WO2009056103A1 - Verfahren und vorrichtung zur kontaminationsfreien behandlung stossempfindlicher glasplatten in reinsträumen - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur kontaminationsfreien behandlung stossempfindlicher glasplatten in reinsträumen Download PDF

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Wolfgang Niewiera
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Definitions

  • Tailor-made solar modules enable tailor-made integration in building grids and profiles.
  • Semitransparent solar cells as well as opaque solar cells with transparent areas make photovoltaic glazing appear flooded with light.
  • the solar cells often take on the desired effect of sun and glare protection.
  • shock-sensitive plates are also required in the production of flat screens of larger design and in large quantities. Modern flat screens increasingly displace the old CRT monitors and are becoming cheaper and cheaper.
  • LCD Liquid Cristal Display
  • TFT thin film transistor
  • a flat screen display consists of numerous pixels. Each pixel in turn consists of 3 LCD cells (sub - pixels), corresponding to the colors red, green and blue. A 15 - inch screen (measured diagonally) contains approximately 800,000 pixels or approximately 2.4 million LCD cells. To understand how it works:
  • a liquid crystal cell works much like a Polaroid sunglass. If you hold two polaroid glasses on top of each other and start to turn them against each other, you will see less and less and then nothing at all. This effect is due to the fact that Polaroid glass is only permeable to light waves that vibrate in a certain plane. If two such glasses are held one above the other and rotated by 90 ° to each other, so some of the light can still pass through the first glass, but not through the second, because this is now transverse to the incoming light waves and filters them out.
  • An LCD cell works on the same principle. It consists of two 90 ° twisted polaroid glasses, through which, as explained above, no light can pass. Between these two polaroid glasses is a layer of liquid crystals, which has the natural property of rotating the plane of oscillation of light. This liquid crystal layer is just so thick that the light which passes through the first polaroid glass can be turned back by 90 °, and thus also pass through the second polaroid glass, thus becoming visible to the viewer.
  • liquid crystal molecules are now turned away from their natural position by the application of an electrical voltage, less light passes through the cell and the corresponding pixel darkens.
  • the corresponding voltage is generated by a TFT element which belongs to each LCD cell.
  • the light for the LCD display is created in the back of the screen housing by small fluorescent tubes, as they are used on a larger scale for room lighting.
  • each pixel has 3 color filters for the colors red, green and blue, the control of the transmittance of these filters allows each pixel to assume a desired color mixture or a desired color.
  • flat screens have excellent sharpness and sufficient color quality.
  • TFTs have much to offer: less space, a power consumption of only one third of a CRT monitor and a significantly lower radiation emission.
  • so-called clean rooms are required for the production of TFT screens. This is necessary because, given the small size of the conductive structures during the manufacturing process, even small size particles can cause line breaks. In the case of the production of a TFT screen such a line interruption would result in the failure of a pixel.
  • a clean room, or a clean dream, is a room in which the concentration of airborne particles is regulated. It is designed and used in such a way that the number of particles introduced into the room or created and deposited in the room is as small as possible and other parameters such as temperature, humidity or air pressure are regulated as required.
  • Multi-axis industrial robots can be used for this purpose primarily.
  • Such industrial robots are usually used in large halls for transporting unwieldy and heavy loads, but can also be used in the production of smaller ones
  • Machine parts are used profitably. In all cases, it depends on the reproducible accuracy of the movements of the individual
  • Dust movements or a more or less large outlet of lubricant is connected. Also, an inevitable abrasion of moving and friction causing machine parts is usually irrelevant. Quite differently, such natural concomitants are to be considered when working in a contaminated environment, such as in the food processing industry, in the pharmaceutical industry or even in the production of semiconductors in clean rooms.
  • a handling device such as an industrial robot for use in a contaminated environment known with a number of acted upon by a flushing medium flushing spaces in the range of drive units of the manipulator.
  • the problem to be solved is to further develop the device in such a way that a reliable substitutability of the handling device in a contaminated environment in a structurally simple and thus in particular cost-effective manner is possible.
  • This object is achieved in that a plurality of groups of drive units is assigned in each case a separate Spülraum (claim 1).
  • the environment in which such an industrial robot is to be used is indeed more sensitive to contamination than a normal environment and therefore also places greater demands on the structural design, but such special requirements can not be compared with the conditions as in clean rooms Are regulation.
  • an alignment device (1) which aligns the glass plates on a left and / or a right stop band (7) via controllable rollers (8), wherein the alignment device (1) consists of two, each separately about a pivot bearing (5) rotatable, frame - roller carriers (10) consists.
  • the orientation of thick and relatively stable glass plates takes place via abrupt stops on two stop bands (7). This is a totally inappropriate method of alignment for the alignment of thin, fragile glass plates.
  • a processing plant of modular construction for flat substrates has also become known.
  • Such flat substrates for example TFT screens, are dependent on housings for reasons of protection against soiling for handling under special atmospheric conditions.
  • the modular processing plant is provided with a transfer system that allows both quick access to the individual modules as well as a quick implementation between the individual modules and a transfer of Substrates between the modules is also possible under clean room conditions.
  • the transfer unit has a transfer chamber receiving the substrate support and designed as a housing, so that the size of the housing can be reduced to the size of the substrate, and thus to the size absolutely necessary. While these are measures to somehow optimize a processing facility under clean room conditions, the issue of aligning thin impact sensitive glass panels is not touched.
  • the device according to the invention or the method according to the invention is therefore based on the object of ensuring, during the alignment and positioning of large thin glass plates under clean room conditions, a production process or a supply to a specific production process, without the access of people, but of people outside the production is controlled and monitored takes place.
  • the corresponding device must be reliable and inexpensive to manufacture.
  • the movements of the glass plates must exclude unwanted vibrations.
  • Umsetzziki Fig.5 the spatial representation of the roller conveyor
  • clean rooms As they are also used in microelectronics, there are several hierarchical areas with corresponding clean room class. Thus, the clean room (class 10 and better), in which substrates are handled, surrounds a separate area with the required systems for coating and structuring. Required pumps for vacuum technology are usually located in an underlying floor.
  • the cleanroom access usually takes place via a series of different cleanroom areas with falling cleanroom class. Between these areas usually a change of clothes is required.
  • special tacky floor mats are located at the respective entrances.
  • the access to the clean room itself is additionally followed by personnel and material locks, in which strong air currents and filter systems stir up and suck off existing particles, so that no additional contamination from outside is introduced.
  • the glass plates (9) used in the clean room are cleaned in one of the preceding rooms and packed in several protective covers. These protective covers are then removed according to the respective processing operation of the glass plates (9) and according to the required clean room conditions or clean room conditions.
  • Such a roller conveyor consists of a series of parallel rollers (2), as shown in Fig.1.
  • each roller (2) is operated via its own bevel gear and a drive common to all the rollers (3), as can be seen from FIG.
  • the roller conveyor can be mounted on a base plate (1).
  • FIG. 2 A detailed illustration of such a drive is shown in FIG. 2.
  • an elongated drive motor with a downstream angular gear via a large bevel gear drives a smaller bevel gear on a central shaft.
  • This central shaft is mounted multiple times and carries in the region of each roller (2) a smaller bevel gear that drives a directly on the respective roller (2) sitting another bevel gear.
  • This construction method is inexpensive and enables reliable long-term operation.
  • the use of bevel gear drives ensures a high degree of operational reliability and cost-effective production at the same time.
  • the bearings of these rollers (2) are designed according to the required clean room conditions.
