WO2007119842A1

WO2007119842A1 - チタン製の部材に対して行う貴金属めっき

Info

Publication number: WO2007119842A1
Application number: PCT/JP2007/058230
Authority: WO
Inventors: Naotaka Aoyama; Seiji Mizuno
Original assignee: Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha
Priority date: 2006-04-14
Filing date: 2007-04-10
Publication date: 2007-10-25
Also published as: CA2646189A1; JPWO2007119842A1; DE112007000680T5; CN101421875A; JP5088318B2; US8211495B2; CA2646189C; DE112007000680B8; US20090087558A1; DE112007000680B4

Abstract

チタンの表面に貴金属めっきを行う技術を提供する。たとえば、一部に金めっきが施された燃料電池用セパレータの製造する際に、以下のような処理を行う。すなわち、まず、チタンまたはチタン合金で設けられ燃料電池のセパレータに用いられるチタン部材を準備する（Ｓ１０）。このチタン部材は、炭素を含む物質が表面に付着したチタン部材である。そして、このチタン部材に対して、摂氏３００度～７００度の所定の第１の温度で第１の加熱処理を実行する（Ｓ２０）。その後、加熱処理したチタン部材の表面に金めっきを行う（Ｓ８０）。このような態様とすれば、チタンの表面により簡便に電解金めっきを行うことができる。

Description

明細書

チタン製の部材に対して行う貴金属めつき

技術分野

この発明は、貴金属めつきに関し、さらに詳しくは、チタンまたはチタン合金製の部材に貴金属めつきを行う技術に関する。

背景技術

従来より、燃料電池においては、そのまま使用したのでは燃料電池の電極との接触抵抗が大きくなるような素材でセパレータを形成する場合には、セパレー夕表面の電極との接触部分に金めつきを施してきた。しかし、チタンまたはチタン合金でセパレー夕を形成する場合には、その表面に直接電解金めつきを行うことは難しい。チタンまたはチタン合金製のセパレー夕（以下、まとめて「チタン製のセパレー夕 j という）の表面には不働態であるチタンの酸化物被膜が形成されているためである。一方、まず下地めつきとしてニッケルめっきを行い、その後、金めつきを行えば、チタン製のセパレ一夕に金めっきを行うことができる。しかし、そのような態様のセパレー夕においては、表面の金めつきに欠陥が存在すると、そこからニッケルが溶出する可能性がある。ニッケルは環境に悪影響を与えるため、チタンに直接金めつきを行う技術が求められている。このような課題は、金めつきに限らず、他の導電性の部材と接触抵抗が低いことが要求されるチタン製またはチタン合金製の製品や部品において、貴金属めつきを行う場合について、広く存在する。本発明は、上記の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、チタンの表面に電解貴金属めつきを行う技術を提供することを目的とする。なお、日本国特許出願 2 0 0 6— 1 1 1 5 1 4号の開示内容は、参考のために、この明細書に組み込まれる。発明の開示

