KR20090029838A - 도전성 접촉자 및 도전성 접촉자 유닛 - Google Patents

도전성 접촉자 및 도전성 접촉자 유닛 Download PDF

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유카 오오야시키
다카히로 모테기
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니혼 하츠쵸 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 배열간격의 협소화에 대응 가능함과 동시에, 내구성이 우수하고, 검사대상과의 접촉상황을 용이하게 눈으로 볼 수 있는 도전성 접촉자 및 도전성 접촉자 유닛을 제공하는 것이다.
이 목적을 위하여 검사용 신호를 출력하는 회로구조와 접촉하는 제 1 접촉부와, 길이방향과 직교함과 동시에 폭방향과 평행한 방향으로 연신하는 복수의 직선부 및 인접하는 상기 직선부끼리를 접속하여 원호형상으로 만곡하는 복수의 만곡부를 가지고, 길이방향으로 신축 가능한 탄성부와, 검사대상과 접촉하는 선단이 상기 탄성부의 폭방향의 가장자리 끝부보다 상기 탄성부의 폭방향의 중심축으로부터 멀어지는 방향으로 돌출하는 제 2 접촉부를 구비하고, 상기 복수의 만곡부 중 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측에서 만곡되는 상기 만곡부의 외경을 상기 제 2 접촉부의 선단에 가까울수록 작게 하고, 상기 복수의 만곡부 중, 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측과 반대측에서 만곡되는 상기 만곡부의 외경을 상기 제 2 접촉부의 선단에 가까울수록 크게 한다.

Description

도전성 접촉자 및 도전성 접촉자 유닛{CONDUCTIVE CONTACTOR AND CONDUCTIVE CONTACTOR UNIT}
본 발명은, 액정 패널이나 반도체 집적회로 등의 전자부품에서의 도통상태검사나 동작특성검사를 행할 때에, 그 전자부품의 전극이나 단자에 접촉하여 전기신호의 송수신을 행하는 도전성 접촉자 및 상기 도전성 접촉자를 사용하여 구성되는 도전성 접촉자 유닛에 관한 것이다.
종래, 반도체 집적회로 등의 검사대상의 전기특성검사에 관한 기술분야에서, 반도체 집적회로의 접속용 전극에 대응하여 복수의 도전성 접촉자를 설치하고, 도전성 접촉자를 접속용 전극과 물리적으로 접촉시킴으로써 전기적 도통을 확보하는 기능을 가지는 도전성 접촉자 유닛에 관한 기술이 알려져 있다. 도전성 접촉자 유닛은, 복수의 도전성 접촉자와, 그 복수의 도전성 접촉자를 유지하는 도전성 접촉자 홀더를 구비한다. 이와 같은 도전성 접촉자 유닛에서는, 검사대상인 반도체 집적회로 등의 미세화 경향에 따른 접속용 전극의 배열간격의 협소화에 대응하기 위한 여러가지의 기술이 제안되어 있다.
예를 들면, 하기 특허문헌 1에서는, 검사대상과 접촉하는 접촉부와 그 접촉부에 대하여 탄발 가세하는 탄성부를 구비하고, 판형상을 이루는 도전성 접촉자에 관한 기술이 개시되어 있다. 이 종래 기술에서는, 복수의 도전성 접촉자를 좁은 간격으로 판 두께방향으로 나열하여 배치함으로써, 검사대상의 접속용 전극의 배열간격의 협소화에 대응하는 것을 가능하게 하고 있다.
[특허문헌 1]
일본국 특개2001-343397호 공보
그러나, 상기한 종래기술에서는, 도전성 접촉자의 선단이 탄성체의 신축방향과 대략 평행한 방향으로 스트로크하기 때문에, 검사대상의 표면에 형성된 산화막이나 그 표면에 부착된 오염 등을 충분히 제거할 수 없어, 안정된 전기적 접촉을 얻을 수 없는 경우가 있었다. 이 경우에는, 도전성 접촉자에 대하여 과도한 하중을 가하는 경우도 있어, 도전성 접촉자의 내구성에 문제가 있었다.
또, 검사를 행할 때에는, 오퍼레이터가 도전성 접촉자의 선단과 검사대상과의 접촉을 눈으로 볼 수 있는 것이 바람직하나, 종래의 도전성 접촉자 유닛은, 윗쪽에서 보았을 때에 아래쪽측의 도전성 접촉자의 선단이 도전성 접촉자 홀더의 측면보다 안쪽에 위치하기 때문에, 도전성 접촉자의 선단부 부근에서의 검사대상과의 접촉상황을 관찰하는 경우, 오퍼레이터 자신이 자세를 구부려 접촉부분 부근을 들여다보지 않으면 안되어, 관찰회수가 증가함에 따라 오퍼레이터에 대한 부담도 커져 있었다.
본 발명은, 상기를 감안하여 이루어진 것으로, 배열간격의 협소화에 대응 가능함과 동시에 내구성이 우수하고, 검사대상과의 접촉상황을 용이하게 눈으로 볼 수 있는 도전성 접촉자 및 도전성 접촉자 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 형태는, 판형상을 이루고, 검사용 신호를 출력하는 회로구조와 검사대상을 전기적으로 접속하는 도전성 접촉자이고, 상기 도전성 접촉자의 길이방향의 끝부에 위치하고, 상기 회로구조와 접촉하는 제 1 접촉부와, 상기 길이방향과 직교함과 동시에 상기 도전성 접촉자의 폭방향과 평행한 방향으로 연신(延伸)하는 복수의 직선부 및 인접하는 상기 직선부끼리를 접속하여 원호형상으로 만곡하는 복수의 만곡부를 가지고, 상기 길이방향의 중간부에 위치하고, 상기 길이방향으로 신축 가능한 탄성부와, 상기 길이방향의 상기 제 1 접촉부와는 다른 끝부에 위치하고, 상기 검사대상과 접촉하는 선단이 상기 탄성부의 폭방향의 가장자리 끝부보다 상기 탄성부의 폭방향의 중심축으로부터 멀어지는 방향으로 돌출하는 제 2 접촉부를 구비하며, 상기 복수의 만곡부 중 상기 제 2 접촉부가 돌출하고 있는 측에서 만곡되는 상기 만곡부의 외경은, 상기 제 2 접촉부의 선단에 가까울수록 작고, 상기 복수의 만곡부 중 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측과 반대측에서 만곡되는 상기 만곡부의 외경은, 상기 제 2 접촉부의 선단에 가까울수록 큰 것을 특징으로 한다.
또, 상기 발명에 있어서, 상기 복수의 만곡부 중 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측에서 만곡되는 상기 만곡부의 외경은, 상기 제 1 및 제 2 접촉부의 선단끼리를 연결하는 직선을 기준 직선으로 하고, 이 기준 직선을 사용하여 각 만곡부에 대하여 정해지는 제 l 기준량에 따라 선형으로 변화하고, 상기 복수의 만곡부 중 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측과 반대측에서 만곡되는 상기 만곡부의 외경은, 상기 기준 직선을 사용하여 각 만곡부에 대하여 정해지는 제 2 기준량에 따라 선형으로 변화하여도 된다.
