JP5220111B2 - 細孔放電加工装置及び放電加工方法 - Google Patents

Description

本発明は、細孔放電加工装置及び放電加工方法に関するものである。

従来、細長棒状又はパイプ状の電極によりワークに孔加工を行なう場合、ワークの上面の孔径と下面の孔径が略同一のストレート孔か、または、上面の孔径の方が下面の孔径よりも大きな孔径のテーパ孔しか形成することができなかった。ワークの上面の孔径よりも下面の孔径が大きい円錐状の逆テーパ孔を形成する放電加工装置として、線材状の電極によりワークにワーク上面の孔径より下面の孔径が大きい円錐状の逆テーパ孔を形成する放電加工装置であって、電極の下部をワークに突き出すように電極を下方へ送るローラと、ワーク上面近傍に配置され、電極が挿通されるガイド孔が設けられた下側ガイドと、この下側ガイドと前記ローラとの間に配置され、電極が挿通されるガイド孔が設けられた上側ガイドと、下側ガイドと上側ガイドの間に位置し、磁石によって形成され電極と垂直方向に向けられた磁界と、を備え、電極に時間的に変化する電流を流すとともに、磁界を回動させて電極に回動するローレンツ力を働かせ、電極の自由端部を回動させてワークに逆テーパ孔を形成するものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００７−２６３１１４号公報（第６頁、図２）

しかしながら、特許文献１に記載された従来の技術によれば、２つのガイドの間に磁界をかけて電極を弾性変形させるには、電極に流す電流および２つのガイド間に掛ける磁界はある程度大きいものが必要であるが、電極に流れる電流は放電状態により常に変化するし、設定する電流条件によっても変化する。従って、逆テーパ孔のテーパ角度がばらつき、精度の高い逆テーパ孔加工を行うことは困難である、という問題があった。

また、２つのガイド間で電極を確実に弾性変形させるには、ガイド間の距離を長く（例えば、３０〜５０ｍｍ程度）とる必要がある。また、電極に流れる加工電流が小さくても確実に電極を弾性変形させるには、さらにガイド間の距離を長くする必要がある。２つのガイドの長さ及び２つのガイド間の距離分は、電極をワークに挿入して放電加工のために使用することができずに無駄となり、電極コストが増大する、という問題があった。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、精度の高い逆テーパ孔を形成することができ、電極コストが低い細孔放電加工装置を得ることを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、細線電極によりワークにワーク上面の孔径より下面の孔径が大きい円錐状の逆テーパ孔を形成する細孔放電加工装置であって、前記細線電極の上部を把持し該細線電極を回転させながら下部を前記ワークに突き出すように下方へ送る電極ホルダと、前記ワーク上面近傍に配置され、前記細線電極が挿通される第１のガイド孔が穿孔軸上に設けられた第１のガイド部材と、前記第１のガイド部材と前記電極ホルダとの間に配置され、前記穿孔軸から偏心した位置に前記細線電極が挿通される第２のガイド孔が設けられた第２のガイド部材と、前記第２のガイド部材を前記穿孔軸回りに円旋回させる旋回駆動部と、を備えることを特徴とする。

この発明によれば、精度の高い逆テーパ孔を形成することができ、電極コストが低い細孔放電加工装置が得られる、という効果を奏する。

図１は、本発明の細孔放電加工装置の実施の形態１を示す縦断面図である。 図２は、ガイド部材の他の形態を示す縦断面図である。 図３は、偏心量調整部の他の形態を示す透視図である。 図４は、偏心量調整部の他の形態を示す平面図である。 図５は、実施の形態１の細孔放電加工装置による逆テーパ孔の加工例を示す図表である。 図６は、実施の形態１の細孔放電加工装置による逆テーパ孔の加工例を示す棒グラフである。 図７は、実施の形態１の細孔放電加工装置による逆テーパ孔の加工例を示す拡大写真である。 図８は、本発明の細孔放電加工装置の実施の形態２を示す縦断面図である。 図９は、本発明の細孔放電加工装置の実施の形態３を示す縦断面図である。 図１０は、本発明の細孔放電加工装置の実施の形態４を示す縦断面図である。 図１１は、実施の形態４の細孔放電加工装置の変形例を示す縦断面図である。 図１２は、本発明の細孔放電加工装置の実施の形態５を示す縦断面図である。 図１３は、実施の形態５の細孔放電加工装置の変形例を示す縦断面図である。 図１４は、本発明の細孔放電加工装置の実施の形態６を示す縦断面図である。 図１５は、本発明の細孔放電加工装置の実施の形態７を示す縦断面図である。 図１６は、本発明の細孔放電加工装置の実施の形態８を示す縦断面図である。

