WO2012124742A1

WO2012124742A1 - 積層防湿フィルム

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Publication number: WO2012124742A1
Application number: PCT/JP2012/056596
Authority: WO
Inventors: 治赤池; 繁治高木; 綾　哲也; 直哉二宮
Original assignee: 三菱樹脂株式会社
Priority date: 2011-03-15
Filing date: 2012-03-14
Publication date: 2012-09-20
Also published as: EP2687363B1; EP2687363A4; CN103415392A; US20140000699A1; KR20140046400A; CN103415392B; EP2687363A1; TW201244116A

Abstract

　防湿フィルムを複数使用した場合であっても、透明性に優れ、防湿性が極めて高く、かつ防湿フィルム間に発生する気泡の量を低減することができる積層防湿フィルムの提供。４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率(ＷＴＲ(Ａ))が１．０[ｇ／ｍ²・日]以下である防湿フィルムＡ（２）、及び基材（４）の片面に無機層（５）を有し、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ(Ｂ))が前記防湿フィルムＡの水蒸気透過率(ＷＴＲ(Ａ))値の１０％以下である防湿フィルムＢ（３）が接着剤層（７）を介して積層された構成を有することを特徴とする積層防湿フィルム（１）。

Description

積層防湿フィルム

　本発明は、積層防湿フィルムに関し、詳しくは、太陽電池モジュール用表面保護材に好適に使用しうる積層防湿フィルムに関する。

　樹脂フィルム基材の表面に酸化珪素等の無機層を形成した防湿フィルムは、他の樹脂フィルムと積層され、さまざまな包装用途に用いられてきた。近年は、液晶表示素子、太陽電池、電磁波シールド、タッチパネル、有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）素子、有機ＴＦＴ、有機半導体センサー、有機発光デバイス等の有機デバイス、電子ペーパー、フィルムコンデンサー、無機ＥＬ素子、カラーフィルター等で使用する基材フィルムや真空断熱材としての新しい用途にも使用されている。
　これらの用途において、積層防湿フィルムには、より厳しい性能が求められるようになり、長期使用や高温条件下における防湿性の劣化が少ない優れた積層防湿フィルムの開発がなされてきた。

　このような背景の中で、例えば、特許文献１には、金属箔の代わりに、無機酸化物が樹脂のシートに蒸着された防湿フィルムを使用した太陽電池モジュール用の裏面保護材が提案されており、耐候性を有する基材層と環状ポリオレフィン系樹脂層とからなる積層体であり、更に、該積層体のいずれか一方の面に、無機酸化物の蒸着膜を設けたことを特徴とする太陽電池モジュ－ル用保護シ－トが開示されている。
　また、特許文献２、３には、無機酸化物が樹脂のシートに蒸着された防湿フィルムを複数有する積層シートが提案されており、特許文献２では、一方の表面に金属酸化物の蒸着膜を有する第１蒸着樹脂層と、中間樹脂層と、一方の表面に金属酸化物の蒸着膜を有する第２蒸着樹脂層とがドライラミネート加工により積層された太陽電池モジュール用裏面保護シートであって、前記第１蒸着樹脂層及び前記第２蒸着樹脂層の蒸着膜が前記中間樹脂層側に配置される太陽電池モジュール用裏面保護シートが開示されている。更に、特許文献３では、一方の表面に金属酸化物の蒸着膜を有する蒸着樹脂層の少なくとも３層を順次ドライラミネート加工により積層し、前記蒸着樹脂層は、それぞれ４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過度が０．０３～０．５[ｇ／ｍ²・日]である太陽電池モジュール用裏面保護シートの製造方法が開示されている。
　また、特許文献４は、非吸湿性樹脂層の少なくとも片面に無機酸化物若しくは金属の蒸着膜が形成された複合フィルムを２枚以上含有し、該複合フィルムの蒸着膜面が、接着剤層を介して、他の複合フィルムの蒸着膜面と積層された層構成を１～４の範囲内で含有する防湿性多層フィルムが開示されている。

特開２００１－４４４７２号公報特開２０１０－２７２７６１号公報特開２０１０－２７２７６２号公報特許第４２６１６８０号公報

　樹脂シートからなる多層構造を有する積層防湿フィルムを作製する場合、層間の剥離を防止するために、層間の接着法としてドライラミネート加工を採用することが一般的である。ドライラミネート加工は、積層させようとする層と層との接着に反応性の接着剤を使用する積層方法であり、層間の強固な接着が得られる一方で、反応性接着剤が反応することに伴う二酸化炭素を主成分とする気泡が発生することがある。層間に発生した気泡は、通常は、樹脂シートからなる層の内部を透過して外部へ放出されるので、積層後に適切なエージング期間を設けることにより、層間に発生した気泡は、自然に消滅する。

　しかしながら、表面保護材の防湿性を向上させるために、無機薄膜からなる薄膜層が樹脂シートに積層された防湿フィルムを複数積層させた場合、層と層との間に発生した気泡が無機酸化物からなる無機薄膜層を透過できずに、層と層との間、特に、防湿フィルムの無機薄膜層に面した層間に残留することがある。この場合、気泡の存在による応力の影響で、無機薄膜層に亀裂を生じ、防湿性が低下する要因となる。特に積層防湿フィルムとして高い防湿性能を得るため水蒸気透過率が低い高防湿フィルムを複数使用し、高防湿フィルム同士を積層させた場合、残留溶剤による発泡の傾向が顕著である。このため、高防湿フィルムを複数積層させるのみでは、得られる積層防湿フィルムの防湿性を向上させることは困難である。従って、前記特許文献１～４の各々に開示された保護材あるいは多層シート等では防湿性は十分ではなかった。

　また、高い防湿性をもった防湿フィルム同士をドライラミネート加工する場合、少なくとも一方の高防湿フィルムに接着剤を塗工、乾燥させる工程が必要であり、上記工程中での無機薄膜層面への引っかき、こすれ、荷重などによる少量の欠陥が無機薄膜層内部及び防湿フィルム基材、アンカーコート層及び無機薄膜層間で生じることがある。これらの欠陥は高い防湿性に対して重大な影響を与えるため、高防湿フィルム同士を単にドライラミネート加工で積層させるのみでは、成形後の積層防湿フィルムの防湿性において、品質及び信頼性を損なう恐れがある。

　一方、太陽電池の分野においては、太陽電池素子としては、例えば、単結晶シリコン型、多結晶シリコン型、アモルファスシリコン型、ガリウム－砒素、銅－インジウム－セレン、カドミウム－テルルなどのＩＩＩ－Ｖ族やＩＩ－ＶＩ族化合物半導体型、色素増感型、有機薄膜型等が挙げられ、従来の水蒸気透過率が０.１[ｇ／ｍ²・日]程度までの防湿フィルムを使用した結晶シリコン型太陽電池素子用表面保護材に対して、半導体型、色素増感型、有機薄膜型等の太陽電池素子に対しては水蒸気透過率が０.０１［ｇ／ｍ²・日]以下の高防湿な表面保護材が必要となっており、層間の発泡を防ぎながら高防湿性の積層フィルムを得ることが課題である。

　本発明は、以上の状況に鑑みてなされたものであり、高防湿性の防湿フィルムと比較的低防湿性の防湿フィルムを組み合わせることにより、防湿フィルム層間の溶剤の残留と気泡の生成を抑制しつつ積層防湿フィルムとして高い防湿性を実現し、かつ比較的低防湿性の防湿フィルムを使用することにより、ハンドリング性及び積層防湿フィルムの品質の向上を可能とするものである。

　すなわち、本発明は、
（１）４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率(ＷＴＲ(Ａ))が１．０[ｇ／ｍ²・日]以下である防湿フィルムＡ、及び基材の片面に無機層を有し、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ(Ｂ))が前記防湿フィルムＡの水蒸気透過率(ＷＴＲ(Ａ))の１０％以下である防湿フィルムＢが接着剤層を介して積層された構成を有することを特徴とする積層防湿フィルム、
（２）４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率(ＷＴＲ(Ａ))が０．１[ｇ／ｍ²・日]以上、１．０[ｇ／ｍ²・日]以下である防湿フィルムＡ、及び基材の片面に無機層を有し、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ(Ｂ))が０．００１[ｇ／ｍ²・日]以上、０．１[ｇ／ｍ²・日]未満である防湿フィルムＢが、接着剤層を介して積層された構成を有することを特徴とする積層防湿フィルム、
（３）４０℃、９０％ＲＨにおける積層防湿フィルムの水蒸気透過率（ＷＶＴＲ（Ｌ））が、［ＷＴＲ(Ａ)×ＷＴＲ(Ｂ)］／［ＷＴＲ(Ａ)＋ＷＴＲ(Ｂ)］より低い値であることを特徴とする上記（１）または（２）のいずれかに記載の積層防湿フィルム、

（４）４０℃、９０％ＲＨにおける積層防湿フィルムの水蒸気透過率（ＷＶＴＲ（Ｌ））が、［ＷＴＲ(Ａ)×ＷＴＲ(Ｂ)］／［ＷＴＲ(Ａ)＋ＷＴＲ(Ｂ)］の８０％以下である上記（１）～（３）のいずれかに記載の積層防湿フィルム、
（５）防湿フィルムＡの４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率(ＷＴＲ(Ａ))が０．１ [ｇ／ｍ²・日]以上であることを特徴とする上記（１）、（３）または（４）のいずれかに記載の積層防湿フィルム、
（６）防湿フィルムＡの４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率(ＷＴＲ(Ａ))が０．２ [ｇ／ｍ²・日]以上であることを特徴とする上記（１）～（５）のいずれかに記載の積層防湿フィルム、
（７）防湿フィルムＡの４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率(ＷＴＲ(Ａ))が０.４[ｇ／ｍ²・日]以上であることを特徴とする上記（１）～（６）のいずれかに記載の積層防湿フィルム、
（８）防湿フィルムＡの４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率(ＷＴＲ(Ａ))が０.６[ｇ／ｍ²・日]以上であることを特徴とする上記（１）～（７）のいずれかに記載の積層防湿フィルム、

