WO2005070665A1 - ガスバリア性フィルム及びガスバリア性積層体 - Google Patents

ガスバリア性フィルム及びガスバリア性積層体 Download PDF

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WO2005070665A1
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resin
barrier film
film
thin film
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PCT/JP2005/001017
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Tooru Hachisuka
Shigenobu Yoshida
Chiharu Okawara
Yoshinori Kobayashi
Kenji Ito
Hisashi Togashi
Kouichi Hirata
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Mitsubishi Plastics, Inc.
National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology
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Definitions

  • the present invention relates to a gas barrier film and a gas barrier laminate.
  • a gas barrier film comprising a plastic film as a base material and an inorganic thin film of aluminum oxide, magnesium oxide, silicon oxide or the like formed on the surface thereof by a vapor deposition method, a sputtering method, a CVD method, or an ion plating method
  • a vapor deposition method a vapor deposition method
  • a sputtering method a CVD method
  • an ion plating method It is widely used for packaging of goods that need to shut off various gases such as water vapor and oxygen, and for wrapping to prevent deterioration of foods, industrial supplies, and pharmaceuticals.
  • these gas barrier films have been used for new applications such as liquid crystal display elements, solar cells, electromagnetic wave shields, touch panels, EL substrates, and some of the transparent conductive sheets used in color filters, etc., in addition to packaging. Is also attracting attention.
  • the strength of the gas-noble film is generally excellent in the wettability of the inorganic thin film, the film has good printability and is widely
  • a gas-barrier laminated film in which a gas-barrier resin such as a mixture of a water-soluble polymer and a metal alkoxide, a vinylidene chloride-based copolymer, and an ethylene-bulcohol copolymer (hereinafter referred to as “EVOH”) is coated on a vapor deposition surface.
  • a gas-barrier resin such as a mixture of a water-soluble polymer and a metal alkoxide, a vinylidene chloride-based copolymer, and an ethylene-bulcohol copolymer (hereinafter referred to as “EVOH”) is coated on a vapor deposition surface.
  • EVOH ethylene-bulcohol copolymer
  • paramagnetic defects in silicon oxide are determined by electron spin resonance (ESR) measurements, which are caused by defects at the interface between Si and SiO, such as Pb center (g value 2.003) and oxygen vacancies in Si ⁇ .
  • ESR electron spin resonance
  • the E 'center (g value: 2.001) is known due to the defects that occur (Applied physics: m, 852 (2001)), and the radical density of the E' center observed by the ESR method as a silicon oxide thin film formed by the CVD method was specified.
  • a gas barrier film has been proposed (for example, see Patent Document 5).
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-299826
  • Patent Document 2 JP-A-2-50837
  • Patent Document 3 JP-A-8-267637
  • Patent Document 4 JP-A-7-80986
  • Patent Document 5 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-192646
  • the radical density of the E ′ center is regulated, but while the silicon oxide formed by the vapor deposition method has a structure centered on the Pb center. It is a main component, and it is found that it is difficult to specify the structure at the E 'center, and the radical density at the E' center is not enough to specify the structure to obtain high gas barrier properties.
  • the present invention has been made with a focus on powerful circumstances, and an object of the present invention is to provide a gas barrier film having an improved gas barrier property of an inorganic thin film and a laminate using the gas barrier film. is there.
  • the present inventors have conducted intensive studies in order to solve the above-mentioned object, and as a result, when vapor-depositing or post-treating a gas barrier film provided with an inorganic thin film under specific conditions, oxidation was performed.
  • the present inventors have found that it is possible to improve the gas barrier property by setting the radical density of the Pb center of the silicon film in an appropriate range, and have completed the present invention.
  • the gas barrier film of the present invention comprises a substrate and both or one side of the substrate.
  • the gas barrier film of the present invention is a gas barrier film having a substrate and an inorganic thin film containing silicon oxide and other metal components formed on both surfaces or one surface of the substrate.
  • the Pb center of silicon oxide in the inorganic thin film which is observed by an ESR method, has a radical concentration of 3 ⁇ 10 ′′ 3 ⁇ 10 17 spins / mol or less.
  • the gas barrier film of the present invention is a gas barrier film having a substrate and an inorganic thin film containing silicon oxide formed on both surfaces or one surface of the substrate, and is observed by ESR measurement.
  • the ratio (S2 / S1) of the Pb center spin density (S2) measured after heating the gas barrier film at 120 ° C. for 24 hours to the Pb center spin density (S1) of the silicon oxide film is 0.5 or more. It is characterized by the following.
  • the gas barrier laminate of the present invention is characterized in that a print layer is formed on the inorganic thin film surface of the gas barrier film, and a heat seal layer is laminated on the surface of the print layer. I do.
  • the gas barrier laminate of the present invention is characterized in that a print layer is formed on a top coat layer surface of the gas barrier film having a top coat layer provided on the inorganic thin film surface, and heat is applied to the surface of the print layer. It is characterized by being laminated with a seal layer.
  • the gas barrier film and the laminate thereof of the present invention exhibit high gas barrier performance while minimizing the increase in the number of steps and costs, and exhibit sufficient gas barrier performance immediately after production, as compared with the prior art. Therefore, it is of great value as satisfying the characteristics required for packaging films in recent years.
  • a plastic substrate is preferably used as a substrate used in the present invention.
  • the base material made of plastic is made of a resin that can be a normal packaging material.
  • resins include polyolefins such as homopolymers or copolymers of ethylene, propylene, butene, etc., amorphous polyolefins such as cyclic polyolefins; polyethylene terephthalate, polyethylene 1,6_naphthalate, etc.
  • Polyesters such as nylon 6, nylon 66, nylon 12, and copolymerized nylon; partially hydrolyzed ethylene-vinyl acetate copolymer (EVOH), polyimide, polyetherimide, polysanolone, polyethersulfone, and polyether Substrates made of ether ether ketone, polycarbonate (PC), polybutyral, polyarylate, fluororesin, atalylate resin, and biodegradable resins such as polylactic acid, succinic acid, and starch are included. Among them, polyester, polyamide, polyolefin and biodegradable resin are preferred.
  • the substrate of the present invention may be an unstretched substrate or a stretched substrate, preferably using the above resin as a raw material. Further, it may be laminated with another plastic substrate.
  • This substrate can be produced by a conventionally known general method, which is preferably a substrate formed into a film in terms of productivity of forming a thin film.
  • a raw resin is melted by an extruder, extruded by an annular die or a T die, and quenched to produce a substantially amorphous unoriented film.
  • the unstretched film is subjected to a film flow (vertical axis) direction or by a conventionally known general method such as uniaxial stretching, tenter-type sequential biaxial stretching, tenter-type simultaneous biaxial stretching, and tubular simultaneous biaxial stretching.
  • a film stretched in at least one direction can be produced.
