WO2008020564A1

WO2008020564A1 - Contacteur conducteur et unité contacteur conducteur

Info

Publication number: WO2008020564A1
Application number: PCT/JP2007/065658
Authority: WO
Inventors: Yuka Ooyashiki; Takahiro Motegi
Original assignee: Nhk Spring Co., Ltd.
Priority date: 2006-08-18
Filing date: 2007-08-09
Publication date: 2008-02-21
Also published as: CN101506666B; JP2008046044A; TW200821584A; CN101506666A; JP4842733B2; KR20090029838A; TWI359274B; KR101000426B1

Description

明細書

導電性接触子および導電性接触子ユニット

技術分野

[0001] 本発明は、液晶パネルや半導体集積回路などの電子部品における導通状態検査や動作特性検査を行う際に、その電子部品の電極や端子に接触して電気信号の送受信を行う導電性接触子および当該導電性接触子を用いて構成される導電性接触子ユニットに関するものである。背景技術

[0002] 従来、半導体集積回路等の検査対象の電気特性検査に関する技術分野において、半導体集積回路の接続用電極に対応して複数の導電性接触子を配設し、導電性接触子を接続用電極と物理的に接触させることによって電気的導通を確保する機能を有する導電性接触子ユニットに関する技術が知られて!/、る。導電性接触子ユニットは、複数の導電性接触子と、その複数の導電性接触子を保持する導電性接触子ホルダとを具備する。このような導電性接触子ユニットにおいては、検査対象である半導体集積回路等の微細化傾向に伴った接続用電極の配列間隔の狭小化に対応するためのさまざまな技術が提案されている。

[0003] 例えば、下記特許文献 1では、検査対象と接触する接触部とその接触部に対して弹発付勢する弾性部とを備え、板状をなす導電性接触子に関する技術が開示されている。この従来技術では、複数の導電性接触子を狭い間隔で板厚方向に並べて配置することにより、検査対象の接続用電極の配列間隔の狭小化に対応することを可能としている。

[0004] 特許文献 1：特開 2001— 343397号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] しかしながら、上述した従来技術では、導電性接触子の先端が弾性体の伸縮方向とほぼ平行な方向にストロークするため、検査対象の表面に形成された酸化膜やその表面に付着した汚れなどを十分に除去することができず、安定した電気的接触を得ることができない場合があった。この場合には、導電性接触子に対して過度の荷重を加えてしまうこともあり、導電性接触子の耐久性に問題があった。

[0006] また、検査を行う際には、オペレータが導電性接触子の先端と検査対象との接触を目視できることが望ましいが、従来の導電性接触子ユニットは、上方から見たときに下方側の導電性接触子の先端が導電性接触子ホルダの側面よりも内側に位置するため、導電性接触子の先端部付近における検査対象との接触状況を観察する場合、オペレータ自身が姿勢を屈ませるなどして接触箇所付近を司見き込んだりしなければならず、観察回数が増加するにしたがってオペレータへの負担も大きくなつていた。

[0007] 本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、配列間隔の狭小化に対応可能であるとともに耐久性に優れ、検査対象との接触状況を容易に目視可能な導電性接触子および導電性接触子ユニットを提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0008] 上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の一態様は、板状をなし、検査用の信号を出力する回路構造と検査対象とを電気的に接続する導電性接触子であって、当該導電性接触子の長手方向の端部に位置し、前記回路構造と接触する第 1接触部と、前記長手方向と直交するとともに当該導電性接触子の幅方向と平行な方向に延伸する複数の直線部および隣接する前記直線部同士を接続して円弧状に湾曲する複数の湾曲部を有し、前記長手方向の中間部に位置し、前記長手方向に伸縮可能な弾性部と、前記長手方向の前記第 1接触部とは異なる端部に位置し、前記検査対象と接触する先端が前記弾性部の幅方向の縁端部よりも前記弾性部の幅方向の中心軸から遠ざ力、る方向に突出する第 2接触部と、を備え、前記複数の湾曲部のうち前記第 2接触部が突出している側で湾曲する前記湾曲部の外径は、前記第 2接触部の先端に近いほど小さぐ前記複数の湾曲部のうち前記第 2接触部が突出して!/、る側と反対側で湾曲する前記湾曲部の外径は、前記第 2接触部の先端に近レ、ほど大きレ、ことを特徴とする。

[0009] また、上記発明において、前記複数の湾曲部のうち前記第 2接触部が突出している側で湾曲する前記湾曲部の外径は、前記第 1および第 2接触部の先端同士を結ぶ直線を基準直線とし、この基準直線を用いて各湾曲部に対して定められる第 1基準量に応じて線形に変化し、前記複数の湾曲部のうち前記第 2接触部が突出している側と反対側で湾曲する前記湾曲部の外径は、前記基準直線を用いて各湾曲部に対して定められる第 2基準量に応じて線形に変化するとしてもよい。

[0010] また、上記発明にお!/、て、前記直線部の線径は、前記第 1接触部の先端から遠!/、ほど大きいとしてもよい。

[0011] また、上記発明において、前記直線部の線径は、前記第 1接触部の先端または前記第 2接触部の先端から前記直線部の中心までの距離に応じて線形に変化するとしてもよい。

[0012] また、上記発明にお!/、て、前記第 1接触部および前記弾性部を接続する第 1接続部と、前記弾性部および前記第 2接触部を接続し、当該導電性接触子の板厚方向に貫通する開口部が形成された第 2接続部と、をさらに備え、前記第 1接続部、前記第 2接続部、および前記弾性部がそれぞれ有する前記幅方向の長さが互いに等しいとしてあよい。

