CN101506665A - 导电性接触件组件 - Google Patents

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CN101506665A CNA2007800306829A CN200780030682A CN101506665A CN 101506665 A CN101506665 A CN 101506665A CN A2007800306829 A CNA2007800306829 A CN A2007800306829A CN 200780030682 A CN200780030682 A CN 200780030682A CN 101506665 A CN101506665 A CN 101506665A
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茂木孝浩
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Abstract

本发明提供耐久性优良的导电性接触件组件。为实现该目的,具备:多个板状的导电性接触件,其具有:第一接触部,其与输出检查用信号的电路结构相接触;弹性部,其在长度方向能够伸缩;第二接触部,其与检查对象相接触的前端与弹性部的宽度方向的缘端部相比向远离宽度方向中心轴的方向突出;以及第二连接部,其连接弹性部和第二接触部,其设置有在板厚度方向贯通并且以平行于长度方向的边为长边的长方形状的开口部;以及棒状部件,其被固着于导电性接触件支架,且贯通分别设置于多个导电性接触件的开口部,棒状部件的垂直于长度方向的截面形成从两条短边与开口部的短边相平行且该两条短边的长度与开口部的短边的长度大致相等但比开口部的短边的长度短的长方形,去除包含位于下方的短边至少一部分的区域的形状。

Description

导电性接触件组件
技术领域
本发明涉及导电性接触件组件,其在进行液晶面板或半导体集成电路等电子部件中的导通状态检查或工作特性检查时,与所述电子部件的电极或端子接触而进行电信号的发送接收。
背景技术
以往,在半导体集成电路等检查对象的电特性检查的技术领域,已知有涉及导电性接触件组件的技术,所述电性接触件组件具有下述功能,即,对应半导体集成电路的连接用电极而设置多个导电性接触件,通过使导电性接触件与连接用电极物理性接触,来确保电导通。导电性接触件组件具备:多个导电性接触件、以及保持该多个导电性接触件的导电性接触件支架。在这样的导电性接触件组件中,提出用于对应与检查对象即半导体集成电路等的微细化趋势伴随的连接用电极的排列间隔狭小化的各种技术。
例如,下述专利文献1公开了一种技术,其涉及一种具备有与检查对象相接触的接触部、对该接触部进行弹性作用的弹性部且做成板状的导电性接触件。该现有技术通过隔开狭小的间隔在板厚度方向排列多个导电性接触件,可以应对检查对象的连接用电极的排列间隔的狭小化。
专利文献1:(日本国)特开2001-343397号公报
但是,在使用上述的导电性接触件组件来重复进行检查的情况下,有时每个导电性接触件的负荷特性产生混乱。因此,不仅不能进行稳定的检查,而且有可能因不同情况而造成导电性接触件破损,在耐久性上存在问题。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而提出的,其目的在于提供一种耐久性优良的导电性接触件组件。