  • the thickness of the film is selected in the range of usually 5500 ⁇ , preferably 10 200 xm, depending on the application such as mechanical strength, flexibility, transparency and the like as a substrate of the laminated structure of the present invention. .
  • the width and length of the film are not particularly limited, and can be appropriately selected according to the intended use.
  • an anchor coat layer between the base material and the inorganic thin film.
  • a method of forming the anchor coat layer a method of applying an anchor coat agent to the surface of the base material can be adopted, and an inorganic thin film is formed on the formed anchor coat layer.
  • the anchor coating agent examples include a solvent-soluble or water-soluble polyester resin, an isocyanate resin, a urethane resin, an acrylic resin, a vinyl alcohol resin, an ethylene vinyl alcohol resin, a vinyl modified resin, an epoxy resin, an oxazoline group-containing resin, It is possible to use a modified styrene resin, a modified silicone resin, an alkyl titanate or the like singly or in combination of two or more.
  • the thickness of the anchor coat layer is usually 0.0055 ⁇ m, preferably 0.01 ⁇ m. If the thickness exceeds 5 zm, the slipperiness may be poor, or the film may be easily peeled off from, for example, a film-like or sheet-like base material due to the internal stress of the anchor coat layer itself. On the other hand, if the film thickness is less than 0.005 x m, the film thickness may not be uniform.
  • the surface of the base material may be subjected to a chemical treatment, a discharge treatment or the like before the application.
  • silicon oxide is most preferred because it can be easily formed by a vacuum evaporation method and can stably maintain a high gas barrier property.
  • the inorganic thin film may contain other metal components (including a metal compound; the same applies hereinafter) in addition to silicon oxide. Examples of such a metal component include metals such as aluminum, magnesium, potassium, lithium, calcium, sodium, titanium, lead, and tin, and oxides, carbides, and nitrides thereof.
  • the thickness of the inorganic thin film is generally 0.1 to 500 nm, preferably 0.5 to 40 nm.
  • silicon oxide is used as an inorganic substance, and the density of radioactive holes at the Pb center of the silicon oxide film observed by ESR method measurement is 1 ⁇ 10 16 1 it is necessary N X 10 19 spins is m 3, more preferably 1 X 10 17 - is 8 X 10 18 spins N m 3.
  • the radical density at the Pb center can be calculated by the comparative quantitative method using the ESR method.
  • the radical density at the Pb center of the inorganic thin film is not increased while introducing a gas such as oxygen at the time of vapor deposition. It can be controlled by controlling the adhesion amount of the thin film. In addition, it can be controlled by irradiating the evaporation material with an electron beam or an ion beam at the time of vapor deposition.
  • the radical concentration of the Pb center can be reduced by the heat treatment, the hot water treatment, the electron beam treatment, the ultraviolet treatment, and the radical trapping agent coating treatment after the inorganic thin film is formed, so that the gas barrier property can be improved.
  • an acidic solution such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, acetic acid, and phosphoric acid.
  • the acid solution preferably has a pH of 26.5, particularly preferably in the range of 3-6. When the pH is lower than 2, the barrier property is reduced due to damage to the inorganic thin film, and when the pH is higher than 6.5, the effect of reducing the radical is small.
  • an inorganic thin film made of silicon oxide and a metal component other than silicon oxide is used, and the radical concentration of the Pb center of silicon oxide in the inorganic thin film is 3 ⁇ 10 14 — 3 X 10 17 spins / mol, preferably 3 X 10 15 — 2 X 10 17 spins / mol.
  • the inorganic thin film contains a metal component other than silicon oxide
  • the radial concentration of the Pb center of silicon oxide is within this range, the gas emission property becomes good.
  • the radical density at the Pb center of silicon oxide is calculated by the comparative quantitative method using the ESR method. If elements other than silicon are mixed in the inorganic thin film, the element ratio of the inorganic thin film is determined using an X-ray photoelectron spectrometer. In addition, the specific gravity and the thickness force of the thin film obtained by peeling the thin film by the density gradient tube method can also calculate the radical concentration of Pb center per 1 mol of silicon.
  • the gas barrier film is heated at 120 ° C. for 24 hours with respect to the radical density (S1) of the Pb center of the silicon oxide film observed by the ESR method measurement. It is necessary that the ratio (S2 / S1) of the measured radionuclide density (S2) of the Pb center is 0.5 or more.
  • An inorganic thin film having S2ZS1 of 0.5 or more has little change in gas barrier properties with time and has good gas barrier properties. As described above, S2 / S1 can be adjusted to 0.5 or more by controlling the radical density.
  • the top coat layer includes a solvent-soluble or water-soluble polyester resin, an isocyanate resin, a urethane resin, an acrylic resin, a vinyl alcohol resin, an EVOH resin, a vinyl-modified resin, an epoxy resin, an oxazoline group-containing resin, and a modified styrene.
  • the layer include a resin, a modified silicone resin, an alkyl titanate, and the like, alone or in combination of two or more.
  • top coat layer one or more inorganic particles selected from silica sol, alumina sol, particulate inorganic filler and layered inorganic filler are mixed with the one or more resins to improve barrier properties, abrasion properties and slipperiness.
  • a top coat agent composed of a resin containing inorganic particles formed by polymerizing the raw material of the resin in the presence of the inorganic particles.
  • a top coat layer composed of at least one resin selected from polyester resins, urethane resins, acrylic resins and oxazoline group-containing resins, and silica sol, alumina sol, particulate inorganic fillers and layered inorganic
  • a top coat layer made of the above resin obtained by adding one or more selected from fillers or by forming the above resin by polymerization or condensation in the presence of one particle thereof is preferable.
  • the raw material of the resin means a monomer constituting the resin when the resin is obtained by polymerization, and a condensed raw material such as diol, diamine, dicarbonic acid and the like when obtained by condensation. I do.
  • gas-noorous film of the present invention may be printed on the surface of the inorganic thin film layer or the surface of the top coat layer.
  • an aqueous, solvent-based resin-containing ink is used as the print layer.
  • the resin to be contained in the ink an acrylic resin, a urethane resin, a polyester resin, a vinyl chloride resin, a vinyl acetate copolymer resin, and a mixture thereof can be used.
  • a silane coupling agent may be added to these resins in an amount of 0.01 to 5% by mass to improve the adhesion to the inorganic thin film.
  • additives such as an antistatic agent, a light-blocking agent, an ultraviolet absorber, a plasticizer, a lubricant, a filler, a coloring agent, a stabilizer, a lubricant, a defoaming agent, a crosslinking agent, and a blocking agent are used.
  • An antioxidant, an antioxidant and the like can be added.
  • a well-known printing method such as an offset printing method, a gravure printing method, and a screen printing method can be used.
  • Hot air drying, hot roll drying, infrared drying and the like can be used for drying the solvent contained in the printed ink.
  • the gas barrier film of the present invention is 40.
