WO2012105586A1 - ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド、ペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩、およびペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法 - Google Patents
ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド、ペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩、およびペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法 Download PDFInfo
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- the present invention relates to high-purity perfluorobutanesulfonyl fluoride, a process for producing the same, and perfluorobutanesulfonic acid potassium salt produced using perfluorobutanesulfonyl fluoride. More specifically, the present invention relates to a method for producing perfluorobutanesulfonyl fluoride, perfluorobutanesulfonyl fluoride, and perfluorobutanesulfonic acid potassium salt, which can efficiently remove by-product perfluorosulfolane.
- Perfluorobutane sulfonate (CF 3 CF 2 CF 2 CF 2 SO 3 M, where M is a cation) is a photoacid generator for photolithography used in the production of semiconductors and a flame retardant for polycarbonate resin It is used as a conductive agent for resins.
- This perfluorobutane sulfonate is produced using perfluorobutanesulfonyl fluoride (CF 3 CF 2 CF 2 CF 2 SO 2 F) as a raw material.
- Perfluorobutanesulfonyl fluoride is produced by electrolytic fluorination of sulfolane (tetrahydrothiophene-1,1-dioxide). This electrolytic fluorination (ECF) is represented by the following reaction formula (1).
- perfluorosulfolane perfluorotetrahydrothiophene-1,1-dioxide
- this impurity is contained in perfluorobutanesulfonyl fluoride. It is contained in several mass%.
- Non-patent Document 1 As a method for removing perfluorosulfolane, a method using a buffered aqueous solution of dipotassium hydrogen phosphate and potassium phosphate has been reported (Non-patent Document 1). However, this method requires 4 days to remove perfluorosulfolane. Moreover, it cannot be said that the removal of perfluorosulfolane is sufficient, and further phosphorus resulting from the buffer aqueous solution used for the removal is mixed as a new impurity. For example, when used as a photoresist for semiconductor lithography, phosphorus as an impurity is not allowed, so the above removal method using a buffered aqueous solution is not appropriate.
- An object of the present invention is to purify perfluorobutanesulfonyl fluoride to remove perfluorosulfolane to obtain high-purity perfluorobutanesulfonyl fluoride. Therefore, an object of the present invention is to provide a method for producing high-purity perfluorobutanesulfonyl fluoride, high-purity perfluorobutanesulfonic acid potassium salt, and high-purity perfluorobutanesulfonyl fluoride.
- Perfluorobutanesulfonyl fluoride wherein the content of perfluorosulfolane is 100 ppm or less on a mass basis.
- Perfluorobutanesulfonic acid potassium salt characterized in that the content of 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutanesulfonic acid potassium salt is 100 ppm or less on a mass basis.
- high-purity perfluorobutanesulfonyl fluoride can be provided.
- it is difficult to produce such high-purity perfluorobutanesulfonyl fluoride.
- high-purity perfluorobutanesulfonyl fluoride can be easily produced, for example, in a short time of about 1 to 2 hours.
- the unit% which shows content is the mass%.
- the perfluorobutanesulfonyl fluoride of this embodiment is characterized in that the content of perfluorosulfolane is 100 ppm or less on a mass basis. Further, the perfluorobutanesulfonic acid potassium salt of the present embodiment produced using perfluorobutanesulfonyl fluoride as a raw material is 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutanesulfonic acid potassium salt The content of is characterized by being 100 ppm or less on a mass basis.
- Perfluorosulfolane in perfluorobutanesulfonyl fluoride is produced by the above-described reaction formula (2).
- perfluorobutane sulfonyl fluoride When perfluorobutane sulfonyl fluoride is reacted with, for example, potassium hydroxide to produce potassium perfluorobutane sulfonate, the perfluorosulfolane present in the perfluorobutane sulfonyl fluoride also reacts with potassium hydroxide.
- one CF 2 —S bond in perfluorosulfolane is cleaved to generate impurities.
- This impurity is 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutanesulfonic acid potassium salt (HCF 2 CF 2 CF 2 CF 2 SO 3 K).
- 1,1,2,2,3,3,4,4-Octafluorobutanesulfonic acid potassium salt in perfluorobutanesulfonic acid potassium salt is derived from perfluorosulfolane present in perfluorobutanesulfonyl fluoride used as a raw material . Therefore, by inhibiting the formation of perfluorosulfolane in perfluorobutanesulfonyl fluoride, 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutanesulfonic acid potassium salt in perfluorobutanesulfonic acid potassium salt Can be prevented.