上記目的を達成するために、本発明は、少なくとも一部に貴金属めつきが施された燃料電池用セパレ一夕を製造する際に、以下のような処理を行う。すなわち、まず、（a ) チタンまたはチタン合金で設けられ燃料電池のセパレー夕に用いられるチタン部材の表面の少なくとも一部に炭化チタンを形成する。その後、（b ) チタン部材の表面の少なくとも一部に貴金属めつきを行う。炭化チタンには、酸化チタンよりも強固に金が付着する。よって、このような態様とすれば、チタンの表面に貴金属めつきを行うことができる。なお、チタン部材の表面の少なくとも一部に炭化チタンを形成する際には、以下のような処理を行うことが好ましい。すなわち、（a 1 ) チダン部材として、炭素を含む物質が表面に付着したチタン部材を準備する。そして、（a 2 ) チタン部材に対して、常温よりも高い所定の第 1の温度で第 1の加熱処理を実行する。このような態様とすれば、チタン部材の表面の少なくとも一部に炭化チタンを形成することができる。また、炭素を含む物質が表面に付着したチタン部材は、チタン部材を圧延した際に使用された圧延油が付着したチタン部材とすることができる。そのような態様においては、炭素を含む物質は圧延油である。このような態様とすれば、チタン部材の製造工程において付着する圧延油を使用して炭化チタンを形成することができる。このため、炭化チタンを形成するための炭素を含む物質を塗布するェ程を、圧延工程とは別に設ける必要がない。また、上記の第 1の温度は、摂氏 3 0 0度〜 7 0 0度の範囲に含まれる温度とすることが好ましい。さらに、第 1の温度は、摂氏 4 5 0度〜 5 5 0度の範囲に含まれる温度とすることがよリ好ましい。なお、第〗の処理によって、炭化チタンが、チタン部材の表面の少なくとも一部に不均一な密度で形成されることが好ましい。また、チタン部材の表面に炭化チタンを形成する際には、以下のように形成することができる。すなわち、チタン部材の表面の少なくとも一部に含まれる第 1 の場所において、第 1の厚みで炭化チタンを形成する。そして、チタン部材の表面の少なくとも一部に含まれ第 1の場所とは異なる第 2の場所において、第 1の厚みとは異なる第 2の厚みで炭化チタンを形成する。また、燃料電池用セパレ一夕を製造する際には、さらに、（c ) 貴金属めつきしたチタン部材に対して、常温よりも高い所定の第 2の温度で第 2の加熱処理を実行することが好ましい。このような態様とすれば、貴金属めつき層とチタン部材との界面に存在する水素化チタンをチタン部材内に拡散させることができる。その結果、貴金属めつき層とチタン部材とをより強固に密着させることができる。なお、第 2の温度は、摂氏 2 2 0度〜 4 0 0度の範囲に含まれる温度とすることが好ましい。なお、本発明は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、燃料電池のセパレー夕、燃料電池のセパレ一夕の製造方法、チタン製のセパレータを備えた燃料電池、その燃料電池の製造方法等の形態で実現することができる。以下では、図面を参照して、本願発明の好ましい実施例の詳細が説明され、本願発明の上述の目的およびその他の目的、構成、効果が明らかにされる。

図面の簡単な説明図 1は、本発明の実施形態のセパレー夕の製造方法を示すフローチャートである。

図 2は、実施形態のセパレー夕の製造方法の各段階におけるセパレータ用板状部材を示す断面図である。

図 3は、図 1の他の各ステップの条件を一定に保ったまま、ステップ S 2 0における加熱処理の目標温度を変えて図 1の処理を行い、めっき層の付着力の試験を行った結果を示すグラフである。

発明を実施するための最良の形態

A . 実施形態：

図 1は、本発明の実施形態のセパレー夕の製造方法を示すフローチヤ一卜である。図 2は、実施形態のセパレ一夕の製造方法の各段階におけるセパレ一夕用板状部材を示す断面図である。セパレー夕の製造する際には、まず、図 1のステツプ S 1 0で、金めつきの対象とするチタン製のセパレー夕用板状部材 1 0を準備する。板状部材 1 0の素材は、たとえば、 J I S 1種の純チタンとすることができる。この板状部材〗 0は、チタンの部材が圧延されて設けられた板状部材であり、その表面には圧延油 2 0が付着している（図 2 ( a ) 参照）。なお、圧延油は炭素を含む油脂で設けられている。空気が存在する環境下では、通常、チタン製の部材の表面は不働態の酸化チタン丁 i 0₂で覆われている。図 2では、板状部材 1 0のうち、純チタン T iの部分を 1 1で示し、表面の酸化チタン T i 0₂の部分を 1 2で示す。図 1のステップ S 2 0では、板状部材 1 0の導電化処理が行われる。具体的には、たとえば、板状部材 1 0は、 1 0— ² T o r rのアルゴン雰囲気化で、約 3 0秒間、摂氏 4 0 0度〜 5 0 0度に加熱処理される。ここでは、温度制御の目標温度を 4 5 0度に設定する。この加熱処理により、圧延油 2 0中の炭素とチタン製の板状部材 1 0の表面の部分とが反応して、炭化チタン T i 一 Cとなる。板状部材 1 0のうち、炭化チタンの部分を図 2 ( b ) において 3 0で示す。なお、板状部材 1 0の表面に付着していた圧延油 2 0は、各部分について厳密に均質な量および密度で付着していたわけではない。このため、炭化チタン部 3 0の密度および厚みは、場所によって異なっている。また、一部には、不働態の酸化チタン T i 0₂がそのまま残っている部分もある。すなわち、板状部材 1 0の表面には、炭化チタン T i—Cがリッチな部分と、酸化チタン丁 ί 0₂がリッチな部分とが存在する。なお、チタン製のセパレータを製造する際には、ステップ S 2 0の処理に先だつて、チタンの板状部材の圧延工程およびその後の焼鈍工程が実施される。ステップ S 2 0は、その焼鈍工程の最終段階において、温度を摂氏 4 0 0度〜 5 0 0 度に調整することによって、実現することができる。実際には、ステップ S 2 0 における摂氏 4 0 0度〜 5 0 0度の設定温度は、焼鈍工程の温度よりも低い温度である。また、連続焼鈍工程においては、多くの場合、最初に洗浄工程が実施されるが、その洗浄工程を経ても、ステップ S 2 0において炭化チタンを形成できる程度に十分な圧延油が、チタン製の板状部材の表面に残存する。

