CN101506666A - 导电性接触件及导电性接触件单元 - Google Patents

导电性接触件及导电性接触件单元 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种可应对配列间隔的狭小化并具有优异的耐久性，并且能够容易以目视方式观察与检查对象的接触状况的导电性接触件及导电性接触件单元。为了达成此目的，该导电性接触件具备：与输出检查用的信号的电路构造接触的第1接触部；具有在与长度方向正交且与宽度方向平行的方向上延伸的多个直线部、及将相邻的上述直线部连接而弯曲为圆弧状的多个弯曲部，且可于长度方向伸缩的弹性部；与检查对象接触的前端比上述弹性部的宽度方向的边缘端部更向从上述弹性部的宽度方向的中心轴远离的方向突出的第2接触部，并且，上述多个弯曲部中，在上述第2接触部突出的一侧弯曲的上述弯曲部的外径越接近上述第2接触部的前端则越小，且上述多个弯曲部中，在与上述第2接触部突出的一侧为相反侧弯曲的上述弯曲部的外径越接近上述第2接触部的前端则越大。

Description

导电性接触件及导电性接触件单元
技术领域
本发明涉及一种在进行液晶面板或半导体集成电路等的电子部件的导通状态检查或动作特性检查时，与该电子部件的电极或端子接触以进行电信号的接收传送的导电性接触件及使用该导电性接触件所构成的导电性接触件单元。
背景技术
以往，在关于半导体集成电路等检查对象的电气特性检查的技术领域中，众所周知有具备下列功能的导电性接触件单元的相关技术，即具有与半导体集成电路的连接用电极对应地配设多个导电性接触件，并将导电性接触件物理性与连接用电极接触，由此以确保电导通的功能。导电性接触件单元具备：多个导电性接触件；及用于保持该多个导电性接触件的导电性接触件支架。在如此的导电性接触件单元中，已经提出了用于随着作为检查对象的半导体集成电路等的精细化倾向而能够对应于连接用电极的配列间隔的狭小化的种种技术。
例如下列专利文献1中，公开有一种关于具备与检查对象接触的接触部及对于该接触部弹性施力的弹性部，并形成为板状的导电性接触件的技术。在该现有技术中，在板厚度方向以狭窄之间隔排列配置多个导电性接触件而配置，由此可应对检查对象的连接用电极的配列间隔的狭小化。
专利文献1：日本特开2001-343397号公报
然而，在上述的现有技术中，由于导电性接触件的前端在与弹性体的伸缩方向大致平行的方向行进(stroke)，因此无法充分去除形成在检查对象的表面的氧化膜或附着于其表面的脏污等，而有导致无法获得稳定的电接触的情况。在此情况下，也有导致对导电性接触件施加过度的载荷，使得导电性接触件的耐久性产生间题。
此外，在进行检查时，期望操作人员能够以目视方式观察导电性接触件的前端与检查对象的接触，然而，由于以往的导电性接触件单元从上方观看时，下方侧的导电性接触件的前端较导电性接触件支架的侧面更位于内侧，因此在观察导电性接触件的前端部附近的与检查对象的接触状况时，操作人员本身必需弯曲姿势等以观看接触处附近，而随着观察次数的增加，使操作人员的负担也随着增大。
发明内容
本发明鉴于上述情形，其目的在于提供一种可应对配列间隔的狭小化并具有优异的耐久性，并且能够容易以目视方式观察与检查对象的接触状况的导电性接触件及导电性接触件单元。
为了解决上述课题并达成目的，本发明的一方式的导电性接触件，其形成为板状，且将输出检查用的信号的电路构造与检查对象电连接，其特征在于，具备：第一接触部，其位于该导电性接触件的长度方向的端部，并与所述电路构造接触；弹性部，其具有在与所述长度方向正交且与该导电性接触件的宽度方向平行的方向上延伸的多个直线部、及将相邻的所述直线部彼此连接并弯曲为圆弧状的多个弯曲部，且所述弹性部位于所述长度方向的中间部，并能够在所述长度方向伸缩；以及第二接触部，其位于所述长度方向的与所述第一接触部不同的端部，且与所述检查对象接触的前端与所述弹性部的宽度方向的边缘端部相比，在更远离所述弹性部的宽度方向的中心轴的方向上突出，并且所述多个弯曲部中，在所述第二接触部突出的一侧弯曲的所述弯曲部的外径越接近所述第二接触部的前端则越小；所述多个弯曲部中，在与所述第二接触部突出的一侧相反的相反侧弯曲的所述弯曲部的外径越接近所述第二接触部的前端则越大。
此外，在上述发明中，可构成为所述多个弯曲部中，在所述第二接触部突出的一侧弯曲的所述弯曲部的外径以连接所述第一及第二接触部的各自前端的直线作为基准直线，并与使用此基准直线而对于各弯曲部所确定的第一基准量对应地进行线性变化；所述多个弯曲部中，在与所述第二接触部突出的一侧相反的相反侧弯曲的所述弯曲部的外径与使用所述基准直线对各弯曲部规定的第二基准量对应地进行线性变化。