符号の説明

１１ 細線電極
１１ｂ 下部
１２ ワーク
１２ａ ワーク上面
１２ｂ ワーク下面
１２ｔ、８２ｔ 逆テーパ孔
１３ 電極ホルダ
１４、１１４ 第１のガイド部材
１４ａ、１１４ａ 第１のガイド孔
１５ 穿孔軸
１６、２６，３６，５６ａ、５６ｂ、２１６ 第２のガイド部材
１６ａ、２６ａ、３６ａ、５６ｃ、５６ｄ、１１６ａ、２１６ａ 第２のガイド孔
１７、８７ａ 旋回駆動部
１８、２１８ 偏心量調整部
４０ 第３のガイド部材
４０ａ 第３のガイド孔
８１、８２、８３、８４ａ、８４ｂ、８５ａ、８５ｂ、８６，８７、８８ 細孔放電加工装置

以下に、本発明にかかる細孔放電加工装置の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。

実施の形態１．
図１は、本発明にかかる細孔放電加工装置の実施の形態１を示す縦断面図であり、図２は、ガイド部材の他の形態を示す縦断面図であり、図３は、偏心量調整部の他の形態を示す透視図であり、図４は、偏心量調整部の他の形態を示す平面図であり、図５は、実施の形態１の細孔放電加工装置による逆テーパ孔の加工例を示す図表であり、図６は、実施の形態１の細孔放電加工装置による逆テーパ孔の加工例を示す棒グラフであり、図７は、実施の形態１の細孔放電加工装置による逆テーパ孔の加工例を示す拡大写真である。

図１に示すように、実施の形態１の細孔放電加工装置８１は、細線電極１１の上部を把持し、細線電極１１を回転させながら下部１１ｂをワーク１２に突き出すように下方へ送る電極ホルダ１３と、ワーク上面１２ａ近傍に配置され、細線電極１１が挿通される第１のガイド孔１４ａが穿孔軸１５上に設けられた第１のガイド部材１４と、第１のガイド部材１４と電極ホルダ１３との間に配置され、穿孔軸１５から偏心した位置に細線電極１１が挿通される第２のガイド孔１６ａが設けられた第２のガイド部材１６と、第２のガイド部材１６（第２のガイド孔１６ａ）を穿孔軸１５回りに円旋回させる旋回駆動部１７と、を備え、細線電極１１の下部１１ｂを円錐状に旋回させ、ワーク１２にワーク上面１２ａの孔径より下面１２ｂの孔径が大きい円錐状の逆テーパ孔１２ｔを形成する。

また、細孔放電加工装置８１は、穿孔軸１５からの第２のガイド孔１６ａの偏心量を調整する偏心量調整部１８と、放電加工中に加工部に加工液を噴出するノズル２０と、を備えている。

細線電極１１は、棒状又はパイプ状に形成されている。電極ホルダ１３は、図示を省略した放電加工装置のスライドに支持され、穿孔軸１５（回転軸）回りに回転しつつ、穿孔軸１５上を上下方向に移動自在である。

第１のガイド部材１４は、ガイドベース１９により支持されている。ガイドベース１９は、図示を省略した駆動機構により、穿孔軸１５上を上下方向に移動可能であり、第１のガイド部材１４の下端（第１のガイド孔１４ａ）が、ワーク上面１２ａから０．１〜１ｍｍ程度離間した位置に固定される。

