JP4572232B2 - 放電加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、非導電性の液体に浸漬された又は非導電性の液体が吹き付けられた放電ワイヤと被加工物の間に電圧を印加することにより両者の間に放電を形成し、該被加工物を溶融して加工する放電加工装置に関する。

非導電性の液体に浸漬された又は非導電性の液体が吹き付けられた放電ワイヤと被加工物の間に形成される放電を利用して金属製の被加工物を加工する放電加工装置では、被加工物を所定形状に加工するために、放電ワイヤの先端と被加工物が対向する放電加工領域に該放電ワイヤを絶えず供給して放電を安定的に維持する必要がある。そのために、従来、放電ワイヤ又は被加工物を移動してそれらの間に安定した放電距離を維持するＸＹＺ駆動機構が提案されている。この駆動機構は、放電ワイヤ又は被加工物を移動し、これら２つの部材の相対位置を示す両者間の電位差を予め決められた値に調整する。ところが、通常、被加工物に付与される最終形状が複雑であったり、加工中の２つの部材が約１０μｍ程度まで接近することがある。このような状況の下、電位差を目標値になるように相対位置を調整するために、ＸＹＺ駆動機構には高速応答性が要求される。

このような要求を満足するために、ＷＯ０２/０２４３８９Ａ１には、高速応答性のＸＹＺ駆動機構を有する放電加工方法及び装置が開示されている。その構成によれば、特に約０．２mm以下の直径を有する細いタングステン電極ワイヤを使用する場合、このワイヤは短時間で消費される。また、被加工物に例えば深い加工を施す場合、放電加工中に消費されるワイヤはその将来的消費を見越して予め突出されるか、または消費に応じて断続的に供給される必要がある。しかし、その文献では、細いワイヤの自動供給について何ら言及されていない。したがって、高速のワイヤ供給機構と組み合わせて用いられる場合を除き、消耗し易い細いワイヤの補充制御に長時間を要するので、当該文献に開示された装置を用いて高速加工性は実現できない。

特開平８−２９０３３２号公報にはワイヤ供給機構が開示されており、そこではワイヤ電極の上端部がホルダに支持されており、このホルダが加工装置の主軸に設けたチャックに支持されている。この構成によれば、殆どの部分が放電加工の際に溶融して消費されたワイヤの残り部分が、ホルダと一緒に未使用ワイヤと交換される。また、ワイヤの頻繁な交換やそれに起因する放電の頻繁な中断を防止するために、約３０ｃｍの長さを有するワイヤが使用されている。しかし、その細いワイヤは剛性が低く、しかもその上端部で支持されている。そのため、この長いワイヤが弾性的に動作し、これにより被加工物に対向する下端部が被加工物に対して上下左右に振動することから、高速で信頼性あるワイヤ供給ができないという問題がある。また、この方式では、ワイヤの弾性により、ＸＹＺ駆動機構を高速応答駆動させても、ワイヤ先端部では高速応答が減衰してしまうという問題がある。そのため、特開平８−２９０３３２号公報に記載されたワイヤ供給機構は、ＷＯ０２/０２４３８９Ａ１に開示された放電加工装置に適用できない。

特開２００１−３８５３２号公報には、一対のローラからワイヤを連続的に供給するワイヤ供給機構が開示されている。しかし、この機構は幾つかの欠点を有する。例えば、ローラの圧接領域でワイヤが変形又は扁平化されたり、ワイヤはローラによって保持されているために該ワイヤの中心軸を中心として回転できないことから、円筒状の孔を偏心無く形成することができないという問題がある。

欧州特許０８２６４５５Ｂ１には、別のワイヤ供給機構が開示されており、そこでは、ワイヤがその中心だしのために、必要に応じて解放されるようにしてある。しかし、この文献も、ワイヤ自動供給に関して何ら言及していない。
ＷＯ０２/０２４３８９Ａ１公報 特開平８−２９０３３２号公報 特開２００１−３８５３２号公報 欧州特許０８２６４５５Ｂ１公報

本発明は、取り扱いが容易でない細いワイヤ電極を使用する放電加工装置において、ワイヤ電極の交換を容易にできる技術を提供するものである。

その目的を達成するためになされた本発明の放電加工装置は、ワイヤ電極を収容したガイドチューブを上下方向の中心軸に沿って収容するための空間を有する、垂直方向に配置された中空円筒状の駆動軸と、駆動軸の下端に着脱自在に設けられたヘッドを備えている。そして、ヘッドは、ガイドチューブを保持する第１の保持部と、ガイドチューブの下端開口から突出したワイヤ電極を保持する第２の保持部を備えている。

このように構成された放電加工装置によれば、ワイヤ電極はヘッドと共に交換できるので、交換作業が簡略化又自動化できる。

本発明に係る放電加工装置の一部を切断した側面図。 図２Ａは、図１に示す放電加工装置のヘッド部の構成を示す縦断面図。図２Ｂは、図２Ａに示す放電加工装置におけるヘッド部の構成を示す図。 図３Ａは、ワイヤ自動交換装置を含む放電加工装置の一部を切断した側面図。図３Ｂは、図３Ａに示す自動交換装置の平面図。 図４Ａは、ヘッド部と駆動軸の他の連結方法を示す、ヘッド部の駆動軸の断面図。図４Ｂは、図４Ａに示すヘッド部の底面図。図４Ｃは、ヘッドホルダの平面図。図４Ｄは、ヘッドホルダの縦断面図。図４Ｅは、図４Ａに示すヘッドにヘッドホルダを装着した状態を示す縦断面図。 図５Ａは、３つのアームを備えたパレットの平面図。図５Ｂは、４つのアームを備えたパレットの平面図。 ねじ孔にストッパを組み込んだ駆動軸とこれに連結されたヘッド部を示す縦断面図。 図７Ａは、駆動軸を所定の位置で停止させる機構を示す図。図７Ｂは、図７Ａと共に駆動軸を所定の位置で停止させる機構を示す図。図７Ｃは、図７Ａと共に駆動軸を所定の位置で停止させる機構を示す図。図７Ｄは、図７Ａと共に駆動軸を所定の位置で停止させる機構を示す図。 ワイヤガイドに挿通されたワイヤを示す図。 ワイヤガイドに異物が存在したときのワイヤの動作を説明する図。 ワイヤの変位を測定する装置を模式的に示す図。 下部ワイヤガイドにヘッド部と同様の構成を採用した放電加工装置の断面図。 ガイドチューブに空気を供給する他の形態を示す縦断面図。 長尺のワイヤ及びワイヤガイドを使用する放電加工装置の断面図。 ワイヤ把持部の解除機構の他の形態を示す縦断面図。 駆動軸の回転を規制する機構を示す斜視図。 図１５に示す検出器と作動部との位置関係を示す図。

