WO2005045814A1 - 可変形ミラー、光学ヘッド及び光記録再生装置 - Google Patents

可変形ミラー、光学ヘッド及び光記録再生装置 Download PDF

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WO2005045814A1
WO2005045814A1 PCT/JP2004/016466 JP2004016466W WO2005045814A1 WO 2005045814 A1 WO2005045814 A1 WO 2005045814A1 JP 2004016466 W JP2004016466 W JP 2004016466W WO 2005045814 A1 WO2005045814 A1 WO 2005045814A1
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mirror
reflection
deformable mirror
reflection mirror
base
Prior art date
Application number
PCT/JP2004/016466
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English (en)
French (fr)
Inventor
Akira Kurozuka
Yoshihiro Mushika
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. filed Critical Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
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Priority to JP2005515326A priority patent/JPWO2005045814A1/ja
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1362Mirrors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0825Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a flexible sheet or membrane, e.g. for varying the focus

Definitions

  • the present invention relates to an optical head for recording / reproducing information on / from an optical recording / reproducing medium, and more particularly to an optical head for correcting spherical aberration caused by a change in the thickness of a light transmitting layer of an optical recording / reproducing medium having two recording layers.
  • the present invention relates to a deformable mirror for an optical head and an optical head and an optical recording / reproducing apparatus using the same.
  • Optical storage media such as read-only optical discs, phase-change optical discs, and magneto-optical discs are widely used to store video information, audio information, computer data, and the like.
  • This optical recording / reproducing medium has come to be used as a video recording medium, particularly as a substitute for video tape, and also as a recording medium for high-definition video images.
  • Demands for higher recording density and higher capacity for these information recording media are increasing.
  • the recording density has been increasing, and the use of small-diameter discs has made it possible to use them in mobile applications such as video cameras.
  • Optical heads can be mounted on mobile devices. There is also a demand for miniaturization, low power consumption, and low cost.
  • the numerical aperture NA of the objective lens mounted on the optical head is increased, the wavelength ⁇ of the light from the light source is shortened, and the information is collected by the objective lens. It has been practiced to reduce the spot diameter of emitted light and to provide a plurality of recording layers for recording information.
  • the numerical aperture NA of the objective lens is 0.45, and the wavelength of the light emitted from the light source is 780 nm, but the recording density and capacity have been increased.
  • the numerical aperture NA of the objective lens is 0.6 and the wavelength of light is 65 nm.
  • the aberration caused by the inclination of the disc with respect to the optical axis is the shorter the light wavelength
  • it is effective to reduce the thickness of the light transmission layer so as to cancel out aberrations in order to obtain a good light spot
  • the thickness of the light transmission layer is 1.2 mm in CD, whereas it is 0.6 mm in DVD.
  • the distance between the two recording layers is set to 0.055 mm to prevent interlayer crosstalk.
  • the thickness of the light transmitting layer for each recording layer is, for example, The difference between the two was 0.6 mm and 0.545 mm, and the difference between the two was kept small, so that the generated spherical aberration was kept within an allowable range.
  • NA of the objective lens is now 0.85
  • the wavelength of the light is 405 nm
  • the thickness of the light transmission layer is about 0.1 mm.
  • the distance between the two layers needs to be about 0.025 mm, and the thickness of the light transmission layer for each of the two recording layers is, for example, 0.1 mm. Since it is 0.075 mm, such a spherical aberration caused by the difference in the thickness of the light transmitting layer can no longer be tolerated.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-152550 discloses a method of correcting spherical aberration by deforming a tensioned thin film mirror by electrostatic force or the like.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-259893 discloses that the collimating lens disposed between a light source and an objective lens is moved so that the spread angle of parallel light incident on the objective lens is increased. It is disclosed that the spherical aberration is corrected by changing the NA on the incident side of the objective lens.
  • the collimator lens cannot be placed very close to the objective lens, if the collimator is configured to change the spread angle of the parallel light by moving the evening lens, the efficiency of the laser beam and RIM can be adjusted according to the distance to the objective lens.
  • the intensity (the intensity ratio at the edge of the pupil when the MAX point of the intensity of the entrance pupil is 100%) changes greatly, which makes designing the optical system difficult. Disclosure of the invention
  • the present invention solves the above-mentioned problems, and provides a deformable mirror having a simple structure for switching spherical aberration according to a difference in the thickness of a light transmitting layer for two recording layers. It is an object of the present invention to provide an optical head and an optical recording / reproducing apparatus which are small in size, low in power consumption, and low in cost so that they can be mounted on equipment.
  • the present invention provides a reflection mirror having a reflection surface for reflecting light, at least a part of which is formed of a member having ferromagnetism, and a deformation of the reflection mirror by magnetic force
  • the member having ferromagnetism in the reflecting mirror is attracted to bring the reflecting mirror into the deformed state, and the hard magnetic member is magnetized by the magnetizing coil. It is preferable that the reflection mirror be restored to the non-deformed state by degaussing.
  • the magnetized member may include a yoke, a magnetized coil, and a sub coil. It is preferable that at least a part of the sub-coil and the yoke are arranged on the back surface of the reflection mirror and on its side.
  • the switching device comprises: a permanent magnet; a first position at which a magnetic force acts on the reflection mirror; and a second position further away from the ferromagnetic member than the first position. It is also possible to adopt a configuration having a movable mechanism for moving between them.
  • the movable mechanism moves the permanent magnet at the second position to the first position, thereby attracting the member having ferromagnetism, bringing the reflection mirror into the deformed state, and moving to the first position. It is preferable that the reflection mirror be restored to a non-deformed state by moving a certain permanent magnet to the second position.
  • a movable portion that supports the permanent magnet; a fixed portion that rotatably supports the movable portion; and a rotating operation that moves the movable portion between the first position and the second position.
  • a driving unit that drives the driving unit.
  • the drive section preferably includes a yoke for attracting the permanent magnet at the second position, a drive coil mounted on the yoke, and a drive magnet.
  • the reflection mirror may include a base made of a glass plate, and the member having ferromagnetism may be provided on at least a part of the base.
  • the reflection mirror may have a configuration in which a base material having ferromagnetism is used as a base material.
  • the member having ferromagnetism preferably forms a part of a magnetic circuit together with the yoke.
  • the reflection surface is constituted by a reflection coat formed on the surface of the substrate.
  • the reflection coat is preferably made of a dielectric multilayer film.
  • the reflection coat may be provided on both surfaces of the base material, respectively. Further, the reflection coat is provided on one surface of the base material, and the other surface of the base material is provided with a counter coat having a coefficient of thermal expansion equivalent to that of the reflection coat. Is also good.
  • the member having ferromagnetism may be made of a hard magnetic material.
  • the base is provided with a concave portion that is depressed in the deformation direction of the reflection mirror, the reflection mirror is held so as to cover the concave portion of the base, and the switching device is provided. It is preferable that, when it is deformed by, it is configured to be kept in the deformed state by contacting the concave portion.
  • the reflection mirror is formed in a substantially elliptical shape
  • the concave portion of the base is formed in a substantially elliptical shape corresponding to the shape of the reflection mirror.
  • the holding member may be configured to press the reflection mirror against the base with a spring force.
  • the holding member includes a base assembled to the base, a plate spring extending from the base, and a holding frame joined to the plate spring and pressing the reflection mirror.
  • the holding member may be made of a volatile adhesive.
  • the present invention relates to an optical head configured to focus light on an optical information recording medium, comprising: an objective lens for condensing light on the optical information recording medium; and an objective for driving the objective lens.
  • the variable mirror may be an optical head that is provided to reflect the light emitted from the light source toward the objective lens.
  • the deformable mirror is provided in a space below the objective lens actuator.
  • the present invention relates to an optical recording / reproducing apparatus that focuses light on an optical recording / reproducing medium provided with two recording layers and performs at least one of information recording on the optical recording / reproducing medium and reading of recorded information, Switching the state of the reflection mirror to the optical head;
  • the optical recording / reproducing apparatus may include a power supply unit for supplying power for replacement.
  • the deformable mirror sets the reflecting mirror to a planar mirror and converges on the second recording layer near the light incident surface.
  • the reflection mirror is deformed into a concave mirror in which the reflection surface becomes concave.
  • the power supply unit applies a pulsed voltage only when switching the state of the reflection mirror.
  • a deformable mirror that corrects spherical aberration with a simple configuration can be realized, and a small-sized optical head and optical recording / reproducing apparatus with low power consumption can be realized.
  • the deformable mirror of the present invention it is possible to provide a deformable mirror capable of correcting spherical aberration due to a difference in the thickness of the light transmission layer of a two-layer disc with a simple configuration at a low cost, and to provide a small optical head. Can be realized.
  • FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of an optical head according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 2 is a side view showing a state where light is focused on the first recording layer of the two-layer optical disc in the optical head.
  • FIG. 3 is a side view showing a state where light is focused on the second recording layer of the two-layer optical disc in the optical head.
  • FIG. 4 is a perspective view showing an entire configuration of a deformable mirror provided in the optical head.
  • FIG. 5 is a sectional view of the deformable mirror.
  • FIG. 6 is a perspective view showing the deformable mirror disassembled for each component.
  • FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining the operation of the sub coil.
  • FIG. 8 is a diagram showing a positional relationship between a two-axis actuator and a deformable mirror.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view showing another example in which the elastic support member according to the first embodiment of the present invention is made of an adhesive.
  • FIG. 10 is a perspective view showing a second embodiment of the deformable mirror of the present invention.
  • FIG. 11 is an exploded perspective view showing the deformable mirror for each component.
  • FIG. 12 is a side sectional view showing the internal structure of the deformable mirror.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view taken along line XX of FIG. ⁇ Fig. 14 is a view showing a state in which the movable part is located above the deformable mirror.
  • FIG. 1 A first figure.
  • FIG. 15 is a sectional view showing a third embodiment of the deformable mirror of the present invention.
  • FIG. 16 is a diagram schematically showing a configuration of an optical recording / reproducing device according to the fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of an optical head according to Embodiment 1 of the present invention.
  • the optical head 100 is composed of a laser light source 1, a polarizing beam splitter 2, a collimating lens 3, a 1-Z 4-wave plate 4, and a reflection mirror 5. It has a deformable mirror 15, an objective lens 6, a condenser lens 8, and a photodetector 9.
  • the laser light source 1 emits a laser beam.
  • the polarizing beam splitter 2 transmits a laser beam incident from one side and reflects a laser beam incident from the other side.
  • the 1 Z 4 wave plate 4 changes the polarization direction of light.
  • the reflection mirror 5 deflects the optical axis direction.
  • the objective lens 6 focuses the laser beam on the information recording surface of the two-layer optical disc 20.
  • the condensing lens 8 condenses the reflected light from the two-layer optical disc 20 on the light receiving section of the photodetector 9.
  • the laser beam emitted from the laser beam source 1 passes through the polarization beam splitter 2, is shaped into a parallel beam by the collimator lens 3, and passes through the 1Z4 wave plate 4 to reflect the laser beam.
  • the direction is turned 90 degrees at 5 and the light is focused at the objective lens 6 to focus on the information recording surface of the double-layer optical disc 20.
