WO2005070600A1 - 放電加工装置 - Google Patents

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WO2005070600A1
WO2005070600A1 PCT/JP2004/000600 JP2004000600W WO2005070600A1 WO 2005070600 A1 WO2005070600 A1 WO 2005070600A1 JP 2004000600 W JP2004000600 W JP 2004000600W WO 2005070600 A1 WO2005070600 A1 WO 2005070600A1
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WO
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electrode
guide
wire electrode
electric discharge
fine wire
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Application number
PCT/JP2004/000600
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English (en)
French (fr)
Inventor
Hidetaka Miyake
Takayuki Nakagawa
Yoshihito Imai
Original Assignee
Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/36—Supply or regeneration of working media
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23H1/10—Supply or regeneration of working media
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    • B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/26—Apparatus for moving or positioning electrode relatively to workpiece; Mounting of electrode
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    • B23H9/00—Machining specially adapted for treating particular metal objects or for obtaining special effects or results on metal objects
    • B23H9/14—Making holes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B23H2400/00—Moving mechanisms for tool electrodes
    • B23H2400/10—Moving mechanisms for tool electrodes for rotating the electrode

Definitions

  • the present invention relates to an electric discharge machining apparatus for machining a hole in a workpiece, and more particularly, to an electric discharge machining apparatus suitable for performing an electric discharge machining of a fine hole in a workpiece using a thin wire as an electrode.
  • this type of electric discharge machine arranges a machining electrode and a workpiece in a machining fluid, applies a voltage between them, and generates electric discharge to discharge electric holes in the workpiece. It is equipped with a drive device for adjusting the position of a machining electrode or a workpiece in order to perform a hole of a desired shape while maintaining the stable machining state.
  • the command to the drive device is to adjust the position of the machining electrode or the workpiece according to the deviation between the inter-electrode voltage representing the relative position of the machining electrode and the workpiece and the target value of the inter-electrode voltage, Control is performed to achieve a stable machining state.
  • the processing state of the workpiece by the processing electrode fluctuates irregularly, and in order to maintain the processing state stably, the processing electrode is controlled in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions.
  • the high-speed response of the XYZ drive unit that drives and positions is important.
  • the machining electrode is driven by an electromagnet in a non-contact manner in a radial direction and a thrust direction.
  • high-speed response in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions of the machining electrode is realized.
  • it is already known that high-speed and high-precision machining can be realized (for example, see Patent Document 1).
  • the upper end of the pipe electrode is gripped by an electrode holder, and this is held by a chuck provided at the tip of the spindle of the machining machine.
  • An electric discharge machining apparatus is also known which is configured to be able to cope with long-term machining by making the pipe electrode gripped by the electrode holder longer (for example, see Patent Document 2).
  • an electrode feeding means a thin wire electrode (wire electrode) from an electrode supply reel is pressed and nipped by two rollers (a feeding port roller and a clamp roller), and one of the two is used.
  • a configuration in which fine wires are continuously supplied by rotating a roller in a servo mode is also known (for example, see Patent Document 3).
  • Patent Document 1 International Publication No. WO 02/0 2 4 3 8 9 A 1 (Pages 12 to 15; FIGS. 1 and 2)
  • Patent Document 2 Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 8-29033 (Pages 6 to 7, FIGS. 1 and 2)
  • Patent Document 3 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-38053 2 (Page 5, FIG. 1)
  • Patent Document 4 European Patent EP 0 8 26 4 55 B1 (Page 2, FIG. 1, Fig. 2)
  • the electric discharge machining device of Patent Document 1 realizes high-speed response in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions of the machining electrode.
  • the electric discharge machining device of Patent Document 1 is used.
  • the electrodes of the tungsten fine wires are consumed with the machining. It is necessary to send out thin stainless steel wires.
  • the electric discharge machining apparatus of Patent Document 1 there is no mention of the function of automatically sending out the above-mentioned fine wire.
  • a roller for pressing and holding a fine wire electrode is used.
  • the fine wire electrode can be automatically and continuously supplied by being driven to rotate in a sub-mode, but there is a possibility that the fine wire electrode is deformed into, for example, an elliptical shape by the pressing force of the fine wire electrode by the two rollers.
  • the cross-sectional shape of the fine wire electrode deformed as described above becomes a processed hole shape, so that a hole having a high roundness is formed. There was a problem that processing could not be performed.
  • the fine wire electrode is sent out by a manual operation, and there is no mention of the automatic feeding out. There is a problem that the electrodes must be sent out artificially by the amount of wear, and the electric discharge machine cannot be fully automated. Furthermore, since the fine wire electrode used in this electric discharge machine has a diameter of ⁇ 0.1 mm, it is possible to automatically and continuously perform fine hole discharge using a small wire with a diameter smaller than that as the electrode. There was a problem that it was impossible.
  • the present invention has been made to solve the above-described problems.
  • electric discharge machining using a conductive fine wire that is difficult to handle the thin wire electrode is automatically sent out in a short time without being deformed.
  • An electric discharge machining apparatus comprises: a hollow rod-shaped guide electrode accommodating a thin wire electrode for electric discharge machining in a slide; guide electrode gripping means for gripping the guide electrode in a fixed position; Injection of pressure fluid into the Pressure fluid supply means for feeding the thin wire electrode from the inside of the guide electrode to the electric discharge machining side, and thin wire electrode holding means for automatically holding the thin wire electrode sent from the guide electrode. Things.
  • the provision of the fine wire electrode gripping means for automatically gripping the fine wire electrode sent from the inside of the guide electrode allows the amount of protrusion of the fine wire electrode from the fine wire electrode gripping means to the workpiece to be reduced.
  • the thin wire electrode which can be shortened and has a short protrusion amount, is less likely to cause buckling and runout, and has the effect of realizing a highly circular discharge hole machining.
  • the length of the thin wire electrode housed inside the guide electrode can be increased, so that the replacement time of the thin wire electrode due to wear can be extended, and therefore, the time required for replacing the thin wire electrode can be totally reduced. This has the effect. From the above, there is an effect that the machining setup time for electric discharge hole machining can be shortened, and the machining speed and machining accuracy can be improved.
  • FIG. 1 is a sectional view showing an electric discharge machine according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part of FIG.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part of FIG.
  • FIG. 4 (A) is a front view showing a guide electrode insertion jig according to Embodiment 2 of the present invention
  • FIG. 4 (B) is a radial sectional view of FIG. 4 (A)
  • FIG. ) Is an axial sectional view of FIG. 4 (A).
  • FIG. 5 (A) is an axial sectional view showing a guide electrode insertion jig according to Embodiment 3 of the present invention
  • FIG. 5 (B) is a radial sectional view of FIG. 5 (A).
  • FIG. (A) is a front view showing a guide electrode extracting jig according to Embodiment 5 of the present invention
  • FIG. 6 (B) is a plan view of FIG. 6 (A)
  • FIG. FIG. 3 is an axial sectional view of FIG.
  • FIG. 5 is a sectional view showing a main part of an electric discharge machine according to a sixth embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing an electric discharge machine according to Embodiment 1 of the present invention
  • FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a main part of FIG. 1
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part of FIG.
  • a high-speed responsive electrode driving device 2 is mounted on a spindle head 1 of an electric discharge machine.
  • the electrode driving device 2 includes a housing 3 serving as the main body of the device, and a driving shaft 6 rotatably and axially movable attached to a central portion of the housing 3 via upper and lower bearings 4 and 5. And for the bearings 4 and 5, use a single thali slide An element such as a bush that allows the drive shaft 6 to move in the axial direction (thrust direction) is applied.
  • the drive shaft 6 has a central through hole 6a, and a hollow rod-shaped (pipe-shaped) guide electrode 7 is inserted into the central through hole 6a.
  • a thin wire electrode 8 for electric discharge machining is slidably inserted and housed in the guide electrode 7. Further, a guide electrode gripper (guide electrode gripping means) 9 for inserting and removing the upper end of the guide electrode 7 so that it can be inserted and removed is attached to the upper end of the drive shaft 6.
  • the guide electrode gripping tool 9 has a through hole 9 a communicating with the inside of the guide electrode 7.
  • a fluid supply pipe 10 for supplying a pressure fluid such as air or liquid to the inside of the guide electrode 7 and sending the fine wire electrode 8 from the inside of the guide electrode 7 to the electric discharge machining side is provided in the through hole 9a. Connected.
  • the fluid supply pipe 10 has a solenoid valve 11 and serves as a pressure fluid supply means connected to a fluid supply source.
  • the drive shaft 6 is driven to rotate by an electric motor (rotation drive means) 12.
  • the electric motor 12 includes a rotor 13 attached to the outer periphery of the drive shaft 6 and a stay 14 fixed to the inner wall surface of the housing 3 surrounding the rotor 13. I have.
  • the drive shaft 6 is driven to move up and down in the axial direction by an axial driving means 15.
  • the axial drive means 15 includes a target disk 16 integrally fitted on the outer periphery of the drive shaft 6 at an appropriate distance from the electric motor 12, and a target disk 16. It is composed of a pair of upper and lower electromagnets 17 and 18 which are arranged at upper and lower positions to be sandwiched and fixed to the inner wall surface of the housing 3.
  • the electromagnets 17 and 18 are arranged and fixed at intervals allowing the target disk 16 to move up and down, and are connected to a current value control device (not shown).
  • a thin wire is provided by a collet 19 and a nut 20.
  • the pole holding unit 21 is attached, and the lower end side of the guide electrode 7 is fixed by the thin wire electrode holding unit 21. That is, the shank portion 23 of the thin wire electrode holding unit (fine wire holding means) 21 is held by the collet 19 fitted to the lower end portion of the drive shaft 6, and the collet 19 is attached to the nut 20.
  • the thin wire electrode holding unit 21 is attached to the lower end of the drive shaft 6 by tightening. In the attached state, the lower end side of the guide electrode ⁇ penetrates the shank portion 23 of the thin wire electrode holding unit 21 and faces the inside of the thin wire electrode holding unit 21.
  • the collet 19 and the nut 20 serve as guide electrode holding means for holding the lower end side of the guide electrode 7 via the shank portion 23.
  • FIG. 1 the detailed configuration of the thin wire electrode holding unit 21 will be described with reference to FIGS. 2 and 3.
  • FIG. 2 the detailed configuration of the thin wire electrode holding unit 21 will be described with reference to FIGS. 2 and 3.
  • the thin wire electrode holding unit 21 is fitted into a cylindrical unit case 22 and a shank portion 23 integral with the unit case 22 in the vicinity of a root portion thereof, and is a rubber for holding the guide electrode 7.
  • the thin wire grippers 25, 26 are protruding levers (fine wire gripper drive levers) 25 a, 2 that gently penetrate the peripheral wall of the unit case 22 radially outward of the unit case 22. It has 6a each.
  • the fine wire gripping tools 25 and 26 and the panels 27 and 28 constitute a thin wire electrode gripping means for gripping the fine wire electrode 8 sent from the guide electrode 7.
  • the projecting levers 25a, 26a of the fine wire gripping tools 25, 26 are used to move the movable element 40 when the movable element 40 provided in the fine wire electrode gripping control unit 37 described later moves upward.
  • a stopper 29 for slidably abutting the lower ends of the fine wire grippers 25, 26 is attached and fixed.
  • the stopper 29 is provided to prevent the fine wire grippers 25, 26 from leaning too much to one side, and is used for positioning for aligning the center of the fine wire electrode 8 with the rotation center of the drive shaft 6. Play a role.
  • a die fixture 30 is detachably attached to the lower end of the stopper 29, and a diamond die 31 is attached to the die fixture 30 by a set screw. The fine wire electrode 8 is passed through the center hole of the diamond die 31.
  • the diamond die 31 is for suppressing the core deflection of the fine wire electrode 8 when the fine wire electrode 8 rotates.
  • a power supply plate 32 for supplying a machining power is fitted to the lower outer periphery of the drive shaft 6 between the lower bearing 5 and the collet 19, as shown in FIG. .
  • a power supply brush 33 is pressed against the power supply plate 32 by a coil spring 34.
  • the power supply brush 33 and the coil spring 34 serve as power supply means for machining.
  • a jig 36 is attached to a lower end of the joint member 35, and a thin wire electrode gripping control unit 37 is attached to a lower end of the jig 36.
  • the thin wire electrode gripping control unit 37 includes a solenoid body 38 attached to the lower end of the jig 36, a solenoid 39 attached to the solenoid body 38, and an inside of the solenoid body 38. Up and down freely It has a flat annular movable element 40 fitted therein, and a evening target 41 arranged at the lower end of the solenoid body 38 and supported by a stopper 42.