  • roller conveyor can also consist of a series of roles, each with its own electric motor drive and a separate control or be provided with bevel gears, which are each driven in groups. Roller conveyors are used whenever it is necessary to transport one or more glass plates (9) to the next destination.
  • Applicable options which have a lifting effect and are compatible with the conditions in the clean room.
  • the alignment frame (5) carries on rotatably mounted cross braces (4) fixed support elements, which have an impression-free surface and the
  • the alignment frame (5) is on the one hand on shift pads on individually by
  • a check of the exact positioning of the glass plate (9) can be done via lines -
  • a glass plate (9) can be positioned with the greatest possible accuracy and fed under clean room conditions for further processing. This happens because after the process of the exact, monitored by sensors alignment of the glass plate (9) of the lifting frame (8) is lowered so far that the glass plate (9) rests again on the rollers.
  • the gaps shown in Figure 3 between the rollers (2) on the one hand and positioned on the alignment frame cross struts (4), the Abdrückiana between the rollers (2) pass through and move between them, can be adjusted according to the expected displacement movements become.
  • FIG. 4 shows a perspective view of a glass plate (9) on a transfer device according to the invention.
  • a glass plate (9) can be implemented with the greatest possible accuracy and fed under clean room conditions for further processing.
  • the transfer device is anchored to the floor by means of a fastening plate (1).
  • the cross member (13) of the transfer fork is mounted on the attachment plate (1) via a fastening element and an upper deflection gear (11) and a cross-member having a certain distance, connected lower deflection gear (10).
  • the upper deflection gear (11) is in this case driven by the upper servo drive (17) and the lower deflection gear (10) by the lower servo drive (16).
  • On the cross member (13) of the transfer fork four suction head support - Holme (14), each with five suction heads (15) are exemplified. The suction heads (15) are sucked to the glass plate (9) in question before the process of transfer, and connect them to the transfer device.
  • the flexible duct (12) is encapsulated without emissions and also has its own extraction system.
  • FIG. 5 shows in a drawing a combination of an alignment device according to the invention and a transfer device according to the invention.
  • Storage device (18) has been pivoted.
  • Glass plate (9) are made in both the horizontal and in the vertical direction.
  • the lower crossbeam connecting the lower deflecting gear (10) and the upper deflecting gear (11) is designed so that the distance between these two deflecting gears (10, 11 ) can be changed by motor.
  • the current positions of the relevant plant components can be detected by control technology on a screen by sensors for checking purposes. Comparative determination of positions of the plant parts and position data of glass plates (9) enable exact target - actual comparisons and precise positioning results.
  • a suction head (15) consists essentially of a spacer bushing which at its lower end carries a screw connection adapted to the clean-room conditions with which it is connected to the suction head carrier spar (14).
  • a flow sensor is arranged, which detects the air flow flowing through a suction element and forwards the measured values determined by it to the control of the conversion device.
  • a suction element consists essentially of a special high-performance material, which is known by the abbreviation PEEK.
  • this plastic is also used in other parts which are exposed to abrasion, such as the support of the rollers (2).
  • the device according to the invention is not only more cost-effective to implement than a corresponding system with an industrial robot and ensures a high degree of contamination, it meets high requirements in terms of reliability and reliability.
  • the device of the invention largely reduces unwanted vibration processes in the movement and a risk of breakage is largely reduced.
  • a delicate glass plates gentle process when moving into the storage device (18) is achieved in that the glass plate (9) first of the storage device (18) via the deflection gear (11, 10) is approached and then takes place after the decay of any vibration fine adjustments by bringing the glass plate slowly into the end position required for further processing.
  • the device according to the invention can be used to

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Abstract

Verfahren und Vorrichtung zum kontaminationsfreien, exakt definierten, horizontalen Ausrichten und folgenden Umsetzen von dünnen, stoßempfindlichen kristallinen Platten, insbesondere Glasplatten (11), in eine definierte vertikale Lage. Die Glasplatten (9) werden unter Reinstraumbedingungen ohne die Verwendung eines Industrieroboters und ohne Kontamination durch Menschen ausgerichtet, umgesetzt und in der richtigen Lage der weiteren Bearbeitung zugeführt. Die Vorrichtung ist kostengünstig und betriebssicher.

Description

Verfahren und Vorrichtung zur kontaminationsfreien Behandlung stoßempfindlicher Glasplatten in Reinsträumen
Die Bearbeitung von kristallinen Strukturen, insbesondere von Glasplatten, in Reinsträumen war am Anfang in der Fertigungstechnik für Halbleiter erforderlich. Im Laufe der Zeit stellten sich unter anderen die Photovoltaik und die Herstellung von TFT - Bildschirmen als nennenswerte Anwendungsgebiete für diese Fertigungstechnik heraus.
Maßgeschneiderte Solarmodule ermöglichen die passgenaue Integration in Bauwerksraster und Profile. Semitransparente Solarzellen aber auch opake Solarzellen mit transparenten Bereichen lassen Photovoltaik - Verglasungen lichtdurchflutet erscheinen. Die Solarzellen übernehmen dabei häufig den gewünschten Effekt des Sonnen - und Blendschutzes.
Die Herstellung von solchen Photovoltaik - Anlagen erfordert Arbeitsbedingungen wie sie vor allem bei der Herstellung von integrierten elektronischen Schaltungen üblich sind. Diese so genannten Reinraum - Bedingungen machen jedoch bei der Herstellung von Photovoltaik - Anlagen zusätzlich die Handhabung flächenmäßig großer stoßempfindlicher Glasplatten erforderlich.
Die Fertigung und weitere Bearbeitung stoßempfindlicher Platten wird auch bei der Herstellung von Flachbildschirmen größerer Bauart und in hoher Stückzahl verlangt. Moderne Flachbildschirme verdrängen zunehmend die alten Röhrenmonitore und werden zudem immer preiswerter.
Sie basieren auf der TFT/LCD - Technologie. LCD ( Liquid Cristal Display = Flüssigkristall - Display ) steht dabei für die Verwendung von Flüssigkristallen in den einzelnen Bildpunkten des Bildschirms und TFT steht hierbei für „ Thin Film Transistor „.Bei den TFT1S handelt es sich um kleinste Transistor - Elemente, welche die Ausrichtung der Flüssigkristalle und damit deren Lichtdurchlässigkeit steuern.
Ein Flachbildschirm - Display besteht aus zahlreichen Bildpunkten ( Pixeln ). Jeder Bildpunkt wiederum besteht aus 3 LCD - Zellen ( Sub - Pixel ), entsprechend den Farben Rot, Grün und Blau. Ein 15 - Zoll großer Bildschirm ( diagonal gemessen ) enthält etwa 800.000 Bildpunkte oder ungefähr 2,4 Millionen LCD - Zellen. Zum Verständnis der Funktionsweise:
Eine Flüssigkristall - Zelle ( LCD - Zelle ) funktioniert ähnlich wie eine Polaroid - Sonnenbrille. Hält man 2 Polaroidgläser übereinander und beginnt, sie gegeneinander zu verdrehen, so sieht man zunächst immer weniger und dann gar nichts mehr. Dieser Effekt kommt dadurch zustande, dass Polaroidglas nur für Lichtwellen durchlässig ist, die in einer bestimmten Ebene schwingen. Werden 2 solcher Gläser übereinander gehalten und um 90° gegeneinander verdreht, so kann ein Teil des Lichts zwar noch durch das erste Glas hindurch treten, jedoch nicht mehr durch das zweite, denn dieses steht nun quer zu den ankommenden Lichtwellen und filtert sie aus.