此外，在上述发明中，可构成为：所述直线部的线径越远离所述第一接触部的前端则越大。
此外，在上述发明中，可构成为：所述直线部的线径与从所述第一接触部的前端或所述第二接触部的前端至所述直线部的中心为止的距离对应地进行线性变化。
此外，在上述发明中，可构成为还具备：还具备：第一连接部，其连接所述第一接触部及所述弹性部；以及第二连接部，其连接所述弹性部及所述第二接触部，并形成有贯通该导电性接触件的板厚方向的开口部，所述第一连接部、所述第二连接部及所述弹性部各自的所述宽度方向上的长度互为相等。
此外，在上述发明中，可构成为还具备：第一连接部，其连接所述第一接触部与所述弹性部；以及第二连接部，其连接所述弹性部与所述第二接触部，并形成有贯通该导电性接触件的板厚方向的开口部，在所述弹性部的宽度方向的边缘端部中的与所述第二接触部突出的一侧为相反侧的边缘端部与所述第一及第二连接部的宽度方向的边缘端部中的与所述第二接触部突出的一侧为相反侧的边缘端部相比，朝更靠近所述弹性部的宽度方向的中心轴的方向退避。
此外，在上述发明中，可构成为：在所述弹性部的宽度方向的边缘端部中的所述第二接触部突出侧的边缘端部与所述第一及第二连接部的宽度方向的边缘端部中的所述第二接触部突出侧的边缘端部相比，朝更靠近所述弹性部的宽度方向的中心轴的方向退避。
本发明其它方式的导电性接触件单元，其特征为具备：呈板状的多个导电性接触件，其具有：第一接触部，位于长度方向的端部，并与输出检查用的信号的电路构造接触；弹性部，具有在与所述长度方向正交且与该导电性接触件的宽度方向平行的方向上延伸的多个直线部及将相邻的所述直线部彼此连接并弯曲为圆弧状的多个弯曲部，且位于所述长度方向的中间部，并能够在所述长度方向上伸缩；第二接触部，位于所述长度方向的与所述第一接触部不同的端部，且与所述检查对象接触的前端与所述弹性部的宽度方向的边缘端部相比，在更远离所述弹性部的宽度方向的中心轴的方向上突出；第一连接部，连接所述第一接触部及所述弹性部；第二连接部，连接所述弹性部及所述第二接触部，并形成有贯通厚度方向的开口部，导电性接触件支架，其具有：多个第一引导槽，嵌合保持所述导电性接触件的长度方向的一方的边缘端部中的所述第二接触部突出侧的边缘端部；多个第二引导槽，位于与所述多个第一引导槽分别相对向的位置，并嵌合保持嵌入于相对向的所述第一引导槽的所述导电性接触件的另一方的边缘端部；棒状构件，贯通所述多个导电性接触件分别具有的形成于所述第二连接部的所述开口部，并固接于所述导电性接触件支架，并且所述导电性接触件的所述多个弯曲部中，在所述第二接触部突出的一侧弯曲的所述弯曲部的外径越接近所述第二接触部的前端则越小；所述多个弯曲部中，在与所述第二接触部突出的一侧相反的相反侧弯曲的所述弯曲部的外径越接近所述第二接触部的前端则越大。
此外，在上述发明中，可构成为：所述棒状构件的与长度方向垂直的剖面积比形成在所述导电性接触件的所述开口部的面积更小。
此外，在上述发明中，可构成为：所述第二接触部的前端比所述导电性接触件支架的外侧面中的内侧形成有所述第一引导槽的部分的外侧面更向该外侧面的法线方向突出。
根据本发明，提供一种导电性接触件及导电性接触件单元，其具备：与输出检查用的信号的电路构造接触的第1接触部；具有在与长度方向正交且与宽度方向平行的方向上延伸的多个直线部、及将相邻的上述直线部连接而弯曲为圆弧状的多个弯曲部，且可在长度方向上伸缩的弹性部；与检查对象接触的前端比上述弹性部的宽度方向的边缘端部更向从上述弹性部的宽度方向的中心轴远离的方向突出的第2接触部，并且，上述多个弯曲部中，在上述第2接触部突出的一侧弯曲的上述弯曲部的外径越接近上述第2接触部的前端则越小，上述多个弯曲部中，在与上述第2接触部突出的一侧为相反侧弯曲的上述弯曲部的外径越接近上述第2接触部的前端则越大，由此可应对配列间隔的狭小化并具有较佳的耐久性，并且能够容易以目视方式观察与检查对象的接触状况。
附图说明
图1是表示本发明一实施方式的导电性接触件单元的结构立体图。
图2是表示本发明一实施方式的导电性接触件的结构图。
图3是表示用于说明弯曲部的外径的设定例的图。
图4是表示导电性接触件支架的上表面部的局部放大立体图。
图5是表示本发明的一实施方式的导电性接触件单元的内部结构图。
图6是表示本发明的一实施方式的变形例的导电性接触件的结构图。
