KR101012732B1

KR101012732B1 - 도전성 접촉자 및 도전성 접촉자 유닛

Info

Publication number: KR101012732B1
Application number: KR1020087019899A
Authority: KR
Inventors: 다이이치 리키마루; 고지 이시카와; 준 도미나가
Original assignee: 니혼 하츠쵸 가부시키가이샤
Priority date: 2006-02-17
Filing date: 2007-02-08
Publication date: 2011-02-09
Also published as: US7942677B2; US20100227514A1; JP2007218776A; WO2007094237A1; KR20080086931A; CN101384909A; JP4907191B2; TW200809207A; TWI384224B

Abstract

본 발명은, 하중값의 불균일이 적고 확실하게 원점 복귀하는 능력을 가지고, 내구성이 우수한 도전성 접촉자 및 상기 도전성 접촉자를 이용한 도전성 접촉자 유닛을 제공한다.

이 목적을 위하여, 다른 회로구조의 어느 하나와 물리적으로 접촉하는 제 1 접촉부와, 상기 제 1 접촉부와는 다른 회로구조와 물리적으로 접촉하는 제 2 접촉부와, 길이방향을 따라 상기 제 1 접촉부와 상기 제 2 접촉부와의 사이에 개재하고, 상기 길이방향으로 신축 자유로운 탄성부와, 상기 탄성부와 상기 제 1 접촉부를 접속하는 제 1 접속부와, 상기 탄성부와 상기 제 2 접촉부를 접속하고, 판 두께방향으로 관통하는 개구부가 형성된 제 2 접속부를 구비하며, 상기 탄성부의 적어도 일부는, 상기 길이방향 및 상기 판 두께방향과 각각 직교하는 폭방향의 길이가, 상기 제 1 접속부 및 상기 제 2 접속부가 각각 가지는 상기 폭방향의 길이보다 작게 한다.

Description

도전성 접촉자 및 도전성 접촉자 유닛{ELECTRICALLY CONDUCTIVE CONTACT AND ELECTRICALLY CONDUCTIVE CONTACT UNIT}

본 발명은, 액정 패널이나 반도체 집적회로 등의 전자부품에서의 도통상태 검사나 동작 특성 검사를 행할 때에, 그 전자부품의 전극이나 단자에 접촉하여 전기신호의 송수신을 행하는 도전성 접촉자 및 상기 도전성 접촉자를 사용한 도전성 접촉자 유닛에 관한 것이다.

종래, 반도체 집적회로 등의 검사대상의 전기 특성 검사에 관한 기술분야에서, 반도체 집적회로의 접속단자에 대응하여 복수의 도전성 접촉자를 설치하고, 도전성 접촉자를 접속단자에 물리적으로 접촉시킴으로써 전기적 도통을 확보하는 기능을 가지는 도전성 접촉자 유닛에 관한 기술이 알려져 있다. 이와 같은 도전성 접촉자 유닛은, 복수의 도전성 접촉자와, 도전성 접촉자를 유지하는 도전성 접촉자 홀더를 적어도 구비한 구조를 가진다. 이와 같은 도전성 접촉자 유닛에서는, 검사대상인 반도체 집적회로 등의 미세화 경향에 따르는 접속단자의 배열간격의 협소화에 대응 가능하게 하기 위하여, 복수의 도전성 접촉자의 배열 간격을 협소화하는 여러가지 기술이 제안되어 있다.

예를 들면, 배열간격의 협소화를 실현하는 도전성 접촉자로서, 검사대상 등 과 접촉하는 접촉부 및 그 접촉부에 대하여 탄발 가세하는 탄성부를 판형상의 도전성부재에 의하여 일체적으로 형성한 구조가 제안되어 있다. 이 기술에서는, 판형상의 도전성 접촉자를 판 두께방향으로 배열함으로써 좁은 영역에 다수의 도전성 접촉자를 배치하는 것이 이론상 가능해지고, 검사대상에 구비되는 접속단자의 배열 간격의 협소화에 대응한 도전성 접촉자를 실현하는 것이 가능하다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

[특허문헌 1]

일본국 특개2001-343397호 공보

그런데, 도전성 접촉자는 기판 검사시에 하중이 가해져 수축되나, 검사 종료시에는 탄성부의 복원력에 의하여 다시 원점으로 복귀할 필요가 있다. 상기한 종래의 도전성 접촉자의 경우, 탄성부의 폭은 가이드홈의 폭과 대략 같기 때문에, 그 탄성부가 슬라이딩할 때에는, 가이드홈과 탄성부의 사이에 마찰이 발생한다. 이 마찰이 크면, 가이드홈에 대하여 탄성부의 걸림이 생겨, 원점으로 복귀할 수 없는 경우가 있었다. 이와 같은 경우, 원점으로의 확실한 복귀를 실현하기 위하여 도전성 접촉자에 가하는 하중을 크게 하면, 도전성 접촉자 선단의 강성보다 탄성력이 능가하여, 선단부가 변형되는 경우가 있었다.

또, 탄성부는 탄성 변형하면서 가이드홈에 대하여 슬라이딩하기 때문에, 이와 같은 탄성 변형시의 거동은 매회 일정하지 않고, 불균일이 생길 수 있다. 이 결과, 탄성부와 가이드홈의 사이에 생기는 마찰력에도 불균일이 발생하여, 검사 하중값의 불균일이 커진다는 문제도 있었다.

또한, 마찰에 의하여 마모분이 발생하기 때문에, 이 발생한 마모분이 검사대상을 오염함과 동시에, 도전성 접촉자 자체의 내구성을 저하시킬 염려가 있었다.