  • the ratio (P2 / P1) of the water vapor permeability value (P2) measured after 48 hours to the water vapor permeability value (P1) measured after 3 hours by the JIS K 7129B method under the conditions of C and 90% RH is 0.5 or more. Les, preferably to be. This can be achieved by controlling the state of film formation such as evaporation conditions.
  • the gas barrier film of the present invention as described above has a gas barrier film having a water vapor permeability of usually 3 g / m 2 / day or less, preferably 2 g / m 2 / day or less, more preferably It is less than 1.2 g / m 2 / day.
  • the lower limit is usually in the range of 0.0001 g / m 2 / day or more.
  • gas barrier laminate of the present invention a laminate obtained by laminating a heat seal layer made of a heat sealable resin film on the inorganic thin film surface, the top coat layer surface or the print layer surface of the gas barrier film can be preferably exemplified.
  • This gas-noble laminate can be easily heat-sealed.
  • Heat sealable resins include polyethylene resin, polypropylene resin, EVOH resin, ionomer resin, EAA (ethylene-acrylic acid) resin, EMAA (ethylene-methacrylic acid) resin, EMA (ethylene-methyl acrylate) resin, EMMA Known resins such as (ethylene-methyl methacrylate) resin and EEA (ethylene-ethyl acrylate) resin I can get lost.
  • Examples of the gas barrier laminate of the present invention include a laminate obtained by laminating at least one paper and / or plastic film between a printing layer and a heat sealing layer.
  • Examples of paper used for the laminate include, but are not particularly limited to, high quality paper, art paper, and coated paper.
  • the thickness of the plastic film to be laminated is usually selected in the range of 5500 zm, preferably 10200 x m, depending on the application such as mechanical strength, flexibility and transparency of the laminate.
  • the width and length of the film can be appropriately selected without any particular limitation.
  • the type of the plastic film is not particularly limited, but a polyolefin-based film is preferable as a heat sealable film. Further, as a finolem having excellent mechanical strength, a biaxially stretched polyester film and a biaxially stretched nylon film are particularly preferable.
  • the inorganic thin film layer may be provided between the plastic film and the inorganic thin film layer. It is not limited to power.
  • a lamination method a dry lamination method or an extrusion lamination method can be used. in this case
  • an adhesive which may be used, an adhesive of urethane type, polyester type, acrylic type or the like is preferably used.
  • a layer containing printing or an ultraviolet absorber may be formed on the surface of the laminate and / or between the layers to impart light-shielding properties or ultraviolet-ray blocking properties.
  • a layer containing an oxygen absorbent such as iron powder may be formed on the surface of the laminate and between the layers to further prevent oxygen deterioration of the contents.
  • the layer containing the oxygen absorbent is preferably located between the inorganic compound layer and the surface in contact with the contents.
  • the gas barrier laminate of the present invention is 40.
  • the ratio (P2 / P1) of the water vapor permeability value (P2) measured after 48 hours to the water vapor permeability value (P1) measured after 3 hours by the JIS K 7129B method under the conditions of C and 90% RH is 0.5 or more. Les, preferably to be. This is the deposition condition And the like, control of the film formation state, selection of the heat seal layer, selection of paper and plastic film laminated between the print layer and the heat seal layer, and the like.
  • the water vapor permeability was evaluated by the following method according to various conditions of JIS K 7129B.
  • the gas barrier laminated film of 10 cm square of 10 cm square was dried with 10% RH at a temperature of 40 ° C and a relative humidity of 90% for 3 hours using Modern Control Co., Ltd. W-1 equipment. After the measurement, zero level measurement of the test equipment with dry air was performed. After the measurement was performed for 48 hours, zero level measurement of the test equipment was performed using dry air.
  • a gasoline carrier film formed with an inorganic thin film was cut into a size of 3 cm ⁇ 30 cm, inserted into a measurement tube in a cylindrical shape, and the center of the Pb center was measured with JEOL ESR JES_FA300 (trademark).
  • the absorption spectrum of the radical was measured, and the radionuclide density per inorganic thin film support was quantified by conversion to an absorption spectrum measured by a spin label manufactured by JEOL Ltd. and TEMPOL (registered trademark).
  • the amount of silicon in the inorganic thin film is determined by using an X-ray photoelectron spectrometer (ESCA 850, manufactured by Shimadzu Corporation) using the element of the inorganic thin film.
  • the silicon content in the inorganic thin film was determined from the specific gravity determined by the density gradient tube method after separating the thin film, and the thickness determined by the electron beam microscope. From the measured radical density, the radical concentration spins / mol of Pb center per 1 mol of silicon was calculated.
  • PET polyethylene terephthalate resin
  • a polyethylene terephthalate resin (hereinafter abbreviated as PET; manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, Novavex (trade name)) is melt-extruded by a usual method to form a sheet, and the sheet is stretched at a stretching temperature of 95 ° C and a stretching temperature of 95 ° C. After stretching in the longitudinal direction at an elongation ratio of 3.3, the film was stretched in the transverse direction at an elongation temperature of 110 ° C and an elongation ratio of 3.3 to obtain a biaxially stretched PET film having a thickness of 12 / im.
  • PET polyethylene terephthalate resin
  • an isocyanate compound manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd., trade name Coronate L (trademark)
  • a saturated polyester manufactured by Toyobo Co., Ltd., trade name Byron 300 (trade name)
  • : 1 was applied and dried to form an anchor coat layer having a thickness of 0.1 ⁇ m.
  • the oxygen gas was introduced using a vacuum deposition apparatus, 1.3 X 10- 2 Pa evaporated in Guangzhou wave heating scheme Si_ ⁇ under vacuum to form a thin film having a thickness of about 30nm on the anchor coat layer Inorganic on a thin film surface of the inorganic thin film, coated with a 1 X 10_ 3 molZL of dilute hydrochloric acid barcode in one coater, then blown dry 80 ° C3 minutes to obtain a gas barrier film.
  • the gas barrier film was measured for water vapor transmission rate and Pb center radio cane density with a g value of 2.003. After heating the gas barrier film in an oven at 120 ° C. for 24 hours, the Pb center radical density was measured. Table 1 shows the measurement results.
  • a gas barrier film was obtained in the same manner as in Example 1 except that dilute sulfuric acid having the same concentration was used instead of dilute hydrochloric acid. Table 1 shows the measurement results.
  • a gas barrier film was obtained in the same manner as in Example 1 except that 10% of aluminum was mixed with Si ⁇ as a deposition material. Table 1 shows the measurement results.
  • a gas barrier film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the gas introduced during the vapor deposition was carbon monoxide, and the coating with dilute hydrochloric acid was not performed. Table 1 shows the measurement results. (Example 7)
  • the pressure during the deposition was under a vacuum of 6.7 X 10- 3 Pa, the Gasunoku rear film in the same manner in place of the coating of dilute hydrochloric acid, except that heat treatment was carried out between 0.99 ° C, 1 hour as in Example 1 Obtained.
  • Table 1 shows the measurement results.