为了解决上述课题而实现本发明目的,本发明第一方面提供一种导电性接触件组件,其在输出检查用信号的电路结构与检查对象之间进行信号的发送接收,其特征在于,具备:多个导电性接触件,所述导电性接触件由板状的导电性材料形成,其具有:第一接触部,所述第一接触部与输出检查用信号的电路结构相接触;弹性部,所述弹性部在长度方向能够伸缩;第二接触部,所述第二接触部与检查对象相接触,其进行该接触的前端与所述弹性部的宽度方向的缘端部相比向远离所述弹性部的宽度方向中心轴的方向突出;第一连接部,所述第一连接部连接所述弹性部和所述第一接触部;以及第二连接部,所述第二连接部连接所述弹性部和所述第二接触部,其设置有在板厚度方向贯通并且以平行于所述长度方向的边为长边的长方形状的开口部;导电性接触件支架,所述导电性接触件支架具有:多个第一引导槽,所述导电性接触件的长度方向的一缘端部即所述第二接触部突出一侧的缘端部嵌合并保持在所述第一引导槽中;以及多个第二引导槽,所述多个第二引导槽分别与所述多个第一引导槽相对设置,嵌入到位于对向侧的所述第一引导槽的所述导电性接触件的另一缘端部嵌合并保持在所述第二引导槽中;以及棒状部件,所述棒状部件被固着于所述导电性接触件支架,且贯通分别设置于所述多个导电性接触件的所述开口部,所述棒状部件的垂直于长度方向的截面形成从如下长方形中去除如下区域而得到的形状,所述长方形是两条短边与所述开口部的短边相平行且该两条短边的长度与所述开口部的短边的长度大致相等但比所述开口部的短边的长度短的长方形,所述区域是包含位于下方的短边的至少一部分的区域。
此外,在所述发明中,所述棒状部件的垂直于长度方向的截面形成梯形。
此外,在所述发明中,所述梯形的截面的上底长度与下底长度之比为2:1。
此外,在所述发明中,所述棒状部件的垂直于长度方向的截面形成具有两组平行的对边的五边形。
此外,在所述发明中,所述棒状部件的垂直于长度方向的截面形成直角三角形。
此外,在所述发明中,所述第二接触部的前端比所述导电性接触件支架的外侧面、即在内侧形成有所述第一引导槽的部分的外侧面更向所述外侧面的法线方向突出。
根据本发明,提供一种导电性接触件组件,具备:多个导电性接触件,所述导电性接触件由板状的导电性材料形成,其具有:第一接触部,所述第一接触部与输出检查用信号的电路结构相接触;弹性部,所述弹性部在长度方向能够伸缩;第二接触部,所述第二接触部与检查对象相接触的前端与所述弹性部的宽度方向的缘端部相比向远离所述弹性部的宽度方向中心轴的方向突出;第一连接部,所述第一连接部连接所述弹性部和所述第一接触部;以及第二连接部,所述第二连接部连接所述弹性部和所述第二接触部,其设置有在板厚度方向贯通并且以平行于所述长度方向的边为长边的长方形状的开口部;以及棒状部件,所述棒状部件被固着于保持多个所述导电性接触件的导电性接触件支架,且贯通分别设置于所述多个导电性接触件的所述开口部,所述棒状部件的垂直于长度方向的截面形成从如下长方形中去除如下区域而得到的形状,所述长方形是两条短边与所述开口部的短边相平行且该两条短边的长度与所述开口部的短边的长度大致相等但比所述开口部的短边的长度短的长方形,所述区域是包含位于下方的短边的至少一部分的区域,由此,可提供一种耐久性优良的导电性接触件组件。
附图说明
图1是表示本发明一实施方式的导电性接触件组件的结构的立体图;
图2是表示本发明一实施方式的导电性接触件的结构的图;
图3是表示导电性接触件支架的上面部的局部放大立体图;
图4是表示本发明一实施方式的导电性接触件组件的内部结构的图;
图5是表示棒状部件的截面形状的局部放大图;
图6是表示棒状部件的其它结构例(第二例)的剖面图;
图7是表示棒状部件的其它结构例(第三例)的剖面图;
图8是表示棒状部件的其它结构例(第四例)的剖面图。
标记说明
1:导电性接触件组件
2:导电性接触件
3:导电性接触件支架
3a:上面部
3b、3c:侧面部
3d:底面部
4、5、6、7:棒状部件
21:第一接触部
22:第二接触部
23:弹性部
23a:直线部
23b:弯曲部
24:第一连接部
25:开口部
26:第二连接部
31:保持部
32:固着用孔部
31a:第一引导槽
31b:第二引导槽
100:电路基板
101:固定部件
200:检查对象
P、Q:前端
1:偏移量
δ1、h:突出量
具体实施方式