【主要组件符号说明】
1   导电性接触件单元                  2      导电性接触件
3   导电性接触件支架                  3a     上表面部
3b  侧面部                            3c     侧面部
3d  底面部                            4      棒状构件
5   导电性接触件                      21     第1接触部
22  第2接触部                         23     弹性部
23a-1、23a-2、...23a-n、53a-i                直线部
23b-1、23b-2、23b-(n+1)、53b-j               弯曲部
24  第1连接部                         25     开口部
26  第2连接部                         31     保持部
31a 第1引导槽                         31b    第2引导槽
32  固接用孔部                        51     第1接触部
52  第2接触部                         53     弹性部
54  第1连接部                         55     开口部
56  第2连接部                         100    电路基板
101 固定构件                          200    检查对象
L1  直线(基准直线)                    L2、L3  直线(第2直线)
P、Q   前端                           Rj     外径
ti、tk、Tj、Tk  线径                   Δ1     偏移量
δ1、h   突出量
具体实施方式
以下参照附图说明用于实施本发明的最佳的方式(以下称为「实施方式」)。此外，图式为示意图，各部分的厚度与宽度的关系、以及各个部分的厚度的比例等也会有与实际有所不同，在此应予注意。此外，当然也包含即使在各图式相互之间，尺寸的关系及比率互为不同的部分。
图1是表示本发明一实施方式的导电性接触件单元的结构立体图。该图所示的导电性接触件单元1用于进行对作为检查对象的液晶面板等的电路构造的导通状态检查或动作特性检查，并具备：形成为板状的多个导电性接触件2；收纳并保持多个导电性接触件2的导电性接触件支架3；及固接于导电性接触件支架3，并支撑多个导电性接触件2的棒状构件4。
首先，说明导电性接触件2。图2是表示本实施方式1的导电性接触件2的结构的图式。在以下的说明中，将图2的垂直方向称为「导电性接触件2的长度方向」，将图2的水平方向称为「导电性接触件2的宽度方向」，将与长度方向及宽度方向正交的方向，即垂直于纸面的方向称为「导电性接触件2的板厚度方向」。
图2所示的导电性接触件2使用导电性材料而形成为板状，并确立生成检查用的信号的电路构造与检查对象之间的电连接。具体而言，导电性接触件2具备：与包含检查用电路的规定的电路构造物理性接触的第1接触部21；与液晶面板等的检查对象物理接触的第2接触部22；设置在第1接触部21及第2接触部22之间，并可在长度方向上伸缩的弹性部23；连接第1接触部21及弹性部23的第1连接部24；连接第2接触部22及弹性部23，并形成有贯通板厚(厚度)方向的开口部25的第2连接部26。
第1接触部21以从第1连接部24的短边方向中央部向长度方向突出的方式而设置。然而，第1接触部21的从第1连接部24突出的位置并不限定于此，只要根据设置于接触对象的电路构造的电极的位置等条件而确定即可。
第2接触部22比弹性部23的宽度方向的边缘端部向更远离弹性部23的宽度方向的中心轴的方向突出。第2接触部22的形状需依据导电性接触件2的材质或检查时应施加于导电性接触件2的载荷、收纳并保持导电性接触件2的导电性接触件支架3的形状、及检查对象的种类等的种种条件而予以确定，只要比第2连接部26的宽度方向的边缘端部更向该宽度方向突出，则可针对该形状的细节部进行适当的变更。