  • the target 41 is made of a planar annular magnetic material and can be moved up and down.
  • the inner diameter surface of the mover 40 is formed as a mortar-shaped taper surface 40a (see FIG. 2) whose upper end side has a gradually increasing diameter.
  • the tips of the projecting levers 25a, 26a of the fine wire grippers 25, 26 are in contact with the tapered surface 40a.
  • the contact state is always maintained by the urging force of the panels 27, 28 of the fine wire gripping tools 25, 26.
  • the mover 40 is constantly urged in a downward direction by a coil spring 43 and is supported on the evening gate 41. Therefore, the stopper 42 prevents the evening gate 41 and the mover 40 from falling after the suction is released by the solenoid 39.
  • a copper pipe having an outer diameter of about lmm and an inner diameter of about 0.5 mm is used as the guide electrode 7, and the length is the length of the drive shaft 6 with the collet 19 fitted. From 1 O mn! It should be longer by about 20 mm. If the thin wire electrode 8 to be inserted into such a guide electrode 7 has a length equal to or shorter than that of the guide electrode 7, a setup operation at the time of forming a discharge hole becomes easier. As shown in FIGS. 1 and 2, the upper part of the opposing joint surface of the fine wire grippers 25 and 26 is formed in a tapered shape, and the fine wire electrode 8 is disposed between the fine wire grippers 25 and 26 from above. Is easy to introduce.
  • the components of the thin wire grips 25, 26, the projecting levers 25a, 26a, and the thin wire electrode grip unit 21 are made of a conductive material such as steel. Thereby, the processing power supplied to the drive shaft 6 is supplied to the fine wire electrode 8.
  • a cap sensor 44 is disposed at the upper end of the drive shaft 6, and the cap sensor 44 is a current value control device (not shown). Connected).
  • the current value control device includes the electric motor 15, the axial driving means 16, electromagnets 17, 18 of the system 16, a power supply brush 33, a power source for electric discharge machining (not shown) of the system 3, a thin wire electrode
  • Each of the solenoids 39 of the grip control unit 37 is connected to each other, and they are controlled by the current value control device.
  • the current value supplied to each of the electromagnets 17 and 18 is appropriately controlled by the current value control device.
  • the current value control is performed by causing a difference in the current value supplied between one electromagnet 17 and the other electromagnet 18. Increasing the difference between the current values causes a large difference in the electromagnetic attraction between the two electromagnets 17 and 18. Therefore, the target disk 16 between the electromagnets 17 and 18 moves upward or downward toward the electromagnet 17 or the electromagnet 18 having the larger electromagnetic attraction.
  • the target disk 16 operates at a high speed in the ascending or descending direction, and the drive shaft 6 and the thin wire electrode holding unit are integrated with the target disk 16. 21 are driven in the same direction at high speed.
  • the drive shaft 6 and the thin wire electrode holding unit 21 are driven at a high speed by the body.
  • the electrode driving device 2 realizes a high-speed response drive in the vertical direction of the thin-wire electrode holding unit 21 and a high-speed rotation drive of the thin-wire electrode holding unit 21.
  • the grip release is performed by supplying power to the solenoid 39 of the fine wire electrode grip control unit 37. That is, when the solenoid 39 is supplied with power, the target 41 is sucked and moved upward by the solenoid 39, and the target 41 pushes up the mover 40. At this time, the protruding levers 25a, 26a of the fine wire grippers 25, 26 resist the urging force of the springs 27, 28 by the tapered surface 40a of the evening get 40. Then, it is pushed in the passing direction (the inside of the unit case 22). By the pushing, the clamping surfaces of the fine wire gripping tools 25 and 26 are opened, whereby the gripping of the fine wire electrode 8 by the fine wire gripping tools 25 and 26 is released.
  • a pressure fluid such as an air is injected and supplied from the fluid supply pipe 10 into the guide electrode 7 by the ejection force.
  • the thin wire electrode 8 in the guide electrode 7 is pushed out.
  • the injection of the pressurized fluid into the guide electrode 7 may be continuous, or may be intermittently performed to finely adjust the delivery amount of the fine wire electrode 8.
  • the thin wire electrode 8 and the guide electrode 7 It is possible to prevent the thin wire electrode 8 from being easily sent out, because the hooking due to friction with the inner surface is eliminated.
  • the feeding operation of the fine wire electrode 8 is also stopped.
  • the fine wire electrode 8 after stopping the feeding is automatically clamped by the fine wire grippers 25 and 26. That is, when the feeding operation of the fine wire electrode 8 is stopped, the current is supplied to the solenoid 39 of the fine wire electrode grip control unit 37 at that time. Is shut off, the electromagnetic force of the target 41 by the solenoid 39 becomes zero, and the movable element 40 and the evening target 41 are pushed down by the urging force of the coil spring 43.
  • the operations of releasing the gripping of the fine wire electrode 8, ejecting the pressure fluid, pushing out the fine wire electrode 8, stopping the injection of the pressure fluid, and holding the fine wire electrode 8 again are repeated. Touches the surface of the workpiece placed on the surface. At this time, the contact of the fine wire electrode 8 to the surface of the workpiece is detected by the contact detection function (contact detection sensor) that is provided as standard equipment of the electric discharge machine, and the contact detection signal is sent to the fine wire feed control device (Not shown).
  • the fine wire feed control device inputs the contact detection signal and closes the solenoid valve 11. As a result, the supply of fluid into the guide electrode 7 is shut off, and the feeding operation of the thin wire electrode 8 is stopped.
  • the feed amount of the fine wire electrode 8 can be adjusted by the distance to the workpiece before the start of the feed operation of the fine wire electrode 8 described above.
  • the discharge wire machining of the workpiece by the fine wire electrode 8 is performed while the fine wire electrode holding unit 21 is driven to rotate at high speed as described above together with the drive shaft 6.
  • the thin wire electrode holding unit 21 stops rotating for the feeding operation of the thin wire electrode 8, and the protruding levers 25a, 26a of the thin wire holding tools 25, 26 are moved. Even if it stops at an arbitrary position on the taper surface 40 a of the mover 40, the thin wire electrode grip control unit 37 7-system solenoid 39, evening target 41, and mover 40 Since each of them is a plane ring, it is possible to operate the protruding levers 25a and 26a of the fine wire grippers 25 and 26 for clamping and unclamping the fine electrode 8 as described above. it can.
  • the die fixing tool 30 is removed together with the stopper 29 from the unit case 22 of the thin wire electrode holding unit 21.
  • the thin wire electrode 8 is removed and replaced together with the guide electrode 7.
  • the solenoid 39 of the system (the thin wire is gripped)
  • the fine wire grippers 25, 26 It is necessary to spread the fine wire grippers 25, 26 mutually. Therefore, only the mover 40 is manually lifted beyond the rising stroke of the evening get 41 due to the suction of the solenoid 39.
  • the gap between the opposing surfaces of the fine wire grippers 25 and 26 is widened so that the guide electrode 7 can pass therethrough, so that both the fine wire electrode 8 and the guide electrode 7 are pulled out and replaced with a new one. I do.
  • the movable electrode 40 is lifted up as described above and the space between the fine wire grippers 25 and 26 is widened, and the guide electrode 7 into which the new fine wire electrode 8 is inserted is attached to the guide electrode 7 as described above.
  • the guide is inserted into the center through-hole 6a of the drive shaft 6 from below between the fine wire grippers 25 and 26 via the rubber bush 24 in the shank 23 and the center hole of the shank 23.
  • the pressure fluid is jetted into the hollow rod-shaped guide electrode 7 in which the thin wire electrode 8 is slidably stored. Since the guide electrode 7 prevents the fine wire electrode 8 from being bent and deformed, the thin wire electrode 8 inside the guide electrode 7 is automatically and quickly discharged to the electric discharge machining side by the jetting force of the pressure fluid. This has the effect that it can be sent out.
  • the solenoids 39 of the thin wire electrode gripping control unit 37 are excited (operated), and in response to this, the solenoid valve 11 of the pressure fluid supply system is opened.
  • the pressurized fluid is injected into the guide electrode 7 in a state in which the fine wire grippers 25 and 26 are released from the gripping of the fine wire electrode 8.
  • the pressure fluid supply system is detected by a sensor signal detecting the contact.
  • the solenoid valve 11 is closed, and in response to this, the solenoids 39 of the fine wire electrode gripping control unit 37 are de-energized (operation stopped), so that the mover 40 is attached to the coil panel 43.
  • the fine wire grasping tools 25, 26 are closed by the urging force of the panels 27, 28 and are sent out from the inside of the guide electrode 7 to securely grip the fine wire electrode 8. It is possible to prevent buckling, runout, and the like of the feed-out fine wire electrode 8, and it is possible to perform discharge hole machining with high roundness.
  • the upper electromagnet 17 and the lower electromagnet 18 of the axial driving means 15 are alternately excited when the fine wire electrode 8 is sent out, so that the target disc 16 is driven.
  • the guide electrode 7 can be minutely vibrated in the axial direction integrally with the drive shaft 6 via the shaft, and the minute vibration causes the thin wire electrode 8 being fed to be caught by friction with the inner wall of the guide electrode 7. Therefore, there is an effect that the wire electrode 8 can be sent out stably and promptly.
  • the guide electrode 7 can be gripped by the fine wire grippers 25 and 26 so as to be at the same center as the rotation center of the drive shaft 6, and in this state, the fine wire electrode 8 is Since it is possible to perform high-speed rotation driving together with this, there is an effect that it is possible to realize electric discharge machining with high roundness accuracy.
  • the projecting amount of the fine wire electrode 8 from the fine wire electrode grasping unit 21 to the workpiece can be shortened by the fine wire electrode grasping unit 21.
  • the short wire electrode 8 is less likely to buckle or run out, so that the high-speed response drive of the fine wire electrode 8 is not impaired when the high-speed electrode driving device 2 discharges a hole, and the round wire is always round.
  • the drive shaft 6 into which the guide electrode 7 is inserted, and the guide electrode 7 and the thin wire electrode holding unit 21 are configured to be synchronously driven.
  • the drive shaft 6 and the fine wire electrode 8 can be integrally rotated at a high speed in a state where the center of the fine wire electrode 8 gripped by the fine wire electrode grip unit 21 and the rotation center of the drive shaft 6 are aligned.
  • High-speed response The high-speed response of the fine wire
  • the thin wire electrode grip unit 21 when the pressurized fluid is supplied to the inside of the guide electrode 7, the thin wire electrode grip unit 21 operates in a direction to release the grip of the thin wire electrode 8, and When the supply of pressurized fluid to the thin wire electrode is interrupted, the thin wire electrode grip unit 21 is configured to respond in the direction in which the thin wire electrode 8 is gripped.
  • the automatic delivery of the fine wire 8 can be smoothly performed, and the automatic delivery of the fine wire electrode 8 and the automatic gripping / releasing of the fine wire electrode 8 by the response operation related thereto can be realized.
  • a pair of fine wire gripping tools 25 arranged in a direction for gripping and releasing the fine wire electrode 8 sent out from the inside of the guide electrode 7,26 is driven by a mover 40 sucked and moved by a solenoid 39 operated at the time of supplying a pressurized fluid to the inside of the guide electrode 7, in a direction to release the grip of the thin wire electrode 8,
  • the thin wire grippers 25 and 26 are driven in the direction of gripping the thin wire electrode 8 by the urging force of the gripper urging means (panel) 27 and 28.
  • the fine wire electrode 8 gripped by the fine wire gripping tools 25, 26 of the fine wire electrode gripping unit 21 is discharged through the fine wire electrode gripping unit 21. Since the power supply for processing is configured to be supplied, the wire length of the fine wire electrode 8 from the power supply position of the processing power supply to the fine wire electrode 8 to the tip of the fine wire electrode 8 becomes constant, and the resistance value of the fine wire electrode 8 becomes constant. Tona Therefore, there is no variation in the discharge current during drilling, and stable discharge drilling can be realized, and the drilling accuracy and drilling quality are greatly improved.
  • Embodiment 2-FIG. 4 (A) is a front view showing a guide electrode insertion jig according to Embodiment 2 of the present invention
  • FIG. 4 (B) is a radial sectional view of FIG. 4 (A)
  • FIG. 4 (C) is an axial sectional view of FIG. 4 (A).