（９）防湿フィルムＢの４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ(Ｂ))が０．００１[ｇ／ｍ²・日]以上、０．１ [ｇ／ｍ²・日]以下であることを特徴とする上記（１）及び（３）～（８）のいずれかに記載の積層防湿フィルム、
（１０）防湿フィルムＢの４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ(Ｂ))が０．００１[ｇ／ｍ²・日]以上、０．０５[ｇ／ｍ²・日]以下であることを特徴とする上記（１）～（９）のいずれかに記載の積層防湿フィルム、
（１１）防湿フィルムＡが環状オレフィン系重合体を含む樹脂組成物からなる層を少なくとも一層有するフィルムであることを特徴とする上記（１）～（１０）のいずれかに記載の積層防湿フィルム、
（１２）防湿フィルムＡが基材の片面に無機層を有するフィルムであることを特徴とする上記（１）～（１０）のいずれかに記載の積層防湿フィルム、
（１３）耐候性フィルム、防湿フィルムＢ及び防湿フィルムＡを曝露側からこの順に有し、かつ防湿フィルムＡの無機層側に防湿フィルムＢの基材を有することを特徴とする上記（１２）に記載の積層防湿フィルム、

（１４）耐候性フィルム、防湿フィルムＡ及び防湿フィルムＢを曝露側からこの順に有し、かつ防湿フィルムＢの無機層側に防湿フィルムＡの基材を有する上記（１２）に記載の積層防湿フィルム、
（１５）接着剤層が接着剤からなり、かつ該接着剤が主剤としてポリカーボネートポリオール、ポリエーテルポリオール、アクリルポリオール、ポリウレタンポリオール及びポリエステルポリオールのうち少なくとも１種を含むことを特徴とする上記（１）～（１４）のいずれかに記載の積層防湿フィルム、
（１６）太陽電池用表面保護部材に用いられる上記（１）～（１５）のいずれかに記載の積層防湿フィルム、
（１７）化合物系発電素子太陽電池モジュール又はフレキシブル太陽電池モジュールの表面保護部材に用いられる上記（１）～（１６）のいずれかに記載の積層防湿フィルム、
（１８）上記（１）～（１７）のいずれかに記載の積層防湿フィルムを有することを特徴とする太陽電池用表面保護部材、

（１９）防湿フィルムＡ及び防湿フィルムＢが各々の無機層を曝露面側に有する上記（１８）に記載の太陽電池用表面保護部材、
（２０）上記（１８）または（１９）に記載の太陽電池用表面保護材を用いて作製された太陽電池モジュール、
に関する。

　本発明によれば、防湿フィルムを複数使用した場合であっても、透明性に優れ、防湿性が極めて高く、かつ防湿フィルム間に発生する気泡の量を低減することができる積層防湿フィルム、特に、太陽電池モジュール用表面保護材に使用しうる積層防湿フィルム、及び該積層防湿フィルムを用いる太陽電池用表面保護部材が提供される。

本発明の一実施形態に係る積層防湿フィルムを示す模式的断面図図１の積層防湿フィルムとは異なる形態に係る積層防湿フィルムを示す模式的断面図図１及び２の積層防湿フィルムとは異なる形態に係る積層防湿フィルムを示す模式的断面図

　以下に本発明を更に詳細に説明する。なお、本発明において、「○以上、△以下」を「○～△」と表すことがある。
　一般に、積層防湿フィルムはドライラミネート加工等により作成される。無機層を有する防湿フィルムと樹脂フィルムとのドライラミネート加工では、樹脂フィルムに溶剤を用いて希釈した接着剤を所定の厚みに塗布し、例えば１００℃から１４０℃の範囲での乾燥により溶剤を蒸発させ樹脂フィルム上に接着剤層を形成する。その後、防湿フィルムの無機層面を接着剤側に向けて貼合し、所定の温度での養生を経て積層防湿フィルムが製造される。養生は、例えば３０℃から８０℃の範囲で１日から１週間行なわれる。
　通常、高防湿フィルム同士をドライラミネート加工する場合、ドライラミネート加工時に接着剤塗液に含まれている溶剤は、高防湿フィルムの高防湿性の故に、積層フィルム内において内側から外側への拡散、及び表面からの揮発が困難であり、積層フィルム間に残留し、また、加熱により発泡が顕著となる。

　本発明者等は、比較的低防湿性のフィルムに、一方の面に無機層を有し、４０℃、９０％ＲＨの水蒸気透過率が前記比較的低防湿性のフィルムの値の１０％以下である高防湿性のフィルムを、接着剤層を介してドライラミネート加工等により積層することにより、加熱による発泡を生じず、かつ透明性及び防湿性に優れる積層防湿フィルムが得られることを見出した。また、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率が０．１[ｇ／ｍ²・日]以上、１．０[ｇ／ｍ²・日]以下である比較的低防湿性の防湿フィルムと、基材の片面に無機層を有し、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率が０．００１[ｇ／ｍ²・日]以上、０．１[ｇ／ｍ²・日]未満である高防湿性のフィルムを、ドライラミネート加工等により積層することにより、加熱による発泡を生じず、かつ透明性及び防湿性に優れる積層防湿フィルムが得られることを見出した。
　これは、上記の構成とすることにより、接着剤塗液中の溶剤が比較的容易に低防湿性のフィルムを透過し、積層防湿フィルムの外へ揮発し、溶剤が残留しないためと考えられる。

　上記積層防湿フィルムにおいては、防湿性の測定環境である４０℃、９０％ＲＨにおいて、高防湿性の防湿フィルムを外層とする場合、高防湿性の防湿フィルムにより積層防湿フィルムへの水蒸気の進入が抑制され、内面側の比較的低防湿性の防湿フィルムの無機薄膜面においては水蒸気透過率の測定環境と比べ低湿度状態が形成される。この低湿度状態は比較的低防湿性の防湿フィルムへの水分吸着を著しく減少させ、その結果比較的低防湿性の防湿フィルムの水分の透過が減少し、該防湿フィルムの防湿性が上昇する。
　一方、比較的低防湿性の防湿フィルムを外層とする場合も同様に該比較的低防湿性の防湿フィルムにより積層防湿フィルムへの水蒸気の進入がある程度抑制され、内面側の高防湿性の防湿フィルムの無機層面においては水蒸気透過率の測定環境と比べ低湿度状態が形成される。この低湿度状態は高防湿性の防湿フィルムの無機層面への水分吸着を著しく減少させ、その結果，高防湿性の防湿フィルムの水分の透過がより減少し、該防湿フィルムの防湿性が上昇することとなり、防湿性に優れた積層防湿フィルムが得られる。

＜積層防湿フィルム＞
　本発明の積層防湿フィルムは、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率(ＷＴＲ(Ａ))が１．０[ｇ／ｍ²・日]以下である防湿フィルムＡ、及び基材の片面に無機層を有し、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ(Ｂ))が前記防湿フィルムＡの値の１０％以下である防湿フィルムＢを有する積層防湿フィルムであって、前記防湿フィルムＡ及び防湿フィルムＢが、接着剤層を介して積層した構成を有することを特徴とする。
　また、本出願のもう一つの発明である積層防湿フィルムは、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率(ＷＴＲ(Ａ))が０．１[ｇ／ｍ²・日]以上、１．０[ｇ／ｍ²・日]以下である防湿フィルムＡ、及び基材の片面に無機層を有し、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ(Ｂ))が０．００１[ｇ／ｍ²・日]以上、０．１ [ｇ／ｍ²・日]未満である防湿フィルムＢが、接着剤層を介して積層された構成を有することを特徴とする。
　以下、各構成層について説明する。

［防湿フィルムＡ］
　本発明の積層防湿フィルムにおける防湿フィルムＡは、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率(ＷＴＲ(Ａ))が１．０[ｇ／ｍ²・日]以下である。本発明における、防湿フィルムＡ及び防湿フィルムＢの組み合わせにおいて、接着剤塗液中の溶剤が残留しないためには、防湿フィルムＡの水蒸気透過率（ＷＴＲ(Ａ))は、４０℃、９０％ＲＨで好ましくは０．１[ｇ／ｍ²・日]以上であり、より好ましくは０．２[ｇ／ｍ²・日]以上であり、更に好ましくは０.４[ｇ／ｍ²・日]以上であり、特に好ましくは０.６[ｇ／ｍ²・日]以上である。防湿フィルムＡの水蒸気透過率（ＷＴＲ(Ａ))が上記の範囲であれば、積層防湿フィルムの防湿性が高い場合であっても、溶剤が防湿フィルムＡを透過することが容易であり加熱による発泡がおき難い。
　このような防湿フィルムＡとしては、防湿性の樹脂フィルムや、基材の片面に無機層を有するフィルムが挙げられる。
　防湿性の樹脂フィルムとしては、環状オレフィン系重合体を含む樹脂組成物からなる層を少なくとも１層有するフィルムが挙げられる（以下、「環状オレフィン系重合体防湿フィルム」ということがある。）。該層中の環状オレフィン系重合体の含有量は５０～１００質量％であるのが好ましい。

　環状オレフィン系重合体は、主骨格が炭素から構成されるため、撥水性のほか、塗工性、環境安全性に優れており、本発明の防湿フィルムＡに好適に用いられる。該環状オレフィン系重合体としては、主として以下の（Ａ）～（Ｃ）にかかる３通りの構成を挙げることが出来る。
（Ａ）：直鎖状オレフィン成分と環状オレフィン成分とからなる環状オレフィン系ランダム共重合体
（Ｂ）：環状オレフィン成分からなる開環重合体もしくはその水素化物
（Ｃ）：（Ａ）と（Ｂ）との混合物
　ここで、環状オレフィン成分の例としては、ビシクロヘプト－２－エン（２－ノルボルネン）及びその誘導体、例えば、ノルボルネン、６－メチルノルボルネン、６－エチルノルボルネン、６－ｎ－ブチルノルボルネン、５－プロピルノルボルネン、１－メチルノルボルネン、７－メチルノルボルネン、５，６－ジメチルノルボルネン、５－フェニルノルボルネン、５－ベンジルノルボルネン等を挙げることができる。