- perfluorobutanesulfonic acid potassium salt When the content of 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutanesulfonic acid potassium salt is 100 ppm or less, perfluorobutanesulfonic acid potassium salt has an impurity content used during semiconductor production. It is useful as a raw material for a photoacid generator for photolithography with a small size.
- 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutanesulfonic acid potassium salt is quantified by 19F-NMR or LC-MS. Further, when analyzing perfluorosulfolane, it is performed by gas chromatography (GC).
- the method for producing perfluorobutanesulfonyl fluoride according to this embodiment is characterized in that an aqueous solution of an alkali metal hydroxide is added to perfluorobutanesulfonyl fluoride for purification.
- this production method purification method
- the content of perfluorosulfolane in perfluorobutanesulfonyl fluoride can be reduced to 100 ppm or less in 1 to 2 hours.
- Both perfluorobutanesulfonyl fluoride and perfluorosulfolane are insoluble in water.
- an aqueous solution of potassium hydroxide is added, at a reaction temperature of 0 to 50 ° C. (preferably 20 to 30 ° C.)
- perfluorobutanesulfonyl fluoride does not react with potassium hydroxide and does not change.
- perfluorosulfolan reacts with potassium hydroxide to produce water-soluble 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutanesulfonic acid potassium salt by the above reaction formula (3). Dissolve in an aqueous solution of potassium hydroxide.
- the alkali metal hydroxide is preferably at least one selected from the group consisting of lithium hydroxide, sodium hydroxide, potassium hydroxide, rubidium hydroxide, and cesium hydroxide. Also good.
- Alkaline metal hydroxide aqueous solution The amount of the alkali metal hydroxide is preferably 0.1 to 20 parts by mass, more preferably 1 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass. When the ratio of the alkali metal hydroxide is less than 0.1 parts by mass, no purification effect is observed. When the ratio of the alkali metal hydroxide exceeds 20 parts by mass, decomposition of perfluorobutanesulfonyl fluoride occurs, which is not preferable.
- the addition amount (ratio) of alkali metal hydroxide is preferably 1 to 10 mol, more preferably 2 to 5 mol, per mol of perfluorosulfolane.
- the ratio of the alkali metal hydroxide is less than 1 mol, the reaction of the reaction formula (3) is not completed and the purification effect cannot be obtained. Even if the ratio of the alkali metal hydroxide exceeds 10 mol, a remarkable effect cannot be obtained.
- an aqueous solution of an alkali metal hydroxide to perfluorobutanesulfonyl fluoride may be performed by a known method and is not particularly limited. However, in order to easily take out the lower layer perfluorobutanesulfonyl fluoride separated after the purification, it is preferable to use, for example, a separatory funnel.
- An example of the reaction conditions is a reaction for 1 to 2 hours at room temperature while appropriately stirring the mixed solution. The reaction conditions may be appropriately determined depending on the amount of perfluorosulfolane contained in the perfluorobutanesulfonyl fluoride, the size of the batch to be reacted (amount of raw material), the strength of stirring, and the like.
- perfluorobutanesulfonic acid potassium salt By using perfluorobutanesulfonyl fluoride as a raw material, perfluorobutanesulfonic acid potassium salt can be produced by the following reaction formula (4).
- reaction formula (4) C 4 F 9 SO 2 F + 2KOH ⁇ C 4 F 9 SO 3 K + KF + H 2 O (4)
- perfluorobutanesulfonyl fluoride is reacted with an aqueous potassium hydroxide solution, and the produced potassium perfluorobutanesulfonate is cooled and crystallized.
- the crystallized perfluorobutanesulfonic acid potassium salt is filtered and dried. As described above, potassium perfluorobutanesulfonate can be obtained.
- Perfluorobutanesulfonyl fluoride The molar ratio of potassium hydroxide to 1 mol is preferably 2 to 3 mol, and particularly preferably 2 mol.
- Potassium hydroxide aqueous solution The amount of potassium hydroxide is preferably 20 to 70 parts by mass, particularly preferably 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass.
- the reaction temperature of the reaction formula (4) is 50 to 100 ° C., particularly preferably 80 ° C.