符号の説明

１０：放電加工装置、１１：支持構造、１２：ワイヤ供給部、１３：ワーク（被加工物）、１４：昇降機構、１５：モータ、１６：ねじ軸、１７：上部支持部、１８：下部支持部、１９：水平アーム、２０：内ねじ、２１：垂直ガイド、２２：垂直通路、２３：下部、２４：容器、２５：非導電性の液体、２６：支持部、３０：ハウジング、３１〜３４：ハウジング部分、３５：内部空間、４０：駆動軸、４１：ベアリング、４２：ベアリング、４３：ディスク、４４：上部電磁石装置、４５：下部電磁石装置、４６：ロータ、４７：ステータ、４８：モータ、５０：ヘッド部、５１：連結機構、５２：シャンク、５３：垂直孔、５４：円筒ブッシュ、５５：ハウジング、５６：底部、５７：上部プレート、５８：下部プレート、５９：ワイヤ挿通孔、６０：円筒状空室、６１：上部ワイヤガイド、６２：ワイヤ把持部、６３：チャック部、６４：ガイド用窪み、６５：窪み、６６：突起、６７：作動部、６８：ヘリカルスプリング、６９：解除機構、７０：ワイヤガイドチューブ、７１：駆動軸内部、７２：ホルダ、７３：コレット、７４：円錐部、７５：円錐部、７６：ナット、７７：ねじ、７８：ねじ、７９：開口部、８０：環状フレーム、８１：コイル、８２：ターゲットリング、８３：ストッパ、８４：フレーム部分、８５：リング、８６：ヘリカルスプリング、８６：内側表面（円錐面）、８８：駆動軸昇降制御機構、８９：内側カバープレート、９０：外側カバープレート、９１：隙間（ギャップ）、９２：ギャップ検出器、９３：上部ワイヤガイド孔、９４：空気供給機構、９５：空気供給管、９６：空気供給源、９７：空気フィルタ、９８：空気乾燥機、９９：電磁弁、１００：下部ワイヤガイド、１０１：ワイヤガイド孔、１０２：水平アーム、１２０：自動交換装置、１２１：支持フレーム、１２２：パレット、１２３：アーム、１２４：ヘッドホルダ、１２５：窪み、１２６：突起、１２７：穴、１２８：外ねじ、１２９：内ねじ。

図面を参照して本発明に係る放電加工装置について説明する。

図１は、本発明に係る放電加工装置１０を示す。放電加工装置１０は、ワイヤ供給部１２とワーク（被加工物）１３を支持するための支持構造１１を有する。支持構造１１は、ワイヤ供給部１２を上下する昇降部（第１の昇降部）１４を有する。昇降部１４は、好ましくはサーボモータからなるモータ１５を有する。モータ１５は、支持構造１１に固定されており、垂直ねじ軸１６に連結されている。ねじ軸１６は、上下の支持部１７，１８によって、該ねじ軸１６の長軸を中心として回転自在に支持されており、ワイヤ供給部１２の水平アーム１９に形成されている内ねじ２０に螺合している。水平アーム１９の両側には上下方向に伸びる一対の垂直ガイド２１（図面には一方のみが図示されている。）が配置されており、これら一対の垂直ガイド２１の間に形成された垂直通路２２に沿って水平アーム１９が上下に移動できるようにしてある。このような構成により、モータ１５を回転すると、垂直ガイド２１に案内されながら、ワイヤ供給部１２が上下に移動する。一方、ワーク１３を支持する下部２３は容器２４を支持している。容器２４は、非導電性の液体（例えば、水）２５を収容しており、この液体内でワーク１３が支持部２６に支持されている。

ワイヤ供給部１２は、ワーク１３の加工領域（加工ステーション）ＭにワイヤＷを供給するもので、略円筒状の外側ハウジング３０を有する。ハウジング３０は、複数のハウジング部分から構成されている。本実施形態では、ハウジング３０は、４つのハウジング部分３１，３２，３３，３４を適当な締結具（例えば、ボルト）で連結し組み立てて構成されている。ハウジング３０の内側には内部空間３５が形成されており、そこには円筒管状の駆動軸（内側ハウジング）４０が収容されている。

駆動軸４０は上下のベアリング４１，４２に支持されており、その垂直長軸Ｚを中心として回転すると共に僅かに上下に移動できるようにしてある。ベアリング４１，４２には、ロータリストロークブッシュ、空気軸受を用いることが好ましい。駆動軸４０は、該駆動軸４０の外周に同軸的に固定された、磁性材料からなる円盤ディスク４３を支持している。ディスク４３の上下には、ディスク４３と共に昇降部（第２の昇降部）を構成する上部電磁石装置４４と下部電磁石装置４５が、内部空間３５内でハウジング３０に固定されている。したがって、電磁石装置４４，４５のコイルに印加する電流及びそれによって電磁石装置で形成される磁気吸引を変えることで、ディスク４３は駆動軸４０と共に上下移動することができる。駆動軸４０はまた、駆動軸４０に固定されたロータ４６を支持している。また、ロータ４６は、ハウジング３０に固定されたステータ４７と共にモータ（回転機構）４８を形成している。したがって、ステータ４８に支持されたコイル４９に電圧を印加すると、ロータ４７と共に駆動軸４０が回転する。

駆動軸４０はヘッド部（ヘッド組立体）５０を支持している。ヘッド部５０は、連結機構５１によって駆動軸４０の下端部に着脱自在に連結されている。図２Ａと図２Ｂに示すように、ヘッド部５０は、上部にシャンク５２を有する。シャンク５２は、ワイヤＷを案内するための中央垂直孔５３を有する。垂直孔５３の下端内径は階段状に拡大されており、好ましくはゴムからなる円筒ブッシュ（第１の保持部）５４が挿入されて装着されている。シャンク５２は、円筒ハウジング５５と、該ハウジング５５の下端部に取り付けられた底部５６を吊り下げるように支持している。シャンク５２、ハウジング５５、及び底部５６は、例えばボルトを用いてしっかりと連結される。底部５６は、複数の環状部材、例えば上部プレート５７と下部プレート５８で形成されており、中央にワイヤ挿通孔５９を形成している。また、下部プレート５８は円筒状空室６０を備えており、この円筒状空室６０に上部ワイヤガイド６１が収容されている。上部ワイヤガイド６１は、駆動軸４０の長軸Ｚ上に、ワイヤＷの直径よりも僅かに大きな内径を有するワイヤガイド孔９３が形成されている。