[0013] また、上記発明にお!/、て、前記第 1接触部および前記弾性部を接続する第 1接続部と、前記弾性部および前記第 2接触部を接続し、当該導電性接触子の板厚方向に貫通する開口部が形成された第 2接続部と、をさらに備え、前記弾性部の幅方向の縁端部であって前記第 2接触部が突出して!/、る側と反対側の縁端部が、前記第 1 および第 2接続部の幅方向の縁端部であって前記第 2接触部が突出している側と反対側の縁端部よりも前記弾性部の幅方向の中心軸に近づく方向へ退避しているとしてもよい。

[0014] また、上記発明にお!/、て、前記弾性部の幅方向の縁端部であって前記第 2接触部が突出している側の縁端部が、前記第 1および第 2接続部の幅方向の縁端部であつて前記第 2接触部が突出している側の縁端部よりも前記弾性部の幅方向の中心軸に近づく方向へ退避してレ、るとしてもよ!/、。

[0015] 本発明の別な態様に係る導電性接触子ユニットは、長手方向の端部に位置し、検查用の信号を出力する回路構造と接触する第 1接触部と、前記長手方向と直交するとともに当該導電性接触子の幅方向と平行な方向に延伸する複数の直線部および隣接する前記直線部同士を接続して円弧状に湾曲する複数の湾曲部を有し、前記長手方向の中間部に位置し、前記長手方向に伸縮可能な弾性部と、前記長手方向の前記第 1接触部とは異なる端部に位置し、前記検査対象と接触する先端が前記弾性部の幅方向の縁端部よりも前記弾性部の幅方向の中心軸から遠ざ力、る方向に突出する第 2接触部と、前記第 1接触部および前記弾性部を接続する第 1接続部と、前記弾性部および前記第 2接触部を接続し、厚さ方向に貫通する開口部が形成された第 2接続部とを有し、板状をなす複数の導電性接触子と、前記導電性接触子の長手方向の一方の縁端部であって前記第 2接触部が突出している側の縁端部を嵌合保持する複数の第 1ガイド溝、および前記複数の第 1ガイド溝とそれぞれ対向して位置し、対向する前記第 1ガイド溝に嵌め込まれた前記導電性接触子の他方の縁端部を嵌合保持する複数の第 2ガイド溝を有する導電性接触子ホルダと、前記複数の導電性接触子がそれぞれ有する前記第 2接続部に形成された前記開口部を貫通し、前記導電性接触子ホルダに固着された棒状部材と、を備え、前記導電性接触子は、前記複数の湾曲部のうち前記第 2接触部が突出している側で湾曲する前記湾曲部の外径は、前記第 2接触部の先端に近いほど小さぐ前記複数の湾曲部のうち前記第 2接触部が突出してレ、る側と反対側で湾曲する前記湾曲部の外径は、前記第 2接触部の先端に近レ、ほど大きレ、ことを特徴とする。

[0016] また、上記発明において、前記棒状部材の長手方向に垂直な断面積は、前記導電性接触子に形成された前記開口部の面積よりも小さいとしてもよい。

[0017] また、上記発明にお!/、て、前記第 2接触部の先端は、前記導電性接触子ホルダの外側面であって内側に前記第 1ガイド溝が形成された部分の外側面よりも当該外側面の法線方向に突出してレ、るとしてもよ!/、。

発明の効果

[0018] 本発明によれば、検査用の信号を出力する回路構造と接触する第 1接触部と、長手方向と直交するとともに幅方向と平行な方向に延伸する複数の直線部および隣接する前記直線部同士を接続して円弧状に湾曲する複数の湾曲部を有し、長手方向に伸縮可能な弾性部と、検査対象と接触する先端が前記弾性部の幅方向の縁端部よりも前記弾性部の幅方向の中心軸から遠ざ力、る方向に突出する第 2接触部と、を備え、前記複数の湾曲部のうち前記第 2接触部が突出している側で湾曲する前記湾曲部の外径を前記第 2接触部の先端に近いほど小さくし、前記複数の湾曲部のうち前記第 2接触部が突出している側と反対側で湾曲する前記湾曲部の外径を前記第 2 接触部の先端に近いほど大きくすることにより、配列間隔の狭小化に対応可能であるとともに耐久性に優れ、検査対象との接触状況を容易に目視可能な導電性接触子および導電性接触子ユニットを提供することができる。

図面の簡単な説明

[0019] [図 1]図 1は、本発明の一実施の形態に係る導電性接触子ユニットの構成を示す斜視図である。

[図 2]図 2は、本発明の一実施の形態に係る導電性接触子の構成を示す図である。

[図 3]図 3は、湾曲部の外径の設定例を説明するための図である。

[図 4]図 4は、導電性接触子ホルダの上面部の部分拡大斜視図である。

[図 5]図 5は、本発明の一実施の形態に係る導電性接触子ユニットの内部構成を示す図である。

[図 6]図 6は、本発明の一実施の形態の変形例に係る導電性接触子の構成を示す図である。

符号の説明

[0020] 1 導電性接触子ユニット

2、 5 導電性接触子

3 導電性接触子ホルダ

3a 上面部

3b、 3c 側面部

3d 底面部

4 棒状部材

21、 51 第 1接触部

22、 52 第 2接触部

23、 53 弾性部

23a— 1、 23a— 2、 · · ·、 23a— n、 53a— i 直線部

23b— 1、 23b— 2、 · · ·、 23b— (n+ l)、 53b— j 湾曲部 24、 54 第 1接続部

25、 55 開口部

26、 56 第 2接続部

31 保持部

31a 第 1ガイド溝

31b 第 2ガイド溝

32 固着用孔部

100 回路基板

101 固定部材

200 検査対象

L 直線 (基準直線）

1

L、L 直/線（第 2の直 /線）

2 3

P、 Q 先端

R 外径

J

t、t、T、T 線径

i k j k

Δ オフセット量

1

δ 、h 突出量

1

発明を実施するための最良の形態

[0021] 以下、添付図面を参照して本発明を実施するための最良の形態（以後、「実施の形態」と称する）を説明する。なお、図面は模式的なものであって、各部分の厚みと幅との関係、それぞれの部分の厚みの比率などは現実のものとは異なる場合もあることに留意すべきであり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれる場合があることは勿論である。