또, 상기 발명에서, 상기 직선부의 선 지름은, 상기 제 1 접촉부의 선단에서 멀수록 커도 된다.
또, 상기 발명에서, 상기 직선부의 선 지름은, 상기 제 1 접촉부의 선단 또는 상기 제 2 접촉부의 선단에서 상기 직선부의 중심까지의 거리에 따라 선형으로 변화하여도 된다.
또, 상기 발명에서, 상기 제 1 접촉부 및 상기 탄성부를 접속하는 제 1 접속부와, 상기 탄성부 및 상기 제 2 접촉부를 접속하고, 상기 도전성 접촉자의 판 두께방향으로 관통하는 개구부가 형성된 제 2 접속부를 더 구비하고, 상기 제 1 접속부, 상기 제 2 접속부 및 상기 탄성부가 각각 가지는 상기 폭방향의 길이가 서로 같아도 된다.
또, 상기 발명에서, 상기 제 1 접촉부 및 상기 탄성부를 접속하는 제 1 접속부와, 상기 탄성부 및 상기 제 2 접촉부를 접속하고, 상기 도전성 접촉자의 판 두께방향으로 관통하는 개구부가 형성된 제 2 접속부를 더 구비하며, 상기 탄성부의 폭방향의 가장자리 끝부이고 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측과 반대측의 가장자리 끝부가, 상기 제 1 및 제 2 접촉부의 폭방향의 가장자리 끝부이고 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측과 반대측의 가장자리 끝부보다 상기 탄성부의 폭방향의 중심축에 가까운 방향으로 퇴피하고 있어도 된다.
또, 상기 발명에서, 상기 탄성부의 폭방향의 가장자리 끝부이고 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측의 가장자리 끝부가, 상기 제 1 및 제 2 접속부의 폭방향의 가장자리 끝부이고 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측의 가장자리 끝부보다 상기 탄성부의 폭방향의 중심축에 가까운 방향으로 퇴피하고 있어도 된다.
본 발명의 다른 형태에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 길이방향의 끝부에 위치하고, 검사용 신호를 출력하는 회로구조와 접촉하는 제 1 접촉부와, 상기 길이방향과 직교함과 동시에 상기 도전성 접촉자의 폭방향과 평행한 방향으로 연신하는 복수의 직선부 및 인접하는 상기 직선부끼리를 접속하여 원호형상으로 만곡되는 복수의 만곡부를 가지고, 상기 길이방향의 중간부에 위치하고, 상기 길이방향으로 신축 가능한 탄성부와, 상기 길이방향의 상기 제 1 접촉부와는 다른 끝부에 위치하고, 상기 검사대상과 접촉하는 선단이 상기 탄성부의 폭방향의 가장자리 끝부보다 상기탄성부의 폭방향의 중심축으로부터 멀어지는 방향으로 돌출하는 제 2 접촉부와, 상기 제 1 접촉부 및 상기 탄성부를 접속하는 제 1 접속부와, 상기 탄성부 및 상기 제 2 접촉부를 접속하고, 두께방향으로 관통하는 개구부가 형성된 제 2 접속부를 가지며, 판형상을 이루는 복수의 도전성 접촉자와, 상기 도전성 접촉자의 길이방향의 한쪽의 가장자리 끝부이고 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측의 가장자리 끝부를 끼워 맞춰 유지하는 복수의 제 1 가이드홈, 및 상기 복수의 제 1 가이드홈과 각각 대향하여 위치하고, 대향하는 상기 제 1 가이드홈에 끼워 넣워진 상기 도전성 접촉자의 다른쪽 가장자리 끝부를 끼워 맞춰 유지하는 복수의 제 2 가이드홈을 가지는 도전성 접촉자 홀더와, 상기 복수의 도전성 접촉자가 각각 가지는 상기 제 2 접속부에 형성된 상기 개구부를 관통하여, 상기 도전성 접촉자 홀더에 고착된 막대 형상부재를 구비하고, 상기 도전성 접촉자는, 상기 복수의 만곡부 중 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측에서 만곡되는 상기 만곡부의 외경은, 상기 제 2 접촉부의 선단에 가까울수록 작고, 상기 복수의 만곡부 중 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측과 반대측에서 만곡되는 상기 만곡부의 외경은, 상기 제 2 접촉부의 선단에 가까울수록 큰 것을 특징으로 한다.
또, 상기 발명에서, 상기 막대형상부재의 길이방향으로 수직한 단면적은, 상기 도전성 접촉자에 형성된 상기 개구부의 면적보다 작아도 된다.
또, 상기 발명에서, 상기 제 2 접촉부의 선단은, 상기 도전성 접촉자 홀더의 바깥쪽면으로서 안쪽에 상기 제 1 가이드홈이 형성된 부분의 바깥쪽면보다 상기 바깥쪽 면의 법선방향으로 돌출되어 있어도 된다.
본 발명에 의하면, 검사용 신호를 출력하는 회로구조와 접촉하는 제 1 접촉부와, 길이방향과 직교함과 동시에 폭방향과 평행한 방향으로 연신하는 복수의 직선부 및 인접하는 상기 직선부끼리를 접속하여 원호형상으로 만곡되는 복수의 만곡부를 가지고, 길이방향으로 신축 가능한 탄성부와, 검사대상과 접촉하는 선단이 상기 탄성부의 폭방향의 가장자리 끝부보다 상기 탄성부의 폭방향의 중심축으로부터 멀어지는 방향으로 돌출하는 제 2 접촉부를 구비하고, 상기 복수의 만곡부 중 상기제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측에서 만곡되는 상기 만곡부의 외경을 상기 제 2 접촉부의 선단에 가까울수록 작게 하고, 상기 복수의 만곡부 중 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측과 반대측에서 만곡되는 상기 만곡부의 외경을 상기 제 2 접촉부의 선단에 가까울수록 크게 함으로써, 배열간격의 협소화에 대응 가능함과 동시에 내구성이 우수하고, 검사대상과의 접촉상황을 용이하게 눈으로 볼 수 있는 도전성 접촉자 및 도전성 접촉자 유닛을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 관한 도전성 접촉자 유닛의 구성을 나타내는 사시도,
도 2는 본 발명의 일 실시형태에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 도,
도 3은 만곡부의 외경의 설정예를 설명하기 위한 도,
도 4는 도전성 접촉자 홀더의 상면부의 부분 확대 사시도,
도 5는 본 발명의 일 실시형태에 관한 도전성 접촉자 유닛의 내부구성을 나타내는 도,
도 6은 본 발명의 실시형태의 변형예에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 도면이다.
