WO2008044706A1

WO2008044706A1 - dispositif de transport d'un matériau en forme de feuille

Info

Publication number: WO2008044706A1
Application number: PCT/JP2007/069751
Authority: WO
Inventors: Noriyuki Nagura; Setsuji Yumiba; Tsutomu Oguri; Noriyuki Toriyama
Original assignee: Nihon Sekkei Kogyo Co., Ltd.
Priority date: 2006-10-10
Filing date: 2007-10-10
Publication date: 2008-04-17
Also published as: KR20090018134A; JPWO2008044706A1; CN101489893B; KR101038844B1; CN101489893A; HK1133238A1; JP4896148B2; TW200902410A; TWI383937B

Description

明細書

薄板状材料搬送装置

技術分野

[0001] 本発明は、液晶ディスプレイ（LCD)パネル、プラズマディスプレイ（PDP)等のフラットパネルディスプレイ (FPD)に用いる大型で薄いガラス基板のような薄板状材料を非接触で支持するための薄板状材料搬送装置に関する。

背景技術

[0002] 液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイのガラス基板は僅力、な傷や埃でも品質に大きく影響するため、このようなガラス基板の搬送においてはガラス基板の表面に傷が生じたり異物が付着しないようにガラス基板を平面に近い形状に保持しつつ所定の搬送面に沿って滑らかに搬送することが要求される。

[0003] 一方、液晶ディスプレイでは、ガラス基板のサイズがますます大型化しており、例えば第 8世代においては、 W2200mm X L2500mmという大きさに比べて厚さが 0. 5 〜0. 7mm程度と非常に薄い。このため、ガラス基板を水平に搬送する際に、その外周端部のみならず、これよりも内側の部分も支持しなければ中央部が大きく垂れ下がつてしまう。

[0004] そこでガラス基板の搬送装置は、ガラス基板を全面においてできるだけ均等に支持し、平面に近レヽ形状に保持して搬送するように工夫されて!/、る。

[0005] 例えば、搬送方向及び搬送方向に対して垂直な幅方向に適宜なピッチで複数の口ーラを設置し、これら複数のローラでガラス基板を下方から支持して駆動する搬送装置が知られている。

[0006] このような搬送装置の一つとして、上面部に多数の給気孔が形成されたエアテープルを用いてガラス基板を浮上させつつエアの圧力で駆動して非接触で搬送する搬送装置が知られている（例えば特開平 10— 139160号公報、特開平 11 268830号公報、特開平 11 268831号公報参照）。

[0007] 又、例えば特開 2003— 63643 (，643)号公報、特開 2005— 29359 (， 359)号公報、特開 2005— 29360 (' 360)号公報に記載されるように、ガラス基板の幅方向の中央近傍にはエアテーブルを設置してガラス基板の中央部の垂れ下がりを抑制し、ガラス基板における搬送方向に垂直な幅方向の両端近傍を複数のローラで支持しガラス基板を所定の搬送方向に駆動するようにした搬送装置が知られている。

[0008] 上記' 643記載の板状体搬送装置は、エアテーブル毎に 1基の送風ファンを設け、且つ上面の給気孔に近!/、位置に除塵フィルタを設けて、搬送する板状体の下側面に向けて清浄空気を供給するようにしている。

[0009] 又、上記， 360記載の搬送装置では、上記， 359記載のテーブルユニットを、搬送方向に対して直交する幅方向で 2分割して、その中間に空気の抜け道を構成するようにしている。

[0010] 上記' 359及び' 360の場合、ほぼ正方形の 1つのエアテーブルに 1基の送風ファンが設けられ、エアテーブルは、ガラス基板の搬送方向に順次隣接して密に配置されている。

[0011] このため、送風の運動エネルギを圧力に変換すると、それだけ圧力が高くなつて、エアテーブル上にガラス基板が無い場合、エアテーブル上面から室内の高い位置にまで空気流が形成されてしまい、クリーンルーム内においては、埃を舞い上げたりするという不都合が生じてしまう。なお、上記' 359及び' 360の搬送装置は、いずれも、搬送面の上側にカバーが設けられ、空気の吹き上げが防止されている。