　前記構成（Ａ）の環状オレフィン系ランダム共重合体は、直鎖状オレフィン成分と上記環状オレフィン成分との共重合体であり、流動性、透明性、及び水蒸気バリア性などの点で、本発明において好適に用いられる。前記環状オレフィン成分に共重合させる直鎖状オレフィン成分としては、炭素数２～２０のα－オレフィンが好適に用いられ、例えば、エチレン、プロピレン、１－ブテン、１－ペンテン、１－ヘキセン、１－ヘプテン、１－オクテン、１－ノネン、１－デセン、３－メチル－ブテン－１、４－メチル－ペンテン－１などがあげられる。本発明においては、工業的な入手しやすさや諸特性、経済性の観点から直鎖状オレフィン成分としては、エチレンが好適に用いられ、環状オレフィン成分としては、ノルボルネンあるいは、テトラシクロドデセンが好適に用いられる。共重合する環状オレフィン成分と直鎖状オレフィン成分はそれぞれ１種を単独で、又は２種以上を組み合わせても構わない。

　前記環状オレフィン系ランダム共重合体における環状オレフィン成分の含有量（モル％）は特に限定されるものではないが、エチレン―ノルボルネンランダム共重合体を例に挙げると、ノルボルネン成分は、好ましくは１モル％以上、より好ましくは１０モル％以上、さらに好ましくは１５モル％以上であり、かつ、好ましくは６０モル％以下、より好ましくは４０モル％以下、さらに好ましくは３０モル％以下である。該範囲にあれば、太陽電池用表面保護部材に使用する際の溶融粘度や力学特性、経済性などに優れるため好ましい。
　環状オレフィン系重合体としては、例えばＪＳＲ株式会社製アートン（商品名）、日本ゼオン株式会社製ゼオネックス（商品名）等の市販品を使用することもできる。
　環状オレフィン系重合体は一般的に耐熱性があり、透明性が高く、また環状オレフィン系重合体を含む樹脂組成物からなるフィルムは単位面積あたりの水蒸気透過率が低く、水蒸気バリア性に優れている。

　本発明において、環状オレフィン系重合体防湿フィルムとしては、例えば、上記の環状オレフィン系重合体の１種ないし、２種以上を使用し、押し出し法、キャスト成形法、Ｔダイ法、切削法、インフレ－ション法又はその他等の製膜化法を用いて、上記の環状オレフィン系重合体を製膜化する方法、あるいは、２種以上の環状オレフィン系重合体を使用して多層共押し出し製膜化する方法、更には、２種以上の環状オレフィン系重合体を使用し、製膜化する前に混合してから製膜化する方法等により、環状オレフィン系重合体防湿フィルムを製造し、更に、要すれば、例えば、テンタ－方式、あるいは、チュ－ブラ－方式等を利用して１軸ないし２軸方向に延伸加工してなる環状オレフィン系重合体防湿フィルムが得られる。

　本発明において、防湿性の樹脂フィルムの厚みとしては、防湿性と柔軟性を両立させる観点から、好ましくは１２～７００μｍ、より好ましくは、２５～５００μｍである。また、防湿性の樹脂フィルムは、太陽電池の表面保護材として用いる際には、可視光透過率が、８５％以上、好ましくは９０％以上、より好ましくは９２％以上であって、入射する太陽光を透過する性質を有することが発電効率の向上を達成できるため望ましい。

　なお、上記において、環状オレフィン系重合体の製膜化に際して、例えば、フィルムの加工性、耐熱性、耐候性、強度、機械的性質、寸法安定性、抗酸化性、滑り性、離形性、難燃性、抗カビ性、電気的特性、耐突き刺し性、その他等を改良、改質する目的で、種々の樹脂配合剤や添加剤等を添加することができ、その添加量としては、極く微量から数十％まで、その目的に応じて、任意に添加することができる。また、上記において、一般的な添加剤としては、例えば、滑剤、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤充填剤、帯電防止剤、難燃剤、耐炎剤、顔料、その他等を使用することができ、更には、改質用樹脂等も使用することができる。

　本発明において、環状オレフィン防湿フィルムの表面は、必要に応じて、例えば、コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若しくは窒素ガス等を用いた低温プラズマ処理、グロ－放電処理、化学薬品等を用いて処理する酸化処理、その他の前処理を任意に施すことができ、環状オレフィン防湿フィルムの表面に、予め、プライマ－コ－ト剤層、アンダ－コ－ト剤層、あるいは、蒸着アンカ－コ－ト剤層等を任意に形成することもできる。上記のコ－ト剤層には、例えば、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物を使用することができる。また、上記において、コ－ト剤層の形成法としては、例えば、溶剤型、水性型、あるいは、エマルジョン型等のコ－ト剤を使用し、ロ－ルコ－ト法、グラビアロ－ルコ－ト法、キスコ－ト法、その他等のコ－ト法を用いてコ－トすることができ、そのコ－ト時期としては、環状ポリオレフィン防湿フィルムの製膜後、又は２軸延伸処理後の後工程として、あるいは、製膜時、２軸延伸処理のインライン処理等で実施することができる。

　本発明の防湿フィルムＡとしては、他に、前記した通り、基材の片面に無機層を有するフィルムが挙げられる。この無機層により、湿気の透過から太陽電池の内面側を保護することができる。また、無機層が高い透明性を有する場合は、表面保護材として用いた際、発電効率の向上を達成できる。

　上記無機層を有する基材としては、樹脂フィルムが好ましく、その材料としては、通常の太陽電池材料に使用しうる樹脂であれば特に制限なく用いることができる。具体的には、エチレン、プロピレン、ブテン等の単独重合体または共重合体などのポリオレフィン、環状ポリオレフィン等の非晶質ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル、ナイロン６、ナイロン６６、ナイロン１２、共重合ナイロン等のポリアミド、エチレン－酢酸ビニル共重合体部分加水分解物（ＥＶＯＨ）、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、ポリビニルブチラール、ポリアリレート、フッ素樹脂、アクリル系樹脂、生分解性樹脂などが挙げられる。これらの中では、熱可塑性樹脂が好ましく、フィルム物性、コストなどの点から、ポリエステル、ポリアミド、ポリオレフィンがより好ましい。中でも、フィルム物性の点から、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステルが特に好ましい。

　また、上記基材は、公知の添加剤、例えば、帯電防止剤、紫外線吸収剤、可塑剤、滑剤、フィラー、着色剤、耐候安定剤等の安定剤、潤滑剤、架橋剤、ブロッキング防止剤、酸化防止剤等を含有することができる。
　使用する紫外線吸収剤としては、種々の市販品が適用でき、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、トリアジン系、サリチル酸エステル系など各種タイプのものを挙げることができる。ベンゾフェノン系紫外線吸収剤としては、例えば、２－ヒドロキシ－４－メトキシベンゾフェノン、２－ヒドロキシ－４－メトキシ－２'－カルボキシベンゾフェノン、２－ヒドロキシ－４－オクトキシベンゾフェノン、２－ヒドロキシ－４－ｎ－ドデシルオキシベンゾフェノン、２－ヒドロキシ－４－ｎ－オクタデシルオキシベンゾフェノン、２－ヒドロキシ－４－ベンジルオキシベンゾフェノン、２－ヒドロキシ－４－メトキシ－５－スルホベンゾフェノン、２－ヒドロキシ－５－クロロベンゾフェノン、２，４－ジヒドロキシベンゾフェノン、２,２'－ジヒドロキシ－４－メトキシベンゾフェノン、２，２'－ジヒドロキシ－４、４'－ジメトキシベンゾフェノン、２，２'、４，４'－テトラヒドロキシベンゾフェノンなどを挙げることができる。

　ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤としては、ヒドロキシフェニル置換ベンゾトリアゾール化合物であって、例えば、２－（２－ヒドロキシ－５－メチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２－（２－ヒドロキシ－５－ｔ－ブチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２－（２－ヒドロキシ－３，５－ジメチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２－（２－メチル－４－ヒドロキシフェニル）ベンゾトリアゾール、２－（２－ヒドロキシ－３－メチル－５－ｔ－ブチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２－（２－ヒドロキシ－３，５－ジ－ｔ－アミルフェニル）ベンゾトリアゾール、２－（２－ヒドロキシ－３，５－ジ－ｔ－ブチルフェニル）ベンゾトリアゾールなどを挙げることができる。またトリアジン系紫外線吸収剤としては、２－［４，６－ビス（２，４－ジメチルフェニル）－１，３，５－トリアジン－２－イル］－５－（オクチルオキシ）フェノール、２－（４，６－ジフェニル－１，３，５－トリアジン－２－イル）－５－（ヘキシルオキシ）フェノールなどを挙げることができる。サリチル酸エステル系としては、フェニルサリチレート、ｐ－オクチルフェニルサリチレートなどを挙げることができる。

　該紫外線吸収剤の添加量は、基材中、通常、０．０１～２．０質量％程度であり、０．０５～０．５質量％添加することが好ましい。
　上記の紫外線吸収剤以外に耐候性を付与する耐候安定剤としては、ヒンダードアミン系光安定化剤が好適に用いられる。ヒンダードアミン系光安定化剤は、紫外線吸収剤のようには紫外線を吸収しないが、紫外線吸収剤と併用することによって著しい相乗効果を示す。

　ヒンダードアミン系光安定化剤としては、コハク酸ジメチル－１－（２－ヒドロキシエチル）－４－ヒドロキシ－２，２，６，６－テトラメチルピペリジン重縮合物、ポリ［｛６－（１，１，３，３－テトラメチルブチル）アミノ－１，３，５－トリアジン－２，４－ジイル｝｛（２，２，６，６－テトラメチル－４－ピペリジル）イミノ｝ヘキサメチレン｛｛２，２，６，６－テトラメチル－４－ピペリジル｝イミノ｝］、Ｎ，Ｎ′－ビス（３－アミノプロピル）エチレンジアミン－２，４－ビス［Ｎ－ブチル－Ｎ－（１，２，２，６，６－ペンタメチル－４－ピペリジル）アミノ］－６－クロロ－１，３，５－トリアジン縮合物、ビス（２，２，６，６－テトラメチル－４－ピペリジル）セパレート、２－（３，５－ジ－ｔｅｒｔ－４－ヒドロキシベンジル）－２－ｎ－ブチルマロン酸ビス（１，２，２，６，６－ペンタメチル－４－ピペリジル）などを挙げることができる。該ヒンダードアミン系光安定化剤の添加量は、基材中、通常、０．０１～０．５質量％程度であり、０．０５～０．３質量％添加することが好ましい。