第２のガイド部材１６は、偏心量調整部としての偏心量調整ネジ１８により、ガイド保持筒１７ａに保持され、ガイド保持筒１７ａは、ベアリング１７ｂにより、ガイドベース１９に、回転自在に支持されている。ベアリング１７ｂの回転中心は、第１のガイド孔１４ａと同心であり、穿孔軸１５に一致している。

第２のガイド孔１６ａは、第１のガイド孔１４ａ（穿孔軸１５）とは偏心した位置に設けられていて、ガイド保持筒１７ａを回転させると、穿孔軸１５回りに円旋回する。偏心量調整ネジ１８は、円周方向に９０°ずつ離間して、４本がガイド保持筒１７ａにねじ込まれていて、４本の偏心量調整ネジ１８のねじ込み量を調整することにより、第２のガイド孔１６ａの偏心量を調整することができる。

また、ガイドベース１９には、ブラケットを介してモータ１７ｃが取付けられている。モータ軸には、プーリ１７ｄが装着され、プーリ１７ｄとガイド保持筒１７ａとは、リング状のベルト１７ｅにより連結されている。モータ１７ｃを回転させると、ガイド保持筒１７ａが回転する。

第１、第２のガイド孔１４ａ、１６ａは、セラミックス等により形成された第１、第２のガイド部材１４、１６の下端部に埋め込まれたダイヤモンド、ルビー、サファイア等の高硬度の鉱石１４ｂ、１６ｂに形成されている。第１、第２のガイド孔１４ａ、１６ａは、孔の長さが短く形成されていて、細線電極１１に略点接触するようになっている。第１、第２のガイド孔１４ａ、１４ｂの内径は、細線電極１１の外径より数μｍ大きく形成されている。第１、第２のガイド部材１４、１６には、内径の大きい孔が形成されていて、この孔に細線電極１１が接触して摺動抵抗が増大することはない。

また、図２に示すように、第１のガイド部材１１４及び第２のガイド部材１１６を、ルビー、サファイア、セラミックス等により、テーパ孔を有する筒状に形成し、下端部に第１のガイド孔１１４ａ及び第２のガイド孔１１６ａを形成するようにしてもよい。

また、図１に示す偏心量調整部１８を、図３及び図４に示す偏心量調整部２１８に替えてもよい。偏心量調整部２１８は、第１のガイド孔１４ａ（穿孔軸１５）と同心に回転するガイド保持筒２１７ａと、穿孔軸１５から偏心量ａだけ偏心してガイド保持筒２１７ａに設けられた円形孔２１７ｆに嵌合された円筒２１８ａと、円筒２１８ａの中心から偏心量ａだけ偏心して円筒２１８ａに設けられた円形孔２１８ｆに嵌合された第２のガイド部材２１６と、を備えている。

第２のガイド部材２１６の中心には、第２のガイド孔２１６ａが設けられている。円筒２１８ａを、０°〜１８０°回転させれば、第２のガイド孔２１６ａの偏心量を、０〜２ａの範囲で容易に調整することができる。

細線電極１１は、電極ホルダ１３に把持され、回転しながら下降し、下部１１ｂとワーク１２との間で放電を発生させながらワーク１２に孔をあける。第２のガイド部材１６、１１６、２１６が、第１のガイド部材１４に対して円旋回することにより、細線電極１１の下部１１ｂが、回転しながら円錐形に旋回する。この細線電極１１の下部１１ｂの円錐形旋回により、ワーク１２に、ワーク上面１２ａの孔径より下面１２ｂの孔径が大きい円錐状の逆テーパ孔１２ｔを形成することができる。

次に、第２のガイド部材１６、１１６、２１６の旋回速度について説明する。第２のガイド部材１６、１１６、２１６の旋回速度が遅い場合には、細線電極１１が１回転する間の下方への送り込み量が大きくなり、加工後の逆テーパ孔１２ｔの内壁面に螺旋状の痕跡が残ることがある。一方、旋回速度が早いと、細線電極１１の下部１１ｂに働く遠心力が大きくなり、下部１１ｂが外方へ湾曲し、加工が不安定になったり、逆テーパ孔１２ｔのテーパ角度が大きくなったりする。