ハウジング５５の内部には、ワイヤ把持部（第２の保持部）６２が設けてある。本実施の形態では、ワイヤ把持部６２は、対向する一対のチャック部６３で構成されている。ワイヤ把持部６２には、逆円錐形のガイド用窪み６４を形成し、その中心軸をワイヤ供給部１２の長軸Ｚに一致させることが好ましく、窪み６４の半分が一方のチャック部６３に形成され、残りの半分が他方のチャック部６３に形成されている。チャック部６３はまた底面に窪み６５を備えている。また、上部プレート５８の上面には一対の突起６６が形成されており、これらの突起６６が窪み６５に挿入されている。図示するように、図面上で左側の突起６６が左側のチャック部６３の移動を規制しており、このチャック６３が突起６６に接触して規制された状態で、チャック６３同士が対向する垂直面がちょうど駆動軸４０の長軸Ｚに一致するようにしてある。チャック部６３はそれぞれ、他方のチャック部に対向する垂直側面と直交する水平方向に伸びる棒状作動部６７を備えている。図２Ｂに示すように、作動部６７の両側は、ハウジング５５を貫通する水平孔に挿入されており、チャック部６３が図示する閉鎖位置（把持状態）と図示しない開放位置（解放状態）との間を水平逆方向に移動できるようにしてある。チャック部６３の背後に位置する作動部６７の部分にはヘリカルスプリング６８が設けてあり、チャック部６３を閉鎖位置に付勢するようにしてある。なお、図面上で左側のチャック部６３を付勢するスプリングの付勢力が右側のチャック部６３を付勢するスプリングの付勢力よりも大きくしてあり、これによりチャック部６３が閉鎖位置にあるとき、両者の接触面がちょうど駆動軸４０の長軸Ｚに一致するようにしてある。また、図２Ｂに示すように、反対側のチャック部の背後に位置する各作動部６７の一端はハウジング５５の外周から突出しており、これにより、後述する解除機構（切替手段）６９を用いて作動部６７の突出部を押すことで、チャック６３をスプリング６８に対抗して開放位置に押しやることができるようにしてある。

細線電極ワイヤＷを収容するワイヤガイドチューブ７０は、例えば、銅製パイプからなり、シャンク５２に挿入され、ブッシュ５４によってしっかりと保持されている。例えば、ワイヤＷの直径が１００μｍ以下の場合、ガイドチューブ７０には、外径が約１ｍｍ、内径が約０．５ｍｍの銅パイプが使用される。ガイドチューブ７０の下端部は、シャンク５２の下端から、ワイヤ把持部６２の直上の所定位置に突出している。ガイドチューブ７０の内部に収容されたワイヤＷは、ガイドチューブ７０の下端開口部から突出し、対向するチャック部６３の間に保持されている。図１に示すように、ヘッド部５０を駆動軸４０に連結した状態で、ガイドチューブ７０は駆動軸４０の内部７１に位置している。そして、ガイドチューブ７０の上端部が、内部７１の上端近傍に挿入されて固定された円筒状ホルダ７２によって、駆動軸４０の長軸Ｚに沿って保持されている。これにより、駆動軸４０の回転時、ガイドチューブ７０は長軸Ｚ上に保持される。

図２Ａに示すように、ヘッド部５０を駆動軸４０に着脱自在に連結する連結機構５１はコレット７３を有する。コレット７３は、上方に向かって先細りとなる円錐部７４を有し、シャンク５２の上部円筒部の周りに外装されている。そして、コレット７３は、円錐部７４を、駆動軸４０の下端内面に形成された、上方に向かって先細りとなる円錐部７５に押し込まれて係合される。続いて、内ねじ７７を有するナット７６が、駆動軸４０の下端外面に形成された外ねじ７８に係合され、コレット７３とヘッド部５０が駆動軸４０に固定される。ナット７６の係合時、図示しないレンチ等の適当な工具が、ハウジング部３４に形成された開口部７９から、該ハウジング部３４の内部に挿入され、ナット７６が保持される。次に、モータ４８を駆動して駆動軸４０を回転し、ナット７６と駆動軸４０のねじ７７，７８を係合する。

図２Ａと図２Ｂに示すように、解除機構６９は、ヘッド部５０を囲むように下部ハウジング部３４の内側に支持されており、ヘッド部５０の周囲に伸びるコイル８１を保持する環状フレーム８０を備えている。磁性材料からなる環状ターゲットリング８２はコイル８１の上に設けてあり、ターゲットリング８２の上方に固定されたストッパ（上部規制部）８３とリング８２の下方に配置されたフレーム部分（下部規制部）８４の間を垂直方向に移動できるようにしてある。リング８５は、コイル８１の内側に配置され、ヘリカルスプリング８６によって上方のターゲットリング８２に付勢されており、ターゲットリング８２と共に図示する上昇位置に保持される。リング８５は、上方に向かって先細りとなる内側表面（円錐係合部、円錐係合面）８７を有する。したがって、コイル８１に電流を印加すると、ターゲットリング８２とリング８５が下方に吸引され、上方に向けて先細りとなるリング内側表面８７が作動部６７に接触し、該作動部６７とチャック部６３が閉鎖位置から開放位置に付勢され、ワイヤ把持部６２からワイヤＷが解放される。

図１において、駆動軸昇降制御機構８８は、ハウジング３０の上端部に設けてあり、駆動軸４０の上端部に固定されて該駆動軸４０の上端開口部を閉鎖する内側カバープレート８９と、ハウジング３０の上端部に固定されて該ハウジング３０の上端開口部を閉鎖する外側カバープレート９０を有する。内側カバープレート８９と外側カバープレート９０は上下方向に離間しており、それらの間に、例えば約０．５ｍｍの隙間（ギャップ）９１を形成している。このギャップ９１を測定するために、ギャップ検出器９２が外側カバープレート９０に設けてある。したがって、ギャップ検出器９２の出力に基づいて電磁石装置４４，４５に供給する電流を調整することで、ハウジング３０に対する駆動軸４０の上昇量及び下降量、すなわち上下振動の振幅を制御できる。

空気供給機構９４において、空気供給管（空気供給部）９５は、ハウジング３０の長軸Ｚに沿って外側カバープレート９２に保持され、その吐出口がガイドチューブ７０の上部開放端に対向させてあり、該吐出口から吐出する空気がワイヤガイドチューブ７０に供給されるようにしてある。空気供給管９５はまた、空気供給源９６と、空気フィルタ９７、空気乾燥機９８、電磁弁９９を介して接続されている。

下部ワイヤガイド１００は、ワイヤＷの径よりも僅かに大きな内径を有する垂直ワイヤガイド孔１０１を備えており、駆動軸４０の下方で、ガイド孔１０１を駆動軸４０の長軸Ｚに一致させた状態で、支持構造１１の水平アーム１０２に支持されている。