　上記基材としての樹脂フィルムは、上記の原料を用いて成形してなるものであるが、基材として用いる際は、未延伸であってもよいし延伸したものであってもよい。
　また、１種以上の樹脂フィルムが積層されたものであってもよい。
　かかる基材は、従来公知の方法により製造することができ、例えば、原料樹脂を押出機により溶融し、環状ダイやＴダイにより押出して、急冷することにより実質的に無定型で配向していない未延伸フィルムを製造することができる。また、多層ダイを用いることにより、１種の樹脂からなる単層フィルム、１種の樹脂からなる多層フィルム、多種の樹脂からなる多層フィルム等を製造することができる。

　この未延伸フィルムを一軸延伸、テンター式逐次二軸延伸、テンター式同時二軸延伸、チューブラー式同時二軸延伸などの公知の方法により、フィルムの流れ（縦軸）方向又はフィルムの流れ方向とそれに直角な（横軸）方向に延伸することにより、一軸方向又は二軸方向に延伸したフィルムを製造することができる。延伸倍率は任意に設定できるが、１５０℃における熱収縮率が、０．０１～５％であることが好ましく、更には０．０１～２％であることがより好ましい。中でもフィルム物性の点から、二軸延伸ポリエチレンナフタレートフィルム、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンテレフタレートとポリエチレンナフタレートの共押出二軸延伸フィルムやポリエチレンテレフタレート及び／又はポリエチレンナフタレートと他の樹脂の共押出二軸延伸フィルムが好ましい。
　上記基材の厚さは、一般に５～１００μｍ程度であり、生産性や取り扱いやすさの点から８～５０μｍが好ましく、１２～２５μｍが更に好ましい。

　なお、上記基材には、無機層との密着性向上のため、アンカーコート剤を塗布することによりアンカーコート層を設けることが好ましい。アンカーコート剤としては、溶剤性又は水性のポリエステル樹脂、イソシアネート樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、変性ビニル樹脂、ビニルアルコール樹脂等のアルコール性水酸基含有樹脂、ビニルブチラール樹脂、ニトロセルロース樹脂、オキサゾリン基含有樹脂、カルボジイミド基含有樹脂、メチレン基含有樹脂、エポキシ基含有樹脂、変性スチレン樹脂、変性シリコーン樹脂等が挙げられる。これらは単独、あるいは２種以上組み合わせて使用することができる。また、アンカーコート層は必要に応じ、シラン系カップリング剤、チタン系カップリング剤、紫外線吸収剤、耐候安定剤等の安定剤、潤滑剤、ブロッキング防止剤、酸化防止剤等を含有することができる。
　紫外線吸収剤及び耐候安定剤としては、前述の基材の説明において挙げたものが使用できる。該紫外線吸収剤及び／または耐候安定剤が前記した樹脂と共重合したポリマータイプのものも使用することもできる。

　アンカーコート層の形成方法としては、公知のコーティング方法が適宜採択される。例えば、リバースロールコーター、グラビアコーター、ロッドコーター、エアドクタコーター、スプレイを用いたコーティング方法等の方法がいずれも使用できる。また、基材を樹脂液に浸漬して行ってもよい。塗布後は、８０～２００℃程度の温度での熱風乾燥、熱ロール乾燥などの加熱乾燥や、赤外線乾燥などの公知の乾燥方法を用いて溶媒を蒸発させることができる。また、耐水性、耐久性を高めるために、電子線照射による架橋処理を行う事もできる。また、アンカーコート層の形成は、基材の製造ラインの途中で行う方法（インライン）でも、基材製造後に行う（オフライン）方法でも良い。
　アンカーコート層の厚みは無機層との密着性の観点から、１０～２００ｎｍであることが好ましく、１０～１００ｎｍであることがより好ましい。

　上記無機層の形成方法としては、蒸着法、コーティング法などの方法がいずれも使用できるが、ガスバリア性の高い均一な薄膜が得られるという点で蒸着法が好ましい。この蒸着法には、物理気相蒸着法（ＰＶＤ）、あるいは化学気相蒸着法（ＣＶＤ）などの方法が含まれる。物理気相蒸着法としては、真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリングなどが挙げられ、化学気相蒸着法としては、プラズマを利用したプラズマＣＶＤ、加熱触媒体を用いて材料ガスを接触熱分解する触媒化学気相成長法（Ｃａｔ－ＣＶＤ）等が挙げられる。

　無機層を構成する無機物質としては、珪素、アルミニウム、マグネシウム、亜鉛、錫、ニッケル、チタン、水素化炭素等、あるいはこれらの酸化物、炭化物、窒化物またはそれらの混合物が挙げられるが、太陽電池に使用した場合、電流がリークする等の恐れがない点から、酸化珪素、酸化窒化珪素及び酸化アルミニウム等の無機酸化物、窒化珪素等の窒化物並びに水素化炭素を主体としたダイアモンドライクカーボンが好ましい。特に、酸化珪素、窒化珪素、酸化窒化珪素、酸化アルミニウムは、高いガスバリア性が安定に維持できる点で好ましい。

　上記無機層の厚さは、安定な防湿性能の発現の点から、１０～１０００ｎｍであることが好ましく、４０～１０００ｎｍであることがより好ましく、４０～８００ｎｍが更に好ましく、５０～６００ｎｍが特に好ましい。無機層は単層であっても多層であってもよい。
　上記基材の片面に無機層を有する防湿フィルムの厚さは、一般に５～１００μｍ程度であり、生産性や取り扱いやすさの点から８～５０μｍが好ましく、１２～２５μｍが更に好ましい。

　防湿フィルムＡの水蒸気透過率（ＷＴＲ(Ａ))の調整は、防湿フィルムＡが、防湿性の樹脂フィルムである場合には、該フィルムを構成する樹脂組成物の組成、樹脂の種類やフィルムの厚さにより調整することができる。また防湿フィルムＡが基材の片面に無機層を有するフィルムである場合には、基材や無機層を構成する材料の選択や、無機層の厚さ、無機層を構成する材料が無機酸化物の場合は該酸化物の酸化数及び防湿フィルムＡ全体の厚さ等を調整することにより行うことができる。
　防湿フィルムＡの防湿性は防湿フィルムＡ内の水分拡散の大小と防湿フィルムＡ表裏両側の水分濃度差により決定される。本発明では高い防湿性をもった防湿フィルムＢを曝露側に配置する場合、内面側へ透過する水分を抑制し、防湿フィルムＡ表裏間での水分濃度差を低減することにより防湿フィルムＡの防湿性を向上させることができる。また、防湿フィルムＡを曝露側に配置する場合、内面側へ透過する水分を抑制し、防湿フィルムＢの表裏間での水分濃度差を低減することにより防湿フィルムＢの防湿性をより向上させることができる。

[防湿フィルムＢ]
　本発明において、防湿フィルムＢは、基材の片面に無機層を有し、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ(Ｂ))が前記防湿フィルムＡの値の１０％以下であるものであり、好ましくは５％以下であり、より好ましく３％以下である。上記比率を１０％以下とすることで、得られる積層防湿フィルムは、高い防湿性を有し、一方で接着剤塗液中の溶剤は比較的容易に防湿フィルムＡを透過し、溶剤が残留せず表面から積層防湿フィルム外へ揮発し、加熱による発泡も防止できる。
　更に防湿フィルムＢの水蒸気透過率は、４０℃、９０％ＲＨで０．１[ｇ／ｍ²・日]以下であるのが好ましく、より好ましくは０．０５[ｇ／ｍ²・日]以下、更に好ましくは０．０３[ｇ／ｍ²・日]以下、特に好ましくは０．００５[ｇ／ｍ²・日]以下である。

　また本出願のもう一つの発明である積層防湿フィルムにおいて防湿フィルムＢは、水蒸気透過率（ＷＴＲ(Ｂ))が０．００１[ｇ／ｍ²・日]以上、０．１ [ｇ／ｍ²・日]未満、好ましくは０．００１[ｇ／ｍ²・日]以上、０．０５ [ｇ／ｍ²・日]以下、更に好ましくは０．００１[ｇ／ｍ²・日]以上、０．０２ [ｇ／ｍ²・日]以下であるものである。
　前記無機層により、湿気の透過による太陽電池の内面側を保護することができる。また、無機層が高い透明性を有する場合は、表面保護材として用いた際、発電効率の向上を達成できる。
　防湿フィルムＢを構成する基材、無機層としては、前記防湿フィルムＡの説明において挙げたものが使用できる。更には、好ましくは前記防湿フィルムＡの説明において挙げたアンカーコート層を設けることができる。

　無機層の厚さは、高い防湿性能の発現と透明性の点から、１０～１０００ｎｍであることが好ましく、４０～１０００ｎｍであることがより好ましく、４０～８００ｎｍが更に好ましく、５０～６００ｎｍが特に好ましい。無機層は単層であっても多層であってもよい。
　また、上記基材の厚さは、一般に５～１００μｍ程度であり、生産性や取り扱いやすさの点から８～５０μｍが好ましく、１２～２５μｍが更に好ましい。従って、上記防湿フィルムＢの厚さは、一般に５～１００μｍ程度であり、生産性や取り扱いやすさの点から８～５０μｍが好ましく、１２～２５μｍが更に好ましい。

　防湿フィルムＢの水蒸気透過率（ＷＴＲ(Ｂ))の調整は、基材の選択や無機層を構成する材料の選択、無機層の厚さ、無機層を構成する材料が無機酸化物の場合は該酸化物の酸化数及び防湿フィルムＢ全体の厚さ等を調整することにより行うことができる。

［積層防湿フィルム］
　本発明の積層防湿フィルムは、前記防湿フィルムＡ及び前記防湿フィルムＢを有するものであるが、その４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＶＴＲ（Ｌ））が、［ＷＴＲ(Ａ)×ＷＴＲ(Ｂ)］／［ＷＴＲ(Ａ)＋ＷＴＲ(Ｂ)］より低い値であることが好ましい。
　接着剤を用いて複数の防湿フィルムを積層した積層防湿フィルムにおいて、使用する接着剤に防湿フィルムの防湿性を低下させている要因である無機層表面内の欠陥を補強するなどの防湿性を向上させる効果がない場合、積層体の防湿性は各々の防湿フィルムの防湿性への寄与から直列的に導き出されると考えられる。すなわち、得られる積層防湿フィルムの４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（Ｗ）は、１／Ｗ＝１／ＷＴＲ(Ａ)＋１／ＷＴＲ(Ｂ) と表され、Ｗ＝［ＷＴＲ(Ａ)×ＷＴＲ(Ｂ)］／［ＷＴＲ(Ａ)＋ＷＴＲ(Ｂ)］として理論的に求めることができる。