[0012] 又、上記' 359及び' 360の搬送装置の場合は、送風ファンの設置数が多くなつてしまうという問題点がある。

[0013] 又、上記のような送風ファンは、その外径に比較して大きな面積のエアテーブルから空気を供給しなければならないので、高パワー、且つ高価なもの（例えばターボフアン)を用いなければならな!/、と!/、う問題点がある。

[0014] 更に、 ' 360の搬送装置では、搬送中のガラス基板の幅方向中央の盛り上がりを充分に防止できな!/ヽとレ、う問題点がある。

[0015] 又、一般にローラを備えるエアテーブルと駆動ユニットとを併用する搬送装置は、ガラス基板がエアテーブルにより浮上するためガラス基板とローラとの当接力が小さぐガラス基板とローラとの摩擦力が小さい。従って、ガラス基板とローラとがスリップしゃすいという問題がある。 [0016] 尚、エアテーブルの上におけるガラス基板の下面の高さよりもローラの上端が高くなるように駆動ユニットを配置することでガラス基板とローラとの摩擦力を増大させることができる力 S、ガラス基板を平面に近い形状に保持できないという問題がある。又、ローラの回転の加速度及び減速度を小さくすればガラス基板とローラとのスリップをある程度抑制できるが、搬送効率が低下するという問題がある。

発明の開示

[0017] 本発明者は、鋭意研究の結果、最小限の送風ファンの設置条件を見出して、搬送中に薄板状材料が途切れた場合でも、そこから、空気が室内に強く吹出すことが無い条件を見出した。

[0018] 更に又、エアテーブルユニットとローラ等の駆動部材を有する薄板状材料搬送装置において、薄板状材料と駆動部材とのスリップが生じ難いようにできることを見出した

〇

[0019] 即ち、以下の本発明により上記課題を解決することができる。

[0020] (1)搬送される薄板状材料の下面に対して気体を供給して該薄板状材料を非接触で支持するためのエアテーブルと、該エアテーブルに前記気体を供給するための送風装置と、を有するエアテーブルユニットを、前記薄板状材料の搬送方向及びこれと直交する幅方向に複数並べて構成された薄板状搬送装置であって、前記エアテーブルユニットは、幅方向に少なくとも 4基配置され、各エアテーブルユニットの間には気体が流通可能な隙間が設けられ、且つ、各エアテーブルユニットは、前記搬送方向に細長く形成され、幅に対してほぼ 3〜； 10倍の長さ毎に一基の前記送風装置が配置され、前記エアテーブルは、上面部が略平坦な箱状体で前記薄板状材料の下面に対して前記気体を供給するための複数の給気孔が前記上面部に形成された構造であり、前記送風装置は、前記エアテーブルの下側に接続して設けられた箱状の収容部及びこの収容部内に設けられた送風ファンとから構成されたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。

[0021] (2) 前記箱状の収容部の高さは、前記ファンの高さに対して 3〜6倍とされ、且つ、前記ファンは、前記収容部内の上部に配置されことを特徴とする（1)に記載の薄板状材料搬送装置。 [0022] (3)前記フィルターが前記エアテーブルの中における前記上面部の下方近傍に設置されたことを特徴とする（1)又は (2)に記載の薄板状材料搬送装置。

[0023] (4)前記薄板状材料の下面に接触して該薄板状材料を所定の搬送方向に駆動するための駆動部材を有する駆動ユニットと、前記駆動部材の近傍に配置され、前記薄板状材料の下面に負圧を供給して前記薄板状材料を前記駆動部材の方向に付勢するための吸引ユニットと、を更に備えることを特徴とする（1)乃至（3)のいずれかに記載薄板状材料搬送装置。

[0024] (5)前記吸引ユニットが前記エアテーブルユニットに結合され、該エアテーブルュニットの前記送風装置が前記吸引ユニットに前記負圧を供給するための負圧発生装置を兼ねてレ、ることを特徴とする (4)に記載の薄板状材料搬送装置。

[0025] (6)前記吸引ユニットが負圧発生装置を備えていることを特徴とする（5)に記載の薄板状材料搬送装置。

[0026] (7)前記吸引ユニットの負圧発生装置と前記エアテーブルユニットの送風装置とが外部に開放された隙間を有して並設され、前記送風装置に前記負圧発生装置から排気される気体及び前記外部の気体の両方が供給されるように構成されたことを特徴とする (6)に記載の薄板状材料搬送装置。