駆動軸４０に保持されているワイヤＷに電力を供給するために、電源１１０がハウジング部３３に接続されている。ハウジング部３３はブラシ１１１を収容している。ブラシ１１１は、スプリング１１２によって、駆動軸４０の周囲に固定された導電ディスク１１３に圧接されている。したがって、電源１１０から供給された電力は、ハウジング部３３、ブラシ３３、及び駆動軸４０を通じて供給される。その後、電力は、駆動軸４０からヘッド部５０のコレット７３を介して、チャック部６３に保持されたワイヤＷに供給される。電磁石装置４４，４５とモータ４８に電力が流れるのを防止するため、第１と第２のハウジング部３２，３３の間に絶縁体１１４が配置され、モータ１５の下方に位置する駆動軸４０の中間部分に絶縁体１１５が設けられている。

このように構成されて組み立てられた放電加工装置１０は、次のように動作する。ワイヤガイドチューブ７０に収容されているワイヤＷは、ヘッド部６２のワイヤ把持部６２に把持されている。ワイヤＷの先端（下端）は、上部ワイヤガイド６１と下部ワイヤガイド１００のワイヤガイド孔９３，１０１を介して誘電液２５中の加工領域（加工ステーション）Ｍに伸びており、そこでワーク１３と僅かな放電ギャップを介して対向している。この状態で、電源１１０から供給された電力はワイヤＷに供給され、ワイヤＷの先端とワーク１３が対向する領域に放電を形成する。これにより、ワイヤＷの先端に対向するワーク１３の部分が溶融して加工される。放電により、ワイヤＷは、その先端が溶融して消費される。したがって、ワイヤＷとワーク１３の間に安定した放電を形成するために、放電領域にワイヤＷを順次供給する必要がある。そのために、ワイヤＷとワーク１３の間に形成されている放電ギャップの寸法を示す両者間の電位差を所定の値に保つように、ワイヤＷが連続的又は断続的に供給される。

放電ステーションに対するワイヤの供給は、以下に説明する種々の方法により又はそれらを任意に組み合わせて行うことができる。まず、空気供給機構９４を用いたワイヤＷの供給を説明する。空気供給機構９４は、空気供給源９６から送り出された空気を、空気供給管９５を通じて、ワイヤガイドチューブ７０にその上端開口部から供給する。ワイヤガイドチューブ７０に供給された空気は、該ワイヤガイドチューブ７０の内部空間を下方に移動する空気の流れを形成し、そこに収容されているワイヤＷに接触して該ワイヤＷを下方に搬送する搬送力を与える。また、解除機構６９のコイル８１に電流を印加し、ターゲットリング８２を下方に吸引し、スプリング８６の付勢力に対抗してリング８５を下降させる。これにより、リング８５の内側円錐面８６が作動部６７を内側に付勢し、チャック部６３及びワイヤ把持部６２を開放位置に移動し、ワイヤＷを開放する。その結果、ワイヤガイドチューブ７０を流れる空気によって下方に付勢されているワイヤＷが下方に移動し、放電ステーションに対してワイヤＷが供給される。なお、ワイヤＷの繰り出し量は、チャック部の開放時間に依存するため、図示しない制御部によってコイル８１に電流を印加する時間によって制御される。

ワイヤＷの供給を停止する場合、コイル８１に印加されている電流を遮断する。これにより、リング８５はスプリング８６の付勢力で上昇し、作動部６７から離間する。これにより、作動部６７及びチャック部６３がスプリング６８の付勢力によって閉鎖位置に復帰し、ワイヤＷを把持する。このとき、上述した窪み６５と突起６６の作用により、左右のチャック部６３の境界面（ワイヤ把持面）がちょうど駆動軸４０の長軸Ｚに一致する位置に保たれる。

なお、空気供給源９６から空気供給管９５への空気の供給は、連続的に行ってもよいし、間欠的におこなってもよい。

また、ワイヤガイドチューブ７０に供給される空気が湿気を含んでいると、ワイヤガイドチューブ７０の内面やワイヤＷの外面に生じる水滴によってワイヤＷがワイヤガイドチューブ７０の内面に付着することがあり得る。そこで、本実施の形態では、空気供給管９５に空気乾燥機９８が設けてあり、これにより空気に含まれる水分が回収されるようにしてある。したがって、ワイヤガイドチューブ７０に供給される空気は乾燥状態にあるため、ワイヤガイドチューブ７０の中を流れる空気によって容易にワイヤＷが繰り出される。また、空気供給管９５に設けた空気フィルタ９７は、空気に含まれる塵埃、水分及び油分を事前に回収しており、これによりワイヤＷの円滑な供給が更に保証される。さらに、ワイヤガイドチューブ７０の内面に撥水性の高いフッ素系樹脂（例えば、ポリテトラフルオロエチレン）を塗布してもよい。または、ワイヤガイドチューブ７０をフッ素樹脂で形成してもよい。この場合、ワイヤガイドチューブ７０の内面が水滴を弾き、ワイヤＷの良好な供給が保証される。

次に、昇降部１４を用いたワイヤの供給を説明する。まず、解除機構６９のコイル８１に電流を印加してターゲットリング８２とリング８５を下降させ、チャック部６３を開放位置に移動する。この状態で、昇降部１４のモータ１５を起動し、ワイヤ供給部１２を上昇する。このとき、ワイヤ把持部６２から解放されているワイヤＷは下部ワイヤガイド孔１０１との摩擦接触により上昇が禁止される。次に、ワイヤ供給部１２が所定の高さまで移動したとき、コイル８１に供給している電流を遮断し、ワイヤ把持部６２のチャック部６３を閉鎖位置に復帰させる。その後、必要に応じてモータ１５を起動し、ワイヤＷの消費に見合う量だけワイヤ供給部１２及びワイヤＷを下降して放電ステーションＭにワイヤを補充する。