본 발명은, 상기를 감안하여 이루어진 것으로, 하중값의 불균일이 적고, 확실하게 원점 복귀하는 능력을 가지며, 내구성이 우수한 도전성 접촉자 및 상기 도전성 접촉자를 사용한 도전성 접촉자 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 관한 도전성 접촉자는, 다른 회로구조 사이를 전기적으로 접속하고, 각 회로구조와의 사이에서 전기신호의 입출력을 행하는 판형상의 도전성 접촉자로서, 상기 다른 회로구조 중 어느 하나와 물리적으로 접촉하는 제 1 접촉부와, 상기 제 1 접촉부와는 다른 회로구조와 물리적으로 접촉하는 제 2 접촉부와, 길이방향을 따라 상기 제 1 접촉부와 상기 제 2 접촉부의 사이에 개재하고, 상기 길이방향으로 신축 자유로운 탄성부와, 상기 탄성부와 상기 제 1 접촉부를 접속하는 제 1 접속부와, 상기 탄성부와 상기 제 2 접촉부를 접속하고, 판 두께방향으로 관통하는 개구부가 형성된 제 2 접속부를 구비하며, 상기 탄성부의 적어도 일부는, 상기 길이방향 및 상기 판 두께방향과 각각 직교하는 폭방향의 길이가, 상기 제 1 접속부 및 상기 제 2 접속부가 각각 가지는 상기 폭방향의 길이보다 작은 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자는, 상기 발명에서, 상기 제 2 접촉부는, 상기 제 2 접속부의 폭방향의 가장자리 끝부보다 상기 도전성 접촉자의 중심부에서 멀어지는 방향으로 돌출되어 있는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자는, 상기 발명에서, 상기 탄성부의 적어도 일부는, 상기 제 2 접속부의 폭방향의 가장자리 끝부로서 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 것과 반대측의 가장자리 끝부가, 상기 제 2 접속부의 폭방향의 가장자리 끝부보다 상기 도전성 접촉자의 중심부에 근접하는 방향으로 퇴피하고 있는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자는, 상기 발명에서, 상기 탄성부의 적어도 일부는, 상기 제 2 접속부의 폭 방향의 가장자리 끝부로서 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측의 가장자리 끝부가, 상기 제 2 접속부의 폭방향의 가장자리 끝부보다 상기 도전성 접촉자의 중심부에 근접하는 방향으로 퇴피하고 있는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자는, 상기 발명에서 상기 탄성부는, 상기 폭방향의 길이가 서로 다른 부분을 가지는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자는, 상기 발명에서 상기 탄성부를 상기 길이방향을 따라 분할하는 적어도 하나의 평판부를 더 구비한 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자는, 상기 발명에서 상기 평판부의 상기 폭방향의 길이는, 상기 제 1 접속부의 폭방향의 길이 및/또는 상기 제 2접속부의 폭방향의 길이와 동일한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 다른 회로구조 중 어느 하나와 물리적으로 접촉하는 제 1 접촉부와, 상기 제 1 접촉부와는 다른 회로구조와 물리적으로 접촉하는 제 2 접촉부와, 길이방향을 따라 상기 제 1 접촉부와 상기 제 2 접촉부와의 사이에 개재하고, 상기 길이방향으로 신축 자유로운 탄성부와, 상기 탄성부와 상기 제 1 접촉부를 접속하는 제 1 접속부와, 상기 탄성부와 상기 제 2 접촉부를 접속하고, 판 두께방향으로 관통하는 개구부가 형성된 제 2 접속부를 가지는 도전성 접촉자와, 복수의 상기 도전성 접촉자를 수용하기 위하여, 상기 도전성 접촉자의 길이방향의 한쪽의 가장자리 끝부를 끼워 맞추어 유지하는 제 1 가이드홈 및 상기 제 1 가이드홈과 대향하여 위치하고, 상기 제 1 가이드홈에 끼워 넣어진 상기 도전성 접촉자의 다른쪽의 가장자리 끝부를 끼워 맞춰 유지하는 제 2 가이드홈을 각각 복수개 가지는 도전성 접촉자 홀더와, 상기 도전성 접촉자 홀더로 수용하는 복수의 상기 도전성 접촉자가 각각 가지는 상기 제 2 접속부에 형성된 상기 개구부를 관통하고, 상기 도전성 접촉자 홀더에 고착되어 이루어지는 막대형상부재를 구비하고, 상기 도전성 접촉자가 가지는 상기 탄성부의 적어도 일부는, 상기 길이방향 및 상기 판 두께방향과 각각 직교하는 폭방향의 길이가, 상기 제 1 접속부 및 상기 제 2 접속부가 각각 가지는 상기 폭방향의 길이보다 작은 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 상기 발명에서 상기 막대형상부재의 길이방향으로 수직한 단면적은, 상기 도전성 접촉자에 형성된 상기 개구부의 면적보다 작은 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 다른 회로구조의 어느 하나와 물리적으로 접촉하는 제 1 접촉부와, 상기 제 1 접촉부와는 다른 회로구조와 물리적으로 접촉하는 제 2 접촉부와, 길이방향을 따라 상기 제 1 접촉부와 상기 제 2 접촉부와의 사이에 개재하고, 상기 길이방향으로 신축 자유로운 탄성부와, 상기 탄성부와 상기 제 1 접촉부를 접속하는 제 1 접속부와, 상기 탄성부와 상기 제 2 접촉부를 접속하고, 판 두께방향으로 관통하는 개구부가 형성된 제 2 접속부를 구비하며, 상기 탄성부의 적어도 일부에서는, 상기 길이방향 및 상기 판 두께방향과 각각 직교하는 폭방향의 길이를, 상기 제 1 접속부 및 상기 제 2 접속부가 각각 가지는 상기 폭방향의 길이보다 작게 함으로써 하중값의 불균일이 적고, 확실하게 원점 복귀하는 능력을 가지며, 내구성이 우수한 도전성 접촉자 및 상기 도전성 접촉자를 사용한 도전성 접촉자 유닛을 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛의 구성을 나타내는 사시도,

도 2는 본 발명의 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 도,

도 3은 도전성 접촉자 홀더의 상면부의 부분 확대 사시도,

도 4는 본 발명의 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛의 내부 구성을 나타내는 도,

도 5는 도전성 접촉자 홀더의 위쪽에, 검사용 회로에 접속되는 회로 기판을 설치한 상태를 나타내는 부분 확대도,

도 6a는 본 발명의 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛에 대하여 검사대상을 접촉시킨 직후의 상태를 나타내는 도,

도 6b는 본 발명의 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛에 대하여 검사대 상을 검사시의 위치까지 상승시켰을 때의 상태를 나타내는 도,

도 7은 본 발명의 실시형태 1의 제 1 변형예에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 도,

도 8은 본 발명의 실시형태 1의 제 2 변형예에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 도,

도 9는 본 발명의 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 도,

도 10은 본 발명의 실시형태 2의 일 변형예에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 도면이다.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 도전성 접촉자 유닛 2, 5, 6, 7, 8 : 도전성 접촉자

3 : 도전성 접촉자 홀더 3a : 상면부

3b, 3c : 측면부 3d : 저면부

4 : 막대형상부재 21, 51, 61, 71, 81 : 제 1 접촉부

22, 52, 62, 72, 82 : 제 2 접촉부

23, 53, 63, 74a, 74b, 84a, 84b, 84c : 탄성부

24, 54, 64, 75, 85 : 제 1 접속부

25, 55, 65, 76, 86 : 제 2 접속부

26, 56, 66, 77, 87 : 개구부 31 : 유지부

32 : 고착용 구멍부 31a : 제 1 가이드홈

31b : 제 2 가이드홈 73, 83a, 83b : 평판부

100 : 회로기판 101 : 고정부재

200 : 검사대상 P₁ : 초기 접촉점

P₂ : 최종 접촉점 Δ₁ : 오프셋량

δ₁, h : 돌출량 r : 퇴피량

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태(이후, 「실시형태」라고 한다)를 설명한다. 또한, 도면은 모식적인 것으로, 각 부분의 두께와 폭과의 관계, 각각의 부분의 두께의 비율 등은 현실의 것과는 다른 경우도 있는 것에 유의해야 하며, 도면 상호간에서도 서로의 치수의 관계나 비율이 다른 부분이 포함되는 경우가 있는 것은 물론이다.