弹性部23具有在与导电性接触件2的长度方向正交且与导电性接触件2的宽度方向平行的方向上延伸的多个直线部23a-1、23a-2、...、23a-n、及将相邻的直线部彼此连接并弯曲为圆弧状的多个弯曲部23b-1、23b-2、…、23b-n、23b-(n+1)，并沿着长度方向而形成为蜿蜒为S字状的形状。弹性部23的宽度方向的长度与第1连接部24及第2连接部26的宽度方向的长度相同。此外，在图2所示的情况下，直线部的数目n虽为奇数，但这仅为一例，n的具体数目根据施加于导电性接触件2的载荷而适当地确定。
直线部23a-i(i＝1、2、...、n)的线径ti越远离第1接触部21则越大，即t1<t2<...<tn。该线径ti优选与从第1接触部21的前端P或第2接触部22的前端Q至各直线部23a-i的中心为止的距离对应地线性变化即可。由此，可使弹性部23的在施加有导电性接触件单元1的内部载荷时应力容易集中的部分(弯曲部23b-n的附近区域)的直线部23a-n的线径tn形成为最粗，而降低该部分与导电性接触件单元1之间的摩擦的影响。
弯曲部23b-1、23b-2、...、23b-(n-1)中，在第2接触部22突出的一侧弯曲的弯曲部23b-j(j＝2、4、...、n+1；j为偶数)，其外径Rj越接近第2接触部22的前端则越小，即R2>R4>...>Rn+1。相对于此，在与第2接触部22突出的一侧为相反侧弯曲的弯曲部23b-j(j＝1、3、...、n；j为奇数)，其外径Rj越接近第2接触部22的前端则越大，即R1<R3<...<Rn。另外，R1及R2满足R1<R2。此外，弯曲部23b-k(k＝1、2、...、n+1)的线径Tk根据在该端部连接的直线部23a-(k-1)的线径tk-1与直线部23a-k的线径tk而确定，且至少满足tk-1≤Tk≤tk(其中，k＝1时，T1≤t1；k＝n+1时，tn≤Tn+1)。
弯曲部23b-j(j＝1、2、...、n+1)的外径Rj，更优选为设成以连结第1接触部21的前端P及第2接触部22的前端Q的直线L1作为基准直线，并根据使用该基准直线L1所确定的基准量进行线性变化即可。以下针对此点，参照表示出使用基准直线L1的外径Rj的设定例的图3进行说明。
首先说明在第2接触部22突出的一侧弯曲的弯曲部23b-j(j＝2、4、...、n+1；j为偶数)的外径Rj。此时的外径Rj与直线L1位于同一平面上，且至少与直线L1在弹性部23的内部不相交，并根据与平行于导电性接触件2的长度方向的直线L2之间的距离而确定。具体而言，弯曲部23b-j(j＝2、4、...、n+1；j为偶数)的外径Rj以满足与直线L1和直线L2之间的距离且通过该弯曲部23b-j的中心并与直线L2正交的方向的距离xj(第1基准量)为具有线性关系Rj＝αxj+β(α>0，β为常数)的方式而确定。
相对于此，在与第2接触部22突出的一侧为相反侧弯曲的弯曲部23b-j(j＝1、3、...、n；j为奇数)的外径Rj与直线L1位于同一平面上，且至少与直线L1在弹性部23的内部不相交，并根据与平行于导电性接触件2的长度方向的直线L3之间的距离而确定。具体而言，弯曲部23b-j(j＝1、3、...、n；j为奇数)的外径Rj以满足与直线L1与直线L3之间的距离且为通过该弯曲部23b-j的中心并与直线L3正交的方向的距离x′j(第2基准量)具有线性关系Rj＝γx′j+δ(γ>0，δ为常数)的方式而确定。
在此所说明的外径Rj的确定方式仅为一例，第1及第2基准量的定义及α、β、γ、δ的值可进行适当的变更。此外，第2直线(相当于上述直线L2或直线L3)的确定方式也可任意进行。
进而，作为第2直线，除使用如上述2条不同的直线L2及直线L3的外，也可使用当中任一条直线来定义第1及第2基准量。此时，弯曲部23b-j(j＝1、2、...、n+1)也可根据是否向第2接触部22突出的一侧弯曲而适用不同的线性关系式并确定各弯曲部23b-j的外径Rj。
接着说明导电性接触件支架3。如图1所示，导电性接触件支架3系形成为大致呈长方体状的外观形状，并具有贯通上表面部3a与底面部(图1中未图示)而保持多个导电性接触件2的保持部31；及分别形成于经由保持部31而相互对置的侧面部3b的规定位置，并将棒状构件4的端部固接的固接用孔部32。
图4是表示导电性接触件支架3的上表面部3a的局部放大立体图。如图4所示，保持部31上形成有多对直线状的第1引导槽31a及直线状的第2引导槽31b，其中，第1引导槽31a是在安装导电性接触件2时，将该导电性接触件2的宽度方向上的一方的边缘端部中第2接触部22突出侧的边缘端部嵌合而保持，第2引导槽31b位于与该第1引导槽31a相对的位置，并将嵌入该第1引导槽31a的导电性接触件2的宽度方向的另一边的边缘端部嵌合保持。成对的第1引导槽31a及第2引导槽31b具有将导电性接触件2相对于与其长度方向垂直的面方向定位的功能，并具有引导导电性接触件2的伸缩动作的功能。此外，第1引导槽31a及第2引导槽31b所形成的对中，互为相邻的对彼此之间的间隔完全相等且相互平行。