  • a gas barrier film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the dilute hydrochloric acid was not applied and the coating was performed. Table 1 shows the measurement results.
  • Example 1 To obtain a gas gas barrier film except that the concentration of dilute hydrochloric acid and 1 X 10- 7 mol / L in Example 1 in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the measurement results.
  • S2 / S1 is the value obtained by heating the gas barrier film at 120 ° C for 24 hours with respect to the Pb center-radio cane density (S1) of the silicon oxide film observed by ESR measurement. Shows the ratio of the measured radical density (S2) of the Pb center.
  • P2 / P1 represents the ratio of the value of the water vapor transmission rate (P2) measured for 48 hours to the value of the water vapor transmission rate (PI) measured for 3 hours by the JIS K 7129B method at 40 ° C. and 90% RH.
  • Table 1 force, et al, radical density of Pb center 1 X 10 16 - 1 X 10 19 gas barrier film of Comparative Example 1 one 3 having a silicon oxide thin film deviates from m 3 N spins the water vapor transmission rate There Kogukatsu, for values of P2 / P1 that low 0.2 0.4 example 1 one fourth radical density of Pb center 1 X 10 16 1 X 10 19 spins N m 3, 6, 7,
  • the gas barrier film of Example 5 in which the Pb center of the inorganic thin film has a radical concentration of 3 ⁇ 10 14 —3 ⁇ 10 17 spins / mol has a low water vapor permeability and a high value of P2 / P1. It can be seen that they are excellent and have excellent gas barrier durability.
  • the gas barrier film and the laminate of the present invention are used for packaging of articles which need to block various gases such as water vapor and oxygen, for packaging for preventing deterioration of foods, industrial supplies, pharmaceuticals, etc., and for liquid crystal displays. Suitable for applications such as elements, solar cells, electromagnetic wave shields, touch panels, EL substrates, and parts of transparent conductive sheets used in color filters.

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Abstract

　  　本発明のガスバリア性フィルムは、基材の両面または片面に形成された酸化珪素膜を有するガスバリア性フィルムであって、電子スピン共鳴法（ＥＳＲ法）測定によって観測される前記酸化珪素膜のＰｂセンターのラジカル密度が１×１０１６～１×１０１９ spins/cm3であるガスバリア性フィルム、及び、基材の両面または片面に形成された酸化珪素及び他の金属成分を含む無機薄膜を有するガスバリア性フィルムであって、ＥＳＲ法測定によって観測される前記無機薄膜中の酸化珪素のＰｂセンターのラジカル濃度が３×１０１４～３×１０１７spins/molであるガスバリア性フィルム、及び前記ガスバリア性フィルムに、紙及び／又はプラスチックフィルムを少なくとも１層以上積層した積層体である。  

Description

明 細 書
ガスバリア性フィルム及びガスバリア性積層体
技術分野
[0001] 本発明は、ガスバリア性フィルム及びガスバリア性積層体に関する。
本願は、 2004年 1月 27日に出願された特願 2004—018518号に対し優先権を主 張し、その内容をここに援用する。
背景技術
[0002] 従来、プラスチックフィルムを基材とし、その表面に蒸着法、スパッタリング法、 CVD 法、イオンプレーテング法により、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化珪素等 の無機薄膜を形成したガスバリア性フィルムは、水蒸気や酸素等の各種ガスの遮断 を必要とする物品の包装、食品や工業用品及び医薬品等の変質を防止するため包 装用途に広く利用されている。これらのガスバリア性フィルムは、包装用途以外にも、 近年、液晶表示素子、太陽電池、電磁波シールド、タツチパネル、 EL用基板、カラ 一フィルタ一等で使用する透明導電シートの一部などの新しい用途にも注目されて いる。また、力、かるガスノ リア性フィルムは一般に無機薄膜の濡れ性が良好なため、 印刷性が良く印刷包材として広く使用されている。
[0003] 一方、力かるガスバリア性蒸着プラスチックフィルムに関し、ガスバリア性の低下防 止を目的とした種々の改良検討がなされており、蒸着フィルムに水吸湿処理を行レ、、 加熱処理を行うことにより、透明性を維持しつつ、ガスバリア性を改良する方法 (例え ば、特許文献 1参照。）、各種ポリウレタン、各種ポリエステル、又は、ポリウレタンとポ リエステルの混合物からなる塗布層を蒸着面に設ける方法 (例えば、特許文献 2参照
。）が知られている。また、蒸着面上に水溶性高分子と金属アルコキシドの混合物、 塩化ビニリデン系共重合体、エチレンビュルアルコール共重合体（以下「EVOH」と いう。 )などのガスバリア性樹脂をコーティングしたガスバリア性積層フィルムが知られ ている（例えば、特許文献 3、 4参照。）。