(실시형태 1)

도 1은, 본 발명의 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛의 구성을 나타내는 사시도이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자 유닛(1)은, 검사대상인 액정 패널 등의 회로구조의 도통상태 검사나 동작 특성 검사를 행하는 것으로, 판형상을 이루는 복수의 도전성 접촉자(2)와, 복수의 도전성 접촉자(2)를 수용 유지하는 도전성 접촉자 홀더(3)와, 도전성 접촉자 홀더(3)에 고착되고, 복수의 도전성 접촉자(2)를 지지하는 막대형상부재(4)를 구비한다.

먼저, 도전성 접촉자(2)에 대하여 설명한다. 도 2는, 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자(2)의 구성을 나타내는 도면이다. 이하의 설명에서는, 도 2에서의 연직방향을 「도전성 접촉자(2)의 길이방향」, 도 2에서의 수평방향을 「도전성 접촉자(2)의 폭방향」, 이들 길이방향 및 폭방향과 각각 직교하는 방향, 즉 지면에 수직한 방향을 「도전성 접촉자(2)의 판 두께(두께)방향」이라 각각 부르기로 한다.

도 2에 나타내는 도전성 접촉자(2)는 도전성재료를 사용하여 판형상을 이루도록 형성되고, 다른 회로구조 사이의 전기적인 접속을 확립하는 것으로, 기설정된 회로구조(구체적으로는 검사용 회로를 포함하는 회로구조)와 물리적으로 접촉하는 제 1 접촉부(21)와, 제 1 접촉부(21)와는 다른 회로구조(구체적으로는 액정 패널 등의 검사대상)와 물리적으로 접촉하는 제 2 접촉부(22)와, 제 1 접촉부(21) 및 제 2 접촉부(22)의 사이에 개재하고, 길이방향으로 신축 자유로운 스프링형상의 탄성부(23)와, 제 1 접촉부(21) 및 탄성부(23)를 접속하는 제 1 접속부(24)와, 제 2 접촉부(22) 및 탄성부(23)를 접속하고, 판 두께방향으로 관통하는 개구부(26)가 형성된 제 2 접속부(25)를 구비한다.

제 2 접촉부(22)는, 제 2 접속부(25)의 폭방향의 가장자리 끝부보다 도전성 접촉자(2)의 중심부에서 멀어지는 방향으로 돌출하고 있다. 또, 탄성부(23)의 폭(폭방향의 길이)은, 제 1 접속부(24)의 폭이나 제 2 접속부(25)의 폭보다 2r만큼 작고, 탄성부(23)의 가장자리 끝부는, 제 1 접속부(24)나 제 2 접속부(25)의 가장자리 끝부보다 폭방향에서 도전성 접촉자(2)의 중심부에 근접하는 방향으로 퇴피하고 있다. 이 탄성부(23)의 제 1 접속부(24)[및 제 2 접속부(25)]의 폭방향의 양쪽 가장자리 끝부로부터의 퇴피량(r이라 한다)은 같다. 이 퇴피량(r)의 구체적인 값 은, 도전성 접촉자 홀더(3)에서 탄성부(23)를 유지하는 가이드홈(뒤에서 설명)의 홈 깊이 등에 따라 정해진다.

또한, 제 2 접촉부(22)의 형상은, 도전성 접촉자(2)의 재질이나 검사시에 도전성 접촉자(2)에 대하여 가해져야 하는 하중, 도전성 접촉자(2)를 수용 유지하는 도전성 접촉자 홀더(3)의 형상, 검사대상의 종류 등, 여러가지 조건에 의하여 정해져야 하는 것으로, 상기한 바와 같이 제 2 접속부(25)의 폭방향의 끝부보다 상기 폭방향으로 돌출하여 있으면, 그 형상의 세부에 대해서는 적절하게 변경하는 것이 가능하다.

다음에, 도전성 접촉자 홀더(3)에 대하여 설명한다. 도전성 접촉자 홀더(3)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 대략 직육면체형상의 외관 형상을 이루고, 상면부(3a)와 저면부(도 1에서는 도시 생략)를 관통하여 복수의 도전성 접촉자(2)를 유지하는 유지부(31)와, 유지부(31)를 거쳐 서로 대향하는 측면부(3b)의 기설정된 위치에 각각 형성되고, 막대형상부재(4)의 끝부를 고착하는 고착용 구멍부(32)를 가진다.

도 3은, 도전성 접촉자 홀더(3)의 상면부(3a)의 부분 확대 사시도이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 유지부(31)에는 도전성 접촉자(2)를 장착할 때에 그 도전성 접촉자(2)의 폭방향의 한쪽의 가장자리 끝부를 끼워 맞춰 유지하는 직선형상의 제 1 가이드홈(31a)과, 이 제 1 가이드홈(31a)과 대향하여 위치하고, 그 제 1 가이드홈(31a)에 끼워 넣어진 도전성 접촉자(2)의 폭방향의 다른쪽의 가장자리 끝부를 끼워 맞춰 유지하는 직선형상의 제 2 가이드홈(31b)이 복수 쌍 형성되어 있다. 쌍 을 이루는 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)은, 도전성 접촉자(2)를 그 길이방향과 수직한 면방향에 대하여 위치 결정하는 기능을 가짐과 동시에, 도전성 접촉자(2)의 신축동작을 가이드하는 기능을 가지고 있다. 또, 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)이 이루는 쌍 중, 인접하는 쌍끼리의 간격은 모두 같고, 또한 서로 평행이다.

제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)은, 동일한 홈 폭(w라 한다)을 가짐과 동시에, 동일한 홈 깊이(d라 한다)를 가진다. 이 중, 홈 깊이의 값(d)은, 도전성 접촉자(2)의 탄성부(23)가 퇴피량(r)보다 크다(d > r). 이에 의하여 유지부(31)에서는, 도전성 접촉자(2)를 제 1 가이드홈(31a)이나 제 2 가이드홈(31b)에서 일탈시키는 일 없이 확실하게 유지할 수 있다. 또한, 여기서는 제 1 가이드홈(31a)의 홈 깊이와 제 2 가이드홈(31b)의 홈 깊이가 같은 경우를 설명하였으나, 양 가이드홈의 홈 깊이가 서로 달라도 상관없다.