逆テーパ孔１２ｔの内壁面に螺旋状の痕跡を残さないようにするには、使用する細線電極１１の径や加工電源のパルス条件等にもよるが、下方送込み量０．０１〜０．２ｍｍ程度に１回転の割合で、第２のガイド部材１６、１１６、２１６を旋回させるのがよい。また、加工の安定性やテーパ角度の安定性を考慮すると、旋回回転数は、３〜３００ｒｐｍ程度とするのがよい。

次に、実施の形態１の細孔放電加工装置８１による逆テーパ孔１２ｔの加工例について説明する。加工条件を下記に示す。
細線電極：タングステン電極：φ＝０．０５
ワーク ：ＳＵＳ３０４ ：ｔ＝０．８ｍｍ
ワーク上面１２ａと第１のガイド孔１４ａとの間の距離 ：０．４ｍｍ
第１のガイド孔１４ａと第２のガイド孔１６ａとの間の距離：１１ｍｍ
放電パルスのピーク電流 ：５Ａ
パルス幅 ：０．２μｓｅｃ
放電パルスの周波数 ：約２０ｋＨｚ
加工開始点 ：ワーク上面１２ａ＋０．２ｍｍ
第２のガイド部材１６の旋回回転数：５ｒｐｍ
第２のガイド部材１６の総旋回回数：１５回
上記条件で、第２のガイド部材１６の偏心量Ｒを、夫々０．１ｍｍ、０．２ｍｍ、０．３ｍｍとしたときの逆テーパ孔の加工結果を、図５〜図７に示す。

実施の形態１の細孔放電加工装置８１は、第１のガイド部材１４と電極ホルダ１３との間に配置され、穿孔軸１５から偏心した位置に細線電極１１が挿通される第２のガイド孔１６ａが設けられた第２のガイド部材１６と、第２のガイド部材１６（第２のガイド孔１６ａ）を穿孔軸１５回りに円旋回させる旋回駆動部１７と、を備え、細線電極１１の中間部を機械的に拘束して高精度で穿孔軸１５回りに円旋回させるので、精度の高い逆テーパ孔を形成することができる。また、第１のガイド孔１４ａと電極ホルダ１３との間の距離を長くする必要がないので、無駄になる細線電極１１の長さが短くてすみ、電極コストを下げることができる、という効果を奏する。

実施の形態２．
図８は、本発明の細孔放電加工装置の実施の形態２を示す縦断面図である。実施の形態２の細孔放電加工装置８２が実施の形態１の細孔放電加工装置８１と異なるところは、第２のガイド部材２６が、第２のガイド部材２６の上端と電極ホルダ１３の下端との間の距離が実施の形態１の細孔放電加工装置８１と比較して短くなるように、柱状に形成され、第２のガイド孔２６ａが略全長に亘って直線状に形成されていることである。

実施の形態２の細孔放電加工装置８２の他の部分は、実施の形態１の細孔放電加工装置８１と変わらない。実施の形態２の細孔放電加工装置８２は、第２のガイド部材２６の上端と電極ホルダ１３の下端との間の距離が短くなっているので、加工中に細線電極１１が座屈し難い、という効果を奏する。

実施の形態３．
図９は、本発明の細孔放電加工装置の実施の形態３を示す縦断面図である。実施の形態３の細孔放電加工装置８３が実施の形態２の細孔放電加工装置８２と異なるところは、第２のガイド孔３６ａの方向が、第１のガイド孔１４ａの方向を向くように、加工しようとする逆テーパ孔１２ｔのテーパ角度に合わせた角度で、穿孔軸１５に対して傾斜していることである。第２のガイド孔３６ａの傾斜角は、偏心量調整部１８により調整することができる。実施の形態３の細孔放電加工装置８３では、偏心量調整部１８は、傾斜調整部となっている。実施の形態３の細孔放電加工装置８３の他の部分は、実施の形態２の細孔放電加工装置８２と変わらない。