[0027] (8)前記駆動部材は、前記搬送される薄板状材料の幅方向両端に下方から接触する位置に配置され、前記吸引ユニットは、前記複数のエアテーブルユニットのうち、幅方向両端位置のエアテーブルユニットと前記駆動部材との間の位置で前記薄板状材料の下面に負圧を印加するようにされたことを特徴とする（4)乃至（7)の!/、ずれかに記載薄板状材料搬送装置。

[0028] この薄板状材料搬送装置のエアテーブルユニットは、搬送方向に細長に形成されていて、その幅に対してほぼ 3〜； 10倍の長さ毎に 1基の送風ファンが配置されるので、フィルタにおける圧力損失が少なく均一化され、薄板状材料の搬送が途切れた場合の上方への空気の吹き上げが少なくなる、高性能且つ高価な送風ファンを必要以上に多数設ける必要が無ぐ装置を低コストで製造することができる。

[0029] この薄板状材料搬送装置は、薄板状材料をローラやベルト等の駆動部材の方向に付勢するための吸引ユニットを備えているので、薄板状材料と駆動部材との当接力を高め、薄板状材料と駆動部材との摩擦力を増大させることができる。これにより、薄板状材料と駆動部材とのスリップを抑制できる。

[0030] 従って、例えばエアテーブルの上における薄板状材料の下面の高さと駆動部材の上端とが等しい高さになるように駆動ユニットを配置し、薄板状材料を平面に近い形状に保持しても薄板状材料と駆動部材とのスリップを抑制できる。

[0031] 更に、薄板状材料と駆動部材との摩擦力が大きいのでローラの回転の加速度及び減速度をそれだけ大きく設定でき、搬送効率の向上に寄与する。

[0032] 尚、吸引ユニットをエアテーブルユニットに結合し、エアテーブルユニットの送風装置が吸引ユニットに負圧を供給するための負圧発生装置を兼ねるようにしてもよい。送風装置は気体を吸気してから排気するので負圧発生装置として利用できる。このようにすることで、吸引ユニットと外部の負圧供給設備との配管も不要となり、設置スぺースの抑制に寄与する。又、送風装置が負圧発生装置を兼ねることで部分点数を低減でき、一層のコンパクト化及びコスト低減を図ることができる。

[0033] 又、吸引ユニットが負圧発生装置を備えていてもよい。このように吸引ユニットが負圧発生装置を備えている場合も吸引ユニットと外部の負圧供給設備との配管が不要であるので、設置のためのスペースを小さくできる。又、エアテーブルユニットによる浮上力と吸引ユニットによる吸引力とを独立して制御することができる。更に、仮に、吸引ユニットの上面と薄板状材料の下面との隙間が著しく小さくなり、負圧発生装置から排気される気体の量が著しく減少しても、負圧発生装置と送風装置とが独立して設置されていれば送風装置への気体の供給が抑制されることはない。従って、エアテーブルユニットによる充分な浮上力が得られる。

[0034] 又、吸引ユニットの負圧発生装置とエアテーブルユニットの送風装置とを外部に開放された隙間を有して並設し、送風装置に負圧発生装置から排気される気体及び外部の気体の両方が供給されるように構成してもよい。このようにすることで、送風装置に効率良く気体を供給でき、エアテーブルユニットの浮上力を増大させる効果が得られる。