[0022] 図 1は、本発明の一実施の形態に係る導電性接触子ユニットの構成を示す斜視図である。同図に示す導電性接触子ユニット 1は、検査対象である液晶パネル等の回路構造の導通状態検査や動作特性検査を行うものであり、板状をなす複数の導電性接触子 2と、複数の導電性接触子 2を収容保持する導電性接触子ホルダ 3と、導電性接触子ホルダ 3に固着され、複数の導電性接触子 2を支持する棒状部材 4とを備える。

[0023] まず、導電性接触子 2について説明する。図 2は、本実施の形態 1に係る導電性接触子 2の構成を示す図である。以下の説明では、図 2における鉛直方向を「導電性接触子 2の長手方向」、図 2における水平方向を「導電性接触子 2の幅方向」、これら長手方向および幅方向とそれぞれ直交する方向すなわち紙面に垂直な方向を「導電性接触子 2の板厚方向」とそれぞれ称することにする。

[0024] 図 2に示す導電性接触子 2は、導電性材料を用いて板状をなすように形成され、検查用の信号を生成する回路構造と検査対象との電気的な接続を確立する。より具体的には、導電性接触子 2は、検査用回路を含む所定の回路構造と物理的に接触する第 1接触部 21と、液晶パネル等の検査対象と物理的に接触する第 2接触部 22と、第 1接触部 21および第 2接触部 22の間に介在し、長手方向に伸縮可能な弾性部 23 と、第 1接触部 21および弾性部 23を接続する第 1接続部 24と、第 2接触部 22および弾性部 23を接続し、板厚 (厚さ）方向に貫通する開口部 25が形成された第 2接続部 26と、を備える。

[0025] 第 1接触部 21は、第 1接続部 24の短手方向中央部から長手方向に突出するように設けられている。なお、第 1接触部 21の第 1接続部 24からの突出位置はこれに限られるわけではなぐ接触対象の回路構造に設けられた電極の位置等の条件に応じて定めればよい。

[0026] 第 2接触部 22は、弾性部 23の幅方向の縁端部よりも弾性部 23の幅方向の中心軸力、ら遠ざ力、る方向に突出している。なお、第 2接触部 22の形状は、導電性接触子 2の材質や検査の際に導電性接触子 2に対して加えるべき荷重、導電性接触子 2を収容保持する導電性接触子ホルダ 3の形状、検査対象の種類などさまざまな条件によつて定められるべきものであり、第 2接続部 26の幅方向の縁端部よりも当該幅方向に突出していれば、その形状の細部については適宜変更することが可能である。

[0027] 弾性部 23は、導電性接触子 2の長手方向と直交するとともに導電性接触子 2の幅方向と平行な方向に延伸する複数の直線部 23a— 1、 23a— 2、 · · ·、 23a— n、および隣接する直線部同士を接続して円弧状に湾曲する複数の湾曲部 23b - 1 , 23b - 2、 · · ·、 23b— n、 23b— (n+ 1)を有し、長手方向に沿って S字状に蛇行した形状をなしている。弾性部 23の幅方向の長さは、第 1接続部 24および第 2接続部 26の幅方向の長さと同じである。なお、図 2に示す場合、直線部の数 nは奇数である力これはあくまでも一例に過ぎず、 nの具体的な数は、導電性接触子 2に加わる荷重に応じて適宜定められる。

[0028] 直線部 23a— ί (ί= 1，2，· · ·，η)の線径 tは、第 1接触部 21から遠いほど大きく、 t < i 1 t < · · · <tである。この線径 tは、第 1接触部 21の先端 Pまたは第 2接触部 22の先

2 n i

端 Qから各直線部 23a— iの中心までの距離に応じて線形に変化するようにすればより好ましい。これにより、弾性部 23が導電性接触子ユニット 1の内部荷重が加わったときに応力が集中しやすい部分（湾曲部 23b— nの近傍領域）の直線部 23a— nの線径 tが最も太くなり、当該部分における導電性接触子ユニット 1との間の摩擦の影響 n

を低減することが可能となる。

[0029] 湾曲部 23b— l，23b— 2，一，23b— (n+ 1)のうち、第 2接触部 22が突出している側で湾曲する湾曲部 23b— j (j = 2，4，' · ·，η+ 1 ;jは偶数）は、その外径 Rが第 2接触

J

部 22の先端に近いほど小さぐ R〉R〉 · · ·〉R である。これに対して、第 2接触

2 4 n+1

部 22が突出している側と反対側で湾曲する湾曲部 23b— j (j = l，3，' は奇数）は、その外径 Rが第 2接触部 22の先端に近いほど大きぐ R <R < · · · <Rである。

j 1 3 n なお、 Rと Rは、 Rく Rを満たしている。また、湾曲部 23b— k(k= l，2，， · ·，η+ 1)