- the reaction time of the reaction formula (4) is 10 to 50 hours, whereby the reaction can be completed.
- a method for cooling the produced potassium perfluorosulfonic acid and crystallizing the potassium perfluorosulfonic acid, and a method for filtering and drying the crystallized perfluorobutanesulfonic acid potassium salt may be a publicly known method. It is not limited.
- the perfluorobutanesulfonic acid potassium salt of this embodiment can be produced.
- Example 1 Perfluorobutanesulfonyl fluoride containing 1% by mass of perfluorosulfolane: 50 g was put in a 100 cm 3 polyethylene bottle. Next, 21 g of a 1% by mass potassium hydroxide aqueous solution was added. The mixture was stirred at room temperature for 1 hour, and then the lower layer was separated to obtain 49 g of perfluorobutanesulfonyl fluoride.
- the obtained perfluorobutanesulfonyl fluoride was analyzed by gas chromatography (GC). As a result, the content of perfluorosulfolane was less than 100 ppm. In addition, 100 ppm is a detection lower limit value of perfluorosulfolane in GC.
- Example 2 Perfluorobutanesulfonyl fluoride: 49 g was obtained in the same manner as in Example 1 except that 11 g of a 1% by mass aqueous potassium hydroxide solution was used. The obtained perfluorobutanesulfonyl fluoride was analyzed by GC. As a result, the content of perfluorosulfolane was less than 100 ppm.
- Example 3 Perfluorobutanesulfonyl fluoride: 49 g was obtained in the same manner as in Example 1 except that 1% by mass of potassium hydroxide aqueous solution: 31 g was used. The obtained perfluorobutanesulfonyl fluoride was analyzed by GC. As a result, the content of perfluorosulfolane was less than 100 ppm.
- Example 4 49 g of perfluorobutanesulfonyl fluoride was obtained in the same manner as in Example 1 except that 15 g of 1 wt% sodium hydroxide aqueous solution was used instead of 1 wt% potassium hydroxide aqueous solution.
- the obtained perfluorobutanesulfonyl fluoride was analyzed by GC. As a result, the content of perfluorosulfolane was less than 100 ppm.
- Example 5 Perfluorobutanesulfonyl fluoride: 49 g was obtained in the same manner as in Example 1 except that 1% by mass of potassium hydroxide aqueous solution: 42 g was used. The obtained perfluorobutanesulfonyl fluoride was analyzed by GC. As a result, the content of perfluorosulfolane was less than 100 ppm.
- Example 6 20 mass% aqueous potassium hydroxide solution: 15 g and perfluorobutanesulfonyl fluoride having a perfluorosulfolane content of Example 1 of less than 100 ppm: 8 g were put into a 100 cm 3 flask. The mixture was stirred at 80 ° C. for 24 hours. Then, it cooled to 20 degreeC and filtered the crystal
- Example 6 using perfluorobutanesulfonyl fluoride having a perfluorosulfolane content of less than 100 ppm, the content of 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutanesulfonic acid potassium salt was It was 100 ppm or less.
- Comparative Example 4 using perfluorobutanesulfonyl fluoride having a perfluorosulfolane content of 10,000 ppm contained 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutanesulfonic acid potassium salt. The amount was 9000 ppm.
- the perfluorobutanesulfonyl fluoride can be removed in a short time by the method for producing perfluorobutanesulfonyl fluoride of the present embodiment, and high-purity perfluorobutanesulfonyl fluoride can be obtained. For this reason, in this embodiment, the highly purified perfluorobutane sulfonyl fluoride and the highly purified perfluorobutane sulfonate synthesized from this perfluorobutane sulfonyl fluoride can be provided.
- the perfluorobutane sulfonate of the present embodiment is highly pure, it is used for a raw material of a photoacid generator for photolithography used at the time of manufacturing a semiconductor, a flame retardant for a polycarbonate resin, a conductive agent for a resin, etc. Very useful.