도 4는, 도전성 접촉자 홀더(3)의 유지부(31) 내부의 구성을 포함하는 도전성 접촉자 유닛(1)의 내부 구성을 나타내는 도면이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자 홀더(3)의 부분은, 도 3의 A-A선 단면에 상당하고 있다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)은, 도 4의 z축 방향(홈 폭방향 및 홈 깊이방향에 각각 수직한 방향)을 따라 서로 평행하게 연장된 구조를 가진다. 제 1 가이드홈(31a)이 도 4의 z축 방향으로 연장되는 길이는, 제 2 가이드홈(31b)이 같은 z축 방향으로 연장되는 길이보다 짧고, 제 2 가이드홈(31b)은 도전성 접촉자 홀더(3)의 저면부(3d)까지 도달하고 있으나, 제 1 가이드홈(31a)은 저 면부(3d)보다 연직 윗쪽의 위치까지밖에 도달하고 있지 않다.

이상의 구성을 가지는 도전성 접촉자 홀더(3)는, 도전성 접촉자(2)를, 도 1 및 도 4에 나타내는 좌표계(xyz)에서, 폭방향이 x축 방향과 평행이고, 판 두께방향이 y축 방향과 평행이며, 길이방향이 z축 방향과 평행이도록 유지하고 있다. 따라서, 도전성 접촉자(2)는, 제 1 가이드홈(31a) 등의 홈 폭(w)보다 약간 작고 균일한 판 두께를 가지고 있다. 또한, 도 4에서도 분명한 바와 같이, 도전성 접촉자(2)의 퇴피량(r)은, 제 1 가이드홈(31a) 등의 홈 깊이(d)와의 사이에서 관계식 d > r을 만족하는 것에 더하여, 도전성 접촉자 홀더(3)에 수용하였을 때에, 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)에서 일탈하지 않는 범위의 값으로서 설정된다.

도전성 접촉자(2)의 길이방향의 길이는, 개구부(26)가 막대형상부재(4)에 의하여 관통 가능하고, 제 1 접촉부(21) 및 제 2 접촉부(22)에 하중이 가해져 있지 않은 상태(도 4에 나타내는 상태)이며, 제 2 접촉부(22)의 선단이 도전성 접촉자 홀더(3)의 측면부(3c)보다 x축 양(+)의 방향으로 소정량 돌출되어 있다(돌출량을 δ₁이라 한다). 또, 제 2 접촉부(22)의 선단은, 도전성 접촉자 홀더(3)의 저면부(3d)에서 z축 음(-)의 방향으로 소정량 돌출되어 있다(돌출량을 h라 한다). 아울러, 제 2 접촉부(22)의 선단은, 탄성부(23)나 제 1 접속부(24)의 길이방향에 평행한 대칭축(O)으로부터 기설정된 거리 오프셋한 위치(오프셋량을 Δ₁이라 한다)에 형성되어 있다. 또한, 돌출량(δ₁ 및 h) 및 오프셋량(Δ₁)은, 도전성 접촉자(2)나 도전성 접촉자 홀더(3)의 크기, 검사대상에 가해져야 하는 하중 등의 조건에 따라 적절하게 정해진다.

도전성 접촉자 홀더(3)는, 도전성 접촉자(2)와 전기적으로 접속하여 단락이 발생하는 것을 방지하는 관점에서, 절연성재료에 의하여 형성되는 것이 바람직하다. 예를 들면, 저열팽창의 합성수지를 사용하여 도전성 접촉자 홀더(3)를 형성하고, 다이싱 등에 의하여 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)을 형성하면 된다. 그외에도, 예를 들면 알루미나(Al₂O₃), 지르코니아(ZrO₂), 실리카(SiO₂) 등의 세라믹스, 실리콘, 에폭시 등의 열경화성수지, 폴리카보네이트 등의 엔지니어링 플라스틱 등에 의하여 도전성 접촉자 홀더(3)의 모재를 형성하고, 에칭 등의 가공기술에 의하여 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)을 형성하여도 된다. 또, 절연성부재를 사용하여 도전성 접촉자 홀더(3)를 형성하는 대신에, 다른 적당한 재료(절연성의 유무는 묻지 않는다)를 사용하여 모재를 형성하고, 도전성 접촉자(2)와 접촉할 수 있는 부분[제 1 가이드홈(31a)이나 제 2 가이드홈(31b)을 포함하는 부분]에 대하여 적당한 절연성 도료를 도포한 구성으로 하여도 된다. 또한, 도전성 접촉자(2)의 표면의 일부 또는 전부에 대하여 절연성 도료를 도포하여도 된다.

계속해서, 막대형상부재(4)에 대하여 설명한다. 막대형상부재(4)는, 복수의 도전성 접촉자(2)를 유지부(31)에 장착하고, 각 도전성 접촉자(2)의 개구부(26)를 관통한 후, 그 양쪽 끝부가 도전성 접촉자 홀더(3)의 서로에 대향하는 측면부(3b)에 각각 형성된 고착용 구멍부(32)에 삽입되고, 도전성 접촉자 홀더(3)에 대하여 고착된다. 막대형상부재(4)는, 유지부(31)로 유지하는 복수의 도전성 접촉자(2)의 개구부(26)를 일괄하여 관통함으로써, 도전성 접촉자(2)의 유지부(31)로부터의 빠짐 방지기능을 함과 동시에, 도전성 접촉자(2)에 대하여 초기 휘어짐을 부여하는 기능을 한다.

막대형상부재(4)의 길이방향에 수직한 단면은, 장방형의 모서리를 모따기한 형상을 하고, 그 단면의 면적은, 도전성 접촉자(2)가 가지는 개구부(26)의 면적보다 작다. 이와 같은 단면형상으로 함으로써, 도전성 접촉자(2)에 대하여 고착용 구멍부(32)를 형성할 때의 가공을 용이하게 할 수 있다. 또, 상기한 단면형상으로 함으로써, 도전성 접촉자(2)에 하중을 가하였을 때의 도전성 접촉자(2)의 움직임을 원활하게 함과 동시에, 도전성 접촉자(2)에 기설정된 하중을 가하였을 때의 막대형상부재(4)에서의 지지 안정성을 확보하는 것도 가능해진다. 또한 도전성 접촉자(2)에 검사대상을 접촉시켰을 때에, 개구부(26)가 막대형상부재(4)로부터 이간되어, 막대형상부재(4)에 대하여 자유롭게 이동할 수 있게 된다. 이 결과, 뒤에서 설명하는 바와 같이 도전성 접촉자(2)가 미소한 회전을 일으키는 것이 가능해진다.

또한, 막대형상부재(4)의 길이방향에 수직한 단면형상은 상기한 것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 다각형이나 정방형 등이어도 되고, 원형이어도 된다. 고착용 구멍부(32)의 형상이, 막대형상부재(4)의 단면형상에 따라 변하는 것은 물론 이다.