  • the reflected light of the laser beam reflected from the information recording surface of the double-layer optical disc 20 is divided into an objective lens 6, a reflection mirror 5, a quarter-wave plate 4, a collimating lens 3, and a polarizing beam splitter. 2 passes in this order and forms an image on the photodetector 9 via the condenser lens 8.
  • the objective lens 6 is mounted on a two-axis actuator 7 and performs a focus servo operation and a tracking servo operation on the two-layer optical disc 20 based on a servo signal obtained from the photodetector 9.
  • FIG. 2 is a side view showing a state where light is focused on the first recording layer 21 of the two-layer optical disc 20
  • FIG. 3 is a side view showing a state where light is focused on the second recording layer 22 of the two-layer optical disc 20. It is.
  • the two-layer optical disc 20 has a first recording layer 21 provided on a surface of a substrate 23, a second recording layer 22 provided on the surface of the first recording layer 21 with an intermediate layer 24 interposed therebetween, and a surface of the second recording layer 22. And a cover layer 25 is further laminated thereon.
  • the thickness of the light transmitting layer is set to 0.1 mm in order to suppress the aberration caused by the inclination of the disk with respect to the optical axis to the same level as DVD.
  • the thickness of the cover layer 25 is the thickness of the light transmitting layer, so that a cover layer 25 of 0.1 mm is provided.
  • the thickness of the intermediate layer 24 is 0.025 mm
  • the thickness of the cover layer 25 is 0.075 mm. That is, when condensing light on the first recording layer 21, the thickness t 1 of the light transmitting layer is 0.1 mm.
  • the deformable mirror 15 has a reflection mirror 5.
  • the reflection mirror 5 is a thin plate-shaped mirror.
  • a glass substrate having a thickness of about 0.1 mm is used as a base material 5b, and a reflection coat is applied to the surface of the base material 5b.
  • the surface of the reflection coat is a reflection surface for reflecting light.
  • the substrate 5b is set to have a thickness or the like so that the laser beam is not disturbed by reflection in a natural state where no external force is applied, good flatness can be maintained, and the substrate 5b can be deformed by a predetermined force.
  • the thickness of the glass substrate is set between 0.05 mm and 0.2 mm, flatness can be maintained as long as no external force acts, and Deformation necessary for aberration correction can be performed within the allowable stress.
  • the reflection mirror 5 is not deformed only by its own weight. Therefore, unlike the mirror formed by the thin film, the reflection mirror 5 does not need to continuously apply tension to maintain the flatness.
  • a dielectric multilayer film is used as a reflection coat.
  • the number of layers of the dielectric multilayer film and the type of dielectric can be appropriately selected according to the wavelength of light, the reflectance, and the like.
  • the base material of the mirror and the coating film have different coefficients of thermal expansion, when the base material is thin, the warpage of the reflective mirror becomes a problem.
  • the reflection mirror 5 is arranged so as to cover the concave portion 11 a formed in the base 11.
  • the outer periphery of the reflection mirror 5 is held by the flexible member 12 so as not to fall off.
  • the reflection mirror 5 is provided with a magnetic member 5a having ferromagnetism.
  • the magnetic member 5a is provided at the center of the back surface of the base member 5b.
  • the method of providing the magnetic member 5a includes a method of bonding a magnetic stainless steel sheet or a silicon steel sheet, a method of forming a magnetic film such as an iron-based oxide by a sputtering method and a vacuum evaporation method, and a method of applying a magnetic powder. There are methods.
  • a switching device 10 is provided. And the driving circuit 1 When the switching device 10 is energized by 01, a magnetic attraction force F is generated, and the reflecting mirror 15 is deformed so that the reflecting surface becomes concave. If the suction force F is eliminated, the reflection mirror-5 is restored to the original flat mirror. For example, when a suction force of 0.098 to 0.147 N (10 to L5 gf) is generated for a glass mirror having a thickness of 0.1 mm, a vertex (reflection mirror 5) is generated. Deformation with a displacement of about 4 m is obtained.
  • the optical system of the optical head according to the present embodiment focuses on the first recording layer 21 in a non-deformed state where the reflection mirror 15 has a flat plate shape. It is designed so that a good light spot can be obtained through the light transmitting layer.
  • the focus signal is offset, the objective lens 6 is once lowered, and then the 22.
  • the focus pull-in operation is performed again to 2.
  • a driving force is generated in the switching device 10 by the drive circuit 101 to deform the reflection mirror 5 into a concave shape, thereby converting the parallel light incident on the objective lens 6 into convergent light.
  • the spherical aberration due to the difference in the thickness of the light transmitting layer is corrected.
  • the degree to which the parallel light is converged is determined by deforming the reflecting mirror 15 by a predetermined amount of deformation according to the difference in the thickness of the light transmitting layer (the thickness of the intermediate layer 24).
  • the amount of deformation of the reflecting mirror 5 is regulated by the concave portion 11 a of the base 11. Then, the reflecting mirror 15 is brought into contact with the recessed portion 11a, and a sufficient amount of suction force F is applied to maintain the same, so that a constant deformation amount is maintained.
  • the amount of deformation of the reflecting mirror 5 is a value corresponding to the depth of the concave portion 11a.
  • the depth of the concave portion 11a is optically determined by the difference in the thickness of the light transmitting layer, the NA of the objective lens 6, and the like. Further, it is necessary to accurately form a step of about several m constituting the recessed portion 11a with an error of ⁇ 10%.
  • the surface of the base 11 supporting the reflection mirror 15 is mirror-finished.
  • a method of forming a step a method of forming a step by shaving off the area of the recessed portion 11a by etching or the like, or conversely, a method of building up the outer peripheral portion of the base 11 by electroless nickel plating or the like.
  • steps while the recessed portion 1 1a is formed on a flat mirror surface,
  • the reflection mirror 15 When the reflection mirror 15 is deformed so that the reflection surface becomes concave, the portion located on the outer peripheral side of the concave portion 11 a is displaced away from the base 11. At this time, since the outer periphery of the reflection mirror 5 is elastically held by the elastic member 12, the reflection mirror 5 is naturally deformed into a curved surface, and the entire mirror becomes concave.
  • the outer peripheral portion of the reflection mirror 15 is fixedly fixed to the base 11, the outer peripheral portion will not be displaced, and in this case, the area deformed into a concave shape will be small. This requires a relatively larger mirror.
  • the outer end of the reflecting mirror 5 is supported by the elastic member 12 so as to be displaceable with respect to the base 11, a compact reflecting mirror 5 can be obtained. . Further, as compared with the case where the outer peripheral portion is fixedly fixed to the base 11, a predetermined amount of deformation can be obtained with a smaller suction force, and the stress generated in the reflection mirror 15 can be suppressed to be small.
  • the outer peripheral portion of the reflection mirror 15 be elastically held by the elastic member 12.
  • FIG. 4 is a perspective view showing a configuration of the deformable mirror 15 of the present invention
  • FIG. 5 is a sectional view thereof
  • FIG. 6 is an exploded perspective view.
  • the reflection mirror 5 is installed on the base 11 so as to cover the recessed portion: Lla, and is held by the elastic support member 12.
  • a magnetic member 5a having ferromagnetism is provided on the back surface of the reflection mirror 5.
  • the deformable mirror 15 includes a base 11, a holding member 12 supported by the base 11, and a reflection surface which is sexually held by the holding member 12 and reflects light. And a switching device 10 for switching the reflection mirror 15 between a deformed state and a non-deformed state.
  • the circular laser beam enters the reflecting mirror 5 from a direction of 45 degrees, is turned 90 degrees, is reflected in the direction of the arrow B, and is disposed thereabove.
  • the cross section of the beam incident on the reflection mirror 5 has an elliptical shape, and accordingly, the reflection mirror 5 has an elliptical shape.
  • the base 11 includes a horizontally long block-shaped main body 11 b whose upper surface is inclined with respect to the bottom surface, and the recess 11 a formed in the main body 11 b.
  • the recess 11 a is provided at the center of the upper surface of the main body 11 b.
  • the recessed portion 11a is formed in an elliptical shape as described above, and is formed so as to have a constant depth over the entirety. This elliptical shape is such that it is circular when viewed from the side.
  • a through-hole 11c penetrating the upper surface and the back surface is formed.
  • the through hole 11 c is configured to have a size such that the magnetic member 5 a of the reflection mirror 15 can be immersed.
  • cutouts 11 d are formed at both ends in the length direction of the main body 11 b. That is, notches 11 d are provided on both sides of the recess 11 a. Each of the notches l id is formed in a rectangular cross section, and has a size capable of accommodating a sub-coil 10 d to be described later.
  • the elastic support member 12 is a member formed by pressing a thin metal plate, and has a base portion 12c, a plate spring portion 12a, and a holding frame portion 12b formed integrally.
  • the elastic support member 12 can be formed of, for example, spring steel or stainless steel.
  • the base 12c is formed in a rectangular frame shape to be assembled to the main body 11b of the base 11, and has claws 12d for sandwiching the main body 11b from both sides.
  • the elastic support member 12 is engaged with the base 11.
  • the leaf spring portions 12a extend inward from the four corners of the base portion 12c.
  • the leaf spring portion 12a is elastically deformable in the plate thickness direction.
  • the holding frame portion 12b is formed in an elliptical circumferential shape along the outer peripheral portion of the reflection mirror 5, and connects the front end portion (inner end portion) of each leaf spring portion 12a. I have.
  • the claw 12 d engages with the main body 11 b to position the base 12 c of the elastic support member 12. You. Then, in this state, the leaf spring portion 12a is slightly bent, and the holding frame portion 12b presses and holds the reflection mirror 5.
  • the deformable mirror 15 includes a switching device 10 for switching the reflection mirror 5 between a deformed state and a non-deformed state.
  • the switching device 10 includes a hard magnetic member 10 a and a magnetized member 1. 0 f.
  • the hard magnetic member 10 a is a member made of a hard magnetic material having a strong coercive force, and is incorporated in the base 11.
  • the hard magnetic member 10a is arranged on the back side of the through hole 11c of the base 11 so that the tip thereof faces the magnetic member 5a.
  • the magnetized member 10f has a yoke 10b fixed to the hard magnetic member 10a and a magnetized coil 10c wound around the hard magnetic member 10a.
  • the hard magnetic member 10a retains the magnetic field even when the magnetizing coil 10c is not energized, applies a predetermined magnetic flux density, and attracts the magnetic member 5a.
  • the magnetic member 5a is sucked until the back surface of the reflective mirror 5 contacts the concave portion 11a of the base 11, and the reflective mirror 5 is in a deformed state in contact with the concave portion 11a. .
  • the reflecting mirror 5 is maintained in a curved surface shape having a concave reflecting surface and a constant deformation amount.
  • a voltage pulse sufficient to generate a necessary magnetic field is applied to the magnetizing coil 10c.
  • the displacement of the magnetic member 5a is on the order of a few microseconds.
  • the yoke 10b is extended on both sides of the base 11, and the extended portions 10e of the yoke 10b are provided with sub-coils 10d, respectively.