[0004] また、酸化珪素中の常磁性欠陥については電子スピン共鳴法 (ESR法)測定により 、 Siと SiO界面の欠陥による Pbセンター（g値 2.003)や、 Si〇内の酸素空位に起因 する欠陥による E'センター（g値 2.001)が知られ (応用物理: m,852(2001))、 CVD法 による酸化珪素の薄膜形成として ESR法によって観測される E'センターのラジカル 密度を規定したガスバリア性フィルムが提案されている (例えば、特許文献 5参照。）。 特許文献 1：特開平 2 - 299826号公報
特許文献 2：特開平 2 - 50837号公報
特許文献 3：特開平 8 - 267637号公報
特許文献 4：特開平 7— 80986号公報
特許文献 5：特開 2002 - 192646号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0005] し力、しながら、特許文献 1一 4に記載した無機薄膜層を形成したフィルムのガスバリ ァ性は依然、充分高いとはいえず、より高度のガスバリア性を有するフィルムが求めら れていた。
また、特許文献 5に記載の酸化珪素薄膜形成ガスバリア性フィルムでは E'センター のラジカル密度を規定しているが、し力 ながら、蒸着法により形成した酸化珪素は P bセンターを中心とした構造が主成分であり、 E'センターにて構造を特定することは 困難で、 E'センターのラジカル密度では高いガスバリア性を得るための構造規定と はし難いことが見出された。
本発明は力かる事情に着目してなされたものであり、その目的は、無機薄膜のガス バリア性を向上させたガスバリァ性フィルム及び該ガスバリァ性フィルムを用レ、た積層 体を提供することにある。
課題を解決するための手段
[0006] 上記状況に鑑み、本発明者らは、上記目的を解決するために鋭意検討を行った結 果、無機薄膜を設けてなるガスバリア性フィルムを特定条件で蒸着または後処理する にあたって、酸化珪素膜の Pbセンターのラジカル密度を適性な範囲にすることにより ガスバリア性を向上させることが可能となることを見出し、本発明を完成するに至った
[0007] すなわち、本発明のガスバリア性フィルムは、基材と、前記基材の両面または片面 に形成された酸化珪素からなる無機薄膜とを有するガスノくリア性フィルムであって、 E SR法測定によって観測される前記酸化珪素膜の Pbセンターのラジカル密度が 1 X 1 016— 1 X 1019spir^cm3であることを特徴とする。
[0008] また、本発明のガスバリア性フィルムは、基材と、前記基材の両面または片面に形 成された酸化珪素及び他の金属成分を含む無機薄膜とを有するガスバリア性フィル ムであって、 ESR法測定によって観測される前記無機薄膜中の酸化珪素の Pbセン ターのラジカル濃度が 3 X 10" 3 X 1017spins/mol以下であることを特徴とする。
[0009] また、本発明のガスバリア性フィルムは、基材と、前記基材の両面または片面に形 成された酸化珪素を含む無機薄膜を有するガスノ リア性フィルムであって、 ESR法 測定によって観測される前記酸化珪素膜の Pbセンタースピン密度（S1)に対する、 ガスバリア性フィルムを 120°C、 24時間加熱した後に測定した Pbセンタースピン密度 (S2)の比（S2/S1)が 0.5以上であることを特徴とする。
[0010] また、本発明のガスバリア性積層体は、前記ガスバリア性フィルムの前記無機薄膜 面上に印刷層を形成し、前記印刷層の表面にヒートシール層を積層してなることを特 徴とする。
[0011] また、本発明のガスバリア性積層体は、前記無機薄膜面上にトップコート層を設け てなる前記ガスバリア性フィルムのトップコート層面上に印刷層を形成し、前記印刷 層の表面にヒートシール層を積層してなることを特徴とする。
発明の効果
[0012] 本発明のガスバリア性フィルム及びその積層体は、従来技術に比べ、工程及びコス ト増も最小限に抑えつつも高いガスバリア性能を示し、且つ製造直後から十分なガス バリア性能を発揮することから、近年の包装フィルムへの要求特性を満足させるもの として、価値が大きい。
発明を実施するための最良の形態
[0013] 以下、本発明の好適な実施例について説明する。ただし、本発明は以下の各実施 例に限定されるものではなぐ例えばこれら実施例の構成要素同士を適宜組み合わ せてもよい。
[0014] 本発明で用いる基材としてはプラスチック製基材が好ましく用いられ、このプラスチ ック製基材としては、通常の包装材料となりうる樹脂を原料とするものであれば特に制 限はない。このような樹脂の具体例としては、エチレン、プロピレン、ブテン等の単独 重合体または共重合体などのポリオレフイン、環状ポリオレフイン等の非晶質ポリオレ フィン；ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン一 2, 6_ナフタレート等のポリエステ ノレ；ナイロン 6、ナイロン 66、ナイロン 12、共重合ナイロン等のポリアミド；エチレン—酢 酸ビュル共重合体部分加水分解物（EVOH)、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリサ ノレホン、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート（PC) 、ポリビュルプチラール、ポリアリレート、フッ素樹脂、アタリレート樹脂、及びポリ乳酸 、コハク酸、澱粉等の生分解性樹脂などを原料とした基材が挙げられる。これらの中 では、ポリエステル、ポリアミド、ポリオレフイン、生分解樹脂が好ましい。
[0015] 本発明の基材は、上記の樹脂を原料として用いてなるものが好ましぐ未延伸の基 材でもよいし延伸した基材でもよい。また、他のプラスチック基材と積層されていても よい。
この基材は薄膜形成生産性の点でフィルム化した基材が好ましぐ従来公知の一般 的な方法により製造することができる。
例えば、原料樹脂を押し出し機により溶融し、環状ダイや Tダイにより押し出して、 急冷することにより実質的に無定型で配向していない未延伸フィルムを製造すること ができる。この未延伸フィルムを一軸延伸、テンター式逐次二軸延伸、テンター式同 時二軸延伸、チューブラー式同時二軸延伸などの従来公知の一般的な方法により、 フィルムの流れ (縦軸)方向又はフィルムの流れ方向とそれに直角な (横軸）方向に延 伸することにより、少なくとも一軸方向に延伸したフィルムを製造することができる。フ イルムの厚さは、本発明の積層構造体の基材としての機械強度、可撓性、透明性等 、用途に応じ、通常 5 500 μ πι、好ましくは 10 200 x mの範囲に選択される。ま た、フィルムの幅や長さは特に制限はなぐ適宜用途に応じて選択することができる。
[0016] なお、基材と、無機薄膜との密着性向上のため、基材と無機薄膜の間に、アンカー コート層を設けておくことが好ましい。アンカーコート層の形成法としては、基材の表 面にアンカーコート剤を塗布する方法を採用でき、形成されたアンカーコート層の上 に無機薄膜を形成すればょレ、。 アンカーコート剤としては、溶剤溶解性又は水溶性のポリエステル樹脂、イソシァネ ート樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、ビュルアルコール樹脂、エチレンビニルァノレ コール樹脂、ビニル変性樹脂、エポキシ樹脂、ォキサゾリン基含有樹脂、変性スチレ ン樹脂、変性シリコン樹脂及びアルキルチタネート等を単独、あるいは 2種以上併せ て使用すること力 Sできる。