図面の簡単な説明

[0035] [図 1]本発明の第 1実施形態に係る薄板状材料搬送装置の全体構造の概要を示す一部断面図を含む前面図

[図 2]同薄板状材料搬送装置のエアテーブルユニット及び吸引ユニットの構造を拡大して示す前断面図

[図 3]同薄板状材料搬送装置の全体構造の概要を示す斜視図

[図 4]同薄板状材料搬送装置の全体構造の概要を示す側面図

[図 5]本発明の第 2実施形態に係る薄板状材料搬送装置の全体構造の概要を示す一部断面図を含む前面図

[図 6]同薄板状材料搬送装置のエアテーブルユニット及び吸引ユニットの構造を拡大して示す前断面図

[図 7]同薄板状材料搬送装置の全体構造の概要を示す側面図

[図 8]本発明の第 3実施形態に係る薄板状材料搬送装置のエアテーブルユニット及び吸引ユニットの構造を拡大して示す前断面図

[図 9]本発明の第 4実施形態に係る薄板状材料搬送装置の全体構造の概要を示す一部断面図を含む前面図

発明を実施するための最良の形態

[0036] 以下本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。

[0037] 図 1に示されるように、本発明の第 1実施形態に係る薄板状材料搬送装置 10は、例えば大型の LCD用のガラス基板（薄板状材料） 12を非接触で支持するためのェァテーブルユニット 14と、ガラス基板 12の下面に接触してガラス基板 12を所定の搬送方向に駆動するための複数のローラ (駆動部材） 16を有する駆動ユニット 18と、口ーラ 16の近傍に配置されガラス基板 12の下面に負圧を供給してガラス基板 12を口ーラ 16の方向に付勢するための吸引ユニット 20と、を備え、エアテーブルユニット 14 の構造に特徴を有している。又、薄板状材料搬送装置 10は吸引ユニット 20を備えることを特 ί毁としている。

[0038] エアテーブルユニット 14は、ガラス基板 12の下面に対して空気（気体）を供給してガラス基板 12を非接触で支持するためのエアテーブル 22と、エアテーブル 22に正圧の空気を供給するための送風装置 24と、を有している。

[0039] 図 2に示されるように、エアテーブル 22は、上面部 26が略平坦な略直方体の箱状体でガラス基板 12の下面に対して空気を供給するための複数の給気孔 26Aが上面部 26に形成された構造である。

[0040] 尚、図 3に示されるように、エアテーブル 22は、ガラス基板 12の搬送方向（図 3中に矢印で示される方向）に長い略直方体である。

[0041] 又、エアテーブルユニット 14は、薄板状材料搬送装置 10に複数 (本第 1実施形態では 8台）備えられている。具体的には、それぞれ 4台のエアテーブルユニット 14からなる 2組が搬送方向に隣接して設置されている。各組の 4台のエアテーブルユニット 1 4は搬送方向に対して垂直な幅方向に並んで設置されている。

[0042] 上面部 26は、具体的には、厚さが 0. 5〜3mmの板材である。上面部 26の材料としては、ステンレス、アルミ、各種合金等を用いることができる。

[0043] 送風装置 24は、図 2に拡大して示されるように上下に連通口 25A、 25Bを有する円形箱状の収容部 24Aと、この収容部 24A内に配置された送風ファン 28と、を備えて構成されている。この実施例では、送風ファン 28は軸流ファンであり、図示されないモータによって駆動される。送風装置 24は、エアテーブル 22の下側に設置され、上側の連通口 25Aにおいて、エアテーブル 22に直結されている。尚、図 4に示されるように、本第 1実施形態では、各エアテーブル 22について 2台の送風装置 24が搬送方向に離間して設置されている。又、エアテーブル 22の幅方向には各送風装置 24が幅方向に整列して配置されている。

[0044] 収容部 24Aの幅方向の内法は、送風装置 24における送風ファン 28の外径に対して、約；!〜 1. 8倍とされている。又、収容部 24Aの搬送方向の寸法は、エアテープノレ 22の搬送方向の長さの約 1/10とされ、 2つの収容部 24Aは、エアテーブル 22の搬送方向の長さの 1/2毎に均等に配置されている。即ち、収容部 24Aは、搬送方向にはその 5倍の長さ毎に 1基配置されている。

[0045] 収容部 24Aは、その軸方向（図 2、 4、 5において上下方向）の長さが、送風ファン 2 8の厚さの約 3〜6倍とされていて、送風ファン 28は収容部 24A内での高さ方向のほぼ中央に配置され、且つ、収容部 24Aの平断面形状は、送風ファン 28の外周を囲む円形とされていて、収容部 24Aの内周と送風ファン 28の外周との隙間は、送風フアン 28の回転が阻害されな!/、範囲で最小とされて!/、る。 [0046] エアテーブルユニット 14は、幅方向に 4基配置され、各エアテーブルユニット 14の間には気体が流通可能な隙間 13が設けられている。