Eine LCD - Zelle funktioniert nach dem gleichen Prinzip. Sie besteht aus zwei gegeneinander um 90° verdrehten Polaroidgläsern, durch die nach dem oben Erklärten somit kein Licht hindurchgelangen kann. Zwischen diesen beiden Polaroidgläsern befindet sich eine Schicht aus Flüssigkristallen, welche die natürliche Eigenschaft hat, die Schwingungsebene von Licht zu drehen. Diese Flüssigkristall - Schicht ist gerade so dick, dass das Licht, welches durch das erste Polaroidglas gelangt, um 90° zurückgedreht wird, und damit auch durch das zweite Polaroidglas gelangen kann, also für den Betrachter sichtbar wird.
Werden die Flüssigkristall - Moleküle nun durch das Anlegen einer elektrischen Spannung aus ihrer natürlichen Position weggedreht, so gelangt weniger Licht durch die Zelle und der entsprechende Bildpunkt wird dunkel. Die entsprechende Spannung wird durch ein TFT - Element erzeugt, welches zu jeder LCD - Zelle gehört. Das Licht für das LCD - Display entsteht im hinteren Teil des Bildschirmgehäuses durch kleine Fluoreszenzröhren, wie sie in größerem Maßstab zur Raumbeleuchtung benutzt werden.
Da jeder Bildpunkt 3 Farbfilter für die Farben Rot, Grün und Blau aufweist kann über die Steuerung der Durchlässigkeit dieser Filter jeder Bildpunkt eine gewünschte Farbmischung bzw. eine gewünschte Farbe annehmen. Für Standard - Büroanwendungen haben Flachbildschirme eine hervorragende Schärfe und besitzen eine ausreichende Farbqualität. Auch ergonomisch haben TFT.s viel zu bieten: weniger Platzbedarf, eine Leistungsaufnahme von nur einem Drittel eines Röhrenmonitors und eine wesentlich geringere Strahlenemission. Für die Herstellung von TFT - Bildschirmen sind, wie in der Mikroelektronik üblich, so genannte Reinsträume erforderlich. Dies ist deshalb notwendig, da in Anbetracht der geringen Größe der leitungsführenden Strukturen während des Fertigungsprozesses auch Partikel von geringer Größe Leitungsunterbrechungen verursachen können. Im Falle der Fertigung eines TFT -Bildschirms hätte eine solche Leitungsunterbrechung den Ausfall eines Bildpunktes zur Folge.
Ein Reinraum, bzw. ein Reinstraum, ist ein Raum, in dem die Konzentration luftgetragener Teilchen geregelt wird. Er ist so konstruiert und wird so verwendet, dass die Anzahl der in den Raum eingeschleppten bzw. im Raum entstehenden und abgelagerten Partikel kleinstmöglich ist und andere Parameter wie Temperatur, Feuchte oder Luftdruck nach Bedarf geregelt werden.
Einerseits werden die TFT - Bildschirme zurzeit immer preiswerter, andererseits zeichnet sich zunehmend der Bedarf nach Bildschirmen von gigantischen Ausmaßen ab. Dies umso mehr als sich solche Bildschirme einerseits sehr leicht bei
Großveranstaltungen verwenden lassen und andererseits durch die moderne
Fertigungstechnik in erschwinglichen Preisklassen liegen.
Die Fertigung von Großbildschirmen erfordert jedoch gerade in Reinsträumen besondere Maschinen zur Handhabung der hierbei benötigten großflächigen dünnen
Glasplatten.
Verwendbar sind zu diesem Zweck in erster Linie Mehrachs - Industrieroboter.
Die Anwendung verschiedenster Ausführungen von Mehrachs - Industrierobotern in der Fertigungstechnik der unterschiedlichsten Produkte ist zum Stand der Technik zu rechnen.
Solche Industrieroboter werden in großen Hallen meist zum Transport unhandlicher und schwerer Lasten eingesetzt, können aber auch bei der Fertigung von kleineren
Maschinenteilen nutzbringend eingesetzt werden. In allen Fällen kommt es dabei auf die reproduzierbare Exaktheit der Bewegungsabläufe der einzelnen
Erfassungsvorgänge, Transportbewegungen und Absetzvorgänge an.
Unter welchen Umständen diese Bewegungsabläufe stattfinden ist hierbei in vielen
Fällen unwichtig. So spielt es meist keine Rolle welche Geräuschentwicklung ein solcher Bewegungsablauf verursacht, oder ob mit einem solchen Vorgang
Staubbewegungen oder ein mehr oder weniger großer Austritt von Schmiermittel verbunden ist. Auch ein unvermeidlicher Abrieb bewegter und eine Reibung verursachender Maschinenteile ist meist unbeachtlich. Ganz anders sind solche natürlichen Begleiterscheinungen bei der Arbeit in kontaminationsgefährdeter Umgebung zu betrachten, wie zum Beispiel in der Nahrungsmittel verarbeitenden Industrie, in der Pharmaindustrie oder eben bei der Herstellung von Halbleitern in Reinsträumen.
So ist aus der EP 1 541 296 A1 ein Handhabungsgerät, wie ein Industrieroboter zum Einsatz in kontaminationsgefährdeter Umgebung bekannt mit einer Anzahl von mit einem Spülmedium beaufschlagbaren Spülräumen im Bereich von Antriebseinheiten des Handhabungsgeräts. Bei einem solchen Gerät soll die Aufgabe gelöst werden, das Gerät dahingehend weiterzuentwickeln, dass eine sichere Ersetzbarkeit des Handhabungsgeräts in kontaminationsgefährdeter Umgebung in konstruktiv einfacher und damit insbesondere kostengünstiger Weise möglich ist. Gelöst wird diese Aufgabe dadurch, dass einer Mehrzahl von Gruppen von Antriebseinheiten jeweils ein eigener Spülraum zugeordnet ist ( Anspruch 1 ). Die Umgebung, in der ein derartiger Industrie - Roboter eingesetzt werden soll, ist zwar gegenüber einer normalen Umgebung gegen Kontamination empfindlicher und stellt deshalb auch höhere Anforderungen an die konstruktive Ausgestaltung, aber derartige besondere Anforderungen sind nicht zu vergleichen mit den Bedingungen, wie sie in Reinsträumen Vorschrift sind.