1 2 1 2

の線径 Τは、その端部で接続する直線部 23a— (k- 1)の線径 t と直線部 23a— k k k-1 の線径 tに応じて定められ、少なくとも t ≤T≤t (ただし、 k= lでは T≤t、 k=n k k-1 k k 1 1

+ 1では t≤T )を満たす。

n n+1

[0030] 湾曲部 23b— j (j = 1,2，· · ·，!!+ 1)の外径 Rは、第 1接触部 21の先端 Pおよび第 2 j

接触部 22の先端 Qを結ぶ直線 Lを基準直線とし、この基準直線 Lを用いて定められ

1 1

る基準量に応じて線形に変化するようにすればより好ましい。以下、この点について

、基準直線 Lを用いた外径 Rの設定例を示す図である図 3を参照して説明する。

1 i

[0031] まず、第 2接触部 22が突出している側で湾曲する湾曲部 23b— j (j = 2，4，' · ·，!!+ 1

； jは偶数）の外径 Rについて説明する。この場合の外径 Rは、直線しと同一平面上

j i 1

にあり、少なくとも直線 Lとは弾性部 23の内部で交わりを持たず、導電性接触子 2の

1

長手方向に平行な直線 Lとの距離に応じて定められる。より具体的には、湾曲部 23 b -j (j = 2，4，- · ·，η+ 1 ;jは偶数）の外径 Rは、直線しと直線 Lとの距離であって該 j 1 2

当する湾曲部 23b— jの中心を通過し直線 Lと直交する方向の距離 X (第 1基準量）と

2 j

線形な関係 R = α χ + /3 ( α〉0、 βは定数）を満たすように定められる。

j j

[0032] これに対して、第 2接触部 22が突出している側と反対側で湾曲する湾曲部 23b— j

( = 1，3，' ' '，1 ; は奇数）の外径1^は、直線しと同一平面上にあり、少なくとも直線 L

j 1 1 とは弾性部 23の内部で交わりを持たず、導電性接触子 2の長手方向に平行な直線 L との距離に応じて定められる。より具体的には、湾曲部 23b— j (j = l，3，' · '，n ;jは奇

3

数）の外径 Rは、直線しと直線 Lとの距離であって該当する湾曲部 23b— jの中心を j 1 3

通過し直線 Lと直交する方向の距離 x' (第 2基準量）と線形な関係 R = γ χ' + δ ( γ

3 j j j

〉0、 δは定数）を満たすように定められる。

[0033] なお、ここで説明した外径 Rの定め方はあくまでも一例に過ぎず、第 1および第 2基 j

準量の定義や α、 13、 γ、 δの値は適宜変更可能である。また、第 2の直線（上述した直線 Lや直線 Lに相当）の定め方も任意である。

2 3

[0034] さらに、第 2の直線として上記の如く 2本の別な直線 Lおよび Lを用いる代わりに、

2 3

そのうちのいずれかの直線を用いて第 1および第 2基準量を定義することも可能である。この場合には、湾曲部 23b— j (j = l，2，' · ·，η+ 1)が、第 2接触部 22が突出している側に湾曲しているか否かに応じて異なる線形関係式を適用し、各湾曲部 23b— j の外径 Rを定めればよい。

j

[0035] 次に、導電性接触子ホルダ 3について説明する。導電性接触子ホルダ 3は、図 1に示すように、略直方体状の外観形状をなし、上面部 3aと底面部（図 1では図示せず）を貫通して複数の導電性接触子 2を保持する保持部 31と、保持部 31を介して互いに対向する側面部 3bの所定位置にそれぞれ形成され、棒状部材 4の端部を固着する固着用孔部 32とを有する。

[0036] 図 4は、導電性接触子ホルダ 3の上面部 3aの部分拡大斜視図である。図 4に示すように、保持部 31には、導電性接触子 2を装着する際にその導電性接触子 2の幅方向の一方の縁端部であって第 2接触部 22が突出する側の縁端部を嵌合保持する直線状の第 1ガイド溝 31aと、この第 1ガイド溝 31aと対向して位置し、その第 1ガイド溝 31 aにはめ込まれた導電性接触子 2の幅方向の他方の縁端部を嵌合保持する直線状の第 2ガイド溝 31bとが複数対形成されている。対をなす第 1ガイド溝 31aおよび第 2ガイド溝 31bは、導電性接触子 2をその長手方向と垂直な面方向に対して位置決めする機能を有するとともに、導電性接触子 2の伸縮動作をガイドする機能を有している。また、第 1ガイド溝 31aおよび第 2ガイド溝 31bのなす対のうち隣接する対同士の間隔は全て等しぐかつ互いに平行である。

[0037] 第 1ガイド溝 31aおよび第 2ガイド溝 31bの各々は同じ溝幅 (wとする）を有するとともに、同じ溝深さ（dとする）を有する。なお、ここでは第 1ガイド溝 31aの溝深さと第 2ガイド溝 31bとの溝深さとが等しい場合を説明したが、両ガイド溝の溝深さが互いに異なっていても構わない。

[0038] 図 5は、導電性接触子ユニット 1の内部構成を示す図である。同図に示す導電性接触子ホルダ 3の断面は、図 4の A— A線断面に相当している。図 5に示すように、第 1 ガイド溝 31aおよび第 2ガイド溝 31bは、図 5の z軸方向（溝幅方向に垂直な方向）に沿って互いに平行に延伸した構造を有する。第 1ガイド溝 31aが図 5の z軸方向に延伸する長さは、第 2ガイド溝 31bが同じ z軸方向に延伸する長さよりも短ぐ第 2ガイド溝 31bは導電性接触子ホルダ 3の底面部 3dまで到達している力第 1ガイド溝 31aは底面部 3dよりも鉛直上方の位置までしか到達して!/、な!/、。