  • FIG. 7 shows the positional relationship between the sub-coils 10d.
  • the magnetizing coil 10c generates a magnetic field in the direction of the magnetic field HI during magnetization, for example, while the subcoil 10d wound around the yoke extension 10e is Conducted to generate a magnetic field in the direction of H2. That is, the magnetic field H generated by the magnetized coil 10 c is
  • the space where the sub-coil 10d is arranged corresponds to the lower side of the two-axis actuator 7 of the objective lens 6 provided thereabove. For this reason, if the deformable mirror 15 is configured so that the sub-coil 10d is substantially equal to the width of the two-axis actuator 7, the optical head does not increase in size.
  • the two-axis actuator 7 which is an objective lens actuator, has a fixed part 7d and a suspension mounted on the fixed part 7d. It has an objective lens holder 7a movably connected via a wire 7b, and a magnetic circuit 7c for applying a driving force to the objective lens holder 7a.
  • the objective lens 6 is held by an objective lens holder 7a.
  • the magnetic circuit 7c is disposed on each side of the objective lens holder 7a in the optical axis direction of the laser beam 102, and the sub-coils 10d are arranged in a direction orthogonal to the direction.
  • the hard magnetic member 10a is used to attract the magnetic member 5a of the reflection mirror 5, so that the magnetized coil 1 is used only during magnetization or demagnetization.
  • the reflection mirror 15 can be switched between the deformed state and the non-deformed state simply by supplying a current to 0 c. Therefore, power consumption can be reduced, and the device can be suitably used for mopile devices.
  • a concave portion 11a is provided in the base 11 provided on the back side of the reflective mirror 5, and the reflective mirror 5 is brought into contact with the concave portion 11a so that the reflective mirror 5 is formed. Since the deformation is regulated, the amount of deformation of the reflection mirror 15 can be accurately maintained with a simple configuration.
  • the reflection mirror 5 is formed in an elliptical shape, it is suitable for disposing the reflection mirror 5 immediately near the objective lens.
  • the deformable mirror 15 is assembled by fitting the elastic support member 12 for spring-supporting the reflective mirror 5 into the base 11, the deformable mirror 15 is Excellent assemblability.
  • FIG. 9 shows another embodiment of the elastic support member 12.
  • the elastic support member 12 is made of an adhesive that has elasticity even after solidification.
  • the flexible support member 12 elastically holds the outer peripheral portion of the reflection mirror 15 and can perform the same operation as the above-described configuration.
  • it is desirable that the adhesive is uniformly applied over the entire outer periphery of the reflection mirror 15 so that deformation unevenness of the reflection mirror 15 does not occur.
  • an adhesive composed of an ultraviolet curable resin containing modified acryl as a main component can be used.
  • a material that forms a soft cured product is preferable.
  • three pounds 308B manufactured by Slyem can be used.
  • the magnetic member 5a is provided on the reflection mirror 5, but a hard magnetic material may be provided on the reflection mirror instead.
  • FIG. 10 is a perspective view showing a second embodiment of the deformable mirror 1.5 of the present invention
  • FIG. 11 is an exploded perspective view showing each constituent member.
  • the configurations of the reflection mirror 5, the base 11, and the elastic support member 12 are the same as those in the first embodiment.
  • the base 11 has a shaft groove 1 lb formed therein.
  • the base 11 is rotatably supported by the shaft groove 11 b.
  • the movable part 30 is incorporated.
  • the movable section 30 includes a movable section base 33, a drive block 34, and a drive magnet 35.
  • the movable base 33 has a large rectangular recess 33b formed in the center.
  • a rotating shaft 33a is provided on each side of the movable portion base 33.
  • the rotating shaft 33 a extends in a direction parallel to the upper surface of the base 11 at a position shifted from the through hole 11 c formed on the upper surface of the base 11. 3a is inserted into the shaft groove 1 lb.
  • the movable portion base 33 is rotatable around a rotation shaft 33a. That is, the movable portion base 33 is rotatably supported by the base 11.
  • the drive yoke 34 and the drive magnet 35 are fixed to the ends of the arms located on both sides of the rectangular recess 33b. These are rotating portions that rotate around the rotating shaft 33 a of the movable portion base 33.
  • a permanent magnet 31 and a rotating yoke 32 are provided in the rectangular recess 33b.
  • the permanent magnet 31 is fixed to a rotating section yoke 32, and the rotating section yoke 32 is attached to a movable section base 33. Therefore, the permanent magnet 31 is supported by the movable base 33, and the permanent magnet 31 and the rotating yoke 32 are integrated with the movable base 33 to form the rotating shaft 33. It is possible to move around a.
  • a fixed yoke 37 is provided below the base 11.
  • the fixed yoke 37 includes a bottom 37 d, a support protrusion 37 a connected to the bottom 37 d, an upright portion 37 b rising from both ends of the bottom 37 d, and a bottom 37 and a projection 37c standing from the back side of d.
  • the support protrusion 37a sandwiches the rotation shaft 33a between the support protrusion 37a and the shaft groove 11b, and supports the rotation shaft 33a from below.
  • a drive coil 36 is attached to each of the upright portions 37b.
  • the protrusion 37c extends upward from the lower end of the base 11 along the rear surface.
  • FIG. 12 is a cross-sectional side view showing the internal structure of the second embodiment
  • FIG. 13 is a cross-sectional plan view taken along line XX of FIG.
  • the permanent magnet 31 when the movable portion 30 is in the horizontal state, the permanent magnet 31 is in the second position. In this second position, the permanent magnet 31 is located on the side of the rotating shaft 33a, and in this state, the permanent magnet 31 is fixed to the yoke more than the magnetic member 5a on the back of the reflecting mirror 5. It is located near the protrusion 3 7c. The permanent magnet 31 is attracted to the projection 37c of the fixed yoke 37, so that the magnetic member 5a is not attracted by the permanent magnet 31.
  • the drive magnets 35 provided on both sides of the movable part 30 are respectively disposed between the drive yoke 34 and the upright part 37 b of the fixed yoke 37. I have. Then, a drive coil 3.6 is arranged in the magnetic gap where the gap magnetic flux B is generated. Thus, when the drive coil 36 is energized, the current i acts on the magnetic flux B to generate an upward drive force F.
  • FIG. 14 is a side cross-sectional view showing a state where the movable portion 30 is located above.
  • the permanent magnet 31 approaches the magnetic member 5 a on the back of the reflection mirror 5. Then, the permanent magnet 31 is attracted to the magnetic member 5a by an attractive force, so that the movable part hook 32 is held in a state where it is in contact with the inner surface of the base 11 and the first position. Become. In this first position, the permanent magnet 31 is located just behind the magnetic member 5 a of the reflection mirror 5.
  • the magnetic member 5a is attracted in the direction of the permanent magnet 31 by the attraction force, whereby the reflecting mirror 5 is deformed into a concave shape.
  • the amount of deformation is regulated by the fact that the back surface of the reflection mirror 15 abuts the depression 11 a of the base 11.
  • the movable portion 30 is attracted by the magnetic member 5a when facing upward and is attracted by the protrusion 37c when facing downward, and the posture is maintained in each state.
  • the energization of the drive coil 36 need only be performed while the position of the movable part is being changed.
  • the movable portion 30 is configured to move between the first position and the second position by rotating, the configuration for switching between the two positions is a simple configuration. It is possible to realize.
  • the drive coil 36 and the fixed yoke 37 are provided on both sides of the reflection mirror 15 similarly to the first embodiment, and the two-axis actuator of the objective lens 6 disposed above the reflection mirror 15 is provided. It falls at the bottom of evening 7. For this reason, if the deformable mirror 15 is configured to have the same width as the width of the two-axis actuator 7, the size of the optical head will not be increased.
  • the movable section 30 including the permanent magnet 31 is configured to rotate, but is not limited to this.
  • the movable part is perpendicular to the reflection mirror 5. The translation may be performed in a straight direction or in the surface direction of the reflection mirror 5. Even in this case, since the distance between the permanent magnet 31 and the magnetic member 5a on the back of the reflection mirror 5 changes, the same effect can be obtained.
  • FIG. 15 is a sectional view showing a third embodiment of the deformable mirror 15 of the present invention.
  • the magnetic member 5a is provided over the entire back surface of the base member 5b constituting the reflection mirror 5, and the suction force is applied to the whole.
  • the concave portion 11 a of the base 11 is formed in a concave curved shape in accordance with the deformation of the reflection mirror 15. In such a configuration, the suction area is larger than when the magnetic member 5a is provided only in the central portion of the reflection mirror 5, so that even if the same gap magnetic flux density is given, a larger suction force as a whole is obtained. Can be obtained.
  • the reflecting mirror 5 is deformed following the curved surface shape of the concave portion 11a, processing for forming the curved surface of the concave portion 11a requires accuracy, but aberration correction needs to be performed more accurately. In addition, it can be deformed with high precision.
  • the switching device 10 has the same configuration as that of the first embodiment. However, the configuration is not limited to this, and the switching device 10 may have the same configuration as that of the second embodiment. It is.
  • the reflection mirror 5 ' is configured such that the base material 5b made of a glass substrate is coated with a reflection coating.
  • the base material of the reflection mirror 5 itself may be formed of a ferromagnetic material. is there.
  • 0.294 to 0.392 N (30 to 40 gf The deformation that the displacement of the vertex is about 4 is obtained by the suction force of).
  • the reflection coat also serves as a protective coating for the base material and eliminates the need for steps such as bonding and vapor deposition, the deformable mirror 15 can be manufactured at low cost.
  • the reflection mirror 5 can be made hard to break, there is an effect that handling is easier than that of a glass substrate.
  • the switching device is provided on both sides of the reflection mirror 15 in each case, but may be provided on only one side.
  • FIG. 16 schematically illustrates an optical recording / reproducing apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.
  • the optical recording / reproducing apparatus includes the optical head 100 according to the first embodiment, a rotation driving mechanism 42, a power supply unit 44, a light receiving device 53, a reproducing device 47, a tracking unit, And a focus servo mechanism 49.
  • the optical head 100 may be configured in the second or third embodiment.
  • the rotation drive mechanism 42 includes a motor (not shown), and rotates the optical disk 20 mounted on the shaft.
  • the power supply unit 44 supplies power to the optical head 100, the rotation drive mechanism 42, and the like.
  • the power supply unit 44 is configured to apply a pulse-like voltage to the switching device 10 of the optical head 100.
  • the light receiving device 53 generates a reproduction signal, a tracking error signal, and a focus error signal based on the reflected light branched by the optical head 40.
  • the reproduction device 47 reproduces information recorded on the optical disc 20 based on the reproduction signal. If the information is, for example, video information and audio information, the information is converted into a video signal and an audio signal.
  • the tracking support mechanism 48 controls the optical head 40 to compensate for the tracking error based on the tracking error signal.
  • the focus servo mechanism 49 controls the optical head 20 based on the focus error signal so as to compensate for the focus error.