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Abstract
このペルフルオロブタンスルホニルフルオリドは、ペルフルオロスルホランの含有量が質量基準で100ppm以下である。このペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩は、1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩の含有量が質量基準で100ppm以下である。このペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法は、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド中に、アルカリ金属水酸化物の水溶液を添加してペルフルオロスルホランを除去する。
Description
本発明は、高純度のペルフルオロブタンスルホニルフルオリド、およびその製造方法、並びにペルフルオロブタンスルホニルフルオリドを用いて製造されるペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩に関する。より詳しくは、副生するペルフルオロスルホランを効率よく除去することができるペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド、及びペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩に関する。
本願は、2011年2月4日に、日本に出願された特願2011-022587号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
本願は、2011年2月4日に、日本に出願された特願2011-022587号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
ペルフルオロブタンスルホン酸塩(CF3CF2CF2CF2SO3M、式中、Mは、カチオンである)は、半導体製造時に用いられるフォトリソグラフィー用の光酸発生剤や、ポリカーボネート樹脂の難燃剤、樹脂の導電化剤等に用いられる。このペルフルオロブタンスルホン酸塩は、原料としてペルフルオロブタンスルホニルフルオリド(CF3CF2CF2CF2SO2F)を用いて製造される。ペルフルオロブタンスルホニルフルオリドは、スルホラン(テトラヒドロチオフェン-1,1-ジオキシド)を電解フッ素化することで製造されている。この電解フッ素化(ECF:Electrochemical Fluorination)は、以下の反応式(1)で示される。
しかし、この電解フッ素化の過程において、以下の反応式(2)により、不純物としてペルフルオロスルホラン(ペルフルオロテトラヒドロチオフェン-1,1-ジオキシド)が副生し、この不純物は、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド中に数質量%含有されている。
ペルフルオロブタンスルホニルフルオリドを精製するために、まず、蒸留を行う。しかし、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリドとペルフルオロスルホランは、いずれも沸点が約65℃とほぼ等しいため、ペルフルオロスルホランを蒸留により除去することは困難であるという問題がある。
ペルフルオロスルホランを除去する方法として、リン酸水素二カリウムとリン酸カリウムの緩衝水溶液を使用する方法が報告されている(非特許文献1)。しかしながら、この方法では、ペルフルオロスルホランの除去に4日を要する。また、ペルフルオロスルホランの除去も十分とは言えず、さらに除去に使用する緩衝水溶液に起因するリンが新たな不純物として混入する。例えば、半導体のリソグラフィー用フォトレジストに使用する場合には、不純物としてのリンは許容されないので、緩衝水溶液を使用する上記除去方法は適切でない。
マイケル エー ケー ボーゲル(Michael A.K.Vogel)、他2名、シンレット(SYNLETT)、(米国)、2007年、第18巻、p.2907-2911
本発明は、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリドを精製して、ペルフルオロスルホランを除去し、高純度のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドを得ることを課題とする。このため、本発明は、高純度のペルフルオロブタンスルホニルフルオリド、高純度のペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩、および高純度のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法の提供を目的とする。
本発明の高純度のペルフルオロブタンスルホニルフルオリド、ペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩、およびペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法の要旨を以下に示す。
(1)ペルフルオロスルホランの含有量が、質量基準で100ppm以下であることを特徴とするペルフルオロブタンスルホニルフルオリド。
(2)1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩の含有量が、質量基準で100ppm以下であることを特徴とするペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩。
(3)ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド中に、アルカリ金属水酸化物の水溶液を添加してペルフルオロスルホランを除去することを特徴とするペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法。
(4)前記アルカリ金属水酸化物が、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化ルビジウム、および水酸化セシウムからなる群より選択される少なくとも1種である上記(3)記載のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法。
(5)前記ペルフルオロスルホラン:1モルに対して、前記アルカリ金属水酸化物の添加量が1~3モルの比率である上記(3)または(4)記載のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法。
(6)前記アルカリ金属水酸化物の水溶液:100質量部に対して、前記アルカリ金属水酸化物の量が0.1~20質量部である上記(3)~(5)のいずれか記載のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法。
(1)ペルフルオロスルホランの含有量が、質量基準で100ppm以下であることを特徴とするペルフルオロブタンスルホニルフルオリド。