アンカーコート層の厚さは通常 0.005 5 μ m、好ましくは 0.01 1 μ mである。 5 z mを超える膜厚では、滑り性が悪くなつたり、アンカーコート層自体の内部応力によ り例えばフィルム状やシート状の基材から剥離しやすくなつたりする場合がある。一方 、 0.005 x mに満たない膜厚では、均一な膜厚とならない可能性がある。
また、フィルムへのアンカーコート剤の塗布性、接着性を改良するため、塗布前に 基材表面に化学処理、放電処理などを施してもよい。
[0017] 基材の上に形成する無機薄膜を構成する無機物としては、真空蒸着法による形成 が容易であること、高いガスバリア性が安定に維持できる点で酸化珪素が最も好まし レ、。無機薄膜には酸化珪素以外に他の金属成分 (金属化合物を含む。以下同様)を 含有させることも可能である。そのような金属成分としては、例えば、アルミニウム、マ グネシゥム、カリウム、リチウム、カルシウム、ナトリウム、チタン、鉛、スズ等の金属及び それらの酸化物、炭化物、窒化物等が挙げられる。
[0018] 無機薄膜の厚さは、一般に 0.1— 500nmである力 好ましくは 0.5— 40nmである。
あまり薄いと十分なガスバリア性が得られにくぐまた、逆に厚すぎても蒸着膜に亀裂 や剥離が発生しやすくなつたり、透明性が悪くなつたりする。
[0019] 本発明における第 1の発明のガスバリア性フィルムにおいては、無機物として酸化 珪素を用レ、、 ESR法測定によって観測される前記酸化珪素膜の Pbセンターのラジカ ノレ密度が 1 X 1016 1 X 1019spinsん m3であることが必要であり、さらに好ましくは 1 X 1017— 8 X 1018spinsん m3である。
Pbセンターのラジカル密度は ESR法による比較定量法により算出できる。
Pbセンターのラジカル密度を上記の範囲の密度とすることによりガスバリア性は良 好となる。
[0020] 無機薄膜の Pbセンターのラジカル密度は蒸着時に酸素等のガスを導入しながら無 機薄膜の付着量をコントロールすることにより制御することができる。また、蒸着時に 電子線やイオンビームを蒸発材料に照射することによつても制御できる。
蒸着装置によりガスバリア良好となる適性条件は異なるため、蒸着条件を変化させ て Pbセンターのラジカル密度を測定することにより成膜条件を最適化することが可能 である。
また、 Pbセンターのラジカル濃度は、無機薄膜形成後に、加熱処理、熱水処理、電 子線処理、紫外線処理、ラジカルトラップ剤コート処理によりラジカルを減少させガス バリア性を向上させることができる。
特に、塩酸、硫酸、硝酸、酢酸、燐酸等の酸性溶液を塗布することが好ましい。酸 性溶液は pHが 2 6.5であることが好ましぐ 3— 6の範囲が特に好ましい。 pHが 2よ り小さいと無機薄膜へのダメージによりバリア性が低下し、 pHが 6.5より大きいとラジ カルを減少させる効果が少なレ、。
[0021] 本発明の第 2の発明においては、無機薄膜に酸化珪素と酸化珪素以外の金属成 分とからなるものを用い、無機薄膜中の酸化珪素の Pbセンターのラジカル濃度が 3 X 1014— 3 X 1017spins/molである必要があり、好ましくは、 3 X 1015— 2 X 1017 spins/ molで 3Dる。
無機薄膜が酸化珪素以外の金属成分を含む場合は酸化珪素の Pbセンターのラジ カル濃度をこの範囲にすると、ガスノくリア性は良好となる。
酸化珪素の Pbセンターのラジカル密度は前記 ESR法による比較定量法により算出 するが、無機薄膜に珪素以外の元素が混在するときは、 X線光電子分光装置を使用 して無機薄膜の元素比率を求め、薄膜を剥離させ密度勾配管法などにより求めた比 重と薄膜の厚さ力も珪素 lmol当たりの Pbセンターのラジカル濃度を算出することが できる。
[0022] また、本発明の第 3の発明においては、 ESR法測定によって観測される前記酸化 珪素膜の Pbセンターのラジカル密度（S1)に対する、ガスバリア性フィルムを 120°C、 24時間加熱した後に測定した Pbセンターのラジカノレ密度（S2)の比（S2/S1)が 0. 5以上である必要がある。 S2ZS1が 0.5以上である無機薄膜は、経時によるガスバリ ァ性の変化が少なくガスバリア性も良好である。 S2/S1を 0.5以上とするには、上述したように、ラジカル密度を制御することにより 調整できる。
[0023] 原因は定かではないが、 Pbセンターのラジカル密度が上がるということは原子間の 結合が少なくなるということであり、上記数値を超えると薄膜中に欠陥が生じバリア性 が低下するものと推定する。
[0024] 上記第 1一第 3のいずれの発明においても、基材上に形成した無機薄膜の上には 、保護及び接着性を向上させるため、トップコート層を形成することが好ましい。 このトップコート層としては、溶剤溶解性又は水溶性のポリエステル樹脂、イソシァ ネート樹脂、ウレタン樹脂、アクリル系樹脂、ビュルアルコール樹脂、 EVOH樹脂、ビ ニル変性樹脂、エポキシ樹脂、ォキサゾリン基含有樹脂、変性スチレン樹脂、変性シ リコン樹脂及びアルキルチタネート等を単独あるいは 2種以上からなる層を例示でき る。また、トップコート層としては、バリア性、摩耗性、滑り性向上のためシリカゾル、ァ ルミナゾル、粒子状無機フィラー及び層状無機フィラーから選ばれる 1種以上の無機 粒子を前記 1種以上の樹脂に混合してなる層、又は該無機粒子存在下で前記樹脂 の原料を重合させて形成される無機粒子入り樹脂からなるトップコート剤として用いる こと力 S出来る。これらの中では、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、アクリル系樹脂及び ォキサゾリン基含有樹脂から選択される 1種以上の樹脂からなるトップコート層、これ らの樹脂にシリカゾル、アルミナゾル、粒子状無機フィラー及び層状無機フィラーから 選ばれる 1種以上を添加、あるいはこれらの 1粒子の存在下で上記樹脂を重合あるい は縮合により形成して得た上記樹脂からなるトップコート層が好ましい。
ここで、樹脂の原料とは、樹脂が重合により得られるものの場合はこの樹脂を構成 する単量体を意味し、縮合により得られるものの場合はジオール、ジァミン、ジカルボ ン酸等の縮合原料を意味する。
[0025] 以上のような本発明のガスノ リア性フィルムは無機薄膜層表面あるいはトップコート 層表面に印刷を行ってもよい。
印刷層としては、水性、溶媒系の樹脂含有インクが使用される。インクに含有させる 樹脂としては、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、塩化ビニル系 樹脂、酢酸ビュル共重合樹脂、及びこれらの混合物を用いることができる。 また、これらの樹脂には、無機薄膜との密着を向上させるためシランカップリング剤 を 0.01— 5質量％添加することもできる。更に、インク中には、公知の添加剤、例えば 、帯電防止剤、光線遮断剤、紫外線吸収剤、可塑剤、滑剤、フィラー、着色剤、安定 剤、潤滑剤、消泡剤、架橋剤、ブロッキング防止剤、酸化防止剤等を添加することが できる。