  • the present optical recording / reproducing apparatus uses an optical recording / reproducing medium 20 having two recording layers, and when converging light onto the first recording layer 21 far from the light incident surface, the reflecting mirror 15 is a plane mirror. age When the light is focused on the second recording layer 22 near the light incident surface (see FIG. 2), the reflection mirror 5 is deformed into a concave shape by the switching device (see FIG. 3). At this time, a pulse-like voltage is applied only when the shape of the reflection mirror 5 is changed, so that the shape of the reflection mirror 5 changes as described above. Industrial applicability
  • the present invention includes a deformable reflection mirror, a deformable mirror that switches the reflection mirror between a deformed state and a non-deformed state, and includes a deformable mirror that corrects spherical aberration. It is useful as an optical head for recording / reproducing to / from a double-layer disc and an optical recording / reproducing device.

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Abstract

2層ディスクの記録再生用光学ヘッドでは、光透過層の厚さの違いによる球面収差補正が必要であり、小型化、低コスト化が困難である。 光を反射する反射面を有し、中央部に強磁性を有する部材が設けれた反射ミラー5と、磁力によって前記反射ミラー5の変形状態と非変形状態とを切り換える切換装置10とを備える。切換装置10は、硬質磁性部材と、この硬質磁性部材の着磁及び消磁を行う着磁部材とを有する。光入射面から遠い第1記録層21に集光する際には、反射ミラー5を平面ミラーとし、光入射面に近い第2記録層22に集光する際には、切換装置により反射ミラー5を凹面状に変形させる。

Description

明 細 書 可変形ミラ一、 光学ヘッド及び光記録再生装置 技術分野
本発明は、 光記録再生媒体に情報を記録ノ再生する光学ヘッドに関し、 特に、 2 つの記録層を持つ光記録再生媒体の光透過層の厚みの変化に伴う球面収差を補正す る光学へッド用の可変形ミラーと、 それを用いた光学へッドおよび光記録再生装置 に関するものである。 背景技術
映像情報、 音声情報またはコンピュータ用データ等を保存するため、 再生専用光 ディスク、 相変化型光ディスク、 光磁気ディスク等の光記録再生媒体が広く使用さ れている。 この光記録再生媒体は、 特にビデオテープに替わる映像記録媒体として 、 さらには高精細度ビデオ映像の記録媒体として用いられるに至り、 これらの情報 記録媒体に対する高記録密度化及び大容量化の要求は近年ますます強くなつている また、 記録密度の向上により、 小径のディスクを用いてビデオカメラ等のモバイ ル用途にも使用できるようになってきており、 モパイル機器に搭載可能なように光 学ヘッドの小型化、 低消費電力化、 低コスト化も求められている。
このような情報記録媒体の記録密度を上げるには、 光学へッドに搭載される対物 レンズの開口数 NAを大きくし、 光源の光の波長 λを短くして、 対物レンズによつ て集光される光のスポット径を小径化するとともに、 情報を記録する記録層を複数 設けることが行われている。
例えば、 C D (コンパクトディスク) では、 対物レンズの開口数 NAが 0 . 4 5 、 光源が発する光の波長が 7 8 0 nmであるのに対して、 より高記録密度化及び大 容量化がなされた D VDでは、 対物レンズの開口数 NAが 0 . 6、 光の波長が 6 5 0 nmとされている。
例えばディスクの光軸に対する傾きにより生じる収差は、 光の波長が短くなるほ ど大きくなるため、 より短波長の光を発する光源を用いる際、 良好な光スポットを 得るためには、 収差を打ち消すように光透過層の厚さを薄くすることが有効である
。 このため、 C Dでは光透過層の厚さが 1 . 2 mmとしているのに対し、 D VDで は 0 . 6 mmとなっている。
また、 再生専用の D VDとして、 2つの記録層を設けてディスク 1枚の容量を約 2倍にした 2層ディスクが実用化されている。
この 2層ディスクでは、 層間クロストークを防ぐため 2つの記録層間の間隔を 0 . 0 5 5 mmとしている。 一般に、 光透過層の厚さが変化すると、 集光された光に は球面収差が生じ光スポットが劣化するが、 この 2層ディスクの場合、 各記録層に 対する光透過層の厚さは例えば 0 . 6 mmと 0 . 5 4 5 mmとなり、 両者の差が小 さく抑えられているので、 発生する球面収差は許容範囲内に抑えられていた。 これに対し、 更なる高密度化のため、 現在では、 対物レンズの開口数 NAが 0 . 8 5、 光の波長が 4 0 5 nmとされ、 光透過層の厚さが 0 . 1 mm程度のものの使 用が考えられている。 このようなディスクで 2層ディスクを構成する場合、 2層間 の間隔を 0 . 0 2 5 mm程度設ける必要があり、 2つの記録層のそれぞれに対する 光透過層の厚さは例えば 0 . 1 mmと 0 . 0 7 5 mmとなるので、 このような光透 過層の厚さの違いにより生じる球面収差はもはや許容できない。
そのため、 光透過層の厚さに応じて発生する球面収差を補正する方法が種々提案 されている。
例えば、 特開平 9一 1 5 2 5 0 5号公報には、 張力を与えた薄膜ミラーを静電力 等で変形させて球面収差を補正する方法が開示されている。
また、 特開平 1 1— 2 5 9 8 9 3号公報には、 光源と対物レンズとの間に配され たコリメ一夕レンズを移動させることによって、 対物レンズに入射する平行光の広 がり角度を変え、 これにより対物レンズの入射側の N Aを変化させて球面収差を補 正することが開示されている。
しかし、 このような従来の方法では、 以下のような課題があった。
まず、 薄膜ミラーを変形させる構成では、 ミラーの初期状態を良好な平面に製作 することが非常に困難でありコスト高となる。 また、 環境温度変化に対しても平面 度を維持できるように薄膜ミラーに充分高い初期張力を与えると、 ミラ一を変形さ せるために非常に大きな静電力を要し、 高い電圧で駆動する必要がある。
さらに、 薄膜ミラ一を変形した状態に維持するには、 電圧を印加し続ける必要が あり、 大きな消費電力を要するので、 2つの記録層に対して球面収差の補正量を切 り替えるような用途には適さない。
一方、 コリメータレンズを移動させる構成では、 光学系の光路上に、 レンズの移 動スパン、 ガイド構造、 駆動ァクチユエ一夕等を配置するスペースが必要で、 光学 へッドを小型化できない。
また、 コリメータレンズは対物レンズのすぐ近くには配置できないため、 コリメ —夕レンズの移動によって平行光の広がり角度を変える構成にすると、 対物レンズ との距離に応じて、 レーザービームの利用効率や R I M強度 (入射瞳の強度の MA X点を 1 0 0 %としたときの瞳のエッジでの強度比) が大きく変化し、 このため光 学系の設計が困難となる。 発明の開示
本発明は、 上記課題を解決し、 2つの記録層に対して光透過層の厚さの違いに応 じて球面収差を切り替える簡単な構造の可変形ミラ一を提供し、 さらには、 モバイ ル機器にも搭載できるような小型で且つ低消費電力であり、 しかも低コストの光学 ヘッドおよび光記録再生装置を提供することを目的とするものである。
上記目的を達成するために、 本発明は、 光を反射する反射面を有し、 少なくとも' 一部の部位が強磁性を有する部材によって構成される反射ミラ一と、 磁力によって 前記反射ミラーの変形状態と非変形状態とを切り換える切換装置とを備え、 前記切 換装置は、 硬質磁性部材と、 この硬質磁性部材の着磁及び消磁を行う着磁部材とを 有している可変形ミラーとした。
前記硬質磁性部材を前記着磁コイルで着磁することにより、 前記反射ミラーにお ける強磁性を有する部材を吸引して前記反射ミラーを前記変形状態とし、 前記着磁 コイルで前記硬質磁性部材を消磁することにより、 前記反射ミラーを前記非変形状 態に復元させる構成とするのが好ましい。
前記着磁部材は、 ヨークと、 着磁コイルと、 サブコイルとを含むものであっても よい。 前記サブコイルおよび前記ヨークの少なくとも一部を、 前記反射ミラーの背面と その側部に配置するのが好ましい。
光を反射する反射面を有し、 少なくとも一部の部位が強磁性を有する部材によつ て構成される反射ミラーと、 磁力によって前記反射ミラーの変形状態と非変形状態 とを切り換える切換装置とを備え、 前記切換装置は、 永久磁石と、 この永久磁石を 前記反射ミラーに磁力が作用する第 1位置と、 この第 1位置よりも前記強磁性を有 する部材から離れた第 2位置との間で移動させる可動機構とを有している構成とす ることも可能である。
前記可動機構は、 前記第 2位置にある前記永久磁石を前記第 1位置に移動させる ことにより、 前記強磁性を有する部材を吸引して前記反射ミラーを前記変形状態と し、 前記第 1位置にある前記永久磁石を前記第 2位置に移動させることにより、 前 記反射ミラーを非変形状態に復元させる構成とするのが好ましい。
前記可動機構は、 前記永久磁石を支持する可動部と、 この可動部を回動可能に支 持する固定部と、 前記可動部を前記第 1位置と前記第 2位置との間で回動動作させ る駆動部とを有している構成とすることができる。
前記駆動部の少なくとも一部を前記反射ミラーの側部に配置するのが好ましい。 前記駆動部は、 前記第 2位置の永久磁石を吸引するヨークと、 このヨークに装着 された駆動コイルと、 駆動磁石とを含むのが好ましい。