各个第1引导槽31a及第2引导槽31b具有相同的槽宽度(设定为w)，且具有相同的槽深度(设定为d)。在此虽说明第1引导槽31a的槽深度及第2引导槽31b的槽深度为相等的情况，但是两个引导槽的槽深度也可互为不同。
图5是表示导电性接触件单元1的内部结构的图式。图5所示的导电性接触件支架3的剖面相当于图4的A-A线剖面。如图5所示，第1引导槽31a及第2引导槽31b具有沿着图5的z轴方向(垂直于槽宽度方向的方向)互相平行而延伸的构造。第1引导槽31a在图5的z轴方向上延伸的长度比第2引导槽31b在相同的z轴方向上延伸的长度短，第2引导槽31b虽到达导电性接触件支架3的底面部3d为止，但第1引导槽31a仅到达底面部3d的垂直上方的位置为止。
在图1及图5所示的坐标系(xyz)中，具有以上结构的导电性接触件支架3将导电性接触件2保持为，其宽度方向与x轴方向平行，板厚度方向与y轴方向平行，且长度方向与z轴方向平行。就此点而言，导电性接触件2的板厚度比第1引导槽31a及第2引导槽31b的槽宽度(w)稍小。
保持于导电性接触件支架3的导电性接触件2在载荷尚未施加于第1接触部21及第2接触部22的状态(图5所示的状态)下，第2接触部22的前端Q比导电性接触件支架3的侧面部3c更向x轴的正方向突出规定量(设突出量为δ1)。此外，第2接触部22的前端Q从导电性接触件支架3的底面部3d向z轴的负方向突出规定量(设突出量为h)。由此，操作人员即使从导电性接触件单元1的斜上方也能够确认导电性接触件2的前端与检查对象之间的物理性接触的有无(参照图1)。另外，图5中，将从通过第1接触部21的前端P且平行于z轴方向的轴O到第2接触部22的前端的偏移量设定为Δ1。在此所说明的突出量δ1及h以及偏移量Δ1根据导电性接触件2或导电性接触件支架3的大小、应施加到检查对象的载荷等条件而适当确定。
就防止与导电性接触件2电连接而产生短路的观点来看，导电性接触件支架3优选为以绝缘性材料形成。例如可使用低热膨胀的合成树脂形成导电性接触件支架3，并利用切割等而形成第1引导槽31a及第2引导槽31b。其它，例如可利用氧化铝(Al2O3)、氧化锆(ZrO2)、氧化硅(SiO2)等的陶瓷、硅、环氧树脂等的热固化性树脂、聚碳酸酯等的工程塑料等形成导电性接触件支架3的母材，并利用蚀刻等的加工技术而形成第1引导槽31a及第2引导槽31b。此外也可构成为，使用其它适当的材料(不论是否有绝缘性)形成母材，并对可能与导电性接触件2接触的部分(包含第1引导槽31a及第2引导槽31b的部分)涂敷适当的绝缘性涂料，由此取代使用绝缘性材料而形成导电性接触件支架3的。就此点而言，也可对导电性接触件2的表面的一部分或全部涂敷绝缘性涂料。
接着说明棒状构件4。棒状构件4将多个导电性接触件2安装于保持部31，并在贯通各个导电性接触件2的开口部25的后，其两端部插通于分别形成在导电性接触件支架3的相互对置的侧面部3b的固接用孔部32，并固接于导电性接触件支架3。棒状构件4一并贯通由保持部31保持的多个导电性接触件2的开口部25，由此实现防止导电性接触件2从保持部31松脱的功能，并实现对导电性接触件2赋予初期挠曲的功能。
棒状构件4的与长度方向垂直的剖面形成为将图5所示的长方形的角倒角后形状，其面积比导电性接触件2所具有的开口部25的面积小。由此，对于导电性接触件2形成固接用孔部32时可容易进行加工。
鉴于棒状构件4贯通多个导电性接触件2的开口部25，并支撑这些全部的导电性接触件2，棒状构件4优选以刚性较高，且即使施加载荷也不会产生过大挠曲，并且与导电性接触件2之间的滑动阻力较小的陶瓷等绝缘性材料所形成。由此，当施加载荷时，可使导电性接触件2的运动变得顺利。因此可缩小棒状构件4与开口部25的间隔，并能够确保棒状构件4对导电性接触件2的支撑稳定性。
此外，棒状构件4的与长度方向垂直的剖面形状并不限定于上述形状，例如可为多边形或是正方形等，也可为圆形。此外，固接用孔部32的形状当然可根据棒状构件4的剖面形状而改变。