実施の形態３の細孔放電加工装置８３は、第２のガイド部材３６が長い柱状に形成され、第２のガイド孔３６ａが略全長に亘って直線状に形成され、第２のガイド孔３６ａの方向が、第１のガイド孔１４ａの方向を向くように、穿孔軸１５に対して傾斜し、細線電極１１の中間部から下部１１ｂまでが一直線状に延びるので、精度のよい逆テーパ孔１２ｔを形成することができる、という効果を奏する。

実施の形態４．
図１０は、本発明の細孔放電加工装置の実施の形態４を示す縦断面図であり、図１１は、実施の形態４の細孔放電加工装置の変形例を示す縦断面図である。図１０及び図１１に示すように、実施の形態４の細孔放電加工装置８４ａ、８４ｂが実施の形態１、３の細孔放電加工装置８１、８３と異なるところは、第２のガイド部材１６、３６と電極ホルダ１３との間に、細線電極１１が挿通される第３のガイド孔４０ａが設けられ、ガイドベース１９に支持された第３のガイド部材４０を備えることである。

実施の形態４の細孔放電加工装置８４ａ、８４ｂの他の部分は、実施の形態１、３の細孔放電加工装置８１、８３と変わらない。実施の形態４の細孔放電加装置８４ａ、８４ｂは、第２のガイド部材１６、３６と電極ホルダ１３との間に、第３のガイド部材４０を備えるので、細線電極１１が座屈し難い、という効果を奏する。

実施の形態５．
図１２は、本発明の細孔放電加工装置の実施の形態５を示す縦断面図であり、図１３は、実施の形態５の細孔放電加工装置の変形例を示す縦断面図である。図１２及び図１３に示すように、実施の形態５の細孔放電加工装置８５ａ、８５ｂは、細線電極１１によりワーク１２にワーク上面１２ａの孔径より下面１２ｂの孔径が大きい円錐状の逆テーパ孔１２ｔを形成する細孔放電加工装置であって、細線電極１１の上部を把持し、細線電極１１を回転させながら下部１１ｂをワーク１２に突き出すように下方へ送る電極ホルダ１３と、ガイド孔下端５６ｅ、５６ｆがワーク上面１２ａ近傍の穿孔軸１５上に配置され、方向が穿孔軸１５に対して傾斜し、細線電極１１が挿通される直線状のガイド孔５６ｃ、５６ｄが形成されたガイド部材５６ａ、５６ｂと、ガイド部材５６ａ、５６ｂを穿孔軸１５回りに円旋回させる旋回駆動部１７と、を備えている。

図１２に示すガイド部材５６ａは、外径がガイド保持筒１７ａの内径より小さい円柱状に形成され、偏心量調整部１８によりガイド保持筒１７ａ内に保持されている。また、偏心量調整部１８により、ガイド孔５６ｃの穿孔軸１５に対する傾斜角（傾斜量）を調整することができる。実施の形態５の細孔放電加工装置８５ａでは、偏心量調整部１８は、傾斜調整部となっている。

図１３に示すガイド部材５６ｂは、外径がガイド保持筒１７ａの内径と同じに形成され、偏心量調整部１８により締め付けられてガイド保持筒１７ａ内に保持されている。ガイド部材５６ｂは、穿孔軸１５に対する傾斜角を調整することができない。

実施の形態５の細孔放電加工装置８５ａ、８５ｂは、ガイド孔下端５６ｅ、５６ｆがワーク上面１２ａ近傍の穿孔軸１５上に配置され、方向が穿孔軸１５に対して傾斜し、細線電極１１が挿通される直線状のガイド孔５６ｃ、５６ｄが形成されたガイド部材５６ａ、５６ｂを備えるので、第１のガイド部材１４を不要とし、簡素な構造であるとともに、精密な逆テーパ孔１２ｔを形成することができる、という効果を奏する。