  • the guide electrode insertion jig 50 according to the second embodiment is used when the fine electrode 8 and the guide electrode 7 are loaded into the fine electrode holding unit 21 of the electric discharge machine according to the first embodiment. Is what you do. That is, in the electric discharge machine according to the first embodiment, the guide electrode 7 is passed through the rubber bush 24 in the thin wire electrode gripping unit 21 and further inserted into the center through hole 6 a of the drive shaft 6. In order to insert and hold the guide electrode 7 in the upper guide electrode holder 9, the guide electrode 7 needs to be pushed in.
  • the guide according to the second embodiment is intended to facilitate the pushing operation. An electrode insertion jig 50 is used.
  • the guide electrode insertion jig 50 has a diameter of, for example, 0 .limn! Greater than the diameter of the guide electrode 7 to be inserted. It has a circular hollow rod shape with a small diameter of about 0.5 mm, and at least two parallel axial grooves of about 10 mm from one end. 51 is cut, and a circular hole 52 is formed at the base of the axial groove 51. A blind plug 53 is physically provided inside the hollow rod-shaped guide electrode insertion jig 50 near the other end.
  • the guide electrode 7 containing the thin wire electrode 8 is pushed into the guide electrode insertion jig 50 from the opening on the axial groove 51 side. At this time, even if the outer diameter of the guide electrode 7 is larger than the inner diameter of the guide electrode insertion jig 50, the guide electrode insertion jig 50 has the axial groove 5 as described above. Since 1 and the circular hole 52 are provided, the guide electrode 8 can be chucked by the guide electrode insertion jig 5 ⁇ . Therefore, the fine wire grippers 25 and 26 in the fine wire electrode grip unit 21 are spread in the same manner as in the first embodiment, and in this state, the drive shaft 6 is moved from below via the rubber push 24.
  • the guide electrode 7 protruding from the guide electrode insertion jig 50 is connected to the upper guide electrode. Insert it into gripper 9. After the insertion, the guide electrode insertion jig 50 is pulled out, and the installation set of the guide electrode 7 is completed.
  • the guide electrode 7 When replacing the attached thin wire electrode 8 when it is consumed by electric discharge machining, the guide electrode 7 must be removed. In this case, only the guide electrode insertion jig 50 is pushed into the fine wire electrode holding unit 21 from the opening end on the axial groove 51 side, so that the guide electrode insertion jig 50 can be pushed in. After the inside is fitted into the guide electrode 7, the guide electrode 7 can be pulled out together with the thin wire electrode 8 by pulling out the guide electrode insertion jig 50.
  • the blind plug 53 in the guide electrode insertion jig 50 is used when the guide electrode 7 having an outer diameter smaller than the inner diameter of the guide electrode insertion jig 50 is inserted. Function as a stopper for supporting the insertion tip of O
  • the work of inserting the guide electrode 7 into the thin wire electrode grip unit 21 and the drive shaft 6 of the discharge heating device according to the first embodiment and the consumption of the thin wire electrode 8 are caused.
  • the guide electrode 7 can be easily pulled out when the thin wire electrode 8 is replaced.
  • the guide electrode insertion jig 50 is provided with the axial groove 51, even if the guide electrode 7 has an outer diameter larger than the inner diameter of the guide electrode insertion jig 50, the guide electrode insertion jig 50 has an axial groove 51.
  • guide electrode 7 can be pushed into guide electrode insertion jig 50 for chucking.
  • the guide electrode 7 has an outer diameter smaller than the inner diameter of the guide electrode insertion jig 50. Also, with the guide electrode 7 inserted into the guide electrode insertion jig 50, the guide electrode insertion jig 50 is used to drive and drive the thin wire electrode holding unit 21 as described above. There is an effect that the work of inserting and extracting the guide electrode 7 into and from the shaft 6 can be easily performed.
  • Embodiment 3
  • FIG. 5 (A) is an axial sectional view showing a guide electrode insertion jig according to Embodiment 3 of the present invention
  • FIG. 5 (B) is a radial sectional view of FIG. 5 (A).
  • the guide electrode insertion jig 100 according to the third embodiment is used when the thin wire electrode 8 and the guide electrode 7 are mounted on the thin wire electrode holding unit 21 of the electric discharge machine according to the first embodiment. Is what you do. That is, in the electric discharge machine according to the first embodiment, the guide electrode 7 is passed through the rubber push 24 in the fine electrode holding unit 21, and further inserted into the center through hole 6 a of the drive shaft 6. Into the guide electrode gripper 9 on the top In order to perform the pushing operation, the guide electrode insertion jig 100 according to the third embodiment is used for the purpose of facilitating the pushing operation.
  • the guide electrode insertion jig 100 is formed of a circular solid rod having a diameter substantially equal to the diameter of the guide electrode 7 to be inserted, that is, a diameter not large enough to be inserted into the guide electrode 7.
  • a block 101 having a circular solid shape having a diameter larger than the diameter of the rod is integrally attached to a middle part of the outer periphery of the rod.
  • the mounting position of the block 101 with respect to the guide electrode insertion jig 100 is, for example, about 1 mm from the abutting end of the guide electrode insertion jig 100 with respect to the lower end of the guide electrode 7. It is set at a position of about 4 mm. That is, in the process of pushing the guide electrode 7 into the center through hole 6a of the drive shaft 6 from below the fine wire grippers 25, 26, the tip of the guide electrode insertion jig 100 is connected to the guide electrode. By pushing the guide electrode 7 against the lower end of the guide electrode 7, the upper end of the guide electrode 7 was inserted and held in the through hole 9a of the upper guide electrode holder 9 as shown in Fig. 1.
  • the mounting position of the block 101 is set so that the block 101 comes into contact with the stopper 29 of the thin wire electrode holding unit 21 and the pushing amount of the guide electrode 7 is optimized. ing.
  • the block 101 is formed in a circular solid shape having a diameter, for example, about three times the guide electrode insertion jig 100.
  • the fine wire grasping tools 25, 26 in the fine wire electrode grasping unit 21 from which the die fixing tool 30 has been removed are spread, and in this state, from below,
  • the guide electrode 7 is pushed into the center through hole 6 a of the drive shaft 6 via the rubber bush 2.
  • the guide electrode 7 is used.
  • the tip of the guide electrode insertion jig 100 is brought into contact with the lower end of the guide electrode ⁇ ⁇ and pushed into the center through hole 6a.
  • the guide electrode 7 pushed into the center through hole 6 a is formed. Since the upper end of the guide electrode insertion jig 100 is pulled out of the guide electrode 101 when the work 101 comes into contact with the stopper 29, the upper end of the guide electrode insertion jig 100 is pulled out. Then, the installation set of the guide electrode 7 is completed.
  • the guide electrode 7 When the thin wire electrode 8 inserted and set in the guide electrode 7 is replaced at the time of wear due to discharge, the guide electrode 7 needs to be removed.
  • the guide electrode insertion jig 50 according to the second embodiment may be used, but the guide electrode extraction jig according to the fifth embodiment described below in which the guide electrode insertion jig 50 is improved. If the tool is used, the guide electrode 7 can be easily pulled out and replaced at any time.
  • the guide electrode insertion jig 100 formed of a circular solid rod having a diameter that cannot be inserted into the guide electrode 7 is provided at a midpoint on the outer periphery of the guide electrode insertion jig 100.
  • a block 101 having a circular solid shape with a large diameter is integrally provided, and the guide electrode insertion jig 100 is provided at the lower end of the guide electrode 7 in the process of being inserted into the center through hole 6 a of the drive shaft 6.
  • the block 101 comes into contact with the horn 29 of the thin wire electrode holding unit 21 so that the upper end of the guide electrode 7 is the upper guide.
  • the block 101 is integrally attached to the guide electrode insertion jig 100.
  • the block 101 is provided with a screw on the outer periphery of the guide electrode insertion jig 100. They may be combined.
  • the top end of the guide electrode insertion jig 100 is pushed into the lower end of the guide electrode 7 during the insertion process into the center through hole 6 a of the drive shaft 6, thereby pushing the upper guide electrode gripping tool. 9 so that the upper end of the guide electrode 7 is inserted and held at the U-node, and the block 101 is securely brought into contact with the stopper 29 of the thin wire electrode gripping unit 21. 1 can be easily adjusted, and the guide electrode insertion jig 100 provided with the block 101 can be easily manufactured.
  • Embodiment 5 Embodiment 5.
  • FIG. 6 (A) is a front view showing a guide electrode extracting jig according to Embodiment 5 of the present invention
  • FIG. 6 (B) is a plan view of FIG. 6 (A)
  • FIG. 6 (C) is an axial sectional view of Fig. 6 (A).
  • the guide electrode extracting jig 102 includes an outer circular hollow rod (hereinafter, referred to as an outer hollow rod) 103 and an axially sliding inside the outer hollow rod 103. It consists of a freely inserted inner circular hollow rod (hereinafter referred to as the inner hollow rod) 104.
  • the inner hollow rod 104 has an inner diameter smaller than the diameter of the guide electrode 7 to be extracted, for example, by about 0.1 lmm to 0.5 mm.
  • the inner diameter of the outer hollow rod 103 is larger than the diameter (outer diameter) of the inner hollow rod 104, for example, 0.1 mm! It has a large diameter of about 0.5 mm.
  • the inner hollow rod 104 has a length of about 10 mm from one end thereof. At least two parallel axial grooves 105 are formed by cutting, and the axial groove 105 has a width from the base circular hole 105 a of the axial groove 105 toward the distal end. It is bent so as to be narrow.
  • a neck portion 106 is formed on the distal end side of the inner hollow rod 104 in which the axial groove 105 is parallel. The neck portion 106 is formed so as to be parallel to the base circular hole 105 a of the axial groove 105 at a length of about 1.5 mm from a position of about 6 mm toward the distal end from the base circular hole 105 a. Have been.
  • an expanding portion 107 is bent at the tip end side of the net portion 106 so that the axial groove 105 expands.
  • the expanded portion 107 is formed in a tapered shape gradually increasing in diameter toward the distal end side from the inner diameter of the outer hollow rod 103. Next, the operation will be described.
  • the lower end side of the guide electrode 7 held by the rubber push 24 is inserted into the neck portion 106 of the inner hollow bar 104 of the guide electrode withdrawal jig 102.
  • the tip of 4 comes into contact with the lower surface of the shank portion 23 of the thin wire electrode grip unit 21.
  • the neck portion 106 that is parallel to the one end side of the inner hollow rod 104 having the axial groove 105 via the axial groove 105 is integrated.
  • a radially expandable expansion portion 107 is integrally formed on the distal end side of the neck portion 106 so that the inner hollow bar 104 can slide freely into the outer hollow bar 103.
  • the neck part 106 extends in the radial direction through the expanded part 107. Since the guide electrode pulling jig 102 is constructed so that it expands and contracts, the lower end of the guide electrode 7 is fitted in at least the neck 106 of the inner hollow rod 104.
  • the guide electrode 7 can be pulled out together with the thin wire electrode 8 by simply pulling out the guide electrode pulling jig 102 after the outer hollow rod 103 is pushed in. For this reason, in the electric discharge machine according to the first embodiment, there is an effect that the guide electrode 7 can be easily and smoothly pulled out when the fine wire electrode 8 is replaced due to the consumption of the fine wire electrode 8. .
  • Embodiment 6
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing a main part of an electric discharge machine according to Embodiment 6 of the present invention. The same components as those in FIGS. Omitted.
  • a permanent magnet 45 and a magnetic thin wire holding tool 4 6 are provided at positions sandwiching the sending thin wire electrode 8.
  • the permanent magnet 45 is a unit of the thin wire electrode holding unit 21.
  • S 22 Fixed to the inner wall.
  • the fine wire gripper 46 is held on a stopper 29 at the lower end of the unit case 22 so as to be movable in a direction of coming into contact with and separating from the permanent magnet 45.
  • the thin wire gripping tool 46 is connected to the back surface thereof and is interposed between the thin wire gripping tool 46 and the inner wall surface of the unit case 22 by a back spring (grip biasing means) 47.
  • a solenoid 48 is arranged below the jig 36 in the high-speed response electrode driving device 2 so that a gap (about 2 mm) is formed between the jig 36 and the thin wire gripping tool 46.
  • a body 38 is fixed to the lower end of the jig 36. The solenoid 48 pulls the fine wire gripper 46 away from the permanent magnet 45 against the urging force of the back spring 47 by magnetic attraction generated at the time of excitation.