S 3 0 ~ S 7 0では、後に行われる電解金めつきに先だって、前処理が行われる。ステップ S 3 0では、板状部材 1 0に対してバフ研磨が行われる。このバフ研磨により板状部材 1 0の表面に付着していた炭化した圧延油などが、研磨剤によって機械的に除去される。なお、清浄な表面の場合は、ステップ S 3 0〜S 7 0を経ず、直接ステップ S 8 0の工程に進むことができる。ステップ S 4 0では、板状部材 1 0に対してバフカス除去が行われる。このバフカス除去において、界面活性剤によって、板状部材 1 0の表面に付着していた研磨剤が除去される。ステップ S 5 0では、板状部材 1 0に対して浸漬脱脂が行われる。具体的には、板状部材 0が、 N a O Hを主剤としたアルカリ性溶液に浸される。その結果、板状部材 1 0の表面の油脂分が鹼化反応によって除かれる。ステップ S 6 0では、板状部材 1 0に対して電解脱脂が行われる。具体的には、 N a O Hを主剤としたアルカリ性溶液中で板状部材 1 0の電解を行う。その結果、鹼化反応とともに、電解によって発生するガスによって、板状部材 1 0の表面の汚れが落とされる。ステップ S 7 0では、板状部材 1 0に対して酸活性が行われる。具体的には、板状部材 1 0がフッ酸系容液に浸される。その結果、板状部材 1 0の表面の薄い鯖びゃスマットが除去され、板状部材 1 0の表面が一部、溶解されて、金属表面が露出される。なお、ステップ S 7 0後に露出される金属は炭化チタン、水酸化チタンまたは酸化チタンである。すなわち、炭化チタン部 3 0や酸化チタン部 1 2の下にあるチタン部 1 1が露出されるわけではない。ステップ S 8 0では、板状部材 1 0に対して電解金めつきが行われる。具体的には、金イオンまたは金錯イオンを含む亜硫酸系浴中で、陰極に板状部材 1 0を配し、電流を流して、板状部材 1 0の表面に金属金を析出させる。ここでは、電流密度 0 . 3 AZ d m²、摂氏 5 0度で約 1 0分間、通電を行った。なお、電解金めっきを行う際には、シアン系浴を使用することもできる。通常、チタン製の部材の表面は不働態の酸化チタン T i 0₂で覆われている。このため、チタン製の部材には電解金めつきをすることは困難である。しかし、本実施形態では、ステップ S 2 0で板状部材 1 0の表面に酸化チタン T i 0₂よりも導電性が高い炭化チタン T i一 Cの部分 3 0が設けられている。このため、ステップ S 8 0において、板状部材 1 0の表面上に金めつきをすることができる。また、炭化チタンには、不働態である酸化チタンに比べて強固に金が付着する。よつて、本実施形態によれば、この点からも、剥離しにくい金めつきをチタン部材上に形成することができる。なお、本発明は、 T i一 Cの代わりに T i Nや T i B等の高導電化皮膜を有する態様でも実施可能であることも分かったが、 T i ― Cの態様は、より好ましい結果が得られた。ステップ S 8 0で電解金めつきが行われた結果、板状部材 Ί 0の表面には、図 2 ( c ) に示すように、金めつき層 4 0が設けられる。なお、その際、金めつき層 4 0と炭化チタン部 3 0との間には、水素化チタン T i H , T i H ₂の層 5 0ができる。これは、ステップ S 7 0の酸活性の際に水素が板状部材 1 0の表面に付着し、その水素と板状部材 1 0の炭化チタン T i一 Cとが反応してできたものと考えられる。理由として、 T i—C層を完全に除去した T i 0₂層ではそもそも A uはのらないが、 T i H , T i H ₂層の形成も著しく阻害されていることが挙げられる。ステップ S 9 0では、板状部材 1 0を洗浄する。具体的には、板状部材 1 0を温水に浸して、超音波により洗浄を行う。ステップ S 1 0 0では、板状部材 1 0に対して加熱処理が行われる。すなわち、板状部材 1 0は、 1 0— ² T 0 r rのアルゴン雰囲気化で、摂氏 3 0 0度〜 3 5 0度で約 9分間、加熱処理される。なお、目標温度は摂氏 3 3 0度とする。この加熱処理により、水素化チタン層 5 0の水素化チタンは、板状部材 1 0内部に拡散する。その結果、図 2 ( d ) に示すように、水素化チタン層 5 0は消滅する。水素化チタンはもろい。このため、金めつき層 4 0と炭化チタン部 3 0との間に水素化チタン T i H , T i H ₂の層 5 0が存在すると、金めつき層 4 0が剥離しやすくなる。しかし、実施形態では、加熱処理により、金めつき層 4 0と炭化チタン部 3 0との間の水素化チタンを拡散させている。このため、金めつき層 4 0 と炭化チタン部 3 0とが強固に密着し、金めつき層 4 0は、板状部材 1 0からよリ剥がれにくくなる。