(2)1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩の含有量が、質量基準で100ppm以下であることを特徴とするペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩。
(3)ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド中に、アルカリ金属水酸化物の水溶液を添加してペルフルオロスルホランを除去することを特徴とするペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法。
(4)前記アルカリ金属水酸化物が、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化ルビジウム、および水酸化セシウムからなる群より選択される少なくとも1種である上記(3)記載のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法。
(5)前記ペルフルオロスルホラン:1モルに対して、前記アルカリ金属水酸化物の添加量が1~3モルの比率である上記(3)または(4)記載のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法。
(6)前記アルカリ金属水酸化物の水溶液:100質量部に対して、前記アルカリ金属水酸化物の量が0.1~20質量部である上記(3)~(5)のいずれか記載のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法。
本発明の態様(1)によれば、高純度のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドを提供できる。従来の製造方法では、このように高純度のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドを製造することは難しい。
本発明の態様(3)によれば、高純度のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドを、例えば、1~2時間程度の短時間で容易に製造できる。
以下、本発明を実施形態に基づいて具体的に説明する。なお、含有量を示す単位%は特に示さない限り、質量%である。
〔ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド、ペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩〕
本実施形態のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドは、ペルフルオロスルホランの含有量が、質量基準で100ppm以下であることを特徴とする。また、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリドを原料として用いて製造される本実施形態のペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩は、1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩の含有量が、質量基準で100ppm以下であることを特徴とする。
本実施形態のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドは、ペルフルオロスルホランの含有量が、質量基準で100ppm以下であることを特徴とする。また、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリドを原料として用いて製造される本実施形態のペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩は、1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩の含有量が、質量基準で100ppm以下であることを特徴とする。
ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド中のペルフルオロスルホランは、前述した反応式(2)で生成する。
ペルフルオロブタンスルホニルフルオリドを、例えば、水酸化カリウムと反応させてペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩を製造する際、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド中に存在するペルフルオロスルホランも水酸化カリウムと反応する。このとき、以下の反応式(3)により、ペルフルオロスルホラン中の1つのCF2-S結合が開裂して不純物が生成する。この不純物が1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩(HCF2CF2CF2CF2SO3K)である。
ペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩中の1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩は、原料とするペルフルオロブタンスルホニルフルオリド中に存在するペルフルオロスルホランに由来する。したがって、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド中のペルフルオロスルホランの生成を抑制することにより、ペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩中の1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩の生成を防止することができる。
1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩の含有量が、100ppm以下であると、ペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩は、半導体製造時に用いられる不純物含有量の小さいフォトリソグラフィー用の光酸発生剤の原料として有用である。ここで、1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩の定量は、19F-NMRやLC-MSにより行う。また、ペルフルオロスルホランを分析するときは、ガスクロマトグラフィー(GC)により行う。
〔ペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法〕
本実施形態のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法は、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド中に、アルカリ金属水酸化物の水溶液を添加して精製することを特徴とする。この製造方法(精製方法)によれば、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド中のペルフルオロスルホランの含有量を、1~2時間で、100ppm以下にすることができる。以下、不純物としてペルフルオロスルホランを含有するペルフルオロブタンスルホニルフルオリドに、アルカリ金属水酸化物の水溶液を添加して起こる反応を、アルカリ金属として、カリウムを使用する場合について説明する。