[0047] エアテーブル 22の上面部 26と送風装置 24との間には、フィルター 30が設置されている。より詳細にはフィルター 30は、エアテーブル 22の中における上面部 26の下方近傍に設置されている。フィルター 30の材料としては例えばクリーンルームの空気濾過用の HEPA (High Efficiency Particulate Air Filter)や ULPA (Ultra Low Penetr ation Air Filter)と同様の材料を用いることができる。

[0048] エアテーブル 22の中における上面部 26とフィルター 30の間には、メッシュ部材 32 が設置されている。メッシュ部材 32は、線径が 0.；!〜 1. 5mmの針金状又は糸状の部材が所定のピッチで編まれた構成である。メッシュ部材 32の材料としては、具体的にはステンレス、アルミ、各種合金、樹脂等を用いることができる。

[0049] 吸引ユニット 20は、薄板状材料搬送装置 10に複数 (本第 1実施形態では 4台）備えられている。

[0050] 各吸引ユニット 20は、上面部 34が略平坦な箱状体でガラス基板 12の下面に対して負圧を供給するための複数の吸引孔 32Aが上面部 34に形成された構造である。

[0051] これら 4台の吸引ユニット 20は、それぞれ幅方向両側に設置された 4台のエアテーブルユニット 14に結合されている。より詳細には、各吸引ユニット 20は、エアテープルユニット 14に結合された 2台の送風装置 24のうちの一方に結合されている。これらの送風装置 24は、吸引ユニット 20に負圧を供給するための負圧発生装置を兼ねている。尚、送風装置 24は空気を吸気してから排気するので負圧発生装置として利用できる。

[0052] 吸引ユニット 20は、上面部 34が幅方向両側のエアテーブルユニット 14の上面部 2 6と駆動ユニット 18のローラ 16との間に配置されるように設置されている。

[0053] 駆動ユニット 18は、ガラス基板 12に幅方向の両端において接触するように 8台のェァテーブルユニット 14の幅方向両側に一対備えられている。

[0054] ローラ 16は、搬送方向に適宜なピッチで複数設置されている。各ローラ 16は、ガラス基板 12の下面に接触するローラ部 16A及びこれよりも幅方向外側に設置されたフランジ部 16Bを備え、図示しない回転駆動源に連結されている。尚、本第 1実施形態では駆動ユニット 18は、ローラ 16のローラ部 16Aの上端がエアテーブル 22の上面部 26の上面よりもガラス基板 12の浮上量だけ数 mm程度高くなるように設置されている。

[0055] 次に、薄板状材料搬送装置 10の作用について説明する。

[0056] 薄板状材料搬送装置 10は、エアテーブルユニット 14における送風装置 24がエアテーブル 22の下側に設置されているので、送風装置 24から供給される空気をエアテーブル 22の上方に効率良く送ることができる。

[0057] まず、送風装置 24の送風ファン 28の外周と収容部 24Aの内周との隙間が小さぐ且つ、収容部 24Aの高さが送風ファン 28の厚さの 3〜6倍とされているので、送風フアン 28の回転により発生した風（空気流）は送風ファン 28の外側を通って逆流したりすることなく連通口 25Aから箱状のエアテーブル 22内に流入する。

[0058] ここで、流入した空気流には、フィルター 30により圧損が生じる力図 4のように、収容部 24Aはその搬送方向の長さに対してほぼ 5倍の長さ毎に 1基の送風装置 24が設けられているので、圧損が少ない。即ち、エアテーブル 22内に大きな圧力上昇を生じることなぐそのままエアテーブル 22の給気孔 26Aから上方に供給される。

[0059] 従って、カバーで被わなくても、ガラス基板 12の搬送が途切れた場合に、室内に強く空気が吹き上がることがない。

[0060] 又、上記エアテーブル 22の幅方向の内法が送風ファン 28の外径の 1. 8倍を超えると、空気流の幅方向の拡散が大きくなり、ガラス基板 12を浮上させるためには、送風ファン 28の回転速度を高くする必要が生じ、このため圧損による圧力差が大きくなり、ガラス基板 12の搬送が途切れた場合に、室内に強く空気が吹き上がってしまう。又 1倍より小さいと、空気流が絞られ、給気孔 26Aの空気流の速度が過大となってしまう。

[0061] 収容部 24Aを、その搬送方向の長さに対して 3倍未満の長さ毎に設けると、送風装置 24の数が過剰になる。試行錯誤の結果、ほぼ 3〜； 10倍にすると最も効率がよかつた。又、 10倍を超えるとガラス基板の浮上が困難であった。