続いて、駆動軸４０に設けられた電磁石装置４４，４５を用いたワイヤの供給を説明する。この場合、電磁石装置４４，４５のコイルに印加する電流を調整し、電磁石装置４４，４５に対して最も下降した位置に駆動軸４０を設定する。次に、解除機構６９のコイル８１に電流を供給してワイヤ把持部６２のチャック部６３を開放位置に設定する。次に、電磁石装置４４，４５のコイルに印加する電流を変更し、電磁石装置４４，４５に対して最も上昇した位置に駆動軸４０を移動する。このとき、ワイヤＷは下部ワイヤガイド孔１０１との摩擦接触により上昇が禁止される。次に、解除機構６９のコイル８１に印加している電流を遮断し、ワイヤ把持部６２のチャック部６３を閉鎖位置に復帰させる。最後に、電磁石装置４４，４５のコイルに印加する電流を調整し、電磁石装置４４，４５に対して最も下降した位置まで駆動軸４０をワイヤＷと共に移動し、ワイヤＷを放電ステーションに供給する。電磁石装置４４，４５によって駆動軸４０は例えば約０．５ｍｍ引き出すことができる。この値は、内側カバープレート８９と外側カバープレート９０隙間（ギャップ）９１の大きさに相当する。したがって、上述した一連の動作を繰り返すことによって、必要量（０．５Ｎｍｍ：Ｎは繰り返し回数）のワイヤを供給することができる。

ワイヤＷを交換する場合、ヘッド部５０を駆動軸４０から取り外す。このとき、下部ハウジング３４の開口部７９から工具（図示せず）を挿入してナット７６を把持する。次に、モータ４８を駆動して駆動軸４０を低速回転し、ナット７６の内ねじ７７と駆動軸４０の外ねじ７８の係合を解除し、ヘッド５０を駆動軸４０から分離する。続いて、分離されたヘッド５０において、ハウジング５５から突出している作動部６７を押してワイヤ把持部６２のチャック部６３を開放位置に付勢する。次に、ワイヤガイドチューブ７０の中に残っているワイヤを取り出し、新たなワイヤをワイヤガイドチューブ７０に挿入する。また、ワイヤの一端側をワイヤ把持部６２のチャック部６３間に挿通すると共に上部ワイヤガイド６１に挿通する。最後に、作動部６７に加えている力を解除し、ワイヤ把持部６２のチャック部６３を閉鎖位置に戻す。このようにして新たなワイヤが挿入されたヘッド部５０は、ワイヤガイドチューブ７０を駆動軸４０の内部に挿入し、駆動軸４０の下端部に固定される。このとき、シャンク５２に外装されたコレット７３が駆動軸４０の下端部に挿入された後、ナット７６を締めてヘッド５０が駆動軸４０に固定される。なお、ヘッド部５０を駆動軸４０に装着した状態で、ハウジング５５から突出している作動部６７は、解除機構６９におけるリング８５から所定の距離をあけて離間していなければならない。そのため、シャンク５２の駆動軸４０に対する挿入量を、例えば、解除機構６９の下端から突出するヘッド部５０の長さによって管理する。

ワイヤの交換は、図３に示す自動交換装置を用いて自動的に行うことができる。ワイヤ自動交換装置１２０は、図示しない固定部に固定された支持フレーム１２１と、垂直軸Ｚ’を中心として支持フレーム１２１に回転自在に支持された水平移動部材のパレット１２２を有する。実施の形態において、パレット１２２はＬ字状の部材からなり、中央部分が支持フレーム１２１に支持されている。また、パレット１２２は、垂直軸Ｚ’から等距離の位置にある各アーム（移動部）１２３の先端部分にヘッドホルダ１２４を備えている。図４Ａ〜図４Ｅに示すように、ヘッドホルダ１２４は、円筒状の部材からなり、ヘッド部５０の下端部形状に対応する形状の窪み１２５を上部に備えており、窪み１２５の中にヘッド部５０の下端部が挿入できるようにしてある。また、ヘッドホルダ１２４は、その中心軸Ｚ’に対して対称に一対の突起１２６を備えており、ヘッド５０をヘッドホルダ１２４に装着した状態で、ヘッド５０の下面に形成された穴１２７に突起１２６が係合するようにしてある。さらに、垂直軸１２１からヘッドホルダ１２４の中心軸Ｚ’までの距離は、垂直軸１２１から駆動軸４０の中心軸Ｚまでの距離と等しくしてある。一方、ヘッド５０のシャンク５２には外ねじ１２８が形成されており、この外ねじ１２８が駆動軸４０の下端に形成した内ねじ１２９と係合するようにしてある。

このような構成を有する自動交換装置１２０を用いてヘッド部５０を交換する場合、未使用のワイヤを収容した交換用ヘッド部５０を一方のアーム１２３のヘッドホルダ１２４に装着する。このとき、ヘッド部５０の窪み１２５にヘッドホルダ１２５の突起１２６を係合しておく。次に、他方のアーム１２３のヘッドホルダ１２４を駆動軸４０の直下の交換位置に配置する。この状態で、ヘッドホルダ１２４の中心軸Ｚ’が駆動軸４０の中心軸Ｚに一致している。また、一方のアーム１２３のヘッドホルダ１２４は、交換位置から側方に退避した退避位置にある。続いて、昇降装置１４を駆動し、ワイヤ供給部１２を下降させる。また、モータ４８を低速駆動し、駆動軸４０を低速回転する。このときの回転方向は、ねじ１２８，１２９が緩む方向である。その結果、駆動軸４０に装着されているヘッド部５０が、直下に配置されたヘッドホルダ１２４に嵌め込まれると、ヘッド部５０の窪み１２５にヘッドホルダ１２４の突起１２６が係合する。このとき、ヘッドホルダ１２４はアーム１２３に固定されているので、駆動軸４０の回転と共に、駆動軸４０内ねじ１２９がヘッドホルダ１２５の外ねじ１２８から緩み始める。

ヘッド部５０の窪み１２５がヘッドホルダ１２４の突起１２６に係合すると、モータ１５にトルク負荷がかかる。このときのトルク負荷は、モータ４８に付設されたトルク検出器（図示せず）で検出されており、トルク検出器がトルク負荷を検出すると昇降装置１４による下降動作を停止した後、モータ１５を逆回転して昇降装置１４を上昇する。しかし、駆動軸４０を回転するモータ４８の回転は維持する。その結果、ヘッドホルダ１２４に保持されたヘッド部５０を残して駆動軸４０は回転しながら上昇し、ねじ１２８，１２９の係合が外れて駆動軸４０からヘッド部５０が分離されて回収される。このとき、ワイヤ供給部１２の上下電磁石装置４４，４５に印加する電流を周期的に変化させ、駆動時４０を上下に振動させることで、ねじ１２８，１２９の分離を容易に行うようにしてもよい。また、昇降装置１４の上昇速度とねじ１２８，１２９の分離速度（中心軸方向の分離速度）はほぼ等しく調整し、駆動軸４０から取り外されるヘッド部５０がヘッドホルダ１２４やアーム１２３に過大な力を加えたり、逆に、ヘッド部５０がヘッドホルダ１２４から抜け出ないようにすることが必要である。