下面,参照附图来说明用于实施本发明的优选实施方式(以下称为“实施方式”)。此外,应注意的是附图是示意性的图,各部分的厚度和宽度的关系、各部分的厚度的比例等有时与实际不同,当然,有时在附图相互之间也包含彼此的尺寸关系或比例不同的部分。
图1是表示本发明一实施方式的导电性接触件组件的结构的立体图。该图所示的导电性接触件组件1进行检查对象即液晶面板等电路结构的导通状态检查或工作特性检查,其具备:做成板状的多个导电性接触件2、收容保持多个导电性接触件2的导电性接触件支架3、被固着于导电性接触件支架3且支承多个导电性接触件2的棒状部件4。
首先,说明导电性接触件2。图2是表示本发明实施方式1的导电性接触件2的结构的图。在以下的说明中,分别将图2中的铅直方向称为“导电性接触件2的长度方向”,将图2中的水平方向称为“导电性接触件2的宽度方向”,将与这些长度方向及宽度方向分别正交的方向即垂直于纸面的方向称为“导电性接触件2的板厚度方向”。
图2所示的导电性接触件2以使用导电性材料做成板状的方式形成,从而建立生成检查用信号的电路结构与检查对象的电连接。更具体地说,导电性接触件2具备:与包含检查用电路的规定的电路结构物理性接触的第一接触部21、与液晶面板等检查对象物理性接触的第二接触部22、介于第一接触部21及第二接触部22之间且在长度方向可伸缩的弹性部23、将第一接触部21及弹性部23连接的第一连接部24、将第二接触部22及弹性部23连接且贯通板厚度方向并形成有具有与长度方向平行的长边的长方形状的开口部25的第二连接部26。
第一接触部21以从第一连接部24的短边方向中央部向长度方向突出的方式设置。此外,第一接触部21的自第一连接部24的突出位置不限于此,只要根据设置于接触对象的电路结构的电极位置等条件来确定即可。
第二接触部22与弹性部23的宽度方向的缘端部相比向远离弹性部23的宽度方向中心轴的方向突出。此外,第二接触部22的形状根据导电性接触件2的材质或进行检查时应对导电性接触件2施加的负荷、收容保持导电性接触件2的导电性接触件支架3的形状、检查对象的种类等各种条件来确定,只要比第二连接部26的宽度方向的缘端部更向该宽度方向突出,就可对其形状的详细进行适当变更。
弹性部23具有:与导电性接触件2的长度方向正交且平行于宽度方向的多个直线部23a、及连接相邻的直线部的多个弯曲部23b,其做成沿长度方向蜿蜒成S字形的形状。直线部23a的线径一样,弯曲部23b的外径及线径也一样。此外,弹性部23的弯曲部23b的数量根据施加于导电性接触件2的负荷来确定。
下面,说明导电性接触件支架3。如图1所示,导电性接触件支架3做成大致长方体状的外观形状,具有:贯通上面部3a和底面部(图1中未图示)且保持多个导电性接触件2的保持部31、分别形成于隔着保持部31彼此相对的侧面部3b的规定位置并固着棒状部件4的端部的固着用孔部32。
图3是表示导电性接触件支架3的上面部3a的局部放大立体图。如图3所示,在保持部31形成有多对直线状的第一引导槽31a与直线状的第二引导槽31b,第一引导槽31a在安装导电性接触件2时嵌合保持该导电性接触件2的宽度方向一缘端部,第二引导槽31b与该第一引导槽31a相对设置且嵌合保持嵌入到该第一引导槽31a的导电性接触件2的宽度方向的另一缘端部。成对的第一引导槽31a及第二引导槽31b具有将导电性接触件2相对于垂直于其长度方向的面方向进行定位的功能,并且,具有引导导电性接触件2的伸缩动作的功能。此外,在第一引导槽31a及第二引导槽31b构成的对之中邻接的各对彼此的间隔完全相等且互相平行。
每个第一引导槽31a及第二引导槽31b具有相同的槽宽(设为w),并且具有相同槽深(设为d)。此外,在此说明的是第一引导槽31a的槽深与第二引导槽31b的槽深相等的情况,但也可以是两引导槽的槽深彼此不同的情况。