実施の形態６．
図１４は、本発明の細孔放電加工装置の実施の形態６を示す縦断面図である。図１４に示すように、実施の形態６の細孔放電加工装置８６は、細線電極１１によりワーク１２にワーク上面１２ａの孔径より下面１２ｂの孔径が大きい円錐状の逆テーパ孔１２ｔを形成する細孔放電加工装置であって、細線電極１１の上部を回転軸（穿孔軸１５）から偏心させて把持し、細線電極１１の上部を回転させるとともに、穿孔軸１５回りに旋回させながら下部１１ｂをワーク１２に突き出すように下方へ送る電極ホルダ１３と、ワーク上面１２ａの近傍に配置され、細線電極１１が挿通されるガイド孔１４ａが穿孔軸１５上に設けられたガイド部材１４と、を備えている。

実施の形態６の細孔放電加工装置８６は、細線電極１１の上部を回転軸（穿孔軸１５）から偏心させて把持し、細線電極１１の上部を回転させるとともに、穿孔軸１５回りに旋回させながら下部１１ｂをワーク１２に突き出すように下方へ送る電極ホルダ１３を備えるので、第２のガイド部材１６を不要とし、簡素で小型の細孔放電加工装置が得られる、という効果を奏する。

実施の形態７．
図１５は、本発明の細孔放電加工装置の実施の形態７を示す縦断面図である。図１５に示すように、実施の形態７の細孔放電加工装置８７は、細線電極１１によりワーク１２にワーク上面１２ａの孔径より下面１２ｂの孔径が大きい円錐状の逆テーパ孔１２ｔを形成する細孔放電加工装置であって、細線電極１１の上部を把持し、細線電極１１を回転させながら下部１１ｂをワーク１２に突き出すように下方へ送る電極ホルダ１３と、ワーク上面１２ａ近傍に配置され、細線電極１１が挿通される第１のガイド孔１４ａが穿孔軸１５上に設けられた第１のガイド部材１４と、第１のガイド部材１４と電極ホルダ１３との間に配置され、細線電極１１が挿通される第２のガイド孔１６ａが設けられた第２のガイド部材１６と、第２のガイド部材１６を穿孔軸１５回りに円旋回、楕円旋回又は多角形旋回させる旋回駆動部８７ａと、を備えている。

旋回駆動部８７ａは、ＸＹ軸駆動機構であり、モータとボールネジを組合わせた方式のＸＹ軸駆動機構や、ピエゾ式のＸＹ軸駆動機構により構成される。旋回駆動部８７ａにより、第２のガイド部材１６を、穿孔軸１５回りに円旋回、楕円旋回又は多角形旋回させることにより、逆テーパ孔１２ｔを、円錐形、楕円錐形又は多角錐形等、任意の形状にすることができる。また、旋回駆動部８７ａは、第２のガイド部材１６の穿孔軸１５からの偏心量を任意に調整することができるので、例えば、逆テーパ孔１２ｔの加工の進行に伴い、細線電極１１の下部１１ｂが深くなるのに応じて偏心量を徐々に増加させることにより、逆テーパ孔１２ｔの形状をラッパ形状（ベルマウス形状）にすることができる。

実施の形態８．
図１６は、本発明の細孔放電加工装置の実施の形態８を示す縦断面図である。図１６に示すように、実施の形態８の細孔放電加工装置８８は、細線電極１１によりワーク１２にワーク上面１２ａの孔径より下面１２ｂの孔径が大きい円錐状の逆テーパ孔８２ｔを形成する細孔放電加工装置であって、細線電極１１の上部を把持し、細線電極１１を回転させながら下部１１ｂをワーク１２に突き出すように下方へ送る電極ホルダ１３と、ワーク上面１２ａ近傍に配置され、穿孔軸１５から偏心した位置に、細線電極１１が挿通される第２のガイド孔１６ａが設けられた第２のガイド部材１６と、第２のガイド部材１６と電極ホルダ１３との間に配置され、穿孔軸１５上に細線電極１１が挿通される第１のガイド孔１４ａが設けられた第１のガイド部材１４と、第２のガイド部材１６を穿孔軸１５回りに円旋回させる旋回駆動部１７と、を備えている。