  • the solenoid 48 When the pressure fluid is supplied to the inside of the guide electrode 7 (when the solenoid valve 11 in FIG. 1 is open), the solenoid 48 is responsively excited, and the magnetic attraction generated at this time causes the fine wire gripper 4 6 Is separated from the permanent magnet 45 against the biasing force of the back spring 47. In this state, the thin wire electrode 8 is sent out from the inside of the guide electrode 7 by the pressure fluid. Then, the supply of the pressure fluid to the inside of the guide electrode 7 is cut off, that is, the excitation of the solenoid 48 is cut off with the closing movement of the solenoid valve 11.
  • the magnetic force of the permanent magnet 45 and the urging force of the back spring 47 of the fine wire gripper 46 attract the fine wire gripper 46 to the permanent magnet 45, and are sent out from the guide electrode 7.
  • the thin wire electrode 8 is sandwiched and held between the permanent magnet 45 and the thin wire holding tool 46.
  • the permanent magnet 45 and the fine wire gripping tool 46 are opposed to each other at a position sandwiching the fine wire electrode 8 sent out from the guide electrode 7.
  • the permanent magnet 45 is fixed, the fine wire gripping tool 46 is movable in the direction of contact and separation with respect to the permanent magnet 45, and operates responsively when a pressure fluid is supplied to the inside of the guide electrode 7.
  • the fine wire gripper 46 is separated from the permanent magnet 45 by the magnetic attraction force of the solenoid 48 that is driven, so that the fine wire electrode 8 is sent out by the jet force of the pressure fluid supplied into the guide electrode 7.
  • the space between the permanent magnet 45 and the fine wire gripping tool 46 is in an open state, and therefore, there is an effect that smooth automatic delivery of the fine wire electrode 8 by the jetting force of the pressure fluid can be realized.
  • the solenoid 48 stops operating in response to this, and the permanent magnet 45 attracts the fine wire gripper 46.
  • the fine wire electrode 8 sent out from the inside can be securely held by the permanent magnet 45 and the fine wire holding tool 46.
  • the fine wire gripper 46 can be reliably attracted to the permanent magnet 45 by the urging force of the back spring 47, and the urging force of the back spring 47 can be obtained. The effect of this is that the fine wire electrode 8 can be strongly gripped by the magnetic force of the permanent magnet 45.
  • the electric discharge machining apparatus is suitable for electric discharge machining of a fine hole in a workpiece using a thin wire as an electrode.

Abstract

　放電加工用の細線電極８をスライド自在に収納した中空棒状のガイド電極７と、このガイド電極７を定位置に把持するガイド電極把持手段９，１９，２０と、前記ガイド電極７の内部に圧力流体を供給して当該ガイド電極７の内部から前記細線電極８を放電加工側に送り出す圧力流体供給手段１０，１１と、前記ガイド電極７から送り出された前記細線電極８を自動的に把持する細線電極把持手段２１とを備えたものである。

Description

明 細 書 放電加工装置 技術分野
この発明は、 被加工物に穴加工を行う放電加工装置に係わり、 特に、 細線を電極として被加工物に微細穴を放電加工するのに好適な放電加工 装置に関するものである。 背景技術
一般にこの種の放電加工装置は、 加工液中に加工用電極と被加工物を 配置し、 それらの間に電圧を印加して放電を発生させることで被加工物 に細穴を放電加工するようになっており、 その安定な加工状態を維持し ながら所望形状の穴加工を行うために、 加工用電極または被加工物の位 置を調整するための駆動装置を備えている。
その駆動装置への指令は、 加工用電極と被加工物の相対位置を表す極 間電圧とこの極間電圧の目標値との偏差に応じて加工用電極もしくは被 加工物の位置を調整し、 安定な加工状態を実現するように制御する。 し かし、 加工用電極による被加工物の加工状態は不規則に変動しており、 その加工状態を安定に維持するためには、 加工用電極を X軸、 Y軸、 Z 軸方向に制御駆動して位置決めする X Y Z駆動装置の高速応答性が重要 となる。
そこで、 前記 X Y Z駆動装置を備えた従来の放電加工装置において、 X Y Z駆動装置の高速応答性を向上させるために、 加工用電極を電磁石 によってラジアル方向とスラス ト方向に非接触で駆動する構成とするこ とにより、 加工用電極の X軸、 Y軸、 Z軸方向の高速応答性を実現し、 その結果、 加工の高速化と高精度化を実現できるというものは、 既に知 られている （例えば、 特許文献 1参照） 。
また、 他の従来例として、 パイプ電極の上端部を電極ホルダで掴み、 これを加工機の主軸先端部に設けたチヤックで保持し、 放電加工による 消耗で短くなつたパイプ電極を電極ホルダごと交換できるようにし、 か つ電極ホルダで掴まれるパイプ電極を長く しておく ことで長時間の加工 に対応できる構成とした放電加工装置も既に知られている （例えば、 特 許文献 2参照） 。
さらに、 別の従来例に係る放電加工装置では、 電極送り手段として、 電極供給リールからの細線電極 （ワイヤ電極） を 2つのローラ (送り口 ーラとクランプローラ） で押圧挟持し、 その一方のローラをサ一ボモー 夕で回転駆動することにより、 細線電極を連続供給する構成としたもの も既に知られている （例えば、 特許文献 3参照） 。
さらには、 この種の別の電極送り手段として、 細線電極を 2つのロー ラで挟持し、 このローラを手動操作で回転させることにより、 細線電極 を消耗分だけ送り出す構成としたものも既に知られている （例えば、 特 許文献 4参照） 。
[特許文献 1 ] 国際公開番号 WO 0 2 / 0 2 4 3 8 9 A 1 (第 1 2 頁〜第 1 5頁、 第 1図， 第 2図）
[特許文献 2 ] 特開平 8— 2 9 0 3 3 2号公報 （第 6頁〜第 7頁、 図 1 , 図 2 )
[特許文献 3 ] 特開 2 0 0 1 — 3 8 5 3 2号公報 （第 5頁、 図 1 ) [特許文献 4 ] 欧州特許 E P 0 8 2 6 4 5 5 B 1 (第 2頁、 図 1 ， 図 2 )
従来の放電加工装置は以上のように構成されているので、 次のような 種々の課題があつた。 特許文献 1の放電加工装置では、 加工用電極の X軸、 Y軸、 Z軸方向 の高速応答性を実現しているが、 特許文献 1の放電加工装置を使用し、 例えば、 0 0 . 2 m m以下のタングステン細線を加工用電極として放電 加工を行う場合、 その加工に伴い夕ングステン細線の電極は消耗するた め、 所望深さの加工を行うためには消耗量を見込んだ長さの夕ングステ ン細線を送り出す必要がある。 しかし、 特許文献 1の放電加工装置では 、 前述の細線を自動的に送り出す機能については何ら言及していない。 また、 特許文献 1の放電加工装置によれば、 被加工物の放電加工速度を 高速化できるが、 細線電極を使用した場合の消耗補正に時間を要するこ ととなり、 総加工時間を短縮するためには細線電極の自動供給機構が必 要になるという課題があった。
特許文献 2の放電加工装置では、 細長い低剛性のパイプ電極を長く し て使用するため、 そのパイプ電極は一種のばねのような状態となり、 こ のようなパイプ電極を電極ホルダごと交換する電極交換機構を特許文献 1の放電加工装置に適用した場合、 パイプ電極の高応答駆動性が損なわ れ、 放電加工の高速化と高精度化の十分な効果を期待できないという課 題があった。 また、 新品のパイプ電極は長さが長いために抵抗値も大き いが、 放電加工による消耗で次第に短くなるパイプ電極は放電加工に伴 つて抵抗値も次第に小さくなる。 したがって、 放電加工時の電気条件が 同一設定となっているにもかかわらず、 放電加工中に加工電流が次第に 大きくなつていく。 すなわち、 電極交換方式の放電装置で穴加工した場 合、 パイプ電極が新品の状態では加工穴径は小さいが、 そのパイプ電極 は放電加工時の消耗に伴って電極抵抗値が小さくなることにより加工穴 径が大きくなるため、 加工品質を均一に保つことができないという課題 があった。
特許文献 3の放電加工装置では、 細線電極を押圧挾持しているローラ がサ一ボモー夕で回転駆動されることにより、 前記細線電極を自動的に 連続供給することはできるが、 2つのローラによる細線電極の押し付け 力によって細線電極が例えば楕円状に変形する可能性があり、 さらに、 このような装置構造では、 加工中に細線電極を回転させることができな いため、 前述のように変形した細線電極の断面形状が加工穴形状となる ため、 真円度が高い穴加工を行うことができないという課題があった。 特許文献 4の放電加工装置では、 細線電極の送り出しを手動操作によ つて行うもので、 その自動送り出しについては何ら言及しておらず、 こ のため、 作業者が常に加工状態を管理して細線電極を消耗分だけ人為的 に送り出さなければならず、 放電加工装置を全自動化できないという課 題がある。 さらに、 この放電加工装置に適用する細線電極は直径が ø 0 . 1 m mとなっているため、 それ以下の小径細線を電極とする微細穴放 電加ェを自動的に連続して行うことができないという課題があった。