※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 도전성 접촉자 유닛 2, 5 : 도전성 접촉자
3 : 도전성 접촉자 홀더 3a : 상면부
3b, 3c : 측면부 3d : 바닥면부
4 : 막대형상부재 21, 51 : 제 1 접촉부
22, 52 : 제 2 접촉부 23, 53 : 탄성부
23a-1, 23a-2, …, 23a-n, 53a-i : 직선부
23b-1, 23b-2, …, 23b-(n+1), 53b-j : 만곡부
24, 54 : 제 1 접속부 25, 55 : 개구부
26, 56 : 제 2 접속부 31 : 유지부
31a : 제 1 가이드홈 31b : 제 2 가이드홈
32 : 고착용 구멍부 100 : 회로기판
101 : 고정부재 200 : 검사대상
L1 : 직선(기준 직선) L2, L3 : 직선(제 2 직선)
P, Q : 선단 Rj : 외경
ti, tk, Tj, Tk : 선 지름 Δ1 : 오프셋량
δ1, h : 돌출량
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태(이후,「실시형태」라고 한다)를 설명한다. 또한, 도면은 모식적인 것으로, 각 부분의 두께와 폭과의 관계, 각각의 부분의 두께의 비율 등은 현실의 것과는 다른 경우도 있는 것에 유의해야 하며, 도면 상호간에서도 서로의 치수의 관계나 비율이 다른 부분이 포함되는 경우가 있는 것은 물론이다.
도 1은, 본 발명의 일 실시형태에 관한 도전성 접촉자 유닛의 구성을 나타내는 사시도이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자 유닛(1)은, 검사대상인 액정 패널 등의 회로구조의 도통상태검사나 동작특성검사를 행하는 것으로, 판형상을 이루는 복수의 도전성 접촉자(2)와, 복수의 도전성 접촉자(2)를 수용 유지하는 도전 성 접촉자 홀더(3)와, 도전성 접촉자 홀더(3)에 고착되고, 복수의 도전성 접촉자(2)를 지지하는 막대형상부재(4)를 구비한다.
먼저, 도전성 접촉자(2)에 대하여 설명한다. 도 2는, 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자(2)의 구성을 나타내는 도면이다. 이하의 설명에서는, 도 2에서의 연직방향을 「도전성 접촉자(2)의 길이방향」, 도 2에서의 수평방향을 「도전성 접촉자(2)의 폭방향」, 이들 길이방향 및 폭방향과 각각 직교하는 방향, 즉 지면에 수직한 방향을 「도전성 접촉자(2)의 판 두께방향」이라고 각각 부르기로 한다.
도 2에 나타내는 도전성 접촉자(2)는, 도전성재료를 사용하여 판형상을 이루도록 형성되고, 검사용 신호를 생성하는 회로구조와 검사대상과의 전기적인 접속을 확립한다. 더욱 구체적으로는, 도전성 접촉자(2)는, 검사용 회로를 포함하는 기설정된(所定) 회로구조와 물리적으로 접촉하는 제 1 접촉부(21)와, 액정 패널 등의 검사대상과 물리적으로 접촉하는 제 2 접촉부(22)와, 제 1 접촉부(21) 및 제 2 접촉부(22)의 사이에 개재하여, 길이방향으로 신축 가능한 탄성부(23)와, 제 1 접촉부(21) 및 탄성부(23)를 접속하는 제 1 접속부(24)와, 제 2 접촉부(22) 및 탄성부(23)를 접속하여, 판 두께(두께)방향으로 관통하는 개구부(25)가 형성된 제 2 접속부(26)를 구비한다.
제 1 접촉부(21)는, 제 1 접속부(24)의 길이가 짧은 방향 중앙부에서 길이 방향으로 돌출하도록 설치되어 있다. 또한, 제 1 접촉부(21)의 제 1 접속부(24)로부터의 돌출위치는 이것에 한정되는 것은 아니고, 접촉대상의 회로구조에 설치된 전극의 위치 등의 조건에 따라 정하면 된다.
제 2 접촉부(22)는, 탄성부(23)의 폭방향의 가장자리 끝부보다 탄성부(23)의 폭방향의 중심축으로부터 멀어지는 방향으로 돌출되어 있다. 또한, 제 2 접촉부(22)의 형상은, 도전성 접촉자(2)의 재질이나 검사시에 도전성 접촉자(2)에 대하여 가해야 할 하중, 도전성 접촉자(2)를 수용 유지하는 도전성 접촉자 홀더(3)의 형상, 검사대상의 종류 등, 여러가지의 조건에 의하여 정해져야 하는 것으로, 제 2 접속부(26)의 폭방향의 가장자리 끝부보다 상기 폭방향으로 돌출되어 있으면, 그 형상의 세부(細部)에 대해서는 적절하게 변경하는 것이 가능하다.
탄성부(23)는, 도전성 접촉자(2)의 길이방향과 직교함과 동시에 도전성 접촉자(2)의 폭방향과 평행한 방향으로 연신되는 복수의 직선부(23a-1, 23a-2, …, 23a-n) 및 인접하는 직선부끼리를 접속하여 원호형상으로 만곡되는 복수의 만곡부[23b-1, 23b-2, …, 23b-n, 23b-(n+1)]를 가지고, 길이방향을 따라 S자 형상으로 사행한 형상을 이루고 있다. 탄성부(23)의 폭방향의 길이는, 제 1 접속부(24) 및 제 2 접속부(26)의 폭방향의 길이와 동일하다. 또한, 도 2에 나타내는 경우, 직선부의 수(n)는 홀수이나, 이것은 어디까지나 일례에 불과하고, n의 구체적인 수는, 도전성 접촉자(2)에 가하는 하중에 따라 적절하게 정해진다.
직선부[23a-i(i=1,2,…,n)의 선 지름(ti)은, 제 1 접촉부(21)로부터 멀수록크고, t1 < t2 < … < tn이다. 이 선 지름(ti)은, 제 1 접촉부(21)의 선단(P) 또는 제 2 접촉부(22)의 선단(Q)에서 각 직선부(23a-i)의 중심까지의 거리에 따라 선형으로 변화되도록 하면 더욱 바람직하다. 이에 의하여, 탄성부(23)가 도전성 접촉 자 유닛(1)의 내부 하중이 가해졌을 때에 응력이 집중하기 쉬운 부분[만곡부(23b-n)의 근방영역]의 직선부(23a-n)의 선 지름(tn)이 가장 굵어지고, 해당부분에서의 도전성 접촉정 유닛(1)과의 사이의 마찰의 영향을 저감하는 것이 가능해진다.