本実施形態のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法は、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド中に、アルカリ金属水酸化物の水溶液を添加して精製することを特徴とする。この製造方法(精製方法)によれば、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド中のペルフルオロスルホランの含有量を、1~2時間で、100ppm以下にすることができる。以下、不純物としてペルフルオロスルホランを含有するペルフルオロブタンスルホニルフルオリドに、アルカリ金属水酸化物の水溶液を添加して起こる反応を、アルカリ金属として、カリウムを使用する場合について説明する。
ペルフルオロブタンスルホニルフルオリドと、ペルフルオロスルホランは、ともに非水溶性である。ここで、水酸化カリウムの水溶液を添加すると、反応温度0~50℃(好ましくは20~30℃)では、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリドは水酸化カリウムと反応せず、変化がない。一方、ペルフルオロスルホランは水酸化カリウムと反応し、上記の反応式(3)により、水溶性の1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩が生成し、水酸化カリウムの水溶液に溶解する。反応式(3)の反応が完了し、さらに1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩が、水酸化カリウムの水溶液に溶解し終えた後には、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリドと、1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩を含有する水酸化カリウムの水溶液は、層分離する。ペルフルオロブタンスルホニルフルオリドは下層に、水酸化カリウムの水溶液は上層に、分かれる。したがって、下層のみを分液することにより、高純度のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドが得られる。
アルカリ金属水酸化物は、好ましくは、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化ルビジウム、および水酸化セシウムからなる群より選択される少なくとも1種であり、2種以上を併用してもよい。
アルカリ金属水酸化物の水溶液:100質量部に対して、アルカリ金属水酸化物の量は、0.1~20質量部であることが好ましく、1~5質量部であることがより好ましい。アルカリ金属水酸化物の比率が0.1質量部未満では、精製効果が見られない。アルカリ金属水酸化物の比率が20質量部を超えると、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの分解が生じるため好ましくない。
ペルフルオロスルホランの除去において、ペルフルオロスルホラン:1モルに対して、アルカリ金属水酸化物の添加量(比率)は、1~10モルであることが好ましく、2~5モルであることがより好ましい。アルカリ金属水酸化物の比率が1モル未満であると、反応式(3)の反応が完了せず精製効果が得られない。アルカリ金属水酸化物の比率が10モルを超えても、格段の効果は得られない。
ペルフルオロブタンスルホニルフルオリドへのアルカリ金属水酸化物の水溶液の添加は、公知の方法を用いればよく、特に限定されない。しかし、精製後に分離した下層のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドを容易に取り出すためには、例えば分液ロート等で行うことが好ましい。反応の条件の一例としては、適宜混合溶液を撹拌しながら、室温で、1~2時間反応させることが挙げられる。反応条件は、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド中に含有されているペルフルオロスルホランの量、反応させるバッチの大きさ(原料の量)、撹拌の強さ等により、適宜決定すればよい。
〔ペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩の製造方法〕
ペルフルオロブタンスルホニルフルオリドを原料として、ペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩は、以下の反応式(4)により製造することができる。
C4F9SO2F+2KOH→C4F9SO3K+KF+H2O (4)
ペルフルオロブタンスルホニルフルオリドを原料として、ペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩は、以下の反応式(4)により製造することができる。
C4F9SO2F+2KOH→C4F9SO3K+KF+H2O (4)
具体的には、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリドを水酸化カリウム水溶液と反応させ、生成したペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩を冷却し、晶析させる。次いで、晶析されたペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩をろ過、乾燥させる。以上によりペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩を得ることができる。
ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:1モルに対して、水酸化カリウムのモル比は、2~3モルが好ましく、2モルが特に好ましい。
水酸化カリウム水溶液:100質量部に対して、水酸化カリウムの量は、20~70質量部が好ましく、20質量部が特に好ましい。
反応式(4)の反応温度は、50~100℃であり、特に好ましくは80℃である。また、反応式(4)の反応時間は、10~50時間であり、これにより反応を完結させることができる。
生成したペルフルオロスルホン酸カリウム塩を冷却し、ペルフルオロスルホン酸カリウム塩を晶析させる方法、及び晶析されたペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩をろ過、乾燥する方法は、公知の方法を用いればよく、特に限定されない。
上記により、本実施形態のペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩を製造することができる。
以下に、実施例により、本実施形態を詳細に説明するが、本実施形態はこれらに限定されない。