前記反射ミラーは、 ガラス板からなる基材を備え、 前記強磁性を有する部材は、 前記基材の少なくとも一部に設けられている構成とすることができる。
また、 前記反射ミラーは、 強磁性を有する板材を基材としている構成とすること もできる。
前記強磁性を有する部材は、 前記ヨークとともに磁気回路の一部を構成するのが 好ましい。
前記反射面は、 前記基材の表面に形成された反射コートによって構成されている のが好ましい。
前記反射コートは、 誘電体多層膜からなるのが好ましい。
前記反射コートは、 前記基材の両面にそれぞれ設けられている構成としてもよい また、 前記反射コートは、 前記基材の一方の面に設けられ、 前記基材の他方の面 には、 前記反射コ一卜と同等の熱膨張率を有するカウンタコートが設けられている 構成としてもよい。
前記強磁性を有する部材は、 硬質磁性体からなる構成としてもよい。
ベースと、 前記ベースによって支持される保持部材とを備え、 前記反射ミラーは 、 前記保持部材によって弹性的に保持され、 前記ベースに前記切換装置が組み込ま れている構成とするのが好ましい。
前記べ一スには、 前記反射ミラーの変形方向に窪んだくぼみ部が設けられており 、 前記反射ミラ一は、 前記べ一スのくぼみ部を覆うように保持され、 かつ、 前記切 換装置によって変形される際に前記くぼみ部に当接することで、 その変形した状態 に保持される構成とされているのが好ましい。
前記反射ミラ一は、 略楕円形状に形成されており、 前記ベースのくぼみ部は、 前 記反射ミラ一の形状に対応した略楕円形状に形成されているのが好ましい。
前記保持部材は、 前記反射ミラーをばね力で前記ベースに押さえ付ける構成とす ることができる。
前記保持部材は、 前記ベースに組み付けられる基部と、 この基部から延出される 板ばね部と、 この板ばね部に結合され且つ前記反射ミラ一を押さえ付ける押さえ枠 部とからなるのが好ましい。
前記保持部材は、 弹性接着剤によつて構成されていてもよい。
本発明は、 光情報記録媒体へ光を集光させるように構成された光学へッドであつ て、 前記光情報記録媒体へ光を集光させる対物レンズと、 前記対物レンズを駆動す る対物レンズァクチユエ一夕と、 前記可変形ミラーとを備え、 前記可変形ミラ一は 、 光源から出射された光を前記対物レンズへ向かって反射させるように設置されて いる光学へッドとしてもよい。
この場合において、 前記可変形ミラ一は、 前記対物レンズァクチユエ一夕の下部 の空間に設けられているのが好ましい。
本発明は、 2つの記録層が設けられた光記録再生媒体に光を集光し、 この光記録 再生媒体への情報記録及び記録情報の読み出しの少なくとも一方を行う光記録再生 装置であって、 前記光学ヘッドと、 前記光学ヘッドに前記反射ミラーの状態を切り 換えるための電力を給電する給電部とを備えている光記録再生装置としてもよい。 この場合において、 前記可変形ミラ一は、 光入射面から遠い第 1の記録層に集光 する際には、 前記反射ミラーを平面ミラ一とし、 光入射面に近い第 2の記録層に集 光する際には、 前記反射ミラーを前記反射面が凹面状になる凹面ミラーに変形させ るのが好ましい。
前記給電部は、 前記反射ミラーの状態を切り換える時のみパルス状の電圧を印加 するのが好ましい。
本構成によって、 簡単な構成で球面収差を補正する可変形ミラーを実現でき、 ま た小型で低消費電力の光学へッドおよび光記録再生装置を実現することができる。 また、 本発明の可変形ミラーによれば、 2層ディスクの光透過層の厚さの違いに よる球面収差を、 簡単な構成で安価に補正する可変形ミラーを提供し、 小型の光学 へッドを実現できる。
また、 対物レンズの付近で平行光の広がり角度を切り替える構成にできるので、 レーザービームの利用効率や R I M強度の変化が抑えられ、 光学系の設計が容易と なる。
また、 球面収差の補正には、 2層の切替時にのみ短時間通電すればよいので、 補 正のために要する消費電力は最小限でよい。
従って、 消費電力も少なく、 モパイル機器にも搭載できるような、 小型、 低消費 電力で低コストの光学へッドおよび光記録再生装置を実現できる。 図面の簡単な説明
図 1は、 本発明の実施形態 1による光学へッドの構成を概略的に示す図である。 図 2は、 前記光学ヘッドにおいて、 2層光ディスクの第 1記録層に集光した状態 を示す側面図である。
図 3は、 前記光学ヘッドにおいて、 2層光ディスクの第 2記録層に集光した状態 を示す側面図である。
図 4は、 前記光学へッドに設けられる可変形ミラーの全体構成を示す斜視図であ る。
図 5は、 前記可変形ミラーの断面図である。 図 6は、 前記可変形ミラーを構成部品毎に分解して示す斜視図である。
図 7は、 サブコイルによる作用を説明するための説明図である。
図 8は、 2軸ァクチユエ一夕と可変形ミラーとの位置関係を示す図である。
図 9は、 本発明の実施形態 1における弾性支持部材を接着剤で構成した別の例を 示す断面図である。
図 1 0は、 本発明の可変形ミラーの第 2実施形態を示す斜視図である。
図 1 1は、 前記可変形ミラ一を構成部品ごとに分解して示す斜視図である。 図 1 2は、 前記可変形ミラーの内部構造を示す側面断面図である。
図 1 3は、 図 1 2の X— X線における断面図である。 · 図 1 4は、 前記可変形ミラーにおいて、 可動部が上方に位置する状態を示す図 1
2相当図である。
図 1 5は、 本発明の可変形ミラ一の第 3実施形態を示す断面図である。
図 1 6は、 本発明の第 4実施形態による光記録再生装置の構成を概略的に示す図 である。 発明を実施するための最良の形態
以下、 本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
(実施の形態 1 )
図 1は、 本発明の実施形態 1による光学へッドの構成を示す概略図である。
図 1に示すように、 光学へッド 1 0 0は、 レーザー光源 1と、 偏光ビ一ムスプリ ッタ 2と、 コリメ一夕レンズ 3と、 1 Z 4波長板 4と、 反射ミラ一 5を有する可変 形ミラー 1 5と、 対物レンズ 6と、 集光レンズ 8と、 光検出器 9とを備えている。 レーザー光源 1は、 レーザービームを出射する。 偏光ビ一ムスプリッ夕 2は、 一方 から入射されたレーザービームを透過する一方、 他方から入射されたレーザービー ムを反射する。
1 Z 4波長板 4は、 光の偏光方向を変換する。 反射ミラー 5は、 光軸方向を偏向 する。 対物レンズ 6は、 レーザービームを 2層光ディスク 2 0の情報記録面に集光 させる。 集光レンズ 8は、 2層光ディスク 2 0からの反射光を光検出器 9の受光部 に集光させる。 前記光学へッド 100において、 レーザ一光源 1から射出されたレーザービーム は、 偏光ビームスプリッタ 2を通過した後、 コリメータレンズ 3で平行光にビーム 整形され、 1Z4波長板 4を通って反射ミラ一 5で方向を 90度折り返し、 対物レ ンズ 6で集光されて、 2層光ディスク 20の情報記録面に焦点を結ぶ。 そして、 2 層光ディスク 20の情報記録面から反射したレーザ一ビームの反射光は、 対物レン ズ 6、 反射ミラ一 5、 1/4波長板 4、 コリメ一夕レンズ 3及び偏光ビ一ムスプリ ッ夕 2をこの順に通り、 集光レンズ 8を介して光検出器 9上に像を結ぶ。
対物レンズ 6は、 2軸ァクチユエ一夕 7に搭載されており、 光検出器 9から得ら れたサーポ信号に基づいて 2層光ディスク 20に対してフォーカスサーポ動作及び トラッキングサーポ動作を行う。
次に、 図 2、 図 3を参照して 2層光ディスク 20と可変形ミラ一 15について説 明する。
図 2は、 2層光ディスク 20の第 1記録層 21に集光した状態を示す側面図であ り、 図 3は、 2層光ディスク 20の第 2記録層 22に集光した状態を示す側面図で ある。
2層光ディスク 20は、 基板 23の表面に第 1記録層 21を設け、 この第 1記録 層 21の表面に中間層 24を挟んで第 2記録層 22を設け、 この第 2記録層 22の 表面にさらにカバー層 25を積層した構造となっている。
直径 12 cmの 4. 7GBの DVDに対し、 波長 405 nmのレーザ一と、 開口 数 NAが 0. 85の対物レンズを用いると、 1層当たり約 25GB、 2層で約 50 G Bの記録容量が得られる。
このようなディスクでは、 ディスクの光軸に対する傾きにより発生する収差を D VDと同程度に抑えるために光透過層の厚さを 0. 1mmとしている。 単層デイス クの場合は、 カバ一層 25の厚さが光透過層の厚さとなるので、 0. 1mmのカバ 一層 25を設けることになる。 これに対し、 2層光ディスクの場合は、 中間層 24 の厚さが 0. 025mm必要であるので、 カバ一層 25の厚さは 0. 075mmと なる。 すなわち、 第 1記録層 21に集光する際は、 光透過層の厚さ t 1 = 0. lm mであり、 第 2記録層 22に集光する際には、 カバ一層 25と中間層 24とからな る光透過層の厚さは、 カバ一層 25の厚さ t 2 = 0. 075mmとなる。 一方、 可変形ミラ一 1 5は、 反射ミラー 5を備えている。 反射ミラ一 5は薄い板 状のミラーであり、 例えば厚さ 0 . 1 mm程度のガラス基板を基材 5 bとし、 この 基材 5 bの表面に反射コートを施して成る。 この反射コートの表面が、 光を反射す るための反射面となっている。 基材 5 bは、 外力が付加されない自然状態では反射 によってレーザ一光が乱れず、 良好な平面度が維持でき、 かつ、 所定の力で変形し 得るように厚さ等が設定されている。
例えば、 3〜4 mm程度のビーム径に対しては、 ガラス基板の厚さを 0 . 0 5 m mから 0 . 2 mmの間に設定すると、 外力が作用しない限り平面度を維持でき、 か つ、 許容応力内で収差補正に必要な変形をさせることができる。 この反射ミラー 5 は、 自重のみによっては変形しない。 したがって、 反射ミラー 5は、 薄膜によって 形成されるものと異なり、 平面度を維持するために張力を与え続けるといったこと が不要となっている。
9 9 %以上の充分な反射率を得るには反射コ一トとして誘電体多層膜を用いる。 この誘電体多層膜の層数や誘電体の種類は、 光の波長、 反射率等に応じて適宜選択 することができる。
ミラ一の基材とコ一ティング膜とは熱膨張率が異なるので、 基材が薄い場合には 反射ミラ一 5のそりが問題となる。 この場合、 反射コートはミラ一の両面に施すか 、 または反射コ一トを表面側に施すとともに背面側に反射コ一トと同等の熱膨張率 を持つカウンタコー卜を施すのが望ましい。 こうすれば、 応力パランスが取りやす くなつて、 反りが生じ難くできる。
反射ミラー 5は、 ベース 1 1に形成されたくぼみ部 1 1 aを覆うように配置され ている。 そして、 反射ミラー 5は、 脱落しないようにその外周部が弹性部材 1 2に よって保持されている。