만곡부[23b-1, 23b-2, …, 23b-(n+1)] 중, 제 2 접촉부(22)가 돌출되어 있는 측에서 만곡되는 만곡부[23b-j(j=2,4,…,n+1:j는 짝수]는, 그 외경(Rj)이 제 2 접촉부(22)의 선단에 가까울수록 작고, R2 > R4 > … > Rn+1 이다. 이것에 대하여, 제 2 접촉부(22)가 돌출되어 있는 측과 반대측에서 만곡되는 만곡부[23b-j(j=1,3,…,n;j는 홀수]는, 그 외경(Rj)이 제 2 접촉부(22)의 선단에 가까울수록 크고, R1 < R3 < … < Rn 이다. 또한, R1과 R2는, R1 < R2를 만족하고 있다. 또, 만곡부[23b-k(k=1,2,…, n+1)]의 선 지름(Tk)은, 그 끝부에서 접속하는 직선부[23a-(k-1)]의 선 지름(tk-1)과 직선부(23a-k)의 선 지름(tk)에 따라 정해지고, 적어도 tk-1 ≤ Tk ≤ tk(단, k = 1에서는 T1 ≤ t1, k = n+1에서는 tn ≤ Tn+1)를 만족한다.
만곡부[23b-j(j=1,2,…, n+1)]의 외경(Rj)은, 제 1 접촉부(21)의 선단(P) 및 제 2 접촉부(22)의 선단(Q)을 연결하는 직선(L1)을 기준 직선으로 하고, 이 기준 직선(L1)을 이용하여 정해지는 기준량에 따라 선형으로 변화하도록 하면 더욱 바람직하다. 이하, 이 점에 대하여, 기준 직선(L1)을 이용한 외경(Rj)의 설정예를 나타내 는 도면인 도 3을 참조하여 설명한다.
먼저, 제 2 접촉부(22)가 돌출되어 있는 측에서 만곡되는 만곡부[23b-j(j=2,4,…,n+1;j는 짝수)]의 외경(Rj)에 대하여 설명한다. 이 경우의 외경(Rj)은, 직선(L1)과 동일 평면 상에 있고, 적어도 직선(L1)과는 탄성부(23)의 내부에서 교차를 가지지 않고, 도전성 접촉자(2)의 길이방향으로 평행한 직선(L2)과의 거리에 따라 정해진다. 더욱 구체적으로는, 만곡부[23b-j(j=2,4,…, n+1;j는 짝수)]의 외경 (Rj)은, 직선(L1)과 직선(L2)과의 거리로서 해당하는 만곡부(23b-j)의 중심을 통과하여 직선(L2)과 직교하는 방향의 거리(xj)(제 1 기준량)와 선형인 관계[Rj=αxj+β(α> O, β는 정수)]를 만족하도록 정해진다.
이것에 대하여, 제 2 접촉부(22)가 돌출되어 있는 측과 반대측에서 만곡되는 만곡부[23b-j(j=1,3,…,n;j는 홀수)]의 외경(Rj)은, 직선(L1)과 동일 평면 상에 있고, 적어도 직선(L1)과는 탄성부(23)의 내부에서 교차를 가지지 않고, 도전성 접촉자(2)의 길이방향으로 평행한 직선(L3)과의 거리에 따라 정해진다. 더욱 구체적으로는, 만곡부[23b-j(j=1,3,…,n;j)은 홀수)]의 외경(Rj)은, 직선(L1)과 직선(L3)과의 거리로서 해당하는 만곡부(23b-j)의 중심을 통과하여 직선(L3)과 직교하는 방향의 거리(x'j)(제 2 기준량)와 선형인 관계[Rj=γx'j+δ(γ>O, δ은 정수)]를 만족하도록 정해진다.
또한, 여기서 설명한 외경(Rj)의 결정방법은 어디까지나 일례에 지나지 않고, 제 1 및 제 2 기준량의 정의나 α, β, γ, δ의 값은 적절하게 변경 가능하다. 또, 제 2 직선[상기한 직선(L2)이나 직선(L3)에 상당]의 결정방법도 임의이다.
또한, 제 2 직선으로서 상기한 바와 같이 2개의 다른 직선(L2 및 L3)을 사용하는 대신, 그 중 어느 하나의 직선을 이용하여 제 1 및 제 2 기준량을 정의하는 것도 가능하다. 이 경우에는, 만곡부[23b-j(j=1,2,…,n+1)]가, 제 2 접촉부(22)가 돌출되어 있는 측으로 만곡되어 있는지의 여부에 따라 다른 선형 관계식을 적용하여, 각 만곡부(23b-j)의 외경(Rj)을 정하면 된다.
다음에, 도전성 접촉자 홀더(3)에 대하여 설명한다. 도전성 접촉자 홀더(3)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 대략 직육면체형상의 외관형상을 이루고, 상면부(3a)와 저면부(도 1에서는 도시 생략)를 관통하여 복수의 도전성 접촉자(2)를 유지하는 유지부(31)와, 유지부(31)를 거쳐 서로 대향하는 측면부(3b)의 기설정된 위치에 각각 형성되고, 막대형상부재(4)의 끝부를 고착하는 고착용 구멍부(32)를 가진다.
도 4는, 도전성 접촉자 홀더(3)의 상면부(3a)의 부분 확대 사시도이다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 유지부(31)에는, 도전성 접촉자(2)를 장착할 때에 그 도전성 접촉자(2)의 폭방향의 한쪽의 가장자리 끝부로서 제 2 접촉부(22)가 돌출되는 측의 가장자리 끝부를 끼워 맞춰 유지하는 직선형상의 제 1 가이드홈(31a)과, 이 제 1 가이드홈(31a)과 대향하여 위치하고, 그 제 1 가이드홈(31a)에 끼워 넣어진 도전성 접촉자(2)의 폭방향의 다른쪽 가장자리 끝부를 끼워 맞춰 유지하는 직선형상의 제 2 가이드홈(31b)이 복수쌍 형성되어 있다. 쌍을 이루는 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)은, 도전성 접촉자(2)를 그 길이방향과 수직한 면방향에 대하여 위치 결정하는 기능을 가짐과 동시에, 도전성 접촉자(2)의 신축동작을 가이드하는 기능을 가지고 있다. 또, 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)이 이루는 쌍 중 인접하는 쌍끼리의 간격은 모두 같고, 또한 서로 평행이다.
제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)의 각각은 동일한 홈폭(w라 한다)을 가짐과 동시에, 동일한 홈 깊이(d라 한다)를 가지다. 또한, 여기서는 제 1 가이드홈(31a)의 홈 깊이와 제 2 가이드홈(31b)과의 홈 깊이가 같은 경우를 설명하였으나, 양 가이드홈의 홈 깊이가 서로 달라도 상관없다.
도 5는, 도전성 접촉자 유닛(1)의 내부 구성을 나타내는 도면이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자 홀더(3)의 단면은, 도 4의 A-A선 단면에 상당하고 있다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)은, 도 5의 z축 방향(홈폭방향으로 수직한 방향)을 따라 서로 평행으로 연신한 구조를 가진다. 제 1 가이드홈(31a)이 도 5의 z축 방향으로 연신하는 길이는, 제 2 가이드홈(31b)이 동일한 z축 방향으로 연신하는 길이보다 짧고, 제 2 가이드홈(31b)은 도전성 접촉자 홀더(3)의 저면부(3d)까지 도달하고 있으나, 제 1 가이드홈(31a)은 저면부(3d)보다 연직 위쪽의 위치까지밖에 도달하고 있지 않다.