图4是表示导电性接触件组件1的内部结构的图。该图所示的导电性接触件支架3的截面相当于图3的A—A线截面。如图4所示,第一引导槽31a及第二引导槽31b具有沿着图4的z轴方向(与槽宽方向垂直的方向)彼此平行延伸的结构。第一引导槽31a沿图4的z轴方向延伸的长度比第二引导槽31b沿同一z轴方向延伸的长度短,第二引导槽31b到达至导电性接触件支架3的底面部3d,而第一引导槽31a只到达至底面部3d的铅直上方的位置。
具有以上结构的导电性接触件支架3,在图1及图4所示的坐标系(xyz)中,按照使宽度方向与x轴方向平行、板厚度方向与y轴方向平行、长度方向与z轴方向平行的方式保持导电性接触件2。在该含义中,导电性接触件2的板厚度比第一引导槽31a及第二引导槽31b的槽宽(w)略小。
被保持于导电性接触件支架3的导电性接触件2在对第一接触部21及第二接触部22不施加负荷的状态下(如图4所示的状态),在x轴正方向上,第二接触部22的前端Q比导电性接触件支架3的侧面部3c突出规定量(将突出量设为δ1)。此外,第二接触部22的前端Q从导电性接触件支架3的底面部3d向z轴负方向突出规定量(将突出量设为h)。由此,操作员即使从导电性接触件组件1的斜上方也可以确认导电性接触件2的前端与检查对象有无物理接触(参照图1)。此外,图4中,将距离通过第一接触部21的前端P且平行于z轴方向的轴O的第二接触部22的前端的偏移量设为Δ1。在此所说明的突出量δ1及h、以及偏移量Δ1可根据导电性接触件2或导电性接触件支架3的大小、以及要施加于检查对象的负荷等条件来适当确定。
从防止与导电性接触件2电连接而发生短路的观点来看,优选导电性接触件支架3由绝缘性材料形成。例如,只要使用低热膨胀的合成树脂形成导电性接触件支架3并通过切割等形成第一引导槽31a及第二引导槽31b即可。此外,例如也可以使用氧化铝(A12O3)、氧化锆(ZrO2)、二氧化硅(SiO2)等陶瓷、硅酮、环氧等热固性树脂、聚碳酸酯等工程塑料等来形成导电性接触件支架3的母材,通过蚀刻等加工技术来形成第一引导槽31a及第二引导槽31b。此外,也可以替代使用绝缘性材料形成导电性接触件支架3,而做成使用其它合适的材料(无论有无绝缘性)来形成母材,并对于要与导电性接触件2接触的部分(包括第一引导槽31a或第二引导槽31b的部分)涂敷适当的绝缘性涂料。该含义中,也可以对导电性接触件2的表面的局部或全部涂敷绝缘性涂料。
下面,说明棒状部件4。棒状部件4在将多个导电性接触件2安装于保持部31且贯通各导电性接触件2的开口部25之后,其两端部插入分别形成于导电性接触件支架3的彼此相对的侧面部3b的固着用孔部32,而相对于导电性接触件支架3被固着。棒状部件4通过一并贯通由保持部31所保持的多个导电性接触件2的开口部25,发挥导电性接触件2自保持部31的防脱功能,并且,发挥对导电性接触件2赋予初始挠曲的功能。
如图4所示,棒状部件4的垂直于长度方向的截面形成从如下长方形中去除如下区域而得到的形状,即,所述长方形是两条短边与导电性接触件2的第二连接部26所具有的开口部25的短边相平行且该两条短边的长度与开口部25的短边的长度大致相等但比该开口部25的短边的长度短的长方形,所述区域是包含位于下方的短边的至少一部分的区域,更具体而言,棒状部件4的垂直于长度方向的截面形成以短边方向的边为上边及下边的梯形。为了使导电性接触件2的滑动性良好,而将该梯形的顶点部分进行倒角,形成R形状。如图5的放大图所示,形成该梯形的截面中的上底的长度u与下底的长度v之比为2:1(v=u/2)。此外,该比例毕竟只是一例,其可以根据对棒状部件4要求的刚性等条件来变更。
鉴于棒状部件4贯通多个导电性接触件2的开口部25而支承这些所有的导电性接触件2,特别优选的是刚性强、即使施加负荷其挠曲也小且与导电性接触件2的滑动阻力小的陶瓷等的绝缘性材料。由此,可以缩小棒状部件4与开口部25的间隔。其结果,可以使施加负荷时的导电性接触件2的移动变得顺畅,并且,利用棒状部件4还可以确保导电性接触件2的支承稳定性。