　本発明の積層防湿フィルムは、水蒸気透過率（ＷＶＴＲ（Ｌ））が、理論値である上記Ｗ＝［ＷＴＲ(Ａ)×ＷＴＲ(Ｂ)］／［ＷＴＲ(Ａ)＋ＷＴＲ(Ｂ)］の値より低い値とすることができ、極めて防湿性に優れた積層防湿フィルムである。このことは、本発明の高防湿フィルムと低防湿フィルムの組み合わせによる積層防湿フィルムが重大な防湿性向上効果を有することを意味する。本発明によれば、高価でかつ加工プロセスにおいて防湿性を損ないやすい高防湿性フィルムを複数枚使用することなく、比較的安価で取り扱いの容易な低防湿性フィルムと組み合わせることにより大きな防湿性向上効果を得ることが可能となる。
　上記観点から、積層防湿フィルムの水蒸気透過率（ＷＶＴＲ（Ｌ））は、上記Ｗの値の８０％以下が好ましく、より好ましくは７５％以下、さらに好ましくは７２％以下である
　更に、実施例記載の方法により求めた積層防湿フィルムの初期ヘイズ値が３０以下であり、かつヘイズの変化度が１～２であると、積層防湿フィルムが透明性に優れるため好ましい。

　本発明の積層防湿フィルムにおいては、前記防湿フィルムＡと前記防湿フィルムＢを積層するが、防湿フィルムＡが基材の片面に無機層を有するフィルムの場合には、長期の防湿性能の維持の観点から、一方の防湿フィルムの無機層側と、他方の防湿フィルムの基材面とを合わせて積層するのが好ましい。防湿フィルムの無機層同士を張り合わせると、水蒸気は防湿フィルムの基材側より浸透するため基材強度が加水分解等により低下し、それにより無機層の基材への密着性が損なわれ防湿性が著しく低下する恐れがある。このため、湿気の侵入側（曝露側）に無機層面を向けて貼合することが好ましい。
　また、本発明の積層防湿フィルムにおいては、上記防湿フィルムＡと防湿フィルムＢの間に接着剤層を有する。

　接着剤としては、ポリウレタン系接着剤が好ましく用いられ、接着剤の主剤として具体的には、ポリカーボネートポリオール、ポリエーテルポリオール、アクリルポリオール、ポリウレタンポリオールあるいはポリエステルポリオールを含む組成物などが挙げられるが、熱安定性、湿度安定性などの観点から、ポリカーボネートポリオール、ポリエーテルポリオール及びポリウレタンポリオールのうち少なくとも１つを含むものがより好ましい。

　また、接着剤の主剤は、ポリカーボネートポリオール、ポリエーテルポリオール及びポリウレタンポリオールから選ばれる少なくとも１種を２０～７０質量％含むものが好ましく、３０～５０質量％含むものがより好ましい。なお上記含有量は、ポリカーボネートポリオール、ポリエーテルポリオール及びポリウレタンポリオールから選ばれる２種以上を併用する場合、それらの合計量を意味する。
　ポリカーボネートポリオールは、例えば、ジフェニルカーボネートと、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ネオペンチルグリコール（ＮＰＧ）、シクロヘキサンジオール等のジオールとを原料として得ることができる。

　ポリエーテルポリオールは、例えばエチレンオキサイド、プロピレンオキサイド、テトラヒドロフラン等のアルキレンオキサイドを、アルカリ触媒又は酸触媒を触媒として開環重合を行うことで得ることができる。開環重合の出発物質となる活性水素含有化合物としてはエチレングリコール、プロピレングリコール、１，４－ブタンジオール、１，６－へキサンジオール等の多価アルコールを用いることができる。

　ポリアクリルポリオールは、水酸基をもった（メタ）アクリル酸エステルと他のモノマーとを共重合させて得ることができる。（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレート、ヒドロキシブチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート、ヒドロキシブチルメタクリレート、メチルメタクリレート、ブチルメタクリレート、脂環式構造を有するシクロヘキシルメタクリレート等を挙げることができる。好ましくは、メチルメタクリレート、ブチルメタクリレート、脂環式構造を有するシクロヘキシルメタクリレート等のモノマーを重合させたポリアクリルポリオール、もしくは、これらのモノマーを共重合させたポリアクリルポリオールが挙げられる。

　ポリウレタンポリオールは、ジオールとジイソシアネートを、イソシアネート基に対する水酸基の比が１以上の割合でウレタン化反応させることにより得ることができる。ポリウレタンポリオールの成分として、ジオール成分、ジイソシアネート成分を任意に選ぶことができる。
　ジオール成分、ジイソシアネート成分は、ポリウレタンポリオールの流動性や溶剤への溶解性等を考慮して選択することができる。ジオール成分として好ましくは、プロピレングリコール、テトラメチレングリコール、ネオペンチルグリコール等の１級水酸基を有するジオールが挙げられる。また、イソシアネート成分としては、脂肪族ジイソシアネート、脂環系ジイソシアネート、芳香族イソシアネートが挙げられる。

　ポリエステルポリオールは、例えばコハク酸、グルタル酸、アジピン酸、イソフタル酸（ＩＰＡ）、テレフタル酸（ＴＰＡ）等のジカルボン酸化合物と、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ネオペンチルグリコール、シクロヘキサンジオール等のジオール、又はポリテトラメチレングリコール等とから構成されるものが挙げられる。

　ポリエステルポリオールを原料とする接着剤は基材との密着性が高いという点で好ましいが、エステル結合の加水分解による熱劣化を抑制する観点から、加水分解点となり得るエステル結合基数が少ないポリエステルポリオールを選択することが望ましい。例えばネオペンチルグリコール（ＮＰＧ）等のアルキル鎖の長いグリコールや、１，４－シクロヘキサンジメタノール等の脂環構造をもつグリコールを有することが望ましい。
　更に、例えばポリテトラメチレングリコール（ＰＴＭＧ）のように主鎖構造にポリエーテル構造を含む、耐加水分解ポリエステルポリオールを選択することが望ましい。このようなポリエステルポリオールとしては、エステル基１個当たりの分子量が、好ましくは１００～５，０００、より好ましくは１２０～３，０００である。

　接着剤に用いられる硬化剤としてはジイソシアネートが好ましく、例えばヘキサメチレンジイソシアネート（ＨＤＩ）等の脂肪族系、キシリレンジイソシアネート（ＸＤＩ）、ジフェニルメタンジイソシアネート（ＭＤＩ）等の芳香族系、イソホロンジイソシアネート（ＩＰＤＩ）、ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート（Ｈ１２ＭＤＩ）等の脂環系が挙げられる。
　硬化後に高い耐熱性をもたせる硬化剤として、例えば芳香族系ジイソシアネートであるＸＤＩ、及び脂環系ジイソシアネートであるＩＰＤＩ等が好ましい。更に、接着剤の黄変を防ぐためには脂環系ジイソシアネートであるＩＰＤＩ等がより好ましい。

　主剤がポリカーボネートポリオールを含む場合は、高い耐熱性、高い防湿性という点で優れているが、黄変しにくい点から、ＨＤＩ系硬化剤として組み合わせることが望ましい。
　また、より熱的に安定な接着剤層を得るために、主剤にエポキシ系化合物を含んだものを用いてもよい。
　本発明における接着剤の主剤と硬化剤の好ましい配合比は、接着剤中に残留する反応性官能基を減らす観点から、質量比で、主剤／硬化剤＝５～２５、また官能基のモル比で、ＮＣＯ／ＯＨ＝０．８～９である。

　本発明における積層防湿フィルムを太陽電池用表面保護材に使用する場合は、前記防湿フィルムＡ及び前記防湿フィルムＢに更に、耐加水分解性や耐候性に優れた耐候性フィルム、封止材との密着性や耐電圧などを確保する背面フィルム等を備えることが好ましい。具体的には、積層体としてより高い防湿性を得るとの観点から、前記防湿フィルムＢ側に耐候性フィルムを、防湿フィルムＡ側に背面フィルム等を備えることが好ましく、曝露側から、耐候性フィルム、防湿フィルムＢ、防湿フィルムＡ、背面フィルムの順に積層することが好ましい。また、本発明においては、より積層体からの残留溶剤を透過させるとの観点から、前記防湿フィルムＡ側に耐候性フィルムを、防湿フィルムＢ側に背面フィルムなどを備えることも好ましく、曝露側から、耐候性フィルム、防湿フィルムＡ、防湿フィルムＢ、背面フィルムの順に積層することも好ましい態様である。更に本発明においては、積層防湿フィルムの層間強度を確保する観点から、耐候性フィルムと防湿フィルムＡ又はＢ、防湿フィルムＡ又はＢと背面フィルムは、それぞれ接着剤層を介して積層されたものであることが好ましい。
　本発明の積層防湿フィルムは、その用途にもよるが、太陽電池などに使用する場合は透明であることが好ましいが、他の非透明部材との併用も任意である。

［耐候性フィルム］
　前記耐候性フィルムは、耐候性を有するものであれば特に限定されないが、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）及びポリビニルフルオライド（ＰＶＦ）等のフッ素樹脂フィルム、或いは、アクリル、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等の樹脂に紫外線吸収剤を混合した樹脂組成物を製膜したものが好ましく用いられる。

　長期耐久性の観点からは、上記樹脂としては、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）がより好ましく用いられる。
　真空ラミネーション時や高温高湿時の温度・湿度変化においてもその特性変化が小さいことが好ましいことから、ポリエチレンナフタレートなどの低収縮性耐候基材が好ましい。また、収縮率が大きいポリエチレンテレフタレートフィルムやフッ素系フィルムの場合は、事前の熱処理による低収縮化等が行われたフィルムを使用することが好ましい。