駆動軸４０からヘッド部５０を回収した後、ワイヤガイドチューブ７０がワイヤ供給部１２のハウジング３０から完全に抜けるまで、ワイヤ供給部１２を上昇する。このようにしてヘッド部５０が取り外されると、自動交換装置１２０はパレット１２２を９０度又は２７０度回転し、他方のアーム１２３に保持されている交換用ヘッド部５０をヘッド４０の下方位置に移動する。この状態で、新たな交換用ヘッド部５０の中心軸Ｚ’は、駆動軸４０の中心軸Ｚに一致している。次に、昇降装置１４のモータ１５を駆動してワイヤ供給部１２を下方に移動すると共に、モータ４８を駆動して駆動軸４０を低速回転する。このときの駆動軸４０の回転方向は、ねじ１２８，１２９が締まる方向である。また、モータ１５の駆動による昇降速度は、モータ４８の回転によるねじ１２８，１２９の係合速度（中心軸方向の係合速度）と等しくしておく。これにより、駆動軸４０の内ねじ１２９がヘッド部５０の外ねじ１２８に係合する。そして、ねじ１２８，１２９が完全に係合するとモータ４８にかかる負荷が急激に増加する。この状態は、上述したトルク検出器１３０で検出されており、トルク検出器１３０がトルク上昇を検出すると、モータ４８の駆動を停止して駆動軸４０の回転を停止し、モータ１５の駆動を停止してワイヤ供給部１２の下降を停止する。

このようにして新たなヘッド部５０が装着されたワイヤ供給部１２は、昇降装置１４によって上昇され、ヘッドホルダ１２４からヘッド部５０が分離される。

なお、以上の説明では、Ｌ型パレット１２２に２つのヘッドホルダ１２４を取り付けたが、図５Ａに示すように３つのヘッドホルダを備えたＴ型パレット１２２’や、図５Ｂに示すように４つのヘッドホルダを備えた＋型パレット１２２’’を用いることもできるし、更に多くのヘッドホルダを供えたパレットを用いることもできる。このように、複数のヘッドホルダを備えたパレットを採用することにより、より簡単にヘッドの交換作業が行える。また、パレットは手動で回転しもよいし、モータ１３１に連結し、このモータによってパレットを必要な角度回転させるようにしてもよい。

また、以上の説明では、モータ４８にトルク検出器１３０を取り付け、所定のトルクが検出されたときにモータ４８の回転を停止し、ねじ１２８，１２９を所定の締め付け状態まで締め付けるものとしたが、例えば、図６に示すように、駆動軸４０の内ねじ１２９の中にストッパ１３１を取り付け、これによりヘッド部５０のねじ込み量を一定にしてもよい。または、ねじ１２８，１２９をテーパねじとすることで、ねじ込み量を一定にしてもよい。

さらに、以上の説明では、ねじ１２８，１２９を係合するために駆動軸４０を回転したが、各ヘッドホルダ１２４をその長軸Ｚ’を中心に回転自在にパレット１２２に取り付けるとともに、各回転自在なヘッドホルダ１２４をベルト又は歯車などの駆動連結機構を介してモータに連結し、このモータの駆動に基づいてヘッドホルダ１２４を回転してもよい。この場合、駆動軸４０は回転できないように保持しておく必要がある。駆動軸４０の回転を禁止する機構（ロック機構）は、例えば、図７に示すように、駆動軸４０の外周面に窪み１３２を形成する一方、ハウジング３０に、窪み１３２を検出する検出器１３３と、該検出器１３３が窪み１３２を検出したときに出力する信号に基づいて駆動するモータ又はソレノイドなどの駆動装置１３４と、駆動装置１３４の駆動に基づいて窪み１３２に係脱するロックピン１３５を設けることにより達成できる。駆動軸４０の回転を禁止する方法はこれに限るものでなく、検出器１３３が窪み１３２を検出したときに出力される信号に基づいて電磁石４４，４５のいずれか一方を駆動し、これによりディスク４３を吸引して保持し、駆動軸４０の回転を禁止してもよい。なお、検出器１３３が検出する対象は窪みである必要は無く、駆動軸４０に取り付けた突起、反射部、磁石であってもよい。また、検出器１３３には、被検出部の性質に応じて、機械式、磁気式、又は光学式の検出装置が用いられる。

図８を参照すると、駆動軸４０の下方に配置されている下部ワイヤガイド１００は、ワイヤＷを中心軸Ｚ上に維持するものである。そのために、下部ワイヤガイド１００のワイヤガイド孔１０１は出来るだけ細く形成されており、ワイヤＷとのクリアランスは僅か１〜２μｍに設計されている。したがって、図９に模式的に示すように、ワイヤガイド孔１０１に加工屑等の異物１３４が入ったり、ワイヤＷに異物１３５が付着していると、ワイヤガイド孔１０１にワイヤを通すことが非常に難しくなる。また、ワイヤの外面とワイヤガイド孔１０１の内面との接触によって、ワイヤの挿入が難しくなることもある。そして、このような状態でワイヤを無理に押し込むと、ワイヤが座屈する。したがって、ワイヤＷをワイヤガイド孔１０１に挿通するときは、駆動軸４０を回転しながら、電磁石４４，４５に印加する電流を周期的に変化させることによってワイヤＷを上下に振動する。これにより、ワイヤガイド孔１０１に存在する異物やワイヤＷに付着している異物が容易に除去でき、その結果、ワイヤＷを容易にワイヤガイド孔１０１に挿通できる。具体的に、ワイヤＷに直径６０μｍのタングステン電極ワイヤを使用する場合、駆動軸４０の回転数を約５００から約１０００ｒｐｍの範囲に設定し、電磁石４４，４５によって生じる振動の周波数が５００Ｈｚ、振幅が２〜５μｍとなるように調整する。