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、 取り 扱いが困難な導電性の細線を電極とする放電加工において、 細線電極を 変形させることなく 自動的に短時間で送り出すことができると共に、 そ の送り出し細線電極の座屈や振れ等を防止して真円度の高い穴加工を自 動的に連続して効率よく行うことが可能で、 かつ消耗による細線電極の 交換に要する時間も大幅に短縮できるなど、 放電による穴加工時におけ る加工段取り時間の短縮、 加工速度および加工精度の向上を図ることが できる信頼性の高い放電加工装置を得ることを目的とする。 発明の開示
この発明に係る放電加工装置は、 放電加工用の細線電極をスライ ド自 在に収納した中空棒状のガイ ド電極と、 このガイ ド電極を定位置に把持 するガイ ド電極把持手段と、 前記ガイ ド電極の内部に圧力流体を噴射供 給して当該ガイ ド電極の内部から前記細線電極を放電加工側に送り出す 圧力流体供給手段と、 前記ガイ ド電極から送り出された前記細線電極を 自動的に把持する細線電極把持手段とを備えたものである。
このことによって、 細線電極をスライ ド自在に収納した中空棒状のガ ィ ド電極の内部に圧力流体を噴射供給してガイ ド電極内部から細線電極 を放電加工側に送り出すように構成したので、 送り出し前の細線電極を 変形させることなくその形状を中空棒状のガイ ド電極で維持しながら当 該ガイ ド電極の内部に供給された圧力流体の噴射力によってガイ ド電極 内部の細線電極を自動的に短時間で送り出すことができるという効果が ある。 しかも、 前記ガイ ド電極の内部から送り出された細線電極は細線 電極把持手段によって自動的に把持されるので、 前記ガイ ド電極から送 り出された細線電極の座屈や振れ等を防止することができるという効果 がある。 さらに、 前述のようにガイ ド電極内部から送り出された細線電 極を自動的に把持する細線電極把持手段を設けたことにより、 その細線 電極把持手段から被加工物までの細線電極の突き出し量を短くすること ができ、 その突き出し量が短い細線電極は座屈や振れ等がいっそう生じ 難くなり、 真円度の高い放電穴加工を実現できるという効果がある。 ま た、 ガイ ド電極内部に収納する細線電極は長さを長くできるので、 消耗 による細線電極の交換時期を延ばすことができ、 このため、 細線電極の 交換時間を トータル的に短縮することができるという効果がある。 以上 のことから、 放電穴加工に際しての加工段取り時間を短縮できると共に 、 加工速度および加工精度を向上できるという効果がある。 図面の簡単な説明
第 1図はこの発明の実施の形態 1による放電加工装置を示す断面図で ある。 第 2図は第 1図の要部拡大断面図である。
第 3図は第 2図の要部横断面図である。
第 4図 （A ) はこの発明の実施の形態 2によるガイ ド電極挿入治具を 示す正面図、 第 4図 （B ) は第 4図 （A ) の径方向断面図、 第 4図 （ C ) は第 4図 （A ) の軸方向断面図である。
第 5図 （A ) はこの発明の実施の形態 3によるガイ ド電極挿入治具を 示す軸方向断面図、 第 5図 （B ) は第 5図 （A ) の径方向断面図である 第 6図 （ A ) はこの発明の実施の形態 5によるガイ ド電極引き抜き治 具を示す正面図、 第 6図 （B ) は第 6図 （A ) の平面図、 第 6図 （ C ) は第 6図 （A ) の軸方向断面図である。
第 Ί図はこの発明の実施の形態 6による放電加工装置の要部を示す断 面図である。 発明を実施するための最良の形態
以下、 この発明をより詳細に説明するために、 この発明を実施するた めの最良の実施について、 添付の図面に従って説明する。
実施の形態 1 ，
第 1図はこの発明の実施の形態 1による放電加工装置を示す断面図、 第 2図は第 1図の要部拡大断面図、 第 3図は第 2図の要部横断面図であ る
第 1図において、 放電加工機の主軸へッ ド 1 には高速応答性の電極駆 動装置 2が取り付けられている。 この電極駆動装置 2は、 当該装置の本 体となるハウジング 3 と、 このハウジング 3内の中心部に上下のベアリ ング 4 , 5を介して回転自在かつ軸方向移動可能に取り付けられた駆動 軸 6 とを備えている。 前記ベアリング 4 , 5 としては口一タリスライ ド ブッシュなど前記駆動軸 6の軸方向 （スラス ト方向） への移動を許容す るものが適用される。 前記駆動軸 6は中心貫通孔 6 aを有しており、 こ の中心貫通孔 6 aには中空棒状 （パイプ状） のガイ ド電極 7が挿入して ある。 そのガイ ド電極 7の内部には放電加工用の細線電極 8がスライ ド 自在に挿入収納されている。 また、 前記駆動軸 6の上端部には、 前記ガ ィ ド電極 7の上端部を挿抜可能に差し込み把持させるためのガイ ド電極 把持具 （ガイ ド電極把持手段） 9が取り付けられている。 そのガイ ド電 極把持具 9は、 前記ガイ ド電極 7の内部に連通する貫通孔 9 aを有して いる。 その貫通孔 9 aには、 前記ガイ ド電極 7の内部にエアまたは液体 等の圧力流体を供給して当該ガイ ド電極 7内から前記細線電極 8を放電 加工側に送り出す流体供給管 1 0が接続してある。 その流体供給管 1 0 はソレノィ ドバルブ 1 1を有して流体供給源に接続された圧力流体供給 手段となるものである。
前記駆動軸 6は電動モー夕 （回転駆動手段） 1 2によって回転駆動さ れるようになっている。 その電動モー夕 1 2は、 前記駆動軸 6の外周に 取り付けられたロータ 1 3 と、 このロー夕 1 3を囲んで前記ハウジング 3の内壁面に固定されたステ一夕 1 4とからなっている。 また、 前記駆 動軸 6は軸方向駆動手段 1 5によって軸方向に昇降駆動されるようにな つている。 その軸方向駆動手段 1 5は、 前記電動モータ 1 2 と適当な間 隔を隔てて前記駆動軸 6の外周に一体的に嵌着されたターゲッ トデイス ク 1 6 と、 このターゲッ トディスク 1 6を挟む上下位置に配置されて前 記ハゥジング 3の内壁面に固定された上下一対の電磁石 1 7 , 1 8 とか ら構成されている。 ここで、 前記電磁石 1 7 , 1 8は、 前記ターゲッ ト ディスク 1 6の昇降移動を許容する間隔で配置固定され、 電流値制御装 置 （図示せず） にそれそれ接続されている。
前記駆動軸 6の下端部には、 コレッ ト 1 9 とナッ ト 2 0により細線電 極把持ュニッ ト 2 1が取り付けられ、 この細線電極把持ュニッ ト 2 1 に よってガイ ド電極 7の下端側が固定されている。 すなわち、 駆動軸 6の 下端部に嵌め込まれたコレッ ト 1 9によって細線電極把持ュニッ ト （細 線電極把持手段） 2 1のシャンク部 2 3が把持され、 そのコレッ ト 1 9 をナツ ト 2 0で締め込むことによって、 駆動軸 6の下端部に細線電極把 持ュニッ ト 2 1が取り付けられている。 その取り付け状態において、 前 記ガイ ド電極 Ίの下端側は細線電極把持ュニッ ト 2 1のシャンク部 2 3 を貫通して細線電極把持ュニヅ ト 2 1内に臨んでいる。 ここで、 前記コ レッ ト 1 9 とナッ ト 2 0は、 前記シヤンク部 2 3を介して前記ガイ ド電 極 7の下端側を把持するガイ ド電極把持手段となるものである。
次に、 前記細線電極把持ユニッ ト 2 1の詳細な構成を第 2図および第 3図に基づいて説明する。
細線電極把持ュニヅ ト 2 1は、 筒状のュニッ トケース 2 2 と、 このュ ニッ トケース 2 2 と一体のシャンク部 2 3の付け根部付近内部に嵌め込 まれて前記ガイ ド電極 7を保持するゴムブッシュ 2 4と、 前記ユニッ ト ケース 2 2内にて前記ガイ ド電極 7の下端から送り出された細線電極 8 を挟み込んで把持する位置に対向配置された一対の細線把持具 2 5 , 2 6 とを備えている。 細線把持具 2 5 , 2 6は、 前記ュニヅ トケース 2 2 の径方向外方に向って当該ュニッ トケース 2 2の周壁部を緩貫通する突 出レバー （細線把持具駆動レバー） 2 5 a， 2 6 aをそれそれ一体的に 有している。 また、 前記ュニッ トケース 2 2の内壁面と前記各細線把持 具 2 5 , 2 6 との間には、 前記細線把持具 2 5， 2 6の相互を突き合わ せ方向 （細線電極 8を把持する方向） に付勢するパネ （把持具付勢手段 ) 2 7 , 2 8が介在してある。 したがって、 前記細線把持具 2 5， 2 6 とパネ 2 7 , 2 8は、 前記ガイ ド電極 7から送り出された細線電極 8を 把持する細線電極把持手段を構成している。 ここで、 前記細線把持具 2 5 ， 2 6の突出レバ一 2 5 a , 2 6 aは、 後述する細線電極把持制御ュニッ ト 3 7が備えた可動子 4 0の上昇移動 時に当該可動子 4 0で押されることにより、 前記細線把持具 2 5 , 2 6 が前記パネ 2 7 , 2 8の付勢力に杭して開離 （細線電極 8の把持を解除 ) するようになつている。 前記ュニ ヅ トケース 2 2の下端には前記細線 把持具 2 5 ， 2 6の下端を摺動自在に当接させるス トッパ 2 9が取り付 け固定してある。 そのス トヅ パ 2 9は、 細線把持具 2 5 , 2 6が片側に 寄り過ぎないようにするためのもので、 細線電極 8の中心を駆動軸 6の 回転中心と一致させるための位置決めの役割を果たす。 このようなス ト ッパ 2 9の下端にはダイス固定具 3 0が着脱可能に取り付けられ、 この ダイス固定具 3 0にダイヤモンドダイス 3 1がセッ トネジにより取り付 けられている。 そのダイャモン ドダイス 3 1の中心孔部に前記細線電極 8が通されるようになつている。 ダイヤモン ドダイス 3 1は、 細線電極 8の回転時に当該細線電極 8の芯振れを抑制するためのものである。 また、 前記駆動軸 6の下部外周には、 第 1図に示すように下側べァリ ング 5 とコレッ ト 1 9 との間で加工電源供給用の給電板 3 2が嵌着して ある。 この給電板 3 2には給電ブラシ 3 3がコィルバネ 3 4によって押 し付けられている。 それらの給電ブラシ 3 3 とコィルバネ 3 4は加工用 電源供給手段となるもので、 前記ハウジング 3の下端に取り付けられた 平面環状の継手部材 3 5に組み付けセッ トされて放電加工用電源 （図示 せず） に接続されている。 また、 前記継手部材 3 5の下端にはジグ 3 6 が取り付けられ、 このジグ 3 6の下端部に細線電極把持制御ュニッ ト 3 7が取り付けられている。
細線電極把持制御ュニッ ト 3 7は、 前記ジグ 3 6の下端に取り付けら れたソレノイ ドボディ 3 8 と、 このソレノイ ドボディ 3 8に組み付けら れたソレノイ ド 3 9 と、 前記ソレノイ ドボディ 3 8の内側に昇降自在に 嵌め込まれた平面環状の可動子 4 0 と、 前記ソレノ ィ ドボディ 3 8の下 端部に配置されてス トッパ 4 2で支持された夕ーゲッ ト 4 1 とを備えて いる。 ターゲッ ト 4 1は平面環状の磁性体からなって昇降可能となって いる。 また、 前記可動子 4 0の内径面は上端側が漸次大径となる擂り鉢 状のテ一パ面 4 0 a (第 2図参照） に形成されている。 そのテーパ面 4 0 aには前記細線把持具 2 5 , 2 6の突出レバ一 2 5 a , 2 6 aの先端 を当接させている。 その当接状態は、 前記細線把持具 2 5 , 2 6系統の パネ 2 7 ， 2 8の付勢力によって常時維持される。 また、 前記可動子 4 0はコィルバネ 4 3で常時下降方向に付勢されて前記夕ーゲヅ ト 4 1上 に支持されるようになっている。 したがって、 前記ス トッノ 4 2は、 前 記ソレノ ィ ド 3 9による吸引解除後の夕ーゲヅ ト 4 1および可動子 4 0 の落下を防止する。
以上において、 前記ガイ ド電極 7としては、 外径が約 l m mで内径が 約 0 . 5 m mの銅パイプを使用し、 その長さは、 駆動軸 6にコレ ッ ト 1 9を嵌めた長さから 1 O m n！〜 2 0 m m程度長いものがよい。 このよう なガイ ド電極 7内に挿入する細線電極 8は、 前記ガイ ド電極 7 と同等も しくは短い長さにしておく と、 放電穴加工に際しての段取り作業が行い 易くなる。 前記細線把持具 2 5 ， 2 6の対向接合面の上部は、 第 1図， 第 2図に示すようにテーパ状に形成されて前記細線把持具 2 5 , 2 6間 に上方から細線電極 8を導入し易く してある。 また、 前記細線把持 2 5 ， 2 6およびそれらの突出レバ一 2 5 a， 2 6 a、 細線電極把持ュニッ ト 2 1の構成要素は、 鋼材のような導電性材料で形成されている。 これ により、 前記駆動軸 6に供給された加工用電源は細線電極 8に給電され るようになっている。