[0039] 以上の構成を有する導電性接触子ホルダ 3は、導電性接触子 2を、図 1および図 5 に示す座標系（xyz)において、幅方向が X軸方向と平行であり、板厚方向が y軸方向と平行であり、長手方向力 ¾軸方向と平行であるように保持している。この意味で、導電性接触子 2の板厚は、第 1ガイド溝 31aおよび第 2ガイド溝 31bの溝幅 (w)よりも若干小さい。

[0040] 導電性接触子ホルダ 3に保持された導電性接触子 2は、第 1接触部 21および第 2 接触部 22に荷重が加わっていない状態（図 5に示す状態）で第 2接触部 22の先端 Q が導電性接触子ホルダ 3の側面部 3cよりも X軸正の方向に所定量突出している（突出量を δ とする）。また、第 2接触部 22の先端 Qは、導電性接触子ホルダ 3の底面部

1

3dから _Ζ軸負の方向に所定量突出している（突出量を hとする）。これによりオペレータは、導電性接触子ユニット 1の斜め上方からでも導電性接触子 2の先端と検査対象との物理的な接触の有無を確認することができる（図 1を参照）。なお、図 5では、第 1 接触部 21の先端 Pを通過し z軸方向に平行な軸 Oからの第 2接触部 22の先端のオフセット量を Δとしている。ここで説明した突出量 δ および h、ならびにオフセット量 Δ

1 1 1 は、導電性接触子 2や導電性接触子ホルダ 3の大きさ、検査対象に加えるべき荷重等の条件に応じて適宜定められる。

[0041] 導電性接触子ホルダ 3は、導電性接触子 2と電気的に接続して短絡が発生することを防止する観点から、絶縁性材料によって形成されることが好ましい。例えば、低熱膨張の合成樹脂を用いて導電性接触子ホルダ 3を形成し、ダイシング等によって第 1 ガイド溝 31aおよび第 2ガイド溝 31bを形成すればよ!/、。他にも、例えばアルミナ (A1 O )、ジルコユア（ZrO )、シリカ（SiO )等のセラミックス、シリコン、エポキシ等の熱硬化性樹脂、ポリカーボネート等のエンジニアリングプラスチックなどによって導電性接触子ホルダ 3の母材を形成し、エッチング等の加工技術によって第 1ガイド溝 31aおよび第 2ガイド溝 31bを形成してもよい。また、絶縁性材料を用いて導電性接触子ホルダ 3を形成する代わりに、他の適当な材料 (絶縁性の有無は不問）を用いて母材を形成し、導電性接触子 2と接触しうる部分 (第 1ガイド溝 31aや第 2ガイド溝 31bを含む部分）に対して適当な絶縁性塗料を塗布するような構成としてもよい。この意味では、導電性接触子 2の表面の一部または全部に対して絶縁性塗料を塗布してもよい。

[0042] 続!/、て、棒状部材 4につ!/、て説明する。棒状部材 4は、複数の導電性接触子 2を保持部 31に装着し、各導電性接触子 2の開口部 25を貫通した後、その両端部が導電性接触子ホルダ 3の互いに対向する側面部 3bにそれぞれ形成された固着用孔部 32 に揷通され、導電性接触子ホルダ 3に対して固着される。棒状部材 4は、保持部 31 で保持する複数の導電性接触子 2の開口部 25を一括して貫通することによって導電性接触子 2の保持部 31からの抜け止め機能を果たすとともに、導電性接触子 2に対して初期たわみを付与する機能を果たす。

[0043] 棒状部材 4の長手方向に垂直な断面は、図 5に示すように長方形の角を面取りした形状をなし、その面積は、導電性接触子 2が有する開口部 25の面積よりも小さい。これにより、導電性接触子 2に対して固着用孔部 32を形成する際の加工を容易にすること力 Sでさる。

[0044] 棒状部材 4は、多数の導電性接触子 2の開口部 25を貫通してそれら全ての導電性接触子 2を支持することに鑑み、剛性が高く荷重が加わってもたわみが少なぐ導電性接触子 2との摺動抵抗が小さいセラミックスなどの絶縁性材料によって形成するのが好ましい。これにより、荷重を加えたときの導電性接触子 2の動きを円滑にすること力できる。したがって、棒状部材 4と開口部 25との間隔を小さくすることもでき、棒状部材 4による導電性接触子 2の支持安定性を確保することが可能となる。

[0045] なお、棒状部材 4の長手方向に垂直な断面形状は上述したものに限られるわけではなぐ例えば多角形や正方形などでもよいし、円形でもよい。固着用孔部 32の形状力、棒状部材 4の断面形状に応じて変わることは勿論である。

[0046] 以上の構成を有する導電性接触子ホルダ 3の上方には、検査用信号を生成出力する信号処理回路との電気的な接続を確立する回路基板 100を取り付ける。回路基板 100は、ポリイミドなどからなるシート状の基材の一方の表面に、ニッケル等からなる多数の配線および接続用の電極が形成されてなる。回路基板 100を取り付ける際には、回路基板 100の電極が導電性接触子 2の第 1接触部 21と接触するように位置決めを行い、導電性接触子ホルダ 3と同様の材料からなる固定部材 101および導電性接触子ホルダ 3によって回路基板 100を挟持し、ねじ等の締結手段（図示せず）を用いて固定する。この結果、各導電性接触子 2には自身に作用する重力以外の力に起因する荷重 (初期荷重）が加わり、各弾性部 23が長手方向に収縮する。