이상의 구성을 가지는 도전성 접촉자 홀더(3)는, 도전성 접촉자(2)를, 도 1및 도 5에 나타내는 좌표계(xyz)에서, 폭방향이 x 축 방향과 평행이고, 판 두께방 향이 y축 방향과 평행이며, 길이방향이 z축 방향과 평행이도록 유지하고 있다. 이 의미에서, 도전성 접촉자(2)의 판 두께는, 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)의 홈폭(w)보다 약간 작다．
도전성 접촉자 홀더(3)에 유지된 도전성 접촉자(2)는, 제 1 접촉부(21) 및 제 2 접촉부(22)에 하중이 가해져 있지 않은 상태(도 5에 나타내는 상태)에서 제 2 접촉부(22)의 선단(Q)이 도전성 접촉자 홀더(3)의 측면부(3c)보다 x축 양의 방향으로 기설정된 양 돌출되어 있다(돌출양을 δ1이라 한다). 또, 제 2 접촉부(22)의 선단 (Q)은, 도전성 접촉자 홀더(3)의 저면부(3d)에서 z축 음의 방향으로 기설정된 양 돌출되어 있다(돌출량을 h라 한다). 이에 의하여 오퍼레이터는, 도전성 접촉자 유닛(1)의 비스듬하게 윗쪽에서도 도전성 접촉자(2)의 선단과 검사대상과의 물리적인 접촉의 유무를 확인할 수 있다(도 1을 참조). 또한, 도 5에서는, 제 1 접촉부(21)의 선단(P)을 통과하여 z축 방향으로 평행한 축(O)으로부터의 제 2 접촉부(22)의 선단의 오프셋량을 Δ1이라 하고 있다. 여기서 설명한 돌출량(δ1 및 h), 및 오프셋량(Δ1)은, 도전성 접촉자(2)나 도전성 접촉자 홀더(3)의 크기, 검사대상에 가해야 하는 하중 등의 조건에 따라 적절하게 정해진다.
도전성 접촉자 홀더(3)는, 도전성 접촉자(2)와 전기적으로 접속하여 단락이 발생하는 것을 방지하는 관점에서, 절연성재료에 의하여 형성되는 것이 바람직하다. 예를 들면, 저열팽창의 합성수지를 사용하여 도전성 접촉자 홀더(3)를 형성하고, 다이싱 등에 의하여 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)을 형성하면 된 다. 그 외에도, 예를 들면 알루미나(Al203), 지르코니아(Zr02), 실리카(Si02) 등의 세라믹스, 실리콘, 에폭시 등의 열경화성수지, 폴리카보네이트 등의 엔지니어링 플라스틱 등에 의하여 도전성 접촉자 홀더(3)의 모재를 형성하고, 에칭 등의 가공기술에 의하여 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)을 형성하여도 된다. 또, 절연성재료를 사용하여 도전성 접촉자 홀더(3)를 형성하는 대신, 다른 적당한 재료(절연성의 유무는 불문)를 사용하여 모재를 형성하고, 도전성 접촉자(2)와 접촉할 수 있는 부분[제 1 가이드홈(31a)이나 제 2 가이드홈(31b)을 포함하는 부분]에 대하여 적당한 절연성 도료를 도포하는 구성으로 하여도 된다. 이 의미에서는, 도전성 접촉자(2)의 표면의 일부 또는 전부에 대하여 절연성 도료를 도포하여도 된다.
계속해서, 막대형상부재(4)에 대하여 설명한다. 막대형상부재(4)는, 복수의 도전성 접촉자(2)를 유지부(31)에 장착하고, 각 도전성 접촉자(2)의 개구부(25)를 관통한 후, 그 양쪽 끝부가 도전성 접촉자 홀더(3)의 서로 대향하는 측면부(3b)에 각각 형성된 고착용 구멍부(32)에 삽입되고, 도전성 접촉자 홀더(3)에 대하여 고착된다. 막대형상부재(4)는, 유지부(31)에서 유지하는 복수의 도전성 접촉자(2)의 개구부(25)를 일괄하여 관통함으로써 도전성 접촉자(2)의 유지부(31)로부터의 빠짐 방지기능을 함과 동시에, 도전성 접촉자(2)에 대하여 초기 휘어짐을 부여하는 기능을 한다.
막대형상부재(4)의 길이방향으로 수직한 단면은, 도 5에 나타내는 바와 같이 장방형의 각을 모따기한 형상을 이루고, 그 면적은, 도전성 접촉자(2)가 가지는 개구부(25)의 면적보다 작다. 이에 의하여 도전성 접촉자(2)에 대하여 고착용 구멍부(32)를 형성할 때의 가공을 용이하게 할 수 있다.
막대형상부재(4)는, 다수의 도전성 접촉자(2)의 개구부(25)를 관통하여 그것들 모든 도전성 접촉자(2)를 지지하는 것을 감안하여, 강성이 높아 하중이 가해져도 휘어짐이 적고, 도전성 접촉자(2)와의 슬라이딩 저항이 작은 세라믹스 등의 절연성재료에 의하여 형성하는 것이 바람직하다. 이에 의하여, 하중을 가했을 때의 도전성 접촉자(2)의 움직임을 원활하게 할 수 있다. 따라서, 막대형상부재(4)와 개구부(25)와의 간격을 작게 할 수도 있어, 막대형상부재(4)에 의한 도전성 접촉자(2)의 지지 안정성을 확보하는 것이 가능해진다.
또한, 막대형상부재(4)의 길이방향으로 수직한 단면형상은 상기한 것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 다각형이나 정방형 등이어도 되고, 원형이어도 된다. 고착용 구멍부(32)의 형상이, 막대형상부재(4)의 단면형상에 따라 변하는 것은 물론이다.
이상의 구성을 가지는 도전성 접촉자 홀더(3)의 윗쪽에는, 검사용 신호를 생성 출력하는 신호처리회로와의 전기적인 접속을 확립하는 회로기판(100)을 설치한다. 회로기판(100)은, 폴리이미드 등으로 이루어지는 시트형상 기재의 한쪽 표면에, 니켈 등으로 이루어지는 다수의 배선 및 접속용 전극이 형성되어 이루어진다. 회로기판(100)을 설치할 때에는, 회로 기판(100)의 전극이 도전성 접촉자(2)의 제 1 접촉부(21)와 접촉하도록 위치 결정을 행하여, 도전성 접촉자 홀더(3)와 동일한 재료로 이루어지는 고정부재(101) 및 도전성 접촉자 홀더(3)에 의하여 회로 기판(100)을 끼워 유지하고, 나사 등의 체결수단(도시 생략)을 사용하여 고정한다. 이 결과, 각 도전성 접촉자(2)에는 자신에게 작용하는 중력 이외의 힘에 기인하는 하중(초기 하중)이 가해져, 각 탄성부(23)가 길이방향으로 수축한다.