[0062] エアテーブルユニット 14は、幅方向に 4基配置され、各エアテーブルユニット 14の間には気体が流通可能な隙間 13が設けられているので、ガラス基板 12の幅方向中央部が搬送中に盛り上がってしまうことが抑制される。なお、エアテーブルユニット 14 は幅方向に少なくとも 4基配置されるものであればよい。

[0063] 幅方向に 3基の場合は、幅方向 2基よりも、中央の盛り上がりが大きぐ 4基以上とする必要がある。

[0064] 又、エアテーブル 22の上面部 26と送風装置 24との間にフィルター 30が設置されているので、ガラス基板 12の下面に異物が除去されたクリーンな空気を供給すること力できる。特に、フィルター 30がエアテーブル 22の中における上面部 26の下側近傍に設置されているので、異物が除去された直後のクリーンな空気がガラス基板 12の下面に確実に供給される。

[0065] 又、薄板状材料搬送装置 10は、ガラス基板 12をローラ 16の方向に付勢するための吸引ユニット 20を備えているので、ガラス基板 12とローラ 16との当接力を高め、ガラス基板 12とローラ 16との摩擦力を増大させることができる。これにより、ガラス基板 1 2とローラ 16とのスリップを抑制できる。

[0066] 従って、エアテーブル 22の上で浮上するガラス基板 12の下面の高さとローラ 16のローラ部 16Aの上端とが等しい高さになるように駆動ユニット 18を設置し、ガラス基板 12を平面に近い形状に保持してもガラス基板 12とローラ 16とのスリップが抑制される

[0067] 更に、ガラス基板 12とローラ 16との摩擦力が大きいのでローラ 16の回転の加速度及び減速度をそれだけ大きく設定でき、搬送効率の向上に寄与する。

[0068] 又、吸引ユニット 20がエアテーブルユニット 14に結合され、エアテーブルユニット 1 4の送風装置 24が吸引ユニット 20に負圧を供給するための負圧発生装置を兼ねているので部分点数が少なぐコンパクト化及びコスト低減に寄与する。又、吸引ュニット 20と外部の負圧供給設備との配管が不要であるので、この点でも設置のためのスペースを小さくできる。

[0069] 又、薄板状材料搬送装置 10は、駆動ユニット 18がガラス基板 12の下面に接触してガラス基板 12を搬送方向に駆動するので、空気の圧力だけで駆動力を付与する搬送装置と比較すると、ガラス基板 12を支持するだけの空気を供給するのみで足りるので、装置の製造コストの低減に寄与すると共に空気の供給量が少なくて足りるのでクリーンルーム内の空気の乱れが抑制される。更に、エアの複雑な制御が不要であるので、構造が簡単である。

[0070] 次に、本発明の第 2実施形態について説明する。

[0071] 前記第 1実施形態に係る薄板状材料搬送装置 10は、各吸引ユニット 20が各エアテーブルユニット 14の 2台の送風装置 24のうちの一方に結合され、これらの送風装置 24が吸引ユニット 20に負圧を供給するための負圧発生装置を兼ねているのに対し、図 5〜図 7に示されるように本第 2実施形態に係る薄板状材料搬送装置 50は、各吸引ユニット 52がエアテーブルユニット 14に結合されておらず、それぞれ負圧発生装置 54を備えている。他の構成については、前記第 1実施形態と同様であるので、同様の構成については図 1〜図 4と同一符号を用いることとし説明を省略する。

[0072] 尚、負圧発生装置 54は、送風装置 24と同様にファンを備える構造であり、幅方向の内側に空気を排気するようになっている。

[0073] このように、各吸引ユニット 52がエアテーブルユニット 14に結合されておらず、それぞれ負圧発生装置 54を備えているので、エアテーブルユニット 14によるガラス基板 1 2を浮上させる力と吸引ユニット 52によるガラス基板 12をローラ 16に付勢する力とを独立して制御すること力 Sできる。従って、ガラス基板 12の大きさや剛性に応じた、より精密な浮上力、ローラ 16への付勢力の調整が可能である。