Aus der DE 20 2007 003 907 U1 ist eine Vorrichtung zum automatischen Sortieren von Glasplatten bekannt. In dieser Druckschrift ist unter anderen eine Ausrichtvorrichtung ( 1 ) beschrieben, die über steuerbare Rollen ( 8 ) die Glasplatten an einem linken und / oder einem rechten Anschlagband ( 7 ) ausrichtet, wobei die Ausrichtvorrichtung ( 1 ) aus zwei, jeweils gesondert um ein Schwenklager ( 5 ) drehbaren, Rahmen - Rollenträgern ( 10 ) besteht. Abgesehen davon, dass diese Ausrichtvorrichtung ( 1 ) nicht für den Betrieb von Reinstraum - Bedingungen vorgesehen ist, erfolgt hier die Ausrichtung dicker und relativ stabiler Glasplatten über stoßartige Anschläge an zwei Anschlagbändern ( 7 ). Dies ist für die Ausrichtung dünner, bruchgefährdeter Glasplatten ein total ungeeignetes Verfahren der Ausrichtung. Ein Hinweis auf die besonders schonende gleitende Ausrichtung von dünnen, stoßempfindlichen Glasplatten nach der Erfindung ist dieser Druckschrift nicht zu entnehmen. In der, von der DE 19 18 791 A beschriebenen, Vorrichtung zum Überführen und Stapeln von Platten soll die Überführungsgeschwindigkeit und die Stapelgeschwindigkeit von Platten gegenüber einem Stapelbetrieb nach dem Stand der Technik, der teilweise manuell unterstützt wird, beträchtlich erhöht werden. Dies geschieht im Wesentlichen dadurch, dass das Heben oder Umkehren jeder Platte in zwei Stufen ausgeführt wird. Um die jeweilige Platte bei dem hier beschriebenen Verfahren handhaben zu können wird sie fest mittels einer Saugeinrichtung ( 4 ) verbunden, verschiedenen drehbaren Trageinrichtungen zugeführt und in verschiedene waagrechte und schräge Positionen verbracht bis sie endlich zu einem Stapelabschnitt ( 11 ) überführt wird. Zu dem schonenden und sanften Ausrichten von dünnen, stoßempfindlichen Glasplatten unter Reinstraumbedingungen ergeben sich hierbei keine Anregungen.
Aus der DE 10 2005 039 453 A1 ist ferner eine Bearbeitungsanlage modularen Aufbaus für flächige Substrate bekannt geworden. Solche flächigen Substrate, zum Beispiel TFT - Bildschirme, sind aus Gründen des Verschmutzungsschutzes für die Handhabung unter atmosphärischen Sonderbedingungen auf Einhausungen angewiesen. Gemäß der dort vorgestellten Erfindung wird auf eine Einhausung der Bearbeitungsanlage verzichtet, dafür aber wird die modular aufgebaute Bearbeitungsanlage mit einer Transferanlage versehen, die sowohl einen schnellen Zugriff auf die einzelnen Module wie auch eine schnelle Umsetzung zwischen den einzelnen Modulen ermöglicht und über die ein Transfer der Substrate zwischen den Modulen auch unter Reinstraumbedingungen ermöglicht wird. Das wird dadurch erreicht, dass die Transfereinheit eine die Substratauflage aufnehmende, als Einhausung ausgebildete, Transferkammer aufweist, so dass die Größe der Einhausung auf die Größe des Substrates, und damit auf die unbedingt notwendige Größe reduziert werden kann. Hier handelt es sich zwar um Maßnahmen um eine Bearbeitungsanlage unter Reinstraumbedingungen auf gewisse Weise zu optimieren, jedoch ist das Thema der Ausrichtung dünner stoßempfindlicher Glasplatten nicht berührt.
Abgesehen davon sind große dünne Glasplatten, wie sie für die Fertigung großer TFT - Bildschirme verwendet werden, durch ihre Struktur und gleichzeitige relativ große Masse gegen kleinste Stöße äußerst empfindlich. Ein Industrieroboter ist deshalb auch aus den Gründen fehlender Feinfühligkeit und für solche Fälle mangelnder Positioniergenauigkeit zur Handhabung großer dünner Glasplatten in Reinsträumen nicht geeignet.
Besondere Aufmerksamkeit erfordert unter Reinstraum - Bedingungen die Umsetzung großer stoßempfindlicher Glasplatten von der horizontalen Ausrichtung in eine vertikale Ausrichtung.
Ein weiterer Aspekt bei der Aufrechterhaltung von Reinstraum - Bedingungen, besonders bei der Fertigung kostenintensiver Produkte, ist die Kontaminationsgefahr durch den Menschen. Ein unbeabsichtigtes Niesen kann hierbei eine ganze Produktionseinheit zerstören. Ebenso erfordert eine derartige Anlage eine erhöhte Zuverlässigkeit. Da die Kosten für die Anschaffung und den Betrieb eines entsprechend ausgestalteten Industrie - Roboters hoch sind, ist auch der günstige Preis einer solchen Anlage wichtig.
Gerade bei der Handhabung großflächiger Glasplatten durch einen Industrie - Roboter ist zu beobachten, dass solche großen Flächen durch die Bewegung zum Schwingen neigen. Das kann zum einen bedingt sein durch die nur an wenigen Stellen anhaftenden Saugelemente und zum anderen durch die beschleunigten Bewegungsabläufe solcher Roboter. Bei derartigen Schwingungs - Erscheinungen Ist die zusätzliche Gefahr eines Glasbruchs gegeben.
Der erfindungsgemäßen Vorrichtung bzw. dem erfindungsgemäßen Verfahren liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, bei der Ausrichtung und Positionierung großer dünner Glasplatten unter Reinstraum - Bedingungen einen Fertigungsprozess bzw. eine Zulieferung zu einem bestimmten Fertigungsprozess zu gewährleisten, der ohne den Zutritt von Menschen, aber von Menschen außerhalb der Fertigung gesteuert und überwacht, erfolgt. Die entsprechende Vorrichtung muss zuverlässig sein und preiswert in der Herstellung. Die Bewegungsabläufe der Glasplatten müssen unerwünschte Schwingungen ausschließen.
Diese Aufgabe wird mit einer Vorrichtung nach Anspruch 1 bzw. einem Verfahren nach Anspruch 9 gelöst.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird im Folgenden näher beschrieben. Es zeigen im Einzelnen: Fig:1: die räumliche Darstellung eines Rollenförderers
Fig.2: die Darstellung des Rollenantriebs
Fig.3: die Draufsicht auf den Rollenförderer und die Ausrichteinheit
Fig.4: die räumliche Darstellung des Rollenförderers und der
Umsetzeinheit Fig.5: die räumliche Darstellung des Rollenförderers, der
Ausrichteinheit und der Umsetzeinheit Fig.6: die räumliche Darstellung der Umsetzeinheit und der
Ablagevorrichtung
Für Reinsträume, wie sie auch in der Mikroelektronik Verwendung finden, gibt es mehrere hierarchische Bereiche mit entsprechender Reinraumklasse. So umgibt den Reinstraum ( Klasse 10 und besser ), in dem mit Substraten hantiert wird, ein abgetrennter Bereich mit den benötigten Anlagen zur Beschichtung und Strukturierung. Benötigte Pumpen für die Vakuumtechnik befinden sich meist in einem darunter liegenden Stockwerk.
Der Reinstraum - Zugang erfolgt meist über eine Folge verschiedener Reinraumbereiche mit fallender Reinraumklasse. Zwischen diesen Bereichen wird in der Regel ein Kleiderwechsel verlangt. Um Verschmutzungen von Gegenständen, die mit dem Fußboden in Berührung kommen ( z.B. Schuhsohlen ), zu minimieren, befinden sich an den jeweiligen Zugängen spezielle klebrige Fußmatten. Der Zugang zum Reinstraum selbst folgt zusätzlich über Personal - und Materialschleusen, in denen wiederum starke Luftströmungen und Filtersysteme vorhandene Partikel aufwirbeln und absaugen, so dass keine zusätzliche Verunreinigung von außerhalb eingetragen wird.
Materialien, die in Reinräumen eingesetzt werden, müssen über abriebfeste Oberflächen verfügen. Aufgestellte Anlagen und Geräte dürfen die laminare Luftströmung nur minimal stören. Ein Reinraum wird in der Regel mit Überdruck ( Überdruckbelüftung ) beaufschlagt.