B . 実施例：

実施例では、図 1 に示すフローチャートに従ってチタン製のセパレータ用板状部材 1 0に金めつきを行った。その際、ステップ S 2 0における加熱処理の目標温度を変え、他の各ステップの条件を一定に保って、処理を行った。条件は以下の通りである。

( a ) 板状部材〗 0の素材は、 J I S 1種のチタンとした。

( b ) 板状部材 1 0の表面に T i一 Cを生成するための導電化処理（図 1のステップ S 2 0参照）は、 1 0— ²T o r rのアルゴン雰囲気化で、約 3 0秒間、目標温度を 3 0 0〜 7 0 0度の様々な温度に設定して行った。

( c ) 電解脱脂および浸漬脱脂（ステップ S 5 0および S 6 0参照）は、 N a O Hを主剤としたアル力リ性溶液で行った。

( d ) 酸活性（ステップ S 7 0参照）は、フッ酸系容液を使用して行った。

( e ) 金めつき（ステップ S 8 0参照）は、金錯イオンを含む亜硫酸系浴で行つた。

( f ) 水素化チタンを拡散させるための加熱処理（ステップ S 1 0 0参照）は、 1 0 "²T 0 r rのアルゴン雰囲気化で、目標温度を摂氏 3 3 0度に設定して、約 9 分間行った。図 3は、図 1の他の各ステップの条件を一定に保ったまま、ステップ S 2 0における加熱処理の目標温度を変えて図 1の処理を行い、めっき層の付着力 V sの試験を行った結果を示すグラフである。図 3の試験は、 J I Sに規定されたテープ剥離法にしたがって行った。図 3のグラフから分かるように、炭化チタンを生成するステップ S 2 0の加熱処理は、摂氏 4 0 0度〜 6 0 0度の範囲で行うことが好ましく、摂氏 4 5 0〜 5 5 0度の温度で行うことがより好ましい。加熱処理の温度が摂氏 4 0 0度よりも低い場合にめつき層の付着力が低くなるのは、以下のような理由からであると考えられる。すなわち、加熱処理の温度が摂氏 4 0 0度よりも低い場合は、炭素を含む化合物である圧延油の炭化が促進されず、圧延油の分解が起こりにくくなる。このため、炭化チタン T i一 Cが生成されにくいためであると考えられる。一方、加熱処理の温度が摂氏 7 0 0度よりも高い場合にめっき層の付着力が低くなるのは、以下のような理由からであると考えられる。すなわち、加熱処理の温度が摂氏 7 0 0度よりも高い場合は、圧延油中の多くの炭素成分が二酸化炭素等のガスとして素材外に排出されるか、もしくは素材内部に拡散し素材表層付近に残らないためであると考えられる。また、上記のようにして加熱処理して表面に不均一に炭化チタンを生成したチタン製の板状部材 1 0と（図 2 ( b ) 参照）、同じチタン製の板状部材に対して、加熱処理ではなくスパッタリングによって表面に均一に炭化チタンの層を設けたものと、のそれぞれについて、金めつきの付着力の比較の試験を行った。なお、試験は、 J I Sに規定されたテープ剥離法にしたがって行った。その結果、加熱処理によって表面に不均一な炭化チタンを生成した板状部材 1 0の方が、スパッ夕リングによって均一な炭化チタンを生成した板状部材ょリも、金めつきが強固に付着することが分かった。