在具有以上结构的导电性接触件支架3的上方，安装用于确保与生成并输出检查用信号的信号处理电路之间的电连接的电路基板100。电路基板100在由聚酰亚胺等所构成的片状的基材的一侧的表面，形成有由镍等所构成的多条配线及连接用的电极。在安装电路基板100时，以使电路基板100的电极与导电性接触件2的第1接触部21接触的方式进行定位，并利用以与导电性接触件支架3为相同的材料构成的固定构件101以及导电性接触件支架3夹持电路基板100，并使用螺钉等的紧固机构(未图示)来固定。结果为，对各个导电性接触件2施加由作用在本身的重力以外的力所形成的载荷(初始载荷)，且各个弹性部23在长度方向上收缩。
接下来说明导电性接触件单元1与检查对象200之间的接触方式。在进行检查时，利用规定的驱动手段(未图示)使液晶面板等的检查对象200与第2接触部22的前端Q接触，并上升至规定位置为止。由于第2接触部22的前端Q如上述从第1接触部21的前端P向x轴方向偏移Δ1，因此在与检查对象200接触的导电性接触件2上产生力矩。即，弹性部23收缩使开口部25离开棒状构件4后，导电性接触件2在图5中顺时针方向旋转微小角度。
通过上述旋转，第2接触部22的前端Q一边保持检查对象200的表面上的接触状态，一边在检查对象200上刮抓移动。如此，第2接触部22的前端在检查对象200上移动，由此去除形成于检查对象200的表面的氧化膜以及附着于其表面的污垢，并获得与检查对象200之间稳定的电性接触。此时，若适当的控制检查对象200的移动速度(上升速度)，则可防止第2接触部22的前端大幅刮伤检查对象200的表面，且不须对导电性接触件2施加过重负荷。
在使检查对象200与第2接触部22接触时，弹性部23由于载荷所造成的收缩而产生弹性变形。在本实施方式中，如上述设定直线部23a-i(i＝1、2、...、n)的线径ti及弯曲部23b-j(j＝1、2、...、n+1)的外径Rj，由此使检查对象200与第2接触部22接触并施加载荷时，使弹性部23的应力分布达到均一，并能够缓和应力集中于特定部位的情形。结果为，因施加于弹性部23的最大应力值降低，可提升对于反复应力的导电性接触件2的耐久性。此外，通过降低载荷而也可抑制第2接触部22的前端部的变形，就此点而言，也可提升导电性接触件2的耐久性。
以上说明的导电性接触件单元1在将一部分嵌入于沿着导电性接触件2的弹性部23的伸缩方向延伸的第1引导槽31a及第2引导槽31b的状态下保持导电性接触件2。因此可防止形成为板状的导电性接触件2所特有的弹性部23收缩时的挫曲及扭曲的问题的产生，并避免由于这些挫曲及扭曲而导致弹性部23的弹簧特性的恶化。因此，即使在适当的范围内对导电性接触件2施加一定以上的载荷，也不会产生挫曲及扭曲而能够实现较大的行程，因此与检查对象200之间可获得期望的接触状态。
此外，在导电性接触件单元1中，以第1引导槽31a及第2引导槽31b保持导电性接触件2，因此可降低导电性接触件2与导电性接触件支架3之间的接触面积并减少滑动阻力，而平顺进行导电性接触件2的伸缩动作。
进而，导电性接触件单元1的第1引导槽31a及第2引导槽31b的槽宽度(w)可为与导电性接触件2的板厚相同程度的值，互相相邻的第1引导槽31a之间及第2引导槽31b之间的各间隔只要为可充分确保相邻的导电性接触件2之间的绝缘性，则可为任意的较小的值。因此可将多个导电性接触件2的配列间隔狭小化，并能够充分应对电路基板100或检查对象200所具有的连接用的电极或端子的配列间隔的狭小化。
此外，在导电性接触件单元1中，通过使棒状构件4贯通导电性接触件2，将初始挠曲赋予导电性接触件2并防止松脱。结果为，可缩小第2接触部22的前端Q即导电性接触件2的下端从导电性接触件支架3的底面部3d向垂直下方突出的突出量h。换而言之，即使缩小第2接触部22，也可防止其前端附近的弯曲而稳定地保持，并抑制导电性接触件2在下端部附近从第1引导槽31a及/或第2引导槽31b脱离。结果为可提高导电性接触件2的位置精度，并提升导电性接触件单元1的可靠度及耐久性。
此外，在组装导电性接触件单元1时，将导电性接触件2收纳于保持部31的工序，通过将第1接触部21侧插入于保持部31的内部，并将宽度方向的边缘端部嵌入第1引导槽31a及第2引导槽31b而完成此工序。因此，可获得较以往的导电性接触件单元更容易进行组装，并降低制造成本的效果。