反射ミラ一 5には、 強磁性を有する磁性部材 5 aが設けられている。 この磁性部 材 5 aは、 基材 5 bの裏面における中央部に配設されている。 磁性部材 5 aを設け る方法には、 有磁性ステンレス鋼板や珪素鋼板等を接着する方法、 スパッタ法ゃ真 空蒸着法により鉄基酸化物等の磁性膜を形成する方法、 磁性粉を塗布する方法など がある。
反射ミラ一 5の背後には、 切換装置 1 0が設けられている。 そして、 駆動回路 1 0 1によって切換装置 1 0に通電されると磁気吸引力 Fが発生し、 反射面が凹面状 になるように反射ミラ一 5を変形させる。 そして、 吸引力 Fをなくせば、 反射ミラ —5はもとの平面ミラーに復元する。 例えば、 厚さ 0 . 1 mmのガラスミラ一に対 して 0 . 0 9 8〜0 . 1 4 7 N ( 1 0〜; L 5 g f ) の吸引力を発生させると、 頂点 (反射ミラ一 5の中心部) の変位が約 4 mとなる変形が得られる。
本実施形態の光学ヘッドの光学系は、 図 2に示すように、 反射ミラ一 5が平面板 状である非変形状態で第 1記録層 2 1に集光し、 t l = 0 . 1 mmの光透過層を透 過して良好な光スポッ卜が得られるように設計される。
このような光学系で、 図 3に示すように、 第 2記録層 2 2への集光に切り替える には、 フォーカス信号にオフセットを与え、 対物レンズ 6を一旦下方へ下げてから 第 2記録層 2 2へ再度フォーカス引き込み動作を行う。 この時、 光透過層は t 2 = 0 . 0 7 5 mmと薄くなるので、 球面収差が発生する。
これを補正するため、 駆動回路 1 0 1によって切換装置 1 0に吸引力を発生させ 、 反射ミラー 5を凹面状に変形させて、 対物レンズ 6に入射する平行光を収束光に 変換する。 これにより光透過層の厚さの違いによる球面収差は補正される。
光透過層の厚さの違い (中間層 2 4の厚さ) に応じて予め設定される変形量だけ 反射ミラ一 5を変形させることにより、 平行光を収束させる度合いが決定される。 反射ミラー 5の変形量は、 ベース 1 1のくぼみ部 1 1 aによって規制される。 そし て、 反射ミラ一 5がくぼみ部 1 1 aに当接し、 それが維持されるだけの十分な吸引 力 Fを与えることにより、 一定の変形量が保たれるようになっている。
反射ミラー 5の変形量は、 くぼみ部 1 1 aの深さに応じた値となる。 このくぼみ 部 1 1 aの深さは、 光透過層の厚さの違い、 対物レンズ 6の NA等によって光学的 に決定される。 そして、 くぼみ部 1 1 aを構成する数 ^ m程度の段差を誤差 ± 1 0 %以内で正確に形成する必要がある。
くぼみ部 1 1 aを構成する微小な段差を正確に形成するには、 反射ミラ一 5を支 持するベース 1 1の表面を鏡面仕上げとする。 また、 段差を形成する方法としては 、 くぼみ部 1 1 aの領域をエッチング等の方法で削り取って段差を設ける方法や、 逆にベース 1 1の外周部を無電解ニッケルめっき等の方法により肉盛して段差を形 成する方法等がある。 また、 くぼみ部 1 1 aを平坦な鏡面に形成する一方、 反射ミ
0 ラー 5の外周部における背面側に所定高さの段差を肉盛する方法もある。
反射ミラ一 5を反射面が凹面状になるように変形させると、 くぼみ部 1 1 aより も外周側に位置する部分はベース 1 1から離れる方向に変位する。 このとき、 反射 ミラ一 5の外周部を弹性部材 1 2によって弹性的に保持していることで、 反射ミラ 一 5は無理なく湾曲面状に変形し、 ミラ一全体が凹面状となる。
反射ミラ一 5の外周部をベース 1 1に固着固定したとすると、 外周部分が変位し なくなるので、 この場合には凹面状に変形する領域が小さくなる。 この結果、 相対 的により大きなミラーが必要となる。
これに対し、 本実施形態では、 反射ミラー 5の外端部を弾性部材 1 2によってベ —ス 1 1に対して変位可能に支持しているので、 コンパクトな反射ミラ一 5にする ことができる。 また、 外周部をベース 1 1に固着固定する場合に比べて、 より小さ な吸引力で所定の変形量を得ることができ、 また反射ミラ一 5に発生する応力も小 さく抑えることができる。
従って、 本発明のように、 反射ミラ一 5の外周部は弾性部材 1 2によって弹性的 に保持するのが好適である。
次に、 本発明の可変形ミラー 1 5の構成をさらに具体的に説明する。
図 4は、 本発明の可変形ミラー 1 5の構成を示す斜視図であり、 図 5はその断面 図であり、 図 6は分解斜視図である。
図 4から図 6において、 反射ミラ一 5は、 ベース 1 1に対して、 くぼみ部: L l a を覆うように設置され、 弾性支持部材 1 2によって保持されている。 反射ミラー 5 の背面には、 強磁性を有する磁性部材 5 aが設けられている。
すなわち、 本可変形ミラー 1 5は、 ベース 1 1と、 このベース 1 1によって支持 される保持部材 1 2と、 この保持部材 1 2によって弹性的に保持され、 かつ光を反 射させる反射面を有する反射ミラ一 5と、 この反射ミラ一 5の変形状態と非変形状 態とを切り換える切換装置 1 0とを備えている。
円形のレーザ一ビームは、 図 4に矢印 Aで示すように、 反射ミラー 5に対し 4 5 度の方向から入射し、 9 0度折り返して矢印 Bの方向に反射して、 その上方に配置 された対物レンズ 6に入射する。 したがって、 反射ミラー 5に入射されるビームの 断面は楕円形状となり、 それに合わせて反射ミラー 5は楕円形になっている。 ここで、 ベース 1 1は、 その上面が底面に対して傾斜した横長ブロック状の本体 部 1 1 bと、 この本体部 1 1 bに形成された前記くぼみ部 1 1 aとを備えている。 くぼみ部 1 1 aは、 本体部 1 1 bの上面における中央部に設けられている。 くぼみ 部 1 1 aは、 前述したように楕円形状に形成され、 かつその全体に亘つて一定の深 さを有するように形成されている。 この楕円形状は、 横から見たときに円形になる ような形状のものである。
また、 くぼみ部 1 1 aには、 前記上面とその裏面とを貫通する貫通孔 1 1 cが形 成されている。 この貫通孔 1 1 cは、 前記反射ミラ一 5の磁性部材 5 aが没入可能 な大きさに構成されている。
図 6に示すように、 本体部 1 1 bの長さ方向の両端部には、 それぞれ切欠き部 1 1 dが形成されている。 つまり、 くぼみ部 1 1 aの両側にそれぞれ切欠き部 1 1 d が設けられている。 両切欠き部 l i dは、 それぞれ矩形断面状に形成されており、 後述のサブコイル 1 0 dを収納可能な大きさとされている。
弾性支持部材 1 2は、 薄い金属板をプレス加工した部材であり、 基部 1 2 cと板 ばね部 1 2 aと押さえ枠部 1 2 bとが一体に形成されている。 弾性支持部材 1 2は 、 例えばばね鋼ゃステンレス鋼等によつて形成することができる。
基部 1 2 cは、 ベース 1 1の本体部 1 1 bに組み付けられる矩形枠状に形成され るものであり、 本体部 1 1 bをその両側から挟み込む爪部 1 2 dを有している。 こ れにより、 弾性支持部材 1 2は、 ベース 1 1に係合されるようになつている。 板ばね部 1 2 aは、 基部 1 2 cの四隅からそれぞれ内側に向かって延出されてい る。 板ばね部 1 2 aは、 その板厚方向に弾性変形可能となっている。
押さえ枠部 1 2 bは、 反射ミラー 5の外周部に沿った楕円状の円周状に形成され るものであり、 各板ばね部 1 2 aの先端部 (内端部) を接続している。
このように形成された弾性支持部材 1 2をべ一ス 1 1に取り付けると、 爪部 1 2 dが本体部 1 1 bと係合して弾性支持部材 1 2の基部 1 2 cが位置決めされる。 そ して、 この状態で板ばね部 1 2 aがわずかに撓んで押さえ枠部 1 2 bが反射ミラー 5を押さえて保持するようになっている。
可変形ミラー 1 5は、 反射ミラー 5を変形状態と非変形状態とに切り換える切換 装置 1 0を備えている。 この切換装置 1 0は、 硬質磁性部材 1 0 aと、 着磁部材 1 0 f とを備えている。
前記硬質磁性部材 1 0 aは、 強い保磁力を有する硬質磁気材料からなる部材であ り、 ベース 1 1内に組み込まれている。 そして、 硬質磁性部材 1 0 aは、 その先端 が磁性部材 5 aに対向するようにべ一ス 1 1の貫通孔 1 1 cの裏側に配置されてい る。
前記着磁部材 1 0 fは、 硬質磁性部材 1 0 aに固着されたヨーク 1 0 bと、 硬質 磁性部材 1 0 aに巻き付けられた着磁コイル 1 0 cとを有する。
着磁コイル 1 0 cに通電することで所定の起磁力を発生し、 硬質磁性部材 1 0 a を着磁または消磁することができるようになつている。
硬質磁性部材 1 0 aは一旦着磁されると、 着磁コイル 1 0 cの通電をなくしても 磁界を保持し、 所定の磁束密度を与えて磁性部材 5 aを吸引する。
このとき、 磁性部材 5 aは、 反射ミラ一 5の背面がベース 1 1のくぼみ部 1 1 a に当接するまで吸引され、 反射ミラー 5は、 くぼみ部 1 1 aに当接した変形状態と なる。 これにより、 反射ミラー 5は、 反射面が凹面状となる湾曲面状で、 かつ一定 の変形量に維持される。'
硬質磁性部材 1 0 aに着磁するには、 必要な磁界を発生するに充分な電圧パルス を着磁コイル 1 0 cに印加する。 磁性部材 5 aの変位量は数ミク口ン程度であり、 1 0〜数 1 0ボルト程度の電圧パルスを与えることで、 変形状態と非変形状態を切 り換え可能な着磁及び消磁を行うことができると考えられる。
磁化された硬質磁性部材 1 0 aを消磁する際には、 徐々に減衰する交番電圧を着 磁コイル 1 0 cに印加し完全に消磁する方法と、 着磁電圧よりも低い逆電圧を印加 して、 残留磁束をほぼゼロにする方法とがある。
図 Ίに示すように、 ヨーク 1 0 bは、 ベース 1 1の両側部に延伸されており、 このヨーク 1 0 bの両延伸部 1 0 eにはそれぞれサブコイル 1 0 dが設けられてい る。
図 7は、 サブコイル 1 0 dの位置関係を示している。 同図に示すように、 着磁コ ィル 1 0 cが、 例えば着磁時に磁界 H Iの向きに磁界を発生するのに対し、 ヨーク 延伸部 1 0 eに巻かれたサブコイル 1 0 dは、 H 2の向きの磁界を発生するよう通 電される。 すなわち、 サブコイル 1 0 dには、 着磁コイル 1 0 cの発生する磁界 H
3 1を、 ヨーク 1 O b及びヨーク延伸部 1 0 eを介して増強するよう通電される。 このような構成により、 着磁コイル 1 0 cだけを設けた場合に比べ、 より低い電 圧で大きな起磁力が得られる。