Die im Reinstraum verwendeten Glasplatten ( 9 ) werden in einem der vorgehenden Räume gesäubert und in mehrere Schutzhüllen verpackt. Diese Schutzhüllen werden dann entsprechend dem jeweiligen Bearbeitungsvorgang der Glasplatten ( 9 ) und entsprechend den geforderten Reinraumbedingungen bzw. Reinstraumbedingungen wieder entfernt.
Der Zugang der Glasplatten ( 9 ) zu dem Raum, in dem die erfindungsgemäße Ausrichtung und Positionierung erfolgt, geschieht über eine Schleuse durch die ein Rollenförderer führt.
Ein solcher Rollenförderer besteht aus einer Folge von parallel angeordneten Rollen ( 2 ), wie sie in der Fig.1 dargestellt sind. Hierbei wird jede Rolle ( 2 ) über ein eigenes Kegelrad und einen allen Rollen gemeinsamen Antrieb ( 3 ) betrieben, wie aus der Fig.1 zu ersehen ist. Der Rollenförderer kann auf einer Grundplatte ( 1 ) montiert sein.
Eine Detaildarstellung eines solchen Antriebs ist in Fig. 2 gezeigt. Hier ist zu erkennen dass ein länglicher Antriebsmotor mit einem nachgeschalteten Winkelgetriebe über ein großes Kegelrad ein kleineres Kegelrad auf einer Zentralwelle antreibt. Diese Zentralwelle ist mehrfach gelagert und trägt im Bereich jeder Rolle ( 2 ) ein kleineres Kegelrad, das ein direkt auf der jeweiligen Rolle ( 2 ) sitzendes weiteres Kegelrad antreibt. Diese Bauweise ist preiswert und ermöglicht einen zuverlässigen langjährigen Betrieb. Durch die Verwendung von Kegelrad - Antrieben ist eine hohe Betriebssicherheit bei gleichzeitiger kostengünstiger Herstellung gewährleistet.
Die Lager dieser Rollen ( 2 ) sind entsprechend den geforderten Reinraumbedingungen ausgelegt.
Ein solcher Rollenförderer kann aber auch aus einer Folge von Rollen mit jeweils einem eigenen elektromotorischen Antrieb und einer eigenen Steuerung bestehen oder mit Kegelrädern versehen sein, die jeweils gruppenweise angetrieben werden. Rollenförderer werden immer dann verwendet, wenn es notwendig ist, eine oder mehrere Glasplatten ( 9 ) zu dem nächsten Bestimmungsort zu transportieren.
Gelangt die jeweilige Glasplatte ( 9 ) dann in den Bereich der Ausrichteinheit, wie in der Fig.3 gezeigt, wird ihre Lage durch Sensoren erfasst und die Glasplatte ( 9 ) in einer vorläufigen Stellung zum Halten gebracht. In der Fig.3 ist ein solcher Vorgang von oben gesehen dargestellt, die Glasplatte ist aus Gründen der Übersicht weggelassen.
Als Sensoren können entsprechend der jeweiligen Anforderungen für einen
Fachmann geläufige, verschiedenste Arten und Anordnungen von Sensoren unterschiedlichster Bauart zum Einsatz kommen.
Zum eigentlichen Ausrichten einer Glasplatte ( 9 ) wird unterhalb der Laufrollen ein
Heberahmen ( 8 ) angehoben, der einen Ausrichtrahmen ( 5 ) trägt, wobei dieser wiederum Querverstrebungen ( 4 ) mit Auflageelementen trägt, die den zwischen den Laufrollen bestehenden Freiraum durchdringen und das Auflage - Niveau der
Laufrollen überragen.
Das Anheben des Heberahmens ( 8 ) erfolgt über einen eigenen Antrieb, der über ein Hebelgestänge und die Verkürzung einer Gewindestange die Auslenkung von
Hebeelementen bewirkt. Es sind jedoch auch andere dem Fachmann bekannte
Möglichkeiten anwendbar, die eine Hubwirkung aufweisen und mit den Bedingungen im Reinstraum vereinbar sind.
Der Ausrichtrahmen ( 5 ) trägt auf drehbar gelagerten Querverstrebungen ( 4 ) befestigte Auflageelemente, die eine abdruckfreie Oberfläche aufweisen und die
Glasplatte ( 9 ) an der Unterseite berühren und sie auf diese Weise tragen.
Der Ausrichtrahmen ( 5 ) ist einerseits auf Verschiebeauflagen über einzeln durch
Antriebe ( 6 ) ansteuerbare Verschiebeelemente verschieblich gelagert, wodurch die beiden längs verlaufenden Traversen des Ausrichtrahmens ( 5 ), die mit den drehbar gelagerten Querverstrebungen ( 4 ) gelenkig verbunden sind, unterschiedlich positionierbar sind.
Auf diese Weise ist gewährleistet, dass sich nicht nur der Ausrichtrahmen ( 5 ) insgesamt parallel verschieben und somit fein justieren lässt, sondern sich auch wie ein Parallelogramm schräg verstellen lässt und der Ausrichtrahmen ( 5 ) die auf den
Auflageelementen aufliegende Glasplatte ( 9 ) stoßfrei in die gewünschte Position bringt.
Eine Kontrolle der genauen Positionierung der Glasplatte ( 9 ) kann über Linien -
Laser oder über Markierungen, deren Position über Laser und / oder Sensoren überwacht wird, erfolgen.
Somit lässt sich eine Glasplatte ( 9 ) mit einer größtmöglichen Genauigkeit positionieren und unter Reinstraum - Bedingungen der weiteren Bearbeitung zuführen. Das geschieht dadurch, dass nach dem Vorgang des genauen, durch Sensoren überwachten Ausrichtens der Glasplatte ( 9 ) der Heberahmen ( 8 ) soweit abgesenkt wird, dass die Glasplatte ( 9 ) wieder auf den Rollen aufliegt. Die in der Fig.3 dargestellten Zwischenräume zwischen den Rollen ( 2 ) einerseits und den auf dem Ausrichtrahmen positionierten Querverstrebungen ( 4 ), deren Abdrückelemente zwischen den Rollen ( 2 ) hindurch treten und sich zwischen diesen verschieben, können jeweils entsprechend den zu erwartenden Verschiebungsbewegungen eingestellt werden.
In der Praxis sind jedoch geringe Ausrichtbewegungen einer Glasplatte ( 9 ) zu erwarten, so dass für die Ausrichtung einer typischerweise auszurichtenden Glasplatte ( 9 ) die entsprechenden Zwischenräume zwischen den Rollen ( 2 ) ausreichen.
In der Fig. 4 ist eine perspektivische Darstellung einer Glasplatte ( 9 ) auf einer erfindungsgemäßen Umsetzvorrichtung gezeigt.
In dieser Fig.4 ist zu erkennen, wie die Rollen ( 2 ), auf denen die Glasplatten ( 2 ) horizontal an die Umsetzvorrichtung herangeführt werden, eine Glasplatte ( 2 ) in den Bereich des Querholms ( 13 ) der Umsetzergabel und der rechtwinklig damit verbundenen Saugkopfträgerholme ( 14 ) befördert haben. Die Saugkopfträgerholme ( 14 ) verlaufen hierbei im Wesentlichen parallel zu den Rollen ( 2 ). Eine Kontrolle der genauen Positionierung der Glasplatte ( 9 ) kann über, nicht gesondert dargestellte, Linien - Laser oder über Markierungen, deren Position über Laser und / oder Sensoren überwacht wird, erfolgen.
Somit lässt sich eine Glasplatte ( 9 ) mit einer größtmöglichen Genauigkeit umsetzen und unter Reinstraum - Bedingungen der weiteren Bearbeitung zuführen.