C . 他の態様：

なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような形態も可能である。

C 1 . 他の形態 1 ：

上記実施形態では、板状部材 1 0に対して金めつきが行われる。しかし、部材表面にめっきする物質は、金（A u ) に限られず、銀（A g ) 、白金（P t ) 、パラジウム（P d ) 、ロジウム（R h ) 、イリジウム（ I r ) 、ルテニウム（R u ) 、オスミウム（O s ) 、などの他の貴金属を採用することができる。

C 2 . 他の形態 2 ：

上記実施形態では、板状部材 1 0は、 J I S 1種のチタンで設けられている。しかし、金めつきを行う部材の素材は、これに限られるものではない。すなわち、金めつきを行う部材の素材は、 J I S 2種や 3種のチタンとすることもできる。また、 J I Sに定められた純チタン以外に、他の金属をより多く含むチタン合金とすることもできる。

C 3 . 他の形態 3 ：

上記実施形態では、炭化チタンは、板状部材 1 0の表面に付着した圧延油中の炭素と板状部材 1 0のチタンとが反応して生じている。しかし、炭化チタンの生成に使用される炭素は他の方法で供給されてもよい。たとえば、炭素を含む好適な素材を、加熱処理に先立って板状部材 1 0表面に塗布してもよい。 C 4 · 他の形態 4 ：

上記実施形態では、板状部材 1 0の表面に炭化チタンを生成する際には、 1 0 "² T 0 r rのアルゴン雰囲気化で、約 3 0秒間、目標温度 4 5 0 °Cの加熱処理を行う。しかし、チタン部材の表面に炭化チタンを生成する際には、温度、圧力および加熱時間は様々な値とすることができる。また、ヘリウム雰囲気下で行うなど、他の不活性ガスの雰囲気下で行うこともできる。ただし、加熱温度は、 3 0 0 °C 以上、 7 0 0 °C以下であることが好ましく、 4 0 0 °C以上、 6 0 0 °C以下であることがより好ましい。そして、加熱温度は、 4 5 0 °C以上、 5 5 0 °C以下であることがさらに好ましい。

C 5 . 他の形態 5 ：

上記実施形態では、板状部材 1 0の表面に炭化チタンを生成する工程（図 1ステツプ S 2 0 ) は、焼鈍工程の最終段階において行われている。しかし、チタン部材の表面に炭化チタンを生成する工程は、このような態様に限られず、焼鈍ェ程とは独立な工程として実施することもできる。

C 6 . 他の形態 6 ：

上記実施形態では、板状部材 1 0の表面に炭化チタンは加熱処理によって不均 —な厚みで設けられている。しかし、炭化チタンはスパッタリングなどの他の処理でチタン部材の表面に設けることもできる。また、炭化チタンはほぼ均一な厚みでチタン部材の表面に設けることもできる。ただし、チタン部材の表面に設ける炭化チタンは、不均一な厚みで設けることがより好ましい。なお、「炭化チタンが不均一な厚みで設けられる」とは、チタン部材の表面の一部に炭化チタンが設けられない部分がある態様をも含む。

C 7 , 他の形態 7 ：

上記実施形態では、水素化チタンを拡散させる工程（図 1のステップ S 1 0 0 ) では、 1 0 _²T o r rのアルゴン雰囲気化で、目標温度 3 3 0 °Cで約 9分間加熱処理を行う。しかし、金めつきを行ったチタン部材において水素化チタンを拡散させるために加熱処理を行う際には、温度、圧力および加熱時間は様々な値とすることができる。また、ヘリウム雰囲気下で行うなど、他の不活性ガスの雰囲気下で行うこともできる。ただし、加熱温度は、 3 0 0 °C以上、 4 0 0 °C以下であることが好ましく、 3 2 0 °C以上、 3 8 0 °C以下であることがより好ましい。