[0047] 次に、導電性接触子ユニット 1と検査対象 200との接触態様について説明する。検查を行う際には、液晶パネル等の検査対象 200を所定の駆動手段（図示せず）によつて第 2接触部 22の先端 Qと接触し、所定の位置に達するまで上昇させていく。第 2 接触部 22の先端 Qは、上述したように第 1接触部 21の先端 Pから X軸方向に Δだけ

1 オフセットしているため、検査対象 200と接触した導電性接触子 2にはモーメントが発生する。すなわち、導電性接触子 2は、弾性部 23が収縮して開口部 25が棒状部材 4 力離間した後、図 5で時計回りに微小角だけ回転する。

[0048] 上述した回転により、第 2接触部 22の先端 Qは、検査対象 200の表面上を接触状態を持続しながら検査対象 200上を引つ搔いて移動する。このようにして、第 2接触部 22の先端が検査対象 200上を移動することにより、検査対象 200の表面に形成された酸化膜やその表面に付着した汚れを除去し、検査対象 200との間で安定した電気的接触を得ることが可能となる。その際、検査対象 200の移動速度（上昇速度）を適切に制御すれば、第 2接触部 22の先端が検査対象 200の表面を大きく傷付けること力なく、導電性接触子 2にも過度の荷重を加えないで済む。

[0049] 検査対象 200を第 2接触部 22と接触させる際、弾性部 23は荷重による収縮によつて弾性変形を生じる。本実施の形態では、直線部 23a— ί (ί= 1，2，· · ·，η)の線径 tと湾曲部 23b— j (j = l，2， - · ·，η+ 1)の外径 Rとを上記の如く設定することにより、検査

j

対象 200を第 2接触部 22と接触させて荷重が加わったときの弾性部 23における応力分布が均一となり、特定の箇所に応力が集中するのを緩和することができる。この結果、弾性部 23に加わる最大応力値が低減するため、繰り返し応力に対する導電性接触子 2の耐久性を向上させることができる。加えて、荷重を小さくすることによって第 2接触部 22の先端部の変形も抑制できるため、この意味でも導電性接触子 2の耐久性を向上させることが可能となる。

[0050] 以上説明した導電性接触子ユニット 1は、導電性接触子 2の弾性部 23の伸縮方向に沿って延伸した第 1ガイド溝 31 aおよび第 2ガイド溝 3 lbに一部を嵌め込んだ状態で導電性接触子 2を保持している。このため、板状をなす導電性接触子 2に特有な問題である弾性部 23の収縮時の座屈およびねじれの発生を防止し、それらに起因する弾性部 23のばね特性の劣化を生じさせずに済む。したがって、導電性接触子 2に適切な範囲内で一定以上の荷重を加えても座屈やねじれを生じることなく大きなスト口ークを実現することができ、検査対象 200との間で所望の接触状態を得ることが可能となる。

[0051] また、導電性接触子ユニット 1においては、第 1ガイド溝 31aおよび第 2ガイド溝 31b によって導電性接触子 2を保持することとしたため、導電性接触子 2と導電性接触子ホルダ 3との間の接触面積を低減して摺動抵抗を減少させることができ、導電性接触子 2の伸縮動作をスムーズに行うことが可能となる。

[0052] さらに、導電性接触子ユニット 1は、第 1ガイド溝 31aおよび第 2ガイド溝 31bの溝幅

(w)が導電性接触子 2の板厚と同程度の値でよぐ互いに隣接する第 1ガイド溝 31a 間および第 2ガイド溝 31b間の各間隔は、隣接する導電性接触子 2間の絶縁性が十分確保できる値であれば、任意の小さな値としてよい。したがって、複数の導電性接触子 2の配列間隔を狭小化することが可能であり、回路基板 100や検査対象 200が有する接続用の電極や端子の配列間隔の狭小化にも十分に対応することができる。

[0053] 加えて、導電性接触子ユニット 1においては、導電性接触子 2に棒状部材 4を貫通することによって導電性接触子 2に初期たわみを与えるとともに抜け止めを行っている。この結果、第 2接触部 22の先端 Qすなわち導電性接触子 2の下端が導電性接触子ホルダ 3の底面部 3dから鉛直下方に突出する突出量 hを小さくすることができる。換言すれば、第 2接触部 22を小さくしても、その先端付近の曲がりを防止し、安定して保持することが可能となり、導電性接触子 2が下端部付近で第 1ガイド溝 31aおよび/または第 2ガイド溝 3 lbから外れてしまうのを抑制することができる。この結果、導電性接触子 2の位置精度が高くなり、導電性接触子ユニット 1の信頼性および耐久性を向上させることができる。

[0054] 導電性接触子ユニット 1を組み立てる際に導電性接触子 2を保持部 31に収容する工程は、第 1接触部 21の側を先に保持部 31の内部に揷入し、幅方向の縁端部を第 1ガイド溝 31aおよび第 2ガイド溝 31bに嵌め込むことによって完了する。したがって、従来の導電性接触子ユニットと比較しても組み立てが容易であり、製造コストを低減するとレ、う ¾]果を得ることもできる。