在具有以上结构的导电性接触件支架3的上方安装有建立与生成输出检查用信号的信号处理电路的电连接的电路基板100。电路基板100在由聚酰亚胺等构成的片状基材的一表面形成有由镍等构成的多条布线及连接用的电极。在安装电路基板100时,按照使电路基板100的电极与导电性接触件2的第一接触部21接触的方式进行定位,利用由与导电性接触件支架3同样的材料构成的固定部件101及导电性接触件支架3来夹持电路基板100,并使用螺钉等紧固装置(未图示)进行固定。其结果,在各导电性接触件2上施加因作用于自身的重力之外的力引起的负荷(初始负荷),使各弹性部23在长度方向进行收缩。
下面,说明导电性接触件组件1与检查对象200的接触方式。在进行检查时,利用规定的驱动装置(未图示)使液晶面板等检查对象200与第二接触部22的前端Q进行接触,上升至到达规定的位置。如上所述,由于第二接触部22的前端Q从第一接触部21的前端P向x轴方向偏移Δ1,因而在与检查对象200进行接触的导电性接触件2上产生转矩。即,导电性接触件2在弹性部收缩而使开口部25离开棒状部件之后,在图4中按顺时针方向旋转微小角度。
通过上述的转动,第二接触部22的前端Q一边持续与检查对象200表面的接触状态,一边在其表面上刮动而进行移动。这样,通过使第二接触部22的前端在检查对象200之上移动,可以除去形成于检查对象200表面的氧化膜或附着于其表面的污渍,在与检查对象200之间得到稳定的电接触。此时,只要适宜控制检查对象200的移动速度(上升速度),第二接触部22的前端就不会对检查对象200的表面造成大的划伤,也不会对导电性接触件2施加过度的负荷。
以上说明的导电性接触件组件1,在将一部分嵌入到沿导电性接触件2的弹性部23的伸缩方向延伸的第一引导槽31a及第二引导槽31b的状态下,来保持导电性接触件2。因此,防止成板状的导电性接触件2特有的问题即弹性部23收缩时的压曲及扭转的发生,不会产生由此引起的弹性部23的弹簧特性的劣化。因此,在适当的范围内即使对导电性接触件2施加规定以上的负荷,也可以不产生压曲及扭转而实现大的行程,从而可以在与检查对象200之间得到所期望的接触状态。
如上所述,虽然在检查对象200与第二接触部22的前端Q接触之后还继续上升一些,但由于接触后的检查对象200的上升,使导电性接触件2旋转微小角度,而与棒状部件4或第二引导槽31b接触。在本实施方式中,通过作为棒状部件4的截面形状采用上述的梯形,由此,可以减少开口部25与棒状部件4的接触部位,从而可以使导电性接触件2的负荷特性稳定化。其结果,可以提高导电性接触件2的耐久性,还可以提高检查的可靠性。
此外,在导电性接触件组件1中,由于由第一引导槽31a及第二引导槽31b来保持导电性接触件2,因此,可以减小导电性接触件2与导电性接触件支架3(的保持部31)之间的接触面积,可以减小滑动阻力,从而可以使导电性接触件2的伸缩动作顺畅地进行。
进而,在导电性接触件组件1中,第一引导槽31a及第二引导槽31b的槽宽(w)可以是与导电性接触件2的板厚度相同程度的值,彼此相邻的第一引导槽31a及第二引导槽31b间的各间隔可以采用任意小的值,只要是可以充分确保相邻的导电性接触件2间的绝缘性的值即可。因此,可以将多个导电性接触件2的排列间隔狭小化,还可以充分对应电路基板100或检查对象200所具有的连接用的电极或端子的排列间隔的狭小化。
而且,在导电性接触件组件1中,通过使棒状部件4贯通导电性接触件2,而对导电性接触件2赋予初始挠曲,并且进行防脱。其结果,可以使第二接触部22的前端Q即导电性接触件2的下端从导电性接触件支架3的底面部3d向铅直下方突出的突出量h减小。换言之,即使减小第二接触部22,也可以防止其前端附近的弯曲且稳定保持,可抑制导电性接触件2在下端部附近脱离第一引导槽31a及/或第二引导槽31b。因此,可以提高导电性接触件2的位置精度,且可提高导电性接触件组件1的可靠性及耐久性。