이상의 구성을 가지는 막대형상부재(4)는, 절연성재료로 형성된다. 이 막대형상부재(4)는, 다수의 도전성 접촉자(2)의 개구부(26)를 관통하고, 관통한 모든 도전성 접촉자(2)를 지지하는 것을 감안하여, 강성이 높고 하중이 가해져도 휘어짐 이 적은 세라믹스 등의 절연성재료가 특히 바람직하다.

도 5는 도전성 접촉자 홀더(3)의 위쪽에, 검사용 신호를 생성 출력하는 신호처리회로와의 전기적인 접속을 확립하는 회로 기판을 설치한 상태를 나타내는 부분확대도이고, 비교를 위해 도 4에 나타내는 도전성 접촉자(2)의 위치를 1점 쇄선에 의하여 나타내고 있다. 도 4에 나타내는 회로 기판(100)은, 폴리이미드 등으로 이루어지는 시트형상의 기재의 한쪽의 표면에, 니켈 등으로 이루어지는 다수의 배선 및 접속용 전극이 형성된 것이다.

도 5에서는, 회로 기판(100)의 전극이 도전성 접촉자(2)의 제 1 접촉부(21)와 접촉하도록 위치 결정을 행하고, 도전성 접촉자 홀더(3)와 동일한 재료로 이루어지는 고정부재(101) 및 도전성 접촉자 홀더(3)에 의하여 회로 기판(100)을 끼워 유지하여 고정한 상태를 나타내고 있다. 회로 기판(100)을 도전성 접촉자 유닛(1)에 고정할 때에는, 도전성 접촉자 홀더(3)와 고정부재(101)를 나사 등에 의하여 체결하면 된다.(도시 생략). 도 4에 나타내는 상태로부터 도 5에 나타내는 상태로 천이하면, 각 도전성 접촉자(2)에는, 자신에게 작용하는 중력 이외의 힘에 기인하는 하중(초기 하중)이 가해져, 각 탄성부(23)가 길이방향으로 수축한다.

종래의 도전성 접촉자 유닛에서는, 도전성 접촉자에 초기 하중을 부여하기 위하여 평판형상의 덮개부재를 사용하고 있었으나, 이와 같은 덮개부재를 사용하면 그 덮개부재의 두께분만큼 도전성 접촉자의 선단의 접촉부의 돌기량을 증가시킬 필요가 있었고, 이 때문에 하중이 가해졌을 때에 불안정해지는 부분이 차지하는 비율이 커져, 선단 부근이 구부러지기 쉬워진다는 문제가 있었다. 이것에 대하여, 도 전성 접촉자 유닛(1)에서는 덮개부재를 사용하고 있지 않기 때문에, 상기한 문제가 생길 염려가 없고, 제 1 접촉부(21)를 종래보다 현저하게 작게 형성하는 것이 가능해진다.

다음에, 도전성 접촉자 유닛(1)과 검사대상과의 접촉형태에 대하여 설명한다. 도 6a는 검사대상(200)이 도전성 접촉자의 제 2 접촉부(22)에 접촉한 직후의 도전성 접촉자(2)의 하단부 근방의 상태를 나타내는 도면이다. 또, 도 6b는 검사대상(200)을 검사시의 위치까지 상승시켰을 때의 도전성 접촉자(2)의 하단부 근방의 상태를 나타내는 도면이다. 도 6b에서는, 비교를 위하여 접촉 직후의 도전성 접촉자(2)의 위치를 1점 쇄선에 의하여 나타내고 있다.

제 2 접촉부(22)의 선단은, 도 4를 참조하여 설명한 바와 같이, 탄성부(23)나 제 1 접속부(24)의 길이방향의 대칭축(중심축)(O)으로부터 Δ₁만큼 오프셋되어 있다. 이 때문에, 검사대상(200)에 접촉한 제 2 접촉부(22)의 선단부에 작용하는 하중의 작용선이 도전성 접촉자(2)의 중심을 통과하지 않기 때문에, 도전성 접촉자(2)에는 모멘트가 발생한다. 이 결과, 도 6a에 나타내는 상태로부터 도 6b에 나타내는 상태로 천이하는 동안, 도전성 접촉자(2)는, 탄성부(23)가 수축됨과 동시에 개구부(26)가 막대형상부재(4)로부터 이간되고, 상기한 모멘트에 의하여 미소하게 회전한다. 이 회전은, 탄성부(23)의 폭방향의 끝부와 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)과의 사이에 미소한 간극이 존재하고 있는 것, 및 막대형상부재(4)의 판 두께방향과 직교하는 단면적이 개구부(26)의 면적보다 작은 것에 의하여 생긴 다.

상기한 회전에 의하여 제 2 접촉부(22)는, 도 6b에서 시계방향으로 미소 각만큼 회전하고, 검사대상(200)의 표면 상을, 접촉상태를 지속하면서 이동한다. 더욱 구체적으로는, 제 2 접촉부(22)의 선단은, 초기 접촉점(P₁)에서 최종 접촉점(P₂)까지 검사대상(200) 상을 긁어 미끄러지면서 x축 양의 방향으로 x₁(>0)만큼 이동한다. 이와 같이 하여, 제 2 접촉부(22)의 선단이 검사대상(200) 상을 이동함으로써, 검사대상(200)의 표면에 형성된 산화막이나 그 표면에 부착된 오염을 제거하여, 검사대상(200)과의 사이에서 안정된 전기적 접촉을 얻는 것이 가능해진다. 그때, 검사대상(200)의 이동속도(상승 속도)를 적절하게 제어하면, 제 2 접촉부(22)의 선단이 검사대상(200)의 표면을 크게 손상하지 않고, 도전성 접촉자(2)에도 과도한 하중을 가하지 않아도 된다.

도 6a에 나타내는 상태로부터 도 6b에 나타내는 상태에 도달하기 까지의 사이에, 탄성부(23)도 미소 각만큼 회전한다. 이때, 탄성부(23)는 하중에 의한 수축에 의하여 탄성변형을 일으킨다. 이 탄성변형의 형태는, 탄성부(23)를 이루는 스프링의 피치마다 미소하게 다르나, 탄성부(23)는 제 2 접속부(25)의 끝부로부터 중심방향으로 퇴피량(r)을 가지고, 제 2 접속부(25)보다 폭이 좁기 때문에, 탄성부(23)의 탄성변형의 형태에 상관없이 제 2 가이드홈(31b)의 바닥부와 접촉하여 마찰을 일으킬 염려는 없다.