印刷方法はオフセット印刷法、グラビア印刷法、スクリーン印刷法等の周知の印刷 方法を用いることができる。
印刷されたインクに含まれる溶媒の乾燥には熱風乾燥、熱ロール乾燥、赤外線乾 燥等を使用できる。
[0026] 本発明のガスバリア性フィルムは、 40。C、 90%RHの条件で JIS K 7129B法により 3時間後に測定した水蒸気透過度の値 (P1)に対する 48時間後に測定した水蒸気 透過度の値 (P2)の比（P2/P1)が 0.5以上であることが好ましレ、。これは蒸着条件 等の成膜状態を制御することによりなし得る。
[0027] 以上のような本発明のガスノくリア性フィルムは、ガスバリア性フィルムの水蒸気透過 度が通常、 3g/m2/day以下であり、好ましくは 2g/m2/day以下、より好ましくは 1 .2g/m2/day以下である。下限は通常 0.0001g/m2/day以上の範囲のものであ る。
[0028] 上記ガスノくリア性フィルムに、これ以外の構成層を積層した各種ガスバリア性積層 体が用途に応じて好ましく用いられる。このようなガスノくリア性積層体につき、以下に 説明する。
本発明のガスバリア性積層体として、前記ガスバリア性フィルムの無機薄膜面上、ト ップコート層表面或いは印刷層表面にヒートシールが可能な樹脂フィルムからなるヒ ートシール層を積層したものを好ましく例示できる。このガスノ リア性積層体は容易に ヒートシール可能となる。
ヒートシールが可能な樹脂としてはポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、 EVOH 樹脂、アイオノマー樹脂、 EAA (エチレン—アクリル酸)樹脂、 EMAA (エチレン—メタ クリル酸）樹脂、 EMA (エチレン—メチルアタリレート）樹脂、 EMMA (エチレン—メチ ノレメタタリレート)樹脂、 EEA (エチレン一ェチルアタリレート)樹脂等公知の樹脂が挙 げられる。
[0029] また、本発明のガスバリア性積層体として、印刷層とヒートシール層との間に、紙及 び/又はプラスチックフィルムを少なくとも 1層以上積層してなる積層体を挙げること ができる。
積層体に用いる紙としては特に限定されるものではなぐ上質紙、アート紙、コート 紙等を例示できる。
積層するプラスチックフィルムの厚さは、積層体としての機械強度、可撓性、透明性 等、用途に応じ、通常 5 500 z m、好ましくは 10 200 x mの範囲に選択される。 また、フィルムの幅や長さは特に制限はなぐ適宜選択することができる。
プラスチックフィルムの種類は特に限定されるものではなレ、が、ヒートシールが可能 なフィルムとしてポリオレフイン系フィルムが好ましい。また、機械的強度の優れたフィ ノレムとして、二軸延伸ポリエステルフィルム、二軸延伸ナイロンフィルムが特に好まし レ、。
また、無機薄膜層は基材とプラスチックフィルムの間に位置すればよぐプラスチッ クフィルムを 2枚以上積層する場合は、プラスチックフィルム間にも無機薄膜層を設け てもよぐ無機薄膜の層数力 層に制限されるものではない。
[0030] 積層方法はドライラミネート法や押出ラミネート法を使用することができる。この場合
、接着剤を使用してもよぐ接着剤としては、ウレタン系、ポリエステル系、アクリル系 等の接着剤が好ましく使用される。
[0031] 遮光性や紫外線遮断性を付与するために印刷や紫外線吸収剤を含む層を積層体 の表面、及び/又は層間に形成してもよい。
また、本発明の積層体を包装や袋として用いる場合、内容物の酸素劣化をさらに防 止するため鉄粉等の酸素吸収剤を含む層を積層体の表面、及び層間に形成しても よい。酸素吸収剤を含む層は無機化合物層と内容物の接する面の間に位置すること が好ましい。
[0032] 本発明のガスバリア性積層体は、 40。C、 90%RHの条件で JIS K 7129B法により 3時間後に測定した水蒸気透過度の値 (P1)に対する 48時間後に測定した水蒸気 透過度の値 (P2)の比（P2/P1)が 0.5以上であることが好ましレ、。これは蒸着条件 等の成膜状態の制御及びヒートシール層の選択、印刷層とヒートシール層との間に 積層する紙、プラスチックフィルムの選択等によりなし得る。
実施例
[0033] 以下に、実施例を用いて本発明を説明するが、本発明はこれらの実施例に限定さ れるものではない。
[0034] ぐ水蒸気透過度 >
水蒸気透過度は、 JIS K 7129Bの諸条件に準じ、次の手法で評価した。 すなわち、モダンコントロール（株）、 W— 1の装置により lOcm X 10cm角の該ガス バリア性積層フィルムを温度 40°C相対湿度 90%の条件にて乾燥空気を 10%RH以 下としてから 3時間測定を行った後、乾燥空気による試験装置のゼロレベル測定を行 つた。また、 48時間測定を行った後、乾燥空気による試験装置のゼロレベル測定を 行った。
[0035] < ESR法測定 >
各実施例、比較例で無機薄膜を形成したガスノくリア性フィルムを 3cm X 30cmに切 り取って筒状に測定管に挿入し、 日本電子 (株)製 ESR JES_FA300 (商標）により Pbセンターのラジカルの吸収スぺクトノレを測定し、 日本電子（株）製のスピンラベル剤 、 TEMPOL (登録商標）により測定された吸収スペクトルとの換算により無機薄膜担 体あたりのラジカノレ密度を定量した。
[0036] <ラジカル濃度の算出 >
無機薄膜が酸化珪素と酸化珪素以外の金属成分とからなる場合、無機薄膜中の 珪素量は X線光電子分光装置（ (株）島津製作所製、 ESCA 850型 (商標)を使用 し無機薄膜の元素組成比率を求め、薄膜を剥離させて密度勾配管法により求めた比 重と電子線顕微鏡により求めた厚さから、無機薄膜中の珪素量を求めた。無機薄膜 中の珪素量と、 ESR法測定により求めたラジカル密度より、珪素 lmol当たりの Pbセ ンターのラジカル濃度 spins/molを算出した。
[0037] (実施例 1)
ポリエチレンテレフタレート樹脂（以下 PETと略す。三菱化学 (株)製、商品名ノバべ ックス（商標））を通常の方法で溶融押し出ししてシートを形成し、延伸温度 95°C、延 伸比 3.3で長手方向に延伸した後、延伸温度 110°C、延伸比 3.3で横方向に延伸す ることにより、厚さ 12 /i mの二軸延伸 PETフィルムを得た。そのフィルムの片側表面 に、イソシァネート化合物（日本ポリウレタン工業 (株)製、商品名コロネート L (商標）） と飽和ポリエステル (東洋紡績 (株)製、商品名バイロン 300 (商標））とを質量比 1 : 1 で配合した混合物を塗布乾燥して厚さ 0.1 μ mのアンカーコート層を形成した。 真空蒸着装置を使用して酸素ガスを導入し、 1.3 X 10— 2Paの真空下で Si〇を高周 波加熱方式で蒸発させ、アンカーコート層上に厚さ約 30nmの薄膜を形成した無機 この無機薄膜フィルムの薄膜面上に、 1 X 10_3molZLの希塩酸をバーコ一ターで 塗布し、 80°C3分間送風乾燥させ、ガスバリア性フィルムを得た。
該ガスバリア性フィルムの水蒸気透過度、 g値 2.003の Pbセンターラジカノレ密度を 測定した。また、該ガスバリア性フィルムをオーブンで 120°C、 24時間加熱した後、 P bセンターラジカル密度を測定した。測定結果を表 1に示す。
[0038] (実施例 2)