　長期耐候性とフィルム収縮率のいずれも考慮すると、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル樹脂等に紫外線吸収剤を混合した樹脂組成物を製膜して得られたフィルムや、ポリエステル樹脂等の樹脂組成物を製膜して得られたフィルムに紫外線吸収剤を含有する層を設けたフィルムが好ましく用いられる。
　また、太陽電池保護材への使用を考えると可撓性に富み、耐熱性、防湿性、紫外線耐久性に優れる性能を有する耐候性フィルムであることが望ましく、フッ素系フィルムや紫外線吸収剤を含有する耐加水分解性ポリエステルフィルムや耐加水分解性ポリエステルフィルムに紫外線吸収剤を含有する層を設けたフィルムが好ましく用いられる。

　使用する紫外線吸収剤としては、前述の基材の説明において挙げたものが使用できる。
　該紫外線吸収剤の添加量は、耐候性フィルム中、通常、０．０１～２．０質量％程度であり、０．０５～０．５質量％添加することが好ましい。
　上記の紫外線吸収剤以外に耐候性を付与する耐候安定剤としては、ヒンダードアミン系光安定化剤が好適に用いられる。ヒンダードアミン系光安定化剤としては、前述の基材の説明において挙げたものが使用できる。該ヒンダードアミン系光安定化剤の添加量は、耐候性フィルム中、通常、０．０１～０．５質量％程度であり、０．０５～０．３質量％添加することが好ましい。

　前記耐候性フィルムの厚さは、一般に２０～２００μｍ程度であり、フィルムの取り扱いやすさとコストの点から２０～１００μｍが好ましく、２０～５０μｍがより好ましい。

［背面フィルム］
　太陽電池は発電時の発熱や太陽光の輻射熱などで、その使用温度が８５～９０℃程度まで昇温する為、該背面フィルムの融点が使用温度以下であると背面フィルムは軟化し動作中に本来の太陽電池素子を保護する機能が失われる。従って背面フィルムとしては、ポリプロピレン(ＰＰ)、ポリ乳酸(ＰＬＡ)、ポリフッ化ビニル（ＰＶＦ)、ポリフッ化ビニリデン(ＰＶＤＦ)、酪酢酸セルロース(ＣＡＢ)などの樹脂に紫外線吸収剤や着色剤を練り込んだ樹脂組成物を成膜したものが好ましく用いられるが、これらに限定されるものではない。

　前記背面フィルムは、太陽電池表面保護材への使用を考えると、可撓性に富み、紫外線耐久性、加湿耐久性に優れることが望ましく、主にポリプロピレン、ポリ乳酸及びポリフッ化ビニリデンのいずれか１つ以上を含むものが好ましく、これらの樹脂を合計で５０質量％以上含有するものであることが好ましい。

　なお、上記紫外線吸収剤としては、前述の基材の説明において挙げたものが使用できる。また、着色剤としては、酸化チタン、炭酸カルシウムなどが使用できる。
　背面フィルムの厚さは、一般に２５～３００μｍ程度であり、フィルムの取り扱いやすさとコストの点から好ましくは５０～３００μｍ、より好ましくは５０～２５０μｍである。

＜太陽電池モジュール、太陽電池の製造方法＞
　本発明の積層防湿フィルムは、そのまま、あるいはガラス板等と貼り合わせて太陽電池用表面保護部材として用いることができる。本発明の表面保護材を用いて本発明の太陽電池モジュール及び／又は太陽電池を製造するには、公知の方法により、作成すれば良い。

　本発明の表面保護材を太陽電池用上部保護材、下部保護材等の表面保護部材の層構成に使用し、太陽電池素子を封止材とともに固定することにより太陽電池モジュールを製作することができる。このような太陽電池モジュールとしては、種々のタイプのものを例示することができる。例えば、上部保護材（本発明の表面保護材）／封止材（封止樹脂層）／太陽電池素子／封止材（封止樹脂層）／下部保護材の構成のもの、上部保護材／封止材（封止樹脂層）／太陽電池素子／封止材（封止樹脂層）／下部保護材（本発明の表面保護材）の構成のもの、下部保護材の内周面上に形成させた太陽電池素子上に封止材と上部保護材（本発明の表面保護材）を形成させるような構成のもの、上部保護材（本発明の表面保護材）の内周面上に形成させた太陽電池素子、例えばフッ素樹脂系護材上にアモルファス太陽電池素子をスパッタリング等で作製したものの上に封止材と下部保護材を形成させるような構成のものなどを挙げることができる。上記上部保護材として本発明の表面保護材の外側にガラス板を貼り合わせることは任意である。なお、前述の封止材・表面保護材一体型の表面保護材を用いる場合は、上記の封止材は用いなくてもよい場合がある。

　太陽電池素子としては、例えば、単結晶シリコン型、多結晶シリコン型、アモルファスシリコン型の発電素子、ガリウム－砒素、銅－インジウム－セレン、カドミウム－テルル等のＩＩＩ－Ｖ族やＩＩ－ＶＩ族化合物半導体型等の化合物系発電素子、色素増感型、有機薄膜型等のフレキシブル発電素子が挙げられる。

　本発明の表面保護材を用いて作製された太陽電池モジュールを構成する各部材については、特に限定されるものではないが、封止材としては、例えば、エチレン－酢酸ビニル共重合体を挙げることができる。本発明の表面保護部材以外の上部保護部材及び下部保護材としては、金属等の無機材料や各種熱可塑性樹脂フィルムなどの単層もしくは多層のシートであり、例えば、錫、アルミ、ステンレスなどの金属、ガラス等の無機材料、ポリエステル、無機物蒸着ポリエステル、フッ素含有樹脂、ポリオレフィンなどの単層もしくは多層の保護材を挙げることができる。上部および／又は下部の保護材の表面には、封止材や他の部材との接着性を向上させるためにプライマー処理やコロナ処理など公知の表面処理を施すことができる。

　本発明の表面保護材を用いて作製された太陽電池モジュールを既述した上部保護材（本発明の表面保護材）／封止材／太陽電池素子／封止材／下部保護材のような構成のものを例として説明する。太陽光受光側から順に、本発明の表面保護材、封止樹脂層、太陽電池素子、封止樹脂層、下部保護材が積層されてなり、さらに、下部保護材の下面にジャンクションボックス（太陽電池素子から発電した電気を外部へ取り出すための配線を接続する端子ボックス）が接着されてなる。太陽電池素子は、発電電流を外部へ電導するために配線により連結されている。配線は、バックシートに設けられた貫通孔を通じて外部へ取り出され、ジャンクションボックスに接続されている。

　太陽電池モジュールの製造方法としては、公知の製造方法が適用でき、特に限定されるものではないが、一般的には、上部保護材、封止材、太陽電池素子、封止材、下部保護材の順に積層する工程と、それらを真空吸引し加熱圧着する工程を有する。また、バッチ式の製造設備やロール・ツー・ロール式の製造設備なども適用することができる。具体的には上部保護材、封止材、太陽電池素子、封止材、下部保護材を、常法に従って、真空ラミネーターで、好ましくは１３０～１８０℃、より好ましくは１３０～１５０℃、脱気時間２～１５分、プレス圧力０．５～１ａｔｍ、プレス時間が好ましくは８～４５分、より好ましくは１０～４０分で加熱加圧圧着することにより容易に製造することができる。

　本発明の表面保護材を用いて作製された太陽電池モジュールは、適用される太陽電池のタイプとモジュール形状により、モバイル機器に代表される小型太陽電池、屋根や屋上に設置される大型太陽電池など屋内、屋外に関わらず各種用途に適用することができる。

　以下に、本発明を実施例によりさらに具体的に説明するが、これらの実施例及び比較例により本発明は制限を受けるものではない。なお、種々の物性の測定および評価は次のようにして行った。

（物性測定）
(１)防湿フィルム及び積層防湿フィルムの防湿性
＜水蒸気透過率測定：袋重量変化からの算出＞
　防湿フィルムａ－１～５、７については、防湿フィルム作成後、一週間４０℃保管後の時点で、また、積層防湿フィルムＤ－１、Ｄ－２、Ｄ－４、Ｄ－５、Ｄ－７～Ｄ－１０及びＤ－１３～Ｄ－１５については、ドライラミネート養生後にＪＩＳＺ０２２２「防湿包装容器の透湿度試験方法」、ＪＩＳＺ０２０８「防湿包装材料の透湿度試験方法（カップ法）」の諸条件を参照し、次の手法で評価した。
　透湿面積１０．０ｃｍ×１０．０ｃｍ角の防湿フィルムａ－１～５、７又は積層防湿フィルムＤ－１、Ｄ－２、Ｄ－４、Ｄ－５、Ｄ－７～Ｄ－１０及びＤ－１３～Ｄ－１５をそれぞれ２枚用い、全てのサンプルに関して無機蒸着面を外側となるよう吸湿剤として無水塩化カルシウム約２０ｇを入れ四辺を封じた袋を作製し、その袋を温度４０℃相対湿度９０％の恒温恒湿装置に入れ、７２時間以上の間隔でおよそ２００日目まで質量測定し、４日目以降の経過時間と袋重量との回帰直線の傾きから水蒸気透過率（ｇ／ｍ²・日）を算出した。

＜水蒸気透過率測定：差圧法＞
　太陽電池モジュールに供したガスバリアフィルムのうち、袋重量変化からの算出による水蒸気透過率測定で水蒸気透過率が[０．０１ｇ／ｍ²・日]未満のフィルムについて、差圧法水蒸気透過率測定を実施した。
　防湿フィルムａ－６については、防湿フィルム作成後、一週間４０℃保管後の時点で、また、積層防湿フィルムＤ－３、Ｄ－６、Ｄ－１１、Ｄ－１２については、ドライラミネート養生後にＴｅｃｈｎｏｌｏｘ社製ＤＥＬＴＡＰＥＲＭ機を用いて水蒸気透過率を測定した。該装置は、上室と下室の間に積層体を挟み、湿度条件の上室から真空条件の下室への水蒸気透過を圧力変化で検出し、水蒸気透過率[ｇ／ｍ²・日]を得る。水蒸気透過率の算出は、測定開始から２週間経過以後において、上室４０℃９０ＲＨ％及び下室４０℃０ＲＨ％での測定値から、上室及び下室とも４０℃０ＲＨ％での測定値を差し引いて求めた。