이와 같이, 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자(2)에 의하면, 탄성부(23)에 하중이 걸려도, 탄성부(23)에는 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)으로부터 일탈하지 않는 범위에서 설정되는 퇴피량(r)이 존재하기 때문에, 탄성부(23)의 가장자리 끝부가 제 1 가이드홈(31a)이나 제 2 가이드홈(31b)의 바닥부에 접촉하는 일이 없다. 따라서, 탄성부(23)와 각 가이드홈의 바닥부와의 사이의 마찰을 저감할 수 있고, 도전성 접촉자(2)가 슬라이딩할 때의 탄성부(23)의 걸림을 억제하여, 확실한 원점 복귀 능력을 구비시킬 수 있음과 동시에, 마찰에 의하여 발생하는 마모분의 발생량을 감소시켜, 검사대상(200)이 마모분에 의하여 오염되는 것을 방지할 수 있다.

또, 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자(2)에 의하면, 도전성 접촉자 홀더(3)와의 슬라이딩 저항이 작아지고, 도전성 접촉자(2)의 검사 하중값의 불균일을 적게 하여 안정화하는 것도 가능해진다. 이 결과, 더욱 하중이 작은 스프링을 탄성부(23)로서 적용할 수 있고, 탄성부(23)에 가해지는 응력을 감소시켜, 반복되는 응력에 대한 도전성 접촉자(2)의 내구성을 향상시킬 수 있다. 아울러, 하중을 작게 함으로써 제 2 접촉부(22)의 선단부의 변형도 억제할 수 있기 때문에, 이 의미에서도 도전성 접촉자(2)의 내구성을 향상시킬 수 있다.

이상 설명한 도전성 접촉자 유닛(1)은, 도전성 접촉자(2)의 탄성부(23)의 신축방향을 따라 연장한 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)에 일부를 끼워 넣은 상태에서, 도전성 접촉자(2)를 유지하고 있다. 이 때문에, 판형상의 도전성 접촉자(2)에 특유한 문제인 탄성부(23)의 수축시의 좌굴 및 비틀림의 발생을 방지하고, 그것들에 기인하는 탄성부(23)의 스프링 특성의 열화를 일으키지 않아도 된 다. 따라서, 도전성 접촉자(2)에 적절한 범위 내에서 일정 이상의 하중을 가하여도 좌굴이나 비틀림이 생기는 일 없이 큰 스트로크를 실현할 수 있어, 검사대상(200)과의 사이에서 원하는 접촉상태를 얻는 것이 가능해진다.

또, 도전성 접촉자 유닛(1)에서는, 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)에 의하여 도전성 접촉자(2)를 유지하는 것으로 하였기 때문에, 도전성 접촉자(2)와 도전성 접촉자 홀더(3)[의 유지부(31)]와의 사이의 접촉면적을 저감하여 슬라이딩 저항을 감소시킬 수 있어, 도전성 접촉자(2)의 신축 동작을 원활하게 행하는 것이 가능해진다.

또한, 도전성 접촉자 유닛(1)은, 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)의 각 홈 폭(w)이 도전성 접촉자(2)의 판 두께와 동일한 정도의 값으로 되고, 서로 인접하는 제 1 가이드홈(31a) 사이의 간격 및 제 2 가이드홈(31b) 사이의 간격은, 인접하는 도전성 접촉자(2) 사이의 절연성을 충분히 확보할 수 있는 값이면, 임의의 작은 값이어도 된다. 따라서, 복수의 도전성 접촉자(2)의 배열간격을 협소화하는 것이 가능하고, 접촉대상의 회로구조가 가지는 접속용 전극이나 단자의 배열간격의 협소화에도 충분히 대응할 수 있다.

아울러, 도전성 접촉자 유닛(1)에서는, 도전성 접촉자(2)에 막대형상부재(4)를 관통함으로써 도전성 접촉자(2)에 초기 휘어짐을 줌과 동시에, 빠짐 방지를 하고 있다. 이 결과, 제 2 접촉부(22)의 선단, 즉 도전성 접촉자(2)의 하단이 도전성 접촉자 홀더(3)의 저면부(3d)에서 연직 아래쪽으로 돌출하는 돌출량(h)을 작게 할 수 있다. 환언하면, 제 2 접촉부(22)를 작게 할 수 있고, 도전성 접촉자(2)의 선단의 구부러짐을 방지하여, 안정되게 유지하는 것이 가능해지고, 도전성 접촉자(2)가 하단부 부근에서 제 1 가이드홈(31a) 및/또는 제 2 가이드홈(31b)에서 벗어나는 것을 억제할 수 있다. 이 결과, 도전성 접촉자(2)의 위치 정밀도가 높아지고, 도전성 접촉자 유닛(1)의 신뢰성 및 내구성을 향상시킬 수 있다.

그런데, 도전성 접촉자 유닛(1)을 조립할 때에 도전성 접촉자(2)를 유지부(31)에 수용하는 공정은, 제 1 접촉부(21)측을 먼저 유지부(31)의 내부에 삽입하고, 폭방향의 가장자리 끝부를 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)에 끼워 넣음으로써 완료한다. 따라서 종래의 도전성 접촉자 유닛과 비교하여도 조립이 용이하고, 제조비용을 저감한다는 효과를 얻을 수도 있다.

이상 설명한 본 발명의 실시형태 1에 의하면, 다른 회로구조의 어느 하나와 물리적으로 접촉하는 제 1 접촉부와, 상기 제 1 접촉부와는 다른 회로구조와 물리적으로 접촉하는 제 2 접촉부와, 길이방향을 따라 상기 제 1 접촉부와 상기 제 2 접촉부와의 사이에 개재하고, 상기 길이방향으로 신축 자유로운 탄성부와, 상기 탄성부와 상기 제 1 접촉부를 접속하는 제 1 접속부와, 상기 탄성부와 상기 제 2 접촉부를 접속하고, 판 두께방향으로 관통하는 개구부가 형성된 제 2 접속부를 구비하며, 상기 탄성부의 적어도 일부에서는, 상기 길이방향 및 상기 판 두께방향과 각각 직교하는 폭방향의 길이를, 상기 제 1 접속부 및 상기 제 2 접속부가 각각 가지는 상기 폭방향의 길이보다 작게 함으로써, 하중값의 불균일이 적고, 확실하게 원점 복귀하는 능력을 가지며, 내구성이 우수한 도전성 접촉자 및 상기 도전성 접촉자를 사용한 도전성 접촉자 유닛을 제공할 수 있다.

또, 본 실시형태 1에 의하면, 도전성 접촉자의 검사대상과의 접촉부분(제 2 접촉부)이 도전성 접촉자 홀더보다 폭방향에서 바깥쪽으로 돌출되어 있기 때문에, 실제의 검사시, 오퍼레이터는, 도전성 접촉자 유닛의 윗쪽으로부터의 육안이나 현미경에 의한 관찰을 용이하게 행하여, 도전성 접촉자의 선단과 검사대상의 물리적인 접촉을 확인하면서 검사작업을 행할 수 있다. 이에 의하여 오퍼레이터는, 자세를 구부리거나 하여 도전성 접촉자와 검사대상의 접촉상황을 관찰할 필요가 없어진다. 따라서, 검사의 작업성, 신뢰성을 한층 더 향상시킬 수 있음과 동시에, 오퍼레이터의 부담을 경감할 수 있다.