[0055] 以上説明した本発明の一実施の形態によれば、検査用の信号を出力する回路構造と接触する第 1接触部と、長手方向と直交するとともに幅方向と平行な方向に延伸する複数の直線部および隣接する前記直線部同士を接続して円弧状に湾曲する複数の湾曲部を有し、長手方向に伸縮可能な弾性部と、検査対象と接触する先端が前記弾性部の幅方向の縁端部よりも前記弾性部の幅方向の中心軸から遠ざ力、る方向に突出する第 2接触部と、を備え、前記複数の湾曲部のうち前記第 2接触部が突出している側で湾曲する前記湾曲部の外径を前記第 2接触部の先端に近いほど小さくし、前記複数の湾曲部のうち前記第 2接触部が突出している側と反対側で湾曲する前記湾曲部の外径を前記第 2接触部の先端に近いほど大きくすることにより、配列間隔の狭小化に対応可能であるとともに耐久性に優れ、検査対象との接触状況を容易に目視可能な導電性接触子および導電性接触子ユニットを提供することができる。

[0056] また、本実施の形態によれば、弾性部を構成する複数の直線部の幅と湾曲部の外径とを上記の如く傾斜的に変化するように設定することにより、導電性接触子を検査対象にコンタクトさせて荷重が加わったときの弾性部における応力分布が均一となり、特定の箇所に応力が集中するのを防止し、弾性部に加わる最大応力値を低減させること力 Sできる。したがって、繰り返し応力に対する導電性接触子の耐久性を向上させること力 Sできる。加えて、荷重を小さくすることによって第 2接触部の先端部の変形をも抑制できるため、この意味でも導電性接触子の耐久性を向上させることができる

[0057] さらに、本実施の形態によれば、導電性接触子の検査対象との接触部分（第 2接触部）が導電性接触子ホルダよりも幅方向で外側に突出しているため、オペレータは検查の際、導電性接触子ユニットの斜め上方から目視ゃ顕微鏡による観察によって導電性接触子の先端と検査対象との物理的な接触有無を確認しながら検査作業を行うことができ、姿勢を屈めたりして導電性接触子と検査対象との接触状況を観察する必要がなくなる。したがって、検査の作業性、信頼性を一段と向上させることができるとともに、オペレータの負担を軽減することができる。

[0058] 図 6は、本実施の形態の一変形例に係る導電性接触子の構成を示す図である。同図に示す導電性接触子 5は、第 1接触部 51と、第 2接触部 52と、弾性部 53と、第 1接続部 54と、開口部 55を有する第 2接続部 56と、を備える。第 2接触部 52は、第 2接続部 56の幅方向の縁端部（および弾性部 53の幅方向の縁端部）よりも弾性部 53の幅方向の中心軸から遠ざ力、る方向に突出している。また、弾性部 53の幅方向の縁端部は、第 1接続部 54の縁端部や第 2接続部 56の縁端部よりも弾性部 53の幅方向の中心軸に近づく方向へ退避している。なお、弾性部 53は、導電性接触子 2の弾性部 23と同様、直泉咅 53a— i (i= l , 2, · · · , n)と湾曲き 53b— j (j = 1 , 2, · · · , n+ 1) を有し S字状に蛇行した形状をなしており、直線部 53a— i (i= l , 2, · · · , n)の線径 ^ ならびに湾曲部 53b— j (j = l , 2, · · · , n+ 1)の外径 Rおよび線径 Tは、上述した一 j j

実施の形態と同様に設定されている。

[0059] 図 6に示す場合、第 2接触部 52が突出している側の第 1接続部 54の幅方向の縁端部からの逃げ量は rである一方、第 2接触部 52が突出しているのと反対側の第 1接

1

続部 54の幅方向の縁端部からの逃げ量は rである。換言すれば、弾性部 53の幅（幅方向の長さ）は、第 1接続部 54の幅や第 2接続部 56の幅よりも r +rだけ小さい。

1 2

逃げ量 rおよび rは、導電性接触子ホルダ 3の溝深さの値 dよりも小さいことが必要で

1 2

ある。このような構成を有する導電性接触子 5を用いることにより、第 1ガイド溝 31aや第 2ガイド溝 31bから導電性接触子 5を逸脱させることなく確実に保持することができる。なお、逃げ量 rおよび rは等しくてもよいし、異なっていてもよい。また、このうちの

1 2

一方の逃げ量が 0でもよ!/、。

[0060] このように、弾性部 53の少なくとも一部を導電性接触子 5本体の中心部の方向へ退避させることにより、導電性接触子 5を導電性接触子ホルダ 3で収容し検査を行う際、弾性部 53の縁端部が第 1ガイド溝 31aや第 2ガイド溝 31bの底部に接触することが少なくなり、弾性部 53と各ガイド溝底部との摩擦を低減することができる。その結果、荷重が付加されたときの弾性部 53の引っ掛力、りを抑制し、さらに確実な原点復帰能力を具備させること力できる。また、導電性接触子ホルダ 3との摺動抵抗が小さくなるため、導電性接触子 5の検査荷重値のバラツキを少なくして安定化することも可能とな

[0061] ここまで、本発明を実施するための最良の形態を詳述してきたが、本発明は上記一実施の形態によってのみ限定されるべきものではない。例えば、本発明に係る導電性接触子ユニットは、液晶パネルを検査する以外にも、半導体チップを搭載したパッケージ基板やウェハレベルの検査に用いる高密度導電性接触子ユニットとしても適用可能である。

[0062] このように、本発明は、ここでは記載していないさまざまな実施の形態等を含みうるものであり、特許請求の範囲により特定される技術的思想を逸脱しない範囲内にお V、て種々の設計変更等を施すことが可能である。

産業上の利用可能性

[0063] 以上のように、本発明に係る導電性接触子および導電性接触子ユニットは、液晶パネルや半導体集積回路などの電子部品における導通状態検査や動作特性検査を行う際に有用である。