〔実施例1〕
ペルフルオロスルホランを1質量%含有するペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:50gを、100cm3のポリエチレン瓶に入れた。次に、1質量%水酸化カリウム水溶液:21gを入れた。室温にて1時間撹拌し、次いで下層を分離し、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:49gを得た。
ペルフルオロスルホランを1質量%含有するペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:50gを、100cm3のポリエチレン瓶に入れた。次に、1質量%水酸化カリウム水溶液:21gを入れた。室温にて1時間撹拌し、次いで下層を分離し、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:49gを得た。
得られたペルフルオロブタンスルホニルフルオリドをガスクロマトグラフィー(GC)分析した。その結果、ペルフルオロスルホランの含有量は100ppm未満であった。なお、100ppmは、GCにおけるペルフルオロスルホランの検出下限値である。
〔実施例2〕
1質量%水酸化カリウム水溶液:11gを用いた以外は、実施例1と同様にして、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:49gを得た。得られたペルフルオロブタンスルホニルフルオリドをGC分析した。その結果、ペルフルオロスルホランの含有量は100ppm未満であった。
1質量%水酸化カリウム水溶液:11gを用いた以外は、実施例1と同様にして、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:49gを得た。得られたペルフルオロブタンスルホニルフルオリドをGC分析した。その結果、ペルフルオロスルホランの含有量は100ppm未満であった。
〔実施例3〕
1質量%水酸化カリウム水溶液:31gを用いた以外は、実施例1と同様にして、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:49gを得た。得られたペルフルオロブタンスルホニルフルオリドをGC分析した。その結果、ペルフルオロスルホランの含有量は100ppm未満であった。
1質量%水酸化カリウム水溶液:31gを用いた以外は、実施例1と同様にして、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:49gを得た。得られたペルフルオロブタンスルホニルフルオリドをGC分析した。その結果、ペルフルオロスルホランの含有量は100ppm未満であった。
〔実施例4〕
1質量%水酸化カリウム水溶液の代わりに、1質量%水酸化ナトリウム水溶液:15gを用いた以外は、実施例1と同様にして、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:49gを得た。得られたペルフルオロブタンスルホニルフルオリドをGC分析した。その結果、ペルフルオロスルホランの含有量は100ppm未満であった。
1質量%水酸化カリウム水溶液の代わりに、1質量%水酸化ナトリウム水溶液:15gを用いた以外は、実施例1と同様にして、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:49gを得た。得られたペルフルオロブタンスルホニルフルオリドをGC分析した。その結果、ペルフルオロスルホランの含有量は100ppm未満であった。
〔実施例5〕
1質量%水酸化カリウム水溶液:42gを用いた以外は、実施例1と同様にして、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:49gを得た。得られたペルフルオロブタンスルホニルフルオリドをGC分析した。その結果、ペルフルオロスルホランの含有量は100ppm未満であった。
1質量%水酸化カリウム水溶液:42gを用いた以外は、実施例1と同様にして、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:49gを得た。得られたペルフルオロブタンスルホニルフルオリドをGC分析した。その結果、ペルフルオロスルホランの含有量は100ppm未満であった。
〔参考例1〕
1質量%水酸化カリウム水溶液:9gを用いた以外は、実施例1と同様にして、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:49gを得た。得られたペルフルオロブタンスルホニルフルオリドをGC分析した。その結果、ペルフルオロスルホランの含有量は3000ppmであった。
1質量%水酸化カリウム水溶液:9gを用いた以外は、実施例1と同様にして、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:49gを得た。得られたペルフルオロブタンスルホニルフルオリドをGC分析した。その結果、ペルフルオロスルホランの含有量は3000ppmであった。
〔比較例1〕
1質量%水酸化カリウム水溶液の代わりに、1質量%炭酸カリウム(K2CO3)水溶液:21gを用いた以外は、実施例1と同様にして、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:50gを得た。得られたペルフルオロブタンスルホニルフルオリドをGC分析した。その結果、ペルフルオロスルホランの含有量は1%であった。
1質量%水酸化カリウム水溶液の代わりに、1質量%炭酸カリウム(K2CO3)水溶液:21gを用いた以外は、実施例1と同様にして、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:50gを得た。得られたペルフルオロブタンスルホニルフルオリドをGC分析した。その結果、ペルフルオロスルホランの含有量は1%であった。
〔比較例2〕
1質量%水酸化カリウム水溶液の代わりに、10質量%硫酸:21gを用いた以外は、実施例1と同様にして、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:50gを得た。得られたペルフルオロブタンスルホニルフルオリドをGC分析した。その結果、ペルフルオロスルホランの含有量は1%であった。
1質量%水酸化カリウム水溶液の代わりに、10質量%硫酸:21gを用いた以外は、実施例1と同様にして、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:50gを得た。得られたペルフルオロブタンスルホニルフルオリドをGC分析した。その結果、ペルフルオロスルホランの含有量は1%であった。
〔比較例3〕
1質量%水酸化カリウム水溶液の代わりに、リン酸水素二カリウム0.5重量%とリン酸カリウム0.5重量%の混合水溶液21gを用い、実施例1と同様にして、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:50gを得た。得られたペルフルオロブタンスルホニルフルオリドをGC分析した。その結果、ペルフルオロスルホランの含有量は9500ppmであった。