Weiter ist der Fig.4 zu entnehmen, dass die Umsetz - Vorrichtung mit einer Befestigungsplatte ( 1 ) am Boden verankert ist. Der Querholm ( 13 ) der Umsetzgabel ist über ein Befestigungselement sowie ein oberes Umlenkgetriebe ( 11 ) und ein damit über eine einen bestimmten Abstand aufweisende Quertraverse, verbundenes unteres Umlenkgetriebe ( 10 ) an der Befestigungsplatte ( 1 ) gelagert. Das obere Umlenkgetriebe ( 11 ) wird hierbei von dem oberen Servoantrieb ( 17 ) und das untere Umlenkgetriebe ( 10 ) von dem unteren Servoantrieb ( 16 ) angetrieben. An dem Querholm ( 13 ) der Umsetzgabel sind beispielhaft vier Saugkopfträger - Holme ( 14 ) mit jeweils fünf Saugköpfen ( 15 ) dargestellt. Die Saugköpfe ( 15 ) saugen sich vor dem Vorgang des Umsetzens an der betreffenden Glasplatte ( 9 ) fest und verbinden sie mit der Umsetz - Vorrichtung. Der flexible Leitungskanal ( 12 ) ist emissionsfrei gekapselt und verfügt zusätzlich über ein eigenes Absaug - System.
In der Fig.5 ist in einer Zeichnung eine Kombination einer erfindungsgemäßen Ausrichtvorrichtung und einer erfindungsgemäßen Umsetzvorrichtung dargestellt.
In der perspektivischen Ansicht der Fig.6 ist zu erkennen, wie die Glasplatte ( 9 ), von den Saugköpfen ( 15 ) gehalten, in eine senkrechte Position in den Bereich der
Ablagevorrichtung ( 18 ) verschwenkt wurde.
Über das untere Umlenkgetriebe ( 10 ) erfolgt hierbei im Wesentlichen der eigentliche
Schwenkvorgang von der horizontalen Lage in die erforderliche vertikale Lage. Durch das obere Umlenkgetriebe ( 11 ) kann dann eine weitere Feinjustierung einer
Glasplatte ( 9 ) sowohl in horizontaler als auch in vertikaler Richtung vorgenommen werden.
In der Ablagevorrichtung ( 18 ) verbleibt eine Glasplatte ( 11 ) dann bis zu dem
Vorgang der Beschichtung gemäß dem eigentlichen Verwendungszweck.
Zur Anpassung an unterschiedliche Gegebenheiten bezüglich der Abmessungen der umzusetzenden Glasplatten und bezüglich unterschiedlich dimensionierter Ablagevorrichtungen kann vorgesehen sein, die das untere Umlenkgetriebe ( 10 ) und das obere Umlenkgetriebe ( 11 ) verbindende Quertraverse, so auszugestalten, dass der Abstand dieser beiden Umlenkgetriebe ( 10,11 ) motorisch verändert werden kann. Die aktuellen Positionen der relevanten Anlagenteile können zur Kontrolle an einem Bildschirm von Sensoren steuerungstechnisch erfasst werden. Vergleichende Erfassung von Positionen der Anlagenteile und Positionsdaten von Glasplatten ( 9 ) ermöglichen exakte Soll - Ist - Vergleiche und präzise Positionierungsergebnisse.
Die entsprechenden Anlagenteile sind aus Gründen der übersichtlichen Darstellung nicht gezeichnet. Ein Saugkopf ( 15 ) besteht im Wesentlichen aus einer Distanzbuchse die an ihrem unteren Ende eine den Reinstraumbedingungen angepasste Schraubverbindung trägt, mit der sie mit dem Saugkopfträgerholm ( 14 ) verbunden ist. Im Inneren eines Saugkopfes ( 15 ) ist ein Strömungssensor angeordnet, der den durch ein Ansaugelement strömenden Luftstrom erfasst und die von ihm ermittelten Messwerte zur Steuerung der Umsetz - Vorrichtung weiterleitet. Ein derartiges Ansaugelement besteht im Wesentlichen aus einem speziellen Hochleistungswerkstoff, der unter dem Kurzzeichen PEEK bekannt ist. Bevorzugt wird dieser Kunststoff auch bei anderen Teilen, die einem Abrieb ausgesetzt sind, wie zum Beispiel der Auflage der Rollen ( 2 ), verwendet. Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist nicht nur kostengünstiger zu realisieren als eine entsprechende Anlage mit einem Industrieroboter und gewährleistet eine hohe Kontaminationsfreiheit, sie erfüllt auch hinsichtlich der Betriebssicherheit und Ausfallsicherheit hohe Anforderungen.
Gerade bei der Behandlung großflächiger und dünner Platten, wie sie in Zukunft bei der Herstellung großflächiger Bildschirme und Solaranlagen verwendet werden, ist durch die erfindungsgemäße Vorrichtung eine weitgehende Vermeidung unerwünschter Schwingungsvorgänge bei den Bewegungsabläufen und eine Bruchgefahr weitgehend reduziert.
Ein die empfindlichen Glasplatten schonendes Verfahren beim Umsetzen in die Ablagevorrichtung ( 18 ) wird dadurch erreicht, dass die Glasplatte ( 9 ) zuerst der Ablagevorrichtung ( 18 ) über die Umlenkgetriebe ( 11 , 10 ) angenähert wird und dann nach dem Abklingen eventueller Schwingungsvorgänge eine Feinjustierung erfolgt, indem die Glasplatte langsam in die für die weitere Bearbeitung erforderliche Endstellung gebracht wird.
Ebenso kann die erfindungsgemäße Vorrichtung dazu verwendet werden die
Glasplatten ( 9 ) nach der erfolgten Beschichtung in der vertikalen Lage wieder über eine Vorrichtung zum Umsetzen aus der Ablagevorrichtung ( 18 ) in eine horizontale
Lage zu befördern und auf einem Rollenförderer dem weiteren Produktionsprozess einzugliedern.
In diesem Zusammenhang wird darauf hingewiesen, dass die metallene
Ablagevorrichtung ( 18 ) während der Bearbeitung der Glasplatten ( 9 ) erheblichen Temperaturerhöhungen ausgesetzt ist, die ein Verziehen dieser Vorrichtung und damit eine Positions- Verschiebung der Glasplatte ( 9 ) zur Folge hat. Die Gesetze, nach denen eine solche Verschiebung erfolgt, sind jedoch physikalisch bekannt und somit mathematisch erfassbar. Deshalb kann hier eine Messung der Temperatur der Ablagevorrichtung ( 18 ) insofern Abhilfe schaffen als die daraus resultierende Änderung der Positionierung der Glasplatte ( 9 ) als bekannte Größe bei dem Prozess der Bearbeitung berücksichtigt werden kann.
Die interaktive Steuerung der jeweils verwendeten Bewegungselemente und Sensoren erfordert ein spezielles Steuerungsprogramm.