実施の形態８の細孔放電加工装置８８は、ワーク上面１２ａ近傍に配置され、穿孔軸１５から偏心した位置に、細線電極１１が挿通される第２のガイド孔１６ａが設けられた第２のガイド部材１６と、第２のガイド部材１６を穿孔軸１５回りに円旋回させる旋回駆動部１７と、を備えるので、実施の形態１〜７の細孔放電加工装置８１〜８７に比べ、径の大きい逆テーパ孔８２ｔを形成することができる、という効果を奏する。

以上のように、本発明にかかる細孔放電加工装置及び放電加工方法は、ワークに精度のよい逆テーパ孔を加工するのに有用である。

Claims (14)

1. 細線電極によりワークにワーク上面の孔径より下面の孔径が大きい円錐状の逆テーパ孔を形成する細孔放電加工装置であって、
   前記細線電極の上部を把持し該細線電極を回転させながら下部を前記ワークに突き出すように下方へ送る電極ホルダと、
   前記ワーク上面近傍に配置され、前記細線電極が挿通される第１のガイド孔が穿孔軸上に設けられた第１のガイド部材と、
   前記第１のガイド部材と前記電極ホルダとの間に配置され、前記穿孔軸から偏心した位置に前記細線電極が挿通される第２のガイド孔が設けられた第２のガイド部材と、
   前記第２のガイド部材を前記穿孔軸回りに円旋回させる旋回駆動部と、
   を備えることを特徴とする細孔放電加工装置。
2. 前記穿孔軸からの前記第２のガイド孔の偏心量を調整する偏心量調整部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の細孔放電加工装置。
3. 前記第２のガイド部材は、該第２のガイド部材の上端と前記電極ホルダの下端との間の距離が短くなるように柱状に形成され、前記第２のガイド孔が略全長に亘って直線状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の細孔放電加工装置。
4. 前記第２のガイド孔の方向が、前記第１のガイド孔の方向を向くように、前記穿孔軸に対して傾斜していることを特徴とする請求項３に記載の細孔放電加工装置。
5. 前記穿孔軸からの前記第２のガイド孔の傾斜量を調整する傾斜調整部をさらに備えることを特徴とする請求項４に記載の細孔放電加工装置。
6. 前記第２のガイド部材と前記電極ホルダとの間に、前記細線電極が挿通される第３のガイド孔が設けられた第３のガイド部材をさらに備えることを特徴とする請求項１又は４に記載の細孔放電加工装置。
7. 細線電極によりワークにワーク上面の孔径より下面の孔径が大きい円錐状の逆テーパ孔を形成する細孔放電加工装置であって、
   前記細線電極の上部を回転軸から偏心させて把持し、該細線電極の上部を回転させ、かつ穿孔軸回りに旋回させながら下部を前記ワークに突き出すように下方へ送る電極ホルダと、
   前記ワーク上面の近傍に配置され、前記細線電極が挿通されるガイド孔が前記穿孔軸上に設けられたガイド部材と、
   を備えることを特徴とする細孔放電加工装置。
8. 細線電極によりワークにワーク上面の孔径より下面の孔径が大きい円錐状の逆テーパ孔を形成する細孔放電加工装置であって、
   前記細線電極の上部を把持し該細線電極を回転させながら下部を前記ワークに突き出すように下方へ送る電極ホルダと、
   前記ワーク上面近傍に配置され、前記細線電極が挿通される第１のガイド孔が穿孔軸上に設けられた第１のガイド部材と、
   前記第１のガイド部材と前記電極ホルダとの間に配置され、前記細線電極が挿通される第２のガイド孔が設けられた第２のガイド部材と、
   前記第２のガイド部材を前記穿孔軸回りに円旋回、楕円旋回又は多角形旋回させる旋回駆動部と、
   を備えることを特徴とする細孔放電加工装置。