根据以上所说明的本发明的一项实施方式，提供一种导电性接触件及导电性接触件单元，其具备：与输出检查用的信号的电路构造接触的第1接触部；具有在与长度方向正交且与宽度方向平行的方向上延伸的多个直线部、及将相邻的上述直线部连接而弯曲为圆弧状的多个弯曲部，且可于长度方向伸缩的弹性部；与检查对象接触的前端比上述弹性部的宽度方向的边缘端部更向从上述弹性部的宽度方向的中心轴远离的方向突出的第2接触部，并且，上述多个弯曲部中，在上述第2接触部突出的一侧弯曲的上述弯曲部的外径越接近上述第2接触部的前端则越小，上述多个弯曲部中，在与上述第2接触部突出的一侧为相反侧弯曲的上述弯曲部的外径越接近上述第2接触部的前端则越大，由此可应对配列间隔的狭小化并具有较佳的耐久性，并且能够容易以目视方式观察与检查对象的接触状况。
此外，根据本实施方式，将构成弹性部的多个直线部的宽度与弯曲部的外径产生如上述的倾斜变化的方式来设定，由此，使导电性接触件与检查对象接触并施加载荷时的弹性部的应力分布可达到均一，而能够防止应力集中于特定部位，并降低施加于弹性部的最大应力值。因此，可提升对于反复应方的导电性接触件的耐久性。此外通过减少载荷也可抑制第2接触部的前端部的变形，故在此观点上可使导电性接触件的耐久性提升。
再者，根据本实施方式，由于与导电性接触件的检查对象的接触部分(第2接触部)在宽度方向上比导电性接触件支架更向外侧突出，因此检查时，操作人员可从导电性接触件单元的斜向上方，以目视或显微镜进行观察，一边确认导电性接触件的前端与检查对象之间的物理性接触的有无，一边进行检查操作。由此，操作人员不需弯曲姿势而能够观察导电性接触件与检查对象之间的接触状况。因此可更进一步提升检查的操作性及可靠度，并且可降低操作人员的负担。
图6是表示本实施方式的一变形例的导电性接触件的结构的图。图6所示的导电性接触件5具备：第1接触部51；第2接触部52；弹性部53；第1连接部54；及具有开口部55的第2连接部56。第2接触部52比第2连接部56的宽度方向的边缘端部(及弹性部53的宽度方向的边缘端部)更向从弹性部53的宽度方向的中心轴远离的方向突出。此外，弹性部53的宽度方向的边缘端部比第1连接部54的边缘端部或第2接触部56的边缘端部更向接近弹性部53的宽度方向的中心轴的方向退避。另外，弹性部53与导电性接触件2的弹性部23相同，具有直线部53a-i(i＝1、2、...、n)及弯曲部53b-j(j＝1、2、...、n+1)，并形成蜿蜒为S字状的形状，直线部53a-i(i＝1、2、...、n)的线径ti及弯曲部53b-j(j＝1、2、...、n+1)的外径Rj及线径Tk设定为与上述实施方式相同。
在图6所示的情况下，从第2接触部52突出的一侧的第1连接部54的宽度方向的边缘端部的退避量为r1，另一方面，从与第2接触部52突出的一侧为相反侧的第1连接部54的宽度方向的边缘端部的退避量为r2。换而言之，弹性部53的宽度(宽度方向的长度)比第1连接部54的宽度或第2连接部56的宽度小r1+r2。退避量r1及r2需要比导电性接触件支架3的槽深度的值d小。利用使用具有如此结构的导电性接触件5能够使导电性接触件5不会从第1引导槽31a或第2引导槽31b中脱离而确实地予以保持。此外，退避量r1及r2可为相等或不相等。此外，当中的一方的退避量也可为0。
如此，使弹性部53的至少一部分向导电性接触件5主体的中心部的方向退避，在以导电性接触件支架3收纳导电性接触件5并进行检查时，可减少弹性部53的边缘端部与第1引导槽31a或第2引导槽31b的底部接触，并能够降低弹性部53与各个引导槽底部之间的摩擦。结果为，可抑制于施加载荷时的弹性部53的卡住，并具备可靠的原点复位能力。此外，由于与导电性接触件支架3之间的滑动阻力变小，因此可降低导电性接触件5的检查载荷值的变动而达到稳定化。
到目前为止详细叙述用于实施本发明的最佳方式，但本发明并不应仅限定于上述一项实施方式。例如，本发明的导电性接触件单元除了对液晶面板进行检查的外，也可适用于对搭载有半导体芯片的封装基板或晶片等级检查中所使用的高密度导电性接触件单元。
如此，本发明可包含在此所未记载的种种实施方式等，且在不脱离以申请专利范围所确定的技术性思想的范围内，可进行种种的设计变更等。
工业上的利用可能性
如上所述，本发明的导电性接触件及导电性接触件单元在进行液晶面板或半导体集成电路等电子部件的导通状态检查及动作特性检查时极为有用。

Claims (10)

1.一种导电性接触件，其形成为板状，且将输出检查用的信号的电路构造与检查对象电连接，其特征在于，具备：
第一接触部，其位于该导电性接触件的长度方向的端部，并与所述电路构造接触；