蒸着時の圧力を 5.3 X 10— 2Paの真空下とした以外は実施例 1と同様にしてガスバリ ァ性フィルムを得た。測定結果を表 1に示す。
[0039] (実施例 3)
希塩酸の濃度を 1 X 10— 5mol/Lとした以外は実施例 1と同様にしてガスノくリア性フ イルムを得た。測定結果を表 1に示す。
[0040] (実施例 4)
希塩酸の代わりに同濃度の希硫酸を用いた以外は実施例 1と同様にしてガスバリア 性フィルムを得た。測定結果を表 1に示す。
[0041] (実施例 5)
蒸着材料の Si〇にアルミを 10%と混合したこと以外は実施例 1と同様にしてガスバ リア性フィルムを得た。測定結果を表 1に示す。
[0042] (実施例 6)
蒸着時の導入ガスを一酸化炭素とし、希塩酸のコートを行わなかった以外は実施 例 1と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。測定結果を表 1に示す。 [0043] (実施例 7)
蒸着時の圧力を 6.7 X 10— 3Paの真空下とし、希塩酸の塗布に代えて 150°C、 1時 間の加熱処理を行った以外は実施例 1と同様にしてガスノくリア性フィルムを得た。測 定結果を表 1に示す。
[0044] (比較例 1)
希塩酸のコートを行わな力、つた以外は実施例 1と同様にしてガスバリア性フィルムを 得た。測定結果を表 1に示す。
[0045] (比較例 2)
実施例 1で希塩酸の濃度を 1 X 10— 7mol/Lとした以外は実施例 1と同様にしてガ スバリア性フィルムを得た。測定結果を表 1に示す。
[0046] (比較例 3)
蒸着時の圧力を 6.3 X 10— 2Paの真空下とした以外は実施例 1と同様にしてガスノ リ ァ性フィルムを得た。測定結果を表 1に示す。
[0047] [表 1]
Figure imgf000013_0001
表 1において、 S2/S1は、 ESR法測定によって観測される酸化珪素膜の Pbセンタ 一ラジカノレ密度（S1)に対する、ガスバリア性フィルムを 120°C、 24時間加熱した後 に測定した Pbセンターのラジカル密度（S2)の比を表す。 P2/P1は、 40°C、 90%R Hの条件で JIS K 7129B法により 3時間測定した水蒸気透過度の値 (PI)に対する 48時間測定した水蒸気透過度の値 (P2)の比を表す。
[0048] 表 1力、ら、 Pbセンターのラジカル密度が 1 X 1016— 1 X 1019 spinsん m3からはずれ ている酸化珪素薄膜を有する比較例 1一 3のガスバリア性フィルムは水蒸気透過度 が高ぐかつ、 P2/P1の値が 0.2 0.4と低いのに対して、 Pbセンターのラジカル密 度が 1 X 1016 1 X 1019spinsん m3の実施例 1一 4、 6， 7、無機薄膜の Pbセンターの ラジカル濃度が 3 X 1014— 3 X 1017spins/molである実施例 5のガスバリア性フィルム は水蒸気透過度が低ぐ P2/P1の値も高いことから、ガスバリア性に優れ、ガスバリ ァ性の耐久性にも優れることがわかる。
産業上の利用可能性
[0049] 本発明のガスバリア性フィルム及び積層体は水蒸気や酸素等の各種ガスの遮断を 必要とする物品の包装、食品や工業用品及び医薬品等の変質を防止するための包 装用途、液晶表示素子、太陽電池、電磁波シールド、タツチパネル、 EL用基板、力 ラーフィルタ一等で使用する透明導電シートの一部などの用途に適している。

Claims

請求の範囲
[1] 基材と、前記基材の両面または片面に形成された酸化珪素膜力 なる無機薄膜と を有するガスバリア性フィルムであって、電子スピン共鳴法 (ESR法）測定によって観 測される前記酸化珪素膜の Pbセンターのラジカル密度が 1 X 1016 1 X 1019 spinsん m3であることを特徴とするガスバリア性フィルム。
[2] 基材と、前記基材の両面または片面に形成された酸化珪素及び他の金属成分を 含む無機薄膜とを有するガスバリア性フィルムであって、 ESR法測定によって観測さ れる前記無機薄膜中の酸化珪素の Pbセンターのラジカル濃度が 3 X 1014— 3 X 101 7spins/molであることを特徴とするガスバリア性フィルム。
[3] 基材と、前記基材の両面または片面に形成された酸化珪素を含む無機薄膜とを有 するガスバリア性フィルムであって、 ESR法測定によって観測される前記無機薄膜の Pbセンターラジカル密度（S1)に対する、ガスバリア性フィルムを 120°C、 24時間加 熱した後に測定した Pbセンターのラジカノレ密度（S2)の比（S2/S1)が 0.5以上であ ることを特徴とするガスバリア性フィルム。
[4] 前記無機薄膜の厚さが 0.5— 40nmである請求項 1一 3のいずれか 1項に記載のガ スバリア性フィルム。
[5] 前記基材がポリエステル、ポリアミド、ポリオレフイン、生分解性樹脂から選ばれる 1 種以上である請求項 1一 3のいずれか 1項に記載のガスバリア性フィルム。
[6] 前記基材と前記無機薄膜の間に、アンカーコート層を設けてなる請求項 1一 3のい ずれか 1項に記載のガスバリア性フィルム。
[7] 前記アンカーコート層が、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、アクリル系樹脂及びォ キサゾリン基含有樹脂の群から選択される 1種以上の樹脂にて形成される請求項 6記 載のガスバリア性フィルム。
[8] 少なくとも 1層の無機薄膜面上にトップコート層を設けてなる請求項 1一 3のいずれ 力 1項に記載のガスバリア性フィルム。
[9] 前記トップコート層が、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、アクリル系樹脂、ビニルァ ルコール系樹脂及びォキサゾリン基含有樹脂から選択される 1種以上の樹脂からな る、又はシリカゾル、アルミナゾル、粒子状無機フィラー及び層状無機フィラーから選 ばれる 1種以上の無機粒子を前記 1種以上の樹脂に混合又は該無機粒子存在下で 前記樹脂の原料を重合させて形成される無機粒子入り樹脂からなる層である請求項
8記載のガスバリア性フィルム。
[10] 40°C、 90%RHの条件で JIS K 7129B法により 3時間後に測定した水蒸気透過度 の値 (P1)に対する 48時間後に測定した水蒸気透過度の値 (P2)の比（P2/P1)が
0. 5以上である請求項 1一 3のいずれかに記載のガスバリア性フィルム。
[11] 請求項 1一 3のいずれかに記載のガスバリア性フィルムの前記無機薄膜面上に印 刷層を形成し、前記印刷層の表面にヒートシール層を積層してなるガスバリア性積層 体。
[12] 請求項 8記載のガスバリア性フィルムの前記トップコート面上に印刷層を形成し、前 記印刷層の表面にヒートシール層を積層してなるガスバリア性積層体。
[13] 前記印刷層と前記ヒートシール層との間に紙及び Z又はプラスチックフィルムを少 なくとも 1層以上積層してなる請求項 11記載のガスバリア性積層体。
[14] 40°C、 90%RHの条件で JIS K 7129B法により 3時間後に測定した水蒸気透過度 の値 (P1)に対する 48時間後に測定した水蒸気透過度の値 (P2)の比（P2/P1)が
0. 5以上である請求項 11記載のガスバリア性積層体。
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