（２) 積層防湿フィルム発泡性評価
　積層防湿フィルムＤ－１～Ｄ－１５を１０．０ｃｍ×１０．０ｃｍ角切り出し１５０℃オーブンに３０分保持し耐候性フィルム側と反対の面より目視にて発泡の有無を確認した
◎：１０．０ｃｍ×１０．０ｃｍ角サンプル全面に発泡が認められないもの
○：１０．０ｃｍ×１０．０ｃｍ角サンプルの一部に発泡が認められるもの
×：１０．０ｃｍ×１０．０ｃｍ角サンプルの全面に発泡が認められるもの

（３）ヘイズ値測定
　積層防湿フィルムＤ－１～Ｄ－１５を１５．０ｃｍ×１５．０ｃｍ角切り出し、１５０℃、３０分の熱処理後に、ＪＩＳ－Ｋ７１３６に準じ、積層防湿フィルムのヘイズ値を測定した（初期ヘイズ値）。なお、ヘイズ値測定は日本電色工業社製ヘイズメーターＮＤＨ２０００を用いた。
　さらに、切り出した上記熱処理後の積層防湿フィルムＤ－１～Ｄ－１５をＪＩＳＣ６００６８－２－６６に準じ、加速試験であるプレッシャークッカー試験（１２０℃、湿度１００％で３２時間（ＰＣ３２））を行ない、その後ヘイズ値を測定した。なお、プレッシャークッカー試験はトミー精工社製プレッシャークッカー試験ＬＳＫ－５００を用いた。
　ヘイズの変化度は、［プレッシャークッカー試験（ＰＣ３２）後のヘイズ値／初期ヘイズ値］により算出した。なお、プレッシャークッカー試験（ＰＣ３２）前後で気泡が発生しない場合は、ヘイズの変化がないためヘイズの変化度は１となる。

（構成フィルム）
＜耐候性フィルム１＞
　アルケマ社製ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）系フィルムＫｙｎａｒ　３０２－ＰＧＭ－ＴＲ（厚み：３０μｍ）を使用した。

＜防湿フィルム＞
防湿フィルムａ－１
　１２μｍポリエチレンテレフタレート樹脂フィルムにシリカを蒸着した三菱樹脂製テックバリアＰ２を使用して防湿フィルムａ－１とした。また上述の方法で測定した防湿性は０.６1０［ｇ／ｍ²・日］であった。

防湿フィルムａ－２
　１２μｍポリエチレンテレフタレート樹脂フィルムにシリカを蒸着した三菱樹脂製テックバリアＴＸを使用して防湿フィルムａ－２とした。また上述の方法で測定した防湿性は０.４００［ｇ／ｍ²・日］であった。

防湿フィルムａ－３
　１２μｍポリエチレンテレフタレート樹脂フィルムにシリカを蒸着した三菱樹脂製テックバリアＬＸを使用して防湿フィルムａ－３とした。また上述の方法で測定した防湿性は０.２００［ｇ／ｍ²・日］であった。

防湿フィルムａ－４
　基材として、厚さ１２μｍの二軸延伸ポリエチレンナフタレートフィルム（帝人デュポン製、「Ｑ５１Ｃ１２」）を用い、そのコロナ処理面に、下記のコート液を塗布乾燥して厚さ０．１μｍのコート層を形成した。
　次いで、真空蒸着装置を使用して１．３３×１０^-3Ｐａ（１×１０^-5Ｔｏｒｒ）の真空下でＳｉＯを加熱蒸発させ、コート層上に厚さ４０ｎｍのＳｉＯｘ（ｘ＝１．５）無機層を有する防湿フィルムａ－４を得た。作成した防湿フィルムａ－４の防湿性能は０.０１５［ｇ／ｍ²・日］であった。

防湿フィルムａ－５
　基材として、厚さ１２μｍの二軸延伸ポリエチレンナフタレートフィルム（帝人デュポン製、「Ｑ５１Ｃ１２」）を用い、そのコロナ処理面に、下記のコート液を塗布乾燥して厚さ０．１μｍのコート層を形成した。
　次いで、真空蒸着装置を使用して１．３３×１０^-3Ｐａ（１×１０^-5Ｔｏｒｒ）の真空下でＳｉＯを加熱蒸発させ、コート層上に厚さ１５ｎｍのＳｉＯｘ（ｘ＝１．５）無機層を有する防湿フィルムａ－５を得た。作成した防湿フィルムａ－５の防湿性能は０.０４０［ｇ／ｍ²・日］であった。

防湿フィルムａ－６
　基材として、厚さ１２μｍの二軸延伸ポリエチレンナフタレートフィルム（帝人デュポン製、「Ｑ５１Ｃ１２」）を用い、真空蒸着装置を使用して、真空下でＳｉＯを蒸発させ、厚さ５０ｎｍのＳｉＯｘの真空蒸着膜（ＰＶＤ無機層）を形成した。次いで、アルゴンガスを導入したプラズマ下で、ＨＭＤＳＮ（ヘキサメチルジシラザン）を用い、無機層面上に厚さ３ｎｍのプラズマ化学蒸着膜（ＣＶＤ無機層）を形成した。次いで、プラズマＣＶＤ無機層上に、真空下でＳｉＯを蒸発させ、厚さ５０ｎｍのＳｉＯｘのＰＶＤ無機層を形成し防湿フィルムａ－６とした。
　作成した防湿フィルムａ－６の防湿性能は０.００３０［ｇ／ｍ²・日］であった。

防湿フィルムａ－７
　環状オレフィン系重合体として、エチレン－ノルボルネンランダム共重合体（ポリプラスチックス（株）社製、商品名：ＴＯＰＡＳ　９５０６Ｘ１、ノルボルネン含有量：２２モル％）をＴダイを備えた３２ｍｍ単軸押出機を用いて設定温度２６０℃で溶融混練し、２０℃のキャストロールで急冷製膜することにより厚みが０．５ｍｍの環状オレフィン防湿フィルム（ＣＯＣ）を得た。また上述の方法で測定した防湿性能は０.５００［ｇ／ｍ²・日］であった。

コート液
　日本合成（株）製「ゴーセノール」（ケン化度：９７.０～９８.８ｍｏｌ％、重合度：２４００）のポリビニルアルコール樹脂２２０ｇをイオン交換水２８１０ｇに加え加温溶解した水溶液に、２０℃で攪拌しながら３５％塩酸６４５ｇを加えた。次いで、１０℃でブチルアルデヒド３.６ｇを攪拌しながら添加し、５分後に、アセトアルデヒド１４３ｇを攪拌しながら滴下し、樹脂微粒子を析出させた。次いで、６０℃で２時間保持した後、液を冷却し、炭酸水素ナトリウムで中和し、水洗、乾燥し、ポリビニルアセトアセタール樹脂粉末（アセタール化度７５ｍｏｌ％）を得た。
　また、架橋剤としてイソシアネート樹脂（住友バイエルウレタン（株）製「スミジュールＮ－３２００」）を用い、水酸基に対するイソシアネート基の当量比が１：２になるように混合した。

＜接着剤塗液＞
　ポリウレタンポリオール成分を含む主剤としてロックペイント株式会社製ＨＤ１０１３を使用し、脂肪族系のヘキサメチレンジイソシアナート成分を含む硬化剤としてロックペイント株式会社製Ｈ６２を使用し、質量比で１０：１となるように混合し、固形分濃度が３０％となるように酢酸エチルで希釈して接着剤塗液を調製した。また本接着剤塗液を５０μｍＰＥＴフィルムに塗布後、防湿フィルムａ－１～ａ－７と貼合、養生し水蒸気透過率を測定し、接着剤に防湿フィルムａ－１～ａ－７に対する防湿性向上効果がないことを確認した。

実施例１
　耐候性フィルム１に接着剤塗液を固形分６ｇ／ｍ²となるよう塗布乾燥し、防湿フィルムＢとして防湿フィルムａ－４を用い、該防湿フィルムａ－４の無機層を接着剤面に向けてドライラミネートによって貼合した。
　その後、積層フィルムの防湿フィルムａ－４の基材側に接着剤塗液を固形分６ｇ／ｍ²となるよう塗布乾燥し、防湿フィルムＡとして防湿フィルムａ－１を用い、該防湿フィルムａ－１の無機層面を貼合し、４０℃×５日間養生し、厚み６６μｍの積層防湿フィルムＤ－１を作成し防湿性、発泡性及びヘイズ変化度を測定及び評価した。結果を表２に示す。

実施例２
　防湿フィルムＡとして防湿フィルムａ－２を用いたこと以外は実施例１と同様にして厚み６６μｍの積層防湿フィルムＤ－２を作成し防湿性、発泡性及びヘイズ変化度を測定及び評価した。結果を表２に示す。

実施例３
　防湿フィルムＡとして防湿フィルムａ－３を用いたこと以外は実施例１と同様にして厚み６６μｍの積層防湿フィルムＤ－３を作成し防湿性、発泡性及びヘイズ変化度を測定及び評価した。結果を表２に示す。

実施例４
　実施例３において、耐候性フィルム側になる防湿フィルムを入れ替えた。
　すなわち、耐候性フィルム１に接着剤塗液を固形分６ｇ／ｍ²となるよう塗布乾燥し、防湿フィルムＡとして防湿フィルムａ－３を用い、該防湿フィルムａ－３の無機層を接着剤面に向けてドライラミネートによって貼合した。
　その後、積層フィルムの防湿フィルムａ－３の基材側に接着剤塗液を固形分６ｇ／ｍ²となるよう塗布乾燥し、防湿フィルムＢとして防湿フィルムａ－４を用い、該防湿フィルムａ－４の無機層面を貼合し、４０℃×５日間養生し、厚み６６μｍの積層防湿フィルムＤ－４を作成し防湿性、発泡性及びヘイズ変化度を測定及び評価した。結果を表２に示す。

実施例５
　防湿フィルムＡとして防湿フィルムａ－２を用い、防湿フィルムＢとして防湿フィルムａ－５を用いたこと以外は実施例１と同様にして厚み６６μｍの積層防湿フィルムＤ－５を作成し防湿性、発泡性及びヘイズ変化度を測定及び評価した。結果を表２に示す。