弹性部，其具有在与所述长度方向正交且与该导电性接触件的宽度方向平行的方向上延伸的多个直线部、及将相邻的所述直线部彼此连接并弯曲为圆弧状的多个弯曲部，且所述弹性部位于所述长度方向的中间部，并能够在所述长度方向伸缩；以及
第二接触部，其位于所述长度方向的与所述第一接触部不同的端部，且与所述检查对象接触的前端与所述弹性部的宽度方向的边缘端部相比，在更远离所述弹性部的宽度方向的中心轴的方向上突出，并且
所述多个弯曲部中，在所述第二接触部突出的一侧弯曲的所述弯曲部的外径越接近所述第二接触部的前端则越小；
所述多个弯曲部中，在与所述第二接触部突出的一侧相反的相反侧弯曲的所述弯曲部的外径越接近所述第二接触部的前端则越大。
2.如权利要求1所述的导电性接触件，其特征在于，
所述多个弯曲部中，在所述第二接触部突出的一侧弯曲的所述弯曲部的外径以连接所述第一及第二接触部的各自前端的直线作为基准直线，并与使用此基准直线而对于各弯曲部所确定的第一基准量对应地进行线性变化；
所述多个弯曲部中，在与所述第二接触部突出的一侧相反的相反侧弯曲的所述弯曲部的外径与使用所述基准直线对各弯曲部规定的第二基准量对应地进行线性变化。
3.如权利要求1所述的导电性接触件，其特征在于，
所述直线部的线径越远离所述第一接触部的前端则越大。
4.如权利要求3所述的导电性接触件，其特征在于，
所述直线部的线径与从所述第一接触部的前端或所述第二接触部的前端至所述直线部的中心为止的距离对应地进行线性变化。
5.如权利要求1～4中任一项所述的导电性接触件，其特征在于，
还具备：第一连接部，其连接所述第一接触部及所述弹性部；以及
第二连接部，其连接所述弹性部及所述第二接触部，并形成有贯通该导电性接触件的板厚方向的开口部，
所述第一连接部、所述第二连接部及所述弹性部各自的所述宽度方向上的长度互为相等。
6.如权利要求1～4中任一项所述的导电性接触件，其特征在于，
还具备：第一连接部，其连接所述第一接触部与所述弹性部；以及
第二连接部，其连接所述弹性部与所述第二接触部，并形成有贯通该导电性接触件的板厚方向的开口部，
在所述弹性部的宽度方向的边缘端部中的与所述第二接触部突出的一侧为相反侧的边缘端部与所述第一及第二连接部的宽度方向的边缘端部中的与所述第二接触部突出的一侧为相反侧的边缘端部相比，朝更靠近所述弹性部的宽度方向的中心轴的方向退避。
7.如权利要求6所述的导电性接触件，其特征在于，
在所述弹性部的宽度方向的边缘端部中的所述第二接触部突出侧的边缘端部与所述第一及第二连接部的宽度方向的边缘端部中的所述第二接触部突出侧的边缘端部相比，朝更靠近所述弹性部的宽度方向的中心轴的方向退避。
8.一种导电性接触件单元，其特征在于，具备：
呈板状的多个导电性接触件，其具有：第一接触部，位于长度方向的端部，并与输出检查用的信号的电路构造接触；弹性部，具有在与所述长度方向正交且与该导电性接触件的宽度方向平行的方向上延伸的多个直线部及将相邻的所述直线部彼此连接并弯曲为圆弧状的多个弯曲部，且位于所述长度方向的中间部，并能够在所述长度方向上伸缩；第二接触部，位于所述长度方向的与所述第一接触部不同的端部，且与所述检查对象接触的前端与所述弹性部的宽度方向的边缘端部相比，在更远离所述弹性部的宽度方向的中心轴的方向上突出；第一连接部，连接所述第一接触部及所述弹性部；第二连接部，连接所述弹性部及所述第二接触部，并形成有贯通厚度方向的开口部，
导电性接触件支架，其具有：多个第一引导槽，嵌合保持所述导电性接触件的长度方向的一方的边缘端部中的所述第二接触部突出侧的边缘端部；多个第二引导槽，位于与所述多个第一引导槽分别相对向的位置，并嵌合保持嵌入于相对向的所述第一引导槽的所述导电性接触件的另一方的边缘端部；
棒状构件，贯通所述多个导电性接触件分别具有的形成于所述第二连接部的所述开口部，并固接于所述导电性接触件支架，并且
所述导电性接触件的所述多个弯曲部中，在所述第二接触部突出的一侧弯曲的所述弯曲部的外径越接近所述第二接触部的前端则越小；
所述多个弯曲部中，在与所述第二接触部突出的一侧相反的相反侧弯曲的所述弯曲部的外径越接近所述第二接触部的前端则越大。
9.如权利要求8所述的导电性接触件单元，其中，所述棒状构件的与长度方向垂直的剖面积比形成在所述导电性接触件的所述开口部的面积更小。
10.如权利要求8或9所述的导电性接触件单元，其中，所述第二接触部的前端比所述导电性接触件支架的外侧面中的内侧形成有所述第一引导槽的部分的外侧面更向该外侧面的法线方向突出。
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