다음에, 도전성 접촉자 유닛(1)과 검사대상(200)과의 접촉형태에 대하여 설명한다. 검사를 행할 때에는, 액정 패널 등의 검사대상(200)을 기설정된 구동수단(도시 생략)에 의하여 제 2 접촉부(22)의 선단(Q)과 접촉하고, 기설정된 위치에 도달하기까지 상승시켜 간다. 제 2 접촉부(22)의 선단(Q)은, 상기한 바와 같이 제 1 접촉부(21)의 선단(P)에서 x축 방향으로 Δ1만큼 오프셋하고 있기 때문에, 검사대상(200)과 접촉한 도전성 접촉자(2)에는 모멘트가 발생한다. 즉, 도전성 접촉자(2)는, 탄성부(23)가 수축하여 개구부(25)가 막대형상부재(4)로부터 이간된 후, 도 5에서 시계방향으로 미소 각만큼 회전한다.
상기한 회전에 의하여 제 2 접촉부(22)의 선단(Q)은, 검사대상(200)의 표면 상을 접촉상태를 지속하면서 검사대상(200) 위를 긁으며 이동한다. 이와 같이 하여 제 2 접촉부(22)의 선단이 검사대상(200) 위를 이동함으로써, 검사대상(200)의 표면에 형성된 산화막이나 그 표면에 부착된 오염을 제거하여, 검사대상(200)과의 사이에서 안정된 전기적 접촉을 얻는 것이 가능해진다. 그때, 검사대상(200)의 이동속도(상승속도)를 적절하게 제어하면, 제 2 접촉부(22)의 선단이 검사대상(200)의 표면을 크게 손상하지 않고, 도전성 접촉자(2)에도 과도한 하중을 가하지 않아 도 된다.
검사대상(200)을 제 2 접촉부(22)와 접촉시킬 때, 탄성부(23)는 하중에 의한 수축에 의하여 탄성 변형을 일으킨다. 본 실시형태에서는, 직선부[23a-i(i=1,2,…,n)의 선 지름(ti)과 만곡부[23b-j(j=1,2,…,n+1)]의 외경(Rj)을 상기와 같이 설정함으로써, 검사대상(200)을 제 2 접촉부(22)와 접촉시켜 하중이 가해졌을 때의 탄성부(23)에 있어서의 응력분포가 균일해져, 특정한 부분에 응력이 집중하는 것을 완화할 수 있다. 이 결과, 탄성부(23)에 가해지는 최대 응력값이 저감되기 때문에, 반복하여 응력에 대한 도전성 접촉자(2)의 내구성을 향상시킬 수 있다. 아울러 하중을 작게 함으로써 제 2 접촉부(22)의 선단부의 변형도 억제할 수 있기 때문에, 이 의미에서도 도전성 접촉자(2)의 내구성을 향상시키는 것이 가능해진다.
이상, 설명한 도전성 접촉자 유닛(1)은, 도전성 접촉자(2)의 탄성부(23)의 신축방향을 따라 연신한 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)에 일부를 끼워 넣은 상태에서 도전성 접촉자(2)를 유지하고 있다. 이 때문에, 판형상을 이루는 도전성 접촉자(2)에 특유한 문제인 탄성부(23)의 수축시의 좌굴 및 비틀림의 발생을 방지하여, 그것들에 기인하는 탄성부(23)의 스프링 특성의 열화를 일으키지 않는다. 따라서, 도전성 접촉자(2)에 적절한 범위 내에서 일정 이상의 하중을 가하여도 좌굴이나 비틀림을 일으키지 않고 큰 스트로크를 실현할 수 있어, 검사대상(200)과의 사이에서 원하는 접촉상태를 얻는 것이 가능해진다.
또, 도전성 접촉자 유닛(1)에서는, 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드 홈(31b)에 의하여 도전성 접촉자(2)를 유지하는 것으로 하였기 때문에, 도전성 접촉자(2)와 도전성 접촉자 홀더(3)와의 사이의 접촉면적을 저감하여 슬라이딩 저항을 감소시킬 수 있어, 도전성 접촉자(2)의 신축동작을 원활하게 행하는 것이 가능해진다.
또한, 도전성 접촉자 유닛(1)은, 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)의 홈폭(w)이 도전성 접촉자(2)의 판 두께와 동일한 정도의 값으로 좋고, 서로 인접하는 제 1 가이드홈(31a) 사이 및 제 2 가이드홈(31b) 사이의 각 간격은, 인접하는 도전성 접촉자(2) 사이의 절연성을 충분히 확보할 수 있는 값이면, 임의의 작은 값으로 하여도 된다. 따라서, 복수의 도전성 접촉자(2)의 배열 간격을 협소화하는 것이 가능하고, 회로기판(100)이나 검사대상(200)이 가지는 접속용 전극이나 단자의 배열간격의 협소화에도 충분히 대응할 수 있다.
아울러, 도전성 접촉자 유닛(1)에서는, 도전성 접촉자(2)에 막대형상부재(4)를 관통함으로써 도전성 접촉자(2)에 초기 휘어짐을 줌과 동시에 빠짐방지를 행하고 있다. 이 결과, 제 2 접촉부(22)의 선단(Q), 즉 도전성 접촉자(2)의 하단이 도전성 접촉자 홀더(3)의 저면부(3d)에서 연직 아래쪽으로 돌출하는 돌출량(h)을 작게 할 수 있다. 바꾸어 말하면, 제 2 접촉부(22)를 작게 하여도, 그 선단 부근의 구부러짐을 방지하여, 안정되게 유지하는 것이 가능해져, 도전성 접촉자(2)가 하단부 부근에서 제 1 가이드홈(31a) 및/또는 제 2 가이드홈(31b)에서 벗어나는 것을 억제할 수 있다. 이 결과, 도전성 접촉자(2)의 위치 정밀도가 높아져, 도전성 접촉자 유닛(1)의 신뢰성 및 내구성을 향상시킬 수 있다.
도전성 접촉정 유닛(1)을 조립할 때에 도전성 접촉자(2)를 유지부(31)에 수용하는 공정은, 제 1 접촉부(21)측을 먼저 유지부(31)의 내부에 삽입하고, 폭방향의 가장자리 끝부를 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)에 끼워 넣음으로써 완료된다. 따라서, 종래의 도전성 접촉자 유닛과 비교하여도 조립이 용이하고, 제조 비용을 저감한다는 효과를 얻을 수도 있다.