実施例６
　防湿フィルムＡとして防湿フィルムａ－３を用い、防湿フィルムＢとして防湿フィルムａ－６を用いたこと以外は実施例１と同様にして厚み６６μｍの積層防湿フィルムＤ－６を作成し防湿性、発泡性及びヘイズ変化度を測定及び評価した。結果を表２に示す。

実施例７
　防湿フィルムＡとして防湿フィルムａ－７を用いたこと以外は実施例１と同様にして厚み５５４μｍの積層防湿フィルムＤ－７を作成し防湿性、発泡性及びヘイズ変化度を測定及び評価した。結果を表２に示す。

実施例８
　実施例７において、耐候性フィルム側になる防湿フィルムを入れ替えた。
　すなわち、耐候性フィルム１に接着剤塗液を固形分６ｇ／ｍ²となるよう塗布乾燥し、防湿フィルムＡとして防湿フィルムａ－７を用い、該防湿フィルムａ－７の無機層を接着剤面に向けてドライラミネートによって貼合した。
　その後、積層フィルムの防湿フィルムａ－７の基材側に接着剤塗液を固形分６ｇ／ｍ²となるよう塗布乾燥し、防湿フィルムＢとして防湿フィルムａ－４を用い、該防湿フィルムａ－４の無機層面を貼合し、４０℃×５日間養生し、厚み５５４μｍの積層防湿フィルムＤ－８を作成し防湿性、発泡性及びヘイズ変化度を測定及び評価した。結果を表２に示す。

比較例１
　防湿フィルムＡ、防湿フィルムＢのいずれにも防湿フィルムａ－３を用いたこと以外は実施例１と同様にして厚み６６μｍの積層防湿フィルムＤ－９を作成し防湿性、発泡性及びヘイズ変化度を測定及び評価した。結果を表２に示す。

比較例２
　防湿フィルムＢとして防湿フィルムａ－３を用い、防湿フィルムＡとして防湿フィルムａ－２を用いたこと以外は実施例１と同様にして厚み６６μｍの積層防湿フィルムＤ－１０を作成し防湿性、発泡性及びヘイズ変化度を測定及び評価した。結果を表２に示す。

比較例３
　防湿フィルムＡ、防湿フィルムＢのいずれにも防湿フィルムａ－４を用いたこと以外は実施例１と同様にして厚み６６μｍの積層防湿フィルムＤ－１１を作成し防湿性、発泡性及びヘイズ変化度を測定及び評価した。結果を表２に示す。

比較例４
　防湿フィルムＢとして防湿フィルムａ－６を用い、防湿フィルムＡとして防湿フィルムａ－４を用いたこと以外は実施例１と同様にして厚み６６μｍの積層防湿フィルムＤ－１２を作成し防湿性、発泡性及びヘイズ変化度を測定及び評価した。結果を表２に示す。

比較例５
　防湿フィルムＢとして防湿フィルムａ－３を用い、防湿フィルムＡとして防湿フィルムａ－７を用いたこと以外は実施例１と同様にして厚み５５４μｍの積層防湿フィルムＤ－１３を作成し防湿性、発泡性及びヘイズ変化度を測定及び評価した。結果を表２に示す。

比較例６
　防湿フィルムＢとして防湿フィルムａ－２を用い、防湿フィルムＡとして防湿フィルムａ－7を用いたこと以外は実施例１と同様にして厚み５５４μｍの積層防湿フィルムＤ－１４を作成し防湿性、発泡性及びヘイズ変化度を測定及び評価した。結果を表２に示す。

比較例７
　比較例５において、耐候性フィルム側になる防湿フィルムを入れ替えた。
　すなわち、耐候性フィルム１に接着剤塗液を固形分６ｇ／ｍ²となるよう塗布乾燥し、防湿フィルムＡとして防湿フィルムａ－７を用い、該防湿フィルムａ－７の無機層を接着剤面に向けてドライラミネートによって貼合した。
　その後、積層フィルムの防湿フィルムａ－７の基材側に接着剤塗液を固形分６ｇ／ｍ²となるよう塗布乾燥し、防湿フィルムＢとして防湿フィルムａ－３を用い、該防湿フィルムａ－３の無機層面を貼合し、４０℃×５日間養生し、厚み５５４μｍの積層防湿フィルムＤ－１５を作成し防湿性、発泡性及びヘイズ変化度を測定及び評価した。結果を表２に示す。

　防湿フィルムＡ及び防湿フィルムＢの水蒸気透過率が本発明の規定の範囲内にある積層防湿フィルムＤ－１～Ｄ－８に関する実施例１～８はいずれも防湿性及び気泡発生防止に優れ、更にヘイズが悪化せず透明性に優れるものであった。一方、防湿フィルムＢに相当する防湿フィルムの水蒸気透過率が本発明の規定の範囲外である比較例１、２および５～７は、気泡発生は抑制されたが、積層防湿フィルムとして４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ｌ））が、理論的に導き出される値Ｗと同一程度の防湿性を示すものであった。また、防湿フィルムＡ及び防湿フィルムＢの各々に相当する防湿フィルムが同一の低い水蒸気透過率を有する比較例３や、各々の防湿フィルムの水蒸気透過率が低い比較例４は、得られた積層防湿フィルムの防湿性は良好であったが、気泡が残った。

　１　積層防湿フィルム
　２　防湿フィルムＡ
　３　防湿フィルムＢ
　４　基材
　５　無機層
　６　耐候性フィルム
　７　接着剤層
　８　背面フィルム

Claims

　４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率(ＷＴＲ(Ａ))が１．０[ｇ／ｍ²・日]以下である防湿フィルムＡ、及び基材の片面に無機層を有し、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ(Ｂ))が前記防湿フィルムＡの水蒸気透過率(ＷＴＲ(Ａ))の１０％以下である防湿フィルムＢが接着剤層を介して積層された構成を有することを特徴とする積層防湿フィルム。
　４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率(ＷＴＲ(Ａ))が０．１[ｇ／ｍ²・日]以上、１．０[ｇ／ｍ²・日]以下である防湿フィルムＡ、及び基材の片面に無機層を有し、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ(Ｂ))が０．００１[ｇ／ｍ²・日]以上、０．１[ｇ／ｍ²・日]未満である防湿フィルムＢが、接着剤層を介して積層された構成を有することを特徴とする積層防湿フィルム。
　４０℃、９０％ＲＨにおける積層防湿フィルムの水蒸気透過率（ＷＶＴＲ（Ｌ））が、［ＷＴＲ(Ａ)×ＷＴＲ(Ｂ)］／［ＷＴＲ(Ａ)＋ＷＴＲ(Ｂ)］より低い値であることを特徴とする請求項１または２に記載の積層防湿フィルム。
　４０℃、９０％ＲＨにおける積層防湿フィルムの水蒸気透過率（ＷＶＴＲ（Ｌ））が、［ＷＴＲ(Ａ)×ＷＴＲ(Ｂ)］／［ＷＴＲ(Ａ)＋ＷＴＲ(Ｂ)］の８０％以下である請求項１～３のいずれかに記載の積層防湿フィルム。
　防湿フィルムＡの４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率(ＷＴＲ(Ａ))が０．１ [ｇ／ｍ²・日]以上であることを特徴とする請求項１、３および４のいずれかに記載の積層防湿フィルム。
　防湿フィルムＡの４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率(ＷＴＲ(Ａ))が０．２ [ｇ／ｍ²・日]以上であることを特徴とする請求項１～５のいずれかに記載の積層防湿フィルム。
　防湿フィルムＡの４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率(ＷＴＲ(Ａ))が０.４[ｇ／ｍ²・日]以上であることを特徴とする請求項１～６のいずれかに記載の積層防湿フィルム。
　防湿フィルムＡの４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率(ＷＴＲ(Ａ))が０.６[ｇ／ｍ²・日]以上であることを特徴とする請求項１～７のいずれかに記載の積層防湿フィルム。
　防湿フィルムＢの４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ(Ｂ))が０．００１[ｇ／ｍ²・日]以上、０．１[ｇ／ｍ²・日]以下であることを特徴とする請求項１及び３～８のいずれかに記載の積層防湿フィルム。
　防湿フィルムＢの４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ(Ｂ))が０．００１[ｇ／ｍ²・日]以上、０．０５[ｇ／ｍ²・日]以下であることを特徴とする請求項１～９のいずれかに記載の積層防湿フィルム。
　防湿フィルムＡが環状オレフィン系重合体を含む樹脂組成物からなる層を少なくとも一層有するフィルムであることを特徴とする請求項１～１０のいずれかに記載の積層防湿フィルム。
　防湿フィルムＡが基材の片面に無機層を有するフィルムであることを特徴とする請求項１～１０のいずれかに記載の積層防湿フィルム。
　耐候性フィルム、防湿フィルムＢ及び防湿フィルムＡを曝露側からこの順に有し、かつ防湿フィルムＡの無機層側に防湿フィルムＢの基材を有することを特徴とする請求項１２に記載の積層防湿フィルム。
　耐候性フィルム、防湿フィルムＡ及び防湿フィルムＢを曝露側からこの順に有し、かつ防湿フィルムＢの無機層側に防湿フィルムＡの基材を有する請求項１２に記載の積層防湿フィルム。
　接着剤層が接着剤からなり、かつ該接着剤が主剤としてポリカーボネートポリオール、ポリエーテルポリオール、アクリルポリオール、ポリウレタンポリオール及びポリエステルポリオールのうち少なくとも１種を含むことを特徴とする請求項１～１４のいずれかに記載の積層防湿フィルム。
　太陽電池用表面保護部材に用いられる請求項１～１５のいずれかに記載の積層防湿フィルム。
　化合物系発電素子太陽電池モジュール又はフレキシブル太陽電池モジュールの表面保護部材に用いられる請求項１～１６のいずれかに記載の積層防湿フィルム。
　請求項１～１７のいずれかに記載の積層防湿フィルムを有することを特徴とする太陽電池用表面保護部材。
　防湿フィルムＡ及び防湿フィルムＢが各々の無機層を曝露面側に有する請求項１８に記載の太陽電池用表面保護部材。
　請求項１８または１９に記載の太陽電池用表面保護材を用いて作製された太陽電池モジュール。