9. 細線電極によりワークにワーク上面の孔径より下面の孔径が大きい円錐状の逆テーパ孔を形成する細孔放電加工装置であって、
   前記細線電極の上部を把持し該細線電極を回転させながら下部を前記ワークに突き出すように下方へ送る電極ホルダと、
   前記ワーク上面近傍に配置され、穿孔軸から偏心した位置に前記細線電極が挿通される第２のガイド孔が設けられた第２のガイド部材と、
   前記第２のガイド部材と前記電極ホルダとの間に配置され、前記穿孔軸上に前記細線電極が挿通される第１のガイド孔が設けられた第１のガイド部材と、
   前記第２のガイド部材を前記穿孔軸回りに円旋回させる旋回駆動部と、
   を備えることを特徴とする細孔放電加工装置。
10. 細線電極によりワークにワーク上面の孔径より下面の孔径が大きい円錐状の逆テーパ孔を形成する放電加工方法であって、
    前記ワーク上面近傍に、前記細線電極が挿通される第１のガイド孔が穿孔軸上に設けられた第１のガイド部材を配置し、
    前記第１のガイド部材と電極ホルダとの間に、前記穿孔軸から偏心した位置に前記細線電極が挿通される第２のガイド孔が設けられた第２のガイド部材を配置し、
    前記細線電極を前記第２のガイド孔及び第１のガイド孔に挿通させ、前記第２のガイド部材を前記穿孔軸回りに円旋回させながら、前記細線電極の下部を前記ワークに突き出すように下方へ送り、
    前記ワークに前記逆テーパ孔を形成することを特徴とする放電加工方法。
11. 細線電極によりワークにワーク上面の孔径より下面の孔径が大きい円錐状の逆テーパ孔を形成する放電加工方法であって、
    前記ワーク上面近傍に、前記細線電極が挿通される第１のガイド孔が穿孔軸上に設けられた第１のガイド部材を配置し、
    前記細線電極を前記第１のガイド孔に挿通させ、電極ホルダにより前記細線電極の上部を回転軸から偏心させて把持して穿孔軸回りに旋回させながら下部を前記ワークに突き出すように下方へ送り、
    前記ワークに前記逆テーパ孔を形成することを特徴とする放電加工方法。
12. 細線電極によりワークにワーク上面の孔径より下面の孔径が大きい円錐状の逆テーパ孔を形成する放電加工方法であって、
    前記ワーク上面近傍に、前記細線電極が挿通される第１のガイド孔が穿孔軸上に設けられた第１のガイド部材を配置し、
    前記第１のガイド部材と電極ホルダとの間に、前記細線電極が挿通される第２のガイド孔が設けられた第２のガイド部材を配置し、
    前記細線電極を前記第２のガイド孔及び第１のガイド孔に挿通させ、前記第２のガイド部材を前記穿孔軸回りに円旋回、楕円旋回又は多角形旋回させながら、前記細線電極の下部を前記ワークに突き出すように下方へ送り、
    前記ワークに、円形、楕円形又は多角形の逆テーパ孔を形成することを特徴とする放電加工方法。
13. 細線電極によりワークにワーク上面の孔径より下面の孔径が大きい円錐状の逆テーパ孔を形成する放電加工方法であって、
    前記ワーク上面近傍に、穿孔軸から偏心した位置に前記細線電極が挿通される第２のガイド孔が設けられた第２のガイド部材を配置し、
    前記第２のガイド部材と電極ホルダとの間に、前記穿孔軸上に前記細線電極が挿通される第１のガイド孔が設けられた第１のガイド部材を配置し、
    前記細線電極を前記第１のガイド孔及び第２のガイド孔に挿通させ、前記第２のガイド部材を前記穿孔軸回りに円旋回させながら、前記細線電極の下部を前記ワークに突き出すように下方へ送り、
    前記ワークに前記逆テーパ孔を形成することを特徴とする放電加工方法。
14. 前記細線電極の下方送込み量０．０１〜０．２ｍｍに１回転の割合で、第２のガイド部材を旋回させることを特徴とする請求項１０、１２又は１３に記載の放電加工方法。