Bezuqszeichenliste
( 1 ) Grundplatte, Befestigungsplatte
( 2 ) Rolle
( 3 ) Antrieb am Rollenförderer
( 4 ) Querverstrebungen, Aufnahme von Abdrückelementen
( 5 ) Ausrichtrahmen
( 6 ) Antrieb der Verschiebeelemente
( 7 ) Drehgelenke des Ausrichtrahmens
( 8 ) Heberahmen für Ausrichteinheit
( 9 ) Glasplatte
( 10 ) unteres Umlenkgetriebe
( 11 ) oberes Umlenkgetriebe
( 12 ) gesicherter, flexibler Leitungskanal
( 13 ) Querholm der Umsetzgabel
( 14 ) Saugkopfträger - Holm
( 15 ) Saugkopf
( 16 ) unterer Servoantrieb
( 17 ) oberer Servoantrieb
( 18 ) Ablagevorrichtung

Claims

Patentansprüche
Anspruch 1 :
Vorrichtung zum kontaminationsfreien, exakt definierten, horizontalen Ausrichten und Positionieren von dünnen, stoßempfindlichen kristallinen Platten, insbesondere Glasplatten ( 11 ), unter Reinstraumbedingungen, mit den folgenden Merkmalen:
a) einem Rollenförderer mit Rollen ( 2 ) und einem Antrieb ( 3 ), b) einer Ausrichteinheit mit einem Heberahmen ( 8 ) und einem auf diesem liegenden Ausrichtrahmen ( 5 ), wobei der Ausrichtrahmen ( 5 ) mit diesem drehbar gelenkig verbundene Querverstrebungen ( 4 ) mit Auflageelementen aufweist, die den Freiraum zwischen den Rollen ( 2 ) durchdringen, das Auflage - Niveau der Rollen ( 2 ) überragen und die Glasplatte ( 9 ) tragen, c) zwei Schiebelementen, die von jeweils einzeln steuerbaren Antrieben ( 6 ) betätigt werden und jeweils sich in Drehgelenken ( 7 ) drehen.
Anspruch 2:
Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebe des Rollenförderers als Kegelrad - Antriebe ausgebildet sind.
Anspruch 3:
Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Rollen ( 2 ) jeweils mit einem eigenen Servoantrieb versehen sind. Anspruch 4:
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Anheben des Heberahmens ( 8 ) über einen Antrieb erfolgt, der über ein Hebelgestänge und die Verkürzung einer Gewindestange die Auslenkung von Hebeelementen bewirkt.
Anspruch 5:
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Auflageelemente auf den Querverstrebungen ( 4 ) aus PEEK -
Kunststoff gefertigt sind.
Anspruch 6:
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die mechanisch bewegten Teile emissionsfrei gekapselt und aus abriebfestem Material gefertigt sind.
Anspruch 7:
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Überwachung der Positionierung der Glasplatte ( 11 ) über Laser und / oder Sensoren erfolgt.
Anspruch 8:
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein flexibler Leitungskanal ( 12 ) über ein eigenes Absaug - System verfügt. Anspruch 9:
Verfahren zum kontaminationsfreien, exakt definierten, horizontalen Ausrichten und Positionieren von dünnen, stoßempfindlichen kristallinen Platten, insbesondere Glasplatten ( 9 ), unter Reinstraumbedingungen, mit den folgenden Merkmalen: a) in einem Reinstraum wird eine Glasplatte ( 9 ) von einem Rollenförderer mit Rollen ( 2 ) und einem Antrieb ( 3 ) auf eine Ausrichteinheit befördert , wobei die Rollen ( 2 ) in Gruppen oder einzeln über Kegelräder von einer Antriebsquelle angetrieben werden, b) zum Ausrichten der Glasplatte ( 9 ) wird von unten durch den Freiraum zwischen den Rollen ( 2 ) ein Heberahmen ( 8 ) mit einem aufliegenden Ausrichtrahmen ( 5 ) angehoben, wobei der Ausrichtrahmen ( 5 ) mit diesem drehbar gelenkig verbundene Querverstrebungen ( 4 ) mit Auflageelementen aufweist, die den Freiraum zwischen den Rollen ( 2 ) durchdringen, das Auflage - Niveau der Rollen ( 2 ) überragen und die Glasplatte ( 9 ) tragen, c) die Glasplatte ( 9 ) wird über zwei, von jeweils einzeln ansteuerbaren Antrieben ( 6 ) betätigte, und jeweils sich in Drehgelenken ( 7 ) drehende, Schiebelemente stoßfrei positioniert, d) nach dem Positionierungsvorgang wird der Heberahmen ( 8 ) soweit abgesenkt, dass die Glasplatte ( 9 ) wieder auf den Rollen aufliegt.
Anspruch 10:
Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebe des Rollenförderers als Kegelrad - Antriebe ausgebildet sind.
Anspruch 11 :
Verfahren nach einem der Ansprüche 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Rollen ( 2 ) jeweils mit einem eigenen Servoantrieb versehen sind.
Anspruch 12:
Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11 , dadurch gekennzeichnet, dass das Anheben des Heberahmens ( 8 ) über einen Antrieb erfolgt, der über ein Hebelgestänge und die Verkürzung einer Gewindestange die Auslenkung von Hebeelementen bewirkt.
Anspruch 13:
Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Auflageelemente auf den Querverstrebungen ( 4 ) aus PEEK -
Kunststoff gefertigt sind.
Anspruch 14:
Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die mechanisch bewegten Teile emissionsfrei gekapselt und aus abriebfestem Material gefertigt sind.
Anspruch 15:
Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Überwachung der Positionierung der Glasplatte ( 11 ) über
Laser und / oder Sensoren erfolgt.
Anspruch 16:
Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass ein flexibler Leitungskanal ( 12 ) über ein eigenes Absaug -
System verfügt. Anspruch 17:
Computerprogramm mit einem Programmcode zur Durchführung der Verfahrensschritte nach einem der Ansprüche 9 bis 16, wenn das Programm in einem Computer ausgeführt wird.
Anspruch 18:
Maschinenlesbarer Träger mit dem Programmcode eines Computerprogramms zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 9 bis 16, wenn das Programm in einem Computer ausgeführt wird.
