過液の透明度を観
察した。評価結果を表７に併記する。
【００３３】
【表７】
【００３４】表７から、本発明によれば、活性汚泥の沈
降速度が速く、沈殿量・濾過所要時間が少なく、また濾
過液の透明度も良好であることがわかる。
降速度が速く、沈殿量・濾過所要時間が少なく、また濾
過液の透明度も良好であることがわかる。
【００３５】
【発明の効果】本発明によれば、排水処理に要する薬剤
の使用量が低減し、処理によって生成した濾別ケーキ中
の懸濁粒子成分を回収・再利用でき、濾過水も再利用で
きる。また、回収・再利用できないものであっても、廃
棄物発生量が低減するので、大量の廃棄物による環境汚
染防止にも有効である。
の使用量が低減し、処理によって生成した濾別ケーキ中
の懸濁粒子成分を回収・再利用でき、濾過水も再利用で
きる。また、回収・再利用できないものであっても、廃
棄物発生量が低減するので、大量の廃棄物による環境汚
染防止にも有効である。
【図１】本発明による連続処理方法の工程の一例を示す
概略図である。
概略図である。
１ 原排水タンク ２ 塩化希
土水溶液 ３ 有機カチオン凝集剤 ４ 攪拌機 ５ ポンプ ６ 混合槽 ７ 高分子凝集剤 ８ 凝集沈
殿槽 ９ 攪拌機 １０ フロッ
ク １１ 上澄み水（処理水）
土水溶液 ３ 有機カチオン凝集剤 ４ 攪拌機 ５ ポンプ ６ 混合槽 ７ 高分子凝集剤 ８ 凝集沈
殿槽 ９ 攪拌機 １０ フロッ
ク １１ 上澄み水（処理水）
Claims (5)
- 【請求項１】 懸濁粒子を凝集分離させる排水の処理方
法において、懸濁粒子を含む排水に塩化希土を添加し、
さらに高分子凝集剤を添加することにより懸濁粒子を凝
集分離させることを特徴とする懸濁粒子を含む排水の処
理方法。 - 【請求項２】 懸濁粒子を凝集分離させる排水の処理方
法において、懸濁粒子を含む排水に塩化希土および有機
カチオン凝集剤を添加し、さらに高分子凝集剤を添加す
ることにより懸濁粒子を凝集分離させることを特徴とす
る懸濁粒子を含む排水の処理方法。 - 【請求項３】 請求項１または２の記載において、塩化
希土としてLa、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、
Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Ｙ、Scの塩化物から一種または二
種以上の混合物を用いる懸濁粒子を含む排水の処理方
法。 - 【請求項４】 請求項１または２の記載において、高分
子凝集剤として非イオン凝集剤または弱アニオン凝集剤
を用いる懸濁粒子を含む排水の処理方法。 - 【請求項５】 請求項２の記載において、有機カチオン
凝集剤としてポリアミン系、ジシアンジアミド系、ポリ
アクリルアミド系、ポリメタクリル酸エステル系、ポリ
アミンサルホン系、ジアミン系を用いる懸濁粒子を含む
排水の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20822396A JPH1043770A (ja) | 1996-08-07 | 1996-08-07 | 懸濁粒子を含む排水の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20822396A JPH1043770A (ja) | 1996-08-07 | 1996-08-07 | 懸濁粒子を含む排水の処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1043770A true JPH1043770A (ja) | 1998-02-17 |
Family
ID=16552714
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20822396A Pending JPH1043770A (ja) | 1996-08-07 | 1996-08-07 | 懸濁粒子を含む排水の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1043770A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010082568A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Daido Chem Ind Co Ltd | 廃液の処理方法 |
| CN103663637A (zh) * | 2013-11-27 | 2014-03-26 | 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 | 一种用于电镀废水的复合脱色絮凝剂及其使用方法 |
| CN106186450A (zh) * | 2016-09-08 | 2016-12-07 | 云南皓丽环保科技有限公司 | 一种污水处理用管式混凝反应装置 |
| CN112607904A (zh) * | 2020-04-11 | 2021-04-06 | 杨霞 | 一种节能减排的酸性矿山废水处理装置 |
| CN113816445A (zh) * | 2021-10-19 | 2021-12-21 | 福建省长汀金龙稀土有限公司 | 一种稀土萃取分离所形成的含氯化钙的废水处理方法 |
-
1996
- 1996-08-07 JP JP20822396A patent/JPH1043770A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010082568A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Daido Chem Ind Co Ltd | 廃液の処理方法 |
| CN103663637A (zh) * | 2013-11-27 | 2014-03-26 | 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 | 一种用于电镀废水的复合脱色絮凝剂及其使用方法 |
| CN106186450A (zh) * | 2016-09-08 | 2016-12-07 | 云南皓丽环保科技有限公司 | 一种污水处理用管式混凝反应装置 |
| CN106186450B (zh) * | 2016-09-08 | 2019-07-30 | 云南皓丽环保科技有限公司 | 一种污水处理用管式混凝反应装置 |
| CN112607904A (zh) * | 2020-04-11 | 2021-04-06 | 杨霞 | 一种节能减排的酸性矿山废水处理装置 |
| CN112607903A (zh) * | 2020-04-11 | 2021-04-06 | 杨霞 | 节能减排的酸性矿山废水处理装置 |
| CN112607904B (zh) * | 2020-04-11 | 2022-11-15 | 苏州鱼得水电气科技有限公司 | 一种节能减排的酸性矿山废水处理装置 |
| CN113816445A (zh) * | 2021-10-19 | 2021-12-21 | 福建省长汀金龙稀土有限公司 | 一种稀土萃取分离所形成的含氯化钙的废水处理方法 |
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|---|---|---|---|
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Effective date: 20060925 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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