なお、 第 1図に示すように、 前記駆動軸 6の上端部にはキャップセ ン サ 4 4が配置され、 このキャップセンサ 4 4は電流値制御装置 （図示せ ず） に接続されている。 その電流値制御装置には、 前記電動モー夕 1 5 、 前記軸方向駆動手段 1 6系統の電磁石 1 7， 1 8、 給電ブラシ 3 3系 統の放電加工用電源 （図示せず） 、 細線電極把持制御ュニッ ト 3 7系統 のソレノイ ド 3 9のそれそれが接続されており、 それらが前記電流値制 御装置によって関連応答制御されるようになつている。
次に動作について説明する。
上下の電磁石 1 7 , 1 8のそれそれが通電されると、 電磁吸引力が発 生することにより、 前記電磁石 1 7 , 1 8は両者間のターゲッ トデイス ク 1 6を引き合う。 このとき、 電流値制御装置によって、 前記電磁石 1 7， 1 8のそれそれに供給する電流値が適切に制御される。 その電流値 制御は、 一方の電磁石 1 7 と他方の電磁石 1 8 とでは、 それそれに供給 する電流値に差を生じさせることにより行われる。 その電流値の差を大 きくすることで前記 2つの電磁石 1 7， 1 8の電磁吸引力に大きな差が 生じる。 このため、 電磁石 1 7， 1 8間のターゲッ トディスク 1 6は、 電磁吸引力が大きな方の電磁石 1 7または電磁石 1 8に向って上昇移動 または下降移動する。 このような電流値制御を高速で行うことによって 、 前記ターゲッ トディスク 1 6が上昇方向または下降方向に高速応答動 作し、 そのターゲッ トディスク 1 6 と一体に駆動軸 6および細線電極把 持ュニッ ト 2 1が同一方向に高速応答駆動される。 また、 電動モータ 1 2を起動させることで駆動軸 6 と細線電極把持ュニッ ト 2 1がー体に高 速駆動される。 以上のようにして、 電極駆動装置 2は、 前記細線電極把 持ユニッ ト 2 1の上下方向への高速応答駆動と当該細線電極把持ュニッ ト 2 1の高速回転駆動を実現している。
次に、 ガイ ド電極 7内に揷入収納された細線電極 8の送り出し動作に ついて説明する。
細線電極 8を送り出すには、 まず、 細線把持具 2 5 , 2 6による細線 電極 8の把持を解除する。 その把持解除は、 細線電極把持制御ュニッ ト 3 7のソレノイ ド 3 9に給電することで行われる。 すなわち、 ソレノィ ド 3 9が給電されると、 当該ソレノィ ド 3 9で夕一ゲッ ト 4 1が吸引さ れて上昇移動し、 そのターゲッ ト 4 1が可動子 4 0を押し上げる。 この とき、 夕一ゲッ ト 4 0のテーパ面 4 0 aによって、 細線把持具 2 5 , 2 6のそれぞれの突出レバー 2 5 a， 2 6 aがバネ 2 7 , 2 8による付勢 力に抗してすれ違い方向 （ユニッ トケース 2 2の内部） に押し込まれる 。 その押し込みにより、 前記細線把持具 2 5 , 2 6相互のクランプ面が 開く ことで、 それらの細線把持具 2 5 , 2 6による細線電極 8の把持が 解除される。
その把持解除状態において、 流体供給管 1 0系統のソレノィ ドバルブ 1 1を開動させることにより、 流体供給管 1 0からガイ ド電極 7内にェ ァ等の圧力流体が噴射供給され、 その噴射力によってガイ ド電極 7内の 細線電極 8が押し出される。 なお、 前記ガイ ド電極 7内への圧力流体の 噴射は、 連続的でもよいが、 細線電極 8の送り出し量を微調整するため に間欠的に行ってもよい。 また、 上述のような圧力流体による細線電極 8の押し出し時において、 電極駆動装置 2により駆動軸 6および細線電 極把持ュニッ ト 2 1の高速応答駆動を行う と、 細線電極 8 とガイ ド電極 7内面との摩擦による引っ掛かりなどが解消され、 さらに細線電極 8を 送り出し易くなる。
そして、 前記圧力流体によりガイ ド電極 7の先端から押し出された細 線電極 8は、 ダイヤモン ドダイス 3 1から突き出す。 前記圧力流体の噴 射を停止すると、 細線電極 8の送り出し動作も停止する。 その送り出し 停止後の細線電極 8は、 細線把持具 2 5 , 2 6によって自動的にクラン プされる。 すなわち、 細線電極 8の送り出し動作が停止すると、 その時 点で細線電極把持制御ュニッ ト 3 7系統のソレノイ ド 3 9への電流供給 が遮断されることにより、 ソレノイ ド 3 9によるターゲッ ト 4 1の電磁 石吸引力が零となり、 コイルバネ 4 3の付勢力で可動子 4 0および夕一 ゲッ ト 4 1が押し下げられる。
前記可動子 4 0が押し下げられると、 当該可動子 4 のテーパ面 4 0 aに対する細線把持具 2 5 , 2 6の突出レバー 2 5 a， 2 6 aの当接点 が前記テ一パ面 4 0 aの小径側から大径側に移行することにより、 その テーパ面 4 0 aによる前記突出レバ一 2 5 a， 2 6 aへの押圧力が漸減 し、 これに伴って細線把持具 2 5， 2 6の相互が付勢パネ 2 7， 2 8の 付勢力で閉じ動作し、 ガイ ド電極 7内から送り出された細線電極 8が前 記細線把持具 2 5， 2 6の相互間で再度把持される。
前述のように細線電極 8の把持解除、 圧力流体の噴射、 細線電極 8の 押し出し、 圧力流体の噴射停止、 細線電極 8の再度把持の動作を繰り返 すと、 やがて細線電極 8は、 その先に置かれた被加工物の表面に接触す る。 このとき、 放電加工装置が標準装備している接触検出機能 （接触検 出用センサ） によって、 被加工物の表面に対する細線電極 8の接触が検 出され、 その接触検出信号が細線送り制御装置 （図示せず） に送られる ようになつている。 その細線送り制御装置は、 前記接触検出信号を入力 して前記ソレノィ ドバルブ 1 1を閉じる。 これにより、 ガイ ド電極 7内 への流体供給が遮断されるため、 細線電極 8の送り出し動作が停止する 。 このとき、 前述の細線電極 8の送り動作開始前の被加工物までの距離 によって細線電極 8の送り出し量を調整できる。 細線電極 8の送り出し 動作完了後、 駆動軸 6 と共に細線電極把持ュニッ ト 2 1が前述のように 高速回転駆動されながら前記細線電極 8による被加工物の放電穴加工が 行われる。
なお、 細線電極 8の送り出し動作のために細線電極把持ュニッ ト 2 1 が回転を停止して細線把持具 2 5， 2 6の突出レバー 2 5 a , 2 6 aが 可動子 4 0のテ一パ面 4 0 a上における任意の位置で停止しても、 細線 電極把持制御ュニッ ト 3 7系統のソレノィ ド 3 9 と夕ーゲッ ト 4 1およ び可動子 4 0のそれそれが平面環状であるため、 前述したような細線電 極 8のクランプおよびクランプ解除を行うための細線把持具 2 5， 2 6 の突出レバー 2 5 a , 2 6 aを動作させることができる。
次に、 細線電極 8の消耗時の交換について説明する。
まず、 細線電極把持ュニッ ト 2 1のュニッ トケース 2 2からダイス固 定具 3 0をス トツパ 2 9 ともども取り外す。 次いで、 細線電極 8をガイ ド電極 7ごと取り外して交換するが、 この場合、 細線電極把持制御ュニ ヅ ト 3 7系統のソレノイ ド 3 9による夕一ゲヅ ト 4 1の吸引時 （細線把 持具 2 5 , 2 6の細線電極 8のクランプ解除時） 以上に細線把持具 2 5 , 2 6の相互を広げる必要がある。 そこで、 前記ソレノイ ド 3 9の吸引 による夕ーゲッ ト 4 1の上昇ス トローク以上に可動子 4 0だけを手動で 持ち上げる。 これにより、 前記細線把持具 2 5 , 2 6相互の対向面間が ガイ ド電極 7を通過させ得る間隔に広がるので、 前記細線電極 8ともど もガイ ド電極 7を引き抜いて新たなものと交換する。 その交換に際して は、 前述のように可動子 4 0を持ち上げて細線把持具 2 5， 2 6間を広 げた状態で、 新たな細線電極 8が内部に挿入されたガイ ド電極 7を、 前 記細線把持具 2 5 , 2 6間の下方からシャンク部 2 3内のゴムブッシュ 2 4およびシャンク部 2 3の中心孔部を介して駆動軸 6の中心貫通孔 6 a内に挿入し、 ガイ ド電極 7の上端部をガイ ド電極把持具 9の貫通孔 9 aに差し込み接続する。 その後、 前記可動子 4 0の持ち上げを解除し、 前記ュニッ 卜ケース 2 2の下端部にダイス固定具 3 0をス トツバ 2 9 と もども組み付けることで前記交換作業が終了する。
以上説明した実施の形態 1によれば、 細線電極 8をスライ ド自在に収 納した中空棒状のガイ ド電極 7の内部に圧力流体を噴射させるように構 成したので、 前記ガイ ド電極 7により前記細線電極 8の屈曲変形を防止 しながら前記圧力流体の噴射力によって前記ガイ ド電極 7内部の細線電 極 8を放電加工側に自動的に短時間で送り出すことができるという効果 がある。 このような細線電極 8の送り出し時には、 細線電極把持制御ュ ニッ ト 3 7系統のソレノイ ド 3 9が励磁 （稼働） され、 これに関連応答 して圧力流体供給系統のソレノィ ドバルブ 1 1が開動するように制御さ れることにより、 細線把持具 2 5， 2 6による細線電極 8の把持が解除 された状態でガイ ド電極 7内部に圧力流体が噴射されるので、 その噴射 力による細線電極 8の自動的な送り出しを実現できるという効果がある 。 そして、 ガイ ド電極 7内部から送り出された細線電極 8がダイヤモン ドダイス 3 1の中心孔部を通って被加工物の表面に接触すると、 その接 触を検出するセンサ信号によつて圧力流体供給系統のソレノィ ドバルブ 1 1が閉じ、 これに関連応答して細線電極把持制御ュニッ ト 3 7系統の ソレノイ ド 3 9が励磁解除 （稼働停止） されることにより、 可動子 4 0 がコイルパネ 4 3の付勢力で下降し、 これに伴い細線把持具 2 5 , 2 6 がパネ 2 7 , 2 8の付勢力で閉じて前記ガイ ド電極 7内部からの送り出 し細線電極 8を確実に把持するため、 その送り出し細線電極 8の座屈や 振れ等を防止でき、 真円度の高い放電穴加工を行うことができるという 効果がある。
また、 上記実施の形態 1 によれば、 細線電極 8の送り出し時に軸方向 駆動手段 1 5の上側電磁石 1 7と下側電磁石 1 8が交互に励磁されるこ とにより、 ターゲッ トディスク 1 6を介して駆動軸 6 と一体にガ ド電 極 7を軸方向に微小振動させることができ、 その微小振動により、 送り 出し中の細線電極 8がガイ ド電極 7内壁との摩擦などで引っ掛かるよう なことがなく、 このため、 前記細線電極 8の送り出しを安定して速やか に遂行させることができるという効果がある。 さらに、 前記ガイ ド電極 7の内部から送り出された細線電極 8を細線把持具 2 5 , 2 6によって 駆動軸 6の回転中心と同一中心となるように把持することができ、 この 状態で前記細線電極 8を駆動軸 6 と一体に高速回転駆動することができ るため、 真円精度が高い放電穴加工を実現できるという効果がある。 さらに、 上記実施の形態 1によれば、 細線電極把持ュニッ ト 2 1によ つて、 この細線電極把持ュニッ ト 2 1から被加工物までの細線電極 8の 突き出し量を短くでき、 その突き出し量が短い細線電極 8は座屈や振れ 等がいっそう生じ難くなり、 そのため、 高速応答電極駆動装置 2による 放電穴加工時に細線電極 8の高速応答駆動が損なわれるようなことがな く、 いつそう真円度の高い高速 ·高精度の放電穴加工を実現できるとい う効果がある。 また、 前記ガイ ド電極 7内に収納する細線電極 8は長さ を長くできるので、 細線電極 8の消耗による当該細線電極 8の交換時期 を延ばすことができ、 このため、 細線電極の交換時間を トータル的に短 縮できるという効果がある。 また、 前記細線電極 8の交換に際しては、 可動子 4 0を手動でコイルバネ 4 3の付勢力に抗して持ち上げると、 前 記可動子 4 0のテ一パ面 4 0 aで細線把持具 2 5， 2 6の突出レバ一 2 5 a , 2 6 aが押され、 前記細線把持具 2 5 , 2 6がバネ 2 7 , 2 8の 付勢力に抗して大きく開く ことができるので、 前記細線電極 8をガイ ド 電極 7ともども引き抜いて容易に交換することができるという効果があ る。
さらに、 上記実施の形態 1によれば、 ガイ ド鼋極 7が挿入された駆動 軸 6 と前記ガイ ド電極 7および細線電極把持ュニッ ト 2 1 とが同期回転 駆動されるように構成したので、 前記細線電極把持ュニッ ト 2 1で把持 された細線電極 8の中心と駆動軸 6の回転中心とを一致させた状態で駆 動軸 6細線電極 8 とを一体に高速回転駆動させることができ、 高速応答 電極駆動装置 2による放電穴加工時において、 前記細線電極 8の高速応 答駆動が損なわれるようなことがなく、 高速 ·高精度の放電穴加工を実 現できるという効果がある。