组装导电性接触件组件1时,将导电性接触件2收容于保持部31的工序是通过先将第一接触部21一侧插入保持部31内部,再将宽度方向的缘端部嵌入第一引导槽31a及第二引导槽31b而完成的。因此,与现有的导电性接触件组件相比组装容易,还可以得到降低制造成本的效果。
根据以上说明的本发明一实施方式,提供一种导电性接触件组件,具备:多个导电性接触件,所述导电性接触件由板状的导电性材料形成,其具有:第一接触部,所述第一接触部与输出检查用信号的电路结构相接触;弹性部,所述弹性部在长度方向能够伸缩;第二接触部,所述第二接触部与检查对象相接触的前端与所述弹性部的宽度方向的缘端部相比向远离所述弹性部的宽度方向中心轴的方向突出;第一连接部,所述第一连接部连接所述弹性部和所述第一接触部;以及第二连接部,所述第二连接部连接所述弹性部和所述第二接触部,其设置有在板厚度方向贯通并且以平行于所述长度方向的边为长边的长方形状的开口部;以及棒状部件,所述棒状部件被固着于保持多个所述导电性接触件的导电性接触件支架,且贯通分别设置于所述多个导电性接触件的所述开口部,所述棒状部件的垂直于长度方向的截面形成从如下长方形中去除如下区域而得到的形状,所述长方形是两条短边与所述开口部的短边相平行且该两条短边的长度与所述开口部的短边的长度大致相等但比所述开口部的短边的长度短的长方形,所述区域是包含位于下方的短边的至少一部分的区域。由此,可提供一种耐久性优良的导电性接触件组件。
此外,根据本实施方式,即使检查次数增加而使与导电性接触件之间的摩擦变小,也可以不必增加导电性接触件与棒状部件的接触部位,从而可以使导电性接触件的负荷特性稳定化。其结果,导电性接触件的耐久性提高,可进行稳定的检查。
至此,详细叙述了用于实施本发明的优选方式,但本发明不限于上述一实施方式。图6~图8是表示本发明的导电性接触件支架所具备的棒状部件的另一结构例的剖面图。其中,图6所示的棒状部件5具有与上述一实施方式的棒状部件4在图中左右翻转的截面形状。此外,图7所示的棒状部件6形成具有两组平行的对边的五边形的截面。进而,图8所示的棒状部件7具有直角三角形的截面。图6~图8中,为了使导电性接触件2的滑动性良好,而对各截面中的顶点部分进行了倒角,形成R形状。
这样,本发明的导电性接触件支架所具备的棒状部件的垂直于长度方向的截面在保持导电性接触件时,只要形成如下形状即可,即,形成从如下长方形中去除如下区域而得到的形状,所述长方形是两条短边与所述开口部的短边相平行且该两条短边的长度与所述开口部的短边的长度大致相等但比所述开口部的短边的长度短的长方形,所述区域是包含位于下方的短边的至少一部分的区域。此外,关于边的比例,只要根据对棒状部件要求的刚性等条件来适当确定即可。
但是,本发明的导电性接触件组件并不限于检查液晶面板的情况,还可以作为用于搭载有半导体芯片的封装基板或晶片级的检查的高密度导电性接触件组件来应用。
从以上的说明可以看出,本发明还包含在此未记载的各种各样的实施方式等,在不脱离由技术方案范围所确定的技术思想的范围内,可以进行各种设计变更等。
产业上的可应用性
如上所述,本发明的导电性接触件组件在进行液晶面板或半导体集成电路等电子部件中的导通状态检查或工作特性检查时是有用的。

Claims (6)

1、一种导电性接触件组件,其在输出检查用信号的电路结构与检查对象之间进行信号的发送接收,其特征在于,具备:
多个导电性接触件,所述导电性接触件由板状的导电性材料形成,其具有:第一接触部,所述第一接触部与输出检查用信号的电路结构相接触;弹性部,所述弹性部在长度方向能够伸缩;第二接触部,所述第二接触部与检查对象相接触,其进行该接触的前端与所述弹性部的宽度方向的缘端部相比向远离所述弹性部的宽度方向中心轴的方向突出;第一连接部,所述第一连接部连接所述弹性部和所述第一接触部;以及第二连接部,所述第二连接部连接所述弹性部和所述第二接触部,其设置有在板厚度方向贯通并且以平行于所述长度方向的边为长边的长方形状的开口部;