Claims

請求の範囲

[1] 板状をなし、検査用の信号を出力する回路構造と検査対象とを電気的に接続する導電性接触子であって、

当該導電性接触子の長手方向の端部に位置し、前記回路構造と接触する第 1接触部と、

前記長手方向と直交するとともに当該導電性接触子の幅方向と平行な方向に延伸する複数の直線部および隣接する前記直線部同士を接続して円弧状に湾曲する複数の湾曲部を有し、前記長手方向の中間部に位置し、前記長手方向に伸縮可能な弾性部と、

前記長手方向の前記第 1接触部とは異なる端部に位置し、前記検査対象と接触する先端が前記弾性部の幅方向の縁端部よりも前記弾性部の幅方向の中心軸から遠ざ力、る方向に突出する第 2接触部と、

を備え、

前記複数の湾曲部のうち前記第 2接触部が突出している側で湾曲する前記湾曲部の外径は、前記第 2接触部の先端に近いほど小さぐ

前記複数の湾曲部のうち前記第 2接触部が突出している側と反対側で湾曲する前記湾曲部の外径は、前記第 2接触部の先端に近いほど大きいことを特徴とする導電性接触子。

[2] 前記複数の湾曲部のうち前記第 2接触部が突出している側で湾曲する前記湾曲部の外径は、前記第 1および第 2接触部の先端同士を結ぶ直線を基準直線とし、この基準直線を用いて各湾曲部に対して定められる第 1基準量に応じて線形に変化し、前記複数の湾曲部のうち前記第 2接触部が突出している側と反対側で湾曲する前記湾曲部の外径は、前記基準直線を用いて各湾曲部に対して定められる第 2基準量に応じて線形に変化することを特徴とする請求項 1記載の導電性接触子。

[3] 前記直線部の線径は、前記第 1接触部の先端から遠いほど大きいことを特徴とする請求項 1記載の導電性接触子。

[4] 前記直線部の線径は、前記第 1接触部の先端または前記第 2接触部の先端から前記直線部の中心までの距離に応じて線形に変化することを特徴とする請求項 3記載の導電性接触子。

[5] 前記第 1接触部および前記弾性部を接続する第 1接続部と、

前記弾性部および前記第 2接触部を接続し、当該導電性接触子の板厚方向に貫通する開口部が形成された第 2接続部と、

をさらに備え、

前記第 1接続部、前記第 2接続部、および前記弾性部がそれぞれ有する前記幅方向の長さが互いに等し!/、ことを特徴とする請求項 1〜4の!/、ずれか一項記載の導電性接触子。

[6] 前記第 1接触部および前記弾性部を接続する第 1接続部と、

をさらに備え、

前記弾性部の幅方向の縁端部であって前記第 2接触部が突出している側と反対側の縁端部が、前記第 1および第 2接続部の幅方向の縁端部であって前記第 2接触部が突出している側と反対側の縁端部よりも前記弾性部の幅方向の中心軸に近づく方向へ退避していることを特徴とする請求項;!〜 4のいずれか一項記載の導電性接触子。

[7] 前記弾性部の幅方向の縁端部であって前記第 2接触部が突出して!/、る側の縁端部力 S、前記第 1および第 2接続部の幅方向の縁端部であって前記第 2接触部が突出している側の縁端部よりも前記弾性部の幅方向の中心軸に近づく方向へ退避していることを特徴とする請求項 6記載の導電性接触子。

[8] 長手方向の端部に位置し、検査用の信号を出力する回路構造と接触する第 1接触部と、前記長手方向と直交するとともに当該導電性接触子の幅方向と平行な方向に延伸する複数の直線部および隣接する前記直線部同士を接続して円弧状に湾曲する複数の湾曲部を有し、前記長手方向の中間部に位置し、前記長手方向に伸縮可能な弾性部と、前記長手方向の前記第 1接触部とは異なる端部に位置し、前記検査対象と接触する先端が前記弾性部の幅方向の縁端部よりも前記弾性部の幅方向の中心軸から遠ざかる方向に突出する第 2接触部と、前記第 1接触部および前記弾性部を接続する第 1接続部と、前記弾性部および前記第 2接触部を接続し、厚さ方向に貫通する開口部が形成された第 2接続部とを有し、板状をなす複数の導電性接触子と、

前記導電性接触子の長手方向の一方の縁端部であって前記第 2接触部が突出してレ、る側の縁端部を嵌合保持する複数の第 1ガイド溝、および前記複数の第 1ガイド溝とそれぞれ対向して位置し、対向する前記第 1ガイド溝に嵌め込まれた前記導電性接触子の他方の縁端部を嵌合保持する複数の第 2ガイド溝を有する導電性接触子ホルダと、

前記複数の導電性接触子がそれぞれ有する前記第 2接続部に形成された前記開口部を貫通し、前記導電性接触子ホルダに固着された棒状部材と、

を備え、

前記導電性接触子は、

前記複数の湾曲部のうち前記第 2接触部が突出している側と反対側で湾曲する前記湾曲部の外径は、前記第 2接触部の先端に近いほど大きいことを特徴とする導電性接触子ユニット。

[9] 前記棒状部材の長手方向に垂直な断面積は、前記導電性接触子に形成された前記開口部の面積よりも小さ!/、ことを特徴とする請求項 8記載の導電性接触子ユニット

[10] 前記第 2接触部の先端は、前記導電性接触子ホルダの外側面であって内側に前記第 1ガイド溝が形成された部分の外側面よりも当該外側面の法線方向に突出していることを特徴とする請求項 8または 9記載の導電性接触子ユニット。