C 8 . 他の形態 8 ：

上記実施形態の方法で製造したセパレー夕を用いて燃料電池を製造することも好ましい。この燃料電池は、反応ガスの電気化学反応によって発電を行う膜電極接合体と、上記セパレー夕とを備えた燃料電池である。膜電極接合体は、電解質膜と、電解質膜の両側に設けられた電極と、を備える。そして、セパレー夕は、電極に対して電解質膜とは逆の側にそれぞれ設けられ、金めつきが施された部分を介して電極と接している。このような燃料電池は、セパレー夕がチタンで設けられているため、セパレー夕が腐食を起こすことなく、長期にわたって安定した性能を発揮することができる。また、セパレ一夕が金めつきが施された部分を介して電極と接しているため、セパレー夕と電極との接触抵抗が小さい。よって、セパレー夕と電極との接触部分に金めつきを有しない場合に比べて発電効率が高い。そして、セパレー夕においては、金めつき層とチタン部材とが炭化チタンを介して接触しているため、金めっき層がチタン部材から剥離しにくい。以上では、本願発明をその好ましい例示的な実施例参照して詳細に説明した。しかし、本願発明は、以上で説明した実施例や構成に限定されるものではない。そして、本願発明は、様々な変形や均等な構成を含むものである。さらに、開示された発明の様々な要素は、様々な組み合わせおよび構成で開示されたが、それらは例示的な物であリ、各要素はより多くてもよく、また少なくてもよい。そして、要素は一つであってもよい。それらの態様は本願発明の範囲に含まれるものである。

産業上の利用可能性

この発明は、燃料電池、燃料電池システム、燃料電池を動力源とする原動機、燃料電池を利用した動力源を有する車両に適用可能である。

Claims

請求の範囲

1. 少なくとも一部に貴金属めつきが施された燃料電池用セパレータを製造する方法であって、

(a) チタンまたはチタン合金で設けられ燃料電池のセパレー夕に用いられるチタン部材の表面の少なくとも一部に炭化チタンを形成する工程と、

(b) 前記工程（a) の後に、前記炭化チタンの少なくとも一部に貴金属めつきを行う工程と、を含む、方法。

2. 請求項 1記載の方法であって、

前記工程（a) は、

(a 1 ) 前記チタン部材として、炭素を含む物質が表面に付着したチタン部材を準備する工程と、

(a 2) 前記チタン部材に対して、常温よりも高い所定の第〗の温度で第 1の加熱処理を実行する工程とを含む、方法。

3. 請求項 2記載の方法であって、

前記炭素を含む物質が表面に付着したチタン部材は、前記チタン部材を圧延した際に使用された圧延油が付着したチタン部材であり、

前記炭素を含む物質は前記圧延油である、方法。

4. 請求項 2記載の方法であって、

前記第 1の温度は、摂氏 300度〜 700度の範囲に含まれる温度である、方法。

5. 請求項 2記載の方法であって、

前記第 1の温度は、摂氏 450度〜 550度の範囲に含まれる温度である、方

6. 請求項 1記載の方法であって、前記工程（a ) の結果、前記炭化チタンは前記チタン部材の前記表面の少なくとも一部に不均一な密度で形成される、方法。

7 . 請求項 1記載の方法であって、

前記工程（a ) は、

前記チタン部材の前記表面の少なくとも一部に含まれる第 1の場所において、第 1の厚みで炭化チタンを形成し、

前記チタン部材の前記表面の少なくとも一部に含まれ前記第 1の場所とは異なる第 2の場所において、前記第 1の厚みとは異なる第 2の厚みで炭化チタンを形成する工程である、方法。

8 . 請求項 1ないし 7のいずれかの請求項に記載の方法であって、さらに、 ( c ) 前記貴金属.めっきしたチタン部材に対して、常温よりも高い所定の第 2の温度で第 2の加熱処理を実行する工程を含む、方法。

9 . 請求項 8記載の方法であって、

前記第 2の温度は、摂氏 2 2 0度〜 4 0 0度の範囲に含まれる温度である、方