また、 サブコイル 1 0 dが配置されるスペースは、 その上方に設けられた対物レ ンズ 6の 2軸ァクチユエ一夕 7のちようど下側に当たる。 このため、 サブコイル 1 0 dが 2軸ァクチユエ一夕 7の幅と同程度になるように可変形ミラー 1 5を構成す れば、 これによつて光学へッドが大型化することはない。
具体的に説明すると、 2層光ディスク 2 0側から見た図 8に示すように、 対物レ ンズァクチユエ一タである 2軸ァクチユエ一夕 7は、 固定部 7 dと、 この固定部 7 dにサスペンションワイヤ 7 bを介して変位可能に接続された対物レンズホルダ 7 aと、 対物レンズホルダ 7 aに駆動力を付与する磁気回路 7 cとを備えている。 対 物レンズ 6は、 対物レンズホルダ 7 aに保持されている。 磁気回路 7 cは、 レーザ —ビーム 1 0 2の光軸方向における対物レンズホルダ 7 aの両側にそれぞれ配設さ れており、 前記サブコイル 1 0 dは、 これと直交する方向に並んでいる。
以上説明したように、 本実施形態では、 反射ミラー 5の磁性部材 5 aを吸着する のに硬質磁性部材 1 0 aを用いるようにしたので、 着磁時又は消磁時にだけ着磁コ ィル 1 0 cに通電するだけで、 反射ミラ一 5を変形状態と非変形状態とに切り換え ることができる。 したがって、 消費電力を低減することができ、 モパイル機器にも 好適なものとすることができる。
しかも、 反射ミラ一 5の背面側に配設されるベ一ス 1 1にくぼみ部 1 1 aを設け て、 このくぼみ部 1 1 aに反射ミラ一 5を当接させることによって反射ミラー 5の 変形を規制するようにしたので、 簡易な構成で反射ミラ一 5の変形量を精度よく維 持することができる。
また、 本実施形態では、 反射ミラ一 5を楕円形にしたので、 反射ミラー 5を対物 レンズのすぐ近くに配置するのに好適なものとなっている。
また、 本実施形態では、 反射ミラ一 5をばね支持するための弾性支持部材 1 2を ベース 1 1に嵌め込んで可変形ミラ一 1 5を組み立てる構成としているので、 可変 形ミラ一 1 5の組立て性に優れる。
ここで、 本実施形態の変形例について説明する。 図 9に弹性支持部材 1 2の別の実施例を示している。 同図に示すように、 弾性支 持部材 1 2は、 固化後も弾性を持つ接着剤によって構成されている。 そして、 この 弹性支持部材 1 2は、 反射ミラ一 5の外周部を弾性的に保持しており、 前述の構成 と同様の動作が可能となっている。 この場合、 前記接着剤は、 反射ミラ一 5の変形 ムラが生じないように反射ミラ一 5の外周の全周に渡つて均一に塗布するのが望ま しい。
接着剤として、 変性ァクリルを主成分とする紫外線硬化樹脂からなるものを用い ることができる。 特に、 柔軟な硬化物を形成するものが好適であり、 例えば、 スリ —ェム社製スリ一ポンド 3 0 8 1 Bを用いることができる。
また、 本実施形態では、 反射ミラ一 5に磁性部材 5 aを設ける構成としたが、 こ れに代え、 反射ミラーに硬質磁性体を設ける構成としてもよい。
(実施の形態 2 )
次に、 本発明の可変形ミラー 1 5の第 2の実施の形態について具体的に説明する 。 ここでは、 前記実施の形態 1と同一の構成要素には同一の符号を付し、 その説明 を省略する。
図 1 0は、 本発明の可変形ミラー 1.5の第 2の実施の形態を示す斜視図であり、 図 1 1は、 その構成部材ごとに分解して示す斜視図である。 反射ミラー 5、 ベース 1 1、 弾性支持部材 1 2の構成は前記実施の形態 1と同様である。
図 1 0、 図 1 1に示すように、 ベース 1 1には軸溝 1 l bが形成されており、 ベ ース 1 1内には、 この軸溝 1 1 bに回動可能に支持される可動部 3 0が組み込まれ ている。
可動部 3 0は、 可動部ベース 3 3と、 駆動ョ一ク 3 4と、 駆動磁石 3 5とを備え ている。
可動部べ一ス 3 3には、 中央に大きく矩形凹部 3 3 bが形成されている。 また可 動部ベース 3 3の両側には、 それぞれ回動軸 3 3 aが設けられている。 この回動軸 3 3 aは、 ベース 1 1上面に形成されている貫通孔 1 1 cに対して位置ずれしたと ころをベース 1 1上面と平行な方向に延びており、 この回動軸 3 3 aは前記軸溝 1 l bに挿入されている。 そして、 可動部ベース 3 3は、 回動軸 3 3 a回りに回動可 能となっている。 つまり、 可動部ベース 3 3は、 ベース 1 1によって回動可能に支
5 持されている。
駆動ヨーク 3 4と駆動磁石 3 5は、 矩形凹部 3 3 bの両側に位置する腕部の先端 にそれぞれ固定されている。 これらが可動部ベース 3 3の回動軸 3 3 a回りに回動 する回動部となっている。
矩形凹部 3 3 b内には、 永久磁石 3 1と回動部ヨーク 3 2とが配設されている。 永久磁石 3 1は回動部ヨーク 3 2に固定されており、 回動部ヨーク 3 2は可動部べ —ス 3 3に取り付けられている。 したがって、 永久磁石 3 1は可動部べ一ス 3 3に 支持されており、 永久磁石 3 1及び回動部ヨーク 3 2は、 可動部べ一ス 3 3と一体 となって回動軸 3 3 a回りに移動可能となっている。
ベース 1 1の下部には固定ヨーク 3 7が設けられている。 この固定ヨーク 3 7は 、 底部 3 7 dと、 この底部 3 7 dに接続された支持突起 3 7 aと、 底部 3 7 dの両 端部から起立する直立部 3 7 bと、 底部 3 7 dの背面側から起立する突起部 3 7 c とからなる。 前記支持突起 3 7 aは前記軸溝 1 1 bとの間に前記回動軸 3 3 aを挟 み込み、 回動軸 3 3 aを下から支える。 前記直立部 3 7 bには、 それぞれ駆動コィ ル 3 6が取り付けられている。 前記突起部 3 7 cは、 ベース 1 1の下端部から背面 部に沿つて上方に延びている。
図 1 2は、 実施の形態 2の内部構造を示す断面側面図であり、 図 1 3は、 図 1 2 の X— X断面平面図である。
図 1 2に示すように、 可動部 3 0が水平状態にあるときに永久磁石 3 1は第 2位 置となっている。 この第 2位置では、 永久磁石 3 1は回動軸 3 3 aの側方に位置し ており、 この状態で永久磁石 3 1は、 反射ミラー 5の背面の磁性部材 5 aよりも固 定ヨーク 3 7·の突起部 3 7 cの近くに位置している。 そして、 永久磁石 3 1は、 固 定ヨーク 3 7の突起部 3 7 cに吸引されており、 磁性部材 5 aには永久磁石 3 1に よる吸引力が及ばないようになつている。
図 1 3に示すように、 可動部 3 0の両側部に設けられた駆動磁石 3 5は、 それぞ れ駆動ヨーク 3 4と固定ヨーク 3 7の直立部 3 7 bとの間に配置されている。 そし て、 ギヤップ磁束 Bが発生する磁気ギヤップに駆動コイル 3 .6が配置されている。 これにより、 駆動コイル 3 6に通電すると、 電流 iが磁束 Bに作用して、 上向きの 駆動力 Fが発生するよう構成されている。
6 そして、 駆動力 Fが永久磁石 3 1と突起部 3 7 cとの間に生じている吸引力を上 回ると、 可動部 3 0はその吸引力に逆らって上方へ回動する。
図 1 4は、 可動部 3 0が上方に位置する状態を示す側面断面図である。
図 1 4において、 永久磁石 3 1は、 反射ミラー 5の背面の磁性部材 5 aに接近す る。 そして、 永久磁石 3 1は、 磁性部材 5 aとの間に吸引力が働いて、 可動部ョ一 ク 3 2がべ一ス 1 1の内面に当接した状態で保持される第 1位置となる。 この第 1 位置において、 永久磁石 3 1は、 反射ミラ一 5の磁性部材 5 aのちようど裏側に位 置している。
同時に、 磁性部材 5 aは前記吸引力によって永久磁石 3 1の方向に引き付けられ 、 これにより反射ミラー 5は凹面状に変形する。 その変形量は、 反射ミラ一 5の背 面がベース 1 1のくぼみ部 1 1 aに当接することで規制されている。
この状態で、 駆動コイル 3 6に逆向きに電流を通電すると、 上述とは逆に下向き の駆動力が発生し、 これにより、 磁性部材 5 aとの吸引力に打ち勝って、 可動部 3 0は下方へ回動駆動され、 図 1 2の第 2位置の状態に戻る。
すなわち、 可動部 3 0は、 上方に位置する峙は磁性部材 5 aに吸引され、 また下 方に位置する時は突起部 3 7 cに吸引され、 それぞれの状態で姿勢が維持されるの で、 駆動コイル 3 6への通電は可動部の位置を変更する間だけでよい。
このような構成により、 2層ディスクへの記録再生時、 2層を切り換える時の短 時間のみ駆動コイル 3 6に通電するだけで、 光透過層の厚さの違いによる球面収差 を補正することができる。
しかも、 本実施形態 2では、 可動部 3 0が回動することによって第 1位置と第 2 位置との間を移動するように構成しているので、 両位置を切り換える構成を簡素な な構成で実現することが可能となっている。
また、 駆動コイル 3 6や固定ヨーク 3 7は、 実施の形態 1と同様に、 反射ミラ一 5の両側にそれぞれ設けられており、 その上方に配設された対物レンズ 6の 2軸ァ クチユエ一夕 7の下部に当たる。 このため、 可変形ミラ一 1 5を 2軸ァクチユエ一 夕 7の幅と同程度に構成すれば光学へッドがこれにより大型化すること,はない。 なお、 本実施の形態 2では、 永久磁石 3 1を備えた可動部 3 0が回動する構成と したが、 これに限られるものではない。 例えば、 可動部を反射ミラー 5に対して垂 直な方向に平行移動させても良いし、 反射ミラー 5の面方向に平行移動させても良 い。 このようにしても、 永久磁石 3 1と反射ミラ一 5の背面の磁性部材 5 aの距離 が変化するので、 同等の効果を得ることができる。
その他の構成、 作用及び効果は、 その説明を省略するが、 前記実施の形態 1と同 様である。
(実施の形態 3 )
次に、 本発明の可変形ミラー 1 5の第 3の実施の形態について説明する。 ここで は、 前記実施の形態 1と同一の構成要素には同一の符号を付し、 その説明を省略す る。
図 1 5は、 本発明の可変形ミラー 1 5の第 3実施形態を示す断面図である。 同図 に示すように、 磁性部材 5 aは、 反射ミラー 5を構成する基材 5 bの背面の全面に 亘つて設けられており、 吸引力が全体に及ぶようになつている。 一方、 ベース 1 1 のくぼみ部 1 1 aは、 反射ミラ一 5の変形に合わせた凹曲面状に形成されている。 このような構成では、 磁性部材 5 aを反射ミラ一 5の中央部のみに設ける場合に 比べ、 吸引面積が広くなるので、 同じギャップ磁束密度を与えた場合でも、 全体と してより大きな吸引力を得ることができる。 また、 反射ミラー 5はくぼみ部 1 1 a の曲面形状に倣って変形するため、 くぼみ部 1 1 aの曲面形成のための加工に精度 を要するが、 より正確に収差補正を行う必要がある場合に、 高精度に変形させるこ とができる。