[0074] 更に、仮に、吸引ユニット 52の上面とガラス基板 12の下面との隙間が著しく小さくなり、負圧発生装置 54から排気される空気の量が著しく減少しても、負圧発生装置 5 4と送風装置 24とが独立して設置されているので送風装置 24への空気の供給が抑制されることはない。従って、エアテーブルユニット 14による充分な浮上力が得られる

[0075] 次に、本発明の第 3実施形態について説明する。

[0076] 図 8に示されるように本第 3実施形態に係る薄板状材料搬送装置 60は、前記第 2 実施形態に係る薄板状材料搬送装置 50に対し、吸引ユニット 62の負圧発生装置 6 4とエアテーブルユニット 14の送風装置 24とが外部に開放された隙間を有して並設され、送風装置 24に負圧発生装置 64から排気される空気及び外部の空気の両方が供給されるように構成されている。他の構成については、前記第 2実施形態と同様であるので、同様の構成については図 6等と同一符号を用いることとし説明を省略する

〇

[0077] 具体的には、負圧発生装置 64は前記負圧発生装置 54と同様の構造であり、そのファンが送風装置 24のファンと同軸的に配置されるように送風装置 24の下に設置され、送風装置 24に向けて上方に空気を排気するようになっている。

[0078] このように送風装置 24に負圧発生装置 64から排気される空気が供給されることで、送風装置 24に効率良く空気を供給でき、エアテーブルユニット 14の浮上力を増大させる効果が得られる。又、前記第 2実施形態と同様に、仮に、吸引ユニット 62の上面部 34とガラス基板 12の下面との隙間が著しく小さくなり、負圧発生装置 64から排気される空気の量が著しく減少しても、負圧発生装置 64と送風装置 24とが独立して設置されているので送風装置 24への空気の供給が抑制されることはない。従って、ェァテーブルユニット 14の充分な浮上力が得られる。

[0079] 次に、本発明の第 4実施形態について説明する。

[0080] 図 9に示されるように本第 4実施形態に係る薄板状材料搬送装置 70は、前記第 1 実施形態に係る薄板状材料搬送装置 10に対し、吸引ユニット 20を省略したものである。他の構成については前記第 1実施形態と同様であるので、同様の構成については図 1と同一符号を用いることとし説明を省略する。

[0081] このように吸引ユニット 20を省略した場合も、エアテーブルユニット 14が送風装置 2 4を備えているので、クリーンエアの設備やブロアを備える給気設備等の外部の給気設備と連結するための配管が不要であり、設置スペース及び設置コストの抑制等の前記第 1〜第 3実施形態と同様の効果が得られる。

[0082] 又、前記第 1〜第 5実施形態において薄板状材料搬送装置 10、 50、 60、 70、 80 はエアテーブルユニット 14、 86を 8台備えている力ガラス基板 12の長さ、幅等に応じて 7台以下のエアテーブルユニットを備える構成としてもよぐ 9台以上のエアテーブルユニットを備える構成としてよレ、。

[0083] 又、前記第 1〜第 5実施形態において、エアテーブルユニット 14、 86は搬送方向に長い形状であるが、ガラス基板 12の長さ、幅等に応じて例えば、エアテーブルュニット 14、 86は搬送方向の長さと幅方向の長さとが等しい形状としてもよぐ幅方向に長い形状としてもよい。

[0084] 又、前記第 1〜第 4実施形態において、エアテーブルユニット 14は、それぞれ 2台の正圧発生装置 24を備えている力例えばエアテーブルユニットの形状等に応じて各エアテーブルユニットに正圧発生装置を 1台だけ備えてもよぐ 3台以上の正圧発生装置を備えてもよい。

[0085] 又、前記第 1〜第 5実施形態において、駆動ユニット 18は、ローラ 16のローラ部 16 Aの上端がエアテーブル 22の上面部 26の上面よりもガラス基板 12の浮上量だけ高くなるように設置されている力 S、ガラス基板 12の長さ、幅等に応じて例えば、ローラ 16 のローラ部 16A上端がエアテーブル 22の上面部 26の上面に対しガラス基板 12の浮上量よりも若干 (例えば数 mm程度）高くなるように駆動ユニット 18を設置してもよい。