또한, 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자에 의하면, 판형상의 외관형상을 가짐으로써, 배열 간격의 협소화에 대응 가능함과 동시에, 과도한 하중을 가하는 일없이 안정된 전기적 접촉을 얻는 것이 가능해진다.

(실시형태 1의 변형예)

도 7은, 본 실시형태 1의 제 1 변형예에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 도면이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자(5)는, 도전성 접촉자(2)와 마찬가지로, 제 1 접촉부(51), 제 2 접촉부(52), 탄성부(53), 제 1 접속부(54), 제 2 접속부(55) 및 개구부(56)를 구비한다. 본 변형예에서도, 복수의 도전성 접촉자(5)를 도전성 접촉자 홀더(3)에 수용함으로써 도전성 접촉자 유닛이 구성된다.

탄성부(53)는, 제 2 접촉부(52)의 선단이 검사대상(200)에 접촉하였을 때, 상기 실시형태 1과 마찬가지로, 제 2 가이드홈(31b)의 저면에 더욱 근접하는 측[제 2 접촉부(52)가 형성된 가장자리 끝부와는 반대측의 가장자리 끝부], 즉 도 7에서 오른쪽의 가장자리 끝부만이, 제 1 접속부(54) 및 제 2 접속부(55)의 가장자리 끝부보다 폭방향을 도전성 접촉자(5)의 중심부에 근접하는 방향으로 퇴피하고 있다[퇴피량(r)]. 탄성부(53) 이외의 각 부의 형상은, 도전성 접촉자(2)에서 대응하는 각 부의 형상과 각각 동일하다.

도 8은, 본 실시형태 1의 제 2 변형예에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 도면이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자(6)는, 도전성 접촉자(2)와 마찬가지로, 제 1 접촉부(61), 제 2 접촉부(62), 탄성부(63), 제 1 접속부(64), 제 2 접속부(65) 및 개구부(66)를 구비한다. 또, 복수의 도전성 접촉자(6)를 도전성 접촉자 홀더(3)에 수용함으로써 도전성 접촉자 유닛이 구성되는 점은, 상기 실시형태 1과 동일하다.

탄성부(63)는, 제 2 접촉부(62)의 선단이 검사대상(200)에 접촉하였을 때, 상기 실시형태 1과 마찬가지로 제 2 가이드홈(31b)의 저면에 더욱 근접하는 측에서 가장 좌굴량이 큰 부분에 대해서만 제 1 접속부(64) 및 제 2 접속부(65)의 끝면으로부터의 퇴피를 가지고 있다.

또한, 도 8에 나타내는 경우, 퇴피량(r)을 가지는 부분이, 제 2 접속부(65)와 가장 근접하는 피치인 경우를 나타내고 있으나, 이것은 어디까지나 일례에 지나지 않고, 퇴피량을 가지는 부분이 도전성 접촉자의 형상에 의하여 변화되는 것은 물론이다. 이 의미에서는, 도전성 접촉자의 형상에 따라, 퇴피를 마련하는 장소(피치)의 추가 및/또는 변경을 행하면 되고, 퇴피량을 장소마다 변화시켜도 된다.

이상 설명한 본 실시형태 1의 2개의 변형예에 의하면, 제 2 접촉부의 형상을 가미한 다음에 퇴피를 마련하는 부분을 줄이고, 탄성부 자체의 체적을 더욱 많게 함으로써, 상기 실시형태 1과 동일한 효과를 가지는 것에 더하여, 도전성 접촉자의 내구성을 한층 더 향상시키는 것이 가능해진다.

(실시형태 2)

도 9는, 본 발명의 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 도면이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자(7)는, 도전성재료를 사용하여 형성되고, 판형상을 이룬다. 또, 상기 실시형태 1에서 설명한 도전성 접촉자 홀더(3)에 대하여 복수의 도전성 접촉자(7)를 수용함으로써, 본 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자 유닛을 구성할 수 있다.

본 발명의 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자(7)는, 기설정된 회로구조(구체적으로는 검사용 회로를 포함하는 회로구조)와 물리적으로 접촉하는 제 1 접촉부(71)와, 제 1 접촉부(71)와는 다른 회로구조(구체적으로는 액정 패널 등의 검사대상)와 물리적으로 접촉하는 제 2 접촉부(72)와, 제 1 접촉부(71)와 제 2 접촉부(72)의 중간에 위치하는 평판부(73)와, 제 1 접촉부(71)와 평판부(73)의 사이에 개재하고, 길이방향으로 신축 자유로운 탄성부(74a)와, 제 1 접촉부(71) 및 탄성부(74a)를 접속하는 제 1 접속부(75)를 구비한다. 또, 도전성 접촉자(7)는, 제 2 접촉부(72)와 평판부(73)의 사이에 개재하고, 길이방향으로 신축 자유로운 탄성부(74b)와, 제 2 접촉부(72) 및 탄성부(74b)를 접속하고, 판 두께방향으로 관통하는 개구부(77)가 형성된 제 2 접속부(76)를 구비한다. 평판부(73)의 폭은, 제 1 접속부(75)의 폭이나 제 2 접속부(76)의 폭과 동일하다.

제 2 접촉부(72)는, 제 2 접속부(76)의 폭방향의 가장자리 끝부보다 도전성 접촉자(7)의 중심부에서 멀어지는 방향으로 돌출되어 있다. 또, 탄성부(74a)의 폭이나 탄성부(74b)의 폭은, 제 1 접속부(75)의 폭이나 제 2 접속부(76)의 폭보다 2r만큼 작고, 제 1 접속부(75)나 제 2 접속부(76)의 가장자리 끝부보다 폭방향에서 도전성 접촉자(7)의 중심부에 근접하는 방향으로 퇴피하고 있다. 탄성부(74a 및 74b)의 제 1 접속부(75)[및 제 2 접속부(76)]의 폭방향의 양쪽 가장자리 끝부로부터의 퇴피량은, 모두 r로 같다. 이 퇴피량(r)의 구체적인 값은, 도전성 접촉자 홀더(3)에서 탄성부(74a 및 74b)를 유지하는 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)의 홈 깊이 등에 따라 정해진다.