図１０は、ワイヤガイド孔１０１にワイヤＷを挿通する他の方法を示す図で、そこには、ヘッド部５０と下部ワイヤガイド１００の間に、ワイヤＷの変位をその側方から観察する光学式の測定器１４０が設けてある。測定器１４０は、撮像管を用いたカメラと光学レンズを組み合わせ、被測定物の明暗のコントラストを撮影するもので、例えばツィンマージャパン株式会社から「ＭＯＤＥＬ１００Ｈ一軸変位測定器」の商品名で提供されている装置が利用できる。測定器１４０はコントローラ１４１の入力部に接続されている。また、コントローラ１４１の出力部には、アンプ１４２を介してモータ１５に接続されている。このような構成によれば、駆動軸４０の駆動に基づいて回転しているワイヤＷの変形（たわみ）状態が測定器１４０によって撮影される。測定器１４０の測定データはコントローラ１４１に出力される。コントローラ１４１は、測定データからワイヤＷの変形量（たわみ量）を求め、その大きさに応じてアンプ１４２の出力を調整し、モータ１５による下降速度を調整する。具体的には、コントローラ１４１は、ワイヤＷの変形量が所定の値を超えるとモータ１５の回転数を落とし、逆に、ワイヤＷの変形量がゼロか又はそれに近い値のときはモータ１５の回転数を維持する。または、コントローラ１４１は、ワイヤＷの変形量が所定の値を超えるか又は所定量を超える変形量が所定時間を越えて検出されると、ワイヤ供給部１２とワイヤＷを引き上げ、ワイヤＷの変形が無くなると再びワイヤ供給部１２とワイヤＷを下降する。このように、測定器１４０の測定結果に応じてワイヤＷを上昇及び下降させるため、ワイヤＷは座屈することなく安全にワイヤガイド孔１０１に挿通される。さらにまた、ワイヤＷの変形量が所定の値以下の場合、モータ１５の回転数を上げて、ワイヤＷの送り速度を上げるようにしてもよい。このようにすれば、短時間でワイヤＷをワイヤガイド孔１０１に挿通できる。

図１１は、放電加工装置の他の形態を示す。図示する放電加工装置では、ヘッド部５０から送り出されたワイヤＷを案内する下部ワイヤガイド１５０がヘッド部５０と同様に構成されている。したがって、以下の説明では、下部ワイヤガイド１５０に係る構成部分は、ヘッド部５０の対応する構成部分に付された符号に１００を加えた符号を用いる。また、本実施の形態では、下部ワイヤガイド１５０の側部にソレノイド１７０が配置されており、そのプランジャ１７１がハウジング１５５から突出した作動部１６７を押し込み、ワイヤ把持部１６２のチャック部１６３を閉鎖位置から解放位置に付勢できるようにしてある。

このように構成されたワイヤ供給部の動作を説明する。ワーク加工中、プランジャ１７１は突出状態に維持され、下部ワイヤガイド１５０のチャック部１６３は解放位置に保たれる。この状態で、ワイヤ供給部１２は、上述した３つのワイヤ供給方法のいずれか又はそれらの任意の組み合わせによって、ワイヤＷを加工領域に送り出す。ワイヤＷを現在の位置に維持した状態で、ワイヤＷに対して駆動軸４０を上昇する場合、ソレノイド１７０のプランジャ１７１を後退させてワイヤ把持部１６２でワイヤＷを把持する。また、解除機構６９を作動してヘッド部５０におけるワイヤ把持部６２を解放位置に設定する。次に、昇降装置１４のモータ１５を駆動し、ワイヤ供給部１２を上昇する。これにより、ワイヤ供給部１２からワイヤＷが繰り出される。なお、このときワイヤＷの下端部が下部ワイヤガイド１５０のワイヤ把持部１６２に把持されているので、ワイヤ供給部１２の上昇と共にワイヤＷが上昇することはない。その後、ワイヤＷを放電位置に供給する場合、下部ワイヤガイド１５０におけるソレノイド１７０のプランジャ１７１を突出し、ワイヤ把持部１６２のチャック部１６３を閉鎖位置から解放位置に移動する。これにより、以後、再び上述したワイヤ供給方法によりワイヤが放電位置に供給される。

なお、この実施形態において、下部ワイヤガイド１５０をワイヤ把持状態とワイヤ解放状態に切り替える駆動装置はソレノイドである必要はなく、モータと、該モータの回転によって動作する部材との組み合わせであってもよい。

図１２は、放電加工装置の他の形態を示す。図示するように、本実施の形態において、内側カバープレート８９と外側カバープレート９０の距離を測定する検出器９２は、駆動軸４０の中心軸Ｚ上に配置されている。一方、ワイヤガイドチューブ７０に空気を供給するために、内側カバープレート８９には２つ又はそれ以上の数の空気通路１８０が長軸Ｚに対して対称に且つ長軸Ｚに向かって上方から下方に斜めに形成されており、空気供給管９５から各空気通路１８０を通じて供給される空気がワイヤガイドチューブ７０の上端開口部に向けて吹き付けられ、ワイヤガイドチューブ７０の内部に供給されてワイヤ供給流を形成する。このような構成によれば、検出器９２を中心軸Ｚ上に配置することができるので、内側カバープレート８９の傾きに起因する計測誤差が無くなる。

図１３は、放電加工装置の他の形態を示す。図示するように、本実施の形態において、内側カバープレート８９と外側カバープレート９０にはそれぞれ、中心軸Ｚ上に貫通孔１９１，１９２が形成されており、そこに長尺のワイヤガイドチューブ７０が貫通して配置されている。これに伴い、ギャップ検出器９２は中心軸Ｚから離され、中心軸Ｚに対称に配置されている。この実施の形態によれば、上述した実施の形態で用いられるワイヤよりも更に長いワイヤを使用することができるので、ワイヤの交換サイクルが大幅に長くなり、生産効率が大幅に向上する。また、２つの検出器９２の検出値を平均してギャップが計算されるので、より正確にギャップの大きさ、すなわち、駆動軸４０の振幅を計測できる。

図１４は、放電加工装置の他の形態を示す。図示するように、本実施の形態では、解除機構に代えて、ハウジング３０に取り付けられた支持部２０１にシリンダ（駆動部）２０２が固定されており、このシリンダ２０２のプランジャ２０３がヘッド部５０の作動部６７に対向して配置され、シリンダ２０２の駆動に基づいてプランジャ２０３が作動部６７を押し込み、ワイヤ把持部６２を閉鎖位置から開放位置に切り替えるようにしてある。また、ヘッド部５０と下部ワイヤガイド１００の間には、ワイヤ把持装置２０４が配置されており、これによりワイヤＷが把持されるようにしてある。

シリンダ２０２のプランジャ２０３に作動部６７を対向させた状態で駆動軸４０を停止させるために、ハウジング３０の上部には停止位置規制部２１０が設けてある。図１５に示すように、停止位置規制部２１０は、上部ベアリング４１の上方で駆動軸４０に固定された歯車２１１と、ハウジング３０に固定された検出器２１２を備えており、作動部６７に対応する歯車２１１の特定の位置に設けられた被検出部２１３を検出器２１２が検出するようにしてある。検出器２１２と被検出部２１３の組み合わせは任意であり、例えば、磁気センサと磁石、フォトセンサと遮光板の組み合わせが利用できる。一方、図１６に示すように、ヘッド部５０の外周には突起２０６が形成され、これに対応してヘッド部５０と駆動軸４０との間に挿入されるコレット７３には突起係合溝（図示せず）が形成されており、駆動軸４０に対して特定の関係、つまり、検出器２１２が被検出部２１３に対向した関係にある場合に限り、ヘッド部５０は駆動軸４０に連結できるようにしてある。