[0086] 又、前記第 1〜第 4実施形態において、薄板状材料搬送装置 10、 50、 60、 70は、複数のローラ (駆動部材） 16を有する駆動ユニット 18を備えている力例えばベルト（駆動部材）を有する駆動ユニットを備える構成としてもよい。又、駆動用のローラとベノレトとが並設された駆動ユニットを備える構成としてもよい。

[0087] 又、駆動ユニットを省略し、搬送方向に空気を噴射するようにエアテーブルの給気孔を傾斜させて上面板に形成し、エアテーブルが噴射する空気で被搬送物を駆動するようにしてもよい。尚、エアテーブルが供給する空気で被搬送物を駆動する場合は、吸引ユニットは省略してもよい。

[0088] 又、前記第 1〜第 4実施形態において、エアテーブルユニット 14、 86からガラス基板 12の下面に供給する気体は空気である力 S、例えば、窒素ガス、希ガス等の他の気体をガラス基板 12の下面に供給してもよい。

[0089] 又、前記第 1〜第 4実施形態は、ガラス基板 12を搬送するためのものであるが、面積に比較して板厚の薄い、いわゆる薄板状材料であれば、他の材料の搬送にも本発明は適用可能である。例えば、金属薄板状材料、樹脂の薄板状材料等の橈みを生じ易い材料の搬送の場合に適用可能である。

産業上の利用の可能性

[0090] 本発明は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイに用いる大型で薄いガラス基板のような薄板状材料の搬送に用いることができる。

Claims

請求の範囲

[1] 搬送される薄板状材料の下面に対して気体を供給して該薄板状材料を非接触で支持するためのエアテーブルと、該エアテーブルに前記気体を供給するための送風装置と、を有するエアテーブルユニットを、前記薄板状材料の搬送方向及びこれと直交する幅方向に複数並べて構成された薄板状搬送装置であって、

前記エアテーブルユニットは、幅方向に少なくとも 4基配置され、各エアテーブルュニットの間には気体が流通可能な隙間が設けられ、

且つ、各エアテーブルユニットは、前記搬送方向に細長く形成され、幅に対してほぼ 3〜 10倍の長さ毎に一基の前記送風装置が配置され、

前記エアテーブルは、上面部が略平坦な箱状体で前記薄板状材料の下面に対して前記気体を供給するための複数の給気孔が前記上面部に形成された構造であり前記送風装置は、前記エアテーブルの下側に接続して設けられた箱状の収容部及びこの収容部内に設けられた送風ファンとから構成されたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。

[2] 請求項 1において、

前記箱状の収容部の高さは、前記ファンの高さに対して 3〜6倍とされ、且つ、前記ファンは、前記収容部内の上部に配置されことを特徴とする薄板状材料搬送装置。

[3] 請求項 1又は 2において、

前記フィルターが前記エアテーブルの中における前記上面部の下方近傍に設置されたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。

[4] 請求項 1乃至 3のいずれかににおいて、

前記薄板状材料の下面に接触して該薄板状材料を所定の搬送方向に駆動するための駆動部材を有する駆動ユニットと、前記駆動部材の近傍に配置され、前記薄板状材料の下面に負圧を供給して前記薄板状材料を前記駆動部材の方向に付勢するための吸引ユニットと、を更に備えることを特徴とする薄板状材料搬送装置。

[5] 請求項 4において、

前記吸引ユニットが前記エアテーブルユニットに結合され、該エアテーブルユニットの前記送風装置が前記吸引ユニットに前記負圧を供給するための負圧発生装置を兼ねて!/、ることを特徴とする薄板状材料搬送装置。

[6] 請求項 5において、

前記吸引ユニットが負圧発生装置を備えていることを特徴とする薄板状材料搬送装置。

[7] 請求項 6において、

前記吸引ユニットの負圧発生装置と前記エアテーブルユニットの送風装置とが外部に開放された隙間を有して並設され、前記送風装置に前記負圧発生装置から排気される気体及び前記外部の気体の両方が供給されるように構成されたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。

[8] 請求項 4乃至 7のいずれかにおいて、

前記駆動部材は、前記搬送される薄板状材料の幅方向両端に下方から接触する位置に配置され、前記吸引ユニットは、前記複数のエアテーブルユニットのうち、幅方向両端位置のエアテーブルユニットと前記駆動部材との間の位置で前記薄板状材料の下面に負圧を印加するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。