さらに、 上記実施の形態 1によれば、 ガイ ド電極 7内部への圧力流体 供給時に細線電極把持ュニッ ト 2 1が細線電極 8の把持を解除する方向 に応答動作し、 かつガイ ド電極 7内部への圧力流体供給遮断時には前記 細線電極把持ュニッ ト 2 1が細線電極 8を把持する方向に応答動作する よう構成したので、 前記ガイ ド電極 7内部に供給された圧力流体の噴射 力による細線電極 8の自動的な送り出しをスムーズに遂行させることが でき、 前記細線電極 8の自動送り出しと、 これに関連した応答動作によ る細線電極 8の自動的な把持 ·把持解除を実現できるという効果がある さらに、 上記実施の形態 1によれば、 前述のように、 ガイ ド電極 7内 部から送り出された細線電極 8を把持および把持解除する方向に配置さ れた一対の細線把持具 2 5 , 2 6が、 ガイ ド電極 7内部への圧力流体供 給時に稼働するソレノィ ド 3 9で吸引移動させられる可動子 4 0によつ て、 前記細線電極 8の把持を解除する方向に駆動され、 かつガイ ド電極 7内部への圧力流体供給遮断時には前記細線把持具 2 5 , 2 6が把持具 付勢手段 （パネ） 2 7， 2 8の付勢力で細線電極 8を把持する方向に駆 動されるように構成したことで、 ガイ ド電極 7内部に対する圧力流体の 供給時およびその供給遮断時に前記細線把持具 2 5 , 2 6を瞬時に応答 動作させることができるという効果がある。
さらに、 上記実施の形態 1 によれば、 細線電極把持ュニッ ト 2 1の細 線把持具 2 5， 2 6で把持された細線電極 8に対し前記細線電極把持ュ ニッ ト 2 1を介して放電加工用電源を供給するように構成したので、 細 線電極 8に対する加工用電源の給電位置から細線電極 8先端までの細線 電極 8の線長が一定となり、 これにより細線電極 8の抵抗値が一定とな るため、 穴加工中の放電電流にばらつきがなくなって、 安定した放電穴 加工を実現でき、 その加工精度および加工品質が大幅に向上するという 効果がある。
さらに、 この発明によれば、 ガイ ド電極 7内部から細線電極 8の送り 出し中に前述のように駆動軸 6を軸方向へ微小振動させることができる ように構成したので、 その微小振動により送り出し中の細線電極 8がガ ィ ド電極 7内壁との摩擦などで引っ掛かるようなことがなく、 細線電極 8の自動送り出しを安定して速やかに遂行させることができるという効 果がある。 実施の形態 2 - 第 4図 （A ) はこの発明の実施の形態 2によるガイ ド電極挿入治具を 示す正面図、 第 4図 （B ) は第 4図 （A ) の径方向断面図、 第 4図 （ C ) は第 4図 （A ) の軸方向断面図である。
この実施の形態 2によるガイ ド電極挿入治具 5 0は、 前記実施の形態 1による放電加工装置の細線電極把持ュニッ ト 2 1 に対して細線電極 8 およびガイ ド電極 7を装填する場合に使用するものである。 すなわち、 前記実施の形態 1の放電加工装置においては、 ガイ ド電極 7を、 細線電 極把持ュニッ ト 2 1内のゴムブッシュ 2 4に通し、 さらに、 駆動軸 6の 中心貫通孔 6 aに挿入して上部のガイ ド電極把持具 9に差し込み保持さ せるためには前記ガイ ド電極 7を押し込む必要があり、 その押し込み作 業を容易に行うことを目的として、 この実施の形態 2によるガイ ド電極 挿入治具 5 0が使用される。
そのガイ ド電極挿入治具 5 0は、 挿入対象のガイ ド電極 7の直径よ り も、 例えば、 0 . l i m n！〜 0 . 5 m m程度小径の円形中空棒状をなし 、 その一方端から約 1 0 m m程度の少なく とも 2条の平行する軸方向溝 5 1が切り込み加工され、 この軸方向溝 5 1の基部には円形穴 5 2が形 成されている。 このような中空棒状のガイ ド電極挿入治具 5 0における 他方端寄りの内部には盲栓 5 3がー体的に設けてある。
次に動作について説明する。
細線電極 8を収納したガイ ド電極 7をガイ ド電極挿入治具 5 0の内部 に、 その軸方向溝 5 1側の開口部から押し込む。 このとき、 前記ガイ ド 電極 7は、 その外径がガイ ド電極挿入治具 5 0の内径より大きいもので あっても、 ガイ ド電極挿入治具 5 0には前述のように軸方向溝 5 1 と円 形穴 5 2が設けられているため、 そのガイ ド電極挿入治具 5 ◦によって ガイ ド電極 8をチヤッキングすることができる。 そこで、 前記実施の形 態 1の場合と同じ要領で細線電極把持ュニッ ト 2 1内の細線把持具 2 5 ， 2 6を広げ、 この状態で下方からゴムプッシュ 2 4を介して駆動軸 6 の中心貫通孔 6 aに前記ガイ ド電極挿入治具 5 0をガイ ド電極 7 ともど も押し込むことにより、 前記ガイ ド電極挿入治具 5 0から突出している ガイ ド電極 7を上部のガイ ド電極把持具 9に差し込む。 その差し込み後 に前記ガイ ド電極挿入治具 5 0を引き抜く ことでガイ ド電極 7の取り付 けセッ トが終了する。
取り付けセッ トされた細線電極 8を放電加工により消耗時に交換する 場合にはガイ ド電極 7を取り外す必要がある。 この場合はガイ ド電極挿 入治具 5 0だけを軸方向溝 5 1側の開口端部から細線電極把持ュニッ ト 2 1内に押し込むことで、 前記ガイ ド電極挿入治具 5 0の押し込み先端 内部をガイ ド電極 7に嵌め込んだ後、 前記ガイ ド電極挿入治具 5 0を引 き出すことにより、 ガイ ド電極 7を細線電極 8 ともども引き抜く ことが できる。 なお、 前記ガイ ド電極挿入治具 5 0内の盲栓 5 3は、 ガイ ド電 極挿入治具 5 0の内径よりも小さい外径のガイ ド電極 7を挿入する場合 に当該ガイ ド電極 7の挿入先端を当接支承させるス トッパとして機能す る o
以上説明した実施の形態 2によれば、 前記実施の形態 1 による放電加 ェ装置の細線電極把持ュニツ ト 2 1および駆動軸 6内に対するガイ ド電 極 7の挿入作業および細線電極 8の消耗による当該細線電極 8の交換に 際しての前記ガイ ド電極 7の引き抜き作業を容易に行うことができると いう効果がある。 特に、 ガイ ド電極挿入治具 5 0には軸方向溝 5 1を設 けたことにより、 前記ガイ ド電極挿入治具 5 0の内径よりも大きな外径 のガイ ド電極 7であっても、 そのガイ ド電極 7をガイ ド電極挿入治具 5 0内に押し込んでチヤヅキングさせることができるという効果がある。 また、 前記ガイ ド電極挿入治具 5 0内には盲栓 5 3が設けられているの で、 そのガイ ド電極挿入治具 5 0の内径よりも小さな外径のガイ ド電極 7であっても、 このガイ ド電極 7をガイ ド電極挿入治具 5 0内に挿入し た状態で、 そのガイ ド電極挿入治具 5 0によ り前述のような細線電極把 持ュニッ ト 2 1および駆動軸 6内に対するガイ ド電極 7の挿入作業およ び引き抜き作業を容易に行うことができるという効果がある。 実施の形態 3 .
第 5図 （ A ) はこの発明の実施の形態 3によるガイ ド電極挿入治具を 示す軸方向断面図、 第 5図 （B ) は第 5図 （A ) の径方向断面図である この実施の形態 3によるガイ ド電極挿入治具 1 0 0は、 前記実施の形 態 1による放電加工装置の細線電極把持ュニッ ト 2 1に対して細線電極 8およびガイ ド電極 7を装着する場合に使用するものである。 すなわち 、 前記実施の形態 1の放電加工装置においては、 ガイ ド電極 7を細線電 極把持ユニッ ト 2 1内のゴムプッシュ 2 4に通し、 さらに、 駆動軸 6の 中心貫通孔 6 aに挿入して上部のガイ ド電極把持具 9に差し込み保持さ せるためには前記ガイ ド電極 7を押し込む必要があり、 その押し込み作 業を容易に行うことを目的として、 この実施の形態 3によるガイ ド電極 挿入治具 1 0 0が使用される。
そのガイ ド電極挿入治具 1 0 0は、 挿入対象のガイ ド電極 7の直径と 同程度、 すなわちガイ ド電極 7の内部に揷入されない大きさの直径を有 する円形中実棒状体からなり、 この棒状体の外周中途部に対してその直 径よりも径大の円形中実状をなすプロック 1 0 1を一体的に取り付けた 構成となつている。
そして、 前記ガイ ド電極挿入治具 1 0 0に対するプロック 1 0 1の取 り付け位置は、 ガイ ド電極 7の下端に対する前記ガイ ド電極揷入治具 1 0 0の突き当て先端から例えば約 1 4 m m程度の位置に設定される。 す なわち、 細線把持具 2 5 , 2 6の下方から駆動軸 6の中心貫通孔 6 aに ガイ ド電極 7を押し込む過程において、 前記ガイ ド電極挿入治具 1 0 0 の先端をガイ ド電極 7の下端に突き当ててガイ ド電極 7を押し込むこと により、 第 1図に示すように、 上部のガイ ド電極把持具 9の貫通孔 9 a にガイ ド電極 7の上端部が差し込み保持された時点で前記プロック 1 0 1が細線電極把持ュニッ ト 2 1のス ト ヅパ 2 9に当接してガイ ド電極 7 の押し込み量が最適となるように前記プロック 1 0 1の取り付け位置が 設定されている。 また、 そのブロック 1 0 1は、 前記ガイ ド電極挿入治 具 1 0 0の例えば 3倍程度の直径の円形中実状に形成されている。
次に動作について説明する。
前記実施の形態 1の細線電極 8交換時の場合と同じ要領でダイス固定 具 3 0を取り外した細線電極把持ュニッ ト 2 1内の細線把持具 2 5， 2 6を広げ、 この状態で下方からゴムブッシュ 2 を介して駆動軸 6の中 心貫通孔 6 aにガイ ド電極 7を押し込む。 このとき、 ガイ ド電極 7を細 線把持具 2 5 , 2 6よりも内部に完全に押し込むために、 前記ガイ ド電 極挿入治具 1 0 0を使用する。 この場合、 ガイ ド電極挿入治具 1 0 0の 先端をガイ ド電極 Ίの下端に突き当てて前記中心貫通孔 6 aに押し込む 。 これにより、 前記ガイ ド電極挿入治具 1 0 0のブロック 1 0 1が細線 電極把持ュニッ ト 2 1のス トッパ 2 9に当接すると、 前記中心貫通孔 6 aに押し込まれたガイ ド電極 7の上端部が上部のガイ ド電極把持具 9 に 差し込み保持されるので、 前記プロヅク 1 0 1が前記ス トヅパ 2 9に当 接した時点で前記ガイ ド電極挿入治具 1 0 0を引き抜く ことにより、 前 記ガイ ド電極 7の取り付けセッ トが終了する。
そして、 前記ガイ ド電極 7内に挿入セッ トされた細線電極 8を放電加 ェによる消耗時に交換する場合には前記ガィ ド電極 7を取り外す必要が ある。 この場合、 前記実施の形態 2によるガイ ド電極挿入治具 5 0を使 用してもよいが、 そのガイ ド電極挿入治具 5 0を改良した後述する実施 の形態 5 のガイ ド電極引き抜き治具を使用すれば前記ガイ ド電極 7 の引 き抜き交換をいつそう容易に行うことができる。
以上説明した実施の形態 3によれば、 ガイ ド電極 7の内部に揷入でき ない直径の円形中実棒状体からなるガイ ド電極挿入治具 1 0 0の外周中 途部に、 その直径よりも径大の円形中実状をなすブロック 1 0 1を一体 的に設け、 駆動軸 6の中心貫通孔 6 aに挿入過程のガイ ド電極 7の下端 に前記ガイ ド電極挿入治具 1 0 0の先端を突き当ててガイ ド電極 7を押 し込むことにより前記プロック 1 0 1が細線電極把持ュニッ ト 2 1のス トツノ 2 9に当接することで前記ガイ ド電極 7の上端部が上部のガイ ド 電極把持具 9に差し込み保持されるように構成したので、 前記ガイ ド電 極挿入治具 1 0 0によるガイ ド電極 7の押し込み時に前記プロヅ ク 1 0 1を前記ス ト ッパ 2 9に当て止めするだけで、 ガイ ド電極 7の挿入作業 を作業者の熟練度によらず容易に、 しかもガイ ド電極 7の押し込み過不 足が生じることなく均一に行うことができるという効果がある。 実施の形態 4.
前記実施の形態 3では、 ガイ ド電極挿入治具 1 0 0にブロック 1 0 1 を一体的に取り付けたが、 そのプロック 1 0 1は前記ガイ ド鼋極挿入治 具 1 0 0の外周の螺合させてもよい。 この場合、 駆動軸 6の中心貫通孔 6 aに対する揷入過程のガイ ド電極 7の下端にガイ ド電極挿入治具 1 0 0の先端を突き当てて押し込むこと より、 上部のガイ ド電極把持具 9 にガイ ド電極 7の上端部が差し込み保持された U寺点で細線電極把持ュニ ッ ト 2 1のス トヅノ 2 9に前記ブロック 1 0 1が確実に当接するように 、 そのブロック 1 0 1の位置調整を容易に行うことができ、 前記ブ Gヅ ク 1 0 1を備えたガイ ド電極挿入治具 1 0 0の製作を容易に行うことが できるという効果がある。 実施の形態 5.