駆動軸４０はまた四角形の横断面形状部２１４を有する。なお、この横断面形状部２１４は、四角形である必要はなく、六角形又は八角形でもよい。一方、ハウジング３０には、規制部材２１５が駆動軸４０に対して水平方向から進退自在に設けてある。規制部材２１５は、駆動軸４０に対向する位置に、四角形横断面形状部２１４の最小幅よりも僅かに大きな幅の開口を有する溝２１６を備えており、駆動軸４０に向かって進出した状態で、溝２１６で四角形横断面形状部２１４を把持できるようにしてある。通常、規制部材２１５は、ハウジング３０に収容されているスプリング２１７によって、駆動軸４０から後退した位置に保持されている。また、規制部材２１５は、ハウジング３０に固定されたソレノイド２１８に連結されており、ソレノイド２１８を駆動することにより、スプリング２１７の付勢力に対抗して、規制部材２１５を該規制部材２１５が駆動軸４０に係合してこれを把持する突出位置に移動できるようにしてある。

このような構成を備えた放電加工装置によれば、駆動軸４０からワイヤＷを送り出す場合、検出器２１２の出力に基づいてソレノイド２１８を駆動して規制部材２１５を退避位置から突出位置に移動し、規制部材２１５の先端溝２１６で駆動軸４０の四角形横断面形状部２１４を把持して駆動軸４０を所望の位置で停止させる。次に、ワイヤ把持装置２０４でワイヤＷを把持する。続いて、ソレノイド２０２を駆動し、そのプランジャ２０３でワイヤ把持部６２の作動部６７を押し、ワイヤ把持部６２を閉鎖位置から解放位置に切り替える。そして、昇降装置１４を駆動してワイヤ供給部１２を上昇する。このとき、ワイヤＷはワイヤ把持装置２０４に把持されているため、ワイヤ供給部１２と共に上昇することはない。ワイヤＷが所定長さ送り出されると、シリンダ２０２をオフしてワイヤ把持部６２の作動部６７を解放し、ワイヤ把持部６２にワイヤＷを把持させる。また、ワイヤ把持装置２０４をオフしてワイヤＷを解放する。さらに、ソレノイド２１８をオフして規制部材２１５を後退させ、駆動軸４０の回転を許可する。

ワイヤＷをヘッド５０と共に交換する場合、昇降部１４でワイヤ供給部１２を上昇し、規制部材２１５を駆動軸４０に係合して駆動軸４０の回転を禁止する。次に、ナット７６を緩めてヘッド部５０とワイヤガイドチューブ７０を駆動軸４０から取り外す。新たなワイヤＷを装着する場合、コレット７３を駆動軸４０に装着し、続いてナット７６を締める。このとき、駆動軸４０の回転は規制部材２１５で禁止されているので、締め付けは容易に行える。最後に、ナット７６の締め付けが完了すると、規制部材２１５が退避位置に移動し、駆動軸４０の回転を許可する。

Claims (14)

1. 細線電極ワイヤを収容したガイドチューブを収容するための空間を有する、中空円筒状の駆動軸と、
   上記ガイドチューブを保持する第１の保持部と、上記ガイドチューブの下端開口から突出した細線電極ワイヤを保持する第２の保持部を備え、上記駆動軸の下端に着脱自在に設けられたヘッドを備えたことを特徴とする放電加工装置。
2. 上記中心軸を中心として上記駆動軸を回転自在に支持するハウジングと、
   上記ハウジングを上下方向に移動させる第１の昇降部を備えていることを特徴とする請求項１に記載の放電加工装置。
3. 上記ハウジングに対して上記駆動軸を昇降する第２の昇降部を備えていることを特徴とする請求項２に記載の放電加工装置。
4. 上記駆動軸を上記ハウジングに対して回転させる回転機構を備えたことを特徴とする請求項２に記載の放電加工装置。
5. 上記ハウジングが、上記第２の保持部を、上記細線電極ワイヤを把持する把持状態と、上記細線電極ワイヤを解放する解放状態との間で切り替える切替手段を備えていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の放電加工装置。
6. 上記第２の保持部は、上記細線電極ワイヤを挟んで対向する一対のチャック部と、上記一対のチャック部を対向方向に付勢するばねを備えており、上記切替手段は上記ばねの付勢力に対向して上記一対のチャック部に係合して上記一対のチャック部を離間させる係合部を備えていることを特徴とする請求項５に記載の放電加工装置。
7. 上記ガイドチューブの上端開口に流体接続された空気供給部を有し、上記空気供給部から供給された空気が上記ガイドチューブの上端開口から上記ガイドチューブの内部に供給され、上記ワイヤを下方に送る下降空気流を上記ガイドチューブの内部に形成するようにしたことを特徴とする請求項１に記載の放電加工装置。
8. 上記ガイドチューブの内周面が撥水性材料で形成されていることを特徴とする請求項７に記載の放電加工装置。
9. 上記駆動軸の下方に位置する交換位置と、上記交換位置から側方に退避した退避位置との間を移動する複数の移動部と、
   上記複数の移動部のそれぞれに設けられ、上記交換位置において上記駆動軸に装着されているヘッドと係合して該ヘッドを回転できない状態に保持するヘッドホルダを備えてことを特徴とする請求項１に記載の放電加工装置。
10. 上記駆動軸は内ねじ又は外ねじを有し、上記ヘッドは上記内ねじ又は外ねじに螺合する外ねじ又は内ねじを備えていることを特徴とする請求項９に記載の放電加工装置。
11. 上記交換位置において上記ヘッドホルダが上記ヘッドを保持した状態で上記駆動軸を回転し、上記内ねじと外ねじを相対的に回転して上記駆動軸に上記ヘッドを着脱するようにしたことを特徴とする請求項１０に記載の放電加工装置。
12. 上記交換位置において上記ヘッドホルダが上記ヘッドを保持した状態で上記ヘッドホルダを回転し、上記内ねじと外ねじを相対的に回転して上記駆動軸に上記ヘッドを着脱するようにしたことを特徴とする請求項１０に記載の放電加工装置。
13. 上記中心軸方向に関する上記内ねじと外ねじの分離速度と、上記第１の昇降部による上記ハウジングの上昇速度が等しくしてあることを特徴とする請求項１１又は１２に記載の放電加工装置。
14. 上記中心軸方向に関する上記内ねじと外ねじの係合速度と、上記第１の昇降部による上記ハウジングの下降速度が等しくしてあることを特徴とする請求項１１又は１２に記載の放電加工装置。

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