导电性接触件支架,所述导电性接触件支架具有:多个第一引导槽,所述导电性接触件的长度方向的一缘端部即所述第二接触部突出一侧的缘端部嵌合并保持在所述第一引导槽中;以及多个第二引导槽,所述多个第二引导槽分别与所述多个第一引导槽相对设置,嵌入到位于对向侧的所述第一引导槽的所述导电性接触件的另一缘端部嵌合并保持在所述第二引导槽中;以及
棒状部件,所述棒状部件被固着于所述导电性接触件支架,且贯通分别设置于所述多个导电性接触件的所述开口部,
所述棒状部件的垂直于长度方向的截面形成从如下长方形中去除如下区域而得到的形状,所述长方形是两条短边与所述开口部的短边相平行且该两条短边的长度与所述开口部的短边的长度大致相等但比所述开口部的短边的长度短的长方形,所述区域是包含位于下方的短边的至少一部分的区域。
2、如权利要求1所述的导电性接触件组件,其特征在于,
所述棒状部件的垂直于长度方向的截面形成梯形。
3、如权利要求2所述的导电性接触件组件,其特征在于,
所述梯形的截面的上底长度与下底长度之比为2:1。
4、如权利要求1所述的导电性接触件组件,其特征在于,
所述棒状部件的垂直于长度方向的截面形成具有两组平行的对边的五边形。
5、如权利要求1所述的导电性接触件组件,其特征在于,
所述棒状部件的垂直于长度方向的截面形成直角三角形。
6、如权利要求1~5中任一项所述的导电性接触件组件,其特征在于,
所述第二接触部的前端比所述导电性接触件支架的外侧面、即在内侧形成有所述第一引导槽的部分的外侧面更向所述外侧面的法线方向突出。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105719730A (zh) * 2016-02-05 2016-06-29 燕山大学 一种内嵌直线段式马蹄形柔性电子器件交联导体结构
CN112904057A (zh) * 2018-01-11 2021-06-04 欧姆龙株式会社 探针、检查工具、检查单元和检查装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230032064A (ko) * 2021-08-30 2023-03-07 (주)포인트엔지니어링 캔틸레버형 프로브 핀

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11133060A (ja) * 1997-10-31 1999-05-21 Tani Denki Kogyo Kk テスト用端子
JP4905872B2 (ja) * 2005-02-18 2012-03-28 日本発條株式会社 導電性接触子ユニット
JP4884753B2 (ja) * 2005-11-22 2012-02-29 日本発條株式会社 導電性接触子ユニットおよび導電性接触子
JP4907191B2 (ja) * 2006-02-17 2012-03-28 日本発條株式会社 導電性接触子ユニット

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105719730A (zh) * 2016-02-05 2016-06-29 燕山大学 一种内嵌直线段式马蹄形柔性电子器件交联导体结构
CN105719730B (zh) * 2016-02-05 2017-09-22 燕山大学 一种内嵌直线段式马蹄形柔性电子器件交联导体结构
CN112904057A (zh) * 2018-01-11 2021-06-04 欧姆龙株式会社 探针、检查工具、检查单元和检查装置

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