第 6図 （A) はこの発明の実施の形態 5によるガイ ド電極引き抜き治 具を示す正面図、 第 6図.（B) は第 6図 （A) の平面図、 第 6図 （ C) は第 6図 （A) の軸方向断面図である。
この実施の形態 5によるガイ ド電極引き抜き治具 1 0 2は、 外側の円 形中空棒 （以下、 外側中空棒という） 1 0 3と、 この外側中空棒 1 0 3 内に軸方向へ摺動自在に挿入された内側の円形中空棒 （以下、 内側中空 棒という） 1 04とからなっている。 ここで、 前記内側中空棒 1 04は 、 その内径が引き抜き対象のガイ ド電極 7の直径よりも、 例えば 0. 1 l mm~ 0. 5 mm程度小径に形成されている。 また、 前記外側中空棒 1 0 3は、 その内径が前記内側中空棒 1 04の直径 （外径） よりも、 例 えば 0. l mn！〜 0. 5 mm程度大径に形成されている。
そして、 前記内側中空棒 1 04は、 その一方端から約 1 0 mm程度の 少なく とも 2条の平行する軸方向溝 1 0 5が切り込み形成され、 さらに 、 その軸方向溝 1 0 5の基部円形穴 1 0 5 aから先端方向に向って前記 軸方向溝 1 0 5が幅狭くなるように曲げ加工されてい'る。 また、 前記内 側中空棒 1 0 4の先端側には、 その軸方向溝 1 0 5が平行するネック部 1 0 6が形成してある。 このネック部 1 0 6は、 前記軸方向溝 1 0 5の 基部円形穴 1 0 5 aから先端方向に向って 6 m m程度の位置より約 1 . 5 m m程度の長さで平行するように形成されている。 さらに、 前記ネッ ク部 1 0 6の先端側には前記軸方向溝 1 0 5が広がるように拡開部 1 0 7が曲げ加工されている。 その拡開部 1 0 7は先端側に向って前記外側 中空棒 1 0 3の内径よりも漸次大径となるテ一パ状に形成されている。 次に動作について説明する。
第 1図および第 2図に示すガイ ド電極 7の引き抜きに際しては、 まず 、 前記実施の形態 1の細線電極 8交換時の場合と同じ要領でダイス固定 具 3 0を取り外した細線電極把持ュニヅ ト 2 1内の細線把持具 2 5 , 2 6を広げ、 その細線把持具 2 5 , 2 6間に下方からガイ ド電極引き抜き 治具 1 0 2を押し込むと、 細線電極把持ュニッ ト 2 1内のゴムプッシュ 2 4に保持されているガイ ド電極 7の下端側が前記ガイ ド電極引き抜き 治具 1 0 2の内側中空棒 1 0 4のネック部 1 0 6内に嵌め込まれて前記 内側中空棒 1 0 4の先端が細線電極把持ュニッ ト 2 1のシャンク部 2 3 の下面に当接する。 この状態で前記ガイ ド電極引き抜き治具 1 0 2の外 側中空棒 1 0 3をさらに押し込むと、 その外側中空棒 1 0 3内に前記内 側中空棒 1 0 4の拡開部 1 0 7が嵌め込まれ、 その拡閧部 1 0 7が縮径 方向 （軸方向溝 1 0 5が狭くなる方向） に動作して前記ネック部 1 0 6 が縮径動作することにより、 そのネック部 1 0 6内に嵌め込まれたガイ ド電極 7の下端部がチヤッキングされる。 そのチヤツキング状態では、 内側中空棒 1 0 4の拡開部 1 0 7が縮径して外側中空棒 1 0 3内に圧入 保持された状態となるので、 この状態で前記ガイ ド電極引き抜き治具 1 0 2を引き出すことにより、 前記ガイ ド電極 7を細線電極 8 ともども引 き抜く ことができる。
以上説明した実施の形態 5によれば、 軸方向溝 1 0 5を有する内側中 空棒 1 0 4の一方端側に前記軸方向溝 1 0 5を介して平行するネック部 1 0 6を一体形成し、 そのネック部 1 0 6の先端側に径方向に拡縮可能 な拡開部 1 0 7を一体形成し、 前記内側中空棒 1 0 4が外側中空棒 1 0 3内に摺動自在に挿入し、 その外側中空棒 1 0 3を前記内側中空棒 1 0 4に対して軸方'向に移動させることにより前記拡開部 1 0 7を介して前 記ネック部 1 0 6が径方向に拡縮動作するガイ ド電極引き抜き治具 1 0 2を構成したので、 前記内側中空棒 1 0 4内の少なく とも前記ネック部 1 0 6内にガイ ド電極 7の下端部が嵌め込まれた状態で前記外側中空棒 1 0 3を押し込んだ後にガイ ド電極引き抜き治具 1 0 2を引き出すだけ でガイ ド電極 7を細線電極 8 ともども引き抜く ことができ、 このため、 前記実施の形態 1による放電加工装置において、 細線電極 8の消耗によ る当該細線電極 8の交換に際してのガイ ド電極 7の引き抜き作業を容易 かつスムーズに引き抜くことができるという効果がある。 実施の形態 6 .
第 7図はこの発明の実施の形態 6による放電加工装置の要部を示す断 面図であり、 第 1図〜第 3図と同一の構成要素には同一符号を付して重 複説明を省略する。
この実施の形態 6では、 ガイ ド電極 7から送り出された細線電極 8を 挟み込んで把持する細線電極把持手段として、 前記送り出し細線電極 8 を挟む位置に永久磁石 4 5 と磁性の細線把持具 4 6 とを対向配置したも のである。 前記永久磁石 4 5は細線電極把持ュニッ ト 2 1のユニッ トケ —ス 2 2内壁面に固定されている。 前記細線把持具 4 6は、 前記ュニッ トケース 2 2下端のス ト ッパ 2 9上で前記永久磁石 4 5に接離する方向 へ移動可能に保持されている。 また、 前記細線把持具 4 6は、 この背面 に接続されて前記ュニッ トケース 2 2の内壁面との間に介在させたバッ クスプリング （把持具付勢手段） 4 7により、 前記永久磁石 4 5に接合 する方向に付勢されている。 さらに、 高速応答電極駆動装置 2における ジグ 3 6の下側には、 前記細線把持具 4 6 との間に細隙 （約 2 m m程度 ) ができるようにソレノイ ド 4 8が配置され、 そのソレノイ ドボディ 3 8が前記ジグ 3 6の下端に取り付け固定されている。 前記ソレノィ ド 4 8は励磁時に発生する磁気吸引力によ り、 前記細線把持具 4 6をバック スプリ ング 4 7の付勢力に抗して前記永久磁石 4 5から引き離すもので ある。
次に動作について説明する。
ガイ ド電極 7内部への圧力流体供給時 （第 1図中のソレノィ ドバルブ 1 1が開の時） にはソレノィ ド 4 8が応答励磁され、 このとき発生する 磁気吸引力によって細線把持具 4 6がバックスプリ ング 4 7の付勢力に 抗して永久磁石 4 5から引き離される。 この状態で前記圧力流体による ガイ ド電極 7内部からの細線電極 8の送り出しが行われる。 そして、 ガ ィ ド電極 7内部への圧力流体供給遮断、 すなわち前記ソレノィ ドバルブ 1 1の閉動に伴って前記ソレノィ ド 4 8の励磁が遮断される。 すると、 永久磁石 4 5の磁力と細線把持具 4 6のバックスプリング 4 7の付勢力 とによって、 細線把持具 4 6が永久磁石 4 5に吸着されることにより、 前記ガイ ド電極 7から送り出された細線電極 8が前記永久磁石 4 5 と細 線把持具 4 6 との間に挟み込まれて把持される。
以上説明した実施の形態 6によれば、 ガイ ド電極 7内部からの送り出 し細線電極 8を挟む位置に永久磁石 4 5 と細線把持具 4 6を対向配置し 、 その配置位置において、 前記永久磁石 4 5は固定とし、 前記細線把持 具 4 6は前記永久磁石 4 5に対する接離方向に移動可能とし、 前記ガイ ド電極 7内部への圧力流体供給時に応答稼働するソレノイ ド 4 8の磁気 吸引力で前記細線把持具 4 6を永久磁石 4 5から引き離すように構成し たので、 ガイ ド電極 7内に供給された圧力流体の噴射力による細線電極 8の送り出し時には前記永久磁石 4 5 と細線把持具 4 6 との間が開いた 状態となり、 このため、 前記圧力流体の噴射力による細線電極 8のスム ーズな自動送り出しを実現できるという効果がある。 また、 前記ガイ ド 電極 7内部への圧力流体供給遮断時には、 これに応答して前記ソレノィ ド 4 8が稼働停止し、 永久磁石 4 5が細線把持具 4 6を吸着するので、 前記ガイ ド電極 7内部から送り出された細線電極 8を前記永久磁石 4 5 と細線把持具 4 6 とで確実に把持することができるという効果がある。 しかも、 前記ソレノィ ド 4 8の稼働停止時には、 前記細線把持具 4 6を バックスプリング 4 7の付勢力によって永久磁石 4 5に確実に吸着させ ることができるとともに、 前記バックスプリング 4 7の付勢力と永久磁 石 4 5の磁力とによつて細線電極 8を強力に把持することができるとい う効果がある。 産業上の利用可能性
以上のように、 この発明に係る放電加工装置は、 細線を電極として被 加工物に微細穴を放電加工するのに適している。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 細線を電極として穴加工を行う放電加工装置において、 放電加工用 の細線電極をスライ ド自在に収納した中空棒状のガイ ド電極と、 このガ ィ ド電極を定位置に把持するガイ ド電極把持手段と、 前記ガイ ド電極の 内部に圧力流体を噴射供給して当該ガイ ド電極の内部から前記細線電極 を放電加工側に送り出す圧力流体供給手段と、 前記ガイ ド電極から送り 出された前記細線電極を自動的に把持する細線電極把持手段とを備えた ことを特徴とする放電加工装置。
2 . ガイ ド電極は中空状の駆動軸の内部に挿入されて当該駆動軸と一体 回転可能に保持され、 前記駆動軸の放電加工側に細線電極把持手段が前 記駆動軸と一体回転可能に設けられていることを特徴とする請求の範囲 第 1項記載の放電加工装置。
3 . 細線電極把持手段は、 ガイ ド電極内部への圧力流体供給時に関連応 答して細線電極の把持解除方向に動作し、 かつガイ ド電極内部への圧力 流体供給遮断時に関連応答して細線電極の把持方向に動作する構成とな つていることを特徴とする請求の範囲第 1項記載の放電加工装置。
4 . 細線電極把持手段は、 ガイ ド電極から送り出された細線電極を把持 および把持解除する方向に移動可能に配置された一対の細線把持具と、 これらの細線把持具を細線電極把持方向に付勢する把持具付勢手段と、 前記細線電極の送り出し方向に沿って移動可能に配置された可動子と、 ガイ ド電極内部への圧力流体供給時に稼働して前記可動子を吸引移動さ せるソ レノィ ドとを備え、 ガイ ド鼋極内部への圧力流体供給時に前記ソ レノィ ドで'吸引移動ざせられる前記可動子が前記細線把持具を前記把持 具付勢手段の付勢力に抗して細線電極把持解除方向に移動させ、 ガイ ド 電極内部への圧力流体供給遮断時に前記細線把持具が前記把持具付勢手 段の付勢力で細線電極把持方向に移動するように構成されていることを 特徴とする請求の範囲第 1項記載の放電加工装置。
5 . 細線電極把持手段は、 ガイ ド電極からの送り出し細線電極に沿って 配置された永久磁石と、 この永久磁石との間で前記細線電極を挟み込ん で当該細線電極を把持および把持解除方向に移動可能に対向配置された 磁性の細線把持具と、 ガイ ド電極内部への圧力流体供給時に稼働して前 記細線把持具を前記永久磁石から離す方向に吸引移動させるソレノイ ド とを備えてなることを特徴とする請求の範囲第 1項記載の放電加工装置
6 . 細線電極は細線電極把持手段を介して放電加工用電源が供給される ようになつていることを特徴とする請求の範囲第 1項記載の放電加工装 置。
7 . ガイ ド電極は細線電極の送り出し時に振動力が付与されるようにな つていることを特徴とする請求の範囲第 1項記載の放電加工装置。
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