なお、 図 1 5では、 切換装置 1 0を実施の形態 1と同様の構成としているが、 こ れに限られるものではなく、 実施の形態 2の切換装置と同様の構成とすることも可 能である。
また、 本実施形態では、 反射ミラー 5'としてガラス基板からなる基材 5 bに反射 コートを施した構成としたが、 反射ミラ一 5の基材そのものを強磁性体で構成する ことも可能である。 例えば、 厚さ 1 mmの磁性ステンレス鋼板の表面を鏡面研 磨し、 反射コ一トを施して反射ミラ一とすると、 0 . 2 9 4〜0 . 3 9 2 N ( 3 0 〜4 0 g f ) の吸引力で頂点の変位が約 4 となる変形が得られる。
この構成によれば、 反射コートが基材の防鲭コ一トを兼ね、 また貼り合わせや蒸 着等の工程が不要となるので、 可変形ミラー 1 5を低コストに製造することができ る。 しかも、 反射ミラー 5を割れにくくすることができるので、 ガラス基板のもの に比べて取り扱いが容易になるという効果がある。
また、 本実施の形態ではいずれも切換装置を反射ミラ一 5の両側に設ける構成と したが、 片側にだけに設けてる構成としてもよい。
その他の構成、 作用及び効果は、 前記実施形態 1と同様である。
(実施の形態 4 )
図 1 6は、 本発明の第 4の実施形態による光記録再生装置を概略的に示す。 光記 録再生装置は、 前記実施の形態 1による光学へッド 1 0 0と、 回転駆動機構 4 2と 、 給電部 4 4と、 受光装置 5 3と、 再生装置 4 7と、 トラッキングサ一ポ機構 4 8 と、 フォーカスサーボ機構 4 9とを備えている。 なお、 光学へッド 1 0 0として、 実施の形態 2又は 3のものに構成してもよい。
光記録再生装置では、 光学へッド 1 0 0の対物レンズ 6から出射されて 2層光デ イスク 2 0の記録面に収束する光によって、 情報の記録、 消去、 及び読み取りが行 われる。 . 回転駆動機構 4 2は、 モータ (不図示) を備えており、 軸に装着された光デイス ク 2 0を回転駆動する。
給電部 4 4は、 光学へッド 1 0 0、 回転駆動機構 4 2等に電力を供給する。 この 給電部 4 4は、 光学へッド 1 0 0の切換装置 1 0に対してパルス状の電圧を印加す るように構成されている。
受光装置 5 3は、 光ヘッド 4 0によって分岐された反射光に基づいて、 再生信号 、 トラッキングエラー信号及びフォーカスエラ一信号を生成する。
再生装置 4 7は、 再生信号に基づいて光ディスク 2 0に記録された情報を再生す るもので、 当該情報が例えば映像情報及び音声情報であれば、 映像信号及び音声信 号へ変換する。 トラッキングサ一ポ機構 4 8は、 トラッキングエラ一信号に基づい て、 トラッキング誤差を補償するように光ヘッド 4 0を制御する。 同様に、 フォー カスサーボ機構 4 9は、 フォーカスエラー信号に基づいて、 フォーカス誤差を補償 するように光へッド 2 0を制御する。
本光記録再生装置は、' 2つの記録層を持つ光記録再生媒体 2 0に対し、 光入射面 から遠い第 1記録層 2 1に集光する際には、 前記反射ミラ一 5を平面ミラーとし (図 2参照) 、 光入射面に近い第 2記録層 2 2に集光する際には、 前記切換装置に より反射ミラー 5を凹面状に変形させる (図 3参照) 。 このとき、 反射ミラー 5の 形状を変更する時のみパルス状の電圧が印加されることにより、 反射ミラー 5の形 状が前述したように変化する。 産業上の利用可能性
以上説明したように、 本発明は、 変形可能な反射ミラ一を備え、 その反射ミラー を変形状態及び非変形状態とに切り換える可変形ミラー、 この可変形ミラ一を備え 、 球面収差を補正して 2層ディスクへ記録再生する光学へッドおよび光記録再生装 置等として有用である。

Claims

請求の範囲
1 . 光を反射する反射面を有し、 少なくとも一部の部位が強磁性を有する部材に よって構成される反射ミラーと、
磁力によって前記反射ミラ一の変形状態と非変形状態とを切り換える切換装置と を備え、
前記切換装置は、 硬質磁性部材と、 この硬質磁性部材の着磁及び消磁を行う着磁 部材とを有していることを特徴とする可変形ミラー。
2 . 前記硬質磁性部材を前記着磁部材で着磁することにより、 前記反射ミラーの 強磁性を有する部材を吸引して前記反射ミラーを前記変形状態とし、 前記着磁部材 で前記硬質磁性部材を消磁することにより、 前記反射ミラ一を前記非変形状態に復 元させることを特徴とする請求項 1に記載の可変形ミラ一。
3 . 前記着磁部材は、 ヨークと、 着磁コイルと、 サブコイルとを含むことを特徴 とする請求項 1に記載の可変形ミラー。 .
4. 前記サブコイルおよび前記ヨークの少なくとも一部を、 前記反射ミラーの背 面とその側部に配置したことを特徴とする請求項 3に記載の可変形ミラ一。
5 . 光を反射する反射面を有し、 少なくとも一部の部位が強磁性を有する部材に よって構成される反射ミラーと、
磁力によって前記反射ミラーの変形状態と非変形状態とを切り換える切換装置と を備え、
前記切換装置は、 永久磁石と、 この永久磁石を前記反射ミラ一に磁力が作用する 第 1位置と、 この第 1位置よりも前記強磁性を有する部材から離れた第 2位置との 間で移動させる可動機構とを有していることを特徴とする可変形ミラー。
6 . 前記可動機構は、 前記第 2位置にある前記永久磁石を前記第 1位置に移動さ せることにより、 前記反射ミラーの強磁性を有する部材を吸引して前記反射ミラ一 を前記変形状態とし、 前記第 1位置にある前記永久磁石を前記第 2位置に移動させ ることにより、 前記反射ミラ一を非変形状態に復元させることを特徴とする請求項 5に記載の可変形ミラー。
7 . 前記可動機構は、 前記永久磁石を支持する可動部と、 この可動部を回動可能 に支持する固定部と、 前記可動部を前記第 1位置と前記第 2位置との間で回動動作 させる駆動部とを有していることを特徴とする請求項 5または 6に記載の可変形ミ ラー。
8 . 前記駆動部の少なくとも一部を前記反射ミラーの側部に配置したことを特徴 とする請求項 7に記載の可変形ミラ一。
9 . 前記駆動部は、 前記第 2位置の永久磁石を吸引するヨークと、 このヨークに 装着された駆動コイルと、 駆動磁石とを含むことを特徴とする請求項 7または 8に 記載の可変形ミラ一。
1 0 . 前記反射ミラ一は、 ガラス板からなる基材を備え、
前記強磁性を有する部材は、 前記基材の少なくとも一部に設けられていることを 特徴とする請求項 1力ら 9のいずれか 1項に記載の可変形ミラ一。
1 1 . 前記反射ミラーは、 強磁性を有する板材を基材としていることを特徴とす る請求項 1から 9のいずれか 1項に記載の可変形ミラ一。
1 2 . 前記強磁性を有する部材は、 前記ヨークとともに磁気回路の一部を構成す ることを特徴とする請求項 3または 9に記載の可変形ミラー。 .
1 3 . 前記反射面は、 前記基材の表面に形成された反射コートによって構成され ていることを特徴とする請求項 1 0または 1 1に記載の可変形ミラ一。
1 4. 前記反射コ一トは、 誘電体多層膜からなることを特徴とする請求項 1 3に 記載の可変形ミラー。
1 5 . 前記反射コートは、 前記基材の両面にそれぞれ設けられていることを特徴 とする請求項 1 3または 1 4に記載の可変形ミラー。
1 6 . 前記反射コートは、 前記基材の一方の面に設けられ、
前記基材の他方の面には、 前記反射コ一卜と同等の熱膨張率を有するカウンタコ ートが設けられていること ¾特徴とする請求項 1 3または 1 4に記載の可変形ミラ
1 7 . 前記強磁性を有する部材は、 硬質磁性体からなることを特徴とする請求項 1から 1 6のいずれか 1項に記載の可変形ミラ一。
1 8 . ベ一スと、
前記ベースによって支持される保持部材とを備え、
前記反射ミラーは、 前記保持部材によって弾性的に保持され、
前記ベースに前記切換装置が組み込まれていることを特徴とする請求項 1から 1 7のいずれか 1項に記載の可変形ミラー。
1 9 . 前記ベースには、 前記反射ミラーの変形方向に窪んだくぼみ部が設けられ ており、
前記反射ミラーは、 前記べ一スのくぼみ部を覆うように保持され、 かつ、 前記切 換装置によって変形される際に前記くぼみ部に当接することで、 その変形した状態 に保持される構成とされていることを特徴とする請求項 1 8に記載の可変形ミラ一
前記反射ミラーは、 略楕円形状に形成されており、 前記べ一スのくぼみ部は、 前記反射ミラーの形状に対応した略楕円形状に形成さ れていることを特徴とする請求項 1 9に記載の可変形ミラー。
2 1 . 前記保持部材は、 前記反射ミラ一をばね力で前記ペースに押さえ付けるこ とを特徴とする請求項 1 8から 2 0のいずれか 1項に記載の可変形ミラ一。
2 2 . 前記保持部材は、 前記ベースに組み付けられる基部と、 この基部から延出 される板ばね部と、 この板ばね部に結合され且つ前記反射ミラーを押さえ付ける押 さえ枠部とからなることを特徴とする請求項 2 1に記載の可変形ミラ一。
2 3 . 前記保持部材は、 弾性接着剤によって構成されていることを特徴とする請 求項 1 8から 2 0のいずれか 1項に記載の可変形ミラ一。
2 4. 光情報記録媒体へ光を集光させるように構成された光学へッドであって、 前記光情報記録媒体へ光を集光させる対物レンズと、
前記対物レンズを駆動する対物レンズァクチユエ一夕と、
請求項 1力、ら 2 3のいずれか 1項に記載の可変形ミラーとを備え、
前記可変形ミラーは、 光源から出射された光を前記対物レンズへ向かって反射さ せるように設置されていることを特徴とする光学へッド。
2 5 . 前記可変形ミラーは、 前記対物レンズァクチユエ一夕の下部の空間に設け られていることを特徴とする請求項 2 4に記載の光学へッド。
2 6 . 2つの記録層が設けられた光記録再生媒体に光を集光し、 この光記録再生 媒体への情報記録及び記録情報の読み出しの少なくとも一方を行う光記録再生装置 であって、
請求項 2 4または 2 5に記載の光学へッドと、
前記光学へッドに前記反射ミラーの状態を切り換えるための電力を給電する給電 部とを備えていることを特徴とする光記録再生装置。
2 7 . 前記可変形ミラーは、 光入射面から遠い第 1の記録層に集光する際には、 前記反射ミラーを平面ミラ一とし、 光入射面に近い第 2の記録層に集光する際には 、 前記反射ミラーを前記反射面が凹面状になる凹面ミラーに変形させることを特徴 とする請求項 2 6に記載の光記録再生装置。
2 8 . 前記給電部は、 前記皮射ミラーの状態を切り換える時のみパルス状の電圧 を印加することを特徴とする請求項 2 6または 2 7に記載の光記録再生装置。
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