또한, 도 9에서는 제 1 접속부(75), 제 2 접속부(76) 및 평판부(73)의 폭이 같고, 또한 탄성부(74a 및 74b)의 폭이 제 1 접속부(75) 등의 폭보다 2r만큼 작은 경우를 나타내고 있으나, 평판부(73)의 폭은, 제 1 접속부(75)의 폭이나 제 2 접속부(76)의 폭보다 작아도 된다. 또, 탄성부(74a 및 74b)는, 상기 실시형태 1의 변형예와 마찬가지로 일부에만 퇴피를 가져도 되고, 길이방향을 따라 부분마다 퇴피량이 달라도 된다.

이상 설명한 본 발명의 실시형태 2에 의하면, 상기 실시형태 1과 마찬가지로 하중값의 불균일이 적고 확실하게 원점 복귀하는 능력을 가지며, 내구성이 우수한 도전성 접촉자 및 상기 도전성 접촉자를 사용한 도전성 접촉자 유닛을 제공할 수 있다.

또, 본 실시형태 2에 의하면, 도전성 접촉자의 탄성부를 길이방향을 따라 2 개로 분할하는 평판부를 설치하였기 때문에, 제 1 가이드홈의 바닥부나 제 2 가이드홈의 바닥부와의 슬라이딩 클리어런스를 작게 하여 덜컥거림을 저감하고, 제 1 탄성부 및 제 2 탄성부의 가이드홈으로부터의 일탈이나 길이방향 이외로의 변형을 억제하는 것이 가능해진다.

도 10은 본 실시형태 2의 일 변형예에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 도면이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자(8)는, 2개의 평판부(83a 및 83b)를 가지고, 이들 2개의 평판부를 거쳐 3개의 탄성부[탄성부(84a, 84b 및 84c)]를 구비한다. 탄성부(84a∼84c)는, 하중이 가해졌을 때에 제 2 가이드홈(31b)에 대하여 근접하는 측의 가장자리 끝부[제 2 접촉부(82)가 형성된 가장자리 끝부와는 반대측의 가장자리 끝부]가, 도전성 접촉자(8)의 중심부에 근접하는 방향으로 퇴피하고 있다[퇴피량(r)]. 또한, 제 1 접촉부(81), 제 2 접촉부(82), 제 1 접속부(85) 및 제 2 접속부(86)[개구부(87)를 포함한다]의 구성은, 상기한 도전성 접촉자(7)에서 대응하는 부위와 각각 동일하다.

도 10에서도 분명한 바와 같이, 탄성부를 길이방향을 따라 분할하는 평판부의 수는, 도전성 접촉자의 형상 등의 조건에 따라 적절하게 변경 가능하다. 또, 탄성부에서 퇴피를 마련하는 부분이나 다른 부위로부터의 퇴피량도, 도전성 접촉자의 형상 등의 조건에 따라 변경 가능하다.

(그 밖의 실시형태)

지금까지 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태로서, 실시형태 1 및 2를 상세하게 설명하여 왔으나, 본 발명은 그것들 2개의 실시형태에 의해서만 한정되어야 하는 것은 아니다. 예를 들면, 본 발명은, 탄성부의 적어도 일부의 폭이 다른 부분의 폭보다 작고, 또한 다른 부분의 가장자리 끝부보다 도전성 접촉자 본체의 중심부의 방향으로 퇴피하여 있으면 되고, 다른 부분의 형상에 대해서는, 판형상을 이루고만 있으면 상기한 이외의 임의의 형상을 취하는 것이 가능하다.

또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 액정 패널을 검사하는 이외에도, 반도체 칩을 탑재한 패키지 기판이나 웨이퍼 레벨의 검사에 사용하는 고밀도 프로브 유닛의 검사에도 적용 가능하다.

이와 같이, 본 발명은 여기서는 기재하고 있지 않은 여러가지 실시형태 등을 포함할 수 있는 것으로, 특허청구범위에 의해 특정되는 기술적 사상을 일탈하지 않는 범위 내에서 여러가지의 설계변경 등을 실시하는 것이 가능하다.

이상과 같이, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 및 도전성 접촉자 유닛은, 액정 패널이나 반도체 집적회로 등의 전자부품에서의 도통상태 검사나 동작 특성 검사를 행할 때에 유용하며, 특히 접속단자의 배열간격이 협소화된 검사대상에 적합하다.

Claims

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다른 회로구조 중 어느 하나와 물리적으로 접촉하는 제 1 접촉부와, 상기 제 1 접촉부와는 다른 회로구조와 물리적으로 접촉하는 제 2 접촉부와, 길이방향을 따라 상기 제 1 접촉부와 상기 제 2 접촉부와의 사이에 개재하여, 상기 길이방향으로 신축 자유로운 스프링 형상의 탄성부와, 상기 탄성부와 상기 제 1 접촉부를 접속하는 판 형상의 제 1 접속부와, 상기 탄성부와 상기 제 2 접촉부를 접속하여, 판 두께방향으로 관통하는 개구부가 형성된 판 형상의 제 2 접속부를 가지는 도전성 접촉자와,

복수의 상기 도전성 접촉자를 수용하기 위하여, 상기 스프링 형상의 탄성부, 상기 제 1 접속부, 및 상기 제 2 접속부의 폭방향의 한쪽의 가장자리 끝부를 끼워 맞춰 유지하는 제 1 가이드홈 및 상기 제 1 가이드홈과 대향하여 위치하고, 상기 제 1 가이드홈에 끼워 넣어진 상기 스프링 형상의 탄성부, 상기 제 1 접속부, 및 상기 제 2 접속부의 폭방향의 다른쪽의 가장자리 끝부를 끼워 맞춰 유지하는 제 2 가이드홈을 각각 복수 개 가지는 도전성 접촉자 홀더와,

상기 도전성 접촉자 홀더로 수용하는 복수의 상기 도전성 접촉자가 각각 가지는 상기 제 2 접속부에 형성된 상기 개구부를 관통하고, 상기 도전성 접촉자 홀더에 고착되어 이루어지는 막대형상부재를 구비하고,

상기 제 2 접촉부는, 상기 길이방향 및 상기 판 두께방향과 각각 직교하는 폭방향으로, 상기 도전성 접촉자 홀더의 측면부보다 돌출하고,

상기 도전성 접촉자가 가지는 상기 탄성부의 적어도 일부는, 상기 폭방향의 길이가, 상기 제 1 접속부 및 상기 제 2 접속부가 각각 가지는 상기 폭방향의 길이보다 작고,

상기 제 2 접촉부가 회로구조와 접촉하여 이동하였을 때에, 상기 탄성부는, 상기 제 1 가이드홈의 바닥부 및 상기 제 2 가이드홈의 바닥부에 접촉하는 일 없이, 상기 제 1 가이드홈과 상기 제 2 가이드홈에 유지된 채로 탄성 변형하는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.
제 8항에 있어서,

상기 막대형상부재의 길이방향에 수직한 단면적은, 상기 도전성 접촉자에 형성된 상기 개구부의 면적보다도 작은 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.