이상 설명한 본 발명의 일 실시형태에 의하면, 검사용 신호를 출력하는 회로구조와 접촉하는 제 1 접촉부와, 길이방향과 직교함과 동시에 폭방향과 평행한 방향으로 연신하는 복수의 직선부 및 인접하는 상기 직선부끼리를 접속하여 원호형상으로 만곡되는 복수의 만곡부를 가지고, 길이방향으로 신축 가능한 탄성부와, 검사대상과 접촉하는 선단이 상기 탄성부의 폭방향의 가장자리 끝부보다 상기 탄성부의 폭방향의 중심축으로부터 멀어지는 방향으로 돌출하는 제 2 접촉부를 구비하고, 상기 복수의 만곡부 중 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측에서 만곡되는 상기 만곡부의 외경을 상기 제 2 접촉부의 선단에 가까울수록 작게 하고, 상기 복수의 만곡부 중 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측과 반대측에서 만곡되는 상기 만곡부의 외경을 상기 제 2 접촉부의 선단에 가까울수록 크게 함으로써, 배열 간격의 협소화에 대응 가능함과 동시에 내구성이 우수하고, 검사대상과의 접촉상황을 용이하게 눈으로 볼 수 있는 도전성 접촉자 및 도전성 접촉자 유닛을 제공할 수 있다.
또, 본 실시형태에 의하면, 탄성부를 구성하는 복수의 직선부의 폭과 만곡부의 외경을 상기한 바와 같이 경사적으로 변화하도록 설정함으로써, 도전성 접촉자를 검사대상에 콘택트시켜 하중이 가해졌을 때의 탄성부에서의 응력 분포가 균일해 져, 특정한 부분에 응력이 집중하는 것으로 방지하여, 탄성부에 가해지는 최대 응력값을 저감시킬 수 있다. 따라서, 반복 응력에 대한 도전성 접촉자의 내구성을 향상시킬 수 있다. 아울러, 하중을 작게 함으로써 제 2 접촉부의 선단부의 변형도 억제할 수 있기 때문에, 이 의미에서도 도전성 접촉자의 내구성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 실시형태에 의하면, 도전성 접촉자의 검사대상과의 접촉부분(제 2 접촉부)이 도전성 접촉자 홀더보다 폭방향에서 바깥쪽으로 돌출되어 있기 때문에, 오퍼레이터는 검사시, 도전성 접촉자 유닛의 비스듬하게 윗쪽에서부터 눈으로 보거나 현미경에 의한 관찰에 의하여 도전성 접촉자의 선단과 검사대상과의 물리적인 접촉 유무를 확인하면서 검사작업을 행할 수 있어, 자세를 구부리거나 하여 도전성 접촉자와 검사대상과의 접촉상황을 관찰할 필요가 없어진다. 따라서, 검사의 작업성, 신뢰성을 한층 더 향상시킬 수 있음과 동시에, 오퍼레이터의 부담을 경감할 수 있다.
도 6은, 본 실시형태의 일 변형예에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 도면이다. 도 6에 나타내는 도전성 접촉자(5)는, 제 1 접촉부(51)와, 제 2 접촉부(52)와, 탄성부(53)와, 제 1 접속부(54)와, 개구부(55)를 가지는 제 2 접속부(56)를 구비한다. 제 2 접촉부(52)는, 제 2 접속부(56)의 폭방향의 가장자리 끝부[및 탄성부(53)의 폭방향의 가장자리 끝부]보다 탄성부(53)의 폭방향의 중심축으로부터 멀어지는 방향으로 돌출되어 있다. 또, 탄성부(53)의 폭방향의 가장자리 끝부는, 제 1 접속부(54)의 가장자리 끝부나 제 2 접속부(56)의 가장자리 끝부보다 탄성부(53)의 폭방향의 중심축에 근접하는 방향으로 퇴피하고 있다. 또한, 탄성부(53)는, 도전성 접촉자(2)의 탄성부(23)와 마찬가지로, 직선부[53a-i(i=1,2,…,n)와 만곡부[53b-j(J=1,2,…,n+1)]를 가지고 S자 형상으로 사행한 형상을 이루고 있고, 직선부[53a-i(1=1,2,…,n)]의 선 지름(ti) 및 만곡부[53b-j(j=1,2,…,n+1)]의 외경(Rj) 및 선 지름(Tj)은, 상기한 일 실시형태와 동일하게 설정되어 있다.
도 6에 나타내는 경우, 제 2 접촉부(52)가 돌출되어 있는 측의 제 1 접속부(54)의 폭방향의 가장자리 끝부로부터의 퇴피량은 r1인 한편, 제 2 접촉부(52)가 돌출되어 있는 것과 반대측의 제 1 접속부(54)의 폭방향의 가장자리 끝부로부터의 퇴피량은 r2이다. 바꾸어 말하면, 탄성부(53)의 폭(폭방향의 길이)은, 제 1 접속부(54)의 폭이나 제 2 접속부(56)의 폭보다 r1 + r2만큼 작다. 퇴피량(r1, r2)은, 도전성 접촉자 홀더(3)의 홈 깊이의 값(d)보다 작은 것이 필요하다. 이와 같은 구성을 가지는 도전성 접촉자(5)를 사용함으로써, 제 1 가이드홈(31a)이나 제 2 가이드홈(31b)으로부터 도전성 접촉자(5)를 일탈시키지 않고 확실하게 유지할 수 있다. 또한, 퇴피량(r1 및 r2)은 같아도 되고, 달라도 된다. 또, 이 중의 한쪽의 퇴피량이 0이어도 된다.
이와 같이, 탄성부(53)의 적어도 일부를 도전성 접촉자(5) 본체의 중심부의 방향으로 퇴피시킴으로써, 도전성 접촉자(5)를 도전성 접촉자 홀더(3)로 수용하여 검사를 행할 때, 탄성부(53)의 가장자리 끝부가 제 1 가이드홈(31a)이나 제 2 가이 드홈(31b)의 바닥부에 접촉하는 일이 적어져, 탄성부(53)와 각 가이드 홈 바닥부와의 마찰을 저감할 수 있다. 그 결과, 하중이 부가되었을 때의 탄성부(53)의 걸림을 억제하여, 더욱 확실한 원점 복귀 능력을 구비시킬 수 있다. 또, 도전성 접촉자 홀더(3)와의 슬라이딩 저항이 작아지기 때문에, 도전성 접촉자(5)의 검사 하중값의 불균일을 적게 하여 안정화하는 것도 가능해진다.
지금까지 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를 상세하게 설명하여 왔으나, 본 발명은 상기 일 실시형태에 의해서만 한정되어야 하는 것은 아니다. 예를 들면, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 액정패널을 검사하는 이외에도, 반도체 칩을 탑재한 패키지 기판이나 웨이퍼 레벨의 검사에 사용하는 고밀도 도전성 접촉자 유닛으로서도 적용 가능하다.
이와 같이, 본 발명은, 여기서는 기재하고 있지 않은 여러가지 실시형태 등을 포함할 수 있는 것으로, 특허청구의 범위에 의하여 특정되는 기술적 사상을 일탈하지 않는 범위 내에서 여러가지 설계 변경 등을 실시하는 것이 가능하다.