PCT/DE2008/001738 2007-10-31 2008-10-24 Verfahren und vorrichtung zur kontaminationsfreien behandlung stossempfindlicher glasplatten in reinsträumen WO2009056103A1 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2008801143471A CN101842304B (zh) 2007-10-31 2008-10-24 用于超级无尘室冲击敏感玻璃板的无杂质处理的方法与装置
DE112008002899T DE112008002899A5 (de) 2007-10-31 2008-10-24 Verfahren und Vorrichtung zur kontaminationsfreien Behandlung stoßempfindlicher Glasplatten in Reinsträumen
US12/740,104 US8360226B2 (en) 2007-10-31 2008-10-24 Method and apparatus for the contamination-free treatment of shock-sensitive glass plates in ultra clean rooms
JP2010531411A JP5081978B2 (ja) 2007-10-31 2008-10-24 超クリーンルーム内における弱衝撃性ガラス板の汚染のない処理方法及び装置
KR1020107010697A KR101190911B1 (ko) 2007-10-31 2008-10-24 수평 방위설정 및 위치설정을 위한 장치, 수평 방위설정 및 위치설정을 위한 방법, 및 컴퓨터로 읽을 수 있는 매체

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DE102007052027.3 2007-10-31

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Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008010317A1 (de) * 2008-02-21 2009-09-03 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Befördern und Drehen stoßempfindlicher Platten in Reinsträumen
DE102009040555B4 (de) 2009-09-08 2013-11-21 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Archivieren und /oder Zwischenlagern von Glasscheiben in Reinräumen
DE202009012179U1 (de) 2009-09-08 2009-12-03 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Vorrichtung zum Archivieren und/oder Zwischenlagern von Glasscheiben in Reinräumen
DE102012019841B4 (de) * 2012-10-09 2022-01-05 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Verfahren und Vorrichtung für das Umsetzen großflächiger Platten in extremer Übergröße
US8967369B2 (en) * 2012-12-04 2015-03-03 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Transferring apparatus
CN103332481A (zh) * 2013-06-09 2013-10-02 湖州科尼物流设备有限公司 一种斜辊轮分路器
US20150137416A1 (en) * 2013-11-14 2015-05-21 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Advanced Thermal Processing Techniques of "Sacrificial" Polylactic Acid
US9079717B1 (en) 2014-01-09 2015-07-14 Laitram, L.L.C. Conveyor systems for diverting objects
AT14702U1 (de) * 2014-10-20 2016-04-15 Lisec Austria Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Handhaben plattenförmiger Gegenstände
CN104609137B (zh) * 2015-01-04 2017-03-08 京东方科技集团股份有限公司 玻璃基板传送装置
CN106734011A (zh) * 2016-11-24 2017-05-31 湖南亿泰启智能电子科技有限公司 一种用于电容触摸屏传感器玻璃清洗的自动化生产线
CN107902415A (zh) * 2017-12-13 2018-04-13 北京京诚瑞信长材工程技术有限公司 旋转运输设备
DE102018218141B4 (de) * 2018-05-04 2022-03-24 Hegla Gmbh & Co. Kg Sortierverfahren und -vorrichtung zum Sortieren von plattenförmigen Gegenständen, vorzugsweise Glastafelzuschnitten, Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Glastafelzuschnitten mit einer derartigen Sortiervorrichtung
JP7166817B2 (ja) * 2018-07-12 2022-11-08 株式会社荏原製作所 基板搬送装置および基板搬送装置を備える基板処理装置
CN108861668B (zh) * 2018-07-23 2023-06-02 中铁第四勘察设计院集团有限公司 一种货物双向传输平台及传输方法
CN110092198A (zh) * 2019-05-06 2019-08-06 中国建材国际工程集团有限公司 一种玻璃跑偏的对准控制系统及方法
CN110654019B (zh) * 2019-10-30 2024-03-19 蚌埠凯盛工程技术有限公司 超薄电子玻璃离线覆膜生产线及生产方法
CN111070053A (zh) * 2019-12-10 2020-04-28 安徽威控机械设备有限责任公司 一种四轴全自动调压刷磨机
KR102562350B1 (ko) * 2020-12-17 2023-08-01 한화솔루션 주식회사 웨이퍼 반송 장치
KR102492779B1 (ko) * 2021-03-05 2023-01-27 주식회사 디엠에스 기판 이송장치
CN114852618B (zh) * 2022-06-01 2023-07-21 故城北新建材有限公司 一种石膏板生产线取样装置及方法
CN114906618B (zh) * 2022-06-16 2024-06-25 合肥金晋业智控玻璃科技有限公司 一种底部托架式自动角度控制旋转机及其操作方法
CN115406221A (zh) * 2022-08-12 2022-11-29 彩虹（合肥）液晶玻璃有限公司 一种玻璃基板风干滚轮延伸臂用支撑装置
CN117184903B (zh) * 2023-11-07 2024-02-13 四川名人居门窗有限公司 一种玻璃吸盘车

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5293984A (en) * 1991-12-13 1994-03-15 Bobst Sa Device to handle and to orient flat workpieces arranged in batches
FR2793780A1 (fr) * 1999-05-10 2000-11-24 Holzma Maschb Gmbh Dispositif pour le deplacement lateral avec separation de formats finis pousses sur un convoyeur a rouleaux
EP1591427A1 (de) * 2004-04-30 2005-11-02 BIESSE S.p.A. Eine Bearbeitungsstation zur Bearbeitung von Scheiben aus Glas, Marmor oder ähnlichem Material mittles eines automatizierten Systems zum Laden der Scheiben
EP1647532A1 (de) * 2004-10-15 2006-04-19 Bystronic Maschinen AG Transfervorrichtung und Verfahren zum Transferieren von Glasscheiben
US20070098539A1 (en) * 2005-11-02 2007-05-03 Sou-Chen Chang Apparatus for conveying and raising objects

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3541597A (en) 1968-04-15 1970-11-17 Nippon Sheet Glass Co Ltd Plate stacking apparatus
US5317859A (en) * 1992-09-30 1994-06-07 Advanced Pulver Systems, Inc. Product orienter and loader
JPH06348025A (ja) * 1993-06-03 1994-12-22 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 露光装置の搬送装置
US5985029A (en) * 1996-11-08 1999-11-16 Speedline Technologies, Inc. Conveyor system with lifting mechanism
JP3608949B2 (ja) * 1998-07-10 2005-01-12 大日本スクリーン製造株式会社 基板搬送装置
DE19957079B4 (de) * 1999-11-26 2004-03-11 Heye International Gmbh Vorrichtung zum Überschieben von Glasgegenständen
US6644459B2 (en) * 2001-12-19 2003-11-11 Rapistan Systems Advertising Corp. Belt transfer assembly
JP2003226425A (ja) * 2002-02-06 2003-08-12 Seiko Epson Corp ワーク回転装置およびこれを備えたワーク処理装置
RU2266263C2 (ru) * 2002-10-04 2005-12-20 Текнопат Аг Способ перемещения и позиционирования листов стекла и устройство для его осуществления
JP4333132B2 (ja) 2002-11-27 2009-09-16 エプソントヨコム株式会社 ソリッドエタロンフィルタ及びその製造方法
JP4615877B2 (ja) * 2003-02-20 2011-01-19 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 支持ステージに対して基板を位置決めする装置及びコンピュータプログラム
DE10357609A1 (de) * 2003-12-10 2005-07-21 Kuka Roboter Gmbh Handhabungsgerät wie Industrieroboter und Verfahren zum Beeinflussen einer Umgebungsbedingung in einem solchen
JP2006150538A (ja) * 2004-11-30 2006-06-15 Rorze Corp 把持型搬送装置並びにこれを用いるロボット、円盤状物加工設備及び円盤状物搬送方法。
TWI316503B (en) * 2005-01-26 2009-11-01 Sfa Engineering Corp Substrate transferring apparatus
DE102005039453B4 (de) * 2005-08-18 2007-06-28 Asys Automatic Systems Gmbh & Co. Kg Bearbeitungsanlage modularen Aufbaus für flächige Substrate
CN100478753C (zh) * 2005-12-22 2009-04-15 中华映管股份有限公司 定位机台
DE202007003907U1 (de) * 2007-03-16 2007-05-24 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Vorrichtung zum automatischen Sortieren von Glasplatten

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5293984A (en) * 1991-12-13 1994-03-15 Bobst Sa Device to handle and to orient flat workpieces arranged in batches
FR2793780A1 (fr) * 1999-05-10 2000-11-24 Holzma Maschb Gmbh Dispositif pour le deplacement lateral avec separation de formats finis pousses sur un convoyeur a rouleaux
EP1591427A1 (de) * 2004-04-30 2005-11-02 BIESSE S.p.A. Eine Bearbeitungsstation zur Bearbeitung von Scheiben aus Glas, Marmor oder ähnlichem Material mittles eines automatizierten Systems zum Laden der Scheiben
EP1647532A1 (de) * 2004-10-15 2006-04-19 Bystronic Maschinen AG Transfervorrichtung und Verfahren zum Transferieren von Glasscheiben
US20070098539A1 (en) * 2005-11-02 2007-05-03 Sou-Chen Chang Apparatus for conveying and raising objects

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