1質量%水酸化カリウム水溶液の代わりに、リン酸水素二カリウム0.5重量%とリン酸カリウム0.5重量%の混合水溶液21gを用い、実施例1と同様にして、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド:50gを得た。得られたペルフルオロブタンスルホニルフルオリドをGC分析した。その結果、ペルフルオロスルホランの含有量は9500ppmであった。
〔実施例6〕
20質量%水酸化カリウム水溶液:15gと、実施例1のペルフルオロスルホラン含有量が100ppm未満のペルフルオロブタンスルホニルフロライド:8gを、100cm3フラスコに入れた。そして混合液を80℃で24時間攪拌した。その後、20℃まで冷却し、結晶をろ過した。得られた結晶を減圧乾燥して、ペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩:8gを得た。得られたペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩中の1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩の含有量は100ppm以下であった。
20質量%水酸化カリウム水溶液:15gと、実施例1のペルフルオロスルホラン含有量が100ppm未満のペルフルオロブタンスルホニルフロライド:8gを、100cm3フラスコに入れた。そして混合液を80℃で24時間攪拌した。その後、20℃まで冷却し、結晶をろ過した。得られた結晶を減圧乾燥して、ペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩:8gを得た。得られたペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩中の1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩の含有量は100ppm以下であった。
〔比較例4〕
ペルフルオロブタンスルホニルフロライドとして、比較例1で製造されたペルフルオロスルホラン含有量が10000ppmのものを用いた以外は、実施例6と同様にして、ペルフルオロブタンスルホン酸カリウム:8gを得た。得られたペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩の1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩の含有量は9000ppmであった。
ペルフルオロブタンスルホニルフロライドとして、比較例1で製造されたペルフルオロスルホラン含有量が10000ppmのものを用いた以外は、実施例6と同様にして、ペルフルオロブタンスルホン酸カリウム:8gを得た。得られたペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩の1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩の含有量は9000ppmであった。
上記のように、実施例1~5の全てにおいて、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド中のペルフルオロスルホランの含有量が100ppm未満であった。これに対して、ペルフルオロスルホラン:1モルに対して、水酸化カリウムの量が約0.84モルである参考例1では、ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド中のペルフルオロスルホランの含有量が3000ppmであった。また、アルカリ金属水酸化物の水溶液を使用しない比較例1~3の全てにおいて、ぺルフルオロブタンスルホニルフルオリド中のペルフルオロスルホランの含有量が約1%であり、ペルフルオロスルホランを除去することができなかった。なお、ペルフルオロスルホラン:1モルに対する水酸化カリウムの比率は、実施例1では約1.95、実施例2では約1.05、実施例3では約2.89、実施例4では約3.95である。
また、ペルフルオロスルホラン含有量が100ppm未満のペルフルオロブタンスルホニルフロライドを用いた実施例6では、1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩の含有量が100ppm以下であった。これに対して、ペルフルオロスルホラン含有量が10000ppmのペルフルオロブタンスルホニルフロライドを用いた比較例4では、1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩の含有量は9000ppmであった。
本実施形態のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法により、短時間でペルフルオロスルホランを除去することができ、高純度のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドを得ることができる。このため、本実施形態では、高純度のペルフルオロブタンスルホニルフルオリド、及びこのペルフルオロブタンスルホニルフルオリドから合成される高純度のペルフルオロブタンスルホン酸塩を提供できる。本実施形態のペルフルオロブタンスルホン酸塩は、高純度であるため、半導体製造時に用いられるフォトリソグラフィー用の光酸発生剤の原料や、ポリカーボネート樹脂の難燃剤、樹脂の導電化剤等の用途に、非常に有用である。
Claims (6)
- ペルフルオロスルホランの含有量が、質量基準で100ppm以下であることを特徴とするペルフルオロブタンスルホニルフルオリド。
- 1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタンスルホン酸カリウム塩の含有量が、質量基準で100ppm以下であることを特徴とするペルフルオロブタンスルホン酸カリウム塩。
- ペルフルオロブタンスルホニルフルオリド中に、アルカリ金属水酸化物の水溶液を添加してペルフルオロスルホランを除去することを特徴とするペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法。
- 前記アルカリ金属水酸化物が、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化ルビジウム、および水酸化セシウムからなる群より選択される少なくとも1種である請求項3に記載のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法。
- 前記ペルフルオロスルホラン:1モルに対して、前記アルカリ金属水酸化物の添加量が1~10モルの比率である請求項3に記載のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法。
- 前記アルカリ金属水酸化物の水溶液:100質量部に対して、前記アルカリ金属水酸化物の量が0.1~20質量部である請求項3に記載のペルフルオロブタンスルホニルフルオリドの製造方法。
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