이상과 같이, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 및 도전성 접촉자 유닛은, 액정 패널이나 반도체 집적회로 등의 전자부품에서의 도통상태검사나 동작특성검사를 행할 때에 유용하다.

Claims (10)

  1. 판 형상을 이루고, 검사용 신호를 출력하는 회로구조와 검사대상을 전기적으로 접속하는 도전성 접촉자에 있어서,
    당해 도전성 접촉자의 길이방향의 끝부에 위치하고, 상기 회로구조와 접촉하는 제 1 접촉부와,
    상기 길이방향과 직교함과 동시에 당해 도전성 접촉자의 폭방향과 평행한 방향으로 연신(延伸)하는 복수의 직선부 및 인접하는 상기 직선부끼리를 접속하여 원호 형상으로 만곡되는 복수의 만곡부를 가지고, 상기 길이방향의 중간부에 위치하고, 상기 길이방향으로 신축 가능한 탄성부와,
    상기 길이방향의 상기 제 1 접촉부와는 다른 끝부에 위치하고, 상기 검사대상과 접촉하는 선단이 상기 탄성부의 폭방향의 가장자리 끝부보다 상기 탄성부의 폭방향의 중심축으로부터 멀어지는 방향으로 돌출하는 제 2 접촉부를 구비하고,
    상기 복수의 만곡부 중 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측에서 만곡되는 상기 만곡부의 외경은, 상기 제 2 접촉부의 선단에 가까울수록 작고,
    상기 복수의 만곡부 중 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측과 반대측에서 만곡되는 상기 만곡부의 외경은, 상기 제 2 접촉부의 선단(先端)에 가까울수록 큰 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 복수의 만곡부 중 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측에서 만곡되는 상기 만곡부의 외경은, 상기 제 1 및 제 2 접촉부의 선단끼리를 연결하는 직선을 기준 직선으로 하고, 상기 기준 직선을 사용하여 각 만곡부에 대하여 정해지는 제 1 기준량에 따라 선형으로 변화되고, 상기 복수의 만곡부 중 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측과 반대측에서 만곡되는 상기 만곡부의 외경은, 상기 기준 직선을 사용하여 각 만곡부에 대하여 정해지는 제 2 기준량에 따라 선형으로 변화하는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 직선부의 선(線) 지름은, 상기 제 1 접촉부의 선단에서 멀수록 큰 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 직선부의 선 지름은, 상기 제 1 접촉부의 선단 또는 상기 제 2 접촉부의 선단으로부터 상기 직선부의 중심까지의 거리에 따라 선형으로 변화하는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 접촉부 및 상기 탄성부를 접속하는 제 1 접속부와,
    상기 탄성부 및 상기 제 2 접촉부를 접속하고, 당해 도전성 접촉자의 판 두 께방향으로 관통하는 개구부가 형성된 제 2 접속부를 더 구비하고,
    상기 제 1 접속부, 상기 제 2 접속부 및 상기 탄성부가 각각 가지는 상기 폭방향의 길이가 서로 같은 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자.
  6. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 접촉부 및 상기 탄성부를 접속하는 제 1 접속부와,
    상기 탄성부 및 상기 제 2 접촉부를 접속하고, 당해 도전성 접촉자의 판 두께방향으로 관통하는 개구부가 형성된 제 2 접속부를 더 구비하고,
    상기 탄성부의 폭 방향의 가장자리 끝부로서 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측과 반대측의 가장자리 끝부가, 상기 제 1 및 제 2 접속부의 폭 방향의 가장자리 끝부로서 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측과 반대측의 가장자리 끝부보다 상기 탄성부의 폭 방향의 중심축에 근접하는 방향으로 퇴피되어 있는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 탄성부의 폭방향의 가장자리 끝부로서 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측의 가장자리 끝부가, 상기 제 1 및 제 2 접속부의 폭 방향의 가장자리 끝부로서 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측의 가장자리 끝부보다 상기 탄성부의 폭방향의 중심축에 근접하는 방향으로 퇴피되어 있는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자.
  8. 길이 방향의 끝부에 위치하고, 검사용 신호를 출력하는 회로구조와 접촉하는 제 1 접촉부와, 상기 길이방향과 직교함과 동시에 당해 도전성 접촉자의 폭 방향과 평행한 방향으로 연신하는 복수의 직선부 및 인접하는 상기 직선부끼리를 접속하여 원호형상으로 만곡하는 복수의 만곡부를 가지고, 상기 길이방향의 중간부에 위치하고, 상기 길이방향으로 신축 가능한 탄성부와, 상기 길이방향의 상기 제 1 접촉부와는 다른 끝부에 위치하고, 상기 검사대상과 접촉하는 선단이 상기 탄성부의 폭 방향의 가장자리 끝부보다 상기 탄성부의 폭 방향의 중심축으로부터 멀어지는 방향으로 돌출하는 제 2 접촉부와, 상기 제 1 접촉부 및 상기 탄성부를 접속하는 제 1 접속부와, 상기 탄성부 및 상기 제 2 접촉부를 접속하여, 두께 방향으로 관통하는 개구부가 형성된 제 2 접속부를 가지고, 판 형상을 이루는 복수의 도전성 접촉자와,
    상기 도전성 접촉자의 길이방향의 한쪽의 가장자리 끝부로서 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측의 가장자리 끝부를 끼워 유지하는 복수의 제 1 가이드홈, 및 상기 복수의 제 1 가이드홈과 각각 대향하여 위치하고, 대향하는 상기 제 1 가이드홈에 끼워 넣어진 상기 도전성 접촉자의 다른쪽의 가장자리 끝부를 끼워 맞춰 유지하는 복수의 제 2 가이드홈을 가지는 도전성 접촉자 홀더와,
    상기 복수의 도전성 접촉자가 각각 가지는 상기 제 2 접속부에 형성된 상기 개구부를 관통하여, 상기 도전성 접촉자 홀더에 고착된 막대 형상 부재를 구비하고,
    상기 도전성 접촉자는,
    상기 복수의 만곡부 중 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측에서 만곡되는 상기 만곡부의 외경은, 상기 제 2 접촉부의 선단에 가까울수록 작고,
    상기 복수의 만곡부 중 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측과 반대측에서 만곡되는 상기 만곡부의 외경은, 상기 제 2 접촉부의 선단에 가까울수록 큰 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 막대 형상 부재의 길이방향으로 수직한 단면적은, 상기 도전성 접촉자에 형성된 상기 개구부의 면적보다 작은 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.
  10. 제 8항 또는 제 9항에 있어서,
    상기 제 2 접촉부의 선단은, 상기 도전성 접촉자 홀더의 바깥쪽면으로서 안쪽에 상기 제 1 가이드홈이 형성된 부분의 바깥쪽면보다 상기 바깥쪽면의 법선방향으로 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.
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